JP2004278975A - 空調用ヒータ - Google Patents
空調用ヒータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004278975A JP2004278975A JP2003073359A JP2003073359A JP2004278975A JP 2004278975 A JP2004278975 A JP 2004278975A JP 2003073359 A JP2003073359 A JP 2003073359A JP 2003073359 A JP2003073359 A JP 2003073359A JP 2004278975 A JP2004278975 A JP 2004278975A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- heater
- duct
- temperature
- air conditioning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D03—WEAVING
- D03D—WOVEN FABRICS; METHODS OF WEAVING; LOOMS
- D03D11/00—Double or multi-ply fabrics not otherwise provided for
- D03D11/02—Fabrics formed with pockets, tubes, loops, folds, tucks or flaps
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D01—NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
- D01F—CHEMICAL FEATURES IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OF CARBON FILAMENTS
- D01F6/00—Monocomponent artificial filaments or the like of synthetic polymers; Manufacture thereof
- D01F6/58—Monocomponent artificial filaments or the like of synthetic polymers; Manufacture thereof from homopolycondensation products
- D01F6/70—Monocomponent artificial filaments or the like of synthetic polymers; Manufacture thereof from homopolycondensation products from polyurethanes
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M11/00—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M15/00—Treating fibres, threads, yarns, fabrics, or fibrous goods made from such materials, with macromolecular compounds; Such treatment combined with mechanical treatment
- D06M15/19—Treating fibres, threads, yarns, fabrics, or fibrous goods made from such materials, with macromolecular compounds; Such treatment combined with mechanical treatment with synthetic macromolecular compounds
- D06M15/37—Macromolecular compounds obtained otherwise than by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- D06M15/564—Polyureas, polyurethanes or other polymers having ureide or urethane links; Precondensation products forming them
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Devices For Blowing Cold Air, Devices For Blowing Warm Air, And Means For Preventing Water Condensation In Air Conditioning Units (AREA)
- Air Conditioning Control Device (AREA)
- Duct Arrangements (AREA)
- Direct Air Heating By Heater Or Combustion Gas (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
Abstract
【課題】空気の温度制御に対する即応性を向上させた空調用ヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】実施の形態の空調用ヒータ10は、ランプヒータ12と金属製放熱板14とから構成され、ダクト16の所定の位置に取り付けられる。ランプヒータ12は、ハロゲンランプ18、18…から構成され、ダクト16に流れる空気に対してその表面部が対抗するように、矩形枠状の支持フレーム20に固定されている。金属製放熱板14は、ランプヒータ12に対して空気流の上流側に所定量離間した位置に設けられる。金属製放熱板14は、多数の空気通過孔を有するハニカム構造体であり、空気通過孔を通過する空気に熱を効率よく伝えるため、熱容量が小さいアルミニウムによって製作されている。この金属製放熱板14は、ランプヒータ12からの輻射熱によって加熱され、ランプヒータ12と共に空気を加熱する。
【選択図】 図1
【解決手段】実施の形態の空調用ヒータ10は、ランプヒータ12と金属製放熱板14とから構成され、ダクト16の所定の位置に取り付けられる。ランプヒータ12は、ハロゲンランプ18、18…から構成され、ダクト16に流れる空気に対してその表面部が対抗するように、矩形枠状の支持フレーム20に固定されている。金属製放熱板14は、ランプヒータ12に対して空気流の上流側に所定量離間した位置に設けられる。金属製放熱板14は、多数の空気通過孔を有するハニカム構造体であり、空気通過孔を通過する空気に熱を効率よく伝えるため、熱容量が小さいアルミニウムによって製作されている。この金属製放熱板14は、ランプヒータ12からの輻射熱によって加熱され、ランプヒータ12と共に空気を加熱する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は空調用ヒータに係り、特に、電球を点灯させたときに生じる熱によって、空調室に供給する空気の温度を制御する空調用ヒータに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年の半導体製造用クリーンルームの精密環境チャンバ室は、半導体の大規模集積化に伴い、室内の温度管理が厳しく要求されている。特に、実際に検査解析作業を行なう空間では、検査解析精度を上げるために室温の変動を±1/1000度以下に抑えることが要求されている。このため、精密環境チャンバ室用の空調設備においては、高精度な温度管理が実施されている。
【0003】
従来の空調設備において、空調室に供給する空気をハロゲンランプヒータによって温度制御する空調用ヒータが提案されている(例えば、特許文献1)。この空調用ヒータによれば、ハロゲンランプヒータを通過した空気の温度を温度センサで検出し、この検出温度に基づいてハロゲンランプヒータの出力をヒータ制御部によってフィードバック制御するものである。
【0004】
【特許文献1】
特開2001−194040号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記特許文献1に記載された空調用ヒータは、ハロゲンランプヒータの表面温度上昇のみで空気の温度を制御するものなので、急激な温度変動には対応できないという欠点があった。ハロゲンランプヒータの場合、±1/100度以下の温度変動には、その出力を制御することで即応できると言われているが、冷たい空気や暑い空気がハロゲンランプヒータに突然供給された場合には、その出力を制御するだけでは即応できず、冷たい空気又は暑い空気がそのまま空調室に供給されるという問題があった。
【0006】
なお、精密環境チャンバ室用の空調設備においては、取り込んだ外気をそのままハロゲンランプヒータにて温度制御するのではなく、空調用ヒータの前段に設けられた空調装置によって大まかな温度制御が行なわれている。よって、前述した冷たい空気又は暑い空気と言っても、前段の空調装置によって温度制御が行なわれているため、ハロゲンランプヒータに供給される際には約±3/100度のバラツキになっている。
【0007】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、空気の温度制御に対する即応性を向上させた空調用ヒータを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために、電球をダクト内に設置し、該電球を点灯させた際に生じる熱により、前記ダクト内に供給された空気を加熱して空調室に供給する空調用ヒータにおいて、前記電球の近傍のダクトに通気性を有する金属製放熱板を設け、前記電球からの輻射熱によって前記金属製放熱板を加熱することにより、金属製放熱板を通過する前記空気を加熱することを特徴とする。
【0009】
本発明によれば、点灯した電球表面から空気に熱を伝えるほか、電球からの輻射熱によって加熱された金属製放熱板から空気に熱を伝える。これにより、温度制御可能なレンジが広がり、空気の温度制御に対する即応性が向上する。
【0010】
また、本発明によれば、前記電球及び前記金属製放熱板は、前記ダクトの一部を構成するとともに該ダクトに着脱自在に取り付けられる短尺ダクトに取り付けられてユニット化されていることを特徴とする。これにより、本発明は、電球や金属製放熱板を修理、交換する場合には、短尺ダクトをダクトの本体から取り外すだけでよい。よって、交換作業やメンテナンス作業が容易になる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係る空調用ヒータの好ましい実施の形態について詳説する。
【0012】
図1、図2に示すように、実施の形態の空調用ヒータ10は、ランプヒータ12と金属製放熱板14とから構成され、ダクト16の所定の位置に取り付けられている。ランプヒータ12は、図1の如く縦5列横3列に整列配置された15個のハロゲンランプ(電球)18、18…から構成され、ダクト16に流れる空気に対してその表面部が対向するように、矩形枠状の支持フレーム20に固定されている。これらのハロゲンランプ18、18…は、ケーブル22を介して、図3のサイリスタ70に接続され、サイリスタ70によって印加される電圧(出力)が制御され、発光量が制御されている。
【0013】
図1、図2の如く金属製放熱板14は、ランプヒータ12に対して空気流の上流側に所定量離間した位置に設けられている。また、金属製放熱板14は、多数の空気通過孔を有するハニカム構造体であり、空気通過孔を通過する空気に熱を効率よく伝えるため、熱容量が小さいアルミニウムによって作製されている。なお、金属製放熱板14の材質はアルミニウムに限定されるものではなく、熱容量が小さい金属であれば適用できる。また、空気流に対する剛性が確保できるのであれば、金属に代えて紙によって放熱板を作製してもよい。更に、金属製放熱板14は、金属製放熱板14の熱を空気に充分に伝えることができるように、空気との接触面積が広めにとられている。具体的には、金属製放熱板14の幅Bが長めに形成されている。
【0014】
また、ランプヒータ12と金属製放熱板14とは、短尺ダクト24に取り付けられてユニット化されている。この短尺ダクト24は、ダクト16の一部を構成し、上流側ダクト16A及び下流側ダクト16Bの端部に留め金26によって着脱自在に取り付けられている。よって、上流側ダクト16Aから供給されてきた空気は空調用ヒータ10からの熱が伝えられた後、下流側ダクト16Bに流される。なお、ダクト16A、16Bの内壁及び外壁には、熱の遮断・保温に用いる断熱材28、30が貼り付けられている。
【0015】
図4は、ランプヒータ12のハロゲンランプ18に印加する電圧と空気昇温との関係を示したグラフである。また、同グラフの横軸は電圧、縦軸は上昇した温度を示している。なお、同グラフは、ダクト径650×650mm、風速2.5m/sにて実測して得られたものである。また、ハロゲンランプ18としては、ウシオ電機製の85ワットのものを15個用いた。
【0016】
同グラフに示すように、ハロゲンランプ18に印加する電圧と空気昇温とは線形関係にあるので、ハロゲンランプ18に印加する電圧を制御すれば温度制御を十分に行なうことができることが分かる。
【0017】
また、図5は、波形のヒータ出力信号に対し、ランプヒータのみの従来の空調用ヒータと、ランプヒータ12及び金属製放熱板14を有する実施の形態の空調用ヒータ10との即応性を、空調用ヒータの出口温度を測定することで比較したグラフである。同図によれば、横軸が経過時間、左横軸が空調用ヒータの出口温度、右横軸がヒータ出力信号(%)を示している。また、ヒータ出力信号Cに対する、従来の空調用ヒータによる温度変動が波形Aで示され、実施の形態の空調用ヒータ10による温度変動が波形Bで示されている。
【0018】
同図に示すように従来の空調用ヒータは、その波形Aの如く、ヒータ出力信号Cに若干反応しただけで温度変動は小さく即応性が悪い。これに対して実施の形態の空調用ヒータ10は、その波形Bの如く、ヒータ出力信号Cに敏感に反応し温度変動は大きく即応性が良好であった。
【0019】
そのメカニズムを説明すると、空調用ヒータ10は、点灯したハロゲンランプ18の表面から空気に熱を伝えるほか、ハロゲンランプ18の輻射熱(図1上で矢印A方向に伝播する輻射熱)によって加熱された金属製放熱板14からも空気に熱を伝える。これにより、温度制御可能なレンジが広がり、空気の温度制御に対する即応性が向上する。これが、即応性が良好となるメカニズムである。
【0020】
また、空調用ヒータ10は、ランプヒータ12と金属製放熱板14とがダクト16の一部を構成するとともにダクト16に着脱自在に取り付けられる短尺ダクト24に取り付けられてユニット化されているので、ハロゲンランプ18や金属製放熱板14を修理、交換する場合には、短尺ダクト24をダクト16から取り外すだけでよい。よって、交換作業やメンテナンス作業が容易になる。
【0021】
次に、空調用ヒータ10を用いた空調設備について説明する。
【0022】
図3は、精密環境チャンバ室(空調室)用の空調設備40の構成を示したブロック図である。同図に示す精密環境チャンバ室42は、区画壁44によって外部と隔離され、室内には精密機械の製造ライン、検査解析装置などが設置される。この精密環境チャンバ室42では、許容誤差±1/1000度オーダ以内で一定に温度が維持されることが要求される。
【0023】
区画壁44の壁面の図3上で右壁面には、空気供給パネル46が設けられるとともに、左壁面には空気吸気パネル48が設けられている。これらパネル46、48は空気を通過させるとともに整流の作用もあるパンチングメタルが用いられている。
【0024】
吸気パネル48にはダクト50が接続されている。ダクト50には、送風機52、冷却器54、及び加熱器56からなる空調装置58が連結されている。また、この空調装置58の空気出口にはダクト16Aが接続され、これに空調用ヒータ10が接続されるとともにダクト16Bを介して供給パネル46が接続されている。このダクト配管により、図4の空調設備40は、精密環境チャンバ室42内の空気を循環させる構成となっている。
【0025】
送風機52が作動されると、吸気パネル48から精密環境チャンバ室42内の空気がダクト50を介して空調装置58に吸引される。吸引された前記空気は、冷却器54によって所定の温度まで冷却される。この冷却器54の内部には不図示の冷却コイルが設けられ、吸引された空気がこの冷却コイルに接触して冷却される。
【0026】
加熱器56は、内部にハロゲンランプを備えたランプヒータであり、この加熱器56の直後でダクト16A内には温度センサ60が設けられ、加熱器56を出た直後のダクト16A内の温度を検出している。温度センサ60は、デジタル調節計62に接続され、デジタル調節計62は、温度センサ60の温度情報に基づいてサイリスタ64を制御し、サイリスタ64によって、電源部(不図示)から加熱器56に所定の電圧の電力を供給する。なお、デジタル調節計62における分解能の性能としては±1/100度である。このような構成の加熱器56によって、冷却器54にて冷却された空気を、要求される温度の近傍まで加熱する。たとえば、要求温度が摂氏23.2度である場合には、加熱器56によって摂氏22.9度になるように空気を加熱制御する。
【0027】
精密環境チャンバ室42内には、精密環境チャンバ室42内の温度を検出する温度センサ66が設けられている。温度センサ66は、デジタル調節計68に接続され、デジタル調節計68は、温度センサ66の温度情報に基づいてサイリスタ70を制御し、サイリスタ70によって電源部(不図示)から空調用ヒータ10のランプヒータ12(図1参照)に所定の電圧の電力を供給する。ここで、デジタル調節計68における分解能は、デジタル調節計62よりも高いものが用いられ、精密環境チャンバ室42における温度の±1/1000度まで可能なものが用いられる。
【0028】
かかる構造の空調設備40によって、供給パネル46から吹き出された空調空気は吸気パネル48から吸引されることにより、精密環境チャンバ室42内でサイドフロー(水平層流)となって流れる。また、精密環境チャンバ室42では厳しく温度が管理され、精密環境チャンバ室42を摂氏23.2度で許容誤差1/1000度以内の温度で維持している。特に、精密環境チャンバ室42におけるサイドフローによって、精密環境チャンバ室42内に空気の滞留が生じず、精密環境チャンバ室42内の温度分布が均等となり易く、乱流などの発生を防止できるので、温度制御性が向上する。
【0029】
また、空調装置58と空調用ヒータ10とを設け、これらを制御するための温度センサをダクトに取り付けることで、温度分解能の異なる2段階の温度制御を可能として、制御性の優れた空調設備40を提供できる。特に、空調装置58の加熱器56によって、要求される温度まで近づけておき、空調用ヒータ10によって、要求温度に維持させるので、加熱器56や空調用ヒータ10の制御熱量の変動が少なくなり、精密環境チャンバ室42の室温の制御が行い易く、また室温の安定化も図れる。
【0030】
一方、冷却器54の内部には、不図示の冷却用コイルが設けられ、空調装置58に吸引された空気がこの冷却用コイルに接触して冷却される。冷却用コイルには、冷水パイプ72が接続されている。この冷水パイプ72にはクッションタンク74、冷水製造装置76、加熱器78などが連結され、ポンプPにてクッションタンク74内の冷水を循環させる構成となっている。
【0031】
クッションタンク74は、区分けされた2槽の冷水槽74A、74Bからなり、冷却器54から送り出された冷水は冷水槽74Aに溜められた後、パイプ80を介して冷水製造装置76に戻される。また、冷水製造装置76で製造された冷水は、パイプ82を介して冷水槽74Bに溜められ、ポンプPによって冷却器54に供給される。
【0032】
加熱器78は、伝熱ワイヤをコイル状に備えたものが用いられ、不図示の電源部から伝熱ワイヤに通電させることで伝熱ワイヤに熱を発生させ、ポンプPによって搬送される冷水を伝熱ワイヤに接触させることで、所望の温度まで冷水を加熱させる。この加熱器78の直後の冷水パイプ64には温度センサ84が設けられ、加熱器78直後の冷水の温度を検出している。この温度センサ84は、デジタル調節計86に接続されており、デジタル調節計86は、温度センサ84の温度情報に基づいてサイリスタ88に温度信号を出力し、サイリスタ88によってフィードバック制御による制御信号を出力させ、電源部(不図示)から加熱器82に所定の電圧で電力を供給させる。このような構成の冷却器54によって、少なくとも要求される温度よりも、1/100度程度の誤差範囲内まで冷水を冷却することができる。
【0033】
【実施例】
図6は、図3に示した空調設備40において、空調用ヒータ10による温度制御状況をグラフ化した図である。また、図7は、空調用ヒータ10に代えて、ランプヒータのみの従来の空調用ヒータを適用したときの温度制御状況をグラフ化した図である。なお、図6、図7に示した温度制御状況確認テストは、略同一の外気環境下において実施されたものなので、双方を比較することによって、その制御精度の優劣が分かる。
【0034】
図6に示す実施の形態の空調用ヒータ10によれば、目標値である22.152度に対して、±2/1000度の制御が可能となるが、これに対して、図7に示す従来の空調用ヒータは、目標値である22.152度に対して、±7/1000度までの制御が限界である。
【0035】
よって、ランプヒータ12と金属製放熱板14とを備えた実施の形態の空調用ヒータ10は、ランプヒータのみの従来の空調用ヒータと比較して、温度制御精度が向上した。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る空調用ヒータによれば、電球の近傍のダクトに通気性を有する金属製放熱板を設け、電球からの輻射熱によって金属製放熱板を加熱することにより、金属製放熱板を通過する空気を加熱したので、温度制御可能なレンジが広がり、空気の温度制御に対する即応性が向上する。
【0037】
また、本発明によれば、電球及び金属製放熱板を、ダクトの一部を構成するとともにダクトに着脱自在に取り付けられる短尺ダクトに取り付けてユニット化したので、電球や金属製放熱板を修理、交換する場合には、短尺ダクトをダクトの本体から取り外すだけでよい。よって、交換作業やメンテナンス作業が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る空調用ヒータを示した斜視図
【図2】図1の空調用ヒータが空調設備のダクトに取り付けられた状態を示す断面図
【図3】図1の空調用ヒータを用いた空調設備の構成図
【図4】ハロゲンランプに加える電圧と空気昇温との関係を示した図
【図5】ヒータ出力信号に対する温度変動の応答性を比較したグラフ
【図6】実施の形態の空調用ヒータによる温度制御状況を示したグラフ
【図7】従来の空調用ヒータによる温度制御状況を示したグラフ
【符号の説明】
10…空調用ヒータ、12…ランプヒータ、14…金属製放熱板、16…ダクト、18…ハロゲンランプ、24…短尺ダクト、42…精密環境チャンバ室(空調室)、54…冷却器、56…加熱器、58…空調装置、76…冷水製造装置
【発明の属する技術分野】
本発明は空調用ヒータに係り、特に、電球を点灯させたときに生じる熱によって、空調室に供給する空気の温度を制御する空調用ヒータに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年の半導体製造用クリーンルームの精密環境チャンバ室は、半導体の大規模集積化に伴い、室内の温度管理が厳しく要求されている。特に、実際に検査解析作業を行なう空間では、検査解析精度を上げるために室温の変動を±1/1000度以下に抑えることが要求されている。このため、精密環境チャンバ室用の空調設備においては、高精度な温度管理が実施されている。
【0003】
従来の空調設備において、空調室に供給する空気をハロゲンランプヒータによって温度制御する空調用ヒータが提案されている(例えば、特許文献1)。この空調用ヒータによれば、ハロゲンランプヒータを通過した空気の温度を温度センサで検出し、この検出温度に基づいてハロゲンランプヒータの出力をヒータ制御部によってフィードバック制御するものである。
【0004】
【特許文献1】
特開2001−194040号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記特許文献1に記載された空調用ヒータは、ハロゲンランプヒータの表面温度上昇のみで空気の温度を制御するものなので、急激な温度変動には対応できないという欠点があった。ハロゲンランプヒータの場合、±1/100度以下の温度変動には、その出力を制御することで即応できると言われているが、冷たい空気や暑い空気がハロゲンランプヒータに突然供給された場合には、その出力を制御するだけでは即応できず、冷たい空気又は暑い空気がそのまま空調室に供給されるという問題があった。
【0006】
なお、精密環境チャンバ室用の空調設備においては、取り込んだ外気をそのままハロゲンランプヒータにて温度制御するのではなく、空調用ヒータの前段に設けられた空調装置によって大まかな温度制御が行なわれている。よって、前述した冷たい空気又は暑い空気と言っても、前段の空調装置によって温度制御が行なわれているため、ハロゲンランプヒータに供給される際には約±3/100度のバラツキになっている。
【0007】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、空気の温度制御に対する即応性を向上させた空調用ヒータを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために、電球をダクト内に設置し、該電球を点灯させた際に生じる熱により、前記ダクト内に供給された空気を加熱して空調室に供給する空調用ヒータにおいて、前記電球の近傍のダクトに通気性を有する金属製放熱板を設け、前記電球からの輻射熱によって前記金属製放熱板を加熱することにより、金属製放熱板を通過する前記空気を加熱することを特徴とする。
【0009】
本発明によれば、点灯した電球表面から空気に熱を伝えるほか、電球からの輻射熱によって加熱された金属製放熱板から空気に熱を伝える。これにより、温度制御可能なレンジが広がり、空気の温度制御に対する即応性が向上する。
【0010】
また、本発明によれば、前記電球及び前記金属製放熱板は、前記ダクトの一部を構成するとともに該ダクトに着脱自在に取り付けられる短尺ダクトに取り付けられてユニット化されていることを特徴とする。これにより、本発明は、電球や金属製放熱板を修理、交換する場合には、短尺ダクトをダクトの本体から取り外すだけでよい。よって、交換作業やメンテナンス作業が容易になる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係る空調用ヒータの好ましい実施の形態について詳説する。
【0012】
図1、図2に示すように、実施の形態の空調用ヒータ10は、ランプヒータ12と金属製放熱板14とから構成され、ダクト16の所定の位置に取り付けられている。ランプヒータ12は、図1の如く縦5列横3列に整列配置された15個のハロゲンランプ(電球)18、18…から構成され、ダクト16に流れる空気に対してその表面部が対向するように、矩形枠状の支持フレーム20に固定されている。これらのハロゲンランプ18、18…は、ケーブル22を介して、図3のサイリスタ70に接続され、サイリスタ70によって印加される電圧(出力)が制御され、発光量が制御されている。
【0013】
図1、図2の如く金属製放熱板14は、ランプヒータ12に対して空気流の上流側に所定量離間した位置に設けられている。また、金属製放熱板14は、多数の空気通過孔を有するハニカム構造体であり、空気通過孔を通過する空気に熱を効率よく伝えるため、熱容量が小さいアルミニウムによって作製されている。なお、金属製放熱板14の材質はアルミニウムに限定されるものではなく、熱容量が小さい金属であれば適用できる。また、空気流に対する剛性が確保できるのであれば、金属に代えて紙によって放熱板を作製してもよい。更に、金属製放熱板14は、金属製放熱板14の熱を空気に充分に伝えることができるように、空気との接触面積が広めにとられている。具体的には、金属製放熱板14の幅Bが長めに形成されている。
【0014】
また、ランプヒータ12と金属製放熱板14とは、短尺ダクト24に取り付けられてユニット化されている。この短尺ダクト24は、ダクト16の一部を構成し、上流側ダクト16A及び下流側ダクト16Bの端部に留め金26によって着脱自在に取り付けられている。よって、上流側ダクト16Aから供給されてきた空気は空調用ヒータ10からの熱が伝えられた後、下流側ダクト16Bに流される。なお、ダクト16A、16Bの内壁及び外壁には、熱の遮断・保温に用いる断熱材28、30が貼り付けられている。
【0015】
図4は、ランプヒータ12のハロゲンランプ18に印加する電圧と空気昇温との関係を示したグラフである。また、同グラフの横軸は電圧、縦軸は上昇した温度を示している。なお、同グラフは、ダクト径650×650mm、風速2.5m/sにて実測して得られたものである。また、ハロゲンランプ18としては、ウシオ電機製の85ワットのものを15個用いた。
【0016】
同グラフに示すように、ハロゲンランプ18に印加する電圧と空気昇温とは線形関係にあるので、ハロゲンランプ18に印加する電圧を制御すれば温度制御を十分に行なうことができることが分かる。
【0017】
また、図5は、波形のヒータ出力信号に対し、ランプヒータのみの従来の空調用ヒータと、ランプヒータ12及び金属製放熱板14を有する実施の形態の空調用ヒータ10との即応性を、空調用ヒータの出口温度を測定することで比較したグラフである。同図によれば、横軸が経過時間、左横軸が空調用ヒータの出口温度、右横軸がヒータ出力信号(%)を示している。また、ヒータ出力信号Cに対する、従来の空調用ヒータによる温度変動が波形Aで示され、実施の形態の空調用ヒータ10による温度変動が波形Bで示されている。
【0018】
同図に示すように従来の空調用ヒータは、その波形Aの如く、ヒータ出力信号Cに若干反応しただけで温度変動は小さく即応性が悪い。これに対して実施の形態の空調用ヒータ10は、その波形Bの如く、ヒータ出力信号Cに敏感に反応し温度変動は大きく即応性が良好であった。
【0019】
そのメカニズムを説明すると、空調用ヒータ10は、点灯したハロゲンランプ18の表面から空気に熱を伝えるほか、ハロゲンランプ18の輻射熱(図1上で矢印A方向に伝播する輻射熱)によって加熱された金属製放熱板14からも空気に熱を伝える。これにより、温度制御可能なレンジが広がり、空気の温度制御に対する即応性が向上する。これが、即応性が良好となるメカニズムである。
【0020】
また、空調用ヒータ10は、ランプヒータ12と金属製放熱板14とがダクト16の一部を構成するとともにダクト16に着脱自在に取り付けられる短尺ダクト24に取り付けられてユニット化されているので、ハロゲンランプ18や金属製放熱板14を修理、交換する場合には、短尺ダクト24をダクト16から取り外すだけでよい。よって、交換作業やメンテナンス作業が容易になる。
【0021】
次に、空調用ヒータ10を用いた空調設備について説明する。
【0022】
図3は、精密環境チャンバ室(空調室)用の空調設備40の構成を示したブロック図である。同図に示す精密環境チャンバ室42は、区画壁44によって外部と隔離され、室内には精密機械の製造ライン、検査解析装置などが設置される。この精密環境チャンバ室42では、許容誤差±1/1000度オーダ以内で一定に温度が維持されることが要求される。
【0023】
区画壁44の壁面の図3上で右壁面には、空気供給パネル46が設けられるとともに、左壁面には空気吸気パネル48が設けられている。これらパネル46、48は空気を通過させるとともに整流の作用もあるパンチングメタルが用いられている。
【0024】
吸気パネル48にはダクト50が接続されている。ダクト50には、送風機52、冷却器54、及び加熱器56からなる空調装置58が連結されている。また、この空調装置58の空気出口にはダクト16Aが接続され、これに空調用ヒータ10が接続されるとともにダクト16Bを介して供給パネル46が接続されている。このダクト配管により、図4の空調設備40は、精密環境チャンバ室42内の空気を循環させる構成となっている。
【0025】
送風機52が作動されると、吸気パネル48から精密環境チャンバ室42内の空気がダクト50を介して空調装置58に吸引される。吸引された前記空気は、冷却器54によって所定の温度まで冷却される。この冷却器54の内部には不図示の冷却コイルが設けられ、吸引された空気がこの冷却コイルに接触して冷却される。
【0026】
加熱器56は、内部にハロゲンランプを備えたランプヒータであり、この加熱器56の直後でダクト16A内には温度センサ60が設けられ、加熱器56を出た直後のダクト16A内の温度を検出している。温度センサ60は、デジタル調節計62に接続され、デジタル調節計62は、温度センサ60の温度情報に基づいてサイリスタ64を制御し、サイリスタ64によって、電源部(不図示)から加熱器56に所定の電圧の電力を供給する。なお、デジタル調節計62における分解能の性能としては±1/100度である。このような構成の加熱器56によって、冷却器54にて冷却された空気を、要求される温度の近傍まで加熱する。たとえば、要求温度が摂氏23.2度である場合には、加熱器56によって摂氏22.9度になるように空気を加熱制御する。
【0027】
精密環境チャンバ室42内には、精密環境チャンバ室42内の温度を検出する温度センサ66が設けられている。温度センサ66は、デジタル調節計68に接続され、デジタル調節計68は、温度センサ66の温度情報に基づいてサイリスタ70を制御し、サイリスタ70によって電源部(不図示)から空調用ヒータ10のランプヒータ12(図1参照)に所定の電圧の電力を供給する。ここで、デジタル調節計68における分解能は、デジタル調節計62よりも高いものが用いられ、精密環境チャンバ室42における温度の±1/1000度まで可能なものが用いられる。
【0028】
かかる構造の空調設備40によって、供給パネル46から吹き出された空調空気は吸気パネル48から吸引されることにより、精密環境チャンバ室42内でサイドフロー(水平層流)となって流れる。また、精密環境チャンバ室42では厳しく温度が管理され、精密環境チャンバ室42を摂氏23.2度で許容誤差1/1000度以内の温度で維持している。特に、精密環境チャンバ室42におけるサイドフローによって、精密環境チャンバ室42内に空気の滞留が生じず、精密環境チャンバ室42内の温度分布が均等となり易く、乱流などの発生を防止できるので、温度制御性が向上する。
【0029】
また、空調装置58と空調用ヒータ10とを設け、これらを制御するための温度センサをダクトに取り付けることで、温度分解能の異なる2段階の温度制御を可能として、制御性の優れた空調設備40を提供できる。特に、空調装置58の加熱器56によって、要求される温度まで近づけておき、空調用ヒータ10によって、要求温度に維持させるので、加熱器56や空調用ヒータ10の制御熱量の変動が少なくなり、精密環境チャンバ室42の室温の制御が行い易く、また室温の安定化も図れる。
【0030】
一方、冷却器54の内部には、不図示の冷却用コイルが設けられ、空調装置58に吸引された空気がこの冷却用コイルに接触して冷却される。冷却用コイルには、冷水パイプ72が接続されている。この冷水パイプ72にはクッションタンク74、冷水製造装置76、加熱器78などが連結され、ポンプPにてクッションタンク74内の冷水を循環させる構成となっている。
【0031】
クッションタンク74は、区分けされた2槽の冷水槽74A、74Bからなり、冷却器54から送り出された冷水は冷水槽74Aに溜められた後、パイプ80を介して冷水製造装置76に戻される。また、冷水製造装置76で製造された冷水は、パイプ82を介して冷水槽74Bに溜められ、ポンプPによって冷却器54に供給される。
【0032】
加熱器78は、伝熱ワイヤをコイル状に備えたものが用いられ、不図示の電源部から伝熱ワイヤに通電させることで伝熱ワイヤに熱を発生させ、ポンプPによって搬送される冷水を伝熱ワイヤに接触させることで、所望の温度まで冷水を加熱させる。この加熱器78の直後の冷水パイプ64には温度センサ84が設けられ、加熱器78直後の冷水の温度を検出している。この温度センサ84は、デジタル調節計86に接続されており、デジタル調節計86は、温度センサ84の温度情報に基づいてサイリスタ88に温度信号を出力し、サイリスタ88によってフィードバック制御による制御信号を出力させ、電源部(不図示)から加熱器82に所定の電圧で電力を供給させる。このような構成の冷却器54によって、少なくとも要求される温度よりも、1/100度程度の誤差範囲内まで冷水を冷却することができる。
【0033】
【実施例】
図6は、図3に示した空調設備40において、空調用ヒータ10による温度制御状況をグラフ化した図である。また、図7は、空調用ヒータ10に代えて、ランプヒータのみの従来の空調用ヒータを適用したときの温度制御状況をグラフ化した図である。なお、図6、図7に示した温度制御状況確認テストは、略同一の外気環境下において実施されたものなので、双方を比較することによって、その制御精度の優劣が分かる。
【0034】
図6に示す実施の形態の空調用ヒータ10によれば、目標値である22.152度に対して、±2/1000度の制御が可能となるが、これに対して、図7に示す従来の空調用ヒータは、目標値である22.152度に対して、±7/1000度までの制御が限界である。
【0035】
よって、ランプヒータ12と金属製放熱板14とを備えた実施の形態の空調用ヒータ10は、ランプヒータのみの従来の空調用ヒータと比較して、温度制御精度が向上した。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る空調用ヒータによれば、電球の近傍のダクトに通気性を有する金属製放熱板を設け、電球からの輻射熱によって金属製放熱板を加熱することにより、金属製放熱板を通過する空気を加熱したので、温度制御可能なレンジが広がり、空気の温度制御に対する即応性が向上する。
【0037】
また、本発明によれば、電球及び金属製放熱板を、ダクトの一部を構成するとともにダクトに着脱自在に取り付けられる短尺ダクトに取り付けてユニット化したので、電球や金属製放熱板を修理、交換する場合には、短尺ダクトをダクトの本体から取り外すだけでよい。よって、交換作業やメンテナンス作業が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る空調用ヒータを示した斜視図
【図2】図1の空調用ヒータが空調設備のダクトに取り付けられた状態を示す断面図
【図3】図1の空調用ヒータを用いた空調設備の構成図
【図4】ハロゲンランプに加える電圧と空気昇温との関係を示した図
【図5】ヒータ出力信号に対する温度変動の応答性を比較したグラフ
【図6】実施の形態の空調用ヒータによる温度制御状況を示したグラフ
【図7】従来の空調用ヒータによる温度制御状況を示したグラフ
【符号の説明】
10…空調用ヒータ、12…ランプヒータ、14…金属製放熱板、16…ダクト、18…ハロゲンランプ、24…短尺ダクト、42…精密環境チャンバ室(空調室)、54…冷却器、56…加熱器、58…空調装置、76…冷水製造装置
Claims (2)
- 電球をダクト内に設置し、該電球を点灯させた際に生じる熱により、前記ダクト内に供給された空気を加熱して空調室に供給する空調用ヒータにおいて、
前記電球の近傍のダクトに通気性を有する金属製放熱板を設け、前記電球からの輻射熱によって前記金属製放熱板を加熱することにより、金属製放熱板を通過する前記空気を加熱することを特徴とする空調用ヒータ。 - 前記電球及び前記金属製放熱板は、前記ダクトの一部を構成するとともに該ダクトに着脱自在に取り付けられる短尺ダクトに取り付けられてユニット化されていることを特徴とする請求項1に記載の空調用ヒータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003073359A JP2004278975A (ja) | 2003-03-18 | 2003-03-18 | 空調用ヒータ |
KR10-2003-0036712A KR100509564B1 (ko) | 2003-03-18 | 2003-06-09 | 공기조화용 히터 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003073359A JP2004278975A (ja) | 2003-03-18 | 2003-03-18 | 空調用ヒータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004278975A true JP2004278975A (ja) | 2004-10-07 |
Family
ID=33289274
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003073359A Pending JP2004278975A (ja) | 2003-03-18 | 2003-03-18 | 空調用ヒータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004278975A (ja) |
KR (1) | KR100509564B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009515132A (ja) * | 2005-11-10 | 2009-04-09 | リンデ アクチエンゲゼルシヤフト | 高圧ガス加熱装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101105208B1 (ko) * | 2009-07-20 | 2012-01-13 | (주)케이에프유 | 발광다이오드를 이용한 보일러 |
KR101206466B1 (ko) | 2010-06-01 | 2012-11-29 | (주)에스티에스테크놀로지 | 조명장치 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57500705A (ja) * | 1980-04-08 | 1982-04-22 | ||
JPS5776240U (ja) * | 1980-10-30 | 1982-05-11 | ||
JPH03100441A (ja) * | 1989-09-13 | 1991-04-25 | Mitsubishi Electric Corp | 配管又はダクト装置 |
JPH0427450B2 (ja) * | 1987-04-13 | 1992-05-11 | Asahi Glass Co Ltd | |
JPH09243176A (ja) * | 1996-03-13 | 1997-09-16 | Nippon Dennetsu Co Ltd | 電気温風機 |
JPH11211209A (ja) * | 1998-01-26 | 1999-08-06 | Daikin Ind Ltd | ダクト設置型光触媒ユニット |
JP2001194040A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-07-17 | Komatsu Ltd | 循環式加熱冷却システム |
-
2003
- 2003-03-18 JP JP2003073359A patent/JP2004278975A/ja active Pending
- 2003-06-09 KR KR10-2003-0036712A patent/KR100509564B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57500705A (ja) * | 1980-04-08 | 1982-04-22 | ||
JPS5776240U (ja) * | 1980-10-30 | 1982-05-11 | ||
JPH0427450B2 (ja) * | 1987-04-13 | 1992-05-11 | Asahi Glass Co Ltd | |
JPH03100441A (ja) * | 1989-09-13 | 1991-04-25 | Mitsubishi Electric Corp | 配管又はダクト装置 |
JPH09243176A (ja) * | 1996-03-13 | 1997-09-16 | Nippon Dennetsu Co Ltd | 電気温風機 |
JPH11211209A (ja) * | 1998-01-26 | 1999-08-06 | Daikin Ind Ltd | ダクト設置型光触媒ユニット |
JP2001194040A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-07-17 | Komatsu Ltd | 循環式加熱冷却システム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009515132A (ja) * | 2005-11-10 | 2009-04-09 | リンデ アクチエンゲゼルシヤフト | 高圧ガス加熱装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20040082262A (ko) | 2004-09-24 |
KR100509564B1 (ko) | 2005-08-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20130319014A1 (en) | Room Air Conditioner Having a Liquid-To-Air Heat Exchanging Device With Peltier Elements | |
US9330948B2 (en) | Heater unit, fan filter unit, and substrate processing apparatus | |
US9776542B1 (en) | Vehicle heating apparatus and heater-equipped vehicle seat | |
JP2008189246A (ja) | 車両用空調装置 | |
KR102383336B1 (ko) | 자동차 미세먼지센서의 수분 유입 방지 장치 | |
JP2019027770A (ja) | 空調制御方法 | |
JP2004278975A (ja) | 空調用ヒータ | |
JP2014134301A (ja) | 天井空調ユニット及びこれを用いた空調システム | |
JP4200523B2 (ja) | 局所空間を精密に温度制御するための空調システム | |
US6868680B2 (en) | Air-conditioning control apparatus using heater | |
JP2018105786A (ja) | 環境試験装置及び環境試験方法 | |
JPH0682361A (ja) | 恒温恒湿器 | |
TW202125577A (zh) | 具有內嵌式加熱器的離子源腔室 | |
JP2005090904A (ja) | 空調用ヒータ | |
JP2005172313A (ja) | 空調設備 | |
JP2007085607A (ja) | 精密温度制御装置 | |
JP2004278976A (ja) | 流体の温度制御装置及び空調設備 | |
JP5488444B2 (ja) | 輻射温調装置 | |
JP2006183938A (ja) | 熱電素子を用いた吹き出し空調装置 | |
JP5167174B2 (ja) | 熱交換器及び温度調整装置 | |
JP2005172312A (ja) | 空調設備 | |
JP2008014557A (ja) | 天井放射冷暖房装置 | |
JP2008189247A (ja) | 車両用空調装置 | |
JP2581677Y2 (ja) | 遠赤外線加熱連続炉 | |
EP2077424A2 (en) | Low power consumption dehumidifier unit |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050311 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070606 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071227 |