JP2004278557A

JP2004278557A - セラミックバルブ及びその製造方法並びにバルブユニット

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Publication number: JP2004278557A
Application number: JP2003067097A
Authority: JP
Inventors: Tetsuji Yogo; 哲爾余語; Takanobu Ishikawa; 敬展石川
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: Niterra Co Ltd
Priority date: 2003-03-12
Filing date: 2003-03-12
Publication date: 2004-10-07

Abstract

【課題】長期間にわたり、優れた摺動特性を安定して得ることができ、水漏れ等も生じにくいセラミックバルブ及びその製造方法並びにバルブユニットを提供すること。
【解決手段】可動弁体（５）の摺動面（９）には、円柱状に開けられた多数の凹部（１９）が形成されている。つまり、可動弁体（５）の摺動面（９）は、可動弁体（５）の中央に開口する混合室（１７）の周縁部から円板の外縁部に至る表面であり、この摺動面（９）には、直径φ０．１〜０．５ｍｍの円形の開口部（２１）を有する凹部（１９）が、均一な配列で多数開口している。具体的には、凹部（１９）の開口部（２１）以外の摺動面（９）の面積が、摺動面（９）の全表面積の４０〜８０％の範囲を占めるように、凹部（１９）が多数形成されている。
【選択図】図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックバルブ及びその製造方法並びにバルブユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、水や湯の供給に使用されるバルブとして、摺動面（摺接面）において互いに接する固定弁体と可動弁体とを備えたセラミックバルブが多く使用されている。
【０００３】
このようなセラミックバルブは、例えば円板状に形成された弁体を互いに接した状態にて摺動させることにより、各弁体に形成した流体通路の開閉を行うようになっている。また、この種のセラミックバルブには、水（あるいは湯）を単独に給・止水できるタイプのものの他、湯水を混合して使用できるタイプのものもある（いわゆる湯水混合栓）。
【０００４】
前記弁体の材質としては、耐食性や耐摩耗性に優れしかも安価であることから、アルミナ質セラミックを採用したものが普及している。また、最近では、その摺動特性を向上させるために、弁体の摺動面にダイヤモンド状薄膜等の非晶質炭素膜（いわゆるＤＬＣによるコーティング膜）を形成したものが知られている。
【０００５】
ところで、上記のようなセラミックバルブにおいては、弁体の摺動面は、水漏れ防止のために高精度に仕上げられるのが通常である。
しかしながら、摺動性と水漏れ防止のためのシール性とは元来相反する因子であり、摺動性を高めるために摺動面の面粗度（面粗さ）を大きくすると水漏れが発生し、一方、シール性を向上させるために摺動面の面粗度を小さくすると、弁体同士が貼り付いて動かなくなる、いわゆるリンキング現象が発生しやすくなる。
【０００６】
この対策として、下記特許文献１には、非晶質炭素膜を形成する摺動面の面粗度を０．０８〜０．４μｍと若干粗い領域に設定し、リンキング防止とシール性との両立を図る提案がなされている。
しかし、この面粗度のレベルは、非晶質炭素膜単独で水漏れを完全に防止するには粗すぎるため、通常、グリースの塗布が要求される。この場合、長期間バルブを使用するうちにグリースが流出すると、微細な凸部が削れてなくなったり、あるいは凹部が摩耗粉で埋まったりして、結局はリンキングが発生し易くなる。
【０００７】
一方、下記特許文献２や特許文献３には、摺動面を構成する２面のうちのいずれか一方のみに非晶質炭素膜（ダイヤモンド状炭素膜）を形成する手法にて、グリース塗布の廃止が実現可能となる旨が記載されている。
これら公報の技術においては、２つの弁体のいずれか片側のみに非晶質炭素膜を形成する点にて共通しており、かつ面粗度も前記特許文献１に開示されたものよりも低い値に設定されている。
【０００８】
【特許文献１】
特開平８−２３３１２１号公報（第２頁、第１図）
【特許文献２】
特開平３−２２３１９０号公報（第２頁、第１図）
【特許文献３】
特開平６−１０１７７２号公報（第２頁、第１図）
【特許文献４】
特開２００１−１２４２２０号公報（第２頁、第１図）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した特許文献１〜３の技術では、実際にはグリースを塗布しない状態でバルブの摺動を長期間繰り返せば非晶質炭素膜の摩耗がやはり進行し、摺動特性が損なわれてしまう。従って、現在市販されている各社のセラミックバルブには、例外なくグリース塗布した形で市販に供されているのが現状である。
【００１０】
その結果、グリース切れが生じた場合は、グリースの再塗布を行う必要が生じるなどメンテナンス上の問題が生ずる。また、実際には、グリース切れにより摺動性が低下した場合は、バルブそのものを新品に交換するのが通常である。
この対策として、本願出願人は、既に上記特許文献４にて、一方の摺動面に硬質炭素皮膜を形成するとともに、両方の摺動面の中心線平均粗さＲａを規定し、更に硬質炭素皮膜の硬さを規定した発明を提案しているが、本発明は、この発明を踏まえて、一層の改善を図ったものである。
【００１１】
つまり、本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、その目的は、長期間にわたり、優れた摺動特性を安定して得ることができ、シール性が高く水漏れ等も生じにくいセラミックバルブ及びその製造方法並びにバルブユニットを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
（１）請求項１の発明は、セラミック製の固定弁体とセラミック製の可動弁体とを、互いの摺動面にて摺動させるセラミックバルブにおいて、前記固定弁体及び前記可動弁体の摺動面のうち、少なくとも一方の摺動面に、微小な凹部を多数設けるとともに、前記凹部の開口部の平均開口面積を０．００７９〜０．２ｍｍ^２としたことを特徴とする。
【００１３】
本発明では、固定弁体や可動弁体の摺動面に、微小な凹部を多数設けるとともに、凹部の開口部の平均開口面積を０．００７９〜０．２ｍｍ^２としているので、長期間にわたり、優れた摺動特性を安定して得ることができ、またシール性が高いので水漏れも生じににくく、しかもメンテナンス性に優れている。
【００１４】
特に、本発明では、凹部の開口部の平均開口面積が０．００７９ｍｍ^２以上であるので、摺動面上に適度な大きさの凹部を設けることができ、これにより、リンキングを防止でき、優れた摺動性を確保できる。また、平均開口面積が０．２ｍｍ^２以下であるので、過大な凹部によるシール性の悪化を防止でき、高いシール性を確保して水漏れの発生を防止できる。
【００１５】
尚、微小な凹部を多数設ける程度としては、例えば１ｃｍ^２当たり５０〜１０００の範囲の程度を採用でき、特に１ｃｍ^２当たり１００個程度が、リンキング及び水漏れ防止の点から好適である。また、凹部は、摺動面にわたり均一に設けることが好ましい（以下同様）。
【００１６】
（２）請求項２の発明は、セラミック製の固定弁体とセラミック製の可動弁体とを、互いの摺動面にて摺動させるセラミックバルブにおいて、前記固定弁体及び前記可動弁体の摺動面のうち、少なくとも一方の摺動面に、微小な凹部を多数設けるとともに、前記凹部の開口面積（特に開口形状）を該凹部の軸方向に略一定としたことを特徴とする。
【００１７】
本発明では、固定弁体や可動弁体の摺動面に設けられた多数の凹部は、柱状に開けられている。つまり、凹部の開口部の開口面積（特に開口形状）が、その底部までほぼ同じに設定されている。
従って、長期間の使用によって摺動面が摩耗しても、摺動面における接触面積の割合（接触面積率＝接触面積／開口面積を含む摺動面の面積）が変化しない。よって、摺動性やシール性が変化することを抑制できる。
【００１８】
（３）請求項３の発明は、セラミック製の固定弁体とセラミック製の可動弁体とを、互いの摺動面にて摺動させるセラミックバルブにおいて、前記固定弁体及び可動弁体の摺動面のうち、少なくとも一方の摺動面に、微小な凹部を多数設けるとともに、前記凹部の開口部の平均開口面積を０．００７９〜０．２ｍｍ^２とし、更に、前記凹部の開口面積を該凹部の軸方向に略一定としたことを特徴とする。
【００１９】
本発明は、前記請求項１、２の発明の構成を備えている。従って、前記請求項１、２の発明と同様に、長期間にわたり優れた摺動特性を安定して得ることができ、また、長期間にわたりシール性が高いので水漏れも生じににくく、メンテナンス性に優れている。
【００２０】
（４）請求項４の発明は、前記凹部の開口部の平均径を、φ０．１〜０．５ｍｍとしたことを特徴とする。
本発明は、凹部の開口部の開口形状が円形の場合に、その平均径を例示したものである。この平均径を有する凹部を多数形成することにより、前記請求項１の発明と同様な効果を奏するとともに、開口形状が円形であるので、カケ等が生じにくく、強度的に優れているという利点がある。
【００２１】
（５）請求項５の発明は、前記凹部を設けた摺動面において、前記凹部が開口する開口部及び空孔以外の面積が、前記摺動面に対して４０〜８０％（即ち前記接触面積率）であることを特徴とする。
つまり、本発明では、接触面積率が４０％以上であるので、シール性が優れており水漏れが生じにくい。しかも、接触面積率が８０％以下であるので、リンキングが生じにくく、摺動性に優れている。尚、接触面積率が５０〜７０％の場合には、上記効果に優れており、一層好適である。
【００２２】
ここで、前記開口部とは加工により形成されるものであり、空孔とは摺動面を形成する材料が元来有するものである。
（６）請求項６の発明は、前記摺動面の面粗度が、０．１μｍ以下であることを特徴とする。
【００２３】
本発明は、摺動面の好ましい面粗度の範囲を例示したものである。つまり、面粗度が０．１μｍ以下であると、優れた摺動性が得られる。
尚、この面粗度とは、「ＪＩＳＢ０６０１−２００１」に規定する平均表面粗さＲａである。
【００２４】
（７）請求項７の発明は、前記請求項１〜６のいずれかに記載のセラミックバルブを、内部を流れる液体の弁体として備えたバルブユニットを特徴とする。
本発明のバルブユニットは、上述したセラミックバルブを備えているので、優れた摺動特性を長期間安定して得ることができ、また、長期間にわたりシール性が高く水漏れも生じににくく、メンテナンス性に優れている。
【００２５】
（８）請求項８の発明は、前記請求項１〜６のいずれかに記載のセラミックバルブの製造方法であって、前記凹部を設ける摺動面に鏡面加工を施し、その後、前記鏡面加工を施した摺動面に対し、前記凹部の形成位置以外をマスキングして、サンドブラスト加工を施して、前記凹部を形成することを特徴とする。
【００２６】
本発明は、上述したセラミックバルブの製造方法を例示したものである。本発明の様に、サンドブラストによって凹部を形成することにより、多数の凹部を精度良く、例えば一度の処理により容易に形成することができる。
・尚、固定弁体と可動弁体との各セラミック基材は特に限定されないが、例えばアルミナ質緻密焼結体が、熱衝撃や熱応力に対する耐久性と耐薬品性に優れていることから本発明に好適に使用することができる。
【００２７】
・また、固定弁体と可動弁体との摺動面には、グリースを塗布することが考えられるが、例えばＤＬＣコーティングを施すことにより、グリースを省略することも可能である。
・更に、前記セラミックバルブは、例えば、固定弁体及び可動弁体の一方を、１ないしそれ以上の液供給部を備える供給側部材とし、同じく他方を、その供給側部材に対し、摺動面において互いに接触した状態で相対的に摺動可能に設けられ、その摺動により液供給部から供給される液体の流量を調整する流量調整部材とすることができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明のセラミックバルブ及びその製造方法並びにバルブユニットの実施の形態の例（実施例）について説明する。
（実施例）
ａ）まず、本実施例のセラミックバルブについて説明する。
【００２９】
図１に示す様に、本実施例のセラミックバルブ１は、例えば温水と冷水の混合など、温度の異なる液体を混合させる混合栓のバルブ部として使用されるものである。
このセラミックバルブ１は、円板等の板状に構成された固定弁体（供給側部材）３と、同じく円板等の板状に構成された可動弁体（流量調整部材）５とを備え、それぞれ一方の板面に形成された摺動面７、９において、互いに重ね合わされるようになっている。この両弁体３、５は、セラミックの緻密焼結体（ここではアルミナ質緻密焼結体）により形成されている。
【００３０】
前記固定弁体３は、板厚方向に貫通する２つの液流入口（液供給部）１１、１３を備え、一方が高温液流入口１１、他方が低温液流入口１３とされ、各々摺動面７とは反対側の板面側から、それぞれ高温及び低温の液体（例えば温水と冷水）が図示しない供給管路から流入し、可動弁体５側へ流出するようになっている。
【００３１】
また、固定弁体３には、同じく板厚方向に貫通する液排出口１５が形成されており、摺動面７側において固定弁体３側からの液体が流入し、その反対側において流出管路等へ該液体を流出するようになっている。
一方、前記可動弁体５には、繭状に切り欠かれて摺動面９側に開口する混合室１７が形成されている。この混合室１７は、高温液流入口１１と低温液流入口１３と液排出口１５とに対して、可動弁体５の矢印Ａ、Ｂ方向の回転に伴って連通可能な形状とされており、高温液流入口１１及び低温液流入口１３から高温及び低温の液体を流入させて混合した後、液排出口１５へ排出するようになっている。
【００３２】
ここで、可動弁体５は、その摺動面９において固定弁体３に対して相対的に回転可能とされており、その相対回転に応じて、混合室１７と高温液流入口１１及び低温液流入口１３との重なり部分の面積比率、すなわち高温液流入口１１及び低温液流入口１３から混合室１７への液の供給比率が変化するようになっている。
【００３３】
また、この可動弁体５は、固定弁体３に対して、混合室１７が高温液流入口１１及び低温液流入口１３に重なる位置と、重なりを生じなくなる位置との間で、Ｃ、Ｄ方向に往復動可能とされ、液排出口１５からの液排出を許容又は停止できるようになっている。
【００３４】
ｂ）次に、本実施例の要部であるセラミックバルブ１の摺動面７、９の構成について説明する。
前記セラミックバルブ１においては、可動弁体５及び固定弁体３の一方、具体的には、可動弁体５側の摺動面９が固定弁体３の摺動面７よりも小面積とされている。
【００３５】
このうち、可動弁体５の摺動面９には、図２に示す様に、多数の凹部１９が形成されている。つまり、可動弁体５の摺動面９は、可動弁体５の中央に開口する混合室１７の周縁部から円板の外縁部に至る表面であり、この摺動面９には、円形の開口部２１を有する凹部１９が、均一な配列で多数開口している。
【００３６】
具体的には、各開口部２１の直径は、φ０．１〜０．５ｍｍの範囲（例えば φ０．３ｍｍ）である。また、凹部１９は、１ｃｍ^２当たりの個数が５０〜１０００の範囲（例えば１００個）となるように、全摺動面９にわたって均一に多数設けられている。これにより、開口部２１以外の摺動面９の面積（空孔を除いた実際に固定弁体３に当接する実摺動面積）が、摺動面９の全表面積の４０〜８０％の範囲（例えば５０％）を占めるように、即ち、４０〜８０％の接触面積率となるように凹部１９が形成されている。
【００３７】
特に、前記凹部１９は、図３にその軸方向の縦断面を示す様に、深さ約０．２ｍｍまで円柱状に開けられており、その表面の開口部２１から底部２３まで直径がほぼ同じ（従って開口面積及び形状がほぼ同じ）である。
また、前記摺動面７、９には、グリースが塗布されるので、このグリースが凹部１９内に充填される。
【００３８】
ｃ）次に、前記セラミックバルブ１の製造方法について説明する。
▲１▼まず、原料粉末として、純度９９．８％のアルミナ粉末と、焼結助剤粉末として、純度９９．８％のＳｉＯ_２、ＭｇＯとを用意し、所定の比率にて配合した後、その粉末総量を１００重量部とし、バインダとしてのボバールワックス及びステアリン酸を５重量部と、水１０３重量部とを加えて湿式混合することにより、成形用素地スラリーを作製した。
【００３９】
そして、そのスラリーをスプレードライ法により乾燥し、ふるいにより粒径８０〜１５０μｍに整粒して原料素地粉末とした。該原料素地粉末は、金型プレスにより５８．８ＭＰａの圧力で部材形状に成型し、所定温度で焼結することにより可動弁体５及び固定弁体３に対応する形状の焼結体（アルミナ質緻密焼結体）を得た。
【００４０】
▲２▼次に、微粉噴射加工装置を用いたマイクロブラスト工法（例えば微粒子のＳｉＣをワークに対して噴射して加工するサンドブラスト）にて、可動弁体５の摺動面９に多数の凹部１９を形成した。
つまり、マイクロブラストのマスキングに用いるマスク材を製造し、このマスク材を用いて、可動弁体５の摺動面９に対してマイクロブラストを行った。尚、マスク材は、紫外線硬化型のウレタン樹脂からなるフィルムである。
【００４１】
具体的には、ワークである可動弁体５の摺動面９に、マスク材となるドライフィルムを貼り付け、（多数の凹部１９が格子状に並んだ形状のパターンとなるように）紫外線にて露光し、弱アルカリ溶液にて現像し、乾燥した。これにより、所定パターンを有するマスク材がワーク表面に貼り付けられた状態となる。
【００４２】
その後、微粉噴射加工装置にてマイクロブラスト加工を行い、マスク材の無い部分のみを選択的に除去して、可動弁体５の摺動面９に所定パターンの多数の凹部１９を形成した。加工後、マスク材を除去して洗浄した。
尚、マイクロブラストの加工条件としては、下記の条件を採用できる。
【００４３】
噴射材の種類：ＳｉＣ
噴射材の寸法：＃４００〜＃６００（粒径：２０〜３０μｍ）
更に、可動弁体５の摺動面９（及び固定弁体３の摺動面７）に対して鏡面加工を行った。例えば、摺動面７及び摺動面９は、周知の表面研磨により、いずれもその中心線平均粗さＲａが０．０８μｍ以下に調整した。
【００４４】
これにより、本実施例のセラミックバルブ１を構成する固定弁体３及び可動弁体５を得た。
ｄ）次に、前記セラミックバルブ１を組み込んだバルブユニットについて説明する。
【００４５】
図４に示す様に、前記セラミックバルブ１は、バルブユニット２５に組み込まれている。
このバルブユニット２５においては、可動弁体５は、円板状のケース２７の底面側の開口部２９に嵌着・収容される。そして、ケース２７の上面側には、一体的にレバー取付部３１が固定され、このレバー取付部３１は、カバー３３を介して操作レバー３５に固定されている。
【００４６】
一方、固定弁体３は、円板状のベース部３７上に固定される。このベース部３７には、固定弁体３の高温液流入口１１及び低温液流入口１３にそれぞれ連通する液供給口３９、４１と、液排出口部１５に連通する液排出口４３とが形成されている。
【００４７】
また、各液供給口３９、４１と液排出口４３との各周縁部にて、ベース部３７と固定弁体３との間には、ゴム等によりリング状に形成されたシール部材４５が配置されている。
更に、液排出口４３には蛇口部４５が、また、液供給口３９、４１には温水供給管４７及び冷水供給管４９が、それぞれ接続されている。
【００４８】
そして、前記構成のバルブユニット２５では、可動弁体５をケース２７及びカバー３３とともに、固定弁体３に対して高温液流入口１１側へ回転させると、その高温液流入口１１と混合室１７との重なり面積が増加し、混合室１７に流れ込む高温の液体の比率が増加して、液排出口１５から排出される混合液の温度が上昇する。
【００４９】
逆に、可動弁体５を低温液流入口１３側へ回転させると、低温の液体の比率が増大するので排出される混合液の温度は低下する。
このように、可動弁体５の回転角を調整することにより、排出される混合液の温度を自由に変化させることができる。
【００５０】
また、レバー３５を上下動させると、可動弁体５が固定弁体３に対して往復動し、混合室１７が高温液流入口１１及び低温液流入口１３に重なると、液排出が許容され、逆に重なりを生じなくなると排出が停止される。
ｅ）次に、本実施例の効果について説明する。
【００５１】
本実施例のセラミックバルブ１を備えたバルブユニット２５においては、可動弁体５の摺動面９に、開口形状が円形でその直径がφ０．１〜０．５ｍｍの範囲の多数の凹部１９が均一に設けられ、その接触面積率が４０〜８０％の範囲に設定されている。
【００５２】
従って、優れた摺動特性を長期間安定して得ることができ、また、長期間にわたりシール性が高いので水漏れも生じににくく、しかもメンテナンス性に優れている。
また、前記凹部１９は、その開口形状が底部２３まで続くように柱状に開けられているので、長期間の使用により摺動面９が摩耗しても、摺動面９における接触面積率が変化しない。よって、この点からも、長期間にわたり摺動性やシール性が変化することを防止できる。
【００５３】
更に、本実施例では、サンドブラストにより凹部１９を形成するので、多数の凹部１９を、精密にしかも一度の加工で形成することができる。
ｆ）次に、本実施例の効果を確認するために行った実験例について説明する。
前記実施例と同様なバルブユニットを作製し、ケーシングにて押さえ付けた。
【００５４】
また、比較例として、摺動面にサンドブラスト加工を行わず、非晶質炭素膜をコーティングしたバルブユニットを製造した。
▲１▼そして、「ＪＩＳＢ２０６１」による耐圧性能試験（閉栓状態にて液供給口より冷水として室温の水を１．７５ＭＰａにて注入する）を行い、水漏れの有無を確認した。
【００５５】
その結果、本実施例のセラミックバルブユニットは、水漏れが無く良好であった。
▲２▼また、バルブ全開状態として、液供給口より室温の水を０．１７ＭＰａにて注入する一方、液供給口より８０℃の温水を０．１ＭＰａにて注入し、操作レバーにより可動弁体を固定弁体に対して回転摺動させ、摺動に必要な荷重を測定した。そして、全温水−混合−全冷水−止水を１サイクルとして、２０万サイクルまで摺動を繰返し、その時点で摺動荷重が９．８Ｎ以下のものを良好、９．８Ｎを超えるものを不良として評価した。
【００５６】
その結果、本実施例のセラミックバルブユニットは、摺動荷重が少なく良好であったが、比較例のものは、摺動荷重が大きく好ましくない。
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【００５７】
（１）例えば、多数の凹部を、可動弁体の摺動面ではなく、固定弁体の摺動面に設けてもよい。或いは、両方に設けてもよい。
（２）また、凹部の開口部の形状は、強度や欠け防止等の点で円形が望ましいが、方形や楕円形状等の各種の形状も採用できる。
【００５８】
（３）更に、前記実施例では、摺動面にグリースを塗布したが、グリースを省略することも可能である。
（４）その上、可動弁体及び固定弁体の摺動面のうち、少なくとも一方に、ＤＬＣコーティングを施してもよい。このＤＬＣコーティングを施すことによって、摺動性が増すという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例のセラミックバルブを分解して示す斜視図である。
【図２】可動弁体の摺動面側を示す説明図である。
【図３】凹部を軸方向に破断した状態を示す断面図である。
【図４】実施例のバルブユニットを分解して示す斜視図である。
【符号の説明】
１…セラミックバルブ
３…固定弁体
５…可動弁体
７、９…摺動面
１１…高温液流入口
１３…低温液流入口
１５…液排出口
１７…混合室
１９…凹部
２５…バルブユニット

Claims

セラミック製の固定弁体とセラミック製の可動弁体とを、互いの摺動面にて摺動させるセラミックバルブにおいて、
前記固定弁体及び前記可動弁体の摺動面のうち、少なくとも一方の摺動面に、微小な凹部を多数設けるとともに、前記凹部の開口部の平均開口面積を０．００７９〜０．２ｍｍ^２としたことを特徴とするセラミックバルブ。
セラミック製の固定弁体とセラミック製の可動弁体とを、互いの摺動面にて摺動させるセラミックバルブにおいて、
前記固定弁体及び前記可動弁体の摺動面のうち、少なくとも一方の摺動面に、微小な凹部を多数設けるとともに、前記凹部の開口面積を該凹部の軸方向に略一定としたことを特徴とするセラミックバルブ。
セラミック製の固定弁体とセラミック製の可動弁体とを、互いの摺動面にて摺動させるセラミックバルブにおいて、
前記固定弁体及び可動弁体の摺動面のうち、少なくとも一方の摺動面に、微小な凹部を多数設けるとともに、前記凹部の開口部の平均開口面積を０．００７９〜０．２ｍｍ^２とし、更に、前記凹部の開口面積を該凹部の軸方向に略一定としたことを特徴とするセラミックバルブ。
前記凹部の開口部の平均径を、φ０．１〜０．５ｍｍとしたことを特徴とする請求項１又は３に記載のセラミックバルブ。
前記凹部を設けた摺動面において、前記凹部が開口する開口部及び空孔以外の面積が、前記摺動面に対して４０〜８０％であることを特徴とする前記請求項１〜４のいずれかに記載のセラミックバルブ。
前記摺動面の面粗度が、０．１μｍ以下であることを特徴とする前記請求項１〜５のいずれかに記載のセラミックバルブ。
前記請求項１〜６のいずれかに記載のセラミックバルブを、内部を流れる液体の弁体として備えたことを特徴とするバルブユニット。
前記請求項１〜６のいずれかに記載のセラミックバルブの製造方法であって、
前記凹部を設ける摺動面に鏡面加工を施し、その後、前記鏡面加工を施した摺動面に対し、前記凹部の形成位置以外をマスキングして、サンドブラスト加工を施して、前記凹部を形成することを特徴とするセラミックバルブの製造方法。