JP2004275859A

JP2004275859A - 液状物質供給器

Info

Publication number: JP2004275859A
Application number: JP2003069434A
Authority: JP
Inventors: Kosuke Inatani; 孝祐稲谷
Original assignee: Origin Electric Co Ltd
Current assignee: Origin Electric Co Ltd
Priority date: 2003-03-14
Filing date: 2003-03-14
Publication date: 2004-10-07

Abstract

【課題】品質の高い液状物質供給を可能にすることを主な課題とし、吐出される液状物質中に気泡が含まれるのを防ぎ、液漏れし難い液体供給機構を提供すること。
【解決手段】１次側流路２と２次側流路６とを有するボディ１と、１次側流路２から２次側流路６へ流れる液状物質の流量を制御するバルブ部材３とを備え、ボディ１はそのテーパー面５とは反対側にあって、２次側流路６が延びる、一体的に形成された筒状突出部１ａを有し、その筒状突出部から液状物質が吐出される液状物質供給器、又はバルブ部材３がテーパー面５と密接可能な円錐型のテーパー面ｔｓをもつポペット部３ａを備える液状物質供給器。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、コンパクトディスクやＤＶＤのような情報媒体などからなる基体に溶剤を含む有機色素材料、あるいは液状塗料又は液状接着剤などを供給する高精度の液状物質供給器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に気圧の微細な調整によって精度の高い液体供給を行うエアオペレート型の液体供給器としては種々の構成のものが知られているが、特にコンパクトディスクに記録膜を形成する場合の溶剤を含む有機色素材料の供給、保護膜を形成するときの紫外線硬化塗料の供給、及びＤＶＤの製造工程におけるディスク基板を貼り合わせるときの液状接着剤の供給などにおいては、所定量に高精度で制御する必要がある。
【０００３】
例えば、コンパクトディスクのディスク基板にドーナツ状に溶剤型の紫外線硬化塗料を供給する例を示したものとして下記特許文献１があり、当該特許文献では液体供給ノズルを一定の低速度で回転させると共に、一定量の液体をノズル先端から吐出することにより、所定幅で所定高さのドーナツ状の液膜を形成することが開示されている。特許文献１には液体供給器の具体的な構造は開示されていないが、このような分野で用いられている従来のエアオペレート型の液状物質供給器４００として図４に示すようなものがある。
【０００４】
図４において、ボディ１内に形成された１次側流路２は、不図示の液体供給装置から供給される溶剤型の有機色素材料又は紫外線硬化型塗料のような液状物質を通流させるものであり、１次側流路２には不図示の継手によって液体供給パイプが接続される。バルブ部材３は液状物質の流量を調整するものであり、ポペット部３ａと板バネ部３ｂとピン部３ｃとからなる。
【０００５】
バルブ部材動作範囲設定機構４’はポペット部３ａのストローク、つまり動作範囲を調整して液状物質の流量を調整するためのものであり、調整駆動部４’ａと設定ブロック部４’ｂとからなる。１次側流路２から供給される液状物質の圧力の大きさによって板バネ部３ｂが上下に動くことにより、その流量の調整が行われる。なお、Ｓは空気が存在する気室である。
【０００６】
ボディ１にはロート状、つまり円錐形状のテーパー面５が形成されており、その最下部からボディ１の中央を延びて液状物質を通流させる２次側流路６が形成されている。２次側流路６の下側部分には、その２次側流路６の径よりも直径の大きい大径部６ａが形成されている。その大径部６ａにはネジ山６ｂが形成されている。大径部６ａのネジ山６ｂにはニードルアダプタ７のネジ山部７ａが螺合されている。ニードルアダプタ７の中央には液状物質を通流させる２次側流路６の一部分を形成する流路が形成されており、その先端部７ｂにニードル８が固定されている。ニードル８は、２次側流路６に真っ直ぐにつながる液体吐出口８ａを有する。
【０００７】
次にこのような構造の液状物質供給器の動作を簡単に説明する。バルブ部材動作範囲設定機構４’は、調整駆動部４’ａによって設定ブロック部４’ｂが時計方向又は反時計方向に回転して前進又は後退し、バルブ部材３のピン部３ｃと設定ブロック部４’ｂの先端面との間の間隔を調整する。１次側流路２から供給される液状物質の圧力によって、板バネ部３ｂは図面上方向に動き、ピン部３ｃが設定ブロック部４’ｂに当接したところで止まる。つまり、バルブ部材動作範囲設定機構４’は、ポペット部３ａの動き、即ちストロークを決めることによって、ポペット部３ａと円錐形状のテーパー面５の最下部である底部との間隔を調整し、１次側流路２から２次側流路６を通して液体吐出口８ａに流れる液状物質（図示しない）の量を調整する。
【０００８】
【特許文献１】登録実用新案第２５２７８０４号（２頁、図１〜図３）
【０００９】
【本発明が解決しようとする課題】
しかし、このような構造の従来の液状物質供給器は下記のような問題点を有している。
【００１０】
（１）２次側流路６は途中に大径部６ａを有するので、その部分に液状物質が澱み、澱むことによって空気がトラップされるので、液状物質の吐出精度が悪くなり、さらにボディ１とニードルアダプタ７との当接面のごく微小な間隙を通して空気漏れが生ずることによって吐出される液状物質の中に気泡が混入される。この気泡の混入は情報記録媒体の製造上では、その品質を悪化させるので避けなければならない。
【００１１】
（２）また、ボディ１とニードルアダプタ７との当接面のごく微小な間隙を通しての空気漏れは、２次側流路６を閉じた後も大径部６ａに澱んだ液状物質をニードル８の液体吐出口８ａ側に流す作用を行い、吐出停止の切れを悪くする。
【００１２】
（３）比較的高精度の液状物質供給器のポペット部３ａは半径が１ｍｍ未満と非常に小さく、したがって傷が付き易いので、流路に異物が混入した状態で開閉を行っていると、バルブ頭部３ａに傷がついて液漏れが発生し、頻繁に交換しなければならない場合もある。
【００１３】
（４）有機溶剤又は有機溶剤を溶媒とする溶液の粘度が０．３〜３０センチポイズ（ｃＰ）である場合、その溶剤又は溶液を０．０５ｍｌ／秒以上の量で安定に吐出することはできない。
【００１４】
（５）ボディ１とポペット部３ａはいずれもフッ素樹脂又はポリアセタール樹脂からなるものが多いが、ボディ１の１次側流路２に流体物質を供給するための不図示の液体供給パイプをボディ１に接続する不図示の継手の着脱により、その着脱個所が破損し易く、そこから液漏れを起こすので、破損の度にボディ１を交換する必要がある。
【００１５】
（６）従来のバルブ部材動作範囲設定機構４’は、バルブ部材３の動作ストロークを精密に調整することができないため、流量の微調整が困難であるばかりか、直接バルブ部材３を動かして液状物質の流量を制御するものでないので、例えば。液状物質の温度条件などに従って流量を制御することが難しかった。
【００１６】
本発明は、品質の高い液状物質供給を可能にすることを主な目的とし、吐出される液状物質中に気泡が含まれるのを防ぎ、液漏れし難い液体供給機構を提供することを特徴としている。
【００１７】
【課題を解決するための手段及び作用】
上記問題点を解決するため、本願請求項１記載の発明は、円錐状のテーパー面によって形成される凹所と外部からその凹所まで延びる１次側流路と前記凹所の底部より液体吐出口まで延びる２次側流路とを有するボディと、前記凹所を通って前記１次側流路から２次側流路へ流れる液状物質の流量を制御するポペット部をもつバルブ部材とを備える液状物質供給器において、前記ボディはその長手方向において前記テーパー面とは反対側にあって、前記２次側流路が前記液体吐出口まで延びる一体成形された筒状突出部を有し、この筒状突出部の前記液体吐出口から前記液状物質が吐出されることを特徴とする液状物質供給器を提供するものである。
【００１８】
このように構成した液状物質供給器においては、従来構造のように２次側通路に空気が漏れて入ることが無いから、吐出される液状物質中に気泡が含まれることが無くなり、また液状物質の吐出停止時の切れが良くなる。
【００１９】
また本願請求項２は、請求１において、前記筒状突出部に形成された前記液体吐出口は、前記ボディに形成された前記２次側流路の直径と同等以下である液状物質供給器を提供するものである。
【００２０】
このように構成した液状物質供給器においては、特に筒状突出部に形成された前記液体吐出口の径が小さいときには、請求項１で得られる効果の他に、別途ニードルを設けることなく、経済性に有利である。
【００２１】
本願請求項３は、請求項１において、前記筒状突出部には、前記ボディに形成された前記２次側流路の直径と同等以下の直径の液体吐出口を備えるニードルが固定されている液状物質供給器を提供するものである。
【００２２】
このように構成した液状物質供給器においては、ニードルを取りつけても請求項１の効果を損なうことが無く、所望の径の液体吐出口を有するニードルに簡単に交換できるので、融通性がある。
【００２３】
本願請求項４は、円錐状のテーパー面によって形成される凹所と外部からその凹所まで延びる１次側流路と前記凹所の底部より液体吐出口まで延びる２次側流路とを有するボディと、前記凹所を通って前記１次側流路から２次側流路へ流れる液状物質の流量を制御するポペット部をもつバルブ部材とを備える液状物質供給器において、前記ポペット部は前記ボディの円錐形状の前記テーパー面と同じ形状で同じ傾斜のテーパー面を備え、前記ボディの前記テーパー面と前記ポペット部の前記円錐形状のテーパー面とは密接し得るように構成されている液状物質供給器を提供するものである。
【００２４】
このように構成した液状物質供給器においては、前記ボディの前記テーパー面と前記ポペット部の前記円錐形状のテーパー面の当接面積は広く、密接に接触する構造となっているので、液状物質に異物が混入していた場合に、それらのテーパー面に傷が付いたとしても、液状物質が漏れることはなく、漏れる程度まで傷がつくまでには長期間がかかるので、大幅に寿命が長くなる。また、液状物質の吐出停止時の切れも向上する。
【００２５】
本願請求項５は、請求項１ないし請求項４のいずれかにおいて、前記１次側流路が前記ボディの前記テーパー面まで延びる位置は、前記ポペット部の円錐形状のテーパー面に対向する箇所にあり、その円錐形状のテーパー面が前記１次側流路を直接閉じることができるようにした液状物質供給器を提供するものである。
【００２６】
このように構成した液状物質供給器においては、前記バルブ部材が１次側流路と２次側流路とを直接閉じる、特に１次側流路を直接閉じるので、より高精度の流量調整が可能となり、液状物質の吐出停止時の切れもさらに向上する。
【００２７】
本願請求項６は、請求項１ないし請求項５のいずれかにおいて、前記ボディは超高分子ポリエチレン樹脂からなり、前記ポペット部はフッ素樹脂からなる液状物質供給器を提供するものである。
【００２８】
このように構成した液状物質供給器においては、バルブ頭部に傷が付き難く、またボディは超高分子ポリエチレン樹脂からなるから、１次側流路に液体供給パイプを接続するための継手の着脱によってもボディが破損せず、したがってこの液状物質供給器の寿命を向上させることができる。
【００２９】
本願請求項７は、請求項１ないし請求項６のいずれかにおいて、前記ポペット部の円錐部分の最大半径が１ｍｍ以上で１０ｍｍ以下である液状物質供給器を提供するものである。
【００３０】
このように構成した液状物質供給器においては、異物などによって傷が付いても液漏れ難く、安定に液状物質を供給することができる。
【００３１】
本願請求項８は、請求項１ないし請求項７のいずれかにおいて、前記液体吐出口は、０．２ｍｍないし３ｍｍの範囲の直径を有する液状物質供給器を提供するものである。
【００３２】
このように構成した液状物質供給器においては、液体吐出口の直径がこのような範囲にあるので、吐出する液状物質の量を高精度かつ安定に制御することができる。
【００３３】
本願請求項９は、請求項１ないし請求項８のいずれかにおいて、前記ポペット部を駆動するバルブ部材駆動機構を備え、該バルブ部材駆動機構は駆動部とこの駆動部によって僅かずつ前進又は後退して前記ポペット部が高い精度で液状物質の供給を調整できるようにする移動ブロック部とを具備するマイクロメータ機構からなる液状物質供給器を提供するものである。
【００３４】
このように構成した液状物質供給器においては、バルブ部材の動作を極めて微細に調整できるので、吐出する液状物質の量をより高精度に制御することができる。
【００３５】
本願請求項１０は、請求項１１ないし請求項８のいずれかにおいて、前記バルブ部材駆動機構はマイクロメータ機構からなり、０．０１ｍｍ以下の分解能で前記ポペット部の動作又は動作範囲を調整できる液状物質供給器を提供するものである。
【００３６】
このように構成した液状物質供給器においては、バルブ部材の動作をきわめて微細に調整できるので、吐出する液状物質の量をより高精度に制御することができる。
【００３７】
【本発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施例に係る液状物質供給器の構造を説明するための断面図である。図１において、図４に示した記号と同一の記号は相当する部材を示すものとする。この液状物質供給器１００が図４に示した従来の液状物質供給器４００と異なる主な点は、ボディ１の長手方向における円錐状テーパー面５の反対側に２次側流路６を有し、ボディ１と一体的に形成され、液体吐出口６ｃをもつ筒状突出部１ａを備えることと、バルブ部材３のポペット部３ａが円錐形状をしており、ボディ１の円錐状テーパー面５と対面する面が同一傾斜のテーパー面ｔｓになっていることと、バルブ部材駆動機構４を用いて直接バルブ部材３と円錐状テーパー面５との間の間隔を制御していることの３点であり、図４に示した部材と同じ部材については説明を省略する。
【００３８】
円錐状テーパー面５の底位置からボディ１を真っ直ぐに延びる２次側流路６の一部分を分担するように、円錐状テーパー面５とは反対側のボディ１面から突出する筒状突出部１ａが備えられる。この筒状突出部１ａは、ボディ１と一体成形され、超高分子ポリエチレン材料からなる。筒状突出部１ａは、図１に示すように、実際の使い勝手の良さなどからボディ１本体の外径よりもかなり小さいが、吐出停止時の液状物質の回り込みがないように先端部が細く加工されていれば、外径や長さが制限されるものではない。このような構造にしたことにより、従来に比べて吐出された液状物質中に気泡が混入する量を少なくすることができ、またボディ１に傷が付き難くなる。
【００３９】
このバルブ部材３のポペット部３ａはフッ素樹脂からなって、円錐形状に形成されており、その円錐形状の最大半径は、１ｍｍ以上で１０ｍｍ以下の大きさである。ポペット部３ａの円錐形状のテーパー面ｔｓは、ボディ１の円錐状テーパー面５によって形成される円錐形状の凹所Ｘに位置し、テーパー面ｔｓとボディ１の円錐状テーパー面５との間の距離がバルブ部材駆動機構４によって高精度に制御される。このようにすることにより、ボディ１の円錐状のテーパー面５と当接する面積が従来のものに比べて格段に大きくなり、溶剤や溶剤の入った有機色素溶液などからなる液状物質の中に硬い異物が混入したことにより、ポペット部３ａの円錐形状のテーパー面ｔｓとボディ１の円錐形状のテーパー面５に傷が付いたとしても、液状物質が短期間で漏れるようなことはない。
【００４０】
２次側流路６の長さは、筒状突出部１ａの分も含めて５０ｍｍ以下であって、ボディ１に形成された２次側流路６の半径は０．２ｍｍ以上で３ｍｍ以下の範囲にあることが好ましい。ボディ本体部の外径よりも外径の小さな筒状突出部１ａはボディ１と一体的に形成されており、その液体吐出口６ｃは、図示していないが、前記範囲内でボディ１中の２次側流路６の径以下であってもよい。液体吐出口６ｃがこのような直径による断面積を持つので、粘度が０．３〜３０ｃＰの有機溶剤又は有機溶剤を溶媒とする溶液を、０．０５ｍｌ／秒以上で安定に吐出することができるが、前記範囲外では安定に液状物質の供給、供給停止を行うことができなくなる。
【００４１】
さらに、この実施例ではバルブ部材駆動機構４を用い、直接的にバルブ部材３を微量ずつ前進又は後退させて、ポペット部３ａの円錐形状のテーパー面ｔｓと円錐形状のテーパー面５との間隔を制御し、液状物質の吐出量を高精度で制御する。バルブ部材駆動機構４として、高精度の微量変位量の位置出しやその調整を確実、かつ安定的に行えるエアマイクロメータ機構を用いている。このマイクロメータ機構は０．０１ｍｍ以下の分解能でバルブ部材３の動作を微調整することができる。
【００４２】
バルブ部材駆動機構４の駆動部４ａは、図示しない制御部からの制御信号に基づいて制御される空気圧により、移動ブロック部４ｂを高い精度で微量ずつ前進又は後退させることができ、これによりバルブ部材３のポペット部３ａを高精度で微量変位させることができるようにしたものである。このように、バルブ部材駆動機構４によって直接的にバルブ部材３のポペット部３ａを高精度で微量調整できるので、液状物質の吐出量を精密に調整でき、また再現性の確保が容易である。
【００４３】
なお、バルブ部材駆動機構４を従来装置のようにバルブ部材動作範囲設定機構４’と同じ使い方をしても、勿論よい。
【００４４】
また、この実施例ではポペット部３ａの円錐形状のテーパー面ｔｓが、１次側流路２がボディ１の円錐状のテーパー面５まで延びる位置にかかるように、つまり円錐状のテーパー面５に対向する箇所に１次側流路２が形成されているから、ポペット部３ａの円錐形状のテーパー面ｔｓは１次側流路２と２次側流路６を直接開閉することになる。したがって、その応答性が早いだけでなく、安定して開閉、つまり液体物質の供給、供給停止を行うことができる。
【００４５】
次に、図２により本発明に係る液状物質供給器の他の一実施例を説明する。この実施例が図１に示した第１の実施例と主に異なる点は、１次側流路１がボディ１に形成されたテーパー面５まで延びる位置がポペット部３ａから外れていることと、ボディ１の筒状突出部１ａに液体吐出口８ａを有するニードル８が固定されていることと、気室Ｓの気圧を調整することによってバルブ部材３の動作を調整することの３点である。
【００４６】
ニードル８は、ボディ１の底面及び筒状突出部１ａに接着剤などで密接に固定されている。ニードル８の液体吐出口８ａはボディ１中の２次側流路６の半径以下であり、その半径は０．２ｍｍ以上で３ｍｍ以下の範囲にある。また、ニードル８の液体吐出口８ａを含む２次側流路６の長さは５０ｍｍ以下である。
【００４７】
この実施例では、従来の液状物質供給器４００と同じく、バルブ部材動作範囲設定機構４’を用い、バルブ部材３の制御は気室Ｓに空気を供給する気体供給量調整弁９と気体排気量調整弁１０とで行っている。気体排気量調整弁１０を閉じ、気体供給量調整弁９を開くことにより、気室Ｓ内の気圧が高くなるので、ポペット部３ａは押し下げられ、ポペット部３ａのテーパー面ｔｓと円錐状テーパー面５との間隔が狭まり、ニードル８の液体吐出口８ａから吐出される液状物質の量は少なくなる。他方、気体排気量調整弁１０を開き、気体供給量調整弁９を閉じることにより、気室Ｓ内の気圧が下がるので、ポペット部３ａは板バネ部３ｂの働きで上がるので、ポペット部３ａのテーパー面ｔｓと円錐状テーパー面５との間隔が広くなり、ニードル８の液体吐出口８ａから吐出される液状物質の量は多くなる。
【００４８】
この実施例でもポペット部３ａのテーパー面は従来のものに比べて面積がかなり大きくなっており、しかも１次側流路２がボディ１に形成されたテーパー面５に交わる位置がポペット部３ａから外れているので、硬い異物が液状物質に含まれていても１次側流路１がテーパー面５に交わる箇所に傷が付き難く、寿命を大幅に向上させることができる。また、任意の直径の液体吐出口をもつニードルを用意しておくことにより、種々の用途に対応することができる。
【００４９】
なお、この実施例でもバルブ部材動作範囲設定機構４’として０．０１ｍｍ以下の分解能を有するマイクロメータ機構を用いることにより、バルブ部材３の動作ストローク、つまり動作範囲を高い精度で調整することができる。
【００５０】
次に、図３により第３の実施例の液状物質供給器３００について説明する。この実施例では、１次側流路１がボディ１に形成されたテーパー面５に交わる位置がポペット部３ａの円錐形状のテーパー面ｔｓにかかる位置にあることと、従来のものと同様に気室Ｓの気圧を制御せずに、液状物質の供給路に液状物質供給量調整弁１１を設けてその供給量を変え、ポペット部３ａを上下に動かすこととが図２のものとは異なる。
【００５１】
この実施例では、ポペット部３ａの円錐形状のテーパー面ｔｓが１次側流路１と２次側流路とを直接開閉するので、応答性が頗る良好である。
【００５２】
本発明に係る液状物質供給器は以上述べたような特徴を有するので、コンパクトディスクやＤＶＤなどの追記型光ディスクに記録膜となる有機色素層を形成するとき、有機溶剤を溶媒とする色素液をディスク上に所定量だけ正確に吐出するのに有効であり、また、ＤＶＤなどの光ディスクの貼り合せ工程で接着層を形成する際に、１０００ｃＰ以下の粘度を有する紫外線硬化型の接着剤をディスク上に高い精度で所定量吐出するのに有効である。
【００５３】
また、本発明に係る液状物質供給器は、コンパクトディスクやＤＶＤなどの光ディスク、あるいはＭＯやＭＤのような光磁気ディスクのデータ読み取り面の保護を目的とするハードコート層を形成する際、１０００ｃＰ以下の粘度を有する紫外線硬化型の液状物質をディスク上に高い精度で所定量吐出するのに有効である。さらに、コンパクトディスクやＤＶＤのような光ディスクのエッジに付着した液状物質を除去する洗浄工程において、洗浄液である１０００ｃＰ以下の粘度を有する有機溶剤を繰り返し高い精度で所定量吐出するのにも有効である。
【００５４】
なお、以上の実施例では好ましい構造について述べたが、前記それぞれのテーパー面は支障ない程度に同一方向に弧状になっていても、前述と同様な効果が得られる。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、従来構造のように２次側通路に空気が漏れて入ることが無いから、吐出される液状物質中に気泡が含まれることが無くなり、また液状物質の吐出停止時の切れが良くなる。また、直接ポペット部を調整しているので、液状物質の吐出量を高い精度で調整することができる。
【００５６】
本発明の請求項４によれば、前記ボディの前記テーパー面と前記ポペット部の前記円錐形状のテーパー面の当接面積は広く、密接に接触する構造となっているので、液状物質に異物が混入していた場合に、それらのテーパー面に傷が付いたとしても、漏れる程度まで傷がつくまでには長期間がかかるので、大幅に寿命が長くなる。また、液状物質の吐出停止時の切れも向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液状物質供給器の一実施例を説明するための図である。
【図２】本発明に係る液状物質供給器の他の一実施例を説明するための図である。
【図３】本発明に係る液状物質供給器の他の一実施例を説明するための図である。
【図４】従来の液状物質供給器の一例を説明するための図である。
【符号の説明】
１…ボディ
１ａ…ボディ１の筒状突出部
２…２次側流路
３…バルブ部材
３ａ…ポペット部
３ｂ…板バネ部
４…バルブ部材駆動機構
４ａ…駆動部
４ｂ…移動ブロック部
４’…バルブ部材動作範囲設定機構
５…ボディ１のテーパー面
６…２次側流路
６ａ…液体吐出口
８…ニードル
８ａ…ニードル８の液体吐出口
９…気体供給量調整弁
１０…気体排気量調整弁
１１…液状物質流量調整弁
Ｘ…ボディ１の円錐形状の凹所
ｔｓ…ポペット部３ａのテーパー面
Ｓ…気室

Claims

円錐状のテーパー面によって形成される凹所と外部からその凹所まで延びる１次側流路と前記凹所の底部から液体吐出口まで延びる２次側流路とを有するボディと、前記凹所を通って前記１次側流路から２次側流路へ流れる液状物質の流量を制御するポペット部をもつバルブ部材とを備える液状物質供給器において、
前記ボディはその長手方向において前記テーパー面とは反対側にあって、前記２次側流路が前記液体吐出口まで延びる一体成形された筒状突出部を有し、
該筒状突出部の前記液体吐出口から前記液状物質が吐出されることを特徴とする液状物質供給器。
請求１において、
前記筒状突出部に形成された前記液体吐出口は、前記ボディに形成された前記２次側流路の直径と同等以下であることを特徴とする液状物質供給器。
請求１において、
前記筒状突出部には、前記ボディに形成された前記２次側流路の直径と同等以下の直径の液体吐出口を備えるニードルが固定されていることを特徴とする液状物質供給器。
円錐状のテーパー面によって形成される凹所と外部からその凹所まで延びる１次側流路と前記凹所の底部から外部まで延びる２次側流路とを有するボディと、前記凹所を通って前記１次側流路から２次側流路へ流れる液状物質の流量を制御するポペット部をもつバルブ部材とを備える液状物質供給器において、
前記ポペット部は、前記ボディの円錐形状の前記テーパー面と同じ形状と傾斜とを具備するテーパー面を備え、
前記ボディの前記テーパー面と前記ポペット部の前記テーパー面とは密接し得るように構成されていることを特徴とする液状物質供給器。
請求項１ないし請求項４のいずれかにおいて、
前記１次側流路が前記ボディの前記テーパー面まで延びる位置は、前記ポペット部の円錐形状のテーパー面と対向する箇所にあり、その円錐形状のテーパー面が直接前記１次側流路を閉じることができるようにしたことを特徴とする液状物質供給器。
請求項１ないし請求項５のいずれかにおいて、
前記ボディは超高分子ポリエチレン樹脂からなり、前記ポペット部はフッ素樹脂からなることを特徴とする液状物質供給器。
請求項１ないし請求項６のいずれかにおいて、
前記ポペット部の円錐形状部分の最大半径が１ｍｍ以上で１０ｍｍ以下であることを特徴とする液状物質供給器。
請求項１ないし請求項７のいずれかにおいて、
前記液体吐出口は、０．２ｍｍないし３ｍｍの範囲の直径を有することを特徴とする液状物質供給器。
請求項１ないし請求項８のいずれかにおいて、
前記ポペット部を駆動するバルブ部材駆動機構を備え、該バルブ部材駆動機構は駆動部とこの駆動部によって僅かずつ前進又は後退して前記ポペット部が高い精度で液状物質の供給を調整できるようにする移動ブロック部とを具備するマイクロメータ機構からなることを特徴とする液状物質供給器。
請求項１ないし請求項８のいずれかにおいて、
０．０１ｍｍ以下の分解能で前記ポペット部の動作又は動作範囲を調整できるマイクロメータ機構からなるバルブ部材駆動機構を具備することを特徴とする液状物質供給器。