JP2004273982A - 薄膜トランジスタシートの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】煩雑なフォトリソ工程によらず、簡単なプロセスにより、画素電極の有効面積を大きくすることができ、かつ薄膜トランジスタパネルの解像度を高めることができる薄膜トランジスタシートの製造方法を得ることにある。
【解決手段】複数の薄膜トランジスタ素子からなる薄膜トランジスタシートの製造方法において、半導体層上にソース電極およびソースバスラインパターンに基づくパターニングを感光層を用いて行い、ソース電極およびソースバスラインを電極材料の溶液、分散液またはペーストを用いて形成後、その部位を絶縁性層で覆い、更にドレイン電極を同様に形成した後、それに連結する画素電極を形成することを特徴とする薄膜トランジスタシートの製造方法。
【選択図】 なし
【解決手段】複数の薄膜トランジスタ素子からなる薄膜トランジスタシートの製造方法において、半導体層上にソース電極およびソースバスラインパターンに基づくパターニングを感光層を用いて行い、ソース電極およびソースバスラインを電極材料の溶液、分散液またはペーストを用いて形成後、その部位を絶縁性層で覆い、更にドレイン電極を同様に形成した後、それに連結する画素電極を形成することを特徴とする薄膜トランジスタシートの製造方法。
【選択図】 なし
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜トランジスタシートの製造方法に関するものであり、より詳しくは、簡単なプロセスにより、画素電極の有効面積画大きく、解像度の高い薄膜トランジスタシートの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
情報端末の普及に伴い、コンピュータ用のディスプレイとしてフラットパネルディスプレイに対するニーズが高まっている。またさらに情報化の進展に伴い、従来紙媒体で提供されていた情報が電子化されて提供される機会が増え、薄くて軽い、手軽に持ち運びが可能なモバイル用表示媒体として、電子ペーパーあるいはデジタルペーパーへのニーズも高まりつつある。
【０００３】
一般に平板型のディスプレイ装置においては液晶、有機ＥＬ、電気泳動などを利用した素子を用いて表示媒体を形成している。またこうした表示媒体では画面輝度の均一性や画面書き換え速度などを確保するために、画像駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）により構成されたアクティブ駆動素子を用いる技術が主流になっている。
【０００４】
ここで薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子は、通常、ガラス基板上に、主にａ−Ｓｉ（アモルファスシリコン）、ｐ−Ｓｉ（ポリシリコン）などの半導体薄膜や、ソース、ドレイン、ゲート電極などの金属薄膜を基板上に順次形成していくことで製造される。
【０００５】
従来は、基板上にバスラインや電極パターン、半導体層を形成するために、フォトリソグラフィ技術で回路形状にパターニングするのが一般的である。フォトリソグラフィ技術とは、パターニングしたい薄膜上に感光性レジストを塗布し、フォトマスクを介して露光、現像した後、露出した薄膜部分をドライエッチングあるいはウエットエッチングする方法である。通常その後に、レジストを剥離し、さらなる材料を成膜してからフォトリソグラフィ工程が繰り返される。
【０００６】
また、ＴＦＴパネルの解像度を高め、画素電極（出力電極）の有効面積を大きくするためには、ＴＦＴ素子をより微細化する必要があり、したがって高精度のフォトマスクを使用したフォトリソグラフ工程が必須となる。コストとＴＦＴ素子の微細化は相反してしまう。
【０００７】
このＴＦＴ素子を用いるフラットパネルディスプレイの製造においては、また、通常ＣＶＤ、スパッタリングなどの真空系設備や高温処理工程を要する薄膜形成工程も必要とされ、設備コスト、ランニングコストの負荷が非常に大きい。近年のディスプレイの大画面化のニーズに伴い、それらのコストは非常に膨大なものとなっている。
【０００８】
近年、従来のＴＦＴ素子のデメリットを補う技術として、有機半導体材料を用いた有機ＴＦＴ素子の研究開発が盛んに進められている（特許文献１、非特許文献１等参照）。この有機ＴＦＴ素子は低温プロセスで製造可能であるため、軽く、割れにくい樹脂基板を用いることができ、さらに、樹脂フィルムを支持体として用いたフレキシブルなディスプレイが実現できると言われている。また、大気圧下で、印刷や塗布などのウェットプロセスで有機半導体材料膜を製造でき、生産性に優れ、非常に低コストのディスプレイが実現できる。しかしながら、ソースバスラインやゲートライン等、電極のパターニングについては、非真空系、低温プロセスなどのメリットを謳った有機ＴＦＴの技術においても、従来のＴＦＴ製造方法と同じく解決されていない問題であり、依然として煩雑なフォトリソグラフ工程が必須であった。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１０−１９０００１号公報
【００１０】
【非特許文献１】
Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ誌 ２００２年 第２号 ９９頁（レビュー）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来の煩雑なフォトリソ工程によらず、簡単なプロセスにより、画素電極の有効面積を大きくすることができ、かつ薄膜トランジスタパネルの解像度を高めることができる薄膜トランジスタシートの製造方法を得ることにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記目的は、以下の手段により達成される。
【００１３】
１．支持体上に、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層、ソース電極およびドレイン電極が順次形成された薄膜トランジスタが、ゲートバスラインおよびソースバスラインを介して、複数個、連結された薄膜トランジスタシートの製造方法において、半導体層上に形成された感光層にソース電極およびソースバスラインパターンに基づくパターニングを行い、感光層を除去した後、ソース電極およびソースバスラインを、電極材料の溶液、分散液またはペーストを用いて、感光層の除去部に形成後、その部位を絶縁性層で覆い、次にドレイン電極を、電極材料の溶液、分散液またはペーストを用いて、前記感光層の除去部に形成し、それに連結する画素電極を形成することを特徴とする薄膜トランジスタシートの製造方法。
【００１４】
２．支持体上に、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層、ソース電極およびドレイン電極が順次形成された薄膜トランジスタが、ゲートバスラインおよびソースバスラインを介して、複数個、連結された薄膜トランジスタシートの製造方法において、半導体層上に順次形成された感光層、電極材料反撥層にソース電極およびソースバスラインパターンに基づくパターニングを行い、電極材料反撥層および感光層を除去した後、ソース電極およびソースバスラインを、電極材料の溶液、分散液またはペーストを用いて、電極材料反撥層および感光層の除去部に形成した後、その部位を感光層からなる絶縁層で覆い、該感光層上に電極材料反撥層を形成した後、ドレイン電極パターンに従い、電極材料反撥層および前記感光層を除去した後に、電極材料反撥層および感光層の除去部分に、電極材料の溶液または分散液またはペーストを用いて、ドレイン電極を形成し、その後、画素電極を形成すべき部位において、前記絶縁層および感光層上に形成された電極材料反撥層を、画素電極パターンに従って除き、全面に電極材料溶液を適用して、前記ドレイン電極に連結するように、画素電極を形成することを特徴とする前記１に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
【００１５】
３．半導体層が有機半導体材料から成ることを特徴とする前記１または２に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
【００１６】
４．半導体層がインクジェットで形成されることを特徴とする前記１〜３のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
【００１７】
５．ソースバスライン、ソース電極、ドレイン電極、画素電極の少なくとも一つの形成に、インクジェットまたはレーザー露光を用いることを特徴とする前記１〜４のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
【００１８】
６．前記１〜５のいずれか１項に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする薄膜トランジスタシート。
【００１９】
７．樹脂基板を用いたことを特徴とする前記６に記載の薄膜トランジスタシート。
【００２０】
以下本発明を詳細に説明する。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて本発明の実施形態について述べる。
【００２２】
図１は、有機薄膜トランジスタ素子が複数配置された有機薄膜トランジスタシート１１の１例の概略の等価回路図である。
【００２３】
有機薄膜トランジスタシート（ＴＦＴシートともいう）１１はマトリクス配置された多数の有機薄膜トランジスタ素子１４を有する。１２は各有機薄膜トランジスタ素子１４のゲート電極のゲートバスラインであり、１３は各有機薄膜トランジスタ素子１４のソース電極のソースバスラインである。各有機薄膜トランジスタ素子１４のドレイン電極には、出力素子１６が接続され、この出力素子１６は例えば液晶、電気泳動素子等であり、表示装置における画素を構成する。図示の例では、出力素子１６として液晶が、抵抗とコンデンサからなる等価回路で示されている。１５は蓄積コンデンサ、１７は垂直駆動回路、１８は水平駆動回路である。
【００２４】
図２には、各画素単位の等価回路を示した。Ｇ、Ｓ、Ｄはそれぞれ有機薄膜トランジスタ素子のゲート、ソース、ドレイン電極であり、Ｃｓは液晶その他表示媒体に印加する電界を保持するための容量コンデンサであり、ドレイン電極に画素電極が接続した構成となっている。
【００２５】
図３には、前記等価回路に対応した、ＴＦＴシートの各画素単位で形成される液晶表示素子を駆動する有機薄膜トランジスタ素子の基本的な構成の一例を示した。
【００２６】
基板Ｂ上に形成された、ゲート電極及びゲートバスラインＧ、ゲート絶縁層ＧＩ、有機半導体膜Ｐ、ソースバスラインＳ及びドレイン電極Ｄ等からなる有機薄膜トランジスタ、ドレイン電極に接続し絶縁層Ｉを介してソース電極と重なった表示電極Ｈ等の模式的な図であり、図３（ａ）がその断面図を、（ｂ）、（ｃ）は該ＴＦＴシートをシート上面から見た図であり、各部のパターンが分かるように、図３（ｂ）は、ゲート電極及びゲートバスラインＧとこれに直交するソースバスラインＳ、有機半導体膜Ｐ等、薄膜トランジスタを構成する各単位を画素電極を除いて示したものであり、図３（ｃ）が画素電極Ｈをドレイン電極と接続して素子上に形成したところを示している。前記図３（ａ）は、図３（ｂ）、（ｃ）においてＬ−Ｌ′に沿って切断したときの断面図になる。
【００２７】
以下、図４及び５は、本発明のＴＦＴシートの基本的な作製プロセスを示す図である。図３（ａ）と同様の断面図を用いて説明する。
【００２８】
図４（１）は、ＴＦＴシート用の基板として、例えばＰＥＴ或いはセルロースエステル等のプラスチックフィルムを支持体１上に、ハードコート層、酸化ケイ素膜からなる下引き層２を設けたものである。
【００２９】
基板上（下引き層２上）に、光感応性樹脂層を塗布し、半導体レーザーでゲート電極及びゲートバスラインのパターンを露光し、アルカリ水溶液で現像を行い、レジスト像を得る。
【００３０】
その上に、スパッタ法等により、例えば厚さ３００ｎｍのアルミニウム皮膜を一面に成膜した後、溶剤等で上記光感応性樹脂層の残存部を除去することで、ゲート電極及びゲートバスライン１０を作製し、次いで、ゲート電極及びゲートバスライン１０上に陽極酸化皮膜１９を作製する。陽極酸化膜は蒸気封孔処理する（図４の（２））。
【００３１】
さらに、酸化珪素層からなるゲート絶縁層９を、例えば、大気圧プラズマ法を用いて設ける（図４の（３））。
【００３２】
次いで、ゲート絶縁層９の上に、ペンタセン等の有機半導体材料のクロロホルム溶液を、インクジェット法等を用いて、チャネルを形成すべき領域に吐出し、乾燥して、厚さ５０ｎｍ程度の有機半導体薄膜６を形成する。有機半導体薄膜の形成は、例えば、後述する種々の有機半導体材料を用いることが出来るが、Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ誌 １９９９年 第６号、ｐ４８０〜４８３に記載の様に、前駆体が溶媒に可溶であるものを用いて、これを熱処理することで作製してもよい。有機半導体薄膜の厚みは通常１０〜３００ｎｍの範囲で形成される。
【００３３】
この有機半導体層６の上に、よく乾燥させた、厚さ１μｍ前後のポリビニルアルコール等からなる有機半導体保護層３を形成する（図４の（５））。
【００３４】
次いで、押し出しコーター等で、感光層として赤外線吸収性材料を含有するアブレーション層塗布組成物を塗布し、乾燥し厚さ０．５μｍ前後の感光層（アブレーション層）７を形成する（図５の（６））。
【００３５】
次に、前記感光層（アブレーション層）上に、溶剤塗布によって、厚さ０．５μｍ程度の電極材料反撥層８を形成する（図４の（７））。
【００３６】
この電極材料反撥層は、シリコーンゴム層、またはシランカップリング剤、チタネートカップリング剤などを用いて、感光層表面に電極材料への反発性を付与する層であり、感光層上に電極材料反撥層を塗設し、感光層に露光または現像を行うことにより、感光層と組み合わせてパターニングを行える。感光層としてはアブレーション層、また光重合性感光材料等が好ましい。
【００３７】
この電極材料反撥層と電極材料を組み合わせることで、簡単なプロセスで電極材料のパターニングが行える。
【００３８】
次に、形成した感光層及び電極材料反撥層に、半導体レーザー等でソース電極、ソースバスラインのパターンを露光し（図４の（８））、次いで露光部の電極材料反撥層（シリコーンゴム層）をブラシ処理で除去する（図４の（９））。感光層とシリコーンゴム層との接着性が露光により変化するので、ブラシ処理で簡単にシリコーンゴム層を除去することが出来る。
【００３９】
さらに水でよく洗浄し露光部の感光層及びポリビニルアルコール等の保護層も溶解して除去することで、有機半導体薄膜６が露出する（図５の（１））。
【００４０】
電極パターンが形成された面に、電極材料、例えばポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）の水分散液（バイエル製 ＢａｙｔｒｏｎＰ）をロールコーター等で塗布すると、シリコーンゴム層が除去された電極パターン部分のみに分散液が付着する。これを（１００℃で）乾燥させる。
【００４１】
さらに、特開平１１−８０６４７号公報に示された方法で作製した平均粒子径８ｎｍの銀微粒子の分散物等を、基板上にロールコーターで供給すると、やはりシリコーンゴム層が除去された電極パターン部分のみに同様に分散物が付着する。これを乾燥するとソース電極及びソースバスライン５のパターンが形成される（図５の（２））。なお、電極は、ポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）から成る厚さ５ｎｍ〜５０ｎｍの層、Ａｇ微粒子の融着層は厚さ５０〜５００ｎｍの範囲で積層するのが好ましい。
【００４２】
次に、感光層（アブレーション層）の組成液を、供給し、乾燥し、さらに電極材料反撥層塗布液（シリコーンゴム層）を同様に供給し、乾燥、固化させると、ソース電極パターン（ソースバスライン）部分が再度封止され、全面に電極材料反撥層（シリコーンゴム層）が形成する（図５の（３））。
【００４３】
次いで、半導体レーザーによりドレイン電極パターン露光（図５の（４））、前記同様に、露光部のシリコーンゴム層（電極材料反撥層）をブラシ処理で除去、さらに水洗浄により、同じく露光部の感光層及びポリビニルアルコールの保護層を除去するといったソース電極及びソースバスライン形成の工程を繰り返すことで、ドレイン電極パターンを形成し、次いで電極パターンが形成された面に、電極材料、例えばポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）の水分散液（バイエル製 Ｂａｙｔｒｏｎ Ｐ）、次いで、銀微粒子の分散物等を用いて、それぞれ基板上にロールコーターで供給、乾燥すると、電極材料反撥層が除去された部分に、ソース電極５同様、ドレイン電極４が形成される（図５の（５））。
【００４４】
次に、画素電極が形成されるよう、シリコーンゴム層（電極材料反撥層）残部を再度画素電極パターンに従って露光し（図５の（６））、露光部からシリコーンゴム層を除去し（図５の（７））、続いて市販の銀ペーストまたは特開平１１−８０６４７号公報に示された方法で作製した平均粒子径８ｎｍの銀微粒子の分散物（ハイドロゾル）等を、シートの表面に供給し、乾燥し、熱処理（１５０℃で１５分）すると、画素電極が形成される（図５の（８））。
【００４５】
ここでも、電極材料反撥層が電極材料分散液（ペースト）をはじくので、これの除去された部分（画素電極パターン部分）にのみ電極材料が付着するので簡単にパターニングが出来る。
【００４６】
以上の如く、本発明に従えば、電極材料反撥層を用いることにより、簡単に電極材料のパターニングが可能であり、簡単なプロセスで、ソース、ドレイン電極、更に画素電極を順次塗布の繰り返しによって容易にパターン化出来、薄膜トランジスタ素子を用いた回路を有する液晶駆動素子等が多数配置された、複雑な構成のＴＦＴシートを生産性よく作製することが出来る。
【００４７】
次に、本発明に係わるＴＦＴシートを構成する各材料について、更に詳しく説明する。
【００４８】
電極材料を効率よくパターニングする電極材料反撥層としては、電極材料と反発する性能を有する層であればどのようなものを用いても構わないが、特開平９−２９２７０３号公報、特開平９−３１９０７５号公報、特開平１０−２４４７７３号公報、特公昭５４−２６９２３号公報、特公昭５６−２３１５０号公報、特公昭６１−６１４号公報、特開平８−８２９２１号公報、特開平１０−３１９５７９号公報、特開２０００−２７５８２４号公報、特開２０００−３３０２６８号公報、特開２００１−２０１８４９号公報、特開２００１−２４９４４５号公報、特開２００１−３２４８００号公報、特開２００２−２２９１８９号公報、特開平４−３２４８６５号公報、特開平５−５３３１８号公報、特開平５−２５７２６９号公報、特開平６−８９０２３号公報、特開平７−１９９４５４号公報、特開平８−３２８２４０号公報、特開平９−６２００１号公報、特開平９−１２０１５７号公報、特開平１１−３０８５２号公報、特開２００１−１８８３３９号公報、特開２００１−３４３７４１号公報、特開２００２−１３１８９４号公報、特開２００２−２６８２１６号公報に記載されるいわゆる水なし平板のインキ反発性層等を用いることができ、より好ましくはシリコーンゴム層を用いることができる。またはシランカップリング剤、チタネートカップリング剤などを用いて、感光層表面に電極材料への反発性を付与することもできる。
【００４９】
本発明において、感光層及び電極材料反撥層のパターニング方法は、感光層に露光及び現像を行うことにより、電極材料反撥層にパターニングを行うことができるものであればどのようなものを用いても構わない。感光層については、例えば前述の水なし平板の技術に用いられるパターニング方法で用いられる感光層を用いることができる。好ましくは、アブレーション層である。
【００５０】
アブレーション層とは、高密度エネルギー光の照射によりアブレートし、電極材料反発性層とアブレーション層の下層との接着性が変化する絶縁性の層をいう。ここで言うアブレートとは、物理的或いは化学的変化によりアブレーション層が完全に飛散する、一部が破壊される或いは飛散する、支持体の界面又は導電性ポリマー層の界面近傍のみに物理的或いは化学的変化が起こるという現象を含み、アブレートの結果、電極材料反発性層と下層間の接着性が変化する現象を利用するものである。
【００５１】
アブレーション層は、エネルギー光吸収剤、バインダー樹脂および必要に応じて添加される各種添加剤から構成することができる。
【００５２】
エネルギー光吸収剤は、照射するエネルギー光を吸収する各種の有機および無機材料が使用可能であり、たとえばレーザー光源を赤外線レーザーとした場合、赤外線を吸収する顔料、色素、金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属ホウ化物、グラファイト、カーボンブラック、チタンブラック、Ａｌ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ等を主成分とするメタル磁性粉末等の強磁性金属粉末などを用いることができ、中でも、カーボンブラック、シアニン系などの色素、Ｆｅ系強磁性金属粉末が好ましい。エネルギー光吸収剤の含有量は、アブレーション層形成成分の３０〜９５質量％程度、好ましくは４０〜８０質量％である。
【００５３】
アブレーション層のバインダー樹脂は、前記色材微粒子を十分に保持できるものであれば、特に制限無く用いることができる。
【００５４】
このようなバインダー樹脂としては、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリビニルアセタール系樹脂、セルロース系樹脂、アクリル系樹脂、フェノキシ樹脂、ポリカーボネート、ポリアミド系樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂などを挙げることができる。バインダー樹脂の含有量は、アブレーション層形成成分５〜７０質量％程度、好ましくは２０〜６０質量％である。
【００５５】
アブレーション層は、隣接する電極材料反発性層や下層との接着性を向上させるために、架橋剤や重合材料を含有させ、硬化させてもよい。また、いわゆるヒートモードの水なし平版印刷版の感光層に使用される材料を利用することができる。
【００５６】
高密度エネルギー光は、アブレートを発生させる活性光であれば特に制限はなく用いることができる。露光方法としては、キセノンランプ、ハロゲンランプ、水銀ランプなどによるフラッシュ露光を、フォトマスクを介して行ってもよいし、レーザー光等を収束させ走査露光を行っても良い。レーザー１ビーム当たりの出力は２０〜２００ｍＷである赤外線レーザー、特に半導体レーザーが最も好ましく用いられる。エネルギー密度としては、好ましくは５０〜５００ｍＪ／ｃｍ２、更に好ましくは１００〜３００ｍＪ／ｃｍ２である。
【００５７】
他の感光層としては、光感応性樹脂層を好ましく用いることができ、ポジ型、ネガ型の公知の材料を用いることができる。このような光感応性樹脂材料として、（１）特開平１１−２７１９６９号、特開２００１−１１７２１９、特開平１１−３１１８５９号、同１１−３５２６９１号のような色素増感型の光重合感光材料、（２）特開平９−１７９２９２号、米国特許第５，３４０，６９９号、特開平１０−９０８８５号、特開２０００−３２１７８０、同２００１−１５４３７４のような赤外線レーザに感光性を有するネガ型感光材料、（３）特開平９−１７１２５４号、同５−１１５１４４号、同１０−８７７３３号、同９−４３８４７号、同１０−２６８５１２号、同１１−１９４５０４号、同１１−２２３９３６号、同１１−８４６５７号、同１１−１７４６８１号、同７−２８５２７５号、特開２０００−５６４５２、ＷＯ９７／３９８９４、同９８／４２５０７のような赤外線レーザに感光性を有するポジ型感光材料が挙げられる。工程が暗所に限定されない点で、好ましいのは（２）と（３）である。
【００５８】
光感応性樹脂の塗布溶液を形成する溶媒としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、トリクロロエチレン、メチルエチルケトン等が挙げられる。これら溶媒は、単独であるいは２種以上混合して使用する。
【００５９】
感光層を形成する方法としては、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法などの塗布による方法が用いられる。
【００６０】
感光層にパターニング露光を行う光源としては、レーザが好ましく、例えば、Ａｒレーザ、半導体レーザ、Ｈｅ−Ｎｅレーザ、ＹＡＧレーザ、炭酸ガスレーザ等が挙げられ、好ましくは赤外に発振波長があるもので、半導体レーザである。出力は５０ｍＷ以上が適当であり、好ましくは１００ｍＷ以上である。これにより、精度よくパターニングを行うことができる。
【００６１】
本発明では感光層に露光及び現像を行うことにより、電極材料反撥層にパターニングを行うのであるが、具体的には、感光層に露光が行われることにより、感光層と電極材料反撥層との接着性が変化し、この状態で電極材料反撥層にブラッシング等による現像を行うことにより電極材料反撥層にパターニングを形成するというものである。
【００６２】
本発明の電気回路の製造方法では、パターニングを行った電極材料反撥層に電極材料を供給して電極パターンを形成する。有機薄膜トランジスタ素子においては、パターニングを行った電極材料反撥層に電極材料を供給してソース電極、ドレイン電極を形成する。
【００６３】
本発明の電気回路、有機薄膜トランジスタ素子の製造方法において、電極、ソース電極、ドレイン電極を形成する電極材料は、電極材料反撥層と反発する材料であればどのような材料を用いても構わないが、導電性材料を含む、溶液、ペースト、インク、液状分散物を用いることができる。導電性材料としては、導電性ポリマーや金属微粒子などを好適に用いることができる。また、溶媒や分散媒体としては、有機半導体へのダメージを抑制するため、水を６０％以上、好ましくは９０％以上含有する溶媒または分散媒体であることが好ましい。
【００６４】
金属微粒子を含有する分散物としては、たとえば公知の導電性ペーストなどを用いても良いが、好ましくは、粒子径が１〜５０ｎｍ、好ましくは１〜１０ｎｍの金属微粒子を含有する分散物である。金属微粒子の材料としては白金、金、銀、ニッケル、クロム、銅、鉄、錫、アンチモン鉛、タンタル、インジウム、パラジウム、テルル、レニウム、イリジウム、アルミニウム、ルテニウム、ゲルマニウム、モリブデン、タングステン、亜鉛等を用いることができる。
【００６５】
これらの金属からなる微粒子を、主に有機材料からなる分散安定剤を用いて、水や任意の有機溶剤である分散媒中に分散した分散物を用いて電極を形成するのが好ましい。
【００６６】
このような金属微粒子の分散物の製造方法として、ガス中蒸発法、スパッタリング法、金属蒸気合成法などの物理的生成法や、コロイド法、共沈法などの、液相で金属イオンを還元して金属微粒子を生成する化学的生成法が挙げられるが、好ましくは、特開平１１−７６８００号、同１１−８０６４７号、同１１−３１９５３８号、特開２０００−２３９８５３等に示されたコロイド法、特開２００１−２５４１８５、同２００１−５３０２８、同２００１−３５２５５、同２０００−１２４１５７、同２０００−１２３６３４などに記載されたガス中蒸発法により製造された金属微粒子の分散物である。これらの金属微粒子分散物を用いて電極を成形し、溶媒を乾燥させた後、必要に応じて１００〜３００℃、好ましくは１５０〜２００℃の範囲で形状様に加熱することにより、金属微粒子を熱融着させ、目的の形状を有する電極パターンを形成するものである。
【００６７】
さらに、ソース電極、ドレイン電極としては、ドーピング等で導電率を向上させた公知の導電性ポリマーの分散物から形成した電極を用いることも好ましく、例えば導電性ポリアニリン、導電性ポリピロール、導電性ポリチオフェン、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸の錯体なども好適に用いられる。これによりソース電極またはドレイン電極との障壁を低減することができる。
【００６８】
本発明において、電極材料の供給方法は、電極材料が電極材料反撥層に反発して電極パターンを形成するのであれば、どのような方法を用いてもよいが、特開平１０−１８０９８７号公報の図１や、特開平９−１９３３５７号公報に開示されるような公知の印刷装置を改良して用いることで、電極材料が電極材料反撥層に反発して均等に精度よく電極パターンを形成することができるので好ましい。
【００６９】
本発明のＴＦＴシートの製造方法により製造される有機薄膜トランジスタ素子は、有機半導体層に接して有機半導体保護層を有していることが好ましい。有機半導体層に接して有機半導体保護層を設けることにより、有機半導体層の空気による劣化や、製造時に用いる塗布溶媒等による劣化等を抑えてトランジスタとしての特性の低下を抑えることができる。さらに、有機半導体保護層を設けることにより、折れ曲がり等による耐久性も向上し、これによりトランジスタとしての特性の低下を抑えることができる。
【００７０】
有機半導体保護層としては、有機半導体トランジスタ素子の製造過程や製造後に、有機半導体層へ影響を与えず、かつその上に感光層等を形成する場合は、その塗布工程で影響を受けない材料を用いる。さらに感光層のパターニング時にも影響を受けない材料が好ましい。そのような材料として、好ましくは、親水性ポリマーを含有する材料である。親水性ポリマーは、水、または酸性水溶液、アルカリ性水溶液、アルコール水溶液、各種の界面活性剤の水溶液、アルコール系溶媒に対して、溶解性または分散性を有するポリマーである。たとえばポリビニルアルコールや、ＨＥＭＡ、アクリル酸、アクリルアミドなどの成分からなるホモポリマー、コポリマーを好適に用いることができる。またその他の材料として、無機酸化物、無機窒化物を含有する材料も、有機半導体への影響を与えず、その他塗布工程での影響を与えないので好ましい。
【００７１】
本発明においては、無機酸化物又は無機窒化物を含有する有機半導体保護層は、後述するゲート絶縁層と同様な材料、プロセスにより形成できるが、大気圧プラズマ法で形成されるのが好ましい。
【００７２】
大気圧下でのプラズマ法での製膜の形成方法は、大気圧または大気圧近傍の圧力下で放電し、反応性ガスをプラズマ励起し、基材上に薄膜を形成する処理で、その方法については特開平１１−６１４０６、同１１−１３３２０５、特開２０００−１２１８０４、同２０００−１４７２０９、同２０００−１８５３６２等に記載されている（以下、大気圧プラズマ法とも称する）。これによって高機能性の薄膜を、生産性高く形成することができる。
【００７３】
本発明のＴＦＴシートの製造方法においては、有機半導体層に有機半導体保護層を形成し、更に、前記感光層、電極材料反撥層を形成し、パターン露光して、電極材料反撥層、前記感光層及び有機半導体保護層を除去し、有機半導体部分に接するようにソース電極を形成し、更に、前記感光層、電極材料反撥層を再度ソース電極（ソースライン）上に適用して、これを絶縁すると同時に全面を再度電極材料反撥層で覆う。次に、ソース電極、ソースライン形成と同様にして、ドレイン電極を形成する。即ち、パターン露光、電極材料反撥層、そして感光層、また有機半導体保護層がある場合、その保護層を水洗によりよく除去し、前記電極材料ペースト等を塗布等により全面に塗布供給し、電極材料反撥層のない部分にこれを適用して、乾燥、熱処理により有機半導体層に接してドレイン電極を形成する。
【００７４】
更に、画素電極は、残っている電極材料反撥層の上からレーザーにより、画素電極パターン露光を行って、露光部分から、絶縁層としての感光層を残し（形成される画素電極とソース電極やソースラインが電気的に接触しないように）電極材料反撥層を除去して、その後、再度前記電極材料ペースト等を塗布、供給して電極材料反撥層を除去した部分にパターニングしたのち、乾燥、熱処理により形成する。
【００７５】
本発明に係わるＴＦＴシートにおいては、各種の基板が用いられるが、各有機薄膜トランジスタ素子を形成する際には、有機薄膜トランジスタ素子を構成する各材料薄膜をとの密着性を向上させるため、基板上には、無機酸化物及び無機窒化物から選ばれる化合物を含有する下引き層及びポリマーを含む下引き層の少なくとも一方を有することが好ましい。
【００７６】
下引き層に含有される無機酸化物としては、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタン、酸化スズ、酸化バナジウム、チタン酸バリウムストロンチウム、ジルコニウム酸チタン酸バリウム、ジルコニウム酸チタン酸鉛、チタン酸鉛ランタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、フッ化バリウムマグネシウム，チタン酸ビスマス、チタン酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ニオブ酸ビスマス、トリオキサイドイットリウム等が挙げられる。また無機窒化物としては窒化ケイ素、窒化アルミニウム等が挙げられる。
【００７７】
それらのうち好ましいのは、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタン、窒化ケイ素である。
【００７８】
無機酸化物及び無機窒化物から選ばれる化合物を含有する下引き層は上述した大気圧プラズマ法で形成されるのが好ましい。これによって高機能性の薄膜を、生産性高く形成することができる。
【００７９】
ポリマーを含む下引き層に用いるポリマーとしては、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、セルロース樹脂、アクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、フェノキシ樹脂、ノルボルネン樹脂、エポキシ樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂、酢酸ビニルとビニルアルコールの共重合体、部分加水分解した塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル−アクリロニトリル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリビニルアルコール、塩素化ポリ塩化ビニル、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のビニル系重合体、ポリアミド樹脂、エチレン−ブタジエン樹脂、ブタジエン−アクリロニトリル樹脂等のゴム系樹脂、シリコーン樹脂、フッ素系樹脂等を挙げることができる。
【００８０】
また、無機酸化物及び窒化物から選ばれる化合物を含有する下引き層を用いる場合、特に、紫外線など活性線により硬化する活性線硬化樹脂層であるハードコート層を基板上に形成するのが好ましい。このような紫外線で硬化された樹脂層の上に金属無機酸化物層を形成させることによって均一な層とすることができる。
【００８１】
本発明に係わる有機薄膜トランジスタ素子に用いる有機半導体層の材料としては、π共役系材料が用いられ、例えばポリピロール、ポリ（Ｎ−置換ピロール）、ポリ（３−置換ピロール）、ポリ（３，４−二置換ピロール）などのポリピロール類、ポリチオフェン、ポリ（３−置換チオフェン）、ポリ（３，４−二置換チオフェン）、ポリベンゾチオフェンなどのポリチオフェン類、ポリイソチアナフテンなどのポリイソチアナフテン類、ポリチェニレンビニレンなどのポリチェニレンビニレン類、ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）などのポリ（ｐ−フェニレンビニレン）類、ポリアニリン、ポリ（Ｎ−置換アニリン）、ポリ（３−置換アニリン）、ポリ（２，３−置換アニリン）などのポリアニリン類、ポリアセチレンなどのポリアセチレン類、ポリジアセチレンなどのポリジアセチレン類、ポリアズレンなどのポリアズレン類、ポリピレンなどのポリピレン類、ポリカルバゾール、ポリ（Ｎ−置換カルバゾール）などのポリカルバゾール類、ポリセレノフェンなどのポリセレノフェン類、ポリフラン、ポリベンゾフランなどのポリフラン類、ポリ（ｐ−フェニレン）などのポリ（ｐ−フェニレン）類、ポリインドールなどのポリインドール類、ポリピリダジンなどのポリピリダジン類、ナフタセン、ペンタセン、ヘキサセン、ヘプタセン、ジベンゾペンタセン、テトラベンゾペンタセン、ピレン、ジベンゾピレン、クリセン、ペリレン、コロネン、テリレン、オバレン、クオテリレン、サーカムアントラセンなどのポリアセン類およびポリアセン類の炭素の一部をＮ、Ｓ、Ｏなどの原子、カルボニル基などの官能基に置換した誘導体（トリフェノジオキサジン、トリフェノジチアジン、ヘキサセン−６，１５−キノンなど）、ポリビニルカルバゾール、ポリフエニレンスルフィド、ポリビニレンスルフィドなどのポリマーや特開平１１−１９５７９０に記載された多環縮合体などを用いることができる。
【００８２】
また、これらのポリマーと同じ繰返し単位を有するたとえばチオフェン６量体であるα−セクシチオフェンα，ω−ジヘキシル−α−セクシチオフェン、α，ω−ジヘキシル−α−キンケチオフェン、α，ω−ビス（３−ブトキシプロピル）−α−セクシチオフェン、スチリルベンゼン誘導体などのオリゴマーも好適に用いることができる。
【００８３】
さらに銅フタロシアニンや特開平１１−２５１６０１に記載のフッ素置換銅フタロシアニンなどの金属フタロシアニン類、ナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミド、Ｎ，Ｎ′−ビス（４−トリフルオロメチルベンジル）ナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミドとともに、Ｎ，Ｎ′−ビス（１Ｈ，１Ｈ−ペルフルオロオクチル）、Ｎ，Ｎ′−ビス（１Ｈ，１Ｈ−ペルフルオロブチル）及びＮ，Ｎ′−ジオクチルナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミド誘導体、ナフタレン２，３，６，７テトラカルボン酸ジイミドなどのナフタレンテトラカルボン酸ジイミド類、及びアントラセン２，３，６，７−テトラカルボン酸ジイミドなどのアントラセンテトラカルボン酸ジイミド類などの縮合環テトラカルボン酸ジイミド類、Ｃ６０、Ｃ７０、Ｃ７６、Ｃ７８、Ｃ８４等フラーレン類、ＳＷＮＴなどのカーボンナノチューブ、メロシアニン色素類、ヘミシアニン色素類などの色素などがあげられる。
【００８４】
これらのπ共役系材料のうちでも、チオフェン、ビニレン、チェニレンビニレン、フェニレンビニレン、ｐ−フェニレン、これらの置換体またはこれらの２種以上を繰返し単位とし、かつ該繰返し単位の数ｎが４〜１０であるオリゴマーもしくは該繰返し単位の数ｎが２０以上であるポリマー、ペンタセンなどの縮合多環芳香族化合物、フラーレン類、縮合環テトラカルボン酸ジイミド類、金属フタロシアニンよりなる群から選ばれた少なくとも１種が好ましい。
【００８５】
また、その他の有機半導体材料としては、テトラチアフルバレン（ＴＴＦ）−テトラシアノキノジメタン（ＴＣＮＱ）錯体、ビスエチレンテトラチアフルバレン（ＢＥＤＴＴＴＦ）−過塩素酸錯体、ＢＥＤＴＴＴＦ−ヨウ素錯体、ＴＣＮＱ−ヨウ素錯体、などの有機分子錯体も用いることができる。さらにポリシラン、ポリゲルマンなどのσ共役系ポリマーや特開２０００−２６０９９９に記載の有機・無機混成材料も用いることができる。
【００８６】
本発明においては、有機半導体層に、たとえば、アクリル酸、アセトアミド、ジメチルアミノ基、シアノ基、カルボキシル基、ニトロ基などの官能基を有する材料や、ベンゾキノン誘導体、テトラシアノエチレンおよびテトラシアノキノジメタンやそれらの誘導体などのように電子を受容するアクセプターとなる材料や、たとえばアミノ基、トリフェニル基、アルキル基、水酸基、アルコキシ基、フェニル基などの官能基を有する材料、フェニレンジアミンなどの置換アミン類、アントラセン、ベンゾアントラセン、置換ベンゾアントラセン類、ピレン、置換ピレン、カルバゾールおよびその誘導体、テトラチアフルバレンとその誘導体などのように電子の供与体であるドナーとなるような材料を含有させ、いわゆるドーピング処理を施してもよい。
【００８７】
前記ドーピングとは電子授与性分子（アクセプター）または電子供与性分子（ドナー）をドーパントとして該薄膜に導入することを意味する。従って，ドーピングが施された薄膜は、前記の縮合多環芳香族化合物とドーパントを含有する薄膜である。本発明に用いるドーパントとしては公知のものを採用することができる。
【００８８】
これら有機半導体層の作製法としては、真空蒸着法、分子線エピタキシャル成長法、イオンクラスタービーム法、低エネルギーイオンビーム法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、プラズマ重合法、電解重合法、化学重合法、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法およびＬＢ法等が挙げられ、材料に応じて使用できる。ただし、この中で生産性の点で、有機半導体の溶液を用いて簡単かつ精密に薄膜が形成できるスピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法等が好まれる。
【００８９】
なおＡｄｖａｎｃｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ誌 １９９９年 第６号、ｐ４８０〜４８３に記載の様に、ペンタセン等前駆体が溶媒に可溶であるものは、塗布により形成した前駆体の膜を熱処理して目的とする有機半導体材料の薄膜を形成しても良い。
【００９０】
これら有機半導体からなる薄膜の膜厚としては、特に制限はないが、得られたトランジスタの特性は、有機半導体からなる活性層の膜厚に大きく左右される場合が多く、その膜厚は、有機半導体により異なるが、一般に１μｍ以下、特に１０〜３００ｎｍが好ましい。
【００９１】
本発明に係わる有機薄膜トランジスタ素子において、ゲート電極を形成する材料は導電性材料であれば特に限定されず、白金、金、銀、ニッケル、クロム、銅、鉄、錫、アンチモン鉛、タンタル、インジウム、パラジウム、テルル、レニウム、イリジウム、アルミニウム、ルテニウム、ゲルマニウム、モリブデン、タングステン、酸化スズ・アンチモン、酸化インジウム・スズ（ＩＴＯ）、フッ素ドープ酸化亜鉛、亜鉛、炭素、グラファイト、グラッシーカーボン、銀ペーストおよびカーボンペースト、リチウム、ベリリウム、ナトリウム、マグネシウム、カリウム、カルシウム、スカンジウム、チタン、マンガン、ジルコニウム、ガリウム、ニオブ、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、アルミニウム、マグネシウム／銅混合物、マグネシウム／銀混合物、マグネシウム／アルミニウム混合物、マグネシウム／インジウム混合物、アルミニウム／酸化アルミニウム混合物、リチウム／アルミニウム混合物等が用いられる。また、前述の電極材料を用いることもできる。形成方法としては、真空蒸着法、分子線エピタキシャル成長法、イオンクラスタービーム法、低エネルギーイオンビーム法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、大気圧プラズマ法などのドライプロセスや、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法などの塗布による方法、印刷やインクジェットなどのパターニングによる方法などのウェットプロセスが挙げられ、材料に応じて使用できる。
【００９２】
有機薄膜トランジスタ素子のゲート絶縁層としては種々の絶縁膜を用いることができるが、特に、比誘電率の高い無機酸化物皮膜が好ましい。無機酸化物としては、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタン、酸化スズ、酸化バナジウム、チタン酸バリウムストロンチウム、ジルコニウム酸チタン酸バリウム、ジルコニウム酸チタン酸鉛、チタン酸鉛ランタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、フッ化バリウムマグネシウム、チタン酸ビスマス、チタン酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ニオブ酸ビスマス、トリオキサイドイットリウムなどが挙げられる。それらのうち好ましいのは、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタンである。窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の無機窒化物も好適に用いることができる。
【００９３】
上記皮膜の形成方法としては、真空蒸着法、分子線エピタキシャル成長法、イオンクラスタービーム法、低エネルギーイオンビーム法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、大気圧プラズマ法などのドライプロセスや、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法などの塗布による方法、印刷やインクジェットなどのパターニングによる方法などのウェットプロセスが挙げられ、材料に応じて使用できる。
【００９４】
ウェットプロセスは、無機酸化物の微粒子を、任意の有機溶剤あるいは水に必要に応じて界面活性剤などの分散補助剤を用いて分散した液を塗布、乾燥する方法や、酸化物前駆体、例えばアルコキシド体の溶液を塗布、乾燥する、いわゆるゾルゲル法が用いられる。
【００９５】
これらのうち好ましいのは、上述した大気圧プラズマ法である。
また、ゲート絶縁層がゲート電極を構成する金属の陽極酸化膜又は該陽極酸化膜と絶縁膜とで構成されることも好ましい。陽極酸化膜は封孔処理されることが望ましい。陽極酸化膜は、陽極酸化が可能な金属を公知の方法により陽極酸化することにより形成される。
【００９６】
陽極酸化処理可能な金属としては、アルミニウム又はタンタルを挙げることができ、陽極酸化処理の方法には特に制限はなく、公知の方法を用いることができる。陽極酸化処理を行なうことにより、酸化被膜が形成される。陽極酸化処理に用いられる電解液としては、多孔質酸化皮膜を形成することができるものならばいかなるものでも使用でき、一般には、硫酸、燐酸、蓚酸、クロム酸、ホウ酸、スルファミン酸、ベンゼンスルホン酸等あるいはこれらを２種類以上組み合わせた混酸あるいそれらの塩が用いられる。陽極酸化の処理条件は使用する電解液により種々変化するので一概に特定し得ないが、一般的には、電解液の濃度が１〜８０質量％、電解液の温度５〜７０℃、電流密度０．５〜６０Ａ／ｄｍ２、電圧１〜１００ボルト、電解時間１０秒〜５分の範囲が適当である。好ましい陽極酸化処理は、電解液として硫酸、リン酸又はホウ酸の水溶液を用い、直流電流で処理する方法であるが、交流電流を用いることもできる。これらの酸の濃度は５〜４５質量％であることが好ましく、電解液の温度２０〜５０℃、電流密度０．５〜２０Ａ／ｄｍ２で２０〜２５０秒間電解処理するのが好ましい。
【００９７】
また有機化合物皮膜としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリレート、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、あるいはアクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、およびシアノエチルプルラン等を用いることもできる。
【００９８】
有機化合物皮膜の形成法としては、前記ウェットプロセスが好ましい。
無機酸化物皮膜と有機酸化物皮膜は積層して併用することができる。またこれら絶縁膜の膜厚としては、一般に５０ｎｍ〜３μｍ、好ましくは、１００ｎｍ〜１μｍである。
【００９９】
ゲート絶縁層と有機半導体層の間に、任意の配向処理を施してもよい。シランカップリング剤、たとえばオクタデシルトリクロロシラン、トリクロロメチルシラザンや、アルカン燐酸、アルカンスルホン酸、アルカンカルボン酸などの自己組織化配向膜が好適に用いられる。
【０１００】
本発明において支持体は特に制限なはないが、樹脂材料、例えばプラスチックフィルムシートを好ましく用いることができる。前記プラスチックフィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリイミド、ボリカーボネート（ＰＣ）、セルローストリアセテート（ＴＡＣ）、セルロースアセテートプロピオネート（ＣＡＰ）等からなるフィルム等が挙げられる。このように、プラスチックフィルムを用いることで、ガラス基板を用いる場合に比べて軽量化を図ることができ、可搬性を高めることができるとともに、衝撃に対する耐性を向上できる。
【０１０１】
また本発明のＴＦＴシートにおいて、有機薄膜トランジスタ素子上には素子保護層を設けることも可能である。保護層としては前述した無機酸化物又は無機窒化物等が挙げられ、上述した大気圧プラズマ法で形成するのが好ましい。これにより、有機薄膜トランジスタ素子の耐久性が向上する。
【０１０２】
本発明に係わるＴＦＴシートは、フレキシブルな樹脂支持体上に有機ＴＦＴ素子を２次元的に配列したシートであり、支持体とＴＦＴ構成層との接着性が高く、機械的強度に優れて支持体の曲がりにも強い耐性を持たせることができる。
【０１０３】
【実施例】
以下、実施例により本発明を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０４】
実施例１
〈支持体１の作製〉（図４の（１））
テトラメトキシシラン３．０４ｇ（２０ｍｍｏｌ）と、塩化メチレン１．５２ｇと、エタノール１．５２ｇとを混合した後、０．５％硝酸水溶液を０．７２ｇ加えて加水分解を行い、室温でそのまま１時間攪拌を続けた。
【０１０５】
エタノール５．３ｇと酢酸メチル６０．９ｇの混合溶媒にジアセチルセルロース（ダイセル化学製、Ｌ５０）を溶解させた後、テトラメトキシシランを加水分解した前記の溶液と混合し、さらに１時間攪拌を行った後、ゴムベルト上にギャップ巾８００μｍのドクターブレードで成膜した。ベルトを搬送させながら、得られたフィルムを１２０℃で３０分間乾燥させ、厚さ２００μｍの支持体１を作製した。動的粘弾性の測定から得られたＴｇは２２６℃であった。
【０１０６】
支持体１の表面に５０Ｗ／ｍ２／ｍｉｎの条件でコロナ放電処理を施し、下記組成の塗布液を乾燥膜厚２μｍになるように塗布し、９０℃で５分間乾燥した後、６０Ｗ／ｃｍの高圧水銀灯下１０ｃｍの距離から４秒間硬化させた。
【０１０７】
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート単量体 ６０ｇ
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート２量体 ２０ｇ
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート３量体以上の成分 ２０ｇ
ジエトキシベンゾフェノンＵＶ開始剤 ２ｇ
シリコーン系界面活性剤 １ｇ
メチルエチルケトン ７５ｇ
メチルプロピレングリコール ７５ｇ
さらにその層の上に下記条件で連続的に大気圧プラズマ処理して厚さ５０ｎｍの酸化ケイ素膜を設け、これらの層を下引き層２とした。
【０１０８】
（使用ガス）
不活性ガス：ヘリウム９８．２５体積％
反応性ガス：酸素ガス１．５体積％
反応性ガス：テトラエトキシシラン蒸気（アルゴンガスにてバブリング）０．２５体積％
（放電条件）
放電出力：１０Ｗ／ｃｍ２
（電極条件）
電極は、冷却水による冷却手段を有するステンレス製ジャケットロール母材に対して、セラミック溶射によるアルミナを１ｍｍ被覆し、その後、テトラメトキシシランを酢酸エチルで希釈した溶液を塗布乾燥後、紫外線照射により封孔処理を行い、表面を平滑にしてＲｍａｘ５μｍとした誘電体（比誘電率１０）を有するロール電極であり、アースされている。一方、印加電極としては、中空の角型のステンレスパイプに対し、上記同様の誘電体を同条件にて被覆した。
【０１０９】
作製した下引き層２を形成した支持体１に以下の工程を施していき、有機薄膜トランジスタ素子を作製した。
【０１１０】
〈ゲート電極形成工程〉（図４の（２））
支持体１上に形成されたの下引き層２上に、下記組成の光感応性樹脂１を塗布し、１００℃にて１分間乾燥させることで、厚さ２μｍの光感応性樹脂層を形成した。
【０１１１】
【０１１２】
【化１】
【０１１３】
発振波長８３０ｎｍ、出力１００ｍＷの半導体レーザーで２００ｍＪ／ｃｍ２のエネルギー密度でゲートラインおよびゲート電極のパターンを露光した後、アルカリ水溶液で現像し、レジスト像を得た。
【０１１４】
さらにその上に、スパッタ法により、厚さ３００ｎｍのアルミニウム皮膜を一面に成膜した後、ＭＥＫで上記光感応性樹脂層の残存部を除去することで、ゲートラインおよびゲート電極１０を作製した。
【０１１５】
〈陽極酸化皮膜形成工程〉（図４の（２））
以上のフィルム基板をよく洗浄した後、３０質量％硫酸水溶液中で、２分間、３０Ｖの低電圧電源から供給される直流を用いて、陽極酸化皮膜の厚さが１２０ｎｍになるように陽極酸化皮膜１９を作製した。よく洗浄した後に、１気圧、１００℃の飽和した蒸気チャンバーの中で、蒸気封孔処理を施した。
【０１１６】
〈ゲート絶縁層形成工程〉（図４の（３））
さらにフィルム温度２００℃にて、上述した大気圧プラズマ法の使用ガスを下記に変更し、厚さ３０ｎｍの酸化チタン層であるゲート絶縁層９を設けた。
【０１１７】
（使用ガス）
不活性ガス：ヘリウム９８．９体積％
反応性ガス：酸素ガス０．８体積％
反応性ガス：テトラエトキシシランン蒸気（１５０℃に加熱した液体にアルゴンガスをバブリング）０．３体積％
〈有機半導体層形成工程〉（図４の（４））
次に、ゲート絶縁層９の上に、下記化合物Ｃのクロロホルム溶液を、ピエゾ方式のインクジェット法を用いて、チャネルを形成すべき領域に吐出し、窒素ガス中で、５０℃で３分乾燥し、２００℃で１０分の熱処理を行ったところ、厚さ５０ｎｍのペンタセン薄膜である有機半導体層６を形成した。
【０１１８】
【化２】
【０１１９】
〈有機半導体保護層形成工程〉（図４の（５））
この有機半導体層６の上に、十分に精製を行ったポリビニルアルコールを超純粋製造装置で精製された水に溶解した水溶液を用いて塗設し、窒素ガス雰囲気中１００℃にて、よく乾燥させ、厚さ１μｍのポリビニルアルコールの有機半導体保護層３を形成した。
【０１２０】
〈感光層形成工程〉（図４の（６））
下記の組成物Ａ、Ｂをサンドミルを用いて別々に混練分散して、次いで前記Ａ液、Ｂ液及びポリイソシアネート化合物〔同前〕を質量比で１００：２．３９：０．３７に混合し、ディゾルバーで撹拌して塗工液を調製した。
【０１２１】
該塗工液を、超音波分散後、エクストルージョン方式の押し出しコーターで塗布し、乾燥し、窒素ガス雰囲気中１００℃５分で熱処理し、厚さ０．５μｍの感光層７を形成した。
【０１２２】
〈電極材料反撥層形成工程〉（図４の（７））
感光層上に下記組成物２をアイソパーＥ（イソパラフィン系炭化水素、エクソン化学（株）製）単独溶媒で固形分濃度１０．３質量％に希釈した液体を塗設し、厚さ０．５μｍのシリコーンゴム層の電極材料反撥層８を形成した。
【０１２３】
〈感光層露光工程及び現像工程〉（図４の（８）、（９））
発振波長８３０ｎｍ、出力１００ｍＷの半導体レーザーで３００ｍＪ／ｃｍ２のエネルギー密度でソース電極、ドレイン電極（画素電極）の電極パターンを露光した後、露光部のシリコーンゴム層をブラシ処理で除去した。
【０１２４】
〈有機半導体保護層除去工程〉（図５の（１））
さらに水でよく洗浄すると、露光部の感光層及びポリビニルアルコールの保護層が除去された。
【０１２５】
〈ソース電極形成工程〉（図５の（２））
電極パターンが形成された面に、ポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）の水分散液（バイエル製 Ｂａｙｔｒｏｎ Ｐ）をロールコーターで供給すると、シリコーンゴム層が除去された電極パターン部分のみに分散液が付着した。これを１００℃で乾燥させた。
【０１２６】
さらに、特開平１１−８０６４７号公報に示された方法で作製した平均粒子径８ｎｍの銀微粒子の分散物を、基板上にロールコーターで供給すると、シリコーンゴム層が除去された電極パターン部分のみに分散物が付着した。これを乾燥し、２００℃で１５分加熱処理したところ、良好なソース電極及びソースバスラインパターンが形成された。なお、電極は、ポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）から成る厚さ２０ｎｍの層の上に、厚さ３００ｎｍのＡｇ微粒子の融着層が積層されている。
【０１２７】
〈ソース電極再封止工程〉（図５の（３））
ソース電極及びソースバスラインパターンが形成されたのち、次に、ソース電極及びソースバスライン形成に用いたものと同じ前記感光層を供給し、乾燥し、さらに電極材料反撥層（シリコーンゴム層）塗布液を同様に供給し、乾燥、固化させると、全面に電極材料反撥層（シリコーンゴム層）が形成した。これによりソース電極パターン（ソースバスライン）部分が再度封止された。
【０１２８】
〈ドレイン電極形成工程〉（図５の（４）、（５））
次いで、半導体レーザーによりドレイン電極パターン露光（図５の（４））、前記同様に、露光部のシリコーンゴム層（電極材料反撥層）をブラシ処理で除去し、さらに水洗浄により、同じく露光部の感光層及びポリビニルアルコールの保護層を除去するといったソース電極及びソースバスライン形成の工程を繰り返すことで、有機半導体層に達する、ドレイン電極パターンを形成した後、ソース電極と同様に、電極材料、ポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）の水分散液（バイエル製 Ｂａｙｔｒｏｎ Ｐ）、次いで、銀微粒子の分散物を、それぞれロールコーターで供給、乾燥すると、ソース電極５同様にドレイン電極パターンに対応してドレイン電極が形成された。
【０１２９】
〈画素電極形成工程〉（図５の（６）、（７）、（８））
次に、画素電極が形成されるよう、シリコーンゴム層（電極材料反撥層）残部を再度画素電極パターンに従って露光し（図５の（６））、露光部からシリコーンゴム層をブラシ処理により除去し、続いて、前記ソース、ドレイン電極と同様、市販の銀ペースト（銀微粒子の分散物（ハイドロゾル））を、シートの表面に供給し、乾燥し、熱処理（１５０℃で１５分）すると、電極材料反撥層が除かれた部分に画素電極２０が形成された。
【０１３０】
このようにして作成したＴＦＴ（薄膜トランジスタ）シートは、マトリクス状に画素が配置され、液晶表示素子等のディスプレイの駆動に用いることができる。本発明は、従来の煩雑なフォトリソ工程によらず、微少な画素、配線パターンを形成出来るので、簡単な方法で画素電極の有効面積を大きくすることができ、かつ解像度の高いＴＦＴシートを得ることができる。
【０１３１】
【発明の効果】
本発明により、従来の煩雑なフォトリソグラフ工程によらず、簡単な方法で、画素電極の有効面積を大きくすることができ、かつＴＦＴパネルの解像度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】有機薄膜トランジスタ素子が複数配置されたＴＦＴシートの１例の概略の等価回路図である。
【図２】各画素単位の等価回路を示す図である。
【図３】ＴＦＴシートの各画素単位で形成される有機薄膜トランジスタ素子の基本的な構成の一例を示す図である。
【図４】本発明のＴＦＴシートの基本的な作製プロセスを示す図である。
【図５】本発明のＴＦＴシートの基本的な作製プロセスを示す図である。
【符号の説明】
１ 支持体
２ 下引き層
３ 有機半導体保護層
４ ドレイン電極
５ ソース電極及びソースバスライン
６ 有機半導体層
７ 感光層
８ 電極材料反撥層
９ ゲート絶縁層
１０ ゲート電極及びゲートバスライン
１１ 有機薄膜トランジスタシート
１２ ゲートバスライン
１３ ソースバスライン
１４ 有機薄膜トランジスタ素子
１５ 蓄積コンデンサ
１６ 出力素子
１７ 垂直駆動回路
１８ 水平駆動回路
１９ 陽極酸化皮膜
２０ 画素電極
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜トランジスタシートの製造方法に関するものであり、より詳しくは、簡単なプロセスにより、画素電極の有効面積画大きく、解像度の高い薄膜トランジスタシートの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
情報端末の普及に伴い、コンピュータ用のディスプレイとしてフラットパネルディスプレイに対するニーズが高まっている。またさらに情報化の進展に伴い、従来紙媒体で提供されていた情報が電子化されて提供される機会が増え、薄くて軽い、手軽に持ち運びが可能なモバイル用表示媒体として、電子ペーパーあるいはデジタルペーパーへのニーズも高まりつつある。
【０００３】
一般に平板型のディスプレイ装置においては液晶、有機ＥＬ、電気泳動などを利用した素子を用いて表示媒体を形成している。またこうした表示媒体では画面輝度の均一性や画面書き換え速度などを確保するために、画像駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）により構成されたアクティブ駆動素子を用いる技術が主流になっている。
【０００４】
ここで薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子は、通常、ガラス基板上に、主にａ−Ｓｉ（アモルファスシリコン）、ｐ−Ｓｉ（ポリシリコン）などの半導体薄膜や、ソース、ドレイン、ゲート電極などの金属薄膜を基板上に順次形成していくことで製造される。
【０００５】
従来は、基板上にバスラインや電極パターン、半導体層を形成するために、フォトリソグラフィ技術で回路形状にパターニングするのが一般的である。フォトリソグラフィ技術とは、パターニングしたい薄膜上に感光性レジストを塗布し、フォトマスクを介して露光、現像した後、露出した薄膜部分をドライエッチングあるいはウエットエッチングする方法である。通常その後に、レジストを剥離し、さらなる材料を成膜してからフォトリソグラフィ工程が繰り返される。
【０００６】
また、ＴＦＴパネルの解像度を高め、画素電極（出力電極）の有効面積を大きくするためには、ＴＦＴ素子をより微細化する必要があり、したがって高精度のフォトマスクを使用したフォトリソグラフ工程が必須となる。コストとＴＦＴ素子の微細化は相反してしまう。
【０００７】
このＴＦＴ素子を用いるフラットパネルディスプレイの製造においては、また、通常ＣＶＤ、スパッタリングなどの真空系設備や高温処理工程を要する薄膜形成工程も必要とされ、設備コスト、ランニングコストの負荷が非常に大きい。近年のディスプレイの大画面化のニーズに伴い、それらのコストは非常に膨大なものとなっている。
【０００８】
近年、従来のＴＦＴ素子のデメリットを補う技術として、有機半導体材料を用いた有機ＴＦＴ素子の研究開発が盛んに進められている（特許文献１、非特許文献１等参照）。この有機ＴＦＴ素子は低温プロセスで製造可能であるため、軽く、割れにくい樹脂基板を用いることができ、さらに、樹脂フィルムを支持体として用いたフレキシブルなディスプレイが実現できると言われている。また、大気圧下で、印刷や塗布などのウェットプロセスで有機半導体材料膜を製造でき、生産性に優れ、非常に低コストのディスプレイが実現できる。しかしながら、ソースバスラインやゲートライン等、電極のパターニングについては、非真空系、低温プロセスなどのメリットを謳った有機ＴＦＴの技術においても、従来のＴＦＴ製造方法と同じく解決されていない問題であり、依然として煩雑なフォトリソグラフ工程が必須であった。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１０−１９０００１号公報
【００１０】
【非特許文献１】
Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ誌 ２００２年 第２号 ９９頁（レビュー）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来の煩雑なフォトリソ工程によらず、簡単なプロセスにより、画素電極の有効面積を大きくすることができ、かつ薄膜トランジスタパネルの解像度を高めることができる薄膜トランジスタシートの製造方法を得ることにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記目的は、以下の手段により達成される。
【００１３】
１．支持体上に、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層、ソース電極およびドレイン電極が順次形成された薄膜トランジスタが、ゲートバスラインおよびソースバスラインを介して、複数個、連結された薄膜トランジスタシートの製造方法において、半導体層上に形成された感光層にソース電極およびソースバスラインパターンに基づくパターニングを行い、感光層を除去した後、ソース電極およびソースバスラインを、電極材料の溶液、分散液またはペーストを用いて、感光層の除去部に形成後、その部位を絶縁性層で覆い、次にドレイン電極を、電極材料の溶液、分散液またはペーストを用いて、前記感光層の除去部に形成し、それに連結する画素電極を形成することを特徴とする薄膜トランジスタシートの製造方法。
【００１４】
２．支持体上に、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層、ソース電極およびドレイン電極が順次形成された薄膜トランジスタが、ゲートバスラインおよびソースバスラインを介して、複数個、連結された薄膜トランジスタシートの製造方法において、半導体層上に順次形成された感光層、電極材料反撥層にソース電極およびソースバスラインパターンに基づくパターニングを行い、電極材料反撥層および感光層を除去した後、ソース電極およびソースバスラインを、電極材料の溶液、分散液またはペーストを用いて、電極材料反撥層および感光層の除去部に形成した後、その部位を感光層からなる絶縁層で覆い、該感光層上に電極材料反撥層を形成した後、ドレイン電極パターンに従い、電極材料反撥層および前記感光層を除去した後に、電極材料反撥層および感光層の除去部分に、電極材料の溶液または分散液またはペーストを用いて、ドレイン電極を形成し、その後、画素電極を形成すべき部位において、前記絶縁層および感光層上に形成された電極材料反撥層を、画素電極パターンに従って除き、全面に電極材料溶液を適用して、前記ドレイン電極に連結するように、画素電極を形成することを特徴とする前記１に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
【００１５】
３．半導体層が有機半導体材料から成ることを特徴とする前記１または２に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
【００１６】
４．半導体層がインクジェットで形成されることを特徴とする前記１〜３のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
【００１７】
５．ソースバスライン、ソース電極、ドレイン電極、画素電極の少なくとも一つの形成に、インクジェットまたはレーザー露光を用いることを特徴とする前記１〜４のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
【００１８】
６．前記１〜５のいずれか１項に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする薄膜トランジスタシート。
【００１９】
７．樹脂基板を用いたことを特徴とする前記６に記載の薄膜トランジスタシート。
【００２０】
以下本発明を詳細に説明する。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて本発明の実施形態について述べる。
【００２２】
図１は、有機薄膜トランジスタ素子が複数配置された有機薄膜トランジスタシート１１の１例の概略の等価回路図である。
【００２３】
有機薄膜トランジスタシート（ＴＦＴシートともいう）１１はマトリクス配置された多数の有機薄膜トランジスタ素子１４を有する。１２は各有機薄膜トランジスタ素子１４のゲート電極のゲートバスラインであり、１３は各有機薄膜トランジスタ素子１４のソース電極のソースバスラインである。各有機薄膜トランジスタ素子１４のドレイン電極には、出力素子１６が接続され、この出力素子１６は例えば液晶、電気泳動素子等であり、表示装置における画素を構成する。図示の例では、出力素子１６として液晶が、抵抗とコンデンサからなる等価回路で示されている。１５は蓄積コンデンサ、１７は垂直駆動回路、１８は水平駆動回路である。
【００２４】
図２には、各画素単位の等価回路を示した。Ｇ、Ｓ、Ｄはそれぞれ有機薄膜トランジスタ素子のゲート、ソース、ドレイン電極であり、Ｃｓは液晶その他表示媒体に印加する電界を保持するための容量コンデンサであり、ドレイン電極に画素電極が接続した構成となっている。
【００２５】
図３には、前記等価回路に対応した、ＴＦＴシートの各画素単位で形成される液晶表示素子を駆動する有機薄膜トランジスタ素子の基本的な構成の一例を示した。
【００２６】
基板Ｂ上に形成された、ゲート電極及びゲートバスラインＧ、ゲート絶縁層ＧＩ、有機半導体膜Ｐ、ソースバスラインＳ及びドレイン電極Ｄ等からなる有機薄膜トランジスタ、ドレイン電極に接続し絶縁層Ｉを介してソース電極と重なった表示電極Ｈ等の模式的な図であり、図３（ａ）がその断面図を、（ｂ）、（ｃ）は該ＴＦＴシートをシート上面から見た図であり、各部のパターンが分かるように、図３（ｂ）は、ゲート電極及びゲートバスラインＧとこれに直交するソースバスラインＳ、有機半導体膜Ｐ等、薄膜トランジスタを構成する各単位を画素電極を除いて示したものであり、図３（ｃ）が画素電極Ｈをドレイン電極と接続して素子上に形成したところを示している。前記図３（ａ）は、図３（ｂ）、（ｃ）においてＬ−Ｌ′に沿って切断したときの断面図になる。
【００２７】
以下、図４及び５は、本発明のＴＦＴシートの基本的な作製プロセスを示す図である。図３（ａ）と同様の断面図を用いて説明する。
【００２８】
図４（１）は、ＴＦＴシート用の基板として、例えばＰＥＴ或いはセルロースエステル等のプラスチックフィルムを支持体１上に、ハードコート層、酸化ケイ素膜からなる下引き層２を設けたものである。
【００２９】
基板上（下引き層２上）に、光感応性樹脂層を塗布し、半導体レーザーでゲート電極及びゲートバスラインのパターンを露光し、アルカリ水溶液で現像を行い、レジスト像を得る。
【００３０】
その上に、スパッタ法等により、例えば厚さ３００ｎｍのアルミニウム皮膜を一面に成膜した後、溶剤等で上記光感応性樹脂層の残存部を除去することで、ゲート電極及びゲートバスライン１０を作製し、次いで、ゲート電極及びゲートバスライン１０上に陽極酸化皮膜１９を作製する。陽極酸化膜は蒸気封孔処理する（図４の（２））。
【００３１】
さらに、酸化珪素層からなるゲート絶縁層９を、例えば、大気圧プラズマ法を用いて設ける（図４の（３））。
【００３２】
次いで、ゲート絶縁層９の上に、ペンタセン等の有機半導体材料のクロロホルム溶液を、インクジェット法等を用いて、チャネルを形成すべき領域に吐出し、乾燥して、厚さ５０ｎｍ程度の有機半導体薄膜６を形成する。有機半導体薄膜の形成は、例えば、後述する種々の有機半導体材料を用いることが出来るが、Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ誌 １９９９年 第６号、ｐ４８０〜４８３に記載の様に、前駆体が溶媒に可溶であるものを用いて、これを熱処理することで作製してもよい。有機半導体薄膜の厚みは通常１０〜３００ｎｍの範囲で形成される。
【００３３】
この有機半導体層６の上に、よく乾燥させた、厚さ１μｍ前後のポリビニルアルコール等からなる有機半導体保護層３を形成する（図４の（５））。
【００３４】
次いで、押し出しコーター等で、感光層として赤外線吸収性材料を含有するアブレーション層塗布組成物を塗布し、乾燥し厚さ０．５μｍ前後の感光層（アブレーション層）７を形成する（図５の（６））。
【００３５】
次に、前記感光層（アブレーション層）上に、溶剤塗布によって、厚さ０．５μｍ程度の電極材料反撥層８を形成する（図４の（７））。
【００３６】
この電極材料反撥層は、シリコーンゴム層、またはシランカップリング剤、チタネートカップリング剤などを用いて、感光層表面に電極材料への反発性を付与する層であり、感光層上に電極材料反撥層を塗設し、感光層に露光または現像を行うことにより、感光層と組み合わせてパターニングを行える。感光層としてはアブレーション層、また光重合性感光材料等が好ましい。
【００３７】
この電極材料反撥層と電極材料を組み合わせることで、簡単なプロセスで電極材料のパターニングが行える。
【００３８】
次に、形成した感光層及び電極材料反撥層に、半導体レーザー等でソース電極、ソースバスラインのパターンを露光し（図４の（８））、次いで露光部の電極材料反撥層（シリコーンゴム層）をブラシ処理で除去する（図４の（９））。感光層とシリコーンゴム層との接着性が露光により変化するので、ブラシ処理で簡単にシリコーンゴム層を除去することが出来る。
【００３９】
さらに水でよく洗浄し露光部の感光層及びポリビニルアルコール等の保護層も溶解して除去することで、有機半導体薄膜６が露出する（図５の（１））。
【００４０】
電極パターンが形成された面に、電極材料、例えばポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）の水分散液（バイエル製 ＢａｙｔｒｏｎＰ）をロールコーター等で塗布すると、シリコーンゴム層が除去された電極パターン部分のみに分散液が付着する。これを（１００℃で）乾燥させる。
【００４１】
さらに、特開平１１−８０６４７号公報に示された方法で作製した平均粒子径８ｎｍの銀微粒子の分散物等を、基板上にロールコーターで供給すると、やはりシリコーンゴム層が除去された電極パターン部分のみに同様に分散物が付着する。これを乾燥するとソース電極及びソースバスライン５のパターンが形成される（図５の（２））。なお、電極は、ポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）から成る厚さ５ｎｍ〜５０ｎｍの層、Ａｇ微粒子の融着層は厚さ５０〜５００ｎｍの範囲で積層するのが好ましい。
【００４２】
次に、感光層（アブレーション層）の組成液を、供給し、乾燥し、さらに電極材料反撥層塗布液（シリコーンゴム層）を同様に供給し、乾燥、固化させると、ソース電極パターン（ソースバスライン）部分が再度封止され、全面に電極材料反撥層（シリコーンゴム層）が形成する（図５の（３））。
【００４３】
次いで、半導体レーザーによりドレイン電極パターン露光（図５の（４））、前記同様に、露光部のシリコーンゴム層（電極材料反撥層）をブラシ処理で除去、さらに水洗浄により、同じく露光部の感光層及びポリビニルアルコールの保護層を除去するといったソース電極及びソースバスライン形成の工程を繰り返すことで、ドレイン電極パターンを形成し、次いで電極パターンが形成された面に、電極材料、例えばポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）の水分散液（バイエル製 Ｂａｙｔｒｏｎ Ｐ）、次いで、銀微粒子の分散物等を用いて、それぞれ基板上にロールコーターで供給、乾燥すると、電極材料反撥層が除去された部分に、ソース電極５同様、ドレイン電極４が形成される（図５の（５））。
【００４４】
次に、画素電極が形成されるよう、シリコーンゴム層（電極材料反撥層）残部を再度画素電極パターンに従って露光し（図５の（６））、露光部からシリコーンゴム層を除去し（図５の（７））、続いて市販の銀ペーストまたは特開平１１−８０６４７号公報に示された方法で作製した平均粒子径８ｎｍの銀微粒子の分散物（ハイドロゾル）等を、シートの表面に供給し、乾燥し、熱処理（１５０℃で１５分）すると、画素電極が形成される（図５の（８））。
【００４５】
ここでも、電極材料反撥層が電極材料分散液（ペースト）をはじくので、これの除去された部分（画素電極パターン部分）にのみ電極材料が付着するので簡単にパターニングが出来る。
【００４６】
以上の如く、本発明に従えば、電極材料反撥層を用いることにより、簡単に電極材料のパターニングが可能であり、簡単なプロセスで、ソース、ドレイン電極、更に画素電極を順次塗布の繰り返しによって容易にパターン化出来、薄膜トランジスタ素子を用いた回路を有する液晶駆動素子等が多数配置された、複雑な構成のＴＦＴシートを生産性よく作製することが出来る。
【００４７】
次に、本発明に係わるＴＦＴシートを構成する各材料について、更に詳しく説明する。
【００４８】
電極材料を効率よくパターニングする電極材料反撥層としては、電極材料と反発する性能を有する層であればどのようなものを用いても構わないが、特開平９−２９２７０３号公報、特開平９−３１９０７５号公報、特開平１０−２４４７７３号公報、特公昭５４−２６９２３号公報、特公昭５６−２３１５０号公報、特公昭６１−６１４号公報、特開平８−８２９２１号公報、特開平１０−３１９５７９号公報、特開２０００−２７５８２４号公報、特開２０００−３３０２６８号公報、特開２００１−２０１８４９号公報、特開２００１−２４９４４５号公報、特開２００１−３２４８００号公報、特開２００２−２２９１８９号公報、特開平４−３２４８６５号公報、特開平５−５３３１８号公報、特開平５−２５７２６９号公報、特開平６−８９０２３号公報、特開平７−１９９４５４号公報、特開平８−３２８２４０号公報、特開平９−６２００１号公報、特開平９−１２０１５７号公報、特開平１１−３０８５２号公報、特開２００１−１８８３３９号公報、特開２００１−３４３７４１号公報、特開２００２−１３１８９４号公報、特開２００２−２６８２１６号公報に記載されるいわゆる水なし平板のインキ反発性層等を用いることができ、より好ましくはシリコーンゴム層を用いることができる。またはシランカップリング剤、チタネートカップリング剤などを用いて、感光層表面に電極材料への反発性を付与することもできる。
【００４９】
本発明において、感光層及び電極材料反撥層のパターニング方法は、感光層に露光及び現像を行うことにより、電極材料反撥層にパターニングを行うことができるものであればどのようなものを用いても構わない。感光層については、例えば前述の水なし平板の技術に用いられるパターニング方法で用いられる感光層を用いることができる。好ましくは、アブレーション層である。
【００５０】
アブレーション層とは、高密度エネルギー光の照射によりアブレートし、電極材料反発性層とアブレーション層の下層との接着性が変化する絶縁性の層をいう。ここで言うアブレートとは、物理的或いは化学的変化によりアブレーション層が完全に飛散する、一部が破壊される或いは飛散する、支持体の界面又は導電性ポリマー層の界面近傍のみに物理的或いは化学的変化が起こるという現象を含み、アブレートの結果、電極材料反発性層と下層間の接着性が変化する現象を利用するものである。
【００５１】
アブレーション層は、エネルギー光吸収剤、バインダー樹脂および必要に応じて添加される各種添加剤から構成することができる。
【００５２】
エネルギー光吸収剤は、照射するエネルギー光を吸収する各種の有機および無機材料が使用可能であり、たとえばレーザー光源を赤外線レーザーとした場合、赤外線を吸収する顔料、色素、金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属ホウ化物、グラファイト、カーボンブラック、チタンブラック、Ａｌ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ等を主成分とするメタル磁性粉末等の強磁性金属粉末などを用いることができ、中でも、カーボンブラック、シアニン系などの色素、Ｆｅ系強磁性金属粉末が好ましい。エネルギー光吸収剤の含有量は、アブレーション層形成成分の３０〜９５質量％程度、好ましくは４０〜８０質量％である。
【００５３】
アブレーション層のバインダー樹脂は、前記色材微粒子を十分に保持できるものであれば、特に制限無く用いることができる。
【００５４】
このようなバインダー樹脂としては、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリビニルアセタール系樹脂、セルロース系樹脂、アクリル系樹脂、フェノキシ樹脂、ポリカーボネート、ポリアミド系樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂などを挙げることができる。バインダー樹脂の含有量は、アブレーション層形成成分５〜７０質量％程度、好ましくは２０〜６０質量％である。
【００５５】
アブレーション層は、隣接する電極材料反発性層や下層との接着性を向上させるために、架橋剤や重合材料を含有させ、硬化させてもよい。また、いわゆるヒートモードの水なし平版印刷版の感光層に使用される材料を利用することができる。
【００５６】
高密度エネルギー光は、アブレートを発生させる活性光であれば特に制限はなく用いることができる。露光方法としては、キセノンランプ、ハロゲンランプ、水銀ランプなどによるフラッシュ露光を、フォトマスクを介して行ってもよいし、レーザー光等を収束させ走査露光を行っても良い。レーザー１ビーム当たりの出力は２０〜２００ｍＷである赤外線レーザー、特に半導体レーザーが最も好ましく用いられる。エネルギー密度としては、好ましくは５０〜５００ｍＪ／ｃｍ２、更に好ましくは１００〜３００ｍＪ／ｃｍ２である。
【００５７】
他の感光層としては、光感応性樹脂層を好ましく用いることができ、ポジ型、ネガ型の公知の材料を用いることができる。このような光感応性樹脂材料として、（１）特開平１１−２７１９６９号、特開２００１−１１７２１９、特開平１１−３１１８５９号、同１１−３５２６９１号のような色素増感型の光重合感光材料、（２）特開平９−１７９２９２号、米国特許第５，３４０，６９９号、特開平１０−９０８８５号、特開２０００−３２１７８０、同２００１−１５４３７４のような赤外線レーザに感光性を有するネガ型感光材料、（３）特開平９−１７１２５４号、同５−１１５１４４号、同１０−８７７３３号、同９−４３８４７号、同１０−２６８５１２号、同１１−１９４５０４号、同１１−２２３９３６号、同１１−８４６５７号、同１１−１７４６８１号、同７−２８５２７５号、特開２０００−５６４５２、ＷＯ９７／３９８９４、同９８／４２５０７のような赤外線レーザに感光性を有するポジ型感光材料が挙げられる。工程が暗所に限定されない点で、好ましいのは（２）と（３）である。
【００５８】
光感応性樹脂の塗布溶液を形成する溶媒としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、トリクロロエチレン、メチルエチルケトン等が挙げられる。これら溶媒は、単独であるいは２種以上混合して使用する。
【００５９】
感光層を形成する方法としては、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法などの塗布による方法が用いられる。
【００６０】
感光層にパターニング露光を行う光源としては、レーザが好ましく、例えば、Ａｒレーザ、半導体レーザ、Ｈｅ−Ｎｅレーザ、ＹＡＧレーザ、炭酸ガスレーザ等が挙げられ、好ましくは赤外に発振波長があるもので、半導体レーザである。出力は５０ｍＷ以上が適当であり、好ましくは１００ｍＷ以上である。これにより、精度よくパターニングを行うことができる。
【００６１】
本発明では感光層に露光及び現像を行うことにより、電極材料反撥層にパターニングを行うのであるが、具体的には、感光層に露光が行われることにより、感光層と電極材料反撥層との接着性が変化し、この状態で電極材料反撥層にブラッシング等による現像を行うことにより電極材料反撥層にパターニングを形成するというものである。
【００６２】
本発明の電気回路の製造方法では、パターニングを行った電極材料反撥層に電極材料を供給して電極パターンを形成する。有機薄膜トランジスタ素子においては、パターニングを行った電極材料反撥層に電極材料を供給してソース電極、ドレイン電極を形成する。
【００６３】
本発明の電気回路、有機薄膜トランジスタ素子の製造方法において、電極、ソース電極、ドレイン電極を形成する電極材料は、電極材料反撥層と反発する材料であればどのような材料を用いても構わないが、導電性材料を含む、溶液、ペースト、インク、液状分散物を用いることができる。導電性材料としては、導電性ポリマーや金属微粒子などを好適に用いることができる。また、溶媒や分散媒体としては、有機半導体へのダメージを抑制するため、水を６０％以上、好ましくは９０％以上含有する溶媒または分散媒体であることが好ましい。
【００６４】
金属微粒子を含有する分散物としては、たとえば公知の導電性ペーストなどを用いても良いが、好ましくは、粒子径が１〜５０ｎｍ、好ましくは１〜１０ｎｍの金属微粒子を含有する分散物である。金属微粒子の材料としては白金、金、銀、ニッケル、クロム、銅、鉄、錫、アンチモン鉛、タンタル、インジウム、パラジウム、テルル、レニウム、イリジウム、アルミニウム、ルテニウム、ゲルマニウム、モリブデン、タングステン、亜鉛等を用いることができる。
【００６５】
これらの金属からなる微粒子を、主に有機材料からなる分散安定剤を用いて、水や任意の有機溶剤である分散媒中に分散した分散物を用いて電極を形成するのが好ましい。
【００６６】
このような金属微粒子の分散物の製造方法として、ガス中蒸発法、スパッタリング法、金属蒸気合成法などの物理的生成法や、コロイド法、共沈法などの、液相で金属イオンを還元して金属微粒子を生成する化学的生成法が挙げられるが、好ましくは、特開平１１−７６８００号、同１１−８０６４７号、同１１−３１９５３８号、特開２０００−２３９８５３等に示されたコロイド法、特開２００１−２５４１８５、同２００１−５３０２８、同２００１−３５２５５、同２０００−１２４１５７、同２０００−１２３６３４などに記載されたガス中蒸発法により製造された金属微粒子の分散物である。これらの金属微粒子分散物を用いて電極を成形し、溶媒を乾燥させた後、必要に応じて１００〜３００℃、好ましくは１５０〜２００℃の範囲で形状様に加熱することにより、金属微粒子を熱融着させ、目的の形状を有する電極パターンを形成するものである。
【００６７】
さらに、ソース電極、ドレイン電極としては、ドーピング等で導電率を向上させた公知の導電性ポリマーの分散物から形成した電極を用いることも好ましく、例えば導電性ポリアニリン、導電性ポリピロール、導電性ポリチオフェン、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸の錯体なども好適に用いられる。これによりソース電極またはドレイン電極との障壁を低減することができる。
【００６８】
本発明において、電極材料の供給方法は、電極材料が電極材料反撥層に反発して電極パターンを形成するのであれば、どのような方法を用いてもよいが、特開平１０−１８０９８７号公報の図１や、特開平９−１９３３５７号公報に開示されるような公知の印刷装置を改良して用いることで、電極材料が電極材料反撥層に反発して均等に精度よく電極パターンを形成することができるので好ましい。
【００６９】
本発明のＴＦＴシートの製造方法により製造される有機薄膜トランジスタ素子は、有機半導体層に接して有機半導体保護層を有していることが好ましい。有機半導体層に接して有機半導体保護層を設けることにより、有機半導体層の空気による劣化や、製造時に用いる塗布溶媒等による劣化等を抑えてトランジスタとしての特性の低下を抑えることができる。さらに、有機半導体保護層を設けることにより、折れ曲がり等による耐久性も向上し、これによりトランジスタとしての特性の低下を抑えることができる。
【００７０】
有機半導体保護層としては、有機半導体トランジスタ素子の製造過程や製造後に、有機半導体層へ影響を与えず、かつその上に感光層等を形成する場合は、その塗布工程で影響を受けない材料を用いる。さらに感光層のパターニング時にも影響を受けない材料が好ましい。そのような材料として、好ましくは、親水性ポリマーを含有する材料である。親水性ポリマーは、水、または酸性水溶液、アルカリ性水溶液、アルコール水溶液、各種の界面活性剤の水溶液、アルコール系溶媒に対して、溶解性または分散性を有するポリマーである。たとえばポリビニルアルコールや、ＨＥＭＡ、アクリル酸、アクリルアミドなどの成分からなるホモポリマー、コポリマーを好適に用いることができる。またその他の材料として、無機酸化物、無機窒化物を含有する材料も、有機半導体への影響を与えず、その他塗布工程での影響を与えないので好ましい。
【００７１】
本発明においては、無機酸化物又は無機窒化物を含有する有機半導体保護層は、後述するゲート絶縁層と同様な材料、プロセスにより形成できるが、大気圧プラズマ法で形成されるのが好ましい。
【００７２】
大気圧下でのプラズマ法での製膜の形成方法は、大気圧または大気圧近傍の圧力下で放電し、反応性ガスをプラズマ励起し、基材上に薄膜を形成する処理で、その方法については特開平１１−６１４０６、同１１−１３３２０５、特開２０００−１２１８０４、同２０００−１４７２０９、同２０００−１８５３６２等に記載されている（以下、大気圧プラズマ法とも称する）。これによって高機能性の薄膜を、生産性高く形成することができる。
【００７３】
本発明のＴＦＴシートの製造方法においては、有機半導体層に有機半導体保護層を形成し、更に、前記感光層、電極材料反撥層を形成し、パターン露光して、電極材料反撥層、前記感光層及び有機半導体保護層を除去し、有機半導体部分に接するようにソース電極を形成し、更に、前記感光層、電極材料反撥層を再度ソース電極（ソースライン）上に適用して、これを絶縁すると同時に全面を再度電極材料反撥層で覆う。次に、ソース電極、ソースライン形成と同様にして、ドレイン電極を形成する。即ち、パターン露光、電極材料反撥層、そして感光層、また有機半導体保護層がある場合、その保護層を水洗によりよく除去し、前記電極材料ペースト等を塗布等により全面に塗布供給し、電極材料反撥層のない部分にこれを適用して、乾燥、熱処理により有機半導体層に接してドレイン電極を形成する。
【００７４】
更に、画素電極は、残っている電極材料反撥層の上からレーザーにより、画素電極パターン露光を行って、露光部分から、絶縁層としての感光層を残し（形成される画素電極とソース電極やソースラインが電気的に接触しないように）電極材料反撥層を除去して、その後、再度前記電極材料ペースト等を塗布、供給して電極材料反撥層を除去した部分にパターニングしたのち、乾燥、熱処理により形成する。
【００７５】
本発明に係わるＴＦＴシートにおいては、各種の基板が用いられるが、各有機薄膜トランジスタ素子を形成する際には、有機薄膜トランジスタ素子を構成する各材料薄膜をとの密着性を向上させるため、基板上には、無機酸化物及び無機窒化物から選ばれる化合物を含有する下引き層及びポリマーを含む下引き層の少なくとも一方を有することが好ましい。
【００７６】
下引き層に含有される無機酸化物としては、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタン、酸化スズ、酸化バナジウム、チタン酸バリウムストロンチウム、ジルコニウム酸チタン酸バリウム、ジルコニウム酸チタン酸鉛、チタン酸鉛ランタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、フッ化バリウムマグネシウム，チタン酸ビスマス、チタン酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ニオブ酸ビスマス、トリオキサイドイットリウム等が挙げられる。また無機窒化物としては窒化ケイ素、窒化アルミニウム等が挙げられる。
【００７７】
それらのうち好ましいのは、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタン、窒化ケイ素である。
【００７８】
無機酸化物及び無機窒化物から選ばれる化合物を含有する下引き層は上述した大気圧プラズマ法で形成されるのが好ましい。これによって高機能性の薄膜を、生産性高く形成することができる。
【００７９】
ポリマーを含む下引き層に用いるポリマーとしては、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、セルロース樹脂、アクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、フェノキシ樹脂、ノルボルネン樹脂、エポキシ樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂、酢酸ビニルとビニルアルコールの共重合体、部分加水分解した塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル−アクリロニトリル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリビニルアルコール、塩素化ポリ塩化ビニル、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のビニル系重合体、ポリアミド樹脂、エチレン−ブタジエン樹脂、ブタジエン−アクリロニトリル樹脂等のゴム系樹脂、シリコーン樹脂、フッ素系樹脂等を挙げることができる。
【００８０】
また、無機酸化物及び窒化物から選ばれる化合物を含有する下引き層を用いる場合、特に、紫外線など活性線により硬化する活性線硬化樹脂層であるハードコート層を基板上に形成するのが好ましい。このような紫外線で硬化された樹脂層の上に金属無機酸化物層を形成させることによって均一な層とすることができる。
【００８１】
本発明に係わる有機薄膜トランジスタ素子に用いる有機半導体層の材料としては、π共役系材料が用いられ、例えばポリピロール、ポリ（Ｎ−置換ピロール）、ポリ（３−置換ピロール）、ポリ（３，４−二置換ピロール）などのポリピロール類、ポリチオフェン、ポリ（３−置換チオフェン）、ポリ（３，４−二置換チオフェン）、ポリベンゾチオフェンなどのポリチオフェン類、ポリイソチアナフテンなどのポリイソチアナフテン類、ポリチェニレンビニレンなどのポリチェニレンビニレン類、ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）などのポリ（ｐ−フェニレンビニレン）類、ポリアニリン、ポリ（Ｎ−置換アニリン）、ポリ（３−置換アニリン）、ポリ（２，３−置換アニリン）などのポリアニリン類、ポリアセチレンなどのポリアセチレン類、ポリジアセチレンなどのポリジアセチレン類、ポリアズレンなどのポリアズレン類、ポリピレンなどのポリピレン類、ポリカルバゾール、ポリ（Ｎ−置換カルバゾール）などのポリカルバゾール類、ポリセレノフェンなどのポリセレノフェン類、ポリフラン、ポリベンゾフランなどのポリフラン類、ポリ（ｐ−フェニレン）などのポリ（ｐ−フェニレン）類、ポリインドールなどのポリインドール類、ポリピリダジンなどのポリピリダジン類、ナフタセン、ペンタセン、ヘキサセン、ヘプタセン、ジベンゾペンタセン、テトラベンゾペンタセン、ピレン、ジベンゾピレン、クリセン、ペリレン、コロネン、テリレン、オバレン、クオテリレン、サーカムアントラセンなどのポリアセン類およびポリアセン類の炭素の一部をＮ、Ｓ、Ｏなどの原子、カルボニル基などの官能基に置換した誘導体（トリフェノジオキサジン、トリフェノジチアジン、ヘキサセン−６，１５−キノンなど）、ポリビニルカルバゾール、ポリフエニレンスルフィド、ポリビニレンスルフィドなどのポリマーや特開平１１−１９５７９０に記載された多環縮合体などを用いることができる。
【００８２】
また、これらのポリマーと同じ繰返し単位を有するたとえばチオフェン６量体であるα−セクシチオフェンα，ω−ジヘキシル−α−セクシチオフェン、α，ω−ジヘキシル−α−キンケチオフェン、α，ω−ビス（３−ブトキシプロピル）−α−セクシチオフェン、スチリルベンゼン誘導体などのオリゴマーも好適に用いることができる。
【００８３】
さらに銅フタロシアニンや特開平１１−２５１６０１に記載のフッ素置換銅フタロシアニンなどの金属フタロシアニン類、ナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミド、Ｎ，Ｎ′−ビス（４−トリフルオロメチルベンジル）ナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミドとともに、Ｎ，Ｎ′−ビス（１Ｈ，１Ｈ−ペルフルオロオクチル）、Ｎ，Ｎ′−ビス（１Ｈ，１Ｈ−ペルフルオロブチル）及びＮ，Ｎ′−ジオクチルナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミド誘導体、ナフタレン２，３，６，７テトラカルボン酸ジイミドなどのナフタレンテトラカルボン酸ジイミド類、及びアントラセン２，３，６，７−テトラカルボン酸ジイミドなどのアントラセンテトラカルボン酸ジイミド類などの縮合環テトラカルボン酸ジイミド類、Ｃ６０、Ｃ７０、Ｃ７６、Ｃ７８、Ｃ８４等フラーレン類、ＳＷＮＴなどのカーボンナノチューブ、メロシアニン色素類、ヘミシアニン色素類などの色素などがあげられる。
【００８４】
これらのπ共役系材料のうちでも、チオフェン、ビニレン、チェニレンビニレン、フェニレンビニレン、ｐ−フェニレン、これらの置換体またはこれらの２種以上を繰返し単位とし、かつ該繰返し単位の数ｎが４〜１０であるオリゴマーもしくは該繰返し単位の数ｎが２０以上であるポリマー、ペンタセンなどの縮合多環芳香族化合物、フラーレン類、縮合環テトラカルボン酸ジイミド類、金属フタロシアニンよりなる群から選ばれた少なくとも１種が好ましい。
【００８５】
また、その他の有機半導体材料としては、テトラチアフルバレン（ＴＴＦ）−テトラシアノキノジメタン（ＴＣＮＱ）錯体、ビスエチレンテトラチアフルバレン（ＢＥＤＴＴＴＦ）−過塩素酸錯体、ＢＥＤＴＴＴＦ−ヨウ素錯体、ＴＣＮＱ−ヨウ素錯体、などの有機分子錯体も用いることができる。さらにポリシラン、ポリゲルマンなどのσ共役系ポリマーや特開２０００−２６０９９９に記載の有機・無機混成材料も用いることができる。
【００８６】
本発明においては、有機半導体層に、たとえば、アクリル酸、アセトアミド、ジメチルアミノ基、シアノ基、カルボキシル基、ニトロ基などの官能基を有する材料や、ベンゾキノン誘導体、テトラシアノエチレンおよびテトラシアノキノジメタンやそれらの誘導体などのように電子を受容するアクセプターとなる材料や、たとえばアミノ基、トリフェニル基、アルキル基、水酸基、アルコキシ基、フェニル基などの官能基を有する材料、フェニレンジアミンなどの置換アミン類、アントラセン、ベンゾアントラセン、置換ベンゾアントラセン類、ピレン、置換ピレン、カルバゾールおよびその誘導体、テトラチアフルバレンとその誘導体などのように電子の供与体であるドナーとなるような材料を含有させ、いわゆるドーピング処理を施してもよい。
【００８７】
前記ドーピングとは電子授与性分子（アクセプター）または電子供与性分子（ドナー）をドーパントとして該薄膜に導入することを意味する。従って，ドーピングが施された薄膜は、前記の縮合多環芳香族化合物とドーパントを含有する薄膜である。本発明に用いるドーパントとしては公知のものを採用することができる。
【００８８】
これら有機半導体層の作製法としては、真空蒸着法、分子線エピタキシャル成長法、イオンクラスタービーム法、低エネルギーイオンビーム法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、プラズマ重合法、電解重合法、化学重合法、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法およびＬＢ法等が挙げられ、材料に応じて使用できる。ただし、この中で生産性の点で、有機半導体の溶液を用いて簡単かつ精密に薄膜が形成できるスピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法等が好まれる。
【００８９】
なおＡｄｖａｎｃｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ誌 １９９９年 第６号、ｐ４８０〜４８３に記載の様に、ペンタセン等前駆体が溶媒に可溶であるものは、塗布により形成した前駆体の膜を熱処理して目的とする有機半導体材料の薄膜を形成しても良い。
【００９０】
これら有機半導体からなる薄膜の膜厚としては、特に制限はないが、得られたトランジスタの特性は、有機半導体からなる活性層の膜厚に大きく左右される場合が多く、その膜厚は、有機半導体により異なるが、一般に１μｍ以下、特に１０〜３００ｎｍが好ましい。
【００９１】
本発明に係わる有機薄膜トランジスタ素子において、ゲート電極を形成する材料は導電性材料であれば特に限定されず、白金、金、銀、ニッケル、クロム、銅、鉄、錫、アンチモン鉛、タンタル、インジウム、パラジウム、テルル、レニウム、イリジウム、アルミニウム、ルテニウム、ゲルマニウム、モリブデン、タングステン、酸化スズ・アンチモン、酸化インジウム・スズ（ＩＴＯ）、フッ素ドープ酸化亜鉛、亜鉛、炭素、グラファイト、グラッシーカーボン、銀ペーストおよびカーボンペースト、リチウム、ベリリウム、ナトリウム、マグネシウム、カリウム、カルシウム、スカンジウム、チタン、マンガン、ジルコニウム、ガリウム、ニオブ、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、アルミニウム、マグネシウム／銅混合物、マグネシウム／銀混合物、マグネシウム／アルミニウム混合物、マグネシウム／インジウム混合物、アルミニウム／酸化アルミニウム混合物、リチウム／アルミニウム混合物等が用いられる。また、前述の電極材料を用いることもできる。形成方法としては、真空蒸着法、分子線エピタキシャル成長法、イオンクラスタービーム法、低エネルギーイオンビーム法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、大気圧プラズマ法などのドライプロセスや、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法などの塗布による方法、印刷やインクジェットなどのパターニングによる方法などのウェットプロセスが挙げられ、材料に応じて使用できる。
【００９２】
有機薄膜トランジスタ素子のゲート絶縁層としては種々の絶縁膜を用いることができるが、特に、比誘電率の高い無機酸化物皮膜が好ましい。無機酸化物としては、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタン、酸化スズ、酸化バナジウム、チタン酸バリウムストロンチウム、ジルコニウム酸チタン酸バリウム、ジルコニウム酸チタン酸鉛、チタン酸鉛ランタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、フッ化バリウムマグネシウム、チタン酸ビスマス、チタン酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ニオブ酸ビスマス、トリオキサイドイットリウムなどが挙げられる。それらのうち好ましいのは、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタンである。窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の無機窒化物も好適に用いることができる。
【００９３】
上記皮膜の形成方法としては、真空蒸着法、分子線エピタキシャル成長法、イオンクラスタービーム法、低エネルギーイオンビーム法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、大気圧プラズマ法などのドライプロセスや、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法などの塗布による方法、印刷やインクジェットなどのパターニングによる方法などのウェットプロセスが挙げられ、材料に応じて使用できる。
【００９４】
ウェットプロセスは、無機酸化物の微粒子を、任意の有機溶剤あるいは水に必要に応じて界面活性剤などの分散補助剤を用いて分散した液を塗布、乾燥する方法や、酸化物前駆体、例えばアルコキシド体の溶液を塗布、乾燥する、いわゆるゾルゲル法が用いられる。
【００９５】
これらのうち好ましいのは、上述した大気圧プラズマ法である。
また、ゲート絶縁層がゲート電極を構成する金属の陽極酸化膜又は該陽極酸化膜と絶縁膜とで構成されることも好ましい。陽極酸化膜は封孔処理されることが望ましい。陽極酸化膜は、陽極酸化が可能な金属を公知の方法により陽極酸化することにより形成される。
【００９６】
陽極酸化処理可能な金属としては、アルミニウム又はタンタルを挙げることができ、陽極酸化処理の方法には特に制限はなく、公知の方法を用いることができる。陽極酸化処理を行なうことにより、酸化被膜が形成される。陽極酸化処理に用いられる電解液としては、多孔質酸化皮膜を形成することができるものならばいかなるものでも使用でき、一般には、硫酸、燐酸、蓚酸、クロム酸、ホウ酸、スルファミン酸、ベンゼンスルホン酸等あるいはこれらを２種類以上組み合わせた混酸あるいそれらの塩が用いられる。陽極酸化の処理条件は使用する電解液により種々変化するので一概に特定し得ないが、一般的には、電解液の濃度が１〜８０質量％、電解液の温度５〜７０℃、電流密度０．５〜６０Ａ／ｄｍ２、電圧１〜１００ボルト、電解時間１０秒〜５分の範囲が適当である。好ましい陽極酸化処理は、電解液として硫酸、リン酸又はホウ酸の水溶液を用い、直流電流で処理する方法であるが、交流電流を用いることもできる。これらの酸の濃度は５〜４５質量％であることが好ましく、電解液の温度２０〜５０℃、電流密度０．５〜２０Ａ／ｄｍ２で２０〜２５０秒間電解処理するのが好ましい。
【００９７】
また有機化合物皮膜としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリレート、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、あるいはアクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、およびシアノエチルプルラン等を用いることもできる。
【００９８】
有機化合物皮膜の形成法としては、前記ウェットプロセスが好ましい。
無機酸化物皮膜と有機酸化物皮膜は積層して併用することができる。またこれら絶縁膜の膜厚としては、一般に５０ｎｍ〜３μｍ、好ましくは、１００ｎｍ〜１μｍである。
【００９９】
ゲート絶縁層と有機半導体層の間に、任意の配向処理を施してもよい。シランカップリング剤、たとえばオクタデシルトリクロロシラン、トリクロロメチルシラザンや、アルカン燐酸、アルカンスルホン酸、アルカンカルボン酸などの自己組織化配向膜が好適に用いられる。
【０１００】
本発明において支持体は特に制限なはないが、樹脂材料、例えばプラスチックフィルムシートを好ましく用いることができる。前記プラスチックフィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリイミド、ボリカーボネート（ＰＣ）、セルローストリアセテート（ＴＡＣ）、セルロースアセテートプロピオネート（ＣＡＰ）等からなるフィルム等が挙げられる。このように、プラスチックフィルムを用いることで、ガラス基板を用いる場合に比べて軽量化を図ることができ、可搬性を高めることができるとともに、衝撃に対する耐性を向上できる。
【０１０１】
また本発明のＴＦＴシートにおいて、有機薄膜トランジスタ素子上には素子保護層を設けることも可能である。保護層としては前述した無機酸化物又は無機窒化物等が挙げられ、上述した大気圧プラズマ法で形成するのが好ましい。これにより、有機薄膜トランジスタ素子の耐久性が向上する。
【０１０２】
本発明に係わるＴＦＴシートは、フレキシブルな樹脂支持体上に有機ＴＦＴ素子を２次元的に配列したシートであり、支持体とＴＦＴ構成層との接着性が高く、機械的強度に優れて支持体の曲がりにも強い耐性を持たせることができる。
【０１０３】
【実施例】
以下、実施例により本発明を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０４】
実施例１
〈支持体１の作製〉（図４の（１））
テトラメトキシシラン３．０４ｇ（２０ｍｍｏｌ）と、塩化メチレン１．５２ｇと、エタノール１．５２ｇとを混合した後、０．５％硝酸水溶液を０．７２ｇ加えて加水分解を行い、室温でそのまま１時間攪拌を続けた。
【０１０５】
エタノール５．３ｇと酢酸メチル６０．９ｇの混合溶媒にジアセチルセルロース（ダイセル化学製、Ｌ５０）を溶解させた後、テトラメトキシシランを加水分解した前記の溶液と混合し、さらに１時間攪拌を行った後、ゴムベルト上にギャップ巾８００μｍのドクターブレードで成膜した。ベルトを搬送させながら、得られたフィルムを１２０℃で３０分間乾燥させ、厚さ２００μｍの支持体１を作製した。動的粘弾性の測定から得られたＴｇは２２６℃であった。
【０１０６】
支持体１の表面に５０Ｗ／ｍ２／ｍｉｎの条件でコロナ放電処理を施し、下記組成の塗布液を乾燥膜厚２μｍになるように塗布し、９０℃で５分間乾燥した後、６０Ｗ／ｃｍの高圧水銀灯下１０ｃｍの距離から４秒間硬化させた。
【０１０７】
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート単量体 ６０ｇ
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート２量体 ２０ｇ
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート３量体以上の成分 ２０ｇ
ジエトキシベンゾフェノンＵＶ開始剤 ２ｇ
シリコーン系界面活性剤 １ｇ
メチルエチルケトン ７５ｇ
メチルプロピレングリコール ７５ｇ
さらにその層の上に下記条件で連続的に大気圧プラズマ処理して厚さ５０ｎｍの酸化ケイ素膜を設け、これらの層を下引き層２とした。
【０１０８】
（使用ガス）
不活性ガス：ヘリウム９８．２５体積％
反応性ガス：酸素ガス１．５体積％
反応性ガス：テトラエトキシシラン蒸気（アルゴンガスにてバブリング）０．２５体積％
（放電条件）
放電出力：１０Ｗ／ｃｍ２
（電極条件）
電極は、冷却水による冷却手段を有するステンレス製ジャケットロール母材に対して、セラミック溶射によるアルミナを１ｍｍ被覆し、その後、テトラメトキシシランを酢酸エチルで希釈した溶液を塗布乾燥後、紫外線照射により封孔処理を行い、表面を平滑にしてＲｍａｘ５μｍとした誘電体（比誘電率１０）を有するロール電極であり、アースされている。一方、印加電極としては、中空の角型のステンレスパイプに対し、上記同様の誘電体を同条件にて被覆した。
【０１０９】
作製した下引き層２を形成した支持体１に以下の工程を施していき、有機薄膜トランジスタ素子を作製した。
【０１１０】
〈ゲート電極形成工程〉（図４の（２））
支持体１上に形成されたの下引き層２上に、下記組成の光感応性樹脂１を塗布し、１００℃にて１分間乾燥させることで、厚さ２μｍの光感応性樹脂層を形成した。
【０１１１】
【化１】
発振波長８３０ｎｍ、出力１００ｍＷの半導体レーザーで２００ｍＪ／ｃｍ２のエネルギー密度でゲートラインおよびゲート電極のパターンを露光した後、アルカリ水溶液で現像し、レジスト像を得た。
【０１１４】
さらにその上に、スパッタ法により、厚さ３００ｎｍのアルミニウム皮膜を一面に成膜した後、ＭＥＫで上記光感応性樹脂層の残存部を除去することで、ゲートラインおよびゲート電極１０を作製した。
【０１１５】
〈陽極酸化皮膜形成工程〉（図４の（２））
以上のフィルム基板をよく洗浄した後、３０質量％硫酸水溶液中で、２分間、３０Ｖの低電圧電源から供給される直流を用いて、陽極酸化皮膜の厚さが１２０ｎｍになるように陽極酸化皮膜１９を作製した。よく洗浄した後に、１気圧、１００℃の飽和した蒸気チャンバーの中で、蒸気封孔処理を施した。
【０１１６】
〈ゲート絶縁層形成工程〉（図４の（３））
さらにフィルム温度２００℃にて、上述した大気圧プラズマ法の使用ガスを下記に変更し、厚さ３０ｎｍの酸化チタン層であるゲート絶縁層９を設けた。
【０１１７】
（使用ガス）
不活性ガス：ヘリウム９８．９体積％
反応性ガス：酸素ガス０．８体積％
反応性ガス：テトラエトキシシランン蒸気（１５０℃に加熱した液体にアルゴンガスをバブリング）０．３体積％
〈有機半導体層形成工程〉（図４の（４））
次に、ゲート絶縁層９の上に、下記化合物Ｃのクロロホルム溶液を、ピエゾ方式のインクジェット法を用いて、チャネルを形成すべき領域に吐出し、窒素ガス中で、５０℃で３分乾燥し、２００℃で１０分の熱処理を行ったところ、厚さ５０ｎｍのペンタセン薄膜である有機半導体層６を形成した。
【０１１８】
【化２】
〈有機半導体保護層形成工程〉（図４の（５））
この有機半導体層６の上に、十分に精製を行ったポリビニルアルコールを超純粋製造装置で精製された水に溶解した水溶液を用いて塗設し、窒素ガス雰囲気中１００℃にて、よく乾燥させ、厚さ１μｍのポリビニルアルコールの有機半導体保護層３を形成した。
【０１２０】
〈感光層形成工程〉（図４の（６））
下記の組成物Ａ、Ｂをサンドミルを用いて別々に混練分散して、次いで前記Ａ液、Ｂ液及びポリイソシアネート化合物〔同前〕を質量比で１００：２．３９：０．３７に混合し、ディゾルバーで撹拌して塗工液を調製した。
【０１２１】
該塗工液を、超音波分散後、エクストルージョン方式の押し出しコーターで塗布し、乾燥し、窒素ガス雰囲気中１００℃５分で熱処理し、厚さ０．５μｍの感光層７を形成した。
【０１２２】
感光層上に下記組成物２をアイソパーＥ（イソパラフィン系炭化水素、エクソン化学（株）製）単独溶媒で固形分濃度１０．３質量％に希釈した液体を塗設し、厚さ０．５μｍのシリコーンゴム層の電極材料反撥層８を形成した。
【０１２３】
発振波長８３０ｎｍ、出力１００ｍＷの半導体レーザーで３００ｍＪ／ｃｍ２のエネルギー密度でソース電極、ドレイン電極（画素電極）の電極パターンを露光した後、露光部のシリコーンゴム層をブラシ処理で除去した。
【０１２４】
〈有機半導体保護層除去工程〉（図５の（１））
さらに水でよく洗浄すると、露光部の感光層及びポリビニルアルコールの保護層が除去された。
【０１２５】
〈ソース電極形成工程〉（図５の（２））
電極パターンが形成された面に、ポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）の水分散液（バイエル製 Ｂａｙｔｒｏｎ Ｐ）をロールコーターで供給すると、シリコーンゴム層が除去された電極パターン部分のみに分散液が付着した。これを１００℃で乾燥させた。
【０１２６】
さらに、特開平１１−８０６４７号公報に示された方法で作製した平均粒子径８ｎｍの銀微粒子の分散物を、基板上にロールコーターで供給すると、シリコーンゴム層が除去された電極パターン部分のみに分散物が付着した。これを乾燥し、２００℃で１５分加熱処理したところ、良好なソース電極及びソースバスラインパターンが形成された。なお、電極は、ポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）から成る厚さ２０ｎｍの層の上に、厚さ３００ｎｍのＡｇ微粒子の融着層が積層されている。
【０１２７】
〈ソース電極再封止工程〉（図５の（３））
ソース電極及びソースバスラインパターンが形成されたのち、次に、ソース電極及びソースバスライン形成に用いたものと同じ前記感光層を供給し、乾燥し、さらに電極材料反撥層（シリコーンゴム層）塗布液を同様に供給し、乾燥、固化させると、全面に電極材料反撥層（シリコーンゴム層）が形成した。これによりソース電極パターン（ソースバスライン）部分が再度封止された。
【０１２８】
〈ドレイン電極形成工程〉（図５の（４）、（５））
次いで、半導体レーザーによりドレイン電極パターン露光（図５の（４））、前記同様に、露光部のシリコーンゴム層（電極材料反撥層）をブラシ処理で除去し、さらに水洗浄により、同じく露光部の感光層及びポリビニルアルコールの保護層を除去するといったソース電極及びソースバスライン形成の工程を繰り返すことで、有機半導体層に達する、ドレイン電極パターンを形成した後、ソース電極と同様に、電極材料、ポリスチレンスルホン酸とポリ（エチレンジオキシチオフェン）の水分散液（バイエル製 Ｂａｙｔｒｏｎ Ｐ）、次いで、銀微粒子の分散物を、それぞれロールコーターで供給、乾燥すると、ソース電極５同様にドレイン電極パターンに対応してドレイン電極が形成された。
【０１２９】
〈画素電極形成工程〉（図５の（６）、（７）、（８））
次に、画素電極が形成されるよう、シリコーンゴム層（電極材料反撥層）残部を再度画素電極パターンに従って露光し（図５の（６））、露光部からシリコーンゴム層をブラシ処理により除去し、続いて、前記ソース、ドレイン電極と同様、市販の銀ペースト（銀微粒子の分散物（ハイドロゾル））を、シートの表面に供給し、乾燥し、熱処理（１５０℃で１５分）すると、電極材料反撥層が除かれた部分に画素電極２０が形成された。
【０１３０】
このようにして作成したＴＦＴ（薄膜トランジスタ）シートは、マトリクス状に画素が配置され、液晶表示素子等のディスプレイの駆動に用いることができる。本発明は、従来の煩雑なフォトリソ工程によらず、微少な画素、配線パターンを形成出来るので、簡単な方法で画素電極の有効面積を大きくすることができ、かつ解像度の高いＴＦＴシートを得ることができる。
【０１３１】
【発明の効果】
本発明により、従来の煩雑なフォトリソグラフ工程によらず、簡単な方法で、画素電極の有効面積を大きくすることができ、かつＴＦＴパネルの解像度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】有機薄膜トランジスタ素子が複数配置されたＴＦＴシートの１例の概略の等価回路図である。
【図２】各画素単位の等価回路を示す図である。
【図３】ＴＦＴシートの各画素単位で形成される有機薄膜トランジスタ素子の基本的な構成の一例を示す図である。
【図４】本発明のＴＦＴシートの基本的な作製プロセスを示す図である。
【図５】本発明のＴＦＴシートの基本的な作製プロセスを示す図である。
【符号の説明】
１ 支持体
２ 下引き層
３ 有機半導体保護層
４ ドレイン電極
５ ソース電極及びソースバスライン
６ 有機半導体層
７ 感光層
８ 電極材料反撥層
９ ゲート絶縁層
１０ ゲート電極及びゲートバスライン
１１ 有機薄膜トランジスタシート
１２ ゲートバスライン
１３ ソースバスライン
１４ 有機薄膜トランジスタ素子
１５ 蓄積コンデンサ
１６ 出力素子
１７ 垂直駆動回路
１８ 水平駆動回路
１９ 陽極酸化皮膜
２０ 画素電極
Claims (7)
- 支持体上に、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層、ソース電極およびドレイン電極が順次形成された薄膜トランジスタが、ゲートバスラインおよびソースバスラインを介して、複数個、連結された薄膜トランジスタシートの製造方法において、半導体層上に形成された感光層にソース電極およびソースバスラインパターンに基づくパターニングを行い、感光層を除去した後、ソース電極およびソースバスラインを、電極材料の溶液、分散液またはペーストを用いて、感光層の除去部に形成後、その部位を絶縁性層で覆い、次にドレイン電極を、電極材料の溶液、分散液またはペーストを用いて、前記感光層の除去部に形成し、それに連結する画素電極を形成することを特徴とする薄膜トランジスタシートの製造方法。
- 支持体上に、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層、ソース電極およびドレイン電極が順次形成された薄膜トランジスタが、ゲートバスラインおよびソースバスラインを介して、複数個、連結された薄膜トランジスタシートの製造方法において、半導体層上に順次形成された感光層、電極材料反撥層にソース電極およびソースバスラインパターンに基づくパターニングを行い、電極材料反撥層および感光層を除去した後、ソース電極およびソースバスラインを、電極材料の溶液、分散液またはペーストを用いて、電極材料反撥層および感光層の除去部に形成した後、その部位を感光層からなる絶縁層で覆い、該感光層上に電極材料反撥層を形成した後、ドレイン電極パターンに従い、電極材料反撥層および前記感光層を除去した後に、電極材料反撥層および感光層の除去部分に、電極材料の溶液または分散液またはペーストを用いて、ドレイン電極を形成し、その後、画素電極を形成すべき部位において、前記絶縁層および感光層上に形成された電極材料反撥層を、画素電極パターンに従って除き、全面に電極材料溶液を適用して、前記ドレイン電極に連結するように、画素電極を形成することを特徴とする請求項１に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
- 半導体層が有機半導体材料から成ることを特徴とする請求項１または２に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
- 半導体層がインクジェットで形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
- ソースバスライン、ソース電極、ドレイン電極、画素電極の少なくとも一つの形成に、インクジェットまたはレーザー露光を用いることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の薄膜トランジスタシートの製造方法。
- 請求項１〜５のいずれか１項に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする薄膜トランジスタシート。
- 樹脂基板を用いたことを特徴とする請求項６に記載の薄膜トランジスタシート。
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|---|---|---|---|---|
| JP2007311795A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Samsung Electronics Co Ltd | 有機電子素子の電極形成方法、これによって形成された電極を含む有機薄膜トランジスタ及びこれを備えた表示素子 |
| US8293569B2 (en) | 2005-05-03 | 2012-10-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Organic thin film transistor array panel and method of manufacturing the same |
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2003
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