JP2004273908A - 発光装置の組立方法 - Google Patents
発光装置の組立方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004273908A JP2004273908A JP2003064932A JP2003064932A JP2004273908A JP 2004273908 A JP2004273908 A JP 2004273908A JP 2003064932 A JP2003064932 A JP 2003064932A JP 2003064932 A JP2003064932 A JP 2003064932A JP 2004273908 A JP2004273908 A JP 2004273908A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- package
- emitting device
- light
- assembling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 53
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 49
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 5
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 abstract 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 22
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 description 21
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 16
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 14
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 3
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 3
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 229910007116 SnPb Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02208—Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
- H01S5/02212—Can-type, e.g. TO-CAN housings with emission along or parallel to symmetry axis
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/024—Arrangements for thermal management
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/323—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/32308—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser emitting light at a wavelength less than 900 nm
- H01S5/32341—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser emitting light at a wavelength less than 900 nm blue laser based on GaN or GaP
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/4826—Connecting between the body and an opposite side of the item with respect to the body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/483—Containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02218—Material of the housings; Filling of the housings
- H01S5/0222—Gas-filled housings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02218—Material of the housings; Filling of the housings
- H01S5/0222—Gas-filled housings
- H01S5/02224—Gas-filled housings the gas comprising oxygen, e.g. for avoiding contamination of the light emitting facets
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0225—Out-coupling of light
- H01S5/02255—Out-coupling of light using beam deflecting elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0235—Method for mounting laser chips
- H01S5/02355—Fixing laser chips on mounts
- H01S5/0237—Fixing laser chips on mounts by soldering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】光を出射する発光素子1と、少なくとも発光素子1を収納するパッケージ2とを備えた発光装置の組立方法において、パッケージ2をオゾン雰囲気下にて封止し、封止されたパッケージ2内に400nm以下の波長を有する光を照射する。パッケージ2内に生成した活性オゾンが、Si有機化合物に衝突し、Si有機化合物が分解し、安定した物質となる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、発光素子をパッケージにより収納した構成を有する発光装置の組立方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体レーザは、様々な技術分野において使用されており、例えば、光ディスク記録/再生装置、レーザディスプレイなどの表示装置、レーザプリンタ装置および光通信装置において光源として用いられている。
【0003】
従来、半導体レーザとしては、AlGaAs系、AlGaInAs系およびAlGaInP系半導体レーザがすでに商品化されている。近年では、さらに短波長のレーザ光を出射可能であるGaN/GaInN系半導体レーザの商品化が待望されている。このGaN/GaInN系半導体は、例えば、次世代光の高密度光ディスク(Blu−Ray Disc)を記録/再生するための光学系に用いることが提案されている。
【0004】
ところで、半導体レーザは、不純物の付着防止などを目的として、パッケージに収納されるのが一般的である。このパッケージとして様々な種類のものが用いられているが、その中でも、CAN(キャン)パッケージは最も広く用いられているパッケージの一つである。
【0005】
以下、図10、11および12を参照しながら、従来のCANパッケージ発光装置の組立方法について説明する。
<チップマウント工程>
まず、図10Aに示すように、サブマウント102上の所定位置に、Sn半田により、790nm帯AlGaAs系半導体レーザまたは650nm帯AlGaInP系半導体レーザなどの半導体レーザ101を接着する。
【0006】
<ダイボンド工程>
次に、図10Bに示すように、固定体104に備えられたヒートシンク105の所定位置に、サブマウント102をダイボンドする。この際、接着材103として、Agペーストを用いる。
【0007】
<ペースト硬化工程>
次に、図11Aに示すように、接着剤103を硬化させる。
<ワイヤボンド工程>
次に、図11Bに示すように、Auワイヤ107により、サブマウント102とリードピン106bとを接続する。
【0008】
<封止工程>
次に、図12Aに示すように、水分(H2O)を除いた酸素(ドライ酸素)雰囲気中において、固定体104に対してキャップ108を電気溶接する。これにより、図12Bに示すように、ドライ酸素が封入されたCANパッケージ発光装置が完成する。なお、この封止工程において、CANパッケージ発光装置内に封入される気体(置換ガス)としては、ドライ酸素以外には、N2(窒素)ガス、Ar(アルゴン)ガス、He(ヘリウム)ガス、N2およびO2からなる混合ガスが一般的に用いられている。
【0009】
ノウハウとされているために公にされる機会は少ないものの、これ以外にも搭載部品から発生するガスと搭載部品材料との間の反応成長に起因する劣化メカニズムもあり、エネルギー源として上述の電気エネルギー以外に、熱エネルギーおよび光エネルギーが挙がられ、その対策として置換ガスを適宜選択することが有効であることが知られている。
【0010】
ところが、本発明者の知見によれば、上述の組立方法により、405nm帯GaN/GaInN系半導体レーザを備えたCANパッケージ発光装置を製造した場合、この発光装置では、半導体レーザ101の発光部に堆積物が生成され、駆動時間に応じて駆動電流が周期的に変動してしまう、という問題がある。
【0011】
そこで、本発明者は、この堆積物が生成される原因を究明すべく、検討を重ねた結果、以下の知見を得るに至った。
(1)堆積物は、半導体レーザ101を駆動している時に発光部にのみ生成される。したがって、堆積物の生成は、光が関与した反応である。
(2)Agペーストと半導体レーザ101とが直接接触しておらず、さらには堆積物にAgが含有されていない。したがって、堆積物の生成は、Agペーストが半導体101に拡散する現象によるものではない。
【0012】
以上の知見に基づき、さらに検討を重ねた結果、本発明者は、Agペーストから発生するSi有機化合物ガス、および固定体104に付着していたSi有機化合物ガスが、半導体レーザ101の発光部に到達し、出射されたレーザ光に反応することにより、堆積物が生成されることを知見にするに至った。
【0013】
そこで、本出願人は、半導体レーザ101の発光部に堆積物が生成されることを回避するために、従来のCANパッケージ発光装置の組立方法において、ワイヤボンド工程と封止工程との間に、オゾン洗浄工程を設けるようにした発光装置の組立方法を提案している。
【0014】
図13に、本出願により提案されているオゾン洗浄工程を示す。このオゾン洗浄工程においては、図13に示すように、オゾン(O3)ガスを供給しながら、固定体104に対して、キセノンランプにより紫外光を照射する。これにより、Agペースト表面および固定体104の表面に対して、活性オゾンが衝突し、Si有機化合物が分解する。そして、Si元素は、SiO2化し、安定な物質となり、その他アルキル基等の炭化水素部は、CO、COx、あるいはH2Oに分解する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述の組立方法では、固定体104や半導体レーザ101などの部品が、封止前にSi有機化合物ガスにより再汚染されてしまう、という問題が生じてしまう。特に、洗浄工程から封止工程に至る経路の間に、Agペーストを使用している工程がある場合や、洗浄後から封止までの間の滞在期間が長い場合には、再汚染は顕著である。
【0016】
再汚染を回避する方法として、(1)オゾン洗浄後に封止を速やかに行う、(2)封止前に固定体などにSi有機化合物ガスが付着しないような環境を実現する、ことが考えられる。ところが、このような時間的および環境的制約を工程間に設けてしまうと、量産性の低下を招いてしまう、という問題が生じてしまう。
【0017】
したがって、この発明の目的は、光を出射する発光素子と、少なくとも発光素子を封止するパッケージとを備えた発光装置の組立方法において、量産性の低下を招くことなく、発光素子の発光部に堆積物が生成することを防止することができる発光装置の組立方法を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明は、光を出射する発光素子と、少なくとも発光素子を収納するパッケージとを備えた発光装置の組立方法において、
パッケージをオゾン雰囲気下にて封止し、封止されたパッケージ内に400nm以下の波長を有する光を照射する
ことを特徴とする発光装置の組立方法である。
【0019】
この発明によれば、光を出射する発光素子と、少なくとも上記発光素子を収納するパッケージとを備えた発光装置の組立方法において、パッケージをオゾン雰囲気下にて封止し、封止されたパッケージ内に400nm以下の波長を有する光を照射するため、時間的および環境的制約を工程間に設けずに、パッケージ内に存在するSi有機化合物の気化を防止することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は、この発明の第1の実施形態によるCANパッケージ発光装置の構成の一例を示す。この発光装置は、図1に示すように、半導体レーザ1と、この半導体レーザ1を収納するためのCANパッケージ2とからなる。このCANパッケージ2は、半導体レーザ1を所定位置に固定するための固定体3と、固定体3に固定された半導体レーザ1を覆うキャップ4とからなる。
【0021】
固定体3は、円盤状の形状を有し、例えばFeまたはCuなどの金属からなる。この固定体3の一主面には、ヒートシンク5が備えられている。このヒートシンク5は、例えばFeまたはCuなどの導電性を有する材料からなり、表面には、例えばAuコートが施されている。そして、ヒートシンク5上には、サブマウント6が接着されている。このサブマウント6は、例えばSiまたはAlNからなる。さらに、サブマウント6上に、半導体レーザ1が接着されている。半導体レーザ1は、III族窒化物半導体レーザ、例えばGaN/GaInN系半導体レーザ、具体的には405nm帯GaN/GaInN系半導体レーザである。
【0022】
また、この固定体3には、この固定体3を貫通するように3本のリードピン7a、7bおよび7cが備えられている。リードピン7aは、ヒートシンク5と電気的に接続されている。リードピン7bは、ワイヤ8によりサブマウント6と接続される。ここで、ワイヤ8は、例えばAuなどの導電性材料からなる。また、リードピン7bおよび7cと固定体3との間には、低融点ガラスからなるスペーサが設けられている。これにより、リードピント7bおよび7cと固定体3とが絶縁されるとともに、CANパッケージ2内に大気が入り込むことを防止することができる。これらのリードピン7a、7bおよび7cは、例えばFeあるいはCuなどの導電性を有する材料からなる。
【0023】
キャップ4は、一方の開口が塞がれた円筒形状を有し、例えばFeなどの金属からなり、表面には、例えばCrメッキが施されている。開口側には、上述の固定体3が貼り合わされ、それとは反対側には、半導体レーザ1から出射されたレーザ光を取り出すための光取り出し部9が設けられている。この光取り出し部9は、円形状の形状を有し、透過率の高い溶融石英を母材としたガラスからなる封止ガラス10により覆われている。なお、この封止ガラス10には、無反射コートを施すことが好ましい。
【0024】
次に、図2、3および4を参照しながら、この発明の第1の実施形態によるCANパッケージ発光装置の組立方法について説明する。
【0025】
<チップマウント工程>
まず、図2Aに示すように、サブマウント6上の所定位置に、半導体レーザ1を接着剤により接着する。ここで、接着材として、例えばSn、SnPb、AuSn、In等の半田が用いられる。
【0026】
<ダイボンド工程>
次に、図2Bに示すように、ヒートシンク5上の所定位置に、サブマウント6を接着剤11により接着する。ここでは、接着剤11として、Agペーストが用いられる。なお、接着剤11は、Agペーストに限られるものではなく、Inなどの半田を用いるようにしてもよい。このように、接着剤として半田を用いることにより、封止後のCANパッケージ2内において接着剤から発生するSi有機系化合物ガスの量を、さらに低減することができる。これにより、半導体レーザ1の発光部における堆積物の生成をさらに防止することができる。
【0027】
<ペースト硬化工程>
次に、図3Aに示すように、接着剤11を硬化させる。
<ワイヤボンド工程>
次に、図3Bに示すように、ワイヤ8により、サブマウント6とリードピン7bとを接続する。
【0028】
<封止工程>
次に、図4Aに示すように、水分(H2O)を除いたオゾン(ドライオゾン)雰囲気中において、固定体3に対して、キャップ4を、例えば電気溶接により接着する。なお、キャップ4の光取り出し部9には、予め封止ガラス10が接着されている。この封止ガラス10の接着には、低融点ガラスが用いられる。
【0029】
<オゾン洗浄工程>
次に、図4Bに示すように、CANパッケージ発光装置内に光取り出し部9を介して400nm以下の波長を有する光、例えば紫外光を照射する。これにより、CANパッケージ発光装置内にSi有機化合物ガスが存在しないようにできる、あるいは、実用上問題がない濃度にまでおさえ込むことができる。なお、光源としては、例えばキセノンランプが用いられる。
【0030】
Si有機化合物を含んだ汚染源の量は、CANパッケージ2内に搭載する材料および作業環境などに大きく依存する。また、アウトガス分子量は、CANパッケージ2の体積に比例して変化する。これは、飽和蒸気圧は体積によらないことから、ボイルシャルル則から導かれるものである。よって、照射条件は、搭載部品およびパッケージサイズに応じて適宜選択することが好ましい。
【0031】
ここで、照射条件の一例を挙げると、CANパッケージ2の直径が5.6mmであり、照射光が紫外光である場合、照射光の照度は3.6mW/cm2に選ばれ、照射時間は5分以上、好適には15分以上に選ばれる。なお、本発明は、この照射条件に制限されるものではないことは言うまでもない。
【0032】
このように、波長400nm以下の波長を有する光をCANパッケージ2内に照射することにより、活性オゾンが生成し、Si有機化合物に衝突する。そして、Si有機化合物が分解し、安定した、すなわち気化しずらいSiO2となる。なお、安定化したSiO2はもともとがCANパッケージ2内に付着したSi有機化合物、および、Agペーストなどの接着剤に含まれるSi有機化合物の未結合分子であるため、その位置のままSiO2化する。したがって、アウトガス化して半導体レーザ1の発光部の位置まで到達することがない。また、炭化水素系の物質は、CO、CO2、H2O化し、半導体レーザ1の特性劣化を招かないような物質となる。したがって、半導体レーザ1の端面における堆積物の生成を防止し、半導体レーザ1の特性劣化を防止することができる。
【0033】
この発明の第1の実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
CANパッケージ2をドライオゾン雰囲気下にて封止し、封止されたCANパッケージ2内に光取り出し部9を介して400nm以下の波長を有する光を照射するため、時間的および環境的制約を工程間に設けずに、CANパッケージ2内に存在するSi有機化合物の気化を防止することができ、これにより、量産性の低下を招くことなく、半導体レーザ1の発光部に堆積物が生成すること防止することができる。また、マテリアルハンドリングを簡便にすることができ、量産性を向上させることができる。
【0034】
また、キャップ4に備えられた光取り出し部9を介して、CANパッケージ2内に波長400nm以下の光を照射するために、オゾン洗浄のための専用窓をCANパッケージ2に設ける必要がない。したがって、CANパッケージ発光装置の構造を簡略化し、且つ、部材費を低減することができる。
【0035】
本発明者は、この発明の第1の実施形態によるCANパッケージ発光装置と、従来のCANパッケージ発光装置とを比較検討した。ここで、従来のCANパッケージ発光装置は、上述した組立方法においてオゾン洗浄工程を省略して製造されたものである。
【0036】
まず、本発明者は、駆動電流変動試験(APCエージング)を、検出出力30mW、温度60℃の条件で行った。図5Aに、第1の実施形態によるCANパッケージ発光装置における駆動電流変動試験の結果を示す。図5Bに、従来のCANパッケージ発光装置における駆動電流変動試験の結果を示す。図5Aと5Bとから、従来のCANパッケージ発光装置では時間経過に伴って駆動電流が変動するのに対し、この一実施形態によるCANパッケージ発光装置では時間経過に伴って駆動電流が変動せず、駆動電流は一定となることが分かる。
【0037】
次に、本発明者は、駆動電流試験が終了した、それそれの発光装置について、半導体レーザの端面をSEM(Scanning Electron Microscope)により観察した。
【0038】
図6Aに、第1の実施形態によるCANパッケージ発光装置の発光部のSEM像を示す。図6Bに、従来のCANパッケージ発光装置の発光部のSEM像を示す。図6Aおよび図6Bより、従来のCANパッケージ発光装置の発光部には堆積物が生成されているのに対し、第1の実施形態によるCANパッケージ発光装置の発光部には堆積物が生成されていないのことが分かる。
【0039】
次に、従来のCANパッケージ発光装置において発光部に形成された堆積物の組成を分析した。この分析によれば、堆積物は、SiおよびOを主成分とする物質であり、大気とは異なる屈折率を有していることが分かった。このため、半導体レーザの端面における反射率が堆積物の厚みによって変動する。
【0040】
また、以下の関係式により、半導体レーザのしきい電流値の周期的変動を定性的に示すことができることが分かる。
しきい利得=内部損失+1/(2×共振器長)×Ln[1/(前方端面反射率×後方端面反射率)]
【0041】
次に、この発明の第2の実施形態によるフラットパッケージ発光装置について説明する。図7に、この発明の第2の実施形態によるフラットパッケージ発光装置の構成の一例を示す。図7に示すように、この発光装置は、フォトダイオードIC(Photo Diode Integrated Circuit)21と、フォトダイオードIC21を収納するフラットパッケージ22とからなる。フォトダイオードIC21上には、主として、半導体レーザ25、マルチプリズム26、光検出器(フォトダイオード)27aおよび27bがマウントされている。
【0042】
半導体レーザ25は、III族窒化物半導体レーザ、例えばGaN/GaInN系半導体レーザ、具体的には405nm帯GaN/GaInN系半導体レーザである。マルチプリズム26は、例えば光りディスクにより反射されたレーザ光を光検出器27aおよび27bに導く。光検出器27aおよび27bは、マルチプリズム26により導かれたレーザ光を受光し、受光したレーザ光に応じた電気信号を出力する。
【0043】
フラットパッケージ22は、フォトダイオードIC21を収納する収納部23と、この収納部23に貼り合わされる封止ガラス24とからなる。収納部23は、フォトダイオードIC21を収納するための空間を有する。封止ガラス24は、透過率の高い石英からなる。この封止ガラス24には、無反射コートを施すことが好ましい。
【0044】
以下、図8および9を参照しながら、この発明の第2の実施形態によるフラットパッケージ発光装置の組立方法について説明する。
【0045】
<チップマウント工程>
まず、図8Aに示すように、フォトダイオードIC21上の所定位置に、半田を接着剤として、半導体レーザ25を接着する。ここで、半田として、例えばInなどの半田が用いられる。ここでは図示および説明を省略するが、チップマウント工程の前工程において、フォトダイオードIC21上に予め光検出器27aおよび27bがマウントされている。
【0046】
<プリズムマウント工程>
次に、図8Bに示すように、フォトダイオードIC21上の所定位置に、半田を接着剤として、マルチプリズム26をマウントする。ここで、半田として、上述のチップマウント工程で用いられた半田より融点が低いものを用いることが好ましい。なお、接着材として、紫外線硬化タイプの変成アクリレートを用いるようにしてもよい。
【0047】
<ダイボンド工程>
次に、図8Cに示すように、収納部23に、半田を接着剤として、フォトダイオードIC21を接着する。ここで、半田として、上述のプリズムマウント工程で用いられた半田より融点が低いものを用いることが好ましい。なお、接着材として、エポキシ系接着剤を用いるようにしてもよい。
【0048】
<封止工程>
次に、図9Aに示すように、水分(H2O)を除いたオゾン(ドライオゾン)雰囲気中において、収納部23に対して、半田を接着剤として、封止ガラス24を貼り合わせる。これにより、封止されたフラットパッケージ22が形成される。この場合、封止ガラス24の接着部分に、金属を予めパターニングしておくことが好ましい。ここで、半田として、上述のダイボンド工程で用いられた半田より融点が低いものを用いることが好ましい。また、接着剤として、熱硬化タイプのエポキシ系接着剤を用いるようにしてもよい。
【0049】
<オゾン洗浄工程>
次に、図9Bに示すように、フラットパッケージ発光装置内に、封止ガラス24を介して、400nm以下の波長を有する光、例えば紫外光を照射する。これにより、フラットパッケージ発光装置内にSi有機化合物ガスが存在しないようにできる、あるいは、実用上問題がない濃度にまでおさえ込むことができる。なお、光源としては、例えばキセノンランプが用いられる。
【0050】
この発明の第2の実施形態によれば、上述の第1の実施形態と同様な効果を得ることができる。
【0051】
以上、この発明の実施形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の第1および第2の実施形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
【0052】
例えば、上述の実施形態において挙げた数値はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる数値を用いてもよい。
【0053】
また、パッケージの形状は、第1の実施形態におけるCANパッケージ、および第2の実施形態におけるフラットパッケージに限定されるものではなく、これら以外の形状を有するパッケージに対しても、本発明は適用可能であることは言うまでもない。また、パッケージ内に収納される部品は、上述の実施形態の例に限定されるものではない。
【0054】
また、上述の第2の実施形態においては、集積光学素子に対して、この発明を適用する例について示したが、集積の形態は、これに限定されるものではない。
【0055】
また、上述した第1および第2の実施形態では、オゾン洗浄工程において、光取り出し部9あるいは封止ガラス24を介して、400nm以下の波長を有する光を、パッケージ内に照射する場合を例として示したが、光取り出し部9あるいは封止ガラス24とは別に、照射光をパッケージ内に照射するための専用窓を設けるようにしてもよい。なお、発光装置の構造の簡略化、部材費の低減を考慮した場合には、上述の第1および第2の実施形態におけるようにして、照射光をパッケージ内に照射することが好ましい。
【0056】
また、上述した第1および第2の実施形態において、パッケージ内には、Si有機化合物ガスを発生する部材を収納しないようにすることが好ましい。また、接着材としても、Si有機化合物を含有していないものを用いることが好ましい。
【0057】
また、上述した第1および第2の実施形態において、Si有機化合物ガスを発生する部品および接着剤を用いる場合には、封止工程からオゾン洗浄工程に至るまでの時間を短くすることが好ましく、また、保存温度も室温近傍であることが好ましい。
【0058】
また、上述した第1および第2の実施形態において、オゾン洗浄工程にて400nm以下の波長を有する光を照射する例について示したが、この光源として、従来、半導体レーザあるいはLED(Light Emitting Diode)の製造工程などで使用されているものを用いるようにしてもよい。
【0059】
例えば、400nm以下の波長を有する光を照射する工程は、AlGaAs系、AlGaInP系、AlGaInAs系など、既に実用化されている半導体レーザ、およびLEDの発光素子の製造工程において広く用いられている。具体的には、フォトリソグラフィの技術を利用して、マスクパターンを作成する工程で用いられている。この工程は、感光性が有るフォトレジストをウエハにスピンコータ等を使い塗布し、ガラスに金属を施したいわゆるフォトマスクを近接、あるいは接すようにし、紫外線を照射し、感光させるものである。
【0060】
また、研究開発レベルでは、結晶成長後、キャリアを活性化させる工程、あるいは結晶性回復、変質、さらには、例えば光CVD(Chemical Vapor Deposition)のように結晶成長中に紫外線を照射する工程において用いられている。
【0061】
ただし、半導体レーザあるいはLEDの製造工程などでは、いずれも結晶成長中、成長後、または配線パターン加工時といった、いわゆるレーザ構造、LED構造などの作り込みが完了する前段の工程で用いられているのに対し、本発明では、上述したように実装工程において用いるものである。
【0062】
また、上述した第1および第2の実施形態において、照射光が、パッケージ発光装置内の全てにあたらない場合には、照射時間を長くする、あるいは、照射強度を上げることが好ましい。これにより、照射光があたった部分のオゾンが、あたらなかった部分に回り込むようにすることができる。
【0063】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、時間的および環境的制約を工程間に設けずに、パッケージ内に存在するSi有機化合物の気化を防止することができ、これにより、量産性の低下を招くことなく、発光素子の発光部において堆積物が生成することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施形態によるCANパッケージ発光装置の構成の一例を示す断面図である。
【図2】この発明の第1の実施形態によるCANパッケージ発光装置の組立方法の一例を示す略線図である。
【図3】この発明の第1の実施形態によるCANパッケージ発光装置の組立方法の一例を示す略線図である。
【図4】この発明の第1の実施形態によるCANパッケージ発光装置の組立方法の一例を示す略線図である。
【図5】この発明の第1の実施形態および従来例のCANパッケージ発光装置の駆動電流変動試験の結果を示すグラフである。
【図6】この発明の第1の実施形態および従来例のCANパッケージ発光装置に備えられた半導体レーザの端面におけるSEM像である。
【図7】この発明の第2の実施形態によるフラットパッケージ発光装置の構成を説明するための断面図である。
【図8】この発明の第2の実施形態によるフラットパッケージ発光装置の組立方法の一例を示す略線図である。
【図9】この発明の第2の実施形態によるフラットパッケージ発光装置の組立方法の一例を示す略線図である。
【図10】従来のCANパッケージ発光装置の組立方法を説明するための略線図である。
【図11】従来のCANパッケージ発光装置の組立方法を説明するための略線図である。
【図12】従来のCANパッケージ発光装置の組立方法を説明するための略線図である。
【図13】従来のCANパッケージ発光装置の組立方法におけるオゾン洗浄工程を説明するための略線図である。
【符号の説明】
1,25・・・半導体レーザ、2・・・CANパッケージ、3・・・固定体、4・・・キャップ、5・・・ヒートシンク、6・・・サブマウント、7a,7b,7c・・・リードピン、8・・・ワイヤ、9・・・光取り出し部、10・・・封止ガラス、11・・・接着剤、21・・・フォトダイオードIC、22・・・フラットパッケージ、23・・・収納部、24・・・封止ガラス、26・・・マルチプリズム、27a,27b・・・光検出器
Claims (4)
- 光を出射する発光素子と、少なくとも上記発光素子を収納するパッケージとを備えた発光装置の組立方法において、
パッケージをオゾン雰囲気下にて封止し、封止された上記パッケージ内に400nm以下の波長を有する光を照射する
ことを特徴とする発光装置の組立方法。 - 上記パッケージには、上記発光素子より出射された光を取り出すための光取り出し部が備えられ、上記光り取り出し部を介して、上記光が、封止された上記パッケージ内に照射されることを特徴とする請求項1記載の発光装置の組立方法。
- 上記光取り出し部は、石英を母材としたガラスにより覆われていることを特徴とする請求項2記載の発光装置の組立方法。
- 上記発光素子が、III族窒化物半導体であることを特徴とする請求項1記載の発光装置の組立方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003064932A JP3801143B2 (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 発光装置の組立方法 |
TW093106048A TWI245432B (en) | 2003-03-11 | 2004-03-08 | Method for assembling light-emitting device |
PCT/JP2004/003120 WO2004107515A1 (ja) | 2003-03-11 | 2004-03-10 | 発光装置の組立方法 |
CNB2004800002054A CN100373716C (zh) | 2003-03-11 | 2004-03-10 | 发光装置的装配方法 |
US10/514,179 US7238076B2 (en) | 2003-03-11 | 2004-03-10 | Method of assembling light-emitting apparatus |
KR1020047018114A KR101014148B1 (ko) | 2003-03-11 | 2004-03-10 | 발광 장치의 조립 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003064932A JP3801143B2 (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 発光装置の組立方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004273908A true JP2004273908A (ja) | 2004-09-30 |
JP3801143B2 JP3801143B2 (ja) | 2006-07-26 |
Family
ID=33126096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003064932A Expired - Fee Related JP3801143B2 (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 発光装置の組立方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7238076B2 (ja) |
JP (1) | JP3801143B2 (ja) |
KR (1) | KR101014148B1 (ja) |
CN (1) | CN100373716C (ja) |
TW (1) | TWI245432B (ja) |
WO (1) | WO2004107515A1 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005119862A1 (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 半導体レーザ装置およびその製造方法 |
JP2006344727A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Sharp Corp | レーザ装置の製造方法 |
JP2007095931A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置の製造方法および製造装置 |
US7656916B2 (en) | 2006-12-22 | 2010-02-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor light emitting device and method for fabricating same |
US7691729B2 (en) | 2004-09-30 | 2010-04-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for producing nitride semiconductor laser light source and apparatus for producing nitride semiconductor laser light source |
US7790484B2 (en) | 2005-06-08 | 2010-09-07 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing laser devices |
US8441029B2 (en) | 2010-01-25 | 2013-05-14 | Renesas Electronics Corporation | Light emitting element including side surface dielectric layer for avoiding impurity adhesion |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8754385B1 (en) | 1999-06-01 | 2014-06-17 | Jose Gutman | Advanced system and method for ozone containing packaging for sanitizing application |
US7976777B2 (en) * | 2002-06-10 | 2011-07-12 | Jose Gutman | Method for an agent containing package |
JP2009088066A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Panasonic Corp | 半導体装置 |
JP2022523725A (ja) * | 2019-02-02 | 2022-04-26 | ヌブル インク | 高信頼性、高パワー、高輝度の青色レーザーダイオードシステムおよびその製造方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01316945A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-21 | Nec Corp | 半導体装置 |
JPH0410622A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-14 | Tokyo Electron Ltd | ドライ洗浄装置 |
US5392305A (en) * | 1993-07-14 | 1995-02-21 | Corning Incorporated | Packaging of high power semiconductor lasers |
BE1007779A3 (nl) * | 1993-11-25 | 1995-10-17 | Philips Electronics Nv | Opto-electronische halfgeleiderinrichting met een straling-emitterende halfgeleiderdiode en werkwijze van een dergelijke inrichting. |
JPH0961271A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-03-07 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体式センサ及びその製造方法 |
JPH09129976A (ja) * | 1995-11-01 | 1997-05-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザの端面パッシベーション方法 |
JPH09232461A (ja) * | 1996-02-23 | 1997-09-05 | Nikko Co | セラミックリッドによる中空パッケージ構造を有する電子部品の製造方法 |
JPH1187814A (ja) | 1997-09-04 | 1999-03-30 | Sony Corp | レーザ共振器の寿命延長方法 |
JP2000133868A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザモジュール |
JP2000133736A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザ素子の気密封止方法及び気密封止装置 |
US6220767B1 (en) * | 1999-05-14 | 2001-04-24 | Corning Incorporated | Semiconductor laser optical waveguide telecommunications module and method of making |
JP2000352730A (ja) * | 1999-06-10 | 2000-12-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 導波路型波長変換装置およびその製造方法 |
US6943128B2 (en) * | 2000-08-24 | 2005-09-13 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Method for reducing semiconductor resistance, device for reducing semiconductor resistance and semiconductor element |
JPWO2002054548A1 (ja) * | 2000-12-28 | 2004-05-13 | 松下電器産業株式会社 | 短波長レーザモジュールおよびその製造方法 |
JP3847642B2 (ja) * | 2002-03-08 | 2006-11-22 | 株式会社リコー | 集積型レーザユニットの製造方法及び装置 |
JP4084068B2 (ja) | 2002-04-03 | 2008-04-30 | 富士フイルム株式会社 | レーザモジュール |
-
2003
- 2003-03-11 JP JP2003064932A patent/JP3801143B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-03-08 TW TW093106048A patent/TWI245432B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-03-10 KR KR1020047018114A patent/KR101014148B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2004-03-10 WO PCT/JP2004/003120 patent/WO2004107515A1/ja active Application Filing
- 2004-03-10 US US10/514,179 patent/US7238076B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-10 CN CNB2004800002054A patent/CN100373716C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5036308B2 (ja) * | 2004-06-02 | 2012-09-26 | パナソニック株式会社 | 半導体レーザ装置およびその製造方法 |
JPWO2005119862A1 (ja) * | 2004-06-02 | 2008-04-03 | 松下電器産業株式会社 | 半導体レーザ装置およびその製造方法 |
US7653099B2 (en) | 2004-06-02 | 2010-01-26 | Panasonic Corporation | Semiconductor laser device which is capable of stably emitting short-wavelength laser light |
WO2005119862A1 (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 半導体レーザ装置およびその製造方法 |
US7691729B2 (en) | 2004-09-30 | 2010-04-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for producing nitride semiconductor laser light source and apparatus for producing nitride semiconductor laser light source |
US7939433B2 (en) | 2004-09-30 | 2011-05-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for producing nitride semiconductor laser light source and apparatus for producing nitride semiconductor laser light source |
US7833834B2 (en) | 2004-09-30 | 2010-11-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for producing nitride semiconductor laser light source and apparatus for producing nitride semiconductor laser light source |
US7790484B2 (en) | 2005-06-08 | 2010-09-07 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing laser devices |
CN100420110C (zh) * | 2005-06-08 | 2008-09-17 | 夏普株式会社 | 制造激光器件的方法 |
JP2006344727A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Sharp Corp | レーザ装置の製造方法 |
JP4530962B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2010-08-25 | シャープ株式会社 | 半導体レーザ装置の製造方法および製造装置 |
JP2007095931A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置の製造方法および製造装置 |
US7656916B2 (en) | 2006-12-22 | 2010-02-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor light emitting device and method for fabricating same |
US8441029B2 (en) | 2010-01-25 | 2013-05-14 | Renesas Electronics Corporation | Light emitting element including side surface dielectric layer for avoiding impurity adhesion |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2004107515A1 (ja) | 2004-12-09 |
US7238076B2 (en) | 2007-07-03 |
TWI245432B (en) | 2005-12-11 |
KR20050111527A (ko) | 2005-11-25 |
JP3801143B2 (ja) | 2006-07-26 |
US20050153478A1 (en) | 2005-07-14 |
KR101014148B1 (ko) | 2011-02-14 |
CN1698242A (zh) | 2005-11-16 |
CN100373716C (zh) | 2008-03-05 |
TW200507299A (en) | 2005-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5036308B2 (ja) | 半導体レーザ装置およびその製造方法 | |
US5578863A (en) | Optoelectronic semiconductor device with a radiation-emitting semiconductor diode, and method of manufacturing such a device | |
CN101847824B (zh) | 发光装置及其制造方法 | |
US7164148B2 (en) | Light emitting device | |
JP3801143B2 (ja) | 発光装置の組立方法 | |
US7790484B2 (en) | Method for manufacturing laser devices | |
JP5095091B2 (ja) | レーザ装置の製造方法 | |
US8018134B2 (en) | Light source, optical pickup, and electronic apparatus | |
US6991952B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JP2007019470A (ja) | レーザ装置の製造方法 | |
JP4865998B2 (ja) | 光源、光ピックアップ装置、および電子機器 | |
JP2009088064A (ja) | 半導体装置の製造方法及びそれを用いた半導体装置の製造装置 | |
KR101136168B1 (ko) | 레이저 다이오드 패키지 및 그의 제조 방법 | |
JP2009070847A (ja) | 半導体レーザの製造方法および組立装置 | |
KR101461672B1 (ko) | 반도체 레이저 다이오드 패키지 시스템 및 그 방법 | |
KR20080094152A (ko) | 반도체 레이저 다이오드 및 그의 패키지 | |
JP2006100376A (ja) | 半導体レーザ装置および光ピックアップ装置 | |
KR101461673B1 (ko) | 반도체 레이저 다이오드 패키지 시스템 및 그 방법 | |
JP2001345520A (ja) | 半導体発光素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060411 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060424 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 3801143 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100512 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100512 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110512 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120512 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130512 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130512 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |