JP2004261872A - レーザによって材料を除去するための方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 チャンネルの形成を低減できる、レーザを用いて材料を除去する方法は、パルスエネルギー、パルス幅、およびフルエンスからなるレーザパルスをドリル材13に向け放射するステップを有してなり、このフルエンスは側壁および底部15を有した穴10を形成するためにドリル材13における底部15でチャネルの形成を回避するのに十分な値のものである。また、空間プロファイルにわたって実質的に均一なフルエンスになるようにレーザパルスの空間プロファイルを整形するステップを有している。さらにパルスエネルギー、パルス幅、および穴10の底部15でチャネルの形成を回避するのに十分なフルエンスを有する少なくとも1つの後続のレーザパルスを放射するステップを有している。
【選択図】 図1
Description
13 ドリル材
15 底部
19 フィラメント
23 空間プロファイル
Claims (11)
- チャネルの形成を低減するようにレーザによって材料を除去するための方法であって、
パルスエネルギー、パルス幅、およびフルエンスを有してなるレーザパルスをドリル材の表面に向けて放射するステップを有してなり、前記フルエンスは、側壁と底部を有する穴を形成し且つ前記表面で前記ドリル材へのチャネル形成を回避するために十分な値であり、
前記レーザパルスの空間プロファイルを、前記フルエンスが前記空間プロファイルにわたって実質的に均一になるように、整形するステップを有してなり、
パルスエネルギー、パルス幅、および前記穴の前記底部におけるチャネル形成を回避するのに十分なフルエンスを有する少なくとも1つの後続のレーザパルスを放射するステップを有してなる、方法。 - 前記レーザパルスの前記空間プロファイルを整形するステップが、前記空間プロファイルがトップハット状に形成されるように整形することを有してなる、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記ドリル材が、ステンレススチール、アルミニウム、ニッケルベース超合金、ニッケルベースの単結晶合金、および銅からなるグループから選択されたものである、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記レーザパルスが放射される際の前記フルエンスが2から30J/cm2の間である、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記レーザパルスが放射される際の前記フルエンスが5J/cm2以下である、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記レーザパルスの空間プロファイルを整形するステップが、前記後続のレーザパルスの少なくとも1つの空間プロファイルを、前記フルエンスが前記穴の前記底部にわたって実質的に均一になるように整形することを有してなる、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記レーザパルスが放射される間のパルス幅が10ピコ秒以下である、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記レーザパルスが放射される間のパルス幅が1ピコ秒以下である、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記レーザパルスを放射するステップが、1から1.06μmの間の波長で、前記レーザパルスを放射することを有してなる、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記レーザパルスを放射するステップが、約1.03μmの波長で、前記レーザパルスを放射することを有してなる、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記レーザパルスを放射するステップが、チャープパルス増幅された超短レーザから前記レーザパルスを放射することを有してなる、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
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