JP2004251902A - 誘導型センサー、およびこの誘導型センサーでもって構成された回転検出器 - Google Patents

誘導型センサー、およびこの誘導型センサーでもって構成された回転検出器 Download PDF

Info

Publication number
JP2004251902A
JP2004251902A JP2004026520A JP2004026520A JP2004251902A JP 2004251902 A JP2004251902 A JP 2004251902A JP 2004026520 A JP2004026520 A JP 2004026520A JP 2004026520 A JP2004026520 A JP 2004026520A JP 2004251902 A JP2004251902 A JP 2004251902A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed circuit
inductive sensor
circuit board
circuit boards
sensor according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004026520A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4504038B2 (ja
Inventor
Lutz Rissing
ルッツ・リッスィング
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JP2004251902A publication Critical patent/JP2004251902A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4504038B2 publication Critical patent/JP4504038B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/204Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
    • G01D5/2053Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by a movable non-ferromagnetic conductive element
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/24Housings ; Casings for instruments
    • G01D11/245Housings for sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/02Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using mechanical means
    • G01D5/04Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using mechanical means using levers; using cams; using gearing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/14Structural association of two or more printed circuits
    • H05K1/144Stacked arrangements of planar printed circuit boards

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

【課題】 本発明の課題は、外側の影響に対して強靭であり、且つ、極めて小さな構造空間を必要とする、誘導型センサーを提供することである。
【解決手段】 本発明は、少なくとも2つのプリント基板1、2から成る誘導型センサーに関し、この誘導型センサーが、その際、この第1のプリント基板1の上に、受信部パターン導線1.1が載置されている。この第2のプリント基板2の上に、これら受信部パターン導線1.1に起因する信号を評価するための評価電子機器の構造要素2.1が設けられている。その際、これら両方のプリント基板1、2が、サンドイッチ状に組み合わされており、且つ、評価電子機器の少なくとも1つの構造要素2.1が、これら両方のプリント基板1、2の間に格納されている。本発明は、更に、この誘導型センサーでもって構成された回転検出器に関している。
【選択図】 図1

Description

本発明は、請求項1による、相対的位置、特に相対的角度位置を測定するための誘導型センサー、および、請求項9による、この誘導型センサーでもって構成された回転検出器に関する。
誘導型センサーは、例えば、2つの相対的に互いに回転可能な機械部材の角度状態を測定するための回転検出器内において、しかし同様に、2つの相対的に互いに長手方向に摺動可能な機械部材の位置測定のための測定機器においても使用される。
誘導型センサーの場合、しばしば、励磁コイル、および受信部コイルは、プリント基板の様式で、1つの共通のプリント基板上に載置され、このプリント基板が、例えば、回転検出器のステーターと強固に結合されている。このプリント基板に対して、更に別の基板が設けられており、この更に別の基板上に、周期的な間隔において、導電性の面が、目盛り構造(Teilungsstruktur)として載置されており、且つ、この更に別の基板が、この回転検出器のローターと回転不能に結合されている。これら励磁コイルに、電気的な励磁場が賦与された際、これら受信部コイル内において、ローターとステーターとの間の相対的な回転の間、角度状態に依存する信号が形成される。これら信号は、次いで、評価電子機器内において、更に処理される。しばしば、この様式の評価電子機器の構造要素は、更に別のプリント基板上に格納されている。この励磁コイル、および受信部コイルを有するプリント基板、および、この評価電子機器を有するプリント基板は、しばしば、フレキシブル導体、および差込結合部を介して、互いに結合されている。この電気的な結合の様式は、相対的に大きな容積を占める。他方では、しかしながら恒久的に、この様式のセンサー、もしくは回転検出器の小型化のための願望が存在している。
ドイツ連邦共和国特許公開第101 11 966号明細書(特許文献1)において、誘導型センサーのための構造が記載されており、この構造の場合、励磁コイル、および受信部コイル、並びに評価電子機器の構成要素が、多層の構造体内において、ラミネートの様式で構成されている。この構造は、しかしながら、この構造が、外側の影響に対して、比較的に敏感であり、且つ、如何なる最適な空間利用も可能でないという欠点を有している。
ドイツ連邦共和国特許公開第101 11 966号明細書
従って、本発明の根底をなす課題は、外側の影響に対して強靭であり、且つ、極めて小さな構造空間を必要とする、誘導型センサーを提供することである。同様に、本発明により、小さな外側寸法を有する信頼性の高い回転検出器が提供される。
この課題は本発明に従い、請求項1の特徴、もしくは、請求項9の特徴によって解決される。
本発明により、その上に受信部パターン導線が載置されているプリント基板、および、その上に評価電子機器が設けられているプリント基板が、サンドイッチ状に組み合わされており、その際、評価電子機器の敏感な電子式の構造部材が、これらプリント基板の間に、格納されている。このようにして、電子式の構造部材、これらプリント基板によって、外側の影響から保護されている。
構造部材の更なる保護のために、これら構造部材は、本発明の有利な実施形態において、相対して位置しているプリント基板の1つ、または多数の窪み部内に、即ち、受信部パターン導線を有するプリント基板内に格納される。
本発明の有利な実施形態において、これらプリント基板の内の少なくとも1つのプリント基板は、部分的に、または完全に周囲に延在する縁部を有しており、従って、これらサンドイッチ状に組み合わされたプリント基板の間の間隙が、少なくとも部分的に、カバーされ、即ち閉鎖される。有利には、1つの縁部は、(これらサンドイッチ状に組み合わされたプリント基板から成る)プリント基板結合体の外側周囲において、即ち、外套側に設けられている。
サンドイッチ状に組み合わされたプリント基板の間の、その内に評価電子機器の構造部材が格納されている中空空間が、充填物質でもって鋳込まれている場合は、特に有利である。
この構造様式によって、誘導型センサー、およびこの誘導型センサーでもって構成された回転検出器の強靭性、特に耐振動性は増大される。
本発明の有利な実施形態は、従属請求項から見て取れる。
本発明による誘導型センサー、並びにこの誘導型センサーでもって構成された回転検出器の更なる詳細、および利点は、添付の図に基づく実施例の以下の説明から与えられる。
図1に、誘導型センサーの一部分が、組み合わせ前の透視図において示されている。このセンサーは、特に、剛性の、ガラス繊維強化されたエポキシ樹脂をベースとする、環状の第1のプリント基板1から成り、この第1のプリント基板が、受信部パターン導線1.1、および励磁パターン導線1.2(図2参照)を備えている。この第1のプリント基板1は、プリント基板材料からフライス加工された環状の窪み部1.5を有しており、従って、この窪み部1.5の境界部として、2つの周囲に延在する縁部1.6および1.7が設けられている。
第2のプリント基板2でもっての、これら受信部パターン導線1.1(および同様にこれら励磁パターン導線1.2)の間の、電気的な接触を形成するため、および、この第2のプリント基板2との、この第1のプリント基板1の機械的な結合のために、この第1のプリント基板1に、いわゆる半分体スリーブ(Halb-Huelse)1.8が配設されており、これら半分体スリーブは、このセンサーの組み立ての際、一方の第2のプリント基板2のはんだパッド2.3と、はんだ付けされる。組み合わされたプリント基板1、2の、後の鋳込みのために、充填開口部1.9が、穿孔の様式で、この第1のプリント基板1内において設けられている。
同様に基体として剛性の、ガラス繊維強化されたエポキシ樹脂を有する、第2のプリント基板2は、この第2のプリント基板の両方の表面に、評価電子機器の電子式の構造部材2.1、2.2(図2参照)を実装している。この第2のプリント基板2の、第1のプリント基板1の方を向いた表面は、特に、敏感な構造部材2.1、示された実施例において特にケーシングされていないASICを備えており、この構造部材が、チップオンボード技術によって、このプリント基板1上に載置される。ケーシングされていない構造部材2.1の使用によって、更なる空間の節約が可能である。何故ならば、ケーシングのための所要スペースが顧慮される必要がないからである。
図2において、センサー配設の断面図が示されており、その際、両方のプリント基板1、2は、既にサンドイッチ状に、即ち互いに平行の整向状態において組み合わされている。この図の中で、窪み部1.5が、特に敏感な構造部材2.1を収容していることは、認識され得る。この第1のプリント基板1は、いわば、これらカバーされた電子式の構造部材2.1の保護のための蓋部として使用される。その際に、軸線方向においてだけでなく、半径方向においても、カバーが行なわれる。何故ならば、縁部1.6、1.7が、これら構造部材2.1を、同様にこの方向においても保護するからである。このようにして、これら構造部材2.1は、外側の影響に対して、例えば、潤滑剤、または湿気の浸入に対して、並びに、機械的な影響に対して、効果的に守られている。外側の影響に対する、保護の更なる増大のために、第1のプリント基板1と第2のプリント基板2との間の容積部、即ち、窪み部によって形成された中空空間は、充填物質3でもって鋳込みされる。その際、この液状の充填物質3は、これら充填開口部1.9の内の一方の充填開口部を通って、この窪み部1.5内へと押圧され、これに対して、押し退けられた空気が、他方の充填開口部1.9を通って逃れ出る。この鋳込みの後、先ず第一に液状の充填物質3は、固体のかたまりへと硬化する。選択的に、上記の目的のために、同様に、例えばシリコンベースのゲル状の充填物質3も使用される。装入された充填物質3によって、誘導型センサーの耐振動性、および従って、この誘導型センサーでもって構成された回転検出器の強靭性は増大される。
図2から、第2のプリント基板2の両方の表面が、構造部材2.1、2.2を実装するために使用されることが、特に見て取れる。即ち、構造部材2.1、2.2の所定の数における単面状の実装に比して、低減された直径を有するプリント基板2が使用され得、このことは、回転検出器の外側寸法のために、結局は決定的である。
第1のプリント基板1、および第2のプリント基板2と並んで、図2において、更に、基板4が図示されており、この基板上に、目盛り構造が、この基板4上に周期的に載置された伝導性の面4.1の様式で設けられている。センサーの作動状態において、この基板4は、両方のプリント基板1、2のサンドイッチ結合体に対して、回転軸線Aを中心にして回転する。
図3は、本発明による誘導型センサーが備え付けられている回転検出器を示している。この回転検出器は、定置のケーシング5、および、このケーシングに対して相対的に回転可能な回転軸6を有している。この回転軸6に、目盛り構造4.1を有する基板4が、回転不能に固定されている。それに対して、このケーシング5に、両方のプリント基板1、2から成るサンドイッチ状の結合体が固定されている。更に、この回転検出器は、この回転検出器の多重回転機能性(Multi-Turn-Funktionalitaet)のために必要とされる減速伝動機構7を備えている。この誘導型センサーのコンパクトな構造様式により、ここで、この回転検出器は、著しく縮小された状態で製造され、更に、評価電子機器の構造部材2.1の密閉したカバーによって、極めて信頼性の高い、且つ強靭な回転検出器が形成される。
組み合わせ前の、両方のプリント基板の透視図である。 本発明による誘導型センサーの断面図である。 具体的に説明するために切開されたケーシングを共に示した、回転検出器の透視図である。
符号の説明
1 第1のプリント基板
1.1 受信部パターン導線
1.2 励磁パターン導線
1.5 窪み部
1.6 縁部
1.7 縁部
1.8 半分体スリーブ
1.9 充填開口部
2 第2のプリント基板
2.1 電子式の構造部材、 構造要素
2.2 電子式の構造部材、 構造要素
2.3 はんだパッド
3 充填物質
4 基板
5 ケーシング
6 回転軸
7 減速伝動機構
A 回転軸線

Claims (9)

  1. 少なくとも2つのプリント基板(1、2)から成る誘導型センサーであって、この誘導型センサーが、その際、
    − この第1のプリント基板(1)の上に、受信部パターン導線(1.1)が載置されており、および、
    − この第2のプリント基板(2)の上に、これら受信部パターン導線(1.1)に起因する信号を評価するための評価電子機器の電子式の構造要素(2.1)が設けられており、
    その際、これら両方のプリント基板(1、2)が、サンドイッチ状に組み合わされており、且つ、評価電子機器の少なくとも1つの構造要素(2.1)が、これら両方のプリント基板(1、2)の間に格納されていることを特徴とする誘導型センサー。
  2. 請求項1による誘導型センサーであって、その際、第2のプリント基板(2)が、両側で、評価電子機器の構造要素(2.1)を実装されていることを特徴とする上記誘導型センサー。
  3. 請求項1による誘導型センサーであって、その際、第1のプリント基板(1)が、評価電子機器の少なくとも1つの構造部材(2.1)の収容のために、窪み部(1.5)を有していることを特徴とする上記誘導型センサー。
  4. 請求項1による誘導型センサーであって、その際、プリント基板(1、2)の内の少なくとも1つのプリント基板が、特にこのプリント基板の外套側面において、少なくとも部分的に周囲に延在する縁部(1.6、1.7)を有しており、従って、
    サンドイッチ状に組み合わされたプリント基板(1、2)の間の間隙が、少なくとも部分的にカバーされるように構成されていることを特徴とする上記誘導型センサー。
  5. 請求項1による誘導型センサーであって、その際、両方のプリント基板(1、2)が、はんだ結合によって、互いに電気的に、及び/または機械的に結合されていることを特徴とする上記誘導型センサー。
  6. 請求項1による誘導型センサーであって、その際、両方のプリント基板(1、2)が、粘着結合によって、互いに結合されていることを特徴とする上記誘導型センサー。
  7. 請求項1による誘導型センサーであって、その際、両方のプリント基板(1、2)が、溶接結合によって、互いに結合されていることを特徴とする上記誘導型センサー。
  8. 請求項1による誘導型センサーであって、その際、両方のプリント基板(1、2)の間の容積部が、充填物質(3)でもって充填されていることを特徴とする上記誘導型センサー。
  9. 請求項1による誘導型センサーを有することを特徴とする回転検出器。
JP2004026520A 2003-02-21 2004-02-03 誘導型センサー、およびこの誘導型センサーでもって構成された回転検出器 Expired - Fee Related JP4504038B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10307674A DE10307674A1 (de) 2003-02-21 2003-02-21 Induktiver Sensor und damit ausgestatteter Drehgeber

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004251902A true JP2004251902A (ja) 2004-09-09
JP4504038B2 JP4504038B2 (ja) 2010-07-14

Family

ID=32731109

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004026520A Expired - Fee Related JP4504038B2 (ja) 2003-02-21 2004-02-03 誘導型センサー、およびこの誘導型センサーでもって構成された回転検出器

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7157903B2 (ja)
EP (1) EP1450135B1 (ja)
JP (1) JP4504038B2 (ja)
CN (1) CN1311219C (ja)
AT (1) ATE404848T1 (ja)
DE (2) DE10307674A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015184282A (ja) * 2014-03-24 2015-10-22 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mitbeschrankter Haftung 誘導式角度測定装置のための走査部材
JP2017538118A (ja) * 2014-12-04 2017-12-21 コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングContinental Automotive GmbH 可動部に取り付けられたポインタの位置を検出するための回路構造を備えている非接触式位置センサ

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008046741A1 (de) * 2008-09-11 2010-03-18 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Induktiver Positionssensor, damit ausgestattetes Messsystem und Verfahren zum Betrieb eines Positionssensors
EP2202491B1 (en) * 2008-12-24 2013-07-31 Keihin Corporation Inductance-type rotation angle sensor, method of manufacturing the same, and intake control system for engine including the sensor
DE102009018644B4 (de) 2009-04-17 2023-06-22 Balluff Gmbh Induktives Sensormodul und induktiver Näherungssensor
US8742715B2 (en) 2011-06-09 2014-06-03 Simmonds Precision Products, Inc. System and method for providing control of an electric motor using inductive rotary sensor
DE202011051104U1 (de) * 2011-08-25 2012-11-28 Turck Holding Gmbh Drehwinkel oder Weg-Sensor
DE102014219009A1 (de) * 2014-09-22 2016-03-24 Continental Teves Ag & Co. Ohg Positionssensor
DE102015119530A1 (de) * 2015-11-12 2017-05-18 Hella Kgaa Hueck & Co. Vorrichtung zur Erfassung einer Drehbewegung
EP3355032B1 (de) 2017-01-30 2019-03-27 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Sensor zur positionsmessung
US10717643B2 (en) 2017-09-27 2020-07-21 Rockwell Automation Technologies, Inc. Board mounted microelectromechanic system (MEMS) sensors for motor diagnostics and analytics
DE102020205027A1 (de) * 2020-04-21 2021-10-21 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Steuergerät zum Ansteuern einer elektrischen Maschine, Sensoranordnung zur Bestimmung einer Rotorposition einer elektrischen Maschine
DE102023202516A1 (de) 2022-08-09 2024-02-15 Renesas Electronics America Inc. Induktive Sensoranordnung

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08148878A (ja) * 1994-11-24 1996-06-07 Nec Corp 無線送受信装置
JP2001267714A (ja) * 2000-03-16 2001-09-28 Sony Corp 電子回路装置

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5150115A (en) * 1990-12-13 1992-09-22 Xerox Corporation Inductive type incremental angular position transducer and rotary motion encoder having once-around index pulse
DE19648539C2 (de) * 1996-11-25 2000-04-13 Mannesmann Vdo Ag Passiver magnetischer Positionssensor
US5947691A (en) * 1997-10-29 1999-09-07 Comair Rotron, Inc. Winding supply circuit with current and thermal protective elements
US6313624B1 (en) * 1998-11-27 2001-11-06 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Position sensor with integrated signal-conditioning electronics on a printed wiring board
US6152353A (en) * 1999-01-14 2000-11-28 Celestica International Inc. Printed circuit board header attachment station
US6605939B1 (en) * 1999-09-08 2003-08-12 Siemens Vdo Automotive Corporation Inductive magnetic saturation displacement sensor
JP3504904B2 (ja) 2000-03-13 2004-03-08 株式会社ミツトヨ 誘導型トランスデューサ及び電子ノギス
EP1162466A1 (en) * 2000-06-06 2001-12-12 Product Innovation Holdings Limited Motion sensors
JP3521132B2 (ja) * 2000-07-24 2004-04-19 株式会社ミツトヨ 相対変位検出ユニット及び相対変位検出装置
DE10066293B4 (de) * 2000-09-29 2007-11-29 Balluff Gmbh Induktiver Sensor
US6894510B2 (en) * 2001-02-03 2005-05-17 Robert Bosch Gmbh Locating device
US20030057544A1 (en) * 2001-09-13 2003-03-27 Nathan Richard J. Integrated assembly protocol
DE10158223B4 (de) * 2001-11-16 2017-10-05 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Drehwinkel-Messgerät
AU2003223180A1 (en) * 2002-02-14 2003-09-04 Bvr Technologies Company Methods and apparatus for sensing angular position of a rotatable shaft
KR100460062B1 (ko) * 2002-04-23 2004-12-04 주식회사 하이닉스반도체 멀티 칩 패키지 및 그 제조 방법
DE10219678C1 (de) * 2002-05-02 2003-06-26 Balluff Gmbh Induktiver Wegmessaufnehmer mit einen passiven Resonanzkreis aufweisendem Messkopf
US6597062B1 (en) * 2002-08-05 2003-07-22 High Connection Density, Inc. Short channel, memory module with stacked printed circuit boards

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08148878A (ja) * 1994-11-24 1996-06-07 Nec Corp 無線送受信装置
JP2001267714A (ja) * 2000-03-16 2001-09-28 Sony Corp 電子回路装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015184282A (ja) * 2014-03-24 2015-10-22 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mitbeschrankter Haftung 誘導式角度測定装置のための走査部材
JP2017538118A (ja) * 2014-12-04 2017-12-21 コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングContinental Automotive GmbH 可動部に取り付けられたポインタの位置を検出するための回路構造を備えている非接触式位置センサ

Also Published As

Publication number Publication date
DE10307674A1 (de) 2004-09-02
CN1311219C (zh) 2007-04-18
US20040164728A1 (en) 2004-08-26
JP4504038B2 (ja) 2010-07-14
US7157903B2 (en) 2007-01-02
CN1523320A (zh) 2004-08-25
ATE404848T1 (de) 2008-08-15
EP1450135A1 (de) 2004-08-25
DE50310314D1 (de) 2008-09-25
EP1450135B1 (de) 2008-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2004251902A (ja) 誘導型センサー、およびこの誘導型センサーでもって構成された回転検出器
US7509883B2 (en) Torque detecting apparatus and manufacturing method thereof
US7337679B2 (en) Rotation sensor
US7190160B2 (en) Rotation sensor
JP5718081B2 (ja) 磁気センサユニットおよびエンコーダ付きモータ
US20060038560A1 (en) Magnetic sensor device having components mounted on magnet
CN109120108A (zh) 马达
JP2001124511A (ja) 回転角検出装置
US7382120B2 (en) Rotary position sensor with rectangular magnet and hall sensors placed in association with the surface of the magnet
JP2020115129A (ja) 角度測定機構のための走査ユニット
RU2007125424A (ru) Способ и устройство для контроля роторных механизмов
JP4881041B2 (ja) 磁気センサ装置
KR102065017B1 (ko) 회전검출장치 및 중공 액추에이터
JP2007024778A (ja) 回転センサ付軸受
JP2007292678A (ja) 接地付センサ軸受及び回路基板の接地パターンと筐体との接続方法
JP2020115130A (ja) 角度測定機構のための走査ユニット
JP7476330B2 (ja) センサ装置およびモータ
CN114270144B (zh) 旋转角度测量装置、旋转角度测量系统和电机
JP2007108115A (ja) フレキシブルプリント基板とこれを用いた磁気式エンコーダおよびこれを備えたモータ
JP4967852B2 (ja) 磁気式エンコーダ及びモータ
JP6965709B2 (ja) 電動アクチュエータ
JP5164434B2 (ja) エンコーダ
JP2008185501A (ja) 回転検出装置
JP2007115794A (ja) フレキシブルプリント基板並びにフレキシブルプリント基板を用いた磁気式エンコーダ及びサーボモータ
JP2010169652A (ja) 回転角度検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061016

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090728

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090916

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091222

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100121

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100323

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100422

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4504038

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140430

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees