JP2004251890A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 測定用パターンを備えた光源と、ラインセンサを備え前記光源に対向して配置された検出手段とを備え、ロッドレンズアレイを前記光源と検出手段の間の測定領域を通過させて、前記光源からの検査光を前記ロッドレンズアレイに入射させ該ロッドレンズアレイの光学性能を検査するロッドレンズアレイ検査装置であって、
   光学性能が測定されるロッドレンズアレイを載置して前記光源と検出手段との間の領域を往復動することによって、前記ロッドレンズアレイを、前記測定領域を２度、通過させる搬送手段と、
   前記光源と検出手段とを前記検査光の光軸を中心に９０度、回転させる回転機構とを備えている、
   ことを特徴とするロッドレンズアレイ検査装置。
2. 前記搬送手段が、前記ロッドレンズアレイが載置される載置台を備え、該載置台に真空吸引手段に連結された吸引孔が形成されている、
   ことを特徴とする請求項１に記載のロッドレンズアレイ検査装置。
3. 前記載置台の所定位置に前記ロッドレンズアレイを位置決めする位置決め手段を備え、該位置決め手段は、前記載置台に隣接して配置され次に検査されるロッドレンズアレイが配置されるステージと、該ステージ上に配置されたロッドレンズアレイを前記載置台上に押し出して所定位置に位置決めする押出手段とを備えている、
   ことを特徴とする請求項２に記載のロッドレンズアレイ検査装置。
4. 測定用パターンを備えた光源と、ラインセンサを備えた検出手段との間の測定領域内でロッドレンズアレイを移動させて、該ロッドレンズアレイの光学性能を検査するロッドレンズアレイ検査方法であって、
   光学性能を測定するロッドレンズアレイを、吸引手段に連結された吸引孔を有する載置台の所定位置に配置する工程と、
   前記載置台を第１方向に移動させて前記ロッドレンズアレイを前記測定領域を通過させながら、前記載置台上のロッドレンズアレイの一端面に前記光源からの検査光を入射させ該ロッドレンズアレイの他端面から出射した光を前記検出手段で検出して、前記ロッドレンズアレイの光学性能を検査する工程と、
   前記測定用パターンとラインセンサとを前記検査光の光軸を中心に９０度回転駆動させる工程と、
   前記載置台を前記第１方向と反対向きの第２方向に移動させて前記ロッドレンズアレイを、前記測定領域を通過させながら、前記載置台上のロッドレンズアレイの一端面に前記光源からの光を入射させ該ロッドレンズアレイの他端面から出射した光を前記検出手段で検出して、前記ロッドレンズアレイの光学性能を検査する工程と、を備えている、
   ことを特徴とするロッドレンズアレイ検査方法。
5. 棒状部材を整列させながら搬送する搬送装置であって、
   前記棒状部材を収容可能な凹部が一定間隔で形成され該凹部が上方に向けられた傾斜状態で前記棒状部材の長さより短い間隔で互いに平行に配置されている一対の固定搬送部材と、
   前記棒状部材を収容可能な凹部が前記一定間隔で形成され該凹部が上方に向けられ前記固定搬送部材と並列して前記棒状部材の長さより短い間隔で互いに平行に配置され前記固定搬送部材に対して回転運動を行う一対の可動搬送部材と、
   前記可動搬送部材の一つの凹部が前記固定搬送部材の一つの凹部と整列する第１位置と、
   前記可動搬送部材の前記一つの凹部が前記固定搬送部材の前記一つの凹部の上方の凹部と整列する第２位置とを通る軌道に沿って、前記可動搬送部材を前記固定搬送部材に対して、前記第１位置から前記第２位置に回転駆動させる駆動機構と、を備えている、
   ことを特徴とする搬送装置。