JP2004241336A - 真空気密端子 - Google Patents

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JP2004241336A JP2003031874A JP2003031874A JP2004241336A JP 2004241336 A JP2004241336 A JP 2004241336A JP 2003031874 A JP2003031874 A JP 2003031874A JP 2003031874 A JP2003031874 A JP 2003031874A JP 2004241336 A JP2004241336 A JP 2004241336A
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Kazuto Uchida
和人 内田
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Abstract

【課題】実験用真空容器の内部に対して電気的接続等を行わせるための新規な真空気密端子の提供を図る。
【解決手段】真空容器の側壁Aの所要箇所に開口部aを開設し、当該開口部aにはこれに連通させるようにして固定側カップリング1を固定し、当該固定側カップリング1の前面には抑止用カップリング2を対向させ、絶縁材料で製した端子固定用栓体3aに対して所要数の端子用細杆3b…を放射状にしてかつ気密に貫通させて取り付けた端子本体3を、センターリング4の環内に対し気密に嵌着し、当該センターリング4の外周部に取付けた密封用Oリング5の両側面を、上記両カップリング1,2のフランジ部で挟持圧着させると共に、当該両フランジ部をクランプ6で挟着固定することに依り、前記端子本体3の気密的填め込み固定が図られるように構成する。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、実験用真空容器の内部に対して電気的接続等を行わせるための真空気密端子に関する。
【0002】
【従来の技術】
真空気密容器内で実験を行う場合、当該容器内に電気機具等を収容し、当該機具等に対して外部から通電制御を行う必要がある。 そして、当該通電は、常圧の外部から真空等低圧の内部に対して行うため、単純にコードを差し込むようなことは気密性の確保から全くできず、そのためには特別の対処をとる必要がある。
【0003】
ところで、従来、超高真空用の専用端子は存在するが、これは、耐圧性能と高度の気密性確保性能を具えたものであるため、著しく高価なものとされた。 従って、それほどの真空性を要しない気密容器に用いた場合、著しい不経済性を生じることとなる。 そのため、従来においては、気密容器の側壁に適宜の連通筒管等を固設し、これに所要のコードを挿通すると共に、適宜のパッキング材で目張りすることを通例とした。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記したような 従来の方法であると、手作業的で行うものであるため気密性確保がうまくいかなかったり、また、多数のコードを導く場合、各コード毎にこのような連通用筒管等の取付けを行うため、気密容器の壁面に当該筒管等が多数樹立してその外観が極めて雑然化してしまうことを余儀なくされた。
【0005】
本発明は、真空気密容器内に対する複数端子による通電等が、極めてすっきりとした形態で果たされると同時に、このような端子の真空気密容器に対するセッティングが極めて簡便かつ廉価に果たされるようにした新規の真空気密端子の提供を図り、もって、上記したような従来の問題を解決したものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、真空容器の側壁Aの所要箇所に開口部aを開設し、当該開口部aにはこれに連通させるようにして固定側カップリング1を固定し、当該固定側カップリング1の前面には抑止用カップリング2を対向させ、絶縁材料で製した端子固定用栓体3aに対して所要数の端子用細杆3b…を放射状にしてかつ気密に貫通させて取り付けた端子本体3を、センターリング4の環内に対し気密に嵌着し、当該センターリング4の外周部に取付けた密封用Oリング5の両側面を、上記両カップリング1,2のフランジ部で挟持圧着させると共に、当該両フランジ部をクランプ6で挟着固定することに依り、前記端子本体3の気密的填め込み固定が図られるように構成したことを特徴とする真空気密端子に係るものである。
【0007】
また本発明は、両カップリング1 ,2間に、端子用細杆3b…の形態が異なる端子本体3を夫々気密に嵌着した複数のセンターリング4を、任意選択的に差し替えできるように気密に填め込むようにして実施することもできる。
【0008】
更に本発明は、端子用細杆3b…は通電用端子としての利用、また、これを光ファイバーを用いることにより、光接続用端子として使用できるように構成することも可能である。
【0009】
本発明は、上記のような構成に基づき、既述したような従来の問題を解決した新しい真空気密端子の提供が図られる。
【0010】
【作用】
端子用細杆3b…の両端に所要の結合を図ることにより、真空気密端容器の内外に対する気密的接続が図られる。 そして当該接続は、当該端子用細杆3b…をジャック的に一括して受け入れるための複数数回路を具えたプラグを用いることに依り、その接続は著しく簡便化した形態とすることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の要部を表した断面図である。 同図において、A真空容器の側壁であつて、当該側壁Aの通電等対象部分には予め所要の開口部aを開設しておくものとする。 1は当該開口部aに連通させるようにして側壁Aに固設した固定側カップリング、2は当該固定側カップリング1と対応させるための抑止用カップリングである。 そして、当該両カップリング1,2は通常ステンレス等の金属材料で形成されており、真空気密容器の側壁に対しては、その固定側カップリング1が、溶接手段または螺合手段等に基づき気密に固定されるものである。そして、両カップリング1,2の固定は、後述するようにクランプ6の締着により図られるように構成してある。
【0012】
3は端子本体であって、セラミック等の絶縁材料で製した端子固定用栓体3aに対して、所要数の端子用細杆3b…が放射状にしてかつ気密に貫通させて取り付けてある。 従って、各端子用細杆3b…は互いに絶縁された状態で各独立して支持されている。
【0013】
4センターリングであつて、その環内に対して上記端子固本体3を気密に嵌着するためのものである。 そして、当該センターリング4の外周部には、密封用Oリング(オーリング)5を取付けるための半円状の凹溝4aが形成してある。 また、当該センターリング4は、前述した両カップリング1,2間に位置させると共に、取付けられたOリング5の両側面を両カップリング1,2のフランジ面で挟持圧着させることによって、当該センターリング4の気密的取付けが図られ、これに依り端子本体3に対する気密的填め込みが図られるように構成してある。
【0014】
6は両カップリング1,2のフランジ部を挟着するように取り付けたクランプであって、当該クランプ5の定着に基づき両カップリング1,2の気密的連結が図られるように構成してある。
【0015】
前述した真空気密容器の側壁Aであるが、当該気密容器自体の形状は、円筒状または箱状等、その形状の如何は問わない。 重要な点は当該側壁Aと固定側カップリング1とが気密な状態で取付けられることにある。 従って、例えばその接合を溶接等に依存する場合は、当該筒体1の接合用端面を気密容器の側壁面にぴったりと合致する形状とすることが好ましい。
【0016】
上記したセンターリング4に対する端子本体3の嵌着であるが、この部分に対する気密性は充分に配慮する必要がある。 換言すれば一体化状態となるような嵌着が望ましい。 従って、接着剤に依る結合または焼結による結合等、そのための手段としては特別の限定性はないが、実験等上に生じる温度変化、化学的条件に影響を受けない手段とすることが必要である。
【0017】
上記した両カップリング1,2間に対するセンターリング4の取付けであるが、これは既述したように密封用Oリング5を介して行うように構成する。 すなわち、上記のような接着または焼結に基づき両者を結合した場合、これの取付けは固定化されてしまうことになるが、本発明において重要な点は、当該両者の取付けを着脱自在に取付けることにある。 すなわち、センターリング4をOリング5を介して両カップリング1,2間に位置させることに依り、両者の気密的連結が着脱自在に達成されるようにしたことにある。
【0018】
上記のような着脱の自在性を確保することにより、同一外径を具えているも端子固定用栓体3aに取付けられている端子用細杆3b…の本数、直径、または長さが異なる端子本体3を嵌着した別のセンターリング4との差し替えができるように構成される。 これに依り本発明にあっては、真空気密容器の側壁Aに対して、固定側カップリング1を予め固設しておくことにより、目的にあった形態の端子本体を具えたセンターリングの任意選択的取付けが図られる。 すなわち、パターンの異なる端子本体を具えた複数のセンターリングの、必要に応じた互換的取付けが図られることとなる。
【0019】
また、既述した端子用細杆3b…は電気的接続としての端子として使用する以外、これを光ファイバーを用いることにより、光接続用端子として使用することも可能である。 従って、本発明に係る真空気密端子は、電気的接続用に限定されるものではない。 なお、このように光ファイバー製の端子を用いた場合は、端子相互の電気的絶縁性を要求されることがないため、端子固定用栓体3aは既述したようにセラミック製とすることなく、金属製とすることも可能である。
【0020】
【発明の効果】
本発明は請求項1に記載のような構成、すなわち、真空容器の側壁Aの所要箇所に開口部aを開設し、当該開口部aにはこれに連通させるようにして固定側カップリング1を固定し、当該固定側カップリング1の前面には抑止用カップリング2を対向させ、絶縁材料で製した端子固定用栓体3aに対して所要数の端子用細杆3b…を放射状にしてかつ気密に貫通させて取り付けた端子本体3を、センターリング4の環内に対し気密に嵌着し、当該センターリング4の外周部に取付けた密封用Oリング5の両側面を、上記両カップリング1,2のフランジ部で挟持圧着させると共に、当該両フランジ部をクランプ6で挟着固定することに依り、前記端子本体3の気密的填め込み固定が図られるように構成したから、真空気密容器に対する通電等の接続が極めて整然と行われることとなる。 そして、本発明にあっては構成が著しく容易でありかつコンパクトな形態とすることができるから、廉価性を具えた真空気密端子の提供が果たされる。
【0021】
本発明は請求項2に記載のように、両カップリング1,2間に、端子用細杆3b…の形態が異なる端子本体3を夫々気密に嵌着した複数のセンターリング4を、任意選択的に差し替えできるように気密に填め込むように構成することに依り、実験の目的に応じた形態の端子用細杆に変更することが瞬時に達成される。 従って、真空気密容器の多目的利用が簡易かつ迅速に図られる。
【0022】
また、請求項3に記載のように、端子固定用栓体3aをセラミック製とすることに依り、端子用細杆3b…に対する、気密性が確保されかつ顕著な確実性をもった固定目的及び絶縁目的が達成される。
【0023】
更に本発明は、請求項4または請求項5に記載のような構成とすることに依り、真空容器内に対する外部からの接続が、通電用としてばかりでなく光接続用としての実施も可能とする。 なお、請求項5に記載のように光接続用として実施する場合は、電気的絶縁性が要求されないため、端子固定用栓体3aをセラミック製とせず、金属材料で形成することも可能である。
【0024】
更に本発明は、請求項6に記載のように、端子用細杆3b…を管状の杆材を用いることにより、接続用コード等の差し込み連結が容易化される。 従って、本発明はこのような管状の杆材を用いることが通常の実施形態である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の縦断面図である。
【図2】本発明の側面図である。
【図3】本発明の分解状態を表した説明用斜視図である。
【符号の説明】
A 真空気密容器の側壁
a 開口部
1 固定側カップリング
2 抑止用カップリング
3 端子本体
3a 端子固定用栓体
3b 端子用細杆
4 センターリング
4a 半円状凹溝
5 密封用Oリング
6 クランプ

Claims (6)

  1. 真空容器の側壁(A)の所要箇所に開口部(a)を開設し、当該開口部(a)にはこれに連通させるようにして固定側カップリング(1)を固定し、当該固定側カップリング(1)の前面には抑止用カップリング(2)を対向させ、絶縁材料で製した端子固定用栓体(3a)に対して所要数の端子用細杆(3b…)を放射状にしてかつ気密に貫通させて取り付けた端子本体(3)を、センターリング(4)の環内に対し気密に嵌着し、当該センターリング(4)の外周部に取付けた密封用Oリング(5)の両側面を、上記両カップリング(1,2)のフランジ部で挟持圧着させると共に、当該両フランジ部をクランプ(6)で挟着固定することに依り、前記端子本体(3)の気密的填め込み固定が図られるように構成した真空気密端子。
  2. 両カップリング(1 ,2)間に、端子用細杆(3b…)の形態が異なる端子本体(3)を夫々気密に嵌着した複数のセンターリング(4)を、任意選択的に差し替えできるように気密に填め込むように構成した請求項1に記載の真空気密端子。
  3. 端子固定用栓体(3a)をセラミック製として成る請求項1または請求項2に記載の真空気密端子。
  4. 端子用細杆(3b…)を通電用端子として成る請求項1乃至請求項3の何れかに記載の真空気密端子。
  5. 端子用細杆(3b…)として光ファイバーを用いることにより光接続用端子として成る請求項1乃至請求項3の何れかに記載の真空気密端子。
  6. 端子用細杆(3b…)を管状の杆材を用いて成る請求項1乃至請求項3の何れかに記載の真空気密端子。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015080313A1 (ko) * 2013-11-29 2015-06-04 주식회사 더블유원 이중 차단 방식의 진공 밀폐 장치

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