JP2004237636A

JP2004237636A - Method and device for pasting film

Info

Publication number: JP2004237636A
Application number: JP2003030264A
Authority: JP
Inventors: Koji Hironaka; 浩二弘中; Fumiaki Numajiri; 文晶沼尻; Katsuyoshi Watanabe; 勝義渡辺; Takeshi Ishida; 剛石田; Takeshi Fujii; 健藤井
Original assignee: Hitachi Industries Co Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2003-02-07
Filing date: 2003-02-07
Publication date: 2004-08-26
Anticipated expiration: 2023-02-07
Also published as: TW200415003A; CN1307033C; TWI236965B; KR20040073934A; KR100550649B1; JP3774701B2; CN1519095A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for evenly pasting a film to the surface of a base without generating a stepped part from the tip part to the rear end part of the film and further, without generating creases and bubbles, and a device using this method. SOLUTION: In this method, the tip part of the film is retained by an electrostatic force working between the tip part and the outer peripheral surface of a pressing roller by applying an electric charge to the tip part of the film; the tip part of the film is made to coincide with a position for starting its pasting to the base by conveying the film to the base by the rotation of the pressing roller and the film is pasted to the surface of the base; the rear end part of the film is also retained by an electrostatic force working between the rear end part and the outer peripheral surface of the pressing roller by applying an electric charge to the rear end part; the entire film is pasted from tip to rear end to the base by the rotation of the roller; and the rotating pressing roller is destaticized at an upstream position of the roller retaining the tip part and the rear end part of the film. COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフィルム貼付方法およびその装置に係り、特に、基板の表面に貼り付けたい形状のフィルムを圧着ロールによって基板表面へ貼り付ける方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、フィルムロールからフィルムを繰り出し、連続したフィルムを幅方向に切断して貼り付けたい形状とした枚葉のフィルム（以下、フィルムと略記する。）とし、１対の圧着ロールによってフィルムを基板表面へ貼り付けるにあたっては、下記の特許文献１に記載のように、フィルムの先端部を真空プレートなどの先端保持部材により保持して基板に貼り付け、先端保持部材が退避した後は両圧着ロールでフィルムと基板を挟み、両圧着ロールの回転で基板を複数の搬送ロールで構成している搬送路面上を搬送しつつ基板へのフィルムの貼り合せを行い、貼り付け終了の頃にフィルムの後端部をフィルム吸引部材（バキュームバー）などの終端保持部材で保持し直してフィルムの後端部までを基板上に貼り付けるようにしている。
【０００３】
【特許文献１】
特公平３−１６９０６号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術によれば、フィルムの先端部や後端部を基板に貼り付ける場合とフィルムの先端部と後端部の間の中間部を基板に貼り付ける場合とでは貼り付ける部材が相違するために加圧力に差を生じやすく、そのために貼り付けたフィルムの先端部や後端部に段差があって、その後の基板への処理に支障を来たしていた。例えば、フィルムがレジストフィルムであれば、露光を行うと段差で光量が変化し、筋が発生する問題などがあった。
【０００５】
また、フィルム後端部の保持部材は基板と圧着ロール間の空間に入れず、貼り付け終了位置以前にフィルム後端部の保持を停止して自由解放するために、フィルム後端部の貼り付けは乱れ、しわや気泡が発生しがちであった。
【０００６】
それゆえ本発明の目的は、フィルムの先端部から後端部まで段差を発生することなく平坦に基板上に貼り付けることができるフィルム貼付方法及びその装置を提供することにある。
【０００７】
また、本発明の他の目的はしわや気泡を発生することなくフィルムの先端部から後端部まで基板上に貼り付けることができるフィルム貼付方法及びその装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明方法の特徴とするところは、基板の表面に貼り付けたい形状のフィルムを圧着ロールによって基板の表面に貼り付けるフィルム貼付方法において、貼り付けたい形状のフィルムの先端部に電荷を付与して該先端部を該圧着ロールの外周面に両者の間に働く静電力で保持せしめ、該圧着ロールの回転により該貼り付けたい形状のフィルムを基板に搬送して該先端部を基板の貼り付け開始位置に一致せしめるとともに該貼り付けたい形状のフィルムを基板の表面に貼り付けて行き、該貼り付けたい形状のフィルムの後端部も電荷を付与して該後端部を該圧着ロールの外周面に両者の間に働く静電力で保持せしめ、該先端部から該後端部までの該貼り付けたい形状のフィルム全てを該圧着ロールの回転により基板に貼り付け、回転する該圧着ロールは該先端部を該圧着ロールの外周面で保持する該圧着ロールの上流位置において除電していることにある。
【０００９】
また上記目的を達成する本発明装置の特徴とするところは、基板の表面に貼り付けたい形状としたフィルムを圧着ロールによって基板の表面に貼り付けるフィルム貼付装置において、該貼り付けたい形状としたフィルムを静電力で保持する機能を有する圧着ロールと、該貼り付けたい形状としたフィルムの先端部を保持して該先端部を該圧着ロールの外周面に受け渡すフィルム先端保持部材と、該貼り付けたい形状としたフィルムの後端部を保持して該後端部を該圧着ロールの外周面に受け渡すフィルム後端保持部材と、該貼り付けたい形状としたフィルムの先端部および後端部に電荷を付与する手段と、該圧着ロールが回転しているときに該先端部そして後端部を該圧着ロールの外周面で保持する該圧着ロールの上流位置で該圧着ロールを除電する手段とを有し、該圧着ロールは除電してあるその外周面で該先端部を静電力で保持し、該圧着ロールの回転により該貼り付けたい形状としたフィルムを基板に搬送して該先端部を基板の貼り付け開始位置に一致せしめるとともに該貼り付けたい形状としたフィルムを基板の表面に貼り付けて行き、該後端部も除電してある該圧着ロールの外周面で静電力により保持して該圧着ロールの回転により該先端部から該後端部までの該貼り付けたい形状としたフィルム全てを基板に貼り付けることにある。
【００１０】
本発明によれば、貼り付けたい形状のフィルムを基板に貼り付けるものは圧着ロールだけで圧着部材を切り替えていないので、段差を発生することなく平坦に基板上に貼り付けることができる。
【００１１】
さらに圧着ロールは除電しているので、フィルムに電荷を付与してもフィルムに付与する電荷と同種の電荷で圧着ロールが帯電していくことはなく、従って圧着ロールとフィルムの間に静電的な斥力が発生することはなく、フィルム先端部から後端部まで圧着ロールで該貼り付けたい形状のフィルム全てを保持して基板に貼り付けることができて、しわや気泡を発生しない。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の一実施形態になるフィルム貼付装置の概略断面図である。図１において、１はカバーフィルム２ａ，レジストフィルム２ｂとベースフィルム２ｃの３層構成となっているフィルム２Ａのフィルムロールであり、フィルム２Ａはフィルムロール１に内側からカバーフィルム２ａ，レジストフィルム２ｂ，ベースフィルム２ｃの順番で巻き込んである。３はフィルム２Ａからセパレーターバー４で剥離するカバーフィルム２ａを回収する巻き取りロールである。フィルムロール１及び巻き取りロール３の駆動装置（例えば、モータ）にはフィルムロール１におけるフィルム２Ａの残量に応じてモータのトルク調整を行える機能を設けてあり、フィルム２Ａの張力を一定にして搬送するようにしている。５は段差ロールで、段差ロール５はカバーフィルム２ａ剥離後のレジストフィルム２ｂとベースフィルム２ｃとで２層構成となったフィルム２Ｂの張力（バックテンション）の調整を行える位置調整機能を設けてあり、フィルム２Ｂの張力調整は後述する。
【００１３】
６は、フィルム２Ｂの先端保持部材７，先端保持部材７を上下移動させるエアシリンダ８，フィルム２Ｂの後端保持部材９，先端保持部材７の上下移動時に後端保持部材９を左右に移動させるエアシリンダ１０を有するフィルム搬送部材で、フィルム搬送部材６はサーボモータ１１と直結されたボールねじ１２の回転で上下移動するようになっている。
【００１４】
図２に示すように、先端保持部材７の内部には幾つかに別れた真空室、上面（図１で左側の面）には吸着孔があり、その真空室を中間バルブを介して真空ポンプに連通してあるので上面でフィルム２Ｂの先端を吸着する。また、真空状態を監視する圧力センサを設け、何らかの原因によりフィルム２Ｂの吸着位置がずれ、吸着孔の上面にフィルムが位置しない場合は、真空圧が低下することからフィルムの吸着状況を監視することができるようにしてある。
【００１５】
後端保持部材９も先端保持部材７と同じように内部に真空室、上面（図１で左側の面）に吸着孔があり、真空状態を監視する圧力センサを設け、何らかの原因によりフィルム２Ｂの吸着位置がずれ、吸着孔がある上面（図１で左側の面）にフィルム２Ｂが位置しない場合は、真空圧が低下しフィルム２Ｂの吸着状態を監視することができる。吸着孔は、フィルム搬送方向に対して直交するように配置されており、吸着孔の大きさは、後述する圧着ロール１４側から段差ロール５の方向に対して徐々に小さくなり、フィルム２Ｂの後端が後端保持部材９の上面を滑って搬送される時は、真空が徐々に切れていくことによりフィルム２Ｂの後端まで吸着保持することが可能なようにしてある。また、フィルム２Ｂの搬送方向に直交する幅方向（図１の紙面に垂直な方向）に溝を設けており、カッタ１３（図１参照）でフィルム２Ｂを幅方向に切断するときのカッタ受けとして用いる。また、カッタ１３は、フィルム２Ｂの搬送方向に対し垂直な方向（図１の右左方向）に移動可能となるようにフィルム搬送部材６にエアシリンダ（図示は省略する）を介して取り付けてあり、フィルム２Ｂの切断をしない時は、図１中の左側に退避できるようになっている。フィルム２Ｂの切断速度は、フィルム搬送部材６がフィルム保持位置となるフィルム２Ｂの切断位置からフィルム先端受渡し位置までの移動時間中に完了するように、カッタ１３の移動速度を調整することが可能となるようにしてある。
【００１６】
後端保持部材９の上面（図１で左側の面）６は図１において圧着ロール１４の左側の外周面部分に対する接触平面となり、先端保持部材７の上下移動時に干渉しないようにエアシリンダ１０で図１において左右方向に移動する。また、先端保持部材７においてもエアシリンダ８で上下方向の駆動が可能であり、後述する開いた状態にある圧着ロール１４との接触位置調整が可能となるようにストッパ部材を設けてある。
【００１７】
このように、フィルム搬送部材６は、フィルムロール１から段差ロール５を経て供給されるフィルム２Ｂを、圧着ロール１４の外周に対する接平面と平行してサーボモータ１１により圧着ロール１４付近まで正確に搬送し（図１の上方向から下方向）、搬送中にカッタ１３でフィルム２Ｂを幅方向に切断する。
【００１８】
対をなす各圧着ロール１４は、複数の搬送ローラ１５で構成する搬送路の上下にあり、搬送ローラ１５が図の左から右に向けて搬送する基板ＰＢを上下方向から挟むように移動可能に配置してある。各圧着ロール１４の上下方向移動（開閉）は、図示を省略したエアシリンダで行う。図示していないが、搬送中の基板ＰＢの先端を検出するセンサを圧着ロール１４より入口側（図１の左側）の搬送ローラ１５間に設置する。搬送ローラ１５は、搬送中の基板ＰＢの先端を検出した位置から圧着ロール１４下の任意の位置へ搬送・停止することが可能である。
【００１９】
圧着ロール１４は、ロール本体とその外周表面にコーティングしたシリコンゴムからなる。ロール本体の内部にはヒータがある。圧着ロール１４はフィルム２Ｂを基板ＰＢの上面に貼り付けるが、その貼付処理は後述する。
【００２０】
圧着ロール１４の左方に電極１６を設置してあり、静電気発生装置１７と接続している。静電気発生装置１７から電極１６に高電圧を印加した場合、電極１６の右側に搬送されてくるフィルム２Ｂは電荷を付与されて帯電し、フィルム２Ｂの先端部は静電（クーロン）力で右側の圧着ロール１４の表面に密着する。右側の圧着ロール１４と電極１６を囲むように、防塵カバー１８を設けているため、電極で帯電されたフィルム２Ｂにゴミ等が付着することはない。
【００２１】
防塵カバー１８の内部における圧着ロール１４の右側に、除電装置１９を配置してある。電極１６からフィルム２Ｂに電荷（例えば、負電荷）を付与し圧着ロール１４で搬送路上の複数の基板ＰＢへフィルム２Ｂを順次貼り付けることを繰り返すと、圧着ロール１４におけるシリコンゴム表面には、電極１６からフィルム２Ｂに付与する電荷と同極性の高い電圧が帯電してくる。そうするとフィルム２Ｂの先端や後端に付与した電荷と圧着ロール１４におけるシリコンゴム表面に溜まった電荷の間に斥力が働き、圧着ロール１４（のシリコンゴム）表面にフィルム２Ｂの先端や後端を密着することができなくなる。
【００２２】
そこで、除電装置１９として、急激に圧着ロール１４の帯電圧を下げるための自己放電型除電ブラシを設置している。また、自己放電型除電ブラシにイオナイザーを併用してもよく、イオナイザーのみを設置してもよい。これらのイオナイザーは、フィルム２Ｂの先端や後端に付与する電荷とは逆極性（即ち、圧着ロール１４におけるシリコンゴム表面に溜まった電荷とは逆極性）の電荷を出すもので、低い帯電圧に対しても有効に除電を行うことが可能となる。イオナイザー使用時には、イオンを放出する際にエアーブロアを取り付けることにより広い範囲を除電することができ、貼付け後の基板表面も同時に除電することが可能となる。除電装置１９は、圧着ロール１４の回転方向に関してフィルム２Ｂの先端部および後端部を保持する圧着ロール１４における外周面の上流位置に設けることにより、常に同じ圧着ロール表面状態を保ちフィルム２Ｂを安定して静電吸着することができる。
【００２３】
２０はフィルム保持バーで、切断されたフィルム２Ｂの後端部を吸引吸着により保持し圧着ロール１４の左方の電極１６によりフィルム２Ｂが圧着ロール１４の外周面に密着するまでフィルム後端を保持する。フィルム保持バー２０は圧着ロール１４の外周に接近して配置され、圧着ロール１４の接平面（フィルム２Ｂが圧着ロール１４の接線方向になる面）と平行した形状でよく、圧着ロール外周と基板搬送面との接点から基板搬送方向の上流側近傍における空間とほぼ相似形状である必要はない。また、先端保持部材７との干渉を避けるためフィルム２Ｂの先端受渡し時には、圧着ロール１４の上側に退避するようにしてある。
【００２４】
２３はフィルム貼付装置をコントロールする制御装置で、フィルム２Ｂの貼付け長さ等データや装置を駆動させるためのモータ定数等を記憶するメモリ（ＲＡＭ）さらにはフィルム貼付に関するソフトプログラムを記憶するメモリ（ＲＯＭ）を内蔵し、フィルム２Ｂの貼付け長さ等のデータ、装置を駆動させるためのモータ定数等を表示するモニタ画面２４、制御装置２３のメモリ（ＲＡＭ）データを入力するためのキーボード２５が付属している。
【００２５】
また、フィルム貼付に関するソフトプログラムは、本装置の動作ステップを実行するためのプログラム，モニタ画面２４にデータを設定するための操作画面プログラムなどである。
【００２６】
次に、フィルム貼付装置の動作を図３に示したフローに従って説明する。
動作開始時には、ステップ（以下、「Ｓ」と略記する）１００に示すフィルム貼付動作準備を行う。
【００２７】
フィルム貼付動作準備Ｓ１００として、手動でフィルムロール１からフィルム２Ａを引き出してセパレータバー４，段差ロール５に渡し、カバーフィルム２ａを剥離する。剥離したカバーフィルム２ａは巻き取りロール３で巻き取る。カバーフィルム２ａを剥離し２層となったフィルム２Ｂは図１のように先端保持部材７と上面位置が並んでいる後端保持部材９の先端まで引き出し、先端保持部材７及び後端保持部材９の上面で真空吸着する。段差ロール５は図１に図示した上側の位置に移動させ、フィルムロール１及び巻き取りロール３は図示していないモータを回転させ、フィルム２Ａの張力が一定になるようにしている。
【００２８】
後端保持部材９の溝部分にカッタ８が通過するようにしつつカッタ８をフィルム２Ｂの幅方向に移動させて、フィルム２Ｂを幅方向に切断する。フィルム２Ｂを吸着していた後端保持部材９の真空吸着を停止させて、後端保持部材９上におけるフィルム２Ｂの切れ端は廃棄する。
【００２９】
このとき、先端保持部材７上には、フィルム２Ｂが先端保持部材７の先端から後端保持部材９上に１０ｍｍ程度はみ出した状態で真空吸着されている。
【００３０】
これでフィルム貼付動作準備Ｓ１００が完了し、次に、フィルム受渡し処理Ｓ２００に進む。
【００３１】
フィルム受渡し処理Ｓ２００では、フィルム搬送部材６に設けてシリンダ１０で駆動し後端保持部材９を図２に示すように右側に退避させる。また、フィルム保持バー２０も圧着ロール１４の上側に退避させる。その後、サーボモータ１１でボールねじ１２を回転させて、フィルム搬送部材６を圧着ロール１４の外周に対する接平面と平行に移動（図１の下方向に移動）させる。この時、１対の圧着ロール１４は開いており、内部のヒータで加熱された状態となっている。そして、フィルム２Ｂの先端が上側の圧着ロール１４の接点位置（フィルム２Ｂが圧着ロール１４の接線方向になる場合におけるフィルム２Ｂの先端位置）となるように、エアシリンダ８で先端保持部材７を移動させる。ここで、静電気発生装置１７から電極１６に高電圧を印加して、電極１６と圧着ロール１４の間にあり先端保持部材７からはみ出している１０ｍｍ程度のフィルム２Ｂの先端部分が帯電される。フィルム２Ｂの先端部分は接地されている圧着ロール１４に静電吸着されたら、静電気発生装置１７から電極１６への高電圧印加を停止し、先端保持部材７の真空吸引を止めてフィルム２Ｂの吸着保持を開放する。この場合、フィルム２Ｂの先端を圧着ロール１４の接平面（フィルム２Ｂが圧着ロール１４の接線方向になる面）と平行に搬送することにより、皺無く均一な静電吸着力で圧着ロール１４へ受け渡すことができる。
【００３２】
フィルム２Ｂの受け渡し後、圧着ロール１４は搬送ローラ１５で構成している基板ＰＢの搬送路方向に回転を開始し、吸着したフィルム２Ｂを下側に搬送する。搬送開始と同時にフィルムロール１及び巻き取りロール３の駆動装置のモータトルク力を弱め、また、段差ロール５を下側に移動させる。フィルム搬送速度と同期して段差ロール５を移動させることによりフィルム２Ｂのバックテンション（張力）を弱め、圧着ロール１４によるフィルム２Ｂの搬送を補助する。
【００３３】
一般に、圧着ロール１４によるフィルム２Ｂの静電吸着力は帯電圧に比例し、帯電圧は圧着ロール１４とフィルム２Ｂの吸着面積に比例する。圧着ロール１４はフィルム２Ｂの先端部を吸着しているだけで弱い帯電圧、すなわち弱い静電吸着力になっており、圧着ロール１４へのフィルム受渡し直後はフィルム搬送が不安定な状態であり、フィルム２Ｂのバックテンションを弱め圧着ロール１４の回転による基板ＰＢ側へのフィルム２Ｂの搬送をしやすいようにする。
【００３４】
逆に圧着ロール１４によるフィルム巻き角度が大きくなり、圧着ロール１４とフィルム２Ｂの吸着面積が増大するにつれ、静電吸着力が強くなりフィルム２Ｂの保持は安定する。段差ロール５は、フィルム２Ｂのバックテンションを弱めることが可能なフィルムテンション調整手段であり、アクチュエータなど（図示は省略する）により上下移動が可能である。フィルム２Ｂを基板表面へ貼り付ける時は上側に段差ロール３が位置し、圧着ロール１４でフィルム２Ｂを圧着ロール１４の下まで搬送する時は、段差ロール５を下側に移動させる。この時、フィルム２Ｂの搬送速度と同期して段差ロール５を移動させることによりフィルム２Ｂのバックテンションを弱め、圧着ロール１４によるフィルム２Ｂの搬送を補助することが出来る。
【００３５】
また、段差ロール５に代えて移動することが出来ない固定のガイドロールを用いた時は、フィルムロール１及び巻き取りロール４をその駆動装置（例えば、モータ）により、巻出し方向に回転させてフィルム２Ｂのバックテンションを弱め、圧着ロール１４によるフィルム２Ｂの搬送を補助してもよい。
【００３６】
圧着ロール１４の回転でフィルム２Ｂの先端が上側の圧着ロール１４における下面中央に至ったかどうかを圧着ロール１４の主軸に具備してあるエンコーダ（図示は省略）からのパルス数で確認しており、確認できたところで圧着ロール１４は回転を停止する。
【００３７】
また、上側の圧着ロール１４によるフィルム２Ｂの搬送開始直前に先端保持部材７によるフィルム２Ｂの吸着は止め、上側の圧着ロール１４によるフィルム２Ｂの搬送中に先端保持部材７をエアシリンダ８で上方向に戻したのちに、後端保持部材９を左側に移動させ初期状態に戻し、退避していた後端保持部材９は、先端保持部材７と並ぶようにしてフィルム２Ｂの搬送位置に戻す。その後、フィルム２Ｂの切断位置へサーボモータ１１によりフィルム搬送部材６を移動させる。
【００３８】
フィルム受渡し処理Ｓ２００中に基板位置決め処理Ｓ３００を同時に行う。
【００３９】
基板位置決め処理Ｓ３００であるが、基板ＰＢは搬送ロール１５で図１の左から右方向に移動して来る。この場合、図示していないセンサで移動量を検知していて、基板ＰＢにおける先端部のフィルム貼付開始位置が上側圧着ロール１４における下面中央に位置したフィルム２Ｂの先端と一致したところで、基板ＰＢの移動を一旦停止するようになっている。その後、フィルム貼付け処理Ｓ４００を行う。
【００４０】
フィルム貼付け処理Ｓ４００では、上下の圧着ロール１４が基板ＰＢの方向に上下動して、両圧着ロール１４で基板ＰＢを挟持（ニップ）し、基板ＰＢへフィルム２Ｂの先端を熱圧着する。また、段差ロール５を初期状態（図１の上側）に戻し、段差ロール５から圧着ロール１４までの間でフィルム２Ｂのたるみを防止する。この時、一旦、フィルムロール１のバックテンションを強め、フィルム２Ｂのたるみを防止してもよい。次にフィルム保持バー２０を圧着ロール１４へのフィルム後端受渡し位置となる電極１６と圧着ロール１４の間まで移動し、移動完了後、フィルム保持バー２０の左側に位置するフィルム２Ｂをフィルム保持バー２０で弱く真空吸着する。その後、両圧着ロール１４は基板１４を挟持（ニップ）したまま回転して、基板１４を右方向に搬送し、フィルム保持バー２０ではフィルム２Ｂを滑らしつつ圧着ロール１４上のフィルム２Ｂを基板１４に熱圧着していく。フィルム保持バー２０はフィルム２Ｂが滑りやすいように、表面をＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）で表面処理をしたものやエンジニアリングプラスチック（ＭＣナイロン）で成形したものを用いると良い。
【００４１】
また、フィルム貼付け処理Ｓ４００のフィルム搬送部材６が圧着ロール１４側に移動中にフィルムカット処理Ｓ５００を行う。
【００４２】
フィルムカット処理Ｓ５００では、フィルム搬送部材６は、フィルム２Ｂの後端となる位置が後端保持部材９のカット溝上を通過する手前から徐々に圧着ロール１４方向に移動開始し、圧着ロール１４の回転速度に同期する。フィルム熱圧着（貼り付け）中に予め設定したフィルム貼付け量の後端となるフィルム箇所が、後端保持部材９のカット溝上を通過する際に先端保持部材７，後端保持部材９によりフィルム２Ｂを吸着保持する。フィルム２Ｂの後端となる位置がカット溝上を通過したか否かの判断は、フィルムロール１や圧着ロール１４の主軸などに具備させてあるエンコーダからのパルス数で確認している。フィルムカットは、フィルム搬送部材６がフィルム先端受渡し位置までの移動時間中にカッタ１３を幅方向に移動させてフィルム２Ｂを切断する。フィルム２Ｂ（２Ａ）の幅は基板ＰＢに貼り付けたい幅と一致させてあり、カッタ１３による切断で基板ＰＢに貼り付けたい長さに一致され、基板の表面に貼り付けたい形状となる。
【００４３】
フィルム２Ｂの切断後、後端保持部材９はフィルム２Ｂの後端部を吸着保持したまま右側に移動させ退避するが、フィルム２Ｂは圧着ロール１４で基板ＰＢ側に搬送されているので、後端保持部材９の上面を滑りつつ離れ、フィルム保持バー２０のみにより弱く真空吸着保持される。
【００４４】
フィルム２Ｂの後端がフィルム保持バー２０上を滑って離れる手前から、静電気発生装置１７より電極１６に再び高電圧を印加し、フィルム保持バー２０上のフィルム２Ｂの後端に電荷を付与し、フィルム２Ｂの後端がフィルム保持バー２０上から離れて圧着ロール１４へ移った個所から順次圧着ロール１４へ静電吸着させる。フィルム２Ｂの後端が電極１６を過ぎた時点で、静電気発生装置１７から電極１６への高電圧印加を停止し、フィルム保持バー２０は圧着ロール１４の上側に退避させる。これにより、フィルム２Ｂの後端を最後まで保持し圧着ロール１４へ受け渡すことが可能であり、フィルム２Ｂの後端が基板ＰＢ上に垂れ下がることは無く、フィルム２Ｂの先端から後端までを一定の引張力を付与しつつ基板ＰＢに貼り付けることができる。
【００４５】
基板ＰＢの表面に貼り付けたい形状のフィルムを熱圧着した基板１４は、搬送ローラ１５が回転し、下流機へ搬送される。
【００４６】
そして、終わりかどうかの判断処理Ｓ６００で次に新たな基板ＰＢが搬入されたかどうかを判断し、次の基板ＰＢがあれば、フィルム受渡し処理Ｓ２００に戻って、以上説明した処理動作を繰り返す。
【００４７】
以上説明したように、貼り付けたい形状のフィルムの先端から後端までの全てを圧着ロール１４によって基板ＰＢの表面に貼り付けるので、貼り付けたフィルムに段差などはなく、平坦な仕上がりとなっている。また、圧着ロール１４はフィルムの先端部や後端部を確実に吸着しているので、基板ＰＢに貼り付けたフィルムの先端部や後端部にしわや気泡が発生することもない。
【００４８】
フィルム貼付装置は、圧着ロール１４の回転中に電極１６に対して上流側に位置する除電装置１９により圧着ロール１４のシリコンゴム表面を除電しており、圧着ロール１４は電位的に同じ表面状態を保ち、フィルム２Ｂの先端と後端を静電吸着することが出来る。また、同時に除電装置１９によりフィルムが貼り付けられた基板ＰＢの表面を除電しておけば、後で除電処理をしなくてもよい。除電装置１９は、フィルム保持バー２０が圧着ロール１４の上側に位置する時にフィルム保持バー２０も除電すると良い。
【００４９】
連続して基板ＰＢが搬送されずに、基板待ち状態が生じた時は、圧着ロール１４を回転させ、常にシリコンゴム表面を除電していてもよい。
【００５０】
以上説明した実施形態においては、基板ＰＢの上面にフィルムを貼り付けるための機構と方法を説明したが、基板ＰＢの下面にもフィルムを貼り付け対場合は、図４に示すように上面貼付けの機構と同様な機構を搬送路の下側に配置することにより、基板下面への貼付けが可能となる。
【００５１】
なお、図４において、図１に示したものと同一機能・同様な機能を持つものは同一引用符号で示している。
【００５２】
図１や図４における実施形態において、フィルム保持バー２０は省略し、フィルム２Ｂにおける後端の圧着ロール１４への受け渡しを圧着ロール１４近傍に接近させた後端保持部材９で行うようにしても良い。この場合、後端保持部材９は防塵カバー１８の外に位置し、電極１６からの電荷付与の影響を殆ど受けないので、除電をしなくても構わない。
【００５３】
また、図１や図４における実施形態において、圧着ロール１４の表面電位を検出するセンサを圧着ロール１４に設け、所望の電位以上になったら除電装置１９が作動するようにして、省電力化を図っても良い。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、フィルムの先端部から後端部まで段差を発生することなく平坦に基板上に貼り付けることができる。
また、本発明によれば、しわや気泡を発生することなくフィルムの先端部から後端部まで基板上に貼り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態であるフィルム貼付装置を示す概略断面図である。
【図２】図１のフィルム後端保持部、先端保持部を説明する図である。
【図３】図１のフィルム貼付装置における動作手順を説明するフローである。
【図４】本発明の他の一実施形態であるフィルム貼付装置を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１…フィルムロール
２Ａ，２Ｂ…フィルム
２ａ…カバーフィルム
２ｂ…レジストフィルム
２ｃ…ベースフィルム
３…巻き取りロール
４…セパレータバー
５…段差ロール
６…フィルム搬送部材
７…先端保持部材
８，１０…エアシリンダ
９…後端保持部材
１１…サーボモータ
１２…ボールねじ
１３…カッタ
１４…圧着ロール
１５…搬送ローラ
１６…電極
１７…静電気発生装置
１８…防塵カバー
１９…除電装置
２０…フィルム保持バー
２３…制御装置
２４…モニタ
２５…キーボード[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method and an apparatus for attaching a film, and more particularly to a method and an apparatus for attaching a film having a shape to be attached to the surface of a substrate to a surface of the substrate using a pressure roll.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a film is unwound from a film roll, and a continuous film is cut in the width direction to form a sheet-like film (hereinafter abbreviated as a film) in a shape to be attached. When attaching to the substrate, as described in Patent Document 1 below, the leading end of the film is held by a tip holding member such as a vacuum plate and attached to a substrate, and after the tip holding member is retracted, both pressure rolls are used. The film and the substrate are sandwiched, and the film is bonded to the substrate while the substrate is transported on the transport path surface composed of a plurality of transport rolls by the rotation of both pressure rolls. The portion is held again by an end holding member such as a film suction member (vacuum bar), and the rear end of the film is stuck on the substrate.
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Publication No. 3-16906
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
According to the above prior art, the members to be attached are different between the case where the leading end or the rear end of the film is attached to the substrate and the case where the intermediate portion between the leading end and the rear end of the film is attached to the substrate. In this case, the applied pressure tends to be different, so that the front and rear ends of the attached film have steps, which hinders the subsequent processing of the substrate. For example, if the film is a resist film, there is a problem that the amount of light changes due to steps when exposure is performed, and streaks occur.
[0005]
In addition, the holding member at the rear end of the film is not put in the space between the substrate and the pressure roll, and the holding of the rear end of the film is stopped before the end position of the pasting and the film is attached to the rear end of the film. Tended to be turbulent, wrinkles and air bubbles.
[0006]
Therefore, an object of the present invention is to provide a film sticking method and a film sticking method capable of sticking flatly on a substrate without generating a step from the leading end to the trailing end of the film.
[0007]
Another object of the present invention is to provide a film sticking method and a film sticking method capable of sticking the film from the leading end to the trailing end on a substrate without generating wrinkles or bubbles.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The feature of the method of the present invention that achieves the above object is that in a film attaching method in which a film of a shape to be attached to the surface of the substrate is attached to the surface of the substrate by a pressure roll, the film has a shape to be attached to a tip portion of the film to be attached. The tip is provided with an electrostatic force acting on the outer peripheral surface of the pressure roll between the two by applying an electric charge, and the film having the desired shape is conveyed to the substrate by rotation of the pressure roll to remove the tip. At the same time as matching the starting position of the substrate, the film of the shape to be attached is attached to the surface of the substrate. The outer peripheral surface of the pressure roll is held by an electrostatic force acting between the two, and all of the film to be bonded from the front end to the rear end is bonded to the substrate by rotating the pressure roll. , Piezoelectric deposition rolls rotating is to have neutralizing upstream position of the piezoelectric deposition roll to hold the tip portion in the outer peripheral surface of the piezoelectric deposition roll.
[0009]
A feature of the apparatus of the present invention that achieves the above object is that in a film sticking apparatus in which a film having a shape to be attached to the surface of the substrate is attached to the surface of the substrate by a pressure roll, the film having the shape to be attached is provided. Roll having the function of holding the film with electrostatic force, a film tip holding member for holding the tip of the film to be pasted and transferring the tip to the outer peripheral surface of the crimp roll, A film rear end holding member that holds the rear end of the film in a desired shape and transfers the rear end to the outer peripheral surface of the pressure roll, and a front end and a rear end of the film in a desired shape. Means for applying a charge, and the pressing roll at an upstream position of the pressing roll holding the leading end and the rear end on the outer peripheral surface of the pressing roll when the pressing roll is rotating. Means for charging, the press roll holds the tip portion with electrostatic force on the outer peripheral surface of which the charge is removed, and transports the film having the shape to be attached to the substrate by rotating the press roll. The front end is made to coincide with the position where the substrate is to be pasted, and the film having the desired shape is adhered to the surface of the substrate. And attaching all the films having the desired shape from the front end to the rear end by rotating the pressure roll.
[0010]
According to the present invention, the film to be pasted on the substrate can be adhered flat to the substrate without generating a step because the pressure member is not switched only by the pressure roll.
[0011]
Furthermore, since the pressure of the pressure roll is eliminated, even if a charge is applied to the film, the pressure of the pressure roll is not charged with the same kind of charge as the charge applied to the film. No repulsive force is generated, and the entire film having the desired shape can be held and adhered to the substrate by a pressure roll from the leading end to the trailing end of the film, and no wrinkles or bubbles are generated.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 1 is a schematic sectional view of a film sticking apparatus according to one embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a film roll of a film 2A having a three-layer structure including a cover film 2a, a resist film 2b, and a base film 2c. They are wound in the order of the base film 2c. Reference numeral 3 denotes a take-up roll for collecting a cover film 2a that is peeled off from the film 2A by the separator bar 4. The drive device (for example, a motor) for the film roll 1 and the take-up roll 3 is provided with a function capable of adjusting the torque of the motor in accordance with the remaining amount of the film 2A in the film roll 1 so that the tension of the film 2A is kept constant. It is transported. Reference numeral 5 denotes a step roll. The step roll 5 is provided with a position adjusting function capable of adjusting the tension (back tension) of the film 2B having a two-layer structure of the resist film 2b and the base film 2c after the cover film 2a is peeled off. The adjustment of the tension of the film 2B will be described later.
[0013]
Reference numeral 6 denotes a front end holding member 7 of the film 2B, an air cylinder 8 for moving the front end holding member 7 up and down, a rear end holding member 9 of the film 2B, and moving the rear end holding member 9 right and left when the front end holding member 7 moves up and down. In the film transport member having an air cylinder 10, the film transport member 6 moves up and down by the rotation of a ball screw 12 directly connected to a servomotor 11.
[0014]
As shown in FIG. 2, a vacuum chamber is divided into several parts inside the tip holding member 7, and a suction hole is provided on the upper surface (the left surface in FIG. 1). The vacuum chamber is connected to a vacuum pump through an intermediate valve. , The top surface of the film 2B is sucked at the upper surface. Further, a pressure sensor for monitoring the vacuum state is provided, and when the suction position of the film 2B is shifted for some reason and the film is not located on the upper surface of the suction hole, the vacuum pressure is reduced, so that the suction state of the film is monitored. I can do it.
[0015]
Similarly to the front end holding member 7, the rear end holding member 9 has a vacuum chamber inside, a suction hole on the upper surface (the left side surface in FIG. 1), and a pressure sensor for monitoring a vacuum state is provided. When the suction position is shifted and the film 2B is not located on the upper surface (the left surface in FIG. 1) having the suction holes, the vacuum pressure is reduced and the suction state of the film 2B can be monitored. The suction holes are arranged so as to be orthogonal to the film transport direction, and the size of the suction holes gradually decreases in the direction of the step roll 5 from the side of the pressure roll 14, which will be described later. When the edge slides on the upper surface of the rear end holding member 9 and is conveyed, the vacuum is gradually cut so that the film 2B can be suction-held to the rear end. Further, grooves are provided in the width direction perpendicular to the transport direction of the film 2B (the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1), and are used as cutter holders when the film 2B is cut in the width direction by the cutter 13 (see FIG. 1). Used. The cutter 13 is attached to the film transport member 6 via an air cylinder (not shown) so as to be movable in a direction perpendicular to the transport direction of the film 2B (right and left directions in FIG. 1). When the film 2B is not cut, it can be retracted to the left side in FIG. It is possible to adjust the moving speed of the cutter 13 so that the cutting speed of the film 2B is completed during the moving time from the cutting position of the film 2B, which is the film holding position, to the film leading end transfer position. It has become.
[0016]
The upper surface (left surface in FIG. 1) 6 of the rear end holding member 9 is a contact plane with the left outer peripheral surface of the pressure roll 14 in FIG. In FIG. 1, it moves in the left-right direction. Also, the tip holding member 7 can be driven in the vertical direction by the air cylinder 8, and a stopper member is provided so that the contact position with the pressure roller 14 in an open state described later can be adjusted.
[0017]
As described above, the film transport member 6 accurately transports the film 2B supplied from the film roll 1 via the step roll 5 to the vicinity of the pressure roll 14 by the servo motor 11 in parallel with the tangent plane to the outer circumference of the pressure roll 14. Then, the film 2B is cut in the width direction by the cutter 13 during conveyance (from the upper direction to the lower direction in FIG. 1).
[0018]
Each pair of pressure rolls 14 is located above and below a transport path composed of a plurality of transport rollers 15 so that the transport rollers 15 can move so as to sandwich the substrate PB transported from left to right in the figure from above and below. It is arranged. The vertical movement (opening / closing) of each pressure roll 14 is performed by an air cylinder not shown. Although not shown, a sensor for detecting the leading end of the substrate PB being transported is installed between the transport rollers 15 on the entrance side (left side in FIG. 1) of the pressure roll 14. The transport roller 15 can transport and stop from a position where the leading end of the substrate PB being transported is detected to an arbitrary position below the pressure roll 14.
[0019]
The pressure roll 14 is composed of a roll body and silicon rubber coated on the outer peripheral surface thereof. There is a heater inside the roll body. The pressure roll 14 sticks the film 2B to the upper surface of the substrate PB, and the sticking process will be described later.
[0020]
An electrode 16 is provided on the left side of the pressure roll 14 and is connected to a static electricity generator 17. When a high voltage is applied to the electrode 16 from the static electricity generator 17, the film 2 B conveyed to the right side of the electrode 16 is charged and charged, and the leading end of the film 2 B is charged by electrostatic (Coulomb) force. It is in close contact with the surface of the pressure roll 14. Since the dustproof cover 18 is provided so as to surround the right-hand pressure roll 14 and the electrode 16, dust and the like do not adhere to the film 2B charged by the electrode.
[0021]
On the right side of the pressure roll 14 inside the dustproof cover 18, a static eliminator 19 is arranged. When a charge (for example, a negative charge) is applied to the film 2B from the electrode 16 and the film 2B is sequentially attached to the plurality of substrates PB on the transport path by the pressure roll 14, the silicon rubber surface of the pressure roll 14 has an electrode. From 16, a high voltage having the same polarity as the charge applied to the film 2 B is charged. Then, a repulsive force acts between the charge applied to the leading end or the trailing end of the film 2B and the charge accumulated on the surface of the silicone rubber in the pressing roll 14, and the leading end or the trailing end of the film 2B adheres to the surface of the pressing roll 14 (silicon rubber). You can't do that.
[0022]
Therefore, a self-discharge type static elimination brush for rapidly lowering the charged voltage of the pressure bonding roll 14 is installed as the static eliminator 19. Further, an ionizer may be used in combination with the self-discharge type static elimination brush, or only the ionizer may be provided. These ionizers generate charges of the opposite polarity to the charges applied to the leading and trailing ends of the film 2B (that is, the charges of the opposite polarity to the charges accumulated on the surface of the silicon rubber in the pressure roll 14). Also, it is possible to effectively perform static elimination. When an ionizer is used, a wide range can be neutralized by attaching an air blower when releasing ions, and the substrate surface after the application can be simultaneously neutralized. The static eliminator 19 is provided at the upstream position of the outer peripheral surface of the pressure roll 14 that holds the leading end and the rear end of the film 2B with respect to the rotation direction of the pressure roll 14, so that the same pressure roll surface state is always maintained and the film 2B is stabilized. To perform electrostatic attraction.
[0023]
Reference numeral 20 denotes a film holding bar, which holds the rear end of the cut film 2B by suction suction and holds the rear end of the film 2B by the electrode 16 on the left side of the pressure roll 14 until the film 2B comes into close contact with the outer peripheral surface of the pressure roll 14. I do. The film holding bar 20 is disposed close to the outer circumference of the pressure roll 14 and may have a shape parallel to the tangent plane of the pressure roll 14 (the surface where the film 2B is in the tangential direction of the pressure roll 14). It is not necessary that the shape be substantially similar to the space near the upstream side in the substrate transfer direction from the contact point with the surface. Further, in order to avoid interference with the leading end holding member 7, when the leading end of the film 2B is delivered, the film 2B is retracted above the pressure roll 14.
[0024]
Reference numeral 23 denotes a control device for controlling the film sticking device, a memory (RAM) for storing data such as the sticking length of the film 2B, a motor constant for driving the device, and a memory (ROM) for storing a software program related to the film sticking. ), A monitor screen 24 for displaying data such as the length of the film 2B to be attached, a motor constant for driving the apparatus, and a keyboard 25 for inputting memory (RAM) data of the controller 23. ing.
[0025]
The software programs related to film sticking include a program for executing the operation steps of the present apparatus, an operation screen program for setting data on the monitor screen 24, and the like.
[0026]
Next, the operation of the film sticking apparatus will be described according to the flow shown in FIG.
At the start of the operation, preparation for a film sticking operation shown in step (hereinafter abbreviated as “S”) 100 is performed.
[0027]
As a film sticking operation preparation S100, the film 2A is manually pulled out from the film roll 1 and passed to the separator bar 4 and the step roll 5, and the cover film 2a is peeled off. The peeled cover film 2 a is wound up by the winding roll 3. The two-layer film 2B obtained by peeling the cover film 2a is pulled out to the front end of the rear end holding member 9 whose upper surface position is aligned with the front end holding member 7 as shown in FIG. Vacuum suction on the upper surface of. The step roll 5 is moved to the upper position shown in FIG. 1, and the film roll 1 and the take-up roll 3 rotate a motor (not shown) so that the tension of the film 2A becomes constant.
[0028]
The cutter 8 is moved in the width direction of the film 2B while allowing the cutter 8 to pass through the groove portion of the rear end holding member 9, and the film 2B is cut in the width direction. The vacuum suction of the rear end holding member 9 that has held the film 2B is stopped, and the cut end of the film 2B on the rear end holding member 9 is discarded.
[0029]
At this time, the film 2 B is vacuum-adsorbed on the front end holding member 7 so as to protrude from the front end of the front end holding member 7 onto the rear end holding member 9 by about 10 mm.
[0030]
This completes the film sticking operation preparation S100, and then proceeds to film delivery processing S200.
[0031]
In the film transfer processing S200, the rear end holding member 9 is provided on the film transport member 6 and driven by the cylinder 10 to retract to the right as shown in FIG. Also, the film holding bar 20 is retracted above the pressure roll 14. Thereafter, the ball screw 12 is rotated by the servomotor 11 to move the film transport member 6 parallel to the tangent plane to the outer periphery of the pressure roll 14 (downward in FIG. 1). At this time, the pair of pressure bonding rolls 14 is open and is in a state of being heated by the internal heater. Then, the tip holding member 7 is moved by the air cylinder 8 so that the tip of the film 2B is at the contact position of the upper pressure roll 14 (the tip position of the film 2B when the film 2B is tangential to the pressure roll 14). Let it. Here, a high voltage is applied from the static electricity generator 17 to the electrode 16, and the tip of the film 2 B, which is between the electrode 16 and the pressure roll 14 and protrudes from the tip holding member 7, is charged by about 10 mm. When the leading end portion of the film 2B is electrostatically attracted to the grounded pressure roll 14, the application of the high voltage from the static electricity generator 17 to the electrode 16 is stopped, and the vacuum suction of the leading end holding member 7 is stopped to attract the film 2B. Release the hold. In this case, the tip of the film 2B is conveyed in parallel with the tangential plane of the pressure roll 14 (the surface where the film 2B is in the tangential direction of the pressure roll 14), so that the film 2B is received on the pressure roll 14 with uniform electrostatic attraction without wrinkles. You can pass.
[0032]
After the delivery of the film 2B, the pressure roll 14 starts rotating in the direction of the transport path of the substrate PB constituted by the transport roller 15, and transports the sucked film 2B downward. Simultaneously with the start of the conveyance, the motor torque of the driving device for the film roll 1 and the winding roll 3 is reduced, and the step roll 5 is moved downward. By moving the step roll 5 in synchronization with the film transport speed, the back tension (tension) of the film 2B is reduced, and the transport of the film 2B by the pressure roller 14 is assisted.
[0033]
Generally, the electrostatic attraction force of the film 2B by the pressure roll 14 is proportional to the charged voltage, and the charged voltage is proportional to the suction area between the pressure roll 14 and the film 2B. The crimping roll 14 has a weak charged voltage, that is, a weak electrostatic attraction force only by adsorbing the front end portion of the film 2B, and the film conveyance is unstable immediately after the film is transferred to the crimping roll 14, The back tension of the film 2B is reduced so that the film 2B can be easily transported to the substrate PB side by the rotation of the pressure bonding roll 14.
[0034]
Conversely, as the film winding angle of the pressure roll 14 increases and the suction area between the pressure roll 14 and the film 2B increases, the electrostatic attraction force increases and the holding of the film 2B is stabilized. The step roll 5 is a film tension adjusting means capable of weakening the back tension of the film 2B, and can be moved up and down by an actuator or the like (not shown). When the film 2B is attached to the substrate surface, the step roll 3 is positioned on the upper side. When the film 2B is transported below the pressure roll 14 by the pressure roll 14, the step roll 5 is moved downward. At this time, by moving the step roll 5 in synchronization with the transport speed of the film 2B, the back tension of the film 2B can be reduced, and the transport of the film 2B by the pressure roll 14 can be assisted.
[0035]
When a fixed guide roll that cannot move is used instead of the step roll 5, the film roll 1 and the take-up roll 4 are rotated in the unwinding direction by a driving device (for example, a motor). The back tension of the film 2B may be weakened to assist the conveyance of the film 2B by the pressure roll 14.
[0036]
Whether the leading end of the film 2B has reached the center of the lower surface of the upper pressure roll 14 by the rotation of the pressure roller 14 is confirmed by the number of pulses from an encoder (not shown) provided on the main shaft of the pressure roller 14; When it is confirmed that the pressure roller 14 stops rotating.
[0037]
In addition, the suction of the film 2B by the leading end holding member 7 is stopped immediately before the conveyance of the film 2B by the upper pressing roll 14 is started, and the leading end holding member 7 is moved upward by the air cylinder 8 during the transfer of the film 2B by the upper pressing roll 14. Then, the rear end holding member 9 is moved leftward to return to the initial state, and the retracted rear end holding member 9 is returned to the transport position of the film 2B so as to be aligned with the front end holding member 7. Thereafter, the film transport member 6 is moved by the servo motor 11 to the cutting position of the film 2B.
[0038]
The substrate positioning process S300 is performed simultaneously during the film delivery process S200.
[0039]
In the substrate positioning process S300, the substrate PB is moved from left to right in FIG. In this case, the amount of movement is detected by a sensor (not shown), and when the film sticking start position of the leading end of the substrate PB coincides with the leading end of the film 2B located at the center of the lower surface of the upper pressure roll 14, the substrate PB The movement is temporarily stopped. Thereafter, a film sticking process S400 is performed.
[0040]
In the film sticking process S400, the upper and lower pressure rolls 14 move up and down in the direction of the substrate PB, and the substrate PB is sandwiched (nip) by the two pressure rolls 14 to thermally press the front end of the film 2B to the substrate PB. In addition, the step roll 5 is returned to the initial state (upper side in FIG. 1), and the slack of the film 2B is prevented between the step roll 5 and the pressure roll 14. At this time, the back tension of the film roll 1 may be increased once to prevent the film 2B from sagging. Next, the film holding bar 20 is moved to a position between the electrode 16 which is a position for transferring the rear end of the film to the pressing roll 14 and the pressing roll 14, and after the movement is completed, the film 2 B located on the left side of the film holding bar 20 is moved to the film holding bar. Vacuum adsorption is weak at 20. Thereafter, the two pressure rolls 14 rotate while holding (nip) the substrate 14, and convey the substrate 14 to the right. The film 2 B on the pressure roller 14 slides on the film holding bar 20 while sliding the film 2 B on the substrate 14. Thermocompression bonding. As the film holding bar 20, it is preferable to use a material whose surface is treated with PTFE (polytetrafluoroethylene) or molded with engineering plastic (MC nylon) so that the film 2B can slide easily.
[0041]
Further, the film cutting process S500 is performed while the film transport member 6 in the film sticking process S400 is moving to the pressure roll 14 side.
[0042]
In the film cutting process S500, the position of the rear end of the film 2B is gradually moved toward the pressure roll 14 before the rear end of the film 2B passes over the cut groove of the rear end holding member 9, and the rotation of the pressure roll 14 is started. Synchronize with speed. When a film portion, which becomes the rear end of the predetermined amount of the film to be attached during the film thermocompression bonding (pasting), passes over the cut groove of the rear end holding member 9, the film 2B is formed by the front end holding member 7 and the rear end holding member 9. Is held by suction. Whether the rear end position of the film 2B has passed over the cut groove is determined by the number of pulses from an encoder provided on the main shaft of the film roll 1 or the pressure roll 14. In the film cutting, the cutter 13 is moved in the width direction while the film transport member 6 is moving to the film leading end delivery position to cut the film 2B. The width of the film 2B (2A) matches the width desired to be attached to the substrate PB, and the length of the film 2B (2A) matches the length desired to be attached to the substrate PB by cutting with the cutter 13, so that the film 2B (2A) has a shape desired to be attached to the surface of the substrate.
[0043]
After cutting the film 2B, the rear end holding member 9 is moved rightward and retracted while holding the rear end of the film 2B by suction, but the rear end of the film 2B is conveyed to the substrate PB side by the pressure roll 14. The upper surface of the holding member 9 is slid away from the upper surface, and is weakly vacuum-sucked and held only by the film holding bar 20.
[0044]
Before the rear end of the film 2B slips on the film holding bar 20, the high voltage is again applied to the electrode 16 from the static electricity generator 17 to apply a charge to the rear end of the film 2B on the film holding bar 20, The rear end of the film 2B is separated from the film holding bar 20 and moved to the pressure roll 14 to be electrostatically attracted to the pressure roll 14 sequentially. When the rear end of the film 2B passes the electrode 16, the application of the high voltage from the static electricity generator 17 to the electrode 16 is stopped, and the film holding bar 20 is retracted above the pressure roll 14. This makes it possible to hold the rear end of the film 2B to the end and transfer it to the pressure roll 14, so that the rear end of the film 2B does not hang down on the substrate PB, and the constant distance from the front end to the rear end of the film 2B is maintained. Can be attached to the substrate PB while applying a tensile force.
[0045]
The substrate 14 on which a film having a shape to be attached to the surface of the substrate PB is thermocompression-bonded is transported to a downstream machine by rotation of a transport roller 15.
[0046]
Then, it is determined whether or not a new substrate PB has been carried in next in a determination process S600 of whether or not it is over, and if there is a next substrate PB, the process returns to the film delivery process S200 to repeat the processing operation described above.
[0047]
As described above, since the entire film from the front end to the rear end of the film to be pasted is adhered to the surface of the substrate PB by the pressure roll 14, the adhered film has no steps and has a flat finish. I have. Further, since the pressure roll 14 securely sucks the leading end and the trailing end of the film, no wrinkles and bubbles are generated at the leading end and the trailing end of the film attached to the substrate PB.
[0048]
In the film sticking apparatus, the silicon rubber surface of the pressure bonding roll 14 is neutralized by the static elimination device 19 located on the upstream side with respect to the electrode 16 during the rotation of the pressure bonding roll 14, and the pressure bonding roll 14 keeps the same surface state in terms of potential. The front and rear ends of the film 2B can be electrostatically attracted and held. In addition, if the surface of the substrate PB to which the film is attached is neutralized by the neutralization device 19 at the same time, the neutralization processing may not be performed later. The static eliminator 19 may also neutralize the film holding bar 20 when the film holding bar 20 is positioned above the pressure roll 14.
[0049]
When the substrate PB is not continuously transported and a substrate waiting state occurs, the pressure roller 14 may be rotated to constantly remove the static electricity from the silicon rubber surface.
[0050]
In the embodiment described above, the mechanism and the method for attaching the film to the upper surface of the substrate PB have been described. However, in the case where the film is also attached to the lower surface of the substrate PB, as shown in FIG. By arranging a mechanism similar to the mechanism below the transport path, it is possible to attach the mechanism to the lower surface of the substrate.
[0051]
In FIG. 4, components having the same or similar functions as those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
[0052]
In the embodiment shown in FIGS. 1 and 4, the film holding bar 20 is omitted, and the delivery of the rear end of the film 2 B to the pressure roll 14 may be performed by the rear end holding member 9 that is close to the vicinity of the pressure roll 14. good. In this case, since the rear end holding member 9 is located outside the dust cover 18 and is hardly affected by the application of electric charge from the electrode 16, it is not necessary to eliminate the charge.
[0053]
In the embodiment shown in FIGS. 1 and 4, a sensor for detecting the surface potential of the pressure-bonding roll 14 is provided on the pressure-bonding roll 14, and when the potential becomes higher than a desired potential, the static eliminator 19 is activated to save power. You can try it.
[0054]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the film can be stuck flatly on the substrate from the front end portion to the rear end portion without any step.
Further, according to the present invention, the film can be stuck on the substrate from the leading end to the trailing end without wrinkles or bubbles.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a film sticking apparatus according to one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a film rear end holding unit and a front end holding unit of FIG. 1;
FIG. 3 is a flowchart illustrating an operation procedure in the film sticking apparatus of FIG. 1;
FIG. 4 is a schematic sectional view showing a film sticking apparatus according to another embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1: Film roll
2A, 2B ... film
2a ... Cover film
2b: Resist film
2c: Base film
3 ... take-up roll
4: Separator bar
5 ... Step roll
6. Film transport member
7. Tip holding member
8,10 ... Air cylinder
9: Rear end holding member
11 ... Servo motor
12 ... Ball screw
13 ... Cutter
14 ... Crimping roll
15 ... Conveying roller
16 ... electrodes
17. Static electricity generator
18 ... Dustproof cover
19 ... static eliminator
20 ... Film holding bar
23 ... Control device
24 ... Monitor
25 ... Keyboard

Claims

In a film sticking method of sticking a film of a shape to be attached to the surface of the substrate to the surface of the substrate by a pressure roll,
An electric charge is applied to the tip of the film to be attached, the tip is held on the outer peripheral surface of the pressure roll by electrostatic force acting between the two, and the film of the shape to be attached is rotated by rotation of the pressure roll. To the substrate so that the leading end of the film matches the starting position of the substrate, and the film of the desired shape is attached to the surface of the substrate. To allow the rear end portion to be held on the outer peripheral surface of the pressure roll by electrostatic force acting between them, and all the films of the shape to be attached from the front end portion to the rear end portion of the pressure roll are A film sticking method, wherein the press roll, which is attached to a substrate by rotation and rotates, is neutralized at an upstream position of the press roll in which the front end and the rear end are held on the outer peripheral surface of the press roll. .

2. The method according to claim 1, wherein the tip of the film to be attached is held on the outer peripheral surface of the pressure roll, and the film of the shape to be attached is transported to the substrate by rotating the pressure roll. A film sticking method, wherein the tension applied to a film of a desired shape is reduced.

In a film sticking device that sticks a film with a shape to be attached to the surface of the substrate to the surface of the substrate by a pressure roll,
A pressure roll having a function of holding the film to be pasted by electrostatic force, and a film for holding the tip of the film to be pasted and transferring the tip to the outer peripheral surface of the pressure roll A front end holding member, a film rear end holding member for holding a rear end of the film to be pasted and transferring the rear end to the outer peripheral surface of the pressure roll, and a film having the shape to be pasted Means for applying a charge to the leading end and the trailing end of the pressing roll at an upstream position of the pressing roll for holding the leading end and the trailing end on the outer peripheral surface of the pressing roll when the pressing roll is rotating. Means for neutralizing the pressure roller,
The crimping roll holds the leading end with electrostatic force on the outer peripheral surface from which the charge has been removed, and transports the film having the desired shape to the substrate by rotating the crimping roll, and attaches the leading end to the substrate. The film having the shape desired to be adhered is adhered to the surface of the substrate at the same time as the start position, and the rear end portion is also held by the electrostatic force on the outer peripheral surface of the pressure-bonding roll from which the charge has been removed. A film sticking apparatus, wherein all the films having the desired shape from the front end to the rear end are rotated and attached to a substrate.

4. A film sticking apparatus according to claim 3, wherein said means for removing electricity is at least one of a removing brush and an ionizer.