KR20130127950A - Supply device for tape member, applying device for adhesive tape and supply method for tape member - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 복수의 반도체 셀을 리드선에 의해 일렬로 접속하기에 적합한 테이프 부재의 공급 장치, 점착 테이프의 접착 장치 및 테이프 부재의 공급 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a supply device for a tape member, an adhesive device for an adhesive tape, and a supply method for a tape member, which are suitable for connecting a plurality of semiconductor cells in a line by a lead wire.
태양 전지 모듈에는 결정 타입과 박막 타입이 있다. 결정 타입의 태양 전지 모듈은 단결정 실리콘이나 다결정 실리콘 등의 반도체 셀을 띠모양의 리드선에 의해 일렬로 접속하고, 그 반도체 셀을 유리제의 베이스판 위에 수지에 의해 일체적으로 라미네이트하여 구성된다.There are two types of solar cell modules, a crystal type and a thin film type. The solar cell module of the crystalline type is configured by connecting semiconductor cells such as monocrystalline silicon and polycrystalline silicon in a line by a strip-shaped lead wire, and laminating the semiconductor cells integrally with resin on a glass base plate.
태양 전지 모듈은, 복수의 태양 전지 셀인 반도체 셀의 표면에 접착된 도전성을 갖는 열경화성 수지에 의해 형성된 점착 테이프를 통해, 크랭크형으로 굴곡된 상기 리드선에 의해 전기적으로 접속된다.The solar cell module is electrically connected to the crank-shaped lead wire through an adhesive tape formed of a thermosetting resin having conductivity adhered to the surface of a semiconductor cell which is a plurality of solar cell cells.
도 14의 (a), (b)는 일반적인 결정 타입의 태양 전지 모듈을 나타내는 일례이다. 도 14의 (a)는 다수의 반도체 셀(1)(1a∼1n으로 한다)을 리드선(2)(2a∼2n으로 한다)에 의해 일렬로 접속한 상태의 평면도, 도 14의 (b)는 확대한 측면도이다.14 (a) and 14 (b) show an example of a general crystal type solar cell module. FIG. 14A is a plan view of a state in which a plurality of semiconductor cells 1 (which are referred to as 1a to 1n) are connected in line by a lead wire 2 (which is referred to as 2a to 2n), and FIG. It is an enlarged side view.
이 예에서는, 각 반도체 셀(1a∼1n)의 태양광을 받는 수광면인 상면에는 다수의 그리드 전극(핑거 전극)(5)이 등간격으로 형성되고, 이들 그리드 전극(5)의 배치 방향과 교차하는 폭방향의 양단부 및 중앙부의 3개소는 버스바 전극(6a)에 의해 접속되어 있다. 각 반도체 셀(1a∼1n)의 이면에는, 이면의 거의 전체에 걸쳐서 이면 전극(7)이 형성되고, 이 이면 전극(7)에는 3개의 버스바 전극(6b)이 상면측의 버스바 전극(6a)과 대응하여 형성되어 있다.In this example, a plurality of grid electrodes (finger electrodes) 5 are formed at equal intervals on the upper surface, which is the light receiving surface receiving the sunlight of each of the
상면측의 버스바 전극(6a)과 하면측의 버스바 전극(6b)은 각각 도전성을 갖는 열경화성 수지로 이루어진 점착 테이프(3)가 접착되고, 인접하는 한 쌍의 반도체 셀(1)의 상면측의 버스바 전극(6a)과 이면측의 버스바 전극(6b)에 접착된 점착 테이프(3)에는, 크랭크형으로 굴곡된 리드선(2a∼2n)의 일단부와 타단부가 가압착(假壓着)된다.The
이어서, 상기 리드선(2a∼2n)을 가압착시보다 큰 가압력으로 가압하면서 가열한다. 이에 의해, 상기 점착 테이프(3)가 용융 경화하기 때문에, 리드선(2a∼2n)이 반도체 셀(1a∼1n)의 상하면에 본압착(本壓着), 즉 접속 고정되게 된다.Subsequently, the
이에 의해, 복수의 반도체 셀(1a∼1n)은 리드선(2a∼2n)에 의해 일렬로 접속되게 된다. 리드선(2a∼2n)에 의해 일렬로 접속된 반도체 셀(1a∼1n)은 스트링(1A)이라고 불리고 있다.As a result, the plurality of
상기 점착 테이프(3)는 이형(離型) 테이프의 한쪽 면에 접착되고, 이들 점착 테이프(3)와 이형 테이프로 테이프 부재를 형성하고 있다. 이 테이프 부재는, 공급 장치를 구성하는 공급 릴에 감겨 있다.The said
인접하는 반도체 셀(1)을, 이들의 상하면에 마련된 각각의 버스바 전극(6a, 6b)의 수에 대응하는 복수의 리드선(2), 이 예에서는 3개의 리드선(2)으로 접속하는 경우, 상기 공급 장치에는 리드선(2)의 수에 대응한 3개의 공급 릴이 소정 간격으로 마련되게 된다.When the
3개의 공급 릴로부터 인출된 테이프 부재는, 점착 테이프(3)와 이형 테이프 중의 점착 테이프만이 절단 기구에 의해 상기 반도체 셀(1)에 대응하는 길이 치수로 절단된다. 이어서, 점착 테이프의 소정 길이로 절단된 부분은, 이형 테이프와 함께 주행 반송되어, 접착 위치에 위치 결정된 상기 반도체 셀(1)에 대향하도록 위치 결정된다.As for the tape member drawn out from three supply reels, only the adhesive tape in the
상기 접착 위치에는 접착 헤드가 마련되고, 이 접착 헤드가 하강 방향으로 구동됨으로써, 3개의 테이프 부재의 소정 길이로 절단된 점착 테이프가 상기 반도체 셀(1)의 판면에 압박된다. 이에 의해, 소정 길이로 절단된 상기 점착 테이프가 상기 반도체 셀(1)의 판면에 접착된다.An adhesive head is provided at the said bonding position, and this adhesive head is driven to a downward direction, and the adhesive tape cut | disconnected by the predetermined length of three tape members is pressed to the plate surface of the said
접착후, 상기 반도체 셀(1)에 접착된 점착 테이프로부터 이형 테이프가 박리된다. 그리고, 박리후에 이형 테이프가 소정 길이 이송되며, 점착 테이프의 소정 길이로 절단된 다음 부분이 접착 위치에 위치 결정된 다음 기판에 접착되는 것이 반복하여 행해지게 된다.After adhesion, the release tape is peeled off from the adhesive tape adhered to the
이러한 접착 작업이 계속되면, 상기 공급 장치의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재가 없어지게 되므로, 잔량이 소정 이하로 되었다면, 사용중인 공급 릴을 새로운 공급 릴로 교환하는 것이 행해진다.If such a bonding operation is continued, the tape member wound around the supply reel of the supply device disappears, and if the remaining amount becomes less than or equal to a predetermined value, the supply reel in use is replaced with a new supply reel.
상기 공급 릴로부터 인출된 테이프 부재는 다수의 패스 롤러에 가이드되는 등의 경로로 주행되도록 되어 있다. 이 때문에, 상기 경로에 상기 테이프 부재를 배치하는 작업, 즉 테이프 부재가 경로를 통과하게 하는 작업에 많은 시간이 걸린다는 점이 있다.The tape member pulled out from the supply reel is driven to a path such as guided by a plurality of pass rollers. For this reason, the work which arrange | positions the said tape member to the said path | route, ie, the operation | work which makes a tape member pass a path | path, takes a long time.
따라서, 상기 공급 장치에 마련된 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 소정 이하가 되었다면, 이를 검출한다. 그리고, 사용중인 공급 릴로부터 테이프 부재가 없어지기 전에, 새로운 공급 릴의 테이프 부재의 시단부(始端部)를, 사용중인 공급 릴의 테이프 부재의 종단부에 접속한다.Therefore, if the remaining amount of the tape member wound on the supply reel provided in the supply device becomes less than a predetermined value, it is detected. And before the tape member disappears from the supply reel in use, the start end part of the tape member of a new supply reel is connected to the end part of the tape member of the supply reel in use.
이에 의해, 새로운 공급 릴에 감겨진 테이프 부재를, 사용중인 공급 릴의 테이프 부재에 의해 경로에 도입하는 것이 행해지고 있다.Thereby, introducing the tape member wound on the new supply reel to the path | route by the tape member of the supply reel in use is performed.
그런데, 전술한 태양 전지 모듈의 경우, 그 반도체 셀의 판면에는 복수의 점착 테이프가 평행하게 접착된다. 이 때문에, 테이프 부재의 공급 장치에는 복수의 공급 릴이 마련되고, 이들 공급 릴로부터 테이프 부재를 동시에 인출하도록 하고 있다.By the way, in the case of the solar cell module mentioned above, the some adhesive tape is adhere | attached in parallel to the plate surface of the semiconductor cell. For this reason, a some supply reel is provided in the supply apparatus of a tape member, and the tape member is taken out simultaneously from these supply reels.
각 공급 릴에는 상기 테이프 부재가 감겨 있지만, 감겨진 길이에는 변동이 생기는 것을 피할 수 없다. 그 때문에, 복수의 공급 릴로부터 테이프 부재를 인출하여 사용하고 있더라도, 감겨진 테이프 부재의 잔량에 차이가 생기게 된다.Although the said tape member is wound by each supply reel, fluctuation | variation cannot be avoided in the wound length. Therefore, even if the tape member is taken out from the plurality of supply reels and used, a difference occurs in the remaining amount of the wound tape member.
그러나, 종래에서는 복수의 공급 릴 중, 감겨진 테이프 부재의 잔량이 소정 이하가 된 것이 검출되었다면, 검출된 하나의 공급 릴만을 새로운 공급 릴로 교환하는 것이 행해졌다.However, conventionally, if it is detected that the remaining amount of the wound tape member is less than or equal to the predetermined number of the supply reels, only the detected one supply reel is replaced with a new supply reel.
즉, 공급 장치에는 복수의 공급 릴이 마련되어 있지만, 공급 릴의 교환은 하나씩 행해졌다. 이 때문에, 공급 릴의 교환 작업이 빈번해져, 작업자에게 주어지는 부담이 증대된다는 점이 있을 뿐만 아니라, 공급 릴을 교환할 때마다 공급 장치를 정지시켜야 하기 때문에, 생산성의 저하를 초래하는 원인이 되는 등의 점이 있었다.That is, although the supply apparatus was provided with some supply reel, the supply reel was replaced one by one. For this reason, not only does the work of replacing the supply reel increase, the burden on the operator increases, and the supply device must be stopped every time the supply reel is replaced, resulting in a decrease in productivity. There was a point.
본 발명은, 복수의 공급 릴에 의해 복수의 테이프 부재를 공급하는 경우, 교환 작업의 용이화 및 능률화를 도모하도록 한 테이프 부재의 공급 장치, 이 공급 장치를 이용한 점착 테이프의 접착 장치, 및 테이프 부재의 공급 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention, when supplying a plurality of tape members by a plurality of supply reels, the supplying device of the tape member, the adhesive device for the adhesive tape using the supply device, and the tape member to facilitate the exchange operation and efficiency The purpose is to provide a supply method.
본 발명은, 이형 테이프의 한쪽 면에 점착 테이프가 접착된 테이프 부재를 공급 릴로부터 공급하는 테이프 부재의 공급 장치로서,The present invention provides a tape member supplying device for supplying a tape member having an adhesive tape adhered to one surface of a release tape from a supply reel.
상기 테이프 부재가 감겨진 복수의 공급 릴이 착탈 가능하게 설치되고 이들 공급 릴로부터 상기 테이프 부재를 공급하는 테이프 공급 기구와,A tape supply mechanism for detachably installing a plurality of supply reels in which the tape member is wound, and supplying the tape member from these supply reels;
상기 복수의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 소정 이하가 된 것을 상기 테이프 부재의 종단부에 의해 검출하는 검출 수단과,Detection means for detecting by the terminal portion of the tape member that the remaining amount of the tape member wound on the plurality of supply reels has become a predetermined value or less;
사용중인 복수의 공급 릴에 감겨진 상기 테이프 부재의 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 시단부를 접속하는 접속 장치A connecting device for connecting the end of the tape member wound on the plurality of supply reels in use and the start end of the tape member wound on the new plurality of supply reels to be replaced.
를 포함하고,Including,
복수의 공급 릴 중, 적어도 하나의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 소정 이하가 된 것을 상기 검출 수단이 검출했다면, 그 검출에 기초하여 사용중인 복수의 공급 릴을 일괄적으로 교환하며, 사용중인 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 시단부를 상기 접속 장치에 의해 한꺼번에 접속하는 것을 특징으로 하는 테이프 부재의 공급 장치이다.If the detecting means detects that the remaining amount of the tape member wound on the at least one supply reel among the plurality of supply reels is less than or equal to the predetermined value, the plurality of supply reels in use are exchanged collectively based on the detection. Supplying the tape member characterized in that the end portions of the plurality of tape members wound on the plurality of supply reels in operation and the start ends of the plurality of tape members wound on the new plurality of supply reels to be replaced are connected at one time by the connecting device. Device.
본 발명은, 기판의 판면에 복수의 점착 테이프를 소정 간격으로 동시에 접착하는 점착 테이프의 접착 장치로서,This invention is an adhesive device of the adhesive tape which adheres a plurality of adhesive tapes simultaneously at predetermined intervals to the plate surface of a board | substrate,
이형 테이프의 한쪽 면에 상기 점착 테이프가 접착된 테이프 부재가 감겨진 복수의 공급 릴로부터 상기 테이프 부재를 공급하는 테이프 공급 기구와,A tape supply mechanism for supplying the tape member from a plurality of supply reels in which a tape member having the adhesive tape adhered to one side of a release tape is wound;
상기 공급 릴로부터 인출된 상기 테이프 부재의 상기 이형 테이프와 상기 점착 테이프 중의 상기 점착 테이프만을 상기 기판에 대응한 길이 치수로 절단하는 절단 기구와,A cutting mechanism for cutting only the release tape of the tape member and the adhesive tape in the adhesive tape drawn out from the supply reel to a length dimension corresponding to the substrate;
이 절단 기구에 의해 절단된 상기 점착 테이프를 상기 기판에 접착하는 접착 수단과,Bonding means for adhering the adhesive tape cut by the cutting mechanism to the substrate;
상기 복수의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 소정 이하가 된 것을 상기 테이프 부재의 종단부에 의해 검출하는 검출 수단과,Detection means for detecting by the terminal portion of the tape member that the remaining amount of the tape member wound on the plurality of supply reels has become a predetermined value or less;
사용중인 복수의 공급 릴에 감겨진 상기 테이프 부재의 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 시단부를 접속하는 접속 장치A connecting device for connecting the end of the tape member wound on the plurality of supply reels in use and the start end of the tape member wound on the new plurality of supply reels to be replaced.
를 포함하고,Including,
복수의 공급 릴 중, 적어도 하나의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 소정 이하가 된 것을 상기 검출 수단이 검출했다면, 그 검출에 기초하여 사용중인 복수의 공급 릴을 일괄적으로 교환하며, 사용중인 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 시단부를 상기 접속 장치에 의해 한꺼번에 접속하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 접착 장치이다.If the detecting means detects that the remaining amount of the tape member wound on the at least one supply reel among the plurality of supply reels is less than or equal to the predetermined value, the plurality of supply reels in use are exchanged collectively based on the detection. Adhesion of the adhesive tape characterized by connecting the end part of the some tape member wound by the several supply reel which is in progress, and the start end parts of the some tape member wound by the new several supply reel to be replaced by the said connection apparatus at once. Device.
본 발명은, 이형 테이프의 한쪽 면에 점착 테이프가 접착된 테이프 부재를 공급 릴로부터 공급하는 테이프 부재의 공급 방법으로서,This invention is a supply method of the tape member which supplies the tape member which the adhesive tape adhered to one side of a release tape from a supply reel,
상기 테이프 부재가 감겨진 복수의 공급 릴로부터 상기 테이프 부재를 공급하는 공정과,Supplying the tape member from a plurality of supply reels on which the tape member is wound;
상기 복수의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 소정 이하가 된 것을, 상기 테이프 부재의 종단부에 의해 검출하는 공정과,A step of detecting by the terminal portion of the tape member that the remaining amount of the tape member wound on the plurality of supply reels has become a predetermined value or less;
상기 복수의 공급 릴 중, 적어도 하나의 공급 릴의 테이프 부재의 잔량이 소정 이하가 되었을 때 상기 복수의 공급 릴을 일괄적으로 교환하는 공정과,A step of collectively replacing the plurality of supply reels when the remaining amount of the tape member of the at least one supply reel among the plurality of supply reels becomes less than or equal to a predetermined value;
상기 테이프 부재의 종단부의 검출에 기초하여 사용중인 복수의 공급 릴을 새로운 복수의 공급 릴로 일괄적으로 교환하며, 사용중인 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 각 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 시단부를 한꺼번에 접속하는 공정On the basis of the detection of the end of the tape member, the plurality of supply reels in use are collectively replaced with a plurality of new supply reels, and each end of the plurality of tape members wound around the plurality of supply reels in use is replaced with a new one. Process of connecting the starting ends of the plurality of tape members wound on the plurality of supply reels at once
을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 부재의 공급 방법이다.It is a supply method of the tape member characterized by including the.
본 발명에 따르면, 복수의 공급 릴 중, 적어도 하나의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 소정 이하가 된 것을 검출했다면, 그 검출에 기초하여 복수의 공급 릴을 일괄적으로 교환하고, 또한 이 교환시에 사용중인 복수의 테이프 부재의 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴의 테이프 부재의 시단부를 한꺼번에 접속하도록 했다.According to the present invention, if it is detected that the remaining amount of the tape member wound on the at least one supply reel among the plurality of supply reels is less than or equal to the predetermined value, the plurality of supply reels are collectively replaced based on the detection. The end portions of the plurality of tape members in use at the time of exchange and the start portions of the tape members of the new plurality of supply reels to be replaced were connected at one time.
이 때문에, 복수의 공급 릴의 교환을 일괄적으로 행함으로써, 공급 릴의 교환 빈도를 낮게 하여 교환 작업의 능률 향상을 도모할 수 있고, 게다가 사용중인 복수의 테이프 부재의 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴의 테이프 부재의 시단부를 동시에 접속하기 때문에, 테이프 부재가 주행하는 경로를 얻기 위한 접속 작업도 신속하고 또한 능률적으로 행하는 것이 가능해진다.For this reason, by exchanging a plurality of supply reels collectively, the replacement frequency of the supply reels can be lowered to improve the efficiency of the replacement operation, and the end portions of the plurality of tape members in use can be replaced with new ones. Since the start ends of the tape members of the plurality of supply reels are connected at the same time, the connection work for obtaining the path along which the tape members travel can also be performed quickly and efficiently.
도 1은 본 발명의 일 실시형태를 나타내는 점착 테이프의 접착 장치의 개략적인 구성도.
도 2는 상기 접착 장치에 이용되는 공급 릴이 마련되는 테이프 공급 기구의 정면도.
도 3은 도 2에 나타내는 테이프 공급 기구의 측면도.
도 4는 도 1에 나타내는 접착 장치에 이용된 접속 장치의 평면도.
도 5는 도 4에 나타내는 접속 장치의 정면도.
도 6은 상기 접속 장치의 제1 부착판에 마련된 3개의 접속 유닛을 나타내는 도면.
도 7은 점착 테이프의 절단 기구를 나타내는 도면.
도 8은 상기 절단 기구에 의해 테이프 부재의 점착 테이프가 절단된 도면.
도 9는 접속 장치의 테이프 부재 커터가 마련된 홀더를 나타내는 정면도.
도 10은 상기 홀더의 일부를 단면으로 한 측면도.
도 11의 (a)는 이전 공급 릴의 테이프 부재의 종단부를 절단하는 것을 보여주는 설명도이고, (b)는 그 확대도.
도 12의 (a)는 이전 공급 릴의 테이프 부재의 종단부가 절단된 상태를 나타내는 설명도이고, (b)는 새로운 공급 릴로부터 인출된 테이프 부재의 시단부를 절단된 테이프 부재의 종단부에 겹쳐지게 했을 때의 설명도이며, (c)는 겹쳐진 테이프 부재의 종단부와 시단부를 초음파 접합하는 상태의 설명도.
도 13은 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 접속 장치의 정면도.
도 14의 (a)는 복수의 반도체 셀을 복수의 리드선에 의해 일렬로 접속한 스트링의 평면도이고, (b)는 스트링의 일부를 나타내는 측면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic block diagram of the sticking apparatus of the adhesive tape which shows one Embodiment of this invention.
2 is a front view of a tape supply mechanism provided with a supply reel for use in the bonding apparatus.
FIG. 3 is a side view of the tape supply mechanism shown in FIG. 2. FIG.
4 is a plan view of a connecting device used in the bonding apparatus shown in FIG. 1;
FIG. 5 is a front view of the connecting device shown in FIG. 4. FIG.
Fig. 6 is a diagram showing three connecting units provided on the first mounting plate of the connecting device.
The figure which shows the cutting mechanism of an adhesive tape.
8 is a view in which an adhesive tape of a tape member is cut by the cutting mechanism.
The front view which shows the holder provided with the tape member cutter of a connection device.
10 is a side view of a part of the holder in cross section;
(A) is explanatory drawing which shows the cutting | disconnection of the termination part of the tape member of a previous feed reel, (b) is the enlarged view.
(A) is explanatory drawing which shows the state by which the end part of the tape member of the previous supply reel was cut | disconnected, (b) is overlapped with the end part of the cut tape member with which the starting end of the tape member withdraw | derived from the new supply reel was cut. It is explanatory drawing at the time of making it, (c) is explanatory drawing of the state which ultrasonically bonds the terminal part and the starting part of the superimposed tape member.
The front view of the connection device which shows another embodiment of this invention.
FIG. 14A is a plan view of a string in which a plurality of semiconductor cells are connected in a line by a plurality of lead wires, and FIG. 14B is a side view showing a part of the string.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하면서 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1 내지 도 12는 본 발명의 일 실시형태를 나타내고, 도 1은 테이프 부재(11)의 후술하는 접속 장치(55)가 이용된 점착 테이프의 접착 장치를 나타낸다. 이 접착 장치는 상기 테이프 부재(11)를 공급하기 위한 테이프 공급 기구(12)를 구비한다.1-12 shows one Embodiment of this invention, and FIG. 1 shows the sticking apparatus of the adhesive tape in which the
상기 테이프 공급 기구(12)는 도 2와 도 3에 나타내는 바와 같이 지지체(13)를 갖는다. 이 지지체(13)는 판면을 수직으로 하여 배치된 판형의 베이스 부재(14)와, 이 베이스 부재(14)의 일측면의 폭방향 양단부에 각각 수평으로 돌출되게 설치된 한 쌍의 아암(15)에 의해 형성되어 있다.The
한 쌍의 아암(15)의 선단부에는, 상면에서 개방된 로킹 오목부(16)가 형성되고, 이 로킹 오목부(16)에는 지지축(17)의 일단부와 타단부가 착탈 가능하게 로킹되어 있다.At the distal end of the pair of
또한, 상기 테이프 부재(11)는, 도 7과 도 8에 나타내는 바와 같이 필름형의 수지로 이루어진 이형 테이프(4)의 한쪽 면에 도전성을 갖는 열경화성 수지로 이루어진 점착 테이프(3)가 접착되어 구성되어 있다.In addition, as shown in FIGS. 7 and 8, the
상기 아암(15)은 상기 베이스 부재(14)에 일단이 부착된 고정 아암(15a)과, 이 고정 아암(15a)의 타단에 부착 위치의 조정이 가능하게 설치된 가동 아암(15b)으로 이루어지고, 아암(15)의 전체 길이를, 상기 지지축(17)에 후술하는 바와 같이 회전 가능하게 설치되는 공급 릴(19)의 외경 치수에 따라서 조정할 수 있게 되어 있다. 또한, 상기 로킹 오목부(16)는 상기 가동 아암(15b)의 선단부에 형성되어 있다.The
상기 지지축(17)에는 복수, 이 실시형태에서는 3개의 상기 공급 릴(19)이 설치되어 있다. 즉, 각 공급 릴(19)에는 직경 방향 중심부에 베어링(21)이 설치되고, 이 베어링(21)을 상기 지지축(17)에 착탈 가능하게 외측에 끼움으로써, 각 공급 릴은 회전 가능하게 지지되어 있다.The said
도 2에 나타내는 바와 같이, 상기 지지축(17)에는, 중앙에 위치하는 공급 릴(19)의 양측면과, 양측에 위치하는 공급 릴(19)의 일측면 사이에, 각각 칼라(22)가 단부면을 상기 베어링(21)의 내륜(도시하지 않음)의 단부면에 접촉시켜 장착되고, 양측에 위치하는 2개의 공급 릴(19)의 타측면에는 고정용 링(23)이 단부면을 상기 내륜의 단부면에 접촉시켜 장착되어 있다.As shown in FIG. 2, the
상기 고정용 링(23)에는 핸들(24)이 나사 결합되어 있고, 이 핸들(24)을 죄어 넣는 방향으로 회전시킴으로써, 상기 고정용 링(23)을 상기 지지축(17)에 고정할 수 있게 되어 있다.The
이에 의해, 상기 지지축(17)에 장착된 3개의 공급 릴(19)은, 상기 칼라(22)와 상기 고정용 링(23)에 의해 상기 지지축(17)에 대하여 소정의 간격으로 위치 결정 고정되도록 되어 있다.As a result, the three
그리고, 상기 지지축(17)을 상기 아암(15)의 로킹 오목부(16)로부터 분리하고, 이 지지축(17)으로부터 한 쌍의 고정용 링(23)을 분리하면, 3개의 공급 릴(19)을 상기 지지축(17)으로부터 분리할 수 있게 되어 있다.When the
즉, 3개의 공급 릴(19)은, 상기 지지체(13)에 대하여 상기 지지축(17)과 함께 한꺼번에 착탈할 수 있게 되어 있고, 예를 들면 다른 지지축(17)에 미사용의 공급 릴(19)을 미리 부착해 두면, 사용이 종료된 공급 릴(19)을 분리한 후, 미사용의 3개의 공급 릴(19)을 상기 지지체(13)에 한꺼번에 부착할 수 있게 되어 있다.That is, the three
또한, 도시는 하지 않지만, 상기 공급 릴(19)의 외주면에는 회전 구동되는 마찰차가 탄성적으로 압접시킬 수 있게 설치되고, 이 마찰차에 의해 상기 공급 릴(19)을 회전 구동시킬 수 있게 되어 있다. 이 마찰차는, 복수의 공급 릴(19) 각각을 개별적으로 회전 구동시키도록 해도 좋고, 복수의 공급 릴(19)을 일괄적으로 회전 구동하도록 해도 좋다.Although not shown, a frictional difference that is rotationally driven is provided on the outer circumferential surface of the
각 공급 릴(19)에는 상기 테이프 부재(11)가 감겨 있다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 각 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)는 인출되고, 각각 댄서 레버(26)의 일단부에 회전 가능하게 설치된 댄서 롤러(27)(모두 1개만 도시)에 결합되어 있다.The
상기 댄서 레버(26)는 길이 방향의 중도부가 요동축(28)에 의해 요동 가능하게 피봇되어 있고, 그 요동 각도에 따라서 상기 공급 릴(19)로부터 인출된 상기 테이프 부재(11)의 이완 길이가 변화하도록 되어 있다.The
상기 댄서 레버(26)의 일단부에는 길이 방향을 따라서 가늘고 긴 결합 구멍(29)이 형성되어 있다. 상기 댄서 레버(26)를 도 1에 실선으로 나타내는 위치로부터 쇄선으로 나타내는 위치로 요동시켰을 때, 상기 결합 구멍(29)에 로킹 핀(30)을 결합시킬 수 있게 되어 있다. 이에 의해 상기 댄서 레버(26)를 요동 불가능하게 유지할 수 있다. 즉, 상기 공급 릴(19)로부터 인출된 상기 테이프 부재(11)의 이완 길이가 변화되는 것이 저지된다.One end of the
또한, 상기 로킹 핀(30)은 도시하지 않은 솔레노이드 등의 구동원에 의해 축방향으로 구동되도록 되어 있어, 상기 솔레노이드가 작동했을 때 상기 결합 구멍(29)에 결합하도록 되어 있다.In addition, the locking
3개의 공급 릴(19)로부터 인출된 각각의 테이프 부재(11)는, 가이드 수단을 구성하는 제1 가이드 롤러(31)와 제2 가이드 롤러(32)에 의해 가이드되어 절단 기구(33)로 유도된다.Each
상기 댄서 롤러(27) 및 상기 한 쌍의 가이드 롤러(31, 32)의 외주면에는, 도 10에 나타내는 바와 같이 단면 형상이 사다리꼴 형상인 가이드 홈(34)이 형성되어 있다. 이 가이드 홈(34)의 바닥변은, 상기 테이프 부재(11)의 폭치수와 동일한 폭치수로 설정되어 있다. 이에 의해, 가이드 홈(34)에서 가이드되어 주행하는 상기 테이프 부재(11)가 폭방향에 대하여 위치가 어긋나는 것이 방지되도록 되어 있다.On the outer peripheral surfaces of the
도 7에 나타내는 바와 같이, 상기 절단 기구(33)는 블록 부재(35)를 갖는다. 이 블록 부재(35)의 한쪽 측면의 상하 방향의 양단 모서리부에는 각각 롤러(36)(1개의 블록재만 도시)가 회전 가능하게 부착되어 있다.As shown in FIG. 7, the
3개의 공급 릴(19)로부터 인출된 각각의 테이프 부재(11)는, 상기 한 쌍의 롤러(36)에 의해 가이드되어 상기 블록 부재(35)의 측면을 따라서 주행하도록 되어 있다. 이때, 상기 테이프 부재(11)는 이형 테이프(4)가 상기 블록 부재(35)의 측면에 대향하는 내측을 향하고, 점착 테이프(3)가 외측을 향하고 있다. 또한, 상기 각 롤러(36)에도 외주면에 테이프 부재(11)를 가이드하는 단면이 사다리꼴 형상인 가이드 홈을 형성하는 것이 바람직하다.Each
상기 블록 부재(35)의 테이프 부재(11)의 주행면측에는, 실린더(37)에 의해 구동되는 커터(38)가 설치되어 있다. 이 커터(38)가 상기 실린더(37)에 의해 구동됨으로써, 도 8에 나타내는 바와 같이 상기 테이프 부재(11)의 이형 테이프(4)에 접착된 점착 테이프(3)만이 절단되도록, 상기 커터(38)의 스트로크가 설정되어 있다.The
이때, 점착성의 상기 점착 테이프(3)를 확실하게 절단하기 위해서는, 상기 이형 테이프(4)를 두께의 약 절반 정도 절단하는 것이 바람직하다.At this time, in order to reliably cut | disconnect the adhesive
상기 블록 부재(35)의 측면에는, 흡인 펌프에 연통하는 다수의 흡인 구멍(35a)이 개구되어 형성되어 있고, 상기 흡인 구멍(35a)에 흡인력을 발생시킴으로써, 상기 블록 부재(35)의 측면에 테이프 부재(11)를 흡착 유지할 수 있게 되어 있다.On the side surface of the
3개의 공급 릴(19)로부터 조출(繰出)된 3개의 테이프 부재(11)는, 도 1의 지면(紙面)에 대하여 직교하는 방향에 대하여 소정 간격으로 평행하게 주행하고, 상기 절단 기구(33)는 3개의 커터(38)를 가지며, 각 커터(38)는 3개의 테이프 부재(11)에 대응하는 간격으로 배치되어 있다. 또한, 3개의 커터(38)는 하나의 실린더(37)에 의해 구동되어도 좋지만, 각각 별개의 실린더(37)에 의해 구동되도록 해도 좋고, 요컨대 3개의 테이프 부재(11)의 점착 테이프(3)를 한꺼번에 절단되도록 되어 있으면 된다.The three
도 1에 나타내는 바와 같이, 상기 절단 기구(33)에 의해 점착 테이프(3)가 절단된 3개의 테이프 부재(11)는, 복수의 패스 롤러(39)의 외주면에 형성된 단면이 사다리꼴 형상인 가이드 홈(도시하지 않음)에 의해 상기 점착 테이프(3)가 접착된 면을 아래로 향하게 하여 도 1에 화살표로 나타내는 방향으로 가이드된다.As shown in FIG. 1, the three
그리고, 상기 3개의 테이프 부재(11)는, X, Y, Z 및 θ 방향으로 구동되는 테이블(40)에 의해 위치 결정된 기판으로서의 반도체 셀(1)의 상면과 대향하는 부분에서, 상기 패스 롤러(39)에 의해 상기 반도체 셀(1)과 평행하게, 게다가 반도체 셀(1)의 폭방향에 대하여 소정 간격으로 이격되어 주행하도록 가이드된다.The three
상기 절단 기구(33)에 의해 상기 점착 테이프(3)의 소정의 길이로 절단된 부분이, 위치 결정된 상기 반도체 셀(1)의 상면과 대향하는 위치로 반송되면, 상기 반도체 셀(1)이 상기 테이블(40)에 의해 상기 점착 테이프(3)에 근접하는 위치까지 상승 방향으로 구동된 후, 상기 반도체 셀(1)의 상측에 배치된 접착 수단으로서의 접착 헤드(41)가 상하 구동원(42)에 의해 하강 방향으로 구동된다.When the part cut | disconnected to the predetermined length of the said
상기 접착 헤드(41)의 하면에는, 3개의 테이프 부재(11)와 대응하는 간격으로 3개의 세장형 돌출부(41a)가 돌출되게 설치되어 있다. 따라서, 상기 접착 헤드(41)가 하강 방향으로 구동되면, 이 3개의 세장형 돌출부(41a)에 의해 3개의 점착 테이프(3)가 이형 테이프(4)를 사이에 두고 상기 반도체 셀(1)의 상면에 압박된다. 이에 의해, 상기 점착 테이프(3)가 상기 반도체 셀(1)의 상면에 접착된다. 즉, 상기 반도체 셀(1)의 상면에 3개의 점착 테이프(3)가 동시에 접착되게 된다.On the lower surface of the
상기 점착 테이프(3)가 반도체 셀(1)에 접착된 상기 테이프 부재(11)의 나머지 이형 테이프(4)는, 박리 롤러 유닛(43)의 롤러(43a)에 결합된다. 이 박리 롤러 유닛(43)이 도 1에 화살표 X로 나타내는 방향으로 구동되면, 상기 점착 테이프(3)로부터 이형 테이프(4)가 박리된다.The remaining
상기 점착 테이프(3)로부터 박리된 3개의 이형 테이프(4)는, 각각 외주면을 구름 접촉시킨 한 쌍의 이송 롤러(45) 사이를 통과한 후, 상기 이형 테이프(4)를 풍압에 의해 이송 방향으로 가이드하는 에어 덕트(46)를 통과한다. 한 쌍의 이송 롤러(45) 중 적어도 하나는, 도시하지 않은 구동원에 의해 회전 구동된다. 이 이송 롤러(45)는, 복수의 이형 테이프(4) 각각에 대응하여 개별적으로 설치해도 좋고, 복수의 이형 테이프(4)를 일괄적으로 사이에 끼워 일괄적으로 이송하도록 구성해도 좋다.The three
상기 반도체 셀(1)에 접착된 점착 테이프(3)로부터 이형 테이프(4)가 박리되면, 구름 접촉시킨 한 쌍의 이송 롤러(45)에 의해 상기 이형 테이프(4)가 화살표 방향으로 이송된다. 이에 의해, 소정 길이로 절단된 새로운 점착 테이프(3)가 소정 위치에 위치 결정된 반도체 셀(1)의 상측에 대향 위치하고, 전술한 접착 작업이 반복하여 행해지게 된다.When the
상기 테이프 부재(11)의 경로에는, 상기 테이프 공급 기구(12)의 지지체(13)에 유지된 3개의 공급 릴(19)로부터 조출되는 테이프 부재(11)의 잔량이 소정 이하가 된 것과, 상기 경로에 테이프 부재(11)가 없는 것을 검출하는 검출 수단으로서의 검출부(51)가 상기 절단 기구(33)보다 상류측에 배치되어 있다.In the path of the
상기 검출부(51)는, 주행하는 3개의 테이프 부재(11)에 대향하여 설치된, 예를 들면 광센서로 이루어진 제1 센서(52)와 제2 센서(53)를 갖는다. 또한, 도 1에서는 3개의 제1 센서(52)와 제2 센서(53) 중 1개만을 도시하고 있다.The said
상기 제1 센서(52)는, 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)가 소정량 이하가 되고, 점착 테이프(3)가 접착되어 있지 않은 이형 테이프(4)의 종단부가 조출되어 왔을 때, 점착 테이프(3)와 이형 테이프(4)의 반사광량의 차이에 의해 상기 종단부를 검출하도록 되어 있다.In the first sensor 52, the
상기 제2 센서(53)는, 상기 테이프 부재(11)를 사이에 두고 대향하도록 배치된 투광부(53a)와 수광부(53b)를 가지며, 투광부(53a)로부터 출사된 광이 수광부(53b)에 의해 수광되었는지의 여부, 즉 투광부(53a)와 수광부(53b) 사이에 테이프 부재(11)가 없을 때 그것을 검출하도록 되어 있다.The
상기 제1 센서(52)가 테이프 부재(11)의 종단부, 즉 공급 릴(19)로부터 점착 테이프(3)가 접착되어 있지 않은 이형 테이프(4)의 종단부가 조출된 것을 검출하면, 그 검출 신호에 기초하여 상기 각 공급 릴(19)로부터의, 상기 이송 롤러(45)에 의한 테이프 부재(11)의 인출 동작이 정지되도록 되어 있다.When the first sensor 52 detects that the end of the
즉, 상기 검출부(51)의 3개의 제1 센서(52)는, 3개의 공급 릴(19)로부터 조출된 3개의 테이프 부재(11)의 종단부를 각각 검출하도록 설치되어 있지만, 그 중의 적어도 하나의 제1 센서(52)가 테이프 부재(11)의 종단부를 검출하면, 3개의 공급 릴(19)로부터의 테이프 부재(11)의 인출 동작이 동시에 정지되도록 되어 있다.That is, the three first sensors 52 of the
바꿔 말하면, 3개의 공급 릴(19)에 미리 감겨진 테이프 부재(11)의 길이, 또는 각 공급 릴(19)의 테이프 부재(11)의 사용량에 차이가 있어, 각각의 제1 센서(52)가 동시에 테이프 부재(11)의 종단부를 검출할 수 없는 경우가 있다.In other words, there is a difference in the length of the
이와 같은 경우라 하더라도, 3개의 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)의 잔량에는 큰 차이가 없기 때문에, 1조의 제1 센서(52)가 테이프 부재(11)의 종단부를 검출함으로써, 3개의 공급 릴(19)로부터의 테이프 부재(11)의 인출을 정지하도록 하고 있다.Even in such a case, since there is no big difference in the remaining amount of the
공급 릴(19)로부터의 테이프 부재(11)의 인출이 정지되는 동시에, 상기 절단 기구(33)의 블록 부재(35)의 측면에 개구되어 형성된 흡인 구멍(35a)에 흡인력이 발생하여, 상기 테이프 부재(11)의 상기 검출부(51)보다 하류측의 부분이 흡착 유지된다.The withdrawal of the
이어서, 사용중인 3개의 공급 릴(19) 중의 어느 테이프 부재(11)의 잔량이 소정 이하가 되었을 때, 새로운 3개의 공급 릴(19)로 교환한다. 그리고, 장치 내에 남은 사용중인 공급 릴(19)에 남은 테이프 부재(11)의 종단부에, 새로운 공급 릴(19)로부터 인출된 테이프 부재(11)의 시단부가 상기 접속 장치(55)에 의해 접속된다. 이 접속 장치(55)는 후술하는 바와 같이 상기 테이프 부재(11)의 주행 경로에 있어서 상기 검출부(51)보다 상류측의 부분에 배치되어 있다.Subsequently, when the remaining amount of any of the
또한, 상기 제2 센서(53)에 의해 테이프 부재(11)의 경로에 테이프 부재(11)가 없는 것이 검출되면, 그 검출에 기초하여 접착 장치의 모든 동작이 정지되도록 되어 있다.When the
상기 접속 장치(55)는, 도 4와 도 5에 나타내는 바와 같이 평면 형상이 ㄷ자형인 기체(基體)(56)를 갖는다. 이 기체(56)의 일단부에는 제1 부착부(57)가 마련되고, 타단부에는 제2 부착부(58)가 마련되며, 중간부에는 공간부(59)가 형성되어 있다.As shown in FIG. 4 and FIG. 5, the
상기 제1 부착부(57)에는 실린더 등의 제1 리니어 구동원(61)이 설치되고, 제2 부착부(58)에는 제2 리니어 구동원(62)이 설치된다. 제1, 제2 리니어 구동원(61, 62)의 선단부는 상기 공간부(59)에 돌출되어 있다.The
상기 제1 리니어 구동원(61)의 구동축(61a)에는 제1 부착판(63)이 부착되고, 상기 제2 리니어 구동원(62)의 구동축(62a)에는 상기 제1 부착판(63)과 평행하게 대향하여 제2 부착판(64)이 부착되어 있다.The first mounting
상기 제1 부착판(63)에는 복수, 즉 상기 지지체(13)에 설치되는 공급 릴(19)의 수에 대응하는 3개의 접속 유닛(65)의 본체부(67)가, 도 6에 나타내는 바와 같이 3개의 공급 릴(19)로부터 인출되는 3개의 테이프 부재(11)와 동일한 간격으로 후술하는 바와 같이 탄성적으로 변위 가능하게 설치되어 있다.A plurality of
상기 제2 부착판(64)에는 상기 3개의 접속 유닛(65)과 대응하는 간격으로 3개의 받침 부재(66)가 설치되어 있다. 이 받침 부재(66)의 단부면에는, 도 5에 나타내는 바와 같이 상기 테이프 부재(11)의 주행 방향에 직교하는 방향을 따라서 복수의 볼록부(66a)가 형성되어 있다.Three
도 5와 도 6에 나타내는 바와 같이, 상기 접속 유닛(65)은 본체부(67)를 갖는다. 이 본체부(67)의 일측면의 길이 방향 중도부는, 길이 방향 양단부보다 약간 높고, 중도부에서 2개로 분단된 돌출면(67a)으로 형성되어 있다.As shown in FIG. 5 and FIG. 6, the
분단된 각 돌출면(67a)에는, 상기 공급 릴(19)로부터 인출된 테이프 부재(11)가 주행 가능하게 결합되는 위치 결정 홈(68)이 길이 방향을 따라서 형성되어 있다. 이 위치 결정 홈(68)도, 바닥면이 상기 테이프 부재(11)의 폭치수와 동등한 폭치수를 갖는 단면이 사다리꼴인 형상으로 형성되어 있다.In each of the divided projecting
이에 의해, 상기 공급 릴(19)로부터 인출된 상기 테이프 부재(11)는, 상기 위치 결정 홈(68)과 상기 제1, 제2 가이드 롤러(31, 32)에 의해 폭방향으로 흔들리지 않고, 위치 결정되어 주행할 수 있게 되어 있다. 또한, 상기 제1, 제2 가이드 롤러(31, 32)도 상기 본체부(67)와 함께 상기 접속 유닛(65)을 구성한다.As a result, the
상기 본체부(67)의 일측면에 있어서 상기 제1 가이드 롤러(31)측에 위치하는 길이 방향의 일단부에는, 상기 테이프 부재(11)에 있어서 상기 위치 결정 홈(68)보다 상류측의 부분을 흡착 유지하는 제1 흡착부를 구성하는 복수의 제1 흡인 구멍(71)이 일렬로 개구되어 형성되고, 상기 제2 가이드 롤러(32)측에 위치하는 길이 방향의 타단부에는, 상기 테이프 부재(11)에 있어서 상기 위치 결정 홈(68)보다 하류측의 부분을 흡착 유지하는 제2 흡착부를 구성하는 복수의 제2 흡인 구멍(72)이 일렬로 개구되어 형성되어 있다.In one end of the longitudinal direction located on the side of the
상기 본체부(67)의 길이 방향 일단부와 타단부의 측면은, 길이 방향 중도부에 형성된 위치 결정 홈(68)의 바닥면과 동일한 높이로 설정되어 있다.Side surfaces of one end portion in the longitudinal direction and the other end portion of the
상기 본체부(67)의 길이 방향 중도부에 있어서, 2개로 분단된 돌출면(67a) 사이의 부분에는, 관통 구멍(73)이 두께 방향으로 형성되어 있다. 이 관통 구멍(73)에는 원기둥형의 초음파 툴(74)이 선단면을 상기 위치 결정 홈(68)의 바닥면과 동일한 높이로 하여 또는 약간 높게 하여 배치되어 있다.In the longitudinal middle portion of the
상기 초음파 툴(74)은 초음파 진동자(75)에 의해 초음파 진동되는 혼(76)에 부착되어 있고, 상기 혼(76)은 상기 본체부(67)의 타측면에 부착 고정되어 있어, 후술하는 바와 같이 플로팅 가능한 구조, 즉 요동 가능한 구조로 되어 있다. 상기 초음파 툴(74)의 선단면은, 상기 제2 부착판(64)에 설치된 받침 부재(66)의 볼록부(66a)가 형성된 단부면에 대향 위치하고 있다.The
이에 의해, 상기 제1 부착판(63)이 상기 제1 리니어 구동원(61)에 의해 구동되고, 그 위치 결정 홈(68)에 상기 테이프 부재(11)의 제1, 제2 가이드 롤러(31, 32) 사이의 부분이 결합한 상태로, 상기 제2 리니어 구동원(62)에 의해 상기 제2 부착판(64)이 전진 방향으로 구동되면, 상기 초음파 툴(74)의 선단면에 상기 받침 부재(66)의 단부면의 볼록부(66a)가 압접한다.Thereby, the said
이에 의해, 후술하는 바와 같이 사용중인 테이프 부재(11)의 이형 테이프(4)에, 새로운 테이프 부재(11)의 이형 테이프(4)가 초음파 접합되도록 되어 있다.As a result, the
상기 본체부(67)의 네 모서리부에는 삽입 관통 구멍(77)이 형성되어 있고, 각 삽입 관통 구멍(77)에는 상기 제1 부착판(63)에 세워져 설치된 부착 볼트(78)가 덜거덕거리는 상태로 삽입 관통되어 있다. 각 부착 볼트(78)에는 상기 본체부(67)를 탄성적으로 지지하는 탄성 부재로서의 스프링(79)이 장착되어 있고, 상기 볼트(78)의 상기 삽입 관통 구멍(77)으로부터 돌출된 선단부에는 너트(81)가 나사 결합되어 있다.Insertion through
이에 의해, 3개의 접속 유닛(65)의 본체부(67)는, 각 본체부(67)의 위치 결정 홈(68)이 3개의 공급 릴(19)로부터 인출되는 3개의 테이프 부재(11)와 동일한 간격이 되도록 상기 제1 부착판(63)에 탄성적으로 변위 가능하게 부착되어 있다.As a result, the
상기 본체부(67)의 2개로 분단된 돌출면(67a) 중, 상기 초음파 툴(74)의 선단면이 노출된 개소보다도 일단부쪽, 즉 테이프 부재(11)의 주행 방향에 대하여 상기 초음파 툴(74)보다 상류측에 위치하는 돌출면(67a)에는, 상기 위치 결정 홈(68)에 대하여 직교하는 절단 홈(82)이 상기 위치 결정 홈(68)과 동일한 깊이로 형성되어 있다. 즉, 3개의 본체부(67)의 위치 결정 홈(68)은 일렬로 형성되어 있다.Of the protruding
도 9의 (a), (b)에 나타내는 바와 같이, 상기 절단 홈(82)에는 상기 접속 유닛(65)을 구성하는 요소의 하나인, 외주면에 날(83a)이 형성된 원반형의 커터(83)가, 그 외주면을 상기 절단 홈(82)의 바닥면에 탄성적으로 압접시켜 회전하면서 구동되도록 되어 있다.As shown to Fig.9 (a), (b), the said
즉, 상기 커터(83)의 중심부에는 지지축(84)이 설치되어 있다. 이 커터(83)는 ㄷ자형의 홀더(85)의 홈 내에 삽입되고, 상기 지지축(84)은 상기 홀더(85)에 형성된 긴 구멍(86)에 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 상기 지지축(84)과 상기 홀더(85)의 양측 외면에 설치된 로킹축(87)과의 사이에는 압축 스프링(88)이 설치되어 있다. 이에 의해, 상기 커터(83)는 상기 홀더(85)의 선단으로부터 돌출되는 방향으로 탄성적으로 지지되어 있다.That is, the
상기 홀더(85)는, 상기 접속 장치(55)의 기체(56)의 공간부(59)에서, 도 6에 화살표로 나타내는 바와 같이 나란히 마련된 3개의 본체부(67)의 돌출면(67a)에 형성된 절단 홈(82)을 따라서 실린더 등의 제3 리니어 구동원(도시하지 않음)에 의해 왕복 구동되도록 되어 있다.In the
이에 의해, 후술하는 바와 같이 상기 3개의 본체부(67)의 위치 결정 홈(68)에 각각 위치 결정된 상기 테이프 부재(11)가 상기 절단 홈(82)을 따라서 구동되는 상기 커터(83)에 의해 절단되도록 되어 있다.Thereby, as mentioned later, the said
이어서, 상기 구성의 접착 장치의 동작에 관해서 도 1과 도 11과 도 12를 참조하면서 설명한다.Next, operation | movement of the bonding apparatus of the said structure is demonstrated, referring FIG. 1, FIG. 11, and FIG.
통상, 상기 접착 장치는 반도체 셀(1)에 소정 길이로 절단된 복수(이 실시형태에서는 3개)의 점착 테이프(3)를 접착하는 작업이 행해진다.Usually, the said adhesion | attachment apparatus performs the operation | work which adhere | attaches the some (3 in this embodiment)
즉, 테이프 공급 기구(12)의 지지체(13)에 지지된 3개의 공급 릴(19)로부터 인출된 테이프 부재(11)는, 접속 유닛(65)의 제1, 제2 가이드 롤러(31, 32)에 의해 가이드되고, 검출부(51) 및 절단 기구(33)를 통과하여, 접착 헤드(41)에 대향하는 부분에서 한 쌍의 패스 롤러(39)에 의해 상기 접착 헤드(41)와 평행하게 가이드된 후, 한 쌍의 이송 롤러(45) 사이에 끼워져 반송되는 동시에, 반송된 만큼, 이송 롤러(45)의 하류측에 설치된 에어 덕트(46)에 의해 배출 방향으로 압송된다.That is, the
상기 테이프 부재(11)를 구성하는 점착 테이프(3)와 이형 테이프(4) 중, 점착 테이프(3)만이 상기 절단 기구(33)의 커터(38)에 의해 소정 길이로 절단된다. 점착 테이프(3)의 절단 길이는, 반도체 셀(1)의 길이 치수에 따라서 설정된다.Of the
소정 길이로 절단된 3개의 테이프 부재(11)의 점착 테이프(3)가 상기 접착 헤드(41)의 하측, 즉 테이블(40)에 의해 위치 결정된 상기 반도체 셀(1)의 상면에 반송되어 오면, 상기 반도체 셀(1)은 그 상면이 소정 길이로 절단된 점착 테이프(3)에 근접하는 위치까지 상기 테이블(40)에 의해 상승 방향으로 구동된다.When the
이어서, 상기 접착 헤드(41)가 상하 구동원(42)에 의해 하강 방향으로 구동되고, 3개의 세장형 돌출부(41a)에 의해 3개의 점착 테이프(3)를 이형 테이프(4)를 사이에 두고 상기 반도체 셀(1)의 상면에 동시에 압박하여 접착한다. 접착후, 박리 롤러 유닛(43)이 도 1에 화살표 X로 나타내는 방향으로 구동되고, 반도체 셀(1)의 상면에 접착된 3개의 점착 테이프(3)로부터 이형 테이프(4)가 박리된다.Subsequently, the
이형 테이프(4)가 박리되면, 상기 박리 롤러 유닛(43)이 화살표 X 방향과 역방향으로 구동된다. 이와 동시에, 이송 롤러(45)가 구동되며, 테이프 부재(11)가 소정 길이 반송되고, 전술한 접착 작업이 반복하여 행해지게 된다.When the
접착 작업이 반복하여 행해지면, 상기 지지체(13)에 설치된 3개의 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)가 감소하고, 그 잔량이 소정 이하가 된다. 테이프 부재(11)의 잔량이 소정 이하가 되면, 테이프 부재(11)의 종단부, 즉 이형 테이프(4)에 있어서 점착 테이프(3)가 접착되어 있지 않은 부분이 상기 공급 릴(19)로부터 조출된다.When the bonding operation is repeatedly performed, the
상기 공급 릴(19)로부터 조출된, 이형 테이프(4)에 있어서 점착 테이프(3)가 접착되어 있지 않은 종단부는, 점착 테이프(3)가 접착된 부분과 반사광량이 상이하기 때문에, 그 부분이 조출된 것이 상기 검출부(51)의 제1 센서(52)에 의해 검출된다.The end portion of the
즉, 상기 지지체(13)에 설치된 3개의 공급 릴(19) 중, 적어도 하나의 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)의 잔량이 소정 이하가 되면, 상기 검출부(51)의 제1 센서(52)가 그것을 검출하게 된다.That is, when the remaining amount of the
상기 검출부(51)의 제1 센서(52)로부터의 검출 신호에 의해, 상기 이송 롤러(45)에 의한 3개의 공급 릴(19)로부터의 테이프 부재(11)의 인출이 정지된다. 이와 동시에, 상기 절단 기구(33)의 블록 부재(35)의 측면에 형성된 다수의 흡인 구멍(35a)에 흡인력이 발생하여, 상기 테이프 부재(11)의 종단부가 상기 블록 부재(35)의 측면에 흡착 유지된다.By the detection signal from the 1st sensor 52 of the said
이어서, 접속 장치(55)의 3개의 접속 유닛(65)이 설치된 제1 부착판(63)이 제1 리니어 구동원(61)에 의해 전진 방향으로 구동된다. 이에 의해, 도 11의 (a), (b)에 나타내는 바와 같이 각 공급 릴(19)의 테이프 부재(11)의 종단부(11E)가 상기 접속 유닛(65)의 단면이 사다리꼴 형상인 위치 결정 홈(68)에 결합하고, 상기 테이프 부재(11)가 폭방향으로 흔들리지 않도록 위치 결정된다.Next, the first mounting
이와 동시에, 도 11의 (a)에 나타내는 바와 같이 상기 테이프 부재(11)의 종단부(11E)에 있어서 상기 위치 결정 홈(68)보다 상류측의 부분과 하류측의 부분이 제1 흡인 구멍(71)과 제2 흡인 구멍(72)에 의해 각각 흡착 유지된다. 즉, 상기 테이프 부재(11)에 있어서 상기 접속 유닛(65)의 본체부(67)의 측면에 대응하는 부분이, 이 본체부(67)의 측면에 흡착 유지되게 된다.At the same time, as shown to Fig.11 (a), in the
이와 같이 하여, 테이프 부재(11)의 종단부(11E)가 상기 본체부(67)의 측면에 흡착 유지되면, 도 11의 (b)에 나타내는 바와 같이 제3 리니어 구동원에 의해 커터(83)가 3개의 본체부(67)의 일렬로 형성된 절단 홈(82)을 따라서 구동되고, 상기 테이프 부재(11)의 종단부(11E)에 있어서, 상기 절단 홈(82)에 교차하는 개소가 상기 커터(83)에 의해 절단된다.In this manner, when the
상기 커터(83)는 홀더(85)에 탄성적으로 변위 가능하게 지지되어 있다. 이 때문에, 상기 커터(83)가 절단 홈(82)에 들어가면, 이 커터(83)의 날(83a)은, 상기 절단 홈(82)과 교차하는 상기 위치 결정 홈(68)에 위치 결정 유지된 테이프 부재(11)에 탄성적으로 압접하게 된다. 이 때문에, 상기 커터(83)에 의해 상기 테이프 부재(11)에 있어서 절단 홈(82)에 위치하는 부분을 확실하게 절단할 수 있다. 게다가, 상기 커터(83)가 탄성적으로 변위함으로써, 그 날(83a)이 절단 홈(82)의 바닥면에 강하게 접촉하여 손상되는 것을 방지할 수 있다.The
상기 커터(83)가 테이프 부재(11)를 절단하고 원래의 위치로 되돌아가면, 상기 테이프 부재(11)의 종단부(11E)에 있어서 상기 위치 결정 홈(68)보다 상류측의 부분을 흡착 유지한 제1 흡인 구멍(71)의 흡인력이 오프된다. 이어서, 테이프 부재(11)가 댄서 레버(26)의 중량에 의해 인장되어 댄서 레버(26)가 도 1에 실선으로 나타내는 위치로부터 쇄선으로 나타내는 위치로 회동하게 된 후, 그 결합 구멍(29)에 도시하지 않은 구동원에 의해 로킹 핀(30)이 구동되어 결합하며, 상기 댄서 레버(26)가 회동 불가능하게 유지된다.When the
상기 댄서 레버(26)가 회동 불가능하게 유지되었다면, 상기 지지체(13)의 로킹 오목부(16)로부터, 3개의 공급 릴(19)이 부착된 지지축(17)을 분리하고, 소정량의 테이프 부재(11)가 감겨진 새로운 공급 릴(19)로 교환한다. 도 12의 (a)는 지지축(17)을 분리함으로써, 본체부(67)에 있어서 잔류하는 이전 공급 릴(19)로부터 인출된 상기 테이프 부재(11)의 종단부(11E)를 나타내고 있다.If the
상기 공급 릴(19)의 교환은, 미리 새로운 3개의 공급 릴(19)이 부착된 지지축(17)을 상기 지지체(13)에 장착하거나, 지지체(13)로부터 분리한 지지축(17)으로부터, 사용이 종료된 이전 공급 릴(19)을 분리하고, 이 지지축(17)에 새로운 공급 릴(19)을 부착한 후, 이 지지축(17)을 상기 지지체(13)의 로킹 오목부(16)에 부착하는 것 중에서, 어느 것이어도 좋다.The replacement of the
상기 지지체(13)에 새로운 공급 릴(19)을 부착했다면, 각 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)를 인출하고, 도 12의 (b)에 나타내는 바와 같이 새로운 테이프 부재(11)의 시단부(11F)를 상기 접속 유닛(65)의 본체부(67)의 제1 흡인 구멍(71)에 흡착시키며, 그것보다 선단측의 부분을 상기 절단 홈(82)의 개소에서 절단된 이전 테이프 부재(11)의 종단부(11E)에 중첩시킨다. 즉, 상기 초음파 툴(74)의 선단면 상에서, 이전 테이프 부재(11)의 후단부(11E)에, 새로운 테이프 부재(11)의 시단부(11F)가 겹쳐지게 된다.If a
이와 같이 하여, 이전 테이프 부재(11)의 종단부(11E)와, 새로운 테이프 부재(11)의 시단부(11F)를 중첩시켰다면, 상기 접속 유닛(65)과 대응하여 3개의 받침 부재(66)가 설치된 제2 부착판(64)을 제2 리니어 구동원(62)에 의해 전진 방향으로 구동한다. 이와 동시에, 상기 초음파 툴(74)이 설치된 초음파 진동자(75)를 발진시킨다.In this manner, if the
이에 의해, 도 12의 (c)에 나타내는 바와 같이, 상기 제2 부착판(64)에 설치된 3개의 받침 부재(66)의 단부면의 볼록부(66a)가, 상기 제1 부착판(63)에 설치된 3개의 접속 유닛(65)의 초음파 진동하는 초음파 툴(74)의 선단면에서 중첩시킨 이전 테이프 부재(11)의 종단부(11E)와, 새로운 테이프 부재(11)의 시단부(11F)를 압박하기 때문에, 각 테이프 부재(11)의 종단부(11E)와 시단부(11F)가 용착되게 된다.Thereby, as shown in FIG.12 (c), the
이와 같이 하여, 각 테이프 부재(11)의 종단부(11E)와 시단부(11F)를 용착할 때, 초음파 툴(74)을 갖는 접속 유닛(65)의 본체부(67)는, 상기 제1 부착판(63)에 스프링(79)에 의해 탄성적으로 변위 가능하게 유지되어 있다. 게다가, 상기 제1 부착판(63)에 설치된 부착 볼트(78)는 본체부(67)의 네 모서리에 형성된 삽입 관통 구멍(77)에 덜거덕거리는 상태로 삽입 관통되어 있다.In this way, when welding the
이 때문에, 상기 제1 부착판(63)에 설치된 상기 본체부(67)의 초음파 툴(74)의 선단면이, 각 테이프 부재(11)의 종단부(11E)와 시단부(11F)를 사이에 두고 상기 제2 부착판(64)에 설치된 받침 부재(66)의 볼록부(66a)에 의해 압박되었을 때, 상기 본체부(67)는 상기 초음파 툴(74)의 선단면이 상기 받침 부재(66)의 볼록부(66a)가 형성된 단부면을 따르도록, 상기 스프링(79)을 압축하면서 탄성적으로 변위한다.For this reason, the front end surface of the
즉, 상기 받침 부재(66)의 볼록부(66a)에 대하여 상기 초음파 툴(74)의 선단면이 평행해지도록 탄성적으로 변위한다. 따라서, 상기 초음파 툴(74)의 선단면에서, 중첩된 각 테이프 부재(11)의 종단부(11E)와 시단부(11F)는 확실하게 용착되게 된다.That is, the front end surface of the
이와 같이 하여, 각 테이프 부재(11)의 종단부(11E)와 시단부(11F)가 용착되면, 제2 부착판(64)이 후퇴 방향으로 구동된 후, 상기 댄서 레버(26)의 요동을 저지한 상기 로킹 핀(30)이 후퇴 방향으로 구동되어, 상기 댄서 레버(26)의 유지 상태가 해제된다.In this manner, when the
이어서, 상기 접속 유닛(65)의 본체부(67)에 형성된 제1 흡인 구멍(71)에 의한 새로운 테이프 부재(11)의 시단부(11F)의 흡착 유지와, 제2 흡인 구멍(72)에 의한 이전 테이프 부재(11)의 종단부(11E)의 흡착 유지가 해제된 후, 상기 제1 부착판(63)이 제1 리니어 구동원(61)에 의해 후퇴 방향으로 구동된다. 즉, 상기 접속 유닛(65)의 본체부(67)가, 접속된 이전 테이프 부재(11)의 종단부(11E)와 새로운 테이프 부재(11)의 시단부(11F)의 접속 부분으로부터 이격된다.Subsequently, the suction holding of the
각 테이프 부재(11)의 종단부(11E)와 시단부(11F)의 접속 작업이 종료되었다면, 각 테이프 부재(11)의 절단 기구(33)의 블록 부재(35)의 흡인 구멍(35a)의 흡인력이 해제되어 각 테이프(11)는 자유로워진다. 그리고, 각 테이프 부재(11)의 접속 부분이 절단 기구(33)보다 하류측이 되는 위치, 즉 새로운 테이프 부재(11)의 점착 테이프(3)가 상기 절단 기구(33)의 블록 부재(35)에 대응하는 위치까지, 테이프 부재(11)를 이송 롤러(45)에 의해 인출한다. 이에 의해, 각 테이프 부재(11)의 이전 테이프의 종단부(11E)와 새로운 테이프의 시단부(11F)의 접속 작업이 종료된다. 또한, 접착의 재개는, 접속 부분이 이송 롤러(45)를 넘은 지점까지 도달하고 나서 행해진다.When the connection work between the
전술한 바와 같이, 상기 테이프 공급 기구(12)의 지지체(13)에, 3개의 공급 릴(19)이 설치된 지지축(17)을 착탈 가능하게 지지하도록 했다. 이 때문에, 지지축(17)에 유지된 3개의 공급 릴(19) 중, 적어도 하나의 공급 릴(19)에 잔류하는 테이프 부재(11)가 소정량 이하가 되고, 그것이 검출부(51)의 제1 센서(52)에 의해 검출되었다면, 그 검출에 기초하여 상기 지지체(13)에 설치된 3개의 공급 릴(19)을, 상기 지지축(17)과 함께 새로운 공급 릴(19)로 한꺼번에 교환할 수 있다.As described above, the
즉, 3개의 공급 릴(19)을 지지체(13)에 설치한 경우, 각 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)의 길이의 차이 또는 각 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)의 사용량의 차이에 의해, 각 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)의 잔량이 일정하지 않게 되는 경우가 있다. 이 때문에, 3개의 공급 릴(19)의 교환 시기에 차이가 생기게 된다.That is, when the three
그러나, 3개의 공급 릴(19) 중의, 적어도 하나의 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)의 잔량이 소정 이하가 된 것이 검출부(51)의 제1 센서(52)에 의해 검출되었을 때, 3개의 공급 릴(19)을 한꺼번에 교환하도록 했다.However, it was detected by the first sensor 52 of the
이 때문에, 종래 행했던 복수회의 교환 작업이 1회이면 되기 때문에, 공급 릴(19)의 교환 작업의 용이화 및 능률화를 도모할 수 있다.For this reason, since the replacement operation of the multiple times performed once may be sufficient, the replacement operation of the
그런데, 전술한 바와 같이 각 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)의 잔량이 일정하지 않게 되는 경우가 있기 때문에, 복수의 공급 릴(19)을 일괄적으로 교환하면 사용되지 않은 테이프 부재(11)가 생기는 경우가 있다. 그러나, 이와 같이 사용되지 않은 테이프 부재의 길이는 매우 짧으며, 이 짧은 길이를 위해 짧은 간격으로 교환 작업을 반복하게 되기 때문에, 그때마다 장치를 정지시키는 것보다는, 약간의 미사용 부분은 포기하는 편이 결과적으로 비용 절감으로 이어진다.By the way, since the remaining amount of the
또한, 상기 접속 장치(55)는, 전술한 바와 같이 제1 부착판(63)에 3개의 접속 유닛(65)을 설치하고, 제2 부착판(64)에 3개의 받침 부재(66)를 상기 접속 유닛(65)과 대응하게 설치하는 것으로 되어 있다.In addition, the
이 때문에, 이전 3개의 공급 릴(19)의 3개의 테이프 부재(11)의 종단부(11E)와, 새로운 3개의 공급 릴(19)의 3개의 테이프 부재(11)의 시단부(11F)를 동시에 접속할 수 있기 때문에, 공급 릴(19)의 교환 작업과 마찬가지로, 3개의 테이프 부재(11)의 접속 작업을 1회로 행할 수 있다. 즉, 테이프 부재(11)의 접속 작업을 능률적으로 행하는 것이 가능해진다.Therefore, the
이전 테이프 부재(11)의 종단부와, 새로운 테이프 부재(11)의 시단부를 접속할 때, 이전 테이프 부재(11)의 종단부(11E)는 단면이 사다리꼴 형상인 위치 결정 홈(68)과 제2 가이드 롤러(32)의 가이드 홈(34)에 의해 폭방향으로 흔들리지 않도록 유지되고, 새로운 테이프 부재(11)의 시단부(11F)는 마찬가지로 단면이 사다리꼴 형상인 제1 가이드 롤러(31)의 가이드 홈(34)과 위치 결정 홈(68)에 의해 폭방향으로 흔들리지 않도록 유지된다.When connecting the end portion of the
또한, 이전 테이프 부재(11)의 종단부(11E)는 본체부(67)에 형성된 제1 흡인 구멍(71)에 의해 흡착 유지되고, 새로운 테이프 부재(11)의 시단부(11F)는 제2 흡인 구멍(72)에 의해 흡착 유지된다.Further, the
이 때문에, 초음파 툴(74)의 선단면 상에서 겹치도록 위치 결정된 이전 테이프 부재(11)의 종단부(11E)와, 새로운 테이프 부재(11)의 시단부(11F)를, 위치 어긋남이 생기지 않게 용착할 수 있다. 게다가, 용착시에는 상기 테이프 부재(11)에서의 중첩 부분이, 받침 부재(66)의 단부면에 형성된 복수의 볼록부(66a)에 의해 압박되고, 또한 초음파 툴(74)의 선단면은 받침 부재(66)의 볼록부(66a)가 형성된 단부면에 평행하게 따르도록 탄성 변위하기 때문에, 이에 의해서도 상기 테이프 부재(11)에서의 중첩 부분을 확실하게 용착할 수 있다.For this reason, welding is carried out so that the
상기 위치 결정 홈(68)에 유지된 이전 테이프 부재(11)의 종단부(11E)를, 상기 위치 결정 홈(68)과 교차하게 형성된 절단 홈(82)을 주행하는 커터(83)에 의해 절단하도록 하고 있다. 상기 위치 결정 홈(68)과 상기 절단 홈(82)의 바닥면은 동일한 높이로 형성되어 있다.The
이 때문에, 상기 위치 결정 홈(68)의 바닥면에 유지된 테이프 부재(11)는, 상기 절단 홈(82)의 바닥면보다 테이프 부재(11)의 두께만큼 상승했기 때문에, 상기 테이프 부재(11)는 상기 절단 홈(82)과 교차하는 부분에서, 상기 절단 홈(82)을 따라서 주행하는 커터(83)에 의해 확실하게 절단되게 된다.For this reason, since the
또한, 접합되는 테이프 부재(11)의 폭치수는 1 ㎜ 정도의 매우 폭치수가 가는 것이지만, 초음파 접합에 의해 접속하도록 함으로써, 예를 들면 접속용의 테이프를 이용하여 접속하는 것 같은 다른 접속 방법에 비해서 단시간에 고강도로 접합할 수 있다는 점도 있다.In addition, although the width dimension of the
도 13은 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 접속 장치(55)의 정면도이다. 이 실시형태에서는 접속 유닛(65)의 본체부(67)에 있어서 돌출면(67a)이 형성된 면과는 반대측의 면, 즉 타측면에 판형의 요동 부재(91)가 일측면을 접촉시켜 설치되어 있다.13 is a front view of a connecting
상기 요동 부재(91)에는 상기 제1 부착판(63)에 세워져 설치된 부착 볼트(78)와 대응하는 부분에, 상기 부착 볼트(78)의 외경 치수보다 큰 대직경 구멍(92)이 형성되어 있고, 상기 부착 볼트(78)는 선단부를 상기 대직경 구멍(92) 및 상기 본체부(67)의 삽입 관통 구멍(77)을 통과시켜 선단에 너트(81)가 나사 결합되어 있다.The
이에 의해, 상기 요동 부재(91)는 상기 본체부(67)의 타측면에 상기 부착 볼트(78)에 장착된 스프링(79)에 의해 탄성적으로 압박 유지되어 설치되어 있다. 그리고, 상기 초음파 툴(74)이 설치된 혼(76)은 상기 요동 부재(91)에 부착되어 있다.Thereby, the rocking
이러한 구성에 따르면, 테이프 부재(11)의 이형 테이프(4)를 접합하기 위해, 상기 초음파 툴(74)이 상기 이형 테이프(4)를 사이에 두고 받침 부재(66)에 의해 압박되었을 때, 이 받침 부재(66)를 따라서 상기 초음파 툴(74)이 상기 요동 부재(91)와 함께 요동한다.According to this structure, when the
즉, 상기 초음파 툴(74)이 상기 받침 부재(66)를 따라서 요동할 때, 상기 본체부(67)를 요동시키지 않고 끝난다. 이 때문에, 상기 초음파 툴(74)은 상기 받침 부재(66)에 압박되었을 때, 용이하게 요동하여 상기 받침 부재(66)를 따르게 되므로, 상기 이형 테이프(4)의 접합을 확실하게 행하는 것이 가능해진다.That is, when the
상기 일 실시형태에서는 인접하는 2개의 반도체 셀을 3개의 리드선으로 접속하는 예를 들어 설명했지만, 2개 또는 4개 이상의 리드선으로 접속하는 경우가 있고, 이 경우에는 리드선의 수에 대응한 복수의 공급 릴을 테이프 공급 기구의 지지체에 설치하면 된다.In the above-mentioned embodiment, an example in which two adjacent semiconductor cells are connected by three lead wires has been described. However, two or four or more lead wires may be connected. In this case, a plurality of supply lines corresponding to the number of lead wires may be used. What is necessary is just to install a reel to the support body of a tape supply mechanism.
또한, 제1 부착판에 설치되는 접속 유닛이나 제2 부착판에 설치되는 받침 부재의 수도, 지지체에 설치되는 공급 릴의 수에 대응하는 복수로 하면 된다.In addition, the number of connection units provided on the first mounting plate and the supporting member provided on the second mounting plate may be a plurality corresponding to the number of supply reels provided on the support.
또한, 전술한 실시형태에 있어서, 각 공급 릴(19)에 감겨진 테이프 부재(11)의 잔량은 반드시 동일하지는 않다. 이 때문에, 하나의 테이프 부재(11)가 종단에 도달하더라도, 다른 테이프 부재(11)는 종단에 도달하지 않은 경우가 있다. 전술한 바와 같이, 테이프 부재(11)의 종단부는, 점착 테이프(3)가 접착되어 있지 않은 이형 테이프(4)만의 구성으로 되어 있다.In addition, in embodiment mentioned above, the remaining amount of the
따라서, 각 테이프 부재(11)를 일제히 커트하고, 복수의 공급 릴(19)을 일괄적으로 교환하는 경우, 종단에 도달한 테이프 부재(11)에서는, 이형 테이프(4)의 부분에서 절단되고, 교환된 새로운 테이프 부재(11)의 시단의 이형 테이프(4)와 이전 테이프 부재(11)의 이형 테이프(4)가 초음파 접합된다.Therefore, when each
이에 비하여, 종단에 도달하지 않은 테이프 부재(11)에 있어서는, 점착 테이프(3)가 접착된 위치에서 커트되게 된다. 이 때문에, 교환된 새로운 테이프 부재(11)의 시단의 이형 테이프(4)와 이전 테이프 부재(11)의 점착 테이프(3) 부분이 초음파 접합되게 된다.On the other hand, in the
초음파 접합에 있어서는, 새로운 테이프 부재(11)의 이형 테이프(4)와 이전 테이프 부재(11)의 이형 테이프(4)를 접합하는 것이, 접합 부분의 테이프 두께의 변화가 적어 반송 경로 상에서 걸리는 위험이 적다는 점, 또는 동일한 소재의 이형 테이프끼리 접합이 이루어지므로 접합하기 위한 조건을 이형 테이프와 점착 테이프의 접합으로 바꿀 필요가 없어 일정하게 할 수 있다는 점 때문에, 종단에 도달하지 않은 이전 테이프 부재(11)에 관해서는, 이송 롤러(45)를 개별적으로 회전 구동함으로써, 이형 테이프(4)가 나타날 때까지 송출하고, 일제히 커트하는 것이 바람직하다.In the ultrasonic bonding, joining the
또한, 종단부가 반드시 이형 테이프(4)에만 있는 것은 아니고, 종단부까지 점착 테이프(3)가 형성되어 있는 종류의 테이프 부재(11)도 있을 수 있다. 이러한 테이프 부재(11)는, 종단부 근방의 점착 테이프(3)의 표면에, 종단부를 나타내는 엔드 마크[예컨대, 은종이와 같이 점착 테이프(3)와 반사율이 상이한 부재]가 부착되어 있어, 제1 센서(52)로 검출할 수 있다. 이 경우도, 종단에 도달하지 않은 이전 테이프 부재(11)에 관해서는, 이송 롤러(45)를 개별적으로 회전 구동함으로써, 엔드 마크가 나타날 때까지 송출하여, 일제히 커트하는 것이 바람직하다.In addition, the end part is not necessarily only in the
또한 상기의 경우, 새로운 테이프 부재(11)의 시단부(11F)에서의 점착 테이프(3)의 상면을 받침 부재(66)에 의해 압박하게 되어, 받침 부재(66)의 표면에 점착 테이프(3)가 부착되어 버리는 경우도 있기 때문에, 받침 부재(66)의 표면에 점착 방지 처리를 행하거나, 이형 테이프를 박리하거나 하는 것이 바람직하다.In this case, the upper surface of the
그 밖에, 시단부와 종단부에 점착 테이프(3)가 없어, 이형 테이프(4)가 노출되는 테이프 부재(11)와, 시단부와 종단부까지 점착 테이프(3)가 마련된 테이프 부재(11)가 혼재하는 경우도 있지만, 모두다 릴 교환시에는 종단부가 검출될 때까지 이전 테이프 부재(11)를 앞으로 보내고, 항상 종단부 근방에서 일제히 커트하도록 해도 좋다.In addition, there is no
3 : 점착 테이프 4 : 이형 테이프
11 : 테이프 부재 12 : 테이프 공급 기구
19 : 공급 릴 31 : 제1 가이드 롤러(접속 장치)
32 : 제2 가이드 롤러(접속 장치) 33 : 절단 기구
41 : 접착 헤드 45 : 이송 롤러
51 : 검출부 52 : 제1 센서
55 : 접속 장치 65 : 접속 유닛
67 : 본체부 68 : 위치 결정 홈
71 : 제1 흡인 구멍(제1 흡착부) 72 : 제2 흡인 구멍(제2 흡착부)
74 : 초음파 툴 82 : 절단 홈
83 : 커터3: adhesive tape 4: release tape
11
19: supply reel 31: first guide roller (connection device)
32: 2nd guide roller (connection device) 33: Cutting mechanism
41: adhesive head 45: feed roller
51 detecting unit 52 first sensor
55
67: main body 68: positioning groove
71: first suction hole (first adsorption part) 72: second suction hole (second adsorption part)
74: ultrasonic tool 82: cutting groove
83: Cutter
Claims (9)
상기 테이프 부재가 감겨진 복수의 공급 릴이 착탈 가능하게 설치되고 이들 공급 릴로부터 상기 테이프 부재를 공급하는 테이프 공급 기구와,
상기 복수의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 정해진 양 이하가 된 것을 상기 테이프 부재의 종단부에 의해 검출하는 검출 수단과,
사용중인 복수의 공급 릴에 감겨진 상기 테이프 부재의 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 시단부를 접속하는 접속 장치
를 구비하고,
복수의 공급 릴 중, 적어도 하나의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 정해진 양 이하가 된 것을 상기 검출 수단이 검출했다면, 그 검출에 기초하여 사용중인 복수의 공급 릴을 일괄적으로 교환하며, 사용중인 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 시단부를 상기 접속 장치에 의해 한꺼번에 접속하는 것을 특징으로 하는 테이프 부재의 공급 장치.A tape member supplying device for supplying a tape member having an adhesive tape adhered to one side of a release tape from a supply reel,
A tape supply mechanism for detachably installing a plurality of supply reels in which the tape member is wound, and supplying the tape member from these supply reels;
Detecting means for detecting, by the terminal portion of the tape member, that the remaining amount of the tape member wound on the plurality of supply reels has become a predetermined amount or less;
A connecting device for connecting the end of the tape member wound on the plurality of supply reels in use and the start end of the tape member wound on the new plurality of supply reels to be replaced.
And,
If the detecting means detects that the remaining amount of the tape member wound on the at least one supply reel among the plurality of supply reels is equal to or less than a predetermined amount, the plurality of supply reels being used are collectively exchanged based on the detection. End portions of a plurality of tape members wound on a plurality of supply reels in use, and end portions of a plurality of tape members wound on a plurality of new supply reels to be replaced at a time by the connecting device. Feeding device.
상기 접속 유닛은,
상기 공급 릴로부터 인출된 상기 테이프 부재를 가이드하는 가이드 수단과,
이 가이드 수단에 의해 가이드되어 주행하는 상기 테이프 부재에 대하여 접근ㆍ이격하는 방향으로 구동 가능하게 설치되며, 접근 방향으로 구동되었을 때 상기 테이프 부재를 위치 결정하는 위치 결정 홈이 정해진 방향의 중도부에 형성된 본체부와,
상기 위치 결정 홈을 사이에 두고 상기 본체부의 일단부와 타단부에 형성되고, 상기 테이프 부재의 상기 위치 결정 홈에 의해 위치 결정된 부분보다 상류측의 부분을 흡착 유지하는 제1 흡착부 및 하류측의 부분을 흡착 유지하는 제2 흡착부와,
상기 위치 결정 홈과 교차하는 방향으로 구동되어 상기 테이프 부재에 있어서 상기 위치 결정 홈에 위치 결정된 개소를 절단하는 커터와,
상기 본체부의 상기 위치 결정 홈이 형성된 부분에 있어서, 상기 커터가 구동되는 위치보다 상기 테이프 부재의 주행 방향 하류측에 선단면을 노출시켜 설치된 초음파 혼과,
상기 본체부에 설치된 초음파 혼에 대하여 접근ㆍ이격하는 방향으로 구동 가능하게 설치되고, 접근 방향으로 구동되었을 때 상기 초음파 혼의 선단면에 압접하는 압박면을 갖는 받침 부재로 구성되어 있고,
사용중인 상기 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 종단부가 상기 검출 수단에 의해 검출되었을 때, 상기 본체부를 상기 테이프 부재에 접근하는 방향으로 구동하여 상기 테이프 부재의 종단부를 상기 본체부의 상기 위치 결정 홈에 의해 위치 결정하여 상기 제1, 제2 흡착부로 흡착 유지하고, 상기 테이프 부재의 상기 위치 결정 홈에 위치하는 부분을 상기 커터에 의해 절단하고 나서, 상기 제1 흡착부에 의한 상기 테이프 부재의 흡착 유지를 해제하고 사용중인 공급 릴을 새로운 공급 릴로 교환하며, 새로운 공급 릴로부터 테이프 부재를 인출하여 그 시단부를, 상기 초음파 혼의 선단면 상에서 상기 제2 흡착부에 흡착 유지된 이전 테이프 부재의 후단부에 중첩시켜 상기 제1 흡착부에 의해 흡착 유지한 후, 상기 받침 부재를 상기 초음파 혼에 접근하는 방향으로 구동하여 2개의 테이프 부재의 중첩 부분을 초음파 접합하는 것을 특징으로 하는 테이프 부재의 공급 장치.The said connecting apparatus has a some connection unit provided side by side at the interval corresponding to the some tape member pulled out from the some supply reel provided in the said tape supply mechanism,
The connection unit includes:
Guide means for guiding the tape member drawn out from the supply reel;
It is installed so as to be driven in a direction approaching and away from the tape member which is guided by this guide means and travels, and a positioning groove for positioning the tape member when driven in the approach direction is formed in the middle part in a predetermined direction. With the body part,
A first adsorption portion and a downstream side formed at one end portion and the other end portion of the main body portion with the positioning grooves interposed therebetween, for adsorbing and holding a portion upstream from the portion positioned by the positioning groove of the tape member. A second adsorption part for adsorbing and holding the part;
A cutter which is driven in a direction intersecting with the positioning groove to cut a position positioned in the positioning groove in the tape member;
An ultrasonic horn provided in the portion in which the positioning groove is formed in the main body portion, the tip end surface being exposed on the downstream side in the traveling direction of the tape member from a position at which the cutter is driven;
It is composed of a supporting member which is provided to be driven in a direction approaching and spaced apart from the ultrasonic horn provided in the main body portion, and has a pressing surface which is pressed against the front end surface of the ultrasonic horn when driven in the approaching direction,
When the end portion of the tape member wound on the supply reel in use is detected by the detecting means, the main body portion is driven in a direction of approaching the tape member so that the end portion of the tape member is moved by the positioning groove of the body portion. After positioning, adsorption holding of the tape member by the cutter is performed by cutting the portion positioned in the positioning groove of the tape member by the cutter. Releases and replaces the used feed reel with a new feed reel, and withdraws the tape member from the new feed reel and superimposes its starting end on the rear end of the previous tape member adsorbed and held on the second adsorption section on the front end face of the ultrasonic horn. After adsorbed and held by the first adsorption unit, the supporting member moves toward the ultrasonic horn And an ultrasonic bonding of the overlapping portions of the two tape members.
이형 테이프의 한쪽 면에 상기 점착 테이프가 접착된 테이프 부재가 감겨진 복수의 공급 릴로부터 상기 테이프 부재를 공급하는 테이프 공급 기구와,
상기 공급 릴로부터 인출된 상기 테이프 부재의 상기 이형 테이프와 상기 점착 테이프 중의 상기 점착 테이프만을 상기 기판에 대응한 길이 치수로 절단하는 절단 기구와,
이 절단 기구에 의해 절단된 상기 점착 테이프를 상기 기판에 접착하는 접착 수단과,
상기 복수의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 정해진 양 이하가 된 것을 상기 테이프 부재의 종단부에 의해 검출하는 검출 수단과,
사용중인 복수의 공급 릴에 감겨진 상기 테이프 부재의 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 시단부를 접속하는 접속 장치
를 구비하고,
복수의 공급 릴 중, 적어도 하나의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 정해진 양 이하가 된 것을 상기 검출 수단이 검출했다면, 그 검출에 기초하여 사용중인 복수의 공급 릴을 일괄적으로 교환하며, 사용중인 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 시단부를 상기 접속 장치에 의해 한꺼번에 접속하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 접착 장치.An adhesive device for an adhesive tape for simultaneously adhering a plurality of adhesive tapes to a plate surface of a substrate at predetermined intervals,
A tape supply mechanism for supplying the tape member from a plurality of supply reels in which a tape member having the adhesive tape adhered to one side of a release tape is wound;
A cutting mechanism for cutting only the release tape of the tape member and the adhesive tape in the adhesive tape drawn out from the supply reel to a length dimension corresponding to the substrate;
Bonding means for adhering the adhesive tape cut by the cutting mechanism to the substrate;
Detecting means for detecting, by the terminal portion of the tape member, that the remaining amount of the tape member wound on the plurality of supply reels has become a predetermined amount or less;
A connecting device for connecting the end of the tape member wound on the plurality of supply reels in use and the start end of the tape member wound on the new plurality of supply reels to be replaced.
And,
If the detecting means detects that the remaining amount of the tape member wound on the at least one supply reel among the plurality of supply reels is equal to or less than a predetermined amount, the plurality of supply reels being used are collectively exchanged based on the detection. The end portions of the plurality of tape members wound on the plurality of supply reels in use and the end portions of the plurality of tape members wound on the new plurality of supply reels to be replaced are connected at one time by the connecting device. Gluing device.
상기 테이프 부재가 감겨진 복수의 공급 릴로부터 상기 테이프 부재를 공급하는 공정과,
상기 복수의 공급 릴에 감겨진 테이프 부재의 잔량이 정해진 양 이하가 된 것을, 상기 테이프 부재의 종단부에 의해 검출하는 공정과,
상기 복수의 공급 릴 중, 적어도 하나의 공급 릴의 테이프 부재의 잔량이 정해진 양 이하가 되었을 때 상기 복수의 공급 릴을 일괄적으로 교환하는 공정과,
상기 테이프 부재의 종단부의 검출에 기초하여 사용중인 복수의 공급 릴을 새로운 복수의 공급 릴로 일괄적으로 교환하며, 사용중인 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 종단부와, 교환되는 새로운 복수의 공급 릴에 감겨진 복수의 테이프 부재의 시단부를 한꺼번에 접속하는 공정
을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 부재의 공급 방법.As a supply method of the tape member which supplies the tape member which the adhesive tape adhered to one side of a release tape from a supply reel,
Supplying the tape member from a plurality of supply reels on which the tape member is wound;
A step of detecting by the terminal portion of the tape member that the remaining amount of the tape member wound on the plurality of supply reels has become a predetermined amount or less;
A step of collectively replacing the plurality of supply reels when the remaining amount of the tape member of the at least one supply reel is less than or equal to a predetermined amount among the plurality of supply reels;
On the basis of the detection of the end of the tape member, the plurality of supply reels in use are collectively replaced with a plurality of new supply reels, the ends of the plurality of tape members wound around the plurality of supply reels in use, and the new plurality of exchanged parts. Of connecting the leading ends of a plurality of tape members wound on a supply reel of
Supply method of the tape member comprising a.
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