JP2004212800A - 顕微鏡照明装置及びそれを用いた共焦点顕微鏡 - Google Patents

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Abstract

【課題】直線偏光でないレーザを用いても効率よく照明でき、しかも波長の異なる複数のレーザ光を同時に標本に照明できる顕微鏡照明装置を提供する。
【解決手段】複数のレーザ光源1,2と、各レーザ光源に対応して夫々設けられた、レーザ光源からの光線を反射させる微小鏡配列(DMD)4,5と、各微小鏡配列で反射した各レーザ光源からの光線を合成する光線合成手段10,11、19,15とを備えている。各微小鏡配列における夫々の微小鏡が、対応するレーザ光源からの光線を2つの光路の少なくともいずれか一方に向けて選択的に反射するように制御され、前記光線合成手段が、レーザ光源からの光線が各微小鏡配列で選択的に反射される光路上に設けられている。
【選択図】 図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は複数のレーザ光源からの光線を同一光路に合成する顕微鏡照明装置及びそれを備えた共焦点顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、顕微鏡においては、複数のレーザ光線を照明光として使用するものが多い。例えば、レーザ走査型共焦点顕微鏡(Laser Scanning Microscope 以下、LSM)においては、複数のレーザ光線を同一光路に合成する照明装置が用いられることが多い。
従来、この種の顕微鏡照明装置としては、AOTF(Acousto Optical Tunabule Filter)などの音響光学素子を用いたものがある(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特表平2000−508438号公報
【0004】
特許文献1に記載されたような音響光学素子を用いたタイプの顕微鏡照明装置の概略的な基本構成を図8に示す。
この種の顕微鏡照明装置は、例えばBGRなど出射波長の異なる複数のレーザ光源51a,51b,51cと、それらに対応して設けられたミラー52a、ダイクロイックミラー53b,53cなどからなる光線合成手段と、AOTF54とを備えている。そして、各レーザ光源51a,51b,51cからの光線を、ミラー52a、ダイクロイックミラー53b,53cを介して同一光路を通る光線に合成してAOTF54に導き、AOTF54を介してレーザ光の波長選択、強度調整を行って射出するように構成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
レーザ光源には、レーザ光が直線偏光になっているものと、直線偏光になっていないものがある。しかし、特許文献1に記載のような装置では、ATOFを用いたレーザ光の強度変化は結晶の偏光性を用いているため、直線偏光しか使用できない。このため直線偏光でないレーザは、直線偏光しか使えないATOFを用いた特許文献1に記載のような装置では効率が悪い。
【0006】
また、ATOFを用いた場合には、AOTFを用いた装置では、近接する波長の異なる2つのレーザ光を同時には使用できず、また、同時に使用できたとしても使用効率が悪くなる。このため、特許文献1に記載のような装置では、波長の異なる複数のレーザ光を標本に同時には照明することができないかできたとしても効率の悪いものになってしまう。
【0007】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、直線偏光でないレーザを用いても効率よく照明でき、しかも波長の異なる複数のレーザ光を同時に標本に照明できる顕微鏡照明装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本第1の発明による顕微鏡照明装置は、複数のレーザ光源と、前記各レーザ光源に対応して夫々設けられた、前記レーザ光源からの光線を反射させる微小鏡配列(DMD)と、前記各微小鏡配列で反射した前記各レーザ光源からの光線を合成する光線合成手段とを備えたことを特徴としている。
【0009】
また、本第2の発明として、本第1の発明による顕微鏡照明装置は、前記各微小鏡配列における夫々の微小鏡が、対応する前記レーザ光源からの光線を2つの光路の少なくともいずれか一方に向けて選択的に反射するように制御され、前記光線合成手段が、レーザ光源からの光線が前記各微小鏡配列で選択的に反射される光路上に設けられているのが好ましい。
【0010】
また、本第3の発明として、本第1又は第2の発明による顕微鏡照明装置は、前記レーザ光源からの光線を導光するファイバと、前記ファイバから射出されるレーザ光線を略平行光にするコリメータレンズとを前記各レーザ光源に対応して夫々備えるのが好ましい。
【0011】
また、本第4の発明として、本第1〜第3のいずれかの発明による顕微鏡照明装置は、前記各レーザ光源とそれに対応して夫々設けられた前記微小鏡配列との間に夫々、前記レーザ光線の光束の径を拡大させるビームエクスパンダを備えるのが好ましい。
【0012】
また、本第5の発明として、本第4の発明による顕微鏡照明装置は、前記各ビームエクスパンダの倍率が次の条件式(1)を満たすのが好ましい。
|β|<10 …(1)
但し、βはレーザ光源から射出されるレーザ光線の径と、ビームエクスパンダによって拡大されたレーザ光線の径との比である。
【0013】
また、本第6の発明による共焦点顕微鏡は、走査型共焦点顕微鏡において、請求項1〜5のいずれかに記載の顕微鏡照明装置を備え、前記複数のレーザ光源からの光線を前記複数の微小鏡配列を介して所望の蛍光強度時間分布を測定するための光線に切り換えることができるようにしたことを特徴としている。
【0014】
【発明の実施の形態】
実施例の説明に先立ち、本発明の作用について説明する。
本発明は顕微鏡照明装置において、複数のレーザからの光線を同一光路に合成するためにDMDを用いて構成したものである。
本発明のようにDMDを用いて構成すると、例えば図1(a)に示すように、DMDを構成する微小鏡における所定方向に反射する向きに制御される微小鏡の割合を変化させたり、微小鏡の反射方向を時間的に変化させることにより反射率を制御することができる。このため、従来のこの種の顕微鏡照明装置のようにAOTFを用いなくてもレーザ光線の選択、強度変化、波長の選択を従来のAOTFを用いた照明装置と同様に行うことができる。しかも、DMDでは偏光を用いていないため、直線偏光しか使用できないAOTFを用いた従来の照明装置に比べて、直線偏光で発振していないレーザと直線偏光のレーザを組み合わせても効率よく使用できる。
【0015】
また、AOTFを用いた装置では、近接する波長の異なる2つのレーザ光線を同時には使用できず、また、同時に使用できたとしても使用効率が悪くなるのに対して、本発明のようにDMDを用いた場合には、DMDを構成する微小鏡における所定方向に反射する向きに制御される微小鏡の割合に応じて光線を所望の分割比でもって2つの光路に分割することが可能となるため、一つの照明装置で、2光路から照明光を射出できる。そして、出射波長が異なるレーザ光源に対応させてDMDを設けて、夫々のDMDで分割された異なる波長の光を光線合成手段で合成することで、近接する波長領域であっても異なる複数波長のレーザ光線を同時に標本に効率よく照射することができ、例えばレーザ走査顕微鏡の照明用のレーザ光線とエバネッセント照明などの超低背景光蛍光顕微鏡の照明用のレーザ光線というように2つのレーザ光線を顕微鏡光路に導入することができる。
【0016】
また、本発明において、レーザ光源からの光線をファイバで導入するようにすれば、レーザ光源からDMDまでの光路が比較的長い場合に多数のリレーレンズを設けずに済み、装置自体をコンパクト化することができる。
また、レーザ光源からの光線をビームエクスパンダで拡大するようにすれば、DMDへの入射領域を大きくすることができレーザ光線の詳細な強度変化を有利に行うことができる。例えば、ビームエクスパンダにより光束径が広がったレーザ光線をDMDに入射させれば、その分、DMD上でのレーザ光線の入射領域が広がり、DMDを構成する微小鏡の個数が増える。そこで、所定方向に反射する向きの微小鏡の数を制御することにより、該所定方向から標本に向けて出射するレーザ光線の強度をより細かく調整できる。また、例えば図1(b),(c)に示すように、所定領域の微小鏡を所定方向に反射する向きにするように制御すれば、DMDを介して所定方向に反射するレーザ光束の形状を自在に形成することができ、例えば、瞳に対して輪帯状の照明をすることもできる。
なお、各ビームエクスパンダの倍率が条件式(1)を上回ると光学系による収差の影響が大きくなってしまう。
また、DMDは光線の反射のON,OFF切り換えを電気的に高速に行うことができる。このため、本発明の顕微鏡照明装置を共焦点顕微鏡に組み込めば、レーザ光線をDMDにより高速変調させることにより、蛍光強度時間分布を測定することが可能となり、FLIMなどのバクテリアのスイッチ蛋白質の時間分解検討が可能となる。
【0017】
【実施例】
第1実施例
図2は本発明による顕微鏡照明装置の第1実施例の概略構成図である。
第1実施例の顕微鏡照明装置は、出射波長が異なる2つのレーザ光源1,2と、各レーザ光源1,2に対応して夫々設けられた、レーザ光源からの光線を反射させる複数の微小鏡配列(DMD)4,5と、各微小鏡配列4,5で反射して2つの光路に分割された各レーザ光源1,2からの光線を合成する光線合成手段であるミラー10及びダイクロイックミラー11、ミラー19及びダイクロイックミラー15とを備えている。また、レーザ光源1とDMD4との間、レーザ光源2とDMD5との間には、夫々光線の光束の径を拡大させるビームエクスパンダ26,27が設けられている。
各微小鏡配列4,5は、図示省略した制御手段を介して対応するレーザ光源からの光線を2つの光路に選択的に反射するように構成されている。また、例えば図1(a)〜(c)に示すように、夫々所定方向に反射する向きの微小鏡の割合を変化させることにより、所定光路へ向けて反射する光線のON,OFF、光線の強度、及び光束の形状を制御することができるようになっている。
また、ビームエクスパンダ26,27は、それぞれ、レーザ光源から射出されるレーザ光線の径と、ビームエクスパンダによって拡大されたレーザ光線の径との比の絶対値が“10”を下回るように構成されている。
【0018】
このように構成された本実施例の顕微鏡照明装置では、第1のレーザ光源1から出射された第1のレーザ光線は、ビームエクスパンダ26を介して光束径が広げられて第1のDMD4に入射する。第1のDMD4に入射した第1のレーザ光線は第1のDMD4で反射されて2つの光路に分割される。また、第2のレーザ光源2から出射された第2のレーザ光線は、ビームエキクパンダ27を介して光束径が広げられ、第2のDMD5で反射されて2つの光路に分割される。
第1のDMD4で分割された一方の光路を通る第1のレーザ光線は、ミラー10で反射されてダイクロイックミラー11を透過する。また、第2のDMD5で分割された一方の光路を通る第2のレーザ光線は、ダイクロイックミラー11で反射される。これにより、第1のレーザ光線と第2のレーザ光線は合成されて図示省略した第1の射出部より図示省略した顕微鏡本体部に射出される。
また、第1のDMD4で分割された他方の光路を通る第1のレーザ光線は、ミラー19で反射されてダイクロイックミラー15を透過する。また、第2のDMD5で分割された他方の光路を通る第2のレーザ光線は、ダイクロイックミラー15で反射される。これにより、第1,第2のレーザ光線は合成されて図示省略した第2の射出部より図示省略した顕微鏡本体に射出される。
【0019】
本実施例の顕微鏡照明装置によれば、DMD4,5のそれぞれにおいて、DMDを構成する微小鏡における所定方向に反射する向きに制御される微小鏡の割合を変化させたり、微小鏡の反射方向を時間的に変化させることにより反射率を制御することができる。このため、従来のこの種の照明装置のようにAOTFを用いなくてもレーザ光線の選択、強度変化、波長の選択を従来のAOTFを用いた照明装置と同様に行うことができる。しかも、DMD4,5では偏光を用いていないため、直線偏光しか使用できないAOTFを用いた従来の照明装置に比べて、直線偏光で発振していないレーザと直線偏光のレーザを組み合わせても効率よく使用できる。
【0020】
また、本実施例の顕微鏡照明装置によれば、DMD4,5を構成する微小鏡における所定方向に反射する向きに制御される微小鏡の割合に応じて光線を所望の分割比でもって2つの光路に分割することが可能となるため、一つの照明装置で、2光路から照明光を射出できる。そして、異なる波長のレーザ光源に対応させてDMDを設けて、夫々のDMDで分割された異なる波長の光を光線合成手段で合成することで、近接する波長領域であっても異なる複数波長のレーザ光線を同時に標本に効率よく照射することができ、例えばレーザ走査顕微鏡の照明用のレーザ光線とエバネッセント照明などの超低背景光蛍光顕微鏡の照明用のレーザ光線というように2つのレーザ光線を顕微鏡光路に導入することができる。
【0021】
また、本実施例の顕微鏡照明装置によれば、ビームエクスパンダ26,27を用いたので、DMD4,5に対してレーザ光線の径を大きく拡大できレーザ光線の詳細な強度変化を有利に行うことができる。
また、本実施例の顕微鏡照明装置によれば、DMD4,5により光線の反射のON,OFF切り換えを電気的に高速に行うことができる。このため、本実施例の顕微鏡照明装置を共焦点顕微鏡に組み込めば、レーザ光線をDMDにより高速変調させることにより、蛍光強度時間分布を測定することが可能となり、FLIMなどのバクテリアのスイッチ蛋白質の時間分解検討が可能となる。
【0022】
第2実施例
図3は本発明による顕微鏡照明装置の第2実施例の概略構成図である。
第2実施例の顕微鏡照明装置は、出射波長が異なる3つのレーザ光源1,2,3と、各レーザ光源1,2,3に対応して夫々設けられた、レーザ光源からの光線を反射させる複数の微小鏡配列(DMD)4,5,6と、各微小鏡配列4,5,6で反射した各レーザ光源1,2,3からの光線を合成する光線合成手段であるミラー10及びダイクロイックミラー11,12と、合成された光を集光するレンズ13と、集光された光を図示省略した顕微鏡本体に導くファイバ14とを備えている。
各微小鏡配列4,5,6は、図示省略した制御手段を介して対応するレーザ光源からの光線を2つの光路に選択的に反射することができるように構成されている。なお、本実施例では、2つの光路のうちの一方の光路(ミラー10、ダイクロイックミラー11,12側の光路)にのみ反射するように個々の微小鏡の向きが制御されている。
また、本実施例の顕微鏡照明装置は、他方の光路には遮光部材7,8,9が設けられており、照明装置内において不要な光による乱反射を防止するように構成されている。
【0023】
このように構成された本実施例の顕微鏡照明装置では、第1のレーザ光源1から出射された第1のレーザ光線は、第1のDMD4に入射する。第1のDMD4に入射した第1のレーザ光線は第1のDMD4でミラー10に向けて反射される。また、第2のレーザ光源2から出射された第2のレーザ光線は、第2のDMD5でダイクロイックミラー11に向けて反射される。また、第3のレーザ光源3から出射された第3のレーザ光線は、第3のDMD6でダイクロイックミラー12に向けて反射される。
第1のDMD4でミラー10へ向けて反射された第1のレーザ光線は、ミラー10で反射されてダイクロイックミラー11を透過する。また、第2のDMD5でダイクロイックミラー11へ向けて反射された第2のレーザ光線は、ダイクロイックミラー11で反射される。これにより、第1,第2のレーザ光線は合成され、次いで、ダイクロイックミラー12を透過する。また、第3のDMD5でダイクロイックミラー12へ向けて反射された第2のレーザ光線は、ダイクロイックミラー12で反射される。これにより、第1,第2,第3のレーザ光線は合成され、次いで、レンズ13を介して集光され、ファイバ14を介して図示省略した顕微鏡本体に導かれる。
なお、DMD4,5,6で光が反射された場合は、反射された光は遮光部材7,8,9で遮光される。
【0024】
本実施例の顕微鏡照明装置によれば、1つの光路において、異なる3つの波長のレーザ光線を同時に標本に効率よく照射することができる。その他の構成及び作用効果は、第1実施例とほぼ同様である。
【0025】
第3実施例
図4は本発明による顕微鏡照明装置の第3実施例の概略構成図である。
第3実施例の顕微鏡照明装置は、図3に示した第2実施例の顕微鏡照明装置における、各微小鏡配列4,5,6で分割される他方の光路には、遮光部材7,8,9の代わりに、各レーザ光源1,2,3からの光線を合成する光線合成手段であるミラー19,ダイクロイックミラー15,16が設けられ、さらに、合成された光を集光するレンズ17と、集光された光を図示省略した顕微鏡本体に導くファイバ18とを備えており、波長の異なる3つのレーザ光線をそれぞれ2つの光路で合成して顕微鏡本体に導くことができるように構成されている。
その他の構成及び作用効果は、第2実施例とほぼ同様である。
【0026】
第4実施例
図5は本発明による顕微鏡照明装置の第4実施例の概略構成図である。
第4実施例の顕微鏡照明装置は、出射波長が異なる2つのレーザ光源1,2と、各レーザ光源1,2に対応して夫々設けられた、レーザ光源からの光線を反射させる複数の微小鏡配列(DMD)4,5と、各微小鏡配列4,5で反射して2つの光路に分割された各レーザ光源1,2からの光線を合成する光線合成手段であるミラー10及びダイクロイックミラー11、ミラー19及びダイクロイックミラー15と、夫々合成された光を集光するレンズ13,17と、集光された光を図示省略した顕微鏡本体に導くファイバ14,18とを備えている。
さらに、本実施例の顕微鏡装置では、レーザ光源1とDMD4との間に、レーザ光源からの光線を集光するレンズ20と、ファイバ22と、ファイバ22から出射される光線をほぼ平行光にしてDMD4に導くコリメートレンズ23とを備え、レーザ光源2とDMD5との間に、レーザ光源からの光線を集光するレンズ21と、ファイバ23と、ファイバ23から出射される光線をほぼ平行光にしてDMD5に導くコリメートレンズ25とを備えている。
【0027】
本実施例の顕微鏡装置によれば、レーザ光源1,2からの光線をファイバ22,23を介してDMD4,5に導入するようにしたので、レーザ光源からDMDまでの光路が比較的長い場合であっても多数のリレーレンズを設けずに済み、光路装置自体をコンパクト化することができる。
その他の作用効果は、第1実施例とほぼ同様である。
【0028】
第5実施例
図6は本発明による顕微鏡照明装置の第5実施例の概略構成図である。
第5実施例の顕微鏡照明装置は、図2に示した第1実施例の顕微鏡照明装置の構成において、DMD4,5で分割される他方の光路には遮光部材7,8が設けられており、照明装置内において不要な光による乱反射を防止するように構成されている。また、DMD4,5で分割される一方の光路には、ミラー10、ダイクロイックミラー11に加えて、合成された光をレンズ13と、集光された光を図示省略した顕微鏡本体に導くファイバ14とを備えている。
その他の構成及び作用効果は、第1実施例とほぼ同様である。
【0029】
第6実施例
図7は本発明の第6実施例にかかる顕微鏡照明装置を用いた共焦点顕微鏡の概略構成を示すブロック図である。
本実施例の走査型共焦点顕微鏡は、図1〜5の実施例に示したような本発明の構成を備えた顕微鏡照明装置29と、レーザ走査及び蛍光検出部30と、顕微鏡本体部31とで構成されている。
レーザ走査及び蛍光検出部30は、顕微鏡照明装置29から出射されたレーザ光線を標本(図示省略)面を走査して励起光として照射させるための走査手段としてXYスキャナ(図示省略)を備えている。また、レーザ光線を標本に照射することによって標本面で発せられる蛍光等を結像するための結像レンズ(図示省略)と、標本面に共役な位置に配置されたピンホール(図示省略)と、結像レンズで結像されピンホールを通過した光を受光してその強度を検出する検出器(図示省略)とを備えている。
なお、顕微鏡本体は、レーザ走査及び蛍光検出部30を経たレーザ光線を標本面に導く対物レンズ(図示省略)を備えている。
また、本実施例の顕微鏡では、制御手段(図示省略)を介して顕微鏡照明装置29から出射される複数のレーザ光源からの光線を複数の微小鏡配列を介して所望の蛍光強度時間分布を測定するための光線に切り換えることができるように構成されている。
このように構成された本実施例の走査型共焦点顕微鏡によれば、顕微鏡照明装置29からのレーザ光線が、レーザ走査及び蛍光検出部30において、走査手段であるXYスキャナ(図示省略)で走査され、顕微鏡本体31において対物レンズ(図示す省略)を経て標本(図示省略)に励起光として照射される。そして、励起光を照射されることで標本面で生じた蛍光が光路を逆進し、レーザ走査及び蛍光検出部30において、結像レンズ(図示省略)で結像され、ピンホール(図示省略)を通過し、検出器(図示省略)で受光され検出される。
本実施例の共焦点顕微鏡によれば、顕微鏡照明装置29においてレーザ光線1,2をDMDにより高速変調させることにより、蛍光強度時間分布を測定することが可能となり、FLIMなどのバクテリアのスイッチ蛋白質の時間分解検討が可能となる。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば、DMDを構成する微小鏡における所定方向に反射する向きに制御される微小鏡の割合を変化させたり、微小鏡の反射方向を時間的に変化させることにより反射率を制御することができるため、従来のこの種の顕微鏡照明装置のようにAOTFを用いなくてもレーザ光線の選択、強度変化、波長の選択を従来のAOTFを用いた照明装置と同様に行うことができる。しかも、DMDでは偏光を用いていないため、直線偏光しか使用できないAOTFを用いた従来の照明装置に比べて、直線偏光で発振していないレーザと直線偏光のレーザを組み合わせても効率よく使用できる。
また、本発明によれば、DMDを構成する微小鏡における所定方向に反射する向きに制御される微小鏡の割合に応じて光線を所望の分割比でもって2つの光路に分割することが可能となるため、一つの照明装置で、2光路から照明光を射出できる。そして、異なる波長のレーザ光源に対応させてDMDを設けて、夫々のDMDで分割された異なる波長の光を光線合成手段で合成することで、近接する波長領域であっても異なる複数波長のレーザ光線を同時に標本に効率よく照射することができ、例えばレーザ走査顕微鏡の照明用のレーザ光線とエバネッセント照明などの超低背景光蛍光顕微鏡の照明用のレーザ光線というように2つのレーザ光線を顕微鏡光路に導入することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)〜(c)は本発明の顕微鏡照明装置に用いられるDMDを構成する微小鏡の反射状態を例示した説明図であり、(a)はDMDの部分拡大平面図、(b),(c)はDMD全体の平面図である。
【図2】本発明による顕微鏡照明装置の第1実施例の概略構成図である。
【図3】本発明による顕微鏡照明装置の第2実施例の概略構成図である。
【図4】本発明による顕微鏡照明装置の第3実施例の概略構成図である。
【図5】本発明による顕微鏡照明装置の第4実施例の概略構成図である。
【図6】本発明による顕微鏡照明装置の第5実施例の概略構成図である。
【図7】本発明の第6実施例にかかる顕微鏡照明装置を用いた共焦点顕微鏡の概略構成を示すブロック図である。
【図8】従来のAOTFを用いたタイプの顕微鏡照明装置の概構成図である。
【符号の説明】
1,2,3 レーザ光源
4,5,6 DMD
7,8,9 遮光部材
10,19 ミラー
11,12,15,16 ダイクロイックミラー
13,17,20,21 レンズ
14,18,22,23 ファイバ
24,25 コリメートレンズ
26,27 ビームエクスパンダ
28 DMD及び光路合成手段
29 顕微鏡照明装置
30 レーザスキャナー及び蛍光検出部
31 顕微鏡本体部
51a,51b,51c レーザ光源
52a ミラー
53a,53b ダイクロイックミラー
54 AOTF(Acousto Optical Tunabule Filter)

Claims (6)

  1. 複数のレーザ光源と、
    前記各レーザ光源に対応して夫々設けられた、前記レーザ光源からの光線を反射させる複数の微小鏡配列(DMD)と、
    前記各微小鏡配列で反射した前記各レーザ光源からの光線を合成する光線合成手段とを備えたことを特徴とする顕微鏡照明装置。
  2. 前記各微小鏡配列における夫々の微小鏡が、対応する前記レーザ光源からの光線を2つの光路の少なくともいずれか一方に向けて選択的に反射するように制御され、
    前記光線合成手段が、レーザ光源からの光線が前記各微小鏡配列で選択的に反射される光路上に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡照明装置。
  3. 前記レーザ光源からの光線を導光するファイバと、前記ファイバから射出されるレーザ光線を略平行光にするコリメータレンズとを前記各レーザ光源に対応して夫々備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の顕微鏡照明装置。
  4. 前記各レーザ光源とそれに対応して夫々設けられた前記微小鏡配列との間に夫々、前記レーザ光線の光束の径を拡大させるビームエクスパンダを備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の顕微鏡照明装置。
  5. 前記各ビームエクスパンダの倍率が次の条件式を満たすことを特徴とする請求項4に記載の顕微鏡照明装置。
    |β|<10
    但し、βはレーザ光源から射出されるレーザ光線の径と、ビームエクスパンダによって拡大されたレーザ光線の径との比である。
  6. 走査型共焦点顕微鏡において、
    請求項1〜5のいずれかに記載の顕微鏡照明装置を備え、前記複数のレーザ光源からの光線を前記複数の微小鏡配列を介して所望の蛍光強度時間分布を測定するための光線に切り換えることができるようにしたことを特徴とする走査型共焦点顕微鏡。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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