JP2004209331A

JP2004209331A - 洗浄条件算出装置及び洗浄装置

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Publication number: JP2004209331A
Application number: JP2002379641A
Authority: JP
Inventors: Takayoshi Torii; 孝佳鳥居; Tatsuya Mizobe; 達也溝部; Yoichi Hoshino; 洋一星野
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 2002-12-27
Filing date: 2002-12-27
Publication date: 2004-07-29

Abstract

【課題】洗浄装置において、洗浄液供給装置の容量を抑制しつつ十分な洗浄を可能とすることである。
【解決手段】ノズル１２aの先端から加圧洗浄液を吐出させ、ワーク表面１１における液圧分布を調べたところ、最高液圧Ｐ_ＭＡＸの位置はノズル１２ａの吐出軸の位置ｙ_１になく、吐出軸の位置ｙ_１を中心として半径Ｒ_ｐの円１６ａ上にあり、円１６ａの外側の領域２２も内側の領域２４も、その液圧は最高液圧Ｐ_ＭＡＸより低い値を示す。したがって、最高液圧Ｐ_ＭＡＸを洗浄に必要な洗浄液圧Ｐ_０にあわせ、ノズルピッチＬを２Ｒ_ｐとし、ワーク１０をノズル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの配置方向であるＹ方向に直交するＺ方向に移動させることで、ワーク表面１１上を最高液圧の位置を示す円１６ａ，１６ｂ，１６ｃをつなげた状態のままでＺ方向に走査させてワーク表面１１の全領域について洗浄液圧Ｐ_０を確保できる。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、洗浄条件算出装置及び洗浄装置に係り、特に、複数のノズルから加圧洗浄液を吐出して被洗浄物を洗浄する際の洗浄条件算出装置及び洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
機械加工されたワークは、加工後に残留切粉、機械加工の際に付着した冷却剤等の除去のために洗浄が施される。機械加工されたワークは、例えばキリ穴、ネジ穴、段付、凹部等の立体的に複雑な形状を有しているため、これらの深穴や複雑なくぼみ等に対しても十分な洗浄が必要である。そこで、特許文献１−４に示されるように、加圧洗浄液をワークにむけて噴射させ、複雑な形状部に流体の流れを起し、切粉等を流れに乗せて洗い流す方法が用いられる。この方法は、ＩＦＷ（ＩｎｊｅｃｔｉｏｎＦｌｏｏｄＷａｓｈ）と呼ばれることがある。
【０００３】
例えば、特許文献１−３は、洗浄液を満たした洗浄槽内で加圧洗浄液を噴射する液中洗浄と、空の洗浄槽内での洗浄との組み合わせに係る一連の技術が開示されている。ここでは、複数のノズルから加圧洗浄液を噴射させることが示されている。また、特許文献４には、洗浄槽に対し相対的に回転・上下運動させる洗浄バスケットと、洗浄槽内に対向して設けられ段違いに配置された複数の水噴射ノズルが開示されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平５−３４５１６８号公報
【特許文献２】
特開平５−３４５１６９号公報
【特許文献３】
特開平５−３４５１７０号公報
【特許文献４】
特開２０００−１５１９２号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このように、ＩＦＷについての全般的な洗浄法について従来技術は開示しているが、実際の洗浄条件についてはあまり知られていない。例えば、ＩＦＷにおいては、ワークに加圧洗浄液を噴射し、ワーク全体に水流を行き渡らせ、くぼみ内の切粉等をその水流にのせて洗い流す方法がとられる。この洗浄に必要な水流を起こすためには、ワークの表面において、ある程度の液圧が必要であることが経験上わかってきている。
【０００６】
しかし、ワークの表面においてある程度の液圧が必要であることがわかっても、その圧力を発生するための設備的な条件は、例えば加圧ポンプの加圧力、洗浄液流量、ノズルの寸法、ノズルの配置、ワークとノズルとの間の洗浄間隔等、パラメータが多い。したがって、ワークにあわせ個別的な洗浄実験を行って十分な洗浄が行えるかどうか確認が必要で、洗浄条件を定めるために相当の時間を要している。
【０００７】
また、十分な洗浄を行うために、洗浄条件が過剰になりがちで、加圧ポンプの容量等が必要以上に大きくなり、洗浄装置全体が過大なものとなっている。
【０００８】
例えば、ワークがある程度大きいときには、特許文献１−４にも示されるように、複数の吐出ノズルを並べて用いる。この場合、仮にノズルピッチが広すぎると、ノズルとノズルの間では液圧が低くなるので、この隙間の部分の液圧を確保しようとするとポンプの加圧力を上げることになる。そのときには、全体の液圧分布が高圧側にシフトするので、もともと十分な液圧を有していた部分まで過剰な液圧に加圧されることになり、加圧ポンプに対して過剰な負荷となっている。
【０００９】
これに対し、ノズルピッチを狭くすれば、隣り合うノズルのそれぞれによる液圧十分の領域を重ならせることができるが、過剰な重なりは、洗浄個所に対する過剰な洗浄液の供給につながり、加圧ポンプに対して過剰な負荷となっている。
【００１０】
このように、ノズルピッチ１つとっても、従来技術は、十分な洗浄を行うための条件を示していず、洗浄条件が経験により定められている。したがって、加圧ポンプ等の洗浄液供給装置の容量が必要以上に大きくなりがちで、洗浄装置全体が過大なものになりがちとなっている。
【００１１】
本発明の目的は、かかる従来技術の課題を解決し、洗浄液供給装置の容量を抑制しつつ十分な洗浄を可能とする洗浄条件算出装置及び洗浄装置を提供することである。本発明の他の目的は、個別的な洗浄実験を要せず、十分な洗浄を可能とする洗浄条件算出装置及び洗浄装置を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
１．本発明に関連する知見
本発明は、ノズルから吐出した加圧洗浄液がワークの表面に当たるときに、その最高液圧の位置が、吐出軸の中心に相当するところになく、吐出軸の中心を中心とするリング上にあることを見出したことに基づく。
【００１３】
図１は、その様子を示す模式図である。図においてワーク１０の表面１１は平坦とし、ワーク表面１１に向き合い、距離Ｄを離してノズル１２ａ，１２ｂ，１２ｃが配置される。なお、図示していないが、ワーク１０及びノズル１２ａ，１２ｂ，１２ｃは洗浄液が満たされた洗浄槽の中に配置されている。ノズル１２ａ，１２ｂ，１２ｃからは、吐出軸１４ａ，１４ｂ，１４ｃに沿ってワーク表面に向けて加圧洗浄液が吐出される。図において吐出軸１４ａ，１４ｂ，１４ｃはワーク表面１１に垂直に交わるものとしてある。ワーク表面１１上に座標軸の原点をとり、図に示すようにその吐出軸１４ａ，１４ｂ，１４ｃに平行な方向をＸ方向、ノズル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの並び方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交しかつワーク表面１１に沿った方向をＺ方向とする。
【００１４】
例えばある時刻ｔ_０でノズル１２aの先端から吐出した加圧洗浄液の挙動を観察すると、加圧洗浄液は、時間の経過とともに吐出軸１４ａの方向（−Ｘ軸方向）に進行すると同時にＹＺ平面内でリング状に広がる。図には、時刻ｔ_１，ｔ_２と進み、時刻ｔ_３でワーク表面に到達したものとして示した。
【００１５】
ワーク表面１１における加圧洗浄液の液圧分布について圧力検出器を用いて調べたところ、その液圧分布は図２に示す通りである。すなわち、最高液圧Ｐ_ＭＡＸの位置２０は、ノズル１２ａの吐出軸の位置ｙ_１になく、吐出軸の位置ｙ_１を中心として半径Ｒ_ｐの円１６ａ上にあり、円１６ａの外側の領域２２も内側の領域２４も、その液圧は最高液圧Ｐ_ＭＡＸより低い値を示す。
【００１６】
このメカニズムは明らかではないが、例えば、ノズル先端から圧力波が液体等の伝播媒体中を伝播するときに、波動として、図１に示す−Ｘ軸方向に進行するとともに、−Ｘ軸に垂直な面（ＹＺ面）内で広がって伝播するモデルを考えることができる。これに類似の現象として、例えば、水面上を同心円状にいくつもの波が広がってゆくことはよく観察されることである。
【００１７】
この観察結果によると、隣り合うノズルのピッチＬが２Ｒ_ｐより大きいときは、図１、図２に示すように、ワークの表面における最高液圧の位置を示す円１６ａ，１６ｂ，１６ｃは互いに離れている。仮に、ノズルピッチＬを２Ｒ_ｐとすれば、図１におけるＹ方向において、最高液圧の位置を示す円１６ａ，１６ｂ，１６ｃはちょうどつながることができる。この状態でも、つながった最高液圧の位置を示す円の内部の領域２４においては、最高液圧Ｐ_ＭＡＸより低い液圧である。
【００１８】
そこで、ワーク１０をノズル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの配置方向であるＹ方向に直交するＺ方向に移動させれば、ワーク表面１１上を最高液圧の位置を示す円１６ａ，１６ｂ，１６ｃがＺ方向に走査する形になり、２Ｒ_ｐの幅の領域１８ａ，１８ｂ，１８ｃは必ず最高液圧Ｐ_ＭＡＸの液圧を受けることになる。したがって、ノズルの数をワーク１０のＹ方向の寸法に合わせて十分な数準備し、ノズルピッチＬを２Ｒ_ｐとして、ノズル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの配置方向に直交する方向にワーク１０を移動させれば、ワーク表面１１の全領域について最高液圧Ｐ_ＭＡＸを確保できる。ワーク１０のＺ方向への移動は、Ｚ方向における揺動あるいは、Ｙ方向に平行な回転軸周りにワーク１０を回転させることでもよい。
【００１９】
ワーク表面１１においてちょうど最高液圧Ｐ_ＭＡＸとする条件は、ノズル先端の形状寸法、例えばノズル径ｄや、ノズル先端の洗浄液吐出圧Ｐ、及びワーク表面１１とノズル先端との間の洗浄間隔Ｄ等のパラメータの組み合わせとなる。図３は、洗浄間隔Ｄとノズル径ｄを一定として洗浄液吐出圧Ｐを変化させ、そのときのワーク表面における最高液圧Ｐ_ＭＡＸと最高液圧の位置を示す円の直径２Ｒ_ｐについてその変化の様子の一例を示したものである。図に示すように、洗浄液吐出圧Ｐが増加するにつれ最高液圧Ｐ_ＭＡＸが上昇し、最高液圧の位置を示す円の直径２Ｒ_ｐが増加することがわかる。このような関係データは、実験で再現よく求めることができ、さまざまなノズル径ｄ、洗浄間隔Ｄについてあらかじめ収集しておいてデータベースとすることができる。
【００２０】
以上の観察結果に基づいて、さまざまなワークについてワーク表面が十分に洗浄できる条件を調べたところ、ワークの形状やそれに施された機械加工の部位、種類等が同様のワークについては、ある程度の形状、寸法、機械加工の寸法等が異なっても、ワーク表面においてほぼ同じ値の洗浄液圧Ｐ_０以上あれば、十分に洗浄が行えることがわかった。
【００２１】
したがって、図２の関係を用いれば、ノズル径ｄ、洗浄間隔Ｄを与えて、ワーク表面における最高液圧Ｐ_ＭＡＸがちょうど洗浄液圧Ｐ_０となる洗浄液吐出圧Ｐと、そのときの２Ｒ_ｐを求めることができる。そこで、ノズルピッチＬを２Ｒ_ｐに設定し、ノズル数についてはワークを十分カバーできる数とし、ワークをノズルの配置方向に直交する方向に移動させつつ、ノズル先端から洗浄液吐出圧Ｐの加圧洗浄液をワークに向けて吐出させれば、ワークの表面全域をちょうど洗浄液圧の洗浄液でカバーできる。すなわち、過剰な洗浄液吐出圧になることなく、加圧ポンプ等の容量を洗浄に必要な最小のものとすることができる。ここで、ワークの表面において、各ノズルの吐出軸を中心として直径２Ｒ_ｐの領域は、ワークをノズルの配置方向に直交する方向に移動させることで、洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域となる。そこで、以下では特に断らない限り、洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域あるいは洗浄液圧領域とは、上記２Ｒ_ｐの領域をさすものとする。
【００２２】
このように、ノズルから吐出した加圧洗浄液がワークの表面に当たるとき、その最高液圧の位置が、吐出軸を中心とするリング上にあることに基づき、そのリングをつなげるようにノズルピッチを定め、ワークをノズルの配置方向に直交する方向に移動させる構成により、ワーク表面全域をちょうど洗浄に必要な洗浄液圧を有する加圧洗浄液でカバーでき、過剰な洗浄液吐出圧になることを防止できる。
【００２３】
２．課題解決手段
本発明に係る洗浄条件算出装置は、洗浄槽内に複数のノズルを配置し、被洗浄物をノズルの配置方向に直交する方向に移動させながら、各ノズルに洗浄液供給手段から加圧洗浄液を供給し吐出させて洗浄する洗浄装置に用いられ、所定の洗浄液圧Ｐ_０を被洗浄物の表面で確保する洗浄条件を算出する洗浄条件算出装置であって、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を満足する、被洗浄物の表面とノズルとの間の洗浄間隔Ｄと、ノズルの先端の洗浄液吐出圧Ｐとの関係データ、及びそのときの被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域のデータとを格納する液圧関係データベースと、洗浄間隔Ｄを与えて液圧関係データベースを検索し、被洗浄物の表面で洗浄液圧Ｐ_０となる洗浄吐出圧Ｐを取得する洗浄吐出圧取得手段と、取得した洗浄吐出圧Ｐの下で、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域を、液圧関係データベースから検索し取得する洗浄液圧領域取得手段と、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげるように、複数のノズルの配置ピッチを設定するノズルピッチ設定手段と、を備えることを特徴とする。
【００２４】
上記構成により、洗浄液圧Ｐ_０を満足する、洗浄間隔Ｄと洗浄液吐出圧Ｐとの関係データ、及びそのときの被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域のデータとを格納する液圧関係データベースを備える。このデータベースを用いて、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげるように、複数のノズルの配置ピッチを設定する。したがって、被洗浄物をノズルの配置方向に直交する方向に移動させる洗浄装置において、被洗浄物表面全域をちょうど洗浄液圧Ｐ_０を有する加圧洗浄液でカバーでき、過剰な洗浄液吐出圧になることを防止できる。
【００２５】
また、本発明に係る洗浄条件算出装置において、取得した洗浄液吐出圧に基づいて洗浄液供給手段の容量を算出する洗浄液供給容量算出手段を備えることが好ましい。上記構成により、被洗浄物表面全域をちょうど洗浄液圧Ｐ_０を有する加圧洗浄液でカバーする洗浄液吐出圧Ｐとでき、過剰な洗浄液吐出圧になることを防止し、洗浄液供給装置の容量を抑制しつつ十分な洗浄が可能となる。
【００２６】
また、本発明に係る洗浄条件算出装置は、洗浄槽内に複数のノズルを配置し、被洗浄物をノズルの配置方向に直交する方向に移動させながら、各ノズルに洗浄液供給手段から加圧洗浄液を供給し吐出させて洗浄する洗浄装置に用いられ、所定の洗浄液圧Ｐ_０を被洗浄物の表面で確保する洗浄条件を算出する洗浄条件算出装置であって、ノズル寸法ごとの洗浄液圧Ｐ_０に関するデータを格納するデータベースであって、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を満足する、被洗浄物の表面とノズルとの間の洗浄間隔Ｄと、ノズルの先端の洗浄液吐出圧Ｐとの関係データ、及びそのときの被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域のデータとを、格納する液圧関係データベースと、各ノズル寸法ごとに、洗浄間隔Ｄを与えて液圧関係データベースを検索し、被洗浄物の表面で洗浄液圧Ｐ_０となる洗浄吐出圧Ｐを取得する洗浄吐出圧取得手段と、各ノズル寸法ごとに、取得した洗浄吐出圧Ｐの下で、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域を、液圧関係データベースから検索し取得する洗浄液圧領域取得手段と、各ノズル寸法ごとに、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげるように、複数のノズルの配置ピッチを算出するノズルピッチ算出手段と、各ノズル寸法ごとに、算出されたノズルピッチから、被洗浄物の洗浄範囲をカバーできるノズル数を算出するノズル数算出手段と、各ノズル寸法ごとに、取得した洗浄液吐出圧と算出されたノズル数とに基づいて洗浄液供給手段の容量を算出する洗浄液供給容量算出手段と、算出された洗浄液供給手段の容量を最小にするノズル寸法とノズルピッチとノズル数とを選定するノズル選定手段と、を備えることを特徴とする。
【００２７】
上記構成により、洗浄液圧Ｐ_０を満足する、洗浄間隔Ｄと洗浄液吐出圧Ｐとの関係データ、及びそのときの被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域のデータとをノズル寸法ごとに格納する液圧関係データベースを備える。このデータベースを用いて、各ノズル寸法ごとに、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげるようなノズルの配置ピッチと、ノズル数と、洗浄液供給手段の容量を算出する。そして、算出された洗浄液供給手段の容量を最小にするノズル寸法とノズルピッチとノズル数とを選定する。したがって、被洗浄物をノズルの配置方向に直交する方向に移動させる洗浄装置において、被洗浄物表面全域をちょうど洗浄液圧Ｐ_０を有する加圧洗浄液でカバーでき、かつ洗浄液供給手段の容量を最小にするノズル条件を定めることができ、洗浄液供給装置の容量を抑制しつつ十分な洗浄が可能となる。
【００２８】
また、液圧関係データベースは、洗浄液が満たされている洗浄槽内において複数のノズルが洗浄液中に加圧洗浄液を吐出する液中洗浄に関する液圧関係データベースであることが好ましい。また、液圧関係データベースは、被洗浄物移動機構が被洗浄物をノズルの配置方向に直交する方向の回転軸に回転させる回転洗浄に関する液圧関係データベースであることが好ましい。
【００２９】
また、本発明に係る洗浄装置は、洗浄槽と、洗浄槽内に配列され、被洗浄物に向けて加圧洗浄液を吐出する複数のノズルと、各ノズル間のピッチＬを可変するノズルピッチ変更手段と、ノズルとの間に洗浄間隔Ｄをおいて配置された被洗浄物を、ノズルの配列方向に直交する方向に移動させる被洗浄物移動機構と、ノズル先端において洗浄吐出圧Ｐを有する加圧洗浄液をノズルに供給する洗浄液供給手段と、被洗浄物の表面で所定の洗浄液圧Ｐ_０を生じさせるように、ノズルピッチ変更手段におけるノズルピッチＬの設定と、洗浄液供給手段における洗浄吐出圧Ｐの設定とを制御する洗浄条件制御手段と、を備え、洗浄条件制御手段は、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を満足する洗浄間隔Ｄと洗浄液吐出圧Ｐとの関係データ、及びそのときの被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域のデータとに基づいて、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげるように、洗浄液吐出圧Ｐの設定と、ノズルピッチＬの設定とを制御することを特徴とする。
【００３０】
上記構成により、ノズルの配列方向に直交する方向に移動させる被洗浄物移動機構と、各ノズル間のピッチＬを可変するノズルピッチ変更手段と、ノズルピッチＬの設定と、洗浄吐出圧Ｐの設定とを制御する洗浄条件制御手段とを備える。そして、洗浄条件制御手段は、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を満足する洗浄間隔Ｄと洗浄液吐出圧Ｐとの関係データ、及びそのときの被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域のデータとに基づいて、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげるように、洗浄液吐出圧Ｐの設定と、ノズルピッチＬの設定とを制御する。したがって、被洗浄物表面全域をちょうど洗浄液圧Ｐ_０を有する加圧洗浄液でカバーするように、洗浄液吐出圧ＰとノズルピッチＬを設定でき、洗浄液供給装置の容量を抑制しつつ十分な洗浄が可能となる。
【００３１】
また、本発明に係る洗浄装置において、洗浄槽には洗浄液が満たされており、複数のノズルは洗浄液中に加圧洗浄液を吐出することが好ましい。また、被洗浄物移動機構は、被洗浄物をノズルの配置方向に直交する方向の回転軸に回転させる回転機構であることが好ましい。
【００３２】
また、本発明に係る洗浄装置において、好ましくは、加圧洗浄液を吐出する複数の吐出ノズルに近接して配列され、被洗浄物の方向から洗浄液を吸い込む複数の吸込ノズルを備え、洗浄液供給手段は、吸込加圧ポンプと、洗浄槽から回収された洗浄液を収容する１次タンクと、１次タンクと接続され、よりきれいな洗浄液を収容する２次タンクと、直列接続された１次タンクと２次タンクと第１切替バルブとを介し、洗浄槽と１次タンクとの間を接続する第１吸込流路と、直列接続された洗浄液濾過フィルタと、第１切替バルブとを介し、複数の吸込ノズルと吸込加圧ポンプとの間を接続する第２吸込流路と、直列接続された第２切替バルブと第３切替バルブとを介し、複数の吐出ノズルと吸込加圧ポンプとの間を接続する吐出流路と、吸込加圧ポンプ側から第３切替バルブを介して１次タンクへ向けて設けられ、吸い込み洗浄液をバイパスさせるバイパス流路と、加圧洗浄液を吐出する吐出モードと、複数の吸込ノズルから洗浄液を吸い込む吸込モードとを、第１切替バルブ、第２切替バルブ及び第３切替バルブの動作の制御により交互に実行させるバルブ制御手段と、を含み、バルブ制御手段は、吐出モードにおいて、第１切替バルブの切り替えにより２次タンクと吸込加圧ポンプとを接続し、第２切替バルブを開き、第３切替バルブの切り替えにより吸込加圧ポンプと複数の吐出ノズルとを接続して、２次タンクから吸込加圧ポンプを介し複数の吐出ノズルへの加圧洗浄液の供給を実行させ、吸込モードにおいて、第１切替バルブの切り替えにより複数の吸込ノズルと加圧ポンプとを接続し、第２切替バルブを閉じ、第３切替バルブの切り替えにより加圧ポンプと１次タンクとをバイパス流路を介して接続して、洗浄液を複数の吸込ノズルから吸い込み１次タンクへ回収することを実行させる。
【００３３】
上記構成により、加圧洗浄液を吐出する複数の吐出ノズルに近接して配列され、被洗浄物の方向から洗浄液を吸い込む複数の吸込ノズルを備え、これらに接続する第１吸込流路、第２吸込流路、吐出流路、バイパス流路と、加圧ポンプ、１次タンク、２次タンクを備える。そして、第１切替バルブ、第２切替バルブ及び第３切替バルブの動作を制御して、２次タンクから吸込加圧ポンプを介し複数の吐出ノズルへ加圧洗浄液を供給する吐出モードと、洗浄液を複数の吸込ノズルから吸い込み１次タンクへ回収する吸い込みモードとを交互に実行させる。したがって、被洗浄物に向けて加圧洗浄液を吐出させるごとに被洗浄物の近傍から汚れた洗浄液を速やかに吸い込むことができ、洗浄を効率的に行うことができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下に図面を用いて本発明に係る実施の形態につき詳細に説明する。図４は、洗浄条件算出装置において洗浄条件を算出あるいは設定する対象となる洗浄装置３０の断面構成図で、図５はその平面配置図である。洗浄装置３０は、洗浄液３２が満たされた洗浄槽３４と、洗浄槽３４内に配置されワーク３６に向けて加圧洗浄液を吐出する複数の吐出ノズル３８と、加圧ポンプ４０と、複数の吐出ノズル３８と加圧ポンプ４０とを接続する洗浄液供給路４２と、ワーク３６を洗浄液３２内で回転させる回転機構４４とを備える。
【００３５】
複数のノズル３８は、洗浄槽３４の底面にほぼ平行な面上に２列配置され、各列の配置方向は、回転機構４４の回転軸４６に平行である。各ノズル３８は、ワーク３６の下側から加圧洗浄液を吐出するように斜め上方にノズルの開口が向けられて配置される。各列のノズルは、回転機構４４の回転軸４６の方向に平行な方向にピッチＬで各吐出軸が配置される等ピッチ配列の複数のノズル３８ａと、その端部側に設けられた補助ノズル３８ｂとを含む。等ピッチ配列の複数のノズル３８ａにおけるノズル先端と、ワーク３６の表面との間の間隔が洗浄間隔Ｄである。
【００３６】
以下に詳述する洗浄条件算出装置、すなわちワークの表面において洗浄に必要な洗浄液圧Ｐ_０を確保できる洗浄条件を算出する洗浄条件算出装置の処理においては、上記構成の洗浄装置３０における諸パラメータが用いられる。例えば、複数のノズル３８ａにおけるノズル開口の直径ｄ、ノズルの配列ピッチＬ、ノズル数、複数のノズル３８ａの先端における洗浄液吐出圧Ｐ、洗浄間隔Ｄが用いられる。なお、洗浄条件算出に当たって、洗浄間隔Ｄは、ワーク３６を回転したときに、各ノズル先端とワーク３６の表面との距離がもっとも遠い距離とすることができる。
【００３７】
図６は、洗浄条件算出装置５０のブロック図である。洗浄条件算出装置５０は、一般的なコンピュータで構成することができ、ＣＰＵ５２と、洗浄条件算出にあたり前提条件を入力するキーボード等の入力部５４と、算出結果を出力するプリンタ、ディスプレイ等の出力部５６、洗浄条件パラメータ間の関係のデータを格納する記憶装置５８とを備え、これらは内部バスにより相互に接続される。また、通信制御部６０を設け、例えば後述するノズルピッチを可変できる洗浄装置１１０等とネットワークで接続することもできる。
【００３８】
記憶装置５８は、ワークの表面における液圧に関係するデータを格納する液圧関係データベース６２と、実用可能な複数種類の加圧ポンプの容量に関するデータを格納するポンプ関係データベース６４と、ノズル径等の異なる複数種類のノズルに関するデータを格納するノズル関係データベース６６とを含む。
【００３９】
図７は、液圧関係データベース６２のデータ構造の一例を説明する図である。液圧関係データベース６２は、ノズル先端の洗浄液吐出圧Ｐに関する第１データ群１００と、洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域２Ｒ_ｐに関する第２データ群１０２を含む。第１データ群１００も第２データ群も、洗浄間隔Ｄを検索キーとして読み出すことができる。洗浄間隔Ｄを与えたときに、第１データ群１００は、ノズル径ｄごとに、洗浄液吐出圧Ｐと洗浄液圧Ｐ_０との関係を記述したデータが読み出せる。また、第２データ群１０２は、ノズル径ｄごとに、洗浄液吐出圧Ｐと領域２Ｒ_ｐとの関係を記述したデータが読み出せる。なお、これらのデータ群は、図３における（Ｐ−Ｐ_０）関係および（Ｐ−２Ｒ_ｐ）関係を、（Ｐ_０−Ｐ）関係及び（Ｐ_０−２Ｒ_ｐ）に書き直したものに相当する。
【００４０】
液圧関係データベース６２において、洗浄間隔Ｄを検索キーとして、例えばＤ＝１５０ｍｍと入力することで、第１データ群の中のＤ＝１５０ｍｍのデータ１００ａと、第２データ群の中のＤ＝１５０ｍｍのデータ１０２ａとを読み出すことができる。つぎに、データ１００ａ，１０２ａにおいて、ノズル径ｄを検索キーとして、別途得られている洗浄液圧Ｐ_０に対応する洗浄液吐出圧Ｐと領域２Ｒ_ｐとを読み出すことができる。このようなデータ構造の液圧関係データベース６２を用いて、洗浄間隔Ｄを与え、洗浄液圧Ｐ_０を満たす（ノズル径ｄ，洗浄液吐出圧Ｐ，領域２Ｒ_ｐ）の組み合わせデータ１０４を取得できる。
【００４１】
再び図６に戻り、ＣＰＵ５２は、液圧関係データベース６２を検索して洗浄液吐出圧Ｐを取得する洗浄液吐出圧取得部７０、領域２Ｒ_ｐを取得する洗浄液圧領域取得部７２、ノズルピッチＬを算出するノズルピッチ算出部７４、ワークをカバーできるだけのノズル数を算出するノズル数算出部７６、加圧ポンプの容量を算出するポンプ容量算出部７８、最小のポンプ容量におけるノズル条件を選定するノズル選定部８０を含む。
【００４２】
上記構成における作用を図８、図９のフローチャートを用いて説明する。最初に、入力部５４から、洗浄液圧Ｐ_０と洗浄間隔Ｄを入力する（Ｓ１０）。洗浄液圧Ｐ_０は、複数種類のタイプのワーク別に別途求められている値を、データベースの形式にして記憶装置５８に格納しておき、これを読み出すことでもよい。
【００４３】
次に、洗浄間隔Ｄを検索キーとして液圧関係データベースを検索し（Ｓ１２）、図７で説明したデータ構造を利用して、洗浄液圧Ｐ_０を満たす（ノズル径ｄ，洗浄液吐出圧Ｐ，領域２Ｒ_ｐ）の組み合わせデータを取得する（Ｓ１４）。取得した（ノズル径ｄ，洗浄液吐出圧Ｐ，領域２Ｒ_ｐ）の組み合わせデータから、各ノズル径ｄごとに、ノズルピッチＬ、ノズル数、ポンプ容量を算出する（Ｓ１６）。この工程の詳細については、図９を用いて後述する。
【００４４】
こうしてノズルとポンプの組み合わせが得られるので、これらの組み合わせを出力する（Ｓ１８）。出力された組み合わせから、ポンプ関係データベース６４及びノズル関係データベース６６を参照し、実用化できる範囲で最小の容量のポンプを決定し、そのポンプ容量に対応するノズル条件、すなわちノズル径、ノズルピッチ、ノズル数を選定する（Ｓ２０）。Ｓ１８の出力は、出力部５６において外部に表示し、その結果により、ポンプ関係データベース６４及びノズル関係データベース６６に検索を実行させ、その結果を最小容量ポンプ及びそのときのノズル条件として出力させることができる。また、Ｓ１８においてその結果を外部に出力しないで、自動検索を実行させて最小容量ポンプ及びそのときのノズル条件として出力させてもよい。
【００４５】
図９は、Ｓ１６の工程をさらに詳細にサブ工程に分けて説明した部分フローチャートである。Ｓ１４の工程に引き続き、液圧関係データベースの第１データ群及び第２データ群においてノズル径ｄを入力し（Ｓ３０）、その第２データ群のデータから、そのノズル径ｄに対応する領域２Ｒ_ｐを検索する。取得した領域２Ｒ_ｐをノズルピッチＬとすれば、ワーク表面において洗浄液圧領域をつなげることができるので、ノズルピッチＬ＝２Ｒ_ｐとして、ノズルピッチＬを算出する（Ｓ３２）。
【００４６】
つぎに、対象とするワークのサイズ、特にノズル配列方向の長さを入力部５４から入力する（Ｓ３４）。そして、このワークサイズをカバーできるノズル数を算出する（Ｓ３６）。例えばワークのノズル配列方向の長さをＷとすれば、一列のノズル数は、Ｗ／２Ｒ_ｐで算出できる。Ｗ／２Ｒ_ｐに１−２本余裕を加えてもよい。ノズルの配列が２列のときは、これらの値を２倍する。
【００４７】
また、液圧関係データベースの第１データ群のデータから、入力されたノズル径ｄに対応する洗浄液吐出圧Ｐを取得し、その洗浄液吐出圧Ｐと、ノズル径ｄ、ノズル数から、対象ワークを洗浄するのに必要な洗浄流量Ｑを算出する（Ｓ３８）。そして、入力部５４から、加圧ポンプから吐出ノズルに至る供給路の損失を算出する（Ｓ４０）。この供給路の損失と洗浄液吐出圧Ｐとに基づいてポンプ供給圧力を算出し、洗浄流量Ｑとあわせて加圧ポンプの容量を算出する（Ｓ４２）。
【００４８】
このＳ３０からＳ４２の工程を各ノズル径ｄについて繰り返し（Ｓ４４）、洗浄液圧を確保できるノズル条件とポンプ容量との組み合わせ表を作成する（Ｓ４６）。ここでノズル条件とは、ノズル径ｄ、ノズルピッチＬ及びノズル数である。このようにして作成された組み合わせ表は、Ｓ１８において組合せ候補として出力される。
【００４９】
このようにして、洗浄条件算出装置５０は、液圧関係データベース６２に格納されているデータを検索し、前提条件を与えて演算を行うことで、ワークの表面において洗浄に必要な洗浄液圧Ｐ_０を確保できる洗浄条件の組み合わせを出力することができ、これらの組み合わせの中で、ポンプ容量を最小にするノズル条件を出力できる。したがって、その最小ポンプ容量の加圧ポンプ、そのノズル条件のノズル構成を備えるように洗浄装置を設定し、ノズルの先端で所定の洗浄液吐出圧になるように加圧洗浄液を供給することで、ワークの表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげることができ、洗浄液供給装置の容量を抑制しつつ十分な洗浄が可能となる。
【００５０】
図１０は、ノズルピッチが可変な洗浄装置１１０の平面配置図である。図４、図５と同様の構成要素については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。洗浄装置１１０において、ワーク３６を交換し、そのときに起こる洗浄間隔Ｄの変化に応じて、複数のノズル１１２は、ワーク３６の表面における各ノズルの吐出軸間のピッチを可変できる。
【００５１】
ノズルピッチの変更は、洗浄条件制御部１１８の制御の下でノズルピッチ可変アクチュエータにより行われる。具体的には、各ノズルをスライドさせるスライド機構、あるいは、各ノズルの吐出軸の方向を偏向させる首振り機構等を用いて、ワーク３６の表面において洗浄液圧を確保する領域をつなげるように、各ノズルの吐出軸間のピッチを変更することができる。図においては、洗浄間隔がＤ_１からＤ_２に変化したことに応じ、スライド機構を用い、各ノズル間のピッチを変更した場合で、ノズルピッチＬ_１のときを実線で、ノズルピッチがＬ_２のときを破線で示してある。
【００５２】
洗浄条件制御部１１８は、ワーク３６の表面において洗浄液圧Ｐ_０を満足する洗浄間隔Ｄと洗浄液吐出圧Ｐとの関係データ、及びそのときのワークの表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域２Ｒ_Ｐとのデータとに基づいて、ワークの表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげるように、洗浄間隔がＤ_１からＤ_２に変化したことに応じ、ノズルピッチ可変アクチュエータ１１４におけるノズルピッチＬの設定と、加圧ポンプ１１６における洗浄液吐出圧Ｐの設定とを制御する。洗浄間隔がＤ_１からＤ_２に変化したことは、手入力により洗浄条件制御部１１８に入力してもよく、また、洗浄間隔検出センサを設け、自動的に洗浄条件制御部１１８に入力してもよい。
【００５３】
ノズルピッチが可変な洗浄装置においては、ワークの表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげるように、洗浄液吐出圧Ｐの設定と、ノズルピッチＬの設定とを制御する。したがって、ワーク表面全域をちょうど洗浄液圧Ｐ_０を有する加圧洗浄液でカバーするように、洗浄液吐出圧ＰとノズルピッチＬを設定でき、加圧ポンプの容量を抑制しつつ十分な洗浄が可能となる。
【００５４】
図１１は、吐出ノズルに加えさらに吸込ノズルを設けることで、洗浄の効率のさらなる向上を図る洗浄装置１３０の構成図であり、図１２はその洗浄槽部分の平面図である。洗浄装置１３０は、ノズルピッチ可変型の洗浄装置の基本構成を有し、したがってノズルピッチアクチュエータ及び洗浄条件制御部を備えるが、その部分は図１０を用いて説明したとおりであるから、図１１、図１２において重複を避けてそれらの記載は省略した。また、以下において図４、図５と共通の要素については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００５５】
洗浄装置１３０は、洗浄液を吸い込む複数の吸込ノズル１３２と、洗浄液の吸い込みと吐出を行う洗浄液供給手段１３４と、洗浄液供給手段１３４に設けられた複数の切替バルブの動作を制御し、加圧洗浄液を吐出する吐出モードと、複数の吸込ノズルから洗浄液を吸い込む吸込モードとを交互に実行させるバルブ制御部１３６とを備える。
【００５６】
複数の吸込ノズル１３２は、加圧洗浄液を吐出する複数の吐出ノズル３８に近接して配列され、ワーク３６の方向から洗浄液３２を吸い込む機能を有するノズルである。複数の吸込ノズル１３２は、複数の吐出ノズル３８の配列方向に平行に配列され、各列において、各吸込ノズル１３２と各吐出ノズル３８とは交互に配置される。
【００５７】
洗浄液供給手段１３４は、吸込加圧ポンプ１４０と、洗浄槽３４から回収された洗浄液３２を収容する１次タンク１４２と、１次タンク１４２と接続され、よりきれいな洗浄液を収容する２次タンク１４４とを備える。
【００５８】
また、洗浄液供給手段１３４は、２つの吸込流路１４６，１４８と１つの吐出流路１５０とバイパス流路１５２とを含み、３個の切替バルブ１５４，１５６，１５８を含む。すなわち、第１吸込流路１４６は、直列接続された１次タンク１４２と２次タンク１４４と第１切替バルブ１５４とを介し、洗浄槽３４と１次タンク１４２との間を接続する。第２吸込流路１４８は、直列接続された洗浄液濾過フィルタ１６０と、第１切替バルブ１５４とを介し、複数の吸込ノズル１３２と吸込加圧ポンプ１４０との間を接続する。吐出流路１５０は、直列接続された第２切替バルブ１５６と第３切替バルブ１５８とを介し、複数の吐出ノズル３８と吸込加圧ポンプ１４０との間を接続する。また、バイパス流路１５２は、吸込加圧ポンプ１４０側から第３切替バルブ１５８を介して１次タンク１４２へ向けて設けられ、吸い込み洗浄液をバイパスさせる。
【００５９】
バルブ制御部１３６は、加圧洗浄液を吐出する吐出モードと、複数の吸込ノズルから洗浄液を吸い込む吸込モードとを、第１切替バルブ１５４、第２切替バルブ１５６及び第３切替バルブ１５８の動作の制御により交互に実行させる機能を有する。図１３は、吐出モードと、吸込モードにおける３個の切替バルブに対する動作の制御を示す図である。
【００６０】
すなわち、吐出モードにおいて、第１切替バルブ１５４の切り替えにより２次タンク１４４と吸込加圧ポンプ１４０とを接続し、第２切替バルブ１５６を開き、第３切替バルブ１５８の切り替えにより吸込加圧ポンプ１４０と複数の吐出ノズル３８とを接続して、２次タンク１４４から吸込加圧ポンプ１４０を介し複数の吐出ノズル３８への加圧洗浄液の供給を実行させる。この際、第３切替バルブ１５８において、流路１６２を介し一部の加圧洗浄液を洗浄液濾過フィルタ１６０に戻すこともできる。
【００６１】
また、吸込モードにおいて、第１切替バルブ１５４の切り替えにより複数の吸込ノズル１３２と吸込加圧ポンプ１４０とを接続し、第２切替バルブ１５６を閉じ、第３切替バルブ１５８の切り替えにより吸込加圧ポンプ１４０と１次タンク１４２とをバイパス流路１５２を介して接続して、洗浄液３２を複数の吸込ノズル１３２から吸い込み１次タンク１４２へ回収することを実行させる。
【００６２】
吸込ノズルを備える洗浄装置においては、ワークに向けて加圧洗浄液を吐出させるごとに被洗浄物の近傍から汚れた洗浄液を速やかに吸い込むことができ、洗浄を一層効率的に行うことができる。
【００６３】
【発明の効果】
本発明に係る洗浄条件算出装置及び洗浄装置によれば、洗浄液供給装置の容量を抑制しつつ十分な洗浄が可能となる。本発明に係る洗浄条件算出装置及び洗浄装置によれば、個別的な洗浄実験を要せず、十分な洗浄が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基礎となる、ワーク表面における液圧分布の様子を示す模式図である。
【図２】本発明の基礎となる、ワーク表面における液圧分布を示す図である。
【図３】本発明の基礎となる、洗浄液吐出圧Ｐと最高液圧Ｐ_ＭＡＸ及び最高液圧の位置を示す円の直径２Ｒ_ｐの関係の一例を示す図である。
【図４】本発明に係る実施の形態の洗浄条件算出装置における洗浄条件算出の対象となる洗浄装置の断面構成図である。
【図５】本発明に係る実施の形態の洗浄条件算出装置における洗浄条件算出の対象となる洗浄装置の平面配置図である。
【図６】本発明に係る実施の形態における洗浄条件算出装置のブロック図である。
【図７】本発明に係る実施の形態の洗浄条件算出装置における液圧関係データベースのデータ構造の一例を説明する図である。
【図８】本発明に係る実施の形態における洗浄条件算出のフローチャートである。
【図９】本発明に係る実施の形態における洗浄条件算出の一部詳細フローチャートである。
【図１０】本発明に係る実施の形態における洗浄装置の平面配置図である。
【図１１】本発明に係る他の実施の形態における洗浄装置の構成図である。
【図１２】本発明に係る他の実施の形態における洗浄装置の平面配置図である。
【図１３】本発明に係る他の実施の形態の洗浄装置において、吐出モードと、吸込モードにおける３個の切替バルブに対する動作の制御を示す図である。
【符号の説明】
１０，３６ワーク、１１ワーク表面、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，３８，３８ａ，１１２ノズル、１４ａ，１４ｂ，１４ｃ吐出軸、１６ａ，１６ｂ，１６ｃ円、２０最高液圧Ｐ_ＭＡＸの位置、３０，１１０，１３０洗浄装置、３２洗浄液、３４洗浄槽、４０，１１６加圧ポンプ、４４回転機構、４６回転軸、５０洗浄条件算出装置、５２ＣＰＵ、５８記憶装置、６２液圧関係データベース、６４ポンプ関係データベース、６６ノズル関係データベース、７０洗浄液吐出圧取得部、７２洗浄液圧領域取得部、７４ノズルピッチ算出部、７６ノズル数算出部、７８ポンプ容量算出部、８０容量最小ノズル選定部、１１４ノズルピッチ可変アクチュエータ、１１８洗浄条件制御部、１３２吸込ノズル、１３４洗浄液供給手段、１３６バルブ制御部、１４０吸込加圧ポンプ、１４２１次タンク、１４４２次タンク、１４６第１吸込流路、１４８第２吸込流路、１５０吐出流路、１５２バイパス流路、１５４第１切替バルブ、１５６第２切替バルブ、１５８第３切替バルブ、１６０洗浄液濾過フィルタ。

Claims

洗浄槽内に複数のノズルを配置し、被洗浄物をノズルの配置方向に直交する方向に移動させながら、各ノズルに洗浄液供給手段から加圧洗浄液を供給し吐出させて洗浄する洗浄装置に用いられ、所定の洗浄液圧Ｐ_０を被洗浄物の表面で確保する洗浄条件を算出する洗浄条件算出装置であって、
被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を満足する、被洗浄物の表面とノズルとの間の洗浄間隔Ｄと、ノズルの先端の洗浄液吐出圧Ｐとの関係データ、及びそのときの被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域のデータとを格納する液圧関係データベースと、
洗浄間隔Ｄを与えて液圧関係データベースを検索し、被洗浄物の表面で洗浄液圧Ｐ_０となる洗浄吐出圧Ｐを取得する洗浄吐出圧取得手段と、
取得した洗浄吐出圧Ｐの下で、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域を、液圧関係データベースから検索し取得する洗浄液圧領域取得手段と、
被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげるように、複数のノズルの配置ピッチを設定するノズルピッチ設定手段と、
を備えることを特徴とする洗浄条件算出装置。
請求項１に記載の洗浄条件算出装置において、
取得した洗浄液吐出圧に基づいて洗浄液供給手段の容量を算出する洗浄液供給容量算出手段を備えることを特徴とする洗浄条件算出装置。
洗浄槽内に複数のノズルを配置し、被洗浄物をノズルの配置方向に直交する方向に移動させながら、各ノズルに洗浄液供給手段から加圧洗浄液を供給し吐出させて洗浄する洗浄装置に用いられ、所定の洗浄液圧Ｐ_０を被洗浄物の表面で確保する洗浄条件を算出する洗浄条件算出装置であって、
ノズル寸法ごとの洗浄液圧Ｐ_０に関するデータを格納するデータベースであって、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を満足する、被洗浄物の表面とノズルとの間の洗浄間隔Ｄと、ノズルの先端の洗浄液吐出圧Ｐとの関係データ、及びそのときの被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域のデータとを、格納する液圧関係データベースと、
各ノズル寸法ごとに、洗浄間隔Ｄを与えて液圧関係データベースを検索し、被洗浄物の表面で洗浄液圧Ｐ_０となる洗浄吐出圧Ｐを取得する洗浄吐出圧取得手段と、
各ノズル寸法ごとに、取得した洗浄吐出圧Ｐの下で、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域を、液圧関係データベースから検索し取得する洗浄液圧領域取得手段と、
各ノズル寸法ごとに、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげるように、複数のノズルの配置ピッチを算出するノズルピッチ算出手段と、
各ノズル寸法ごとに、算出されたノズルピッチから、被洗浄物の洗浄範囲をカバーできるノズル数を算出するノズル数算出手段と、
各ノズル寸法ごとに、取得した洗浄液吐出圧と算出されたノズル数とに基づいて洗浄液供給手段の容量を算出する洗浄液供給容量算出手段と、
算出された洗浄液供給手段の容量を最小にするノズル寸法とノズルピッチとノズル数とを選定するノズル選定手段と、
を備えることを特徴とする洗浄条件算出装置。
請求項１乃至３のいずれか１に記載の洗浄条件算出装置において、
液圧関係データベースは、洗浄液が満たされている洗浄槽内において複数のノズルが洗浄液中に加圧洗浄液を吐出する液中洗浄に関する液圧関係データベースであることを特徴とする洗浄条件算出装置。
請求項１乃至３のいずれか１に記載の洗浄条件算出装置において、
液圧関係データベースは、被洗浄物移動機構が被洗浄物をノズルの配置方向に直交する方向の回転軸に回転させる回転洗浄に関する液圧関係データベースであることを特徴とする洗浄条件算出装置。
洗浄槽と、
洗浄槽内に配列され、被洗浄物に向けて加圧洗浄液を吐出する複数のノズルと、
各ノズル間のピッチＬを可変するノズルピッチ変更手段と、
ノズルとの間に洗浄間隔Ｄをおいて配置された被洗浄物を、ノズルの配列方向に直交する方向に移動させる被洗浄物移動機構と、
ノズル先端において洗浄吐出圧Ｐを有する加圧洗浄液をノズルに供給する洗浄液供給手段と、
被洗浄物の表面で所定の洗浄液圧Ｐ_０を生じさせるように、ノズルピッチ変更手段におけるノズルピッチＬの設定と、洗浄液供給手段における洗浄吐出圧Ｐの設定とを制御する洗浄条件制御手段と、
を備え、
洗浄条件制御手段は、
被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を満足する洗浄間隔Ｄと洗浄液吐出圧Ｐとの関係データ、及びそのときの被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域のデータとに基づいて、被洗浄物の表面において洗浄液圧Ｐ_０を確保できる領域をつなげるように、洗浄液吐出圧Ｐの設定と、ノズルピッチＬの設定とを制御することを特徴とする洗浄装置。
請求項６に記載の洗浄装置において、
洗浄槽には洗浄液が満たされており、複数のノズルは洗浄液中に加圧洗浄液を吐出することを特徴とする洗浄装置。
請求項６または７に記載の洗浄装置において、
被洗浄物移動機構は、被洗浄物をノズルの配置方向に直交する方向の回転軸に回転させる回転機構であることを特徴とする洗浄装置。
請求項７に記載の洗浄装置において、
加圧洗浄液を吐出する複数の吐出ノズルに近接して配列され、被洗浄物の方向から洗浄液を吸い込む複数の吸込ノズルを備え、
洗浄液供給手段は、
吸込加圧ポンプと、
洗浄槽から回収された洗浄液を収容する１次タンクと、
１次タンクと接続され、よりきれいな洗浄液を収容する２次タンクと、
直列接続された１次タンクと２次タンクと第１切替バルブとを介し、洗浄槽と１次タンクとの間を接続する第１吸込流路と、
直列接続された洗浄液濾過フィルタと、第１切替バルブとを介し、複数の吸込ノズルと吸込加圧ポンプとの間を接続する第２吸込流路と、
直列接続された第２切替バルブと第３切替バルブとを介し、複数の吐出ノズルと吸込加圧ポンプとの間を接続する吐出流路と、
吸込加圧ポンプ側から第３切替バルブを介して１次タンクへ向けて設けられ、吸い込み洗浄液をバイパスさせるバイパス流路と、
加圧洗浄液を吐出する吐出モードと、複数の吸込ノズルから洗浄液を吸い込む吸込モードとを、第１切替バルブ、第２切替バルブ及び第３切替バルブの動作の制御により交互に実行させるバルブ制御手段と、
を含み、
バルブ制御手段は、
吐出モードにおいて、第１切替バルブの切り替えにより２次タンクと吸込加圧ポンプとを接続し、第２切替バルブを開き、第３切替バルブの切り替えにより吸込加圧ポンプと複数の吐出ノズルとを接続して、２次タンクから吸込加圧ポンプを介し複数の吐出ノズルへの加圧洗浄液の供給を実行させ、
吸込モードにおいて、第１切替バルブの切り替えにより複数の吸込ノズルと加圧ポンプとを接続し、第２切替バルブを閉じ、第３切替バルブの切り替えにより加圧ポンプと１次タンクとをバイパス流路を介して接続して、洗浄液を複数の吸込ノズルから吸い込み１次タンクへ回収することを実行させることを特徴とする洗浄装置。