JP2004198115A

JP2004198115A - 光照射装置及びこれを用いた受光素子検査装置

Info

Publication number: JP2004198115A
Application number: JP2002363334A
Authority: JP
Inventors: Chikaya Iko; 知加也伊香
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2002-12-16
Filing date: 2002-12-16
Publication date: 2004-07-15

Abstract

【課題】複数種のターゲットに対して容易に対応可能な光照射装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る光照射装置１は、内部に光源を有し、光源からの光が出射口２５を通過して外部へ出射するように構成された本体部２と、本体部２の出射口２５から出射した光をターゲット１０に導く複数種のヘッド部３，４とを備え、複数種のヘッド部３，４は、本体部２に対して所定出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられている。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光照射装置とこの光照射装置を備えた受光素子検査装置に関し、さらに詳しくは、光照射装置を構成するヘッド部の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光照射装置は、例えば、二次元ＣＣＤや一次元ＣＣＤ等の半導体イメージセンサの製造工程における機能検査のために用いられる。このような光照射装置は、内部に光源を有し、光源から出射した光に所定の光学的処理を行う本体部と、本体部から出射した光をターゲットに導くヘッド部とを備え、ターゲット上に所定の光を照射するように構成される。
【０００３】
光照射装置の本体部は、光源と、光源から出射した光に所定の光学的処理を行うレンズ・フィルタ部と、所定のスリット形状を有したチャートとを主体に構成され、光源から出射した光はレンズ・フィルタ部およびチャートを通過してヘッド部へ出射する。光照射装置のヘッド部は、チャートを通過した光をターゲットに導く投影レンズ部を主体に構成され、投影レンズ部を通過した光はターゲット上の所定標本面で所定のパターンチャート像に結像される。
【０００４】
このようにしてターゲット上の標本面で結像されたパターンチャート像は、ターゲット（例えば、二次元ＣＣＤや一次元ＣＣＤ等）に検出され、ターゲットから出力される出力画像（電気信号）がプローバ装置等で検査される。
【０００５】
ところで、ターゲットが二次元ＣＣＤの場合（すなわち、二次元ＣＣＤの検査を行う場合）には、光照射装置によりターゲット（二次元ＣＣＤ）上に数ｍｍ〜数十ｍｍ四方の光が照射される。一方、ターゲットが一次元ＣＣＤの場合（すなわち、一次元ＣＣＤの検査を行う場合）には、光照射装置によりターゲット（一次元ＣＣＤ）上に長さ数十ｍｍ〜数百ｍｍ、幅が数ｍｍ以下の線状の光が照射される。
【０００６】
従って、ターゲットが二次元ＣＣＤの場合と一次元ＣＣＤの場合とで必要とされる光の照射範囲が大きく異なるため、光照射装置の投影レンズ部は同じものを使用できず、異なる種類のターゲットにそれぞれ対応した装置を使用する必要がある。そこで、ターゲットの種類に応じて異なる（二次元ＣＣＤ用と一次元ＣＣＤ用とで異なる）専用の光照射装置を用いるか、もしくはターゲットの種類に応じて光照射装置のヘッド部（投影レンズ部）を交換して対応していた。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２６１１４１号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ターゲットの種類に応じて異なる専用の光照射装置を用いると、装置の費用と設置場所が必要台数分必要となり、コスト高の一因となっていた。また、ターゲットの種類に応じて光照射装置のヘッド部（投影レンズ部）を交換して対応すると、ヘッド部の重量は１００ｋｇ程度に達するため、ヘッド部（投影レンズ部）の交換作業が非常に煩雑となっていた。
【０００９】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、複数種のターゲットに対して容易に対応可能な光照射装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
このような目的達成のため、請求項１に係る発明の光照射装置は、光源を有し、光源からの光が出射口を通過して外部へ出射するように構成された本体部と、本体部の出射口から出射した光をターゲットに導く複数種のヘッド部とを備え、複数種のヘッド部は、本体部に対して所定出射位置に選択的に着脱可能に取り付けられることを特徴とする。
【００１１】
請求項２に係る発明の光照射装置は、請求項１に記載の光照射装置において、複数種のヘッド部は、それぞれ本体部に揺動自在に取り付けられ、本体部に対して揺動させて所定出射位置に選択的に着脱可能に取り付けられることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る発明の光照射装置は、請求項１に記載の光照射装置において、複数種のヘッド部は、それぞれ本体部にスライド移動自在に取り付けられ、本体部に対してスライド移動させて所定出射位置に選択的に着脱可能に取り付けられることを特徴とする。
【００１３】
請求項４に係る発明の光照射装置は、請求項１から請求項３のうちいずれか一項記載の光照射装置において、複数種のヘッド部は、ターゲットが二次元ＣＣＤの場合に使用されるエリアセンサ用ヘッド部と、ターゲットが一次元ＣＣＤの場合に使用されるリニアセンサ用ヘッド部とからなることを特徴とする。
【００１４】
請求項５に係る発明の受光素子検査装置は、請求項１から請求項４のうちいずれか一項記載の光照射装置と、ターゲットを光照射装置から出射する光が照射される範囲に保持するとともに、光照射装置から出射する光を受光したターゲットより出力される電気信号を検出するプローバ装置とを備えて構成されることを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。本発明に係る光照射装置の概略構成を図１および図２に示している。この光照射装置１は、内部に光源２１を有し、光源２１から出射した光に所定の光学的処理を行う本体部２と、本体部２から出射した光をターゲット１０に導くヘッド部とを備え、ターゲット１０上に所定の光を照射するように構成される。
【００１６】
本体部２は、光源２１と、光源２１から出射した光に所定の光学的処理を行うレンズ・フィルタ部２２と、所定のスリット形状を有したチャート２３と、これらを囲む本体側筐体部２４とを備えて構成される。
【００１７】
本体側筐体部２４の前面側には出射口２５が形成されており、チャート２３を通過した光が出射口２５を通過してヘッド部へ出射するようになっている。また、出射口２５が位置する本体側筐体部２４の前面側は、本体部２におけるヘッド部への光の出射位置２６となっている。そして、本体部２の内部において光源２１から出射した光は、レンズ・フィルタ部２２で光軸と垂直な面内での光強度が均一化され、平行光束として出射した後チャート２３を通過し、出射口２５からヘッド部へ出射する。
【００１８】
ヘッド部は、図１に示すように、ターゲット１０が二次元ＣＣＤの場合に使用されるエリアセンサ用ヘッド部３と、ターゲット１０が一次元ＣＣＤの場合に使用されるリニアセンサ用ヘッド部４とからなり、本体部２に対して本体部２の出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられている。これにより、複数種のヘッド部が出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられているため、複数種のターゲット（すなわち、二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）に対して容易に対応することができる。
【００１９】
また、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４は、図１に示すように、それぞれ本体部２に揺動自在に取り付けられ、本体部２に対して揺動させて出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられることが好ましい。これにより、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４を揺動させて出射位置２６におけるヘッド部の着脱交換を行えばよいため、複数種のターゲットに対してより容易に対応することができる。
【００２０】
なお、エリアセンサ用ヘッド部３は、本体部２とエリアセンサ用ヘッド部３との間に跨って設けられたヒンジ機構５により、本体部２の左前面側に揺動自在に取り付けられ、前述したように、本体部２に対して揺動させて出射位置２６にリニアセンサ用ヘッド部４と選択的に着脱可能に取り付けられる。そして、エリアセンサ用ヘッド部３は、出射位置２６に位置したときに図示しないロック機構により出射位置２６に固定装着され、エリアセンサ用ヘッド部３が本体部２の出射位置２６に装着された状態で、ターゲット１０（二次元ＣＣＤ）に所定の光が照射されるようになっている。
【００２１】
一方、リニアセンサ用ヘッド部４は、本体部２とリニアセンサ用ヘッド部４との間に跨って設けられたヒンジ機構５により、本体部２の右前面側に揺動自在に取り付けられ、前述したように、本体部２に対して揺動させて出射位置２６にエリアセンサ用ヘッド部３と選択的に着脱可能に取り付けられる。そして、リニアセンサ用ヘッド部４は、出射位置２６に位置したときに図示しないロック機構により出射位置２６に固定装着され、リニアセンサ用ヘッド部４が本体部２の出射位置２６に装着された状態で、ターゲット１０（一次元ＣＣＤ）に所定の光が照射されるようになっている。
【００２２】
エリアセンサ用ヘッド部３は、エリアセンサ用ヘッド部３が本体部２の出射位置２６に装着された状態で本体部２の出射口２５を通過した光の向きを変えるエリアセンサ用ミラー３１と、エリアセンサ用ミラー３１で反射された光をターゲット１０（二次元ＣＣＤ）に導き、チャート２３の像をターゲット１０上に投影するエリアセンサ用投影レンズ部３２と、これらを囲むエリアセンサ用筐体部３３とを備えて構成される。
【００２３】
エリアセンサ用筐体部３３の裏面側には、エリアセンサ用入射口３４が本体部２の出射口２５と位置整合して形成されており、エリアセンサ用ヘッド部３が本体部２の出射位置２６に装着された状態で、本体部２の出射口２５を通過した光がエリアセンサ用入射口３４を通過してエリアセンサ用ヘッド部３（エリアセンサ用筐体部３３）の内部へ入射するようになっている。
【００２４】
そして、エリアセンサ用ヘッド部３が本体部２の出射位置２６に装着された状態で、本体部２の出射口２５から出射した光はエリアセンサ用入射口３４を通過してエリアセンサ用ヘッド部３の内部へ入射し、エリアセンサ用ミラー３１で反射してエリアセンサ用投影レンズ部３２を通過した後、ターゲット１０（二次元ＣＣＤ）上の所定標本面（図示せず）で所定のパターンチャート像に結像される。
【００２５】
リニアセンサ用ヘッド部４は、リニアセンサ用ヘッド部４が本体部２の出射位置２６に装着された状態で本体部２の出射口２５を通過した光の向きを変えるリニアセンサ用ミラー４１と、リニアセンサ用ミラー４１で反射された光をターゲット１０（一次元ＣＣＤ）に導き、チャート２３の像をターゲット１０上に投影するリニアセンサ用投影レンズ部４２と、これらを囲むリニアセンサ用筐体部４３とを備えて構成される。
【００２６】
リニアセンサ用筐体部４３の裏面側には、リニアセンサ用入射口４４が本体部２の出射口２５と位置整合して形成されており、リニアセンサ用ヘッド部４が本体部２の出射位置２６に装着された状態で、本体部２の出射口２５を通過した光がリニアセンサ用入射口４４を通過してリニアセンサ用ヘッド部４（リニアセンサ用筐体部４３）の内部へ入射するようになっている。
【００２７】
そして、リニアセンサ用ヘッド部４が本体部２の出射位置２６に装着された状態で、本体部２の出射口２５から出射した光はリニアセンサ用入射口４４を通過してリニアセンサ用ヘッド部４の内部へ入射し、リニアセンサ用ミラー４１で反射してリニアセンサ用投影レンズ部４を通過した後、ターゲット１０（一次元ＣＣＤ）上の所定標本面（図示せず）で所定のパターンチャート像に結像される。
【００２８】
なお、詳細図示しないが、ターゲット１０（二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）は、プローバ装置（図示せず）により光照射装置１から照射される光の照射範囲に保持されている。そして、ターゲット１０上の所定標本面で結像されたパターンチャート像は、ターゲット１０に検出され、ターゲット１０から出力される出力画像（電気信号）がプローバ装置で検査されるようになっている。
【００２９】
このような構成の光照射装置１において、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４がそれぞれ本体部２に揺動自在に取り付けられ、本体部２に対して揺動させて出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられている。これにより、複数種のターゲット（すなわち、二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）に対して容易に対応することができる。
【００３０】
ターゲット１０が二次元ＣＣＤの場合には、本体部２のチャート２３を二次元ＣＣＤ用のものに交換した後、リニアセンサ用ヘッド部４を本体部２に対して右側方に揺動させるとともに、エリアセンサ用ヘッド部３を本体部２の出射位置２６に揺動させて、エリアセンサ用ヘッド部３をロック機構により出射位置２６に固定装着する。そして、エリアセンサ用ヘッド部３が出射位置２６に装着された状態で、ターゲット１０（二次元ＣＣＤ）に所定の光が照射される。
【００３１】
エリアセンサ用ヘッド部３が出射位置２６に装着された状態で、本体部２の内部において光源２１から出射した光は、レンズ・フィルタ部２２およびチャート２３を通過し、本体側筐体部２４の出射口２５からエリアセンサ用ヘッド部３へ出射する。出射口２５から出射した光はエリアセンサ用入射口３４を通過してエリアセンサ用ヘッド部３の内部へ入射し、エリアセンサ用ミラー３１で反射してエリアセンサ用投影レンズ部３２を通過した後、ターゲット１０（二次元ＣＣＤ）上の所定標本面（図示せず）で所定のパターンチャート像に結像される。
【００３２】
一方、ターゲット１０が一次元ＣＣＤの場合には、ロック機構によるエリアセンサ用ヘッド部３と本体部２との固定装着を解除して、本体部２のチャート２３を一次元ＣＣＤ用のものに交換した後、エリアセンサ用ヘッド部３を本体部２に対して左側方に揺動させるとともに、リニアセンサ用ヘッド部４を本体部２の出射位置２６に揺動させて、リニアセンサ用ヘッド部４をロック機構により出射位置２６に固定装着する。そして、リニアセンサ用ヘッド部４が出射位置２６に装着された状態で、ターゲット１０（一次元ＣＣＤ）に所定の光が照射される。
【００３３】
リニアセンサ用ヘッド部４が出射位置２６に装着された状態で、本体部２の内部において光源２１から出射した光は、レンズ・フィルタ部２２およびチャート２３を通過し、本体側筐体部２４の出射口２５からリニアセンサ用ヘッド部４へ出射する。出射口２５から出射した光はリニアセンサ用入射口４４を通過してリニアセンサ用ヘッド部４の内部へ入射し、リニアセンサ用ミラー４１で反射してリニアセンサ用投影レンズ部４２を通過した後、ターゲット１０（一次元ＣＣＤ）上の所定標本面（図示せず）で所定のパターンチャート像に結像される。
【００３４】
このようにしてターゲット１０（二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）上の所定標本面で結像されたパターンチャート像は、ターゲット１０（二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）に検出され、ターゲット１０から出力される出力画像（電気信号）がプローバ装置（図示せず）で検査される。
【００３５】
この結果、複数種のヘッド部、すなわち、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４が、本体部２の出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられているため、複数種のターゲット（すなわち、二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）に対して容易に対応することができる。
【００３６】
また、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４がそれぞれ本体部２に揺動自在に取り付けられ、本体部２に対して揺動させて出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられているため、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４を揺動させて出射位置２６におけるヘッド部の着脱交換を行えばよく、複数種のターゲットに対してより容易に対応することができる。
【００３７】
さらに、上述のような構成の光照射装置１と、光照射装置１から照射される光を検出したターゲットから出力される出力画像（電気信号）を検出可能なプローバ装置とを備えて受光素子検査装置（図示せず）を構成することで、複数種のターゲット（すなわち、二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）に対して容易に対応可能な受光素子検査装置を提供することができる。
【００３８】
光照射装置の第二実施形態について図３を参照して説明する。なお、本実施形態の光照射装置１０１に構成される本体部、エリアセンサ用ヘッド部およびリニアセンサ用ヘッド部は、上述した第一実施形態の光照射装置１に構成される本体部２、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４と装置構成が同様であるため、同一部位に同一番号を付して重複説明を省略する。
【００３９】
本実施形態における光照射装置１０１は、第一実施形態における光照射装置１と同様に、内部に光源２１を有し、光源２１から出射した光に所定の光学的処理を行う本体部２と、本体部２から出射した光をターゲット１０に導くエリアセンサ用ヘッド部３とリニアセンサ用ヘッド部４とからなるヘッド部とを備え、ターゲット１０上に所定の光を照射するように構成される。
【００４０】
そして、図３に示すように、本体部２とエリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４との間に跨って設けられたスライド機構１０５により、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４は、それぞれ本体部２にスライド移動自在に取り付けられ、本体部２に対してスライド移動させて本体部２の出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられている。
【００４１】
これにより、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４をスライド移動させて出射位置２６におけるヘッド部の着脱交換を行えばよいため、複数種のターゲット（すなわち、二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）に対してより容易に対応することができる。
【００４２】
スライド機構１０５は、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４をスライド移動自在に取付可能な上部スライドレール１０６および下部スライドレール１０７を主体に構成され、本体側筐体部２４の前面側に取り付けられる。
【００４３】
上部スライドレール１０６および下部スライドレール１０７は、左右へ互いに平行に延びて形成され、左方にエリアセンサ用ヘッド部３が左右へスライド移動自在に取り付けられるとともに、右方にリニアセンサ用ヘッド部４が左右へスライド移動自在に取り付けられるように構成される。そして、リニアセンサ用ヘッド部４が本体部２よりも右方に位置するときにはエリアセンサ用ヘッド部３を本体部２の出射位置２６に位置させることができ、エリアセンサ用ヘッド部３が本体部２よりも左方に位置するときにはリニアセンサ用ヘッド部４を本体部２の出射位置２６に位置させることができるようになっている。
【００４４】
上部スライドレール１０６および下部スライドレール１０７には、図示しない切り込み部が形成されており、エリアセンサ用ヘッド部３もしくはリニアセンサ用ヘッド部４が出射位置２６に位置すると、エリアセンサ用ヘッド部３もしくはリニアセンサ用ヘッド部４の左右へのスライド移動を規制するようになっている。これにより、エリアセンサ用ヘッド部３もしくはリニアセンサ用ヘッド部４の出射位置２６に対する位置決めを容易に行うことができる。
【００４５】
なお、エリアセンサ用ヘッド部３もしくはリニアセンサ用ヘッド部４がスライド移動して出射位置２６に位置すると、エリアセンサ用ヘッド部３もしくはリニアセンサ用ヘッド部４は図示しないロック機構により出射位置２６に固定装着されるようになっている。そして、エリアセンサ用ヘッド部３が本体部２の出射位置２６に装着された場合には、二次元ＣＣＤ（ターゲット１０）に所定の光が照射され、リニアセンサ用ヘッド部４が本体部２の出射位置２６に装着された場合には、一次元ＣＣＤ（ターゲット１０）に所定の光が照射される。
【００４６】
このような構成の光照射装置１０１において、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４がそれぞれ本体部２にスライド移動自在に取り付けられ、本体部２に対してスライド移動させて出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられている。これにより、複数種のターゲット（すなわち、二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）に対して容易に対応することができる。
【００４７】
ターゲット１０が二次元ＣＣＤの場合には、本体部２のチャート２３を二次元ＣＣＤ用のものに交換した後、リニアセンサ用ヘッド部４を本体部２に対して右方にスライド移動させるとともに、エリアセンサ用ヘッド部３を本体部２の出射位置２６にスライド移動させて、エリアセンサ用ヘッド部３をロック機構により出射位置２６に固定装着する。そして、エリアセンサ用ヘッド部３が出射位置２６に装着された状態で、ターゲット１０（二次元ＣＣＤ）に所定の光が照射される。
【００４８】
エリアセンサ用ヘッド部３が出射位置２６に装着された状態で、本体部２の内部において光源２１から出射した光は、レンズ・フィルタ部２２およびチャート２３を通過し、本体側筐体部２４の出射口２５からエリアセンサ用ヘッド部３へ出射する。出射口２５から出射した光はエリアセンサ用入射口３４を通過してエリアセンサ用ヘッド部３の内部へ入射し、エリアセンサ用ミラー３１で反射してエリアセンサ用投影レンズ部３２を通過した後、ターゲット１０（二次元ＣＣＤ）上の所定標本面（図示せず）で所定のパターンチャート像に結像される。
【００４９】
一方、ターゲット１０が一次元ＣＣＤの場合には、ロック機構によるエリアセンサ用ヘッド部３と本体部２との固定装着を解除して、本体部２のチャート２３を一次元ＣＣＤ用のものに交換した後、エリアセンサ用ヘッド部３を本体部２に対して左方にスライド移動させるとともに、リニアセンサ用ヘッド部４を本体部２の出射位置２６にスライド移動させて、リニアセンサ用ヘッド部４をロック機構により出射位置２６に固定装着する。そして、リニアセンサ用ヘッド部４が出射位置２６に装着された状態で、ターゲット１０（一次元ＣＣＤ）に所定の光が照射される。
【００５０】
リニアセンサ用ヘッド部４が出射位置２６に装着された状態で、本体部２の内部において光源２１から出射した光は、レンズ・フィルタ部２２およびチャート２３を通過し、本体側筐体部２４の出射口２５からリニアセンサ用ヘッド部４へ出射する。出射口２５から出射した光はリニアセンサ用入射口４４を通過してリニアセンサ用ヘッド部４の内部へ入射し、リニアセンサ用ミラー４１で反射してリニアセンサ用投影レンズ部４２を通過した後、ターゲット１０（一次元ＣＣＤ）上の所定標本面（図示せず）で所定のパターンチャート像に結像される。
【００５１】
このようにしてターゲット１０（二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）上の所定標本面で結像されたパターンチャート像は、ターゲット１０（二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）に検出され、ターゲット１０から出力される出力画像（電気信号）がプローバ装置（図示せず）で検査される。
【００５２】
この結果、複数種のヘッド部、すなわち、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４が、本体部２の出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられているため、複数種のターゲット（すなわち、二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）に対して容易に対応することができる。
【００５３】
また、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４がそれぞれ本体部２にスライド移動自在に取り付けられ、本体部２に対してスライド移動させて出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられているため、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４をスライド移動させて出射位置２６におけるヘッド部の着脱交換を行えばよく、複数種のターゲットに対してより容易に対応することができる。
【００５４】
さらに、上述のような構成の光照射装置１０１と、光照射装置１０１から照射される光を検出したターゲットから出力される出力画像（電気信号）を検出可能なプローバ装置とを備えて受光素子検査装置（図示せず）を構成することで、複数種のターゲット（すなわち、二次元ＣＣＤおよび一次元ＣＣＤ）に対して容易に対応可能な受光素子検査装置を提供することができる。
【００５５】
なお、上述の各実施形態において、ヘッド部が、ターゲット１０が二次元ＣＣＤの場合に使用されるエリアセンサ用ヘッド部３と、ターゲット１０が一次元ＣＣＤの場合に使用されるリニアセンサ用ヘッド部４とから構成されているが、これに限られるものではなく、例えば、同種のターゲットに対して光の照射範囲を変更したヘッド部等、複数種のヘッド部から構成されていればよい。
【００５６】
また、上述の各実施形態において、ヘッド部が、エリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４の２種類のヘッド部から構成されているが、これに限られるものではなく、例えば、３種類のヘッド部等、複数種のヘッド部から構成されていればよい。
【００５７】
さらに、上述の第一実施形態においてエリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４がそれぞれ本体部２に揺動自在に取り付けられ、上述の第二実施形態においてエリアセンサ用ヘッド部３およびリニアセンサ用ヘッド部４がそれぞれ本体部２にスライド移動自在に取り付けられているが、これに限られるものではなく、一方のヘッド部が本体部２に揺動自在に取り付けられるとともに、他方のヘッド部が本体部２にスライド移動自在に取り付けられ、一方もしくは他方のヘッド部を本体部２に対して揺動もしくはスライド移動させて出射位置２６に選択的に着脱可能に取り付けられるようにしてもよい。
【００５８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、複数種のヘッド部が本体部の出射位置に選択的に着脱可能に取り付けられているため、複数種のターゲットに対して容易に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光照射装置の斜視図である。
【図２】本発明に係る光照射装置の装置構成を示す概略図（側断面図）である。
【図３】本発明に係る光照射装置の第二実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１光照射装置
２本体部
３エリアセンサ用ヘッド部
４リニアセンサ用ヘッド部
１０ターゲット
２１光源
２５出射口
２６出射位置
１０１光照射装置（第二実施形態）

Claims

光源を有し、前記光源からの光が出射口を通過して外部へ出射するように構成された本体部と、
前記本体部の前記出射口から出射した光をターゲットに導く複数種のヘッド部とを備え、
前記複数種のヘッド部は、前記本体部に対して所定出射位置に選択的に着脱可能に取り付けられることを特徴とする光照射装置。
前記複数種のヘッド部は、それぞれ前記本体部に揺動自在に取り付けられ、前記本体部に対して揺動させて前記所定出射位置に選択的に着脱可能に取り付けられることを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
前記複数種のヘッド部は、それぞれ前記本体部にスライド移動自在に取り付けられ、前記本体部に対してスライド移動させて前記所定出射位置に選択的に着脱可能に取り付けられることを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
前記複数種のヘッド部は、前記ターゲットが二次元ＣＣＤの場合に使用されるエリアセンサ用ヘッド部と、前記ターゲットが一次元ＣＣＤの場合に使用されるリニアセンサ用ヘッド部とからなることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項記載の光照射装置。
請求項１から請求項４のうちいずれか一項記載の光照射装置と、前記ターゲットを前記光照射装置から出射する光が照射される範囲に保持するとともに、前記光照射装置から出射する光を受光した前記ターゲットより出力される電気信号を検出するプローバ装置とを備えて構成されること特徴とする受光素子検査装置。