JP2004195502A - 溶接用レーザセンサ - Google Patents

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文傑 毛
Hitoshi Kishida
仁 岸田
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Abstract

【課題】開先の深さ方向の解像力を低下させずにセンサヘッドを小型化するとともに、スパッタやヒュームによる外乱の影響を受けずに開先形状の特徴量を測定する。
【解決手段】レーザ投光装置10から出射したスリット光を平面反射鏡12で一定角度偏向して母材7の開先を含む表面に対して一定の入射角で照射し、、母材に照射したスリット光の反射光を撮影装置11に入射するようにして、レーザ投光装置10と撮影装置11とをハウジング13内に平行に設けてセンサヘッド5を小型化し、小型化したセンサヘッド5を溶接トーチ4の近傍に配置して、溶接トーチ4を開先に倣って高精度に制御する。
【選択図】 図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、アーク溶接を行うときの開先形状を自動的に検出する溶接用レーザセンサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】特開平7−299565号公報
【特許文献2】特開平9−38774号公報
【特許文献3】特開平10−308888号公報
アーク溶接を行うとき、開先形状をオフラインあるいはオンラインで自動的に検出する溶接用レーザセンサは、図10に示すように、センサヘッド30と画像処理装置6を有する。センサヘッド30は、レーザ投光装置10と、光軸をレーザ投光装置10の光軸に対して角度αだけ傾けて配置した撮影装置11とを有する。そしてレーザ投光装置10から母材7の表面に対してスリット光を照射し、その反射光を撮影装置11で受光して開先8の光切断像を検出する。この撮影装置11で検出した光切断像の画像信号を画像処理装置6で画像処理して開先形状の特徴量、例えばルートギャップや開先幅やビード幅等を求める。この開先形状の特徴量に応じて溶接制御装置3で溶接トーチ4の倣い制御やウィービング幅や移動速度及びワイヤ9の送り量を制御している。
【0003】
この溶接トーチ4の制御を高精度に行うためにはセンサヘッド30を溶接トーチ4の近傍に配置する必要がある。このセンサヘッド30を溶接トーチ4の近傍に配置した場合、溶接による外乱、例えばスパッタやヒュームに対する対策が必要である。この対策として例えば特許文献1に示すように、撮影装置入射部の保護ガラスの前に直径2mm以下のピンホールを設け、ピンホールの内側からエアー又はガスを噴出してスパッタやヒュームが進入することを防止している。また、特許文献2に示すように、撮影装置の入射部のレンズの前面に配置し、撮影用の孔であるピンホールを有する保護板のピンホールの周囲に多数のガス噴出口を設け、ガス噴出口からシールドガスを噴出してスパッタやヒュームが進入することを防止している。また、特許文献3に示すように、レンズの前面に設けた保護ガラスの前に、撮影用小径ホールと位置検出用スリット及びガラス面清掃ブラシを有する円形銅板を配置し、円形銅板を直流モータで回転させ、撮影用小径ホールとピンホールが重なったときだけ映像を取り込み、保護ガラス面のヒュームによる汚れをガラス面清掃ブラシで取り除くようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
溶接用レーザセンサのセンサヘッドを溶接トーチの近傍に配置するためには、センサヘッドを小型化することが望まれている。一方、センサヘッドのレーザ投光装置の光軸と撮影装置の光軸との角度αは、大きくなるほど開先の深さ方向の解像力が大きくなるため、角度αをできるだけ大きくする必要がある。このため、図10に示すように、レーザ投光装置10から出射するレーザビームを母材7に直接照射し、母材からの反射光を撮影装置11で直接受光するセンサヘッド30を小型化すると、レーザ投光装置10の光軸と撮影装置11の光軸との角度αが小さくなり、開先の深さ方向の解像力が低下するという短所がある。
【0005】
また、特許文献1や特許文献2に示す場合、噴出するガスによりヒュームが保護ガラスやレンズの前に設けたピンホールから入り込むことは防止できるが、スパッタがピンホールから入り込むことを防止するためには、噴出するガスの圧力と流量を非常に大きくする必要がある。また、スパッタがピンホールから入り込んで保護ガラスやレンズに傷を付ける危険性も有る。また、特許文献3に示すように、保護ガラスの前に回転する円形銅板を設けると、円形銅板を回転する直流モータや回転伝達機構をセンサヘッドの先端部に設ける必要があり、センサヘッドが大型化してしまうという短所がある。
【0006】
この発明はかかる短所を改善し、開先の深さ方向の解像力を低下させずにセンサヘッドを小型化するとともに、スパッタやヒュームによる外乱の影響を受けずに開先形状の特徴量を測定することができる溶接用レーザセンサを提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この発明の溶接用レーザセンサは、センサヘッドと画像処理装置を有し、センサヘッドはレーザ投光装置と撮影装置及び平面反射鏡を有し、レーザ投光装置と撮影装置とはハウジング内に平行に設けられ、平面反射鏡はレーザ投光装置の光軸に対して一定角度傾けて設けられ、レーザ投光装置からスリット光を出射し、出射したスリット光を平面反射鏡で一定角度偏向して母材の開先を含む表面に対して一定の入射角で照射し、母材に照射したスリット光の反射光を撮影装置で受光して開先の光切断像を検出し、撮影装置で検出した光切断像の画像信号を画像処理装置で画像処理して開先形状の特徴量を検出することを特徴とする。
【0008】
この発明の第2の溶接用レーザセンサは、センサヘッドと画像処理装置を有し、センサヘッドはレーザ投光装置と撮影装置及び平面反射鏡を有し、レーザ投光装置と撮影装置とはハウジング内に平行に設けられ、平面反射鏡は撮影装置の光軸に対して一定角度傾けて設けられ、レーザ投光装置から母材の開先を含む表面に対して垂直方向からスリット光を照射し、母材に照射したスリット光の反射光を平面反射鏡で一定角度偏向して撮影装置に入射し、撮影装置は入射した反射光により開先の光切断像を検出し、撮影装置で検出した光切断像の画像信号を画像処理装置で画像処理して開先形状の特徴量を検出することを特徴とする。
【0009】
この発明の第3の溶接用レーザセンサは、センサヘッドと画像処理装置を有し、センサヘッドはレーザ投光装置と撮影装置及び2枚の平面反射鏡を有し、レーザ投光装置と撮影装置とはハウジング内に平行に設けられ、一方の平面反射鏡はレーザ投光装置の光軸に対して一定角度傾けて設けられ、他方の平面反射鏡は撮影装置の光軸に対して一定角度傾けて設けられ、レーザ投光装置からスリット光を出射し、出射したスリット光を一方の平面反射鏡で一定角度偏向して母材の開先を含む表面に対して一定の入射角で照射し、母材に照射したスリット光の反射光を他方の平面反射鏡で一定角度偏向して撮影装置に入射し、撮影装置は入射した反射光により開先の光切断像を検出し、撮影装置で検出した光切断像の画像信号を画像処理装置で画像処理して開先形状の特徴量を検出することを特徴とする。
【0010】
前記平面反射鏡を複数設けることが望ましい。
【0011】
また、ハウジングのレーザ投光装置からのスリット光を出射する投光窓と母材からの反射光を入射する撮影窓の前面に、スパッタが付着しない材料で形成された保護プレートと、保護プレートを覆う保護カバーを有し、保護カバーには、レーザ投光装置から出射したスリット光を通す出射スリットと母材からの反射光を通す入射孔が設けられ、保護プレート側の保護カバーの中央内部には、出射スリットと入射孔の中心を結んだ中心線に沿った逆V溝が貫通して設けられ、逆V溝の出射スリットと入射孔側には逆V溝と直交して逆V溝と連通するスリットが設けられ、保護カバーの保護プレート側の投光窓と撮影窓の付近に複数のガス排出溝がハウジングの内部と逆V溝を連通して設けられ、ハウジングに供給した冷却ガスをガス排出溝から逆V溝を通して出射スリットと入射孔から噴出させると良い。
【0012】
また、ハウジング内に冷却ガス導入口から供給した冷却ガスの流量を周期的に変化させて、冷却ガスにより保護プレート表面を清掃する。
【0013】
さらに、保護カバーの撮影装置側の先端部には溶接部からのスパッタを防止する遮蔽板を有することが望ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1はこの発明の溶接装置の構成図である。図に示すように、溶接装置1はレーザセンサ2と溶接制御装置3及び溶接トーチ4を有する。レーザセンサ2はセンサヘッド5と画像処理装置6を有し、母材7の溶接線の位置とその変動や開先8の形状等を検出し、検出した情報に基づき溶接制御装置3で溶接トーチ4の倣い制御やウィービング幅や移動速度及びワイヤ9の送り量すなわち溶着量を制御する。センサヘッド5は、図2の構成図に示すように、レーザ発信装置101と投光レンズ102を有するレーザ投光装置10と、CCDカメラ111と受光レンズ112と光学フィルタ113を有する撮影装置11及び平面反射鏡12を有する。レーザ投光装置10と撮影装置11とはハウジング13内に並行に設けられ、平面反射鏡12はレーザ投光装置10の光軸に対して一定角度傾けて設けられている。
【0015】
ハウジング13の光の入出射部には保護ガラス14をそれぞれ有する投光窓15と撮影窓16を有し、入出射部の反対側にはガス導入口17とケーブルコネクタ18を有する。投光窓15と撮影窓16の前面には、投光窓15と撮影窓16を保護する保護プレート19と、保護プレート19を覆う保護カバー20が設けられている。保護プレート19は透明かつスパッタ等は付着しない合成樹脂板で形成され、保護カバー20は耐熱性を有し熱伝導率が小さくかつスパッタが付着しにくい材料、例えばガラス繊維入りのエポキシ樹脂等で形成されている。この保護カバー20には、図3の底面図に示すように、レーザ投光装置10から出射したスリット光を通す出射スリット21と撮影装置11に入射する光を通す入射孔22が設けられ、保護プレート19側の保護カバー20の中央内部には、図4の側面断面図に示すように、出射スリット21と入射孔22の中心を結んだ中心線に沿った逆V溝23が貫通して設けられ、逆V溝23の出射スリット21と入射孔22側には、逆V溝23と直交して逆V溝23と連通するスリット24が設けられている。また、保護カバー20の保護プレート19側には、投光窓15と撮影窓16の付近に例えば幅が1.5mmで深さが1mm程度の複数のガス排出溝25がハウジング13の内部と逆V溝23を連通して設けられている。この保護カバー20の撮影装置11側の先端部には溶接部からのスパッタを防止する遮蔽板26を有する。
【0016】
この溶接装置1で母材7を溶接するとき、保護カバー20の遮蔽板26を溶接トーチ4側にして溶接トーチ4より溶接方向の前方に近接させてセンサヘッド5を配置する。そしてレーザ投光装置10からスリット光を出射し、出射したスリット光を平面反射鏡12で一定角度偏向して母材7の開先8を含む表面に対して一定の入射角で照射する。この母材7に照射したスリット光の反射光を撮影装置11で受光して開先8の光切断像を検出する。この母材7からの反射光を受光する撮影装置11の受光レンズ112をできるだけ撮影窓16の近くに配置し、撮影窓16の寸法を最小に抑えて、撮影窓16の保護ガラス14が汚れることを防ぎ、センサヘッド5の耐久性を高める。また、撮影装置11で母材7からの反射光を受光したとき、溶接のアーク光などからの外乱の影響を除くため、光学フィルタ113を利用してレーザ投光装置10から出射する光の波長と等しい波長の光だけを検出する。さらに、レーザ透光装置10のレーザ発信装置101のレーザ光の発信タイミングと撮影装置11のCCDカメラ111の露光タイミングを同期して、レーザ光が溶接作業者に与える影響を低減する。
【0017】
この撮影装置11で検出した光切断像の画像信号を画像処理装置6で画像処理してルートギャップや開先幅やビード幅等の開先形状の特徴量を検出し、検出した開先形状の特徴量に応じて溶接制御装置3で溶接トーチ4の倣い制御やウィービング幅や溶着量すなわちトーチ4の移動速度あるいはワイヤ9の送り量を制御する。
【0018】
このように母材7の表面にスリット光を照射するレーザ投光装置10と母材7からの反射光を検出する撮影装置11をセンサヘッド5のハウジング13内に平行に設けたから、センサヘッド5を小型化して、センサヘッド5を溶接ヘッド4の近傍に設けることができ、溶接トーチ4を開先8に倣って高精度に制御することができる。また、レーザ投光装置10から出射したスリット光を、図5の光路図に示すように、平面反射鏡12で一定角度偏向させてスリット光を母材7の表面に対して一定の入射角で照射するから、センサヘッド5を小型化しても母材7に入射するスリット光の光軸と撮影装置11に入射する反射光の光軸との角度θを変える必要がないので、開先8の深さ方向の解像力を保つことができる。
【0019】
また、センサヘッド5を溶接トーチ4に近接して配置すると、センサヘッド5がスパッタやヒュームの影響を受けるが、ハウジング13の入出射面に設けた保護カバー20の溶接部に近い部分に遮蔽板26を設け、この遮蔽板26で溶接中に飛び散るスパッタを遮蔽することにより、保護カバー20の出射スリット21と入射孔22に飛翔するスパッタを大幅に低減することができる。さらに、保護カバー20の出射スリット21と入射孔22に飛翔したスパッタやヒュームが出射スリット21と入射孔22から保護カバー20内に入り込んでも、ハウジング13の投光窓15と撮影窓16を覆う保護ガラス14の表面に設けた保護プレート19によりスパッタやヒュームが保護ガラス14の表面に付着することを防止することができる。
【0020】
また、センサヘッド5内部の温度上昇を抑えるために、ガス導入口17から冷却ガスを導入してハウジング13内を循環させ、この冷却ガスをハウジング13の内部に連通した保護カバー20のガス排出溝25から逆V溝23に排出する。この逆V溝23に排出した冷却ガスが、図4に示すように、出射スリット21と入射孔22から噴出することにより、飛翔したスパッタやヒュームが出射スリット21と入射孔22から保護カバー20内に入り込むことを低減することができる。さらに、出射スリット21と入射孔22から保護カバー20内に入り込んだスパッタ等を逆V溝23と、逆V溝23と直交して設けたスリット24に沿って排出される冷却ガスにより保護カバー20の外に排出することにより、保護プレート19に沿ってスパッタ等が滞留することを防ぐことができる。この保護カバー20のガス排出溝25から逆V溝23に排出する冷却ガス量は、ガス導入口17から導入する冷却ガスの量を周期的に変化させることにより適宜制御することができる。
【0021】
また、ガス導入口17から導入する冷却ガスの量を周期的に変化させるとき、例えばベースガス流量を3×10−3〜15×10−3/分とし、ピークガス流量を15×10−3〜25×10−3/分にし、周期的変化の周波数を1Hzとし、ピーク期間占有率を10〜80%にすることにより、トータルガス流量を買えずに冷却ガスによる保護プレート19の表面の清掃作用を強化することができる。
【0022】
また、縦向き溶接や横向き溶接のときは、出射スリット21と入射孔22から保護カバー20内に入り込んだスパッタ等を逆V溝23やスリット24から重力や振動により落下することもでき、保護カバー20内に入り込んだスパッタ等を効率良く外部に排出することができる。
【0023】
このようにしてセンサヘッド5の入出射部にスパッタ等が滞留することを防止して、保護プレート19の表面を常に綺麗にすることにより、保護プレート19の透明度を安定して保持することができ、開先形状等を安定して検出することができる。
【0024】
前記説明ではセンサヘッド5に1枚の平面反射鏡12を設け、レーザ投光装置10から出射したスリット光を偏向して、母材7の表面に一定の入射角で照射したが、図6の光路図に示すように、2枚の平面反射鏡12a,12bを使用することにより、母材7の表面に入射するスリット光の入射角を大きくすることができ、母材7に入射するスリット光の光軸と撮影装置11に入射する反射光の光軸との角度θを大きくすることができ、開先8の深さ方向の解像力をより向上することができる。このように2枚の平面反射鏡12a,12bを使用した場合、投光窓15に近い平面反射鏡12bの設置角度を定めれば、他の平面反射鏡12aの設置角度はレーザ投光装置10の光軸と平面反射鏡12bの設置角度により定めることができる。また、平面反射鏡12bの設置角度をハウジング13の側面に対して平行に近い角度にすることにより、母材7に入射するスリット光の入射角を大きくして、母材7に入射するスリット光の光軸と撮影装置11に入射する反射光の光軸との角度θをより大きくすることができるので、センサヘッド5の寸法を変えずに、開先8の深さ方向の解像力を向上することができる。
【0025】
また、レーザ投光装置10から出射するスリット光を偏向させるため2枚以上の平面反射鏡12を設けたり、平面反射鏡12の代わりにプリズムを設けてレーザ投光装置10から出射するスリット光を偏向させるようにしても良い。
【0026】
また、図7の光路図に示すように、撮影装置11側に、撮影装置11の光軸に対して一定角度傾けた平面反射鏡12を設け、レーザ投光装置10から母材7に対して垂直にスリット光を照射し、母材7からの反射光を斜めに平面反射鏡12に入射して平面反射鏡12から反射した光を撮影装置11に入射するようにしても良い。このようにレーザ投光装置10から母材7に対して垂直にスリット光を照射することにより、開先8の形状をより精度良く検出することができる。この場合も、図8の光路図に示すように、撮影装置11側に2枚の平面反射鏡12a,12bを設けることにより、母材7に入射するスリット光の光軸と撮影装置11に入射する反射光の光軸との角度θをより大きくすることができる。
【0027】
さらに、図9の光路図に示すように、レーザ投光装置10側に2枚の平面反射鏡12a,12bを設け、撮影装置11側にも2枚の平面反射鏡12c,12dを設けることにより、同じ大きさのセンサヘッド5を使用して母材7に入射するスリット光の光軸と撮影装置11に入射する反射光の光軸との角度θをさらに大きくすることができ、開先8の深さ方向の解像力をより向上することができる。
【0028】
【発明の効果】
この発明は以上説明したように、レーザ投光装置から出射したスリット光を平面反射鏡で一定角度偏向して母材の開先を含む表面に対して一定の入射角で照射したり、母材に照射したスリット光の反射光を平面反射鏡で一定角度偏向して撮影装置に入射するようにしてレーザ投光装置と撮影装置とをハウジング内に平行に設けるようにしたから、センサヘッドを小型化することができ、センサヘッドを溶接ヘッドの近傍に配置して溶接トーチを開先に倣って高精度に制御することができる。
【0029】
また、レーザ投光装置から出射したスリット光を平面反射鏡で一定角度偏向して母材の開先を含む表面に対して一定の入射角で照射したり、母材に照射したスリット光の反射光を平面反射鏡で一定角度偏向して撮影装置に入射することにより、センサヘッドを小型化しても母材に入射するスリット光の光軸と母材から反射する反射光の光軸との角度を大きくすることができ、開先の深さ方向の解像力を向上することができる。
【0030】
さらに、平面反射鏡を複数設けることにより、母材に入射するスリット光の光軸と母材から反射する反射光の光軸との角度をより大きくして、開先の深さ方向の解像力をより向上することができる。
【0031】
また、ハウジングのレーザ投光装置からのスリット光を出射する投光窓と母材からの反射光を入射する撮影窓の前面に、スパッタが付着しない材料で形成された保護プレートと、保護プレートを覆う保護カバーを有し、保護カバーには、レーザ投光装置から出射したスリット光を通す出射スリットと母材からの反射光を通す入射孔が設けられ、保護プレート側の保護カバーの中央内部には、出射スリットと入射孔の中心を結んだ中心線に沿った逆V溝が貫通して設けられ、逆V溝の出射スリットと入射孔側には逆V溝と直交して逆V溝と連通するスリットが設けられ、保護カバーの保護プレート側の投光窓と撮影窓の付近に複数のガス排出溝がハウジングの内部と逆V溝を連通して設けられ、ハウジングに供給した冷却ガスをガス排出溝から逆V溝を通して出射スリットと入射孔から噴出させることにより、センサヘッドの入出射部にスパッタ等が滞留することを防止して、保護プレートの表面を常に綺麗にすることができ、保護プレートの透明度を安定して保持して開先形状等を安定して検出することができる。
【0032】
また、ハウジング内に冷却ガス導入口から供給した冷却ガスの流量を周期的に変化させて、冷却ガスにより保護プレート表面に対する清掃作用を強化することができる。
【0033】
さらに、保護カバーの撮影装置側の先端部には溶接部からのスパッタを防止する遮蔽板を設けることにより、保護カバーの出射スリットと入射孔に飛翔するスパッタを大幅に低減することができ、センサヘッドを溶接部に近接して配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の溶接装置の構成図である。
【図2】センサヘッドの構成を示す正面断面図である。
【図3】センサヘッドの底面図である。
【図4】センサヘッドの側面断面図である。
【図5】センサヘッドの入出射光の光路図である。
【図6】第2のセンサヘッドの入出射光の光路図である。
【図7】第3のセンサヘッドの入出射光の光路図である。
【図8】第4のセンサヘッドの入出射光の光路図である。
【図9】第5のセンサヘッドの入出射光の光路図である。
【図10】従来例の構成図である。
【符号の説明】
1;溶接装置、2;レーザセンサ、3;溶接制御装置、4;溶接トーチ、
5;センサヘッド、6;画像処理装置、7;母材、8;開先、9;ワイヤ、
10;レーザ投光装置、11;撮影装置、12;平面反射鏡、
13;ハウジング、14;保護ガラス、15;投光窓、16;撮影窓、
17;ガス導入口、18;ケーブルコネクタ、19;保護プレート、
20;保護カバー、21;出射スリット、22;入射孔、23;逆V溝、
24;スリット、25;ガス排出溝、26;遮蔽板。

Claims (7)

  1. センサヘッドと画像処理装置を有し、
    センサヘッドはレーザ投光装置と撮影装置及び平面反射鏡を有し、レーザ投光装置と撮影装置とはハウジング内に平行に設けられ、平面反射鏡はレーザ投光装置の光軸に対して一定角度傾けて設けられ、
    レーザ投光装置からスリット光を出射し、出射したスリット光を平面反射鏡で一定角度偏向して母材の開先を含む表面に対して一定の入射角で照射し、母材に照射したスリット光の反射光を撮影装置で受光して開先の光切断像を検出し、撮影装置で検出した光切断像の画像信号を画像処理装置で画像処理して開先形状の特徴量を検出することを特徴とする溶接用レーザセンサ。
  2. センサヘッドと画像処理装置を有し、
    センサヘッドはレーザ投光装置と撮影装置及び平面反射鏡を有し、レーザ投光装置と撮影装置とはハウジング内に平行に設けられ、平面反射鏡は撮影装置の光軸に対して一定角度傾けて設けられ、
    レーザ投光装置から母材の開先を含む表面に対して垂直方向からスリット光を照射し、母材に照射したスリット光の反射光を平面反射鏡で一定角度偏向して撮影装置に入射し、撮影装置は入射した反射光により開先の光切断像を検出し、撮影装置で検出した光切断像の画像信号を画像処理装置で画像処理して開先形状の特徴量を検出することを特徴とする溶接用レーザセンサ。
  3. センサヘッドと画像処理装置を有し、
    センサヘッドはレーザ投光装置と撮影装置及び2枚の平面反射鏡を有し、レーザ投光装置と撮影装置とはハウジング内に平行に設けられ、一方の平面反射鏡はレーザ投光装置の光軸に対して一定角度傾けて設けられ、他方の平面反射鏡は撮影装置の光軸に対して一定角度傾けて設けられ、
    レーザ投光装置からスリット光を出射し、出射したスリット光を一方の平面反射鏡で一定角度偏向して母材の開先を含む表面に対して一定の入射角で照射し、母材に照射したスリット光の反射光を他方の平面反射鏡で一定角度偏向して撮影装置に入射し、撮影装置は入射した反射光により開先の光切断像を検出し、撮影装置で検出した光切断像の画像信号を画像処理装置で画像処理して開先形状の特徴量を検出することを特徴とする溶接用レーザセンサ。
  4. 前記平面反射鏡を複数設けた請求項1乃至3のいずれかに記載の溶接用レーザセンサ。
  5. 前記ハウジングのレーザ投光装置からのスリット光を出射する投光窓と母材からの反射光を入射する撮影窓の前面に、スパッタが付着しない材料で形成された保護プレートと、保護プレートを覆う保護カバーを有し、保護カバーには、レーザ投光装置から出射したスリット光を通す出射スリットと母材からの反射光を通す入射孔が設けられ、保護プレート側の保護カバーの中央内部には、出射スリットと入射孔の中心を結んだ中心線に沿った逆V溝が貫通して設けられ、逆V溝の出射スリットと入射孔側には、逆V溝と直交して逆V溝と連通するスリットが設けられ、保護カバーの保護プレート側の投光窓と撮影窓の付近に複数のガス排出溝がハウジングの内部と逆V溝を連通して設けられ、ハウジングに供給した冷却ガスをガス排出溝から逆V溝を通して出射スリットと入射孔から噴出させる請求項1乃至4のいずれかに記載の溶接用レーザセンサ。
  6. 前記ハウジング内に冷却ガス導入口から供給した冷却ガスの流量を周期的に変化させて、冷却ガスにより保護プレート表面を清掃する請求項1乃至5のいずれかに記載の溶接用レーザセンサ。
  7. 前記保護カバーの撮影装置側の先端部には溶接部からのスパッタを防止する遮蔽板を有する請求項5又は6記載の溶接用レーザセンサ。
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