JP2004193548A - 発光ダイオード及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板22と、前記基板22上に形成される第1導電型クラッド層24と、前記第1導電型クラッド層24上に形成される活性化層26と、前記活性化層26上に形成される第2導電型クラッド層28と、前記基板22の下面に形成されるアルミナ(Al2O3)層37と、前記アルミナ(Al2O3)層37の下面に形成されるアルミニウム層(Al)35とを含む発光ダイオードを提供する。他の実施の形態では、前記基板22を除き、第1導電型クラッド層44の下面に直接前記アルミナ層57とアルミニウム層55をガラス層61と共に形成することもできる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は発光ダイオード及びその製造方法に関するもので、とりわけアルミニウム層とアルミナ層から成る反射層を形成することによって優れた光放出効率を呈し、陽極接合(anode bonding)を用いて前記反射層をより容易に形成できる発光ダイオード及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、発光ダイオード(light emission diode)はGaAs、AlGaAs、GaN、InGaN及びAlGaInPなどの化合物から成る半導体素子として、光通信、電子機器分野で様々な形態の光源に幅広く用いられている。かかるLED素子の特性を決定する重要な基準の一つは輝度である。様々な設計変更によりLEDの輝度を改善させようと色々な試みが図られている。
【0003】
例えば、LEDにおいて、電子と正孔との再結合を利用して光を生成する活性(活性化)層(active layer)に1つ以上の発光層を用いることによってLED輝度を改善することができた。かかるLEDは、各層の厚さが100Åより大きければ多重井戸(multiwell:多重油井:MW)LEDと称し、大体100Åより小さければ多重量子井戸(multiple quantum well:多重量子油井:MQW)LEDとする。これに対して、単一活性化層で成るLEDは二重ヘテロ構造(doble heterostructure : DH)LEDまたは単一量子井戸(SQW)LEDと称するが、活性化層の個数及び/または厚さを調節することによって輝度を改善させることが試みられてきた。
【0004】
かかる従来の技術は、活性化層自体で生成される光を極大化する観点から研究されるものである。しかし、このように活性化層自体の構造を変更して生成される光の輝度を向上させようとする方案は、使用材料によって設計が複雑なばかりか、実際工程への適用に大変困難がある。上述した従来の技術と異なって、一定の光量で放出される活性化層の光を効率的に活用できる構造改善案も研究されている。その例として、LED下部に反射層を追加して不要な領域に放出されて消耗されてしまう光を最少化し、所望の方向における輝度を向上させる方法が挙げられる。かかる方法は、LED素子の基板下部にアルミニウム(Al)または銀(Ag)など反射率の高い金属を後面反射層(back reflector layer)として形成することにより具現する。前記具現形態の一例は図6(A)及び6(B)に示してある。
【0005】
先ず、図6(A)によると、発光ダイオード(LED)510は、基板502と、その上に形成されるn型の第1導電型クラッド層504と、前記第1導電型クラッド層504上に形成される活性化層506と、前記活性化層506上に形成されるp型の第2導電型クラッド層508とを含む。通常の構成では第1導電型はn型、第2導電型はp型となり、これは最も一般的なLED構成である為、本明細書全般において好ましい例として用いる。これに対して、第1導電型がp型、第2導電型がn型であるLEDを形成することもできる。その選択によって、LEDはp型基板上に成長されもし、n型基板に成長されもする。また、GaN(窒化ガリウム)化合物半導体物質をクラッド層に用いる場合には、サファイア基板を使用することもできる。
【0006】
図6(A)に示すように、LED510のn型クラッド層504は、p型クラッド層と活性化層が成長されていない上面領域(厳格に言うと、p型クラッド層と活性化層を成長させた後一部除去して露出させた上面領域)にn型オーム接触(接点)(ohmic contact)511が形成され、p型クラッド層508はp型オーム接触(接点)513が形成される。また、前記基板502の下面には反射率の高い金属から成る反射層515が形成される。
【0007】
前記LED510のオーム接触511、513に電圧が印加されると、n型クラッド層504から活性化層506に電子が注入され、p型クラッド層508から前記活性化層506に正孔が注入される。前記活性化層506の領域に注入される電子と正孔は再結合し合って光が生成されるようになる。
【0008】
この際、発散する光の進行方向は図6(B)に概略的に示してある。図6(B)によると、例えば活性化層506の地点(P)で生成される光は使用者の望む発光方向である素子510の上方へ発散する光aと、素子の下方へ発散する光bがほぼ同一量で分散するであろう。
【0009】
図6(B)に示すLED構造510において、素子510の下方に向かう光bは基板2の下面に配置された反射層515に到達し、その反射層515の高反射率により一定量b’は再び上方に向かうようになる。このように反射層515は光が素子510の上部を向くよう活性化層506から発散する光を集中させて不要に消耗される量を最少化する役目を果たす。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図6(A)及び6(B)に説明する反射層のみではLED素子の光放出効率の改善が充分でなく、とりわけ反射層に向かう、またはそれから反射される光は比較的厚いサファイア基板に相当量が光吸収されてしまい、実際の反射層による効率があまり改善されないという問題があった。
【0011】
さらに、かかる反射層はLED素子の製造後、追加的な蒸着工程により形成されるべきなので、全体の工程が複雑になり製造費用も増加する問題ばかりでなく、現在、使用される蒸着設備にはサファイア基板の下面に優れた接着性を有するAl層またはAg層を形成することが大変困難であるという問題も抱えている。従って、当技術分野においては反射層を改善してより効率的にLEDの輝度を増加させるばかりでなく、その製造工程も簡素な新たなLED及びその製造方法が要求されてきた。
【0012】
本発明は前記問題点を解決するためのもので、その目的は、LED素子の下部に形成される反射構造を、相異なる反射率を有するアルミニウム層とアルミナ層で形成することにより反射層の反射特性を向上させる新たな発光ダイオードを提供することにある。
【0013】
本発明の他の目的は、発光ダイオードの基板を除去した後、その除去面に相異なる反射率を有するアルミニウム層とアルミナ層を形成することにより、全体としての反射特性を改善させるばかりでなく、光吸収要因となる基板を除去して全体の輝度を向上させる新たな発光ダイオードを提供することにある。
【0014】
本発明の更に他の目的は、LED素子において反射層が形成される面にアルミニウム膜を酸素雰囲気下で高温加圧することにより相異なる反射率を有するアルミナ層とアルミニウム層から成る反射層を形成して、優れた輝度のLED素子を簡素化した工程により製造できる方法を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
こうした技術的課題を成し遂げるために、本発明は、基板と、前記基板上に形成される第1導電型クラッド層と、前記第1導電型クラッド層上に形成される活性化層と、前記活性化層上に形成される第2導電型クラッド層と、前記基板下面に形成されるアルミナ(Al2O3)層と、前記アルミナ(Al2O3)層の下面に形成されるアルミニウム層とを含む発光ダイオードを提供する。さらに、本発明の他の実施の形態においては、ガラス層と、前記ガラス層上に形成されるアルミニウム層と、前記アルミニウム層上に形成されるアルミナ(Al2O3)層と、前記アルミナ(Al2O3)層上に形成される第1導電型クラッド層と、前記第1導電型クラッド層上に形成される活性化層と、前記活性化層上に形成される第2導電型クラッド層とを含む発光ダイオードを提供する。本発明の発光ダイオードに用いる後面反射構造はアルミニウム層とその上に形成されるアルミナ層を含む。また、好ましい実施の形態においては、アルミニウム層の下部に追加的なアルミナ層などの保護用アルミナ層を形成することもできる。反射層の役目を果たす上部アルミナ層のアルミニウム含量は60%以下であることが好ましい。
【0016】
さらに、本発明は反射特性の優れた反射層を有する発光ダイオードの製造方法も提供する。前記方法は、基板を用意する段階と、前記基板上に第1導電型クラッド層を形成する段階と、前記第1導電型クラッド層上に活性化層を形成する段階と、前記活性化層上に第2導電型クラッド層を形成する段階と、酸素雰囲気下で前記基板の下面にアルミニウム膜を加熱しながら加圧することによって前記基板と隣接する部分のアルミニウム膜がアルミナ(Al2O3)層に形成されるよう前記基板とアルミニウム膜とを接合する段階とを含む。本発明の他の実施の形態による発光ダイオードの製造方法は、基板を用意する段階と、前記基板上に第1導電型クラッド層を形成する段階と、前記第1導電型クラッド層上に活性化層を形成する段階と、前記活性化層上に第2導電型クラッド層を形成する段階と、前記基板を除去して前記第2導電型クラッド層の下面を露出させる段階と、酸素雰囲気下で前記第2導電型クラッド層の下面にアルミニウム膜とガラス層を順次に配置する段階と、前記第2導電型クラッド層と前記アルミニウム膜及びガラス層が接合されるよう加熱しながら圧着させる段階とを含む。本発明による発光ダイオードの製造方法に用いる反射層を形成するための接合段階は、酸素雰囲気下でアルミニウム膜を加熱加圧して接合させることによって、その界面に意図的にアルミナ層を形成することができる。このようにアルミナ層を形成するために、接合時の加熱温度は250〜500℃の範囲が好ましく、基板とアルミニウム膜に与える圧力は少なくとも30gf/cm2が好ましい。とりわけ、より強固な接合が形成されるよう、基板または第1導電型クラッド層に300〜600Vの直流電圧を印加することが好ましい。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面に基づいて本発明の実施の形態をより詳しく説明する。図1は本発明の一実施の形態による発光ダイオードの構造を示す斜視図である。図1によると、本発明の発光ダイオード(LED)30は、基板22と、その上に形成されるn型クラッド層24と、前記n型クラッド層24上に形成される活性化層26と、前記活性化層26上に形成されるp型クラッド層28とで成る。
【0018】
図6(A)に示すLED510のように、前記LED30はn型クラッド層24上に形成されるn型オーム接触(接点)31と、p型クラッド層28に形成されるp型オーム接触(接点)33とを備えることができる。前記第1導電型及び第2導電型クラッド層24、28と活性化層26にはGaN(窒化ガリウム)のような3〜5族半導体物質を用いられ、基板22にはサファイア基板を用いることができる。
【0019】
本発明のLED30構造の特徴は、前記基板22の下面に、反射率の高い金属であるアルミニウム(Al)層35と、前記アルミニウム層35上に形成され純粋アルミニウムよりは反射率の低いアルミナ(Al2O2)層37とを形成することにある。ここで、前記アルミニウム層と前記アルミナ層は1つの反射層のような役目を果たす。
【0020】
通常、銀(Ag)またはアルミニウム(Al)のように反射率の高い金属層のみ用いて反射層を形成するが、実際、その反射率が充分でないという問題がある。こうして本発明者は反射層の反射率を向上させる方法について研究を重ね、その結果、高反射コーティングのための光学アドミタンス(optical admittance)理論を応用して反射率の高い1層を用いる場合より、むしろ相異なる反射率を呈する2層を用いる場合に、より高い反射率が得られることがわかった。こうした原理から具現した新たな後面反射構造が図1に示すアルミナ層37とアルミニウム層35である。
【0021】
このように、本発明に用いる反射構造は比較的高い反射率を呈するアルミニウム層35の上にアルミナ層37を追加形成する構造となる。これは、先に説明したように、通常の反射層である純粋なアルミニウム層の反射率より反射効果が優れているので、LEDの光放出効果を大幅に向上できることが期待される。さらに、前記アルミナ層37は、前記基板22にアルミニウム層35をより強固に接合させるのに役立つ。このようにアルミニウム層35と第1導電型クラッド層24との間により強固な接合を形成するために、前記アルミナ層37はアルミニウム元素の比率が約60%以下であることが好ましい。
【0022】
さらに、図1に示すように、本実施の形態によるLED30は、アルミニウム層35の下面に追加的なアルミナ層39(以下、反射層の役目を果たすアルミナ層37を上部アルミナ層とする場合、このアルミナ層39を下部アルミナ層と称する。)を形成することができる。本実施の形態において、保護用アルミナ層39は後続工程または製品使用過程において化学的または機械的影響から素子を保護する役目を果たす。
【0023】
図1の構造において、素子の下部に、即ちアルミニウム層35または保護用アルミナ層を形成する場合には当該保護用アルミナ層の下端に、基板22のように追加的な支持台の機能を働くガラス層(図示せず)を形成してもよい。
【0024】
図2は本発明の他の実施の形態による発光ダイオード構造を示す斜視図である。図2によると、本発明による発光ダイオード(LED)50は、ガラス層61と、アルミニウム層55と、アルミナ層57と、n型クラッド層44、活性化層46及びp型クラッド層48を含む。さらに、前記LED50はn型クラッド層44上に形成されるn型オーム接触51と、p型クラッド層48に形成されるp型オーム接触53とを備える。前記クラッド層44、48と活性化層26を構成する物質にはGaNのような3〜5族化合物半導体物質を用いることができる。
【0025】
本実施の形態によるLED50は図1に示す形態と異なり、サファイアのような基板を具備していない。従来では、反射層による効果を向上させようとサファイア基板を除去し、素子上部にシリコン層を形成して、そのシリコン層に反射層の役目と同時にLED素子の支持台としての役目を同時に働かせる方法を提供することもできる。しかし、この方法では、実際、反射率がアルミニウム層より小さく比較的高価なシリコン層を追加せねばならないという問題がある。
【0026】
本発明の他の実施の形態においては、こうした問題を克服すべく、基板を除去して上部にシリコン層を形成する代わりに、下部クラッド層のn型クラッド層44の下面に反射層であるアルミナ層57及びアルミニウム層55を直接形成して良質の反射構造を形成する。また、LED素子を支持する役目を果たす基板またはシリコン層の代わりに、先に述べたガラス層61をアルミニウム層55の下面に形成することでより安定した構造とさせる。
【0027】
図2に示すLED50構造は、活性化層46とクラッド層44、48を成す半導体物質の成長過程を完了した後、基板を除去してn型クラッド層44の下面にアルミニウム層55及びアルミナ層57と共にガラス層61を接合させて具現することができる。これについての詳細な説明は後述する。
【0028】
本実施の形態に用いる反射構造物は図1に示す形態と類似で、高反射率を呈すアルミニウム層55と比較的反射率の低いアルミナ層57とを追加して形成する。本発明において、反射層として、アルミニウム層55と共に用いるアルミナ層57のAl元素比率はn型クラッド層44とアルミニウム層55との間により強固な接合を形成するよう60%以下であることが好ましい。さらに、図2には示さないが、本実施の形態によるLED50はアルミニウム層55の下面に図1の37のような追加的なアルミナ層を形成してもよい。この場合には、追加のアルミナ層はガラス層とアルミニウム層との間に形成することができる。
【0029】
さらに、本発明は反射特性の優れた反射層を有する発光ダイオードの製造方法を提供することができる。本発明による発光ダイオードの製造方法は、基板上に第1導電型クラッド層、活性化層及び第2導電型クラッド層を順次に形成し、次いで酸素雰囲気下で前記基板の下面にアルミニウム膜を加熱しながら加圧して、その界面に隣接する部分のアルミニウム膜がアルミナ(Al2O2)層に形成されるよう前記基板とアルミニウム膜とを接合する工程で成る。
【0030】
本発明の方法によると、別途の蒸着設備を用いることなく陽極接合工程を応用してアルミニウム膜(Al foil)で反射層を形成することによって、容易に反射層を形成できるばかりでなく、サファイアなどの基板に接着性の優秀な反射層を形成できる利点が得られる。
【0031】
本発明の陽極接合工程を用いる反射層形成方法は、アルミニウム膜を酸素雰囲気下で加熱・加圧することによりアルミニウム層の表面、とりわけ基板と界面を成すアルミニウム部分が酸素と結合してアルミナ(Al2O2)層に形成されるようにするものである。図3(A)及び3(B)は、本発明の一実施の形態による発光ダイオードの製造方法において、後面反射構造を形成するためのアルミニウム層接合段階を概略的に示す。
【0032】
図3(A)には、本製造方法に用いるチャンバー100が概略的に示してある。前記チャンバーの内部は、酸素雰囲気下で上・下部治具110a、110bを具備して積層構造物を圧着できるよう構成されている。前記チャンバー100の内部の下部治具110a上に、基板122をその下面が上を向くよう配置する。この際、前記基板122の上面には先に説明したように予め第1導電型クラッド層、活性化層及び第2導電型クラッド層から成るLED領域120が形成されている。このように配置した前記基板の上にアルミニウム膜135を配置し、前記基板にアルミニウム膜135が接合されるよう治具110a、110bを用いて加熱しながら加圧する。
【0033】
こうした接合過程では、アルミニウム膜が酸素雰囲気下で加熱圧着されるので、アルミニウム膜の表面では酸素と結合する反応が起こるようになる。その結果、図3(B)に示すように、アルミニウム膜135は両面にアルミナ(Al2O2)層137、139の形成されたアルミニウム層135'に形成される。ここで、基板との界面に隣接するアルミナ層137はアルミニウムに比較して比較的反射率が低い層として、アルミニウム層135'と共に反射構造物を成す。また、外部に露出するよう形成されるアルミナ層139はアルミニウム層135'を保護する保護層の役目を果たす。
【0034】
前記説明したアルミニウム層の接合工程では、反射層の役目を果たすアルミナ層137を適切に形成することが重要である。とりわけ、アルミナ層137はより強固な接合を成すためにアルミニウムの比率を適切な範囲に限定することができる。このために、先ずチャンバー内部は酸素雰囲気に形成しなければならず、接合段階での加圧圧力は約30〜約300gf/cm2であることが好ましい。接合段階で適用される加熱温度範囲は、約400℃ほどのアルミニウムのガラス転移温度(glass transition temperature:Tg)と圧力条件に鑑みて少なくとも約250℃以上とすることが好ましい。但し、アルミニウム層と異なる構造に変形し兼ねないので、約500℃を超えないようにするのが好ましい。
【0035】
図3(A)に示す接合工程では、前記チャンバー100は下部治具110aに電源を連結し、接合時に基板122側に所定の直流電圧を印加できるよう構成することができる。従って、接合過程で基板に所定の直流電圧を印加してアルミニウム膜135のアルミニウムイオンを基板122側に移動させられ、こうしてより強固な接合を形成することができる。さらに、素子の下部にガラス層(図示せず)を形成してもよい。素子の下部にガラス層を追加形成する場合は、図3(A)に示す方法と類似に、基板122とガラス層との間にアルミニウム膜を配置して陽極接合工程を施す。この際、ガラス層だけでも充分な支持層の役目を果たせるので、基板122の一部の厚さを除去してガラス層を用いる接合工程を行うのが素子の小型化に鑑みて好ましい。
【0036】
これと異なって、本発明の発光ダイオードの製造方法は基板を除去してガラス層を用いて製造することもできる。図4はこうした発光ダイオードの製造方法を説明するための工程フロー図である。図4によると、本製造方法は基板を用意する段階210から始まる。次いで、前記基板上に第1導電型クラッド層、活性層(活性化層)、及び第2導電型クラッド層を順次に形成する(段階220)。
【0037】
次に、段階230では、前記第1導電型クラッド層の下面が露出するよう前記基板を除去する。続いて、酸素雰囲気下で前記第1導電型クラッド層の下面にアルミニウム膜とガラス層を順次に配置してから(段階240)、前記第1導電型クラッド層と前記アルミニウム膜及びガラス層が接合するよう加熱しながら圧着させる(段階250)。こうして、図2に示すLEDのように、ガラス層上にアルミニウム層とアルミナ層が形成される後面反射構造を形成することができる。
【0038】
図5(A)及び5(B)は、図4における製造方法に用いる後面反射構造の形成工程を説明するための概略図である。図5(A)に概略的に示すチャンバー300は、図3(A)と類似に、その内部が酸素雰囲気に形成され、上・下部治具310a、310bを具備して積層構造物を圧着できるよう構成されている。前記チャンバー300の下部治具310aに、図4の方法中段階230から得られる基板の除去されたLED素子320を第1導電型クラッド層の下面が上を向くよう配置する。また、前記第1導電型クラッド層の下面にアルミニウム膜335を配置し、前記基板にアルミニウム膜335が接合されるよう治具310a、310bを用いて加熱しながら加圧する。
【0039】
図5(A)のような設備で接合工程を行うと、アルミニウム膜335は酸素雰囲気下で加熱されるので、アルミニウム膜335の表面は酸素と結合して反応を起こす。その結果、図5(B)に示すように、アルミニウム膜335は両面にアルミナ(Al2O3)層337、339の形成されたアルミニウム層335'に形成される。こうして形成されたアルミナ層のうち第1導電型クラッド層と界面を成すアルミナ層337はアルミニウムに対して比較的反射率の低い層として、アルミニウム層335'と共に反射構造を形成するようになる。
【0040】
所望の反射特性を有するアルミナ層337を得るためには、先に説明したように、チャンバー内部を酸素雰囲気に形成しなければならず、接合段階での加圧圧力は約30〜約300gf/cm2であることが好ましい。また、接合段階で適用する加熱温度の範囲は、圧力条件を考慮すると少なくとも約250℃以上が好ましいが、アルミニウム層と異なる構造に変形し兼ねないので、約500℃以下に限定することが好ましい。
【0041】
本発明は上述の実施の形態及び添付の図面により限定されるものではなく、添付の請求の範囲により限定されるものであり、請求の範囲に記載された本発明の技術的思想を外れない範囲内において多様な形態の置換、変形、及び変更が可能なことは当技術分野において通用の知識を有する者にとっては明らかであろう。
【0042】
【発明の効果】
上述したように、本発明は、LED素子の下部に形成される反射構造を相異なる反射率を有するアルミニウム層とアルミナ層に形成することによって、反射層の反射特性を向上させることができる。 さらに、本発明の他の実施の形態では、発光ダイオードの基板を除去した面に相異なる反射率を有するアルミニウム層とアルミナ層を形成して、全体の反射特性を改善させるばかりでなく、光吸収要因となる基板を除去して全体の輝度を向上させることができる。さらに、本発明によるLEDの製造方法においては、LED素子中反射層が形成される面にアルミニウム膜を酸素雰囲気下で高温加圧することによって、アルミニウムである反射層を容易に形成できるばかりでなく、相異なる反射率を有するアルミナ層とアルミニウム層から成る反射構造を同時に形成することができるので、優れた輝度のLED素子を簡素化した工程により製造できる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態による発光ダイオードの構造を示す斜視図である。
【図2】本発明の他の実施の形態による発光ダイオードの構造を示す斜視図である。
【図3】(A)及び(B)は本発明の一実施の形態による発光ダイオードの製造方法中、後面反射構造形成のための接合工程を説明する概略図である。
【図4】本発明の他の実施の形態による発光ダイオードの製造方法を説明するための工程フロー図である。
【図5】(A)及び(B)は本発明の一実施の形態による発光ダイオードの製造方法中、後面反射構造形成のための接合工程を説明するための概略図である。
【図6】(A)及び(B)は従来の発光ダイオードの構造を示す斜視図及び側面図である。
【符号の説明】
22 基板
24、44 第1導電型クラッド層
26、46 活性層(活性化層)
28、48 第2導電型クラッド層
35、55 アルミニウム層
37、57 反射用アルミナ層
39 保護用アルミナ層
61 ガラス層
Claims (19)
- 基板と、
前記基板上に形成される第1導電型クラッド層と、
前記第1導電型クラッド層上に形成される活性化層と、
前記活性化層上に形成される第2導電型クラッド層と、
前記基板の下面に形成されるアルミナ(Al2O3)層と、
前記アルミナ(Al2O3)層の下面に形成されるアルミニウム層と、
を有することを特徴とする発光ダイオード。 - 前記アルミニウム層の下面に形成されるガラス層をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
- 前記アルミニウム層の下面または前記アルミニウム層と前記ガラス層との間に形成されるアルミナ層をさらに有することを特徴とする請求項1または2に記載の発光ダイオード。
- 前記第1導電型及び第2導電型クラッド層を形成する物質はGaN化合物半導体物質で、前記基板はサファイア基板であることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
- ガラス層と、
前記ガラス層上に形成されるアルミニウム層と、
前記アルミニウム層上に形成されるアルミナ(Al2O3)層と、
前記アルミナ(Al2O3)層上に形成される第1導電型クラッド層と、
前記第1導電型クラッド層上に形成される活性化層と、
前記活性化層上に形成される第2導電型クラッド層と、
を有することを特徴とする発光ダイオード。 - 前記アルミニウム層と前記ガラス層との間に形成されるアルミナ層をさらに有することを特徴とする請求項5に記載の発光ダイオード。
- 前記第1導電型及び第2導電型クラッド層を形成する物質はGaN化合物半導体物質で、前記基板はサファイア基板であることを特徴とする請求項5に記載の発光ダイオード。
- 基板を用意する段階と、
前記基板上に第1導電型クラッド層を形成する段階と、
前記第1導電型クラッド層上に活性化層を形成する段階と、
前記活性化層上に第2導電型クラッド層を形成する段階と、
酸素雰囲気下で前記基板の下面にアルミニウム膜を加熱しながら加圧することによって、前記基板の界面にアルミナ(Al2O3)層が形成されるよう前記基板とアルミニウム膜とを接合する段階と、
を有することを特徴とする発光ダイオードの製造方法。 - 前記接合段階で適用する加熱温度範囲は250〜500℃であることを特徴とする請求項8に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記接合段階で基板とアルミニウム膜に適用する圧力は少なくとも30gf/cm2であることを特徴とする請求項8に発光ダイオードの製造方法。
- 前記接合段階は基板側に300〜600Vの直流電圧を印加することを特徴とする請求項8に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記接合段階は前記アルミニウム層の下面にガラス層を接合することを特徴とする請求項8に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記接合段階で前記アルミニウム膜の下部にアルミナ層をさらに形成することを特徴とする請求項8に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記第1導電型及び第2導電型クラッド層を形成する物質はGaN化合物半導体物質で、前記基板はサファイア基板であることを特徴とする請求項8に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 基板を用意する段階と、
前記基板上に第1導電型クラッド層を形成する段階と、
前記第1導電型クラッド層上に活性化層を形成する段階と、
前記活性化層上に第2導電型クラッド層を形成する段階と、
前記基板を除去して前記第1導電型クラッド層の下面を露出させる段階と、
酸素雰囲気下で前記第1導電型クラッド層の下面にアルミニウム膜とガラス層を順次に配置する段階と、
前記第1導電型クラッド層と前記アルミニウム膜及び前記アルミニウム膜と前記ガラス層が接合するよう加熱しながら圧着させる段階と、
を有することを特徴とする発光ダイオードの製造方法。 - 前記接合段階で適用する加熱温度範囲は250〜500℃であることを特徴とする請求項15に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記接合段階で基板とアルミニウム膜に適用する圧力は少なくとも30gf/cm2であることを特徴とする請求項15に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記接合段階で前記ガラス層と隣接するアルミニウム層の下部にアルミナ層をさらに形成することを特徴とする請求項15に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記第1導電型及び第2導電型クラッド層を形成する物質はGaN化合物半導体物質で、前記基板はサファイア基板であることを特徴とする請求項15に記載の発光ダイオードの製造方法。
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