JP2004190614A - 合流装置における液体の圧送方法および合流装置 - Google Patents
合流装置における液体の圧送方法および合流装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】少なくとも2つの流路21,22から圧送される液体を1つの流路26に合流させて送るように構成される合流装置における液体の圧送方法であって、少なくとも2つの流路21,22のうちの少なくとも1つの流路からは、液体の圧送を間歇的に行うともに、当該液体の圧送を行っていない間において、当該液体に微小な圧力を加えて他の液体からの逆流を防止する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ流路において微小量の液体を合流させる合流装置および合流装置における液体の圧送方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年において、マイクロマシン技術を応用し、化学分析や化学合成などのための機器や手法を微細化して行うμ−TAS(Micro Total Analysis System)が注目されている。微細化されたμ−TASによると、従来の装置と比べて試料の必要量が少ない、反応時間が短い、廃棄物が少ない、などのメリットがある。また、医療分野に使用した場合には、血液など検体の量を少なくすることで患者の負担を軽減でき、また、試薬の量を少なくすることで検査のコストを下げることができる。さらに、検体および試薬の量が少ないことから、反応時間が大幅に短縮され検査の効率化が図れる。そして携帯性にも優れるため、医療分野、環境分析など、広い範囲でその応用が期待されている。
【0003】
そこで、本出願人において、サイズが小さいことによるμ−TAS特徴の1つであるマイクロスケールサイズ効果に着目して種々の研究を行った。微小な流路の世界においては、寸法や流速が非常に小さくレイノルズ数が200以下となるため、従来の反応装置のような乱流支配ではなく、層流支配となる。マイクロスケールの空間では、比界面積が大きいため、層流が接触する界面での拡散混合に有利である。混合に要する時間は、2液の接する界面の断面積と液層の厚さに依存する。つまり、拡散理論にしたがうと、混合に要する時間Tは、流路幅をW、拡散係数をDとすると、W2 /Dに比例する。したがって、流路幅を小さくすればするほど、混合( 拡散) 時間は速くなる。また、拡散係数Dは次式で与えられる。
【0004】
D=κb×T/6×π×μ×r
但し、T:液温、μ:粘度、r:粒子半径、κb:ボルツマン定数
つまり、マイクロスケール空間では、機械的攪拌などを用いなくても、分子輸送、反応、分離が、分子や粒子の自発的挙動だけで速やかに行われる。
【0005】
また、従来において、流路を立体的に交差させることによって混合の効率化を図ったもの(特許第3119877号)、基本的には流路幅方向の拡散を用いて流路が合流することで混合するもの(特表2002−503336)などが提案されている。
【0006】
【特許文献】
特許第3119877号
特表2002−503336
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来において流路幅方向に拡散させるタイプの研究が発表されているが、流略幅が100μm程度のものが主流である。しかしながら、用途によっては、100μmレベルの流路幅で自発的拡散による混合を行った場合、時間がかかりすぎるという問題がある。例えば粒子径が大きい場合などである。また、液体が出合った瞬間に反応が始まってしまう場合には、十分な混合が行われる前に反応が進んでしまって期待どおりの結果が得られない。混合部から検出部までの距離が短い場合などは極めて短時間に混合を終了させなければならない。そこで、混合時間を短くするために流路幅を狭くする方法が考えられるが、流路抵抗が高くなり送液の制御が困難になる。
【0008】
そこで、混合時間を短縮することを考える際には、それと同時に、正確な送液量または混合比などが得られるように制御を行うことを考える必要がある。
本発明は、例えば混合のために2つの流路から圧送される液体を1つの流路に合流させて送る際に、正確な送液量または混合比などが得られるようにすることである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る方法は、少なくとも2つの流路から圧送される液体を1つの流路に合流させて送るように構成される合流装置における液体の圧送方法であって、前記少なくとも2つの流路のうちの少なくとも1つの流路からは、液体の圧送を間歇的に行うともに、当該液体の圧送を行っていない間において、当該液体に微小な圧力を加えて他の液体からの逆流を防止する。
【0010】
本発明に係る装置は、少なくとも1つのポンプを間歇的に駆動して当該流路からの液体の圧送を間歇的に行うための手段と、当該ポンプの駆動を行っていない間において、他の液体からの逆流を防止するために当該液体に微小な圧力を発生させるために当該ポンプを微作動させる手段とを有してなる。
【0011】
好ましくは、前記ポンプは、チャンバーと前記チャンバーに接続された少なくとも2つの絞り流路と前記チャンバーの容積を増減するアクチュエータとを有し、前記チャンバーの圧力を上昇または下降させたときの前記2つの絞り流路の流路抵抗の変化割合が互いに異なっており、前記チャンバーの容積が増えるときと減るときでその変化割合の大きさを異ならせることにより前記絞り流路の流路抵抗の比を変化させて送液を行うように構成されており、前記ポンプを間欠的に駆動する手段および前記ポンプを微作動させる手段は、前記アクチュエータに印加する電圧の大きさまたはタイミングを調整することにより制御を行うように構成される。
【0012】
また、前記ポンプを間欠的に駆動する手段による駆動と前記ポンプを微作動させる手段による微作動との間に、前記ポンプを停止させる停止期間を設ける。
また、少なくとも2つの前記ポンプを交互に間歇的に駆動し、それぞれの流路から交互に間歇的に圧送される液体を前記1つの流路において流れ方向に沿って交互に層状となるように合流させる。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の合流装置の第1の実施形態であるマイクロ流体システム1の構成を模式的に示す平面図、図2は図1に示すマイクロポンプ3の正面断面図、図3はマイクロポンプ3の製造工程の例を示す図、図4はマイクロポンプ3の開口部の流路抵抗特性の例を示す図、図5および図6は圧電素子の駆動電圧の波形の例を示す図である。
【0014】
図1において、マイクロ流体システム1は、シリコン基板31上にマイクロチップとして構成されており、2つのマイクロポンプMP1,MP2によって圧送される2種類の液体LA,LBを流路25の入口で合流させ、ポート(液体出口)27から送り出すように構成されている。
【0015】
すなわち、マイクロ流体システム1は、ポート(液体入口)11,12、流路13,14、開口部15,16、チャンバー17,18、開口部19,20、流路21,22、狭幅流路23,24,25、流路26、ポート27を有する。
【0016】
ポート11,12には、適当な他の流路またはリザーバからそれぞれ異なる液体が供給される。それぞれの液体は、流路13,14を通り、マイクロポンプMP1,MP2によって流路21,22に、さらにそれよりも幅の狭い狭幅流路23,24に、それぞれ圧送される。3つの狭幅流路23,24,25は、Y字状の合流路を形成しており、狭幅流路23,24に圧送された2つの液体は、狭幅流路25の入口の合流点GTで合流し、流路26を通ってポート27から適当な他の流路またはリザーバに送り出される。
【0017】
さて、ポンプ室であるチャンバー17およびそれぞれ開口部15、19を介してチャンバー17に接続された流路13,21によって第1のマイクロポンプMP1が、チャンバー18およびそれぞれ開口部16、20を介してチャンバー18に接続された流路14,22によって第2のマイクロポンプMP2が、それぞれ構成されている。
【0018】
これら2つのマイクロポンプMP1,MP2は、その動作原理および構造が同一であるので、一方のみについて説明する。
図2を参照して、マイクロポンプMP1は、シリコン基板31を用い、フォトリソグラフィー工程によって、チャンバー17、開口部15,19、および流路13,21などを構成するための溝または窪みを形成し、その下または上に底板または天板となるガラス基板32を接合することによって製作される。
【0019】
例えば、図3(a)に示すように、シリコン基板310を用意する。シリコン基板310として、例えば、厚さ200μmのシリコンウエハーを用いる。次に、図3(b)に示すように、シリコン基板310の上下面に酸化膜311,312を形成する。これらの酸化膜311,312は、例えば、それぞれの厚さが1.7μmとなるように熱酸化により成膜する。次に、上面にレジストを塗布し、所定のマスクパターンを露光し、現像し、酸化膜311をエッチングする。そして、上面のレジストを剥離した後、再びレジストを塗布し、露光、現像、エッチングを行う。これにより、図3(c)に示すように、酸化膜311を完全に除去した部分311aと、厚さ方向に途中まで除去した部分311bとを形成する。レジスト塗布には、例えば、OFPR800などのレジストを用いてスピンコーターで回転塗布する。レジスト膜の厚さは例えば1μmとする、露光はアライナーにより行い、現像はデベロッパーにより行う。酸化膜のエッチングには、例えばRIEを用いる。レジストの剥離には、剥離液、例えば硫酸過水を用いる。
【0020】
次に、上面についてシリコンエッチングを途中まで行った後に、酸化膜311をエッチングにより完全に除去し、再びシリコンエッチングを行い、図3(d)(e)に示すように、シリコン基板310を深さ170μmだけエッチングした部分311cと、深さ25μmだけエッチングした部分311dとを形成する。シリコンエッチングには、例えば、ICP(高周波誘導結合型プラズマ:Inductively Coup1ed P1asma)を用いる。
【0021】
そして、図3(e)に示すように、例えばBHFを用いて上面の酸化膜311を完全に除去する。次に、図3(f)に示すように、シリコン基板310の下面に、ITO膜のような電極膜313を成膜する。そして、図3(g)に示すように、シリコン基板310の上面にガラス板32を貼り付ける。例えば、1200V、400°Cで、陽極接合する。最後に、図3(h)に示すように、チャンバー17の振動板(ダイヤフラム)の部分に、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)セラミックスなどの圧電素子34を接着して貼り付ける。
【0022】
なお、図3(h)において、図2に対応する部分の符号を括弧で示した。図2においては、開口部15,19は、流路13,21に対して、溝の幅(紙面に対して垂直方向)を狭くすることによって開口部15,19として形成されているが、図3(h)においては、開口部15,19は、流路13,21に対して、溝の深さ(紙面の上下方向)を浅くすることによって開口部15,19として形成されている。また、図2と図3(h)とでは上下関係が逆である。
【0023】
マイクロポンプMP1はこのようにして製作することが可能であるが、従来から公知の方法、その他の方法またはその他の材料を用いて製作することも可能である。
【0024】
駆動回路36によって、圧電素子34に図5(A)または図6(A)に示す波形の電圧を印加することにより、シリコン薄膜であるダイヤフラム31fと圧電素子34とがユニモルフモードの屈曲変形を行うことを利用して、チャンバー17の容積を増減させる。
【0025】
なお、寸法の例を挙げると、図1において、流路13、21、26は、例えば幅150μm、深さ170μmである。狭幅流路23,24,25は、例えば幅30μm、深さ170μm、長さ500μmである。また、マイクロチップの外形寸法は約20mm×40mm×0.5mmである。これらの寸法および形状は一例であり、他の種々の寸法および形状を採用することができる。
【0026】
さて、開口部15,19の有効断面積は、流路13,21の有効断面積よりも小さい。そして、開口部19は、チャンバー17内の圧力を上昇または下降させたときの流路抵抗の変化割合が、開口部15のそれよりも小さく設定されている。
【0027】
すなわち、図4に示すように、開口部15は、その両端の差圧が零に近いときは流路抵抗が低いが、差圧が大きくなると流路抵抗が大きくなる。つまり圧力依存性が大きい。開口部19は、差圧が零に近いときの流路抵抗は開口部15の場合よりも大きいが、圧力依存性がほとんどなく、差圧が大きくなっても流路抵抗は余り変化せず、差圧が大きい場合には流路抵抗が開口部15よりも小さくなる。
【0028】
このような流路抵抗特性は、流路を流れる液体が、差圧の大きさに応じて層流または乱流のいずれかとなるようにするか、または差圧にかかわりなく常に層流となるようにするか、によって得ることが可能である。具体的には、例えば、前者は開口部15を流路長の短いオリフィスとし、後者は開口部19を流路長の長いノズルとすることによって実現することが可能である。
【0029】
開口部15、19のこのような流路抵抗特性を利用して、チャンバー17に圧力を発生させるとともに、その圧力の変化の割合を制御することによって、吐出工程および吸入工程のそれぞれにおいて開口部15,19のうち流路抵抗の低い方により多くの流体を吐出または吸入するようなポンプ作用を実現することができる。
【0030】
つまり、チャンバー17の圧力を上昇させるとともに、その変化の割合を大きくすれば、差圧が大きくなって開口部15の流路抵抗が開口部19の流路抵抗よりも大きくなり、チャンバー17内の流体のほとんどは開口部19から吐出する(吐出工程)。そして、チャンバー17の圧力を下降させるとともに、その変化の割合を小さくすれば、差圧が小さく維持されて開口部15の流路抵抗の方が開口部19の流路抵抗よりも小さくなり、開口部15からチャンバー17内により多くの流体が流入する(吸入工程)。
【0031】
これとは逆に、チャンバー17の圧力を上昇させるとともに、その変化の割合を小さくしておけば、差圧が小さく維持されて開口部15の流路抵抗の方が開口部19の流路抵抗よりも小さくなり、チャンバー17内の流体は開口部15からより多く吐出する(吐出工程)。そして、チャンバー17の圧力を下降させるとともに、その変化の割合を大きくすれば、差圧が大きくなって開口部15の流路抵抗の方が開口部19の流路抵抗よりも大きくなり、開口部19からチャンバー17内により多くの流体が流入する(吸入工程)。
【0032】
このようなチャンバー17の圧力制御は、圧電素子34に供給する駆動電圧を制御し、ダイヤフラムの変形の量およびタイミングを制御することによって実現される。例えば、圧電素子34に図5(A)に示す波形の駆動電圧を印加することによって流路21の側に吐出し、図6(A)に示す波形の駆動電圧を印加することによって流路13の側に吐出する。
【0033】
図5および図6において、圧電素子34に印加する最大電圧e1 は、数ボルトから数十ボルト程度、最大で100ボルト程度である。また、時間T1,T7は20μs程度、時間T2,T6は0〜数μs程度、時間T3,T5は60μs程度である。時間T4,T8は0であってもよい。駆動電圧の周波数は11KHz程度である。図5(A)および図6(A)に示す駆動電圧によって、流路21には、例えば図5(B)および図6(B)に示すような流量が得られる。なお、図5(B)および図6(B)における流量曲線は、ポンプ動作によって得られる流量を模式的に示したもので、実際には流体の慣性振動が重畳する。したがって、これら図に示された流量曲線に振動成分が重畳された曲線が実際に得られる流量を示すこととなる。
【0034】
なお、本実施形態の開口部15,19は、それぞれ単一の開口部によって構成したが、それに代えて複数の開口部を並列に配置した開口部群を用いてもよい。これによって圧力依存性をさらに低下させることができるので、特に開口部19の代わりに用いると流量が増加し流量効率が向上する。
【0035】
次に、マイクロ流体システム1における液体の合流および混合の様子およびそのときの圧電素子34の駆動方法について説明する。
図7は第1の実施形態における駆動電圧の波形の例を示す図、図8は駆動電圧の波形の他の例を示す図、図9は第1の実施形態における液体の流れの様子を示す図、図10は他方のマイクロポンプを微作動させない場合の駆動電圧の波形を示す図、図11は図10による駆動を行った場合の液体の流れの様子を示す図、図12は第1の実施形態における駆動電圧の波形と流量との関係を示す図、図13は他方のマイクロポンプを微作動させない場合の駆動電圧の波形と流量との関係を示す図、図14および図15は切り替え周波数を高くした場合の液体の流れの様子を示す図、図16は駆動回路36の構成の例を示すブロック図である。
【0036】
上に述べたように、2種類の液体LA,LBを、2つのマイクロポンプMP1,MP2によって、それぞれ狭幅流路23,24に送り込み、合流点GTで合流させる。そのときに、2種類の液体LA,LBを連続的に合流点GTに送り込むのではなく、交互に間欠的に送り込む。
【0037】
すなわち、一方のマイクロポンプMP1を駆動して液体LAを圧送している間は他方のマイクロポンプMP2を駆動せず、他方のマイクロポンプMP2を駆動して液体LBを圧送している間は一方のマイクロポンプMP1を駆動しない。その結果、2種類の液体LA,LBは、合流点GTに交互に間欠的に送り込まれる。
【0038】
このとき、図10に示すように、一方のマイクロポンプMP1を駆動して液体LAを圧送しているときに他方のマイクロポンプMP2を全く駆動せずに停止させた場合には、図11に示すように、合流点GTからその下流の狭幅流路25に送液される一方、駆動していない側の狭幅流路24にも液体LAが入り込み、液体LBは逆流する。逆流の量は送液量の約2〜3割程度に達することがある。
【0039】
したがって、このような方法で混合した場合には、逆流した液体LAと次に送液される液体LBの混合液が合流点GTに送液され、しかも、混合液の2〜3割がまた他方の液体LAの側に逆流し、正確な混合比を得るのが困難となる。
【0040】
そこで、第1の実施形態では、図7に示すように、送液しない側のマイクロポンプMPにも微小な駆動電圧(駆動パルス)を印加して微作動させる。
つまり、図7に示すように、一方のマイクロポンプMP1を駆動して液体LAを圧送している間は他方のマイクロポンプMP2に微小な駆動電圧をバイアスとして印加し、他方のマイクロポンプMP2を駆動して液体LBを圧送している間は一方のマイクロポンプMP1に微小な駆動電圧をバイアスとして印加する。
【0041】
このように制御を行うと、図9に示すように、マイクロポンプMPの駆動によって圧送された液体が逆流しようとする圧力と、送液しない側の液体の圧力とが釣り合い、その結果、液体は逆流することなく、圧送された液体の全部が下流側の狭幅流路25に送られることとなる。
【0042】
したがって、所期の目標通りの液体の混合比を正確に得ることができる。しかも、液体の逆流がなく、全部の液体が下流側の狭幅流路25に送られるので、全体としての流量の増加が図られ、流量効率が向上する。
【0043】
具体的には、例えば、2つの液体LA,LBがいずれも粘度1cpsの場合、圧送のために駆動電圧を50V印加するのに対して、微作動させる側には微小な駆動電圧として20V印加する。
【0044】
図12および図13には、微小な駆動電圧を印加した場合としない場合とにおいて、合流点GTにおける液体LBの流量および総流量の変化の様子がシミュレーションによって示されている。
【0045】
図12においては、微小な駆動電圧が印加されているので、圧送していない間における逆流はなく、その結果、10msの間の総流量は約1.1nlに達しているが、図13においては、微小な駆動電圧が印加されていないので、圧送していない間における逆流があり、その結果、10msの間の総流量は約0.9nlに止まっている。なお、これらの図の例では、切り替えの周波数が500Hzである。
【0046】
なお、駆動電圧の周波数は上に述べたように11KHz程度であるが、交互に間欠的に駆動するように切り替えるタイミングは種々選択することができる。例えば、それぞれのマイクロポンプMPの駆動のオンオフの切り替え周波数を50Hzとし且つデューティ比が1対1となるように、つまり2つのマイクロポンプMPの駆動を10msごとに切り替える場合には、それぞれのマイクロポンプMPの圧電素子34に対して1回当たり110パルスのパルス群からなる駆動電圧が交互に印加されることとなる。この場合には、各マイクロポンプMP1,MP2によって、各液体LA,LBが約2.2nl(ナノリッター)ずつ交互に合流点GTに送液される。
【0047】
また、バイアスである微小な駆動電圧をどの程度とするかは、ポンプの種類、液体の種類、液体の粘度、温度、流路の幅、液体の長さなどによる負荷の大きさなどによって異なる。したがって、例えば、これら種々の条件において実際に送液を行い、実験により決定しておけばよい。
【0048】
また、デューティ比を変えることにより、種々の混合比が得られる。例えば、デューティ比が1対1の場合は混合比がl対1であるが、図8に示すようにデューティ比が1対2の場合は、混合比がl対2となる。また、図示はしないが、デューティ比が1対10の場合は混合比がl対10となる。
【0049】
合流点GTに交互に送られた2つの液体LA,LBは、狭幅流路25において、流れ方向に沿って交互に層状に形成される。さらに流路26に到ると、流路幅が広がるので、各層の厚さが小さくなる。例えば層の厚さが1μm程度となる。そこで自発的拡散が起こって混合される。例えば、幅が100μmの流路の場合、従来のような流路幅方向の拡散混合を行えば拡散距離は50μmであるが、本実施形態の場合では拡散距離は層の厚さの2分の1である0.5μmとなり、拡散時間は従来に比べて1万分の1となる。加えて、流路が急に広がるため拡散による乱流の効果も得られ、混合が一層進む。
【0050】
このように、本実施形態によると、混合が短時間で急速に行われる。また、狭幅流路23,24,25の部分が短くてよいので、流路抵抗の上昇による送液制御が難しくなることがなく、制御性が損なわれない。
【0051】
上に述べたように、マイクロポンプMPの駆動のオンオフの切り替え周波数を50Hz程度またはそれ以下とした場合には、1回当たりの送液によって狭幅流路25の幅の約2〜5倍の長さの層が形成され、安定した混合を行うことができる。
【0052】
ところで、マイクロポンプMPの駆動の切り替え周波数を早くした場合、例えば1KHzとした場合には、図14に示すように、一方の液体LAが流路に十分に充填される前に他方の液体LBが送られてくる。その結果、図15に示すように、流路25の流れ方向に液体の層が形成されず、流路25の幅方向に2つの液体LA,LBが分かれてしまうことになる。この場合には、混合に時間がかかってしまうこととなる。
【0053】
また、2つの液体LA,LBの混合比を変えるのに、上に述べたようにデューティ比を変化させるのではなく、各マイクロポンプMP1,MP2の圧電素子34に供給する駆動電圧の電圧比を制御してもよい。その場合には、送液しない側のマイクロポンプMPの圧電素子34に印加する駆動電圧(微小な駆動電圧)は、駆動している側のマイクロポンプMPの圧電素子34の駆動電圧に応じて設定する必要がある。デューティ比や駆動電圧の電圧比を時間とともに徐々に変化させることにより、流路の流れ方向に沿って混合比を変化させることができる。このような制御によって、例えば、濃度勾配またはPH勾配などを設けることができる。
【0054】
図16に示すように、駆動回路36は、例えば、波形発生部361、バイアス波形生成部362,363、停止波形生成部364,365、切替えタイミング発生部366、バイアス電圧設定部367、および停止タイミング発生部368などからなる。
【0055】
波形発生部361によって基本的な波形が生成される。バイアス波形生成部362,363において、切替えタイミング発生部366からのタイミング信号に基づいて、所定の期間が微小な駆動電圧となるようにバイアス波形が生成される。バイアス波形の電圧値は、バイアス電圧設定部367からの設定信号に基づいて設定される。停止波形生成部364,365において、停止タイミング発生部368からのタイミング信号に基づいて、後に述べる所定の停止期間Tsだけ電圧値が零となるように停止波形が生成される。
【0056】
停止波形生成部364,365からは、例えば図17に示すような駆動電圧波形が出力され、これが各圧電素子34に印加される。
なお、駆動回路36の各部は、クロック信号により同期がとられている。駆動回路36の構成の一部を、適当なプログラムをCPUが実行することによって実現してもよい。また、構成の内容は種々変更することができる。
【0057】
次に、マイクロ流体システム1における圧電素子34の駆動方法の他の実施形態について説明する。
図17は停止時間を設けた場合の駆動電圧の波形を示す図である。
【0058】
図17に示すように、各マイクロポンプMPの圧電素子34にそれぞれ交互に駆動電圧を印加し、駆動電圧を印加しない間は微小な駆動電圧を印加するのであるが、駆動電圧を印加と微小な駆動電圧の印加との間に、全く電圧を印加しない停止期間Tsを設ける。これによって、各マイクロポンプMPの駆動と微作動との間に停止期間を設ける。停止期間は、例えば1パルス分、またはそれ以上とする。これは、例えば、100μs程度、またはそれ以上の時間である。停止期間は、1パルス分、2パルス分、3パルス分などとすると制御が容易である。
【0059】
このように、停止期間を設けることにより、駆動電圧を切り替えた際の液体の流れの慣性力を抑えることができ、より正確な制御が可能となる。
なお、駆動電圧の後と、微小な駆動電圧の後とにおいて、停止期間の長さを異ならせてもよい。また、いずれか一方のみ、例えば微小な駆動電圧の後の停止期間をなくしてもよい。
【0060】
次に、第2の実施形態のマイクロ流体システム1Bについて説明する。
図18は第2の実施形態のマイクロ流体システム1Bの構成を模式的に示す平面図、図19は図18に示すマイクロ流体システム1Bにおける駆動電圧の波形の例を示す図である。
【0061】
なお、第2の実施形態のマイクロ流体システム1Bについては、基本的には第1の実施形態のマイクロ流体システム1と同様であるので、それとの相違点のみについて説明する。
【0062】
図18に示すように、マイクロ流体システム1Bでは、3種類の液体LA,LB,LCを3つのマイクロポンプMP1,MP2,MP3によって圧送し、それらを合流点GTにおいて合流させて混合する。
【0063】
図19に示すように、1つのマイクロポンプMP1を駆動して液体LAを圧送している間は他の2つのマイクロポンプMP2,MP3には微小な駆動電圧を印加する。同様に、それぞれのマイクロポンプMP2,MP3を駆動して液体LBまたはLCを圧送している間は他の2つのマイクロポンプMP1,MP3またはMP1,MP2に微小な駆動電圧を印加する。
【0064】
このように各マイクロポンプMPを順に切り替えていくことによって、3つの液体をすばやく混合させることができる。マイクロポンプを4つ以上用いて4種類以上の液体を混合することもできる。
【0065】
上に述べた実施形態においては、マイクロ流体システム1,1Bを1つのマイクロチップ上に構成したが、各部ごとに異なるマイクロチップとし、またはマイクロチップ以外の構造体とし、それらを互いに連結するようにしてもよい。
【0066】
例えば、図20に示すように、マイクロポンプMPを設けたポンプチップCPと、混合用の流路を設けた流路チップCRとを接続することによってマイクロ流体システム1Cを構成してもよい。この例では、流路チップCRの下面の所定の位置にポンプチップCPを貼り合わせて構成される。ポンプチップCPの液体入口および液体出口は、流路チップCRの液体供給口および混合用液体入口と一致するように設けられている。
【0067】
また、ポンプチップCPおよび流路チップCRは、PMMA、PC、POM、ガラス、シリコンなど、種々の材料で作製することができる。
上に述べた実施形態においては、圧電素子34に略三角波形の駆動電圧を印加したが、これ以外の種々の波形の駆動電圧を用いることも可能である。
【0068】
また、アクチュエータである圧電素子34の変形は、ユニモルフ屈曲変形である必然性はなく、例えば、縦振動、横振動、ずり変形振動などであってもよい。また、アクチュエータとして、圧電素子34に限らず、例えば、静電アクチュエータ、電磁アクチュエータ、または形状記憶合金など、チャンバーの容積を増減させ得るものであればよい。また、アクチュエータは、マイクロポンプに一体化されたものではなく、別体として切り離し可能なものであってもよい。
【0069】
上に述べた実施形態では、圧送手段としてバルブレスのマイクロポンプMPを用いたが、バルブ付きのマイクロポンプMP、または他の方式のポンプを用いてもよい。
【0070】
上に述べた種々の実施形態および変形例において、マイクロ流体システム1,1B,1Cの平面形状として、正方形、長方形、多角形、円形、楕円形、その他の種々の形状とすることが可能である。その他、マイクロ流体システムの全体または各部の構造、形状、寸法、個数、材質などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更することができる。
【0071】
本発明に係るマイクロ流体システムは、環境、食品、生化学、免疫学、血液学、遺伝子分析、合成、創薬など、さまざまな分野で用いることができる。
【0072】
【発明の効果】
本発明によると、混合などのために2つの流路から圧送される液体を1つの流路に合流させて送る際に、正確な送液量または混合比などを得ることができる。
【0073】
請求項5の発明によると、混合時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る第1の実施形態であるマイクロ流体システムの構成を模式的に示す平面図である。
【図2】図1に示すマイクロポンプの正面断面図である。
【図3】マイクロポンプの製造工程の例を示す図である。
【図4】マイクロポンプの開口部の流路抵抗特性の例を示す図である。
【図5】圧電素子の駆動電圧の波形の例を示す図である。
【図6】圧電素子の駆動電圧の波形の例を示す図である。
【図7】第1の実施形態における駆動電圧の波形の例を示す図である。
【図8】駆動電圧の波形の他の例を示す図である。
【図9】第1の実施形態における液体の流れの様子を示す図である。
【図10】他方のマイクロポンプを微作動させない場合の駆動電圧の波形を示す図である。
【図11】図10による駆動を行った場合の液体の流れの様子を示す図である。
【図12】第1の実施形態における駆動電圧の波形と流量との関係を示す図である。
【図13】他方のマイクロポンプを微作動させない場合の駆動電圧の波形と流量との関係を示す図である。
【図14】切り替え周波数を高くした場合の液体の流れの様子を示す図である。
【図15】切り替え周波数を高くした場合の液体の流れの様子を示す図である。
【図16】駆動回路の構成の例を示すブロック図である。
【図17】停止時間を設けた場合の駆動電圧の波形を示す図である。
【図18】第2の実施形態のマイクロ流体システムの構成を模式的に示す平面図である。
【図19】図18に示すマイクロ流体システムにおける駆動電圧の波形の例を示す図である。
【図20】マイクロ流体システムを複数のマイクロチップにより構成した例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1,1B,1C マイクロ流体システム(合流装置)
15,19,16,20 開口部(絞り流路)
17,18 チャンバー
23,24,25 狭幅流路(流路)
21,22,26 流路
34 圧電素子(アクチュエータ)
36 駆動回路
362,363 バイアス波形生成部(圧送を間歇的に行うための手段、ポンプを微作動させる手段)
364,365 停止波形生成部
366 切替えタイミング発生部(圧送を間歇的に行うための手段、ポンプを微作動させる手段)
367 バイアス電圧設定部(ポンプを微作動させる手段)
368 停止タイミング発生部
MP1,MP2,MP3 マイクロポンプ(ポンプ)
Claims (5)
- 少なくとも2つの流路から圧送される液体を1つの流路に合流させて送るように構成される合流装置における液体の圧送方法であって、
前記少なくとも2つの流路のうちの少なくとも1つの流路からは、液体の圧送を間歇的に行うともに、
当該液体の圧送を行っていない間において、当該液体に微小な圧力を加えて他の液体からの逆流を防止する、
ことを特徴とする合流装置における液体の圧送方法。 - 少なくとも2つの流路からそれぞれポンプにより圧送される液体を1つの流路に合流させて送るように構成される合流装置であって、
少なくとも1つの前記ポンプを間歇的に駆動して当該流路からの液体の圧送を間歇的に行うための手段と、
当該ポンプの駆動を行っていない間において、他の液体からの逆流を防止するために当該液体に微小な圧力を発生させるために当該ポンプを微作動させる手段と、
を有してなることを特徴とする合流装置。 - 前記ポンプは、
チャンバーと前記チャンバーに接続された少なくとも2つの絞り流路と前記チャンバーの容積を増減するアクチュエータとを有し、前記チャンバーの圧力を上昇または下降させたときの前記2つの絞り流路の流路抵抗の変化割合が互いに異なっており、前記チャンバーの容積が増えるときと減るときでその変化割合の大きさを異ならせることにより前記絞り流路の流路抵抗の比を変化させて送液を行うように構成されており、
前記ポンプを間欠的に駆動する手段および前記ポンプを微作動させる手段は、前記アクチュエータに印加する電圧の大きさまたはタイミングを調整することにより制御を行うように構成される、
請求項2記載の合流装置。 - 前記ポンプを間欠的に駆動する手段による駆動と前記ポンプを微作動させる手段による微作動との間に、前記ポンプを停止させる停止期間を設ける、
請求項3記載の合流装置。 - 少なくとも2つの前記ポンプを交互に間歇的に駆動し、
それぞれの流路から交互に間歇的に圧送される液体を前記1つの流路において流れ方向に沿って交互に層状となるように合流させる、
請求項2ないし4のいずれかに記載の合流装置。
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