JP2004185040A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の光変調器10は、2個のY分岐導波路で中間部分が2本に分かれた第1および第2導波路アームを形成する光導波路12と、第1導波路アームを伝搬する第1光と所定の相互作用をする第1電気信号を伝導する第1信号電極13と、第2導波路アームを伝搬する第2光と所定の相互作用をする第2電気信号を伝導する第2信号電極34と、接地電極16,17,18とを備え、第2信号電極34は基板端部から光導波路12までの間をコ字型やクランク型などによる複数の角をなす形状または曲線とした。
【選択図】 図7
Description
光変調方式は、発光素子の駆動電流に変調信号を重畳して光強度を変調する直接変調と、光の位相、周波数、強度または偏波を変化させる光部品を発光素子の外部に設けて光に情報を収容する外部変調とがある。近年では、高速変調・長距離伝送の要求から、広帯域性とチャーピング特性に優れた外部光変調器が盛んに研究・開発されている。
電気光学変調器は、電気光学効果を有する基板に、光導波路と信号電極と接地電極とが形成される。光導波路は、2個のY分岐導波路でその中間部分が2本に分かれて第1および第2導波路アームを形成して、マッハ・ツェンダ干渉計(Mach-Zehnder interferometer )を構成する。信号電極は、この2本の導波路アーム上にそれぞれ形成され、接地電極は、所定の間隔で信号電極と平行するように基板上に形成される。電気光学光変調器に入射された光は、光導波路を伝播伝搬し、第1Y分岐導波路で2つに分岐し、それぞれ各導波路アームを伝播伝搬し、第2Y分岐導波路で再び合波され、光導波路から射出される。ここで、各信号電極に電気信号、例えば、高周波信号を印加すると電気光学効果によって各導波路アームの屈折率が変化するため、第1および第2導波路アームを伝播伝搬する第1および第2光は、進行速度が変化することになる。このため、各電気信号間で所定の位相差を設けることで、第2Y分岐導波路で第1光と第2光とが異なる位相で合波されることになり、合波された光は、入射した光のモードと異なるモード、例えば、高次モードになる。この異なるモードの合波光は、光導波路を伝播伝搬することができないので、光が強度変調されることになる。マッハ・ツェンダ型光変調器(以下、「MZ光変調器」と略記する。)は、電気信号→屈折率変化→位相変化→強度変化というプロセスで変調を実現する。このような電気光学変調器は、例えば、特開平2−196212号公報に記載されている。
ここで、第2Y分岐導波路で合波される光の位相は、電気信号と光とが相互作用を開始する相互作用開始点における、電気信号の位相と光の位相との関係に従う。このため、第2Y分岐導波路で第1光の位相と第2光の位相との位相差を所望の位相差にするためには、各信号電極に相関のある電気信号を各電気信号間で所定の位相に合わせて供給する必要がある。従来、この各電気信号間における位相の調整は、光変調器に位相調整のための基準箇所がないために、外部に設けられた位相補償器を用いて行っていた。
|t(db)−t(ab)|−|t(ec)−t(ac)| = 0 ・・(式1)
または、
|t(db)−t(ab)|−|t(ec)−t(ac)| = nT/4・・(式2)
nは、正負の整数
とする光変調器によって達成される。
第1進行時間t(db)と第3伝播伝搬時間t(bk)との和と、第2進行時間t(ec)と第4伝播伝搬時間t(ck)との和と、の差の絶対値を0または第1および第2電気信号の周期Tの4分の1の整数倍とする、すなわち、
|t(db)+t(bk)−(t(ec)+t(ck))| = 0 ・・(式3)
または、
|t(db)+t(bk)−(t(ec)+t(ck))| = nT/4・・(式4)
nは、正負の整数
とすることである。
本発明の実施形態を説明する前に、本発明の前提となる発明(以下、前提発明と称する)について説明する。
(第1の前提発明の構成)
第1の前提発明は、本発明にかかる光変調器の前提となる発明であり、第1および第2進行時間t(db)、t(ec)が幾何学的な長さによって調整される実施形態である。
図2は、第1の前提発明の光変調器において、接地電極の省略図である。図2は、光導波路の各部に付された符号、および、信号電極の各部に付された符号を明確にするために、接地電極を省略した図であり、図2Aは、上面図、図2Bは、図2AのAA’における断面図である。
基板11は、所定の光学効果に合わせて選択され、本実施形態では、電気光学結晶であるニオブ酸リチウムが選定された。なお、電気光学結晶は、他に、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム・タンタル酸リチウム固有体などがある。ここで、電気光学効果を効率的に発生させるために、結晶方位は、ZカットまたはXカットが好ましい。
本前提発明では、光導波路12は、チタン(Ti)の熱拡散によって形成された。光導波路12は、マッハ・ツェンダ干渉計を構成するように、2個のY分岐導波路でその中間部分が2本に分かれて第1および第2導波路アーム12d 、12e を形成する。すなわち、光導波路12において、図2Aに示すように、光の入射端から第1Y分岐導波路の分岐点aまでは、1本の光導波路12a が形成され、第2Y分岐導波路の分岐点kから光の射出端までも1本の光導波路12h が形成される。分岐点aから分岐点kまでの間において、分岐した2本のうちの一方は、分岐導波路12b 、第1導波路アーム12d および分岐導波路12f が形成され、他方は、分岐導波路12c 、第2導波路アーム12e および分岐導波路12g が形成される。そして、第1導波路アーム12d と第2導波路アーム12eとは、実質的に平行となるように形成される。
第1信号電極13および第2信号電極14は、進行波型の電極であり、金(Au)やアルミニウム(Al)などの金属が基板11上に蒸着法などによってストライプライン状に形成される。第1信号電極13と第2信号電極14とは、同じ線幅および同じ厚さで、すなわち、実質的に同一断面形状で形成される。
ここで、第1入力端dから第1相互作用開始点bまで第1電気信号が伝導する時間を第1進行時間t(db)、分岐点aから第1相互作用開始点bまで第1光が伝播伝搬する時間を第1伝播伝搬時間t(ab)、第2入力端eから第2相互作用開始点cまで第2電気信号が伝導する時間を第2進行時間t(ec)、分岐点aから第2相互作用開始点cまで第2光が伝播伝搬する時間を第2伝播伝搬時間t(ac)とすると、
|t(db)−t(ab)| − |t(ec)−t(ac)| = 0
を満たすように、分岐点aから第1相互作用開始点bまでの光導波路12の光学的距離、分岐点aから第2相互作用開始点cまでの光導波路12の光学的距離、および、第1入力端dから第1相互作用開始点bまでの第1信号電極の長さを考慮した上で、第2入力端eから第2相互作用開始点cまでの第2信号電極の長さを決定し、「コ」の字状の部分を設計する。なお、これは、式3を満たすように設計したことにもなる。
|t(db)− t(ab)|−|t(ec)−t(ac)| = nT/4
を満たすように、第2入力端eから第2相互作用開始点cまでの第2信号電極の長さを決定し、「コ」の字状の部分を設計してもよい。なお、これは、式4を満たすように設計したことにもなる。
ab<ac ・・・(式5)
および、
db<ec ・・・(式6)
の関係がある。
(第1の前提発明の動作・効果)
次に、第1の前提発明の光変調器の動作および効果について説明する。
図3左側は、各入力端d、eにおける各電気信号であり、図3右は、各相互作用開始点b、cにおける各電気信号である。図3Aは、正弦波の場合における第1電気信号の例であり、図3Bは、正弦波の場合における第2電気信号の例である。図3Cは、NZR(ノン・リターン・ゼロ、Non Return to Zero)の場合における第1電気信号の例であり、図3Dは、NZRの場合における第2電気信号の例である。
図2および図3において、搬送波である光、例えば、レーザ光は、入射端から入力され、光導波路12a を伝播伝搬する。光導波路12a を伝播伝搬した光は、第1Y分岐導波路の分岐点aに到達し、第1光および第2光に分配される。したがって、第1光および第2光は、強度、周波数、位相および偏波の各状態が同じである。
一方、レーザ光が分岐点aに到達した時点で第1入力端dに入力された第1電気信号は、位相調整部13a を進行し、第1進行時間t(db)で第1相互作用開始点bに到達する。同様に、レーザ光が分岐点aに到達した時点で第2入力端eに入力された第2電気信号は、位相調整部14a を進行し、第2進行時間t(ec)で第2相互作用開始点cに到達する。
分岐点aで分配された第1光が分岐点aから第1相互作用間始点bまで伝播伝搬する間に、q1状態の第1電気信号が位相調整部13a を進行して第1光にq1状態で相互作用を開始することになる。そして、分岐点aで分配された第2光が分岐点aから第2相互作用間始点cまで伝播伝搬する間に、r1状態の第2電気信号が位相調整部14a を進行して第2光にr1状態で相互作用を開始することになる。第1光および第2光は、各状態が同一の光であるから、光変調器10は、第1電気信号が第1光にq1状態で相互作用を開始する時に、式1を満たす場合では第1光と同一状態である第2光に第2電気信号をr1状態で相互作用を開始させることができる。
また、光変調器10は、第1電気信号が第1光にq1状態で相互作用を開始する時に、式2を満たす場合では第1光に対し所定の位相差を持つ第2光に第2電気信号をr1状態で相互作用を開始させることができる。
そして、第1電気信号および第2電気信号がディジタル信号である場合も、周期を図3Cおよび図3Dに示すように、1ビットが割り当てられた時間とすることによって、同様に、光変調器10は、第1入力端dおよび第2入力端eで第1電気信号と第2電気信号とを所定の位相差でタイミングを合わせれば、各相互作用開始点b、cにおいてそのタイミングで第1光および第2光にそれぞれ相互作用を開始させることができる。
次に、別の前提発明について説明する。
(第2の前提発明の構成)
第2の前提発明は、本発明にかかる光変調器の前提となる発明であり、第1および第2進行時間t(db)、t(ec)が電気信号の進行速度で調整される実施形態である。
図5は、第2の前提発明の光変調器において、接地電極の省略図である。
図6は、第2の前提発明における光変調器の部分拡大図である。拡大された部分は、図4において破線で示す矩形部分であり、図6Aは、上面図、図6Bは、断面図である。
図4ないし図6において、光変調器20は、基板11に光導波路12、第1信号電極13、バッファ層15、第2信号電極24および接地電極16、27、28を備えて構成される。
接地電極27、28は、第2信号電極24の形状に合わせて図4に示すように第1の実施形態から形状が変更され、第1信号電極13および第2信号電極24とそれぞれ所定の間隔を空けて、基板11上に形成される。
図6に示すように、第1信号電極13は、第1入力端dから第1相互作用開始点bまで幅が約5μmであり、第2信号電極24は、第2入力端eから第2相互作用開始点cまで幅が約80μmである。なお、各位相調整部13a 、24a において、各電気信号を供給するための各電極部分は、幅が広くなっている。第1信号電極13、第2信号電極24および接地電極16、27、28の各電極は、厚さが約30μmである。各信号電極13、24と接地電極16、27、28との各間隔は、それぞれ約15μmである。そして、バッファ層15は、厚さが約1.2μmである。
(第2の前提発明の動作・効果)
第2の前提発明の動作および効果は、上述のように第2進行時間t(ec)の調整を第1の実施形態とは異なる方法の位相調整部24a で実現しただけであるから、第1の前提発明と同様である。よって、その動作および効果の説明を省略する。
進行速度は、電極の幅が細いほど速く、厚さが厚いほど速く、接地電極との間隔が狭いほど速く、バッファ層が厚いほど速くなる。
本実施形態にかかる光変調器10では、第1の前提発明と同様に、基板11に光導波路12、第1信号電極13、バッファ層15、第2信号電極34および接地電極16、27、28を備えて構成される。
第1電気信号および第2電気信号がコネクタを通して、第1入力端dおよび第2入力端eに入力される場合、使用するコネクタの大きさにより、第1入力端dおよび第2入力端eの間の距離を広げる必要が生じる。
この場合、第1の前提発明では、第1相互作用開始点bと第2相互作用開始点cの間の距離も同じく、約4mmとなる。第1および第2の相互作用部分の長さ(第1相互作用開始点bと第1相互作用終点fとの間および、第2相互作用開始点cと第2相互作用終了点gとの間)を通常等しくする必要があるため、分岐導波路12の直線部分(第1導波路アーム12dおよび第2導波路アーム12e)の長さを30mmとすると、相互作用長は26mmとなり短くなる。
すなわち、接地電極は省略している。第2信号電極34の位相調整部34aを光導波路12上の第2信号電極14に対してクランク状に直角に2回曲げるすることにより、第1相互作用開始点bと第2相互作用開始点cの距離を短くすることができ、その結果、相互作用長は約2mm長くでき、28mmとなるとともに、第1の実施形態におけるコの字型をなす位置調整部14aに比較して角をなす回数が減るためマイクロ波の減少を防げる。
図8は、図7の第2信号電極34の変形例を示す。
この変形例では、位相調整部34aの形状をクランク状でなく、例えば、な光導波路12上に配置した第2信号電極34の位相調整部34aを基板11の端部まで直線で構成し、第2信号電極34の位相調整部34aと光導波路12上の第2信号電極14の角度θが鋭角になるように斜めに傾斜した形状も可能である。
や この図8の構成は、位相調整により第2信号電極34の角と有る箇所が1箇所のため、図7に比べマイクロ波の減衰を低減できる。
第2信号電極34の位相調整部34aを基板11の端部まで直線ではなくSなS字形状にすることで、すると第2信号電極34の角曲がりの個数がなくな減るため、角曲がりによるマイクロ波の減衰を低減することができる。
なお、第1および第2の前提発明、および本実施形態では、各信号電極の各作用部は、各導波路アーム上にそれぞれ形成されたが、必ずしも各導波路アーム上にある必要はない。
以上の記載から下記の発明が主に開示された。
(付記1) 所定の光学効果を有する基板と、
第1Y分岐導波路で第1および第2導波路アームに分岐した後に第2Y分岐導波路で再び合流する、前記基板に形成された光導波路と、
前記第1導波路アームを伝播伝搬する第1光と所定の相互作用をする第1電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第1信号電極と、
前記第2導波路アームを伝播伝搬する第2光と所定の相互作用をする第2電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第2信号電極と、
前記基板上に形成された接地電極とを備え、
前記第1信号電極における前記第1電気信号を供給する第1入力端から前記第1光と前記第1電気信号とが相互作用を開始する第1相互作用開始点まで前記第1電気信号が伝導する時間を第1進行時間te1、前記第1Y分岐導波路の分岐点から前記第1相互作用開始点まで前記第1光が伝播伝搬する時間を第1伝播伝搬時間to1、前記第2信号電極における前記第2電気信号を供給する第2入力端から前記第2光と前記第2電気信号とが相互作用を開始する第2相互作用開始点まで前記第2電気信号が伝導する時間を第2進行時間te2、前記分岐点から前記第2相互作用開始点まで前記第2光が伝播伝搬する時間を第2伝播伝搬時間to2とする場合に、
第1進行時間te1と第1伝播伝搬時間to1との差の絶対値と、第2進行時間te2と第2伝播伝搬時間to2との差の絶対値と、の差を0または第1および第2電気信号の周期Tの4分の1の整数倍とすること
すなわち、
|te1 − to1|−|te2 − to2| = 0
または、
|te1 − to1|−|te2 − to2| = nT/4
nは正負の整数
とすることを特徴とする光変調器。
(付記2) 所定の光学効果を有する基板と、
第1Y分岐導波路で第1および第2導波路アームに分岐した後に第2Y分岐導波路で再び合流する、前記基板に形成された光導波路と、
前記第1導波路アームを伝播伝搬する第1光と所定の相互作用をする第1電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第1信号電極と、
前記第2導波路アームを伝播伝搬する第2光と所定の相互作用をする第2電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第2信号電極と、
前記基板上に形成された接地電極とを備え、
前記第1信号電極における前記第1電気信号を供給する第1入力端から前記第1光と前記第1電気信号とが相互作用を開始する第1相互作用開始点まで前記第1電気信号が伝導する時間を第1進行時間te1、前記第1相互作用開始点から前記第2Y分岐導波路の合流点まで前記第1光が伝播伝搬する時間を第3伝播伝搬時間to3、前記第2信号電極における前記第2電気信号を供給する第2入力端から前記第2光と前記第2電気信号とが相互作用を開始する第2相互作用開始点まで前記第2電気信号が伝導する時間を第2進行時間te2、前記第2相互作用開始点から前記合流点まで前記第2光が伝播伝搬する時間を第4伝播伝搬時間to4とする場合に、
第1進行時間te1と第3伝播伝搬時間to3との和と、第2進行時間te2と第4伝播伝搬時間to4との和と、の差の絶対値を0または第1および第2電気信号の周期Tの4分の1の整数倍とすること すなわち、
|te1 + to3 −(te2 + to4)| = 0
または、
|te1 + to3 −(te2 + to4)| = nT/4
nは正負の整数
とすることを特徴とする光変調器。
(付記3) 前記第1および第2進行時間は、前記第1入力端から前記第1相互作用開始点までにおける前記第1信号電極の長さ、および、前記第2入力端から前記第2相互作用開始点までにおける前記第2信号電極の長さによって調整されることを特徴とする付記1または付記2に記載の光変調器。
(付記4) 前記第1および第2進行時間は、前記第1入力端から前記第1相互作用開始点までにおける前記第1信号電極の幅、および、前記第2入力端から前記第2相互作用開始点までにおける前記第2信号電極の幅によって調整されることを特徴とする付記1または付記2に記載の光変調器。
(付記5) 前記第1および第2進行時間は、前記第1入力端から前記第1相互作用開始点までにおける前記第1信号電極の厚さ、および、前記第2入力端から前記第2相互作用開始点までにおける前記第2信号電極の厚さによって調整されることを特徴とする付記1または付記2に記載の光変調器。
(付記6) 前記第1および第2進行時間は、前記第1入力端から前記第1相互作用開始点までにおける、前記第1信号電極と前記接地電極との間隔、および、前記第2入力端から前記第2相互作用開始点までにおける、前記第2信号電極と前記接地電極との間隔によって調整されることを特徴とする付記1または付記2に記載の光変調器。
(付記7) 前記第1および第2進行時間は、前記第1信号電極、戦記第2信号電極および前記接地電極と前記基板との間に設けられるバッファ層の厚さによって調整されることを特徴とする付記1または付記2に記載の光変調器。
(付記8) 前記第1入力端および前記第2入力端は、共に前記基板の同一側端に配置されることを特徴とする付記1または付記2に記載の光変調器。
(付記9) 前記第1入力端と前記第2入力端との間の距離よりも、前記第1相互作用開始点と前記第2相互作用開始点との間の距離の方が短いことを特徴とする付記8に記載の光変調器。
(付記10) 前記基板は、ニオブ酸リチウムであることを特徴とする付記1または付記2に記載の光変調器。
(付記11) 所定の光学効果を有する基板と、
第1Y分岐導波路で第1および第2導波路アームに分岐した後に第2Y分岐導波路で再び合流する、前記基板に形成された光導波路と、
前記第1導波路アームを伝搬する第1光と所定の相互作用をする第1電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第1信号電極と、
前記第2導波路アームを伝搬する第2光と所定の相互作用をする第2電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第2信号電極と、
前記基板上に形成された接地電極とを備え、
前記第2信号電極は基板端部から該光導波路までの間に複数の角をなす形状にした
ことを特徴とする光変調器。
(付記12) 付記11において、前記第2信号電極の基板端部から該光導波路までの間にコ字型の形状を有する部分を設けたことを特徴とする光変調器。
(付記13) 付記11において、前記第2信号電極の基板端部から該光導波路までの間をクランク型の形状することを特徴とする光変調器。
(付記14) 所定の光学効果を有する基板と、
第1Y分岐導波路で第1および第2導波路アームに分岐した後に第2Y分岐導波路で再び合流する、前記基板に形成された光導波路と、
前記第1導波路アームを伝搬する第1光と所定の相互作用をする第1電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第1信号電極と、
前記第2導波路アームを伝搬する第2光と所定の相互作用をする第2電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第2信号電極と、
前記基板上に形成された接地電極とを備え、
前記第2信号電極は基板端部から該光導波路までの間を曲線で構成した
ことを特徴とする光変調器。
11 基板
12 光導波路
13、14、24、34 信号電極
15 バッファ層
16、17、18、27、28 接地電極
Claims (4)
- 所定の光学効果を有する基板と、
第1Y分岐導波路で第1および第2導波路アームに分岐した後に第2Y分岐導波路で再び合流する、前記基板に形成された光導波路と、
前記第1導波路アームを伝搬する第1光と所定の相互作用をする第1電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第1信号電極と、
前記第2導波路アームを伝搬する第2光と所定の相互作用をする第2電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第2信号電極と、
前記基板上に形成された接地電極とを備え、
前記第2信号電極は基板端部から該光導波路までの間に複数の角をなす形状にした
ことを特徴とする光変調器。 - 前記第2信号電極の基板端部から該光導波路までの間にコ字型の形状を有する部分を設けたことを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記第2信号電極の基板端部から該光導波路までの間をクランク型の形状することを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 所定の光学効果を有する基板と、
第1Y分岐導波路で第1および第2導波路アームに分岐した後に第2Y分岐導波路で再び合流する、前記基板に形成された光導波路と、
前記第1導波路アームを伝搬する第1光と所定の相互作用をする第1電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第1信号電極と、
前記第2導波路アームを伝搬する第2光と所定の相互作用をする第2電気信号を伝導する、前記基板上に形成された第2信号電極と、
前記基板上に形成された接地電極とを備え、
前記第2信号電極は基板端部から該光導波路までの間を曲線で構成した
ことを特徴とする光変調器。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010185979A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Fujitsu Optical Components Ltd | 光変調器 |
US8411349B2 (en) | 2008-08-22 | 2013-04-02 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical modulator |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6333886A (ja) * | 1986-07-28 | 1988-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光半導体装置 |
JPS6418121A (en) * | 1987-07-13 | 1989-01-20 | Nippon Telegraph & Telephone | Production of high-speed optical circuit parts |
JPH02280502A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-11-16 | Philips Gloeilampenfab:Nv | Vhf集積回路用パッケージ |
JPH04373155A (ja) * | 1991-06-24 | 1992-12-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体用ヒートシンク |
JPH09191205A (ja) * | 1995-12-04 | 1997-07-22 | Lucent Technol Inc | 信号分離マイクロ波スプリッタ/コンバイナ |
JPH118444A (ja) * | 1997-06-13 | 1999-01-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | 高周波電気配線用基板 |
WO2000005623A1 (en) * | 1998-07-24 | 2000-02-03 | Uniphase Telecommunications Products, Inc. | Differential drive optical modulator |
JP2000056282A (ja) * | 1998-08-11 | 2000-02-25 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器および光変調装置 |
-
2004
- 2004-03-26 JP JP2004092127A patent/JP2004185040A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6333886A (ja) * | 1986-07-28 | 1988-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光半導体装置 |
JPS6418121A (en) * | 1987-07-13 | 1989-01-20 | Nippon Telegraph & Telephone | Production of high-speed optical circuit parts |
JPH02280502A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-11-16 | Philips Gloeilampenfab:Nv | Vhf集積回路用パッケージ |
JPH04373155A (ja) * | 1991-06-24 | 1992-12-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体用ヒートシンク |
JPH09191205A (ja) * | 1995-12-04 | 1997-07-22 | Lucent Technol Inc | 信号分離マイクロ波スプリッタ/コンバイナ |
JPH118444A (ja) * | 1997-06-13 | 1999-01-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | 高周波電気配線用基板 |
WO2000005623A1 (en) * | 1998-07-24 | 2000-02-03 | Uniphase Telecommunications Products, Inc. | Differential drive optical modulator |
JP2000056282A (ja) * | 1998-08-11 | 2000-02-25 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器および光変調装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8411349B2 (en) | 2008-08-22 | 2013-04-02 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical modulator |
JP2010185979A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Fujitsu Optical Components Ltd | 光変調器 |
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