JP2004167365A - Liquid feed device, liquid discharge device, liquid drop delivery device, electro-optical device, method for manufacturing electro-optical device and electronic unit - Google Patents

Liquid feed device, liquid discharge device, liquid drop delivery device, electro-optical device, method for manufacturing electro-optical device and electronic unit Download PDF

Info

Publication number
JP2004167365A
JP2004167365A JP2002335842A JP2002335842A JP2004167365A JP 2004167365 A JP2004167365 A JP 2004167365A JP 2002335842 A JP2002335842 A JP 2002335842A JP 2002335842 A JP2002335842 A JP 2002335842A JP 2004167365 A JP2004167365 A JP 2004167365A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
drainage
droplet discharge
tank
liquid supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002335842A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3988628B2 (en
Inventor
Kenji Kojima
健嗣 小島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2002335842A priority Critical patent/JP3988628B2/en
Publication of JP2004167365A publication Critical patent/JP2004167365A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3988628B2 publication Critical patent/JP3988628B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
  • Spray Control Apparatus (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid feed device and a liquid discharge device realizing compatibility of large sizing and easiness of a tank exchange work and continuing operation of a liquid drop delivery device even in the exchange of the tank; the liquid drop delivery device provided with the liquid feed device and the liquid discharge device; an electro-optical device manufactured by the liquid drop delivery device; a method for manufacturing the electro-optical device using the liquid drop delivery device; and an electronic instrument provided with the electro-optical device. <P>SOLUTION: The delivery liquid feed device 4 has a first delivery liquid tank 401 and a second delivery liquid tank 402 for storing the liquid fed to a liquid drop delivery head; a flow out pipe 403 connected to the first delivery liquid tank 401; a flow out pipe 404 connected to the second delivery liquid tank 402; a three-way valve 405 connected with a liquid feed pipe 411 to the liquid drop delivery head and the flow out pipes 403 and 404. The delivery liquid is selectively fed to the liquid drop delivery head from the first delivery liquid tank 401 or the second delivery liquid tank 402 by switching of the three-way valve 405. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、給液装置、排液装置、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、インクジェットプリンターが主に民生用のプリンターとして広く用いられている。このインクジェットプリンターのインクジェット方式（液滴吐出方式）を応用した産業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）が提案されている。この産業用の液滴吐出装置は、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用される。
【０００３】
産業用の液滴吐出装置では、基板等の対象物が大型になるとともに、大量生産を目的とするので、ヘッドから吐出するインク等の吐出液の消費量が非常に多くなる。
従来の液滴吐出装置では、インク消費量の増大に対応するため、装置本体外に、インクジェットヘッドにインクを供給するサブタンク（第一液室）と、サブタンクにインクを補充するメインタンク（第二液室）とを設置し、メインタンクを交換可能としている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の液滴吐出装置では、１つの色のインクに対応するメインタンクが１つしかないので、メインタンクを交換する際には、液滴吐出装置の稼動を停止せねばならず、生産量（スループット）が低下するという問題がある。また、メインタンクを大容量にすると、メインタンクの交換作業においてインクが満杯に入ったメインタンクを取り扱う場合、その重量が相当に重くなるので、作業者の負担が重く、危険を伴うという問題もある。その結果、メインタンクの大容量化には限界がある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−１５０７３２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、大容量化とタンク交換作業の容易化との両立が図れ、また、タンクの交換時にも液滴吐出装置の稼動を続行可能な給液装置、排液装置、かかる給液装置、排液装置を備える液滴吐出装置、前記液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、前記液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、前記電気光学装置を備える電子機器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の給液装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液体吐出装置において液体を供給する給液装置であって、
供給する液体を貯留する複数の給液タンクと、
前記複数の給液タンクにそれぞれ接続された流出流路と、
液体供給先へ向かう給液流路に、前記複数の給液タンクから選択した１つの給液タンクに対応する流出流路を接続する流路切り替え手段とを備えることを特徴とする。
これにより、大容量化と給液タンク交換作業の容易化との両立が図れ、また、給液タンクの交換時にも液滴吐出装置の稼動を続行可能な給液装置を提供することができる。
【０００８】
本発明の給液装置では、前記複数の給液タンクの少なくとも１つが交換可能であることが好ましい。
これにより、給液タンクへの液体の補充を容易に行うことができる。
本発明の給液装置では、前記供給する液体は、前記液滴吐出ヘッドから吐出する液体であることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドから吐出する液体の消費量の増大に有効に対応することができる。
【０００９】
本発明の給液装置では、前記供給する液体は、前記液滴吐出ヘッドのクリーニングを行うクリーニング装置で用いる洗浄液であることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドのクリーニングを行うクリーニング装置で用いる洗浄液の消費量の増大に有効に対応することができる。
本発明の給液装置は、前記各給液タンクに対し、当該給液タンク内の液量を検出する液量検出手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、各給液タンクが空になりそうなとき、これを検出することができる。
【００１０】
本発明の給液装置は、前記各液量検出手段の検出結果に基づいて前記流路切り替え手段の作動を制御する制御手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、流路切り替え手段の切り替えを自動化することができ、省力化が図れる。
本発明の給液装置は、前記各給液タンクの内部を加圧し得る加圧手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、加圧手段からの圧力により給液タンク内の液体を送液することができる。
【００１１】
本発明の給液装置は、前記各給液タンクにそれぞれ接続された加圧経路と、
前記加圧手段からの経路に、前記複数の加圧経路から選択した１つの加圧経路を接続する加圧経路切り替え手段とをさらに備えることが好ましい。
これにより、加圧経路切り替え手段の切り替えを自動化することができ、省力化が図れる。
【００１２】
本発明の排液装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液体吐出装置において排液を回収する排液装置であって、
回収した排液を貯留する複数の排液タンクと、
前記複数の排液タンクにそれぞれ接続された流入流路と、
排液回収先からの排液流路に、前記複数の排液タンクから選択した１つの排液タンクに対応する流入流路を接続する流路切り替え手段とを備えることを特徴とする。
これにより、大容量化と排液タンク交換作業の容易化との両立が図れ、また、排液タンクの交換時にも液滴吐出装置の稼動を続行可能な排液装置を提供することができる。
【００１３】
本発明の排液装置では、前記複数の排液タンクの少なくとも１つが交換可能であることが好ましい。
これにより、排液タンクからの排液の回収を容易に行うことができる。
本発明の排液装置では、前記排液は、前記液滴吐出ヘッドをキャッピングするキャッピング装置から回収される液体であることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドをキャッピングするキャッピング装置から回収される排液の増大に有効に対応することができる。
【００１４】
本発明の排液装置では、前記排液は、前記液滴吐出ヘッドの捨て吐出および／またはドット抜け検査により吐出された液体であることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドの捨て吐出および／またはドット抜け検査により生じた排液の増大に有効に対応することができる。
本発明の排液装置は、前記各排液タンクに対し、当該排液タンク内の液量を検出する液量検出手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、各排液タンクが満杯になりそうなとき、これを検出することができる。
本発明の排液装置は、前記各液量検出手段の検出結果に基づいて前記流路切り替え手段の作動を制御する制御手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、流路切り替え手段の切り替えを自動化することができ、省力化が図れる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置は、本発明の給液装置と、
ワークを載置可能なワーク載置部と、
前記ワーク載置部に載置されたワークに対して液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動機構とを備えることを特徴とする。
これにより、給液装置の大容量化と給液タンク交換作業の容易化との両立が図れ、また、給液タンクの交換時にも稼動を続行可能な液滴吐出装置を提供することができる。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置は、本発明の給液装置と、
ワークを載置可能なワーク載置部と、
前記ワーク載置部に載置されたワークに対して液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動機構と排液を回収する排液装置とをさらに備えることが好ましい。
これにより、給液装置の大容量化と給液タンク交換作業の容易化との両立が図れ、また、給液タンクの交換時にも稼動を続行可能な液滴吐出装置を提供することができる。
本発明の液滴吐出装置は、本発明の給液装置と、
ワークを載置可能なワーク載置部と、
前記ワーク載置部に載置されたワークに対して液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動機構と本発明の排液装置とをさらに備えることが好ましい。
これにより、給液装置および排液装置の大容量化と、給液タンクおよび排液タンク交換作業の容易化との両立が図れ、また、給液タンクおよび排液タンクの交換時にも稼動を続行可能な液滴吐出装置を提供することができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、本発明の排液装置と、
ワークを載置可能なワーク載置部と、
前記ワーク載置部に載置されたワークに対して液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動機構とを備えることを特徴とする。
これにより、排液装置の大容量化と排液タンク交換作業の容易化との両立が図れ、また、排液タンクの交換時にも稼動を続行可能な液滴吐出装置を提供することができる。
【００１８】
本発明の液滴吐出装置では、前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成することが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００１９】
本発明の電気光学装置は、本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、量産に適し、製造コストの低減が図れる電気光学装置を提供することができる。
本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。
これにより、量産に適し、製造コストの低減が図れる電気光学装置の製造方法を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、量産に適し、製造コストの低減が図れる電子機器を提供することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の給液装置、排液装置および液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は、それぞれ、本発明の給液装置および排液装置を備えた液滴吐出装置の実施形態を示す平面図および側面図である。なお、以下では、説明の便宜上、水平な一方向（図１および図２中の左右方向に相当する方向）を「Ｙ軸方向」と言い、このＹ軸方向に垂直であって水平な方向（図１中の上下方向に相当する方向）を「Ｘ軸方向」と言う。また、Ｙ軸方向であって図１および図２中の右方向への移動を「Ｙ軸方向に前進」、Ｙ軸方向であって図１および図２中の左方向への移動を「Ｙ軸方向に後退」と言い、Ｘ軸方向であって図１中の下方向への移動を「Ｘ軸方向に前進」、Ｘ軸方向であって図１中の上方向への移動を「Ｘ軸方向に後退」と言う。
【００２１】
これらの図に示す液滴吐出装置（インクジェット描画装置）１は、ワークとしての基板Ｗに対し、例えばインクや、目的とする材料を含む機能液等の液体（吐出液）をインクジェット方式（液滴吐出方式）により微小な液滴の状態で吐出して所定のパターンを形成（描画）する装置であり、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに用いることができる産業用の液滴吐出装置である。液滴吐出装置１が対象とする基板Ｗの素材は、特に限定されず、板状の部材（ワーク）であればいかなるものでもよいが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等を対象とすることができる。また、本発明では、液滴吐出装置が対象とするワークは板状部材に限らずいかなるものでもよく、例えばレンズをワークとし、このレンズに液滴を吐出することにより光学薄膜等のコーティングを形成する液滴吐出装置などにも適用することができる。また、本発明は、比較的大型のワーク（例えば、長さ、幅がそれぞれ数十ｃｍ〜数ｍ程度のもの）にも対応することができる比較的大型の液滴吐出装置１に特に好ましく適用することができる。
【００２２】
この液滴吐出装置１は、装置本体２と、基板テーブル（ワーク載置部）３と、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１１を有するヘッドユニット１１と、液滴吐出ヘッド１１１のメンテナンスをするメンテナンス装置１２と、タンクユニット１３と、基板Ｗにガスを吹き付けるブロー装置１４と、基板テーブル３の移動距離を測定するレーザー測長器１５と、制御装置１６と、ドット抜け検出ユニット１９とを備えている。
【００２３】
液滴吐出ヘッド１１１から吐出する液体としては、特に限定されず、カラーフィルタのフィルタ材料を含むインクの他、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。・有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料。・電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料。・ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料。・電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料。・基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料。・各種コーティング材料。・電極を形成するための液状電極材料。・２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料。・金属配線を形成するための液状金属材料。・マイクロレンズを形成するためのレンズ材料。・レジスト材料。・光拡散体を形成するための光拡散材料。
【００２４】
図２に示すように、装置本体２は、床上に設置された架台２１と、架台２１上に設置された石定盤２２とを有している。石定盤２２の上には、基板テーブル３が装置本体２に対しＹ軸方向に移動可能に設置されている。基板テーブル３は、リニアモータ１０１の駆動により、Ｙ軸方向に前進・後退する。基板Ｗは、基板テーブル３上に載置される。
【００２５】
液滴吐出装置１では、基板テーブル３と同程度の大きさの比較的大型の基板Ｗから、基板テーブル３より小さい比較的小型の基板Ｗまで、様々な大きさおよび形状の基板Ｗを対象にすることができる。基板Ｗは、原則としては基板テーブル３と中心を一致させるように位置決めした状態で液滴吐出動作をすることが好ましいが、比較的小型の基板Ｗの場合には、基板テーブル３の端に寄せた位置に位置決めして液滴吐出動作をしてもよい。
【００２６】
図１に示すように、基板テーブル３のＸ軸方向に沿った２つの辺の付近には、それぞれ、基板Ｗに対する液滴吐出（描画）前に液滴吐出ヘッド１１１から捨て吐出（フラッシング）された吐出液滴を受ける描画前フラッシングユニット１０４が設置されている。描画前フラッシングユニット１０４には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出液は、この吸引チューブを通り、後述する排液装置１８により回収される。
【００２７】
基板テーブル３のＹ軸方向の移動距離は、移動距離検出手段としてのレーザー測長器１５により測定される。レーザー測長器１５は、装置本体２に設置されたレーザー測長器センサヘッド１５１、プリズム１５２およびレーザー測長器本体１５３と、基板テーブル３に設置されたコーナーキューブ１５４とを有している。レーザー測長器センサヘッド１５１からＸ軸方向に沿って出射したレーザー光は、プリズム１５２で屈曲してＹ軸方向に進み、コーナーキューブ１５４に照射される。コーナーキューブ１５４での反射光は、プリズム１５２を経て、レーザー測長器センサヘッド１５１に戻る。液滴吐出装置１では、このようなレーザー測長器１５によって検出された基板テーブル３の移動距離（現在位置）に基づいて、液滴吐出ヘッド１１１からの吐出タイミングが生成される。
【００２８】
また、装置本体２には、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ１０２が、基板搬送テーブル３の上方空間においてＸ軸方向に移動可能に設置されている。複数の液滴吐出ヘッド１１１を有するヘッドユニット１１は、リニアモータとガイドとを備えたリニアモータアクチュエータ１０３の駆動により、メインキャリッジ１０２とともにＸ軸方向に前進・後退する。
【００２９】
本実施形態の液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド１１１のいわゆる主走査は、基板テーブル３をＹ軸方向に移動しつつ、レーザー測長器１５を用いて生成した吐出タイミングに基づいて、液滴吐出ヘッド１１１の駆動（吐出液滴の選択的吐出）を行う。また、これに対応して、いわゆる副走査は、ヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）のＸ軸方向への移動により行われる。
【００３０】
また、装置本体２には、基板Ｗ上に吐出された液滴を半乾燥させるブロー装置１４が設置されている。ブロー装置１４は、Ｘ軸方向に沿ってスリット状に開口するノズルを有しており、基板Ｗを基板テーブル３によりＹ軸方向に搬送しつつ、このノズルより基板Ｗへ向けてガスを吹き付ける。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｙ軸方向に互いに離れた個所に位置する２個のブロー装置１４が設けられている。
【００３１】
メンテナンス装置１２は、架台２１および石定盤２２の側方に設置されている。このメンテナンス装置１２は、ヘッドユニット１１の待機時に液滴吐出ヘッド１１１をキャッピングするキャッピングユニット１２１と、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面をワイピングするクリーニングユニット１２２と、液滴吐出ヘッド１１１の定期的なフラッシングを受ける定期フラッシングユニット１２３と、重量測定ユニット１２５とを有している。
【００３２】
また、メンテナンス装置１２は、Ｙ軸方向に移動可能な移動台１２４を有しており、キャッピングユニット１２１、クリーニングユニット１２２、定期フラッシングユニット１２３および重量測定ユニット１２５は、移動台１２４上にＹ軸方向に並んで設置されている。ヘッドユニット１１がメンテナンス装置１２の上方に移動した状態で移動台１２４がＹ軸方向に移動することにより、キャッピングユニット１２１、クリーニングユニット１２２、定期フラッシングユニット１２３および重量測定ユニット１２５のいずれかが液滴吐出ヘッド１１１の下方に位置し得るようになっている。ヘッドユニット１１は、待機時にはメンテナンス装置１２の上方に移動し、キャッピング、クリーニング（ワイピング）および定期フラッシングを所定の順番で行う。
【００３３】
キャッピングユニット１２１は、複数の液滴吐出ヘッド１１１のそれぞれに対応するように配置された複数のキャップとこれらキャップを昇降させる昇降機構とを有している。各キャップには、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、キャッピングユニット１２１は、各キャップで各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を覆うとともに、ノズル形成面に形成されたノズルから吐出液を吸引することができる。このようなキャッピングを行うことにより、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面が乾燥するのを防止したり、ノズル詰まりを回復（解消）したりすることができる。
【００３４】
キャッピングユニット１２１によるキャッピングは、ヘッドユニット１１の待機時や、ヘッドユニット１１に吐出液を初期充填する際、吐出液を異種のものに交換する場合にヘッドユニット１１から吐出液を排出する際、洗浄液によって流路を洗浄する際などに行われる。
キャッピングユニット１２１によるキャッピング中に液滴吐出ヘッド１１１から排出された吐出液は、前記吸引チューブを通り、後述するキャッピング排液装置１７により回収され、再利用に供される。ただし、流路の洗浄時に回収した洗浄液は再利用しない。
【００３５】
クリーニングユニット１２２は、洗浄液（例えば、吐出液を溶解可能な溶剤など）を含ませたワイピングシートをローラーにより走行させ、このワイピングシートにより液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を拭き取り、清掃するよう作動するものである。
定期フラッシングユニット１２３は、ヘッドユニット１１の待機時のフラッシングに使用されるものであり、液滴吐出ヘッド１１１が捨て吐出した吐出液滴を受けるものである。定期フラッシングユニット１２３には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出液は、この吸引チューブを通り、後述する排液装置１８により回収される。
【００３６】
重量測定ユニット１２５は、基板Ｗに対する液滴吐出動作の準備段階として、液滴吐出ヘッド１１１からの１回の液滴吐出量（重量）を測定するのに利用するものである。すなわち、基板Ｗに対する液滴吐出動作前、ヘッドユニット１１は、重量測定ユニット１２５の上方に移動し、各液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルから１回または複数回液滴を重量測定ユニット１２５に対し吐出する。重量測定ユニット１２５は、吐出された液滴を受ける液受けと、電子天秤等の重量計とを備えており、吐出された液滴の重量を計測する。または、液受けを取り外して装置外部の重量計で計測してもよい。後述する制御装置１６は、その重量計測結果に基づいて、吐出ノズルにおける１回の吐出液滴の量（重量）を算出し、その算出値が予め定められた設計値に等しくなるように、液滴吐出ヘッド１１１を駆動するヘッドドライバの印加電圧を補正する。
【００３７】
ドット抜け検出ユニット１９は、石定盤２２上における基板テーブル３の移動領域と重ならない場所であって、ヘッドユニット１１の移動領域の下方に位置する場所に固定的に設置されている。ドット抜け検出ユニット１９は、液滴吐出ヘッド１１１のノズルの目詰まりが原因となって生じるドット抜けを検出するものであり、例えばレーザー光を投光・受光する投光部および受光部を備えている。ドット抜け検出を行う際には、ヘッドユニット１１がドット抜け検出ユニット１９の上方空間をＸ軸方向に移動しつつ、各ノズルから液滴を捨て吐出し、ドット抜け検出ユニット１９は、この捨て吐出された液滴に対し投光・受光を行って、目詰まりしているノズルの有無および個所を光学的に検出する。この際に液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出液は、ドット抜け検出ユニット１９が備える受け皿に溜まり、この受け皿の底部に接続された吸引チューブ（図示せず）を通って、後述する排液装置１８により回収される。
【００３８】
タンクユニット１３は、ラック（棚）１３１を有し、このラック１３１には、後述する第１の吐出液タンク４０１、第２の吐出液タンク４０２、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２、第１の排液タンク（第１の再利用タンク）１７１、第２の排液タンク（第２の再利用タンク）１７２、第１の排液タンク１８１（第１の廃液タンク）および第２の排液タンク（第２の廃液タンク）１８２が、それぞれ、交換可能（着脱可能）に設置されている（図９参照）。
【００３９】
このような液滴吐出装置１（制御装置１６を除く）は、好ましくは、チャンバ装置９により、温度および湿度が管理された環境下に置かれている。チャンバ装置９は、液滴吐出装置１を収納するチャンバ（隔離された空間）９１と、チャンバ９１の外部に設置された温度調整装置９２とを有している。温度調整装置９２は、公知のエアーコンディショナー装置を内蔵しており、温度および湿度を調節した空気（温調空気）を生成する。この温調空気は、導入ダクト９３を通ってチャンバ９１の天井裏９１１に送り込まれる。この温調空気は、天井裏９１１からフィルタ９１２を透過して、チャンバ９１の主室９１３に導入される。
【００４０】
チャンバ９１内には、隔壁９１４、９１５により別室９１６が設けられており、タンクユニット１３は、この別室９１６内に設置されている。隔壁９１４には、主室９１３と別室９１６とを連通する連通部（開口）９１７が形成されている。別室９１６には、排気ダクト９４が接続されている。主室９１３に導入された温調空気は、連通部９１７を通過して別室９１６に流入した後、排気ダクト９４を通過してチャンバ装置９の外部に排出される。
【００４１】
このようなチャンバ装置９によって液滴吐出装置１の周囲の温度および湿度が管理されることにより、温度変化による基板Ｗや装置各部の膨張・収縮が原因となって誤差が生じるのを防止することができ、基板Ｗ上に吐出液滴によって描画（形成）されるパターンの精度をより高くすることができる。また、タンクユニット１３も温度および湿度が管理された環境に置かれるので、吐出液の粘度等も安定し、吐出液滴によるパターンの形成（描画）をより高精度に行うことができる。また、チャンバ９１内へのチリ、ホコリ等の侵入を防止することができ、基板Ｗを清浄に維持することができる。
なお、チャンバ９１内には、空気以外のガス（例えば窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスなど）を温度調節して供給・充填し、このガスの雰囲気中で液滴吐出装置１を稼動することとしてもよい。
【００４２】
チャンバ９１の外部には、液滴吐出装置１の各部の作動を制御する制御装置（制御手段）１６が設置されている。制御装置１６は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）と、液滴吐出装置１の制御動作を実行するためのプログラム等の各種プログラムおよび各種データを記憶（格納）する記憶部とを有しており、液滴吐出装置１の各部の作動を制御する。
【００４３】
図３は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板テーブルを示す平面図、図４は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板テーブルを示す側面図である。
図４に示すように、架台２１は、アングル材等を方形に組んで構成された枠体２１１と、枠体２１１の下部に分散配置された複数の支持脚２１２とを有している。石定盤２２は、無垢の石材で構成され、その上面は、高い平面度を有している。この石定盤２２により、周囲の環境条件や振動等の影響を防ぎ、基板テーブル３およびヘッドユニット１１が高精度に移動することができる。
【００４４】
石定盤２２の上には、Ｙ軸方向移動機構としてのリニアモータ１０１およびエアスライダ１０８が設置されている。基板テーブル３は、エアスライダ１０８によりＹ軸方向に円滑に移動可能に支持され、リニアモータ１０１の駆動によりＹ軸方向に移動する。また、基板テーブル３の下部には、θ軸回転機構１０５が設けられており、これにより、基板テーブル３は、基板テーブル３の中心を通る鉛直なθ軸を回転中心として所定範囲で回動可能になっている。
また、図３に示すように、基板テーブル３には、載置された基板Ｗを吸着して固定するための複数の吸引口（吸引部）３３２が形成されている。
【００４５】
図５は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図、図６は、図５中の矢印Ａ方向から見た側面図、図７は、図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図である。なお、図５および図７においては、設置された機器の一部の図示を省略する。
これらの図に示すように、装置本体２は、石定盤２２の上に設置された４本の支柱２３と、これらの支柱２３により支持されたＸ軸方向に沿って延びる互いに平行な２本の桁（梁）２４および２５とをさらに有している。基板テーブル３は、桁２４および２５の下を通過可能になっている。
【００４６】
図５に示すように、桁２４および２５には、メインキャリッジ１０２と、カメラキャリッジ１０６とがそれぞれ桁２４および２５の間に架け渡されるようにして設置されている。桁２４には、メインキャリッジ１０２およびカメラキャリッジ１０６の共通のＸ軸方向移動機構として、リニアモータアクチュエータ１０３が設置されている。メインキャリッジ１０２と、カメラキャリッジ１０６とは、それぞれ、リニアモータアクチュエータ１０３と、桁２５に設けられたリニアガイドとの案内により、Ｘ軸方向に円滑に移動可能に設置されている。メインキャリッジ１０２と、カメラキャリッジ１０６とは、リニアモータアクチュエータ１０３の駆動により、それぞれ独立してＸ軸方向に移動する。
【００４７】
メインキャリッジ１０２には、ヘッドユニット１１が支持されている。ヘッドユニット１１がメインキャリッジ１０２とともにＸ軸方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１１１の副走査が行われる。ヘッドユニット１１には、吐出液を供給するための配管（図示せず）や、配線ケーブル（図示せず）等がそれぞれ接続されている。また、ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ１０２に対し着脱可能になっている。
カメラキャリッジ１０６には、基板Ｗの所定の個所に設けられたアライメントマークを画像認識するための認識カメラ１０７が設置されている。認識カメラ１０７は、カメラキャリッジ１０６から下方に吊り下げられた状態で支持されている。なお、認識カメラ１０７は、他の用途に用いてもよい。
【００４８】
図８は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットの構成および液滴吐出動作を模式的に示す平面図である。図８に示すように、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面には、液滴が吐出される多数の吐出ノズル（開口）が一列または二列以上に並んで形成されている。液滴吐出ヘッド１１１は、電圧の印加により変位（変形）する圧電素子を有し、この圧電素子の変位（変形）を利用して、吐出ノズルに連通するように形成された圧力室（液室）内の圧力を変化させることよって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたものである。なお、液滴吐出ヘッド１１１は、このような構成に限らず、例えば、吐出液をヒータで加熱して沸騰させ、その圧力によって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたものなどでもよい。
ヘッドユニット１１には、この液滴吐出ヘッド１１１が複数個（以下の説明では１２個として説明する）設置されている。これらの液滴吐出ヘッド１１１は、６個ずつ二列に副走査方向（Ｘ軸方向）に並ぶとともに、ノズル列が副走査方向に対し所定角度傾斜するような姿勢で配置されている。
【００４９】
なお、このような配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド１１１同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における液滴吐出ヘッド１１１を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりしてもよい。いずれにしても、複数個の液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルによるドットが副走査方向において連続していればよい。
【００５０】
さらに、液滴吐出ヘッド１１１は、副走査方向に対し傾斜した姿勢で設置されていなくてもよく、また、複数個の液滴吐出ヘッド１１１が千鳥状、階段状に配設されていてもよい。また、所定長さのノズル列（ドット列）を構成できる限り、これを単一の液滴吐出ヘッド１１１で構成してもよい。また、メインキャリッジ１０２に複数のヘッドユニット１１が設置されていてもよい。
【００５１】
ここで、制御装置１６の制御による液滴吐出装置１の全体の作動について簡単に説明する。液滴吐出装置１が備える基板位置決め装置（説明省略）の作動により基板テーブル３上に載置（給材）された基板Ｗが所定の位置に位置決め（プリアライメント）されると、基板テーブル３の各吸引口３３２からのエアー吸引により、基板Ｗは、基板テーブル３に吸着・固定される。次いで、基板テーブル３およびカメラキャリッジ１０６がそれぞれ移動することにより、認識カメラ１０７が基板Ｗの所定の個所（１箇所または複数箇所）に設けられたアライメントマークの上方に移動し、このアライメントマークを認識する。この認識結果に基づいて、θ軸回転機構１０５が作動して基板Ｗのθ軸回りの角度が補正されるとともに、基板ＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデータ上で行われる（本アライメント）。
【００５２】
以上のような基板Ｗのアライメント作業が完了すると、ヘッドユニット１１を停止した状態で、基板テーブル３の移動により基板Ｗを主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させつつ、各液滴吐出ヘッド１１１から基板Ｗへの選択的な液滴吐出動作を行う。このとき、液滴吐出動作は、基板テーブル３の前進（往動）中に行っても、後退（復動）中に行っても、前進および後退の両方（往復）で行ってもよい。また、基板テーブル３を複数回往復させて、液滴吐出動作を複数回繰り返し行ってもよい。以上の動作により、基板Ｗ上の、所定の幅（ヘッドユニット１１１により吐出可能な幅）で主走査方向に沿って伸びる領域に、液滴の吐出が終了する。
【００５３】
その後、メインキャリッジ１０２を移動させることにより、ヘッドユニット１１１を前記所定の幅の分だけ副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させる。この状態で、前述した動作と同様に、基板Ｗを主走査方向に移動させつつ、各液滴吐出ヘッド１１１から基板Ｗへの選択的な液滴吐出動作を行う。そして、この領域への液滴吐出動作が終了したら、ヘッドユニット１１１をさらに前記所定の幅の分だけ副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させた状態として、基板Ｗを主走査方向に移動させつつ、同様の液滴吐出動作を行う。これを、数回繰り返すことで、基板Ｗの全領域に液滴吐出が行われる。このようにして、液滴吐出装置１は、基板Ｗ上に所定のパターンを形成（描画）する。
【００５４】
図９は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるタンクユニットを示す斜視図、図１０は、図１および図２に示す液滴吐出装置における給液装置および排液装置を模式的に示す配管系統図、図１１は、液量検出手段の構成を模式的に示す図である。以下、これらの図および図６に基づいて、液滴吐出装置１における吐出液供給装置（給液装置）４、洗浄液供給装置（給液装置）５、キャッピング排液装置１７および排液装置１８について説明する。
【００５５】
まず、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出液を供給する吐出液供給装置４について説明する。図１０に示すように、吐出液供給装置４は、吐出液を貯留する第１の吐出液タンク（給液タンク）４０１および第２の吐出液タンク（給液タンク）４０２と、第１の吐出液タンク４０１に接続された流出配管（流出流路）４０３と、第２の吐出液タンク４０２に接続された流出配管（流出流路）４０４と、三方弁（流路切り替え手段）４０５と、第１の吐出液タンク４０１および第２の吐出液タンク４０２内に加圧気体を供給する加圧手段４０６と、第１の吐出液タンク４０１に接続された加圧配管（加圧経路）４０７と、第２の吐出液タンク４０２に接続された加圧配管（加圧経路）４０８と、三方弁（加圧経路切り替え手段）４０９とを有している。
【００５６】
加圧手段４０６としては、例えば、加圧された窒素ガス等の気体を供給する加圧気体供給源が使用される。三方弁４０９には、加圧手段４０６からの配管（経路）４１０と、加圧配管４０７および４０８とがそれぞれ接続されている。三方弁４０９は、配管４１０と加圧配管４０７とを接続する状態と、配管４１０と加圧配管４０８とを接続する状態とを切り替え可能になっている。これにより、第１の吐出液タンク４０１または第２の吐出液タンク４０２の内部を加圧手段４０６により選択的に加圧することができる。三方弁４０９は、アクチュエータ（図示せず）により、自動で切り替わるようになっている。
【００５７】
三方弁４０５には、ヘッドユニット１１側へ向かう給液配管（給液流路）４１１と、流出配管４０３および４０４とがそれぞれ接続されている。三方弁４０５は、給液配管４１１と流出配管４０３とを接続する状態と、給液配管４１１と流出配管４０４とを接続する状態とを切り替え可能になっている。これにより、第１の吐出液タンク４０１または第２の吐出液タンク４０２から選択的に吐出液を給液配管４１１に供給することができる。三方弁４０５は、アクチュエータ（図示せず）により、自動で切り替わるようになっている。
【００５８】
図６に示すように、三方弁４０５から伸びる給液配管４１１の他端は、メインキャリッジ１０２上に設置された二次タンク４１２に接続されている。可撓性を有する給液配管４１１の途中には、メインキャリッジ１０２とともに移動する二次タンク４１２の移動に合わせて給液配管４１１の二次タンク４１２側の部分が移動可能となるように給液配管４１１を中継する中継部４１３が設けられている。
【００５９】
二次タンク４１２には、１２個の液滴吐出ヘッド１１１の各々に対応する１２本の分岐配管４１４の一端がそれぞれ接続されており、これらの分岐配管４１４の他端は、ヘッドユニット１１に設けられた、各液滴吐出ヘッド１１１に対応する１２個の流入口１１２にそれぞれ接続されている。なお、図６中では、見易くするため、１２本の分岐配管４１４のうちの２本のみを図示する。
【００６０】
各分岐配管４１４の途中には、遮断弁４１５が設けられている。給液配管４１１を通った吐出液は、二次タンク４１２に流入し、二次タンク４１２内で圧力調整された後、各分岐配管４１４を通って各液滴吐出ヘッド１１１に供給される。遮断弁４１５は、二次タンク４１２内の圧力を調整する負圧制御ユニットが何らかの原因で機能しない場合、分岐配管４１４の流路を遮断し、二次タンク４１２より低い位置にある液滴吐出ヘッド１１１に二次タンク４１２から吐出液が流れ続けて液滴吐出ヘッド１１１から漏出するのを防止する。
【００６１】
図９に示すように、吐出液供給装置４の第１の吐出液タンク４０１および第２の吐出液タンク４０２は、それぞれ、タンクユニット１３に設置されている。タンクユニット１３は、複数のタンクを支持するラック（棚）１３１を有しており、第１の吐出液タンク４０１および第２の吐出液タンク４０２は、それぞれ、ラック１３１に着脱可能に設置されている。これにより、第１の吐出液タンク４０１、第２の吐出液タンク４０２が空になったとき、これらを取り外して交換、補充することができる。第１の吐出液タンク４０１、第２の吐出液タンク４０２の交換は、チャンバ９１の別室９１６の外壁に設けられた扉９１８を開くことにより、チャンバ９１の外部から行うことができる（図１参照）。第１の吐出液タンク４０１、第２の吐出液タンク４０２の個々の容量は、特に限定されないが、交換作業の容易化と、吐出液供給装置４全体としての容量確保との両立を考慮する観点から、１〜１０リットル程度であるのが好ましく、３〜５リットル程度であるのがより好ましい。
【００６２】
図１１（ａ）に示すように、吐出液供給装置４は、第１の吐出液タンク４０１の内部の液量を検出する液量検出手段４１６をさらに有している。液量検出手段４１６は、第１の吐出液タンク４０１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の吐出液タンク４０１内に連通した光透過性を有するチューブ４１７と、第１の吐出液タンク４０１の底部付近においてチューブ４１７を挟んで対向するように設置された投光部４１８および受光部４１９とで構成されている。この液量検出手段４１６は、受光部４１９での受光光量の変化により、第１の吐出液タンク４０１内の液量が減少して所定の下限レベルＥ（空の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段４１６の検出結果は、制御装置１６に入力される。
また、吐出液供給装置４は、第２の吐出液タンク４０２の内部の液量を検出する同様の液量検出手段４２０を有している。液量検出手段４２０は、第２の吐出液タンク４０２内の液量が減少して所定の下限レベルＥになったとき、これを検出し、その検出結果を制御装置１６に入力する。
【００６３】
このような吐出液供給装置４は、図１０に示す状態では、加圧手段４０６により第１の吐出液タンク４０１内が加圧され、この圧力により第１の吐出液タンク４０１内の吐出液は、流出配管４０３および給液配管４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される。
そして、第１の吐出液タンク４０１内の吐出液が消費されていき、液量検出手段４１６が第１の吐出液タンク４０１が空になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替える。これにより、加圧手段４０６が第２の吐出液タンク４０２内を加圧するとともに、この圧力により第２の吐出液タンク４０２内の吐出液が、流出配管４０４および給液配管４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される状態に切り替わる。
【００６４】
第２の吐出液タンク４０２から吐出液が供給されている間に、作業者は、空になった第１の吐出液タンク４０１をラック１３１から取り外し、吐出液を再充填した後、ラック１３１に戻す。その後、液量検出手段４２０が第２の吐出液タンク４０２が空になったのを検出すると、制御装置１６は、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替え、第１の吐出液タンク４０１から吐出液を供給する状態に切り替える。そして、第１の吐出液タンク４０１から吐出液が供給されている間に、作業者は、空になった第２の吐出液タンク４０２をラック１３１から取り外して吐出液を再充填する。
【００６５】
制御装置１６は、第１の吐出液タンク４０１が空になったとき、および、第２の吐出液タンク４０２が空になったときには、それぞれ、その旨を報知し、タンクの交換（吐出液の補充）を作業者に促すのが好ましい。この報知の方法としては、操作パネル（図示せず）に文字または図形などを表示したり、音または音声を出したりする方法が挙げられる。また、第１の吐出液タンク４０１が空になったときと、第２の吐出液タンク４０２が空になったときとで、報知のための文字、図形、音または音声等を異ならせ、いずれの吐出液タンクが空になったのかが分かるようにするのが好ましい。
【００６６】
以上説明したような吐出液供給装置４は、第１の吐出液タンク４０１、第２の吐出液タンク４０２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴う吐出液消費量の増大に有効に対応することができる。また、第１の吐出液タンク４０１、第２の吐出液タンク４０２の各々の容量を過大にすることなく、全体の大容量化が図れるので、第１の吐出液タンク４０１、第２の吐出液タンク４０２の重量（特に充填時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。
【００６７】
また、第１の吐出液タンク４０１、第２の吐出液タンク４０２の交換（補充）を交互に行うことにより、液滴吐出装置１の稼動を停止することなく、吐出液を補充することができる。よって、生産効率の向上が図れ、高い生産量（スループット）が得られる。また、吐出液の初期充填時などの大量に吐出液を消費する際にも、タンク交換作業による時間のロスが無い。
【００６８】
なお、本発明では、吐出液タンク（給液タンク）を３個以上設け、これらのうちから選択した１つの吐出液タンク（給液タンク）から吐出液が供給されるように切り替えて使用することにしてもよい。また、三方弁４０５のような流路切り替え手段や、三方弁４０９のような加圧経路切り替え手段は、自動で切り替わるよう構成されたものに限らず、手動で切り替えるものでもよい。また、吐出液を送液する方法は、吐出液タンク内を加圧する方法に限らず、吸引ポンプによって吸引することにより送液してもよい。
【００６９】
次に、液滴吐出ヘッド１１１のクリーニングを行うクリーニングユニット（クリーニング装置）１２２で用いる洗浄液を供給する洗浄液供給装置５について説明するが、前記吐出液供給装置４と同様の事項については説明を省略する。図１０に示すように、洗浄液供給装置５は、ラック１３１に着脱可能に設置された、洗浄液を貯留する第１の洗浄液タンク（給液タンク）５０１および第２の洗浄液タンク５０２と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された流出配管（流出流路）５０３と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された流出配管（流出流路）５０４と、流出配管５０３および５０４とクリーニングユニット１２２への給液配管（給液流路）５１１とがそれぞれ接続された三方弁（流路切り替え手段）５０５と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の吐出液タンク５０２内に加圧気体を供給する加圧手段５０６と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された加圧配管（加圧経路）５０７と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された加圧配管（加圧経路）５０８と、加圧配管５０７および５０８と加圧手段５０６からの配管（経路）５１０とがそれぞれ接続された三方弁（加圧経路切り替え手段）５０９と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２の残液量を検出する液量検出手段（図示せず）とを有している。
【００７０】
加圧手段５０６としては、例えば、加圧された窒素ガス等の気体を供給する加圧気体供給源が使用される。また、加圧手段４０６と加圧手段５０６とを別個に設けず、共用してもよい。給液流路５１１からクリーニングユニット１２２へ供給された洗浄液は、クリーニングユニット１２２に設置されたノズルより噴射され、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を拭き取るワイピングシートに含浸する。
このような洗浄液供給装置５は、吐出液供給装置４と同様に、三方弁５０５および５０９の切り替えにより、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２の２つを切り替えながら使用するので、吐出液供給装置４と同様の効果を発揮する。
【００７１】
次に、液滴吐出ヘッド１１１をキャッピングするキャッピングユニット（キャッピング装置）１２１からの排液（吐出液）を回収するキャッピング排液装置１７について説明するが、前記吐出液供給装置４と同様の事項については説明を省略する。図１０に示すように、キャッピング排液装置１７は、ラック１３１に着脱可能に設置された、キャッピングユニット１２１から回収した排液を貯留する第１の排液タンク１７１および第２の排液タンク１７２と、第１の排液タンク１７１に接続された流入配管（流入流路）１７３と、第２の排液タンク１７２に接続された流入配管（流入流路）１７４と、三方弁（流路切り替え手段）１７５とを有している。三方弁１７５には、キャッピングユニット１２１からの排液配管（排液流路）１７６と、流入配管１７３および１７４とがそれぞれ接続されている。三方弁１７５は、排液配管１７６と流入配管１７３とを接続する状態と、排液配管１７６と流入配管１７４とを接続する状態とを切り替え可能になっている。これにより、キャッピングユニット１２１からの排液を第１の排液タンク１７１または第２の排液タンク１７２内に選択的に導入することができる。三方弁１７５は、アクチュエータ（図示せず）により、自動で切り替わるようになっている。
【００７２】
図１１（ｂ）に示すように、キャッピング排液装置１７は、第１の排液タンク１７１の内部の液量を検出する液量検出手段１７７をさらに有している。液量検出手段１７７は、第１の排液タンク１７１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の排液タンク１７１内に連通した光透過性を有するチューブ１７８と、第１の排液タンク１７１の頂部付近においてチューブ１７８を挟んで対向するように設置された投光部１７９および受光部１７０とで構成されている。この液量検出手段１７７は、受光部１７０での受光光量の変化により、第１の排液タンク１７１内の液量が増大して所定の上限レベルＦ（満杯の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段１７７の検出結果は、制御装置１６に入力される。また、キャッピング排液装置１７は、第２の排液タンク１７１の内部の液量を検出する同様の液量検出手段１７７をさらに有している。
【００７３】
このようなキャッピング排液装置１７では、図１０に示す状態では、キャッピングユニット１２１からの排液は、図示しない吸引ポンプに吸引され、第１の排液タンク１７１内に導入される。そして、第１の排液タンク１７１内の排液が蓄積していき、液量検出手段１７７が第１の排液タンク１７１が満杯になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁１７５を切り替え、排液が第２の排液タンク１７２内に導入される状態に切り替える。
【００７４】
制御装置１６は、第１の排液タンク１７１が満杯になったとき、および、第２の排液タンク１７２が満杯になったときには、それぞれ、その旨を例えば前記と同様の方法で報知し、タンクの交換（排液の回収）を作業者に促すのが好ましい。キャッピング排液装置１７により回収された排液は、比較的清浄な状態の吐出液であるので、再利用に供される。
【００７５】
以上説明したようなキャッピング排液装置１７は、第１の排液タンク１７１、第２の排液タンク１７２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴う排液量の増大に有効に対応することができる。また、第１の排液タンク１７１、第２の排液タンク１７２の各々の容量を過大にすることなく、全体の大容量化が図れるので、第１の排液タンク１７１、第２の排液タンク１７２の重量（特に満杯時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。
また、第１の排液タンク１７１、第２の排液タンク１７２の交換（回収）を交互に行うことにより、液滴吐出装置１の稼動を停止することなく、排液を回収することができる。よって、生産効率の向上が図れ、高い生産量（スループット）が得られる。
【００７６】
次に、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット１２３およびドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より捨て吐出された排液（吐出液）を回収する排液装置１８について説明するが、前記キャッピング排液装置１７と同様の事項については説明を省略する。図１０に示すように、排液装置１８は、ラック１３１に着脱可能に設置された（図９中には表れていない）、捨て吐出された排液を貯留する第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２と、第１の排液タンク１８１に接続された流入配管（流入流路）１８３と、第２の排液タンク１８２に接続された流入配管（流入流路）１８４と、三方弁（流路切り替え手段）１８５とを有している。三方弁１８５には、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット１２３およびドット抜け検出ユニット１９からの排液配管（排液流路）１８６と、流入配管１８３および１８４とがそれぞれ接続されている。また、排液装置１８は、さらに、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２の内部の液量をそれぞれ検出する液量検出手段（図示せず）を有している。
このような排液装置１８によれば、前記キャッピング排液装置１７と同様の効果が得られる。排液装置１８により回収された排液は、廃棄または再利用に供される。
【００７７】
以上述べたように、本発明によれば、吐出液タンク、洗浄液タンク等の給液タンクや、排液タンクの交換時にも液滴吐出装置の稼動を続行することができるので、生産効率が向上し、高い生産量（スループット）が得られ、基板の量産に適し、製造コスト低減が図れる。また、各々のタンクを大容量化することなく全体としての大容量化が図れるので、タンク交換作業時の作業者の負担を増大することなく、液滴吐出装置の大型化に伴う給液量や排液量の増大に有効に対応することができる。
【００７８】
以上、本発明の給液装置、排液装置および液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、給液装置、排液装置および液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、タンク内の液量を検出する液量検出手段は、前記実施形態では、液量（液位）が所定の下限レベルまたは上限レベルになったのを検出するものであるが、本発明における液量検出手段は、液量（液位）の変化を常時検出可能なものであってもよい。
【００７９】
また、液量検出手段の構成は、図示の構成に限らず、例えば、タンク内に設けたフロート（浮子）の高さによって液量を検出する構成や、タンクの重量を測定することによって液量を検出する構成や、タンクから流出またはタンクに流入する流量を積算流量計で測定することによって液量を検出するものなど、いかなる構成のものでもよい。
【００８０】
また、本発明における液滴吐出装置は、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）を装置本体に対し固定とし、基板（ワーク）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。また、これと逆に、基板（ワーク）を装置本体に対し固定とし、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。すなわち、本発明における液滴吐出装置は、ワーク載置部と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させるよう構成されたものであればよい。
例えば、Ｙ軸方向移動機構、Ｘ軸方向移動機構は、リニアモータに代えて、例えばボールネジ（送りネジ）などでもよい。
【００８１】
また、本発明の電気光学装置は、以上説明したような本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。本発明の電気光学装置の具体例としては、特に限定されないが、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などが挙げられる。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、液晶表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色のフィルタ材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、基板上に多数のフィルタエレメントを配列してなるカラーフィルタを製造し、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造することができる。この他、本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色の発光材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列してなる有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
また、本発明の電子機器は、前述したようにして製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。本発明の電子機器の具体例としては、特に限定されないが、前述したようにして製造された液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を搭載したパーソナルコンピュータや携帯電話機などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図２】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。
【図３】架台、石定盤および基板テーブルを示す平面図。
【図４】架台、石定盤および基板テーブルを示す側面図。
【図５】ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図。
【図６】図５中の矢印Ａ方向から見た側面図。
【図７】図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図。
【図８】ヘッドユニットの構成および液滴吐出動作を示す模式的平面図。
【図９】タンクユニットを示す斜視図である。
【図１０】給液装置および排液装置を模式的に示す配管系統図である。
【図１１】液量検出手段の構成を模式的に示す図である。
【符号の説明】
４……吐出液供給装置、４０１……第１の吐出液タンク、４０２……第２の吐出液タンク、４０３……流出配管、４０４……流出配管、４０５……三方弁、４０６……加圧手段、４０７……加圧配管、４０８……加圧配管、４０９……三方弁、４１０……配管、４１１……給液配管、５……洗浄液供給装置、５０１……第１の洗浄液タンク、５０２……第２の洗浄液タンク、５０３……流出配管、５０４……流出配管、５０５……三方弁、５０６……加圧手段、５０７……加圧配管、５０８……加圧配管、５０９……三方弁、５１０……配管、５１１……給液配管、１７……キャッピング排液装置、１７１……第１の排液タンク、１７２……第２の排液タンク、１７３……流入配管、１７４……流入配管、１７５……三方弁、１７６……排液配管、１８……排液装置、１８１……第１の排液タンク、１８２……第２の排液タンク、１８３……流入配管、１８４……流入配管、１８５……三方弁、１８６……排液配管[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a liquid supply device, a drainage device, a droplet discharge device, an electro-optical device, a method of manufacturing an electro-optical device, and an electronic apparatus.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, ink jet printers have been widely used mainly as consumer printers. There has been proposed an industrial droplet discharge apparatus (inkjet drawing apparatus) using the ink jet method (droplet discharge method) of the ink jet printer. This industrial droplet discharge device is used, for example, for manufacturing a color filter or an organic EL device in a liquid crystal display device, or for forming a metal wiring on a substrate.
[0003]
In an industrial droplet discharge device, an object such as a substrate becomes large and mass production is intended. Therefore, consumption of a discharge liquid such as ink discharged from a head becomes extremely large.
In the conventional droplet discharge device, in order to cope with an increase in ink consumption, a sub-tank (first liquid chamber) for supplying ink to the inkjet head and a main tank (second tank) for replenishing the ink in the sub-tank are provided outside the device main body. Liquid chamber) and the main tank is replaceable (for example, see Patent Document 1).
[0004]
However, in the droplet discharge device described in Patent Literature 1, there is only one main tank corresponding to one color of ink. Therefore, when replacing the main tank, the operation of the droplet discharge device must be stopped. In addition, there is a problem that the production amount (throughput) is reduced. Also, if the main tank is made to have a large capacity, when replacing the main tank with a main tank that is full of ink, the weight of the main tank becomes considerably large. is there. As a result, there is a limit to increasing the capacity of the main tank.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-8-150732
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to achieve both a large capacity and an easy tank replacement operation, and a liquid supply device, a liquid discharge device, and a liquid supply device capable of continuing operation of a droplet discharge device even when a tank is replaced. Device, a droplet discharge device including a liquid discharge device, an electro-optical device manufactured using the droplet discharge device, a method of manufacturing an electro-optical device using the droplet discharge device, and an electronic device including the electro-optical device To provide equipment.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
Such an object is achieved by the present invention described below.
The liquid supply device of the present invention is a liquid supply device that supplies liquid in a liquid discharge device including a droplet discharge head that discharges droplets,
A plurality of liquid supply tanks for storing liquid to be supplied,
Outflow channels respectively connected to the plurality of liquid supply tanks,
The liquid supply path toward the liquid supply destination includes a flow path switching unit that connects an outflow path corresponding to one liquid supply tank selected from the plurality of liquid supply tanks.
Accordingly, it is possible to provide a liquid supply device capable of increasing the capacity and facilitating the operation of replacing the liquid supply tank, and also capable of continuing the operation of the droplet discharge device even when the liquid supply tank is replaced.
[0008]
In the liquid supply device of the present invention, it is preferable that at least one of the plurality of liquid supply tanks is replaceable.
This makes it possible to easily replenish the liquid in the liquid supply tank.
In the liquid supply device according to the aspect of the invention, it is preferable that the supplied liquid is a liquid discharged from the droplet discharge head.
Accordingly, it is possible to effectively cope with an increase in the consumption of the liquid ejected from the droplet ejection head.
[0009]
In the liquid supply device according to the aspect of the invention, it is preferable that the supplied liquid is a cleaning liquid used in a cleaning device that cleans the droplet discharge head.
Accordingly, it is possible to effectively cope with an increase in consumption of the cleaning liquid used in the cleaning device for cleaning the droplet discharge head.
It is preferable that the liquid supply device of the present invention further includes, for each of the liquid supply tanks, a liquid amount detection unit that detects a liquid amount in the liquid supply tank.
This makes it possible to detect when each of the liquid supply tanks is likely to be empty.
[0010]
It is preferable that the liquid supply device of the present invention further includes a control unit that controls an operation of the flow path switching unit based on a detection result of each of the liquid amount detection units.
Thereby, the switching of the flow path switching means can be automated, and labor can be saved.
It is preferable that the liquid supply device of the present invention further includes a pressurizing unit that can pressurize the inside of each of the liquid supply tanks.
Thus, the liquid in the liquid supply tank can be sent by the pressure from the pressurizing means.
[0011]
The liquid supply device of the present invention includes a pressurization path connected to each of the liquid supply tanks,
It is preferable that the path from the pressurizing unit further includes a pressurizing path switching unit that connects one pressurizing path selected from the plurality of pressurizing paths.
As a result, the switching of the pressurizing path switching means can be automated, and labor can be saved.
[0012]
The drainage device of the present invention is a drainage device that collects drainage in a liquid ejection device including a droplet ejection head that ejects droplets,
A plurality of drainage tanks for storing the collected drainage,
Inflow channels respectively connected to the plurality of drainage tanks,
The drainage flow path from the drainage collection destination is provided with flow path switching means for connecting an inflow flow path corresponding to one of the drainage tanks selected from the plurality of drainage tanks.
Thereby, it is possible to achieve both a large capacity and an easy drainage tank replacement operation, and it is possible to provide a drainage device capable of continuing the operation of the droplet discharge device even when the drainage tank is replaced.
[0013]
In the drainage device of the present invention, it is preferable that at least one of the plurality of drainage tanks is replaceable.
Thus, the drainage from the drainage tank can be easily collected.
In the drainage device according to the aspect of the invention, it is preferable that the drainage is a liquid collected from a capping device that caps the droplet discharge head.
Thus, it is possible to effectively cope with an increase in drainage collected from a capping device that caps the droplet discharge head.
[0014]
In the drainage device according to the aspect of the invention, it is preferable that the drainage liquid is a liquid discharged by the discard discharge of the droplet discharge head and / or the dot missing inspection.
Thereby, it is possible to effectively cope with an increase in the drainage caused by the drop discharge of the droplet discharge head and / or the dot missing inspection.
It is preferable that the drainage device of the present invention further includes, for each of the drainage tanks, a liquid amount detection unit that detects a liquid amount in the drainage tank.
Thus, when each of the drainage tanks is almost full, it can be detected.
It is preferable that the drainage device of the present invention further includes a control unit that controls an operation of the flow path switching unit based on a detection result of each of the liquid amount detection units.
Thereby, the switching of the flow path switching means can be automated, and labor can be saved.
[0015]
The droplet discharge device of the present invention, the liquid supply device of the present invention,
A work placement part on which a work can be placed,
A droplet discharge head that discharges droplets to a work placed on the work placement unit,
A moving mechanism for relatively moving the work placement unit and the droplet discharge head is provided.
Accordingly, it is possible to achieve both a large capacity of the liquid supply device and easy replacement of the liquid supply tank, and it is possible to provide a droplet discharge device that can continue to operate even when the liquid supply tank is replaced.
[0016]
The droplet discharge device of the present invention, the liquid supply device of the present invention,
A work placement part on which a work can be placed,
A droplet discharge head that discharges droplets to a work placed on the work placement unit,
It is preferable that the apparatus further includes a moving mechanism for relatively moving the work placement section and the droplet discharge head, and a drainage device for collecting drainage.
Accordingly, it is possible to achieve both a large capacity of the liquid supply device and easy replacement of the liquid supply tank, and it is possible to provide a droplet discharge device that can continue to operate even when the liquid supply tank is replaced.
The droplet discharge device of the present invention, the liquid supply device of the present invention,
A work placement part on which a work can be placed,
A droplet discharge head that discharges droplets to a work placed on the work placement unit,
It is preferable that the apparatus further includes a moving mechanism for relatively moving the work placement section and the droplet discharge head, and the drainage device of the present invention.
As a result, the capacity of the liquid supply and drainage devices can be increased, and the replacement of the liquid supply and drainage tanks can be facilitated. In addition, the operation can be continued even when the liquid supply and drainage tanks are replaced. A possible droplet discharge device can be provided.
[0017]
The droplet discharge device of the present invention, the drainage device of the present invention,
A work placement part on which a work can be placed,
A droplet discharge head that discharges droplets to a work placed on the work placement unit,
A moving mechanism for relatively moving the work placement unit and the droplet discharge head is provided.
This makes it possible to achieve both a large capacity of the drainage device and easy replacement of the drainage tank, and to provide a droplet discharge device that can continue to operate even when the drainage tank is replaced.
[0018]
In the droplet discharge device of the present invention, a predetermined pattern is formed on the work by discharging droplets from the droplet discharge head while relatively moving the work mounting portion and the droplet discharge head. Is preferred.
Thereby, various patterns can be formed (drawn) on the work according to the purpose.
[0019]
An electro-optical device according to the present invention is manufactured using the droplet discharge device according to the present invention.
This makes it possible to provide an electro-optical device suitable for mass production and capable of reducing manufacturing costs.
A method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention uses the droplet discharge device according to the present invention.
Accordingly, it is possible to provide a method of manufacturing an electro-optical device suitable for mass production and capable of reducing the manufacturing cost.
An electronic apparatus according to the present invention includes the electro-optical device according to the present invention.
Thus, it is possible to provide an electronic device suitable for mass production and capable of reducing manufacturing costs.
[0020]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a liquid supply device, a liquid discharge device, and a droplet discharge device of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.
FIG. 1 and FIG. 2 are a plan view and a side view, respectively, showing an embodiment of a droplet discharge device provided with a liquid supply device and a drainage device of the present invention. In the following, for convenience of explanation, one horizontal direction (a direction corresponding to the horizontal direction in FIGS. 1 and 2) is referred to as a “Y-axis direction”, and a direction perpendicular to the Y-axis direction and horizontal ( The direction corresponding to the up-down direction in FIG. 1) is referred to as “X-axis direction”. The movement in the Y-axis direction to the right in FIGS. 1 and 2 is “forward in the Y-axis direction”, and the movement in the Y-axis direction to the left in FIGS. 1 and 2 is “Y”. 1 is referred to as “retreat in the axial direction”, a downward movement in the X-axis direction in FIG. 1 is referred to as “forward in the X-axis direction”, and an upward movement in the X-axis direction in FIG. Retreat in the axial direction. "
[0021]
The droplet discharge device (inkjet drawing device) 1 shown in these drawings applies a liquid (discharge liquid) such as, for example, ink or a functional liquid containing a target material to a substrate W as a work by an inkjet method (droplet). This is a device that forms (draws) a predetermined pattern by discharging in the state of fine droplets by a discharge method, for example, manufacturing a color filter or an organic EL device in a liquid crystal display device, or forming a metal wiring on a substrate. This is an industrial droplet discharge device that can be used for forming. The material of the substrate W targeted by the droplet discharge device 1 is not particularly limited, and may be any material as long as it is a plate-shaped member (work). For example, a glass substrate, a silicon substrate, a flexible substrate, and the like are targeted. can do. Further, in the present invention, the work targeted by the droplet discharge device is not limited to a plate-shaped member, and any work may be used. For example, a lens is used as a work, and a coating such as an optical thin film is formed by discharging droplets onto the lens. The present invention can also be applied to a droplet discharge device that performs the method. In addition, the present invention is particularly preferably applied to a relatively large droplet discharge device 1 that can cope with a relatively large work (for example, each having a length and a width of about several tens cm to several meters). can do.
[0022]
The droplet discharge device 1 performs maintenance of the device main body 2, a substrate table (work placement section) 3, a head unit 11 having a plurality of droplet discharge heads (inkjet heads) 111, and maintenance of the droplet discharge head 111. A maintenance device 12, a tank unit 13, a blow device 14 for blowing gas onto the substrate W, a laser length measuring device 15 for measuring a moving distance of the substrate table 3, a control device 16, and a missing dot detection unit 19. Have.
[0023]
The liquid ejected from the droplet ejection head 111 is not particularly limited. In addition to the ink containing the filter material of the color filter, for example, a liquid containing the following various materials (including a dispersion liquid such as a suspension and an emulsion). It can be. A light emitting material for forming an EL light emitting layer in an organic EL (electroluminescence) device. A fluorescent material for forming a phosphor on an electrode in an electron emission device; -A fluorescent material for forming a phosphor in a PDP (Plasma Display Panel) device. -An electrophoretic material forming an electrophoretic body in an electrophoretic display device. A bank material for forming a bank on the surface of the substrate W;・ Various coating materials. A liquid electrode material for forming an electrode; A particle material forming a spacer for forming a minute cell gap between two substrates; A liquid metal material for forming metal wiring; A lens material for forming a microlens;・ Resist material. A light diffusion material for forming a light diffuser;
[0024]
As shown in FIG. 2, the apparatus main body 2 has a gantry 21 installed on the floor, and a stone stool 22 installed on the gantry 21. The substrate table 3 is mounted on the stone platen 22 so as to be movable in the Y-axis direction with respect to the apparatus main body 2. The substrate table 3 moves forward and backward in the Y-axis direction by driving of the linear motor 101. The substrate W is placed on the substrate table 3.
[0025]
The droplet discharge device 1 targets substrates W of various sizes and shapes from a relatively large substrate W having a size similar to the substrate table 3 to a relatively small substrate W smaller than the substrate table 3. can do. In principle, it is preferable that the substrate W performs a droplet discharging operation in a state where the substrate W is positioned so that the center thereof coincides with the center of the substrate table 3. The liquid droplet discharging operation may be performed by positioning the liquid droplets at the shifted position.
[0026]
As shown in FIG. 1, near the two sides along the X-axis direction of the substrate table 3, the liquid droplets are ejected (flashing) from the liquid droplet ejection head 111 before the liquid droplets are ejected (drawn) onto the substrate W. A pre-drawing flushing unit 104 that receives discharged droplets is provided. A suction tube (not shown) is connected to the pre-drawing flushing unit 104, and the discarded discharged liquid passes through the suction tube and is collected by a drainage device 18 described later.
[0027]
The moving distance of the substrate table 3 in the Y-axis direction is measured by a laser length measuring device 15 as moving distance detecting means. The laser length measuring device 15 has a laser length measuring device sensor head 151, a prism 152 and a laser length measuring device main body 153 installed on the apparatus main body 2, and a corner cube 154 installed on the substrate table 3. The laser light emitted from the laser measuring device sensor head 151 along the X-axis direction is bent by the prism 152, travels in the Y-axis direction, and is irradiated on the corner cube 154. The light reflected by the corner cube 154 returns to the laser length measuring device sensor head 151 via the prism 152. In the droplet discharge device 1, the discharge timing from the droplet discharge head 111 is generated based on the moving distance (current position) of the substrate table 3 detected by such a laser length measuring device 15.
[0028]
Further, a main carriage 102 that supports the head unit 11 is installed in the apparatus main body 2 so as to be movable in the X-axis direction in a space above the substrate transfer table 3. The head unit 11 having the plurality of droplet discharge heads 111 moves forward and backward in the X-axis direction together with the main carriage 102 by driving a linear motor actuator 103 having a linear motor and a guide.
[0029]
In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the so-called main scanning of the droplet discharge head 111 is performed based on the discharge timing generated by using the laser length measuring device 15 while moving the substrate table 3 in the Y-axis direction. The droplet discharge head 111 is driven (selective discharge of the discharged droplet). Correspondingly, so-called sub-scanning is performed by moving the head unit 11 (droplet ejection head 111) in the X-axis direction.
[0030]
Further, the apparatus main body 2 is provided with a blow device 14 for semi-drying the droplets discharged on the substrate W. The blow device 14 has a nozzle that opens in a slit shape along the X-axis direction, and blows gas toward the substrate W from the nozzle while transporting the substrate W in the Y-axis direction by the substrate table 3. In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, two blow devices 14 are provided at positions separated from each other in the Y-axis direction.
[0031]
The maintenance device 12 is installed on the side of the gantry 21 and the stone surface plate 22. The maintenance device 12 includes a capping unit 121 for capping the droplet discharge head 111 when the head unit 11 is on standby, a cleaning unit 122 for wiping the nozzle forming surface of the droplet discharge head 111, and a periodic operation of the droplet discharge head 111. It has a regular flushing unit 123 which receives a proper flushing and a weight measuring unit 125.
[0032]
Further, the maintenance device 12 has a movable table 124 movable in the Y-axis direction, and the capping unit 121, the cleaning unit 122, the regular flushing unit 123, and the weight measuring unit 125 are mounted on the movable table 124 in the Y-axis direction. Are installed side by side. When the moving table 124 moves in the Y-axis direction while the head unit 11 is moved above the maintenance device 12, any one of the capping unit 121, the cleaning unit 122, the regular flushing unit 123, and the weight measuring unit 125 drops. It can be located below the ejection head 111. During standby, the head unit 11 moves above the maintenance device 12, and performs capping, cleaning (wiping), and regular flushing in a predetermined order.
[0033]
The capping unit 121 has a plurality of caps arranged to correspond to each of the plurality of droplet discharge heads 111, and an elevating mechanism for elevating the caps. A suction tube (not shown) is connected to each cap, and the capping unit 121 covers the nozzle forming surface of each droplet discharge head 111 with each cap, and discharges from the nozzle formed on the nozzle forming surface. The liquid can be sucked. By performing such capping, it is possible to prevent the nozzle forming surface of the droplet discharge head 111 from drying, and to recover (eliminate) nozzle clogging.
[0034]
The capping by the capping unit 121 is performed when the head unit 11 is in a standby state, when the head unit 11 is initially filled with the discharge liquid, when the discharge liquid is discharged from the head unit 11 when the discharge liquid is replaced with a different liquid, the cleaning liquid is used. This is performed when the flow path is washed.
The discharge liquid discharged from the droplet discharge head 111 during the capping by the capping unit 121 passes through the suction tube, is collected by a capping discharge device 17 described later, and is reused. However, the washing liquid collected at the time of washing the channel is not reused.
[0035]
The cleaning unit 122 operates so that a wiping sheet containing a cleaning liquid (for example, a solvent capable of dissolving a discharge liquid) is run by a roller, and the nozzle formation surface of the droplet discharge head 111 is wiped and cleaned with the wiping sheet. To do.
The periodic flushing unit 123 is used for flushing of the head unit 11 during standby, and receives the ejected droplets that the droplet ejection head 111 has discarded and ejected. A suction tube (not shown) is connected to the periodic flushing unit 123, and the discarded discharged liquid passes through the suction tube and is collected by a drainage device 18 described later.
[0036]
The weight measurement unit 125 is used to measure the amount (weight) of a single droplet discharge from the droplet discharge head 111 as a preparation stage for the droplet discharge operation on the substrate W. In other words, before the droplet discharging operation on the substrate W, the head unit 11 moves above the weight measuring unit 125, and applies one or more droplets from all the discharging nozzles of each droplet discharging head 111 to the weight measuring unit 125. It discharges to. The weight measurement unit 125 includes a liquid receiver that receives the discharged droplets and a weighing scale such as an electronic balance, and measures the weight of the discharged droplets. Alternatively, the liquid receiver may be removed and measurement may be performed with a weighing scale outside the apparatus. The control device 16, which will be described later, calculates the amount (weight) of one ejection droplet at the ejection nozzle based on the result of the weight measurement, and adjusts the liquid so that the calculated value becomes equal to a predetermined design value. The voltage applied to the head driver that drives the droplet ejection head 111 is corrected.
[0037]
The dot missing detection unit 19 is fixedly installed in a place that does not overlap with the moving area of the substrate table 3 on the stone platen 22 and that is located below the moving area of the head unit 11. The dot missing detection unit 19 detects a missing dot caused by clogging of a nozzle of the droplet discharge head 111, and includes, for example, a light emitting unit and a light receiving unit that emit and receive laser light. I have. When performing missing dot detection, the head unit 11 discards and discharges droplets from each nozzle while moving in the X-axis direction above the dot missing detection unit 19. By projecting and receiving the droplets, the presence or absence and location of a clogged nozzle are optically detected. At this time, the liquid discharged from the liquid droplet discharge head 111 accumulates in a tray provided in the dot missing detection unit 19, and passes through a suction tube (not shown) connected to the bottom of the tray to drain liquid to be described later. Collected by the device 18.
[0038]
The tank unit 13 has a rack (shelf) 131. The rack 131 has a first discharge liquid tank 401, a second discharge liquid tank 402, a first cleaning liquid tank 501, and a second cleaning liquid tank, which will be described later. 502, first drainage tank (first reuse tank) 171, second drainage tank (second reuse tank) 172, first drainage tank 181 (first wastewater tank), and The two drainage tanks (second waste liquid tanks) 182 are each installed in a replaceable (removable) manner (see FIG. 9).
[0039]
Such a droplet discharge device 1 (excluding the control device 16) is preferably placed in an environment in which temperature and humidity are controlled by the chamber device 9. The chamber device 9 has a chamber (isolated space) 91 for accommodating the droplet discharge device 1 and a temperature adjusting device 92 installed outside the chamber 91. The temperature adjusting device 92 has a built-in known air conditioner device, and generates air (temperature-controlled air) whose temperature and humidity are adjusted. This temperature-regulated air is sent to the underside 911 of the chamber 91 through the introduction duct 93. This temperature-controlled air passes through the filter 912 from the ceiling 911 and is introduced into the main chamber 913 of the chamber 91.
[0040]
A separate room 916 is provided in the chamber 91 by partition walls 914 and 915, and the tank unit 13 is installed in the separate room 916. A communication portion (opening) 917 that connects the main chamber 913 and the separate chamber 916 is formed in the partition 914. An exhaust duct 94 is connected to the separate room 916. The temperature-controlled air introduced into the main chamber 913 passes through the communication portion 917 and flows into the separate chamber 916, and then passes through the exhaust duct 94 and is discharged outside the chamber device 9.
[0041]
By controlling the temperature and humidity around the droplet discharge device 1 by such a chamber device 9, it is possible to prevent an error from occurring due to expansion and contraction of the substrate W and various parts of the device due to a temperature change. Thus, the accuracy of the pattern drawn (formed) by the discharged droplets on the substrate W can be further improved. Further, since the tank unit 13 is also placed in an environment where the temperature and the humidity are controlled, the viscosity and the like of the discharged liquid are stabilized, and the formation (drawing) of the pattern by the discharged liquid droplets can be performed with higher accuracy. In addition, it is possible to prevent dust and the like from entering the chamber 91 and to keep the substrate W clean.
A gas other than air (for example, an inert gas such as nitrogen, carbon dioxide, helium, neon, argon, krypton, xenon, and radon) is supplied and filled into the chamber 91 at a controlled temperature. The droplet discharge device 1 may be operated in an atmosphere.
[0042]
Outside the chamber 91, a control device (control means) 16 for controlling the operation of each part of the droplet discharge device 1 is provided. The control device 16 includes a CPU (Central Processing Unit) and a storage unit that stores (stores) various programs and various data such as a program for executing a control operation of the droplet discharge device 1. The operation of each part of the droplet discharge device 1 is controlled.
[0043]
FIG. 3 is a plan view showing a gantry, a stone platen, and a substrate table in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, and FIG. 4 is a gantry, a stone platen in the droplet discharge device shown in FIGS. FIG. 4 is a side view showing a substrate table.
As shown in FIG. 4, the gantry 21 has a frame body 211 configured by assembling angle materials or the like in a rectangular shape, and a plurality of support legs 212 that are dispersedly arranged below the frame body 211. The stone platen 22 is made of solid stone, and the upper surface thereof has a high flatness. The stone platen 22 prevents the influence of surrounding environmental conditions and vibrations, and the substrate table 3 and the head unit 11 can move with high accuracy.
[0044]
On the stone platen 22, a linear motor 101 and an air slider 108 as a Y-axis direction moving mechanism are installed. The substrate table 3 is supported by the air slider 108 so as to be able to move smoothly in the Y-axis direction, and moves in the Y-axis direction by driving the linear motor 101. Further, a θ-axis rotating mechanism 105 is provided below the substrate table 3, whereby the substrate table 3 is rotatable within a predetermined range around a vertical θ-axis passing through the center of the substrate table 3. It has become.
Further, as shown in FIG. 3, the substrate table 3 is formed with a plurality of suction ports (suction portions) 332 for sucking and fixing the placed substrate W.
[0045]
5 is a plan view showing a head unit and an X-axis direction moving mechanism in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, FIG. 6 is a side view seen from the direction of arrow A in FIG. 5, and FIG. It is the front view seen from the arrow B direction in FIG. In FIGS. 5 and 7, some of the installed devices are not shown.
As shown in these figures, the apparatus main body 2 includes four columns 23 installed on a stone platen 22 and two parallel columns extending along the X-axis direction supported by these columns 23. (Beams) 24 and 25. The substrate table 3 can pass under the girders 24 and 25.
[0046]
As shown in FIG. 5, the main carriage 102 and the camera carriage 106 are installed on the girders 24 and 25 so as to be bridged between the girders 24 and 25, respectively. On the girder 24, a linear motor actuator 103 is installed as a common X-axis direction moving mechanism for the main carriage 102 and the camera carriage 106. The main carriage 102 and the camera carriage 106 are installed so as to be able to move smoothly in the X-axis direction under the guidance of a linear motor actuator 103 and a linear guide provided on the spar 25, respectively. The main carriage 102 and the camera carriage 106 move independently in the X-axis direction by driving the linear motor actuator 103.
[0047]
The head unit 11 is supported by the main carriage 102. When the head unit 11 moves in the X-axis direction together with the main carriage 102, sub-scanning of the droplet discharge head 111 is performed. The head unit 11 is connected to a pipe (not shown) for supplying a liquid to be ejected, a wiring cable (not shown), and the like. The head unit 11 is detachable from the main carriage 102.
The camera carriage 106 is provided with a recognition camera 107 for recognizing an image of an alignment mark provided at a predetermined position on the substrate W. The recognition camera 107 is supported by being suspended from the camera carriage 106 below. Note that the recognition camera 107 may be used for other purposes.
[0048]
FIG. 8 is a plan view schematically showing a configuration of a head unit and a droplet discharging operation in the droplet discharging device shown in FIGS. 1 and 2. As shown in FIG. 8, on the nozzle forming surface of the droplet discharge head 111, a number of discharge nozzles (openings) from which droplets are discharged are formed in one or more rows. The droplet discharge head 111 has a piezoelectric element that is displaced (deformed) by application of a voltage, and utilizes a displacement (deformation) of the piezoelectric element to form a pressure chamber (liquid chamber) formed to communicate with the discharge nozzle. The droplets are ejected from the ejection nozzles by changing the pressure in the parentheses. The droplet discharge head 111 is not limited to such a configuration. For example, the droplet discharge head 111 may be configured to heat a discharge liquid with a heater to boil the liquid, and discharge the liquid droplet from the discharge nozzle by the pressure. .
The head unit 11 is provided with a plurality of the droplet discharge heads 111 (described as 12 in the following description). These droplet discharge heads 111 are arranged in two rows of six in the sub-scanning direction (X-axis direction), and are arranged so that the nozzle rows are inclined at a predetermined angle with respect to the sub-scanning direction.
[0049]
Note that such an arrangement pattern is merely an example. For example, adjacent droplet discharge heads 111 in each head row are arranged at an angle of 90 ° (the adjacent heads have a “C” shape), The droplet discharge heads 111 between the head rows may be arranged at an angle of 90 ° (the heads between the rows are arranged in a “C” shape). In any case, the dots by all the ejection nozzles of the plurality of droplet ejection heads 111 need only be continuous in the sub-scanning direction.
[0050]
Furthermore, the droplet discharge heads 111 do not have to be installed in a posture inclined with respect to the sub-scanning direction, and a plurality of droplet discharge heads 111 may be arranged in a staggered or stepwise manner. . Further, as long as a nozzle row (dot row) having a predetermined length can be formed, this may be formed by a single droplet discharge head 111. Further, a plurality of head units 11 may be installed on the main carriage 102.
[0051]
Here, the overall operation of the droplet discharge device 1 under the control of the control device 16 will be briefly described. When the substrate W placed (supplied) on the substrate table 3 is positioned (pre-aligned) at a predetermined position by the operation of the substrate positioning device (description omitted) of the droplet discharge device 1, the substrate table 3 The substrate W is sucked and fixed to the substrate table 3 by the air suction from each suction port 332. Next, by moving the substrate table 3 and the camera carriage 106 respectively, the recognition camera 107 moves above the alignment mark provided at a predetermined position (one or more positions) on the substrate W, and recognizes the alignment mark. I do. Based on the recognition result, the θ-axis rotation mechanism 105 is operated to correct the angle of the substrate W about the θ-axis, and the position correction of the substrate W in the X-axis direction and the Y-axis direction is performed on the data ( Book alignment).
[0052]
When the alignment operation of the substrate W as described above is completed, while the head unit 11 is stopped, the substrate table 3 is moved to move the substrate W in the main scanning direction (Y-axis direction). From the substrate W to the substrate W. At this time, the droplet discharging operation may be performed during the forward movement (forward movement) of the substrate table 3, during the backward movement (backward movement), or during both the forward movement and the backward movement (reciprocation). Alternatively, the substrate table 3 may be reciprocated a plurality of times to repeat the droplet discharge operation a plurality of times. By the above operation, the discharge of the droplet is completed in the region extending along the main scanning direction with a predetermined width (the width that can be discharged by the head unit 111) on the substrate W.
[0053]
Thereafter, by moving the main carriage 102, the head unit 111 is moved in the sub-scanning direction (X-axis direction) by the predetermined width. In this state, similar to the above-described operation, a selective droplet discharge operation from each droplet discharge head 111 to the substrate W is performed while moving the substrate W in the main scanning direction. When the droplet discharging operation to this area is completed, the substrate W is moved in the main scanning direction while the head unit 111 is further moved in the sub-scanning direction (X-axis direction) by the predetermined width. In addition, the same droplet discharging operation is performed. By repeating this several times, droplet discharge is performed on the entire region of the substrate W. In this way, the droplet discharge device 1 forms (draws) a predetermined pattern on the substrate W.
[0054]
FIG. 9 is a perspective view showing a tank unit in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, and FIG. 10 schematically shows a liquid supply device and a drainage device in the droplet discharge device shown in FIGS. FIG. 11 is a diagram schematically showing a configuration of a liquid amount detecting means. Hereinafter, based on these drawings and FIG. 6, a discharge liquid supply device (liquid supply device) 4, a cleaning liquid supply device (liquid supply device) 5, a capping drain device 17 and a drain device 18 in the droplet discharge device 1 will be described. explain.
[0055]
First, the discharge liquid supply device 4 that supplies the discharge liquid discharged from the droplet discharge head 111 will be described. As shown in FIG. 10, the discharge liquid supply device 4 includes a first discharge liquid tank (liquid supply tank) 401 and a second discharge liquid tank (liquid supply tank) 402 for storing the discharge liquid, and a first discharge liquid tank (liquid supply tank) 402. An outflow pipe (outflow channel) 403 connected to the liquid tank 401, an outflow pipe (outflow channel) 404 connected to the second discharge liquid tank 402, a three-way valve (flow path switching means) 405, A pressurizing means 406 for supplying pressurized gas into the first discharge liquid tank 401 and the second discharge liquid tank 402; a pressurizing pipe (pressurization path) 407 connected to the first discharge liquid tank 401; It has a pressure pipe (pressure path) 408 connected to the second liquid tank 402 and a three-way valve (pressure path switching means) 409.
[0056]
As the pressurizing means 406, for example, a pressurized gas supply source for supplying a gas such as pressurized nitrogen gas is used. To the three-way valve 409, a pipe (path) 410 from the pressurizing means 406 and pressurizing pipes 407 and 408 are respectively connected. The three-way valve 409 can switch between a state in which the pipe 410 and the pressurized pipe 407 are connected and a state in which the pipe 410 and the pressurized pipe 408 are connected. Accordingly, the inside of the first discharge liquid tank 401 or the second discharge liquid tank 402 can be selectively pressurized by the pressurizing means 406. The three-way valve 409 is automatically switched by an actuator (not shown).
[0057]
The three-way valve 405 is connected with a liquid supply pipe (liquid supply flow path) 411 toward the head unit 11 side, and outflow pipes 403 and 404, respectively. The three-way valve 405 can switch between a state in which the supply pipe 411 and the outflow pipe 403 are connected and a state in which the supply pipe 411 and the outflow pipe 404 are connected. Thus, the discharge liquid can be selectively supplied from the first discharge liquid tank 401 or the second discharge liquid tank 402 to the liquid supply pipe 411. The three-way valve 405 is automatically switched by an actuator (not shown).
[0058]
As shown in FIG. 6, the other end of the liquid supply pipe 411 extending from the three-way valve 405 is connected to a secondary tank 412 installed on the main carriage 102. In the middle of the flexible liquid supply pipe 411, the liquid is supplied so that the portion of the liquid supply pipe 411 on the side of the secondary tank 412 can move in accordance with the movement of the secondary tank 412 moving with the main carriage 102. A relay section 413 that relays the pipe 411 is provided.
[0059]
One end of each of twelve branch pipes 414 corresponding to each of the twelve droplet discharge heads 111 is connected to the secondary tank 412, and the other ends of these branch pipes 414 are provided in the head unit 11. Connected to the twelve inflow ports 112 corresponding to the respective droplet discharge heads 111. In FIG. 6, only two of the twelve branch pipes 414 are shown for easy viewing.
[0060]
In the middle of each branch pipe 414, a shutoff valve 415 is provided. The discharge liquid that has passed through the liquid supply pipe 411 flows into the secondary tank 412, is adjusted in pressure in the secondary tank 412, and is supplied to each droplet discharge head 111 through each branch pipe 414. When the negative pressure control unit that adjusts the pressure in the secondary tank 412 does not function for some reason, the shutoff valve 415 shuts off the flow path of the branch pipe 414, and the droplet discharge head located at a position lower than the secondary tank 412. The liquid is prevented from continuing to flow from the secondary tank 412 to the liquid droplet 111 and leaking from the liquid droplet discharging head 111.
[0061]
As shown in FIG. 9, the first discharge liquid tank 401 and the second discharge liquid tank 402 of the discharge liquid supply device 4 are respectively installed in the tank unit 13. The tank unit 13 has a rack (shelf) 131 that supports a plurality of tanks. The first discharge liquid tank 401 and the second discharge liquid tank 402 are detachably installed on the rack 131, respectively. I have. Thus, when the first discharge liquid tank 401 and the second discharge liquid tank 402 become empty, they can be removed and replaced or refilled. The first liquid tank 401 and the second liquid tank 402 can be exchanged from outside the chamber 91 by opening a door 918 provided on the outer wall of another chamber 916 of the chamber 91 (see FIG. 1). ). Although the individual capacities of the first liquid tank 401 and the second liquid tank 402 are not particularly limited, a viewpoint that considers both simplification of replacement work and securing of the capacity of the entire liquid supply apparatus 4 is considered. Therefore, it is preferably about 1 to 10 liters, more preferably about 3 to 5 liters.
[0062]
As shown in FIG. 11A, the discharge liquid supply device 4 further includes a liquid amount detection unit 416 that detects a liquid amount inside the first discharge liquid tank 401. The liquid amount detecting unit 416 is provided along the vertical direction outside the first discharge liquid tank 401, and has a light-transmissive tube 417 whose inner cavity communicates with the first discharge liquid tank 401. The light emitting unit 418 includes a light projecting unit 418 and a light receiving unit 419 which are installed near the bottom of one of the discharge liquid tanks 401 with a tube 417 therebetween. When the amount of liquid in the first discharge liquid tank 401 decreases to a predetermined lower limit level E (empty state) due to a change in the amount of light received by the light receiving section 419, Can be detected. The detection result of the liquid amount detection means 416 is input to the control device 16.
Further, the discharge liquid supply device 4 has the same liquid amount detection means 420 for detecting the liquid amount inside the second discharge liquid tank 402. The liquid amount detecting means 420 detects when the liquid amount in the second discharge liquid tank 402 decreases to a predetermined lower limit level E, and inputs the detection result to the control device 16.
[0063]
In the state shown in FIG. 10, the discharge liquid supply device 4 pressurizes the inside of the first discharge liquid tank 401 by the pressurizing means 406, and the discharge liquid in the first discharge liquid tank 401 is compressed by this pressure. The liquid is supplied through the outflow pipe 403 and the liquid supply pipe 411 to be supplied to the droplet discharge head 111.
When the discharged liquid in the first discharged liquid tank 401 is consumed and the liquid amount detecting means 416 detects that the first discharged liquid tank 401 is empty, the control device 16 determines the detection result. , The three-way valve 405 and the three-way valve 409 are respectively switched. Accordingly, the pressurizing means 406 pressurizes the inside of the second discharge liquid tank 402, and discharges the discharge liquid in the second discharge liquid tank 402 through the outflow pipe 404 and the liquid supply pipe 411. Then, the state is switched to a state of being supplied to the droplet discharge head 111.
[0064]
While the discharge liquid is being supplied from the second discharge liquid tank 402, the operator removes the empty first discharge liquid tank 401 from the rack 131 and refills the discharge liquid. return. Thereafter, when the liquid amount detecting means 420 detects that the second discharge liquid tank 402 is empty, the control device 16 switches the three-way valve 405 and the three-way valve 409 respectively to discharge the first discharge liquid tank 401. Switch to the state in which the liquid is supplied. Then, while the discharge liquid is being supplied from the first discharge liquid tank 401, the operator removes the empty second discharge liquid tank 402 from the rack 131 and refills the discharge liquid.
[0065]
When the first discharge liquid tank 401 is emptied and when the second discharge liquid tank 402 is emptied, the control device 16 notifies the user accordingly and replaces the tank (discharge of the discharge liquid). (Replenishment) is recommended to the operator. As a method of this notification, there is a method of displaying characters or figures on an operation panel (not shown), or producing a sound or voice. Further, when the first discharge liquid tank 401 is emptied and when the second discharge liquid tank 402 is emptied, characters, figures, sounds, sounds, or the like for notification are made different. It is preferable to be able to determine whether or not the discharged liquid tank has become empty.
[0066]
The discharge liquid supply device 4 described above uses the first discharge liquid tank 401 and the second discharge liquid tank 402 while switching between them, so that the capacity can be increased as a whole and the droplet discharge device 1 can be used. It is possible to effectively cope with an increase in the consumption of the discharge liquid due to the increase in the size of the liquid. In addition, since the first discharge liquid tank 401 and the second discharge liquid 402 can be made larger without increasing their respective capacities, the first discharge liquid tank 401 and the second discharge liquid The weight of the tank 402 (particularly the weight at the time of filling) can be prevented from becoming too heavy, and the burden on the operator at the time of tank replacement can be reduced.
[0067]
Further, by alternately replacing (replenishing) the first discharge liquid tank 401 and the second discharge liquid tank 402, the discharge liquid can be replenished without stopping the operation of the droplet discharge device 1. . Therefore, the production efficiency can be improved, and a high production amount (throughput) can be obtained. Also, when a large amount of liquid is consumed, such as during initial filling of the liquid, there is no time loss due to the tank replacement operation.
[0068]
Note that, in the present invention, three or more discharge liquid tanks (liquid supply tanks) are provided, and switching is performed so that the discharge liquid is supplied from one discharge liquid tank (liquid supply tank) selected from these tanks. It may be. Further, the flow path switching means such as the three-way valve 405 and the pressurizing path switching means such as the three-way valve 409 are not limited to those configured to switch automatically, and may be those that switch manually. Further, the method of sending the discharged liquid is not limited to the method of pressurizing the inside of the discharged liquid tank, and the liquid may be sent by suction using a suction pump.
[0069]
Next, the cleaning liquid supply device 5 for supplying the cleaning liquid used in the cleaning unit (cleaning device) 122 for cleaning the droplet discharge head 111 will be described, but the description of the same items as the discharge liquid supply device 4 will be omitted. . As shown in FIG. 10, the cleaning liquid supply device 5 includes a first cleaning liquid tank (liquid supply tank) 501 and a second cleaning liquid tank 502 that are detachably mounted on the rack 131 and store the cleaning liquid. Outflow pipe (outflow channel) 503 connected to cleaning liquid tank 501, outflow pipe (outflow path) 504 connected to second cleaning liquid tank 502, and supply of outflow pipes 503 and 504 and cleaning unit 122. A three-way valve (flow path switching means) 505 to which a pipe (liquid supply flow path) 511 is connected, and a pressurizing means for supplying pressurized gas into the first cleaning liquid tank 501 and the second discharge liquid tank 502 506, a pressure pipe (pressure path) 507 connected to the first cleaning liquid tank 501, a pressure pipe (pressure path) 508 connected to the second cleaning liquid tank 502, A three-way valve (pressurizing path switching means) 509 to which the pipes 507 and 508 and a pipe (path) 510 from the pressurizing means 506 are connected, respectively, and residual liquid in the first cleaning liquid tank 501 and the second cleaning liquid tank 502 And a liquid amount detecting means (not shown) for detecting the amount.
[0070]
As the pressurizing means 506, for example, a pressurized gas supply source for supplying a gas such as pressurized nitrogen gas is used. Further, the pressurizing unit 406 and the pressurizing unit 506 may be shared without being provided separately. The cleaning liquid supplied from the liquid supply channel 511 to the cleaning unit 122 is jetted from a nozzle provided in the cleaning unit 122 and impregnated in a wiping sheet for wiping the nozzle forming surface of the droplet discharge head 111.
Like the discharge liquid supply device 4, such a cleaning liquid supply device 5 is used while switching between the first cleaning liquid tank 501 and the second cleaning liquid tank 502 by switching the three-way valves 505 and 509. The same effect as that of the discharge liquid supply device 4 is exhibited.
[0071]
Next, a description will be given of the capping drainage device 17 for collecting the drainage (discharged liquid) from the capping unit (capping device) 121 for capping the droplet discharge head 111. Will not be described. As shown in FIG. 10, a capping drainage device 17 includes a first drainage tank 171 and a second drainage tank 172 that are detachably mounted on a rack 131 and store drainage collected from the capping unit 121. An inflow pipe (inflow path) 173 connected to the first drainage tank 171, an inflow pipe (inflow path) 174 connected to the second drainage tank 172, and a three-way valve (flow path switching). 175). The three-way valve 175 is connected to a drain pipe (drain channel) 176 from the capping unit 121, and inlet pipes 173 and 174, respectively. The three-way valve 175 can switch between a state in which the drain pipe 176 and the inflow pipe 173 are connected and a state in which the drain pipe 176 and the inflow pipe 174 are connected. Thus, the drainage from the capping unit 121 can be selectively introduced into the first drainage tank 171 or the second drainage tank 172. The three-way valve 175 is automatically switched by an actuator (not shown).
[0072]
As shown in FIG. 11B, the capping drainage device 17 further includes a liquid amount detection unit 177 that detects the liquid amount inside the first drainage tank 171. The liquid amount detecting means 177 is provided along the vertical direction outside the first drainage tank 171, and has a light-transmissive tube 178 whose inner cavity communicates with the first drainage tank 171. A light projecting unit 179 and a light receiving unit 170 are provided near the top of one drainage tank 171 so as to face each other with a tube 178 interposed therebetween. The liquid amount detecting means 177 detects when the amount of liquid in the first drain tank 171 increases due to a change in the amount of light received by the light receiving section 170 and reaches a predetermined upper limit level F (full state). Can be detected. The detection result of the liquid amount detection unit 177 is input to the control device 16. Further, the capping drainage device 17 further includes a similar liquid amount detecting unit 177 for detecting the liquid amount inside the second drainage tank 171.
[0073]
In such a capping drainage device 17, in the state shown in FIG. 10, the drainage from the capping unit 121 is sucked by a suction pump (not shown) and introduced into the first drainage tank 171. Then, when the drainage in the first drainage tank 171 accumulates and the liquid amount detecting means 177 detects that the first drainage tank 171 is full, the control device 16 determines the detection result. , The three-way valve 175 is switched to a state in which drainage is introduced into the second drainage tank 172.
[0074]
When the first drainage tank 171 is full and when the second drainage tank 172 is full, the control device 16 notifies the user, for example, in the same manner as described above, It is preferable to prompt the operator to replace the tank (collect the waste liquid). Since the drainage collected by the capping drainage device 17 is a relatively clean discharge, it is used for reuse.
[0075]
Since the capping drainage device 17 described above is used while switching between the first drainage tank 171 and the second drainage tank 172, the capacity can be increased as a whole and the droplet discharge device 1 can be used. It is possible to effectively cope with an increase in the amount of drainage due to an increase in the size of the device. In addition, since the first drain tank 171 and the second drain tank 172 can be increased in overall capacity without excessively increasing the capacities of the first drain tank 171 and the second drain tank 172, respectively. It is possible to prevent the weight of the tank 172 (particularly, the weight at the time of being full) from becoming too heavy, and reduce the burden on the operator at the time of tank replacement work.
Also, by alternately replacing (collecting) the first drain tank 171 and the second drain tank 172, the drain can be collected without stopping the operation of the droplet discharge device 1. . Therefore, the production efficiency can be improved, and a high production amount (throughput) can be obtained.
[0076]
Next, the drainage device 18 that collects the drainage (discharge) discharged and discharged from the droplet discharge head 111 in the pre-drawing flushing unit 104, the periodic flushing unit 123, and the dot missing detection unit 19 will be described. The description of the same items as those of the drainage device 17 will be omitted. As shown in FIG. 10, the drainage device 18 is detachably installed on a rack 131 (not shown in FIG. 9), and stores a first drainage tank 181 for storing waste liquid discharged and discharged. A second drain tank 182, an inflow pipe (inflow path) 183 connected to the first drain tank 181, an inflow pipe (inflow path) 184 connected to the second drain tank 182, , A three-way valve (flow path switching means) 185. The three-way valve 185 is connected to drainage pipes (drainage flow paths) 186 from the pre-drawing flushing unit 104, the periodic flushing unit 123, and the missing dot detection unit 19, and the inflow pipes 183 and 184, respectively. Further, the drainage device 18 further has a liquid amount detecting means (not shown) for detecting the liquid amounts inside the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182, respectively.
According to such a drainage device 18, the same effect as the capping drainage device 17 can be obtained. The drainage collected by the drainage device 18 is disposed or reused.
[0077]
As described above, according to the present invention, the operation of the droplet discharge device can be continued even when a liquid supply tank such as a discharge liquid tank or a cleaning liquid tank or a drainage tank is replaced, so that production efficiency is improved. In addition, a high production amount (throughput) can be obtained, suitable for mass production of substrates, and a reduction in manufacturing cost can be achieved. Also, since the capacity of the entire tank can be increased without increasing the capacity of each tank, the amount of liquid supply and the amount of liquid that accompanies the increase in the size of the droplet discharge device can be increased without increasing the burden on the operator during tank replacement work. It is possible to effectively cope with an increase in the drainage amount.
[0078]
As described above, the liquid supply device, the drainage device, and the droplet discharge device of the present invention have been described with reference to the illustrated embodiments. However, the present invention is not limited thereto, and the liquid supply device, the drainage device, and the droplet Each part constituting the ejection device can be replaced with an arbitrary configuration capable of exhibiting the same function. Further, an arbitrary component may be added.
In the above embodiment, the liquid amount detecting means for detecting the liquid amount in the tank detects that the liquid amount (liquid level) has reached a predetermined lower limit level or upper limit level. The liquid amount detecting means may be capable of constantly detecting a change in the liquid amount (liquid level).
[0079]
Further, the configuration of the liquid amount detecting means is not limited to the configuration shown in the figure. For example, a structure for detecting the liquid amount based on the height of a float provided in the tank, or a method for measuring the liquid amount by measuring the weight of the tank. Any configuration may be used, such as a configuration for detecting the flow rate, or a configuration for detecting the amount of liquid by measuring the flow rate from the tank or flowing into the tank with an integrating flow meter.
[0080]
In the droplet discharge device according to the present invention, the head unit (droplet discharge head) is fixed to the device main body, and the substrate (work) is moved in the Y-axis direction and the X-axis direction, so that the main scanning and the sub-scanning are performed. It may be configured to perform scanning. On the contrary, the main scanning and the sub-scanning are performed by fixing the substrate (work) to the apparatus main body and moving the head unit (droplet ejection head) in the Y-axis direction and the X-axis direction, respectively. It may be configured. That is, the droplet discharge device according to the present invention may be any device that is configured to relatively move the work placement unit and the droplet discharge head.
For example, the Y-axis direction moving mechanism and the X-axis direction moving mechanism may be, for example, ball screws (feed screws) instead of linear motors.
[0081]
Further, an electro-optical device according to the present invention is characterized by being manufactured using the above-described droplet discharge device according to the present invention. Specific examples of the electro-optical device according to the invention are not particularly limited, and examples thereof include a liquid crystal display device and an organic EL display device.
Further, a method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention uses the droplet discharge device according to the present invention. The method for manufacturing an electro-optical device according to the invention can be applied to, for example, a method for manufacturing a liquid crystal display device. That is, by selectively discharging the liquid containing the filter material of each color onto the substrate using the droplet discharge device of the present invention, a color filter having a large number of filter elements arranged on the substrate is manufactured. A liquid crystal display device can be manufactured using a color filter. In addition, the method for manufacturing an electro-optical device according to the invention can be applied to, for example, a method for manufacturing an organic EL display device. That is, by selectively discharging a liquid containing a luminescent material of each color onto a substrate using the droplet discharge device of the present invention, an organic pixel having a large number of pixel pixels including an EL luminescent layer arranged on the substrate. An EL display device can be manufactured.
According to another aspect of the invention, there is provided an electronic apparatus including the electro-optical device manufactured as described above. Specific examples of the electronic apparatus of the present invention include, but are not particularly limited to, a personal computer and a mobile phone equipped with the liquid crystal display device and the organic EL display device manufactured as described above.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a droplet discharge device of the present invention.
FIG. 2 is a side view showing an embodiment of the droplet discharge device of the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing a gantry, a stone surface plate, and a substrate table.
FIG. 4 is a side view showing a gantry, a stone surface plate, and a substrate table.
FIG. 5 is a plan view showing a head unit and an X-axis direction moving mechanism.
FIG. 6 is a side view as seen from the direction of arrow A in FIG. 5;
FIG. 7 is a front view as seen from the direction of arrow B in FIG. 5;
FIG. 8 is a schematic plan view showing a configuration of a head unit and a droplet discharging operation.
FIG. 9 is a perspective view showing a tank unit.
FIG. 10 is a piping system diagram schematically showing a liquid supply device and a drainage device.
FIG. 11 is a diagram schematically illustrating a configuration of a liquid amount detection unit.
[Explanation of symbols]
4 ... discharge liquid supply device, 401 ... first discharge liquid tank, 402 ... second discharge liquid tank, 403 ... outlet pipe, 404 ... outlet pipe, 405 ... three-way valve, 406 ... Pressure means, 407 pressurized pipe, 408 pressurized pipe, 409 three-way valve, 410 pipe, 411 liquid supply pipe, 5 cleaning liquid supply device, 501 cleaning liquid tank , 502... Second cleaning liquid tank, 503... Outflow pipe, 504... Outflow pipe, 505. ... three-way valve, 510 ... pipe, 511 ... liquid supply pipe, 17 ... capping drainage device, 171 ... first drainage tank, 172 ... second drainage tank, 173 ... inflow pipe , 174 inflow piping, 175 three-way valve, 176 drainage Pipe, 18 drainage device, 181 first drainage tank, 182 second drainage tank, 183 inflow pipe, 184 inflow pipe, 185 three-way valve, 186 Drainage piping

Claims (22)

液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液体吐出装置において液体を供給する給液装置であって、
供給する液体を貯留する複数の給液タンクと、
前記複数の給液タンクにそれぞれ接続された流出流路と、
液体供給先へ向かう給液流路に、前記複数の給液タンクから選択した１つの給液タンクに対応する流出流路を接続する流路切り替え手段とを備えることを特徴とする給液装置。A liquid supply device for supplying a liquid in a liquid ejection device including a droplet ejection head for ejecting droplets,
A plurality of liquid supply tanks for storing liquid to be supplied,
Outflow channels respectively connected to the plurality of liquid supply tanks,
A liquid supply device, comprising: a liquid supply path toward a liquid supply destination; and a flow path switching unit that connects an outflow path corresponding to one liquid supply tank selected from the plurality of liquid supply tanks. 前記複数の給液タンクの少なくとも１つが交換可能である請求項１に記載の給液装置。The liquid supply device according to claim 1, wherein at least one of the plurality of liquid supply tanks is replaceable. 前記供給する液体は、前記液滴吐出ヘッドから吐出する液体である請求項１または２に記載の給液装置。The liquid supply device according to claim 1, wherein the liquid to be supplied is liquid discharged from the droplet discharge head. 前記供給する液体は、前記液滴吐出ヘッドのクリーニングを行うクリーニング装置で用いる洗浄液である請求項１または２に記載の給液装置。The liquid supply device according to claim 1, wherein the liquid to be supplied is a cleaning liquid used in a cleaning device that cleans the droplet discharge head. 前記各給液タンクに対し、当該給液タンク内の液量を検出する液量検出手段を備える請求項１ないし４のいずれかに記載の給液装置。The liquid supply device according to any one of claims 1 to 4, further comprising a liquid amount detection unit for detecting a liquid amount in the liquid supply tank with respect to each of the liquid supply tanks. 前記各液量検出手段の検出結果に基づいて前記流路切り替え手段の作動を制御する制御手段を備える請求項５に記載の給液装置。The liquid supply device according to claim 5, further comprising control means for controlling an operation of the flow path switching means based on a detection result of each of the liquid amount detection means. 前記各給液タンクの内部を加圧し得る加圧手段を備える請求項１ないし６のいずれかに記載の給液装置。The liquid supply device according to any one of claims 1 to 6, further comprising a pressurizing unit configured to pressurize the inside of each of the liquid supply tanks. 前記各給液タンクにそれぞれ接続された加圧経路と、
前記加圧手段からの経路に、前記複数の加圧経路から選択した１つの加圧経路を接続する加圧経路切り替え手段とを備える請求項７に記載の給液装置。A pressurization path connected to each of the liquid supply tanks,
The liquid supply device according to claim 7, further comprising: a pressurizing path switching unit that connects one pressurizing path selected from the plurality of pressurizing paths to a path from the pressurizing unit. 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液体吐出装置において排液を回収する排液装置であって、
回収した排液を貯留する複数の排液タンクと、
前記複数の排液タンクにそれぞれ接続された流入流路と、
排液回収先からの排液流路に、前記複数の排液タンクから選択した１つの排液タンクに対応する流入流路を接続する流路切り替え手段とを備えることを特徴とする排液装置。A liquid discharging device that collects discharged liquid in a liquid discharging device including a liquid droplet discharging head that discharges liquid droplets,
A plurality of drainage tanks for storing the collected drainage,
Inflow channels respectively connected to the plurality of drainage tanks,
A drainage device comprising: a drainage passage from a drainage collection destination; and a flow passage switching unit for connecting an inflow passage corresponding to one drainage tank selected from the plurality of drainage tanks. . 前記複数の排液タンクの少なくとも１つが交換可能である請求項９に記載の排液装置。The drainage device according to claim 9, wherein at least one of the plurality of drainage tanks is replaceable. 前記排液は、前記液滴吐出ヘッドをキャッピングするキャッピング装置から回収される液体である請求項９または１０に記載の排液装置。The drainage device according to claim 9, wherein the drainage is a liquid collected from a capping device that caps the droplet discharge head. 前記排液は、前記液滴吐出ヘッドの捨て吐出および／またはドット抜け検査により吐出された液体である請求項９または１０に記載の排液装置。The drainage device according to claim 9, wherein the drainage is a liquid discharged by a drop discharge and / or a dot missing inspection of the droplet discharge head. 前記各排液タンクに対し、当該排液タンク内の液量を検出する液量検出手段を備える請求項９ないし１２のいずれかに記載の排液装置。The drainage device according to any one of claims 9 to 12, further comprising a liquid amount detection unit for detecting a liquid amount in the drainage tank for each of the drainage tanks. 前記各液量検出手段の検出結果に基づいて前記流路切り替え手段の作動を制御する制御手段を備える請求項１３に記載の排液装置。14. The drainage device according to claim 13, further comprising a control unit that controls an operation of the flow path switching unit based on a detection result of each of the liquid amount detection units. 請求項１ないし８のいずれかに記載の給液装置と、
ワークを載置可能なワーク載置部と、
前記ワーク載置部に載置されたワークに対して液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動機構とを備えることを特徴とする液滴吐出装置。A liquid supply device according to any one of claims 1 to 8,
A work placement part on which a work can be placed,
A droplet discharge head that discharges droplets to a work placed on the work placement unit,
A droplet discharge device comprising: a moving mechanism that relatively moves the work placement unit and the droplet discharge head. 排液を回収する排液装置を備える請求項１５に記載の液滴吐出装置。The droplet discharge device according to claim 15, further comprising a drainage device that collects drainage. 請求項９ないし１４のいずれかに記載の排液装置を備える請求項１５に記載の液滴吐出装置。A droplet discharge device according to claim 15, comprising the drainage device according to any one of claims 9 to 14. 請求項９ないし１４のいずれかに記載の排液装置と、
ワークを載置可能なワーク載置部と、
前記ワーク載置部に載置されたワークに対して液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動機構とを備えることを特徴とする液滴吐出装置。A drainage device according to any one of claims 9 to 14,
A work placement part on which a work can be placed,
A droplet discharge head that discharges droplets to a work placed on the work placement unit,
A droplet discharge device comprising: a moving mechanism that relatively moves the work placement unit and the droplet discharge head. 前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成する請求項１５ないし１８のいずれかに記載の液滴吐出装置。19. A predetermined pattern is formed on the work by discharging droplets from the droplet discharge head while relatively moving the work placement section and the droplet discharge head. 3. The droplet discharge device according to 1. 請求項１５ないし１９のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする電気光学装置。An electro-optical device manufactured using the droplet discharge device according to claim 15. 請求項１５ないし１９のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。A method for manufacturing an electro-optical device, comprising using the droplet discharge device according to claim 15. 請求項２０に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 20.
JP2002335842A 2002-11-19 2002-11-19 Droplet discharge device Expired - Fee Related JP3988628B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002335842A JP3988628B2 (en) 2002-11-19 2002-11-19 Droplet discharge device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002335842A JP3988628B2 (en) 2002-11-19 2002-11-19 Droplet discharge device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004167365A true JP2004167365A (en) 2004-06-17
JP3988628B2 JP3988628B2 (en) 2007-10-10

Family

ID=32699828

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002335842A Expired - Fee Related JP3988628B2 (en) 2002-11-19 2002-11-19 Droplet discharge device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3988628B2 (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006122812A (en) * 2004-10-28 2006-05-18 Oji Paper Co Ltd Coater
WO2009119676A1 (en) * 2008-03-26 2009-10-01 芝浦メカトロニクス株式会社 Paste applying apparatus and paste applying method
KR20110052325A (en) * 2009-11-12 2011-05-18 주식회사 탑 엔지니어링 Apparatus for supplying liquid crystal
US8201902B2 (en) 2007-08-02 2012-06-19 Seiko Epson Corporation Liquid droplet ejection apparatus, method of manufacturing electro-optical apparatus, and electro-optical apparatus
CN109533977A (en) * 2019-01-17 2019-03-29 河南龙成煤高效技术应用有限公司 A kind of disc type lock wind discharger and deduster
CN110880550A (en) * 2018-09-05 2020-03-13 杭州纤纳光电科技有限公司 Coating equipment and method for precursor solution containing surfactant
JP7182571B2 (en) 2017-06-29 2022-12-02 マシューズ インターナショナル コーポレイション Fluid transfer system and method
CN109533977B (en) * 2019-01-17 2024-05-14 河南龙成煤高效技术应用有限公司 Disc type air locking discharger and dust remover

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0776099A (en) * 1993-09-08 1995-03-20 Canon Inc Ink container for ink jet recording apparatus
JP2000318184A (en) * 1999-05-11 2000-11-21 Canon Inc Ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus having the same
JP2001138543A (en) * 1999-11-12 2001-05-22 Graphtec Corp Ink jet recording apparatus
JP2002052731A (en) * 2000-08-09 2002-02-19 Mimaki Engineering Co Ltd Ink-jet plotter
JP2002052737A (en) * 2000-08-10 2002-02-19 Seiko Epson Corp Ink-jet recording device and method for controlling supply of pressured air to ink cartridge in the device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0776099A (en) * 1993-09-08 1995-03-20 Canon Inc Ink container for ink jet recording apparatus
JP2000318184A (en) * 1999-05-11 2000-11-21 Canon Inc Ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus having the same
JP2001138543A (en) * 1999-11-12 2001-05-22 Graphtec Corp Ink jet recording apparatus
JP2002052731A (en) * 2000-08-09 2002-02-19 Mimaki Engineering Co Ltd Ink-jet plotter
JP2002052737A (en) * 2000-08-10 2002-02-19 Seiko Epson Corp Ink-jet recording device and method for controlling supply of pressured air to ink cartridge in the device

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006122812A (en) * 2004-10-28 2006-05-18 Oji Paper Co Ltd Coater
US8201902B2 (en) 2007-08-02 2012-06-19 Seiko Epson Corporation Liquid droplet ejection apparatus, method of manufacturing electro-optical apparatus, and electro-optical apparatus
WO2009119676A1 (en) * 2008-03-26 2009-10-01 芝浦メカトロニクス株式会社 Paste applying apparatus and paste applying method
JPWO2009119676A1 (en) * 2008-03-26 2011-07-28 芝浦メカトロニクス株式会社 Paste coating apparatus and paste coating method
TWI386256B (en) * 2008-03-26 2013-02-21 Shibaura Mechatronics Corp Paste coating apparatus and paste coating method
KR20110052325A (en) * 2009-11-12 2011-05-18 주식회사 탑 엔지니어링 Apparatus for supplying liquid crystal
KR101675103B1 (en) 2009-11-12 2016-11-10 주식회사 탑 엔지니어링 Apparatus for supplying liquid crystal
JP7182571B2 (en) 2017-06-29 2022-12-02 マシューズ インターナショナル コーポレイション Fluid transfer system and method
CN110880550A (en) * 2018-09-05 2020-03-13 杭州纤纳光电科技有限公司 Coating equipment and method for precursor solution containing surfactant
CN109533977A (en) * 2019-01-17 2019-03-29 河南龙成煤高效技术应用有限公司 A kind of disc type lock wind discharger and deduster
CN109533977B (en) * 2019-01-17 2024-05-14 河南龙成煤高效技术应用有限公司 Disc type air locking discharger and dust remover

Also Published As

Publication number Publication date
JP3988628B2 (en) 2007-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4378950B2 (en) Droplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing method
JP4225076B2 (en) Droplet discharge device
JP2004209429A (en) Drop discharge system, discharge amount measuring and discharge amount adjusting methods for drop discharge head, electro-optical device, manufacturing method for the device, and electronic equipment
JP3988628B2 (en) Droplet discharge device
US7384140B2 (en) Liquid droplet ejecting apparatus, liquid droplet ejecting system, electro-optical device, method of manufacturing electro-optical device, method of forming a metal wiring line, and electronic apparatus
JP3941676B2 (en) Droplet ejection system, electro-optical device, method of manufacturing electro-optical device, and electronic apparatus
JP2004209412A (en) Liquid drop discharge device, electro-optical device, method for producing electro-optical device and electronic apparatus
US20100238207A1 (en) Functional liquid tank, method for replenishing functional liquid in droplet discharge device, and droplet discharge device
JP3982393B2 (en) Droplet discharge device, electro-optical device, method of manufacturing electro-optical device, and electronic apparatus
JP4333136B2 (en) Droplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing method
JP4273755B2 (en) Droplet discharge device
JP4337343B2 (en) Droplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing method
JP4273762B2 (en) Droplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing method
JP4432322B2 (en) Droplet discharge device
JP2004247111A (en) Long body arranging structure, liquid drop discharging device, photoelectric device, manufacturing method of the photoelectric device and electronic equipment
JP4244636B2 (en) Droplet discharge device, electro-optical device, method of manufacturing electro-optical device, and electronic apparatus
JP4389449B2 (en) Droplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing method
JP4321051B2 (en) Droplet ejection device, droplet ejection system, and electro-optic device manufacturing method
JP2010214299A (en) Liquid supply device and droplet discharge device including the same
JP2004243187A (en) Droplet discharge device, electro-optical device, method for producing electro-optical device, and electronic equipment
JP2004223340A (en) Tank housing unit, liquid drop discharge device, electrooptical device and manufacturing method therefor, and electronic device
JP2004243186A (en) Long size body-arranging structure, droplet discharge device, electro-optical device, method for producing electro-optical device, and electronic equipment
JP2004172317A (en) Device and method for positioning work, liquid droplet discharger, electrooptic device, method of manufacturing electrooptic device, and electronic equipment
JP2004341073A (en) Droplet discharge device, droplet discharge system, electro-optic device, method for manufacturing electro-optic device, and electronic equipment
JP2004167326A (en) Functional liquid supply arrangement and droplet discharge apparatus, and electro-optic device, method for manufacturing electro-optic device and electronic device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050111

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20061211

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061215

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070209

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070626

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070709

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3988628

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130727

Year of fee payment: 6

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees