JP4273755B2 - Droplet discharge device - Google Patents

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【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、インクジェットプリンターが主に民生用のプリンターとして広く用いられている。このインクジェットプリンターのインクジェット方式（液滴吐出方式）を応用した産業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）が知られている。この産業用の液滴吐出装置は、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用される。
【０００３】
このような液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）の捨て吐出（フラッシングまたは予備吐出ともいう）という動作が行われる。この動作を行う目的は、次のようなものである。液滴吐出ヘッドは、液滴の吐出を休止してから吐出を再開するまでの時間が長くなると、液滴の吐出方向が乱れる、吐出量が多くなり過ぎる、吐出量が少なくなり過ぎる等の現象が起こり易くなり、液滴吐出動作が不安定になる傾向がある。すなわち、液滴吐出ヘッドは、液滴の吐出を開始した直後は、吐出状態が安定せずにまっすぐ飛びにくい、吐出量が安定しない等の傾向がある。このため、液滴吐出ヘッドが捨て吐出を行って吐出状態が安定した後に、基板等のワークに対するパターン形成（描画）を開始するようにしている。
【０００４】
液滴吐出装置には、液滴吐出ヘッドがこのような捨て吐出をするための所定の捨て吐出場所が設けられており、この捨て吐出場所に液滴を受ける受け皿（液受け部）が設けられている。
また、このような液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルの目詰まりの有無、すなわち、各吐出ノズルから適正に液滴が吐出されるか否かを検査するドット抜け検査という動作も行われる。ドット抜け検査は、液滴吐出ヘッドを駆動して、各吐出ノズルから液滴が吐出されているかどうかを例えば光学的な方法によって検出することにより行われる。
【０００５】
従来の液滴吐出装置は、捨て吐出された液滴を受ける受け皿（液受け部）に溜まった液体を移送して廃液タンクに回収するようにしている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、ドット抜け検査で吐出された液滴を受ける受け皿（液受け部）に溜まった液体は、装置のオペレーターがこれを拭き取ったり、捨てたりする作業を行わなければならず、多大な労力が掛かっていた。また、受け皿に溜まった液体は、時間が経過するとその増粘作用によって粘性が大きくなり、拭き取ったり捨てたりする作業にさらに多大な労力がかかっていた。このようなことから、製造する基板等のコスト増をもたらしていた。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−２６４３６６号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、装置のオペレーターの労力を軽減でき、製造物のコスト低減が図れる液滴吐出装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、装置本体と、
ワークが載置されるワーク載置部と、
前記ワーク載置部に載置されたワークに対して液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構と、
前記ワーク載置部の近傍に設けられ、前記液滴吐出ヘッドが前記ワークに対し液滴を吐出する前に捨て吐出した液体を受ける第１の捨て吐出用液受け部と、
前記液滴吐出ヘッドが待機時に捨て吐出した液体を受ける第２の捨て吐出用液受け部と、
前記液滴吐出ヘッドのドット抜け検査を行う際に前記液滴吐出ヘッドから吐出した液体を受けるドット抜け検査用液受け部と、
前記第１の捨て吐出用液受け部、前記第２の捨て吐出用液受け部および前記ドット抜け検査用液受け部で受けた液体をそれぞれ回収する排液流路系と、
前記第１の捨て吐出用液受け部、前記第２の捨て吐出用液受け部および前記ドット抜け検査用液受け部から前記排液流路系を介して回収された液体を共通して貯留する排液タンクとを備え、
前記排液流路系は、前記第１の捨て吐出用液受け部、前記第２の捨て吐出用液受け部および前記ドット抜け検査用液受け部にそれぞれ接続され、液体が通過する３本の配管と、該各配管を通過した液体が１つに合流して前記排液タンク側に流れる排液配管と、該排液配管の途中に設置され、液体を移送する移送手段としての１つのポンプと、該ポンプよりも上流側に設けられ、前記３本の配管を切り替える流路切り替え手段を有し、該流路切り替え手段の流路の切り替えにより、前記第１の捨て吐出用液受け部、前記第２の捨て吐出用液受け部および前記ドット抜け検査用液受け部のうちから選択的に液体を回収することを特徴とする。
これにより、装置のオペレーターの労力を軽減でき、製造物のコスト低減が図れる液滴吐出装置を提供することができる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置では、前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成することが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置では、前記相対移動機構は、前記ワーク載置部とともに前記第１の捨て吐出用液受け部を前記装置本体に対し水平な一方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるＹ軸方向移動機構と、前記液滴吐出ヘッドを前記装置本体に対し前記Ｙ軸方向に垂直かつ水平な方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるＸ軸方向移動機構とで構成されることが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置では、前記Ｙ軸方向と前記Ｘ軸方向とのいずれか一方を主走査方向とし、他方を副走査方向として前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから前記ワークに対し液滴を吐出することが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置では、前記第１の捨て吐出用液受け部は、前記ワーク載置部の前記副走査方向に沿って伸びる２つの辺の近傍にそれぞれ設けられていることが好ましい。
これにより、第１の捨て吐出用液受け部に対する捨て吐出を行った後、直ちに主走査に移行することができるので、ワークに対するパターンの形成（描画）を迅速に行うことができ、サイクルタイムの短縮が図れる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置では、前記２つの第１の捨て吐出用液受け部のうちの一方の第１の捨て吐出用液受け部は、前記主走査において前記ワーク載置部を往動させながら前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する前に捨て吐出され得るものであり、他方の第１の捨て吐出用液受け部は、前記ワーク載置部を復動させながら前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する前に捨て吐出され得るものであることが好ましい。
本発明の液滴吐出装置では、前記第２の捨て吐出用液受け部は、前記Ｙ軸方向に移動可能に設けられていることが好ましい。
これにより、第２の捨て吐出用液受け部を他のユニットとともに少ないスペースに効率良く配置することができ、液滴吐出装置全体としての小型化が図れる。
本発明の液滴吐出装置では、前記第１の捨て吐出用液受け部は、凹部が形成された受け皿と、該受け皿の凹部を覆うように設置され、液体を吸収し得る液体吸収体と、該液体吸収体の縁部を押さえる押さえ部材とを有することが好ましい。
本発明の液滴吐出装置では、前記ドット抜け検査用液受け部は、水平方向に移動しないように設けられていることが好ましい。
これにより、液滴吐出装置の構造の簡素化が図れるとともに、ドット抜け検査を高い精度で行うことができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置では、前記３本の配管のうち、前記第１の捨て吐出用液受け部に接続された配管と、前記ドット抜け検査用液受け部に接続された配管とは、それぞれ、可撓性を有するチューブで構成されており、
前記第１の捨て吐出用液受け部に接続された配管は、前記ドット抜け検査用液受け部に接続された配管より可撓性の高いものであることが好ましい。
これにより、第１の捨て吐出用液受け部に接続されたチューブと、ドット抜け検出用液受け部に接続されたチューブとのそれぞれの使用状況に好適な種類のチューブを選定することができ、設計の合理化が図れる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置では、前記流路切り替え手段は、２つの三方弁で構成されており、該２つの三方弁のうちの一方の三方弁は、前記第１の捨て吐出用液受け部に接続された配管が接続され、他方の三方弁は、前記第２の捨て吐出用液受け部に接続された配管と前記ドット抜け検査用液受け部に接続された配管とが接続されていることが好ましい。
本発明の液滴吐出装置では、前記排液タンクは、２つ設置されており、該２つの排液タンクを切り替えながら使用することが好ましい。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置では、前記排液タンクには、その内部の液量を検出する液量検出手段が設けられていることが好ましい。
本発明の液滴吐出装置では、前記第１の捨て吐出用液受け部の高さを調整する高さ調整機構を備えることが好ましい。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置では、前記高さ調整機構は、前記第１の捨て吐出用液受け部が最上位置にあるとき、該第１の捨て吐出用液受け部の上端の高さが前記ワーク載置部の上面の高さより高くなるように、前記第１の捨て吐出用液受け部の高さを調整可能であることが好ましい。
本発明の液滴吐出装置では、前記高さ調整機構は、前記第１の捨て吐出用液受け部が最下位置にあるとき、該第１の捨て吐出用液受け部の上端の高さが前記ワーク載置部の上面の高さより低くなるように、前記第１の捨て吐出用液受け部の高さを調整可能であることが好ましい。
本発明の液滴吐出装置では、前記ワークは、板状をなし、
前記液滴吐出ヘッドは、その高さが前記ワークの厚さに応じて調節されるものであり、
前記高さ調整機構は、前記ワークの厚さに応じて調節された前記液滴吐出ヘッドの高さに合わせて、前記第１の捨て吐出用液受け部の高さを調整可能であることが好ましい。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は、それぞれ、本発明の液滴吐出装置および液滴吐出システムの実施形態を示す平面図および側面図、図９は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるタンク収納部を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、水平な一方向（図１および図２中の左右方向に相当する方向）を「Ｙ軸方向」と言い、このＹ軸方向に垂直であって水平な方向（図１中の上下方向に相当する方向）を「Ｘ軸方向」と言う。また、Ｙ軸方向であって図１および図２中の右方向への移動を「Ｙ軸方向に前進」、Ｙ軸方向であって図１および図２中の左方向への移動を「Ｙ軸方向に後退」と言い、Ｘ軸方向であって図１中の下方向への移動を「Ｘ軸方向に前進」、Ｘ軸方向であって図１中の上方向への移動を「Ｘ軸方向に後退」と言う。
【００１９】
図１および図２に示す液滴吐出システム（液滴吐出系）１０は、液滴吐出ヘッド１１１を有する液滴吐出装置（インクジェット描画装置）１と、この液滴吐出装置１を収容するチャンバ９１とを備えている。
液滴吐出装置１は、ワークとしての基板Ｗに対し、例えばインクや、目的とする材料を含む機能液等の液体（吐出液）をインクジェット方式（液滴吐出方式）により微小な液滴の状態で吐出して所定のパターンを形成（描画）する装置であり、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに用いることができる産業用の液滴吐出装置である。
【００２０】
液滴吐出装置１が対象とする基板Ｗの素材は、特に限定されず、板状の部材（ワーク）であればいかなるものでもよいが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等を対象とすることができる。また、本発明では、液滴吐出装置が対象とするワークは板状部材に限らずいかなるものでもよく、例えばレンズをワークとし、このレンズに液滴を吐出することにより光学薄膜等のコーティングを形成する液滴吐出装置などにも適用することができる。また、本発明は、比較的大型のワーク（例えば、長さ、幅がそれぞれ数十ｃｍ〜数ｍ程度のもの）にも対応することができる比較的大型の液滴吐出装置１に特に好ましく適用することができる。
【００２１】
この液滴吐出装置１は、装置本体２と、基板搬送テーブル（ワーク載置部）３と、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１１を有するヘッドユニット１１と、描画前フラッシングユニット７と、液滴吐出ヘッド１１１のメンテナンスをするメンテナンス装置１２と、タンク収納部１３と、基板Ｗにガスを吹き付けるブロー装置１４と、基板搬送テーブル３の移動距離を測定するレーザー測長器１５と、制御装置１６と、排液装置１８と、ドット抜け検出ユニット１９とを備えている。
【００２２】
液滴吐出ヘッド１１１から吐出する液体としては、特に限定されず、カラーフィルタのフィルタ材料を含むインクの他、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。・有機ＥＬ（electroluminescence）表示装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料。・電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料。・ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料。・電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料。・基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料。・各種コーティング材料。・電極を形成するための液状電極材料。・２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料。・金属配線を形成するための液状金属材料。・マイクロレンズを形成するためのレンズ材料。・レジスト材料。・光拡散体を形成するための光拡散材料。
【００２３】
図２に示すように、装置本体２は、床上に設置された架台２１と、架台２１上に設置された石定盤２２とを有している。石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３が装置本体２に対しＹ軸方向に移動可能に設置されている。基板搬送テーブル３は、リニアモータ５１の駆動により、Ｙ軸方向に前進・後退する。この基板搬送テーブル３は、平面視で、Ｙ軸方向に沿って延びる辺とＸ軸方向に沿って延びる辺とを有するほぼ長方形の外形をなしている。基板Ｗは、基板搬送テーブル３上に載置される。
【００２４】
液滴吐出装置１では、基板搬送テーブル３と同程度の大きさの比較的大型の基板Ｗから、基板搬送テーブル３より小さい比較的小型の基板Ｗまで、様々な大きさおよび形状の基板Ｗを対象にすることができる。基板Ｗは、原則としては基板搬送テーブル３と中心を一致させるように位置決めした状態で液滴吐出動作をすることが好ましいが、比較的小型の基板Ｗの場合には、基板搬送テーブル３の端に寄せた位置に位置決めして液滴吐出動作をしてもよい。
【００２５】
図１に示すように、基板搬送テーブル３のＸ軸方向（副走査方向）に沿って延びる２つの辺の近傍には、それぞれ、液滴吐出ヘッド１１１が基板Ｗに対して液滴を吐出する前（主走査を行う前）に捨て吐出（フラッシングまたは予備吐出ともいう）した液体（液滴）を受ける（受け取る）描画前フラッシング用液受け部（第１の捨て吐出用液受け部）７１を有する描画前フラッシングユニット７が設置されている。描画前フラッシング用液受け部７１には、排液装置１８のチューブ７０１が接続されており、捨て吐出された吐出液は、このチューブ７０１を通って回収される。なお、描画前フラッシングユニット７および排液装置１８については、後に詳述する。
【００２６】
基板搬送テーブル３のＹ軸方向の移動距離は、移動距離検出手段としてのレーザー測長器１５により測定される。レーザー測長器１５は、装置本体２に設置されたレーザー測長器センサヘッド１５１、プリズム１５２およびレーザー測長器本体１５３と、基板搬送テーブル３に設置されたコーナーキューブ１５４とを有している。レーザー測長器センサヘッド１５１からＸ軸方向に沿って出射したレーザー光は、プリズム１５２で屈曲してＹ軸方向に進み、コーナーキューブ１５４に照射される。コーナーキューブ１５４での反射光は、プリズム１５２を経て、レーザー測長器センサヘッド１５１に戻る。液滴吐出装置１では、このようなレーザー測長器１５によって検出された基板搬送テーブル３の移動距離（現在位置）に基づいて、液滴吐出ヘッド１１１からの吐出タイミングが生成される。
【００２７】
また、装置本体２には、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ６１が、基板搬送テーブル３の上方空間においてＸ軸方向に移動可能に設置されている。複数の液滴吐出ヘッド１１１を有するヘッドユニット１１は、リニアモータとガイドとを備えたリニアモータアクチュエータ６２の駆動により、メインキャリッジ６１とともにＸ軸方向に前進・後退する。
【００２８】
本実施形態の液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド１１１のいわゆる主走査は、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動させながら、レーザー測長器１５を用いて生成した吐出タイミングに基づき、液滴吐出ヘッド１１１を駆動して液滴を選択的に吐出することにより行う。また、これに対応して、いわゆる副走査は、液滴吐出ヘッド１１１の非駆動時（非吐出時）に、ヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）をＸ軸方向に段階的（間欠的）移動させることにより行う。
【００２９】
また、装置本体２には、基板Ｗ上に吐出された液滴を乾燥させるブロー装置１４が設置されている。ブロー装置１４は、Ｘ軸方向に沿ってスリット状に開口するノズルを有しており、基板Ｗを基板搬送テーブル３によりＹ軸方向に搬送しつつ、このノズルより基板Ｗへ向けてガスを吹き付ける。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｙ軸方向に互いに離れた個所に位置する２個のブロー装置１４が設けられている。
【００３０】
メンテナンス装置１２は、架台２１および石定盤２２の側方に設置されている。このメンテナンス装置１２は、ヘッドユニット１１の待機時に液滴吐出ヘッド１１１をキャッピングするキャッピングユニット１２１と、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面をワイピングするクリーニングユニット１２２と、液滴吐出ヘッド１１１の定期的なフラッシングを受ける定期フラッシングユニット３０と、重量測定ユニット１２５とを有している。
【００３１】
また、メンテナンス装置１２は、Ｙ軸方向に移動可能な移動台１２４を有しており、キャッピングユニット１２１、クリーニングユニット１２２、定期フラッシングユニット３０および重量測定ユニット１２５は、移動台１２４上にＹ軸方向に並んで設置されている。ヘッドユニット１１がメンテナンス装置１２の上方に移動した状態で移動台１２４がＹ軸方向に移動することにより、キャッピングユニット１２１、クリーニングユニット１２２、定期フラッシングユニット３０および重量測定ユニット１２５のいずれかが液滴吐出ヘッド１１１の下方に位置し得るようになっている。ヘッドユニット１１は、待機時（例えば、基板Ｗの給材・除材中など）にはメンテナンス装置１２の上方に移動し、キャッピング、クリーニング（ワイピング）および定期フラッシングを所定の順番で行う。
【００３２】
本実施形態では、キャッピングユニット１２１、クリーニングユニット１２２、定期フラッシングユニット３０および重量測定ユニット１２５がＹ軸方向に移動可能に設けられていることにより、これらを極力少ないスペースに効率良く配置することができ、液滴吐出装置１の小型化（省スペース化）が図れる。
キャッピングユニット１２１は、複数の液滴吐出ヘッド１１１のそれぞれに対応するように配置された複数のキャップとこれらキャップを昇降させる昇降機構とを有している。各キャップには、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、キャッピングユニット１２１は、各キャップで各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を覆うとともに、ノズル形成面に形成されたノズルから吐出液を吸引することができる。このようなキャッピングを行うことにより、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面が乾燥するのを防止したり、ノズル詰まりを回復（解消）したりすることができる。
【００３３】
キャッピングユニット１２１によるキャッピングは、ヘッドユニット１１の待機時や、ヘッドユニット１１に吐出液を初期充填する際、吐出液を異種のものに交換する場合にヘッドユニット１１から吐出液を排出する際、洗浄液によって流路を洗浄する際などに行われる。
キャッピングユニット１２１によるキャッピング中に液滴吐出ヘッド１１１から排出された吐出液は、前記吸引チューブを通り、後述するキャッピング排液装置１７により回収され、再利用に供される。ただし、流路の洗浄時に回収した洗浄液は再利用しない。
クリーニングユニット１２２は、洗浄液（例えば、吐出液を溶解可能な溶剤など）を含ませたワイピングシートをローラーにより走行させ、このワイピングシートにより液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を拭き取り、清掃するよう作動するものである。
【００３４】
定期フラッシングユニット３０は、定期フラッシング用液受け部（第２の捨て吐出用液受け部）３０１を有している。定期フラッシングユニット３０は、ヘッドユニット１１の待機時の液滴吐出ヘッド１１１が捨て吐出した液体（液滴）を定期フラッシング用液受け部３０１で受けるものである。定期フラッシング用液受け部３０１には、排液装置１８のチューブ７０２が接続されており、捨て吐出された吐出液は、このチューブ７０２を通って回収される。
【００３５】
重量測定ユニット１２５は、基板Ｗに対する液滴吐出動作の準備段階として、液滴吐出ヘッド１１１からの１回の液滴吐出量（重量）を測定するのに利用するものである。すなわち、基板Ｗに対する液滴吐出動作前、ヘッドユニット１１は、重量測定ユニット１２５の上方に移動し、各液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルから１回または複数回液滴を重量測定ユニット１２５に対し吐出する。重量測定ユニット１２５は、吐出された液滴を受ける液受けと、電子天秤等の重量計とを備えており、吐出された液滴の重量を計測する。または、液受けを取り外して装置外部の重量計で計測してもよい。後述する制御装置１６は、その重量計測結果に基づいて、吐出ノズルにおける１回の吐出液滴の量（重量）を算出し、その算出値が予め定められた設計値に等しくなるように、液滴吐出ヘッド１１１を駆動するヘッドドライバの印加電圧を補正する。
【００３６】
ドット抜け検出ユニット１９は、石定盤２２上における基板搬送テーブル３の移動領域と重ならない場所であって、ヘッドユニット１１の移動領域の下方に位置する場所に固定的に設置されている。ドット抜け検出ユニット１９は、液滴吐出ヘッド１１１の吐出ノズルの目詰まりが原因となって生じるドット抜けの有無を検査（検出）するドット抜け検査（吐出確認検査）を行うものである。ドット抜け検出ユニット１９は、例えばレーザー光を投光・受光する投光部および受光部と、ドット抜け検査用液受け部１９１とを備えている。
【００３７】
ドット抜け検査を行う際には、ヘッドユニット１１がドット抜け検出ユニット１９の上方空間をＸ軸方向に移動しつつ、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルから液滴を吐出する。ドット抜け検出ユニット１９は、この吐出された液滴に対し投光・受光を行って、目詰まりしている吐出ノズルの有無および個所を光学的に検出する。このドット抜け検査の際に液滴吐出ヘッド１１１から吐出された液体（液滴）は、ドット抜け検査用液受け部１９１で受けられる。
【００３８】
ドット抜け検査用液受け部１９１には、排液装置１８のチューブ７０３が接続されており、捨て吐出された吐出液は、このチューブ７０３を通って回収される。
なお、ドット抜け検査は、具体的には例えば特開２００２−１９２７４０号公報に記載された方法によって行うことができるが、これに限定されず、いかなる方法で行われるものでもよい。
【００３９】
装置本体２およびメンテナンス装置１２の近傍には、ラック（棚）１３１を有するタンク収納部１３が設置されている。図９に示すように、タンク収納部１３のラック１３１には、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出液を貯留する第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２と、クリーニングユニット１２２に供給する洗浄液を貯留する第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２と、キャッピングユニット１２１から回収された排液を貯留する第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２と、描画前フラッシングユニット７、定期フラッシングユニット３０およびドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より捨て吐出された排液を貯留する第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２（図９中では図示を省略）とがそれぞれ設置（収納）されている。
【００４０】
第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２は、それぞれ、空になったときに吐出液を補充したり、満杯になっているタンクに交換したりすることができるようになっている。なお、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２は、交換（着脱）と、吐出液の補充との少なくとも一方が行えるようになっていればよい。
同様に、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２も、それぞれ、交換または洗浄液の補充を行うことができるようになっている。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、それぞれ、満杯になったときに空のタンクへの交換または排液の抜き取りを行うことができるようになっている。
【００４１】
制御装置（制御手段）１６は、液滴吐出装置１の各部の作動を制御するものであり、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、液滴吐出装置１の制御動作を実行するためのプログラム等の各種プログラムおよび各種データを記憶（格納）する記憶部とを有している。図示の構成では、制御装置１６は、後述するチャンバ９１の外部に設置されている。
【００４２】
このような液滴吐出装置１（制御装置１６を除く）は、タンク収納部１３を含めて、好ましくは、内部の温度および湿度が管理されるチャンバ９１に収容（収納）されている。すなわち、液滴吐出装置１は、温度および湿度が管理された環境下で稼動する。これにより、基板Ｗ上に吐出液滴によるパターンを形成（描画）するに当たり、液滴吐出装置１の各部や基板Ｗが温度変化によって熱膨張・熱収縮することによる誤差を生じるのを防止することができるので、高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。
【００４３】
また、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２に貯留された吐出液の温度が管理（調節）される結果、吐出液の粘度等の特性が安定することから、液滴吐出ヘッド１１１からの液滴吐出状態が安定するので、さらに高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。また、チャンバ９１内へのチリ、ホコリ等の侵入を防止することもでき、基板Ｗを清浄に維持した状態でパターンの形成（描画）を行うことができる。
【００４４】
チャンバ９１は、主室（第１の部屋）９１３と、副室（第２の部屋）９１６とを有している。主室９１３と副室９１６とは、隔壁９１４および９１５により隔てられている。主室９１３内には、液滴吐出装置１が収容されており、副室９１６内には、タンク収納部１３が収容されている。すなわち、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２は、チャンバ９１内において液滴吐出装置１と別個の部屋である副室９１６に収容されている。
【００４５】
副室９１６には、チャンバ９１の外部に対する開閉扉（開閉部）９１８が設けられている（図１参照）。なお、副室９１６の開閉部は、開閉扉９１８のような開き戸に限らず、引き戸、シャッターなどでもよい。また、隔壁９１４には、主室９１３と副室９１６とを連通する連通部（開口）９１７が形成されている。また、副室９１６には、副室９１６内の気体を排出する排気口が形成され、この排気口には、外部へ延びる排気ダクト９４が接続されている。
【００４６】
このようなチャンバ９１を備えるチャンバ装置９は、さらに、チャンバ９１内の温度および湿度を調節（管理）する空調装置９２を備えている。空調装置９２は、公知のエアーコンディショナー装置を内蔵しており、温度および湿度を調節した空気（気体）を導入ダクト９３を通してチャンバ９１の天井裏９１１に送り込む。天井裏９１１に送り込まれた空気は、フィルタ９１２を透過して、チャンバ９１の主室９１３に導入される。主室９１３内に導入された空気は、連通部９１７を通って副室９１６に流入し、副室９１６内を経由して排気ダクト９４（排気口）により外部へと排出される。
【００４７】
このような構成により、空調装置９２によって温度および湿度が調節された空気が主室９１３および副室９１６の隅々まで確実に流入するので、簡単な構造で、液滴吐出装置１の周囲と、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２の周囲との双方の温度および湿度を管理することができる。また、吐出液から発生する有害ガスをチャンバ９１の外部に排出することができ、安全性が高い。
【００４８】
本実施形態では、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の交換や吐出液の補充を行う際には、開閉扉９１８を開くことにより、主室９１３を外部に開放することなく、これを行うことができる。これにより、一次タンクの交換時や吐出液の補充時に、液滴吐出装置１の周囲（環境）の管理された温度および湿度を乱すことがないので、一次タンクの交換や吐出液の補充を行った直後でも、高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。また、一次タンクの交換や吐出液の補充を行った後、主室９１３内の温度や液滴吐出装置１の各部の温度が管理された値に戻るのを待たずに済むので、スループット（生産能率）の向上が図れる。このようなことから、基板Ｗ等のワークを高い精度で量産するのに極めて有利であり、製造コストの低減が図れる。
【００４９】
また、本実施形態では、洗浄液タンクの交換、洗浄液の補充、再利用タンクおよび排液タンクの交換または液体の抜き取り等の作業を行う場合でも、同様に、液滴吐出装置１の周囲（環境）の管理された温度および湿度を乱すことがないので、その作業の直後から高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができ、スループット（生産能率）のさらなる向上が図れる。
【００５０】
なお、排気ダクト９４には、好ましくは流速センサ（図示せず）が設置されている。制御装置１６は、この流速センサの検出結果に基づいて、常時、必要排気量が確保されているか監視しており、異常があった場合には、警報音、音声、操作パネル（図示せず）への表示などの方法により、その旨をオペレータに報知する。
【００５１】
また、チャンバ９１内には、空気以外のガス（例えば窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスなど）を温度および湿度を調節して供給・充填し、このガスの雰囲気中で液滴吐出装置１を稼動することとしてもよい。
また、副室９１６に設けられた外部に対する開閉部は、戸が二重または三重以上になっていて、それらの戸と戸の間に別個の部屋（空間）が形成されるようなものでもよい。
また、チャンバ９１は、その内部の温度、湿度のいずれか一方が管理（調節）されるものであればよい。
また、本実施形態では、一次タンクを２個備えているが、一次タンクは、１個でも３個以上でもよい（他のタンクについても同様）。
【００５２】
図３は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図、図４は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図である。なお、図３および図４中では、描画前フラッシングユニット７の図示を省略する。
図３および図４に示すように、石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３と、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構５とが設置されている。図３に示すように、基板搬送テーブル３には、載置された基板Ｗを吸着して固定するための複数の吸引口（吸引部）３３２が形成されている。
【００５３】
図４に示すように、Ｙ軸方向移動機構５は、リニアモータ５１と、エアスライダ５２とを有している。エアスライダ５２は、石定盤２２上でＹ軸方向に沿って延在するスライドガイド５２１と、このスライドガイド５２１に沿って移動するスライドブロック５２２とを有している。スライドブロック５２２は、スライドガイド５２１との間に空気を吹き出す吹き出し口を有しており、この吹き出し口から吹き出す空気をスライドガイド５２１との間に介在させることにより、円滑に移動可能になっている。
【００５４】
スライドブロック５２２上には、基板搬送テーブル３および描画前フラッシングユニット７（描画前フラッシング用液受け部７１）を支持する支持体（ベース）１０８が固定されている。この支持体１０８の上に、基板搬送テーブル３がθ軸回転機構６０を介して固定されている。このようにして、基板搬送テーブル３は、エアスライダ５２によってＹ軸方向に円滑に移動可能に支持され、リニアモータ５１の駆動によりＹ軸方向に移動するようになっている。また、基板搬送テーブル３は、θ軸回転機構６０により、基板搬送テーブル３の中心を通る鉛直方向の軸（以下、「θ軸」という）を回転中心として所定範囲で回転（回動）可能になっている。
【００５５】
Ｙ軸方向移動機構５の上方には、例えばステンレス鋼等の金属材料で構成された一対の帯状の薄板１０１がＹ軸方向移動機構５を上側から覆うように張り渡されている。薄板１０１は、支持体１０８の上面に形成された凹部（溝）内を通って支持体１０８とθ軸回転機構６０との間を挿通している。この薄板１０１が設けられていることにより、液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出液がＹ軸方向移動機構５に付着するのを防止することができ、Ｙ軸方向移動機構５を保護することができる。
【００５６】
石定盤２２は、無垢の石材（例えば、ベルファストブラック、ラステンバーグ、クルヌール、インディアンブラック等）で構成され、その上面は、高い平面度を有している。この石定盤２２は、環境温度変化に対する安定性、振動に対する減衰性、経年変化（劣化）に対する安定性、吐出液に対する耐食性等の各種の特性に優れている。本実施形態では、このような石定盤２２によってＹ軸方向移動機構５および後述するＸ軸方向移動機構６を支持したことにより、環境温度変化、振動、経年変化（劣化）等の影響による誤差が少なく、基板搬送テーブル３とヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）との相対的な移動に高い精度が得られるとともに、その高い精度を常に安定して維持することができる。その結果、吐出液滴によるパターンの形成（描画）を高い精度で、かつ常に安定して行うことができる。
【００５７】
このような石定盤２２は、架台２１に支持されている。架台２１は、アングル材等を方形に組んで構成された枠体２１１と、枠体２１１の下部に分散配置された複数の支持脚２１２とを有している。架台２１は、好ましくは空気バネまたはゴムブッシュ等による防振構造を有しており、床からの振動を石定盤２２に極力伝達しないように構成されている。
【００５８】
図５は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図、図６は、図５中の矢印Ａ方向から見た側面図、図７は、図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図である。
図６および図７に示すように、石定盤２２の上には、４本の支柱２３と、これらの支柱２３に支持されたＸ軸方向に沿って延びる互いに平行な２本の桁（梁）２４および２５とが設置されている。基板搬送テーブル３は、桁２４および２５の下を通過可能になっている。
【００５９】
液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構６は、桁２４および２５を介して、４本の支柱２３に支持されている。図５に示すように、Ｘ軸方向移動機構６は、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ６１と、桁２４上に設置され、メインキャリッジ６１をＸ軸方向に案内するとともに駆動するリニアモータアクチュエータ６２と、桁２５上に設置され、メインキャリッジ６１をＸ軸方向に案内するガイド６３とを有している。メインキャリッジ６１は、リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間に架け渡されるようにして設置されている。
なお、本実施形態では、Ｙ軸方向移動機構５と、Ｘ軸方向移動機構６とで、基板搬送テーブル３と液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）とを相対的に移動させる相対移動機構が構成される。
【００６０】
ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ６１に対し着脱可能に支持されている。ヘッドユニット１１がメインキャリッジ６１とともにＸ軸方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１１１の副走査が行われる。また、ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ６１に対するヘッドユニット１１の高さを調整する高さ調整機構２０を介してメインキャリッジ６１に支持されている。これにより、基板Ｗの厚さに合わせて、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面と基板Ｗとの隙間を調整することができる。
【００６１】
リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間には、さらに、カメラキャリッジ１０６が架け渡されるようにして設置されている。カメラキャリッジ１０６は、リニアモータアクチュエータ６２およびガイド６３をメインキャリッジ６１と共用するとともに、メインキャリッジ６１と独立してＸ軸方向に移動する。
カメラキャリッジ１０６には、基板Ｗの所定の個所に設けられたアライメントマークを画像認識するための認識カメラ１０７が設置されている。認識カメラ１０７は、カメラキャリッジ１０６から下方に吊り下げられた状態で支持されている。なお、認識カメラ１０７は、他の用途に用いてもよい。
【００６２】
図８は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットの構成および液滴吐出動作を模式的に示す平面図である。図８に示すように、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面には、液滴が吐出される多数の吐出ノズル（開口）が一列または二列以上に並んで形成されている。液滴吐出ヘッド１１１は、電圧の印加により変位（変形）する圧電素子を有し、この圧電素子の変位（変形）を利用して、吐出ノズルに連通するように形成された圧力室（液室）内の圧力を変化させることよって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたものである。なお、液滴吐出ヘッド１１１は、このような構成に限らず、例えば、吐出液をヒータで加熱して沸騰させ、その圧力によって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたものなどでもよい。
【００６３】
ヘッドユニット１１には、この液滴吐出ヘッド１１１が複数個（以下の説明では１２個として説明する）設置されている。これらの液滴吐出ヘッド１１１は、６個ずつ二列に副走査方向（Ｘ軸方向）に並ぶとともに、ノズル列が副走査方向に対し所定角度傾斜するような姿勢で配置されている。
なお、このような配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド１１１同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における液滴吐出ヘッド１１１を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりしてもよい。いずれにしても、複数個の液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルによるドットが副走査方向において連続していればよい。
さらに、液滴吐出ヘッド１１１は、副走査方向に対し傾斜した姿勢で設置されていなくてもよく、また、複数個の液滴吐出ヘッド１１１が千鳥状、階段状に配設されていてもよい。また、メインキャリッジ６１に複数のヘッドユニット１１が支持されていてもよい。
【００６４】
ここで、制御装置１６の制御による液滴吐出装置１の全体の作動について簡単に説明する。液滴吐出装置１が備える基板位置決め装置（説明省略）の作動により基板搬送テーブル３上に載置（給材）された基板Ｗが所定の位置に位置決め（プリアライメント）されると、基板搬送テーブル３の各吸引口３３２からのエアー吸引により、基板Ｗは、基板搬送テーブル３に吸着・固定される。次いで、基板搬送テーブル３およびカメラキャリッジ１０６がそれぞれ移動することにより、認識カメラ１０７が基板Ｗの所定の個所（１箇所または複数箇所）に設けられたアライメントマークの上方に移動し、このアライメントマークを認識する。この認識結果に基づいて、θ軸回転機構６０が作動して基板Ｗのθ軸回りの角度が補正されるとともに、基板ＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデータ上で行われる（本アライメント）。
以上のような基板Ｗのアライメント作業が完了すると、液滴吐出装置１は、基板Ｗ上に所定のパターンを形成（描画）する動作を開始する。この動作は、液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）を基板Ｗに対し主走査および副走査することにより行われる。
【００６５】
本実施形態の液滴吐出装置１では、主走査は、ヘッドユニット１１を装置本体２に対し停止した（移動しない）状態で、基板搬送テーブル３の移動により基板ＷをＹ軸方向に移動させながら、基板Ｗに対し各液滴吐出ヘッド１１１から液滴を吐出することにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｙ軸方向が主走査方向となる。
【００６６】
この主走査は、基板搬送テーブル３の前進（往動）中に行っても、後退（復動）中に行っても、前進および後退の両方（往復）で行ってもよい。また、基板搬送テーブル３を複数回往復させて、複数回繰り返し行ってもよい。このような主走査により、基板Ｗ上の、所定の幅（ヘッドユニット１１により吐出可能な幅）で主走査方向に沿って延びる領域に、液滴の吐出が終了する。
【００６７】
このような主走査の後、副走査を行う。副走査は、液滴の非吐出時に、メインキャリッジ６１の移動により、ヘッドユニット１１を前記所定の幅の分だけＸ軸方向に移動させることにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸方向が副走査方向となる。
このような副走査の後、前記と同様の主走査を行う。これにより、前回の主走査で液滴が吐出された領域に隣接する領域に対し、液滴が吐出される。
このようにして、主走査と副走査とを交互に繰り返し行うことにより、基板Ｗの全領域に対して液滴が吐出され、基板Ｗ上に、吐出された液滴（液体）による所定のパターンを形成（描画）することができる。
【００６８】
なお、本発明では、主走査方向と副走査方向とは、上述したのと逆になっていてもよい。すなわち、基板Ｗ（基板搬送テーブル３）を停止させた状態で液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させながら基板Ｗに対して液滴を吐出することによって主走査を行い、液滴の非吐出時に基板Ｗ（基板搬送テーブル３）をＹ軸方向に移動させることによって副走査を行うように構成されていてもよい。
【００６９】
図１０は、図１および図２に示す液滴吐出装置における給液装置および排液装置を模式的に示す配管系統図、図１１は、液量検出手段の構成を模式的に示す図である。以下、これらの図、図６および図９に基づいて、液滴吐出装置１における吐出液供給装置４、洗浄液供給装置５０およびキャッピング排液装置１７について説明する。
【００７０】
まず、各液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出液を供給する吐出液供給装置（給液装置）４について説明する。図１０に示すように、吐出液供給装置４は、吐出液を貯留する一次タンク系４０と、この一次タンク系４０と後述する二次タンク４１２とを接続する１本の一次流路４１１とを有している。
本実施形態では、一次タンク系４０は、吐出液を貯留する第１の一次タンク（吐出液タンク）４０１および第２の一次タンク（吐出液タンク）４０２と、第１の一次タンク４０１に接続された流出配管（流出流路）４０３と、第２の一次タンク４０２に接続された流出配管（流出流路）４０４と、三方弁（流路切り替え手段）４０５とを有している。なお、一次タンク系４０は、図示の構成に限らず、一次タンクの個数が１個のみのものでも、３個以上のものでもよい。
【００７１】
三方弁４０５には、一次流路４１１と、流出配管４０３および４０４とがそれぞれ接続されている。三方弁４０５は、一次流路４１１と流出配管４０３とを接続する状態と、一次流路４１１と流出配管４０４とを接続する状態とを切り替え可能になっている。これにより、第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２から選択的に吐出液を一次流路４１１に供給することができる。三方弁４０５は、アクチュエータ（図示せず）により、自動で切り替わるようになっている。
第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の個々の容量は、特に限定されないが、交換作業の容易化と、吐出液供給装置４全体としての容量確保との両立を考慮する観点から、１〜１０リットル程度であるのが好ましく、３〜５リットル程度であるのがより好ましい。
【００７２】
また、吐出液供給装置４は、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２内に加圧気体を供給する加圧手段４０６と、第１の一次タンク４０１に接続された加圧配管（加圧経路）４０７と、第２の一次タンク４０２に接続された加圧配管（加圧経路）４０８と、三方弁（加圧経路切り替え手段）４０９とをさらに有している。
【００７３】
加圧手段４０６としては、例えば、加圧された窒素ガス等の気体を供給する加圧気体供給源が使用される。三方弁４０９には、加圧手段４０６からの配管（経路）４１０と、加圧配管４０７および４０８とがそれぞれ接続されている。三方弁４０９は、配管４１０と加圧配管４０７とを接続する状態と、配管４１０と加圧配管４０８とを接続する状態とを切り替え可能になっている。これにより、第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２の内部を加圧手段４０６により選択的に加圧することができる。三方弁４０９は、アクチュエータ（図示せず）により、自動で切り替わるようになっている。
【００７４】
図６に示すように、二次タンク４１２は、メインキャリッジ６１に対し固定的に設置されている。すなわち、二次タンク４１２は、メインキャリッジ６１とともにＸ軸方向移動する。二次タンク４１２には、三方弁４０５から延びる一次流路４１１の他端が接続されており、一次タンク系４０の吐出液は、一次流路４１１を通って二次タンク４１２内に流入する。
【００７５】
一次流路４１１は、好ましくは可撓性を有するチューブで構成されている。この一次流路４１１の途中には、メインキャリッジ６１とともに移動する二次タンク４１２の移動に合わせて一次流路４１１の二次タンク４１２側の部分が移動可能となるように一次流路４１１を中継する中継部４１３が設けられている。
二次タンク４１２とヘッドユニット１１との間は、ヘッドユニット１１が備える１２個の液滴吐出ヘッド１１１の各々に対応する１２本の二次流路４１４によって接続されている。すなわち、ヘッドユニット１１には、各液滴吐出ヘッド１１１に対応する１２個の流入口（接続口）１１２が設けられており、二次タンク４１２から延びる１２本の二次流路４１４の他端は、それぞれ、各流入口１１２に接続されている。なお、図６中では、見易くするため、１２本の二次流路４１４のうちの２本のみを図示する。図示の構成では、二次流路４１４は、可撓性を有するチューブで構成されているが、これに限らず、硬質な管体で構成されていてもよい。
【００７６】
二次タンク４１２内は、図示しない圧力制御ユニット（負圧制御ユニット）によって、圧力が制御され、負圧になっている。二次タンク４１２内で圧力制御された吐出液は、各二次流路４１４を通って各液滴吐出ヘッド１１１に供給される。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１に供給される吐出液の圧力が制御され、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルにおいて良好な液滴吐出状態が得られる。
【００７７】
各二次流路４１４の途中には、流路を遮断可能な遮断弁４１５が設けられている。遮断弁４１５は、前記圧力制御ユニットが何らかの原因で機能しない場合、二次流路４１４の流路を遮断し、二次タンク４１２より低い位置にある液滴吐出ヘッド１１１に二次タンク４１２から吐出液が流れ続けて液滴吐出ヘッド１１１から漏出するのを防止する。
【００７８】
図１１（ａ）に示すように、吐出液供給装置４は、第１の一次タンク４０１の内部の液量を検出する液量検出手段４１６をさらに有している。液量検出手段４１６は、第１の一次タンク４０１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の一次タンク４０１内に連通した光透過性を有するチューブ４１７と、第１の一次タンク４０１の底部付近においてチューブ４１７を挟んで対向するように設置された投光部４１８および受光部４１９とで構成されている。この液量検出手段４１６は、受光部４１９での受光光量の変化により、第１の一次タンク４０１内の液量が減少して所定の下限レベルＥ（空の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段４１６の検出結果は、制御装置１６に入力される。
【００７９】
また、吐出液供給装置４は、第２の一次タンク４０２の内部の液量を検出する同様の液量検出手段４２０を有している。液量検出手段４２０は、第２の一次タンク４０２内の液量が減少して所定の下限レベルＥになったとき、これを検出し、その検出結果を制御装置１６に入力する。
このような吐出液供給装置４は、図１０に示す状態では、加圧手段４０６により第１の一次タンク４０１内が加圧され、この圧力により第１の一次タンク４０１内の吐出液は、流出配管４０３および一次流路４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される。
【００８０】
そして、第１の一次タンク４０１内の吐出液が消費されていき、液量検出手段４１６が第１の一次タンク４０１が空になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替える。これにより、加圧手段４０６が第２の一次タンク４０２内を加圧するとともに、この圧力により第２の一次タンク４０２内の吐出液が、流出配管４０４および一次流路４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される状態に切り替わる。
【００８１】
第２の一次タンク４０２から吐出液が供給されている間に、作業者は、空になった第１の一次タンク４０１をラック１３１から取り外し、吐出液を再充填した後、ラック１３１に戻す。その後、液量検出手段４２０が第２の一次タンク４０２が空になったのを検出すると、制御装置１６は、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替え、第１の一次タンク４０１から吐出液を供給する状態に切り替える。そして、第１の一次タンク４０１から吐出液が供給されている間に、作業者は、空になった第２の一次タンク４０２をラック１３１から取り外して吐出液を再充填する。
【００８２】
制御装置１６は、第１の一次タンク４０１が空になったとき、および、第２の一次タンク４０２が空になったときには、それぞれ、その旨を報知し、タンクの交換（吐出液の補充）を作業者に促すのが好ましい。この報知の方法としては、操作パネル（図示せず）に文字または図形などを表示したり、音または音声を出したりする方法が挙げられる。また、第１の一次タンク４０１が空になったときと、第２の一次タンク４０２が空になったときとで、報知のための文字、図形、音または音声等を異ならせ、いずれの一次タンクが空になったのかが分かるようにするのが好ましい。
【００８３】
次に、液滴吐出ヘッド１１１のクリーニングを行うクリーニングユニット（クリーニング装置）１２２で用いる洗浄液を供給する洗浄液供給装置（給液装置）５０について説明するが、前記吐出液供給装置４と同様の事項については説明を省略する。図１０に示すように、洗浄液供給装置５０は、ラック１３１に着脱可能に設置された、洗浄液を貯留する第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された流出配管（流出流路）５０３と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された流出配管（流出流路）５０４と、流出配管５０３および５０４とクリーニングユニット１２２への給液配管（給液流路）５１１とがそれぞれ接続された三方弁（流路切り替え手段）５０５と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の一次タンク５０２内に加圧気体を供給する加圧手段５０６と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された加圧配管（加圧経路）５０７と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された加圧配管（加圧経路）５０８と、加圧配管５０７および５０８と加圧手段５０６からの配管（経路）５１０とがそれぞれ接続された三方弁（加圧経路切り替え手段）５０９と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２の残液量を検出する液量検出手段（図示せず）とを有している。
【００８４】
加圧手段５０６としては、例えば、加圧された窒素ガス等の気体を供給する加圧気体供給源が使用される。また、加圧手段４０６と加圧手段５０６とを別個に設けず、共用してもよい。給液流路５１１からクリーニングユニット１２２へ供給された洗浄液は、クリーニングユニット１２２に設置されたノズルより噴射され、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を拭き取るワイピングシートに含浸する。
このような洗浄液供給装置５０は、吐出液供給装置４と同様に、三方弁５０５および５０９の切り替えにより、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２の２つを切り替えながら使用する。
【００８５】
次に、液滴吐出ヘッド１１１をキャッピングするキャッピングユニット（キャッピング装置）１２１からの排液（吐出液）を回収するキャッピング排液装置１７について説明するが、前記吐出液供給装置４と同様の事項については説明を省略する。図１０に示すように、キャッピング排液装置１７は、ラック１３１に着脱可能に設置された、キャッピングユニット１２１から回収した排液を貯留する第１の排液タンク１７１および第２の排液タンク１７２と、第１の排液タンク１７１に接続された流入配管（流入流路）１７３と、第２の排液タンク１７２に接続された流入配管（流入流路）１７４と、三方弁（流路切り替え手段）１７５とを有している。三方弁１７５には、キャッピングユニット１２１からの排液配管（排液流路）１７６と、流入配管１７３および１７４とがそれぞれ接続されている。三方弁１７５は、排液配管１７６と流入配管１７３とを接続する状態と、排液配管１７６と流入配管１７４とを接続する状態とを切り替え可能になっている。これにより、キャッピングユニット１２１からの排液を第１の排液タンク１７１または第２の排液タンク１７２内に選択的に導入することができる。三方弁１７５は、アクチュエータ（図示せず）により、自動で切り替わるようになっている。
【００８６】
図１１（ｂ）に示すように、キャッピング排液装置１７は、第１の排液タンク１７１の内部の液量を検出する液量検出手段１７７ａをさらに有している。液量検出手段１７７ａは、第１の排液タンク１７１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の排液タンク１７１内に連通した光透過性を有するチューブ１７８と、第１の排液タンク１７１の頂部付近においてチューブ１７８を挟んで対向するように設置された投光部１７９および受光部１７０とで構成されている。この液量検出手段１７７ａは、受光部１７０での受光光量の変化により、第１の排液タンク１７１内の液量が増大して所定の上限レベルＦ（満杯の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段１７７ａの検出結果は、制御装置１６に入力される。また、キャッピング排液装置１７は、第２の排液タンク１７２の内部の液量を検出する前記液量検出手段１７７ａと同様の液量検出手段１７７ｂをさらに有している。
【００８７】
このようなキャッピング排液装置１７では、図１０に示す状態では、キャッピングユニット１２１からの排液は、図示しない吸引ポンプに吸引され、第１の排液タンク１７１内に導入される。そして、第１の排液タンク１７１内の排液が蓄積していき、液量検出手段１７７ａが第１の排液タンク１７１が満杯になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁１７５を切り替え、排液が第２の排液タンク１７２内に導入される状態に切り替える。
【００８８】
制御装置１６は、第１の排液タンク１７１が満杯になったとき、および、第２の排液タンク１７２が満杯になったときには、それぞれ、その旨を例えば前記と同様の方法で報知し、タンクの交換（排液の回収）を作業者に促すのが好ましい。キャッピング排液装置１７により回収された排液は、比較的清浄な状態の吐出液であるので、再利用に供される。
【００８９】
図１２および図１３は、それぞれ、図３中の矢印Ｄで示す部分を拡大して示す一部切欠き側面図である。以下、これらの図に基づいて、基板搬送テーブル３の構成について詳細に説明する。
これらの図に示すように、基板搬送テーブル３は、基台３６と、基台３６上に設置された複数のブロック３３と、基台３６上に設置された複数のボールリフト装置３４とを有している。基台３６は、第１の板３１と、第１の板３１の下面側に重ねて接合された第２の板３２とで構成されている。
複数のブロック３３は、基台３６上で、互いに間隔を空けて行列状に並んで配置されている。これらのブロック３３の上面は、基板Ｗが載置される（基板Ｗが当接する）載置面（当接面）３３１を構成する。
【００９０】
各ブロック３３には、載置された基板Ｗを負圧により吸着するための吸引部として、載置面３３１に開口する吸引口３３２が形成されている。
図示の構成では、９×１１で９９個のブロック３３が設置されている（図１４参照）。ブロック３３の設置個数は、基板搬送テーブル３の大きさによってもその好ましい値は異なるが、通常、４〜４００個程度であるのが好ましく、４〜１００個程度であるのがより好ましい。
このようなブロック３３が設けられていることにより、基板搬送テーブル３へ基板Ｗの給材（搬入）および除材（搬出）する際、基板Ｗと基台３６との間に基板Ｗを支持する搬入治具が挿入可能な隙間（空間）が形成されるので、給材および除材を容易、円滑かつ迅速に行うことができる。
【００９１】
複数のボールリフト装置３４は、基台３６上に、互いに間隔を空けて行列状に並んで配置されている（図１４参照）。これら複数のボールリフト装置３４は、互いに同様の構成であるので、１つのボールリフト装置３４について代表して説明する。図１２に示すように、ボールリフト装置３４は、ブロック３３より高さが低くされたハウジング３４１と、ハウジング３４１内に設けられた空気圧シリンダ（ボール昇降機構）３４２と、空気圧シリンダ３４２のピストンとしても機能するボール支持体３４３と、ボール支持体３４３に複数の小球（ベアリング）３４５を介して滑らかに回転可能に支持されたボール（球体）３４４とを有している。ボール３４４は、その上部がボール支持体３４３から露出した状態で支持されている。
【００９２】
空気圧シリンダ３４２には、液滴吐出装置１の近傍（好ましくはチャンバ９１の外）に設置された図示しないエアー供給源（圧力供給源）からの空気圧を供給する配管３４６が接続されている。Ｙ軸方向に並ぶ１列の各ボールリフト装置３４の各空気圧シリンダ３４２は、Ｙ軸方向に並ぶハウジング３４１同士を連結する連結部３４８の内部に形成された通路３４７により互いに連通しており、１つの配管３４６によりＹ軸方向の１列のボールリフト装置３４のすべてに空気圧が供給される。
空気圧シリンダ３４２の作動により、ボール３４４は、ボール支持体３４３とともに、ボール３４４の少なくとも一部が載置面３３１より上側に突出する上昇位置（図１３に示す位置）と、ボール３４４の全体が載置面３３１より下側に退避する下降位置（図１２に示す位置）とに昇降する。
【００９３】
図１３に示すように、ボールリフト装置３４は、ボール３４４を上昇させることにより、各ボール３４４（基板Ｗの大きさが基板搬送テーブル３の大きさより小さいものである場合には、基板Ｗの領域内にあるボール３４４）で基板Ｗを持ち上げ、載置面３３１から離間した位置で基板Ｗを支持する。この状態では、基板Ｗが載置面３３１を擦ることがないとともにボール３４４が自由に回転するので、基板Ｗは、傷つくことなく基板搬送テーブル３上でＹ軸方向およびＸ軸方向に自由に移動（回転も含む）可能になる。なお、ボール３４４は、樹脂材料（例えばメラミン樹脂等）で構成されているのが好ましい。これにより、基板Ｗを傷つけることがより確実に防止される。
【００９４】
本実施形態の基板搬送テーブル３では、図１３に示す状態とすることにより、給材（搬入）された基板Ｗを基板搬送テーブル３上で動かして位置決め（プリアライメント）する工程を円滑、迅速かつ容易に行うことができる。そして、基板Ｗのプリアライメントの後、図１２示す状態とすることにより、基板Ｗを載置面３３１に載置して吸引口３３２からのエアー吸引により基板Ｗを吸着・固定することができる。
【００９５】
図示の構成では、８×１１で８８個のボールリフト装置３４が設置されている。ボールリフト装置３４の設置個数は、基板搬送テーブル３の大きさによってもその好ましい値は異なるが、通常、ブロック３３の個数と同程度であるのが好ましい。また、ボールリフト装置３４の最低個数としては、一直線上に並ばない少なくとも３つのボール３４４で基板Ｗを支持し得るように、一直線上に並ばないように配置された少なくとも３個のボールリフト装置３４が設置されていればよい。
【００９６】
図１４は、基板搬送テーブルおよび描画前フラッシングユニットを示す平面図、図１５および図１６は、それぞれ、基板搬送テーブルおよび描画前フラッシングユニットを示す側面図、図１７および図１８は、それぞれ、図１４中の矢印Ｅ方向から見た背面図、図１９は、描画前フラッシングユニットの液受け部の横断面図（液受け部の長手方向に垂直な平面で切った断面図）である。以下、これらの図に基づいて、図１および図２に示す液滴吐出装置における描画前フラッシングユニットの構成について詳細に説明する。
【００９７】
図１４に示すように、基板搬送テーブル３における副走査方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる互いに平行な二辺の近傍には、それぞれ、描画前フラッシングユニット７が設けられている。これらの描画前フラッシングユニット７は、Ｙ軸方向移動機構５のスライドブロック５２２上に設置された支持体１０８に支持されており、基板搬送テーブル３とともにＹ軸方向に移動する。この２つの描画前フラッシングユニット７は、その構成が互いに同様であるので、以下ではその一方について代表して説明する。
【００９８】
描画前フラッシングユニット７は、描画前フラッシング用液受け部７１を有し、この描画前フラッシング用液受け部７１は、基板搬送テーブル３のＸ軸方向に沿って延びる辺の近傍に、基板搬送テーブル３との間に隙間７９を空けて非接触で設けられている。前述したような基板Ｗ上へのパターンの形成（描画）動作における主走査を行う際、液滴吐出ヘッド１１１は、描画前フラッシング用液受け部７１が液滴吐出ヘッド１１１の下に移動して来たら、まずこの描画前フラッシング用液受け部７１に対して捨て吐出を行い、さらに基板Ｗが液滴吐出ヘッド１１１の下に移動して来たら、所定のパターンを形成（描画）するための正規の液滴の吐出を基板Ｗに対して行う。
すなわち、液滴吐出ヘッド１１１は、基板Ｗに対する液滴の吐出を行う直前（主走査を行う直前）に、描画前フラッシング用液受け部７１に対して捨て吐出を行う。このような描画前の捨て吐出を行う目的は、次のようなものである。
【００９９】
一般に、液滴吐出ヘッド１１１は、液滴の吐出を休止してから吐出を再開するまでの時間が長くなると、液滴の吐出方向が乱れる、吐出量が多くなり過ぎる、吐出量が少なくなり過ぎる等の現象が起こり易くなり、液滴吐出動作が不安定になる傾向がある。すなわち、液滴吐出ヘッド１１１は、液滴の吐出を開始した直後は、吐出状態が安定せずにまっすぐ飛びにくい、吐出量が安定しない等の傾向がある。
【０１００】
このため、基板Ｗに対して液滴を吐出する前（描画前）に、描画前フラッシング用液受け部７１に対して捨て吐出をして、液滴吐出ヘッド１１１による液滴の吐出状態を安定させる。これにより、液滴吐出ヘッド１１１の適正な液滴吐出状態が得られ、この適正な液滴吐出状態で、基板Ｗに対するパターン形成（描画）を行うことができる。
【０１０１】
また、本発明では、捨て吐出を基板Ｗ上ではなく描画前フラッシング用液受け部７１に対して行うので、基板Ｗの周縁部等に機能上不必要なパターンを形成（描画）するのを回避することができ、基板Ｗの全体を有効に利用することができるので、基板Ｗの無駄がなく、基板Ｗの製造コストの低減が図れる。
また、本実施形態では、描画前フラッシング用液受け部７１が基板搬送テーブル３の互いに平行な二辺の近傍にそれぞれ設けられているので、主走査において基板Ｗ（基板搬送テーブル３）を前進（往動）させながら液滴を吐出する前と、後退（復動）させながら液滴を吐出する前との両方で捨て吐出を行うことができる。
【０１０２】
また、描画前フラッシング用液受け部７１は、その近傍の基板搬送テーブル３の辺に沿って細長く形成され、その長さは、当該辺の長さとほぼ同じになっている。これにより、副走査によってヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）がＸ軸方向に移動しても、液滴吐出ヘッド１１１と基板搬送テーブル３とのＸ軸方向の相対位置関係にかかわらず、描画前フラッシング用液受け部７１で捨て吐出を受けることができる。また、描画前フラッシング用液受け部７１が占有するスペースも少ない。
【０１０３】
図１５に示すように、基板搬送テーブル３は、θ軸回転機構６０を介して支持体１０８上に設置されている。θ軸回転機構６０は、支持体１０８側に固定された固定部６０１と、基板搬送テーブル３側に固定された回転部６０２と、固定部６０１に対し基板搬送テーブル３側（回転部６０２側）を回動させるアクチュエータ（図示せず）とを有している。このようなθ軸回転機構６０は、基板搬送テーブル３を基板搬送テーブル３の中心を通る鉛直方向のθ軸回りに所定範囲で回転（回動）させることができる。このθ軸回転機構６０により基板搬送テーブル３のθ軸回りの姿勢（角度）を調整（微調整）することにより、基板搬送テーブル３上に載置された基板Ｗの姿勢がθ軸回りに斜めになっている場合、これを真っ直ぐな姿勢になるように正確に補正することができる。
【０１０４】
描画前フラッシングユニット７は、描画前フラッシング用液受け部７１の下側に接合され描画前フラッシング用液受け部７１を撓みなく保持するフレーム７２と、フレーム７２に固定された一対の支持脚７３と、支持体１０８からＸ軸方向に外側に突出するように設置され、各支持脚７３を支持する一対のブラケット７４とをさらに有している。
【０１０５】
このように、基板搬送テーブル３は、θ軸回転機構６０を介して支持体１０８に支持されており、描画前フラッシング用液受け部７１は、ブラケット７４を介して支持体１０８に支持されている。すなわち、基板搬送テーブル３および描画前フラッシング用液受け部７１は、互いに非接触（離間状態）であり、支持体１０８にそれぞれ独立に支持されている。
【０１０６】
描画前フラッシング用液受け部７１を基板搬送テーブル３の近傍に設置しようとする場合、単純には描画前フラッシング用液受け部７１を基板搬送テーブル３に固定する構成が考えられる。これに対し、本実施形態では、基板搬送テーブル３と描画前フラッシング用液受け部７１とを独立して支持する構成としたことにより、次のような利点がある。
【０１０７】
描画前フラッシング用液受け部７１の荷重が基板搬送テーブル３にかからないので、描画前フラッシング用液受け部７１の重みによって基板搬送テーブル３が下側に湾曲するように撓む（変形する）のを防止することができる。よって、基板搬送テーブル３の各載置面３３１の集合により形成される面の平面度等の精度を高く保つことができ、基板Ｗを高い平面度で支持することができる。その結果、基板Ｗ上へのパターンの形成（描画）をより高い精度で正確に行うことができる。特に、描画前フラッシング用液受け部７１に液体が溜まってさらに重くなってきても、これにかかわらず、この効果を発揮することができる。
【０１０８】
また、描画前フラッシング用液受け部７１は、θ軸回転機構６０を介さずに支持体１０８に支持されている。これにより、θ軸回転機構６０が基板搬送テーブル３のθ軸回りの姿勢（角度）を調整しても、描画前フラッシング用液受け部７１のθ軸回りの姿勢（角度）は、変化せず、よって、液滴吐出ヘッド１１１が描画前に捨て吐出すべき位置を常に一定に保つことができる。
【０１０９】
これに対し、本実施形態と異なり、描画前フラッシング用液受け部７１が基板搬送テーブル３とともに回転してしまう場合には、次のような不都合がある。すなわち、描画前フラッシング用液受け部７１の位置がずれるので、これに合わせて液滴吐出ヘッド１１１が描画前に捨て吐出すべき位置を変更しなければならず、煩雑な制御を要する。あるいは、描画前フラッシング用液受け部７１のＹ軸方向の幅の寸法を、位置ずれ分をカバーできるように大きくしなければならず、描画前フラッシングユニット７が重量増大および大型化するという問題を生じる。また、描画前フラッシング用液受け部７１がθ軸回転機構６０を介さずに基板搬送テーブル３と支持されていることにより、基板搬送テーブル３を回転させるときの慣性モーメントが小さいので、制御性が高く、基板搬送テーブル３のθ軸回りの角度調整をより高い精度で行うことができる。
【０１１０】
図１７に示すように、各支持脚７３は、各ブラケット７４に対し昇降可能に支持されている。また、描画前フラッシングユニット７は、各ブラケット７４に対し各支持脚７３を昇降させる昇降装置としての一対の空気圧シリンダ７５をさらに有している。各空気圧シリンダ７５には、液滴吐出装置１の近傍（好ましくはチャンバ９１の外）に設置された図示しないエアー供給源（圧力供給源）からの空気圧を供給する配管（図示せず）が接続されている。
本実施形態の描画前フラッシングユニット７では、支持脚７３、ブラケット７４および空気圧シリンダ７５により、描画前フラッシング用液受け部７１の高さを調整する高さ調整機構が構成され、空気圧シリンダ７５を伸縮させることにより、描画前フラッシング用液受け部７１の高さを調整することができる。
【０１１１】
図１５および図１７に示すように、描画前フラッシング用液受け部７１の高さ調整機構は、描画前フラッシング用液受け部７１が最上位置にあるとき、描画前フラッシング用液受け部７１の上端の高さが基板搬送テーブル３の載置面３３１（ワーク載置面）の高さより高くなるように描画前フラッシング用液受け部７１の高さを調整することができる。この状態とすることにより、描画前フラッシング用液受け部７１の上端の高さが載置面３３１に載置された基板Ｗの上面の高さと同程度になるように調整可能である。換言すれば、描画前フラッシング用液受け部７１の上端と液滴吐出ヘッド１１１（ノズル形成面）との隙間が十分に小さくなるようにすることができる。よって、液滴吐出ヘッド１１１から捨て吐出された液滴を周囲に飛散させることなく描画前フラッシング用液受け部７１で受けることができる。
【０１１２】
図１６および図１８に示すように、描画前フラッシング用液受け部７１の高さ調整機構は、描画前フラッシング用液受け部７１が最下位置にあるとき、描画前フラッシング用液受け部７１の上端の高さが基板搬送テーブル３の載置面３３１の高さより低くなるように描画前フラッシング用液受け部７１の高さを調整することができる。基板Ｗを基板搬送テーブル３上に給材（搬入）および除材（搬出）する際には、この状態とすることにより、基板Ｗやこれを支持する搬入治具が描画前フラッシング用液受け部７１に干渉（接触）するのを防止することができるので、基板Ｗの給材および除材を円滑、迅速かつ容易に行うことができ、また、給材工程および除材工程において基板Ｗを傷つけるようなことも防止することができる。
【０１１３】
また、描画前フラッシング用液受け部７１の高さ調整機構は、ヘッドユニット１１の高さ調整機構２０により基板Ｗの厚さに応じて調節される液滴吐出ヘッド１１１の高さに合わせて描画前フラッシング用液受け部７１の高さを調整することもできる。これにより、基板Ｗの厚さに応じて描画前フラッシング用液受け部７１と液滴吐出ヘッド１１１との隙間を適正な大きさに調整することができ、基板Ｗの厚さによらず、液滴吐出ヘッド１１１から捨て吐出された液滴を周囲に飛散させることなく描画前フラッシング用液受け部７１で受けることができる。
【０１１４】
図１９に示すように、描画前フラッシング用液受け部７１は、受け皿７１１と、受け皿７１１の凹部７１４を覆うように設置された液体を吸収し得る液体吸収体７１２と、液体吸収体７１２の縁部を押さえる押さえ部材７１３とを有している。液体吸収体７１２は、例えばスポンジなどで構成されており、捨て吐出された液滴は、まず、液体吸収体７１２に吸収される。これにより、捨て吐出された液滴が周囲に飛散するのをより確実に防止することができる。
【０１１５】
液体吸収体７１２に吸収された液体は、液体吸収体７１２を通過して、受け皿７１１の凹部７１４に溜まる。受け皿７１１の底部には、排液口（図示せず）が形成され、この排液口は、描画前フラッシング用液受け部７１に接続されたチューブ７０１（図１４〜図１９中では図示せず）に連通している。描画前フラッシング用液受け部７１が受けた液滴（液体）は、凹部７１４に溜まった後、チューブ７０１内を通って、後述する排液装置１８により回収される。
【０１１６】
液体吸収体７１２は、液体をある程度吸収すると膨張するが、本実施形態では、押さえ部材７１３が膨張しようとする液体吸収体７１２を押さえ、この膨張を防止する。これにより、液体吸収体７１２が膨張して上側に膨らんで液滴吐出ヘッド１１１に接触してしまうのを確実に防止することができる。
なお、定期フラッシング用液受け部３０１およびドット抜け検査用液受け部１９１も、描画前フラッシング用液受け部７１と同様に、例えばスポンジのような液体吸収体を有しているのが好ましい。これにより、受けた液滴（液体）が周囲に飛散するのをより確実に防止することができる。
さらに、キャッピングユニット１２１の各キャップ内にも、例えばスポンジのような液体吸収体が設置されているのが好ましい。これにより、キャップ内に液滴吐出ヘッド１１１から吐出された液体を、残らず迅速に、キャップに接続された吸引チューブへ排出することができる。
【０１１７】
図２０は、図１および図２に示す液滴吐出装置における排液流路系、排液タンクおよびプロセスポンプを模式的に示す配管系統図である。以下、この図に基づいて、描画前フラッシングユニット７、定期フラッシングユニット３０およびドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より捨て吐出された排液（吐出液）を回収して貯留する排液装置１８について説明するが、前述したキャッピング排液装置１７と同様の事項については説明を省略する。
【０１１８】
図１０に示すように、排液装置１８は、ラック１３１に着脱可能に設置された（図９中には表れていない）第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２と、第１の排液タンク１８１に接続された流入配管（流入流路）１８３と、第２の排液タンク１８２に接続された流入配管（流入流路）１８４と、三方弁（流路切り替え手段）１８５と、排液流路系７０と、排液流路系７０の途中に設けられた流体を移送するプロセスポンプ（移送手段）１８７とを有している。
【０１１９】
また、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２には、それぞれ、内部の液量を検出する前記液量検出手段１７７ａ、１７７ｂと同様の液量検出手段（図示せず）が設けられている。
なお、本実施形態の排液装置１８は、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２の２個の排液タンクを備えているが、本発明では、排液タンクの個数は１個でも３個以上でもよい。
【０１２０】
排液流路系７０は、描画前フラッシング用液受け部７１に接続されたチューブ（配管）７０１と、定期フラッシング用液受け部３０１に接続されたチューブ（配管）７０２と、ドット抜け検査用液受け部１９１に接続されたチューブ（配管）７０３と、三方弁（流路切り替え手段）７０４および７０５と、排液配管７０６とを有している。三方弁７０４、７０５および１８５は、図示しないアクチュエータを有し、制御装置１６の制御に基づいて自動で切り替わるようになっている。
【０１２１】
チューブ７０１、７０２および７０３は、三方弁７０４および７０５を介して１つに合流し、排液配管７０６の一端に接続されている。排液配管７０６の他端は、三方弁１８５に接続され、三方弁１８５には、さらに流入配管１８３および１８４が接続されている。プロセスポンプ１８７は、排液配管７０６の途中に設置されており、排液配管７０６内の液体を第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２側に移送（送液）する。
【０１２２】
このような構成により、本発明では、描画前フラッシング用液受け部７１、定期フラッシング用液受け部３０１およびドット抜け検査用液受け部１９１で受けた液体は、排液流路系７０によって回収（移送）され、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２に共通して貯留される。これにより、描画前フラッシング用液受け部７１、定期フラッシング用液受け部３０１およびドット抜け検査用液受け部１９１に溜まった液体を拭き取ったり捨てたりする作業が不要であるので、液滴吐出装置１のオペレーターの労力を軽減することができ、また、その作業で液滴吐出装置１の稼動を停止する必要がないので、稼働率の向上が図れる。
【０１２３】
また、本発明では、描画前フラッシング用液受け部７１、定期フラッシング用液受け部３０１およびドット抜け検査用液受け部１９１に溜まった液体を拭き取ったり捨てたりする作業のためにチャンバ９１内に立ち入る必要がないので、チャンバ９１内の管理された温度や湿度を乱すことがなく、よって、基板Ｗ上へのパターンの形成（描画）を常に高い精度を保って行うことができる。また、チャンバ９１を開けた後にチャンバ９１内の温度や湿度が元に戻るのを待つこともないので、稼働率のさらなる向上が図れる。
【０１２４】
また、描画前フラッシング用液受け部７１、定期フラッシング用液受け部３０１およびドット抜け検査用液受け部１９１で受けた液体は、液体吸収体に触れるなどして異物（ゴミ）が混入していたり、外気に触れて溶媒が蒸発して濃度が変化していたりするので、通常はいずれも再利用せず廃棄されるものである。本発明では、これらの廃棄すべき液体が共通に第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２に貯留されるので、液体を廃棄する作業が１回で済む。よって、オペレーターの労力をさらに軽減することができる。また、この液体を再処理して再利用する場合であっても、描画前フラッシング用液受け部７１、定期フラッシング用液受け部３０１およびドット抜け検査用液受け部１９１で受けた液体は、互いに同じような状態になっているので、同様の状態の液体が１箇所に回収されることになって合理的であり、オペレーターの負担を軽減することができる。
このようなことから、本発明では、基板Ｗのような製造物の大幅なコスト低減が図れる。
【０１２５】
また、本実施形態の排液流路系７０は、三方弁７０４および７０５の切り替えにより、描画前フラッシング用液受け部７１、定期フラッシング用液受け部３０１およびドット抜け検査用液受け部１９１のうちから選択的に液体を回収することができる。これにより、１台のプロセスポンプ１８７を用いて描画前フラッシング用液受け部７１、定期フラッシング用液受け部３０１およびドット抜け検査用液受け部１９１のそれぞれから液体を吸引することができるので、プロセスポンプ１８７の設置台数を１台で済ますことができ、よって、装置の構造の簡素化および小型化が図れる。
また、本実施形態の排液装置１８は、第１の排液タンク１８１、第２の排液タンク１８２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴う排液量の増大に有効に対応することができる。
【０１２６】
排液流路系７０のチューブ７０１は、チューブ７０３より可撓性の高いものであるのが好ましい。これは、次のような理由によるものである。
描画前フラッシング用液受け部７１は、基板搬送テーブル３とともに移動するので、これに接続されたチューブ７０１は、基板搬送テーブル３の付近に設置されたケーブルベア（長尺体支持案内装置）１０２内に収納され、描画前フラッシング用液受け部７１の移動に追従できるようにされている（図４参照）。よって、チューブ７０１は、ケーブルベア１０２の変位に伴って、繰り返し湾曲変形する。
これに対し、ドット抜け検査用液受け部１９１は、水平方向に移動しないように設けられているので、これに接続されたチューブ７０３は、繰り返し湾曲変形する必要はない。
【０１２７】
よって、チューブ７０１をチューブ７０３より可撓性の高いものとすることにより、チューブ７０１、７０３としてそれぞれの使用状態に適した種類（仕様）のチューブを選定することができ、合理的な設計となって、耐久性の向上や、製造コストの低減が図れる。
ここで、「チューブ７０１がチューブ７０３より可撓性が高い」とは、チューブ７０１がチューブ７０３に対し、曲げ剛性が小さい（柔軟性が高い）、許容最小曲率半径が小さい、繰り返しの湾曲に対する耐久性が高い、外径が細い、のうちの少なくとも１つを満足することを言う。
また、チューブ７０１の可撓性を高めるため、チューブ７０１として蛇腹状のチューブを用いてもよい。ただし、十分な可撓性が得られるものであれば、液体の通過抵抗を考慮して、チューブ７０１として通常の形状のチューブを用いるのが好ましい。
【０１２８】
以上、本発明の液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明の液滴吐出装置は、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）を装置本体に対し固定とし、ワーク（ワーク載置部）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。この場合、ワーク載置部の四辺の近傍にそれぞれ第１の捨て吐出用液受け部を設けてもよい。また、これと逆に、ワーク（ワーク載置部）を装置本体に対し固定とし、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。すなわち、本発明における液滴吐出装置は、ワーク載置部と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構を備えるものであればよい。
また、Ｙ軸方向移動機構、Ｘ軸方向移動機構は、リニアモータで駆動するものに代えて、例えばボールネジ（送りネジ）などで駆動するものでもよい。
【０１２９】
また、電気光学装置は、以上説明したような本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。電気光学装置の具体例としては、特に限定されないが、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などが挙げられる。
また、電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。電気光学装置の製造方法は、例えば、液晶表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色のフィルタ材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、基板上に多数のフィルタエレメントを配列してなるカラーフィルタを製造し、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造することができる。この他、電気光学装置の製造方法は、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色の発光材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列してなる有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
また、電子機器は、前述したようにして製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。電子機器の具体例としては、特に限定されないが、前述したようにして製造された液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を搭載したパーソナルコンピュータや携帯電話機などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図２】 本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。
【図３】 架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図。
【図４】 架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図。
【図５】 ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図。
【図６】 図５中の矢印Ａ方向から見た側面図。
【図７】 図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図。
【図８】 ヘッドユニットの構成および液滴吐出動作を示す模式的平面図。
【図９】 タンク収納部を示す斜視図。
【図１０】 給液装置および排液装置を模式的に示す配管系統図。
【図１１】 液量検出手段の構成を模式的に示す図。
【図１２】 図３中の矢印Ｄで示す部分を拡大して示す一部切欠き側面図。
【図１３】 図３中の矢印Ｄで示す部分を拡大して示す一部切欠き側面図。
【図１４】 基板搬送テーブルおよび描画前フラッシングユニットを示す平面図。
【図１５】 基板搬送テーブルおよび描画前フラッシングユニットを示す側面図。
【図１６】 基板搬送テーブルおよび描画前フラッシングユニットを示す側面図。
【図１７】 図１４中の矢印Ｅ方向から見た背面図。
【図１８】 図１４中の矢印Ｅ方向から見た背面図。
【図１９】 描画前フラッシングユニットの液受け部の横断面図。
【図２０】 排液流路系、排液タンクおよびプロセスポンプを模式的に示す配管系統図。
【符号の説明】
１８……排液装置、１８１……第１の排液タンク、１８２……第２の排液タンク、１８３……流入配管、１８４……流入配管、１８５……三方弁、１８７……プロセスポンプ、７０……排液流路系、７０１……チューブ、７０２……チューブ、７０３……チューブ、７０４……三方弁、７０５……三方弁、７０６……排液配管、７１……描画前フラッシング用液受け部、１９１……ドット抜け検査用液受け部、３０１……定期フラッシング用液受け部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present inventionDroplet discharge deviceAbout.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, ink jet printers have been widely used mainly as consumer printers. There is known an industrial liquid droplet ejection apparatus (inkjet drawing apparatus) to which the inkjet system (liquid droplet ejection system) of this inkjet printer is applied. This industrial liquid droplet ejection device is used, for example, for manufacturing a color filter, an organic EL display device or the like in a liquid crystal display device, or for forming a metal wiring on a substrate.
[0003]
In such a droplet discharge device, an operation of discard discharge (also referred to as flushing or preliminary discharge) of a droplet discharge head (inkjet head) is performed. The purpose of performing this operation is as follows. In the droplet discharge head, when the time from when the droplet discharge is stopped to when the discharge is restarted becomes longer, the droplet discharge direction is disturbed, the discharge amount becomes too large, or the discharge amount becomes too small. Tends to occur, and the droplet discharge operation tends to become unstable. In other words, the droplet discharge head tends to have a tendency that the discharge state is not stable and it is difficult to fly straight immediately after the droplet discharge is started, and the discharge amount is not stable. For this reason, pattern formation (drawing) on a workpiece such as a substrate is started after the droplet discharge head performs discard discharge and stabilizes the discharge state.
[0004]
The droplet discharge device is provided with a predetermined discard discharge place for the droplet discharge head to perform such a discharge, and a receiving tray (liquid receiving portion) for receiving the droplet is provided at the discharge discharge location. ing.
Also, in such a droplet discharge device, an operation called dot missing inspection that checks whether or not each discharge nozzle of the droplet discharge head is clogged, that is, whether or not a droplet is properly discharged from each discharge nozzle. Is also done. The dot dropout inspection is performed by driving the droplet discharge head and detecting whether or not the droplet is discharged from each discharge nozzle by, for example, an optical method.
[0005]
A conventional droplet discharge device transfers liquid collected in a receiving tray (liquid receiving portion) that receives discarded and discharged droplets and collects the liquid in a waste liquid tank (see, for example, Patent Document 1).
However, the liquid collected in the tray (liquid receiving part) that receives the droplets ejected in the dot dropout inspection must be wiped and discarded by the operator of the apparatus, which takes a lot of labor. It was. Further, the liquid accumulated in the tray becomes thicker due to its thickening action over time, and much more labor is required for wiping and discarding. For these reasons, the cost of the substrate to be manufactured has been increased.
[0006]
[Patent Document 1]
JP 2002-264366 A
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
  The object of the present invention is to reduce the labor of the operator of the apparatus and to reduce the cost of the product.Droplet discharge deviceIs to provide.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
  Such an object is achieved by the present invention described below.
  The droplet discharge device of the present invention includes a device main body,
  A workpiece placement section on which the workpiece is placed;
  A droplet discharge head for discharging droplets to the workpiece placed on the workpiece placement unit;
  A relative movement mechanism for relatively moving the workpiece placement unit and the droplet discharge head;
  A first waste discharge liquid receiving portion that is provided in the vicinity of the workpiece mounting portion and receives liquid discharged and discharged before the droplet discharge head discharges droplets to the workpiece;
  A second discard discharge liquid receiving portion for receiving the liquid discharged and discharged by the droplet discharge head during standby;
  A dot receiving inspection liquid receiving portion for receiving the liquid discharged from the droplet discharging head when performing the dot missing inspection of the droplet discharging head;
  A drainage flow path system for recovering the liquid received in the first discard discharge liquid receiver, the second discard discharge liquid receiver, and the dot drop inspection liquid receiver;
  The liquid collected from the first discard discharge liquid receiver, the second discard discharge liquid receiver, and the dot drop inspection liquid receiver via the drain flow path system is commonly stored. With drainage tankPrepared,
  The drainage flow path system is connected to the first discard discharge liquid receiving portion, the second discard discharge liquid receiving portion, and the dot dropout inspection liquid receiving portion, respectively, so that three liquids pass through. One pump as a transfer means for transferring a liquid, a pipe, a drain pipe that flows through the pipes into one, and flows to the drain tank side, and a drain pipe installed in the drain pipe And a flow path switching means provided on the upstream side of the pump and switching the three pipes, and by switching the flow path of the flow path switching means, the first waste discharge liquid receiving portion, Liquid is selectively collected from the second discard discharge liquid receiving portion and the dot dropout inspection liquid receiving portion.It is characterized by that.
  Accordingly, it is possible to provide a droplet discharge device that can reduce the labor of the operator of the device and can reduce the cost of the product.
[0009]
In the liquid droplet ejection apparatus according to the present invention, a predetermined pattern is formed on the workpiece by ejecting liquid droplets from the liquid droplet ejection head while relatively moving the work placement unit and the liquid droplet ejection head. It is preferable to do.
Thereby, various patterns can be formed (drawn) on the workpiece according to the purpose.
[0010]
  In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, the relative movement mechanism may include the workpiece placement unit.WithA Y-axis direction moving mechanism for moving the first discard discharge liquid receiving portion in a horizontal direction (hereinafter referred to as “Y-axis direction”) with respect to the apparatus main body; and the liquid droplet discharge head. On the other hand, the X-axis direction moving mechanism is preferably configured to move in a direction perpendicular to the Y-axis direction (hereinafter referred to as “X-axis direction”).
  Thereby, various patterns can be formed (drawn) on the workpiece according to the purpose.
[0011]
In the droplet discharge device of the present invention, the workpiece mounting portion and the droplet discharge head are relatively relative to each other with either one of the Y-axis direction and the X-axis direction being a main scanning direction and the other being a sub-scanning direction. It is preferable that droplets are ejected from the droplet ejection head onto the workpiece while being moved.
Thereby, various patterns can be formed (drawn) on the workpiece according to the purpose.
[0012]
  In the droplet discharge device of the present invention, the first discard discharge liquid receiving portion extends along the sub-scanning direction of the workpiece placement portion.TwoNear the sideRespectivelyIt is preferable to be provided.
  As a result, since the main scanning can be started immediately after performing the waste discharge to the first waste discharge liquid receiving portion, the pattern can be quickly formed (drawn) on the work, and the cycle time can be reduced. It can be shortened.
[0013]
In the droplet discharge device of the present invention, one of the two first discard discharge liquid receiving portions moves the workpiece mounting portion forward during the main scanning. However, the liquid droplet discharge head can be discharged and discharged before discharging the liquid droplets, and the other first liquid discharge receiving portion for discharge and discharge moves the liquid drop discharge head while moving the work mounting portion backward. It is preferable that the liquid can be discarded and discharged before discharging the liquid droplets.
  In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that the second discard discharge liquid receiving portion is provided to be movable in the Y-axis direction.
  Accordingly, the second discard discharge liquid receiving portion can be efficiently disposed in a small space together with other units, and the entire droplet discharge apparatus can be miniaturized.
In the droplet discharge device of the present invention, the first discard discharge liquid receiving portion is a receiving tray in which a concave portion is formed, a liquid absorber that is installed so as to cover the concave portion of the receiving tray, and can absorb liquid, It is preferable to have a pressing member that presses the edge of the liquid absorber.
  In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that the dot drop inspection liquid receiving portion is provided so as not to move in the horizontal direction.
  As a result, the structure of the droplet discharge device can be simplified and the dot dropout inspection can be performed with high accuracy.
[0014]
  In the droplet discharge device of the present invention,Of the three pipes, the pipe connected to the first discard discharge liquid receiving section and the pipe connected to the dot drop inspection liquid receiving section are each a flexible tube. Configured,
  The pipe connected to the first discard discharge liquid receiving part is connected to the dot drop inspection liquid receiving part.It is preferable to be more flexible.
  Thereby, it is possible to select a type of tube suitable for each use situation of the tube connected to the first discard discharge liquid receiving part and the tube connected to the dot drop detection liquid receiving part, Streamline design.
[0015]
In the droplet discharge device of the present invention, the flow path switching means is constituted by two three-way valves, and one of the two three-way valves is the first discard discharge liquid receiving portion. The other three-way valve is connected to a pipe connected to the second discard discharge liquid receiving part and a pipe connected to the dot dropout inspection liquid receiving part. It is preferable.
In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that two drainage tanks are installed and used while switching between the two drainage tanks.
[0016]
In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that the drainage tank is provided with a liquid amount detecting means for detecting a liquid amount inside the drainage tank.
In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that a height adjusting mechanism for adjusting the height of the first discard discharge liquid receiving portion is provided.
[0017]
In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, the height adjusting mechanism may be configured such that when the first discard discharge liquid receiving portion is at the uppermost position, the height of the upper end of the first discard discharge liquid receiving portion is the height. It is preferable that the height of the first discard discharge liquid receiving portion can be adjusted so as to be higher than the height of the upper surface of the work placement portion.
In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, the height adjustment mechanism may be configured such that when the first discard discharge liquid receiving portion is at the lowest position, the height of the upper end of the first discard discharge liquid receiving portion is It is preferable that the height of the first discard discharge liquid receiving portion can be adjusted to be lower than the height of the upper surface of the work placement portion.
In the droplet discharge device of the present invention, the workpiece has a plate shape,
  The height of the droplet discharge head is adjusted according to the thickness of the workpiece,
  The height adjusting mechanism can adjust the height of the first discard discharge liquid receiving portion in accordance with the height of the droplet discharge head adjusted according to the thickness of the workpiece. preferable.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  Hereinafter, the present inventionDroplet discharge deviceIs described in detail based on a preferred embodiment shown in the accompanying drawings.
  1 and 2 are a plan view and a side view, respectively, showing an embodiment of a droplet discharge device and a droplet discharge system of the present invention, and FIG. 9 is a tank storage in the droplet discharge device shown in FIGS. It is a perspective view which shows a part. Hereinafter, for convenience of explanation, one horizontal direction (a direction corresponding to the left and right direction in FIGS. 1 and 2) is referred to as a “Y-axis direction”, which is perpendicular to the Y-axis direction and is in a horizontal direction ( The direction corresponding to the vertical direction in FIG. 1 is referred to as “X-axis direction”. Further, the movement in the Y-axis direction in the right direction in FIGS. 1 and 2 is “advance in the Y-axis direction”, and the movement in the Y-axis direction in the left direction in FIGS. 1 and 2 is “Y "Reverse in the axial direction", the movement in the X-axis direction and downward in FIG. 1 is "forward movement in the X-axis direction", and the movement in the X-axis direction and upward in FIG. Say “Axis Backward”.
[0019]
A droplet discharge system (droplet discharge system) 10 shown in FIGS. 1 and 2 includes a droplet discharge device (inkjet drawing device) 1 having a droplet discharge head 111 and a chamber 91 that houses the droplet discharge device 1. And.
The droplet discharge device 1 is a state of minute droplets on a substrate W as a workpiece by using, for example, a liquid (discharge liquid) such as ink or a functional liquid containing a target material by an inkjet method (droplet discharge method). Is a device that forms (draws) a predetermined pattern by discharging the liquid, and is used, for example, to manufacture a color filter, an organic EL display device, or the like in a liquid crystal display device, or to form a metal wiring on a substrate. This is an industrial-use droplet discharge device.
[0020]
The material of the substrate W targeted by the droplet discharge device 1 is not particularly limited, and any material can be used as long as it is a plate-like member (work). For example, a glass substrate, a silicon substrate, a flexible substrate, and the like are targeted. can do. Further, in the present invention, the workpiece targeted by the droplet discharge device is not limited to a plate-like member, and for example, any lens may be used as a workpiece, and a coating such as an optical thin film is formed by discharging droplets onto the lens. The present invention can also be applied to a droplet discharge device that performs such a process. In addition, the present invention is particularly preferably applied to a relatively large droplet discharge device 1 that can cope with a relatively large workpiece (for example, a length and a width of about several tens of centimeters to several meters each). can do.
[0021]
The droplet discharge device 1 includes a device main body 2, a substrate transfer table (work placement unit) 3, a head unit 11 having a plurality of droplet discharge heads (inkjet heads) 111, a pre-drawing flushing unit 7, A maintenance device 12 for maintaining the droplet discharge head 111, a tank storage unit 13, a blow device 14 for blowing gas onto the substrate W, a laser length measuring device 15 for measuring the moving distance of the substrate transfer table 3, and a control device 16, a drainage device 18, and a dot dropout detection unit 19.
[0022]
The liquid ejected from the droplet ejection head 111 is not particularly limited, and includes, for example, the following liquids (including dispersions such as suspensions and emulsions) in addition to the ink including the filter material of the color filter. It can be. A light emitting material for forming an EL light emitting layer in an organic EL (electroluminescence) display device. A fluorescent material for forming a phosphor on an electrode in an electron emission device. A fluorescent material for forming a phosphor in a PDP (Plasma Display Panel) device. -Electrophoretic material that forms an electrophoretic body in an electrophoretic display device. Bank material for forming a bank on the surface of the substrate W.・ Various coating materials. -Liquid electrode material for forming electrodes. A particle material that forms a spacer for forming a minute cell gap between two substrates. -Liquid metal material for forming metal wiring. -Lens material for forming microlenses. -Resist material. A light diffusing material for forming a light diffuser.
[0023]
As shown in FIG. 2, the apparatus main body 2 includes a gantry 21 installed on the floor, and a stone surface plate 22 installed on the gantry 21. A substrate transfer table 3 is installed on the stone surface plate 22 so as to be movable in the Y-axis direction with respect to the apparatus main body 2. The substrate transfer table 3 moves forward / backward in the Y-axis direction by driving the linear motor 51. The substrate transport table 3 has a substantially rectangular outer shape having a side extending along the Y-axis direction and a side extending along the X-axis direction in plan view. The substrate W is placed on the substrate transfer table 3.
[0024]
In the droplet discharge device 1, substrates W of various sizes and shapes, ranging from a relatively large substrate W having the same size as the substrate transport table 3 to a relatively small substrate W smaller than the substrate transport table 3. Can be targeted. In principle, it is preferable that the substrate W be subjected to the droplet discharge operation in a state where the substrate W is positioned so as to coincide with the center of the substrate transport table 3, but in the case of a relatively small substrate W, the end of the substrate transport table 3 It is also possible to perform the droplet discharge operation by positioning at a position close to the position.
[0025]
As shown in FIG. 1, the droplet discharge head 111 discharges droplets onto the substrate W in the vicinity of two sides extending along the X-axis direction (sub-scanning direction) of the substrate transport table 3. A pre-drawing flushing liquid receiving portion (first discarding discharge liquid receiving portion) 71 that receives (receives) liquid (droplets) that has been discharged (also referred to as flushing or preliminary discharge) before (before performing main scanning). A pre-drawing flushing unit 7 is installed. A tube 701 of the drainage device 18 is connected to the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71, and the discharged and discharged discharge liquid is collected through the tube 701. The pre-drawing flushing unit 7 and the drainage device 18 will be described in detail later.
[0026]
The moving distance in the Y-axis direction of the substrate transfer table 3 is measured by a laser length measuring device 15 as a moving distance detecting means. The laser length measuring device 15 has a laser length measuring device sensor head 151, a prism 152 and a laser length measuring device main body 153 installed in the apparatus main body 2, and a corner cube 154 installed in the substrate transfer table 3. . Laser light emitted from the laser length measuring device sensor head 151 along the X-axis direction is bent by the prism 152 and proceeds in the Y-axis direction, and is irradiated onto the corner cube 154. The reflected light from the corner cube 154 returns to the laser length measuring device sensor head 151 through the prism 152. In the droplet discharge device 1, the discharge timing from the droplet discharge head 111 is generated based on the movement distance (current position) of the substrate transfer table 3 detected by the laser length measuring device 15.
[0027]
In the apparatus main body 2, a main carriage 61 that supports the head unit 11 is installed so as to be movable in the X-axis direction in the space above the substrate transport table 3. The head unit 11 having a plurality of droplet discharge heads 111 moves forward and backward in the X-axis direction together with the main carriage 61 by driving a linear motor actuator 62 including a linear motor and a guide.
[0028]
In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, so-called main scanning of the droplet discharge head 111 is based on the discharge timing generated using the laser length measuring device 15 while moving the substrate transport table 3 in the Y-axis direction. This is performed by driving the droplet discharge head 111 to selectively discharge droplets. Correspondingly, so-called sub-scanning is performed stepwise (intermittently) in the X-axis direction when the droplet discharge head 111 is not driven (non-discharge). This is done by moving it.
[0029]
The apparatus main body 2 is provided with a blowing device 14 that dries the droplets discharged onto the substrate W. The blow device 14 has a nozzle that opens in a slit shape along the X-axis direction. While the substrate W is transported in the Y-axis direction by the substrate transport table 3, gas is blown toward the substrate W from the nozzle. . In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, two blow devices 14 are provided that are located at positions separated from each other in the Y-axis direction.
[0030]
The maintenance device 12 is installed on the side of the gantry 21 and the stone surface plate 22. The maintenance device 12 includes a capping unit 121 for capping the droplet discharge head 111 during standby of the head unit 11, a cleaning unit 122 for wiping the nozzle formation surface of the droplet discharge head 111, and a periodic discharge of the droplet discharge head 111. The regular flushing unit 30 that receives the proper flushing and the weight measurement unit 125 are provided.
[0031]
Further, the maintenance device 12 has a moving table 124 that can move in the Y-axis direction. The capping unit 121, the cleaning unit 122, the regular flushing unit 30, and the weight measuring unit 125 are arranged on the moving table 124 in the Y-axis direction. It is installed side by side. Any of the capping unit 121, the cleaning unit 122, the regular flushing unit 30, and the weight measuring unit 125 is caused to drop by moving the moving table 124 in the Y-axis direction with the head unit 11 moving above the maintenance device 12. It can be positioned below the discharge head 111. The head unit 11 moves above the maintenance device 12 during standby (for example, during supply / removal of the substrate W), and performs capping, cleaning (wiping), and regular flushing in a predetermined order.
[0032]
In the present embodiment, the capping unit 121, the cleaning unit 122, the regular flushing unit 30, and the weight measuring unit 125 are provided so as to be movable in the Y-axis direction, so that these can be efficiently arranged in as little space as possible. Therefore, the droplet discharge device 1 can be reduced in size (space saving).
The capping unit 121 includes a plurality of caps arranged so as to correspond to each of the plurality of droplet discharge heads 111 and a lifting mechanism that lifts and lowers these caps. A suction tube (not shown) is connected to each cap, and the capping unit 121 covers the nozzle formation surface of each droplet discharge head 111 with each cap and discharges from the nozzle formed on the nozzle formation surface. Liquid can be aspirated. By performing such capping, it is possible to prevent the nozzle formation surface of the droplet discharge head 111 from drying or to recover (resolve) nozzle clogging.
[0033]
Capping by the capping unit 121 is performed when the head unit 11 is on standby, when the head unit 11 is initially filled with the discharge liquid, or when the discharge liquid is discharged from the head unit 11 when the discharge liquid is replaced with a different type. This is performed when the flow path is washed by, for example.
Discharged liquid discharged from the droplet discharge head 111 during capping by the capping unit 121 passes through the suction tube, is collected by a capping liquid draining device 17 described later, and is reused. However, the cleaning liquid collected when the flow path is cleaned is not reused.
The cleaning unit 122 operates such that a wiping sheet containing a cleaning liquid (for example, a solvent capable of dissolving the discharge liquid) is run by a roller, and the nozzle forming surface of the droplet discharge head 111 is wiped and cleaned by the wiping sheet. To do.
[0034]
The regular flushing unit 30 includes a regular flushing liquid receiving portion (second discard discharge liquid receiving portion) 301. The regular flushing unit 30 receives the liquid (droplets) discarded and ejected by the liquid droplet ejection head 111 when the head unit 11 is in a standby state by the regular flushing liquid receiving unit 301. A tube 702 of the drainage device 18 is connected to the periodic flushing liquid receiving portion 301, and the discharged discharged liquid is collected through the tube 702.
[0035]
The weight measurement unit 125 is used to measure a single droplet discharge amount (weight) from the droplet discharge head 111 as a preparation stage of a droplet discharge operation on the substrate W. That is, before the droplet discharge operation on the substrate W, the head unit 11 moves above the weight measurement unit 125 and drops droplets from the discharge nozzles of each droplet discharge head 111 one or more times to the weight measurement unit 125. Discharge against. The weight measuring unit 125 includes a liquid receiver that receives the discharged droplets and a weight scale such as an electronic balance, and measures the weight of the discharged droplets. Alternatively, the liquid receiver may be removed and measurement may be performed with a scale outside the apparatus. The control device 16 to be described later calculates the amount (weight) of one discharge droplet in the discharge nozzle based on the weight measurement result, and the liquid is adjusted so that the calculated value becomes equal to a predetermined design value. The applied voltage of the head driver that drives the droplet discharge head 111 is corrected.
[0036]
The dot dropout detection unit 19 is fixedly installed at a place on the stone surface plate 22 that does not overlap the movement area of the substrate transfer table 3 and is located below the movement area of the head unit 11. The missing dot detection unit 19 performs a missing dot inspection (discharge confirmation inspection) for inspecting (detecting) the presence or absence of missing dots caused by clogging of the ejection nozzles of the droplet ejection head 111. The dot missing detection unit 19 includes, for example, a light projecting unit and a light receiving unit that project and receive laser light, and a dot missing inspection liquid receiving unit 191.
[0037]
When performing the dot dropout inspection, the head unit 11 discharges droplets from each discharge nozzle of each droplet discharge head 111 while moving in the X-axis direction in the space above the dot dropout detection unit 19. The missing dot detection unit 19 projects and receives light on the ejected liquid droplets to optically detect the presence and location of a clogged ejection nozzle. The liquid (droplet) discharged from the droplet discharge head 111 at the time of dot drop inspection is received by the dot drop inspection liquid receiver 191.
[0038]
A tube 703 of the drainage device 18 is connected to the dot missing inspection liquid receiving portion 191, and the discharged and discharged discharge liquid is collected through the tube 703.
The dot dropout inspection can be specifically performed by a method described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-192740, but is not limited thereto, and may be performed by any method.
[0039]
In the vicinity of the apparatus main body 2 and the maintenance apparatus 12, a tank storage unit 13 having a rack (shelf) 131 is installed. As shown in FIG. 9, the rack 131 of the tank storage unit 13 supplies the first primary tank 401 and the second primary tank 402 that store the discharge liquid discharged from the droplet discharge head 111 and the cleaning unit 122. A first cleaning liquid tank 501 and a second cleaning liquid tank 502 for storing the cleaning liquid to be stored, a first reuse tank 171 and a second reuse tank 172 for storing the waste liquid collected from the capping unit 121, and drawing. A first drainage tank 181 and a second drainage tank 182 (in FIG. 9) that store the drainage discharged and discharged from the droplet discharge head 111 in the front flushing unit 7, the regular flushing unit 30, and the dot dropout detection unit 19. Are omitted (not shown).
[0040]
Each of the first primary tank 401 and the second primary tank 402 can be replenished with discharge liquid when it becomes empty, or can be replaced with a full tank. Note that the first primary tank 401 and the second primary tank 402 only need to be able to perform at least one of replacement (detachment) and replenishment of the discharge liquid.
Similarly, the first cleaning liquid tank 501 and the second cleaning liquid tank 502 can also be replaced or replenished with cleaning liquid, respectively. In addition, the first reuse tank 171, the second reuse tank 172, the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182 are respectively replaced with empty tanks when full. The drainage can be withdrawn.
[0041]
The control device (control means) 16 controls the operation of each part of the droplet discharge device 1, and includes a CPU (Central Processing Unit) and various programs such as a program for executing the control operation of the droplet discharge device 1. And a storage unit that stores (stores) programs and various data. In the illustrated configuration, the control device 16 is installed outside a chamber 91 described later.
[0042]
Such a droplet discharge device 1 (excluding the control device 16) is preferably housed (stored) in a chamber 91 in which the internal temperature and humidity are controlled, including the tank housing portion 13. That is, the droplet discharge device 1 operates in an environment in which temperature and humidity are controlled. Thereby, when forming (drawing) a pattern of ejected droplets on the substrate W, it is possible to prevent an error due to thermal expansion / contraction of each part of the droplet ejection device 1 and the substrate W due to a temperature change. Therefore, the pattern can be formed (drawn) with high accuracy.
[0043]
In addition, as a result of controlling (adjusting) the temperature of the discharge liquid stored in the first primary tank 401 and the second primary tank 402, characteristics such as the viscosity of the discharge liquid are stabilized. As a result, the state of droplet discharge from the substrate becomes stable, so that the pattern can be formed (drawn) with higher accuracy. In addition, entry of dust, dust or the like into the chamber 91 can be prevented, and a pattern can be formed (drawn) while the substrate W is kept clean.
[0044]
The chamber 91 includes a main room (first room) 913 and a sub room (second room) 916. The main chamber 913 and the sub chamber 916 are separated by partition walls 914 and 915. The droplet discharge device 1 is accommodated in the main chamber 913, and the tank accommodating portion 13 is accommodated in the sub chamber 916. That is, the first primary tank 401 and the second primary tank 402 are accommodated in a sub chamber 916 that is a separate room from the droplet discharge device 1 in the chamber 91.
[0045]
The sub chamber 916 is provided with an opening / closing door (opening / closing part) 918 for the outside of the chamber 91 (see FIG. 1). Note that the opening / closing portion of the sub chamber 916 is not limited to the opening door such as the opening / closing door 918 but may be a sliding door, a shutter, or the like. In addition, a communication portion (opening) 917 that connects the main chamber 913 and the sub chamber 916 is formed in the partition wall 914. The sub chamber 916 is formed with an exhaust port for discharging the gas in the sub chamber 916, and an exhaust duct 94 extending to the outside is connected to the exhaust port.
[0046]
The chamber apparatus 9 including such a chamber 91 further includes an air conditioner 92 that adjusts (manages) the temperature and humidity in the chamber 91. The air conditioner 92 includes a known air conditioner device, and sends air (gas) whose temperature and humidity are adjusted to the ceiling 911 of the chamber 91 through the introduction duct 93. The air sent into the ceiling 911 passes through the filter 912 and is introduced into the main chamber 913 of the chamber 91. The air introduced into the main chamber 913 flows into the sub chamber 916 through the communication portion 917 and is discharged to the outside through the sub chamber 916 through the exhaust duct 94 (exhaust port).
[0047]
With such a configuration, air whose temperature and humidity are adjusted by the air conditioner 92 surely flows into every corner of the main chamber 913 and the sub chamber 916. The temperature and humidity of both the first primary tank 401 and the periphery of the second primary tank 402 can be managed. Further, harmful gas generated from the discharged liquid can be discharged to the outside of the chamber 91, and safety is high.
[0048]
In the present embodiment, when the first primary tank 401 and the second primary tank 402 are replaced or the discharge liquid is replenished, the main chamber 913 is not opened to the outside by opening the opening / closing door 918. This can be done. Thereby, when the primary tank is replaced or when the discharge liquid is replenished, the temperature and humidity managed around the environment (environment) of the droplet discharge device 1 are not disturbed. Therefore, the primary tank is replaced or the discharge liquid is replenished. Even immediately after that, the pattern can be formed (drawn) with high accuracy. In addition, it is not necessary to wait for the temperature in the main chamber 913 or the temperature of each part of the droplet discharge device 1 to return to a controlled value after replacing the primary tank or replenishing the discharge liquid. (Efficiency) can be improved. For this reason, it is extremely advantageous to mass-produce a workpiece such as the substrate W with high accuracy, and the manufacturing cost can be reduced.
[0049]
Further, in the present embodiment, the surroundings (environment) of the droplet discharge device 1 are similarly performed when operations such as replacement of the cleaning liquid tank, replenishment of the cleaning liquid, replacement of the reuse tank and drainage tank, or extraction of the liquid are performed. Since the controlled temperature and humidity are not disturbed, the pattern can be formed (drawn) with high accuracy immediately after the operation, and the throughput (production efficiency) can be further improved.
[0050]
The exhaust duct 94 is preferably provided with a flow rate sensor (not shown). Based on the detection result of the flow velocity sensor, the control device 16 constantly monitors whether the necessary exhaust amount is secured. If there is an abnormality, an alarm sound, a sound, an operation panel (not shown) This is notified to the operator by a method such as display on the screen.
[0051]
The chamber 91 is supplied and filled with a gas other than air (for example, an inert gas such as nitrogen, carbon dioxide, helium, neon, argon, krypton, xenon, or radon) with the temperature and humidity adjusted, The droplet discharge device 1 may be operated in this gas atmosphere.
Moreover, the opening / closing part with respect to the outside provided in the sub chamber 916 may be such that the door is double or triple or more, and a separate room (space) is formed between the doors. .
Further, the chamber 91 only needs to be controlled (adjusted) either in its internal temperature or humidity.
In the present embodiment, two primary tanks are provided, but the number of primary tanks may be one or more than three (the same applies to other tanks).
[0052]
3 is a plan view showing the gantry, the stone surface plate, and the substrate transfer table in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, and FIG. 4 is the gantry, the stone surface in the droplet discharge device shown in FIGS. It is a side view which shows a board | substrate and a board | substrate conveyance table. 3 and 4, the illustration of the pre-drawing flushing unit 7 is omitted.
As shown in FIGS. 3 and 4, the substrate transport table 3 and the Y-axis direction moving mechanism 5 that moves the substrate transport table 3 in the Y-axis direction are installed on the stone surface plate 22. As shown in FIG. 3, the substrate transport table 3 is formed with a plurality of suction ports (suction units) 332 for sucking and fixing the placed substrate W.
[0053]
As shown in FIG. 4, the Y-axis direction moving mechanism 5 includes a linear motor 51 and an air slider 52. The air slider 52 includes a slide guide 521 that extends along the Y-axis direction on the stone surface plate 22, and a slide block 522 that moves along the slide guide 521. The slide block 522 has a blowout port for blowing air between the slide guide 521, and the air blown from the blowout port is interposed between the slide guide 521 and can move smoothly. .
[0054]
On the slide block 522, a support (base) 108 that supports the substrate transport table 3 and the pre-drawing flushing unit 7 (pre-drawing flushing liquid receiving portion 71) is fixed. The substrate transport table 3 is fixed on the support 108 via a θ-axis rotation mechanism 60. In this way, the substrate transport table 3 is supported by the air slider 52 so as to be smoothly movable in the Y-axis direction, and is moved in the Y-axis direction by driving the linear motor 51. Further, the substrate transport table 3 can be rotated (rotated) within a predetermined range about a vertical axis passing through the center of the substrate transport table 3 (hereinafter referred to as “θ axis”) by the θ-axis rotating mechanism 60. It has become.
[0055]
A pair of strip-shaped thin plates 101 made of a metal material such as stainless steel is stretched over the Y-axis direction moving mechanism 5 so as to cover the Y-axis direction moving mechanism 5 from above. The thin plate 101 passes through a recess (groove) formed on the upper surface of the support 108 and passes between the support 108 and the θ-axis rotation mechanism 60. By providing the thin plate 101, it is possible to prevent the discharge liquid discharged from the droplet discharge head 111 from adhering to the Y-axis direction moving mechanism 5, and to protect the Y-axis direction moving mechanism 5. Can do.
[0056]
The stone surface plate 22 is made of a solid stone material (for example, Belfast black, Rustenburg, Kurnuol, Indian black, etc.), and its upper surface has high flatness. The stone surface plate 22 is excellent in various characteristics such as stability against environmental temperature changes, damping properties against vibration, stability against aging (deterioration), and corrosion resistance against discharged liquid. In this embodiment, the Y-axis direction moving mechanism 5 and the later-described X-axis direction moving mechanism 6 are supported by the stone surface plate 22 as described above, so that an error due to the influence of environmental temperature change, vibration, secular change (deterioration), and the like. Therefore, high accuracy can be obtained in the relative movement between the substrate transport table 3 and the head unit 11 (droplet ejection head 111), and the high accuracy can always be stably maintained. As a result, pattern formation (drawing) with ejected droplets can be performed with high accuracy and always stably.
[0057]
Such a stone surface plate 22 is supported by the gantry 21. The gantry 21 includes a frame 211 formed by assembling an angle member or the like in a square shape, and a plurality of support legs 212 distributed and arranged at the lower part of the frame 211. The gantry 21 preferably has an anti-vibration structure such as an air spring or a rubber bush, and is configured not to transmit vibration from the floor to the stone surface plate 22 as much as possible.
[0058]
5 is a plan view showing the head unit and the X-axis direction moving mechanism in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, FIG. 6 is a side view seen from the direction of arrow A in FIG. 5, and FIG. It is the front view seen from the arrow B direction in FIG.
As shown in FIGS. 6 and 7, on the stone surface plate 22, there are four columns 23 and two parallel beams (beams) extending along the X-axis direction supported by these columns 23. ) 24 and 25 are installed. The substrate transfer table 3 can pass under the girders 24 and 25.
[0059]
The X-axis direction moving mechanism 6 that moves the droplet discharge head 111 (head unit 11) in the X-axis direction is supported by four columns 23 via girders 24 and 25. As shown in FIG. 5, the X-axis direction moving mechanism 6 is installed on the main carriage 61 that supports the head unit 11 and the beam 24 and guides and drives the main carriage 61 in the X-axis direction. And a guide 63 that is installed on the beam 25 and guides the main carriage 61 in the X-axis direction. The main carriage 61 is installed so as to be bridged between the linear motor actuator 62 and the guide 63.
In the present embodiment, a relative movement mechanism that relatively moves the substrate transport table 3 and the droplet discharge head 111 (head unit 11) by the Y-axis direction movement mechanism 5 and the X-axis direction movement mechanism 6 is provided. Composed.
[0060]
The head unit 11 is detachably supported with respect to the main carriage 61. As the head unit 11 moves in the X-axis direction together with the main carriage 61, sub-scanning of the droplet discharge head 111 is performed. The head unit 11 is supported by the main carriage 61 via a height adjustment mechanism 20 that adjusts the height of the head unit 11 with respect to the main carriage 61. Thereby, according to the thickness of the substrate W, the gap between the nozzle formation surface of the droplet discharge head 111 and the substrate W can be adjusted.
[0061]
A camera carriage 106 is further installed between the linear motor actuator 62 and the guide 63 so as to be bridged. The camera carriage 106 shares the linear motor actuator 62 and the guide 63 with the main carriage 61 and moves in the X-axis direction independently of the main carriage 61.
The camera carriage 106 is provided with a recognition camera 107 for recognizing an image of alignment marks provided at predetermined positions on the substrate W. The recognition camera 107 is supported in a state where it is suspended downward from the camera carriage 106. Note that the recognition camera 107 may be used for other purposes.
[0062]
FIG. 8 is a plan view schematically showing the configuration of the head unit and the droplet discharge operation in the droplet discharge apparatus shown in FIGS. As shown in FIG. 8, on the nozzle formation surface of the droplet discharge head 111, a large number of discharge nozzles (openings) for discharging droplets are formed in a line or two or more lines. The droplet discharge head 111 has a piezoelectric element that is displaced (deformed) by application of a voltage, and a pressure chamber (liquid chamber) formed so as to communicate with the discharge nozzle by using the displacement (deformation) of the piezoelectric element. The liquid droplets are ejected from the ejection nozzles by changing the pressure inside. The droplet discharge head 111 is not limited to such a configuration. For example, the droplet discharge head 111 may be configured such that the discharge liquid is heated by a heater to boil, and the droplet is discharged from the discharge nozzle by the pressure. .
[0063]
The head unit 11 is provided with a plurality of droplet discharge heads 111 (described as 12 in the following description). Each of these droplet discharge heads 111 is arranged in two rows in a row in the sub-scanning direction (X-axis direction), and the nozzle rows are arranged so as to be inclined at a predetermined angle with respect to the sub-scanning direction.
Note that such an arrangement pattern is an example. For example, adjacent droplet discharge heads 111 in each head row are arranged with an angle of 90 ° (adjacent heads are in a “C” shape) The droplet discharge heads 111 between the head rows may be arranged with an angle of 90 ° (the heads between the rows are in a “C” shape). In any case, it is sufficient that dots formed by all the discharge nozzles of the plurality of droplet discharge heads 111 are continuous in the sub-scanning direction.
Furthermore, the droplet discharge heads 111 do not have to be installed in a posture inclined with respect to the sub-scanning direction, and a plurality of droplet discharge heads 111 may be arranged in a staggered or stepped manner. . A plurality of head units 11 may be supported on the main carriage 61.
[0064]
Here, the overall operation of the droplet discharge device 1 under the control of the control device 16 will be briefly described. When the substrate W placed (supplied) on the substrate transport table 3 is positioned (prealigned) at a predetermined position by the operation of the substrate positioning device (not shown) provided in the droplet discharge device 1, the substrate transport table. The substrate W is sucked and fixed to the substrate transfer table 3 by air suction from the three suction ports 332. Next, when the substrate transport table 3 and the camera carriage 106 are moved, the recognition camera 107 is moved above an alignment mark provided at a predetermined position (one or a plurality of positions) of the substrate W. recognize. Based on the recognition result, the θ-axis rotating mechanism 60 is operated to correct the angle of the substrate W about the θ-axis, and the position correction of the substrate W in the X-axis direction and the Y-axis direction is performed on the data ( Book alignment).
When the alignment operation of the substrate W as described above is completed, the droplet discharge device 1 starts an operation of forming (drawing) a predetermined pattern on the substrate W. This operation is performed by main-scanning and sub-scanning the droplet discharge head 111 (head unit 11) with respect to the substrate W.
[0065]
In the droplet discharge apparatus 1 of the present embodiment, main scanning is performed while moving the substrate W in the Y-axis direction by the movement of the substrate transfer table 3 while the head unit 11 is stopped (not moved) with respect to the apparatus body 2. This is performed by discharging droplets from the droplet discharge heads 111 to the substrate W. That is, in the present embodiment, the Y-axis direction is the main scanning direction.
[0066]
This main scanning may be performed while the substrate transport table 3 is moving forward (forward), while it is moving backward (backward), or both forward and backward (reciprocating). Alternatively, the substrate transfer table 3 may be reciprocated a plurality of times and repeatedly performed a plurality of times. By such main scanning, ejection of liquid droplets is completed in a region extending along the main scanning direction with a predetermined width (width that can be ejected by the head unit 11) on the substrate W.
[0067]
Sub scanning is performed after such main scanning. The sub-scanning is performed by moving the head unit 11 in the X-axis direction by the predetermined width by moving the main carriage 61 when droplets are not ejected. That is, in the present embodiment, the X-axis direction is the sub-scanning direction.
After such sub-scanning, the same main scanning as described above is performed. As a result, droplets are ejected to a region adjacent to the region where the droplets were ejected in the previous main scan.
In this manner, by alternately repeating main scanning and sub-scanning, droplets are ejected over the entire area of the substrate W, and a predetermined pattern is formed on the substrate W by the ejected droplets (liquid). Can be formed (drawn).
[0068]
In the present invention, the main scanning direction and the sub-scanning direction may be opposite to those described above. That is, main scanning is performed by discharging droplets onto the substrate W while moving the droplet discharge head 111 (head unit 11) in the X-axis direction while the substrate W (substrate transfer table 3) is stopped. The sub-scanning may be performed by moving the substrate W (substrate transport table 3) in the Y-axis direction when droplets are not discharged.
[0069]
FIG. 10 is a piping system diagram schematically showing a liquid supply device and a drainage device in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, and FIG. 11 is a diagram schematically showing a configuration of the liquid amount detection means. . Hereinafter, the discharge liquid supply device 4, the cleaning liquid supply device 50, and the capping drainage device 17 in the droplet discharge device 1 will be described based on these drawings, FIGS. 6 and 9.
[0070]
First, the discharge liquid supply device (liquid supply device) 4 that supplies the discharge liquid discharged from each droplet discharge head 111 will be described. As shown in FIG. 10, the discharge liquid supply device 4 includes a primary tank system 40 that stores discharge liquid, and a single primary flow path 411 that connects the primary tank system 40 and a secondary tank 412 described later. Have.
In the present embodiment, the primary tank system 40 is connected to a first primary tank (discharge liquid tank) 401 and a second primary tank (discharge liquid tank) 402 that store discharge liquid, and the first primary tank 401. An outflow pipe (outflow flow path) 403, an outflow pipe (outflow flow path) 404 connected to the second primary tank 402, and a three-way valve (flow path switching means) 405. The primary tank system 40 is not limited to the configuration shown in the figure, and the number of primary tanks may be only one or three or more.
[0071]
The three-way valve 405 is connected to a primary flow path 411 and outflow pipes 403 and 404, respectively. The three-way valve 405 can be switched between a state in which the primary flow path 411 and the outflow pipe 403 are connected and a state in which the primary flow path 411 and the outflow pipe 404 are connected. As a result, the discharge liquid can be selectively supplied from the first primary tank 401 or the second primary tank 402 to the primary flow path 411. The three-way valve 405 is automatically switched by an actuator (not shown).
The individual capacities of the first primary tank 401 and the second primary tank 402 are not particularly limited, but from the viewpoint of coexistence of facilitating replacement work and securing the capacity of the discharge liquid supply device 4 as a whole, It is preferably about 1 to 10 liters, and more preferably about 3 to 5 liters.
[0072]
In addition, the discharge liquid supply device 4 includes a pressurizing unit 406 that supplies pressurized gas into the first primary tank 401 and the second primary tank 402, and a pressurized pipe connected to the first primary tank 401 ( It further includes a pressure path) 407, a pressure pipe (pressure path) 408 connected to the second primary tank 402, and a three-way valve (pressure path switching means) 409.
[0073]
As the pressurizing means 406, for example, a pressurized gas supply source that supplies a gas such as pressurized nitrogen gas is used. A pipe (path) 410 from the pressurizing means 406 and pressurizing pipes 407 and 408 are connected to the three-way valve 409, respectively. The three-way valve 409 can be switched between a state in which the pipe 410 and the pressure pipe 407 are connected and a state in which the pipe 410 and the pressure pipe 408 are connected. Thereby, the inside of the first primary tank 401 or the second primary tank 402 can be selectively pressurized by the pressurizing means 406. The three-way valve 409 is automatically switched by an actuator (not shown).
[0074]
As shown in FIG. 6, the secondary tank 412 is fixedly installed on the main carriage 61. That is, the secondary tank 412 moves in the X axis direction together with the main carriage 61. The other end of the primary flow path 411 extending from the three-way valve 405 is connected to the secondary tank 412, and the discharge liquid from the primary tank system 40 flows into the secondary tank 412 through the primary flow path 411.
[0075]
The primary flow path 411 is preferably composed of a flexible tube. In the middle of the primary flow path 411, the primary flow path 411 is relayed so that the portion of the primary flow path 411 on the secondary tank 412 side can move in accordance with the movement of the secondary tank 412 that moves with the main carriage 61. A relay unit 413 is provided.
The secondary tank 412 and the head unit 11 are connected by twelve secondary flow paths 414 corresponding to each of the twelve droplet discharge heads 111 provided in the head unit 11. That is, the head unit 11 is provided with twelve inlets (connection ports) 112 corresponding to the respective droplet discharge heads 111, and the other ends of the twelve secondary flow paths 414 extending from the secondary tank 412. Are connected to the respective inlets 112. In FIG. 6, only two of the twelve secondary flow paths 414 are shown for easy viewing. In the illustrated configuration, the secondary flow path 414 is configured by a flexible tube, but is not limited thereto, and may be configured by a hard tube.
[0076]
The pressure in the secondary tank 412 is negatively controlled by a pressure control unit (negative pressure control unit) (not shown). The discharge liquid whose pressure is controlled in the secondary tank 412 is supplied to each droplet discharge head 111 through each secondary channel 414. Thereby, the pressure of the discharge liquid supplied to each droplet discharge head 111 is controlled, and a good droplet discharge state is obtained at each discharge nozzle of each droplet discharge head 111.
[0077]
In the middle of each secondary flow path 414, a shut-off valve 415 capable of blocking the flow path is provided. When the pressure control unit does not function for some reason, the shutoff valve 415 shuts off the secondary flow path 414 and discharges it from the secondary tank 412 to the droplet discharge head 111 located at a position lower than the secondary tank 412. The liquid continues to flow and is prevented from leaking from the droplet discharge head 111.
[0078]
As shown in FIG. 11A, the discharge liquid supply device 4 further includes a liquid amount detection unit 416 that detects the amount of liquid inside the first primary tank 401. The liquid amount detection means 416 is provided along the vertical direction outside the first primary tank 401, and has a light-transmitting tube 417 whose lumen communicates with the first primary tank 401, and the first primary tank 401. A light projecting unit 418 and a light receiving unit 419 are disposed near the bottom of the primary tank 401 so as to face each other with the tube 417 interposed therebetween. When the amount of liquid in the first primary tank 401 decreases due to a change in the amount of light received by the light receiving unit 419, the liquid amount detecting means 416 detects this when the predetermined lower limit level E (empty state) is reached. Can be detected. The detection result of the liquid amount detection means 416 is input to the control device 16.
[0079]
Further, the discharge liquid supply device 4 has the same liquid amount detection means 420 that detects the amount of liquid inside the second primary tank 402. When the amount of liquid in the second primary tank 402 decreases and reaches a predetermined lower limit level E, the liquid amount detecting means 420 detects this and inputs the detection result to the control device 16.
In the state shown in FIG. 10, the discharge liquid supply device 4 is pressurized in the first primary tank 401 by the pressurizing means 406, and the discharge liquid in the first primary tank 401 flows out by this pressure. It is sent out through the pipe 403 and the primary flow path 411 and supplied to the droplet discharge head 111.
[0080]
When the discharge liquid in the first primary tank 401 is consumed and the liquid amount detection means 416 detects that the first primary tank 401 is empty, the control device 16 determines based on the detection result. The three-way valve 405 and the three-way valve 409 are switched. Thereby, the pressurizing means 406 pressurizes the inside of the second primary tank 402, and the discharge liquid in the second primary tank 402 is sent out through the outflow pipe 404 and the primary flow path 411 by this pressure, The state is switched to the state supplied to the droplet discharge head 111.
[0081]
While the discharge liquid is being supplied from the second primary tank 402, the operator removes the empty first primary tank 401 from the rack 131, refills the discharge liquid, and returns it to the rack 131. Thereafter, when the liquid amount detecting means 420 detects that the second primary tank 402 is empty, the control device 16 switches the three-way valve 405 and the three-way valve 409, respectively, and discharges the discharge liquid from the first primary tank 401. Switch to the supply state. Then, while the discharge liquid is being supplied from the first primary tank 401, the operator removes the empty second primary tank 402 from the rack 131 and refills the discharge liquid.
[0082]
When the first primary tank 401 is emptied and when the second primary tank 402 is emptied, the control device 16 notifies that and replaces the tank (replenishment of discharge liquid). It is preferable to prompt the operator. Examples of the notification method include a method of displaying characters or graphics on an operation panel (not shown) or making a sound or a sound. In addition, when the first primary tank 401 is emptied and when the second primary tank 402 is emptied, the letters, figures, sounds, or voices for notification are made different, and any primary It is preferable to know if the tank is empty.
[0083]
Next, the cleaning liquid supply device (liquid supply device) 50 that supplies the cleaning liquid used in the cleaning unit (cleaning device) 122 that cleans the droplet discharge head 111 will be described. Will not be described. As shown in FIG. 10, the cleaning liquid supply device 50 is detachably installed in the rack 131 and is connected to the first cleaning liquid tank 501 and the second cleaning liquid tank 502 that store the cleaning liquid, and the first cleaning liquid tank 501. Outflow piping (outflow passage) 503, outflow piping (outflow passage) 504 connected to the second cleaning liquid tank 502, outflow piping 503 and 504, and supply piping to the cleaning unit 122 (supply flow) A three-way valve (flow path switching means) 505 connected to each of the first flow path 511, a pressurizing means 506 for supplying pressurized gas into the first cleaning liquid tank 501 and the second primary tank 502, a first A pressure pipe (pressure path) 507 connected to the cleaning liquid tank 501, a pressure pipe (pressure path) 508 connected to the second cleaning liquid tank 502, and a pressure pipe 507 508 and the piping (path) 510 from the pressurizing means 506 are respectively connected to the three-way valve (pressurizing path switching means) 509 and the remaining liquid amounts of the first cleaning liquid tank 501 and the second cleaning liquid tank 502. A liquid amount detecting means (not shown) for detection.
[0084]
As the pressurizing means 506, for example, a pressurized gas supply source that supplies a gas such as pressurized nitrogen gas is used. Further, the pressurizing unit 406 and the pressurizing unit 506 may be shared without being provided separately. The cleaning liquid supplied from the liquid supply channel 511 to the cleaning unit 122 is ejected from the nozzles installed in the cleaning unit 122 and impregnates a wiping sheet that wipes off the nozzle formation surface of the droplet discharge head 111.
Similar to the discharge liquid supply apparatus 4, such a cleaning liquid supply apparatus 50 is used while switching between the first cleaning liquid tank 501 and the second cleaning liquid tank 502 by switching the three-way valves 505 and 509.
[0085]
Next, the capping drainage device 17 for collecting the drainage (discharge fluid) from the capping unit (capping device) 121 for capping the droplet ejection head 111 will be described. Will not be described. As shown in FIG. 10, the capping drainage device 17 is detachably installed in a rack 131 and includes a first drainage tank 171 and a second drainage tank 172 that store drainage collected from the capping unit 121. An inflow pipe (inflow path) 173 connected to the first drainage tank 171; an inflow pipe (inflow path) 174 connected to the second drainage tank 172; and a three-way valve (flow path switching) Means) 175. The three-way valve 175 is connected to a drain pipe (drain path) 176 from the capping unit 121 and inflow pipes 173 and 174, respectively. The three-way valve 175 can be switched between a state in which the drainage pipe 176 and the inflow pipe 173 are connected and a state in which the drainage pipe 176 and the inflow pipe 174 are connected. Thereby, the drainage from the capping unit 121 can be selectively introduced into the first drainage tank 171 or the second drainage tank 172. The three-way valve 175 is automatically switched by an actuator (not shown).
[0086]
As shown in FIG. 11B, the capping drainage device 17 further includes a liquid amount detection unit 177 a that detects the amount of liquid inside the first drainage tank 171. The liquid amount detecting means 177a is provided along the vertical direction outside the first drainage tank 171, and has a light-transmitting tube 178 whose lumen communicates with the first drainage tank 171; It is composed of a light projecting unit 179 and a light receiving unit 170 installed so as to face each other with a tube 178 sandwiched between the top of one drainage tank 171. When the amount of liquid in the first drainage tank 171 increases due to a change in the amount of light received by the light receiving unit 170, the liquid amount detecting unit 177a Can be detected. The detection result of the liquid amount detection means 177a is input to the control device 16. The capping drainage device 17 further includes a liquid level detection unit 177b similar to the liquid level detection unit 177a that detects the volume of liquid inside the second drainage tank 172.
[0087]
In such a capping drainage device 17, in the state shown in FIG. 10, the drainage from the capping unit 121 is sucked into a suction pump (not shown) and introduced into the first drainage tank 171. When the drainage liquid in the first drainage tank 171 accumulates and the liquid amount detection means 177a detects that the first drainage tank 171 is full, the control device 16 detects the detection result. Is switched to the state in which the drainage is introduced into the second drainage tank 172.
[0088]
When the first drainage tank 171 is full and when the second drainage tank 172 is full, the control device 16 notifies that fact by the same method as described above, for example. It is preferable to prompt the operator to change the tank (collect the drainage). Since the drainage liquid collected by the capping drainage device 17 is a discharge liquid in a relatively clean state, it is reused.
[0089]
12 and 13 are partially cutaway side views showing in enlargement the part indicated by arrow D in FIG. Hereinafter, the configuration of the substrate transfer table 3 will be described in detail based on these drawings.
As shown in these drawings, the substrate transfer table 3 includes a base 36, a plurality of blocks 33 installed on the base 36, and a plurality of ball lift devices 34 installed on the base 36. is doing. The base 36 includes a first plate 31 and a second plate 32 that is overlapped and joined to the lower surface side of the first plate 31.
The plurality of blocks 33 are arranged in a matrix on the base 36 at intervals. The upper surfaces of these blocks 33 constitute a mounting surface (contact surface) 331 on which the substrate W is mounted (the substrate W contacts).
[0090]
Each block 33 is formed with a suction port 332 that opens to the placement surface 331 as a suction portion for sucking the placed substrate W by negative pressure.
In the illustrated configuration, 99 blocks 33 of 9 × 11 are installed (see FIG. 14). The preferable number of blocks 33 to be installed varies depending on the size of the substrate transfer table 3, but is usually preferably about 4 to 400, more preferably about 4 to 100.
By providing such a block 33, the substrate W is supported between the substrate W and the base 36 when the substrate W is supplied (carrying in) and removed (carrying out) from the substrate carrying table 3. Since a gap (space) into which the carry-in jig can be inserted is formed, feeding and removing can be performed easily, smoothly and quickly.
[0091]
The plurality of ball lift devices 34 are arranged on the base 36 in a matrix at intervals from each other (see FIG. 14). Since the plurality of ball lift devices 34 have the same configuration, one ball lift device 34 will be described as a representative. As shown in FIG. 12, the ball lift device 34 includes a housing 341 having a height lower than that of the block 33, a pneumatic cylinder (ball lifting mechanism) 342 provided in the housing 341, and a piston of the pneumatic cylinder 342. It has a functioning ball support 343 and a ball (sphere) 344 supported on the ball support 343 through a plurality of small balls (bearings) 345 so as to be smoothly rotatable. The ball 344 is supported with its upper portion exposed from the ball support 343.
[0092]
A piping 346 for supplying air pressure from an air supply source (pressure supply source) (not shown) installed in the vicinity of the droplet discharge device 1 (preferably outside the chamber 91) is connected to the pneumatic cylinder 342. The pneumatic cylinders 342 of the ball lift devices 34 in a row aligned in the Y-axis direction are in communication with each other by a passage 347 formed inside a connecting portion 348 that connects the housings 341 aligned in the Y-axis direction. Air pressure is supplied to all of the ball lift devices 34 in one row in the Y-axis direction by one pipe 346.
By the operation of the pneumatic cylinder 342, the ball 344, together with the ball support 343, is in a raised position (position shown in FIG. 13) where at least a part of the ball 344 protrudes above the placement surface 331, and the entire ball 344 is loaded. It moves up and down to a lowered position (position shown in FIG. 12) that retracts below the placement surface 331.
[0093]
As shown in FIG. 13, the ball lift device 34 raises the balls 344 to raise each ball 344 (the area of the substrate W when the size of the substrate W is smaller than the size of the substrate transfer table 3). The substrate W is lifted by the ball 344), and the substrate W is supported at a position separated from the placement surface 331. In this state, the substrate W does not rub the placement surface 331 and the ball 344 rotates freely, so that the substrate W moves freely in the Y-axis direction and the X-axis direction on the substrate transfer table 3 without being damaged. (Including rotation). The ball 344 is preferably made of a resin material (for example, melamine resin). This more reliably prevents the substrate W from being damaged.
[0094]
In the substrate transfer table 3 of the present embodiment, the process shown in FIG. 13 allows the substrate W that has been fed (carried in) to be moved and positioned (pre-aligned) on the substrate transfer table 3 smoothly and quickly. It can be done easily. Then, after the pre-alignment of the substrate W, the state shown in FIG. 12 is set, so that the substrate W can be placed on the placement surface 331 and sucked and fixed by air suction from the suction port 332.
[0095]
In the configuration shown in the figure, 88 ball lift devices 34 of 8 × 11 are installed. The number of ball lift devices 34 to be installed differs depending on the size of the substrate transfer table 3, but the preferred value is usually about the same as the number of blocks 33. The minimum number of ball lift devices 34 is at least three ball lift devices 34 arranged so as not to be aligned in a straight line so that the substrate W can be supported by at least three balls 344 not aligned in a straight line. Should just be installed.
[0096]
14 is a plan view showing the substrate transfer table and the pre-drawing flushing unit, FIGS. 15 and 16 are side views showing the substrate transfer table and the pre-drawing flushing unit, respectively, and FIGS. 17 and 18 are FIGS. FIG. 19 is a rear view as seen from the direction of arrow E, and FIG. 19 is a transverse cross-sectional view (cross-sectional view taken along a plane perpendicular to the longitudinal direction of the liquid receiving portion) of the flushing unit before drawing. Hereinafter, the configuration of the pre-drawing flushing unit in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2 will be described in detail based on these drawings.
[0097]
As shown in FIG. 14, pre-drawing flushing units 7 are provided in the vicinity of two parallel sides extending along the sub-scanning direction (X-axis direction) in the substrate transport table 3. These pre-drawing flushing units 7 are supported by a support 108 installed on a slide block 522 of the Y-axis direction moving mechanism 5 and move in the Y-axis direction together with the substrate transport table 3. Since the two pre-drawing flushing units 7 have the same configuration, only one of them will be described below as a representative.
[0098]
The pre-drawing flushing unit 7 has a pre-drawing flushing liquid receiving portion 71, and the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is located near the side extending along the X-axis direction of the substrate carrying table 3. 3 with no gap 79 between them. When main scanning is performed in the pattern formation (drawing) operation on the substrate W as described above, the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 of the droplet discharge head 111 moves below the droplet discharge head 111. When it comes, first, the pre-flushing liquid receiving portion 71 is discarded and discharged, and when the substrate W moves below the droplet discharge head 111, a predetermined pattern is formed (drawn). Regular droplet discharge is performed on the substrate W.
In other words, the droplet discharge head 111 performs the discharge to the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 immediately before discharging the droplet onto the substrate W (immediately before performing the main scanning). The purpose of performing such a discharge before drawing is as follows.
[0099]
In general, when the time from when the droplet discharge is stopped to when the droplet is restarted becomes longer, the droplet discharge head 111 disturbs the discharge direction of the droplet, the discharge amount becomes too large, or the discharge amount becomes too small. Such a phenomenon tends to occur and the droplet discharge operation tends to become unstable. That is, immediately after the droplet discharge head 111 starts the discharge of the droplet, the discharge state is not stable and it is difficult to fly straight, and the discharge amount is not stable.
[0100]
For this reason, before discharging droplets onto the substrate W (before drawing), the droplets are discharged to the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 and the droplet discharge state by the droplet discharge head 111 is stabilized. Let As a result, an appropriate droplet discharge state of the droplet discharge head 111 can be obtained, and pattern formation (drawing) on the substrate W can be performed in this appropriate droplet discharge state.
[0101]
Further, in the present invention, since the discarded discharge is performed not on the substrate W but on the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71, it is possible to avoid forming (drawing) a functionally unnecessary pattern on the peripheral portion of the substrate W or the like. Since the entire substrate W can be used effectively, the substrate W is not wasted and the manufacturing cost of the substrate W can be reduced.
In the present embodiment, since the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is provided in the vicinity of two parallel sides of the substrate transport table 3, the substrate W (substrate transport table 3) moves forward in the main scanning ( The waste discharge can be performed both before discharging the droplet while moving forward and before discharging the droplet while moving backward.
[0102]
Further, the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is formed elongated along the side of the substrate transport table 3 in the vicinity thereof, and the length thereof is substantially the same as the length of the side. Thus, even if the head unit 11 (droplet discharge head 111) moves in the X-axis direction by sub-scanning, drawing is performed regardless of the relative positional relationship between the droplet discharge head 111 and the substrate transport table 3 in the X-axis direction. The front flushing liquid receiving portion 71 can receive the discarded discharge. Further, the space occupied by the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is small.
[0103]
As shown in FIG. 15, the substrate transport table 3 is installed on the support 108 via the θ-axis rotation mechanism 60. The θ-axis rotating mechanism 60 includes a fixing unit 601 fixed to the support 108 side, a rotating unit 602 fixed to the substrate transport table 3 side, and the substrate transport table 3 side (rotating unit 602 side) with respect to the fixed unit 601. And an actuator (not shown) for rotating. Such a θ-axis rotating mechanism 60 can rotate (rotate) the substrate transport table 3 within a predetermined range around the vertical θ-axis passing through the center of the substrate transport table 3. By adjusting (finely adjusting) the posture (angle) of the substrate transport table 3 around the θ axis by the θ-axis rotating mechanism 60, the posture of the substrate W placed on the substrate transport table 3 is inclined around the θ axis. If this is the case, it can be accurately corrected so as to have a straight posture.
[0104]
The pre-drawing flushing unit 7 is joined to the lower side of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 and holds the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 without bending, and a pair of support legs 73 fixed to the frame 72. And a pair of brackets 74 which are installed so as to protrude outward in the X-axis direction from the support body 108 and support the support legs 73.
[0105]
Thus, the substrate transport table 3 is supported by the support 108 via the θ-axis rotation mechanism 60, and the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is supported by the support 108 via the bracket 74. . That is, the substrate transport table 3 and the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 are not in contact with each other (in a separated state) and are independently supported by the support 108.
[0106]
When the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is to be installed in the vicinity of the substrate transport table 3, a configuration in which the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is simply fixed to the substrate transport table 3 can be considered. On the other hand, in the present embodiment, the configuration in which the substrate transport table 3 and the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 are supported independently has the following advantages.
[0107]
Since the load of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is not applied to the substrate transfer table 3, the substrate transfer table 3 is bent (deformed) so as to be bent downward by the weight of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71. Can be prevented. Therefore, it is possible to maintain high accuracy such as the flatness of the surface formed by the set of the placement surfaces 331 of the substrate transport table 3, and to support the substrate W with high flatness. As a result, pattern formation (drawing) on the substrate W can be accurately performed with higher accuracy. In particular, even if the liquid is accumulated in the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 and becomes heavier, this effect can be exhibited regardless of this.
[0108]
Further, the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is supported by the support body 108 without using the θ-axis rotation mechanism 60. Thereby, even if the θ-axis rotation mechanism 60 adjusts the posture (angle) around the θ-axis of the substrate transport table 3, the posture (angle) around the θ-axis of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 does not change. Therefore, the position where the droplet discharge head 111 should be discarded before drawing can be always kept constant.
[0109]
On the other hand, unlike the present embodiment, when the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 rotates together with the substrate transport table 3, there are the following disadvantages. That is, since the position of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is shifted, the position at which the droplet discharge head 111 should be discarded and discharged before drawing must be changed accordingly, and complicated control is required. Alternatively, the dimension of the width in the Y-axis direction of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 must be increased so as to cover the misalignment, and the pre-drawing flushing unit 7 increases in weight and size. Arise. In addition, since the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is supported by the substrate transport table 3 without the θ-axis rotating mechanism 60, the moment of inertia when rotating the substrate transport table 3 is small, so that the controllability is improved. The angle adjustment around the θ axis of the substrate transfer table 3 can be performed with higher accuracy.
[0110]
As shown in FIG. 17, each support leg 73 is supported so as to be movable up and down with respect to each bracket 74. In addition, the pre-drawing flushing unit 7 further includes a pair of pneumatic cylinders 75 as lifting devices that lift and lower each support leg 73 with respect to each bracket 74. Connected to each pneumatic cylinder 75 is a pipe (not shown) for supplying air pressure from an air supply source (pressure supply source) (not shown) installed near the droplet discharge device 1 (preferably outside the chamber 91). Has been.
In the pre-drawing flushing unit 7 of the present embodiment, the support leg 73, the bracket 74 and the pneumatic cylinder 75 constitute a height adjusting mechanism for adjusting the height of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71, and the pneumatic cylinder 75 is expanded and contracted. By doing so, the height of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 can be adjusted.
[0111]
As shown in FIGS. 15 and 17, the height adjustment mechanism of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is configured such that the upper end of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is located when the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is at the uppermost position. The height of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 can be adjusted such that the height of the liquid receiving portion 71 before drawing is higher than the height of the placement surface 331 (work placement surface) of the substrate transfer table 3. In this state, the height of the upper end of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 can be adjusted to be approximately the same as the height of the upper surface of the substrate W placed on the placement surface 331. In other words, the gap between the upper end of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 and the droplet discharge head 111 (nozzle formation surface) can be made sufficiently small. Therefore, the liquid droplet discarded and discharged from the droplet discharge head 111 can be received by the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 without being scattered around.
[0112]
As shown in FIGS. 16 and 18, the height adjustment mechanism of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is configured such that when the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is at the lowest position, the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 The height of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 can be adjusted so that the height of the upper end is lower than the height of the mounting surface 331 of the substrate transport table 3. When the substrate W is supplied (loaded) and removed (unloaded) onto the substrate transfer table 3, the substrate W and the loading jig that supports the substrate W are flushed before the drawing is performed. 71 can be prevented from interfering (contacting) 71, so that the supply and removal of the substrate W can be carried out smoothly, quickly and easily, and the substrate W is damaged in the supply and removal steps. This can also be prevented.
[0113]
Further, the height adjustment mechanism of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 is drawn in accordance with the height of the droplet discharge head 111 adjusted according to the thickness of the substrate W by the height adjustment mechanism 20 of the head unit 11. The height of the front flushing liquid receiving portion 71 can also be adjusted. Accordingly, the gap between the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 and the droplet discharge head 111 can be adjusted to an appropriate size according to the thickness of the substrate W. The liquid droplets discarded and discharged from the droplet discharge head 111 can be received by the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 without being scattered around.
[0114]
As shown in FIG. 19, the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 includes a receiving tray 711, a liquid absorber 712 that can absorb a liquid installed so as to cover the concave portion 714 of the receiving tray 711, and an edge of the liquid absorbing body 712. And a pressing member 713 for pressing the portion. The liquid absorber 712 is made of, for example, a sponge, and the discarded liquid droplets are first absorbed by the liquid absorber 712. Thereby, it is possible to more reliably prevent the discarded and discharged droplets from being scattered around.
[0115]
The liquid absorbed by the liquid absorber 712 passes through the liquid absorber 712 and accumulates in the recess 714 of the tray 711. A drainage port (not shown) is formed at the bottom of the tray 711, and this drainage port is a tube 701 (not shown in FIGS. 14 to 19) connected to the pre-drawing flushing solution receiving part 71. ). The liquid droplets (liquid) received by the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 are collected in the concave portion 714, pass through the tube 701, and are collected by the drainage device 18 described later.
[0116]
The liquid absorber 712 expands when it absorbs liquid to some extent, but in this embodiment, the pressing member 713 presses the liquid absorber 712 to be expanded to prevent this expansion. Accordingly, it is possible to reliably prevent the liquid absorber 712 from expanding and expanding upward and coming into contact with the droplet discharge head 111.
The regular flushing liquid receiver 301 and the dot drop inspection liquid receiver 191 preferably have a liquid absorber such as a sponge, for example, as with the pre-drawing flush receiver 71. Thereby, it is possible to more reliably prevent the received droplet (liquid) from being scattered around.
Furthermore, it is preferable that a liquid absorber such as a sponge is also installed in each cap of the capping unit 121. Thereby, the liquid discharged from the droplet discharge head 111 into the cap can be quickly discharged to the suction tube connected to the cap.
[0117]
FIG. 20 is a piping system diagram schematically showing a drain flow path system, a drain tank, and a process pump in the droplet discharge device shown in FIG. 1 and FIG. Hereinafter, based on this figure, the drainage device that collects and stores the drained liquid (discharged liquid) discarded and discharged from the droplet discharge head 111 in the pre-drawing flushing unit 7, the regular flushing unit 30, and the dot dropout detection unit 19. 18 will be described, but the description of the same matters as the capping drainage device 17 described above will be omitted.
[0118]
As shown in FIG. 10, the drainage device 18 is detachably installed in the rack 131 (not shown in FIG. 9), the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182, Inflow piping (inflow passage) 183 connected to one drainage tank 181, inflow piping (inflow passage) 184 connected to the second drainage tank 182, and three-way valve (flow passage switching means) 185 And a drainage flow path system 70 and a process pump (transfer means) 187 for transferring a fluid provided in the middle of the drainage flow path system 70.
[0119]
Further, the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182 are respectively provided with liquid level detection means (not shown) similar to the liquid level detection means 177a and 177b for detecting the liquid volume inside. Is provided.
The drainage device 18 of this embodiment includes two drainage tanks, a first drainage tank 181 and a second drainage tank 182, but in the present invention, the number of drainage tanks is One or three or more may be used.
[0120]
The drainage flow path system 70 includes a tube (piping) 701 connected to the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71, a tube (piping) 702 connected to the regular flushing liquid receiving portion 301, and a dot dropout inspection liquid. A tube (pipe) 703 connected to the receiving portion 191, three-way valves (flow path switching means) 704 and 705, and a drainage pipe 706 are provided. The three-way valves 704, 705, and 185 have actuators (not shown), and are automatically switched based on the control of the control device 16.
[0121]
Tubes 701, 702, and 703 are joined together via three-way valves 704 and 705, and are connected to one end of drainage pipe 706. The other end of the drainage pipe 706 is connected to a three-way valve 185, and inflow pipes 183 and 184 are further connected to the three-way valve 185. The process pump 187 is installed in the middle of the drainage pipe 706 and transfers (feeds) the liquid in the drainage pipe 706 to the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182 side.
[0122]
With this configuration, in the present invention, the liquid received in the pre-drawing flushing liquid receiving part 71, the regular flushing liquid receiving part 301, and the dot dropout inspection liquid receiving part 191 is collected by the drainage flow path system 70 ( And is stored in common in the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182. This eliminates the need for wiping or discarding the liquid accumulated in the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71, the regular flushing liquid receiving portion 301, and the dot dropout inspection liquid receiving portion 191. The operator's labor can be reduced, and since it is not necessary to stop the operation of the droplet discharge device 1 during the work, the operating rate can be improved.
[0123]
Further, in the present invention, the pre-flushing liquid receiving part 71, the regular flushing liquid receiving part 301, and the dot drop inspection liquid receiving part 191 enter the chamber 91 for wiping or discarding the liquid. Since it is not necessary, the controlled temperature and humidity in the chamber 91 are not disturbed. Therefore, the pattern formation (drawing) on the substrate W can always be performed with high accuracy. In addition, after the chamber 91 is opened, there is no need to wait for the temperature and humidity in the chamber 91 to return to the original state, so that the operating rate can be further improved.
[0124]
In addition, the liquid received by the pre-drawing liquid receiving part 71 for flushing, the liquid receiving part 301 for regular flushing, and the liquid receiving part 191 for dot drop inspection may be mixed with foreign matter (dust) by touching the liquid absorber. Since the concentration of the solvent changes due to evaporation of the solvent when it is exposed to the outside air, it is usually discarded without being reused. In the present invention, since these liquids to be discarded are stored in the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182 in common, the work of discarding the liquid is only required once. Therefore, the labor of the operator can be further reduced. Even when the liquid is reprocessed and reused, the liquid received by the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71, the regular flushing liquid receiving portion 301, and the dot dropout inspection liquid receiving portion 191 are mutually connected. Since it is in the same state, it is reasonable that the liquid in the same state is collected in one place, and the burden on the operator can be reduced.
For this reason, in the present invention, the cost of a product such as the substrate W can be greatly reduced.
[0125]
Further, the drainage flow path system 70 of the present embodiment includes a pre-drawing flushing liquid receiving portion 71, a regular flushing liquid receiving portion 301, and a dot dropout inspection liquid receiving portion 191 by switching the three-way valves 704 and 705. The liquid can be selectively recovered from Accordingly, the liquid can be sucked from each of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71, the regular flushing liquid receiving portion 301, and the dot dropout inspection liquid receiving portion 191 by using one process pump 187. The number of installed pumps 187 can be reduced to one, so that the structure of the apparatus can be simplified and reduced in size.
In addition, since the drainage device 18 of the present embodiment is used while switching between the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182, the capacity can be increased as a whole, and the droplet discharge device 1. It is possible to effectively cope with an increase in the amount of drainage accompanying the increase in size of the liquid.
[0126]
It is preferable that the tube 701 of the drainage flow path system 70 is more flexible than the tube 703. This is due to the following reason.
Since the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 moves together with the substrate transfer table 3, the tube 701 connected thereto is in a cable bear (long body support guide device) 102 installed in the vicinity of the substrate transfer table 3. And is adapted to follow the movement of the pre-drawing flushing liquid receiving portion 71 (see FIG. 4). Therefore, the tube 701 is repeatedly curved and deformed with the displacement of the cable bear 102.
On the other hand, since the dot receiving inspection liquid receiving portion 191 is provided so as not to move in the horizontal direction, the tube 703 connected thereto need not be repeatedly bent and deformed.
[0127]
Therefore, by making the tube 701 more flexible than the tube 703, a tube (spec) suitable for each use state can be selected as the tubes 701 and 703, and the design is rational. Thus, durability can be improved and manufacturing costs can be reduced.
Here, “the tube 701 is more flexible than the tube 703” means that the tube 701 has a lower bending rigidity (higher flexibility) than the tube 703, a smaller allowable minimum radius of curvature, and durability against repeated bending. Satisfy at least one of high performance and thin outer diameter.
In order to increase the flexibility of the tube 701, a bellows-like tube may be used as the tube 701. However, if sufficient flexibility is obtained, it is preferable to use a tube having a normal shape as the tube 701 in consideration of the passage resistance of the liquid.
[0128]
  As described above, the present inventionDroplet discharge deviceHowever, the present invention is not limited to this embodiment, and each part of the droplet discharge device can be replaced with one having an arbitrary configuration that can exhibit the same function. it can. Moreover, arbitrary components may be added.
  Further, the droplet discharge device of the present invention is configured such that the head unit (droplet discharge head) is fixed to the device body, and the workpiece (work placement portion) is moved in the Y-axis direction and the X-axis direction, respectively. It may be configured to perform scanning and sub-scanning. In this case, first discard discharge liquid receiving portions may be provided in the vicinity of the four sides of the workpiece placement portion. On the contrary, the main scanning and the sub-scanning are performed by fixing the work (work placing portion) to the apparatus main body and moving the head unit (droplet discharge head) in the Y-axis direction and the X-axis direction, respectively. It may be configured to perform. In other words, the droplet discharge device according to the present invention may be any device provided with a relative movement mechanism that relatively moves the work mounting portion and the droplet discharge head.
  Further, the Y-axis direction moving mechanism and the X-axis direction moving mechanism may be driven by, for example, a ball screw (feed screw) instead of the one driven by the linear motor.
[0129]
  Also,Electro-optic deviceIs manufactured using the droplet discharge device of the present invention as described above.Electro-optic deviceSpecific examples of these are not particularly limited, and examples thereof include a liquid crystal display device and an organic EL display device.
  Also,Manufacturing method of electro-optical deviceIs characterized by using the droplet discharge device of the present invention.Manufacturing method of electro-optical deviceCan be applied, for example, to a method of manufacturing a liquid crystal display device. That is, a liquid containing a filter material of each color is selectively discharged onto the substrate using the droplet discharge device of the present invention, thereby producing a color filter having a large number of filter elements arranged on the substrate. A liquid crystal display device can be manufactured using a color filter. In addition,Manufacturing method of electro-optical deviceCan be applied to a method of manufacturing an organic EL display device, for example. That is, an organic material in which a large number of pixel pixels including an EL light emitting layer are arranged on a substrate by selectively discharging a liquid containing a light emitting material of each color onto the substrate using the droplet discharge device of the present invention. An EL display device can be manufactured.
  Also,ElectronicsIncludes an electro-optical device manufactured as described above.ElectronicsSpecific examples of these include, but are not limited to, a personal computer or a mobile phone equipped with the liquid crystal display device or the organic EL display device manufactured as described above.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a droplet discharge device of the present invention.
FIG. 2 is a side view showing an embodiment of a droplet discharge device of the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing a gantry, a stone surface plate, and a substrate transfer table.
FIG. 4 is a side view showing a gantry, a stone surface plate, and a substrate transfer table.
FIG. 5 is a plan view showing a head unit and an X-axis direction moving mechanism.
6 is a side view seen from the direction of arrow A in FIG.
7 is a front view seen from the direction of arrow B in FIG.
FIG. 8 is a schematic plan view showing a configuration of a head unit and a droplet discharge operation.
FIG. 9 is a perspective view showing a tank storage unit.
FIG. 10 is a piping system diagram schematically showing a liquid supply device and a drainage device.
FIG. 11 is a diagram schematically illustrating a configuration of a liquid amount detection unit.
12 is a partially cutaway side view showing, on an enlarged scale, a portion indicated by an arrow D in FIG. 3;
13 is a partially cutaway side view showing, on an enlarged scale, a portion indicated by an arrow D in FIG. 3;
FIG. 14 is a plan view showing a substrate transfer table and a pre-drawing flushing unit.
FIG. 15 is a side view showing a substrate transfer table and a pre-drawing flushing unit.
FIG. 16 is a side view showing a substrate transfer table and a pre-drawing flushing unit.
FIG. 17 is a rear view seen from the direction of arrow E in FIG. 14;
18 is a rear view seen from the direction of arrow E in FIG.
FIG. 19 is a cross-sectional view of a liquid receiving portion of a pre-drawing flushing unit.
FIG. 20 is a piping system diagram schematically showing a drainage flow path system, a drainage tank, and a process pump.
[Explanation of symbols]
18 ... Drainage device, 181 ... First drainage tank, 182 ... Second drainage tank, 183 ... Inflow piping, 184 ... Inflow piping, 185 ... Three-way valve, 187 ... Process pump , 70... Drainage flow path system, 701... Tube, 702... Tube, 703... Tube, 704... Three-way valve, 705. Liquid receiving part, 191... Dot receiving inspection liquid receiving part, 301... Regular flushing liquid receiving part

Claims (17)

装置本体と、
ワークが載置されるワーク載置部と、
前記ワーク載置部に載置されたワークに対して液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構と、
前記ワーク載置部の近傍に設けられ、前記液滴吐出ヘッドが前記ワークに対し液滴を吐出する前に捨て吐出した液体を受ける第１の捨て吐出用液受け部と、
前記液滴吐出ヘッドが待機時に捨て吐出した液体を受ける第２の捨て吐出用液受け部と、
前記液滴吐出ヘッドのドット抜け検査を行う際に前記液滴吐出ヘッドから吐出した液体を受けるドット抜け検査用液受け部と、
前記第１の捨て吐出用液受け部、前記第２の捨て吐出用液受け部および前記ドット抜け検査用液受け部で受けた液体をそれぞれ回収する排液流路系と、
前記第１の捨て吐出用液受け部、前記第２の捨て吐出用液受け部および前記ドット抜け検査用液受け部から前記排液流路系を介して回収された液体を共通して貯留する排液タンクとを備え、
前記排液流路系は、前記第１の捨て吐出用液受け部、前記第２の捨て吐出用液受け部および前記ドット抜け検査用液受け部にそれぞれ接続され、液体が通過する３本の配管と、該各配管を通過した液体が１つに合流して前記排液タンク側に流れる排液配管と、該排液配管の途中に設置され、液体を移送する移送手段としての１つのポンプと、該ポンプよりも上流側に設けられ、前記３本の配管を切り替える流路切り替え手段を有し、該流路切り替え手段の流路の切り替えにより、前記第１の捨て吐出用液受け部、前記第２の捨て吐出用液受け部および前記ドット抜け検査用液受け部のうちから選択的に液体を回収することを特徴とする液滴吐出装置。The device body;
A workpiece placement section on which the workpiece is placed;
A droplet discharge head for discharging droplets to the workpiece placed on the workpiece placement unit;
A relative movement mechanism for relatively moving the workpiece placement unit and the droplet discharge head;
A first waste discharge liquid receiving portion that is provided in the vicinity of the workpiece mounting portion and receives liquid discharged and discharged before the droplet discharge head discharges droplets to the workpiece;
A second discard discharge liquid receiving portion for receiving the liquid discharged and discharged by the droplet discharge head during standby;
A dot receiving inspection liquid receiving portion for receiving the liquid discharged from the droplet discharging head when performing the dot missing inspection of the droplet discharging head;
A drainage flow path system for recovering the liquid received in the first discard discharge liquid receiver, the second discard discharge liquid receiver, and the dot drop inspection liquid receiver;
The liquid collected from the first discard discharge liquid receiver, the second discard discharge liquid receiver, and the dot drop inspection liquid receiver via the drain flow path system is commonly stored. A drainage tank ,
The drainage flow path system is connected to the first discard discharge liquid receiving portion, the second discard discharge liquid receiving portion, and the dot dropout inspection liquid receiving portion, respectively, so that three liquids pass through. One pump as a transfer means for transferring a liquid, a pipe, a drain pipe that flows through the pipes into one, and flows to the drain tank side, and a drain pipe installed in the drain pipe And a flow path switching means provided on the upstream side of the pump and switching the three pipes, and by switching the flow path of the flow path switching means, the first waste discharge liquid receiving portion, A liquid droplet ejection apparatus that selectively collects liquid from the second discard liquid receiving part and the dot drop inspection liquid receiving part . 前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成する請求項１に記載の液滴吐出装置。  The liquid droplet according to claim 1, wherein a predetermined pattern is formed on the workpiece by ejecting liquid droplets from the liquid droplet ejection head while relatively moving the work placement unit and the liquid droplet ejection head. Discharge device. 前記相対移動機構は、前記ワーク載置部とともに前記第１の捨て吐出用液受け部を前記装置本体に対し水平な一方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるＹ軸方向移動機構と、前記液滴吐出ヘッドを前記装置本体に対し前記Ｙ軸方向に垂直かつ水平な方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるＸ軸方向移動機構とで構成される請求項１または２に記載の液滴吐出装置。The relative movement mechanism moves the first discard liquid receiving part together with the work placing part in a horizontal direction relative to the apparatus main body (hereinafter referred to as “Y-axis direction”). And an X-axis direction moving mechanism configured to move the droplet discharge head in a direction perpendicular to the Y-axis direction (hereinafter referred to as “X-axis direction”) with respect to the apparatus main body. The droplet discharge device according to 1 or 2. 前記Ｙ軸方向と前記Ｘ軸方向とのいずれか一方を主走査方向とし、他方を副走査方向として前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから前記ワークに対し液滴を吐出する請求項３に記載の液滴吐出装置。  One of the Y-axis direction and the X-axis direction is set as a main scanning direction, and the other is set as a sub-scanning direction while moving the work mounting portion and the droplet discharging head relative to each other. The droplet discharge device according to claim 3, wherein droplets are discharged from the workpiece onto the workpiece. 前記第１の捨て吐出用液受け部は、前記ワーク載置部の前記副走査方向に沿って伸びる２つの辺の近傍にそれぞれ設けられている請求項４に記載の液滴吐出装置。Said first discarded ejection liquid receiving unit, the droplet ejection apparatus according to claim 4 which are respectively provided in the vicinity of the two sides extending along the sub-scanning direction of the workpiece mounting part. 前記２つの第１の捨て吐出用液受け部のうちの一方の第１の捨て吐出用液受け部は、前記主走査において前記ワーク載置部を往動させながら前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する前に捨て吐出され得るものであり、他方の第１の捨て吐出用液受け部は、前記ワーク載置部を復動させながら前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する前に捨て吐出され得るものである請求項５に記載の液滴吐出装置。One first discard discharge liquid receiving portion of the two first discard discharge liquid receiving portions is configured to drop droplets from the droplet discharge head while moving the work mounting portion in the main scanning. The other first discard discharge liquid receiving portion is discarded before discharging the droplets from the droplet discharge head while moving the work mounting portion backward. The droplet discharge device according to claim 5, which can be discharged. 前記第２の捨て吐出用液受け部は、前記Ｙ軸方向に移動可能に設けられている請求項３ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。The droplet discharge device according to claim 3, wherein the second discard discharge liquid receiving portion is provided so as to be movable in the Y-axis direction. 前記第１の捨て吐出用液受け部は、凹部が形成された受け皿と、該受け皿の凹部を覆うように設置され、液体を吸収し得る液体吸収体と、該液体吸収体の縁部を押さえる押さえ部材とを有する請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置。The first discard and discharge liquid receiving part is installed so as to cover the concave part of the concave part, the liquid absorber that can absorb the liquid, and presses the edge part of the liquid absorber. The droplet discharge device according to claim 1, further comprising a pressing member. 前記ドット抜け検査用液受け部は、水平方向に移動しないように設けられている請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置。The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1, wherein the dot drop inspection liquid receiving portion is provided so as not to move in a horizontal direction. 前記３本の配管のうち、前記第１の捨て吐出用液受け部に接続された配管と、前記ドット抜け検査用液受け部に接続された配管とは、それぞれ、可撓性を有するチューブで構成されており、
前記第１の捨て吐出用液受け部に接続された配管は、前記ドット抜け検査用液受け部に接続された配管より可撓性の高いものである請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置。 Of the three pipes, the pipe connected to the first discard discharge liquid receiving section and the pipe connected to the dot drop inspection liquid receiving section are each a flexible tube. Configured,
It said first abandoned pipe connected to the discharge liquid receiving part according to any one of claims 1 to 9 are those having high flexibility than connected pipes to the inspection liquid receiving portion missing the dot Droplet discharge device. 前記流路切り替え手段は、２つの三方弁で構成されており、該２つの三方弁のうちの一方の三方弁は、前記第１の捨て吐出用液受け部に接続された配管が接続され、他方の三方弁は、前記第２の捨て吐出用液受け部に接続された配管と前記ドット抜け検査用液受け部に接続された配管とが接続されている請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置。The flow path switching means is composed of two three-way valves, and one of the two three-way valves is connected to a pipe connected to the first waste discharge liquid receiving portion, 11. The other three-way valve is connected to a pipe connected to the second discard discharge liquid receiving part and a pipe connected to the dot drop inspection liquid receiving part. The liquid droplet ejection apparatus described. 前記排液タンクは、２つ設置されており、該２つの排液タンクを切り替えながら使用する請求項１ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出装置。The droplet discharge device according to claim 1, wherein two drainage tanks are provided, and the two drainage tanks are used while being switched. 前記排液タンクには、その内部の液量を検出する液量検出手段が設けられている請求項１ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出装置。The droplet discharge device according to any one of claims 1 to 12, wherein the drainage tank is provided with a liquid amount detection means for detecting a liquid amount inside the drainage tank. 前記第１の捨て吐出用液受け部の高さを調整する高さ調整機構を備える請求項１ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出装置。The droplet discharge device according to claim 1, further comprising a height adjustment mechanism that adjusts a height of the first discard discharge liquid receiving portion. 前記高さ調整機構は、前記第１の捨て吐出用液受け部が最上位置にあるとき、該第１の捨て吐出用液受け部の上端の高さが前記ワーク載置部の上面の高さより高くなるように、前記第１の捨て吐出用液受け部の高さを調整可能である請求項１４に記載の液滴吐出装置。In the height adjusting mechanism, when the first waste discharge liquid receiving portion is at the uppermost position, the height of the upper end of the first waste discharge liquid receiving portion is higher than the height of the upper surface of the workpiece mounting portion. The droplet discharge device according to claim 14, wherein a height of the first discard discharge liquid receiving portion can be adjusted to be higher. 前記高さ調整機構は、前記第１の捨て吐出用液受け部が最下位置にあるとき、該第１の捨て吐出用液受け部の上端の高さが前記ワーク載置部の上面の高さより低くなるように、前記第１の捨て吐出用液受け部の高さを調整可能である請求項１４または１５に記載の液滴吐出装置。The height adjusting mechanism is configured such that, when the first waste discharge liquid receiving portion is at the lowest position, the height of the upper end of the first waste discharge liquid receiving portion is the height of the upper surface of the workpiece mounting portion. The droplet discharge device according to claim 14 or 15, wherein a height of the first discard discharge liquid receiving portion can be adjusted to be lower than the height. 前記ワークは、板状をなし、The workpiece has a plate shape,
前記液滴吐出ヘッドは、その高さが前記ワークの厚さに応じて調節されるものであり、The height of the droplet discharge head is adjusted according to the thickness of the workpiece,
前記高さ調整機構は、前記ワークの厚さに応じて調節された前記液滴吐出ヘッドの高さに合わせて、前記第１の捨て吐出用液受け部の高さを調整可能である請求項１４ないし１６のいずれかに記載の液滴吐出装置。The height adjustment mechanism is capable of adjusting a height of the first discard discharge liquid receiving portion according to a height of the droplet discharge head adjusted according to a thickness of the workpiece. The droplet discharge device according to any one of 14 to 16.
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