JP4389449B2 - Droplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing method - Google Patents

Droplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing method Download PDF

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンターのインクジェット方式（液滴吐出方式）を応用して、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用する産業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）が提案されている。
【０００３】
このような液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）に接触（密着）し得るキャップを有し、このキャップに接続された吸引ポンプの吸引力によって液滴吐出ヘッドから液体を吸引するキャッピング手段が設けられている（例えば、特許文献１参照）。このキャッピング手段は、液滴吐出ヘッド内にインク等の液体を初期充填したり、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル詰まりを解消したりする際に使用される。
【０００４】
液滴吐出装置をなるべく短いサイクルタイムで稼動させて生産効率を向上するためには、キャッピング手段を用いた液滴吐出ヘッド内への液体の初期充填や吐出ノズル詰まり解消も迅速に行うことが必要であるが、これらを迅速に行うためにキャッピング手段の吸引力を強くすると、液体中に溶け込んでいた気体が気泡となり、液滴吐出ヘッド内や配管内に気泡が生じてしまって吸引効率が低下するので、吸引に要する時間の短縮につながらないという問題や、発生した気泡が原因となって全吐出ノズルに対して確実に詰まりを解消できず、詰まりが解消されない吐出ノズルが残ってしまうという問題、さらには、発生した気泡がその後の液滴吐出動作に悪影響を及ぼすおそれがあるという問題がある。また、気泡が生じないように吸引力を弱くすると、吸引に長時間を要するという問題がある。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−３２２２９６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、液滴吐出ヘッドに対するキャッピング吸引動作を迅速かつ確実に行うことができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する液滴吐出動作を行なう少なくとも１つの液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに対応して設けられたキャップと、前記液滴吐出ヘッドに前記キャップを接触または近接させた状態で前記キャップでの吸引力を発生させ、その吸引力により前記液滴吐出ヘッドから流体を吸引するキャッピング吸引動作を行なう吸引力発生手段と、前記キャッピング吸引動作中に前記液滴吐出ヘッドに作用する吸引力が経時的に増大するように制御する吸引力制御手段とを備える液滴吐出装置であって、
前記キャッピング吸引動作には、前記液滴吐出ヘッド内に吐出対象液を初期充填する際に前記液滴吐出ヘッド内に吐出対象液が充満するように前記キャッピング吸引動作を行う第１のキャッピング吸引動作と、
前記液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの詰まりを解消するように前記キャッピング吸引動作を行う第２のキャッピング吸引動作と、
使用する吐出対象液を種類の異なるものに交換する場合または前記液滴吐出動作を一旦終了する場合に、前記液滴吐出ヘッド内から吐出対象液を抜き取るように前記キャッピング吸引動作を行う第３のキャッピング吸引動作と、
前記液滴吐出ヘッドへ供給された洗浄液を吸引して前記液滴吐出ヘッド内および吐出対象液の流路内を洗浄するように前記キャッピング吸引動作を行なう第４のキャッピング吸引動作とが含まれ、
前記吸引力制御手段は、前記吸引力を大小の２段階に制御するよう構成され、前記第１のキャッピング吸引動作、前記第２のキャッピング吸引動作、前記第３のキャッピング吸引動作、前記第４のキャッピング吸引動作のいずれの動作において、前記吸引力が経時的に小から大に２段階に増大するように制御することを特徴とする。
これにより、キャッピング吸引動作の初期の段階では液滴吐出ヘッドからゆっくりとした流速で吸引されるので、吐出対象液に溶け込んでいた気体が気泡となって液滴吐出ヘッド内や配管内に発生するのを防止することができる。その結果、高い吸引効率を維持することができる。また、液滴吐出ヘッド内や配管内に気泡が発生しないので、吐出ノズルの詰まりを解消する場合、全吐出ノズルについてより確実に解消することができ、また、気泡がその後の液滴吐出動作に悪影響を及ぼすのを防止することもできる。そして、キャッピング吸引動作のその後の段階では液滴吐出ヘッドから速い流速で吸引されるので、前記の高い吸引効率と相まって、例えば吐出対象液の初期充填や、吐出ノズル詰まり解消を迅速に（短時間で）行うことができる。よって、サイクルタイム（ワーク１枚当たりの処理時間）を短縮することができるので、生産効率（能率）が向上し、ワークの製造コストの低減が図れる。
【０００８】
本発明の液滴吐出装置では、前記液滴吐出ヘッドのドット抜けの有無を検査するドット抜け検査を行なうドット抜け検出手段をさらに備え、
前記第１のキャッピング吸引動作、前記ワークに対する前記液滴吐出動作を順次行ない、その動作完了後、新たな前記ワークに対する前記液滴吐出動作を行なうか否かを判断し、前記新たなワークに対する液滴吐出動作を行なう場合には、前記ドット抜け検査を行い、その結果、前記ドット抜けが無い場合には、前記新たなワークに対する前記液滴吐出動作を開始し、前記ドット抜けが有る場合には、前記第２のキャッピング吸引動作を行ない、再度前記ドット抜け検査を行うことが好ましい。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置では、前記新たなワークに対する前記液滴吐出動作を行なうか否かの判断の結果、前記新たなワークに対する液滴吐出動作を行なわない場合には、前記第３のキャッピング吸引動作、前記第４のキャッピング吸引動作を順次行なうよう構成されていることが好ましい。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置では、前記吸引力発生手段は、エジェクタで構成されていることが好ましい。
これにより、エジェクタは、可動部を有さず小型であるので、装置の簡素化および小型化が図れる。また、キャッピング吸引動作の初期の段階において、吐出対象液に先行して気体が吸引される場合であっても、高い吸引効率で吸引することができるので、要する時間をさらに短縮することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置では、前記吸引力制御手段は、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を調節することにより、前記エジェクタの吸引力を制御することが好ましい。
これにより、吸引力制御手段は、簡単な構成で、エジェクタの吸引力を制御することができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置では、前記吸引力制御手段は、前記エジェクタに供給する作動流体の流路を複数に分岐させた分岐流路と、前記複数の分岐流路から選択した１つの分岐流路に作動流体を流すように流路を切り替える流路切り替え弁と、前記各分岐流路に設置され、作動流体の流量を前記各分岐流路間で互いに異なる流量に調整する調整弁と、前記流路切り替え弁を切り替え作動させる駆動手段とを有し、前記流路切り替え弁を切り替えることにより、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を変化させることが好ましい。
これにより、吸引力制御手段は、簡単な構成で、エジェクタの吸引力を制御することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置では、前記キャッピング吸引動作によって吸引した液体を貯留するタンクを有し、前記吸引力発生手段は、前記タンクの内部を負圧にするように作動することにより、前記キャップでの吸引力を発生することが好ましい。
これにより、吸引力発生手段は、気体のみを吸引し、液体を吸引しないで済むので、吸引効率をさらに向上することができる。また、簡単な構造で、１台の吸引力発生手段により複数の液滴吐出ヘッド（複数のキャップ）に対応することができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置では、複数の前記液滴吐出ヘッドと、
前記吸引力発生手段から複数の前記キャップへの各吸引流路にそれぞれ設けられた開閉弁とを備え、
前記各開閉弁の開閉を切り替えることにより、複数の前記液滴吐出ヘッドに対して１個ずつ順次前記キャッピング吸引動作を行うように構成されていることが好ましい。
これにより、複数の液滴吐出ヘッドに１台の吸引力発生手段で対応する場合、各液滴吐出ヘッドに吸引力を集中させてキャッピング吸引動作を行うことができるので、吐出ノズル詰まり解消、液体の充填、液体の排出等を行う場合、全部の液滴吐出ヘッドに対してより確実に（より効果的に）行うことができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置では、前記キャップへの吸引流路内の圧力を検出する圧力検出手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、圧力検出手段の検出結果を、例えば各キャップにおける吸引エラーの検知や、吸引力制御手段の制御に利用することができる。
本発明の液滴吐出装置では、装置本体と、ワークが載置されるワーク載置部と、前記ヘッドユニットと前記ワーク載置部とを相対的に移動させる相対移動機構とをさらに備え、前記ワーク載置部と前記へッドユニットとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成することが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００１６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。
これにより、ワークに対するパターンの形成（描画）を高い精度で行うことができるとともに、製造コストの低減が図れる電気光学装置の製造方法を提供することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は、それぞれ、本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図および側面図、図９は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるタンク収納部を示す斜視図、図１８は、図１および図２に示す液滴吐出装置のブロック図である。なお、以下では、説明の便宜上、水平な一方向（図１および図２中の左右方向に相当する方向）を「Ｙ軸方向」と言い、このＹ軸方向に垂直であって水平な方向（図１中の上下方向に相当する方向）を「Ｘ軸方向」と言う。また、Ｙ軸方向であって図１および図２中の右方向への移動を「Ｙ軸方向に前進」、Ｙ軸方向であって図１および図２中の左方向への移動を「Ｙ軸方向に後退」と言い、Ｘ軸方向であって図１中の下方向への移動を「Ｘ軸方向に前進」、Ｘ軸方向であって図１中の上方向への移動を「Ｘ軸方向に後退」と言う。
【００１８】
図１および図２に示す液滴吐出システム（液滴吐出系）１０は、液滴吐出ヘッド１１１を有する液滴吐出装置（インクジェット描画装置）１と、この液滴吐出装置１を収容するチャンバ（チャンバルーム）９１とを備えている。
液滴吐出装置１は、ワークとしての基板Ｗに対し、例えばインクや、目的とする材料を含む機能液等の液体（吐出対象液）をインクジェット方式（液滴吐出方式）により微小な液滴の状態で吐出して所定のパターンを形成（描画）する装置であり、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに用いることができるものである。液滴吐出装置１が対象とする基板Ｗの素材は、特に限定されず、板状の部材であればいかなるものでもよいが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等を対象とすることができる。
【００１９】
また、本発明で対象とするワークは、板状の部材に限らず、底面が平らな部材であればいかなるものでもよい。例えば、本発明は、レンズをワークとし、このレンズに液滴を吐出することにより光学薄膜等のコーティングを形成する液滴吐出装置などにも適用することができる。また、本発明は、比較的大型のワーク（例えば、長さ、幅がそれぞれ数十ｃｍ〜数ｍ程度のもの）にも対応することができる比較的大型の液滴吐出装置１に特に好ましく適用することができる。
【００２０】
この液滴吐出装置１は、装置本体２と、ワーク載置部としての基板搬送テーブル（基板搬送ステージ）３と、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１１を有するヘッドユニット１１と、装置本体２の側方に設置された付帯装置（メンテナンス装置）１２と、タンク収納部１３と、基板Ｗにガスを吹き付けるブロー装置１４と、基板搬送テーブル３の移動距離を測定するレーザー測長器１５と、ドット抜け検出ユニット１９とを備えている。
【００２１】
液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液としては、特に限定されず、カラーフィルタのフィルタ材料を含むインクの他、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。・有機ＥＬ（electroluminescence）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料。・電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料。・ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料。・電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料。・基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料。・各種コーティング材料。・電極を形成するための液状電極材料。・２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料。・金属配線を形成するための液状金属材料。・マイクロレンズを形成するためのレンズ材料。・レジスト材料。・光拡散体を形成するための光拡散材料。
【００２２】
図２に示すように、装置本体２は、床上に設置された架台２１と、架台２１上に設置された石定盤（定盤）２２とを有している。石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３が装置本体２に対しＹ軸方向に移動可能に設置されている。基板搬送テーブル３は、リニアモータ５１の駆動により、Ｙ軸方向に前進・後退する。基板Ｗは、基板搬送テーブル３上に載置される。
【００２３】
液滴吐出装置１では、基板搬送テーブル３と同程度の大きさの比較的大型の基板Ｗから、基板搬送テーブル３より小さい比較的小型の基板Ｗまで、様々な大きさおよび形状の基板Ｗを対象にすることができる。基板Ｗは、原則としては基板搬送テーブル３と中心を一致させるように位置決めした状態で液滴吐出動作をすることが好ましいが、比較的小型の基板Ｗの場合には、基板搬送テーブル３の端に寄せた位置に位置決めして液滴吐出動作をしてもよい。
【００２４】
図１に示すように、基板搬送テーブル３のＸ軸方向に沿った２つの辺の付近には、それぞれ、基板Ｗに対する液滴吐出（描画）前に液滴吐出ヘッド１１１から捨て吐出（捨て打ち、予備吐出またはフラッシングとも呼ばれる）された液滴を受ける描画前フラッシングユニット１０４が設置されている。描画前フラッシングユニット１０４には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出対象液は、この吸引チューブを通り、後述する排液装置１８により回収・貯留される。
【００２５】
基板搬送テーブル３のＹ軸方向の移動距離は、移動距離検出手段としてのレーザー測長器１５により測定される。レーザー測長器１５は、装置本体２側に設置されたレーザー測長器センサヘッド１５１、ミラー１５２およびレーザー測長器本体１５３と、基板搬送テーブル３側に設置されたコーナーキューブ１５４とを有している。レーザー測長器センサヘッド１５１からＸ軸方向に沿って出射したレーザー光は、ミラー１５２で屈曲してＹ軸方向に進み、コーナーキューブ１５４に照射される。コーナーキューブ１５４での反射光は、ミラー１５２を経て、レーザー測長器センサヘッド１５１に戻る。液滴吐出装置１では、このようなレーザー測長器１５によって検出された基板搬送テーブル３の移動距離（現在位置）に基づいて、液滴吐出ヘッド１１１からの吐出タイミングが生成される。
【００２６】
装置本体２には、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ６１が、基板搬送テーブル３の上方空間においてＸ軸方向に移動可能に設置されている。複数の液滴吐出ヘッド１１１を有するヘッドユニット１１は、リニアモータとガイドとを備えたリニアモータアクチュエータ６２の駆動により、メインキャリッジ６１とともにＸ軸方向に前進・後退する。
【００２７】
本実施形態の液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド１１１のいわゆる主走査は、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動しつつ、レーザー測長器１５を用いて生成した吐出タイミングに基づいて、液滴吐出ヘッド１１１の駆動（液滴の選択的吐出）を行う。また、これに対応して、いわゆる副走査は、ヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）のＸ軸方向への移動により行われる。
【００２８】
また、装置本体２には、基板Ｗ上に吐出された液滴を半乾燥させるブロー装置１４が設置されている。ブロー装置１４は、Ｘ軸方向に沿ってスリット状に開口するノズルを有しており、基板Ｗを基板搬送テーブル３によりＹ軸方向に搬送しつつ、このノズルより基板Ｗへ向けてガスを吹き付ける。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｙ軸方向に互いに離れた個所に位置する２個のブロー装置１４が設けられている。
【００２９】
装置本体２および付帯装置１２の近傍には、ラック（棚）１３１を有するタンク収納部１３が設置されている。図９に示すように、タンク収納部１３のラック１３１には、第１の一次タンク（吐出対象液タンク）４０１、第２の一次タンク（吐出対象液タンク）４０２、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２、第１の再利用タンク（再利用貯留部）１７１、第２の再利用タンク（再利用貯留部）１７２、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２がそれぞれ設置（収納）されている（第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、図９中では図示を省略）。なお、本実施形態では、上述したように、同種のタンクを２個ずつ備えているが、１個ずつでも３個以上ずつでもよい。
【００３０】
第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２は、液滴吐出ヘッド１１１から吐出するための吐出対象液を貯留する。第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２は、後述するクリーニングユニット８１に供給するための洗浄液を貯留する。第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２は、後述するキャッピングユニット８３から回収された吐出対象液を貯留する。第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、描画前フラッシングユニット１０４、後述する定期フラッシングユニット８２および後述するドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より吐出された吐出対象液を貯留する。
【００３１】
第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２は、それぞれ、空になったときに吐出対象液を補充したり、満杯になっているタンクに交換したりすることができるようになっている。なお、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２は、交換（着脱）と、吐出対象液の補充との少なくとも一方が行えるようになっていればよい。
【００３２】
同様に、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２も、それぞれ、交換または洗浄液の補充を行うことができるようになっている。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、それぞれ、満杯になったときに空のタンクへの交換または内部の液体の抜き取りを行うことができるようになっている。
【００３３】
図１に示すように、ドット抜け検出ユニット１９は、石定盤２２上における基板搬送テーブル３の移動領域と重ならない場所であって、ヘッドユニット１１の移動領域の下方に位置する場所に固定的に設置されている。ドット抜け検出ユニット１９は、液滴吐出ヘッド１１１の吐出ノズルの詰まりが原因となって生じるドット抜けの有無を検査（検出）するドット抜け検査（吐出確認検査）を行うものである。ドット抜け検出ユニット１９は、例えばレーザー光を投光・受光する投光部および受光部と、ドット抜け検査用液受け部とを備えている。
【００３４】
ドット抜け検査を行う際には、ヘッドユニット１１がドット抜け検出ユニット１９の上方空間をＸ軸方向に移動しつつ、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルから液滴を吐出する。ドット抜け検出ユニット１９は、この吐出された液滴に対し投光・受光を行って、目詰まりしている吐出ノズルの有無および個所を光学的に検出する。このドット抜け検査の際に液滴吐出ヘッド１１１から吐出された液体（液滴）は、ドット抜け検査用液受け部で受けられる。
【００３５】
ドット抜け検査用液受け部の底部には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、ドット抜け検査用液受け部が受けた液体は、この吸引チューブを通って後述する排液装置１８により回収され、前記第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２内に貯留される。
なお、ドット抜け検出ユニット１９を用いたドット抜け検査は、具体的には例えば特開２００２−１９２７４０号公報に記載された方法によって行うことができるが、これに限定されず、いかなる方法で行うものでもよい。
【００３６】
このような液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の作動をそれぞれ制御する制御装置（制御手段）１６を備えている（図１参照）。図示の構成では、制御装置１６は、後述するチャンバ９１の外部に設置されている。図１８に示すように、制御装置１６は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１６１と、液滴吐出装置１の制御動作を実行するためのプログラム等の各種プログラムおよび各種データを記憶（格納）する記憶部１６２とを有している。制御装置１６には、後述するＸ軸方向移動機構６、保守ユニット移動機構８５４、キャップ昇降機構８３３、吐出対象液供給装置４、液体回収装置１７、操作パネル１００、三方弁（流路切り替え弁）７３を切り替え作動させる駆動手段７６、各圧力センサ８８４、各開閉弁８８３を開閉作動させる駆動手段８９８がそれぞれ電気的に接続されている。さらに、制御装置１６には、図１８に示す以外にも液滴吐出装置１の各部が電気的に接続されているが、図１８中では図示を省略する。
【００３７】
図１に示すように、制御装置１６の近傍には、操作パネル（入力手段）１００が設置されている。液滴吐出装置１のオペレーター（操作者）は、この操作パネル１００を操作して、実行させる動作を選択したり、各種条件等のデータの入力を行ったりする。
図１および図２に示すように、このような液滴吐出装置１（制御装置１６を除く）は、好ましくは、チャンバ装置９により、雰囲気の温度および湿度が管理された環境下で基板Ｗに対する液滴の吐出（描画）を行う。チャンバ装置９は、液滴吐出装置１を収容（収納）するチャンバ９１と、チャンバ９１の外部に設置された空調装置９２とを有している。空調装置９２は、公知のエアーコンディショナー装置を内蔵しており、空気の温度および湿度を調節（調整）して、この空気を導入ダクト９３を介してチャンバ９１の天井裏９１１に送り込む。空調装置９２から天井裏９１１に送り込まれた空気は、天井に設置されたフィルタ９１２を透過して、チャンバ９１の主室９１３に導入される。
【００３８】
チャンバ９１内には、主室９１３のほかに、隔壁９１４、９１５により副室９１６が設けられており、タンク収納部１３は、この副室９１６内に設置されている。隔壁９１４には、主室９１３と副室９１６とを連通する連通部（開口）９１７が形成されている。
副室９１６には、チャンバ９１の外部に対する開閉扉（開閉部）９１８が設けられている（図１参照）。なお、副室９１６の開閉部は、開閉扉９１８のような開き戸に限らず、引き戸、シャッターなどでもよい。
また、副室９１６には、副室９１６内の気体を排出する排気口が形成され、この排気口には、外部へ伸びる排気ダクト９４が接続されている。主室９１３内の空気は、連通部９１７を通過して副室９１６に流入した後、排気ダクト９４を通過してチャンバ装置９の外部に排出される。
【００３９】
このようなチャンバ装置９によって液滴吐出装置１の周囲の温度および湿度が管理されることにより、温度変化による基板Ｗや装置各部の膨張・収縮が原因となって誤差が生じるのを防止することができ、基板Ｗ上に液滴によって描画（形成）されるパターンの精度をより高くすることができる。また、タンク収納部１３も温度および湿度が管理された環境に置かれるので、吐出対象液の粘度等の特性も安定し、液滴によるパターンの形成（描画）をより高い精度で行うことができる。また、チャンバ９１内へのチリ、ホコリ等の侵入を防止することができ、基板Ｗを清浄に維持することができる。
なお、チャンバ９１内には、空気以外のガス（例えば窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスなど）を空調して供給・充填し、このガスの雰囲気中で液滴吐出装置１を稼動することとしてもよい。
【００４０】
また、このような液滴吐出システム１０では、開閉扉９１８を開くことにより、主室９１３を外部に開放することなく、タンク収納部１３にアクセスすることができる。これにより、タンク収納部１３へのアクセス時に液滴吐出装置１の周囲（環境）の管理された温度および湿度を乱すことがないので、タンクの交換、液体の補充または回収を行った直後でも、高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。また、タンクの交換、液体の補充または回収を行った後でも、主室９１３内の温度や液滴吐出装置１の各部の温度が管理された値に戻るのを待たずに済むので、スループット（生産能率）の向上が図れる。このようなことから、基板Ｗ等のワークを高い精度で量産するのに極めて有利であり、製造コスト低減が図れる。
【００４１】
図３は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図、図４は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図である。
図３および図４に示すように、石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３と、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構５とが設置されている。図３に示すように、基板搬送テーブル３には、載置された基板Ｗを吸着して固定するための複数の吸引口（吸引部）３３２が形成されている。
【００４２】
図４に示すように、Ｙ軸方向移動機構５は、リニアモータ５１と、エアスライダ５２とを有している。エアスライダ５２は、石定盤２２上でＹ軸方向に沿って延在するスライドガイド５２１と、このスライドガイド５２１に沿って移動するスライドブロック５２２とを有している。スライドブロック５２２は、スライドガイド５２１との間に空気を吹き出す吹き出し口を有しており、この吹き出し口から吹き出す空気をスライドガイド５２１との間に介在させることにより、円滑に移動可能になっている。
【００４３】
スライドブロック５２２上には、ベース１０８が固定され、このベース１０８の上に、基板搬送テーブル３がθ軸回転機構１０５を介して固定されている。このようにして、基板搬送テーブル３は、エアスライダ５２によってＹ軸方向に円滑に移動可能に支持され、リニアモータ５１の駆動によりＹ軸方向に移動するようになっている。また、基板搬送テーブル３は、θ軸回転機構１０５により、基板搬送テーブル３の中心を通る鉛直なθ軸を回転中心として所定範囲で回動可能になっている。
【００４４】
Ｙ軸方向移動機構５の上方には、例えばステンレス鋼等の金属材料で構成された一対の帯状の薄板１０１がＹ軸方向移動機構５を上側から覆うように張り渡されている。薄板１０１は、ベース１０８の上面に形成された凹部（溝）内を通ってベース１０８とθ軸回転機構１０５との間を挿通している。この薄板１０１が設けられていることにより、液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出対象液がＹ軸方向移動機構５に付着するのを防止することができ、Ｙ軸方向移動機構５を保護することができる。
【００４５】
石定盤２２は、無垢の石材で構成され、その上面は、高い平面度を有している。この石定盤２２は、環境温度変化に対する安定性、振動に対する減衰性、経年変化（劣化）に対する安定性、吐出対象液に対する耐食性等の各種の特性に優れている。本実施形態では、このような石定盤２２によってＹ軸方向移動機構５および後述するＸ軸方向移動機構６を支持したことにより、環境温度変化、振動、経年変化（劣化）等の影響による誤差が少なく、基板搬送テーブル３とヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）との相対的な移動に高い精度が得られるとともに、その高い精度を常に安定して維持することができる。その結果、液滴によるパターンの形成（描画）をより高い精度で、かつ常に安定して行うことができる。
石定盤２２を構成する石材は、特に限定されないが、ベルファストブラック、ラステンバーグ、クルヌールおよびインディアンブラックのいずれかであるのが好ましい。これにより、石定盤２２の上記の各特性をより優れたものとすることができる。
【００４６】
このような石定盤２２は、架台２１に支持されている。架台２１は、アングル材等を方形に組んで構成された枠体２１１と、枠体２１１の下部に分散配置された複数の支持脚２１２とを有している。架台２１は、好ましくは空気バネまたはゴムブッシュ等による防振構造を有しており、床からの振動を石定盤２２に極力伝達しないように構成されている。
また、石定盤２２は、好ましくは架台２１と非締結状態（非固定状態）で架台２１に支持（載置）されている。これにより、架台２１に生じる熱膨張等が石定盤２２に影響するのを回避することができ、その結果、液滴によるパターンの形成（描画）をさらに高い精度で行うことができる。
【００４７】
また、本実施形態では、石定盤２２は、平面視で、Ｙ軸方向に長い長方形をなすＹ軸方向移動機構支持部２２１と、このＹ軸方向移動機構支持部２２１の長手方向の途中の部分からＸ軸方向に両側にそれぞれ突出する支柱支持部２２２および２２３とで構成されており、その結果、石定盤２２の形状は、平面視で十字状をなしている。換言すれば、石定盤２２は、平面視で、長方形から４つの隅部付近を除去したような形状をなしている。支柱支持部２２２および２２３上には、後述する４本の支柱２３が設置される。すなわち、石定盤２２は、平面視で、長方形から、Ｙ軸方向移動機構５および支柱２３を設置しない部分を除去したような形状をなすものとなっている。
【００４８】
これにより、石定盤２２の重量を軽減することができ、また、石定盤２２が占める領域を少なくできるので、液滴吐出装置１の据え付け場所への輸送が容易になるとともに、工場の据え付け場所の床の耐荷重も小さくて済み、また、工場内での液滴吐出システム１０の占有面積を小さくすることができる。なお、このような本実施形態における石定盤２２は、１個の石材で構成されていても、複数個の石材を組み合わせて構成されていてもよい。
【００４９】
図５は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図、図６は、図５中の矢印Ａ方向から見た側面図、図７は、図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図である。
図６および図７に示すように、石定盤２２（支柱支持部２２２および２２３）の上には、Ｙ軸方向移動機構５を挟んで２本ずつ対峙する計４本の支柱２３と、これらの支柱２３に支持されたＸ軸方向に沿って延びる互いに平行な２本の桁（梁）２４および２５とが設置されている。基板搬送テーブル３は、この桁２４および２５の下を通過可能になっている。
【００５０】
液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構６は、桁２４および２５を介して、４本の支柱２３に支持されている。図５に示すように、Ｘ軸方向移動機構６は、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ（ヘッドユニット支持体）６１と、桁２４上に設置され、メインキャリッジ６１をＸ軸方向に案内するとともに駆動するリニアモータアクチュエータ６２と、桁２５上に設置され、メインキャリッジ６１をＸ軸方向に案内するガイド６３とを有している。メインキャリッジ６１は、リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間に架け渡されるようにして設置されている。
なお、本実施形態では、Ｙ軸方向移動機構５とＸ軸方向移動機構６とで、基板搬送テーブル３と液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）とを相対的に移動させる相対移動機構が構成される。
【００５１】
ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ６１に対し着脱可能に支持されている。ヘッドユニット１１がメインキャリッジ６１とともにＸ軸方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１１１の副走査が行われる。
また、ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ６１に対するヘッドユニット１１の高さを調整するヘッドユニット高さ調整機構２０を介してメインキャリッジ６１に支持されている。これにより、基板Ｗの厚さに合わせて、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面と基板Ｗとの隙間を調整することができる。ヘッドユニット高さ調整機構２０は、例えば、ボールねじとこれを回転駆動するモータとを備えた構成になっている。
【００５２】
図７に示すように、リニアモータアクチュエータ６２およびガイド６３は、支柱２３を超えてさらに外側に延長して設けられている。これにより、ヘッドユニット１１は、後述する付帯装置１２の上方にまで移動することができるようになっている。
リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間には、さらに、カメラキャリッジ１０６が架け渡されるようにして設置されている。カメラキャリッジ１０６は、リニアモータアクチュエータ６２およびガイド６３をメインキャリッジ６１と共用するとともに、メインキャリッジ６１と独立してＸ軸方向に移動する。
カメラキャリッジ１０６には、基板Ｗの所定の個所に設けられたアライメントマークを画像認識するための認識カメラ１０７が設置されている。認識カメラ１０７は、カメラキャリッジ１０６から下方に吊り下げられた状態で支持されている。なお、認識カメラ１０７は、他の用途に用いてもよい。
【００５３】
図８は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるパターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図である。図８に示すように、ヘッドユニット１１には、液滴吐出ヘッド１１１が複数個（本実施形態では１２個）設置されている。各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面には、液滴を吐出する多数の吐出ノズル（開口）が一列または二列以上に並んで形成されている。ヘッドユニット１１において、１２個の液滴吐出ヘッド１１１は、６個ずつ二列に副走査方向（Ｘ軸方向）に並んで配置されるとともに、各液滴吐出ヘッド１１１は、そのノズル列が副走査方向に対し傾斜した姿勢になっている。
【００５４】
液滴吐出ヘッド１１１には、各吐出ノズルに対し、それぞれ、駆動素子としての図示しない圧電素子（ピエゾ素子）を有する駆動部が設けられている。前記制御装置１６は、各液滴吐出ヘッド１１１に対し、それぞれ、図示しないドライバを介して前記各駆動部の駆動を制御する。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１は、所定の液滴吐出ヘッド１１１の所定の吐出ノズルからそれぞれ液滴を吐出する。この場合、例えば、圧電素子に所定の電圧が印加されると、その圧電素子が変形（伸縮）し、これにより対応する圧力室（液室）内が加圧され、対応する吐出ノズル（当該圧力室に連通する吐出ノズル）から所定量の液滴が吐出される。
【００５５】
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド１１１は、上記のような構成に限らず、例えば、吐出対象液を駆動素子としてのヒータで加熱して沸騰させ、その圧力によって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたようなものであってもよい。
また、ヘッドユニット１１における各液滴吐出ヘッド１１１の上述した配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド１１１同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における液滴吐出ヘッド１１１を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりしてもよい。いずれにしても、複数個の液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルによるドットが副走査方向において連続していればよい。
【００５６】
さらに、液滴吐出ヘッド１１１は、副走査方向に対し傾斜した姿勢で設置されていなくてもよく、また、複数個の液滴吐出ヘッド１１１が千鳥状、階段状に配設されていてもよい。また、所定長さのノズル列（ドット列）を構成できる限り、これを単一の液滴吐出ヘッド１１１で構成してもよい。また、メインキャリッジ６１に複数のヘッドユニット１１が設置されていてもよい。
【００５７】
次に、制御装置１６の制御による液滴吐出装置１の全体の作動について簡単に説明する。基板搬送テーブル３上に基板Ｗが給材され、液滴吐出装置１が備える基板位置決め装置（説明省略）の作動により基板搬送テーブル３上で所定の位置に位置決め（プリアライメント）されると、基板搬送テーブル３の各吸引口３３２からのエアー吸引により、基板Ｗは、基板搬送テーブル３に吸着・固定される。次いで、基板搬送テーブル３およびカメラキャリッジ１０６がそれぞれ移動することにより、認識カメラ１０７が基板Ｗの所定の個所（１箇所または複数箇所）に設けられたアライメントマークの上方に移動し、このアライメントマークを認識する。この認識結果に基づいて、θ軸回転機構１０５が作動して基板Ｗのθ軸回りの角度が補正されるとともに、基板ＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデータ上で行われる（本アライメント）。
以上のような基板Ｗのアライメント作業が完了すると、液滴吐出装置１は、基板Ｗ上に所定のパターンを形成（描画）する動作を開始する。この動作は、液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）を基板Ｗに対し主走査および副走査することにより行われる。
【００５８】
本実施形態の液滴吐出装置１では、主走査は、ヘッドユニット１１を装置本体２に対し停止した（移動しない）状態で、基板搬送テーブル３の移動により基板ＷをＹ軸方向に移動させながら、基板Ｗに対し各液滴吐出ヘッド１１１から液滴を吐出することにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｙ軸方向が主走査方向となる。
【００５９】
この主走査は、基板搬送テーブル３の前進（往動）中に行っても、後退（復動）中に行っても、前進および後退の両方（往復）で行ってもよい。また、基板搬送テーブル３を複数回往復させて、複数回繰り返し行ってもよい。このような主走査により、基板Ｗ上の、所定の幅（ヘッドユニット１１により吐出可能な幅）で主走査方向に沿って延びる領域に、液滴の吐出が終了する。
このような主走査の後、副走査を行う。副走査は、液滴の非吐出時に、メインキャリッジ６１の移動により、ヘッドユニット１１を前記所定の幅の分だけＸ軸方向に移動させることにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸方向が副走査方向となる。
このような副走査の後、前記と同様の主走査を行う。これにより、前回の主走査で液滴が吐出された領域に隣接する領域に対し、液滴が吐出される。
このようにして、主走査と副走査とを交互に繰り返し行うことにより、基板Ｗの全領域に対して液滴が吐出され、基板Ｗ上に、吐出された液滴（液体）による所定のパターンを形成（描画）することができる。
【００６０】
なお、本発明では、主走査方向と副走査方向とは、上述したのと逆になっていてもよい。すなわち、基板Ｗ（基板搬送テーブル３）を停止させた状態で液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させながら基板Ｗに対して液滴を吐出することによって主走査を行い、液滴の非吐出時に基板Ｗ（基板搬送テーブル３）をＹ軸方向に移動させることによって副走査を行うように構成されていてもよい。
【００６１】
図１０および図１１は、それぞれ、図１および図２に示す液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図および側面図である。以下、これらの図に基づいて、液滴吐出装置１の付帯装置１２について説明する。
ヘッドユニット１１は、例えば基板Ｗの給材時および除材時などには、付帯装置１２の上方の位置で待機する。そして、この待機中には、各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面の清掃（クリーニング）や後述するキャッピング吸引動作を行ったり、定期的な捨て吐出（定期フラッシング）を行ったりする。
【００６２】
付帯装置１２は、装置本体２の架台２１および石定盤２２の側方（装置本体２に対しＸ軸方向前方側）に設置されている。図１０に示すように、この付帯装置１２は、床上に設置された付属台８５と、付属台８５上でＹ軸方向に移動可能な移動台８６と、クリーニングユニット（液滴吐出ヘッド清掃装置）８１と、定期フラッシングユニット８２と、キャッピングユニット８３と、吐出量測定用ユニット（重量測定用ユニット）８４とを有している。
【００６３】
クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４は、それぞれ、液滴吐出ヘッド１１１の機能維持、機能回復、調整または検査のために使用される液滴吐出ヘッド保守ユニットの一種である。本実施形態では、これらのクリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４（以下、総称して「四種の液滴吐出ヘッド保守ユニット」とも言う）は、保守ユニット設置部（保守ユニット設置領域）としての移動台８６上にまとめて（ひとまとまりに）配置されている。
【００６４】
付帯装置１２の付属台８５は、Ｙ軸方向に長い形状をなしており、その上部（上面）には、保守ユニット移動機構８５４が設置されている。保守ユニット移動機構８５４は、移動台８６をＹ軸方向に案内する一対のガイド（レール）８５１と、ボールねじ８５２と、このボールねじ８５２を回転駆動するモータ８５３とを有しており、移動台８６をＹ軸方向に移動（前進・後退）させることができる。
【００６５】
図１１に示すように、移動台８６は、上段８６１と、下段８６２と、ボールねじを用いた昇降機構（高さ調整機構）８６３と、昇降ハンドル８６４とを有している。上段８６１は、下段８６２に対し昇降機構８６３により昇降可能になっており、昇降ハンドル８６４を回して昇降機構８６３を作動させることにより、上段８６１の高さを調整可能になっている。なお、昇降機構８６３は、上記のように手動で作動させる構成に限らず、モータ等の駆動源を設けて自動で作動するように構成してもよい。
【００６６】
移動台８６の上段８６１上には、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４が、Ｙ軸方向に沿って一列に並んで設置されている。よって、移動台８６がＹ軸方向に移動することにより、ヘッドユニット１１が付帯装置１２の上方に位置したとき、これら四種の液滴吐出ヘッド保守ユニットのいずれかをヘッドユニット１１の下方に選択的に位置決めでき、その選択した液滴吐出ヘッド保守ユニットによる保守を行うことができるようになっている。
【００６７】
例えば、移動台８６の位置が図１に示す状態では、ヘッドユニット１１が付帯装置１２の上方に移動した場合、ヘッドユニット１１の各液滴吐出ヘッド１１１の下方にキャッピングユニット８３が位置するので、キャッピングを行うことができる。そして、移動台８６の位置を変更することにより、クリーニングユニット８１を用いた液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面の清掃や、定期フラッシングユニット８２を用いた捨て吐出や、吐出量測定用ユニット８４への液滴の吐出をそれぞれ行うことができる。
【００６８】
また、本実施形態では、ヘッドユニット高さ調整機構２０によって基板Ｗの厚さに応じて液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）の高さが変更された場合、昇降機構８６３によって上段８６１上に設置された各液滴吐出ヘッド保守ユニットの高さをこれに合わせて調整することができ、製造する基板Ｗの厚さの変更に伴う液滴吐出ヘッド１１１の高さの変更に容易に対応することができる。また、各液滴吐出ヘッド保守ユニットと液滴吐出ヘッド１１１との高さの調整（高さ合わせ）は、ヘッドユニット高さ調整機構２０によるヘッドユニット１１の上下動によって行ってもよい。
【００６９】
以下、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２および吐出量測定用ユニット８４について順次説明する。キャッピングユニット８３については別途後述する。
図１０に示すように、クリーニングユニット８１は、ワイピングシート供給ユニット１５０と、ローラユニット１６０とを有している。ワイピングシート供給ユニット１５０は、ワイピングシート（図示せず）を巻き出して供給する巻き出しローラ７８と、各ノズル形成面を拭った後のワイピングシートを巻き取る巻き取りローラ７９と、該巻き取りローラ７９を回転駆動する電動モータとを備えている。ローラユニット１６０は、巻き出しローラ７８から巻き出されたワイピングシートを各ノズル形成面に押し付けるローラ７６を有している。
【００７０】
このようなクリーニングユニット８１によれば、ワイピングシートの新しい清掃面を絶えず各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に対して供給することができるようになっている。しかも、ローラ７６の押し付け力によりワイピングシートを各ノズル形成面に押し付ける構成であるため、各ノズル形成面に対して清掃面を確実に当てることもできるようになっている。
【００７１】
ローラ７６の近傍には、各ノズル形成面を拭う前のワイピングシートへ向けて洗浄液を噴射する複数の噴射口（ノズル）を備えたノズルユニット１６４が設置されている。ノズルユニット１６４は、その上（または下）を通過していくワイピングシートに対し、その裏面（または表面）側から、各噴射口より洗浄液を噴射する。これにより、各ノズル形成面を拭う直前のワイピングシートが洗浄液を吸収し、ワイピングシートを湿らせることができる。なお、洗浄液としては、特に限定されないが、例えば各種洗浄剤や有機溶剤などを使用することができる。ノズルユニット１６４の各噴射口には、後述する洗浄液供給装置５０により、洗浄液が供給される。
【００７２】
このようなクリーニングユニット８１によって、定期的または随時に、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に付着した吐出対象液を拭い去ることにより、各吐出ノズルからの液滴の吐出方向（飛ばす方向）にヨレ（乱れ）を生じるようなことが防止され、真っ直ぐに液滴を飛ばすことができるので、基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を高い精度を維持して行うことができる。
【００７３】
図１０に示すように、定期フラッシングユニット８２は、液滴吐出ヘッド１１１が捨て吐出した液滴を受ける液受け部８２１を有している。ヘッドユニット１１は、待機時において、定期的または随時に、各液滴吐出ヘッド１１１から液受け部８２１に対し液滴を捨て吐出する。このような動作を行う目的は、次のようなものである。
【００７４】
一般に、液滴吐出ヘッド１１１は、液滴の吐出を休止してから吐出を再開するまでの時間が長くなると、液滴の吐出方向が乱れる、吐出量が多くなり過ぎる、吐出量が少なくなり過ぎる等の現象が起こり易くなり、液滴吐出動作が不安定になる傾向がある。すなわち、液滴吐出ヘッド１１１は、液滴の吐出を開始した直後は、吐出状態が安定せずにまっすぐ飛びにくい、吐出量が安定しない等の傾向がある。このため、待機時にも、液受け部８２１に捨て吐出を行うことにより、液滴吐出ヘッド１１１が適正に液滴を吐出することができる状態を維持する。
【００７５】
液受け部８２１には、好ましくは、例えばスポンジなどで構成された液体吸収体が設置されている。液受け部８２１に捨て吐出された液滴は、まず、この液体吸収体に吸収される。これにより、捨て吐出された液滴が周囲に飛散するのをより確実に防止することができる。また、液受け部８２１には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、液受け部８２１に溜まった吐出対象液は、この吸引チューブを通って回収され、後述する排液装置１８により、回収・貯留される。
【００７６】
吐出量測定用ユニット８４は、基板Ｗに対する液滴吐出動作の準備段階として、液滴吐出ヘッド１１１からの１回の液滴吐出量（重量）を測定するのに利用するものである。すなわち、基板Ｗに対する液滴吐出動作前、ヘッドユニット１１は、吐出量測定用ユニット８４の上方に移動し、各液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルから１回または複数回液滴を吐出量測定用ユニット８４に対し吐出する。吐出量測定用ユニット８４は、吐出された液滴を受ける着脱可能な液受け部を備えており、この液受け部で受けた液体の重量を液滴吐出システム１０の外部に設置された電子天秤等の重量計で計測する。または、吐出量測定用ユニット８４に重量計を設け、ここで重量を計測してもよい。制御装置１６は、この重量計測結果に基づいて、吐出ノズルから吐出される１滴の液滴の量（重量）を算出し、その算出値が予め定められた設計値に等しくなるように、液滴吐出ヘッド１１１を駆動するヘッドドライバの印加電圧を補正する。
【００７７】
図１２は、図１および図２に示す液滴吐出装置における吐出対象液供給装置、洗浄液供給装置および排液装置を示す配管系統図、図１３は、液量検出手段の構成を模式的に示す図である。以下、これらの図および図６に基づいて、液滴吐出装置１における吐出対象液供給装置４、洗浄液供給装置５０、排液装置１８について説明する。
まず、各液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液を供給する吐出対象液供給装置４について説明する。
図１２に示すように、吐出対象液供給装置４は、吐出対象液を貯留する一次タンク系４０と、この一次タンク系４０と後述する二次タンク４１２とを接続する１本の一次流路４１１とを有している。一次タンク系４０は、前記タンク収納部１３に設置された第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２と、第１の一次タンク４０１に接続された流出配管４０３と、第２の一次タンク４０２に接続された流出配管４０４と、三方弁（流路切り替え手段）４０５とを有している。三方弁４０５には、一次流路４１１と、流出配管４０３および４０４とがそれぞれ接続されている。吐出対象液供給装置４は、制御装置１６の制御に基づき三方弁４０５にて流路を切り替えることにより、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２のいずれかから選択的に吐出対象液を一次流路４１１に供給することができる。
【００７８】
また、吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２内に加圧気体を供給する加圧手段４０６と、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２にそれぞれ接続された加圧配管４０７および４０８と、加圧手段４０６からの配管４１０と、これら３つの配管が接続された三方弁（加圧経路切り替え手段）４０９とをさらに有している。加圧手段４０６としては、例えば、加圧された窒素ガス等の気体を供給する加圧気体供給源が使用される。吐出対象液供給装置４は、制御装置１６の制御に基づき三方弁４０９にて流路を切り替えることにより、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２のいずれかの内部を加圧手段４０６により選択的に加圧し、その圧力により吐出対象液を送出する。
【００７９】
図６に示すように、二次タンク４１２は、メインキャリッジ１０２に対し固定的に設置されている。すなわち、二次タンク４１２は、メインキャリッジ１０２とともにＸ軸方向移動する。二次タンク４１２には、三方弁４０５から伸びる一次流路４１１の他端が接続されており、一次タンク系４０の吐出対象液は、一次流路４１１を通って二次タンク４１２内に流入する。
一次流路４１１は、好ましくは可撓性を有するチューブで構成されている。この一次流路４１１の途中には、メインキャリッジ１０２とともに移動する二次タンク４１２の移動に合わせて一次流路４１１の二次タンク４１２側の部分が移動可能となるように一次流路４１１を中継する中継部４１３が設けられている。
【００８０】
二次タンク４１２とヘッドユニット１１との間は、ヘッドユニット１１が備える１２個の液滴吐出ヘッド１１１の各々に対応する１２本の二次流路４１４によって接続されている。すなわち、ヘッドユニット１１には、各液滴吐出ヘッド１１１に対応する１２個の流入口（接続口）１１２が設けられており、二次タンク４１２から伸びる１２本の二次流路４１４の他端は、それぞれ、各流入口１１２に接続されている。なお、図６中では、見易くするため、１２本の二次流路４１４のうちの２本のみを図示する。図示の構成では、二次流路４１４は、可撓性を有するチューブで構成されているが、これに限らず、硬質な管体で構成されていてもよい。また、以下では、一次流路４１１、二次タンク４１２および二次流路４１４を総称して「吐出対象液の流路」と呼ぶことがある。
【００８１】
二次タンク４１２内は、図示しない圧力制御ユニット（負圧制御ユニット）によって、圧力が制御され、負圧になっている。二次タンク４１２内で圧力制御された吐出対象液は、各二次流路４１４を通って各液滴吐出ヘッド１１１に供給される。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１に供給される吐出対象液の圧力が制御され、各液滴吐出ヘッド１１１の各ノズルにおいて良好な液滴吐出状態が得られる。
【００８２】
各二次流路４１４の途中には、流路を遮断可能な遮断弁４１５が設けられている。遮断弁４１５は、前記圧力制御ユニットが何らかの原因で機能しない場合、二次流路４１４の流路を遮断し、二次タンク４１２より低い位置にある液滴吐出ヘッド１１１に二次タンク４１２から吐出対象液が流れ続けて液滴吐出ヘッド１１１から漏出するのを防止する。
【００８３】
図１３（ａ）に示すように、吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１の内部の液量を検出する液量検出手段４１６をさらに有している。液量検出手段４１６は、第１の一次タンク４０１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の一次タンク４０１内に連通した光透過性を有するチューブ４１７と、第１の一次タンク４０１の底部付近においてチューブ４１７を挟んで対向するように設置された投光部４１８および受光部４１９とで構成されている。この液量検出手段４１６は、受光部４１９での受光光量の変化により、第１の一次タンク４０１内の液量が減少して所定の下限レベルＥ（空の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段４１６の検出結果は、制御装置１６に入力される。
【００８４】
また、吐出対象液供給装置４は、第２の一次タンク４０２の内部の液量を検出する同様の液量検出手段４２０を有している。液量検出手段４２０は、第２の一次タンク４０２内の液量が減少して所定の下限レベルＥになったとき、これを検出し、その検出結果を制御装置１６に入力する。
このような吐出対象液供給装置４は、図１２に示す状態では、加圧手段４０６により第１の一次タンク４０１内が加圧され、この圧力により第１の一次タンク４０１内の吐出対象液は、流出配管４０３および一次流路４１１内を通って送出され、二次タンク４１２および二次流路４１４を経て、液滴吐出ヘッド１１１に供給される。
【００８５】
そして、第１の一次タンク４０１内の吐出対象液が消費されていき、液量検出手段４１６が第１の一次タンク４０１が空になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替える。これにより、加圧手段４０６が第２の一次タンク４０２内を加圧するとともに、この圧力により第２の一次タンク４０２内の吐出対象液が、流出配管４０４および一次流路４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される状態に切り替わる。
【００８６】
第２の一次タンク４０２から吐出対象液が供給されている間に、作業者は、空になった第１の一次タンク４０１をラック１３１から取り外し、吐出対象液を再充填した後、ラック１３１に戻す。その後、液量検出手段４２０が第２の一次タンク４０２が空になったのを検出すると、制御装置１６は、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替え、第１の一次タンク４０１から吐出対象液を供給する状態に切り替える。そして、第１の一次タンク４０１から吐出対象液が供給されている間に、作業者は、空になった第２の一次タンク４０２をラック１３１から取り外して吐出対象液を再充填する。
【００８７】
制御装置１６は、第１の一次タンク４０１が空になったとき、および、第２の一次タンク４０２が空になったときには、それぞれ、その旨を報知し、タンクの交換（吐出対象液の補充）を作業者に促すのが好ましい。この報知の方法としては、操作パネル１００に文字または図形などを表示したり、音または音声を出したりする方法が挙げられる。また、第１の一次タンク４０１が空になったときと、第２の一次タンク４０２が空になったときとで、報知のための文字、図形、音または音声等を異ならせ、いずれの一次タンクが空になったのかが分かるようにするのが好ましい。
【００８８】
以上説明したような本実施形態の吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴う吐出対象液消費量の増大に有効に対応することができる。また、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の各々の容量を過大にすることなく、全体の大容量化が図れるので、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の重量（特に充填時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。
【００８９】
次に、クリーニングユニット８１で用いる洗浄液を供給する洗浄液供給装置５０について説明するが、前記吐出対象液供給装置４と同様の事項については説明を省略する。図１２に示すように、洗浄液供給装置５０は、前記タンク収納部１３に設置された第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された流出配管５０３と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された流出配管５０４と、流出配管５０３および５０４とクリーニングユニット８１への給液配管５１１とがそれぞれ接続された三方弁（流路切り替え手段）５０５と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の一次タンク５０２内に加圧気体を供給する加圧手段５０６と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された加圧配管５０７と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された加圧配管５０８と、加圧配管５０７および５０８と加圧手段５０６からの配管（経路）５１０とがそれぞれ接続された三方弁（加圧経路切り替え手段）５０９と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２の残液量を検出する液量検出手段（図示せず）とを有している。
【００９０】
次に、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より捨て吐出された排液（吐出対象液）を回収する排液装置１８について説明するが、後述する液体回収装置１７と同様の事項については説明を省略する。
図１２に示すように、排液装置１８は、前記タンク収納部１３に設置された（図９中には表れていない）第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２と、第１の排液タンク１８１に接続された流入配管１８３と、第２の排液タンク１８２に接続された流入配管１８４と、三方弁（流路切り替え手段）１８５とを有している。
【００９１】
三方弁１８５には、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９からの吸引チューブ（図示せず）が合流した排液配管１８６と、流入配管１８３および１８４とがそれぞれ接続されている。また、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２には、それぞれ、後述する液量検出手段１７７ａ、１７７ｂと同様の液量検出手段（図示せず）が設けられている。
【００９２】
本実施形態では、このような排液装置１８により、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９から排出された吐出対象液を回収してこれらを共通して貯留する。これらの各ユニットから回収した吐出対象液は、各ユニットの液受け部において一旦外部に露出したものであるので、異物（ゴミ）が混入していたり、外気に触れて溶媒が蒸発して濃度が変化していたりするため、通常は廃棄される。本実施形態では、これらの廃棄すべき液体が共通に第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２に貯留されるので、液体を廃棄する作業が１回で済み、オペレーターの労力の軽減に寄与する。
【００９３】
なお、排液装置１８によって回収された吐出対象液は、廃棄せずに、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液として再利用してもよい。これにより、吐出対象液の無駄な消費量を削減することができるので、基板Ｗの製造コストのさらなる低減が図れる。排液装置１８によって回収された吐出対象液を再利用する場合には、第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２に戻す前に、後述するような不純物除去処理、脱気処理や、濃度調整などの各種の処理を施すことが好ましい。
【００９４】
図１４および図１５は、それぞれ、図１０および図１１に示す付帯装置におけるキャッピングユニットを示す斜視図および側面図、図１６は、液滴吐出ヘッドにキャップが接触した状態を示す断面図、図１７は、キャッピングユニットの各キャップへの吸引配管系統図、図１９は、液滴吐出装置が稼動するときの工程の流れを示すフローチャート、図２０および図２１は、それぞれ、エジェクタ、流路切り替え弁および調整弁を示す斜視図および正面図である。以下、これらの図および図１８に基づいて、キャッピングユニット８３、その吸引配管系統およびキャッピング吸引動作について説明する。なお、図２０および図２１中では、配管（チューブ）の図示を省略している。
【００９５】
図１４に示すように、キャッピングユニット８３は、ベースプレート８３１と、このベースプレート８３１上に配設された１２個のキャップ８７とを有している。１２個のキャップ８７は、それぞれ、ヘッドユニット１１に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１１１に対応するものであり、液滴吐出ヘッド１１１と同様の配置パターンで配置されている。これにより、各キャップ８７は、それぞれ、対応する液滴吐出ヘッド１１１の吐出ノズル形成面に接触（密着）することができる。
【００９６】
図１５に示すように、キャッピングユニット８３は、移動台８６上に固定された支持部８３２を有し、ベースプレート８３１は、この支持部８３２によって支持されている。支持部８３２には、ベースプレート８３１を上下方向に昇降させる空気圧シリンダを有するキャップ昇降機構８３３が設けられている。このキャップ昇降機構８３３の作動により、各キャップ８７は、一体となって昇降可能になっている。キャップ昇降機構８３３は、その空気圧シリンダのピストンロッドのストッパ位置調整を行うことにより、昇降ストロークを調整可能になっている。
【００９７】
図１６に示すように、キャップ８７は、キャップ本体８７１と、キャップホルダ８７２とを有し、キャップ本体８７１は、２つのコイルバネ８７３により上方に付勢されるとともに、一定の範囲で上下動可能な状態でキャップホルダ８７２に保持されている。キャップ本体８７１の上面には、液滴吐出ヘッド１１１に形成された吐出ノズル群を包含し得る凹部８７４が形成され、凹部８７４の周縁部には、液滴吐出ヘッド１１１に密着し得るシールパッキン（シール部材）８７５が設置されている。
【００９８】
凹部８７４の底部には、液体を吸収し得る例えばスポンジのような吸収材８７６が枠状の押さえ部材８７７により上から押さえられた状態で設置されている。また、凹部８７４の底部には、液滴吐出ヘッド１１１から吸引した流体を排出する排出口８７８が形成され、この排出口８７８は、Ｌ字継ぎ手８７９に連通している。Ｌ字継ぎ手８７９には、後述する吸引流路８８２を構成する図示しない配管（チューブ）が接続される。
【００９９】
各キャップ８７には、開放弁８８０が設けられており、凹部８７４の底面側で外部に開放できるようになっている。開放弁８８０は、コイルバネ８８１で上方の閉じ側に付勢されており、キャッピング吸引動作の最終段階で、開放弁８８０を引き下げて開弁することにより、吸収材８７６に含浸している液体をも吸引することができる。
【０１００】
液滴吐出装置１は、上述したような各キャップ８７での（各キャップ８７内に）吸引力（負圧）を発生する吸引力発生手段として、エジェクタ（真空エジェクタ）６０を有している。図２０および図２１に示すように、エジェクタ６０は、吸引口６０１と、供給口６０２と、排出口６０３とを有している。このエジェクタ６０は、図９中では見えていないが、タンク収納部１３に設置されている。
【０１０１】
エジェクタ６０の供給口６０２には、圧縮エア供給手段（作動流体供給手段）９９９から供給される圧縮エア（作動流体）が流入し、流入した圧縮エアは、排出口６０３から排出される。そして、エジェクタ６０内に生じた圧縮エアの流れにより、吸引口６０１には、吸引力（負圧）が発生する。圧縮エア供給手段９９９としては、工場に設けられた圧縮エア（圧空）供給装置を用いてもよく、また、液滴吐出装置１が独自に有しているものでもよい。
【０１０２】
制御装置１６は、各液滴吐出ヘッド１１１に各キャップ８７を接触（密着）させた状態でエジェクタ６０を作動し、その吸引力により各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルから流体を吸引する動作（以下、「キャッピング吸引動作」と言う）を実行するように制御を行うことが可能とされている。
図１８に示すように、本実施形態では、前述したＸ軸方向移動機構６と、保守ユニット移動機構８５４と、キャップ昇降機構８３３とで、各液滴吐出ヘッド１１１に各キャップ８７を接触（密着）させるように作動可能なヘッド−キャップ相対移動機構３００が構成される。
【０１０３】
キャッピング吸引動作においては、制御装置１６は、各部を以下のように作動させる。制御装置１６は、まず、保守ユニット移動機構８５４を作動させてキャッピングユニット８３をヘッドユニット１１の移動領域の下方の位置（図１に示す位置）に移動させるとともに、Ｘ軸方向移動機構６を作動させてヘッドユニット１１を付帯装置１２の上方の位置に移動させる。これにより、キャッピングユニット８３の上方にヘッドユニット１１が位置決めされる。次いで、キャップ昇降機構８３３を作動させて各キャップ８７を上昇させることにより、各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に各キャップ８７を接触（密着）させる。次いで、制御装置１６は、エジェクタ６０を作動させて、この吸引力により、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルから流体（気体および液体）を吸引する。
【０１０４】
なお、各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に各キャップ８７を接触させる動作は、キャップ昇降機構８３３を作動させて各キャップ８７を上昇させることに代えて、ヘッドユニット高さ調整機構２０を作動させてヘッドユニット１１を下降させることで行ってもよい。すなわち、ヘッドユニット高さ調整機構２０がヘッド−キャップ相対移動機構３００の一部を構成してもよい。
【０１０５】
液滴吐出装置１では、このようなキャッピング吸引動作は、定期的にまたは随時に行われるが、本実施形態の液滴吐出装置１では、次のような４つの目的に適用される４種のキャッピング吸引動作を行う。
第１のキャッピング吸引動作は、各液滴吐出ヘッド１１１内に吐出対象液を初期充填する際に、液滴吐出ヘッド１１１内に吐出対象液を充満させる目的で行われるものである。
第２のキャッピング吸引動作は、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルの詰まりを解消し、適正な吐出状態を回復する目的で行われるものである。
【０１０６】
第３のキャッピング吸引動作は、各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内から吐出対象液を排出する目的で行われるものである。すなわち、第３のキャッピング吸引動作は、使用する吐出対象液を種類の異なるものに交換する場合や、基板Ｗの生産を一旦終了する場合に、各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内から吐出対象液を排出し切る（抜き取る）場合に行われる。この第３のキャッピング吸引動作を行う際には、吐出対象液供給装置４は、各液滴吐出ヘッド１１１への吐出対象液の供給を停止する。
【０１０７】
第４のキャッピング吸引動作は、各液滴吐出ヘッド１１１へ供給された洗浄液を吸引して各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内を洗浄する（以下、単に「流路内洗浄」とも言う）目的で行われるものである。第４のキャッピング吸引動作を行う際には、タンク収納部１３の第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２を取り外し、代わりに洗浄液（例えばブチルアルコール等の溶剤など）を貯留した洗浄液タンクを載せ換え、この洗浄液タンクから一次流路４１１、二次タンク４１２および二次流路４１４を経て、各液滴吐出ヘッド１１１内に洗浄液を貯留する。なお、この洗浄液タンクは、初めからタンク収納部１３に設置しておき、洗浄を行うときに流路を切り替えて洗浄液を供給するように構成されていてもよい。
また、これらの各キャッピング吸引動作では、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面が乾燥するのを防止する効果も得られる。
【０１０８】
制御装置１６は、前記第１〜第４の各キャッピング吸引動作に対応する第１モード、第２モード、第３モードおよび第４モードの各制御モードを有している。オペレーターは、操作パネル１００を操作して第１〜第４モードのいずれかを選択し、実行するキャッピング吸引動作の種類を入力する。制御装置１６は、第１〜第４のキャッピング吸引動作のうち、選択（入力）されたモードに対応するキャッピング吸引動作を実行するように各部の制御を行う。
【０１０９】
以下、図１９に基づいて、液滴吐出装置１が稼動するときの工程の流れの一例を説明する。液滴吐出装置１の稼動を開始する際には、稼動前の準備作業の１つとして、第１モードによる第１のキャッピング吸引動作を行い、吐出対象液の初期充填を行う（ステップＳ１）。吐出対象液の初期充填その他の準備作業が完了したら、基板Ｗに対して液滴吐出動作を行い、パターンを形成（描画）する（ステップＳ２）。
【０１１０】
基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を終了し（ステップＳ３）、さらに基板Ｗの生産を継続する場合には（ステップＳ４）、ドット抜け検出ユニット１９を用いてドット抜け検査を行い、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルに詰まりが生じていないかどうかを検査する（ステップＳ５）。ドット抜け検査の結果、いずれの吐出ノズルにもノズル詰まりを生じていない場合には、ステップＳ２に戻り、新たな基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を再開する。
【０１１１】
ドット抜け検査の結果、ノズル詰まりを生じている吐出ノズルがある場合には、第２モードによる第２のキャッピング吸引動作を行い、吐出ノズルの詰まりを解消し、適正状態を回復する（ステップＳ６）。この場合、詰まっている吐出ノズルが属する液滴吐出ヘッド１１１のみから吸引してもよく、また、全液滴吐出ヘッド１１１から吸引してもよい。第２のキャッピング吸引動作を終えたら、クリーニングユニット８１を用いて各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面の清掃を行う（ステップＳ７）。そして、ステップＳ５に戻り、再度ドット抜け検査を行う。
【０１１２】
ステップＳ４において、基板Ｗの生産を継続しない場合（吐出対象液を種類の異なるものに交換する場合や、基板Ｗの生産を一旦終了する場合等）には、第３モードによる第３のキャッピング吸引動作を行い、各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内から吐出対象液を排出する（ステップＳ８）。次いで、第４モードによる第４のキャッピング吸引動作を行い、各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内に洗浄液を流通させて吐出対象液を洗い流し、清浄な状態にする（ステップＳ９）。基板Ｗの生産を再開する場合には、ステップ１に戻り、吐出対象液の初期充填から開始する。
なお、上述したような図１９に示す一連の工程は、制御装置１６の制御により、全自動で行われるように構成されていてもよい。
【０１１３】
以下、各キャップ８７への吸引配管系統について説明する。
図１７に示すように、各キャップ８７には、それぞれ、吸引流路８８２が接続されている。各吸引流路８８２の途中には、それぞれ、当該流路を開閉可能（開通／遮断の切り替え可能）な開閉弁８８３が設置されている。開閉弁８８３は、駆動手段８９８を介したアクチュエータの作動によって切り替え作動するようになっており、制御装置１６の制御に基づいて切り替わる。
さらに、各吸引流路８８２の途中には、それぞれ、当該流路内の圧力を検出する圧力センサ（圧力検出手段）８８４が設置されている。この圧力センサ８８４の検出結果は、制御装置１６に入力され、この検出結果に基づいて、各キャップ８７における吸引エラー等を検知して報知したりすることができる。
【０１１４】
本実施形態では、キャッピング吸引動作では、各開閉弁８８３の開閉の切り替えにより、全キャップ８７のうちの１個のキャップ８７以外のキャップ８７からの吸引流路８８２を遮断した状態として、当該１個のキャップ８７から吸引する。そして、開閉弁８８３を切り替えていき、全キャップ８７を１個ずつ順次吸引する。
このようにして、液滴吐出装置１は、１２個の液滴吐出ヘッド１１１に対して１個ずつ順次キャッピング吸引動作を行う。これにより、１台のエジェクタ６０（吸引力発生手段）で複数の液滴吐出ヘッド１１１から同時に吸引する場合と比べ、各液滴吐出ヘッド１１１に対する吸引力にムラが出るようなことがないので、全部の液滴吐出ヘッド１１１に対して、第１〜第４のキャッピング吸引動作による吐出ノズル詰まり解消、吐出対象液の充填、吐出対象液の排出、流路内洗浄をより確実に（より効果的に）行うことができる。
【０１１５】
キャッピング吸引動作において、吸引対象とするキャップ８７を順次切り替えていく場合、その切り替えのタイミングは、例えば、予め設定した一定の時間が経過するのを待って切り替えていくものとすることができる。あるいは、圧力センサ８８４の検出結果に基づいて切り替えていってもよいし、これらを組み合わせたような方法でもよい。
なお、本発明では、このような制御を行わず、全液滴吐出ヘッド１１１（全キャップ８７）に対して一斉にキャッピング吸引動作を行ってもよい。
【０１１６】
図１７に示すように、すべての吸引流路８８２は、一本に合流して排出流路１７６となり、この排出流路１７６は、三方弁（流路切り替え手段）１７５に接続されている。三方弁１７５は、アクチュエータにより自動で切り替え可能になっており、制御装置１６の制御に基づいて切り替わる。
三方弁１７５の下流側は、流入流路１７３と、流入流路１７４とに分岐しており、流入流路１７３は、第１の再利用タンク１７１に接続されており、流入流路１７４は、第２の再利用タンク１７２に接続されている。第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２は、前述したようにタンク収納部１３に設置されている。
【０１１７】
本実施形態では、上述した第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２、流入流路１７３、流入流路１７４、三方弁１７５および排出流路１７６により、液体回収装置（液体回収手段）１７が構成される。
液体回収装置１７は、第１〜第３のキャッピング吸引動作において、排出流路１７６を流れてきた吐出対象液を、三方弁１７５の切り替えにより、第１の再利用タンク１７１または第２の再利用タンク１７２内に導入し、貯留する。
【０１１８】
このように、液体回収装置１７は、第１〜第３のキャッピング吸引動作において各液滴吐出ヘッド１１から排出された吐出対象液を移送し、これを他の液体（例えば、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９で受けた吐出対象液や、各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内の洗浄に用いた洗浄液など）と混合することなく、専用の第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に貯留する。また、本実施形態の液体回収装置１７は、各組のキャップ８７を介して吸引した吐出対象液を共通して第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に貯留する。
【０１１９】
第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液は、液滴吐出ヘッド１１１より排出されてから第１の再利用タンク１７１または第２の再利用タンク１７２に移送されてくるまでの間、外部に露出しておらず、外気にも接触していないので、ゴミ等の異物の混入が無いかあっても僅かであり、溶媒が蒸発して濃度が変化しているようなこともない。また、上述したように他の液体も混入していないので、変質・劣化・異物混入などのない、良好な状態の吐出対象液である。よって、第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液は、第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２に戻して、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液として再利用することができる。これにより、吐出対象液の無駄な消費量を大幅に削減することができるので、基板Ｗの製造コストの低減が図れる。
【０１２０】
第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液に対しては、再利用する前（第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２に戻す前）に、その中の不純物を除去する処理（例えば、フィルターによるろ過などの処理）や、その中に溶解した気体を除去する脱気処理（例えば、減圧環境下に置いて、溶解した気体を発泡させるなどの処理）を施すことが好ましい。これにより、回収した吐出対象液をより良好な状態にして再利用することができる。
【０１２１】
また、第４のキャッピング吸引動作を行う際には、各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内を洗浄する際には、各液滴吐出ヘッド１１１に洗浄液が供給されるが、このときには、第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に代えて図示しない廃液タンクを据えて、この廃液タンクに使用済みの洗浄液を回収する。
【０１２２】
本実施形態の液体回収装置１７では、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴うキャッピング時の吸引量の増大に有効に対応することができる。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の各々の容量を過大にすることなく全体の大容量化が図れるので、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の重量（特に満杯時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の交換（回収）を交互に行うことにより、液滴吐出装置１の稼動を停止することなく、吐出対象液を回収することができる。よって、生産効率の向上が図れ、高い生産量（スループット）が得られる。
【０１２３】
図１３（ｂ）に示すように、液体回収装置１７は、第１の再利用タンク１７１の内部の液量を検出する液量検出手段１７７ａをさらに有している。液量検出手段１７７ａは、第１の再利用タンク１７１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の再利用タンク１７１内に連通した光透過性を有するチューブ１７８と、第１の再利用タンク１７１の頂部付近においてチューブ１７８を挟んで対向するように設置された投光部１７９および受光部１７０とで構成されている。この液量検出手段１７７ａは、受光部１７０での受光光量の変化により、第１の再利用タンク１７１内の液量が増大して所定の上限レベルＦ（満杯の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段１７７ａの検出結果は、制御装置１６に入力される。また、液体回収装置１７は、第２の再利用タンク１７２の内部の液量を検出する前記液量検出手段１７７ａと同様の液量検出手段１７７ｂをさらに有している。
【０１２４】
このような液体回収装置１７では、図１７に示す状態では、キャッピングユニット８３から吸引された吐出対象液は、第１の再利用タンク１７１内に導入される。そして、第１の再利用タンク１７１内に吐出対象液が蓄積していき、液量検出手段１７７ａが第１の再利用タンク１７１が満杯になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁１７５を切り替え、吐出対象液が第２の再利用タンク１７２内に導入される状態に切り替える。
【０１２５】
制御装置１６は、第１の再利用タンク１７１が満杯になったとき、および、第２の再利用タンク１７２が満杯になったときには、それぞれ、その旨を例えば前記と同様の方法で報知し、タンクの交換（吐出対象液の回収）を作業者に促すのが好ましい。
なお、本実施形態の液体回収装置１７では、上述したように再利用タンクが２個設けられているが、再利用タンクの設置個数は、１個でも、３個以上でもよい。
【０１２６】
以上説明したように、本実施形態の液滴吐出装置１では、前記第１〜第４のキャッピング吸引動作を行うように構成されていることにより、１つのキャッピングユニット８３を用いて、吐出対象液の初期充填、吐出ノズル詰まり解消、吐出対象液の排出、および、流路内洗浄のそれぞれを行うことができ、これらの４つの目的ごとにそれぞれ別のユニット（装置）を設ける必要がない。よって、液滴吐出装置１の開発（設計・試作・実験等）に要する期間（時間）を短縮したり、液滴吐出装置１を小型化したり、液滴吐出装置１の構造を簡素化したり、液滴吐出装置１の製造コストを低減したりすることができる。また、液滴吐出装置１を稼動させる際の準備作業としての調整作業（例えばキャップ昇降機構８３３の昇降ストローク調整など）も１つのキャッピングユニット８３に対してのみ行えばよいので、この調整作業量を少なくすることができ、オペレーターの負担を軽減することができる。このようなことから、液滴吐出装置１では、生産する基板Ｗの製造コストの低減にも寄与する。
【０１２７】
なお、本発明の液滴吐出装置では、前記第１〜第４のキャッピング吸引動作のうちの少なくとも２つのキャッピング吸引動作を行うように構成されているのが好ましく、前記第１〜第４のキャッピング吸引動作のうちの少なくとも３つのキャッピング吸引動作を行うように構成されていることがより好ましく、本実施形態のように、前記第１〜第４のキャッピング吸引動作の各キャッピング吸引動作をすべて行うように構成されていることが最も好ましい。
【０１２８】
さて、このような液滴吐出装置１は、キャッピング吸引動作中に液滴吐出ヘッド１１１に作用する吸引力が経時的に（時間の経過に伴って）増大するように制御する吸引力制御手段７を備えている。本実施形態の吸引力制御手段７は、エジェクタ６０に供給する圧縮エア（作動流体）の流量を調節することにより、エジェクタ６０が発生する吸引力を制御する。以下、この吸引力制御手段７について説明する。
【０１２９】
図１７に示すように、吸引力制御手段７は、圧縮エア供給手段９９９から供給される圧縮エアの流路を２つに分岐させた分岐流路７１および７２と、分岐流路７１および７２のうちの１つに圧縮エアを流すように流路を切り替える三方弁（流路切り替え弁）７３と、分岐流路７１および７２にそれぞれ設置された調整弁（レギュレータ）７４および７５とを備えている。図２０および図２１に示すように、本実施形態では、三方弁７３、調整弁７４および７５は、エジェクタ６０の近傍に設置されている。
【０１３０】
また、図１８に示すように、吸引力制御手段７は、制御装置１６の制御（指令）に基づいて三方弁７３を図示しないアクチュエータによって切り替え作動させる駆動手段７６をさらに備えている。また、制御装置１６の機能の一部も、吸引力制御手段７を構成する。
調整弁７４は、調整弁７５よりも、少ない流量レベルの仕様になっており、圧縮エアは、分岐流路７１を流れる場合は、分岐流路７２を流れる場合よりも流量が少なくなるように調整される。よって、圧縮エアが分岐流路７１を通過するように三方弁７３を切り替えると、エジェクタ６０に比較的少ない流量で圧縮エアが供給され、その結果、エジェクタ６０が発生する吸引力は比較的小さくなる。これに対し、圧縮エアが分岐流路７２を通過するように三方弁７３を切り替えると、エジェクタ６０に比較的多い流量で圧縮エアが供給され、その結果、エジェクタ６０が発生する吸引力は比較的大きくなる。
【０１３１】
制御装置１６は、前記第１のキャッピング吸引動作および第２のキャッピング吸引動作を行う場合、初めはエジェクタ６０が発生する吸引力を比較的弱い状態（圧縮エアを分岐流路７１に流す状態）にし、その後、三方弁７３を切り替えて、エジェクタ６０が発生する吸引力を比較的強い状態（圧縮エアを分岐流路７２に流す状態）にするように制御する。この場合、前述したように１２個の液滴吐出ヘッド１１１に対して１個ずつ順次キャッピング吸引動作を行っていくが、各液滴吐出ヘッドに対するキャッピング吸引動作中でそれぞれ初めは吸引力が弱い状態とし、その後、吸引力が強い状態とする。
【０１３２】
このような吸引力制御手段７により、本発明の液滴吐出装置１では、前記第１のキャッピング吸引動作および第２のキャッピング吸引動作を行う場合、キャッピング吸引動作中に液滴吐出ヘッド１１１に作用する吸引力が経時的に段階的に（２段階に）増大するように制御する。これにより、キャッピング吸引動作の初期の段階では液滴吐出ヘッド１１１からゆっくりとした流速で吸引されるので、吐出対象液に溶け込んでいた気体が気泡となって液滴吐出ヘッド１１１内や配管内に発生するのを防止することができる。その結果、高い吸引効率を維持することができる。また、液滴吐出ヘッド１１１内や配管内に気泡が発生しないので、吐出ノズルの詰まりを解消する場合、全吐出ノズルについてより確実に解消することができ、また、気泡がその後の液滴吐出動作に悪影響を及ぼすのを防止することもできる。そして、キャッピング吸引動作のその後の段階では液滴吐出ヘッド１１１から速い流速で吸引されるので、前記の高い吸引効率と相まって、吐出対象液の初期充填（第１のキャッピング吸引動作）や、吐出ノズル詰まり解消（第２のキャッピング吸引動作）を迅速に（短時間で）行うことができる。よって、サイクルタイム（基板Ｗ１枚当たりの処理時間）を短縮することができるので、生産効率（能率）が向上し、基板Ｗの製造コストの低減が図れる。
なお、前記第３のキャッピング吸引動作および第４のキャッピング吸引動作においては、経時的に一定の吸引力で吸引してもよいが、上記と同様に経時的に吸引力を増大させて行うのが好ましい。これにより、前記第３のキャッピング吸引動作および第４のキャッピング吸引動作についても迅速かつ確実に行うことができる。
【０１３３】
図２０および図２１に示すように、調整弁７４、７５では、それらのツマミ７４１、７５１を回すことにより、圧縮エアの流量（または圧力）を調整可能になっている。キャッピング吸引動作では、吐出対象液の粘度等の特性によって吸引力の好ましい大きさが異なるが、事前にツマミ７４１、７５１を調整することにより、吐出対象液の特性に合わせて、第１段階の弱い吸引力の大きさと、第２段階の強い吸引力の大きさとをそれぞれ好ましいレベルに設定することができる。また、調整弁７４、７５では、それらの備える目盛り（ゲージ）７４２、７５２に圧力が表示され、この表示を見ながらツマミ７４１、７５１を回して圧力（流量）を容易に調整することができる。
なお、調整弁７４、７５としては、図示のようなマニュアル調整レギュレータに限らず、例えば電空レギュレータを用いることもでき、より細かな制御を行うことも可能である。
【０１３４】
また、キャッピング吸引動作の継続時間や、吸引力（三方弁７３）の切り替えのタイミング等の吸引条件は、操作パネル１００から入力して設定可能になっており、吐出対象液の特性等に合わせて調整（変更）することができる。なお、前記第１〜第４のキャッピング吸引動作における吸引条件は、それぞれの目的に合わせ、互いに異なる条件に設定されていても、互いに同じ条件でもよい。また、吸引力制御手段７は、各圧力センサ８８４で検出した圧力に基づいて吸引条件を制御するようにしてもよい。
【０１３５】
図１７に示すように、本実施形態では、エジェクタ６０は、第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２の下流側に設けられており、これらの内部を負圧にするように作動することにより、キャップ８７での吸引力を発生するように構成されている。これにより、エジェクタ６０は、空気（気体）のみを吸引し、吐出対象液（液体）を吸引しないで済むので、エジェクタ６０での吸引効率をさらに向上することができる。また、簡単な構造で、１台のエジェクタ６０により複数の液滴吐出ヘッド１１１（複数のキャップ８７）に対応することができる。
なお、本発明では、このような構成に限らず、エジェクタ６０等の吸引力発生手段を第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２の上流側に設け、吸引力発生手段が液体を吸引するように構成されていてもよい。
【０１３６】
また、本実施形態では、吸引力発生手段としてエジェクタ６０を用いたことにより、次のような効果が得られる。まず、エジェクタ６０は、ポンプと異なり可動部を有さず小型であるので、装置の簡素化および小型化が図れる。また、キャッピング吸引動作の初期の段階において、吐出対象液に先行して空気（気体）が吸引される場合であっても、ポンプの場合と比べて高い吸引効率で吸引することができるので、要する時間をさらに短縮することができる。
なお、エジェクタ６０に供給する作動流体は、本実施形態と異なり、液体であってもよい。
【０１３７】
なお、本発明では、吸引力発生手段としては、エジェクタに限らず、ポンプ（真空ポンプ）を用いてもよく、そのポンプの形式も、ピストンポンプ、遠心ポンプなど、いかなるものでもよい。その場合、吸引力制御手段は、該ポンプの回転数を調整することによって、液滴吐出ヘッド１１１に作用する吸引力が経時的に増大するように制御するものとすることができる。
【０１３８】
また、本発明では、図示の構成と異なり、エジェクタ６０等の吸引力発生手段を各液滴吐出ヘッド１１１（各キャップ８７）に対して１台ずつ設けてもよい。この場合、全部の液滴吐出ヘッド１１１に対するキャッピング吸引動作を同時に行うことができる。
また、本実施形態では、吸引力制御手段７は、吸引力が経時的に２段階に増大するように制御するものであったが、本発明では、吸引力制御手段は、吸引力が経時的に３段階以上に増大するように制御するものであってもよく、また、吸引力が経時的に連続的に（無段階的に）増大するように制御するものであってもよい。
【０１３９】
以上、本発明の液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。また、液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
例えば、Ｙ軸方向移動機構、Ｘ軸方向移動機構は、リニアモータを利用するものに代えて、例えばボールねじ（送りねじ）などを利用するものでもよい。
また、キャッピング吸引動作は、キャップを液滴吐出ヘッドに近接させた状態、すなわち、キャップを液滴吐出ヘッドに接触させない状態で行ってもよい。
【０１４０】
さらに、本発明の液滴吐出装置は、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）を装置本体に対し固定とし、ワーク（ワーク載置部）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。また、これと逆に、ワーク（ワーク載置部）を装置本体に対し固定とし、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。すなわち、本発明の液滴吐出装置は、ワーク載置部と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構を備えるものであればよい。
【０１４１】
また、電気光学装置は、以上説明したような本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。電気光学装置の具体例としては、特に限定されないが、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などが挙げられる。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、液晶表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色のフィルタ材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、基板上に多数のフィルタエレメントを配列してなるカラーフィルタを製造し、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造することができる。この他、本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色の発光材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列してなる有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
【０１４２】
また、電子機器は、前述したようにして製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。電子機器の具体例としては、特に限定されないが、前述したようにして製造された液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を搭載したパーソナルコンピュータや携帯電話機などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図２】 本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。
【図３】 架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図。
【図４】 架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図。
【図５】 ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図。
【図６】 図５中の矢印Ａ方向から見た側面図。
【図７】 図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図。
【図８】 パターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図。
【図９】 タンク収納部を示す斜視図。
【図１０】 液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図。
【図１１】 液滴吐出装置における付帯装置を示す側面図。
【図１２】 吐出対象液供給装置、洗浄液供給装置および排液装置を示す配管系統図。
【図１３】 液量検出手段の構成を模式的に示す図。
【図１４】 付帯装置におけるキャッピングユニットを示す斜視図。
【図１５】 付帯装置におけるキャッピングユニットを示す側面図。
【図１６】 液滴吐出ヘッドにキャップが接触した状態を示す断面図。
【図１７】 キャッピングユニットの各キャップへの吸引配管系統図。
【図１８】 図１および図２に示す液滴吐出装置のブロック図。
【図１９】 液滴吐出装置が稼動するときの工程の流れを示すフローチャート。
【図２０】 エジェクタ、流路切り替え弁および調整弁を示す斜視図。
【図２１】 エジェクタ、流路切り替え弁および調整弁を示す正面図。
【符号の説明】
１……液滴吐出装置、１０……液滴吐出システム、１００……操作パネル、１０１……薄板、１０５……θ軸回転機構、１０４……描画前フラッシングユニット、１０６……カメラキャリッジ、１０７……認識カメラ、１０８……ベース、１１……ヘッドユニット、１１１……液滴吐出ヘッド、１１２……流入口、１２……付帯装置、１３……タンク収納部、１４……ブロー装置、１５……レーザー測長器、１５１……レーザー測長器センサヘッド、１５２……ミラー、１５３……レーザー測長器本体、１５４……コーナーキューブ、１６……制御装置、１６１……ＣＰＵ、１６２……記憶部、１７……液体回収装置、１７１……第１の再利用タンク、１７２……第２の再利用タンク、１７３……流入流路、１７４……流入流路、１７５……三方弁、１７６……排出流路、１７７ａ……液量検出手段、１７７ｂ……液量検出手段、１７８……チューブ、１７９……投光部、１７０……受光部、１８……排液装置、１８１……第１の排液タンク、１８２……第２の排液タンク、１８３……流入配管、１８４……流入配管、１８５……三方弁、１８６……排液配管、１９……ドット抜け検出ユニット、２０……ヘッドユニット高さ調整機構、２……装置本体、２１……架台、２１１……枠体、２１２……支持脚、２２……石定盤、２２１……Ｙ軸方向移動機構支持部、２２２……支柱支持部、２２３……支柱支持部、２３……支柱、２４……桁、２５……桁、３……基板搬送テーブル、３３２……吸引口、４……吐出対象液供給装置、４０……一次タンク系、４０１……第１の一次タンク、４０２……第２の一次タンク、４０３……流出配管、４０４……流出配管、４０５……三方弁、４０６……加圧ポンプ、４０７……加圧配管、４０８……加圧配管、４０９……三方弁、４１０……配管、４１１……一次流路、４１２……二次タンク、４１３……中継部、４１４……二次流路、４１５……遮断弁、４１６……液量検出手段、４１７……チューブ、４１８……投光部、４１９……受光部、４２０……液量検出手段、５……Ｙ軸方向移動機構、５１……リニアモータ、５２……エアスライダ、５２１……スライドガイド、５２２……スライドブロック、６……Ｘ軸方向移動機構、６１……メインキャリッジ、６２……リニアモータアクチュエータ、６３……ガイド、７……吸引力制御手段、７１……分岐流路、７２……分岐流路、７３……三方弁、７４……調整弁、７４１……ツマミ、７４２……目盛り、７５……調整弁、７５１……ツマミ、７５２……目盛り、７６……駆動手段、９９９……圧縮エア供給手段、８１……クリーニングユニット、８２……定期フラッシングユニット、８２１……液受け部、８３……キャッピングユニット、８３１……ベースプレート、８３２……支持部、８３３……キャップ昇降機構、８４……吐出量測定用ユニット、８５……付属台、８５１……ガイド、８５２……ボールねじ、８５３……モータ、８５４……保守ユニット移動機構、８６……移動台、８６１……上段、８６２……下段、８６３……昇降機構、８６４……昇降ハンドル、８７……キャップ、８７１……キャップ本体、８７２……キャップホルダ、８７３……コイルバネ、８７４……凹部、８７５……シールパッキン、８７６……吸収材、８７７……押さえ部材、８７８……排出口、８７９……Ｌ字継ぎ手、８８０……開放弁、８８１……コイルバネ、８８２……吸引流路、８８３……開閉弁、８８４……圧力センサ、８９８……駆動手段、５０……洗浄液供給装置、５０１……第１の洗浄液タンク、５０２……第２の洗浄液タンク、５０３……流出配管、５０４……流出配管、５０５……三方弁、５０６……加圧ポンプ、５０７……加圧配管、５０８……加圧配管、５０９……三方弁、５１０……配管、５１１……給液配管、６０……エジェクタ、６０１……吸引口、６０２……供給口、６０３……排出口、３００……ヘッド−キャップ相対移動機構、Ｗ……基板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present inventionDroplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing methodAbout.
[0002]
[Prior art]
Applying the inkjet system (droplet ejection system) of inkjet printers, for example, for manufacturing color filters, organic EL display devices, etc. in liquid crystal display devices, and for industrial use used to form metal wiring on a substrate A liquid droplet ejection apparatus (inkjet drawing apparatus) has been proposed.
[0003]
Such a droplet discharge device has a cap that can contact (adhere) the droplet discharge head (inkjet head), and sucks liquid from the droplet discharge head by the suction force of a suction pump connected to the cap. A capping unit is provided (see, for example, Patent Document 1). This capping means is used when initially filling a liquid such as ink in the liquid droplet ejection head or eliminating clogging of the ejection nozzle of the liquid droplet ejection head.
[0004]
In order to improve the production efficiency by operating the droplet discharge device in the shortest possible cycle time, it is necessary to quickly perform the initial filling of the liquid into the droplet discharge head using the capping means and the clogging of the discharge nozzle. However, if the suction force of the capping means is increased in order to perform these quickly, the gas dissolved in the liquid becomes bubbles, and bubbles are generated in the droplet discharge head or pipe, reducing the suction efficiency. Therefore, the problem that it does not lead to shortening of the time required for suction, the problem that clogging cannot be reliably eliminated for all the discharge nozzles due to the generated bubbles, and there remains a discharge nozzle that does not clear clogging, Furthermore, there is a problem that the generated bubbles may adversely affect the subsequent droplet discharge operation. In addition, if the suction force is weakened so as not to generate bubbles, there is a problem that it takes a long time for suction.
[0005]
[Patent Document 1]
JP 2001-322296 A
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
  The purpose of the present invention is toDroplet discharge device capable of quickly and surely performing a capping suction operation with respect to a droplet discharge head, and a method of manufacturing an electro-optical device using such a droplet discharge deviceIs to provide.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
  Such an object is achieved by the present invention described below.
  The droplet discharge device of the present invention discharges a droplet of a discharge target liquid onto a workpiece.Perform droplet discharge operationAt least one droplet discharge head, and a cap provided corresponding to the droplet discharge head;In the state where the cap is in contact with or close to the droplet discharge headGenerate suction with the capThen, a capping suction operation is performed to suck fluid from the droplet discharge head by the suction force.Suction force generation means andSuction force control means for controlling the suction force acting on the droplet discharge head during the capping suction operation to increase with time;A droplet discharge device comprising:
  The capping suction operation includes a first capping suction operation for performing the capping suction operation so that the liquid droplet discharge head is filled with the liquid to be discharged when the liquid droplet discharge head is initially filled with the liquid to be discharged. When,
  A second capping suction operation for performing the capping suction operation so as to eliminate clogging of the discharge nozzle of the droplet discharge head;
  A third capping suction operation is performed so as to extract the liquid to be ejected from the liquid droplet ejection head when the liquid to be ejected to be used is replaced with a different type or when the liquid droplet ejection operation is once terminated. Capping suction operation,
  A fourth capping suction operation for performing the capping suction operation so as to suck the cleaning liquid supplied to the droplet discharge head and clean the inside of the droplet discharge head and the flow path of the liquid to be discharged;
  The suction force control means is configured to control the suction force in two steps of magnitude, the first capping suction operation, the second capping suction operation, the third capping suction operation, and the fourth capping suction operation. In any of the capping suction operations, the suction force is controlled to increase in two steps from small to large over time.It is characterized by that.
  Thereby, in the initial stage of the capping suction operation, the liquid is sucked from the droplet discharge head at a slow flow rate, so that the gas dissolved in the discharge target liquid is generated as bubbles in the droplet discharge head and the pipe. Can be prevented. As a result, high suction efficiency can be maintained. In addition, since bubbles do not occur in the droplet discharge head or pipe, when the clogging of the discharge nozzles is resolved, all the discharge nozzles can be resolved more reliably, and the bubbles can be used in subsequent droplet discharge operations. It can also prevent adverse effects. In the subsequent stage of the capping suction operation, the liquid is sucked from the droplet discharge head at a high flow rate, and coupled with the high suction efficiency, for example, the initial filling of the liquid to be discharged and the discharge nozzle clogging can be quickly and quickly eliminated (for a short time). Can do). Therefore, since the cycle time (processing time per workpiece) can be shortened, the production efficiency (efficiency) is improved, and the manufacturing cost of the workpiece can be reduced.
[0008]
  In the droplet discharge device of the present invention,Further comprising dot missing detection means for performing dot missing inspection for inspecting the presence or absence of dot missing in the droplet discharge head,
  The first capping suction operation and the droplet discharge operation for the workpiece are sequentially performed. After the operation is completed, it is determined whether or not the droplet discharge operation for the new workpiece is performed, and the liquid for the new workpiece is determined. When performing a droplet ejection operation, the dot missing inspection is performed, and as a result, when there is no dot missing, the droplet ejection operation for the new workpiece is started. Then, the second capping suction operation is performed, and the dot dropout inspection is performed again.It is preferable.
[0009]
  In the droplet discharge device of the present invention,As a result of determining whether or not to perform the droplet discharge operation on the new workpiece, when the droplet discharge operation is not performed on the new workpiece, the third capping suction operation and the fourth capping suction are performed. Configured to perform operations sequentiallyIt is preferable.
[0010]
In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that the suction force generating means is constituted by an ejector.
Thereby, since the ejector does not have a movable part and is small, the apparatus can be simplified and downsized. Further, even when gas is sucked prior to the liquid to be ejected in the initial stage of the capping suction operation, it is possible to suck with high suction efficiency, so that the time required can be further shortened.
[0011]
In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that the suction force control means controls the suction force of the ejector by adjusting the flow rate of the working fluid supplied to the ejector.
Thereby, the suction force control means can control the suction force of the ejector with a simple configuration.
[0012]
In the droplet discharge device of the present invention, the suction force control means includes a branch flow path that branches the flow path of the working fluid supplied to the ejector into a plurality of branches, and one branch flow selected from the plurality of branch flow paths. A flow path switching valve that switches the flow path so that the working fluid flows through the path, an adjustment valve that is installed in each branch flow path and adjusts the flow rate of the working fluid to a different flow rate between the branch flow paths, It is preferable that the flow rate of the working fluid supplied to the ejector is changed by switching the flow path switching valve.
Thereby, the suction force control means can control the suction force of the ejector with a simple configuration.
[0013]
In the liquid droplet ejection apparatus of the present invention, the liquid droplet ejection apparatus has a tank for storing the liquid sucked by the capping suction operation, and the suction force generating means operates to make the inside of the tank have a negative pressure, whereby the cap It is preferable to generate a suction force at
As a result, the suction force generating means sucks only the gas and does not need to suck the liquid, so that the suction efficiency can be further improved. Further, with a simple structure, a single suction force generating means can be used for a plurality of droplet discharge heads (a plurality of caps).
[0014]
In the droplet discharge device of the present invention, a plurality of the droplet discharge heads,
An open / close valve provided in each suction flow path from the suction force generating means to the plurality of caps,
It is preferable that the capping suction operation is sequentially performed for each of the plurality of droplet discharge heads by switching between opening and closing of the on-off valves.
As a result, when a single suction force generating means is used for a plurality of droplet discharge heads, the suction force can be concentrated on each droplet discharge head so that the capping suction operation can be performed. When filling the liquid, discharging the liquid, etc., it is possible to carry out more reliably (more effectively) with respect to all the droplet discharge heads.
[0015]
In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable to further include a pressure detection means for detecting the pressure in the suction flow path to the cap.
Thereby, the detection result of a pressure detection means can be utilized for the detection of the suction error in each cap, and control of a suction force control means, for example.
The droplet discharge device of the present invention further includes an apparatus main body, a workpiece placement unit on which a workpiece is placed, and a relative movement mechanism that relatively moves the head unit and the workpiece placement unit, It is preferable to form a predetermined pattern on the workpiece by ejecting droplets from the droplet ejection head while relatively moving the workpiece placement unit and the head unit.
Thereby, various patterns can be formed (drawn) on the workpiece according to the purpose.
[0016]
BookThe electro-optical device manufacturing method of the present invention is characterized by using the droplet discharge device of the present invention.
  Accordingly, it is possible to provide a method for manufacturing an electro-optical device that can perform pattern formation (drawing) on a workpiece with high accuracy and can reduce manufacturing costs.The
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a droplet discharge device of the present invention will be described in detail based on a preferred embodiment shown in the accompanying drawings.
1 and FIG. 2 are a plan view and a side view, respectively, showing an embodiment of a droplet discharge device of the present invention, and FIG. 9 is a perspective view showing a tank storage portion in the droplet discharge device shown in FIGS. FIG. 18 is a block diagram of the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2. Hereinafter, for convenience of explanation, one horizontal direction (a direction corresponding to the left and right direction in FIGS. 1 and 2) is referred to as a “Y-axis direction”, which is perpendicular to the Y-axis direction and is in a horizontal direction ( The direction corresponding to the vertical direction in FIG. 1 is referred to as “X-axis direction”. Further, the movement in the Y-axis direction in the right direction in FIGS. 1 and 2 is “advance in the Y-axis direction”, and the movement in the Y-axis direction in the left direction in FIGS. 1 and 2 is “Y "Reverse in the axial direction", the movement in the X-axis direction and downward in FIG. 1 is "forward movement in the X-axis direction", and the movement in the X-axis direction and upward in FIG. Say “Axis Backward”.
[0018]
A droplet discharge system (droplet discharge system) 10 shown in FIGS. 1 and 2 includes a droplet discharge device (inkjet drawing device) 1 having a droplet discharge head 111 and a chamber ( Chamber room) 91.
The droplet discharge device 1 applies, for example, a liquid (discharge target liquid) such as ink or a functional liquid containing a target material to the substrate W as a work by an inkjet method (droplet discharge method). A device for forming (drawing) a predetermined pattern by discharging in a state, for example, for manufacturing a color filter or an organic EL display device in a liquid crystal display device or forming a metal wiring on a substrate. It is something that can be done. The material of the substrate W targeted by the droplet discharge device 1 is not particularly limited, and any material may be used as long as it is a plate-like member. For example, the material may be a glass substrate, a silicon substrate, a flexible substrate, or the like. it can.
[0019]
Moreover, the workpiece | work made into object by this invention is not restricted to a plate-shaped member, What kind of thing may be sufficient if it is a member with a flat bottom face. For example, the present invention can also be applied to a droplet discharge device that uses a lens as a workpiece and forms a coating such as an optical thin film by discharging droplets onto the lens. In addition, the present invention is particularly preferably applied to a relatively large droplet discharge device 1 that can cope with a relatively large workpiece (for example, a length and a width of about several tens of centimeters to several meters each). can do.
[0020]
The droplet discharge apparatus 1 includes an apparatus main body 2, a substrate transfer table (substrate transfer stage) 3 as a work placement unit, a head unit 11 having a plurality of droplet discharge heads (inkjet heads) 111, and an apparatus main body. 2, an auxiliary device (maintenance device) 12 installed on the side of 2, a tank storage unit 13, a blow device 14 for blowing gas onto the substrate W, and a laser length measuring device 15 for measuring the movement distance of the substrate transfer table 3. And a missing dot detection unit 19.
[0021]
The discharge target liquid discharged from the droplet discharge head 111 is not particularly limited. In addition to the ink including the filter material of the color filter, for example, liquids including various materials such as the following (dispersions such as suspensions and emulsions). Included). A light emitting material for forming an EL light emitting layer in an organic EL (electroluminescence) device. A fluorescent material for forming a phosphor on an electrode in an electron emission device. A fluorescent material for forming a phosphor in a PDP (Plasma Display Panel) device. -Electrophoretic material that forms an electrophoretic body in an electrophoretic display device. Bank material for forming a bank on the surface of the substrate W.・ Various coating materials. -Liquid electrode material for forming electrodes. A particle material that forms a spacer for forming a minute cell gap between two substrates. -Liquid metal material for forming metal wiring. -Lens material for forming microlenses. -Resist material. A light diffusing material for forming a light diffuser.
[0022]
As shown in FIG. 2, the apparatus main body 2 includes a gantry 21 installed on the floor, and a stone surface plate (surface plate) 22 installed on the gantry 21. A substrate transfer table 3 is installed on the stone surface plate 22 so as to be movable in the Y-axis direction with respect to the apparatus main body 2. The substrate transfer table 3 moves forward / backward in the Y-axis direction by driving the linear motor 51. The substrate W is placed on the substrate transfer table 3.
[0023]
In the droplet discharge device 1, substrates W of various sizes and shapes, ranging from a relatively large substrate W having the same size as the substrate transport table 3 to a relatively small substrate W smaller than the substrate transport table 3. Can be targeted. In principle, it is preferable that the substrate W be subjected to the droplet discharge operation in a state where the substrate W is positioned so as to coincide with the center of the substrate transport table 3, but in the case of a relatively small substrate W, the end of the substrate transport table 3 It is also possible to perform the droplet discharge operation by positioning at a position close to the position.
[0024]
As shown in FIG. 1, in the vicinity of two sides along the X-axis direction of the substrate transport table 3, waste discharge (discarding) from the droplet discharge head 111 before droplet discharge (drawing) on the substrate W, respectively. A pre-drawing flushing unit 104 for receiving the droplets (also referred to as preliminary ejection or flushing) is installed. A suction tube (not shown) is connected to the pre-drawing flushing unit 104, and the discharge target liquid discarded and discharged passes through this suction tube and is collected and stored by the drainage device 18 described later.
[0025]
The moving distance in the Y-axis direction of the substrate transfer table 3 is measured by a laser length measuring device 15 as a moving distance detecting means. The laser length measuring device 15 has a laser length measuring device sensor head 151, a mirror 152 and a laser length measuring device main body 153 installed on the apparatus main body 2 side, and a corner cube 154 installed on the substrate transfer table 3 side. ing. Laser light emitted from the laser length measuring device sensor head 151 along the X-axis direction is bent by the mirror 152 and proceeds in the Y-axis direction, and is irradiated onto the corner cube 154. The reflected light from the corner cube 154 returns to the laser length measuring device sensor head 151 through the mirror 152. In the droplet discharge device 1, the discharge timing from the droplet discharge head 111 is generated based on the movement distance (current position) of the substrate transfer table 3 detected by the laser length measuring device 15.
[0026]
A main carriage 61 that supports the head unit 11 is installed in the apparatus body 2 so as to be movable in the X-axis direction in the space above the substrate transfer table 3. The head unit 11 having a plurality of droplet discharge heads 111 moves forward and backward in the X-axis direction together with the main carriage 61 by driving a linear motor actuator 62 including a linear motor and a guide.
[0027]
In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, so-called main scanning of the droplet discharge head 111 is based on the discharge timing generated using the laser length measuring device 15 while moving the substrate transport table 3 in the Y-axis direction. Then, the droplet discharge head 111 is driven (selective discharge of droplets). Correspondingly, so-called sub-scanning is performed by movement of the head unit 11 (droplet ejection head 111) in the X-axis direction.
[0028]
The apparatus main body 2 is provided with a blower 14 that semi-drys the droplets discharged onto the substrate W. The blow device 14 has a nozzle that opens in a slit shape along the X-axis direction. While the substrate W is transported in the Y-axis direction by the substrate transport table 3, gas is blown toward the substrate W from the nozzle. . In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, two blow devices 14 are provided that are located at positions separated from each other in the Y-axis direction.
[0029]
In the vicinity of the apparatus main body 2 and the auxiliary apparatus 12, a tank storage unit 13 having a rack (shelf) 131 is installed. As shown in FIG. 9, the rack 131 of the tank storage unit 13 includes a first primary tank (discharge target liquid tank) 401, a second primary tank (discharge target liquid tank) 402, a first cleaning liquid tank 501, Second cleaning liquid tank 502, first reuse tank (reuse storage unit) 171, second reuse tank (reuse storage unit) 172, first drainage tank 181 and second drainage tank 182 Are installed (stored) (the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182 are not shown in FIG. 9). In this embodiment, as described above, two tanks of the same type are provided, but one or three or more tanks may be provided.
[0030]
The first primary tank 401 and the second primary tank 402 store a discharge target liquid to be discharged from the droplet discharge head 111. The first cleaning liquid tank 501 and the second cleaning liquid tank 502 store cleaning liquid to be supplied to a cleaning unit 81 described later. The first reuse tank 171 and the second reuse tank 172 store the discharge target liquid collected from the capping unit 83 described later. The first drainage tank 181 and the second drainage tank 182 are ejected target liquids ejected from the droplet ejection head 111 in the pre-drawing flushing unit 104, the regular flushing unit 82 described later, and the dot dropout detection unit 19 described later. To store.
[0031]
Each of the first primary tank 401 and the second primary tank 402 can be replenished with a liquid to be discharged when it becomes empty, or can be replaced with a full tank. . The first primary tank 401 and the second primary tank 402 only need to be able to perform at least one of replacement (removal) and replenishment of the discharge target liquid.
[0032]
Similarly, the first cleaning liquid tank 501 and the second cleaning liquid tank 502 can also be replaced or replenished with cleaning liquid, respectively. In addition, the first reuse tank 171, the second reuse tank 172, the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182 are respectively replaced with empty tanks when full. The internal liquid can be extracted.
[0033]
As shown in FIG. 1, the dot dropout detection unit 19 is fixed to a place on the stone surface plate 22 that does not overlap with the movement area of the substrate transfer table 3 and is located below the movement area of the head unit 11. Is installed. The dot dropout detection unit 19 performs a dot dropout inspection (discharge confirmation inspection) for inspecting (detecting) the presence or absence of dot dropout caused by clogging of the discharge nozzles of the droplet discharge head 111. The dot missing detection unit 19 includes, for example, a light projecting unit and a light receiving unit that project and receive laser light, and a dot missing inspection liquid receiving unit.
[0034]
When performing the dot dropout inspection, the head unit 11 discharges droplets from each discharge nozzle of each droplet discharge head 111 while moving in the X-axis direction in the space above the dot dropout detection unit 19. The missing dot detection unit 19 projects and receives light on the ejected liquid droplets to optically detect the presence and location of a clogged ejection nozzle. The liquid (droplet) ejected from the droplet ejection head 111 at the time of the dot missing inspection is received by the dot missing inspection liquid receiving portion.
[0035]
A suction tube (not shown) is connected to the bottom of the dot missing inspection liquid receiving portion, and the liquid received by the dot missing inspection liquid receiving portion passes through this suction tube and the drainage device 18 described later. And is stored in the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182.
The dot dropout inspection using the dot dropout detection unit 19 can be specifically performed by a method described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-192740, but is not limited thereto, and is performed by any method. But you can.
[0036]
Such a droplet discharge device 1 includes a control device (control means) 16 that controls the operation of each part of the droplet discharge device 1 (see FIG. 1). In the illustrated configuration, the control device 16 is installed outside a chamber 91 described later. As shown in FIG. 18, the control device 16 stores (stores) a CPU (Central Processing Unit) 161, various programs such as a program for executing the control operation of the droplet discharge device 1, and various data. 162. The control device 16 includes an X-axis direction moving mechanism 6, a maintenance unit moving mechanism 854, a cap lifting / lowering mechanism 833, a discharge target liquid supply device 4, a liquid recovery device 17, an operation panel 100, a three-way valve (flow path switching valve). Driving means 76 for switching 73, each pressure sensor 884, and driving means 898 for opening / closing each on-off valve 883 are electrically connected to each other. Further, the control device 16 is electrically connected to each part of the droplet discharge device 1 other than that shown in FIG. 18, but is not shown in FIG. 18.
[0037]
As shown in FIG. 1, an operation panel (input means) 100 is installed in the vicinity of the control device 16. An operator (operator) of the droplet discharge apparatus 1 operates the operation panel 100 to select an operation to be executed or input data such as various conditions.
As shown in FIGS. 1 and 2, such a droplet discharge device 1 (except for the control device 16) is preferably applied to the substrate W in an environment in which the temperature and humidity of the atmosphere are controlled by the chamber device 9. A droplet is discharged (drawn). The chamber device 9 includes a chamber 91 that houses (stores) the droplet discharge device 1 and an air conditioner 92 that is installed outside the chamber 91. The air conditioner 92 incorporates a known air conditioner device, adjusts (adjusts) the temperature and humidity of the air, and sends the air to the ceiling 911 of the chamber 91 via the introduction duct 93. Air sent from the air conditioner 92 to the ceiling 911 passes through a filter 912 installed on the ceiling and is introduced into the main room 913 of the chamber 91.
[0038]
In the chamber 91, in addition to the main chamber 913, a sub chamber 916 is provided by partition walls 914 and 915, and the tank storage portion 13 is installed in the sub chamber 916. In the partition wall 914, a communication portion (opening) 917 that connects the main chamber 913 and the sub chamber 916 is formed.
The sub chamber 916 is provided with an opening / closing door (opening / closing part) 918 for the outside of the chamber 91 (see FIG. 1). Note that the opening / closing portion of the sub chamber 916 is not limited to the opening door such as the opening / closing door 918 but may be a sliding door, a shutter, or the like.
The sub chamber 916 is formed with an exhaust port for discharging the gas in the sub chamber 916, and an exhaust duct 94 extending to the outside is connected to the exhaust port. The air in the main chamber 913 passes through the communication portion 917 and flows into the sub chamber 916, then passes through the exhaust duct 94 and is discharged to the outside of the chamber device 9.
[0039]
By controlling the temperature and humidity around the droplet discharge device 1 with such a chamber device 9, it is possible to prevent an error from occurring due to expansion / contraction of the substrate W and each part of the device due to temperature change. The accuracy of the pattern drawn (formed) on the substrate W by droplets can be further increased. Further, since the tank storage unit 13 is also placed in an environment in which the temperature and humidity are controlled, characteristics such as the viscosity of the liquid to be discharged are stabilized, and a pattern can be formed (drawn) with droplets with higher accuracy. . Further, entry of dust, dust and the like into the chamber 91 can be prevented, and the substrate W can be kept clean.
The chamber 91 is supplied and filled with air-conditioning gas other than air (for example, an inert gas such as nitrogen, carbon dioxide, helium, neon, argon, krypton, xenon, or radon), and the atmosphere of this gas. It is good also as operating the droplet discharge apparatus 1 in it.
[0040]
Further, in such a droplet discharge system 10, by opening the opening / closing door 918, it is possible to access the tank storage unit 13 without opening the main chamber 913 to the outside. Thereby, since the controlled temperature and humidity around the droplet discharge device 1 (environment) are not disturbed when accessing the tank storage unit 13, even immediately after tank replacement, liquid replenishment or recovery, A pattern can be formed (drawn) with high accuracy. Further, even after the tank is replaced, the liquid is replenished or recovered, it is not necessary to wait for the temperature in the main chamber 913 or the temperature of each part of the droplet discharge device 1 to return to a controlled value. (Production efficiency) can be improved. For this reason, it is extremely advantageous to mass-produce a workpiece such as the substrate W with high accuracy, and the manufacturing cost can be reduced.
[0041]
3 is a plan view showing the gantry, the stone surface plate, and the substrate transfer table in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, and FIG. 4 is the gantry, the stone surface in the droplet discharge device shown in FIGS. It is a side view which shows a board | substrate and a board | substrate conveyance table.
As shown in FIGS. 3 and 4, the substrate transport table 3 and the Y-axis direction moving mechanism 5 that moves the substrate transport table 3 in the Y-axis direction are installed on the stone surface plate 22. As shown in FIG. 3, the substrate transport table 3 is formed with a plurality of suction ports (suction units) 332 for sucking and fixing the placed substrate W.
[0042]
As shown in FIG. 4, the Y-axis direction moving mechanism 5 includes a linear motor 51 and an air slider 52. The air slider 52 includes a slide guide 521 that extends along the Y-axis direction on the stone surface plate 22, and a slide block 522 that moves along the slide guide 521. The slide block 522 has a blowout port for blowing air between the slide guide 521, and the air blown from the blowout port is interposed between the slide guide 521 and can move smoothly. .
[0043]
A base 108 is fixed on the slide block 522, and the substrate transport table 3 is fixed on the base 108 via a θ-axis rotation mechanism 105. In this way, the substrate transport table 3 is supported by the air slider 52 so as to be smoothly movable in the Y-axis direction, and is moved in the Y-axis direction by driving the linear motor 51. The substrate transport table 3 can be rotated within a predetermined range by a θ-axis rotation mechanism 105 with a vertical θ axis passing through the center of the substrate transport table 3 as a rotation center.
[0044]
A pair of strip-shaped thin plates 101 made of a metal material such as stainless steel is stretched over the Y-axis direction moving mechanism 5 so as to cover the Y-axis direction moving mechanism 5 from above. The thin plate 101 is inserted between the base 108 and the θ-axis rotating mechanism 105 through a recess (groove) formed on the upper surface of the base 108. By providing the thin plate 101, it is possible to prevent the liquid to be ejected ejected from the droplet ejection head 111 from adhering to the Y-axis direction moving mechanism 5 and protect the Y-axis direction moving mechanism 5. be able to.
[0045]
The stone surface plate 22 is made of a solid stone material, and the upper surface thereof has high flatness. The stone surface plate 22 is excellent in various characteristics such as stability against environmental temperature changes, damping properties against vibration, stability against aging (deterioration), and corrosion resistance against liquids to be discharged. In this embodiment, the Y-axis direction moving mechanism 5 and the later-described X-axis direction moving mechanism 6 are supported by the stone surface plate 22 as described above, so that an error due to the influence of environmental temperature change, vibration, secular change (deterioration), and the like. Therefore, high accuracy can be obtained in the relative movement between the substrate transport table 3 and the head unit 11 (droplet ejection head 111), and the high accuracy can always be stably maintained. As a result, pattern formation (drawing) with droplets can be performed with higher accuracy and always stably.
Although the stone material which comprises the stone surface plate 22 is not specifically limited, It is preferable that they are either Belfast black, Rustenburg, Kurnuol, and Indian black. Thereby, said each characteristic of the stone surface plate 22 can be made more excellent.
[0046]
Such a stone surface plate 22 is supported by the gantry 21. The gantry 21 includes a frame 211 formed by assembling an angle member or the like in a square shape, and a plurality of support legs 212 distributed and arranged at the lower part of the frame 211. The gantry 21 preferably has an anti-vibration structure such as an air spring or a rubber bush, and is configured not to transmit vibration from the floor to the stone surface plate 22 as much as possible.
The stone surface plate 22 is preferably supported (mounted) on the gantry 21 in a non-fastened state (non-fixed state) with the gantry 21. As a result, it is possible to avoid thermal expansion or the like occurring in the gantry 21 from affecting the stone surface plate 22, and as a result, it is possible to perform pattern formation (drawing) with droplets with higher accuracy.
[0047]
Moreover, in this embodiment, the stone surface plate 22 has a Y-axis direction movement mechanism support portion 221 that is a rectangle that is long in the Y-axis direction in plan view, and the Y-axis direction movement mechanism support portion 221 in the middle of the longitudinal direction. It is comprised by the support | pillar support parts 222 and 223 which each protrude on both sides in the X-axis direction from the part, As a result, the shape of the stone surface plate 22 has comprised the cross shape by planar view. In other words, the stone surface plate 22 has a shape in which four corners are removed from the rectangle in plan view. Four struts 23 to be described later are installed on the strut support portions 222 and 223. That is, the stone surface plate 22 has a shape in which a portion where the Y-axis direction moving mechanism 5 and the support column 23 are not installed is removed from a rectangle in plan view.
[0048]
As a result, the weight of the stone surface plate 22 can be reduced, and the area occupied by the stone surface plate 22 can be reduced, so that the droplet discharge device 1 can be easily transported to the installation location and installed in the factory. The load capacity of the floor of the place can be small, and the area occupied by the droplet discharge system 10 in the factory can be reduced. In addition, even if such a stone surface plate 22 in this embodiment is comprised with one stone material, it may be comprised combining several stone materials.
[0049]
5 is a plan view showing the head unit and the X-axis direction moving mechanism in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, FIG. 6 is a side view seen from the direction of arrow A in FIG. 5, and FIG. It is the front view seen from the arrow B direction in FIG.
As shown in FIG. 6 and FIG. 7, on the stone surface plate 22 (the column support parts 222 and 223), a total of four columns 23 that face each other with the Y-axis direction moving mechanism 5 interposed therebetween, and these Two girders (beams) 24 and 25 extending in the X-axis direction and supported by the column 23 are installed. The substrate transfer table 3 can pass under the girders 24 and 25.
[0050]
The X-axis direction moving mechanism 6 that moves the droplet discharge head 111 (head unit 11) in the X-axis direction is supported by four columns 23 via girders 24 and 25. As shown in FIG. 5, the X-axis direction moving mechanism 6 is installed on a main carriage (head unit support) 61 that supports the head unit 11 and the beam 24, and guides the main carriage 61 in the X-axis direction. It has a linear motor actuator 62 that drives, and a guide 63 that is installed on the beam 25 and guides the main carriage 61 in the X-axis direction. The main carriage 61 is installed so as to be bridged between the linear motor actuator 62 and the guide 63.
In the present embodiment, a relative movement mechanism that relatively moves the substrate transport table 3 and the droplet discharge head 111 (head unit 11) by the Y-axis direction movement mechanism 5 and the X-axis direction movement mechanism 6 is configured. Is done.
[0051]
The head unit 11 is detachably supported with respect to the main carriage 61. As the head unit 11 moves in the X-axis direction together with the main carriage 61, sub-scanning of the droplet discharge head 111 is performed.
The head unit 11 is supported by the main carriage 61 via a head unit height adjustment mechanism 20 that adjusts the height of the head unit 11 with respect to the main carriage 61. Thereby, according to the thickness of the substrate W, the gap between the nozzle formation surface of the droplet discharge head 111 and the substrate W can be adjusted. The head unit height adjusting mechanism 20 has, for example, a configuration including a ball screw and a motor that rotationally drives the ball screw.
[0052]
As shown in FIG. 7, the linear motor actuator 62 and the guide 63 are provided so as to extend further outward beyond the column 23. Thereby, the head unit 11 can move to the upper part of the incidental device 12 described later.
A camera carriage 106 is further installed between the linear motor actuator 62 and the guide 63 so as to be bridged. The camera carriage 106 shares the linear motor actuator 62 and the guide 63 with the main carriage 61 and moves in the X-axis direction independently of the main carriage 61.
The camera carriage 106 is provided with a recognition camera 107 for recognizing an image of alignment marks provided at predetermined positions on the substrate W. The recognition camera 107 is supported in a state where it is suspended downward from the camera carriage 106. Note that the recognition camera 107 may be used for other purposes.
[0053]
FIG. 8 is a schematic diagram for explaining a pattern forming operation (drawing operation) in the droplet discharge apparatus shown in FIGS. 1 and 2. As shown in FIG. 8, the head unit 11 is provided with a plurality of droplet discharge heads 111 (12 in this embodiment). A large number of ejection nozzles (openings) for ejecting liquid droplets are formed in a row or in two or more rows on the nozzle formation surface of each droplet ejection head 111. In the head unit 11, twelve droplet discharge heads 111 are arranged in two rows in a row in the sub-scanning direction (X-axis direction), and each droplet discharge head 111 has a nozzle row in the sub-scanning direction. The posture is inclined with respect to the scanning direction.
[0054]
The droplet discharge head 111 is provided with a drive unit having a piezoelectric element (piezo element) (not shown) as a drive element for each discharge nozzle. The control device 16 controls the drive of each drive unit via a driver (not shown) for each droplet discharge head 111. Accordingly, each droplet discharge head 111 discharges a droplet from a predetermined discharge nozzle of the predetermined droplet discharge head 111. In this case, for example, when a predetermined voltage is applied to the piezoelectric element, the piezoelectric element is deformed (stretched), whereby the corresponding pressure chamber (liquid chamber) is pressurized and the corresponding discharge nozzle (the corresponding pressure) A predetermined amount of droplets is discharged from a discharge nozzle communicating with the chamber.
[0055]
In the present invention, the droplet discharge head 111 is not limited to the above configuration. For example, the droplet to be discharged is heated by a heater as a drive element to boil, and the droplet is discharged from the discharge nozzle by the pressure. It may be configured as such.
Further, the above-described arrangement pattern of the droplet discharge heads 111 in the head unit 11 is an example. For example, the adjacent droplet discharge heads 111 in each head row are arranged with an angle of 90 ° (the adjacent heads are Alternatively, the droplet discharge heads 111 between the head rows may be arranged at an angle of 90 ° (the heads between the rows are in a “C” shape). In any case, it is sufficient that dots formed by all the discharge nozzles of the plurality of droplet discharge heads 111 are continuous in the sub-scanning direction.
[0056]
Furthermore, the droplet discharge heads 111 do not have to be installed in a posture inclined with respect to the sub-scanning direction, and a plurality of droplet discharge heads 111 may be arranged in a staggered or stepped manner. . Further, as long as a nozzle row (dot row) having a predetermined length can be configured, it may be configured by a single droplet discharge head 111. A plurality of head units 11 may be installed on the main carriage 61.
[0057]
Next, the overall operation of the droplet discharge device 1 under the control of the control device 16 will be briefly described. When the substrate W is supplied onto the substrate transfer table 3 and is positioned (prealigned) at a predetermined position on the substrate transfer table 3 by the operation of the substrate positioning device (not shown) included in the droplet discharge device 1, The substrate W is attracted and fixed to the substrate transport table 3 by air suction from each suction port 332 of the transport table 3. Next, when the substrate transport table 3 and the camera carriage 106 are moved, the recognition camera 107 is moved above an alignment mark provided at a predetermined position (one or a plurality of positions) of the substrate W. recognize. Based on the recognition result, the θ-axis rotating mechanism 105 is operated to correct the angle of the substrate W about the θ-axis, and the position correction of the substrate W in the X-axis direction and the Y-axis direction is performed on the data ( Book alignment).
When the alignment operation of the substrate W as described above is completed, the droplet discharge device 1 starts an operation of forming (drawing) a predetermined pattern on the substrate W. This operation is performed by main-scanning and sub-scanning the droplet discharge head 111 (head unit 11) with respect to the substrate W.
[0058]
In the droplet discharge apparatus 1 of the present embodiment, main scanning is performed while moving the substrate W in the Y-axis direction by the movement of the substrate transfer table 3 while the head unit 11 is stopped (not moved) with respect to the apparatus body 2. This is performed by discharging droplets from the droplet discharge heads 111 to the substrate W. That is, in the present embodiment, the Y-axis direction is the main scanning direction.
[0059]
This main scanning may be performed while the substrate transport table 3 is moving forward (forward), while it is moving backward (backward), or both forward and backward (reciprocating). Alternatively, the substrate transfer table 3 may be reciprocated a plurality of times and repeatedly performed a plurality of times. By such main scanning, ejection of liquid droplets is completed in a region extending along the main scanning direction with a predetermined width (width that can be ejected by the head unit 11) on the substrate W.
Sub scanning is performed after such main scanning. The sub-scanning is performed by moving the head unit 11 in the X-axis direction by the predetermined width by moving the main carriage 61 when droplets are not ejected. That is, in the present embodiment, the X-axis direction is the sub-scanning direction.
After such sub-scanning, the same main scanning as described above is performed. As a result, droplets are ejected to a region adjacent to the region where the droplets were ejected in the previous main scan.
In this manner, by alternately repeating main scanning and sub-scanning, droplets are ejected over the entire area of the substrate W, and a predetermined pattern is formed on the substrate W by the ejected droplets (liquid). Can be formed (drawn).
[0060]
In the present invention, the main scanning direction and the sub-scanning direction may be opposite to those described above. That is, main scanning is performed by discharging droplets onto the substrate W while moving the droplet discharge head 111 (head unit 11) in the X-axis direction while the substrate W (substrate transfer table 3) is stopped. The sub-scanning may be performed by moving the substrate W (substrate transport table 3) in the Y-axis direction when droplets are not discharged.
[0061]
10 and 11 are a perspective view and a side view, respectively, showing an auxiliary device in the droplet discharge device shown in FIGS. Hereinafter, the accessory device 12 of the droplet discharge device 1 will be described with reference to these drawings.
The head unit 11 stands by at a position above the auxiliary device 12 when, for example, the substrate W is supplied or removed. During this waiting time, the nozzle forming surface of each droplet discharge head 111 is cleaned (cleaning), a capping suction operation to be described later is performed, or regular discarded discharge (periodic flushing) is performed.
[0062]
The accessory device 12 is installed on the side of the gantry 21 and the stone surface plate 22 of the device main body 2 (the front side in the X-axis direction with respect to the device main body 2). As shown in FIG. 10, the accessory device 12 includes an attachment base 85 installed on the floor, a moving base 86 movable on the attachment base 85 in the Y-axis direction, and a cleaning unit (droplet discharge head cleaning device). 81, a regular flushing unit 82, a capping unit 83, and a discharge amount measuring unit (weight measuring unit) 84.
[0063]
The cleaning unit 81, the regular flushing unit 82, the capping unit 83, and the discharge amount measuring unit 84 are each a droplet discharge head maintenance unit that is used for function maintenance, function recovery, adjustment, or inspection of the droplet discharge head 111. It is a kind of. In the present embodiment, the cleaning unit 81, the regular flushing unit 82, the capping unit 83, and the discharge amount measuring unit 84 (hereinafter collectively referred to as “four types of droplet discharge head maintenance unit”) are a maintenance unit. They are arranged together (collectively) on a movable table 86 as an installation section (maintenance unit installation area).
[0064]
The attachment base 85 of the auxiliary device 12 has a long shape in the Y-axis direction, and a maintenance unit moving mechanism 854 is installed on the upper part (upper surface) thereof. The maintenance unit moving mechanism 854 includes a pair of guides (rails) 851 that guide the moving table 86 in the Y-axis direction, a ball screw 852, and a motor 853 that rotationally drives the ball screw 852. 86 can be moved (forward and backward) in the Y-axis direction.
[0065]
As shown in FIG. 11, the moving table 86 includes an upper stage 861, a lower stage 862, an elevating mechanism (height adjusting mechanism) 863 using a ball screw, and an elevating handle 864. The upper stage 861 can be moved up and down by a lifting mechanism 863 relative to the lower stage 862, and the height of the upper stage 861 can be adjusted by turning the lifting handle 864 to operate the lifting mechanism 863. The elevating mechanism 863 is not limited to the manual operation as described above, and may be configured to operate automatically by providing a drive source such as a motor.
[0066]
On the upper stage 861 of the moving table 86, a cleaning unit 81, a regular flushing unit 82, a capping unit 83, and a discharge amount measuring unit 84 are arranged in a line along the Y-axis direction. Accordingly, when the head unit 11 is positioned above the auxiliary device 12 by moving the movable table 86 in the Y-axis direction, one of these four types of droplet discharge head maintenance units is selected below the head unit 11. And can be maintained by the selected droplet discharge head maintenance unit.
[0067]
For example, in the state where the moving table 86 is in the state shown in FIG. 1, when the head unit 11 moves above the auxiliary device 12, the capping unit 83 is located below each droplet discharge head 111 of the head unit 11. Capping can be performed. Then, by changing the position of the moving table 86, the nozzle forming surface of the droplet discharge head 111 using the cleaning unit 81 is cleaned, the waste discharge using the regular flushing unit 82, or the discharge amount measuring unit 84. Each of the droplets can be discharged.
[0068]
Further, in the present embodiment, when the height of the droplet discharge head 111 (head unit 11) is changed by the head unit height adjusting mechanism 20 according to the thickness of the substrate W, the lifting mechanism 863 moves the height above the upper stage 861. The height of each installed droplet discharge head maintenance unit can be adjusted in accordance with this, and it can easily cope with a change in the height of the droplet discharge head 111 accompanying a change in the thickness of the substrate W to be manufactured. be able to. Further, the height adjustment (height adjustment) between each droplet discharge head maintenance unit and the droplet discharge head 111 may be performed by moving the head unit 11 up and down by the head unit height adjustment mechanism 20.
[0069]
Hereinafter, the cleaning unit 81, the regular flushing unit 82, and the discharge amount measuring unit 84 will be sequentially described. The capping unit 83 will be described later separately.
As shown in FIG. 10, the cleaning unit 81 includes a wiping sheet supply unit 150 and a roller unit 160. The wiping sheet supply unit 150 includes an unwinding roller 78 for unwinding and supplying a wiping sheet (not shown), a winding roller 79 for winding the wiping sheet after wiping each nozzle forming surface, and the winding roller 79, and an electric motor that rotationally drives 79. The roller unit 160 includes a roller 76 that presses the wiping sheet unwound from the unwinding roller 78 against each nozzle formation surface.
[0070]
According to such a cleaning unit 81, a new cleaning surface of the wiping sheet can be continuously supplied to the nozzle formation surface of each droplet discharge head 111. In addition, since the wiping sheet is pressed against each nozzle forming surface by the pressing force of the roller 76, the cleaning surface can be reliably applied to each nozzle forming surface.
[0071]
In the vicinity of the roller 76, a nozzle unit 164 having a plurality of injection ports (nozzles) for injecting the cleaning liquid toward the wiping sheet before wiping each nozzle forming surface is installed. The nozzle unit 164 ejects the cleaning liquid from the ejection ports from the back surface (or front surface) side of the wiping sheet that passes above (or below) the wiping sheet. Thereby, the wiping sheet immediately before wiping each nozzle forming surface can absorb the cleaning liquid and moisten the wiping sheet. In addition, although it does not specifically limit as a washing | cleaning liquid, For example, various cleaning agents, an organic solvent, etc. can be used. A cleaning liquid is supplied to each ejection port of the nozzle unit 164 by a cleaning liquid supply device 50 described later.
[0072]
By such a cleaning unit 81, the liquid to be ejected that adheres to the nozzle formation surface of the liquid droplet ejection head 111 is wiped off periodically or at any time, so that the liquid droplets are ejected from each ejection nozzle in the ejection direction (direction to fly). Since twisting (disturbance) is prevented and droplets can be ejected straightly, pattern formation (drawing) on the substrate W can be performed with high accuracy.
[0073]
As shown in FIG. 10, the regular flushing unit 82 has a liquid receiving portion 821 that receives the liquid droplets discarded and discharged by the liquid droplet discharge head 111. The head unit 11 discards and discharges droplets from each droplet discharge head 111 to the liquid receiving portion 821 periodically or at any time during standby. The purpose of performing such an operation is as follows.
[0074]
In general, when the time from when the droplet discharge is stopped to when the droplet is restarted becomes longer, the droplet discharge head 111 disturbs the discharge direction of the droplet, the discharge amount becomes too large, or the discharge amount becomes too small. Such a phenomenon tends to occur and the droplet discharge operation tends to become unstable. That is, immediately after the droplet discharge head 111 starts the discharge of the droplet, the discharge state is not stable and it is difficult to fly straight, and the discharge amount is not stable. For this reason, even during standby, by discarding and discharging to the liquid receiving portion 821, a state in which the droplet discharge head 111 can properly discharge droplets is maintained.
[0075]
The liquid receiving portion 821 is preferably provided with a liquid absorber made of, for example, a sponge. The liquid droplets discarded and discharged to the liquid receiving portion 821 are first absorbed by the liquid absorber. Thereby, it is possible to more reliably prevent the discarded and discharged droplets from being scattered around. In addition, a suction tube (not shown) is connected to the liquid receiving portion 821, and the discharge target liquid collected in the liquid receiving portion 821 is collected through this suction tube and is discharged by the drainage device 18 described later. , Collected and stored.
[0076]
The discharge amount measuring unit 84 is used to measure a single droplet discharge amount (weight) from the droplet discharge head 111 as a preparation stage for a droplet discharge operation on the substrate W. That is, before the droplet discharge operation on the substrate W, the head unit 11 moves above the discharge amount measurement unit 84 and measures the discharge amount one or more times from all the discharge nozzles of each droplet discharge head 111. Discharge to the unit 84 for use. The discharge amount measuring unit 84 includes a detachable liquid receiving portion that receives the discharged liquid droplets, and an electronic balance installed on the outside of the liquid droplet discharging system 10 for the weight of the liquid received by the liquid receiving portion. Measure with a weighing scale. Alternatively, a weight meter may be provided in the discharge amount measuring unit 84 and the weight may be measured here. Based on the weight measurement result, the control device 16 calculates the amount (weight) of one droplet discharged from the discharge nozzle, and adjusts the liquid so that the calculated value becomes equal to a predetermined design value. The applied voltage of the head driver that drives the droplet discharge head 111 is corrected.
[0077]
12 is a piping system diagram showing a discharge target liquid supply device, a cleaning liquid supply device, and a drainage device in the liquid droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, and FIG. 13 schematically shows the configuration of the liquid amount detection means. FIG. Hereinafter, the discharge target liquid supply device 4, the cleaning liquid supply device 50, and the drainage device 18 in the droplet discharge device 1 will be described based on these drawings and FIG. 6.
First, the discharge target liquid supply device 4 that supplies the discharge target liquid discharged from each droplet discharge head 111 will be described.
As shown in FIG. 12, the discharge target liquid supply device 4 includes a primary tank system 40 that stores the discharge target liquid, and one primary flow path 411 that connects the primary tank system 40 and a secondary tank 412 described later. And have. The primary tank system 40 includes a first primary tank 401 and a second primary tank 402 installed in the tank storage unit 13, an outflow pipe 403 connected to the first primary tank 401, and a second primary tank. An outflow pipe 404 connected to 402 and a three-way valve (flow path switching means) 405 are provided. The three-way valve 405 is connected to a primary flow path 411 and outflow pipes 403 and 404, respectively. The discharge target liquid supply device 4 selectively switches from one of the first primary tank 401 and the second primary tank 402 by switching the flow path with the three-way valve 405 based on the control of the control device 16. Can be supplied to the primary flow path 411.
[0078]
Further, the discharge target liquid supply device 4 includes a pressurizing unit 406 that supplies pressurized gas into the first primary tank 401 and the second primary tank 402, and the first primary tank 401 and the second primary tank 402. Pressure pipes 407 and 408 connected to each other, a pipe 410 from the pressurizing means 406, and a three-way valve (pressurizing path switching means) 409 to which these three pipes are connected. As the pressurizing means 406, for example, a pressurized gas supply source that supplies a gas such as pressurized nitrogen gas is used. The discharge target liquid supply device 4 switches the flow path with the three-way valve 409 based on the control of the control device 16, thereby pressurizing the inside of one of the first primary tank 401 and the second primary tank 402. Is selectively pressurized, and the discharge target liquid is delivered by the pressure.
[0079]
As shown in FIG. 6, the secondary tank 412 is fixedly installed with respect to the main carriage 102. That is, the secondary tank 412 moves in the X axis direction together with the main carriage 102. The other end of the primary flow path 411 extending from the three-way valve 405 is connected to the secondary tank 412, and the discharge target liquid of the primary tank system 40 flows into the secondary tank 412 through the primary flow path 411. .
The primary flow path 411 is preferably composed of a flexible tube. In the middle of the primary flow path 411, the primary flow path 411 is relayed so that the portion of the primary flow path 411 on the secondary tank 412 side can move in accordance with the movement of the secondary tank 412 that moves with the main carriage 102. A relay unit 413 is provided.
[0080]
The secondary tank 412 and the head unit 11 are connected by twelve secondary flow paths 414 corresponding to each of the twelve droplet discharge heads 111 provided in the head unit 11. That is, the head unit 11 is provided with twelve inlets (connection ports) 112 corresponding to the respective droplet discharge heads 111, and the other ends of the twelve secondary flow paths 414 extending from the secondary tank 412. Are connected to the respective inlets 112. In FIG. 6, only two of the twelve secondary flow paths 414 are shown for easy viewing. In the illustrated configuration, the secondary flow path 414 is configured by a flexible tube, but is not limited thereto, and may be configured by a hard tube. Hereinafter, the primary flow path 411, the secondary tank 412 and the secondary flow path 414 may be collectively referred to as a “discharge target liquid flow path”.
[0081]
The pressure in the secondary tank 412 is negatively controlled by a pressure control unit (negative pressure control unit) (not shown). The discharge target liquid whose pressure is controlled in the secondary tank 412 is supplied to each droplet discharge head 111 through each secondary channel 414. Thereby, the pressure of the discharge target liquid supplied to each droplet discharge head 111 is controlled, and a good droplet discharge state is obtained at each nozzle of each droplet discharge head 111.
[0082]
In the middle of each secondary flow path 414, a shut-off valve 415 capable of blocking the flow path is provided. When the pressure control unit does not function for some reason, the shutoff valve 415 shuts off the secondary flow path 414 and discharges it from the secondary tank 412 to the droplet discharge head 111 located at a position lower than the secondary tank 412. The target liquid continues to flow and is prevented from leaking from the droplet discharge head 111.
[0083]
As shown in FIG. 13A, the discharge target liquid supply device 4 further includes a liquid amount detection unit 416 that detects the amount of liquid in the first primary tank 401. The liquid amount detection means 416 is provided along the vertical direction outside the first primary tank 401, and has a light-transmitting tube 417 whose lumen communicates with the first primary tank 401, and the first primary tank 401. A light projecting unit 418 and a light receiving unit 419 are disposed near the bottom of the primary tank 401 so as to face each other with the tube 417 interposed therebetween. When the amount of liquid in the first primary tank 401 decreases due to a change in the amount of light received by the light receiving unit 419, the liquid amount detecting means 416 detects this when the predetermined lower limit level E (empty state) is reached. Can be detected. The detection result of the liquid amount detection means 416 is input to the control device 16.
[0084]
Further, the discharge target liquid supply device 4 includes the same liquid amount detection means 420 that detects the amount of liquid in the second primary tank 402. When the amount of liquid in the second primary tank 402 decreases and reaches a predetermined lower limit level E, the liquid amount detecting means 420 detects this and inputs the detection result to the control device 16.
In the state shown in FIG. 12, the discharge target liquid supply device 4 is pressurized in the first primary tank 401 by the pressurizing unit 406, and the discharge target liquid in the first primary tank 401 is caused by this pressure. Then, the liquid is delivered through the outflow pipe 403 and the primary flow path 411 and supplied to the droplet discharge head 111 through the secondary tank 412 and the secondary flow path 414.
[0085]
When the discharge target liquid in the first primary tank 401 is consumed and the liquid amount detection means 416 detects that the first primary tank 401 is emptied, the control device 16 indicates the detection result. Based on this, the three-way valve 405 and the three-way valve 409 are switched. As a result, the pressurizing means 406 pressurizes the second primary tank 402, and the discharge target liquid in the second primary tank 402 is sent out through the outflow pipe 404 and the primary flow path 411 by this pressure. Then, the state is switched to the state of being supplied to the droplet discharge head 111.
[0086]
While the discharge target liquid is being supplied from the second primary tank 402, the operator removes the empty first primary tank 401 from the rack 131, refills the discharge target liquid, and then enters the rack 131. return. Thereafter, when the liquid amount detection means 420 detects that the second primary tank 402 is empty, the control device 16 switches the three-way valve 405 and the three-way valve 409, respectively, and discharges the target liquid from the first primary tank 401. Switch to the state to supply. Then, while the discharge target liquid is supplied from the first primary tank 401, the operator removes the empty second primary tank 402 from the rack 131 and refills the discharge target liquid.
[0087]
When the first primary tank 401 is emptied and when the second primary tank 402 is emptied, the control device 16 notifies that and replaces the tank (replenishment of the discharge target liquid). It is preferable to prompt the operator. Examples of the notification method include a method of displaying characters or figures on the operation panel 100, or making sounds or sounds. In addition, when the first primary tank 401 is emptied and when the second primary tank 402 is emptied, the letters, figures, sounds, or voices for notification are made different, and any primary It is preferable to know if the tank is empty.
[0088]
Since the discharge target liquid supply device 4 of the present embodiment as described above is used while switching between the first primary tank 401 and the second primary tank 402, the overall capacity can be increased and the liquid droplets can be reduced. It is possible to effectively cope with an increase in the amount of liquid to be ejected accompanying the increase in size of the ejection device 1. In addition, the capacity of the first primary tank 401 and the second primary tank 402 can be increased without increasing the capacity of each of the first primary tank 401 and the second primary tank 402, so that the weight of the first primary tank 401 and the second primary tank 402 is increased. (Especially, the weight during filling) can be prevented from becoming too heavy, and the burden on the operator during tank replacement work can be reduced.
[0089]
Next, the cleaning liquid supply device 50 that supplies the cleaning liquid used in the cleaning unit 81 will be described, but the description of the same matters as the discharge target liquid supply device 4 will be omitted. As shown in FIG. 12, the cleaning liquid supply apparatus 50 includes a first cleaning liquid tank 501 and a second cleaning liquid tank 502 installed in the tank storage unit 13, and an outflow pipe 503 connected to the first cleaning liquid tank 501. An outflow pipe 504 connected to the second cleaning liquid tank 502, a three-way valve (flow path switching means) 505 connected to the outflow pipes 503 and 504 and a liquid supply pipe 511 to the cleaning unit 81, respectively. Pressurizing means 506 for supplying pressurized gas into the first cleaning liquid tank 501 and the second primary tank 502, a pressure pipe 507 connected to the first cleaning liquid tank 501, and a connection to the second cleaning liquid tank 502 Pressure pipe 508, a three-way valve (pressurization pipe) 507 and 508, and a pipe (path) 510 from the pressurizing means 506 are respectively connected. A path switching means) 509, and a liquid amount detecting means for detecting the residual liquid amount of the first solution tank 501 and a second cleaning liquid tank 502 (not shown).
[0090]
Next, the drainage device 18 that collects the drained liquid (discharge target liquid) discarded and discharged from the droplet discharge head 111 in the pre-drawing flushing unit 104, the regular flushing unit 82, and the dot dropout detection unit 19 will be described. Description of the same matters as those of the liquid recovery apparatus 17 is omitted.
As shown in FIG. 12, the drainage device 18 includes a first drainage tank 181 and a second drainage tank 182 installed in the tank storage unit 13 (not shown in FIG. 9), It has an inflow pipe 183 connected to one drainage tank 181, an inflow pipe 184 connected to the second drainage tank 182, and a three-way valve (flow path switching means) 185.
[0091]
The three-way valve 185 is connected to a drain pipe 186 into which suction tubes (not shown) from the pre-drawing flushing unit 104, the regular flushing unit 82, and the dot dropout detection unit 19 are joined, and inflow pipes 183 and 184, respectively. ing. Further, the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182 are respectively provided with liquid amount detection means (not shown) similar to liquid amount detection means 177a and 177b described later.
[0092]
In the present embodiment, with such a drainage device 18, the ejection target liquid discharged from the pre-drawing flushing unit 104, the regular flushing unit 82, and the dot dropout detection unit 19 is collected and stored in common. Since the liquid to be discharged collected from each of these units is once exposed to the outside at the liquid receiving portion of each unit, foreign matter (dust) is mixed in, or the solvent evaporates by touching the outside air and the concentration is increased. It is usually discarded because it has changed. In the present embodiment, these liquids to be discarded are stored in the first drainage tank 181 and the second drainage tank 182 in common, so that the work of discarding the liquid can be performed only once, and the labor of the operator is reduced. Contributes to mitigation.
[0093]
The discharge target liquid collected by the drainage device 18 may be reused as the discharge target liquid discharged from the droplet discharge head 111 without being discarded. As a result, wasteful consumption of the liquid to be ejected can be reduced, so that the manufacturing cost of the substrate W can be further reduced. When the discharge target liquid collected by the drainage device 18 is reused, before returning to the first primary tank 401 or the second primary tank 402, an impurity removal process, a deaeration process, and the like described later, It is preferable to perform various treatments such as density adjustment.
[0094]
14 and 15 are a perspective view and a side view, respectively, showing a capping unit in the auxiliary device shown in FIGS. 10 and 11, and FIG. 16 is a cross-sectional view showing a state in which the cap is in contact with the droplet discharge head. Is a system diagram of suction piping to each cap of the capping unit, FIG. 19 is a flowchart showing a process flow when the droplet discharge device is operated, and FIGS. 20 and 21 are an ejector, a flow path switching valve, and a flow chart, respectively. It is the perspective view and front view which show an adjustment valve. Hereinafter, the capping unit 83, its suction piping system, and the capping suction operation will be described with reference to these drawings and FIG. In FIG. 20 and FIG. 21, the piping (tube) is not shown.
[0095]
As shown in FIG. 14, the capping unit 83 includes a base plate 831 and twelve caps 87 disposed on the base plate 831. The twelve caps 87 correspond to the twelve droplet discharge heads 111 mounted on the head unit 11 and are arranged in the same arrangement pattern as the droplet discharge heads 111. Thereby, each cap 87 can be brought into contact (contact) with the discharge nozzle forming surface of the corresponding droplet discharge head 111.
[0096]
As shown in FIG. 15, the capping unit 83 has a support portion 832 fixed on the moving table 86, and the base plate 831 is supported by the support portion 832. The support portion 832 is provided with a cap lifting mechanism 833 having a pneumatic cylinder that moves the base plate 831 up and down. By the operation of the cap lifting mechanism 833, the caps 87 can be moved up and down together. The cap lifting mechanism 833 can adjust the lifting stroke by adjusting the stopper position of the piston rod of the pneumatic cylinder.
[0097]
As shown in FIG. 16, the cap 87 has a cap body 871 and a cap holder 872, and the cap body 871 is urged upward by two coil springs 873 and can move up and down within a certain range. In this state, it is held by the cap holder 872. On the upper surface of the cap body 871, a recess 874 that can include the discharge nozzle group formed in the droplet discharge head 111 is formed, and a seal packing that can be in close contact with the droplet discharge head 111 is formed on the peripheral portion of the recess 874. Seal member 875 is installed.
[0098]
On the bottom of the recess 874, an absorbent material 876 such as a sponge capable of absorbing liquid is installed in a state of being pressed from above by a frame-shaped pressing member 877. A discharge port 878 for discharging the fluid sucked from the droplet discharge head 111 is formed at the bottom of the recess 874, and the discharge port 878 communicates with the L-shaped joint 879. The L-shaped joint 879 is connected to a pipe (tube) (not shown) that constitutes a suction channel 882 described later.
[0099]
Each cap 87 is provided with an opening valve 880 so that it can be opened to the outside on the bottom surface side of the recess 874. The release valve 880 is urged upward by a coil spring 881, and at the final stage of the capping suction operation, the release valve 880 is pulled down to open, so that the liquid impregnated in the absorbent 876 is also removed. Can be aspirated.
[0100]
The droplet discharge device 1 has an ejector (vacuum ejector) 60 as suction force generating means for generating suction force (negative pressure) in each cap 87 as described above (in each cap 87). As shown in FIGS. 20 and 21, the ejector 60 has a suction port 601, a supply port 602, and a discharge port 603. Although not shown in FIG. 9, the ejector 60 is installed in the tank storage unit 13.
[0101]
Compressed air (working fluid) supplied from compressed air supply means (working fluid supply means) 999 flows into the supply port 602 of the ejector 60, and the compressed air that has flowed in is discharged from the discharge port 603. A suction force (negative pressure) is generated in the suction port 601 due to the flow of compressed air generated in the ejector 60. As the compressed air supply means 999, a compressed air (compressed air) supply device provided in a factory may be used, or the droplet discharge device 1 may have an original one.
[0102]
The control device 16 operates the ejector 60 in a state where each cap 87 is in contact with (adhered to) each droplet discharge head 111, and an operation of sucking fluid from each discharge nozzle of each droplet discharge head 111 by the suction force. (Hereinafter referred to as “capping suction operation”) can be controlled.
As shown in FIG. 18, in this embodiment, the X-axis direction moving mechanism 6, the maintenance unit moving mechanism 854, and the cap lifting / lowering mechanism 833 contact each cap 87 with each droplet discharge head 111 (adherence contact). The head-cap relative movement mechanism 300 is configured to be operable.
[0103]
In the capping suction operation, the control device 16 operates each part as follows. First, the control device 16 operates the maintenance unit moving mechanism 854 to move the capping unit 83 to a position below the moving region of the head unit 11 (position shown in FIG. 1) and also operates the X-axis direction moving mechanism 6. Thus, the head unit 11 is moved to a position above the auxiliary device 12. Thereby, the head unit 11 is positioned above the capping unit 83. Next, the cap lifting mechanism 833 is operated to raise each cap 87, thereby bringing each cap 87 into contact (adhering) to the nozzle formation surface of each droplet discharge head 111. Next, the control device 16 operates the ejector 60 and sucks fluid (gas and liquid) from each discharge nozzle of each droplet discharge head 111 by this suction force.
[0104]
The operation of bringing each cap 87 into contact with the nozzle formation surface of each droplet discharge head 111 operates the head unit height adjustment mechanism 20 instead of operating the cap lifting mechanism 833 to raise each cap 87. Then, the head unit 11 may be lowered. That is, the head unit height adjusting mechanism 20 may constitute a part of the head-cap relative moving mechanism 300.
[0105]
In the droplet discharge device 1, such a capping suction operation is performed periodically or as needed. In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, four types of applications are applied for the following four purposes. Perform capping suction operation.
The first capping suction operation is performed for the purpose of filling the droplet discharge head 111 with the discharge target liquid when the droplet discharge head 111 is initially filled with the discharge target liquid.
The second capping suction operation is performed for the purpose of eliminating clogging of each discharge nozzle of each droplet discharge head 111 and restoring an appropriate discharge state.
[0106]
The third capping suction operation is performed for the purpose of discharging the discharge target liquid from each droplet discharge head 111 and the flow path of the discharge target liquid. In other words, the third capping suction operation is performed in each droplet discharge head 111 and in the flow of the discharge target liquid when the discharge target liquid to be used is exchanged for a different type or when the production of the substrate W is once finished. This is performed when the liquid to be discharged is completely discharged (extracted) from the inside of the road. When performing the third capping suction operation, the ejection target liquid supply device 4 stops the supply of the ejection target liquid to each droplet ejection head 111.
[0107]
In the fourth capping suction operation, the cleaning liquid supplied to each droplet discharge head 111 is sucked to clean the inside of each droplet discharge head 111 and the flow path of the discharge target liquid (hereinafter simply referred to as “in-flow path cleaning”). "It is also called"). When performing the fourth capping suction operation, the first primary tank 401 or the second primary tank 402 of the tank storage unit 13 is removed, and a cleaning liquid tank storing a cleaning liquid (for example, a solvent such as butyl alcohol) instead is stored. The cleaning liquid is stored in each droplet discharge head 111 from the cleaning liquid tank via the primary flow path 411, the secondary tank 412 and the secondary flow path 414. The cleaning liquid tank may be installed in the tank storage unit 13 from the beginning, and may be configured to supply the cleaning liquid by switching the flow path when cleaning is performed.
Further, in each of these capping suction operations, an effect of preventing the nozzle formation surface of the droplet discharge head 111 from drying can also be obtained.
[0108]
The control device 16 has control modes of a first mode, a second mode, a third mode, and a fourth mode corresponding to the first to fourth capping suction operations. The operator operates the operation panel 100 to select one of the first to fourth modes and inputs the type of capping suction operation to be performed. The control device 16 controls each unit so as to execute the capping suction operation corresponding to the selected (input) mode among the first to fourth capping suction operations.
[0109]
Hereinafter, an example of a process flow when the droplet discharge device 1 operates will be described with reference to FIG. When the operation of the droplet discharge device 1 is started, as one of the preparatory operations before the operation, the first capping suction operation in the first mode is performed to perform the initial filling of the discharge target liquid (step S1). When the initial filling of the discharge target liquid and other preparation operations are completed, a droplet discharge operation is performed on the substrate W to form (draw) a pattern (step S2).
[0110]
When pattern formation (drawing) on the substrate W is finished (step S3), and further production of the substrate W is continued (step S4), dot dropout inspection is performed using the dot dropout detection unit 19, and each droplet is detected. It is inspected whether each ejection nozzle of the ejection head 111 is clogged (step S5). If no nozzle clogging has occurred in any of the discharge nozzles as a result of the missing dot inspection, the process returns to step S2 to restart the pattern formation (drawing) on the new substrate W.
[0111]
As a result of the missing dot inspection, if there is a discharge nozzle that is clogged with nozzles, the second capping suction operation in the second mode is performed to eliminate the clogging of the discharge nozzle and restore the proper state (step S6). . In this case, suction may be performed only from the droplet discharge head 111 to which the clogged discharge nozzle belongs, or may be suctioned from the entire droplet discharge head 111. When the second capping suction operation is completed, the nozzle forming surface of each droplet discharge head 111 is cleaned using the cleaning unit 81 (step S7). Then, the process returns to step S5, and the missing dot inspection is performed again.
[0112]
In step S4, when the production of the substrate W is not continued (when the discharge target liquid is replaced with a different type or when the production of the substrate W is once finished), the third capping suction in the third mode is performed. The operation is performed, and the discharge target liquid is discharged from within each droplet discharge head 111 and the flow path of the discharge target liquid (step S8). Next, a fourth capping suction operation in the fourth mode is performed, and the cleaning liquid is circulated through each droplet discharge head 111 and the flow path of the discharge target liquid to wash out the discharge target liquid to obtain a clean state (step S9). ). When restarting the production of the substrate W, the process returns to step 1 and starts from the initial filling of the discharge target liquid.
The series of steps shown in FIG. 19 as described above may be configured to be performed fully automatically under the control of the control device 16.
[0113]
Hereinafter, the suction piping system to each cap 87 will be described.
As shown in FIG. 17, a suction flow path 882 is connected to each cap 87. In the middle of each suction flow path 882, an open / close valve 883 that can open and close the flow path (switchable between open / close) is provided. The on-off valve 883 is switched by the operation of the actuator via the driving means 898 and is switched based on the control of the control device 16.
Further, a pressure sensor (pressure detection means) 884 for detecting the pressure in the flow path is installed in the middle of each suction flow path 882. The detection result of the pressure sensor 884 is input to the control device 16, and a suction error or the like in each cap 87 can be detected and notified based on the detection result.
[0114]
In the present embodiment, in the capping suction operation, by switching the opening / closing of each on-off valve 883, the suction channel 882 from the caps 87 other than the one cap 87 among all the caps 87 is shut off, and the one Aspirate from the cap 87. Then, the on-off valve 883 is switched, and all the caps 87 are sequentially sucked one by one.
In this way, the droplet discharge device 1 sequentially performs the capping suction operation on the 12 droplet discharge heads 111 one by one. Thereby, as compared with the case where a single ejector 60 (suction force generating means) simultaneously sucks from a plurality of droplet discharge heads 111, there is no unevenness in the suction force for each droplet discharge head 111. For all the droplet discharge heads 111, the discharge nozzle clogging by the first to fourth capping suction operations, the discharge target liquid filling, the discharge target liquid discharge, and the cleaning in the flow path are more reliably (more effective) To be able to).
[0115]
In the capping suction operation, when the caps 87 to be sucked are sequentially switched, the switching timing can be switched after waiting for a predetermined time to elapse, for example. Or you may switch based on the detection result of the pressure sensor 884, and the method of combining these may be used.
In the present invention, the capping suction operation may be performed on all the droplet discharge heads 111 (all caps 87) all at once without performing such control.
[0116]
As shown in FIG. 17, all the suction flow paths 882 merge together to become a discharge flow path 176, and this discharge flow path 176 is connected to a three-way valve (flow path switching means) 175. The three-way valve 175 can be automatically switched by an actuator, and is switched based on the control of the control device 16.
The downstream side of the three-way valve 175 branches into an inflow channel 173 and an inflow channel 174, and the inflow channel 173 is connected to the first reuse tank 171. It is connected to the second reuse tank 172. The first reuse tank 171 and the second reuse tank 172 are installed in the tank storage unit 13 as described above.
[0117]
In the present embodiment, the first recovery tank 171, the second reuse tank 172, the inflow passage 173, the inflow passage 174, the three-way valve 175, and the discharge passage 176 described above are used as a liquid recovery device (liquid recovery means). ) 17 is configured.
In the first to third capping suction operations, the liquid recovery apparatus 17 uses the first reuse tank 171 or the second reuse of the discharge target liquid that has flowed through the discharge flow path 176 by switching the three-way valve 175. It is introduced into the tank 172 and stored.
[0118]
As described above, the liquid recovery apparatus 17 transfers the liquid to be discharged discharged from each droplet discharge head 11 in the first to third capping suction operations, and transfers it to another liquid (for example, the pre-drawing flushing unit 104). The liquid to be discharged received by the periodic flushing unit 82 and the dot dropout detection unit 19 and the cleaning liquid used for cleaning the liquid droplet discharge heads 111 and the flow paths are not mixed with each other. Stored in the use tank 171 and the second reuse tank 172. Further, the liquid recovery apparatus 17 according to the present embodiment stores the discharge target liquid sucked through the caps 87 in each set in the first reuse tank 171 and the second reuse tank 172 in common.
[0119]
The discharge target liquid collected in the first reuse tank 171 and the second reuse tank 172 is discharged from the droplet discharge head 111 and then to the first reuse tank 171 or the second reuse tank 172. Until it is transported, it is not exposed to the outside and is not in contact with the outside air, so there is little or no foreign matter such as dust, and the solvent evaporates and the concentration changes. There is nothing like that. Further, as described above, since no other liquid is mixed, it is a discharge target liquid in a good state without any alteration, deterioration, foreign matter mixing or the like. Therefore, the discharge target liquid collected in the first reuse tank 171 and the second reuse tank 172 is returned to the first primary tank 401 or the second primary tank 402 and discharged from the droplet discharge head 111. It can be reused as the discharge target liquid. As a result, the wasteful consumption of the liquid to be ejected can be greatly reduced, and the manufacturing cost of the substrate W can be reduced.
[0120]
Before the liquid to be discharged collected in the first reuse tank 171 and the second reuse tank 172 is reused (before returning to the first primary tank 401 or the second primary tank 402). , A process for removing impurities (for example, filtration using a filter), a degassing process for removing a gas dissolved therein (for example, placing the dissolved gas in a reduced pressure environment to foam the dissolved gas, etc.) It is preferable to perform the above process. Thereby, the collected discharge target liquid can be reused in a better state.
[0121]
When performing the fourth capping suction operation, the cleaning liquid is supplied to each droplet discharge head 111 when cleaning each droplet discharge head 111 and the flow path of the discharge target liquid. At this time, a waste liquid tank (not shown) is set in place of the first reuse tank 171 and the second reuse tank 172, and the used cleaning liquid is collected in the waste liquid tank.
[0122]
In the liquid recovery apparatus 17 of the present embodiment, the first reuse tank 171 and the second reuse tank 172 are used while being switched, so that the capacity can be increased as a whole, and the droplet discharge device 1 can be increased in size. Therefore, it is possible to effectively cope with an increase in the suction amount at the time of capping accompanying the conversion. Further, since the entire capacity can be increased without increasing the capacity of each of the first reuse tank 171 and the second reuse tank 172, the first reuse tank 171 and the second reuse tank. It is possible to prevent the weight of 172 (particularly the weight when full) from becoming too heavy, and to reduce the burden on the operator when the tank is replaced. Further, by alternately exchanging (collecting) the first reuse tank 171 and the second reuse tank 172, it is possible to collect the discharge target liquid without stopping the operation of the droplet discharge device 1. it can. Therefore, the production efficiency can be improved and a high production amount (throughput) can be obtained.
[0123]
As shown in FIG. 13B, the liquid recovery apparatus 17 further includes a liquid amount detection unit 177a that detects the amount of liquid in the first reuse tank 171. The liquid amount detecting means 177a is provided along the vertical direction outside the first reuse tank 171, and has a light-transmitting tube 178 whose lumen communicates with the first reuse tank 171; It is composed of a light projecting unit 179 and a light receiving unit 170 that are installed so as to face each other with a tube 178 sandwiched therebetween in the vicinity of the top of one reuse tank 171. When the amount of liquid in the first reuse tank 171 increases due to a change in the amount of light received by the light receiving unit 170, the liquid amount detection unit 177a detects the amount of liquid when it reaches a predetermined upper limit level F (full state). Can be detected. The detection result of the liquid amount detection means 177a is input to the control device 16. The liquid recovery apparatus 17 further includes a liquid amount detection unit 177b similar to the liquid amount detection unit 177a that detects the amount of liquid in the second reuse tank 172.
[0124]
In such a liquid recovery apparatus 17, in the state shown in FIG. 17, the discharge target liquid sucked from the capping unit 83 is introduced into the first reuse tank 171. When the discharge target liquid accumulates in the first reuse tank 171 and the liquid amount detection unit 177a detects that the first reuse tank 171 is full, the control device 16 detects the detection. Based on the result, the three-way valve 175 is switched to switch to a state in which the discharge target liquid is introduced into the second reuse tank 172.
[0125]
When the first reuse tank 171 becomes full and when the second reuse tank 172 becomes full, the control device 16 notifies that fact by the same method as described above, for example. It is preferable to prompt the operator to replace the tank (collect the liquid to be discharged).
In the liquid recovery device 17 of the present embodiment, two reuse tanks are provided as described above, but the number of reuse tanks may be one or three or more.
[0126]
As described above, the droplet discharge device 1 according to the present embodiment is configured to perform the first to fourth capping suction operations, thereby using a single capping unit 83 to discharge the target liquid. The initial filling, the clogging of the discharge nozzle, the discharge of the discharge target liquid, and the cleaning in the flow path can be performed, and it is not necessary to provide separate units (devices) for each of these four purposes. Therefore, the period (time) required for development (design, trial manufacture, experiment, etc.) of the droplet discharge device 1 can be shortened, the droplet discharge device 1 can be downsized, the structure of the droplet discharge device 1 can be simplified, The manufacturing cost of the droplet discharge device 1 can be reduced. Further, adjustment work (for example, adjustment of the lift stroke of the cap lift mechanism 833) as preparation work when the droplet discharge device 1 is operated only needs to be performed for one capping unit 83. This can reduce the burden on the operator. For this reason, the droplet discharge device 1 also contributes to a reduction in manufacturing cost of the substrate W to be produced.
[0127]
The droplet discharge device of the present invention is preferably configured to perform at least two capping suction operations among the first to fourth capping suction operations, and the first to fourth capping operations are preferably performed. It is more preferable that at least three capping suction operations among the suction operations are performed, and all the capping suction operations of the first to fourth capping suction operations are performed as in the present embodiment. It is most preferable that it is comprised.
[0128]
Now, such a droplet discharge device 1 has a suction force control means 7 for controlling the suction force acting on the droplet discharge head 111 during the capping suction operation to increase with time (with time). It has. The suction force control means 7 of this embodiment controls the suction force generated by the ejector 60 by adjusting the flow rate of the compressed air (working fluid) supplied to the ejector 60. Hereinafter, the suction force control means 7 will be described.
[0129]
As shown in FIG. 17, the suction force control means 7 includes the branch flow paths 71 and 72 obtained by branching the flow path of the compressed air supplied from the compressed air supply means 999 into two and the branch flow paths 71 and 72. A three-way valve (flow path switching valve) 73 that switches the flow path so that compressed air flows to one of them, and adjustment valves (regulators) 74 and 75 installed in the branch flow paths 71 and 72, respectively, are provided. . As shown in FIGS. 20 and 21, in the present embodiment, the three-way valve 73 and the adjusting valves 74 and 75 are installed in the vicinity of the ejector 60.
[0130]
As shown in FIG. 18, the suction force control means 7 further includes drive means 76 that switches the three-way valve 73 by an actuator (not shown) based on the control (command) of the control device 16. A part of the function of the control device 16 also constitutes the suction force control means 7.
The adjustment valve 74 has a specification with a lower flow rate level than the adjustment valve 75, and the compressed air is adjusted so that the flow rate when flowing through the branch flow path 71 is smaller than when flowing through the branch flow path 72 Is done. Therefore, when the three-way valve 73 is switched so that the compressed air passes through the branch flow path 71, the compressed air is supplied to the ejector 60 at a relatively small flow rate. As a result, the suction force generated by the ejector 60 is relatively small. . In contrast, when the three-way valve 73 is switched so that the compressed air passes through the branch flow path 72, the compressed air is supplied to the ejector 60 at a relatively large flow rate. As a result, the suction force generated by the ejector 60 is relatively low. growing.
[0131]
When the control device 16 performs the first capping suction operation and the second capping suction operation, the control device 16 initially sets the suction force generated by the ejector 60 to a relatively weak state (a state in which compressed air flows through the branch flow path 71). Thereafter, the three-way valve 73 is switched so that the suction force generated by the ejector 60 is controlled to be in a relatively strong state (a state in which compressed air flows through the branch flow path 72). In this case, as described above, the capping suction operation is sequentially performed on the 12 droplet discharge heads 111 one by one, but the suction force is initially weak during the capping suction operation on each droplet discharge head. After that, the suction force is strong.
[0132]
With such a suction force control means 7, in the droplet discharge device 1 of the present invention, when the first capping suction operation and the second capping suction operation are performed, the droplet discharge head 111 acts on the droplet discharge head 111 during the capping suction operation. The suction force to be controlled is controlled to increase stepwise (in two steps) over time. Thereby, in the initial stage of the capping suction operation, the liquid is sucked from the droplet discharge head 111 at a slow flow rate, so that the gas dissolved in the discharge target liquid becomes bubbles and enters the droplet discharge head 111 and the pipe. It can be prevented from occurring. As a result, high suction efficiency can be maintained. In addition, since no bubbles are generated in the droplet discharge head 111 or in the pipe, when the clogging of the discharge nozzles is eliminated, all the discharge nozzles can be more reliably eliminated. It is also possible to prevent adverse effects. In the subsequent stage of the capping suction operation, the liquid is sucked from the droplet discharge head 111 at a high flow rate, and coupled with the high suction efficiency, the initial filling of the liquid to be discharged (first capping suction operation) and the discharge nozzle Clogging can be eliminated (second capping suction operation) quickly (in a short time). Therefore, since the cycle time (processing time per substrate W) can be shortened, the production efficiency (efficiency) is improved, and the manufacturing cost of the substrate W can be reduced.
In the third capping suction operation and the fourth capping suction operation, suction may be performed with a constant suction force over time, but the suction force may be increased over time as described above. preferable. Accordingly, the third capping suction operation and the fourth capping suction operation can be performed quickly and reliably.
[0133]
As shown in FIGS. 20 and 21, the adjustment valves 74 and 75 can adjust the flow rate (or pressure) of the compressed air by turning the knobs 741 and 751. In the capping suction operation, the preferred magnitude of the suction force varies depending on the characteristics such as the viscosity of the liquid to be ejected, but by adjusting the knobs 741 and 751 in advance, the first stage is weak in accordance with the characteristics of the liquid to be ejected. The magnitude of the suction force and the magnitude of the strong suction force in the second stage can be set to preferable levels, respectively. Moreover, in the adjustment valves 74 and 75, pressure is displayed on the scales (gauges) 742 and 752 provided therein, and the pressure (flow rate) can be easily adjusted by turning the knobs 741 and 751 while viewing this display.
The adjustment valves 74 and 75 are not limited to the manual adjustment regulators shown in the figure, and for example, electropneumatic regulators can be used, and finer control can be performed.
[0134]
In addition, suction conditions such as the duration of the capping suction operation and the timing of switching the suction force (three-way valve 73) can be set by inputting from the operation panel 100, and according to the characteristics of the liquid to be discharged. It can be adjusted (changed). Note that the suction conditions in the first to fourth capping suction operations may be set to different conditions or may be the same as each other in accordance with each purpose. Further, the suction force control means 7 may control the suction conditions based on the pressure detected by each pressure sensor 884.
[0135]
As shown in FIG. 17, in this embodiment, the ejector 60 is provided on the downstream side of the first reuse tank 171 and the second reuse tank 172, so that the inside thereof has a negative pressure. By being actuated, the cap 87 is configured to generate a suction force. As a result, the ejector 60 sucks only air (gas) and does not suck the discharge target liquid (liquid), so that the suction efficiency in the ejector 60 can be further improved. Further, with a simple structure, a single ejector 60 can correspond to a plurality of droplet discharge heads 111 (a plurality of caps 87).
In the present invention, not limited to such a configuration, suction force generating means such as the ejector 60 is provided on the upstream side of the first reuse tank 171 and the second reuse tank 172, and the suction force generation means is liquid. May be configured to suck.
[0136]
Moreover, in this embodiment, the following effects are acquired by using the ejector 60 as a suction | attraction force generation means. First, unlike the pump, the ejector 60 does not have a movable part and is small, so that the apparatus can be simplified and downsized. In addition, in the initial stage of the capping suction operation, even if air (gas) is sucked prior to the liquid to be discharged, suction is possible with higher suction efficiency than in the case of a pump, which is necessary. Time can be further reduced.
The working fluid supplied to the ejector 60 may be a liquid unlike the present embodiment.
[0137]
In the present invention, the suction force generating means is not limited to an ejector, and a pump (vacuum pump) may be used. The pump may be of any type such as a piston pump or a centrifugal pump. In that case, the suction force control means can control the suction force acting on the droplet discharge head 111 to increase with time by adjusting the rotational speed of the pump.
[0138]
Further, in the present invention, unlike the illustrated configuration, one suction force generating means such as the ejector 60 may be provided for each droplet discharge head 111 (each cap 87). In this case, the capping suction operation for all the droplet discharge heads 111 can be performed simultaneously.
In the present embodiment, the suction force control means 7 controls the suction force so as to increase in two stages with time. In the present invention, the suction force control means 7 increases the suction force over time. Further, it may be controlled to increase to three or more stages, or may be controlled to increase the suction force continuously (steplessly) with time.
[0139]
The embodiment of the droplet discharge device of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to this. Moreover, each part which comprises a droplet discharge apparatus can be substituted by the thing of the arbitrary structures which can exhibit the same function. Moreover, arbitrary components may be added.
For example, the Y-axis direction moving mechanism and the X-axis direction moving mechanism may use, for example, a ball screw (feed screw) instead of a linear motor.
Further, the capping suction operation may be performed in a state where the cap is brought close to the droplet discharge head, that is, in a state where the cap is not in contact with the droplet discharge head.
[0140]
Furthermore, the droplet discharge device of the present invention is configured such that the head unit (droplet discharge head) is fixed to the device main body, and the workpiece (work placement portion) is moved in the Y-axis direction and the X-axis direction, respectively. It may be configured to perform scanning and sub-scanning. On the contrary, the main scanning and the sub-scanning are performed by fixing the work (work placing portion) to the apparatus main body and moving the head unit (droplet discharge head) in the Y-axis direction and the X-axis direction, respectively. It may be configured to perform. In other words, the droplet discharge device of the present invention may be provided with a relative movement mechanism that relatively moves the workpiece mounting portion and the droplet discharge head.
[0141]
  Also,Electro-optic deviceIs manufactured using the droplet discharge device of the present invention as described above.Electro-optic deviceSpecific examples of these are not particularly limited, and examples thereof include a liquid crystal display device and an organic EL display device.
  In addition, the electro-optical device manufacturing method of the present invention uses the droplet discharge device of the present invention. The electro-optical device manufacturing method of the present invention can be applied to a liquid crystal display device manufacturing method, for example. That is, a liquid containing a filter material of each color is selectively discharged onto the substrate using the droplet discharge device of the present invention, thereby producing a color filter having a large number of filter elements arranged on the substrate. A liquid crystal display device can be manufactured using a color filter. In addition, the method for manufacturing an electro-optical device of the present invention can be applied to a method for manufacturing an organic EL display device, for example. That is, an organic material in which a large number of pixel pixels including an EL light emitting layer are arranged on a substrate by selectively discharging a liquid containing a light emitting material of each color onto the substrate using the droplet discharge device of the present invention. An EL display device can be manufactured.
[0142]
  Also,ElectronicsIncludes an electro-optical device manufactured as described above.ElectronicsSpecific examples of these include, but are not limited to, a personal computer or a mobile phone equipped with the liquid crystal display device or the organic EL display device manufactured as described above.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a droplet discharge device of the present invention.
FIG. 2 is a side view showing an embodiment of a droplet discharge device of the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing a gantry, a stone surface plate, and a substrate transfer table.
FIG. 4 is a side view showing a gantry, a stone surface plate, and a substrate transfer table.
FIG. 5 is a plan view showing a head unit and an X-axis direction moving mechanism.
6 is a side view seen from the direction of arrow A in FIG.
7 is a front view seen from the direction of arrow B in FIG.
FIG. 8 is a schematic diagram for explaining a pattern forming operation (drawing operation).
FIG. 9 is a perspective view showing a tank storage unit.
FIG. 10 is a perspective view showing an auxiliary device in the droplet discharge device.
FIG. 11 is a side view showing an auxiliary device in the droplet discharge device.
FIG. 12 is a piping diagram illustrating a discharge target liquid supply device, a cleaning liquid supply device, and a drainage device.
FIG. 13 is a diagram schematically showing a configuration of a liquid amount detection unit.
FIG. 14 is a perspective view showing a capping unit in the accessory device.
FIG. 15 is a side view showing a capping unit in the accessory device.
FIG. 16 is a cross-sectional view showing a state where a cap is in contact with a droplet discharge head.
FIG. 17 is a system diagram of suction piping to each cap of the capping unit.
18 is a block diagram of the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2. FIG.
FIG. 19 is a flowchart showing a process flow when the droplet discharge device operates.
FIG. 20 is a perspective view showing an ejector, a flow path switching valve, and an adjustment valve.
FIG. 21 is a front view showing an ejector, a flow path switching valve, and an adjustment valve.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge apparatus, 10 ... Droplet discharge system, 100 ... Operation panel, 101 ... Thin plate, 105 ... θ-axis rotation mechanism, 104 ... Pre-drawing flushing unit, 106 ... Camera carriage, 107 …… Recognition camera, 108 …… Base, 11 …… Head unit, 111 …… Droplet ejection head, 112 …… Inlet, 12 …… Attachment device, 13 …… Tank storage unit, 14 …… Blow device, 15 …… Laser length measuring device, 151 …… Laser length measuring device sensor head, 152 …… Mirror, 153 …… Laser length measuring device main body, 154 …… Corner cube, 16 …… Control device, 161 …… CPU, 162… ... Storage unit 17... Liquid recovery device 171... First reuse tank 172... Second reuse tank 173. Direction valve, 176... Discharge flow path, 177a... Liquid amount detection means, 177b... Liquid amount detection means, 178... Tube, 179. , 181... First drainage tank, 182... Second drainage tank, 183 .. inflow piping, 184 .. inflow piping, 185... Three-way valve, 186. Detachment detection unit, 20 ... Head unit height adjustment mechanism, 2 ... Device main body, 21 ... Frame, 211 ... Frame, 212 ... Support leg, 22 ... Stone surface plate, 221 ... Y-axis direction Moving mechanism support section, 222... Support section, 223... Support section, 23... Support, 24. Discharge target liquid supply device, 40... Primary tank system, 401... First primary tank 402 ... second primary tank, 403 ... outflow pipe, 404 ... outflow pipe, 405 ... three-way valve, 406 ... pressurization pump, 407 ... pressurization pipe, 408 ... pressurization pipe, 409 ... Three-way valve, 410 ... Piping, 411 ... Primary flow path, 412 ... Secondary tank, 413 ... Relay section, 414 ... Secondary flow path, 415 ... Shut-off valve, 416 ... Liquid level detection Means: 417 ... tube, 418 ... light projecting unit, 419 ... light receiving unit, 420 ... liquid amount detecting means, 5 ... Y-axis direction moving mechanism, 51 ... linear motor, 52 ... air slider, 521 ... Slide guide, 522 ... Slide block, 6 ... X axis direction moving mechanism, 61 ... Main carriage, 62 ... Linear motor actuator, 63 ... Guide, 7 ... Suction force control means, 71 ... Branch Channel, 72 ... Branch channel 73 ... Three-way valve, 74 ... Adjustment valve, 741 ... Knob, 742 ... Scale, 75 ... Adjustment valve, 751 ... Knob, 752 ... Scale, 76 ... Drive means, 999 ... Compressed air supply Means 81... Cleaning unit 82. Periodic flushing unit 821 Liquid receiving part 83 83 Capping unit 831 Base plate 832 Supporting part 833 Cap lifting mechanism 84 Discharge Unit for measuring quantity 85 .. Attachment stand 851 .. Guide 852... Ball screw 853 .. Motor 854 .Maintenance unit moving mechanism 86... Moving stand 861. 863 ... Elevating mechanism, 864 ... Elevating handle, 87 ... Cap, 871 ... Cap body, 872 ... Cap holder, 873 ... Coil 874 ... recess, 875 ... seal packing, 876 ... absorbent, 877 ... pressing member, 878 ... discharge port, 879 ... L-joint, 880 ... release valve, 881 ... coil spring, 882 ...... Suction flow path, 883 ... Open / close valve, 884 ... Pressure sensor, 898 ... Drive means, 50 ... Cleaning liquid supply device, 501 ... First cleaning liquid tank, 502 ... Second cleaning liquid tank, 503 ... Outflow piping, 504 ... Outflow piping, 505 ... Three-way valve, 506 ... Pressurization pump, 507 ... Pressurization piping, 508 ... Pressurization piping, 509 ... Three-way valve, 510 ... Piping, 511 ... Liquid supply piping, 60 ... Ejector, 601 ... Suction port, 602 ... Supply port, 603 ... Discharge port, 300 ... Head-cap relative movement mechanism, W ... Substrate

Claims (11)

ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する液滴吐出動作を行なう少なくとも１つの液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに対応して設けられたキャップと、前記液滴吐出ヘッドに前記キャップを接触または近接させた状態で前記キャップでの吸引力を発生させ、その吸引力により前記液滴吐出ヘッドから流体を吸引するキャッピング吸引動作を行なう吸引力発生手段と、前記キャッピング吸引動作中に前記液滴吐出ヘッドに作用する吸引力が経時的に増大するように制御する吸引力制御手段とを備える液滴吐出装置であって、
前記キャッピング吸引動作には、前記液滴吐出ヘッド内に吐出対象液を初期充填する際に前記液滴吐出ヘッド内に吐出対象液が充満するように前記キャッピング吸引動作を行う第１のキャッピング吸引動作と、
前記液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの詰まりを解消するように前記キャッピング吸引動作を行う第２のキャッピング吸引動作と、
使用する吐出対象液を種類の異なるものに交換する場合または前記液滴吐出動作を一旦終了する場合に、前記液滴吐出ヘッド内から吐出対象液を抜き取るように前記キャッピング吸引動作を行う第３のキャッピング吸引動作と、
前記液滴吐出ヘッドへ供給された洗浄液を吸引して前記液滴吐出ヘッド内および吐出対象液の流路内を洗浄するように前記キャッピング吸引動作を行なう第４のキャッピング吸引動作とが含まれ、
前記吸引力制御手段は、前記吸引力を大小の２段階に制御するよう構成され、前記第１のキャッピング吸引動作、前記第２のキャッピング吸引動作、前記第３のキャッピング吸引動作、前記第４のキャッピング吸引動作のいずれの動作において、前記吸引力が経時的に小から大に２段階に増大するように制御することを特徴とする液滴吐出装置。At least one droplet discharge head that performs a droplet discharge operation for discharging droplets of a liquid to be discharged onto a workpiece; a cap provided corresponding to the droplet discharge head; and A suction force generating means for generating a suction force at the cap in a state where the cap is in contact with or close to the cap, and suctioning a fluid from the droplet discharge head by the suction force; and during the capping suction operation A droplet discharge device comprising suction force control means for controlling the suction force acting on the droplet discharge head to increase over time ,
The capping suction operation includes a first capping suction operation for performing the capping suction operation so that the liquid droplet discharge head is filled with the liquid to be discharged when the liquid droplet discharge head is initially filled with the liquid to be discharged. When,
A second capping suction operation for performing the capping suction operation so as to eliminate clogging of the discharge nozzle of the droplet discharge head;
A third capping suction operation is performed so as to extract the liquid to be ejected from the liquid droplet ejection head when the liquid to be ejected to be used is replaced with a different type or when the liquid droplet ejection operation is once terminated. Capping suction operation,
A fourth capping suction operation for performing the capping suction operation so as to suck the cleaning liquid supplied to the droplet discharge head and clean the inside of the droplet discharge head and the flow path of the liquid to be discharged;
The suction force control means is configured to control the suction force in two steps of magnitude, the first capping suction operation, the second capping suction operation, the third capping suction operation, and the fourth capping suction operation. In any of the capping suction operations, the droplet discharge device is controlled so that the suction force increases in two steps from small to large over time . 前記液滴吐出ヘッドのドット抜けの有無を検査するドット抜け検査を行なうドット抜け検出手段をさらに備え、Further comprising dot missing detection means for performing dot missing inspection for inspecting the presence or absence of dot missing in the droplet discharge head,
前記第１のキャッピング吸引動作、前記ワークに対する前記液滴吐出動作を順次行ない、その動作完了後、新たな前記ワークに対する前記液滴吐出動作を行なうか否かを判断し、前記新たなワークに対する液滴吐出動作を行なう場合には、前記ドット抜け検査を行い、その結果、前記ドット抜けが無い場合には、前記新たなワークに対する前記液滴吐出動作を開始し、前記ドット抜けが有る場合には、前記第２のキャッピング吸引動作を行ない、再度前記ドット抜け検査を行う請求項１に記載の液滴吐出装置。The first capping suction operation and the droplet discharge operation for the workpiece are sequentially performed. After the operation is completed, it is determined whether or not the droplet discharge operation for the new workpiece is performed, and the liquid for the new workpiece is determined. When performing a droplet ejection operation, the dot missing inspection is performed, and as a result, when there is no dot missing, the droplet ejection operation for the new workpiece is started. The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1, wherein the second capping suction operation is performed and the dot dropout inspection is performed again. 前記新たなワークに対する前記液滴吐出動作を行なうか否かの判断の結果、前記新たなワークに対する液滴吐出動作を行なわない場合には、前記第３のキャッピング吸引動作、前記第４のキャッピング吸引動作を順次行なうよう構成されている請求項２に記載の液滴吐出装置。As a result of determining whether or not to perform the droplet discharge operation on the new workpiece, when the droplet discharge operation is not performed on the new workpiece, the third capping suction operation and the fourth capping suction are performed. The droplet discharge device according to claim 2, wherein the droplet discharge device is configured to perform operations sequentially. 前記吸引力発生手段は、エジェクタで構成されている請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。4. The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1 , wherein the suction force generating means is constituted by an ejector. 前記吸引力制御手段は、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を調節することにより、前記エジェクタの吸引力を制御する請求項４に記載の液滴吐出装置。The droplet discharge device according to claim 4 , wherein the suction force control unit controls the suction force of the ejector by adjusting a flow rate of a working fluid supplied to the ejector. 前記吸引力制御手段は、前記エジェクタに供給する作動流体の流路を複数に分岐させた分岐流路と、前記複数の分岐流路から選択した１つの分岐流路に作動流体を流すように流路を切り替える流路切り替え弁と、前記各分岐流路に設置され、作動流体の流量を前記各分岐流路間で互いに異なる流量に調整する調整弁と、前記流路切り替え弁を切り替え作動させる駆動手段とを有し、前記流路切り替え弁を切り替えることにより、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を変化させる請求項５に記載の液滴吐出装置。The suction force control unit is configured to flow the working fluid through a branch flow path that branches the flow path of the working fluid supplied to the ejector into a plurality of branches and one branch flow path selected from the plurality of branch flow paths. A flow path switching valve that switches a path, an adjustment valve that is installed in each branch flow path, adjusts the flow rate of the working fluid to a different flow rate between the branch flow paths, and a drive that switches the flow path switching valve. The droplet discharge device according to claim 5 , further comprising: means for changing the flow rate of the working fluid supplied to the ejector by switching the flow path switching valve. 前記キャッピング吸引動作によって吸引した液体を貯留するタンクを有し、前記吸引力発生手段は、前記タンクの内部を負圧にするように作動することにより、前記キャップでの吸引力を発生する請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。Has a tank for storing the liquid sucked by the capping suction operation, claim the suction force generating means, by operating to the interior of the tank to a negative pressure, which generates a suction force in the cap The droplet discharge device according to any one of 1 to 6 . 複数の前記液滴吐出ヘッドと、
前記吸引力発生手段から複数の前記キャップへの各吸引流路にそれぞれ設けられた開閉弁とを備え、
前記各開閉弁の開閉を切り替えることにより、複数の前記液滴吐出ヘッドに対して１個ずつ順次前記キャッピング吸引動作を行うように構成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置。A plurality of the droplet discharge heads;
An open / close valve provided in each suction flow path from the suction force generating means to the plurality of caps,
The droplet according to any one of claims 1 to 7 , wherein the capping suction operation is sequentially performed on each of the plurality of droplet discharge heads one by one by switching between opening and closing of the on-off valves. Discharge device. 前記キャップへの吸引流路内の圧力を検出する圧力検出手段をさらに備える請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置。The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1 , further comprising a pressure detection unit that detects a pressure in the suction flow path to the cap. 装置本体と、ワークが載置されるワーク載置部と、前記ヘッドユニットと前記ワーク載置部とを相対的に移動させる相対移動機構とをさらに備え、前記ワーク載置部と前記へッドユニットとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成する請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置。An apparatus main body; a work placement unit on which a work is placed; and a relative movement mechanism that relatively moves the head unit and the work placement unit; and the work placement unit and the head unit. 10. The droplet discharge device according to claim 1 , wherein a predetermined pattern is formed on the workpiece by discharging droplets from the droplet discharge head while relatively moving the workpiece. 請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。 11. A method of manufacturing an electro-optical device using the droplet discharge device according to claim 1 .
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