JP2004167353A - 脱泡装置及び方法 - Google Patents

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Makoto Kida
真 木田
Tsutomu Ueda
勤 上田
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Abstract

【課題】脱泡された液状物を連続的に供給することができる脱泡装置及び方法を提供すること。
【解決手段】溶剤を含む液状物を貯留する脱泡槽で少なくとも真空圧力下で当該液状物を脱泡し、大気圧で、かつ、液量が下限となったリザーブタンク内から気体を排出し、脱泡槽内の圧力より低く、かつ、液量が下限であるリザーブタンク内に、脱泡槽内で脱泡された液状物を供給し、脱泡槽内の圧力より低く、かつ、液量が上限となったリザーブタンク内を大気圧にし、大気圧で、かつ、液量が上限となったリザーブタンク内の液状物を抜き出し、稼動中交代しながら常に、2つあるリザーブタンクのいずれか一方若しくは両方について当該リザーブタンク内の液状物を抜き出す。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶剤を含む液状物を脱泡する脱泡装置及び方法に関し、特に、脱泡され安定した液状物を連続的に供給することができる脱泡装置及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
溶剤を含む液状物(例えば、液状のポリエステル樹脂)を脱泡する従来の脱泡装置は、図4を参照すると、タンク102に貯留された液状物を供給ポンプ103で脱泡槽104内に供給し、脱泡槽104内で遠心力により液状物を薄膜化することで気泡を集中化させて破泡したり、液状物を霧状にして破泡したり、遠心力で飛ばされた液状物と脱泡槽の壁面等との衝撃力によって破泡したり、脱泡槽内を真空ポンプ107により真空圧力にして常圧状態の気泡を膨張させて破泡したりして、液状物を脱泡し、脱泡槽104の底に溜まった液状物を抜出ポンプ105で抜き出していた(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平7−144104号公報(第2頁、図3)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の脱泡装置では、真空圧力下で脱泡された液状物を脱泡槽104内から抜出ポンプ105で抜き出す際に、キャビテーションによる溶剤の気泡が液状物中に発生するという問題があった。
【0005】
このように気泡が発生する液状物を取り扱う場合には、従来、真空圧力下で脱泡を行った後、脱泡槽内を大気圧に戻し、気泡ができていないことを確認した上で、大気圧下で脱泡槽から液状物を抜き出していた(バッチ方式)。しかし、このようなバッチ方式では脱泡された液状物を連続的に得ることができない。
【0006】
本発明の目的は、脱泡された液状物を連続的に供給することができる脱泡装置及び方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の視点においては、溶剤を含む液状物を脱泡する脱泡装置において、少なくとも真空圧力下で溶剤を含む液状物が脱泡されるとともに、当該液状物を貯留する脱泡槽と、前記脱泡槽内の気体を排出する第1の真空ポンプと、前記脱泡槽内の圧力情報を検出する第1の圧力センサと、前記脱泡槽に貯留された液状物を予備的に蓄える複数のリザーブタンクと、前記リザーブタンクごとに対応して配されるとともに、前記リザーブタンク内に蓄積された液状物の液量情報を検出する複数のレベルセンサと、前記リザーブタンクごとに対応して配されるとともに、前記リザーブタンク内の圧力情報を検出する複数の第2の圧力センサと、前記脱泡槽から各前記リザーブタンクに通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する複数の第1の開閉バルブと、前記リザーブタンク内の気体を排出するとともに、前記リザーブタンク内の圧力を前記脱泡槽内の圧力より低くすることが可能な第2の真空ポンプと、各前記リザーブタンクから前記真空ポンプに通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する複数の第2の開閉バルブと、前記リザーブタンクに蓄えられた液状物を抜き出す抜出ポンプと、各前記リザーブタンクから前記抜出ポンプに通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する複数の第3の開閉バルブと、各前記リザーブタンクから大気に通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する複数の第4の開閉バルブと、前記第1の圧力センサからの圧力情報、各前記第2の圧力センサからの圧力情報、及び、各前記レベルセンサからの液量情報のそれぞれに基づいて、各前記リザーブタンクに対応する前記第1の開閉バルブ、前記第2の開閉バルブ、前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブの開閉を制御することによって、稼動中交代しながら常に、前記リザーブタンクのいずれか1つ以上について対応する前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブが開になるように制御するバルブコントローラと、を備えることを特徴とする。
【0008】
本発明の第2の視点においては、溶剤を含む液状物を脱泡する脱泡方法において、溶剤を含む液状物を貯留する脱泡槽で少なくとも真空圧力下で当該液状物を脱泡する工程と、大気圧で、かつ、液量が下限となったリザーブタンク内から気体を排出する工程と、前記脱泡槽内の圧力より低く、かつ、液量が下限となったリザーブタンク内に前記脱泡槽内で脱泡された液状物を供給する工程と、前記脱泡槽内の圧力より低く、かつ、液量が上限となったリザーブタンク内に大気を入れる工程と、大気圧で、かつ、液量が上限となったリザーブタンク内から液状物を抜き出す工程と、を含み、稼動中交代しながら常に、複数の前記リザーブタンクのうちいずれか1つ以上について当該リザーブタンク内の液状物を抜き出す工程が行われることを特徴とする。
【0009】
この構成によれば、各開閉バルブの開閉制御により、真空立ち上げ時間、脱泡時間、真空解除時間、引き抜き時間をタイミングよく切り替えることが可能となり、連続的に脱泡され安定した液状物を抜き出すことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態1について図面を用いて説明する。図1は、本発明の実施形態1に係る脱泡装置の構成を模式的に示したブロック図である。
【0011】
この脱泡装置1は、タンク2と、供給ポンプ3と、脱泡槽4と、真空ポンプ7と、圧力センサ10と、レベルセンサ11と、ポンプコントローラ13と、リザーブタンク20A、20Bと、レベルセンサ25A、25Bと、圧力センサ26A、26Bと、第1の開閉バルブ21A、21Bと、第2の開閉バルブ22A、22Bと、抜出ポンプ5と、第3の開閉バルブ23A、23Bと、第4の開閉バルブ24A、24Bと、真空ポンプ27と、バルブコントローラ28と、タンク6と、レベルセンサ12と、ポンプコントローラ14と、を有する。
【0012】
タンク2は、外部から溶剤を含む液状物(例えば、液状のポリエステル樹脂)を投入するための容器であり、その他にもホッパー、バレル、ボウル等でもよい。
【0013】
供給ポンプ3は、タンク2内に投入された液状物を配管を介して脱泡槽4に供給するためのポンプである。
【0014】
脱泡槽4は、真空圧力下で溶剤を含む液状物が脱泡されるとともに、当該液状物を貯留する容器であり、容器内にモータ8の動力によって回転する遠心板15を有する。モータ8は、インバータ9によって変換された電力によって回転する。遠心板15は、容器内に流下してきた液状物を遠心力により薄膜化、噴霧化して、容器の壁面に液状物を衝撃させて、液状物中の気泡を破泡させる。遠心板15の代わりにシャワー、ノズル、超音波発生装置等の破泡手段を用いて、液状物を細分化したり、振動を与えて破泡してもよい。
【0015】
真空ポンプ7は、脱泡槽4内の気体を排気して、真空圧力下にするポンプである。真空ポンプ7で脱泡槽4内を真空圧力下にすることで、脱泡槽4内に貯留されている液状物中の気泡を膨張させ破泡させる。
【0016】
圧力センサ10は、脱泡槽4内の圧力情報を検出するセンサである。
【0017】
レベルセンサ11は、脱泡槽4内に貯留された液面を検出するセンサである。
【0018】
ポンプコントローラ13は、レベルセンサ11が脱泡槽4内の液面を検出しているときに供給ポンプ3の回転を停止させ、液面を検出していないときに供給ポンプ3を回転させるように制御する。
【0019】
リザーブタンク20A、20Bは、脱泡槽4に貯留された液状物を予備的に蓄える容器であり、それぞれ配管を介して脱泡槽4と接続する。
【0020】
レベルセンサ25A、25Bは、それぞれリザーブタンク20A、20B内に蓄積された液状物の液量情報を検出するセンサである。レベルセンサ25Aは、リザーブタンク20Aに対応して配される。レベルセンサ25Bは、リザーブタンク20Bに対応して配される。
【0021】
圧力センサ26A、26Bは、それぞれリザーブタンク20A、20B内の圧力情報を検出するセンサである。圧力センサ26Aは、リザーブタンク20Aに対応して配される。圧力センサ26Bは、リザーブタンク20Bに対応して配される。
【0022】
第1の開閉バルブ21A、21Bは、脱泡槽4からリザーブタンク20A、20Bに通ずるライン(枝ライン)上に配される開閉バルブであり、脱泡槽4内に貯留された液状物をリザーブタンク20A又はリザーブタンク20Bに選択的に送ることができるようにするためのものである。例えば、サニタリーバルブが用いられる。第1の開閉バルブ21Aは、リザーブタンク20A近傍の枝ライン上に配されており、リザーブタンク20Aと対応する。第1の開閉バルブ21Bは、リザーブタンク20B近傍の枝ライン上に配されており、リザーブタンク20Bと対応する。
【0023】
真空ポンプ27は、リザーブタンク20A、20B内の気体を排出するとともに、真空圧力下にするポンプである。真空ポンプ27は、配管を介してリザーブタンク20A、20Bと接続している。真空ポンプ27は、リザーブタンク20A、20B内の圧力を脱泡槽4内の圧力より低くすることが可能なものが用いられる。真空ポンプ27でリザーブタンク20A、20B内の圧力を脱泡槽4内の圧力より低い真空圧力下にすることで、脱泡槽4内に貯留されている液状物をリザーブタンク20A、20Bに流入させることができる。
【0024】
第2の開閉バルブ22A、22Bは、それぞれリザーブタンク20A、20Bから真空ポンプ27に通ずるライン(枝ライン)上に配される開閉バルブであり、リザーブタンク20A又はリザーブタンク20B内の気体を選択的に排出することができるようにするためのものである。例えば、電磁弁が挙げられる。開閉バルブ22Aは、リザーブタンク20A近傍のライン上に配され、リザーブタンク20Aに対応する。第2の開閉バルブ22Bは、リザーブタンク20B近傍のライン上に配され、リザーブタンク20Bに対応する。
【0025】
抜出ポンプ5は、リザーブタンク20A、20Bに蓄えられた液状物を配管を介して抜き出すポンプである。
【0026】
第3の開閉バルブ23A、23Bは、それぞれリザーブタンク20A、20Bから抜出ポンプ5に通ずるライン上に配される開閉バルブであり、リザーブタンク20A又はリザーブタンク20B内に蓄積された液状物を選択的に抜き出すことができるようにするためのものである。例えば、サニタリーバルブが挙げられる。第3の開閉バルブ23Aは、リザーブタンク20A近傍のライン上に配され、リザーブタンク20Aに対応する。第3の開閉バルブ23Bは、リザーブタンク20B近傍の枝ライン上に配され、リザーブタンク20Bに対応する。
【0027】
第4の開閉バルブ24A、24Bは、リザーブタンク20A、20Bから大気に通ずるライン上に配される開閉バルブであり、リザーブタンク20A又はリザーブタンク20B内に大気を選択的に流入させることができるようにするためのものである。例えば、電磁弁が挙げられる。第4の開閉バルブ24Aは、リザーブタンク20A近傍のライン上に配され、リザーブタンク20Aに対応する。第4の開閉バルブ24Bは、リザーブタンク20B近傍のライン上に配され、リザーブタンク20Bに対応する。
【0028】
バルブコントローラ28は、圧力センサ10からの圧力情報、圧力センサ26A、26Bからの圧力情報、及び、レベルセンサ25A、25Bからの液量情報のそれぞれに基づいて、リザーブタンク20A、20Bそれぞれに対応する第1の開閉バルブ21A、21B、第2の開閉バルブ22A,22B、第3の開閉バルブ23A,23B及び第4の開閉バルブ24A、24Bの開閉を制御することによって、稼動中交代しながら常に、リザーブタンク20A、20Bのいずれか一方について対応する第3の開閉バルブ23A、23B及び第4の開閉バルブ24A、24Bが開になるように制御するコントローラである。バルブコントローラ28は、ポンプコントローラ13、14とともに、コンピュータを用いて一括制御できるようにしてもよい。バルブコントローラ28の制御動作については後述する。
【0029】
タンク6は、抜出ポンプ5によって抜き出された液状物を貯留する容器であり、配管を介して抜出ポンプ5と接続する。抜出ポンプ5によって抜き出された液状物は、タンク6に送らないで、直接製品加工用に用いられる場合がある。
【0030】
レベルセンサ12は、タンク6内に蓄積された液状物の液量情報を検出するセンサである。
【0031】
ポンプコントローラ14は、レベルセンサ12がタンク6内の液面を検出しているときに抜出ポンプ5の回転を停止させ、液面を検出していないときに抜出ポンプ5を回転させるように制御する。
【0032】
次に、本発明の実施形態1に係る脱泡装置の動作について説明する。
【0033】
まず、タンク2に投入された溶剤を含む液状物(例えば、液状のポリエステル樹脂)を脱泡槽4内に供給する。ここでの液状物は、通常、気泡を含んでいる。
【0034】
次に、脱泡槽4内に供給された液状物は、遠心板15によって薄膜化、噴霧化され、容器の壁面に液状物を衝撃させて、液状物中の気泡が破泡し、真空圧力下で液状物中の気泡が膨張して破泡し、脱泡槽4の底に液状物が溜まる。
【0035】
次に、脱泡槽4内に溜まった液状物は、リザーブタンク20A又はリザーブタンク20Bに選択的に供給される。この際、リザーブタンク20A、20Bに液状物を供給する前に、大気圧で、かつ、液量が下限となった方のリザーブタンク内から気体を排出し、脱泡槽4内の圧力より低くする(ステップS1)。そして、脱泡槽4内の圧力より低く、かつ、液量が下限となったリザーブタンク内には、液量が上限になるまで液状物が供給される(ステップS2)。
【0036】
次に、リザーブタンク20A又はリザーブタンク20Bに蓄積された液状物が抜き出される。この際、リザーブタンク20A、20Bから液状物を抜き出す前に、脱泡槽内の圧力より低く、かつ、液量が上限となったリザーブタンク内を大気圧にする(ステップS3)。そして、大気圧で、かつ、液量が上限となったリザーブタンク内の液状物は液量が下限になるまで抜き出される(ステップS4)。
【0037】
なお、液状物をリザーブタンク20A、20Bから抜き出す際、稼動中交代しながら常に、リザーブタンク20A、20Bのうちいずれか一方から液状物を抜き出すようにする。すなわち、リザーブタンク20Aについて上記ステップS4を行っている間にリザーブタンク20Bについて上記ステップS1〜S3を行い、そして、リザーブタンク20Bについて上記ステップS4を行っている間にリザーブタンク20Aについて上記ステップS1〜S3を行うようにする。そうすれば、連続的に液状物を抜き出すことができる。
【0038】
最後に、リザーブタンク20A、20Bから抜き出された液状物は、タンク6に送られる、或いは、製造加工用として直接用いられる。
【0039】
次に、本発明の実施形態1に係る脱泡装置におけるバルブコントローラの制御動作について図面を用いて説明する。図2は、本発明の実施形態1に係る脱泡装置におけるバルブコントローラの制御動作を説明するための模式図である。なお、脱泡装置の各構成部分については図1を参照されたい。
【0040】
バルブコントローラ28は、圧力センサ10からの圧力情報、圧力センサ26A、26Bからの圧力情報、及び、レベルセンサ25A、25Bからの液量情報のそれぞれに基づいて、以下のようなバルブ制御を行う。
【0041】
第1の制御として、リザーブタンク20A内の液量が下限で、かつ、当該リザーブタンク20A内が大気圧であるときに、当該リザーブタンク20Aに対応する第2の開閉バルブ22Aを開にし、かつ、第1の開閉バルブ21A、第3の開閉バルブ23A及び第4の開閉バルブ24Aを閉にする(図2の上段のステップA1参照)。これにより、リザーブタンク20A内から気体が排出され、脱泡槽4内の圧力より低くなるまで排気される。このとき、脱泡槽4からリザーブタンク20Aへ液状物が供給されておらず、リザーブタンク20Aから液状物が抜き出されていない。
【0042】
第2の制御として、リザーブタンク20A内の圧力が脱泡槽4内の圧力より低く、かつ、リザーブタンク20A内の液量が下限であるときに、当該リザーブタンク20Aに対応する第1の開閉バルブ21A及び第2の開閉バルブ22Aを開にし、かつ、第3の開閉バルブ23A及び第4の開閉バルブ24Aを閉にする(図2の上段のステップA2参照)。これにより、液量が上限になるまで脱泡槽4からリザーブタンク20Aへ液状物が供給される。このとき、リザーブタンク20A内から気体が排出されており、リザーブタンク20Aから液状物が抜き出されていない。
【0043】
第3の制御として、リザーブタンク20A内の圧力が脱泡槽4内の圧力より低く、かつ、当該リザーブタンク20A内の液量が上限であるときに、当該リザーブタンク20Aに対応する第4の開閉バルブ24Aを開にし、かつ、第1の開閉バルブ21A、第2の開閉バルブ22A及び第3の開閉バルブ23Aを閉にする(図2の上段のステップA3参照)。これにより、リザーブタンク20A内に大気が入り、大気圧になり、リザーブタンク20A内には、気泡が消泡(溶剤に係る気泡が液状物に溶解)した安定した液状物を得ることができる。このとき、脱泡槽4からリザーブタンク20Aへ液状物が供給されておらず、リザーブタンク20A内から気体が排出されておらず、リザーブタンク20Aから液状物が抜き出されていない。
【0044】
第4の制御として、リザーブタンク20A内が大気圧で、かつ、当該リザーブタンク20A内の液量が上限であるときに、第3の開閉バルブ23A及び第4の開閉バルブ24Aを開にし、かつ、当該リザーブタンク20Aに対応する第1の開閉バルブ21A及び第2の開閉バルブ22Aを閉にする(図2の上段のステップA4参照)。これにより、リザーブタンク20A内の液状物は、気泡がない状態で液量が下限になるまで抜き出される。このとき、脱泡槽4からリザーブタンク20Aへ液状物が供給されておらず、リザーブタンク20A内から気体が排出されていない。なお、ステップA4が終了した後は、ステップA1に戻り、ステップA1〜A4を繰り返し行う。
【0045】
以上は、リザーブタンク20Aに関する開閉バルブ21A、22A、23A、24Aの制御を説明したが、リザーブタンク20Bに関しては、ステップA1〜A4と時間的なズレはあるが、ステップA1〜A4と同様な流れで開閉バルブ21B、22B、23B、24Bが制御される(図2の下段のステップB1〜B4参照)。
【0046】
リザーブタンク20Aに係るステップA1〜A4とリザーブタンク20Bに係るステップB1〜B4との対応関係について説明すると、リザーブタンク20AについてステップA1〜A3が行われているときはリザーブタンク20BについてステップB4(ステップA4に相当)を行い、リザーブタンク20AについてステップA4が行われているときはリザーブタンク20BについてステップB1〜3(ステップA1〜A3に相当)を行う(図2参照)。このように、稼動中交代しながら常に、リザーブタンクのいずれか一方についてステップA4又はステップB4を行うようにすれば、連続的に液状物を抜き出すことができる。
【0047】
その他の実施形態について説明する。
【0048】
実施形態1では、リザーブタンク20AについてステップA1〜A3が行われているときはリザーブタンク20BについてステップB4(ステップA4に相当)を行い、リザーブタンク20AについてステップA4が行われているときはリザーブタンク20BについてステップB1〜B3(ステップA1〜A3に相当)を行っているが(図2参照)、実施形態2では、リザーブタンク20AについてステップA4が行われているときにリザーブタンク20BについてステップB1〜3を行うとともに、当該ステップB1の前のステップB4の一部(図3のX参照)と当該ステップB3の後のステップB4の一部(図3のY参照)を行うようにする。つまり、ステップA4を行っているときに、その区間内における前後の一部の区間でリザーブタンク20A及びリザーブタンク20Bの両方から液状物を抜き取るようにする。そうすれば、リザーブタンク20Aからリザーブタンク20Bへ切替を行う際、液状物を常に抜き取れる状態にあるので、連続的な抜き出しが円滑に行うことができる。
【0049】
また、実施形態1及び実施形態2では、リザーブタンクを2つ用いた場合について説明したが、実施形態3では、リザーブタンクを3つ以上備え、各リザーブタンクについて第1の開閉バルブ、第2の開閉バルブ、第3の開閉バルブ、第4の開閉バルブ、圧力センサ、レベルセンサを備えるようにしてもよい。1つのリザーブタンクについて不具合が生じても、残りの2つ以上のリザーブタンクについて稼動できるので、連続的に液状物を抜き出すことができる。
【0050】
【発明の効果】
本発明によれば、複数のリザーブタンクを用いることによって、真空立ち上げ時間、脱泡時間、真空解除時間、引き抜き時間をタイミングよく切り替えることで、連続的に脱泡され安定した液状物を抜き出すことができる。特に、同現象が見られる溶剤を含む液状物(例えば、ポリエステル樹脂など)に対して有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1に係る脱泡装置の構成を模式的に示したブロック図である。
【図2】本発明の実施形態1に係る脱泡装置におけるバルブコントローラの制御動作を説明するための模式図である。
【図3】本発明の実施形態2に係る脱泡装置におけるバルブコントローラの制御動作を説明するための模式図である。
【図4】従来の一形態に係る脱泡装置の構成を模式的に示したブロック図である。
【符号の説明】
1、101 脱泡装置
2、102 タンク
3、103 供給ポンプ
4、104 脱泡槽
5、105 抜出ポンプ
6、106 タンク
7、27、107 真空ポンプ
8、108 モータ
9、109 インバータ
10、26A、26B、110 圧力センサ
11、12、25A、25B、111 レベルセンサ
13、14 ポンプコントローラ
15、115 遠心板
20A、20B リザーブタンク
21A、21B 第1の開閉バルブ
22A、22B 第2の開閉バルブ
23A、23B 第3の開閉バルブ
24A、24B 第4の開閉バルブ
28 バルブコントローラ

Claims (6)

  1. 少なくとも真空圧力下で溶剤を含む液状物が脱泡されるとともに、当該液状物を貯留する脱泡槽と、
    前記脱泡槽内の気体を排出する第1の真空ポンプと、
    前記脱泡槽内の圧力情報を検出する第1の圧力センサと、
    前記脱泡槽に貯留された液状物を予備的に蓄える複数のリザーブタンクと、
    前記リザーブタンクごとに対応して配されるとともに、前記リザーブタンク内に蓄積された液状物の液量情報を検出する複数のレベルセンサと、
    前記リザーブタンクごとに対応して配されるとともに、前記リザーブタンク内の圧力情報を検出する複数の第2の圧力センサと、
    前記脱泡槽から各前記リザーブタンクに通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する複数の第1の開閉バルブと、
    前記リザーブタンク内の気体を排出するとともに、前記リザーブタンク内の圧力を前記脱泡槽内の圧力より低くすることが可能な第2の真空ポンプと、
    各前記リザーブタンクから前記真空ポンプに通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する複数の第2の開閉バルブと、
    前記リザーブタンクに蓄えられた液状物を抜き出す抜出ポンプと、
    各前記リザーブタンクから前記抜出ポンプに通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する複数の第3の開閉バルブと、
    各前記リザーブタンクから大気に通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する複数の第4の開閉バルブと、
    前記第1の圧力センサからの圧力情報、各前記第2の圧力センサからの圧力情報、及び、各前記レベルセンサからの液量情報のそれぞれに基づいて、各前記リザーブタンクに対応する前記第1の開閉バルブ、前記第2の開閉バルブ、前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブの開閉を制御することによって、稼動中交代しながら常に、前記リザーブタンクのいずれか1つ以上について対応する前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブが開になるように制御するバルブコントローラと、
    を備えることを特徴とする脱泡装置。
  2. 前記バルブコントローラは、前記第1の圧力センサからの圧力情報、各前記第2の圧力センサからの圧力情報、及び、各前記レベルセンサからの液量情報のそれぞれに基づいて、
    前記リザーブタンク内が大気圧で、かつ、当該リザーブタンク内の液量が下限であるときに、当該リザーブタンクに対応する前記第2の開閉バルブを開にし、かつ、前記第1の開閉バルブ、前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブを閉にする第1の制御と、
    前記リザーブタンク内の圧力が前記脱泡槽内の圧力より低く、かつ、リザーブタンク内の液量が下限であるときに、当該リザーブタンクに対応する前記第1の開閉バルブ及び前記第2の開閉バルブを開にし、かつ、前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブを閉にする第2の制御と、
    前記リザーブタンク内の圧力が前記脱泡槽内の圧力より低く、かつ、当該リザーブタンク内の液量が上限であるときに、当該リザーブタンクに対応する前記第4の開閉バルブを開にし、かつ、前記第1の開閉バルブ、前記第2の開閉バルブ及び前記第3の開閉バルブを閉にする第3の制御と、
    前記リザーブタンク内が大気圧で、かつ、当該リザーブタンク内の液量が上限であるときに、前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブを開にし、かつ、当該リザーブタンクに対応する前記第1の開閉バルブ及び前記第2の開閉バルブを閉にする第4の制御と、
    を行い、稼動中交代しながら常に前記リザーブタンクのいずれか1つ以上について前記第4の制御を行うことを特徴とする請求項1記載の脱泡装置。
  3. 少なくとも真空圧力下で溶剤を含む液状物が脱泡されるとともに、当該液状物を貯留する脱泡槽と、
    前記脱泡槽内の気体を排出する第1の真空ポンプと、
    前記脱泡槽内の圧力情報を検出する第1の圧力センサと、
    前記脱泡槽に貯留された液状物を予備的に蓄える2つのリザーブタンクと、
    前記リザーブタンクごとに対応して配されるとともに、前記リザーブタンク内に蓄積された液状物の液量情報を検出する2つのレベルセンサと、
    前記リザーブタンクごとに対応して配されるとともに、前記リザーブタンク内の圧力情報を検出する複数の第2の圧力センサと、
    前記脱泡槽から各前記リザーブタンクに通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する2つの第1の開閉バルブと、
    前記リザーブタンク内の気体を排出するとともに、前記リザーブタンク内の圧力を前記脱泡槽内の圧力より低くすることが可能な第2の真空ポンプと、
    各前記リザーブタンクから前記真空ポンプに通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する2つの第2の開閉バルブと、
    前記リザーブタンクに蓄えられた液状物を抜き出す抜出ポンプと、
    各前記リザーブタンクから前記抜出ポンプに通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する2つの第3の開閉バルブと、
    各前記リザーブタンクから大気に通ずるライン上に配されるとともに、前記リザーブタンクごとに対応する2つの第4の開閉バルブと、
    前記第1の圧力センサからの圧力情報、各前記第2の圧力センサからの圧力情報、及び、各前記レベルセンサからの液量情報のそれぞれに基づいて、各前記リザーブタンクに対応する前記第1の開閉バルブ、前記第2の開閉バルブ、前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブの開閉を制御することによって、稼動中交代しながら常に前記リザーブタンクのいずれか一方若しくは両方について対応する前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブが開になるように制御するバルブコントローラと、
    を備えることを特徴とする脱泡装置。
  4. 前記バルブコントローラは、前記第1の圧力センサからの圧力情報、各前記第2の圧力センサからの圧力情報、及び、各前記レベルセンサからの液量情報のそれぞれに基づいて、
    前記リザーブタンク内が大気圧で、かつ、当該リザーブタンク内の液量が下限であるときに、当該リザーブタンクに対応する前記第2の開閉バルブを開にし、かつ、前記第1の開閉バルブ、前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブを閉にする第1の制御と、
    前記リザーブタンク内の圧力が前記脱泡槽内の圧力より低く、かつ、リザーブタンク内の液量が下限であるときに、当該リザーブタンクに対応する前記第1の開閉バルブ及び前記第2の開閉バルブを開にし、かつ、前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブを閉にする第2の制御と、
    前記リザーブタンク内の圧力が前記脱泡槽内の圧力より低く、かつ、当該リザーブタンク内の液量が上限であるときに、当該リザーブタンクに対応する前記第4の開閉バルブを開にし、かつ、前記第1の開閉バルブ、前記第2の開閉バルブ及び前記第3の開閉バルブを閉にする第3の制御と、
    前記リザーブタンク内が大気圧で、かつ、当該リザーブタンク内の液量が上限であるときに、前記第3の開閉バルブ及び前記第4の開閉バルブを開にし、かつ、当該リザーブタンクに対応する前記第1の開閉バルブ及び前記第2の開閉バルブを閉にする第4の制御と、
    を行い、稼動中交代しながら常に前記リザーブタンクのいずれか一方若しくは両方について前記第4の制御を行うことを特徴とする請求項1記載の脱泡装置。
  5. 溶剤を含む液状物を貯留する脱泡槽で少なくとも真空圧力下で当該液状物を脱泡する工程と、
    大気圧で、かつ、液量が下限となったリザーブタンク内から気体を排出する工程と、
    前記脱泡槽内の圧力より低く、かつ、液量が下限となったリザーブタンク内に前記脱泡槽内で脱泡された液状物を供給する工程と、
    前記脱泡槽内の圧力より低く、かつ、液量が上限となったリザーブタンク内に大気を入れる工程と、
    大気圧で、かつ、液量が上限となったリザーブタンク内から液状物を抜き出す工程と、
    を含み、稼動中交代しながら常に、複数の前記リザーブタンクのうちいずれか1つ以上について当該リザーブタンク内の液状物を抜き出す工程が行われることを特徴とする脱泡方法。
  6. 溶剤を含む液状物を貯留する脱泡槽で少なくとも真空圧力下で当該液状物を脱泡する工程と、
    大気圧で、かつ、液量が下限となったリザーブタンク内から気体を排出する工程と、
    前記脱泡槽内の圧力より低く、かつ、液量が下限であるリザーブタンク内に、前記脱泡槽内で脱泡された液状物を供給する工程と、
    前記脱泡槽内の圧力より低く、かつ、液量が上限となったリザーブタンク内を大気圧にする工程と、
    大気圧で、かつ、液量が上限となったリザーブタンク内の液状物を抜き出す工程と、
    を含み、稼動中交代しながら常に、2つある前記リザーブタンクのいずれか一方若しくは両方について当該リザーブタンク内の液状物を抜き出す工程が行われることを特徴とする脱泡方法。
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JP2016536482A (ja) * 2013-09-02 2016-11-24 海斯摩爾生物科技有限公司 高粘度純キトサンの紡糸液の気泡抜き装置
CN109343310A (zh) * 2018-11-19 2019-02-15 福建省福联集成电路有限公司 一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置

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