【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、相互に対向して貼り合わされた一対のガラス基板を有する液晶表示パネル等のフラットディスプレイパネルの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フラットディスプレイパネルの一種である液晶表示パネルは、マトリクス状に複数の画素電極が設けられるとともに各画素電極毎にＴＦＴがそれぞれ設けられたＴＦＴ基板と、カラーフィルターが設けられたカラーフィルター基板（ＣＦ基板）とが、適当な間隙を空けた状態で貼り合わされて、その間隙内に液晶が封入されている。
【０００３】
このような液晶表示パネルは、通常、複数のＣＦ基板に分断されるＣＦ基板用マザーガラスと、複数のＴＦＴ基板に分断されるＴＦＴ基板用マザーガラスとを貼り合わせた後に、各液晶表示パネルの大きさになるように、ＣＦ基板用マザーガラスとＴＦＴ基板用マザーガラスの表面（膜面とは異なる面）よりスクライブ加工され、液晶セル基板に分断される。その後、相互に張り合わされたＣＦ基板とＴＦＴ基板との間に液晶が注入されて、液晶表示パネルとされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
液晶表示パネルを製造する際には、まず、洗浄、配向処理等が行われたＣＦ基板用マザーガラスに対して、各液晶表示パネルとされる領域毎に、シール形成、スペーサ撒布等の処理を実施し、その後に、ＴＦＴ基板用マザーガラスを貼り合わせるようになっている。ＣＦ基板用マザーガラスに対する各処理を実施するためには、各処理工程において、ＣＦ基板用マザーガラスを正確に位置決めする必要がある。しかしながら、各工程において、大きなＣＦ基板用マザーガラスを正確に位置決めすることは容易でない。
【０００５】
また、ＣＦ基板用マザーガラスにＴＦＴ基板用マザーガラスを貼り合わせた状態で、それぞれを所定の大きさに分断する際にも、貼り合わされたＣＦ基板用マザーガラスおよびＴＦＴ基板用マザーガラスを正確に位置決めする必要がある。このように、各処理工程において、ＣＦ基板用マザーガラスおよびＴＦＴ基板用マザーガラスを正確に位置決めする必要があるために、作業効率が低下するという問題がある。
【０００６】
そして、近年、液晶パネルの精細化及びマザーガラスの大型化により、位置決め装置に高精度が要求されると共に、各工程の装置が大型化し、装置コストが高くなるといった問題がある。
【０００７】
さらに、図３に示すように、ＣＦ基板用マザーガラス３１とＴＦＴ基板マザーガラス３２を貼り合わせ後、スクライブ加工を施し、分断する方法では、スクライブ加工で生じた垂直クラック３３を、分断工程で、スクライブラインに曲げモーメントを加えて、ガラスの厚み方向に進展させて、それぞれのマザーガラス３１および３２を分断する。
【０００８】
この時、両マーザガラス３１および３２を貼り合わせているシール材の影響を受けて、両ガラス基板３１および３２の膜面側の表面は、所望の位置で分断されないといった不具合が生じている。
【０００９】
本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、効率よく、所望の寸法精度が得られる液晶表示パネル等のフラットディスプレイパネルを製造することができる方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のフラットディスプレイパネルの製造方法は、一対のガラス基板同士が相互に対向して貼り合わされたフラットディスプレイパネルの製造装置であって、それぞれが複数のガラス基板に分断される一対の基板用マザーガラスのそれぞれに、スクライブラインを形成する工程を実施した後に、各基板用マザーガラス同士を貼り合わせて分断する工程、各基板用マザーガラスをそれぞれ分断して各ガラス基板とした後に、一対のガラス基板同士を貼り合わせる工程、いずれか一方の基板用マザーガラスを分断して得られた各ガラス基板を、他方の基板用マザーガラスに貼り合わせる工程のいずれかを実施することを特徴とする。
【００１１】
前記スクライブラインを形成する工程は、基板用マザーガラスに、レーザービームを照射しつつ、レーザービームの照射領域の近傍を連続して冷却するようになっている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。本発明のフラットディスプレイパネルの製造方法は、例えば、液晶表示パネルを製造する際に実施される。液晶表示パネルを製造する際
【に】は、図１（ａ）に示すように、複数のカラーフィルター基板（以下、ＣＦ基板とする）１１ａに分断されるＣＦ基板用マザーガラス１１と、図２（ａ）に示すように、複数のＴＦＴ基板１２ａに分断されるＴＦＴ基板用マザーガラス１２とが準備される。
【００１３】
ＣＦ基板用マザーガラス１１には、予め、分断される複数のＣＦ基板１１ａ毎の領域に、カラーフィルタ、対向電極、配向膜、位置決めのためのアライメントマークがそれぞれ設けられている。
【００１４】
このようなＣＦ基板用マザーガラス１１が準備されると、ＣＦ基板用マザーガラス１１は、各ＣＦ基板１１ａ毎に分断される。ＣＦ基板用マザーガラス１１を
分断する際
【に】は、レーザー発振器２１から発振されるレーザービームＬＢが、ＣＦ基板用マザーガラス１１に照射される。レーザービームは、ＣＦ基板用マザーガラス１１を分断する際のスクライブ予定ラインＳＬに沿って走査され、ＣＦ基板用マザーガラス１１の表面には、スクライブ予定ラインＳＬに沿った長円形状のレーザースポットＬＳが形成される。
【００１５】
レーザービームＬＢは、ＣＦ基板用マザーガラス１１が溶融される温度よりも低い温度、すなわち、ＣＦ基板用マザーガラス１１の軟化点よりも若干低い温度でＣＦ基板用マザーガラス１１を加熱するようになっている。ＣＦ基板用マザーガラス１１の表面におけるレーザービームＬＢの照射によってレーザースポットＬＳが形成される領域の近傍には、冷却ノズル２２が対向して配置されている。冷却ノズル２２は、レーザービームＬＢの走査方向の後方に配置されており、レーザービームの走査方向と同方向に、その走査速度と等しい速度にて走査される。
【００１６】
冷却ノズル２２からは、冷却媒体としての冷却水がレーザービームＬＢの近接した領域に吹き付けられており、冷却水が、レーザービームＬＢに追従して、スクライブ予定ラインＳＬに沿って走査される。
【００１７】
レーザービームＬＢが照射されるＣＦ基板用マザーガラス１１の表面には、レーザービームＬＢによる加熱によって圧縮応力が生じ、また、冷却水が吹き付けられることにより、引張り応力が生じる。このように、圧縮応力が生じた領域に近接して引張り応力が生じるために、両領域間に、それぞれの応力に基づく応力勾配が生じ、ＣＦ基板用マザーガラス１１には、予めＣＦ基板用マザーガラス１１の端部に形成しておいた初期亀裂よりブラインドクラックが発生する。レーザースポットＬＳおよび冷却水による冷却スポットが、スクライブ予定ラインに沿って走査されるために、ブラインドクラックはスクライブ予定ラインに沿って順次形成される。
【００１８】
このようにして、ＣＦ基板用マザーガラス１１に、各ＣＦ基板１１ａ毎に分断するためのスクライブラインがブラインドクラックによって形成されると、図１（ｂ）に示すように、ＣＦ基板用マザーガラス１１は、スクライブ予定ラインＳＬに沿って分断されて、複数のＣＦガラス基板１１ａとされる。
【００１９】
図２（ａ）に示すＴＦＴ基板用マザーガラス１２には、各ＴＦＴ基板１２ａの領域毎にマトリクス状に複数の画素電極が設けられるとともに、各画素電極毎にＴＦＴがそれぞれ設けられている。さらに、各ＴＦＴ基板１２ａの領域には、位置決めのためのアライメントマークもそれぞれ設けられている。
【００２０】
このようなＴＦＴ基板用マザーガラス１２も、ＣＦ基板用マザーガラスと同様に、レーザー発振器２１によるレーザービームの照射と、冷却ノズル２２による冷却水の照射によって、スクライブ予定ラインＳＬに沿ってブラインドクラックが形成され、その後に、図２（ｂ）に示すように、ブラインドクラックが形成されたスクライブラインＳＬに沿って分断されて、複数のＴＦＴ基板１２ａとされる。
【００２１】
レーザービームおよび冷却水によって形成されるブラインドクラックは、マザーガラスに生じる熱歪応力によって発生するものであり、従って、マザーガラス表面をガラスカッターなどでスクライブする時のような刻み線は形成されていない。従って、ブラインドクラックによるスクライブラインを形成する際は、ガラスカレット等が全く発生しない。
【００２２】
このようにして、複数のＣＦ基板１１ａおよび複数のＴＦＴ基板１２ａが形成されると、各ＣＦ基板１１ａおよびＴＦＴ基板１２ａが検査され、キズ等が発生していないか確認される。もし、キズ等が発生していれば、不良品として廃棄される。そして、検査によって良品とされたＣＦ基板１１ａと、ＴＦＴ基板１２ａとが、それぞれの周縁部にシール材がそれぞれ塗布された状態で、貼り合わせられ、シール材の硬化により、ＣＦ基板１１ａとＴＦＴ基板１２ａとが、適当な間隔をあけた状態で貼り合わせられる。その後、ＣＦ基板１１ａとＴＦＴ基板１２ａとの間に液晶が注入され、偏光板が貼られ、液晶表示パネルとなる。
【００２３】
なお、このように、ＣＦ基板用マザーガラス１１およびＴＦＴ基板用マザーガラス１２のいずれも、スクライブラインに沿って分断して、それぞれ、複数のＣＦ基板１１ａおよび複数のＴＦＴ基板１２ａを形成した後に、ＣＦ基板１１ａとＴＦＴ基板１２ａとを貼り合わせるようにしたが、ＣＦ基板用マザーガラス１１のみを分断して、複数のＣＦ基板１１ａを形成した後に、各ＣＦ基板１１ａを、ＴＦＴ基板用マザーガラス１２に貼り付けて、各ＣＦ基板１１ａが貼り付けられたＴＦＴ基板用マザーガラス１２をスクライブラインに沿って分断するようにしてもよい。
【００２４】
また、ＴＦＴ基板用マザーガラス１２のみを分断して、複数のＴＦＴ基板１２ａを形成した後に、各ＴＦＴ基板１２ａを、ＣＦ基板用マザーガラス１１に貼り付けて、各ＴＦＴ基板１２ａが貼り付けられたＣＦ基板用マザーガラス１１をスクライブラインに沿って分断するようにしてもよい。
【００２５】
さらには、スクライブラインがそれぞれ形成されたＣＦ基板用マザーガラス１１およびＴＦＴ基板用マザーガラス１２を相互に貼り合わせた後に、ＣＦ基板用マザーガラス１１およびＴＦＴ基板用マザーガラス１２をそれぞれ順番に分断するようにしてもよい。
【００２６】
また、前記実施の形態では、レーザービームを使用してＣＦ基板用マザーガラス１１およびＴＦＴ基板用マザーガラス１２それぞれに生じる熱歪応力を利用してブラインドクラックを発生させることによってスクライブラインを形成する構成であったが、超硬合金及びダイヤモンドカッターによってＣＦ基板用マザーガラス１１およびＴＦＴ基板用マザーガラス１２それぞれにスクライブラインを形成するようにしてもよい。
【００２７】
そして、ＣＦ基板用及びＴＦＴ基板用マザーガラスにスクライブラインを形成する表面は表裏どちらの面であっても良い。
【００２８】
【発明の効果】
本発明のフラットディスプレイパネルの製造方法は、このように、基板用マザーガラスにスクライブラインを形成した後に、各基板用マザーガラスの貼り合わせ、分断等を行うために、基板用マザーガラス同士を貼り合わせた状態でスクライブラインを形成する必要がなく、スクライブラインを安定的に、しかも、正確に形成することができる。
【００２９】
また、貼り合わせ前に各基板用マザーガラスをスクライブし、分断することで、シール材の影響を受けることなく精確に所望の位置で各マザーガラスを分断できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、本発明の製造方法の実施状態の一例を示す概略図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、本発明の製造方法の実施状態の一例を示す概略図である。
【図３】従来の製造方法の不具合を示す概略図である。
【符号の説明】
１１ ＣＦ基板用マザーガラス
１１ａ ＣＦ基板
１２ ＴＦＴ基板用マザーガラス
１２ａ ＴＦＴ基板
２１ レーザー発振器
２２ 冷却水ノズル[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a flat display panel such as a liquid crystal display panel having a pair of glass substrates bonded to each other.
[0002]
[Prior art]
A liquid crystal display panel, which is a kind of flat display panel, includes a TFT substrate in which a plurality of pixel electrodes are provided in a matrix and a TFT is provided for each pixel electrode, and a color filter substrate (CF substrate) in which a color filter is provided. ) Are bonded together with an appropriate gap therebetween, and liquid crystal is sealed in the gap.
[0003]
Such a liquid crystal display panel is usually bonded to a mother glass for a CF substrate divided into a plurality of CF substrates and a mother glass for a TFT substrate divided into a plurality of TFT substrates. The substrate is scribed from the surface of the mother glass for CF substrate and the mother glass for TFT substrate (a surface different from the film surface) so as to be divided into the liquid crystal cell substrate. Thereafter, liquid crystal is injected between the CF substrate and the TFT substrate that are bonded to each other to obtain a liquid crystal display panel.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
When manufacturing a liquid crystal display panel, first, the CF glass mother glass that has been subjected to cleaning, alignment processing, and the like is subjected to processing such as seal formation and spacer distribution for each region to be a liquid crystal display panel. After that, a mother glass for a TFT substrate is bonded together. In order to perform each processing on the CF substrate mother glass, it is necessary to accurately position the CF substrate mother glass in each processing step. However, it is not easy to accurately position a large CF substrate mother glass in each step.
[0005]
In addition, when the mother glass for the TFT substrate is bonded to the mother glass for the CF substrate, each of the bonded mother glass for the CF substrate and the mother glass for the TFT substrate is accurately used when dividing each into a predetermined size. Need to be positioned. As described above, in each processing step, it is necessary to accurately position the mother glass for the CF substrate and the mother glass for the TFT substrate.
[0006]
In recent years, with the refinement of liquid crystal panels and the increase in size of mother glass, there is a problem that high accuracy is required for the positioning device, and the size of the device in each process is increased, resulting in an increase in device cost.
[0007]
Furthermore, as shown in FIG. 3, in the method of performing scribing and dividing after laminating the CF substrate mother glass 31 and the TFT substrate mother glass 32, the vertical crack 33 generated by the scribing process is performed in the dividing step. A bending moment is applied to the scribe line so as to advance in the thickness direction of the glass, and the mother glasses 31 and 32 are divided.
[0008]
At this time, under the influence of the sealing material to which the two mather glasses 31 and 32 are bonded, there is a problem that the surfaces on the film surfaces of both the glass substrates 31 and 32 are not divided at desired positions.
[0009]
The present invention solves such a problem, and an object of the present invention is to provide a method capable of manufacturing a flat display panel such as a liquid crystal display panel which can efficiently obtain a desired dimensional accuracy. .
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The flat display panel manufacturing method of the present invention is a flat display panel manufacturing apparatus in which a pair of glass substrates are bonded to each other so as to be separated from each other into a plurality of glass substrates. After carrying out the process of forming a scribe line on each of the glasses, the process of pasting and dividing the mother glasses for each substrate, the mother glass for each substrate being cut into each glass substrate, and then a pair of glasses One of the step of bonding substrates together, and the step of bonding each glass substrate obtained by dividing one of the mother glasses for substrates to the other mother glass for substrates, are carried out.
[0011]
In the step of forming the scribe line, the vicinity of the laser beam irradiation region is continuously cooled while irradiating the substrate mother glass with the laser beam.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below. The manufacturing method of the flat display panel of this invention is implemented when manufacturing a liquid crystal display panel, for example. When manufacturing a liquid crystal display panel, as shown in FIG. 1A, a mother glass 11 for a CF substrate that is divided into a plurality of color filter substrates (hereinafter referred to as CF substrates) 11a, and FIG. As shown to (a), the mother glass 12 for TFT substrates divided by the some TFT substrate 12a is prepared.
[0013]
In the mother glass 11 for CF substrate, a color filter, a counter electrode, an alignment film, and an alignment mark for positioning are provided in advance for each of a plurality of divided CF substrates 11a.
[0014]
When such a CF substrate mother glass 11 is prepared, the CF substrate mother glass 11 is divided for each CF substrate 11a. When the CF substrate mother glass 11 is divided, the laser beam LB oscillated from the laser oscillator 21 is applied to the CF substrate mother glass 11. The laser beam is scanned along a scribe line SL when the CF substrate mother glass 11 is divided. On the surface of the CF substrate mother glass 11, an elliptical laser spot LS along the scribe line SL is formed. Is formed.
[0015]
The laser beam LB heats the CF substrate mother glass 11 at a temperature lower than the temperature at which the CF substrate mother glass 11 is melted, that is, slightly lower than the softening point of the CF substrate mother glass 11. ing. In the vicinity of the region where the laser spot LS is formed by the irradiation of the laser beam LB on the surface of the mother glass 11 for the CF substrate, a cooling nozzle 22 is disposed so as to face. The cooling nozzle 22 is disposed behind the scanning direction of the laser beam LB, and is scanned in the same direction as the scanning direction of the laser beam at a speed equal to the scanning speed.
[0016]
Cooling water as a cooling medium is sprayed from the cooling nozzle 22 to an area close to the laser beam LB, and the cooling water follows the laser beam LB and is scanned along the scheduled scribe line SL.
[0017]
A compressive stress is generated on the surface of the CF substrate mother glass 11 irradiated with the laser beam LB by heating with the laser beam LB, and a tensile stress is generated by spraying cooling water. As described above, since tensile stress is generated in the vicinity of the region where the compressive stress is generated, a stress gradient based on each stress is generated between the two regions, and the CF substrate mother glass 11 is previously provided with a CF substrate mother. Blind cracks are generated from the initial cracks formed at the ends of the glass 11. Since the laser spot LS and the cooling spot by the cooling water are scanned along the scribe line, the blind cracks are sequentially formed along the scribe line.
[0018]
In this way, when a scribe line for dividing each CF substrate 11a is formed by blind cracks in the CF substrate mother glass 11, the CF substrate mother glass 11 is formed as shown in FIG. Are divided along the planned scribe line SL to form a plurality of CF glass substrates 11a.
[0019]
In the TFT substrate mother glass 12 shown in FIG. 2A, a plurality of pixel electrodes are provided in a matrix for each region of the TFT substrate 12a, and a TFT is provided for each pixel electrode. Further, alignment marks for positioning are also provided in the regions of the TFT substrates 12a.
[0020]
The TFT substrate mother glass 12 also has blind cracks along the planned scribe line SL due to the laser beam irradiation by the laser oscillator 21 and the cooling water irradiation by the cooling nozzle 22 in the same manner as the mother glass for the CF substrate. After that, as shown in FIG. 2B, the TFT substrate 12a is divided along the scribe lines SL in which blind cracks are formed to form a plurality of TFT substrates 12a.
[0021]
Blind cracks formed by the laser beam and cooling water are generated by thermal strain stress generated in the mother glass. Therefore, no score line is formed when the surface of the mother glass is scribed with a glass cutter or the like. . Therefore, glass cullet or the like is not generated at all when forming a scribe line due to a blind crack.
[0022]
Thus, when the plurality of CF substrates 11a and the plurality of TFT substrates 12a are formed, each of the CF substrates 11a and the TFT substrates 12a is inspected to check whether there is any scratch or the like. If scratches are generated, they are discarded as defective products. Then, the CF substrate 11a and the TFT substrate 12a, which are judged to be non-defective products by inspection, are bonded together in a state where the sealing material is applied to the respective peripheral portions, and the CF substrate 11a and the TFT substrate are cured by curing the sealing material 12a are bonded together with an appropriate interval. Thereafter, liquid crystal is injected between the CF substrate 11a and the TFT substrate 12a, a polarizing plate is pasted, and a liquid crystal display panel is obtained.
[0023]
As described above, after both the CF substrate mother glass 11 and the TFT substrate mother glass 12 are divided along the scribe line to form the plurality of CF substrates 11a and the plurality of TFT substrates 12a, respectively. Although the CF substrate 11a and the TFT substrate 12a are bonded together, only the mother glass 11 for the CF substrate is divided to form a plurality of CF substrates 11a, and then each CF substrate 11a is replaced with the mother glass 12 for the TFT substrate. The TFT substrate mother glass 12 to which each CF substrate 11a is attached may be divided along a scribe line.
[0024]
Moreover, after dividing only the TFT substrate mother glass 12 to form a plurality of TFT substrates 12a, each TFT substrate 12a was adhered to the CF substrate mother glass 11, and each TFT substrate 12a was adhered. You may make it cut | disconnect the mother glass 11 for CF board | substrates along a scribe line.
[0025]
Furthermore, after the CF substrate mother glass 11 and the TFT substrate mother glass 12 each having a scribe line formed thereon are bonded to each other, the CF substrate mother glass 11 and the TFT substrate mother glass 12 are sequentially cut. You may do it.
[0026]
Moreover, in the said embodiment, the structure which forms a scribe line by generating a blind crack using the thermal-strain stress which arises in each of the mother glass 11 for CF substrates, and the mother glass 12 for TFT substrates using a laser beam. However, a scribe line may be formed on each of the CF substrate mother glass 11 and the TFT substrate mother glass 12 using a cemented carbide and a diamond cutter.
[0027]
And the surface which forms a scribe line in the mother glass for CF board | substrates and TFT board | substrates may be a front or back surface.
[0028]
【The invention's effect】
In this way, the flat display panel manufacturing method of the present invention, after forming a scribe line on the mother glass for substrates, affixing the mother glasses for substrates to each other in order to bond, divide, etc. each mother glass for substrates. There is no need to form a scribe line in the combined state, and the scribe line can be formed stably and accurately.
[0029]
Further, by scribing and dividing each substrate mother glass before bonding, each mother glass can be accurately divided at a desired position without being affected by the sealing material.
[Brief description of the drawings]
FIGS. 1A and 1B are schematic views showing an example of an implementation state of a production method of the present invention, respectively.
FIGS. 2A and 2B are schematic views showing an example of an implementation state of the production method of the present invention, respectively.
FIG. 3 is a schematic view showing a defect of a conventional manufacturing method.
[Explanation of symbols]
11 Mother glass for CF substrate 11a CF substrate 12 Mother glass for TFT substrate 12a TFT substrate 21 Laser oscillator 22 Cooling water nozzle
