TWI309317B - - Google Patents

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A7 1309317 ___B7__ 五、發明說明（/ ) 【技術領域】 本發明是關於將脆性材料基板(包含具有相互®向貼合 而成的一對玻璃基板的液晶顯示面板等)彼此相互登寸向貼合 而成之平面顯示面板之製造方法。 【習知技術】 液晶顯示面板、有機EL元件及液晶投影機等係作爲 平面顯示面板相關商品，且在各種用途上作爲機核與人們 之間的資訊傳遞機構而被廣泛使用。在此平面顯牙面板相 關商品中所使用之貼合基板，係具備以相互對向方式將兩 片在基板內面形成有顯示機能上所需要的各種電子電路機 構等貼合而成的構造。密封在兩片基板間之間隙的機能材 料，係藉由上述電子控制電路之電子控制，來構成以眼睛 可以看見影像之形式來實現作爲顯示裝置的機能。以下針 對平面顯示面板的一種液晶顯示面板之習知技術來加以說 明。 液晶顯示面板，是由設成矩陣(matrix)狀之複數片像素 電極、且分別在每一像素電極分別設置TFT而成之TFT基 板，與設有濾色片之濾色片基板(CF基板），以閭隔適當間 隙之狀態將其貼合，再將液晶封入該間隙內。 此種液晶顯不面板’通常是將分割成複數片CF基板 之CF基板用母玻璃，與分割成複數片TFT基板之TFT基 板用母玻璃予以貼合後，在CF基板用母玻璃及TFT基板 用母玻璃之表面（與膜面不同之面）上進行劃線(scribe)加工

，再將其分割成液晶單元（cell)基板。然後在貼合後之CF 4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 A7 1309317 ___B7________ 五、發明說明（2 ) 基板與TFT基板之間注入液晶而作成液晶顯示面_反。 【發明欲解決之課題】 在製造液晶顯示面板時，首先要針對已完成:^淨、配 向處理等之CF基板用母玻璃，在各液晶顯示面中反之每一 領域實施密封形成、間隔材撒布等之處理，然f渔再貼上 TFT基板用母玻璃。爲了要在CF基板用母玻璃上實施各 種處理，必需在各處理步驟中，將CF基板用母王皮璃予以 正確的定位。但是要在各處理步驟中將大片的CF基板用 母玻璃正確的定位並不是件容易的事。 又’在使TFT基板用母玻璃以貼合在CF基板用母玻 璃之狀態下’來將其分別分割成既定大小時，亦也、需將貼 合好的CF基板用母玻璃及TFT基板用母玻璃予以正確的 定位。像這樣由於必需使CF基板用母玻璃及TFT基板用 母玻璃在各處理步驟中都能正確地定位，因此會產生作業 效率降低之問題。 還有’隨著近年來液晶面板之高精細化及母玻璃之大 型化，除了要求高精度的定位裝置外，同時亦有由於各步 驟之裝置大型化而造成裝置成本昇高之問題。 又’在將CF基板用母玻璃與TFT基板用母玻璃貼合 後實施劃線加工時，會受到貼合兩母玻璃基板之密封材的 影響’而產生無法安定形成劃線的問題。 進而，如圖3所示，在將CF基板用母玻璃31與TFT 基板用母玻璃32貼合後，再實施劃線加工、分割之方法中 ，係在分割步驟利用施加彎曲力矩於劃線上，使以劃線加 __ - ______5____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線一 1309317 A7 B7 --- --------___ 五、發明說明（《） 工所產生之垂直裂痕(crack)33朝向玻璃之厚度方， 而分別將各母玻璃31及32予以分割。 此時，受到將兩母玻璃31及32貼合之密封|的影塑 ，垂直裂痕無法以直線方式沿著玻璃之厚度方向，胃 造成在兩玻璃基板31及32之膜面側表面無法在 置分割的不良現象。 本發明是爲了解決此種問題，其目的係提供用以g胃 平面顯示面板之方法，該平面顯示面板能以高效雖、1胃 獲得所欲尺寸精度之包含液晶顯示面板等之脆性射料基板 彼此貼合而成。 【解決課題之手段】 本發明之平面顯示面板之製造方法，該平面顯示面板 係將一對脆性材料基板彼此相互對向貼合而成，其特徵在 於： 具備在分別分割成複數片脆性材料基板的一對母脆性 材料基板上，形成劃線之步驟，及其後之下述任一步驟： (1) 將各母脆性材料基板彼此貼合後進行分割之步驟； (2) 將各母脆性材料基板分別分割成各脆性材*料基板後 ’將一對脆性材料基板彼此貼合之步驟； (3) 將從分割任一方之母脆性材料基板所得到的各脆性 材料基板，貼合在另一方的母脆性材料基板上之涉驟。 前述形成劃線之步驟，可以使用刀刃或雷肘。當使用 雷射之場合，係邊以雷射光束照射在母脆性材料基板上， 邊連續使雷射光束之照射領域附近冷卻。 _______6____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------·--------訂-------!線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 1309317 __B7___ 五、發明說明（命） 【發明之實施形態】 以下針對本發朋之實施形態加以說明。本發剛之平面 顯示面板之製造方法，例如係在製造液晶顯示面f反時實施 。在製造液晶顯示面板時，如圖1⑷所示，要準ft分割爲 複數片濾色片基板(以下稱爲CF基板）lla之CF基板用母 玻璃11，及如圖2(a)所示之分割爲複數片TFT基板12a之 TFT基板用母玻璃12。 在CF基板用母玻璃11，於分割爲複數片CF基板11a 之每一領域，分別設置濾色片、對向電極、配向膜、定位 用之對準標記（alignment mark)。 準備好該CF基板用母玻璃11後，將CF基板用母玻 璃11分割成各片CF基板11a。在分割CF基板用母玻璃 11時，使從雷射振盪器21所振盪產生之雷射光裝LB照射 在CF基板用母玻璃11的表面上。雷射光束LB會沿著分 割CF基板用母玻璃11時的預定劃線SL進行掃描，而在 CF基板用母玻璃11的表面上沿著預定劃線SL形成橢圓 形狀之雷射光點LS。 雷射光束LB之溫度較CF基板用母玻璃11的熔融溫 度爲低，即以較CF基板用母玻璃11之軟化點爲低的溫度 來加熱CF基板用母玻璃11。在藉由雷射光束：LB照射在 CF基板用母玻璃11之表面所形成的雷射光點：LS領域附 近，對向配置冷卻噴嘴22。冷卻噴嘴22是配置在雷射光 束LB之掃描方向後方，並沿著和雷射光束掃插方向相同 之方向及與其掃描速度相等之速度來進行掃描。 ______7____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------tr---------$# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 1309317 _B7 _ __ 五、發明說明（i：) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 從冷卻噴嘴22噴出作爲冷媒，例如各種氣體域是流體 。在此處是將冷卻水噴在雷射光束LB之附近領±：或，冷卻 水係追隨雷射光束LB而沿著預定劃線SL進行掃fg。 在雷射光束LB所照射之CF基板用母玻璃1 1的表面 上，藉由雷射光束LB之加熱而產生壓縮應力，汉，藉由 噴附冷卻水而產生拉伸應力。像這樣在產生壓縮應力領域 附近又產生拉伸應力，故在此兩個領域之間產生根據各應 力之應力匹配，在CF基板用母玻璃11，從預先勝成於CF 基板用母玻璃11之端部之初期龜裂形成盲褽痕(blind crack)。由於雷射光點LS及由冷卻水所形成的冷卻點是沿 著預定劃線來掃描，故會沿著預定劃線而依序的產生盲裂 痕。 以此方式在CF基板用母玻璃11，利用盲裂痕來形成 用來分割爲各CF基板11a之劃線後，如圖1(b)所示，CF 基板用母玻璃11係沿著預定劃線SL而分割成複數片CF 玻璃基板11a。 如圖2(a)所示，在TFT基板用母玻璃12，於各TFT 基板12a之每一領域設置矩陣狀之複數片像素電極，同時 在每一像素電極分別設置TFT(未圖示）。然後再於各TFT 基板12a之領域分別設置定位用的對準標記。 和CF基板用母玻璃同樣地，利用從雷射振遍器21所 產生之雷射光束LB照射在TFT基板用母玻璃12上，及藉 由從冷卻噴嘴22噴出冷卻水，而沿著預定劃線Sl形成盲 裂痕，然後如圖2(b)所示，沿著形成盲裂痕之劃線SL加 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ~ ' A7 1309317 ____B7__ 五、發明說明（6 ) 以分割而作成複數片之TFT基板12a。 利用雷射光束及冷卻水等之冷媒所形成的盲裂痕，是 由產生於母玻璃上之熱應力變形所造成，因此不會形成如 同利用玻璃刀等在母玻璃之表面劃線時之刻劃線。故，利 用盲裂痕來形成劃線時，就完全不會產生玻難屑（glass cullet)等。 在藉此形成複數片之CF基板11a及複數片之TFT基 板12a後，檢查各片CF基板11a及TFT基板12a以確認 是否產生傷痕等。如果產生傷痕等現象則當作不浪品予以 廢棄。然後將經過檢查確認爲良品之CF基板11a及TFT 基板l2a，在其周緣部塗布密封材後，將其貼合，藉由密 封材之硬化使CF基板11a與TFT基板lh以形成適當間 隔之狀態而貼合。然後將液晶注入於CF基板11a與TFT 基板12a之間’貼上偏光板後作成液晶顯不面板。 還有，雖然此種方式是將CF基板用母玻璃11及TFT 基板用母玻璃12兩者任一沿著劃線予以分割，並形成複數 片的CF基板11a及複數片的TFT基板12a後，再將Cf基 板11a與TFT基板12a貼合，亦可以僅將CF基板用母玻 璃11分割，在形成複數片的CF基板11a後，再將各片 CF基板11a貼合在已經形成劃線之TFT基板用母玻璃12 上’然後在貼合有各CF基板11a之TFT基板用母玻璃12 上沿著劃線進行分割。 又’亦可以僅將TFT基板用母玻璃12分割，在形成 複數片的TFT基板12a後，再將各TFT基板l〗a貼合在形 ____9______ Ϊ紙張尺度適財國國家標^(CNS)A4規格（210 X 297公釐) ' 職 " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·!·丨1訂—------線一 A7 1309317 ____B7________ 五、發明說明（《1 ) 成有劃線之CF基板用母玻璃11上，然後在貼合各TFT 基板12a之CF基板用母玻璃11上沿著劃線進行&割。 進而，亦可將已分別形成劃線之CF基板用留:玻璃11 及TFT基板用母玻璃12相互貼合後，再依序的降CF基板 用母玻璃11及TFT基板用母玻璃12予以分割。 前述CF基板用母玻璃11及TFT基板用母皮璃12都 是沿著劃線分割，而分別形成複數片的CF基板11a及複 數片的TFT基板12a後，再將CF基板lla及-TFT基板 12a貼合之情況，由於被分割後之各片基板大小相較於母 玻璃基板之大小而言是相當小，故在分割後之各步驟中可 以比較容易的進行正確的定位。 又，在前述實施形態中，雖使用雷射光束並利j用在CF 基板用母玻璃11及TFT基板用母玻璃12上分別產生熱應 力變形而產生之盲裂痕來形成劃線的構成，亦可以利用超 硬合金及鑽石製的切刀在CF基板用母玻璃11及TFT基板 用母玻璃12上分別形成劃線。 還有，亦可以在CF基板用與TFT基板用母:坡璃的表 裏之任何一面形成劃線的面。 本發明之製造方法亦適用於平面顯示面板之另一種反 射型液晶投影面板之製造。反射型液晶投影面板係以密封 劑將玻璃基板與矽基板相互對向方貼合而成。 此種反射型液晶投影面板是在如圖！、圖2中所說明 之液晶面板之製造方法中’將一方之母玻璃基板例如TFT 基板用母玻璃以矽基板來代替’而且以超硬合金製或鑽石 _ 10____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公餐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0 訂---------線 A7 1309317 五、發明說明（2 ) 切刀來代替YAG雷射或是雷射光束作爲劃線形成^構來分 割矽基板，而與製造前述液晶顯示面板同樣的方亡製造。 以上，雖針對液晶顯示面板或反射型液晶投題^面板之 製造方法加以說明，惟本發明之技術亦適用於除了上述以 外的有機發光(EL)元件、PDP(電漿顯示面板）、「EDeield Emission Display)、穿透型液晶投景多面板等。 【發明之效果】 本發明之平面顯示面板之製造方法，由於係$母脆性 材料基板上形成劃線後，進行各母脆性材料基板之貼合、 分割等，因此不必在將母脆性材料基板彼此貼合^羑之狀態 下來形成劃線，可以在不受密封材之影響下安定面且正確 地形成劃線。 又，由於在貼合前，在各母脆性材料基板上進行劃線 、分割，故可以在不受密封材之影響下，正確地在所欲位 置分割各母脆性材料基板。 又，在分別將各母脆性材料基板分割而作爲各脆性材 料基板後之步驟，就可以很容易地進行定位。 【圖式之簡單說明】 【圖1】（a)及(b)爲分別表示本發明之製麁方法的實 施狀態之一例之槪略圖。 【圖2】（a)及(b)爲分別表示本發明之製豊方法的實 施狀態之一例之槪略圖。 【圖3】 表示習知製造方法之不良情況之榨略圖。 Π_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） ----------------I--— It---------漆， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1309317 A7 _B7 五、發明說明（7 ) 【符號說明】 11 CF基板用母玻璃 11a CF基板 12 TFT基板用母玻璃 12a TFT基板 21 雷射振盪器 22 冷卻水噴嘴 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1309317 :398859 ABCD π 六、申請專利範圍 丨 二^^ 專利申請案第91 1 13558號申請專利範圍修正本 1. —種平面顯示面板之製造方法，該平面顯示面板係 將一對脆性材料基板彼此相互對向貼合而成，其特徵在於 具備以下步驟： 在待分割成複數片脆性材料基板的一對母脆性材料基 板上，分別預先形成劃線之步驟； 將分割後之一方的各脆性材料基板，貼合在另一方的 母脆性材料基板上之步驟； 將該另一方的母脆性材料基板分割之第2分割步驟。 2. 如申請專利範圍第1項之平面顯示面板之製造方法 ，其中，前述形成劃線之步驟，係邊以雷射光束照射在母 脆性材料基板上’邊連續使雷射光束之照射領域附近冷卻 〇 3. 如申請專利範圍第1或2項之平面顯示面板之製造 方法，其中，前述一對脆性材料基板皆係玻璃基板。 4. 如申請專利範圍第1或2項之平面顯示面板之製造 方法，其中’前述一對脆性材料基板係玻璃基板及矽基板 1 本紙張尺國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐) .........—.............—、1τ------------! um (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁)