JP2004148505A - 研磨装置、研磨装置用キャリアおよび研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の板状ワークの研磨方法は、研磨面11aを有する第1の定盤11を第1の軸A1を中心に回転させながら、中心孔13cおよび保持孔を有する円形プレート状キャリア13の保持孔に保持された板状ワークが研磨面11aに接するようにキャリア13を配置し、キャリア13の中心孔13cに挿入され、第1の軸A1を偏心軸とする偏心ローラ14を回転させることによって、キャリア13を第1の軸A1を中心とする円運動をさせ、かつ、キャリア13と係合しており、第1の定盤11の周囲に配置されたリング状部材15を第1の軸A1を中心に回転させることによって、キャリア13を偏心ローラ14の周りに自転させる。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の研磨装置10を用い、板状ワークとしてLN基板を研磨した実施例を説明する。
11 第1の定盤
11a、12a 研磨面
12 第2の定盤
13 キャリア
13a 保持孔
13b 係合孔
13c 中心孔
14 偏心ローラ
15 リング状回転部材
15b 係合ピン
16 可変減速機
17 モータ
Claims (5)
- 研磨面を有する第1の定盤を第1の軸を中心に回転させながら、
中心孔および保持孔を有する円形プレート状キャリアの前記保持孔に保持された板状ワークが前記研磨面に接するように前記キャリアを配置し、
前記キャリアの中心孔に挿入され、前記第1の軸を偏心軸とする偏心ローラを回転させることによって、前記キャリアを前記第1の軸を中心とする円運動をさせ、かつ、前記キャリアと係合しており、前記第1の定盤の周囲に配置されたリング状部材を前記第1の軸を中心に回転させることによって、前記キャリアを前記偏心ローラの周りに自転させる、板状ワークの研磨方法。 - 前記キャリアは外周近傍に配置された複数の係合孔を有し、前記リング状部材は前記係合孔に挿入されることによって前記キャリアと係合する複数の係合突起を備える請求項1に記載の板状ワークの研磨方法。
- 研磨面を有する第2の定盤を第1の軸を中心に回転させながら、前記板状ワークの両面が前記第1および第2の定盤の研磨面に接触するように、前記第1の定盤および前記第2の定盤で挟む請求項1または2に記載の板状ワークの研磨方法。
- 前記第2の定盤を前記第1の定盤と逆の方向に回転させる、請求項3に記載の板状ワークの研磨方法。
- 前記偏心ローラと前記リング状部材とを同じ方向に回転させる請求項1から4のいずれかに記載の板状ワークの研磨方法。
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- 2004-01-26 JP JP2004017383A patent/JP4352909B2/ja not_active Expired - Lifetime
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CN108296920A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-07-20 | 江西联创电子有限公司 | 3d玻璃抛光盘及抛光方法 |
CN108296920B (zh) * | 2018-01-31 | 2020-09-18 | 江西联创电子有限公司 | 3d玻璃抛光盘及抛光方法 |
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