JP2004138321A

JP2004138321A - 液位調整機構付き恒温液循環装置

Info

Publication number: JP2004138321A
Application number: JP2002303447A
Authority: JP
Inventors: Tatsufumi Otaki; 大瀧　達史
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2002-10-17
Filing date: 2002-10-17
Publication date: 2004-05-13

Abstract

【課題】運転開始時及び運転終了時、あるいは保守管理時などに、タンク内の恒温液の液位を一定に調整することができる、簡単な構成の液位調整機構付き恒温液循環装置を得る。
【解決手段】サブタンク１２をメインタンク２よりも低い位置に配設して、これらメインタンク２とサブタンク１２とを、該メインタンク２内の恒温液１を一定の液位でオーバーフローさせてサブタンク１２内に流入させる液位調整管１３で連通すると共に、サブタンク１２内の恒温液１をメインタンク２内に汲み上げて供給するための調整用ポンプ１４を設ける。
【選択図】　　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば熱負荷を恒温液で冷却する場合のように、負荷に恒温液を循環的に供給するための循環装置に関するものであり、更に詳しくは、運転開始時や運転終了時等にタンク内の恒温液の液位を一定高さに調整することができる、液位調整機構付き恒温液循環装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の循環装置で例えば負荷を冷却する場合、タンク内に温度調整された恒温液を収容し、この恒温液をポンプで負荷に循環的に供給することによって該負荷を冷却するようにしており、負荷の冷却により昇温してタンクに還流してくる恒温液は、熱交換器において冷媒と熱交換することにより温度調整される。
【０００３】
上記負荷は通常、ユーザー側が用意する外部配管によって循環装置に接続されているが、負荷の種類や設置場所等はユーザー毎に異なっている。このため、外部配管の長さや口径も異なり、それらが大きい場合には外部配管を含めた負荷の容積が大きくなり、循環装置の運転が始まって外部配管及び熱負荷に冷却液が供給されるとタンク内の液位が大きく低下することになり、場合によってはタンク内の液位の低下によってポンプの運転に支障を来す可能性がある。
【０００４】
一方、上記循環装置の運転終了時や保守点検時等には、負荷や配管中に充満している恒温液をタンクに全量回収することが望ましいが、このように恒温液を回収する場合、タンク内に装置の運転状態で適正な液位となるような量の恒温液を入れておいた場合、恒温液の回収によってタンク内の液位が上昇して溢れ出すおそれがある。
【０００５】
したがって、運転開始時に恒温液がタンクから負荷に供給されるときや、運転終了時に恒温液がタンクに回収されるときなどに、該タンク内の恒温液の液位が低下しすぎたり上昇しすぎたりすることのないように、その液位を一定に調整することが必要である。このように液位を調整することができる循環装置として、特開平２００２−１８１４２７号には、タンク内に底部で該タンクの内部と連通する液位調整室を設けて、この液位調整室内に圧縮ガスを供給しまたは排出することにより、恒温液を該液位調整室からタンク内に流出させたり、またはタンクから液位調整室内に流入させて、タンク内の恒温液の液位を調整するものが開示されている。
【０００６】
上記循環装置は、運転開始時や運転終了時等にタンク内の恒温液の液位が大きく変化することがなく、しかも、少量の恒温液を効率的に運用することができるという利点がある。
しかしながら、上記液位調整室内に圧縮ガスを供給したり排出したりするためのガス供給系や、このガス供給系中に接続された電磁弁を制御するための制御系等を必要として、装置構成がやや複雑化するきらいがあり、装置全体の構成をより一層簡略化することが望まれている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の技術的課題は、運転開始時に恒温液がタンクから負荷に供給されるときや、運転終了時や保守管理時に恒温液がタンクに回収されるときなどに、該タンク内の恒温液の液位を一定に調整することができる、簡単な構成の液位調整機構付き恒温液循環装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明の液位調整機構付き恒温液循環装置は、温度管理された恒温液を収容するためのメインタンクと、このメインタンク内の恒温液の液位を調整するためのサブタンクと、上記メインタンクと恒温液を供給すべき負荷とを接続する送り管及び戻り管と、これら送り管及び戻り管を通じて負荷に恒温液を循環的に供給するための循環用ポンプとを備え、上記サブタンクがメインタンクよりも低い位置に配設されていて、これらメインタンクとサブタンクとが、該メインタンク内の恒温液を一定の液位でオーバーフローさせてサブタンク内に流入させる液位調整管で連通されると共に、サブタンク内の恒温液をメインタンク内に汲み上げて供給するための調整用ポンプを有していることを特徴とするものである。
【０００９】
上記構成を有する循環装置において、その運転開始によってメインタンク内の恒温液が送り管から負荷及び戻り管に流入すると、該メインタンク内の恒温液の液位は低下する。一方、運転終了後に上記送り管、負荷及び戻り管の各内部に充満している恒温液がメインタンク内に回収されると、該メインタンク内の恒温液の液位は上昇する。そこで、運転開始時には、サブタンク内に収容されている恒温液を調整用ポンプでメインタンク内に汲み上げることにより、該メインタンク内の恒温液の減少分を補ってその液位を循環用ポンプの運転に支障がない高さに維持する。逆に、恒温液の回収時には、負荷等からの恒温液がメインタンク内に還流して液位が一定の高さ以上に達すると、余剰な恒温液が液位調整管をオーバーフローしてサブタンク内に流入し、メインタンク内の恒温液の液位は常に一定に保たれる。
【００１０】
これにより、恒温液の負荷への循環時及び負荷からの回収時にタンク内の恒温液の液位が大きく変化することがなくなり、装置の運転を安定的且つ効率的に行うことができる。さらに、上記メインタンク内の恒温液の減少分はサブタンクから調整用ポンプ汲み上げて補給し、余剰分はオーバーフローによってサブタンクに流入させるという比較的単純な構成であるため、圧縮ガスによって液位を調整する従来のものに比べて、ガス供給系やその制御系等を省略してそれらの系統に使用される電磁弁等の制御用部品を省略することができ、装置全体の構成を簡単化することができる。
【００１１】
本発明の具体例によれば、上記メインタンクとサブタンクとが上下一体に形成されていて、仕切板によって相互に仕切られると共に、上記液位調整管が、メインタンクの内部に、該仕切板を通してサブタンクの内部と連通するように縦向きに設けられている。
【００１２】
この場合に上記液位調整管は、仕切板を貫通することなく、該仕切板の上面からメインタンク内に立ち上がっていても良いが、上記仕切板を貫通して下端部がサブタンク内の恒温液に浸漬する位置まで延びていても良い。この場合に該液位調整管には、上記サブタンク内の気相部に臨む部分に、該気相部に開口する通気孔を設けることが望ましい。
【００１３】
また、本発明においては、上記調整用ポンプがメインタンクの蓋板上に設置されていて、サブタンク内に収容された恒温液を吸入してメインタンク内に吐出する供給管を備え、該供給管が、上記液位調整管の管内を通してメインタンクからサブタンクに達するように配設されている。
【００１４】
さらに、本発明においては、上記循環装置に、上記送り管と負荷及び戻り管内の恒温液を上記メインタンク内に強制的に還流させるための回収機構を付設することができる。この循環機構は、上記回収機構が、上記送り管にガス供給源を接続する管路と、該管路中に接続されたレギュレータ、電磁弁、及びチェック弁とを有している。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る液位調整機構付き恒温液循環装置の一実施例を示すものである。この循環装置は、温度管理された恒温液１を収容するためのメインタンク２と、該メインタンク２と負荷３とを接続する送り管４及び戻り管５とを備えている。また、上記送り管４のメインタンク２に近接する位置には、ガスの圧入による恒温液の回収時に、該送り管４からメインタンク２へと向かう恒温液及び回収用ガスの逆流を防止するためのチェック弁６が接続されている。
【００１６】
上記メインタンク２には、その上面を覆う蓋板２ａ上に、上記送り管４及び戻り管５を通じて負荷３に恒温液１を循環的に供給するための循環用ポンプ７が、その吐出口７ａを送り管４に連通させた状態で配設されている。また、この蓋板２ａには、メインタンク２の気相部２ｂの圧力が一定の大きさを越えた場合にその圧力を外部にリリースする第１の安全用チェック弁８と、逆に圧力が一定の大きさ以下になった場合に内部圧力を回復させる第２の安全用チェック弁９とが取付けられている。一方、メインタンク２の側面下端部には、該タンク２内の恒温液１を外に排出するためドレインポート１０が設けられ、排出用のバルブ１１が接続されている。
【００１７】
上記負荷３は、例えば熱負荷であり、この場合の恒温液１は冷却液である。この冷却液としての恒温液１には、例えば完全フッ素化液や純水、エチレングリコールなどが使用される。上記恒温液１は、負荷３を通ることにより昇温するが、メインタンク２に還流した恒温液１は、図示しない熱交換器やヒーター等の温度調節機構により設定温度となるように温度調節される。
【００１８】
上記循環装置には、上記メインタンク２内の恒温液１の液位を一定に保つための液位調整機構が設けられている。この液位調整機構は、サブタンク１２と、メインタンク２内の恒温液１の過剰収容分を該サブタンク１２内に流入させるための液位調整管１３と、該サブタンク１２内の恒温液をメインタンク２内に供給するための調整用ポンプ１４とを有している。
【００１９】
上記サブタンク１２は、メインタンク２よりも低い位置に配設されている。この実施例においては、これらメインタンク２とサブタンク１２とが上下一体に形成されていて、仕切板１５によって相互に仕切られている。また、上記サブタンク１２は、恒温液１の液面の面積がメインタンク２内の液面面積より大きくなるように、メインタンク２より大きい平面形状を有している。
【００２０】
上記液位調整管１３は、上記仕切板１５を貫通してメインタンク２とサブタンク１２とを相互に連通するように縦向きに設けられ、その下端部１３ｂは、サブタンク１２内の恒温液１に常に浸漬するように該サブタンク１２の底部近傍まで延び、上端部１３ｃは、メインタンク２の中央よりやや上方の位置まで延びている。この上端部１３ｃは、メインタンク２内の恒温液１の液位の上限を規定するもので、負荷３から恒温液１がメインタンク２内に回収されて液位が上昇し、この上端部１３ｃを越えたとき、過剰な恒温液１が該上端部１３ｃをオーバーフローしてサブタンク１２内に流入し、メインタンク２内の液位が一定に保たれるようになっている。
【００２１】
上記液位調整管１３には、上記サブタンク１２内の気相部１２ｂに対応する位置に、該気相部１２ｂに向けて開口する通気口１３ａが設けられ、この液位調整管１３を通じてメインタンク２内の気相部２ｂとサブタンク１２内の気相部１２ｂとが相互に連通している。
なお、上記液位調整管１３は、鉛直であることが望ましいが、正確に鉛直である必要はなく、恒温液が自由流下できる範囲内で若干傾いていても構わない。
【００２２】
上記調整用ポンプ１４は、装置の運転開始によってメインタンク２内の恒温液１の液位が低下した場合に、サブタンク１２内の恒温液１をメインタンク２内に汲み上げて供給し、該メインタンク２内の恒温液１の液位を上記循環用ポンプ７の運転に支障を来さない程度に回復・維持させるもので、メインタンク２の蓋板２ａ上に設置されていている。この調整用ポンプ１４は、サブタンク１２内に収容された恒温液１を吸引してメインタンク２内に吐出する供給管１６を備えている。この供給管１６は、上記液位調整管１３の管内を通してメインタンク２からサブタンク１２の底部に達するように配設され、その下端部に吸引口１６ａを有し、上記液位調整管１３の上端部１３ｃより高い位置に、メインタンク２の気相部２ｂに開口する吐出口１６ｂを有している。
【００２３】
また、上記メインタンク２の内部には、該メインタンク２内の恒温液１の液位を検出する複数のレベルスイッチ１７ａ，１７ｂ，１７ｃが、蓋板２ａに吊支された状態で互いに異なる高さに設けられ、サブタンク１２には、該サブタンク１２内の恒温液１の液位を検出するローレベルスイッチ１８が設けられている。さらに、これらのメインタンク２及びサブタンク１２の側面には、各タンク内の恒温液の液位を直接目で確認するためのレベルゲージ１９，２０がそれぞれ設けられ、サブタンク１２のレベルゲージ２０に上記ローレベルスイッチ１８が設けられている。
【００２４】
上記レベルスイッチ１７ａ，１７ｂ，１７ｃは、恒温液１の液位の検出によって上記循環用ポンプ７や調整用ポンプ１４、あるいは装置全体の駆動または制御を行うためのものである。
【００２５】
具体的に、上記レベルスイッチのうち一番上に位置する第１レベルスイッチ１７ａは、メインタンク２内の恒温液１の液位が上限に達したことを検知し、後述する恒温液回収機構における圧縮ガスの供給を停止して恒温液回収動作を終了させる。また、通常の運転時に、メインタンク２内の恒温液１の液位が異常上昇した場合にそれを検知して警告を発する。
【００２６】
中段に位置する第２レベルスイッチ１７ｂは、運転開始時に上記循環用ポンプ７で負荷３に恒温液１を循環させる場合に、メインタンク２内の恒温液１の液位がこの第２レベルスイッチ１７ｂの位置まで下がったことを検知し、上記調整用ポンプ１４を駆動させてサブタンク１２からメインタンク２に恒温液１を供給させる。また、通常の運転時に、メインタンク２内の恒温液１の液位が低下した場合にそれを検知して警告を発する。
【００２７】
さらに、下段に位置する第３レベルスイッチ１７ｃは、メインタンク２内の恒温液１の液位が循環用ポンプ７の最低吸込口の位置まで低下したとき、それを検知し、警告を発すると共に循環装置の運転を停止させる。
【００２８】
また、上記ローレベルスイッチ１８は、サブタンク１２内の恒温液１の液位が最低レベルまで下がった場合にそれを検知し、調整用ポンプ１４を停止させてメインタンク２への恒温液１の供給動作を終了させる。
【００２９】
上記サブタンク１２の側面の気相部に対応する位置には、補助ポート２１が設けられ、図示しない圧縮ガス供給源に接続できるようになっている。そして、上記調整用ポンプ１４が故障してメインタンク２への恒温液１の供給が行えなくなった場合でも、この補助ポート２１からサブタンク１２内に窒素ガスやエア等の圧縮ガスを供給することにより、該サブタンク１２内の恒温液１をメインタンク２内へ供給することができる。具体的には、上記メインタンク２の各チェック弁８，９の機能を停止させた上で、上記補助ポート２１から圧縮ガスをサブタンク１２内に供給すると、両タンク２及び１２の気相部２ｂ及び１２ｂは上記液位調整管１３及び通気口１３ａを通じて相互に連通しているため、両タンク内の圧力は同じになるが、サブタンク１２の平面形状がメインタンク２より大きいために恒温液１の液面の面積もサブタンク１２の方が大きく、それらの受圧面積の差分だけサブタンク１２内の恒温液１の液面が強く押される。このため、該サブタンク１２内の恒温液１は、調整用ポンプ１４の供給管１６を通じて押し上げられ、吐出口１６ｂからメインタンク２内に流出する。
【００３０】
上記循環装置にはさらに、運転終了時や保守点検時等に、上記送り管４と負荷３及び戻り管５内の恒温液１を上記メインタンク２内に強制的に還流させるための恒温液回収機構２６が設けられている。この回収機構２６は、上記送り管４のチェック弁６よりも負荷３側の位置に接続された管路２３に、圧縮ガスを供給するためのガス供給源２２を接続すると共に、上記管路２３中に、ガス圧力を設定圧に保つためのレギュレータ２８、圧力計Ｐ、電磁弁２５、及び送り管４からの圧縮ガスの逆流を防ぐチェック弁２４が順次接続されている。
【００３１】
上記圧縮ガスとしては、窒素ガスのような不活性のガスかあるいはエアが好適に使用される。また、上記電磁弁２５は、オンの切換状態のときに、圧縮ガスがガス供給源２２から送り管４側に向けて流れるのを許容するが、オフの切換状態のときには、ガス供給源２２から送り管４側へ向かう圧縮流体の流れを止め、逆向きの流れを許容するチェック機能付きのものである。
【００３２】
また、上記メインタンク２の気相部２ｂには、上記回収装置の動作に関連して動作する開放用の電磁弁２７が接続されている。この電磁弁２７は、上記回収装置が動作する際にオンとなって気相部２ｂを外気に開放するもので、オンの切換状態のときには、上記気相部２ｂから外部に向かう排気の流れを許容するが、オフの切換状態のときには、気相部２ｂから外部に向かう排気の流れを止め、逆向きの流れは許容するチェック機能付きのものである。
【００３３】
上記回収機構１６の運転は以下のように行われる。即ち、循環装置の運転が終了して送り管４と負荷３及び戻り管５の各内部に充填されている恒温液１を回収する場合には、まず、上記開放用の電磁弁２７がオン状態に切り換えられてメインタンク２の気相部２ｂが外部に開放され、そのあと、上記電磁弁２５が開弁してガス供給源２２から圧縮ガスが、管路２３を通じて送り管４に供給される。このとき、該送り管４内に供給された圧縮ガス及び恒温液は、上記チェック弁６によってメインタンク２側に向けて逆流するのが防止されるため、該送り管４と負荷３及び戻り管５の内部に滞留している恒温液は、上記圧縮ガスに押されて戻り管５の方向に流動し、該戻り管５を通じてメインタンク２内に還流し、回収される。
【００３４】
上記構成を有する循環装置において、その運転開始と共にメインタンク２内の恒温液１が循環用ポンプ７によって送り管４から負荷３及び戻り管５に送り出されると、該メインタンク２内の恒温液１の液位は低下する。そして、第２レベルスイッチ１７ｂが液位を検出すると、上記調整用ポンプ１４が作動してサブタンク１２内の恒温液１をメインタンク２内に汲み上げて供給することにより、該メインタンク２内の恒温液１の減少分を補ってその液位を循環用ポンプ７の運転に支障がない高さに維持する。
【００３５】
一方、運転終了後は、上記回収機構２６が作動し、上記送り管４と負荷３及び戻り管５の各内部に充満している恒温液１を圧縮ガスにより押圧してメインタンク２内に回収する。これにより、該メインタンク２内の恒温液１の液位は上昇するが、その液位が液位調整管１３の上端部１３ｂを越えると、過剰な恒温液１が液位調整管１３をオーバーフローしてサブタンク１２内に流入し、メインタンク２内の必要以上の液位上昇分が吸収される。
【００３６】
かくして、恒温液１の負荷３への供給時や負荷３からの回収時等に、メインタンク２内の恒温液１の液位が大きく変化することなく、ほぼ一定に保たれることになる。この結果、メインタンク２内の液位の低下によって循環用ポンプ７の運転に支障を来すのを確実に防止することができ、循環装置の安定的な運転が可能となる。しかも、循環用ポンプ７の浸漬部分を短くすることができるため、ポンプ７の全長を短縮して設計可能であるなど、ポンプ自体の構造上の信頼性、安定性の向上にも寄与することができる。
【００３７】
また、上記メインタンク２の液位の調整を、液位調整管１３を通じたサブタンク１２へのオーバーフローと、調整用ポンプ１４によるサブタンク１２からの恒温液１の汲み上げとによって行うようにしているため、その機構が非常に簡単であり、圧縮ガスを用いた従来の液位調整方式に比べ、部品点数を大幅に省略することができて装置全体の構造が簡単になり、装置全体のコンパクト化も図ることができる。しかも、上記調整用ポンプ１４は、その供給管１６が上記液位調整管１３の管内を通じてメインタンク２からサブタンク１２に達するように配設されているため、タンクの外部に上記供給管を配管する場合に必要なタンクとの間のシール構造を必要とせず、これにより、装置全体の構成をより簡単化することができる。しかしながら、上記調整用ポンプ１４の供給管１６は、必ずしも液位調整管１３の管内を通さなくてもよく、上記仕切板１５を単独で貫通させた状態で配設したり、あるいはメインタンク２及びサブタンク１２の外部を通した状態で配設してもよい。
【００３８】
さらに、上記メインタンク２とサブタンク１２は上下一体に形成することにより、装置の設置面積を小さくすることが可能になる。しかも、これらのメインタンク２とサブタンク１２との間を仕切板１５によって仕切ったことにより、各タンクの個々の体積が小さくなるだけでなく、上記仕切板１５が強度付与部材となるため、タンク全体の剛性が高められて耐圧が向上する。
しかし、上記メインタンク２とサブタンク１２とは必ずしも上下一体に形成する必要はなく、互いに別体に形成してもよい。この場合、サブタンク１２がメインタンク２より低い位置に設置されていれば、それらの位置関係は問わない。例えば、メインタンク２の真下にサブタンク１２を配置しても、メインタンク２の横の領域にサブタンク１２を配置してもよい。
【００３９】
上記実施例では、液位調整管１３の下端部１３ｃがサブタンク１２内の恒温液１に浸漬する位置まで延びているが、必ずしもこのような構成である必要はなく、上記下端部１３ｃは、恒温液１に浸漬することなく気相部１２ｂ内で止まっていてもよい。あるいは、液位調整管１３の下端部をサブタンク１２内に突出させることなく、該液位調整管１３を仕切板１５の上面から単に立ち上がった形に設置することもできる。
さらに、この液位調整管１３は、レベルゲージ１９，２０のように、メインタンク２とサブタンク１２との外部で連通するものであってもよい。
【００４０】
また、上記実施例では、上記液位調整管１３のサブタンク１２内の気相部１２ｂに対応する位置に、該気相部１２ｂに向けて開口する通気口１３ａが設けられているが、この通気口１３ａとは別に、またはこの通気口１３ａを省略して、メインタンク２の気相部２ｂとサブタンク１２の気相部１２ｂとを相互に連通させる気相部連通管を設けてもよく、さらに、この気相部連通管はタンク内部またはタンク外部のどちらに設けてもよい。
【００４１】
【発明の効果】
以上に詳述したように、本発明の液位調整機構付き恒温液循環装置によれば、運転開始時に恒温液がメインタンクから負荷に供給されるときや、運転終了時や保守管理時等に恒温液がメインタンクに回収されるときなどに、該メインタンク内の液位の変動を吸収して該液位を一定に保つことができる。
また、上記液位の調整に当たり、メインタンク内の液位が上昇したときには、過剰な恒温液が液位調整管をオーバーフローしてサブタンク内に流入するようにし、上記メインタンク内の液位が低下したときには、不足分の恒温液を調整用ポンプでサブタンクからメインタンクに汲み上げるようにしているため、液位調整機構が非常に簡易であって、装置全体を簡単かつ小形化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液位調整機構付き恒温液循環装置の一実施例を簡略的に示す構成図である。
【符号の説明】
１　　恒温液
２　　メインタンク
２ａ　　蓋体
２ｂ　　気相部
３　　負荷
４　　送り管
５　　戻り管
６　　チェック弁
７　　循環用ポンプ
１２　　サブタンク
１２ｂ　　気相部
１３　　液位調整管
１３ａ　　通気口
１３ｂ　　上端部
１３ｃ　　下端部
１４　　調整用ポンプ
１５　　仕切板
１６　　供給管
２２　　ガス供給源
２３　　管路
２５　　チェック弁
２６　　回収機構

Claims

温度管理された恒温液を収容するためのメインタンクと、このメインタンク内の恒温液の液位を調整するためのサブタンクと、上記メインタンクと恒温液を供給すべき負荷とを接続する送り管及び戻り管と、これら送り管及び戻り管を通じて負荷に恒温液を循環的に供給するための循環用ポンプとを備え、
上記サブタンクがメインタンクよりも低い位置に配設されていて、これらメインタンクとサブタンクとが、該メインタンク内の恒温液を一定の液位でオーバーフローさせてサブタンク内に流入させる液位調整管で連通されると共に、サブタンク内の恒温液をメインタンク内に汲み上げて供給するための調整用ポンプを有している、
ことを特徴とする液位調整機構付き恒温液循環装置。
請求項１に記載の循環装置において、上記メインタンクとサブタンクとが上下一体に形成されていて、仕切板によって相互に仕切られると共に、上記液位調整管が、メインタンクの内部に、該仕切板を通してサブタンクの内部と連通するように縦向きに設けられているもの。
請求項２に記載の循環装置において、上記液位調整管の下端部が上記仕切板を貫通してサブタンク内の恒温液に浸漬する位置まで延びていて、該サブタンク内の気相部に開口する通気孔を有するもの。
請求項２または請求項３に記載の循環装置において、上記調整用ポンプが、メインタンクの蓋板上に設置されていて、サブタンク内に収容された恒温液を吸入してメインタンク内に吐出する供給管を備え、該供給管が、上記液位調整管の管内を通してメインタンクからサブタンクに達するように配設されているもの。
請求項１から請求項４までのいずれかに記載の循環装置において、該循環装置が、上記送り管と負荷及び戻り管内の恒温液を上記メインタンク内に強制的に還流させるための回収機構を有するもの。
請求項５に記載の循環装置において、上記回収機構が、上記送り管にガス供給源を接続する管路と、該管路中に接続されたレギュレータ、電磁弁、及びチェック弁とを有することを特徴とするもの。