JP2004127995A5 - - Google Patents
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Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002286214A JP4105926B2 (ja) | 2002-09-30 | 2002-09-30 | ボンディング装置におけるオフセット測定機構及びボンディング装置におけるオフセット測定方法 |
| TW092121465A TWI278047B (en) | 2002-09-30 | 2003-08-06 | Offset measuring mechanism and offset measuring method in a bonding apparatus |
| KR10-2003-0058667A KR100532672B1 (ko) | 2002-09-30 | 2003-08-25 | 본딩 장치에서의 옵셋 측정기구 및 본딩 장치에서의 옵셋측정방법 |
| US10/671,090 US6915827B2 (en) | 2002-09-30 | 2003-09-25 | Offset measuring mechanism and offset measuring method in a bonding apparatus |
| US11/827,672 USRE41506E1 (en) | 2002-09-30 | 2007-07-11 | Offset measuring mechanism and offset measuring method in a bonding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002286214A JP4105926B2 (ja) | 2002-09-30 | 2002-09-30 | ボンディング装置におけるオフセット測定機構及びボンディング装置におけるオフセット測定方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004127995A JP2004127995A (ja) | 2004-04-22 |
| JP2004127995A5 true JP2004127995A5 (enExample) | 2005-07-07 |
| JP4105926B2 JP4105926B2 (ja) | 2008-06-25 |
Family
ID=32025363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002286214A Expired - Fee Related JP4105926B2 (ja) | 2002-09-30 | 2002-09-30 | ボンディング装置におけるオフセット測定機構及びボンディング装置におけるオフセット測定方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6915827B2 (enExample) |
| JP (1) | JP4105926B2 (enExample) |
| KR (1) | KR100532672B1 (enExample) |
| TW (1) | TWI278047B (enExample) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10338809B4 (de) | 2003-08-21 | 2008-05-21 | Hesse & Knipps Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Justage von Bondkopfelementen |
| US20070260420A1 (en) * | 2006-05-03 | 2007-11-08 | Data I/O Corporation | Automated calibration system |
| US7810698B2 (en) * | 2008-11-20 | 2010-10-12 | Asm Assembly Automation Ltd. | Vision system for positioning a bonding tool |
| KR101132842B1 (ko) | 2009-10-22 | 2012-04-02 | 세크론 주식회사 | 다이본딩장치의 오프셋입력방법 |
| JP5725796B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2015-05-27 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工具の測定方法及び測定装置、並びに工作機械 |
| TWI545663B (zh) | 2014-05-07 | 2016-08-11 | 新川股份有限公司 | 接合裝置以及接合方法 |
| SG11201710074TA (en) * | 2015-03-31 | 2018-01-30 | Shinkawa Kk | Wire bonding apparatus and wire bonding method |
| US9847313B2 (en) * | 2015-04-24 | 2017-12-19 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Thermocompression bonders, methods of operating thermocompression bonders, and horizontal scrub motions in thermocompression bonding |
| US11540399B1 (en) * | 2020-04-09 | 2022-12-27 | Hrl Laboratories, Llc | System and method for bonding a cable to a substrate using a die bonder |
| TWI826789B (zh) * | 2020-06-05 | 2023-12-21 | 日商新川股份有限公司 | 打線接合裝置 |
| CN113567433A (zh) * | 2021-06-09 | 2021-10-29 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 粘接接头的检测方法及装置 |
| WO2023281623A1 (ja) * | 2021-07-06 | 2023-01-12 | 株式会社新川 | 半導体装置の製造装置および製造方法 |
| CN118936309B (zh) * | 2024-08-26 | 2025-12-05 | 西北工业大学深圳研究院 | 适用于卷绕系统的高反光卷材偏移量测量方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2982000B1 (ja) | 1998-07-03 | 1999-11-22 | 株式会社新川 | ボンディング方法及びその装置 |
| JP3416091B2 (ja) | 2000-01-21 | 2003-06-16 | 株式会社新川 | ボンディング装置およびボンディング方法 |
| JP3967518B2 (ja) * | 2000-03-06 | 2007-08-29 | 株式会社新川 | オフセット測定方法、ツール位置検出方法およびボンディング装置 |
| AU2002232855A1 (en) * | 2000-10-25 | 2002-05-21 | Electro Scientific Industries, Inc. | Integrated alignment and calibration of optical system |
-
2002
- 2002-09-30 JP JP2002286214A patent/JP4105926B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-08-06 TW TW092121465A patent/TWI278047B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-08-25 KR KR10-2003-0058667A patent/KR100532672B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 2003-09-25 US US10/671,090 patent/US6915827B2/en not_active Ceased
-
2007
- 2007-07-11 US US11/827,672 patent/USRE41506E1/en not_active Expired - Fee Related
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