JP2004117365A - 微小寸法測定装置 - Google Patents
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- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Abstract
再現性のあるクリティカル微小寸法測定を可能とし、特徴部の測定位置や方向の影響を受けないようにする。
【解決手段】
微小寸法測定装置(1)は、光源(2)と、ビーム成形光学系(3)と、コンデンサ(11)とを備え、ビーム成形光学系(3)と、コンデンサ(11)との間に、最初に、コンデンサの瞳(9)を満たすように発散性の光線束(7)を生成する各マイクロレンズ(I、II、III)からなる第1のマイクロレンズアレイ配列(5)が配置される。その後に、コンデンサの瞳(9)が焦点面に配置されるように正の屈折力を持つ第1の補助的な光学素子(6)が配置される。その後に、正の屈折力を持つ第2の補助的な光学素子(16)、その後に、第2のマイクロレンズアレイ配列(17)が配置される。ケーラーの原理による照明が生じ、コンデンサの瞳(9)に回転対称の強度分布を同時に持つ極めて均質なフィールド照明が現れる。
【選択図】
図1
Description
a)コンデンサの瞳を満たすように発散性の光線束(ray bundle)を夫々生成する各マイクロレンズからなる第1のマイクロレンズアレイ配列(microlens array arrangement)と、
b)その後に、正の屈折力を持つ第1の補助的な光学素子であって、その焦点面にコンデンサの瞳が配置されるものと、
c)その後に、正の屈折力を持つ第2の補助的な光学素子と、
d)その後に、第2のマイクロレンズアレイ配列とが、
ビーム成形光学系とコンデンサとの間に順に配置される。
2 光源
3 集光器
4 フィルタシステム
5 第1のマイクロレンズアレイ配列(MLA)
6 第1の補助的な光学素子
7 光線束
8 ビーム角=広がり角
9 コンデンサ瞳
10 コンデンサ瞳面
11 コンデンサ
12 第1のコンデンサレンズ
13 第2のコンデンサレンズ
14 第1のMLAのコンデンサ側の焦点面
15 コンデンサ瞳の半径
16 第2の補助的な光学素子
17 第2のマイクロレンズアレイ配列(MLA)
18 光軸
19 試料
20 特徴部
21 画像光学システム
22 画像取得(撮像)装置
23 画像評価装置
I、II、III マイクロレンズと関連の光線
Claims (10)
- 光源(2)と、ビーム成形光学系(3)と、コンデンサ(11)とを備え、
前記ビーム成形光学系(3)と、前記コンデンサ(11)との間に順に、
a) コンデンサの瞳(9)を満たすような発散性の光線束(7)を夫々生成する各マイクロレンズ(I、II、III)からなる第1のマイクロレンズアレイ配列(5)、
b) 正の屈折力を持つ第1の補助的な光学素子(6)であって、その焦点面に該コンデンサの瞳(9)が配置されるもの、
c) 正の屈折力を持つ第2の補助的な光学素子(16)、
d) 第2のマイクロレンズアレイ配列(17)、
を配置することを特徴とする微小寸法測定装置。 - 前記光源(2)がレーザであって前記ビーム成形光学系がビーム拡散光学システムであるか、または前記光源(2)がガス放電ランプであって前記ビーム成形光学系(3)が集光器(3)であることを特徴とする請求項1記載の微小寸法測定装置。
- 特定の計測のために必要な光源のスペクトルの特定成分を通過させるためスペクトルフィルタシステム(4)が付加されることを特徴とする請求項2記載の微小寸法測定装置。
- 前記スペクトルフィルタシステム(4)が前記集光器(3)の出力側に配置されることを特徴とする請求項3記載の微小寸法測定装置。
- 前記第1のマイクロレンズアレイ配列(5)が複数の同一の六角形の蜂の巣形状あるいは複数の同一の正方形のマイクロレンズ(I、II、III)を含むことを特徴とする請求項1記載の微小寸法測定装置。
- 前記第2のマイクロレンズアレイ配列(17)が複数の同一の六角形の蜂の巣形状あるいは複数の同一の正方形のマイクロレンズ(I、II、III)を含むことを特徴とする請求項1記載の微小寸法測定装置。
- 前記第1のマイクロレンズアレイ配列(5)が、円柱形の複数のマイクロレンズを備える2つのマイクロレンズアレイを含み、前記マイクロレンズアレイの夫々が複数の同一の円柱形マイクロレンズから構成され、前記2つのマイクロレンズアレイは、円柱形のマイクロレンズの円柱軸方向に関し交差するように配置されることを特徴とする請求項1記載の微小寸法測定装置。
- 前記第2のマイクロレンズアレイ配列(17)が、円柱形の複数のマイクロレンズを備える2つのマイクロレンズアレイを含み、前記マイクロレンズアレイの夫々が複数の同一の円柱形マイクロレンズから構成され、前記2つのマイクロレンズアレイは、円柱形のマイクロレンズの円柱軸方向に関し交差するように配置されることを特徴とする請求項1記載の微小寸法測定装置。
- 前記第1のマイクロレンズアレイ配列(5)が微小な蜂の巣状のコンデンサとして構成されることを特徴とする請求項1記載の微小寸法測定装置。
- 前記第2のマイクロレンズアレイ配列(17)が微小な蜂の巣状のコンデンサとして構成されることを特徴とする請求項1記載の微小寸法測定装置。
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