JP2004108877A - テーブル位置検出用センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】同一平面上におけるテーブル部材の移動及び回転等の情報を、連続的に且つ高精度に検出し得る小型化が可能なテーブル位置検出用センサ装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ−Ｙ平面上を所定範囲内で平面移動するテーブル部材５の周囲４辺の内の隣接する２辺に、それぞれ少なくとも２個の静電容量型の位置検出センサを所定間隔を隔てて配設する。各位置検出センサを構成する一方のセンサ用面電極５Ｇをテーブル部材５の一方の面の端面領域に装着し、各位置検出センサを構成する複数の他方のセンサ用面電極２６Ｘ１〜，２６Ｙ１〜を前述した一方のセンサ用面電極に一部分対向し且つ近接した状態でケース本体側に固定装備する。そして、テーブル部材５の移動と共にこの一方と他方の各センサ用面電極５Ｇ．２６Ｘ１〜，２６Ｙ１〜の相互間の容量変化をテーブル移動の位置情報として検出し電気信号に変換して外部出力する演算部を備えていること。
【選択図】 図１
【解決手段】Ｘ−Ｙ平面上を所定範囲内で平面移動するテーブル部材５の周囲４辺の内の隣接する２辺に、それぞれ少なくとも２個の静電容量型の位置検出センサを所定間隔を隔てて配設する。各位置検出センサを構成する一方のセンサ用面電極５Ｇをテーブル部材５の一方の面の端面領域に装着し、各位置検出センサを構成する複数の他方のセンサ用面電極２６Ｘ１〜，２６Ｙ１〜を前述した一方のセンサ用面電極に一部分対向し且つ近接した状態でケース本体側に固定装備する。そして、テーブル部材５の移動と共にこの一方と他方の各センサ用面電極５Ｇ．２６Ｘ１〜，２６Ｙ１〜の相互間の容量変化をテーブル移動の位置情報として検出し電気信号に変換して外部出力する演算部を備えていること。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テーブル位置検出用センサ装置に係り、特にＩＣやＬＳＩ等の半導体生産工程における精密加工用のステージ装置等に装備され、当該ステージ装置が備えている可動テーブルの現在位置を連続的に検出するのに好適なテーブル位置検出用センサ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体産業等では、ＩＣやＬＳＩ等の生産工程で被加工物を精密加工の場に配設し保持するために、従来より、精密移動が可能な可動テーブル（テーブル部材）を備えた精密加工用のステージ装置が使用されている。そして、この場合、可動テーブルの移動先の位置制御を迅速に且つ正確に実行するため、テーブル位置検出用のセンサ装置が、前述した精密加工用のステージ装置に組み込まれている。
【０００３】
ここで、この従来例における精密加工用のステージ装置は、テーブル移送手段としては、可動テーブルをＸ方向に移動するＸ方向移動機構と、この可動テーブルを載置したＸ方向移動機構の全体をＹ方向に移動するＹ方向移動機構とを備えた２重構造のものが装備されている。又Ｘ方向およびＹ方向の各テーブル駆動手段としては、ステッピングモータ等の駆動モータと精密駆動機構の組合せたものが個別に装備され、更に同一面内における回転駆動に際してはＸ方向移動機構とＹ方向移動機構の全体を一体的に回転させる構造の回転駆動機構が装備されていた。
【０００４】
また、移送されるテーブルの現在位置を精密測定するテーブル位置検出手段も、例えばＸ方向およびＹ方向の各駆動機構及び回転駆動機構にそれぞれ別々に装備され、ここで得られる情報（即ち、可動テーブルの移動情報）に基づいて前述した各精密駆動手段が個別に駆動制御されるという手法のものが多い。このため、装置全体が大型化するという不都合が常に生じている。
【０００５】
これとは別に、可動テーブルの精密移動をミクロン単位で実行するためには、その移動時の変化量をリアルタイムで把握しつつ駆動手段の出力を精密に制御する必要がある。
このため、従来例では、小型化されたエンコーダ等の回転数検出手段をＸ方向，Ｙ方向および回転の各駆動機構にそれぞれ併設し、ここで得られる回転情報（即ち、可動テーブルの移動情報）に基づいて各精密駆動手段を個別に駆動し位置制御するという手法を備えたものが多い。
【特許文献１】
特開平５−３３６７３０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例のものは、Ｘ方向，Ｙ方向および回転の各駆動機構にそれぞれエンコーダを併設していることから、装置全体の小型化には限界がある。また、駆動モータとしてステッピングモータを用いるため、デジタル量の駆動パルスによる移動であり、可動テーブルをミクロン単位で精密移動させる場合には、駆動パルスによるテーブルの移動は、微視的に見て連続した定量なものではなく、平均値が定量なものであるため、微小値の範囲で見れば、テーブルの移動は断続する動きとなり、可動テーブルの精密移動をミクロン単位で実行するには不適切なものとなっていた。
【０００７】
又、２次元平面（Ｘ−Ｙ平面）内におけるテーブルの移動後の位置情報の検出は、当該テーブルが非接触にて駆動される場合には、例えばＸ方向，Ｙ方向及び回転の各方向に設定されたバーコード等からの反射レーザ光を光センサにて受光して計数し積算して、その位置変化を演算する等の手法が用いられる。
【０００８】
しかしながら、かかる手法では、テーブルの移動量がデジタル量として出力されるため、ミクロン単位でテーブルの移動を行う場合には、パルス間での測定信号値が零値となってテーブルの位置検出が不可能となってしまい、テーブルの精密移動をミクロン単位で実行するには不適切なものとなっていた。
更に、直線的な移動と回転動作とが連続的になされるテーブルについては、当該テーブルの位置の測定に際しては移動位置測定用のセンサと回転の各測定用の３種類のセンサを装備しなければならず、このため、これを装備すると、例えば前述した精密加工用のステージ装置が更に大型化する、という不都合があった。
【０００９】
また、上記特許文献１には、４個の田形状駆動コイル間のスペースを利用して容量式位置検出器の電極を固定子側と可動子側とにそれぞれ配置した構造のものが開示されている。
しかしながら、この特許文献１に示された構造では、固定子側と可動子側にそれぞれ設けた４個の内２個の容量式位置検出器の電極を接近して配置しなければならないため、可動子が平面移動する範囲によっては、可動子側の電極が固定子側の隣接する電極に相互干渉して位置検出の精度に影響を及ぼすことがある。このため、可動子の移動は、当該電極相互間の影響がない狭い範囲に限定されてしまい、可動子を広範囲に渡って移動させるための改良の余地があった。
【００１０】
【発明の目的】
本発明は、かかる従来例の有する不都合を改善し、特に、当該テーブルの同一平面上における移動方向および移動距離等に関する情報を、更には、同一平面上における回転角度情報等を、リアルタイムで同時に連続的に且つ高精度に検知し得る小型化が可能なテーブル位置検出用センサ装置を提供することを、その目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明では、Ｘ−Ｙ平面上を所定範囲内で平面移動するテーブル部材の周囲４辺の内の少なくとも隣接する２辺に、アナログ量を出力する位置検出センサを配設し、テーブル部材の移動と共に変化するアナログ量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し所定の電気信号に変換して外部出力する演算部を備えているという構成を採っている。
【００１２】
このため、Ｘ−Ｙ平面内でのテーブル部材の移動量が、位置検出センサによりアナログ量で出力される。演算部では、テーブル部材の移動と共に変化するアナログ量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し所定の電気信号に変換して出力する。
【００１３】
したがって、テーブル部材の移動位置検出がアナログ量に基いて行われるため、テーブル部材を微小範囲、例えばミクロン単位で移動させる場合においても正確に位置の制御を行うことができる。
また、テーブル部材の周囲４辺の内の少なくとも隣接する２辺に位置検出センサを配設しているため、位置検出センサが相互干渉するに至る距離を長くしてテーブル部材の移動範囲を広くすることができ、広範囲でテーブル部材の位置を正確に検出することができる。
【００１４】
前述した位置検出センサとしては、差動変圧器，ポテンショメータ，レーザ変位計などのアナログ量検出センサを用いて、テーブル部材の移動量をアナログ量として出力することができる。また、前述した位置検出センサが、差動変圧器，ポテンショメータ或いはレーザ変位計であるときに、テーブル部材の移動をＸ−Ｙ平面内の２方向の直線変位に分解してＸ，Ｙ方向の移動量を得ると共にＸ又はＹ方向の移動量から回転方向の移動量を得るアナログ量検出センサを用いることが望ましい。
【００１５】
また、請求項４記載の発明では、前述した位置検出センサに、静電容量型の位置検出センサを用い、Ｘ−Ｙ平面上を所定範囲内で平面移動するテーブル部材の周囲４辺の内の隣接する２辺に、それぞれ少なくとも２個の静電容量型の位置検出センサを所定間隔を隔てて配設する。
【００１６】
また、この各位置検出センサを構成する一方のセンサ用面電極を前述したテーブル部材の一方の面の端面領域に装着すると共に、該各位置検出センサを構成する他方のセンサ用面電極を前述した一方のセンサ用面電極に一部分対向し且つ近接した状態で前述したテーブル部材保持用のケース本体側に固定装備する。
【００１７】
更に、前述したテーブル部材の移動と共に前述した一方と他方のセンサ用面電極の相互間に形成される静電容量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し所定の電気信号に変換して外部出力する演算部を備えている、という構成を採っている。
【００１８】
このため、この請求項４記載の発明では、テーブル部材が同一面内での所定の方向へ移動すると、Ｘ方向先およびＹ方向先に位置する各２個の位置検出センサが、テーブル部材の移動と共に変化する静電容量を検出し、この容量変化にかかる情報をリアルタイムで演算部へ出力する。演算部では、この４つのセンサ情報を所定の処理をし、当該テーブル部材の移動方向と移動量とを特定するに必要な所定の情報を演算し出力する。
【００１９】
ここで、例えばＸ軸方向に装備した一方と他方の２個の位置検出センサに容量変化が見られない場合にはテーブル部材はＹ軸に沿って（回転動作なしに）移動したことを意味し、その移動方向はＹ軸方向の２個の位置検出センサの容量の増減で判断され、同時にその移動量は当該Ｙ軸方向の位置検出センサの容量の変化量によって特定される。かかる判断および具体的な演算は、外部接続の主制御部等で実行される。
【００２０】
また、演算部では、例えばＸ軸方向とＹ軸方向の両方の位置検出センサが同一の容量変化を検出した場合には、テーブル部材が４５°方向に（回転動作なしに）移動したと判断されるに必要な情報を演算処理して外部出力するようになっている。
【００２１】
更に、隣接する２辺の各２個の位置検出センサがそれぞれ異なった容量変化を出力した場合には、テーブル部材は回転動作をしたことを意味し、同時に一方の２つの位置検出センサの容量変化の差と他方の２つの位置検出センサの容量変化の差とが等しい場合には正常回転を意味する。かかる判断に必要な情報、更には回転方向および回転角にかかる各情報は、演算部で信号処理されて外部出力されるようになっている。
【００２２】
これら各位置検出センサの容量変化のパターンによる移動方向の特定および各位置検出センサの容量の変化量とテーブル部材の移動量との関係は、例えば、予め実験的に特定し且つマップ化してメモリ等に記憶しておき、演算部では位置ずれ等にかかる情報を併記して特定し外部出力するようにしてもよい。
【００２３】
即ち、この請求項４記載の発明では、同一面内の所定範囲内でテーブル部材が３６０°方向の何れかの方向に微小移動した場合に、その移動量を直ちに静電容量の変化として連続的に検出することができ、同時に当該可動テーブルの同一面内において回転動作した場合にも、これを同様に精密に検出することができ、これらを同時に又は連続して移動情報として外部出力することが可能となっている。
【００２４】
請求項５記載の発明では、Ｘ−Ｙ平面上を所定範囲内で平面移動するテーブル部材の周囲４辺の各々に、それぞれ少なくとも２個の静電容量型の位置検出センサを所定間隔を隔てて配設する。
【００２５】
又、この各位置検出センサを構成する一方のセンサ用面電極を前述したテーブル部材の一方の面の端面周囲に装着すると共に、各位置検出センサを構成する他方のセンサ用面電極を前述した一方のセンサ用面電極に一部分対向し且つ近接した状態で前述したテーブル部材保持用のケース本体側に固定装備する。
【００２６】
そして、前述したテーブル部材の移動と共に各位置検出センサにおける一方と他方の各センサ用面電極の相互間に形成される静電容量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し所定の信号に変換して外部出力する演算部を備えている、という構成を採っている。
【００２７】
このため、この請求項５記載の発明では、前述した請求項４記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、テーブル部材の周囲４辺の各々に少なくとも２個の静電容量型の位置検出センサを装備したので、位置検出センサの数が２倍となり、このため、測定感度が倍増し、同時に対応する２辺に位置検出センサを同数装備したので、その差をとることにより外部からの電気的な雑音を排除することが可能となり、かかる点において、使用環境の悪い箇所にあってもその影響を受けることなく比較的正確に且つ高精度に移動情報を検出し出力することができる。
【００２８】
請求項６記載の発明では、前述した請求項５記載のテーブル位置検出用センサ装置において、前述したテーブル部材の中心部からＸ軸およびＹ軸に沿った方向先に位置する各端部に対応して配設した２個の位置検出センサの内、Ｘ軸又はＹ軸の何れか一方の軸線に沿った方向先の各端部に配設された２個の位置検出センサを、それぞれ一個とする、という構成を採っている。
【００２９】
このため、この請求項６記載の発明では、前述した請求項５記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、位置検出センサの数を少なくしたから、その分、演算部の負担が軽減され当該演算部の演算処理が迅速化される。
【００３０】
請求項７記載の発明では、前述した請求項４又は５記載のテーブル位置検出用センサ装置において、前述した演算部が、テーブル部材の移動情報の検出時に作動し外部から到来する雑音を有効に排除する雑音排除機能を備えている、という構成を採っている。
【００３１】
このため、この請求項７記載の発明では、前述した請求項４又は５記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、周囲環境の悪い場所においても或いは隣接する電気機器から突発的に発生する雑音に対しても、これらの外来雑音の影響を受けることなく移動情報を鮮明に且つ高精度に検出することができ、かかる点において装置全体の信頼性向上を図ることができる。
【００３２】
請求項８記載の発明では、前述した請求項１，４，５，６又は７記載のテーブル位置検出用センサ装置において、各位置検出センサの内のテーブル部材側に装備した各一方のセンサ用面電極を、所定幅の電極部材により帯状に形成してなる共通電極によって構成する、という手法を採っている。
【００３３】
このため、この請求項８記載の発明では、前述した請求項１，４，５，６又は７記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、複数の一方のセンサ用面電極を単一の共通電極で共用し得るので、構成が単純化され、組立及び調整が容易となり、生産性向上を図ることができるという利点があある。
【００３４】
請求項９記載の発明では、前述した請求項１，４，５，６，７又は８記載のテーブル位置検出用センサ装置において、位置検出センサを構成する一方と他方の各センサ用面電極を、それぞれ複数の板状電極を所定空隙を介して積層した状態で一体化し、これによって断面櫛型状に形成する。そして、この一方と他方の各センサ用面電極が相互に対向する部分の電極面部分が相互に接触することなく噛み合った形態をもって組み込む、という構成を採っている。
【００３５】
このため、この請求項９記載の発明では、前述した請求項１，４，５，６，７又は８記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、一方と他方の各センサ用面電極の対向面が増加した数の分だけ静電容量の変化分が数倍に倍増され、かかる点において測定感度を大幅に改善することができ、テーブル部材の移動にかかる位置情報を高感度に且つ高精度に出力することが可能となっている。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、添付図面に基づいて説明する。
【００３７】
【第１の実施形態】
本発明の第１の実施の形態を図１乃至図１９に示す。
この第１の実施形態は、本発明にかかるテーブル位置検出用センサ装置を、精密加工用のステージ装置について実施した場合の例を示す。
【００３８】
まず、図１乃至図３において、符号１は精密加工用のテーブル台としての可動テーブルを示し、符号２はテーブル保持機構を示す。このテーブル保持機構２は、図１の下方部分に配設され、前述した可動テーブル１が同一面内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テーブル１に元位置復帰力を付加した状態（元位置復帰機能を備えた状態）で当該可動テーブル１を保持するように構成されている。
【００３９】
このテーブル保持機構２は、本体部としてのケース本体３によって支持されている。
ケース本体３は、本実施形態では図１に示すように上方および下方が開放された箱体状に形成されている。付号４は電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段４は、その主要部がケース本体３側に保持され、前述した可動テーブル１に移動力を付勢する機能を備えている。
【００４０】
符号３Ａは、ケース本体３の内壁部周囲に突設された駆動手段保持部を示す。又、符号５はテーブル部材としての補助テーブルを示す。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に当該可動テーブル１に連結装備されている。
前述した電磁駆動手段４は、この２つのテーブル部材である補助テーブル５と可動テーブル１との間に配設されている。
【００４１】
この電磁駆動手段４は、補助テーブル５の所定位置に固定装備された４個の正方形形状の被駆動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置された十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対して前述した可動テーブル１の所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７と、この田形状駆動コイル７を定位置にて保持すると共に前述した補助テーブル５の可動テーブル１側に装備された固定プレート８とを備えている。この内、田形状駆動コイル７と固定プレート８とによって電磁駆動手段４の主要部が構成されている。
【００４２】
更に、前述した田形状駆動コイル７の前述した被駆動磁石６側の端面側には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が被駆動磁石６の磁極面に近接して個別に配設されている。この制動用プレート９は前述した固定プレート８側に固定された状態となっている。
【００４３】
電磁駆動手段４によって駆動される補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の移動状態は、位置情報検出手段２５（本発明にかかるテーブル位置検出用センサ装置）によってリアルタイムで連続的に且つ高精度に検出される。
【００４４】
この位置情報検出手段（テーブル位置検出用センサ装置）２５は、図５に示すように、本実施形態では静電容量型の８個の位置検出センサから成る容量センサ群２６と、この容量センサ群２６で検出される複数の容量成分を所定の信号処理をして位置情報としてテーブル駆動制御手段２１に送り込む位置情報演算回路（演算部）２７とを備えている。
そして、８個の位置検出センサを備えた容量センサ群２６は、後述するように、補助テーブル５とその周囲下面に対向してケース本体３から突設された本体側突出部３Ｂとの間に装備されている。
【００４５】
以下、これを更に詳細に説明する。
〔可動テーブルと補助テーブル〕
まず、図１乃至図３において、精密加工用のテーブル台としての可動テーブル１は、４角形状でもよいが、本実施形態では円形状に形成され、補助テーブル５は４角形状に形成されている。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に配置され、その中心部の連結支柱１０を介して前述した可動テーブル１に一体的に連結されている。
このため、この可動テーブル１は、補助テーブル５と平行状態を維持しつつ一体的に移動し且つ補助テーブル５と共に同一面上で一体的に回転し得るようになっている。
【００４６】
連結支柱１０は、前述したように可動テーブル１と補助テーブル５とを連結する連結部材であって、両端部に鍔部１０Ａ，１０Ｂを備えた断面工字状に形成され、その両端部外側中央には、可動テーブル１と補助テーブル５との各中心部に形成された位置決め孔１Ａ，５ａに係合する突起１０ａ，１０ｂが設けられている。そして、可動テーブル１と補助テーブル５とは、これらにより位置決めされ当該連結支柱１０を介して一体化されている。
【００４７】
〔テーブル保持機構〕
前述したテーブル保持機構２は、本実施形態にあっては可動テーブル１を保持しつつ当該可動テーブル１をその高さ位置を変えることなく同一面上のいずれの方向へも自在に移動可能とする機能を備えたものであり、補助テーブル５を介してこれを実行するようにしたものである。
【００４８】
このテーブル保持機構２は、全体的にはリンク機構を３次元空間に応用したもので、所定間隔を隔てて設置される２本の棒状弾性部材としてのピアノ線２Ａ，２Ｂを一組として予め補助テーブル５の端部周囲のコーナー部分に対応して４組準備し、この４組のピアノ線を組毎に、４角形状の中継プレート２Ｇの各４隅部分に分けてそれぞれ上方向に向けて植設する。そして、内側（テーブル側）に位置する４本のピアノ線２Ａで補助テーブル５を下方から保持し、外側（本体側）に位置する４本のピアノ線２Ｂで中継プレート２Ｇをケース本体（本体部）３側から突設された本体側突出部３Ｂに吊り下げられたような構成になっている。
【００４９】
ここで、上記４組８本の各棒状弾性部材は、それぞれ前述したようにピアノ線等から成る同一強度の棒状弾性部材で形成され、又この各組を構成するピアノ線２Ａ，２Ｂについては、その露出部分の長さＬおよび相互間の距離Ｓはそれぞれ同一に設定されている。この棒状弾性部材としてのピアノ線２Ａ，２Ｂは、可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性部材であれば他の部材であってもよい。
【００５０】
これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が中継プレート２Ｇと各４本のピアノ線２Ａ，２Ｂとによって空中で安定した様態で保持され、その水平面内での移動は、ピアノ線２Ａの弾性限界内において（元位置復帰機能を備えた状態で）リンク機構の原理に従って同一の高さ位置を維持しつつ何れの方向にも自在に移動可能となっている。同一面内での回転動作もほぼ同様に可能となる。
【００５１】
このため、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が、外力（例えば電磁駆動力）に付勢されてその同一面内で移動し又は回転すると、後述する図１２，図１５に示すように、テーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂが同時に弾性変形して中継プレート２Ｇが平行状態を維持しつつ上下動する。即ち、補助テーブル５（可動テーブル１）が外力によってその面内で移動し又は回転すると、その高さ位置の変動は中継プレート２Ｇによって吸収される。
【００５２】
これにより、補助テーブル５（可動テーブル１）は、外力に付勢されて移動しても、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性限界内において何れの方向へも同一高さを維持しつつ移動する。そして、この場合、駆動力を開放すると、補助テーブル５は可動テーブル１と共に、各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用によって一直線に元位置に復帰する。
【００５３】
〔電磁駆動手段〕
可動テーブル１と補助テーブル５との間には、前述したように、補助テーブル５を介して前述した可動テーブル１に対し所定の移動力を付勢する電磁駆動手段４が装備されている（図１参照）。
【００５４】
この電磁駆動手段４は、平面駆動のリニアモータであり、前述したように補助テーブル５上に装備された４個の被駆動磁石（本実施形態では永久磁石が使用されている）６と、この各被駆動磁石６を介して可動テーブル１に所定の移動方向に向けて所定の電磁力を付勢する４個の田形状駆動コイル７と、この各田形状駆動コイル７を保持する固定プレート８とを備えている。
【００５５】
この内、固定プレート８は、図１に示すように、補助テーブル５の可動テーブル１側（補助テーブル５と可動テーブル１との間）に装備され、その周囲がケース本体３に固着装備されている。この固定プレート８の中央部には、前述した連結支柱１０の所定範囲内での平行移動を許容する貫通穴８Ａが形成されている。
【００５６】
前述した固定プレート８は、前述したようにその周囲全体が本体側突出部３Ａに保持されている。この場合、固定プレート８と本体側突出部３Ａとは、その一体化を堅牢にするため、ネジ止め後にノックピン等で一体化しても或いは溶接等で一体化してもよい。このようにすると、可動テーブルのミクロン（μ）単位の変位や移動に対しても、固定プレート８がケース本体３に対して位置ずれを生じることなく円滑にこれに対応することができるという利点が生じる。
【００５７】
前述した４個の被駆動磁石６は、本実施形態では図２，図３に示すように、駆動コイルとの対向面が４角形状の永久磁石が使用され、補助テーブル５の上面における直交するＸ軸，Ｙ軸からなるＸ−Ｙ面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上にそれぞれ配設され固着されている。
この４個の被駆動磁石６に対向する位置には、中央部に十字状のコイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対し前述した可動テーブル１の所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７が、前述した４個の被駆動磁石６に個別に対応して固定プレート８上の定位置に、固着装備されている。
【００５８】
この場合、４個の被駆動磁石６の向きは、田形状駆動コイル７に面する側の磁極が、本実施形態ではＸ軸上のものはＮ極に、Ｙ軸上のものはＳ極に、それぞれ設定されている（図２，図３参照）。
このため、十字状のコイル辺の縦方向又は横方向に通電される電流と被駆動磁石６との間に発生する電磁力は、常にＸ軸方向又はＹ軸方向に統一され、その合力が常に最大値となるように設定されている。このため、発生する電磁力を効率良く可動テーブル１に対する駆動力として出力することが出来て都合がよい。
【００５９】
又、前述した、田形状駆動コイル７については、その大きさは内側に有する十字状コイル辺の領域が前述した被駆動磁石６の最大移動範囲を許容する大きさに設定されている。
このため、４個の被駆動磁石６との間に生じる電磁力は、田形状駆動コイル７が固定プレート８上の定位置に固定されていることにより、当該被駆動磁石６を介して補助テーブル５に対する所定方向への移動力として確実に出力されることとなる。
【００６０】
〔田形状駆動コイル〕
電磁駆動手段４の主要部を成す田形状駆動コイル７は、例えば図４に示すように、実際にはそれぞれ独立して通電可能な４個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄにより構成されている。
【００６１】
そして、各角形小コイル７ａ〜７ｄの通電方向を後述する動作制御系によって外部から切り換え制御することにより、例えば田形状駆動コイル７の内部の十字状部分に流れる電流を図中の縦方向又は横方向の何れか一方に限定して通電（正又は逆方向を含めて）することが可能となり、これにより対応して配置された被駆動磁石６に対しては、フレミングの左手の法則に従って当該各被駆動磁石６を所定の方向へ押圧する電磁力（反力）を出力することができる。
【００６２】
このため、４個の角形小コイル７ａ〜７ｄに生じる電磁力の方向を組み合わせることにより、前述した田形状駆動コイル７の内側に位置する十字状のコイル辺部分に、縦方向又は横方向等の何れか一方への通電状態が設定され、これによって対応する被駆動磁石６に所定方向への電磁駆動力が出力される。そして、前述した４個の被駆動磁石６に生じる電磁駆動力の合力によって、前述した補助テーブル５に対してＸ−Ｙ軸上で回転動作を含む任意の方向に向けて移動力が付勢されるようになっている。
【００６３】
これら４個の角形小コイル７ａ〜７ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述する動作プログラム記憶部２２の説明箇所（図７）で詳述する。
又、この４個の角形小コイル７ａ〜７ｄは中空のコイルもよいが、内側にフェライト等の被導電性磁性部材を充填したものであってもよい。
符号９は、被駆動磁石６に近接対向して田形状駆動コイル７側に固定装備された制動用プレートを示す。
【００６４】
〔位置情報検出手段：テーブル位置検出用センサ装置〕
前述した電磁駆動手段４によって駆動される補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の移動状態は、位置情報検出手段（本発明にかかるテーブル位置検出用センサ装置）２５によって検出される。
この位置情報検出手段２５によって検出された可動テーブル１の移動情報は、外部表示用として外部出力され、或いはテーブル駆動制御手段２１によるフィードバック制御用として使用される。
【００６５】
この位置情報検出手段２５は、図５に示すように、本実施形態では静電容量型の８個の位置検出センサを備えた容量センサ群２６と、この容量センサ群２６で検出される８個の変化したセンサ部分の静電容量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し電圧変換すると共に所定の演算をしたのち位置情報として後述するテーブル駆動制御手段２１に送り込む（又は外部出力する）演算部としての機能を有する位置情報演算回路２７とを備えた構成となっている。
【００６６】
この内、位置情報演算回路（演算部）２７は、具体的には前述した容量センサ群２６で検出される８個の変化したセンサ部分の容量成分を個別に電圧変換する信号変換回路部２７Ａと、この信号変換回路部２７Ａで変換された８個の電圧信号を所定の演算によりＸ−Ｙ座標上の位置を示すＸ方向位置信号ＶＸ 及びＹ方向位置信号ＶＹ に変換し、更には前述した容量センサ群２６から検出される全部の情報に基づいて所定の演算をし回転角信号Ｖθとして出力する位置信号演算回路部２７Ｂとにより構成されている（図５，図１６参照）。
【００６７】
又、容量センサ群２６を構成する８個の各位置検出センサは、図１乃至図３に開示したように、可動子の一部を構成するテーブル部材としての４角形状の補助テーブル５側に装備された一方のセンサ用面電極５Ｇと、この一方のセンサ用面電極５Ｇの電極面に近接し且つ一部分対向して各辺に２個づつ所定間隔を隔てて配設され固定子であるケース本体側の同一面上に装着された８枚の他方のセンサ用面電極２６Ｘ１ ，２６Ｘ２ ，２６Ｘ３ ，２６Ｘ４ ，２６Ｙ１ ，２６Ｙ２ ，２６Ｙ３ ，２６Ｙ４ とを備えている。
そして、この一方のセンサ用面電極５Ｇと、８枚の他方のセンサ用面電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４とにより、８個の位置検出センサ（容量センサ群２６）が構成されている。
【００６８】
ここで、一方のセンサ用面電極５Ｇは、後述するように他方のセンサ用面電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４に個別に対応したものでもよいが、本実施形態では単一の部材によって形成されて補助テーブル５の一方の面である背面の面周囲に装着されている。
【００６９】
即ち、この一方のセンサ用面電極５Ｇは、所定幅の導電性部材で帯状に形成され、これが補助テーブル５の背面の面周囲に沿って大口形状の連続した形に形成され且つ共通電極として接地された状態で、当該補助テーブル５の裏面（図１内の補助テーブル５の下面）に装着されている。
【００７０】
８個の前述した他方のセンサ用面電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４は、Ｘ−Ｙ平面上におけるＸ軸およびＹ軸に沿った方向先に位置する両方の端部の前述した共通電極５Ｇに対応して、前述したようにそれぞれ２個ずつ所定間隔を隔てて配設されている（図２〜図３参照）。
【００７１】
ここで、前述した位置検出センサという場合、実際にはこの各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４と共通電極との組み合わせで構成されるものを呼称するが、ここでは、便宜上、信号を外部に向けて発信する他方のセンサ用面電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４を、位置検出センサとして扱うものとする。
【００７２】
上記各位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４の内、２個の位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２が図２，図３の右端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備され、これに対して他の２個の位置検出センサ２６Ｘ３，２６Ｘ４が図２，図３の左端部の上下に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
【００７３】
また、上記各位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４の内、２個の位置検出センサ２６Ｙ１，２６Ｙ２が図２，図３の上端部の左右に沿って所定間隔を隔てて装備され、他の２個の位置検出センサ２６Ｙ３，２６Ｙ４が図２，図３の下端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
【００７４】
即ち、上記８個の各位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４は、本実施形態にあっては図２〜図３に示すように、Ｘ軸およびＹ軸に対して、それぞれ線対称の位置に配設されている。
尚、この各位置検出センサの配置については、必ずしもＸ軸およびＹ軸に対して線対称の位置でなくてもよい。
【００７５】
そして、例えば前述した補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が電磁駆動手段４に付勢されて図６（Ａ）に示すように矢印Ｆの方向（図中、右上方向）に移動動作した場合、本実施形態では、補助テーブル５の両側に（及び上下方向に）位置する位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２（２６Ｙ１，２６Ｙ２ ），２６Ｘ３，２６Ｘ４（２６Ｙ３，２６Ｙ４）で検出される変化した容量成分が、位置情報演算回路（演算部）２７の信号変換回路部２７Ａで電圧変換された後に位置信号演算回路部２７Ｂに送り込まれ、この位置信号演算回路部２７Ｂで前述した各変換電圧を入力してＸ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹとして（後述するように）差動出力される構成となっている。
【００７６】
又、前述した補助テーブル５が電磁駆動手段４に付勢されて図６（Ｂ）に示すように矢印方向に回転動作した場合、本実施形態では、前述した場合と同様に各部が作動し同様に機能して、その変化した容量成分が電圧変換されて所定の回転角信号Ｖθとして（後述するように）差動出力される構成となっている。
【００７７】
即ち、位置情報演算回路（演算部）２７は、テーブル部材（補助テーブル５）の移動と共に前述した一方と他方のセンサ用面電極５Ｇ，２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の相互間に形成される静電容量の変化をテーブル部材（補助テーブル５）の移動の位置情報として検出し所定の電気信号に変換して外部出力する機能を備えている。。
【００７８】
換言すると、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動と共に８個の各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４に生じる容量変化が、位置情報演算回路（演算部）２７の信号変換回路部２７Ａによってリアルタイムで検知され、それが位置信号演算回路部２７Ｂへ送り込まれる。そして、この位置信号演算回路部２７Ｂでは、この８つのセンサ情報に基づいて可動テーブル１の移動方向と移動量とを含む位置情報を特定する。
符号２７ａは、位置情報演算回路（演算部）２７で特定された可動テーブルの位置情報を外部出力するための出力端子を示す。
【００７９】
この場合、例えば補助テーブル５のＹ軸方向の各端部に対応して装備した合計４個の各位置検出センサ２６Ｙ１〜２６Ｙ４に容量変化が見られない場合には可動テーブル１はＸ軸に沿って（回転動作なしに）移動したことを意味し、その移動方向はＸ軸方向の４個の位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４の容量の増減で判断され、その移動量はＸ軸方向の位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４の変化した容量値によって特定される。
【００８０】
又、Ｘ軸方向とＹ軸方向の両方の位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４が同一の容量変化を検出した場合には、可動テーブル１は４５°方向に（回転動作なしに）移動したことを意味し、その移動方向は直接的には各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量の増減のパターンによって判断され、又その移動量は、各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量の変化量によって特定される。
【００８１】
更に、同一箇所に配置された対を成す２個の位置検出センサ（例えば２６Ｘ１，２６Ｘ２）が異なった容量変化を出力した場合は、可動テーブル１は回転動作をしたことを意味し、同時に一方の２つの位置検出センサ（例えば２６Ｘ１，２６Ｘ２）の容量変化の差と隣接する他方の２つの位置検出センサ（例えば２６Ｙ１，２６Ｙ２）の容量変化の差とが等しい場合には正常回転を意味する。
この可動テーブルの回転方向は各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量の増減のパターンによって判断され、又その移動量は、各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量の変化量によって特定される。
【００８２】
ここで、これら各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量変化のパターンによる移動方向の特定，および各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量の変化量と可動テーブルの移動量との関係は、例えば、予め実験的に特定され且つマップ化してメモリ等に記憶し、これを基準として位置ずれ等を判断するように構成してもよい。
このようにすると、演算処理の迅速化が図られて都合がよい。そして、これら一連の分析および判断は、テーブル駆動制御手段２１にて行われる。
【００８３】
又、本実施形態にあっては、例えば、図３の左右（及び上下）の各位置検出センサに同時に印加されるノイズを差動出力（例えば、Ｘ軸方向の一端部と他端部に配置された位置検出センサに検知される容量変化の差をとること：外部雑音排除機能）によって打ち消すことができ、同時に測定値が電圧変換された後にその変化分が合算されて出力されるので、補助テーブル５（可動テーブル１）の位置情報を高感度に出力することができるという利点がある。かかる外部雑音排除機能は、本実施形態にあっては前述した位置情報演算回路（演算部）２７が備えている。
【００８４】
〔動作制御系〕
本実施形態にあっては、前述した電磁駆動手段４には、前述した複数の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御して前述した可動テーブル１の移動若しくは回転動作を規制する動作制御系２０が併設されている（図５参照）。
【００８５】
この動作制御系２０は、図５に示すように、前述した電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７を所定の制御モードに従って個別に駆動し前述した可動テーブル１を所定の方向に（補助テーブル５を介して）移動制御するテーブル駆動制御手段２１と、このテーブル駆動制御手段２１に併設され前述した可動テーブル１の移動方向，回転方向，およびその動作量等を特定するための複数の制御モードにかかる複数の制御プログラムが記憶された動作プログラム記憶部２２と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
【００８６】
テーブル駆動制御手段２１には、複数の各田形状駆動コイル７に対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。又、このテーブル駆動制御手段２１には、前述した可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前述した位置情報検出手段２５によって検出され、後述するように所定の演算処理が成されて送り込まれるようになっている。
【００８７】
前述したテーブル駆動制御手段２１は、本実施形態にあっては、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードを動作プログラム記憶部２２から選択し前述した複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電制御する主制御部２１Ａと、この主制御部２１Ａにて設定される制御モードに従って所定の４個の各田形状駆動コイル７，７，……を同時に且つ個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１Ｂとを備えている。
【００８８】
又、主制御部２１Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前述した可動テーブル１の移動方向及び現在位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。
符号４Ｇは、前述した電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電する電源回路部を示す。
【００８９】
更に、上記テーブル駆動制御手段２１は、前述した位置情報検出手段２５からの情報を入力して所定の演算を行いこれに基づいて予め動作指令入力部２４で設定した移動先の基準位置情報とのズレを算定する位置ずれ算定機能と、この算定された位置ずれ情報に基づいて電磁駆動手段４を駆動し予め設定された移動先の基準位置に当該可動テーブル１を移送制御するテーブル位置補正機能とを備えている。
【００９０】
このため、本実施形態にあっては、可動テーブル１の移動方向が外乱等によってずれた場合には、当該ずれを修正しながら可動テーブル１を所定の方向に移送制御することとなり、これにより当該可動テーブル１は迅速且つ高精度に予め設定した目標位置に移送されることとなる。
【００９１】
〔動作プログラム記憶部〕
前述したテーブル駆動制御手段２１は、動作プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の通電パターンおよびその選択組合せである所定の制御モード）に従って前述した電磁駆動手段４の４個の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御するように構成されている。
【００９２】
即ち、前述した動作プログラム記憶部２２には、本実施形態にあっては前述した４個の各田形状駆動コイル７，７，……に対する基本的な４つの通電パターンを実行するためのプログラムが記憶されている（図５，図７参照）。
【００９３】
図７は、田形状駆動コイル７（固定子側）の４個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄに対する４種類の通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄと、その時に各田形状駆動コイルの十字辺部分に生じる電流の向き、及びこれに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
【００９４】
この図７において、通電パターンＡの場合は、角形小コイル７ａ，７ｂに対しては左回りの電流が，又角形小コイル７ｃ，７ｄに対しては右回りの電流がそれぞれ通電制御され、これによって中央部に位置する十字状のコイル辺部分では、外部に出力される磁束が全体的に加算又は相殺され、その結果としてＸ軸の正方向の電流ＩＡ のみが通電されたのと同等の状態となる。
【００９５】
又、通電パターンＢでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｄが個別に通電制御され、これによってＸ軸の負方向の電流ＩＢのみが通電されたのと同等の状態となる。通電パターンＣでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｄが個別に通電制御され、これによってＹ軸の正方向の電流ＩＣのみが通電されたのと同等の状態となる。同様に、通電パターンＤでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｄが個別に通電され、これによってＹ軸の負方向の電流ＩＤ のみが通電されたのと同等の状態となる。
この上記４つの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、動作プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラムに基づいて実行されるようになっている。
【００９６】
又、図７に開示した白抜き矢印は、これらの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６との間に発生する電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
【００９７】
この場合、対応する各電磁力は田形状駆動コイル７の通電コイル辺部分にフレミングの左手の法則によって発生するが、当該田形状駆動コイル７が固定プレート８上に固定されていることからその反力が電磁駆動力（推力）として被駆動磁石（永久磁石）６側に向けて発生する。
図７に開示した白抜き矢印は、その反力（電磁駆動力）の向きを示すものでもある。このため、この反力（電磁駆動力）は、被駆動磁石６の磁極Ｎ，Ｓの種類によってその向きが反転する。
【００９８】
更に、この動作プログラム記憶部２２には、前述した固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ平面上にて可動テーブル１をＸ軸の正負２方向およびＹ軸の正負２方向にそれぞれ移動せしめる第１乃至第４の制御モードと、Ｘ−Ｙ平面上に設定される各象限内の所定方向に可動テーブル１を移動せしめる第５乃至第８の制御モードと、可動テーブル１を所定位置にて時計方向又は反時計方向に回転動作せしめる第９乃至第１０の各制御モードにかかる各動作プログラムが記憶されている。
【００９９】
図８乃至図１０に、前述した第１，第５，第９の各制御モードにかかる動作プログラムを実行した場合に生じる各田形状駆動コイル７の機能および補助テーブル（可動テーブル１）の動作状態の一例を、それぞれ示す。
【０１００】
図８（Ａ）（Ｂ）は、第１の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第１の制御モードでは、Ｘ軸上の２つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の２つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御される。図８（Ａ）において、記号Ｎ，Ｓは、各被駆動磁石（永久磁石）６の磁極の種類を示す。
【０１０１】
その結果、この第１の制御モードでは、各被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＸ１，ＦＸ２，ＦＸ３，ＦＸ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸ軸上の正の方向（矢印 ＋ＦＸ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる（図１２，図１３参照）。
ここで、図１３中、位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の交差した斜線部分は当該箇所の位置検出センサにおける増加した容量成分ＣＸ１，ＣＸ２の大きさを示し、一方向の斜線部分は当該箇所の位置検出センサにおける減少した容量成分ＣＸ３，ＣＸ４の大きさを示す。
【０１０２】
図８（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７，……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ軸上の正の方向に補助テーブル５を移送する場合には、特に、Ｙ軸上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさの駆動力を発生させることが重要となる。
【０１０３】
第２乃至第４の各制御モードの場合も、上記第１の制御モードの場合と同様に、それぞれ各田形状駆動コイル７，７，……に通電する通電パターンＡ〜Ｄを適宜選択し、これによって、補助テーブル５（可動テーブル１）をＸ軸又はＹ軸に沿った所定の方向に駆動し得るようになっている。
【０１０４】
図９（Ａ）（Ｂ）は、第５の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の２つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ通電パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の２つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ通電パターンＢの手法で通電制御される。
【０１０５】
その結果、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の２つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＸ１， ＦＸ３の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上の２つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＹ２， ＦＹ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸ−Ｙ軸上の中心点から第１象限方向に向けて（矢印ＦＸＹ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる（図１４参照）。
ここで、図１４中、位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の内の交差した斜線部分はそれぞれ当該箇所の位置検出センサにおける増加した容量成分ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２の大きさを示し、一方向の斜線部分はそれぞれ当該箇所の位置検出センサにおける減少した容量成分ＣＸ３，ＣＸ４，ＣＹ３，ＣＹ４の大きさを示す。
【０１０６】
図９（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７，……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第１象限方向に向かう方向（矢印ＦＸＹ）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形状駆動コイル７，７，……に通電される電流値の大きさを適当に設定することによって、その移動方向を変化させることができることが分かる。かかる通電電流の大きさは前述した主制御部２１Ａで設定制御される。
【０１０７】
第６乃至第８の各制御モードの場合も、上記第５の制御モードの場合と同様に、それぞれ各田形状駆動コイル７，７，……に通電する通電パターンＡ〜Ｄを適宜選択し、これによって、補助テーブル５（可動テーブル１）をＸ−Ｙ座標上の所定の象限の方向に向けて駆動し得るようになっている。
【０１０８】
図１０（Ａ）（Ｂ）は、第９の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第９の制御モードでは、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）を所定角度θ分、回転動作させるためのもので、この制御動作では、所定の許容範囲内において中心軸を有しない補助テーブル５を左回り（反時計方向）の円運動をさせ所定位置での静止動作が可能としたものである。
【０１０９】
即ち、この図１０（Ａ）に示す第９の制御モードでは、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は通電パターンＡの手法によって、Ｘ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は通電パターンＢの手法によって、Ｙ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は通電パターンＤの手法によって、又Ｙ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は通電パターンＣの手法によって、それぞれ通電制御される。
【０１１０】
その結果、この第９の制御モードでは、各田形状駆動コイル７，７，……に対応した各被駆動磁石（永久磁石）６には、図１０（Ｂ）に示すようにそれぞれ左回りの方向に沿って各軸に直交する方向ＦＹ１，−ＦＸ２，−ＦＹ３，又はＦＸ４に向けてそれぞれ電磁駆動力が発生する。
【０１１１】
このため、図１０（Ａ）に開示したように、当該各被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力の大きさをそれぞれ同一の大きさＰに設定制御することにより、補助テーブル５は所定の許容範囲内において中心軸を有しない状態でも左回りの円運動をし所定位置での静止動作が可能となる（図１５参照）。
【０１１２】
ここで、図１５中、容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の内の交差した斜線部分は当該箇所の位置検出センサにおける増加した容量成分ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＹ２，ＣＹ３，の大きさを示し、一方向の斜線部分は当該箇所の位置検出センサにおける減少した容量成分ＣＸ１，ＣＸ４，ＣＹ１，ＣＹ４の大きさを示す。
【０１１３】
この場合、円運動後の停止位置は、全体の電磁駆動力と前述したテーブル保持機構２のバネ作用による元位置復帰力とのバランス点（所定角度θ分、回転した位置）となり、かかる停止位置は設定回転角度と前述した電磁駆動力との関係として予め実験的に特定し、検索可能に図表化（マップ化）して前述したデータ記憶部２３に記憶するようにしてもよい。
【０１１４】
図１０（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７，……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ−Ｙ座標上の中心点Ｏを回転中心として補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は所定角度θだけ左回り（反時計方向）に回転し停止することとなる。
この場合、回転後の停止位置を設定する回転角度θの大きさは、各田形状駆動コイル７，７，……に通電される同一の電流値の大きさを適当に設定制御することにより、その回転角度θが定められる。かかる通電電流の大きさは前述した主制御部２１Ａで設定制御される。
【０１１５】
第１０の制御モードの場合は、補助テーブル５（即ち可動テーブル１）を右回り（時計方向）に回転させる場合である。このため、この第１０の制御モードでは、前述した各各田形状駆動コイル７，７，……に通電される同一の電流の向きをそれぞれ逆方向に設定すればよい。
【０１１６】
これらの各通電パターンおよび各制御動作にかかる動作プログラムは、テーブル駆動制御手段２１に併設された動作プログラム記憶部２２に出力可能に記憶されている。そして、テーブル駆動制御手段２１は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて前述した各動作プログラムの何れかを選択し、これに基づいて前述した電磁駆動手段４を駆動制御するようになっている。
【０１１７】
〔制動用プレート〕
前述した４個の各田形状駆動コイル７の被駆動磁石６に対向した端面部分には、図１乃至図３に示すように、非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９が、周囲から絶縁された状態で各被駆動磁石６の磁極面に対向し且つ近接してそれぞれ固着装備されている。そして、この各制動用プレート９は、補助テーブル５（可動テーブル１）の急激な移動動作に対してこれを抑制しつつ当該補助テーブル５（可動テーブル１）を緩やかに移動させる機能を備えている。
【０１１８】
即ち、４個の被駆動磁石６が装備された補助テーブル５又は可動テーブル１が急激な移動動作をした場合、当各該被駆動磁石６とこれに対応した各制動用プレート９との間に電磁制動（うず電流ブレーキ）が働く。これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は急激な移動動作が抑制されて徐々に移動することとなる。
【０１１９】
図１１（Ａ）（Ｂ）に、上記電磁制動（うず電流ブレーキ）の発生について示す。
この図において、制動用プレート９は、被駆動磁石６のＮ極に対向して田形状駆動コイル７の端部に固着されている。
いま、補助テーブル５が図の右方向に速度Ｖ１で急激に移動すると、金属製の制動用プレート９は（固定されているため）相対的に図の左方向に同一の速度Ｖ２（＝Ｖ１）で急激に移動することになる。これにより、制動用プレート９内にはフレミングの右手の法則に従って速度Ｖ２に比例した起電力ＥＶが図１１（Ｂ）に示す方向（図中、上向き）に発生し、これにより同矢印の方向に左右対象の渦電流が流れる。
【０１２０】
次に、起電力ＥＶ の発生領域にはＮ極からの磁束が存在することから、この被駆動磁石６の磁束と制動用プレート９内の（起電力ＥＶ方向の）渦電流との間にフレミングの左手の法則に従って所定の移動力ｆ１が制動用プレート９内に（図の右方向に向けて）発生する。
【０１２１】
一方、制動用プレート９は固定プレート８上で固定されているため、移動力ｆ１の反力ｆ２が被駆動磁石６上に制動力として発生し、その向きは移動力ｆ１の向きとは逆の向きになる。即ち、この制動力ｆ２は被駆動磁石６（即ち補助テーブル５）の最初の急激な移動方向とは逆の方向となり、しかもその大きさは当該補助テーブル５の移動速度に比例した大きさとなることから、当該補助テーブル５はその急激な移動が適度の制動力ｆ２によって抑制され、安定した状態で円滑に移動することとなる。
他の制動用プレート９の箇所でも全く同様に所定の制動力ｆ２ が発生する。
【０１２２】
このため、被駆動磁石６を備えた補助テーブル５では、例えば急激な停止動作に際しては当該停止箇所にて往復移動が生じ易いが、これに対しては制動力ｆ２ によってその動作が適度に抑制されて円滑に穏やかに移動することとなる。このため、全体的にはこの各制動用プレート９が有効に機能して、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動動作の安定した装置を得ることができる。又、外部からの振動によって補助テーブル５が往復微小振動した場合にも、同様に機能してかかる往復微小振動は有効に抑制される。
【０１２３】
このため、テーブル位置検出用センサ装置では、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動動作が安定することから、当該補助テーブル５（可動テーブル１）の位置情報も振動の少ない安定した位置情報として検知することができ、その移動状態をリアルタイムで且つ連続して外部出力することができる。
【０１２４】
又、上記各制動用プレート９は、各田形状駆動コイル７の駆動時に生じる熱を放熱する機能を兼ね備えている。かかる点において経年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性および信頼性を高めることができる。
【０１２５】
尚、前述した制動用プレート９については、本実施形態では各田形状駆動コイル７毎に装備した場合を例示したが、２個以上又は全部の田形状駆動コイル７を対象としてこれを一枚の制動用プレートで覆うように構成したものであってもよい。
【０１２６】
〔位置情報検出手段とテーブル駆動制御手段との連係動作〕
ここで、前述した位置情報検出手段２５の具体的な構成および前述したテーブル駆動制御手段２１との連係した機能を、図１６に基づいて更に詳細に説明する。
【０１２７】
位置情報検出手段２５は、前述したように、容量センサ群２６として８個の位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４を備えている。
この８個の各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４は、前述した補助テーブル５が所定の方向へ移動した場合に生じる静電容量の変化分を、それぞれ個別にＣＸ１，ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＸ４，ＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４として出力する。
これら静電容量の変化分（信号）は、以後、前述した補助テーブル５（可動テーブル１）の移動情報として取り扱われる。
【０１２８】
ここで、実際の容量データの測定に際しては、一般に行われている手法が使用され、所定周波数の測定電流（交流）を通電し、その抵抗成分の増減をもって静電容量の変化が連続した変化情報として捕捉される。
【０１２９】
図１６に、前述した各８個の位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と当該箇所で個別に検知され出力される静電容量の変化分ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＸ４，ＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４との対応およびデータ処理の手順を示す。
ここで、各静電容量の変化分ＣＸ１〜ＣＸ４，ＣＹ１〜ＣＹ４の値（測定により得られた値）そのものは、静電容量の増加又は減少に対応して正負の符号を含んだものとなっている。
【０１３０】
この容量センサ群２６の各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４で検出された静電容量の変化分（移動情報）ＣＸ１〜ＣＸ４，ＣＹ１〜ＣＹ４は、位置変換回路部２７Ａでそれぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２，ｖＸ３，ｖＸ４，ｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、位置信号演算回路部２７Ｂへ送られる。
この各電圧信号ｖＸ１〜ｖＸ４，ｖＹ１〜ｖＹ４は、前述した静電容量の増加又は減少に対応して正負の符号を含んだものとなっている。
【０１３１】
位置信号演算回路部２７Ｂは、補助テーブル５（移動テーブル１）の移動後のＸ方向の位置信号を演算し特定するための少なくとも３つの加算回路２７Ｂ１，２７Ｂ２，２７Ｂ３と、Ｙ方向の位置信号を形成するための少なくとも３つの加算回路２７Ｂ４，２７Ｂ５，２７Ｂ６と、回転移動した場合の回転角信号を形成するための少なくとも３つの加算回路２７Ｂ７，２７Ｂ８，２７Ｂ９の合計９個の加算回路を備えた構成となっている。
【０１３２】
この内、Ｘ方向の位置信号ＶＸ は、下記の順序で演算され特定される。
まず、加算回路２７Ｂ１で「ＶＸ１２＝ｖＸ１ ＋ｖＸ２ 」
加算回路２７Ｂ２で「ＶＸ３４＝ｖＸ３ ＋ｖＸ４ 」
加算回路２７Ｂ３で「ＶＸ＝ＶＸ１２ −ＶＸ３４ 」
このＸ方向の位置信号ＶＸを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで、前述した位置情報演算回路（演算部）２７の雑音排除機能が実行され、外部から到来する雑音が雑音が排除（相殺）され、当該Ｘ方向位置信号ＶＸ は差動出力信号として出力される。
【０１３３】
又、Ｙ方向の位置信号ＶＹは、前述したＸ方向位置信号ＶＸと並行して下記の順序で演算され特定される。
まず、加算回路２７Ｂ４で「ＶＹ１２＝ｖＹ１ ＋ｖＹ２ 」
加算回路２７Ｂ５で「ＶＹ３４＝ｖＹ３ ＋ｖＹ４ 」
加算回路２７Ｂ６で「ＶＹ＝ＶＹ１ ２ −ＶＹ３４ 」
このＹ方向の位置信号ＶＹを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで、前述した位置情報演算回路（演算部）２７の雑音排除機能が実行され、外部から到来する雑音が排除（相殺）され、当該Ｙ方向位置信号ＶＹ は差動出力信号として出力される。
【０１３４】
更に、回転角信号Ｖθは、前述したＸ方向位置信号ＶＸ及びＹ方向位置信号ＶＹと並行して下記の順序で演算され特定される。
まず、加算回路２７Ｂ７で「Ｖ０１＝ｖＸ２＋ｖＸ３＋ｖＹ２＋ｖＹ３ 」
加算回路２７Ｂ８で「Ｖ０２＝ｖＸ１＋ｖＸ４＋ｖＹ１＋ｖＹ４ 」
加算回路２７Ｂ９で「Ｖθ＝Ｖ０１−Ｖ０２ 」
この回転角信号Ｖθを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで、前述した位置情報演算回路（演算部）２７の雑音排除機能が実行され、これによって外部から到来する雑音が排除（相殺）され、当該回転角信号Ｖθは差動出力信号として出力される。
【０１３５】
このようにして演算され特定されたＸ方向位置信号ＶＸ ，Ｙ方向位置信号ＶＹ 及び回転角信号Ｖθは、外部出力端子２７ａを介して例えば外部の位置表示装置等に向けて出力され、同時に前述したテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａへ送られるようになっている（図５参照）。
【０１３６】
そして、外部出力されたＸ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹ及び回転角信号Ｖθは、外部の位置表示装置等に表示されてオペレータ等により成される可動テーブル１の位置の確認、および位置ずれに対して成される正常位置への移動操作に際しての目標データとして有効利用される。
又、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａでは、入力されたＸ方向位置信号ＶＸ ，Ｙ方向位置信号ＶＹ 及び回転角信号Ｖθに基づいて可動テーブル１の位置ずれ等が演算され、必要に応じて位置補正にかかる制御動作が実行される。
【０１３７】
この主制御部２１Ａでは、可動テーブル１の位置ずれ等の演算に先立って、前述した位置情報検出手段２５から送り込まれるＸ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹ及び回転角信号Ｖθの内容を分析し、これに基づいて、可動テーブル１の実際の移動方向及びその位置を、下記の基準に従って算定するようになっている。
（１）．ＶＸ ＞０，ＶＹ ＝０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｘ軸上の正方向、・移動先の位置：ＶＸ の値に対応した位置
（２）．ＶＸ ＜０，ＶＹ ＝０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｘ軸上の負方向、・移動先の位置：ＶＸ の値に対応した位置
（３）．ＶＸ ＝０，ＶＹ ＞０，Ｖθ＝０ の場合、
・移動方向：Ｙ軸上の正方向、・移動先の位置：ＶＹ の値に対応した位置
（４）．ＶＸ ＝０，ＶＹ ＜０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｙ軸上の負方向、・移動先の位置：ＶＹ の値に対応した位置
（５）．ＶＸ ＞０，ＶＹ ＞０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で第１象限の正方向
・移動先の位置：Ｘ−Ｙ座標上で「ＶＸ ，ＶＹ 」の値に対応した位置
（６）．ＶＸ ＜０，ＶＹ ＜０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で第３象限の正方向
・移動先の位置：Ｘ−Ｙ座標上で「ＶＸ ，ＶＹ 」の値に対応した位置
（７）．ＶＸ ＜０，ＶＹ ＞０，Ｖθ＝０ の場合、
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で第２象限の正方向
・移動先の位置：Ｘ−Ｙ座標上で「ＶＸ ，ＶＹ 」の値に対応した位置
（８）．ＶＸ ＞０，ＶＹ ＜０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で第４象限の正方向
・移動先の位置：Ｘ−Ｙ座標上で「ＶＸ ，ＶＹ 」の値に対応した位置
（９）．Ｖθ＞０ の場合、
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で反時計回りの方向
・回転角度：「Ｖθ」の値に対応した角度
（１０）．Ｖθ＜０の場合、
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で時計回りの方向
・回転角度：「Ｖθ」の値に対応した角度
【０１３８】
ここで、Ｘ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹ及び回転角信号Ｖθの各値が前述した動作指令入力部２４から最初に指令された移動先の位置情報（基準位置情報）と異なった場合に、前述した主制御部２１Ａでは、位置ずれ演算機能が作動して「位置ずれあり」と判断され、位置ずれの方向とその大きさが演算され、同時にテーブル位置補正機能が作動して位置ずれが自動的に補正制御される。
【０１３９】
又、出力端子２７ａから外部出力されるＸ方向位置信号ＶＸ ，Ｙ方向位置信号ＶＹ 及び回転角信号Ｖθを、前述したように例えば所定の表示手段によって当該補正テーブル５（可動テーブル１）の現在位置を表示することにより、オペレータは、その位置のずれの有無および位置ずれの大きさ等を知ることができ、これに基づいて動作指令入力部２４から所定の補正情報を入力し主制御部２１Ａに対して位置ずれ補正を実行するように指令することも可能となっている。
この位置ずれに対する補正を自動化するか手動に依存するかは、切り替えスイッチ等により予め切り換え動作可能に構成しておいてもよい。
【０１４０】
ここで、補正テーブル５の位置ずれの有無及びその大きさについては、前述した主演算部２１Ａで判断するように構成してもよい。
【０１４１】
〔第１実施形態の全体的な動作〕
次に、上記第１実施形態の全体的な動作について説明する。
【０１４２】
図５において、まず動作指令入力部２４から、可動テーブル１を所定位置へ移動させるための動作指令が入力されると、前述したように、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａは、直ちに作動して当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択し、続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを付勢し、電磁駆動手段４の４つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
【０１４３】
そして、例えば、可動テーブル１をＸ軸の正方向への所定位置へ移動する旨の指令が動作指令入力部２４から入力されると、これに基づいて装置全体は、前述したように補助テーブル５を介して可動テーブル１をＸ軸の正方向に沿って移送するように作動する（図１２，図１３参照）。符号Ｔは移動した距離を示す。ここで、図１７は図１３を簡略化した図である。
【０１４４】
この事例では、制御モードとしては前述したように図８に示す第１の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図８に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って動作したことを示す。
【０１４５】
ここで、補助テーブル５が電磁駆動手段４によってＸ軸の正方向（図１の右方向）へ付勢されると、前述したテーブル保持機構２の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは弾性変形し、当該補助テーブル５（及び可動テーブル１）の高さ位置を保持しつつ当該補助テーブル５の移動を許容する。そして、この補助テーブル５（及び可動テーブル１）は、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において前述したように停止する。
【０１４６】
この図１７は、補助テーブル５がＸ軸に沿った方向へ移動し、且つＹ軸方向への位置ずれが無い場合であるから、検出される容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＸ４およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３， ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２，ｖＸ３，ｖＸ４およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が定量的に算定される。
加算回路２７Ｂ３では、
ＶＸ＝ＶＸ１２−ＶＸ３４＝（ｖＸ１＋ｖＸ２）−（ｖＸ３＋ｖＸ４）＞０
加算回路２７Ｂ６では、
ＶＹ＝ＶＹ１２−ＶＹ３４＝（０ ＋０ ）−（０ ＋０ ）＝０
加算回路２７Ｂ９では、
Ｖθ＝０
ここで、ＶＸ ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＸ の値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。これらの位置情報の演算は、位置情報検出手段２５の位置情報演算回路１７でなされ、その演算結果の分析や判断およびそれに対する対応策は主制御部２１Ａで成される。
【０１４７】
又、補助テーブル５をＸ軸の負の方向に移動した場合，補助テーブル５をＹ軸上の正又は負の方向に移動した場合にも、同様にその情報は位置情報検出手段２５で検出され且つ所定の信号処理がなされ、主制御部２１Ａで前述した図１７の場合と同様に処理され、その位置が定量的に特定されるようになっている。
【０１４８】
次に、補助テーブル５を前述した第１象限の方向（＋４５°の傾斜方向）へ移送した場合の例について説明する。
【０１４９】
この事例では、前述したように制御モードとしては図９に示す第５の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図９に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。
【０１５０】
この事例における各容量検出電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と変動した容量成分（ＣＸ１〜ＣＸ４，ＣＹ１〜ＣＹ４）との関係を図１８に示す。
この図１８において、斜線部分は、補助テーブル５の移動によって前述した他方の容量検出電極２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ３，２６Ｙ４の容量成分が減少した部分ＣＸ３，ＣＸ４，ＣＹ３，ＣＹ４を示す。又、交差斜線部分は、前述した一方の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２の容量成分が増加した部分ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２を示す。
【０１５１】
そして、この図１８にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＸ４およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２，ｖＸ３，ｖＸ４およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が算定される。
加算回路２７Ｂ３では、
ＶＸ＝ＶＸ１２−ＶＸ３４＝（ｖＸ１＋ｖＸ２）−（ｖＸ３＋ｖＸ４）＞０
加算回路２７Ｂ６では、
ＶＹ＝ＶＹ１２−ＶＹ３４＝（ｖＹ１＋ｖＹ２）−（ｖＹ３＋ｖＹ４）＞０
ＶＸ＝ＶＹ
加算回路２７Ｂ９では、Ｖθ＝０
【０１５２】
ここで、ＶＸ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＹ＞０はＹ軸の正方向への移動を意味する。そして、「ＶＸ＝ＶＹ」なる情報が得られることにより、補助テーブル５の移動方向は第１象限の＋４５°の方向であることを確認し得る。又、ＶＸ，ＶＹの値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。この場合も、これらの位置情報の演算は、位置情報検出手段２５の位置情報演算回路２７でなされ、その演算結果の分析や判断およびそれに対する対応策は主制御部２１Ａで成される。
【０１５３】
補助テーブル５の移動方向が第１象限内における＋４５°の方向以外の方向である場合には、「ＶＸ≠ＶＹ」となり、その位置情報は検出されたＶＸとＶＹの値に基づいて主制御部２１Ａで演算され特定される。
【０１５４】
又、補助テーブル５をＸ−Ｙ平面上の第２象限乃至第４象限の各々の方向に移動した場合にも、同様にその情報は位置情報検出手段２５で検出されて信号処理がなされた後、主制御部２１Ａで前述した図１８の場合と同様に演算処理され、その移動後の位置が定量的に特定されるようになっている。
【０１５５】
次に、補助テーブル５を反時計方向に回転させた場合の例について説明する。
【０１５６】
この事例では、制御モードとしては図１０に示す第９の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図１０に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。
そして、この場合の各容量検出電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と変動した容量成分ＣＸ１〜ＣＸ４，ＣＹ１〜ＣＹ４との関係を図１９（Ａ）に示す。
【０１５７】
この図１９（Ａ）において、斜線部分は補助テーブル５の回転によって容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ４の容量成分が減少した部分ＣＸ１，ＣＸ４，ＣＹ１，ＣＹ４を示す。又、交差斜線部分は前述した一方の容量検出電極２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｙ２〜２６Ｙ３における増加したの容量成分ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＹ２，ＣＹ３を示す。
【０１５８】
そして、この図１９（Ａ）にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＸ３， ＣＸ４およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３， ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２，ｖＸ３，ｖＸ４およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その回転角信号Ｖθが算定される。
加算回路２７Ｂ９では、
【０１５９】
ここで、Ｖθ＞０は回転方向が反時計方向を意味し、Ｖθの値そのもの（絶対値）は、停止した箇所での回転角情報を示す。又、Ｖ０２は容量成分の減少した箇所の合計であることから、負の値となっている。このため、これが演算されると、回転角信号Ｖθは、
Ｖ０１−Ｖ０２＝（Ｖ０１の絶対値＋Ｖ０２の絶対値）＝Ｖθ＞０
となる。
【０１６０】
即ち、Ｖθとして算定された容量値はＶ０１とＶ０２の各絶対値が加算された値となり、このため、Ｖθの値としてはＶ０１の２倍に近い値（感度の高い値）を差動出力として得ることができる。そして、これらの位置情報の演算は、前述したＸ軸方向への移動情報の場合と同様に位置情報検出手段２５の位置情報演算回路１７でなされ、その演算結果の分析や判断およびそれに対する対応策は主制御部２１Ａで成され、対応する大きさの回転角度が特定される。
【０１６１】
補助テーブル５を時計方向に回転駆動した場合にも、同様にその情報は位置情報検出手段２５で検出され且つ所定の信号処理がなされ、主制御部２１Ａでは前述した図１９（Ａ）の場合と同様に、その回転角情報が定量的に算定されるようになっている。この場合、Ｖθ＜０となり、回転方向が時計方向であることが確認される。
【０１６２】
これに対し、動作中に、外乱等によって補助テーブル５の移動位置が目標位置からずれた場合には、まず、この容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量成分の増加減少の情報に基づいて位置情報演算回路（演算部）２７で前述したように実際の移動後の位置が検出（特定）され、続いて、その位置情報に基づいてテーブル駆動制御手段２１では位置ずれ算定機能が作動する。そして、ここで位置ずれが算定されると、直ちにテーブル位置補正機能が作動して前述したように位置ずれ防止用のフィードバック制御が行われるようになっている。
【０１６３】
そして、このような各動作状態から補助テーブル５に印加されている電磁駆動力が開放されると、補助テーブル５はピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力に付勢されて元位置に復帰する（テーブル保持機構２の元位置復帰機能の実行）。
【０１６４】
又、これら一連の動作にあって、補助テーブル５（及び可動テーブル１）の移動動作は、通常は電磁駆動力の印加制御又は開放制御が何れの場合でも急激に行われる。このような場合、補助テーブル５（及び可動テーブル１）は、移動先での停止時又は元位置復帰に際しての停止位置において、慣性力及びばね力に起因した繰り返し往復動作が生じる。
しかしながら、本実施形態にあっては、かかる繰り返し往復動作は前述したように制動用プレートと被駆動磁石との間に生じる電磁制動（うず電流ブレーキ）によって抑制され、所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
【０１６５】
動作指令入力部２４から、上記以外の他の所定位置へ可動テーブル１を移動させるための動作指令が入力された場合にも、前述した場合と同様に、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択する。続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを付勢し、電磁駆動手段４の４つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
【０１６６】
そして、この場合も、前述した場合と同様に、補助テーブル５（及び可動テーブル１）の位置ずれに対しては位置ずれ算定機能およびテーブル位置補正機能が作動して前述したように位置ずれ防止用のフィードバック制御が行われるようになっている。同時に急激な移動に対しては制動用プレートによる制動動作が実行され、補助テーブル５（可動テーブル１）は所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
【０１６７】
〔第１実施形態の作用／効果〕
このように、この第１の実施形態に開示したテーブル位置検出用センサ装置にあっては、従来より必要としていた重厚な２重構造のＸ−Ｙ軸移動保持機構を用いることなく、補助テーブル５（可動テーブル１）を中心位置から（所定範囲内において）同一の高さ位置を維持しつつＸ−Ｙ平面上のいずれの方向へも円滑に移動させ或いは回転させることが可能となり、これがため、装置全体の小型化，軽量化が可能となり、かかる点において可搬性を著しく改善することができ、従来例に比較して部品点数も少なくなり、かかる点において耐久性を著しく向上させることができる。
【０１６８】
又、被駆動磁石が装備された補助テーブル５（可動テーブル１）が急激に動作変化しても、前述したように当該被駆動磁石６と非磁性金属部材からなる制動用プレート９との間に電磁制動（うず電流ブレーキ）が働くことから、これにより、可動テーブルはその急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で円滑に移動することができる。
【０１６９】
この制動用プレート９については各被駆動磁石６に対向した状態で個別に田形状駆動コイル７に装着するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段４も補助テーブル５に装備した被駆動磁石６とこれに対向して固定プレート８に田形状駆動コイル７を装備するという簡単な構成であることから、かかる点においても、装置全体の小型化および軽量化に寄与した形態となっている。
【０１７０】
そして、前述したテーブル位置検出用センサ装置に位置情報検出手段２５として組み込まれた本発明にかかるテーブル位置検出用センサ装置にあっては、容量センサ群２６を前述したように装備したので、可動テーブルがＸ−Ｙ座標上における原点から何れの方向へ移動しても、当該可動テーブルの位置の微小変化を容量変化としてリアルタイムで容易に且つ迅速に検出することが可能となり、かかる点において可動テーブルのミクロン単位での移動に際しても、充分これに対応してその移動距離情報を高精度に検出し所定の信号処理をした後、これを当該可動テーブルの位置情報として出力することができる。
【０１７１】
又、この可動テーブルの同一平面内での回転動作に対しても、同一の構成にて当該可動テーブルの回転角度も同時に検出し同様に信号処理し、回転角度情報として外部出力することができ、更に、センサ部分を一方と他方のセンサ用面電極で構成すると共に相互に常時近接し対向した状態になるように設定したので、装備箇所の空間領域を小さくすることができ、かかる点において、これを装備すると、ステージ装置全体の小型化に寄与し得るという利点がある。
【０１７２】
又、上記実施形態で開示したセンサ装置によって特定された可動テーブル１の位置情報が、当該可動テーブル１の周囲に配置された複数の容量センサにより検出されるようになっているので、異なった位置の容量センサからの位置情報を前述したように演算処理することにより、当該可動テーブル１の位置ずれを容易に検出することができ、このため、可動テーブルの位置ずれに対しては、これを直ちに捕捉し当該テーブルの位置を補正することも可能となる。
【０１７３】
即ち、上記実施形態にあっては、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動に際しては、前述したように、容量センサ群２６で検出され位置情報演算回路（演算部）２７で特定される位置情報に基づいて、テーブル駆動制御手段２１の位置ずれ算定機能およびテーブル位置補正機能が作用し補助テーブル５（可動テーブル１）の位置ずれが直ちに検出されると共に当該位置ずれが補正されるので、当該補助テーブル５（可動テーブル１）は自動的に且つ高精度に所定の目標位置に移送される。
【０１７４】
ここで、前述した演算部としての位置情報演算回路（演算部）２７では、前述したように実際の移動後の位置が検出（特定）されるが、これをそのまま、現在位置の情報として外部出力し所定の表示部（図示せず）にて表示するように構成してもよい。
このようにすると、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動操作に際してオペレータはその途中および最終結果等に対して実際の状態を確認しながら当該移送位置の修正を迅速に成し得るという利点がある。
【０１７５】
この場合、上記補助テーブル５（可動テーブル１）の現在位置の情報を表示部（図示せず）によって表示する現在位置表示方式と前述したテーブル駆動制御手段２１の有する位置ずれ補正機能およびテーブル位置補正機能の連係による位置ずれ自動補正方式とを併存させてもよい。
【０１７６】
又、この位置ずれ情報に関しては、上記現在位置表示方式と位置ずれ自動補正方式とを、前述したテーブル駆動制御手段２１によって切替え作動させるか、或いは、前述したように何れか一方を選択動作させるように構成してもよい。
【０１７７】
また、上述した実施形態では、加算回路Ｂ１〜Ｂ９を用いてＶθにより回転方向を特定するようにしたが、回転角θを求める場合について説明する。この場合、図１９（Ｂ）において、例えば、Ｘ方向の２個の平行な各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２間の距離をＬ０、補助テーブル５の回転に伴って２個の容量検出電極２６Ｘ１，Ｘ２が検出する補助テーブル５の辺５ｂの変位量をＸ１，Ｘ２とする。
Ｘ方向への補助テーブル５の変位Ｘは、
Ｘ＝（Ｘ１ ＋Ｘ２ ）／２の式により得られる。
また、Ｖθを補助テーブル５の回転角θに比例した電圧とすると、
Ｖθ＝ｋ（Ｘ１ −Ｘ２ ）で表すことが可能である。ここで、ｋは、アンプの増幅率を意味する。
したがって、ｔａｎθ ＝ （Ｘ１ −Ｘ２ ）／Ｌ０
θ ＝ ｔａｎ−１（Ｖθ／ｋＬ０）
また、Ｙ方向についても同様に
ｔａｎθ ＝ （Ｙ１ −Ｙ２ ）／Ｌ０
θ ＝ ｔａｎ−１（Ｖθ／ｋＬ０）
これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）のＸ，Ｙ方向及び回転方向への移動量を検出することができる。
【０１７８】
〔第２の実施形態〕
次に、第２の実施形態を図２０〜図２３に基づいて説明する。
【０１７９】
この図２０〜図２３に示す第２の実施形態は、前述した第１の実施形態において、各位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４の内、２個の位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ２，２６Ｘ４を削除し、これにより、容量センサ群２６を全体で６個の位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ３，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４で構成した点に特徴を備えたものとなっている。
【０１８０】
このため、検出される容量変化分の情報数は、Ｘ軸に沿った方向の情報が２個，Ｙ軸に沿った方向の情報が４個となり、演算処理のバランス上、信号変換回路部２７Ａでは容量変化分ＣＸ１，ＣＸ２の電圧信号への変換に際して対応する電圧信号として２ｖＸ １，２ｖＸ ３を出力するように設定している。
【０１８１】
ここで、前述した位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ３（残した分）の配設位置は、前述した第１実施形態における位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ３の配設位置（図２中、Ｘ−Ｙ座標上でＹ軸上の正方向へずれた位置）と同一に設定されている。
又、位置信号演算回路部２７Ｂでは、Ｘ軸に沿った方向の情報が半減したことから第１及び第２の加算器２７Ｂ１，２７Ｂ２が不要となり、図２０に示すように当該回路の構成が簡略化されている。
【０１８２】
即ち、この第２の実施形態における位置信号演算回路部２７Ｂは、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動後のＸ方向の位置信号を演算し特定するための少なくとも一つの加算回路２７Ｂ３と、Ｙ方向の位置信号を形成するための少なくとも３つの加算回路２７Ｂ４，２７Ｂ５，２７Ｂ６と、回転移動した場合の回転角信号を形成するための少なくとも３つの加算回路２７Ｂ７，２７Ｂ８，２７Ｂ９の合計７個の加算回路を備えた構成となっている。
【０１８３】
この内、Ｘ方向の位置信号ＶＸは、下記の順序で演算され特定される。
まず、信号変換回路部２７Ａでは、「ＶＸ１＝２ｖＸ１」「ＶＸ３＝２ｖＸ３」が実行される。又、加算回路２７Ｂ３では、「ＶＸ＝ＶＸ１−ＶＸ３」が実行される。
このＸ方向の位置信号ＶＸを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能が同時に実行され、外部から到来する雑音が排除（相殺）され、当該Ｘ方向位置信号ＶＸ は差動出力信号として出力される。
【０１８４】
更に、Ｙ方向の位置信号ＶＹは、前述したＸ方向位置信号ＶＸと並行して下記の順序で演算される。そして、このＹ方向の位置信号ＶＹの演算に際しては、位置検出センサ２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４については、前述した第１の実施形態の場合と同様に構成されているので、同様にして以下の如く特定される。
まず、加算回路２７Ｂ４では、「ＶＹ１２＝ｖＹ１ ＋ｖＹ２ 」
加算回路２７Ｂ５では、「ＶＹ３４＝ｖＹ３ ＋ｖＹ４ 」
加算回路２７Ｂ６では、「ＶＹ＝ＶＹ１２ −ＶＹ３４ 」
このＹ方向の位置信号ＶＹを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能が実行され、外部から到来する雑音が排除（相殺）され、当該Ｙ方向位置信号ＶＹ は差動出力信号として出力される。
【０１８５】
これに対し、回転角信号Ｖθは、前述したＸ方向位置信号ＶＸ及びＹ方向位置信号ＶＹと並行して下記の順序で演算され特定される。
まず、加算回路２７Ｂ７では、「Ｖ０１ ＝２ｖＸ３＋ｖＹ２＋ｖＹ３ 」
加算回路２７Ｂ８では、「Ｖ０２ ＝２ｖＸ１＋ｖＹ１＋ｖＹ４ 」
加算回路２７Ｂ９では、「Ｖθ ＝Ｖ０１−Ｖ０２ 」
この回転角信号Ｖθを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能が実行され、外部から到来する雑音が排除（相殺）され、当該回転角信号Ｖθは差動出力信号として出力される。
【０１８６】
このようにして演算され特定されたＸ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹ及び回転角信号Ｖθは、外部出力端子２７ａを介して例えば外部の位置表示装置等に向けて出力され、同時に前述したテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａへ送られるようになっている（図５参照）。
【０１８７】
（上記第２の実施形態の動作）
次に、上記第２の実施形態の全体的な動作について説明する。
【０１８８】
まず、前述し第１実施形態の場合と同様に、図５において、可動テーブル１をＸ軸の正方向への所定位置へ移動する旨の指令が動作指令入力部２４から入力されると、これに基づいて装置全体は、前述したように補助テーブル５を介して可動テーブル１をＸ軸の正方向に沿って移送するように作動する（図２１参照）。符号Ｔは移動した距離を示す。
【０１８９】
この事例では、制御モードとしては前述したように図８に示す第１の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７には図８に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って動作する。
【０１９０】
ここで、補助テーブル５が電磁駆動手段４によってＸ軸の正方向に沿って付勢されると、前述したテーブル保持機構２によって同一高さが維持されつつ当該補助テーブル５の位置が移動し、テーブル保持機構２が備えている弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において前述したように停止する。この事例（Ｘ軸の正方向への移動）における各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ３，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と変動した容量成分（ＣＸ１，ＣＸ３，ＣＹ１〜ＣＹ４）との関係を図２１に示す。
【０１９１】
この事例では、補助テーブル５がＸ軸に沿った方向へ移動し、且つＹ軸方向への位置ずれが無い場合であるから、検出される容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ３，およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号２ｖＸ１，２ｖＸ３，およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が定量的に算定される。
加算回路２７Ｂ３では、
ＶＸ＝ＶＸ１ −ＶＸ３ ＝（２ｖＸ１）−（２ｖＸ３）＞０
加算回路２７Ｂ６では、
ＶＹ＝ＶＹ１２ −ＶＹ３４ ＝（０＋０）−（０＋０）＝０
加算回路２７Ｂ９では、
Ｖθ＝０
ここで、ｖＸ３は負の数値であることから「ＶＸ＝２（ｖＸ１＋ｖＸ３）＞０」となる。このＶＸ ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＸの値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。これらの位置情報は主制御部２１Ａで演算される。
【０１９２】
補助テーブル５をＸ軸の負の方向に移動した場合，補助テーブル５をＹ軸上の正又は負の方向に移動した場合にも、同様にその情報は図５における位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図１７（第１の実施形態）の場合と同様に演算され、その位置が定量的に算定されるようになっている。
【０１９３】
次に、補助テーブル５を前述した第１象限の方向（＋４５°の傾斜方向）へ移送した場合の例について説明する。
【０１９４】
この事例では、前述したように制御モードとしては図９に示す第５の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図９に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。
【０１９５】
この事例（第１象限の方向）における各位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ３，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と変動した容量成分（ＣＸ１，ＣＸ３，ＣＹ１〜ＣＹ４）との関係を図２２に示す。
この図２２において、斜線部分は、補助テーブル５の移動によって前述した他方の位置検出センサ２６Ｘ３，２６Ｙ３，２６Ｙ４の容量成分が減少した部分ＣＸ３，ＣＹ３，ＣＹ４を示す。又、交差斜線部分は、前述した他方の位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｙ１，２６Ｙ２の容量成分が増加した部分ＣＸ１，ＣＹ１，ＣＹ２を示す。
【０１９６】
そして、この図２２にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ３およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号２ｖＸ１，２ｖＸ３およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、それぞれ前述したように演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が算定される。
加算回路２７Ｂ３では、
ＶＸ＝ＶＸ１ −ＶＸ３ ＝（２ｖＸ１ ）−（２ｖＸ３ ）＞０
加算回路２７Ｂ６では、
ＶＹ＝ＶＹ１２−ＶＹ３４＝（ｖＹ１＋ｖＹ２）−（ｖＹ３＋ｖＹ４）＞０
又、ＶＸ＝ＶＹ
加算回路２７Ｂ９では、
Ｖθ＝０
【０１９７】
ここで、ｖＸ３，ｖＹ３，ｖＹ４は負の数値であることから「ＶＸ＝＞０，ＶＹ＝＞０」となる。ＶＸ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＹ＞０はＹ軸の正方向への移動を意味する。
そして、「ＶＸ＝ＶＹ」なる情報が検知されることにより、補助テーブル５の移動方向は第１象限の＋４５°の方向であることが確認される。このＶＸ，ＶＹの値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。この場合も、対応する座標位置情報は主制御部２１Ａで演算される。
【０１９８】
補助テーブル５の移動方向が第１象限内における＋４５°の方向以外の方向である場合には、「ＶＸ≠ＶＹ」となり、その位置情報は検出されたＶＸとＶＹの値に基づいて主制御部２１Ａで演算され特定される。
【０１９９】
又、補助テーブル５をＸ−Ｙ平面上の第２象限乃至第４象限の各々の方向に移動した場合にも、同様にその情報は位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図１８Ａの場合と同様に演算され、その位置が定量的に算定されるようになっている。
【０２００】
次に、補助テーブル５を反時計方向に回転させた場合の例について説明する。
【０２０１】
この事例では、制御モードとしては図１０に示す第９の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図１０に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。
そして、この場合の各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ３，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と変動した容量成分ＣＸ１，ＣＸ３， ＣＹ１〜ＣＹ４との関係を図２３に示す。
【０２０２】
この図２３において、斜線部分は補助テーブル５の回転によって容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｙ１，２６Ｙ４の容量成分が減少した部分ＣＸ１，ＣＹ１，ＣＹ４を示す。又、交差斜線部分は前述した一方の容量検出電極２６Ｘ３，２６Ｙ２〜２６Ｙ３における増加したの容量成分ＣＸ２，ＣＹ２，ＣＹ３を示す。
【０２０３】
そして、この図２３にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ３およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ３およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３， ｖＹ４に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その回転角信号Ｖθが算定される。
加算回路２７Ｂ９では、
【０２０４】
ここで、Ｖθ＞０は回転方向が反時計方向を意味し、Ｖθの値そのもの（絶対値）は、停止した箇所での回転角情報を示す。又、Ｖ０２は容量成分の減少した箇所の合計であることから、負の値となっている。このため、これが演算されると、回転角信号Ｖθは、
Ｖ０１−Ｖ０２＝（Ｖ０１の絶対値＋Ｖ０２の絶対値）＝Ｖθ＞０
となる。
【０２０５】
即ち、Ｖθとして算定された容量値はＶ０１とＶ０２の各絶対値が加算された値となり、このため、Ｖθの値としてはＶ０１の２倍に近い値（感度の高い値）を差動出力として得ることができる。これらの情報は前述したＸ軸方向への移動情報の場合と同様に主制御部２１Ａで演算処理され、対応する大きさの回転角度が演算され出力される。
【０２０６】
補助テーブル５を時計方向に回転駆動した場合にも、その情報は同様に位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図１９の場合と同様に演算され、その回転角情報が定量的に算定されるようになっている。この場合、Ｖθ＜０となり、回転方向が時計方向であることがわかる。
その他の構成およびその動作，機能等については、前述した第１の実施形態と同一となっている。
【０２０７】
このようにしても、前述した第１の実施形態の場合とほぼ同等の作用効果を得ることができるほか、更に位置信号演算回路部２７Ｂの加算回路を合計７個としたので、前述した第１の実施形態に比較して加算回路を少なくすることができ、かかる点で装置全体の原価低減および信号処理の迅速化を図り得るという利点がある。
【０２０８】
〔第３の実施形態〕
次に、第３の実施形態を図２４〜図２７に基づいて説明する。
【０２０９】
この図２４〜図２７に示す第３の実施形態は、前述した第１の実施形態において、各８個の位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の内、Ｘ軸に沿った方向先に位置する位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ３，２６Ｘ４とＸ軸に沿った方向先に位置する位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｙ３，２６Ｙ４とを削除する。そして、当該位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）を２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２の４個で構成した点に特徴を備えている。
【０２１０】
即ち、この第３の実施形態では、センサ群２６を全体で４個の位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２を備え、検出される容量変化分の情報数も、これに対応して、バランスよくＸ軸に沿った方向先の情報が２個とＹ軸に沿った方向先の情報が２個となっている。
【０２１１】
ここで、前述した位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２（残した分）の配設位置は、前述した第１実施形態における位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２の配設位置と同一に設定されている。
又、これに対応して、位置信号演算回路部２７Ｂでは、Ｘ軸およびＹ軸に沿った方向の情報がそれぞれ半減したことから第２及び第３の加算器２７Ｂ３，２７Ｂ４が、又第５及び第６の加算器２７Ｂ５，２７Ｂ６が不要となり、図２０に示すように当該回路の構成が簡略化されている。
【０２１２】
即ち、この第３の実施形態における位置信号演算回路部２７Ｂでは、補助テーブル５（移動テーブル１）の移動後のＸ方向の位置信号を演算し特定するための少なくとも一つの加算回路２７Ｂ１と、Ｙ方向の位置信号を演算し特定するための少なくとも一つの加算回路２７Ｂ４と、回転移動した場合の回転角信号を演算し特定するための少なくとも３個の加算回路２７Ｂ７，２７Ｂ８，２７Ｂ９の合計５個の加算回路を備えた構成となっている（図２０参照）。
【０２１３】
この内、Ｘ方向の位置信号ＶＸは、下記の如く演算され特定される。
加算回路２７Ｂ１で、「ＶＸ＝ｖＸ１＋ｖＸ２」
この場合、本実施形態では、このＸ方向の位置信号ＶＸを得るための演算過程で、テーブル部材である補助テーブル５を挟んで反対側から得られる情報に基づいた「差」をとる演算工程はない。このため、この第３の実施形態では前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能は作動しない構成となっている。
【０２１４】
また、Ｙ方向の位置信号ＶＹは、前述したＸ方向位置信号ＶＸと並行して下記の順序で演算され特定される。
加算回路２７Ｂ４では、「ＶＹ＝ｖＹ１＋ｖＹ２」
この場合、本実施形態では、このＹ方向の位置信号ＶＹを得るための演算過程で、テーブル部材である補助テーブル５を挟んで反対側から得られる情報に基づいた「差」をとる演算工程はない。反対側にて得られる情報に基づいた差をとる演算工程はない。このため、この第３の実施形態では前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能が作動しない構成となっている。
【０２１５】
更に、回転角信号Ｖθは、前述したＸ方向位置信号ＶＸ及びＹ方向位置信号ＶＹと並行して下記の順序で演算され特定される。
まず、加算回路２７Ｂ７では、「Ｖ０１＝ｖＸ２＋ｖＹ２」
加算回路２７Ｂ８では、「Ｖ０２＝ｖＸ１＋ｖＹ１」
加算回路２７Ｂ９では、「Ｖθ＝Ｖ０１＋Ｖ０２」
この場合、本実施形態では、この回転角信号Ｖθを得るための演算過程で、テーブル部材である補助テーブル５を挟んで反対側から得られる情報に基づいた「差」をとる演算工程はない。このため、この第３の実施形態では前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能は作動しない構成となっている。
【０２１６】
このようにして演算され特定されたＸ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹ及び回転角信号Ｖθは、外部出力端子２７ａを介して例えば外部の位置表示装置等に向けて出力され、同時に前述したテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａへ送られるようになっている（図２４，図５参照）。
【０２１７】
（上記第３実施形態の動作）
次に、上記第３の実施形態の全体的な動作について前述した第３の実施形態の場合と同様の手順で説明する。
【０２１８】
まず、前述し第１実施形態の場合と同様に、図５において、可動テーブル１をＸ軸の正方向への所定位置へ移動する旨の指令が動作指令入力部２４から入力されると、これに基づいて装置全体は、前述したように補助テーブル５を介して可動テーブル１をＸ軸の正方向に沿って移送するように作動する（図２５参照）。符号Ｔは移動した距離を示す。
【０２１９】
この事例では、制御モードとしては前述したように図８に示す第１の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７には図８に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って動作する。
【０２２０】
ここで、補助テーブル５が電磁駆動手段４によってＸ軸の正方向に沿ってへ付勢されると、前述したテーブル保持機構２によって同一高さが維持されつつ当該補助テーブル５の移動が移動し、テーブル保持機構２が備えている弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において前述したように停止する。
【０２２１】
この事例（Ｘ軸の正方向への移動）における各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２と変動した容量成分（ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２）との関係を図２５に示す。
この事例では、補助テーブル５がＸ軸に沿った方向へ移動し、且つＹ軸方向への位置ずれが無い場合であるから、検出される容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ２，およびＣＹ１，ＣＹ２は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２，およびｖＹ１，ｖＹ２に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が定量的に算定される。
加算回路２７Ｂ１では、ＶＸ＝（ｖＸ１＋ｖＸ２）＞０
加算回路２７Ｂ４では、ＶＹ＝（０ ＋０ ）＝０
加算回路２７Ｂ９では、Ｖθ＝ ０
ここで、ｖＸ１，ｖＸ２は正の数であり、「ＶＸ＞０」となる。このＶＸ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＸの値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。これらの位置情報は主制御部２１Ａで演算される。
【０２２２】
補助テーブル５をＸ軸の負の方向に移動した場合，補助テーブル５をＹ軸上の正又は負の方向に移動した場合にも、同様にその情報は図５における位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図１７の場合と同様に演算され、その位置が定量的に算定されるようになっている。
【０２２３】
次に、補助テーブル５を前述した第１象限の方向（＋４５°の傾斜方向）へ移送した場合の例について説明する。
【０２２４】
この事例では、前述したように制御モードとしては図９に示す第５の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図９に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。
【０２２５】
この事例（第１象限の方向）における各位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２と変動した容量成分（ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２）との関係を図２６に示す。
この図２６において、交差斜線部分はは、補助テーブル５の移動によって前述した各位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２の容量成分が増加した部分ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２を示す（この図２６では容量成分の減少はない）。
【０２２６】
そして、この図２６にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ２およびＣＹ１，ＣＹ２は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２およびｖＹ１，ｖＹ２に変換され、それぞれ前述したように演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が算定される。
加算回路２７Ｂ１では、ＶＸ ＝（ｖＸ１＋ｖＸ２）＞０
加算回路２７Ｂ４ では、ＶＹ ＝（ｖＹ１＋ｖＹ２）＞０
ＶＸ ＝ＶＹ
加算回路２７Ｂ９ では、Ｖθ＝０
【０２２７】
ここで、ＶＸ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＹ＞０はＹ軸の正方向への移動を意味する。
そして、「ＶＸ＝ＶＹ」なる情報が得られることにより、補助テーブル５の移動方向は第１象限の＋４５°の方向であることを確認し得る。又、ＶＸ ，ＶＹの値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。この場合も、対応する座標位置情報は主制御部２１Ａで演算される。
【０２２８】
補助テーブル５の移動方向が第１象限内における＋４５°の方向以外の方向である場合には、「ＶＸ≠ＶＹ」となり、この場合の具体的な位置情報は検出されたＶＸ とＶＹ の値に基づいて主制御部２１Ａで演算され特定される。
【０２２９】
又、補助テーブル５をＸ−Ｙ平面上の第２象限乃至第４象限の各々の方向に移動した場合にも、同様にその情報は位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図１８Ａの場合と同様に演算され、その位置が定量的に算定されるようになっている。
【０２３０】
次に、補助テーブル５を反時計方向に回転させた場合の例について説明する。この事例では、制御モードとしては図１０に示す第９の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図１０に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。そして、この場合の各各位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２と変動した容量成分ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２との関係を図２７に示す。
【０２３１】
この図２７において、斜線部分は補助テーブル５の回転によって容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｙ１の容量成分が減少した部分ＣＸ１，ＣＹ１を示す。又、交差斜線部分は前述した一方の容量検出電極２６Ｘ２，２６Ｙ２における増加した容量成分ＣＸ２，ＣＹ２を示す。
【０２３２】
そして、この図２７にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ２，ＣＹ２およびＣＸ１，ＣＹ１は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ２，ｖＹ２およびｖＸ１，ｖＹ１に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その回転角信号Ｖθが算定される。
加算回路２７Ｂ９ では、
ここで、Ｖθ＞０は回転方向が反時計方向を意味し、Ｖθの値そのもの（絶対値）は、停止した箇所での回転角情報を示す。又、Ｖ０２は容量成分の減少した箇所の合計であることから、負の値となっている。このため、これが演算されると、回転角信号Ｖθは、
Ｖ０１−Ｖ０２＝（Ｖ０１の絶対値＋Ｖ０２の絶対値）＝Ｖθ＞０
となる。
【０２３３】
即ち、Ｖθとして算定された容量値はＶ０１とＶ０２の各絶対値が加算された値となり、このため、Ｖθの値としてはＶ０１の２倍に近い値（感度の高い値）を差動出力として得ることができる。これらの情報は前述したＸ軸方向への移動情報の場合と同様に主制御部２１Ａで演算処理され、対応する大きさの回転角度が演算され出力される。又、この事例では（回転動作の場合には）差を取る演算工程が介在することから、外来雑音を相殺する雑音排除機能が位置情報演算回路２７で稼働するようになっている。
【０２３４】
補助テーブル５を時計方向に回転駆動した場合にも、その情報は同様に位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図２７の場合と同様に演算され、その回転角情報が定量的に算定されるようになっている。この場合、Ｖθ＜０となり、回転方向が時計方向であることが確認される。
その他の構成およびその動作，機能等については、前述した第１の実施形態と同一となっている。
【０２３５】
このようにしても、上記第３の実施形態にあっては、回転動作を除いて雑音排除機能を備えていないこと、及び検出容量の感度が幾分低下することを除き、前述した前述した第１の実施形態の場合とほぼ同等の作用効果を得ることができるほか、更に位置信号演算回路部２７Ｂの加算回路を合計５個としたので、前述した第１の実施形態に比較して加算回路を少なくすることができ、かかる点で装置全体の原価低減および信号処理の迅速化を、より一層高めることができる。
【０２３６】
〔第４の実施形態〕
次に、第４の実施形態を図２８〜図３０に基づいて説明する。
この図２８〜図３０に示す第４の実施形態は、前述した第１の実施形態において、静電容量型の位置検出センサを構成する一方のセンサ用面電極である共通電極４１と、これに対向して装備された複数の他方のセンサ用面電極４２Ｘ１，４２Ｘ２，４２Ｘ３，４２Ｘ４，４２Ｙ１，４２Ｙ２，４２Ｙ３，４２Ｙ４の各々について、その対向面領域の構造を断面櫛形に形成した点に特徴を備えている。
【０２３７】
以下、これを説明する。
この図２８〜図２９において、符号５１はテーブル部材としての補助テーブルを示す。この補助テーブル５１は、前述した第１実施形態における補助テーブル５と同一の機能を備え、第１実施形態の場合と同様に連結支柱１０を介して可動テーブル１と一体化されてテーブル保持機構２に支持されている。
この図２８〜図２９における補助テーブル５１は、前述した第１実施形態における補助テーブル５と比較して、その周囲が所定幅だけ一様に切除され、この切除された箇所に、前述した共通電極４１が装着されている。
【０２３８】
この一方のセンサ用面電極である共通電極４１は、全体が４角形状の大口形状を成し、その外周囲の端（後述する電極フィンの先端）が前述した第１実施形態における補助テーブル５の外周囲の端に重なる大きさに設定されている。図２８内にその一部の部分断面図を示す。
【０２３９】
これを更に詳細に説明すると、この一方のセンサ用面電極である共通電極４１は、積層状態に配設された複数（本実施形態では３枚）の大口形状の板状電極である電極フィン４１Ａと、この複数の電極フィン４１Ａを保持する電極フィン保持体４１Ｂとを備えている。
【０２４０】
この内、電極フィン保持体４１Ｂは、補助テーブル５１及び当該補助テーブル５１が備えている下方突出部５Ａ，５Ｂを取り巻くようにして配設され且つ全体的には角形の管を輪切りにしたような４角形状に形成されている。この電極フィン保持体４１Ｂの内壁側の角部から前述した補助テーブル５１の上面に沿って、取付け部材４１Ｂａが延設されている（図２９参照）。
この取付け部材４１Ｂａは、具体的には、図２９に示すように電極フィン保持体４１Ｂの内壁の角部４箇所に設けられている。そして、この取付け部材４１Ｂａを介して前述した電極フィン保持体４１Ｂが補助テーブル５１に固着されている。符号４１Ｂｂは固定ネジを示す。
【０２４１】
そして、この電極フィン保持体４１Ｂの外側周囲に、大口形状に形成された３枚の電極フィン４１Ａが、上下方向に平行に所定間隔を隔てて（所定の空隙Ｓ１ を挟んで積層された状態で）且つ外側周囲が開口された状態で、電極フィン保持体４１Ｂを囲むようにして装着されている。これにより、共通電極４１の端部断面が櫛形状に形成されている。
【０２４２】
この一方のセンサ用面電極である共通電極４１に対応して装備される他方のセンサ用面電極４２Ｘ１，４２Ｘ２，４２Ｘ３，４２Ｘ４，４２Ｙ１，４２Ｙ２，４２Ｙ３，４２Ｙ４は、本実施形態では８個の容量検出電極から成り、前述した第１の実施形態における８個の他方のセンサ用面電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４（図２参照）の装備箇所と同一箇所にそれぞれ配設され装着されている。
【０２４３】
この内、例えば他方のセンサ用面電極４２Ｘ１は、図２８に示すように前述した共通電極４１の３枚の電極フィン４１Ａとの無接触での噛合動作を許容する３つの空隙Ｓ２と、この３つの空隙Ｓ２を交互に介して積層状態に配設された４枚の板状電極としての電極フィン４２ａと、この４枚の電極フィン４２ａを外側端部（図２８の右側端部）で連結する連結保持部材４２ｂとを備えた構成となっている。この連結保持部材４２ｂは、接着材又はネジ等の固定手段により本体部としてのケース本体３に固定されている。
【０２４４】
前述した他方のセンサ用面電極４２Ｘ１の４枚の電極フィン４２ａは、その形状および大きさが前述した第１実施形態にける他方のセンサ用面電極２６Ｘ１と同一の形状で且つ同一の大きさに形成されている。
その他のセンサ用面電極４２Ｘ２〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４も、前述したセンサ用面電極４２Ｘ１と全く同一に形成されている。
【０２４５】
ここで、各他方のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４が備えている３つの空隙Ｓ２は、その間隔が前述した共通電極４１の３枚の各電極フィン４１Ａが無接触で個別に挿入し離脱し得る程度の大きさに設定されている。同様に、前述した共通電極４１の３枚の電極フィン４１Ａの相互間の空隙Ｓ１は、その隙間が前述した各他方のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４が備えている４枚の各電極フィン４２ａの内の内側の２枚が無接触で個別に挿入し離脱し得る程度の大きさに設定されている。図２８に、上記共通電極４１の電極フィン４１Ａと他方のセンサ用面電極４２Ｘ１の４枚の電極フィン４２ａがそれぞれ無接触で挿入された状態（装置全体の停止状態）の例を示す。
【０２４６】
これにより、他方のセンサ用面電極４２Ｘ１は、図３０に示すように６個の容量成分が並列接続された構成となっているので、前述した第１の実施形態における他方のセンサ用面電極２６Ｘ１の場合と比較して６倍の静電容量となり、これがため、補助テーブル５の移動に際しては６倍の感度で当該補助テーブル５の移動情報を検出することができるという利点がある。
他のセンサ用面電極４２Ｘ２〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４の場合も、それぞれ全く同一に構成され同一の作用効果を備えたのとなっている。
【０２４７】
そして、その他の全体的な構成及びその作用効果は、前述した第１の実施形態の場合（図１乃至図１９）と全く同一となっている。
【０２４８】
尚、この第４の実施形態では、各他のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４を前述した第１の実施形態における他のセンサ用面電極２６Ｘ１の場合と比較して６倍の静電容量を得られるように構成したが、これはあくまで例示であり、７倍以上としても、或いは２〜５倍の何れかの静電容量を得られるように構成したものであってもよい。
【０２４９】
又、上記実施形態にあっては、共通電極４１を大口形状にした場合を例示したが、前述した各他のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４に対応して個別に独立した形状であっても、或いは補助テーブル５の各片毎に４つに分ける等、複数に分割したものであってもよい。
【０２５０】
更に、この第４の実施形態では、一方のセンサ用面電極である共通電極４１と、他方のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４の各々を断面櫛形に形成すると共に、これを、前述した第１の実施形態に適用した場合を例示したが、これを前述した第２，第３の各実施形態について実施したものであってもよい。
【０２５１】
又、上記各実施形態にあっては、テーブル部材の移動情報を連続的に検出してそのＸ−Ｙ座標上の位置情報に変換し外部へ出力する場合を例示したが、これらの位置情報に基づいて前述した演算部（位置情報演算回路）２７が所定の演算をし、当該テーブル部材の移動の形態，移動方向，回転動作における回転方向等にかかる各情報としてまとめて出力するように構成してもよい。
【０２５２】
又、上記各実施形態において、テーブル部材側に装備された一方のセンサ用面電極として、大口形状の連続した単一電極である共通電極４１を使用した場合を例示したが、前述した複数からなる他方のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４に個別に対応して当該他方のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４と同形状で且つこれよりも幾分大きい複数のセンサ用面電極で構成してもよい。
【０２５３】
更に、前述した大口形状の連続した単一電極に代えて、複数の他方のセンサ用面電極（例えば４２Ｘ１と４２Ｘ２）を対象として各辺毎に共用する所定幅の電極部材をもって帯状に形成された複数の共通電極で構成してもよい。
【０２５４】
又、上記各実施形態では、同一面上を移動する４角形状のテーブル部材に本発明を実施した場合を例示したが、複数の位置検出センサの取付け位置を明確に特定し得る形態で且つ前述した各実施形態と同等に機能し得るものであれば、テーブル部材は特に４角形でなくてもよい。
【０２５５】
即ち、テーブル部材の形状如何を問わず（円形でも８角形でもよい）当該テーブル部材に複数の位置検出センサの取付け位置を装備するための例えば３角形の枠を想定すると共に当該枠に沿って複数の位置検出センサを分散して装備しても、或いは５角形，６角形又は８角形等の枠を想定して当該枠に沿って複数の位置検出センサを分散して装備するように構成しても、技術思想としてはその作用効果がほぼ前述した各実施形態と同等であり、従って、これらも実質的には上記各実施形態と同等のものであり、それぞれ本発明の実施形態の一つである。
【０２５６】
〔第５の実施形態〕
次に、第５の実施形態を図３１に基づいて説明する。
上述した実施形態では、アナログ量を出力する位置検出センサとして静電容量型の位置検出センサ（アナログ量検出センサ）を用いたが、この図３１に示す実施形態では、差動変圧器，ポテンショメータ，レーザ変位計などのアナログ量出力センサ（アナログ量検出センサ）を用いている。位置検出センサとして直線型ポテンショメータを用いた場合の例を図３１に基いて説明する。
【０２５７】
図３１において、位置検出センサの要部をなす２個の直線型ポテンショメータ５１Ｘ１，５１Ｘ２，５１Ｙ１，５１Ｙ２をそれぞれ１組として、電磁駆動手段４によって駆動される補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の周囲の４辺の内少なくとも隣接する２辺にそれぞれ配設している。これらの直線型ポテンショメータ５１Ｘ１，５１Ｘ２，５１Ｙ１，５１Ｙ２は、直線的に移動する摺動片と抵抗体とから構成され、検出用ロッド５１ａ，５１ｂが直線移動すると上述した摺動片が上述した抵抗体の上を直線的にスライドし、上述したスライドと上述した抵抗体の端部の間の抵抗値が検出用ロッド５１ａ，５１ｂの大きさに比例して変化する構造になっている。
図３１に示す実施形態では、直線型ポテンショメータ５１Ｘ１，５１Ｘ２，５１Ｙ１，５１Ｙ２は、それぞれの検出用ロッド５１ａ，５１ｂを平行に配置して、補助テーブル５の隣接する２辺にそれぞれ配設し、検出用ロッド５１ａ，５１ｂの先端を補助テーブル５の端面に当接しておき、上述した抵抗体に所定値の電圧をかけて上述した摺動片により分圧された電圧を取出すことによって、補助テーブル５のＸ−Ｙ平面内での動きをＸ−Ｙ平面内での２方向（Ｘ，Ｙ方向）の直線変位に分解して検出用ロッド５１ａ、５１ｂの直線的な変位に基いてＸ，Ｙ方向の移動量を得ると共にＸ，Ｙ方向の移動量から回転方向の移動量を得るようになっている。
【０２５８】
この図３１において、例えば、２個の平行なポテンショメータの５１Ｘ１，５１Ｘ２，５１Ｙ１，５１Ｙ２の検出用ロッド５１ａ，５１ｂ間の距離をＬ０、各検出用ロッド５１ａ，５１ｂのＸ方向への移動量をＸ１，Ｘ２とすると、
Ｘ方向への補助テーブル５の変位Ｘは、
Ｘ＝（Ｘ１ ＋Ｘ２ ）／２の式により得られる。
また、Ｖθを補助テーブル５の回転角θに比例した電圧とすると、
Ｖθ＝ｋ（Ｘ１ −Ｘ２ ）で表すことが可能である。ここで、ｋは、アンプの増幅率を意味する。
したがって、ｔａｎθ ＝ （Ｘ１ −Ｘ２ ）／Ｌ０
θ ＝ ｔａｎ−１（Ｖθ／ｋＬ０）
また、Ｙ方向についても同様に
ｔａｎθ ＝ （Ｙ１ −Ｙ２ ）／Ｌ０
θ ＝ ｔａｎ−１（Ｖθ／ｋＬ０）
これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）のＸ，Ｙ方向及び回転方向への移動量を検出することができる。
【０２５９】
この図３１では、位置検出センサとして直線型ポテンショメータを用いたが、位置検出センサとして差動変圧器，レーザ変位計を用いる場合にも同様に適用することができる。差動変圧器は、１個の１次コイルと２個の２次コイルとコアの組合せからなり、１個の１次コイルに交流電圧を流し、２個の２次コイルから差動的に信号を取出し、補助テーブル５の移動に伴うコアの位置を検出することとなる。また、位置検出センサとしてレーザ変位計を用いる場合には、干渉性のよいレーザ光を補助テーブル５の端面に向けて発射した光と補助テーブル５の端面で反射した光の光路差によって生じる干渉現象を利用して、補助テーブル５のＸ−Ｙ平面内での移動量及び回転量を検出する。また、差動変圧器やレーザ変位計において、Ｘ−Ｙ平面内での２方向の移動量，及び回転量を算出する方式は、上述した式により同様に求める。
【０２６０】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成され機能するので、これによると、同一面上の所定範囲内を移動するテーブル部材の移動方向および移動停止位置を連続的に検出することができ、また、テーブル部材の移動位置検出がアナログ量に基いて行われるため、テーブル部材を微小範囲、例えばミクロン単位で移動させる場合においても正確に位置の制御を行うことができる。また、テーブル部材の周囲４辺の内の少なくとも隣接する２辺に位置検出センサを配設しているため、位置検出センサが相互干渉するに至る距離を長くしてテーブル部材の移動範囲を広くすることができ、広範囲でテーブル部材の位置を正確に検出することができる。
【０２６１】
前述した位置検出センサとしては、差動変圧器，ポテンショメータ，レーザ変位計などのアナログ量検出センサを用いて、テーブル部材の移動量をアナログ量として出力することができる。また、前述した位置検出センサが、差動変圧器，ポテンショメータ或いはレーザ変位計であるときに、テーブル部材の移動をＸ−Ｙ平面内の２方向の直線変位に分解してＸ，Ｙ方向の移動量を得ると共にＸ又はＹ方向の移動量から回転方向の移動量を容易に得ることができる。
【０２６２】
また、請求項４記載の発明のように、位置検出センサに静電容量型の位置検出センサを用い、一方と他方のセンサ用面電極の組み合わせで位置検出センサを構成したので、小型軽量化が可能となり、テーブル部材の微小移動に際しても容量変化としてこれを検知し所定の位置情報に変換して外部出力することができ、このため、ミクロン単位の移動に対しても連続的に且つ有効にこれを検出することができ、同一面上で３６０°いずれの方向への移動に対しても、又回転動作に対してもこれらをリアルタイムで同時に連続的に且つ高精度に検出し当該各情報に対応した所定の位置信号（位置情報）として出力することができるという（回転動作の検出に際しては外部から到来する雑音を有効に排除することができるという）従来にな優れたテーブル位置検出用センサ装置を提供することができる。
【０２６３】
請求項１記載の発明では、更に、移動するテーブル部材上にあって隣接する２つの辺部分にそれぞれ少なくとも２つの位置検出センサを装備する構成としたので、装置全体のより一層の小型軽量化が可能となる。
【０２６４】
請求項５乃至６記載の各発明では、更に、テーブル部材上の対向する辺部分にそれぞれ同数の位置検出センサを装備したので、テーブル部材の移動に際してはいずれの方向への移動であっても各対向する辺部分の位置検出センサで検出される静電容量の変化をそのまま演算部で加算する等の処理が可能となり、このため、測定感度を倍増させることができるという利点がある。
【０２６５】
請求項７記載の発明では、更に、前述した請求項４又は５記載のテーブル位置検出用センサ装置において、前述した演算部が、テーブル部材の移動に際して検出される外部雑音を、それが直線移動であっても或いは回転動作であっても、これらを有効に排除する雑音排除機能を備えている、という構成をとっている。
このため、この請求項７記載の発明では、周囲環境の悪い箇所においても、テーブル部材の移動に伴う位置情報を比較的高精度に且つ鮮明に検出し出力することができるという従来にない優れた効果を奏する。
【０２６６】
請求項８記載の発明では、更に、前述した一方のセンサ用面電極を所定幅の電極部材をもって帯状にしこれを共通電極として装備したので、一方のセンサ用面電極の複数を一度に同時に取付けたのと同等の結果を得ることができ、かかる点において一方のセンサ用面電極の取付け工程が簡略化され、生産性及び保守性の向上を図ることができる。
【０２６７】
請求項９記載の発明では、更に、各位置検出センサを構成する一方と他方の各センサ用面電極をそれぞれ複数の所定空隙を介して積層した状態で一体化することによって断面櫛形状に形成したので、テーブル部材の移動又は回転に伴う静電容量の変化量を各面電極の対向面の数だけ数倍に倍増した状態で検出することができ、かかる点において微小移動を高精度に検出することができるという従来にない優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２】図１の一部切り欠いた平面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線に沿った概略断面図である。
【図４】図１に開示した田形状駆動コイルと被駆動磁石および制動用プレートとの位置関係を示す説明図である。
【図５】図１の各構成要素とその動作制御系との関係を示すブロック図である。
【図６】図５に開示した動作制御系に付勢されて作動する補助テーブル（可動テーブル）の動作例を示す図で、図６（Ａ）は右上４５°の方向に補助テーブル（可動テーブル）が平面移動した場合を示す説明図、図６（Ｂ）は補助テーブル（可動テーブル）が角度θだけ回動した場合を示す説明図である。
【図７】図１乃至図４に開示した田形状駆動コイルの４つの角形小コイルに通電される４つの通電パターン（通電プログラムは予めプログラム記憶部に記憶される）とその機能とを示す図表である。
【図８】図５に開示した動作制御系が備えている４つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）の動作方向とを示す図で、図８（Ａ）は第１の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）のＸ軸の正方向への動作を示す説明図、図８（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図９】図５に開示した動作制御系が備えている４つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）の動作方向とを示す図で、図９（Ａ）は第５の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）のＸ軸およびＹ軸の各正方向への動作を示す説明図、図９（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１０】図５に開示した動作制御系が備えている４つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）の動作方向とを示す図で、図１０（Ａ）は第９の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）のＸ−Ｙ座標上の原点を中心として反時計方向に回動する場合を示す説明図、図１０（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１１】図１に開示した制動用プレートの制動力発生原理を示す図で、図１１（Ａ）は図１の制動用プレート部分を示す拡大部分断面図、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）中のＡ−Ａ線に沿って見た制動用プレートに生じるうず電流制動の発生状況を示す説明図である。
【図１２】図１に開示した第１実施形態の全体的な動作例で、補助テーブルがＸ軸に沿って移動した場合の例を示す説明図である。
【図１３】図１２中の補助テーブル部分の動作（Ｘ軸に沿った正方向への移動）を平面的に見た場合の一例を示す説明図である。
【図１４】補助テーブルがＸ−Ｙ座標上「ｙ＝ｘ」の直線に沿って移動した場合の一例を示す説明図である。
【図１５】補助テーブルが原点を中心に角度θだけ反時計方向に回転動作した場合の例を示す説明図である。
【図１６】図５中に開示した位置情報検出手段（テーブル位置検出用センサ装置）における位置情報演算回路（演算部）部分の具体例を示すブロック回路図である。
【図１７】図１３中に開示した補助テーブルのＸ軸に沿った正方向への移動状態を簡略化したもので、各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化（増減状態）を示す説明図である。
【図１８】図１４中に開示した補助テーブルの第１象限方向への移動状態を簡略化したもので、各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化（増減状態）を示す説明図である。
【図１９】図１９（Ａ）は、図１５中に開示した補助テーブルの反時計方向への移動状態を簡略化したもので、各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化（増減状態）を示す説明図、図１９（Ｂ）は、補助テーブルの回転角を求めるための説明図である。
【図２０】第２の実施形態で装備した位置情報検出手段（テーブル位置検出用センサ装置）における位置情報演算回路（演算部）部分の具体例を示す回路図である。
【図２１】第２の実施形態において補助テーブルがＸ軸に沿った正方向へ移動した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２２】第２の実施の形態において補助テーブルが第１象限の方向へ移動した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２３】第２の実施の形態において補助テーブルが反時計方向へ回転した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２４】第３の実施形態で装備した位置情報検出手段（テーブル位置検出用センサ装置）における位置情報演算回路（演算部）部分の具体例を示す回路図である。
【図２５】第３の実施形態において補助テーブルがＸ軸に沿った正方向へ移動した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２６】第３の実施形態において補助テーブルが第１象限の方向へ移動した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２７】第３の実施の形態において補助テーブルが反時計方向へ回転した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２８】第４の実施形態を示す部分断面図である。
【図２９】図２８内に開示した複数の位置検出センサ（容量センサ群）の配置例を示す説明図である。
【図３０】図２８内に開示した位置検出センサにおける一方のセンサ用面電極と他方のセンサ用面電極の組合せにより生じる静電結合状態の一部を示す回路図である。
【図３１】本発明において、位置検出センサとして、差動変圧器，ポテンショメータ，レーザ変位計などのアナログ量出力センサを用いた第５の実施形態を説明する説明図である。
【符号の説明】
１ 可動テーブル
３ 本体部としてのケース本体
３Ｂ 本体側突出部
５，５１ テーブル部材としての補助テーブル
６ 被駆動磁石
２０ 動作制御系
２１ テーブル駆動制御手段
２１Ａ 主制御部（ＣＰＵ内蔵）
２５ 位置情報検出手段（テーブル位置検出用センサ装置）
２６ 容量センサ群
２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４，４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４位置検出センサの要部をなす他方のセンサ用面電極
２７ 位置情報演算回路（演算部）
２７Ａ 信号変換回路部
２７Ｂ 位置信号演算回路部
４１ 位置検出センサの一方のセンサ用面電極としての共通電極
４１Ａ，４２ａ 板状電極としての電極フィン
Ｓ１，Ｓ２ 空隙
５１Ｘ１，５１Ｘ２，５１Ｙ１，５１Ｙ２ 直線型ポテンショメータ
５１ａ，５１ｂ 検出用ロッド
【発明の属する技術分野】
本発明は、テーブル位置検出用センサ装置に係り、特にＩＣやＬＳＩ等の半導体生産工程における精密加工用のステージ装置等に装備され、当該ステージ装置が備えている可動テーブルの現在位置を連続的に検出するのに好適なテーブル位置検出用センサ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体産業等では、ＩＣやＬＳＩ等の生産工程で被加工物を精密加工の場に配設し保持するために、従来より、精密移動が可能な可動テーブル（テーブル部材）を備えた精密加工用のステージ装置が使用されている。そして、この場合、可動テーブルの移動先の位置制御を迅速に且つ正確に実行するため、テーブル位置検出用のセンサ装置が、前述した精密加工用のステージ装置に組み込まれている。
【０００３】
ここで、この従来例における精密加工用のステージ装置は、テーブル移送手段としては、可動テーブルをＸ方向に移動するＸ方向移動機構と、この可動テーブルを載置したＸ方向移動機構の全体をＹ方向に移動するＹ方向移動機構とを備えた２重構造のものが装備されている。又Ｘ方向およびＹ方向の各テーブル駆動手段としては、ステッピングモータ等の駆動モータと精密駆動機構の組合せたものが個別に装備され、更に同一面内における回転駆動に際してはＸ方向移動機構とＹ方向移動機構の全体を一体的に回転させる構造の回転駆動機構が装備されていた。
【０００４】
また、移送されるテーブルの現在位置を精密測定するテーブル位置検出手段も、例えばＸ方向およびＹ方向の各駆動機構及び回転駆動機構にそれぞれ別々に装備され、ここで得られる情報（即ち、可動テーブルの移動情報）に基づいて前述した各精密駆動手段が個別に駆動制御されるという手法のものが多い。このため、装置全体が大型化するという不都合が常に生じている。
【０００５】
これとは別に、可動テーブルの精密移動をミクロン単位で実行するためには、その移動時の変化量をリアルタイムで把握しつつ駆動手段の出力を精密に制御する必要がある。
このため、従来例では、小型化されたエンコーダ等の回転数検出手段をＸ方向，Ｙ方向および回転の各駆動機構にそれぞれ併設し、ここで得られる回転情報（即ち、可動テーブルの移動情報）に基づいて各精密駆動手段を個別に駆動し位置制御するという手法を備えたものが多い。
【特許文献１】
特開平５−３３６７３０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例のものは、Ｘ方向，Ｙ方向および回転の各駆動機構にそれぞれエンコーダを併設していることから、装置全体の小型化には限界がある。また、駆動モータとしてステッピングモータを用いるため、デジタル量の駆動パルスによる移動であり、可動テーブルをミクロン単位で精密移動させる場合には、駆動パルスによるテーブルの移動は、微視的に見て連続した定量なものではなく、平均値が定量なものであるため、微小値の範囲で見れば、テーブルの移動は断続する動きとなり、可動テーブルの精密移動をミクロン単位で実行するには不適切なものとなっていた。
【０００７】
又、２次元平面（Ｘ−Ｙ平面）内におけるテーブルの移動後の位置情報の検出は、当該テーブルが非接触にて駆動される場合には、例えばＸ方向，Ｙ方向及び回転の各方向に設定されたバーコード等からの反射レーザ光を光センサにて受光して計数し積算して、その位置変化を演算する等の手法が用いられる。
【０００８】
しかしながら、かかる手法では、テーブルの移動量がデジタル量として出力されるため、ミクロン単位でテーブルの移動を行う場合には、パルス間での測定信号値が零値となってテーブルの位置検出が不可能となってしまい、テーブルの精密移動をミクロン単位で実行するには不適切なものとなっていた。
更に、直線的な移動と回転動作とが連続的になされるテーブルについては、当該テーブルの位置の測定に際しては移動位置測定用のセンサと回転の各測定用の３種類のセンサを装備しなければならず、このため、これを装備すると、例えば前述した精密加工用のステージ装置が更に大型化する、という不都合があった。
【０００９】
また、上記特許文献１には、４個の田形状駆動コイル間のスペースを利用して容量式位置検出器の電極を固定子側と可動子側とにそれぞれ配置した構造のものが開示されている。
しかしながら、この特許文献１に示された構造では、固定子側と可動子側にそれぞれ設けた４個の内２個の容量式位置検出器の電極を接近して配置しなければならないため、可動子が平面移動する範囲によっては、可動子側の電極が固定子側の隣接する電極に相互干渉して位置検出の精度に影響を及ぼすことがある。このため、可動子の移動は、当該電極相互間の影響がない狭い範囲に限定されてしまい、可動子を広範囲に渡って移動させるための改良の余地があった。
【００１０】
【発明の目的】
本発明は、かかる従来例の有する不都合を改善し、特に、当該テーブルの同一平面上における移動方向および移動距離等に関する情報を、更には、同一平面上における回転角度情報等を、リアルタイムで同時に連続的に且つ高精度に検知し得る小型化が可能なテーブル位置検出用センサ装置を提供することを、その目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明では、Ｘ−Ｙ平面上を所定範囲内で平面移動するテーブル部材の周囲４辺の内の少なくとも隣接する２辺に、アナログ量を出力する位置検出センサを配設し、テーブル部材の移動と共に変化するアナログ量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し所定の電気信号に変換して外部出力する演算部を備えているという構成を採っている。
【００１２】
このため、Ｘ−Ｙ平面内でのテーブル部材の移動量が、位置検出センサによりアナログ量で出力される。演算部では、テーブル部材の移動と共に変化するアナログ量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し所定の電気信号に変換して出力する。
【００１３】
したがって、テーブル部材の移動位置検出がアナログ量に基いて行われるため、テーブル部材を微小範囲、例えばミクロン単位で移動させる場合においても正確に位置の制御を行うことができる。
また、テーブル部材の周囲４辺の内の少なくとも隣接する２辺に位置検出センサを配設しているため、位置検出センサが相互干渉するに至る距離を長くしてテーブル部材の移動範囲を広くすることができ、広範囲でテーブル部材の位置を正確に検出することができる。
【００１４】
前述した位置検出センサとしては、差動変圧器，ポテンショメータ，レーザ変位計などのアナログ量検出センサを用いて、テーブル部材の移動量をアナログ量として出力することができる。また、前述した位置検出センサが、差動変圧器，ポテンショメータ或いはレーザ変位計であるときに、テーブル部材の移動をＸ−Ｙ平面内の２方向の直線変位に分解してＸ，Ｙ方向の移動量を得ると共にＸ又はＹ方向の移動量から回転方向の移動量を得るアナログ量検出センサを用いることが望ましい。
【００１５】
また、請求項４記載の発明では、前述した位置検出センサに、静電容量型の位置検出センサを用い、Ｘ−Ｙ平面上を所定範囲内で平面移動するテーブル部材の周囲４辺の内の隣接する２辺に、それぞれ少なくとも２個の静電容量型の位置検出センサを所定間隔を隔てて配設する。
【００１６】
また、この各位置検出センサを構成する一方のセンサ用面電極を前述したテーブル部材の一方の面の端面領域に装着すると共に、該各位置検出センサを構成する他方のセンサ用面電極を前述した一方のセンサ用面電極に一部分対向し且つ近接した状態で前述したテーブル部材保持用のケース本体側に固定装備する。
【００１７】
更に、前述したテーブル部材の移動と共に前述した一方と他方のセンサ用面電極の相互間に形成される静電容量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し所定の電気信号に変換して外部出力する演算部を備えている、という構成を採っている。
【００１８】
このため、この請求項４記載の発明では、テーブル部材が同一面内での所定の方向へ移動すると、Ｘ方向先およびＹ方向先に位置する各２個の位置検出センサが、テーブル部材の移動と共に変化する静電容量を検出し、この容量変化にかかる情報をリアルタイムで演算部へ出力する。演算部では、この４つのセンサ情報を所定の処理をし、当該テーブル部材の移動方向と移動量とを特定するに必要な所定の情報を演算し出力する。
【００１９】
ここで、例えばＸ軸方向に装備した一方と他方の２個の位置検出センサに容量変化が見られない場合にはテーブル部材はＹ軸に沿って（回転動作なしに）移動したことを意味し、その移動方向はＹ軸方向の２個の位置検出センサの容量の増減で判断され、同時にその移動量は当該Ｙ軸方向の位置検出センサの容量の変化量によって特定される。かかる判断および具体的な演算は、外部接続の主制御部等で実行される。
【００２０】
また、演算部では、例えばＸ軸方向とＹ軸方向の両方の位置検出センサが同一の容量変化を検出した場合には、テーブル部材が４５°方向に（回転動作なしに）移動したと判断されるに必要な情報を演算処理して外部出力するようになっている。
【００２１】
更に、隣接する２辺の各２個の位置検出センサがそれぞれ異なった容量変化を出力した場合には、テーブル部材は回転動作をしたことを意味し、同時に一方の２つの位置検出センサの容量変化の差と他方の２つの位置検出センサの容量変化の差とが等しい場合には正常回転を意味する。かかる判断に必要な情報、更には回転方向および回転角にかかる各情報は、演算部で信号処理されて外部出力されるようになっている。
【００２２】
これら各位置検出センサの容量変化のパターンによる移動方向の特定および各位置検出センサの容量の変化量とテーブル部材の移動量との関係は、例えば、予め実験的に特定し且つマップ化してメモリ等に記憶しておき、演算部では位置ずれ等にかかる情報を併記して特定し外部出力するようにしてもよい。
【００２３】
即ち、この請求項４記載の発明では、同一面内の所定範囲内でテーブル部材が３６０°方向の何れかの方向に微小移動した場合に、その移動量を直ちに静電容量の変化として連続的に検出することができ、同時に当該可動テーブルの同一面内において回転動作した場合にも、これを同様に精密に検出することができ、これらを同時に又は連続して移動情報として外部出力することが可能となっている。
【００２４】
請求項５記載の発明では、Ｘ−Ｙ平面上を所定範囲内で平面移動するテーブル部材の周囲４辺の各々に、それぞれ少なくとも２個の静電容量型の位置検出センサを所定間隔を隔てて配設する。
【００２５】
又、この各位置検出センサを構成する一方のセンサ用面電極を前述したテーブル部材の一方の面の端面周囲に装着すると共に、各位置検出センサを構成する他方のセンサ用面電極を前述した一方のセンサ用面電極に一部分対向し且つ近接した状態で前述したテーブル部材保持用のケース本体側に固定装備する。
【００２６】
そして、前述したテーブル部材の移動と共に各位置検出センサにおける一方と他方の各センサ用面電極の相互間に形成される静電容量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し所定の信号に変換して外部出力する演算部を備えている、という構成を採っている。
【００２７】
このため、この請求項５記載の発明では、前述した請求項４記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、テーブル部材の周囲４辺の各々に少なくとも２個の静電容量型の位置検出センサを装備したので、位置検出センサの数が２倍となり、このため、測定感度が倍増し、同時に対応する２辺に位置検出センサを同数装備したので、その差をとることにより外部からの電気的な雑音を排除することが可能となり、かかる点において、使用環境の悪い箇所にあってもその影響を受けることなく比較的正確に且つ高精度に移動情報を検出し出力することができる。
【００２８】
請求項６記載の発明では、前述した請求項５記載のテーブル位置検出用センサ装置において、前述したテーブル部材の中心部からＸ軸およびＹ軸に沿った方向先に位置する各端部に対応して配設した２個の位置検出センサの内、Ｘ軸又はＹ軸の何れか一方の軸線に沿った方向先の各端部に配設された２個の位置検出センサを、それぞれ一個とする、という構成を採っている。
【００２９】
このため、この請求項６記載の発明では、前述した請求項５記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、位置検出センサの数を少なくしたから、その分、演算部の負担が軽減され当該演算部の演算処理が迅速化される。
【００３０】
請求項７記載の発明では、前述した請求項４又は５記載のテーブル位置検出用センサ装置において、前述した演算部が、テーブル部材の移動情報の検出時に作動し外部から到来する雑音を有効に排除する雑音排除機能を備えている、という構成を採っている。
【００３１】
このため、この請求項７記載の発明では、前述した請求項４又は５記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、周囲環境の悪い場所においても或いは隣接する電気機器から突発的に発生する雑音に対しても、これらの外来雑音の影響を受けることなく移動情報を鮮明に且つ高精度に検出することができ、かかる点において装置全体の信頼性向上を図ることができる。
【００３２】
請求項８記載の発明では、前述した請求項１，４，５，６又は７記載のテーブル位置検出用センサ装置において、各位置検出センサの内のテーブル部材側に装備した各一方のセンサ用面電極を、所定幅の電極部材により帯状に形成してなる共通電極によって構成する、という手法を採っている。
【００３３】
このため、この請求項８記載の発明では、前述した請求項１，４，５，６又は７記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、複数の一方のセンサ用面電極を単一の共通電極で共用し得るので、構成が単純化され、組立及び調整が容易となり、生産性向上を図ることができるという利点があある。
【００３４】
請求項９記載の発明では、前述した請求項１，４，５，６，７又は８記載のテーブル位置検出用センサ装置において、位置検出センサを構成する一方と他方の各センサ用面電極を、それぞれ複数の板状電極を所定空隙を介して積層した状態で一体化し、これによって断面櫛型状に形成する。そして、この一方と他方の各センサ用面電極が相互に対向する部分の電極面部分が相互に接触することなく噛み合った形態をもって組み込む、という構成を採っている。
【００３５】
このため、この請求項９記載の発明では、前述した請求項１，４，５，６，７又は８記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、一方と他方の各センサ用面電極の対向面が増加した数の分だけ静電容量の変化分が数倍に倍増され、かかる点において測定感度を大幅に改善することができ、テーブル部材の移動にかかる位置情報を高感度に且つ高精度に出力することが可能となっている。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、添付図面に基づいて説明する。
【００３７】
【第１の実施形態】
本発明の第１の実施の形態を図１乃至図１９に示す。
この第１の実施形態は、本発明にかかるテーブル位置検出用センサ装置を、精密加工用のステージ装置について実施した場合の例を示す。
【００３８】
まず、図１乃至図３において、符号１は精密加工用のテーブル台としての可動テーブルを示し、符号２はテーブル保持機構を示す。このテーブル保持機構２は、図１の下方部分に配設され、前述した可動テーブル１が同一面内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テーブル１に元位置復帰力を付加した状態（元位置復帰機能を備えた状態）で当該可動テーブル１を保持するように構成されている。
【００３９】
このテーブル保持機構２は、本体部としてのケース本体３によって支持されている。
ケース本体３は、本実施形態では図１に示すように上方および下方が開放された箱体状に形成されている。付号４は電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段４は、その主要部がケース本体３側に保持され、前述した可動テーブル１に移動力を付勢する機能を備えている。
【００４０】
符号３Ａは、ケース本体３の内壁部周囲に突設された駆動手段保持部を示す。又、符号５はテーブル部材としての補助テーブルを示す。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に当該可動テーブル１に連結装備されている。
前述した電磁駆動手段４は、この２つのテーブル部材である補助テーブル５と可動テーブル１との間に配設されている。
【００４１】
この電磁駆動手段４は、補助テーブル５の所定位置に固定装備された４個の正方形形状の被駆動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置された十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対して前述した可動テーブル１の所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７と、この田形状駆動コイル７を定位置にて保持すると共に前述した補助テーブル５の可動テーブル１側に装備された固定プレート８とを備えている。この内、田形状駆動コイル７と固定プレート８とによって電磁駆動手段４の主要部が構成されている。
【００４２】
更に、前述した田形状駆動コイル７の前述した被駆動磁石６側の端面側には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が被駆動磁石６の磁極面に近接して個別に配設されている。この制動用プレート９は前述した固定プレート８側に固定された状態となっている。
【００４３】
電磁駆動手段４によって駆動される補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の移動状態は、位置情報検出手段２５（本発明にかかるテーブル位置検出用センサ装置）によってリアルタイムで連続的に且つ高精度に検出される。
【００４４】
この位置情報検出手段（テーブル位置検出用センサ装置）２５は、図５に示すように、本実施形態では静電容量型の８個の位置検出センサから成る容量センサ群２６と、この容量センサ群２６で検出される複数の容量成分を所定の信号処理をして位置情報としてテーブル駆動制御手段２１に送り込む位置情報演算回路（演算部）２７とを備えている。
そして、８個の位置検出センサを備えた容量センサ群２６は、後述するように、補助テーブル５とその周囲下面に対向してケース本体３から突設された本体側突出部３Ｂとの間に装備されている。
【００４５】
以下、これを更に詳細に説明する。
〔可動テーブルと補助テーブル〕
まず、図１乃至図３において、精密加工用のテーブル台としての可動テーブル１は、４角形状でもよいが、本実施形態では円形状に形成され、補助テーブル５は４角形状に形成されている。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に配置され、その中心部の連結支柱１０を介して前述した可動テーブル１に一体的に連結されている。
このため、この可動テーブル１は、補助テーブル５と平行状態を維持しつつ一体的に移動し且つ補助テーブル５と共に同一面上で一体的に回転し得るようになっている。
【００４６】
連結支柱１０は、前述したように可動テーブル１と補助テーブル５とを連結する連結部材であって、両端部に鍔部１０Ａ，１０Ｂを備えた断面工字状に形成され、その両端部外側中央には、可動テーブル１と補助テーブル５との各中心部に形成された位置決め孔１Ａ，５ａに係合する突起１０ａ，１０ｂが設けられている。そして、可動テーブル１と補助テーブル５とは、これらにより位置決めされ当該連結支柱１０を介して一体化されている。
【００４７】
〔テーブル保持機構〕
前述したテーブル保持機構２は、本実施形態にあっては可動テーブル１を保持しつつ当該可動テーブル１をその高さ位置を変えることなく同一面上のいずれの方向へも自在に移動可能とする機能を備えたものであり、補助テーブル５を介してこれを実行するようにしたものである。
【００４８】
このテーブル保持機構２は、全体的にはリンク機構を３次元空間に応用したもので、所定間隔を隔てて設置される２本の棒状弾性部材としてのピアノ線２Ａ，２Ｂを一組として予め補助テーブル５の端部周囲のコーナー部分に対応して４組準備し、この４組のピアノ線を組毎に、４角形状の中継プレート２Ｇの各４隅部分に分けてそれぞれ上方向に向けて植設する。そして、内側（テーブル側）に位置する４本のピアノ線２Ａで補助テーブル５を下方から保持し、外側（本体側）に位置する４本のピアノ線２Ｂで中継プレート２Ｇをケース本体（本体部）３側から突設された本体側突出部３Ｂに吊り下げられたような構成になっている。
【００４９】
ここで、上記４組８本の各棒状弾性部材は、それぞれ前述したようにピアノ線等から成る同一強度の棒状弾性部材で形成され、又この各組を構成するピアノ線２Ａ，２Ｂについては、その露出部分の長さＬおよび相互間の距離Ｓはそれぞれ同一に設定されている。この棒状弾性部材としてのピアノ線２Ａ，２Ｂは、可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性部材であれば他の部材であってもよい。
【００５０】
これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が中継プレート２Ｇと各４本のピアノ線２Ａ，２Ｂとによって空中で安定した様態で保持され、その水平面内での移動は、ピアノ線２Ａの弾性限界内において（元位置復帰機能を備えた状態で）リンク機構の原理に従って同一の高さ位置を維持しつつ何れの方向にも自在に移動可能となっている。同一面内での回転動作もほぼ同様に可能となる。
【００５１】
このため、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が、外力（例えば電磁駆動力）に付勢されてその同一面内で移動し又は回転すると、後述する図１２，図１５に示すように、テーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂが同時に弾性変形して中継プレート２Ｇが平行状態を維持しつつ上下動する。即ち、補助テーブル５（可動テーブル１）が外力によってその面内で移動し又は回転すると、その高さ位置の変動は中継プレート２Ｇによって吸収される。
【００５２】
これにより、補助テーブル５（可動テーブル１）は、外力に付勢されて移動しても、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性限界内において何れの方向へも同一高さを維持しつつ移動する。そして、この場合、駆動力を開放すると、補助テーブル５は可動テーブル１と共に、各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用によって一直線に元位置に復帰する。
【００５３】
〔電磁駆動手段〕
可動テーブル１と補助テーブル５との間には、前述したように、補助テーブル５を介して前述した可動テーブル１に対し所定の移動力を付勢する電磁駆動手段４が装備されている（図１参照）。
【００５４】
この電磁駆動手段４は、平面駆動のリニアモータであり、前述したように補助テーブル５上に装備された４個の被駆動磁石（本実施形態では永久磁石が使用されている）６と、この各被駆動磁石６を介して可動テーブル１に所定の移動方向に向けて所定の電磁力を付勢する４個の田形状駆動コイル７と、この各田形状駆動コイル７を保持する固定プレート８とを備えている。
【００５５】
この内、固定プレート８は、図１に示すように、補助テーブル５の可動テーブル１側（補助テーブル５と可動テーブル１との間）に装備され、その周囲がケース本体３に固着装備されている。この固定プレート８の中央部には、前述した連結支柱１０の所定範囲内での平行移動を許容する貫通穴８Ａが形成されている。
【００５６】
前述した固定プレート８は、前述したようにその周囲全体が本体側突出部３Ａに保持されている。この場合、固定プレート８と本体側突出部３Ａとは、その一体化を堅牢にするため、ネジ止め後にノックピン等で一体化しても或いは溶接等で一体化してもよい。このようにすると、可動テーブルのミクロン（μ）単位の変位や移動に対しても、固定プレート８がケース本体３に対して位置ずれを生じることなく円滑にこれに対応することができるという利点が生じる。
【００５７】
前述した４個の被駆動磁石６は、本実施形態では図２，図３に示すように、駆動コイルとの対向面が４角形状の永久磁石が使用され、補助テーブル５の上面における直交するＸ軸，Ｙ軸からなるＸ−Ｙ面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上にそれぞれ配設され固着されている。
この４個の被駆動磁石６に対向する位置には、中央部に十字状のコイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対し前述した可動テーブル１の所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７が、前述した４個の被駆動磁石６に個別に対応して固定プレート８上の定位置に、固着装備されている。
【００５８】
この場合、４個の被駆動磁石６の向きは、田形状駆動コイル７に面する側の磁極が、本実施形態ではＸ軸上のものはＮ極に、Ｙ軸上のものはＳ極に、それぞれ設定されている（図２，図３参照）。
このため、十字状のコイル辺の縦方向又は横方向に通電される電流と被駆動磁石６との間に発生する電磁力は、常にＸ軸方向又はＹ軸方向に統一され、その合力が常に最大値となるように設定されている。このため、発生する電磁力を効率良く可動テーブル１に対する駆動力として出力することが出来て都合がよい。
【００５９】
又、前述した、田形状駆動コイル７については、その大きさは内側に有する十字状コイル辺の領域が前述した被駆動磁石６の最大移動範囲を許容する大きさに設定されている。
このため、４個の被駆動磁石６との間に生じる電磁力は、田形状駆動コイル７が固定プレート８上の定位置に固定されていることにより、当該被駆動磁石６を介して補助テーブル５に対する所定方向への移動力として確実に出力されることとなる。
【００６０】
〔田形状駆動コイル〕
電磁駆動手段４の主要部を成す田形状駆動コイル７は、例えば図４に示すように、実際にはそれぞれ独立して通電可能な４個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄにより構成されている。
【００６１】
そして、各角形小コイル７ａ〜７ｄの通電方向を後述する動作制御系によって外部から切り換え制御することにより、例えば田形状駆動コイル７の内部の十字状部分に流れる電流を図中の縦方向又は横方向の何れか一方に限定して通電（正又は逆方向を含めて）することが可能となり、これにより対応して配置された被駆動磁石６に対しては、フレミングの左手の法則に従って当該各被駆動磁石６を所定の方向へ押圧する電磁力（反力）を出力することができる。
【００６２】
このため、４個の角形小コイル７ａ〜７ｄに生じる電磁力の方向を組み合わせることにより、前述した田形状駆動コイル７の内側に位置する十字状のコイル辺部分に、縦方向又は横方向等の何れか一方への通電状態が設定され、これによって対応する被駆動磁石６に所定方向への電磁駆動力が出力される。そして、前述した４個の被駆動磁石６に生じる電磁駆動力の合力によって、前述した補助テーブル５に対してＸ−Ｙ軸上で回転動作を含む任意の方向に向けて移動力が付勢されるようになっている。
【００６３】
これら４個の角形小コイル７ａ〜７ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述する動作プログラム記憶部２２の説明箇所（図７）で詳述する。
又、この４個の角形小コイル７ａ〜７ｄは中空のコイルもよいが、内側にフェライト等の被導電性磁性部材を充填したものであってもよい。
符号９は、被駆動磁石６に近接対向して田形状駆動コイル７側に固定装備された制動用プレートを示す。
【００６４】
〔位置情報検出手段：テーブル位置検出用センサ装置〕
前述した電磁駆動手段４によって駆動される補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の移動状態は、位置情報検出手段（本発明にかかるテーブル位置検出用センサ装置）２５によって検出される。
この位置情報検出手段２５によって検出された可動テーブル１の移動情報は、外部表示用として外部出力され、或いはテーブル駆動制御手段２１によるフィードバック制御用として使用される。
【００６５】
この位置情報検出手段２５は、図５に示すように、本実施形態では静電容量型の８個の位置検出センサを備えた容量センサ群２６と、この容量センサ群２６で検出される８個の変化したセンサ部分の静電容量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し電圧変換すると共に所定の演算をしたのち位置情報として後述するテーブル駆動制御手段２１に送り込む（又は外部出力する）演算部としての機能を有する位置情報演算回路２７とを備えた構成となっている。
【００６６】
この内、位置情報演算回路（演算部）２７は、具体的には前述した容量センサ群２６で検出される８個の変化したセンサ部分の容量成分を個別に電圧変換する信号変換回路部２７Ａと、この信号変換回路部２７Ａで変換された８個の電圧信号を所定の演算によりＸ−Ｙ座標上の位置を示すＸ方向位置信号ＶＸ 及びＹ方向位置信号ＶＹ に変換し、更には前述した容量センサ群２６から検出される全部の情報に基づいて所定の演算をし回転角信号Ｖθとして出力する位置信号演算回路部２７Ｂとにより構成されている（図５，図１６参照）。
【００６７】
又、容量センサ群２６を構成する８個の各位置検出センサは、図１乃至図３に開示したように、可動子の一部を構成するテーブル部材としての４角形状の補助テーブル５側に装備された一方のセンサ用面電極５Ｇと、この一方のセンサ用面電極５Ｇの電極面に近接し且つ一部分対向して各辺に２個づつ所定間隔を隔てて配設され固定子であるケース本体側の同一面上に装着された８枚の他方のセンサ用面電極２６Ｘ１ ，２６Ｘ２ ，２６Ｘ３ ，２６Ｘ４ ，２６Ｙ１ ，２６Ｙ２ ，２６Ｙ３ ，２６Ｙ４ とを備えている。
そして、この一方のセンサ用面電極５Ｇと、８枚の他方のセンサ用面電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４とにより、８個の位置検出センサ（容量センサ群２６）が構成されている。
【００６８】
ここで、一方のセンサ用面電極５Ｇは、後述するように他方のセンサ用面電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４に個別に対応したものでもよいが、本実施形態では単一の部材によって形成されて補助テーブル５の一方の面である背面の面周囲に装着されている。
【００６９】
即ち、この一方のセンサ用面電極５Ｇは、所定幅の導電性部材で帯状に形成され、これが補助テーブル５の背面の面周囲に沿って大口形状の連続した形に形成され且つ共通電極として接地された状態で、当該補助テーブル５の裏面（図１内の補助テーブル５の下面）に装着されている。
【００７０】
８個の前述した他方のセンサ用面電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４は、Ｘ−Ｙ平面上におけるＸ軸およびＹ軸に沿った方向先に位置する両方の端部の前述した共通電極５Ｇに対応して、前述したようにそれぞれ２個ずつ所定間隔を隔てて配設されている（図２〜図３参照）。
【００７１】
ここで、前述した位置検出センサという場合、実際にはこの各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４と共通電極との組み合わせで構成されるものを呼称するが、ここでは、便宜上、信号を外部に向けて発信する他方のセンサ用面電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４を、位置検出センサとして扱うものとする。
【００７２】
上記各位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４の内、２個の位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２が図２，図３の右端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備され、これに対して他の２個の位置検出センサ２６Ｘ３，２６Ｘ４が図２，図３の左端部の上下に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
【００７３】
また、上記各位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４の内、２個の位置検出センサ２６Ｙ１，２６Ｙ２が図２，図３の上端部の左右に沿って所定間隔を隔てて装備され、他の２個の位置検出センサ２６Ｙ３，２６Ｙ４が図２，図３の下端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
【００７４】
即ち、上記８個の各位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４は、本実施形態にあっては図２〜図３に示すように、Ｘ軸およびＹ軸に対して、それぞれ線対称の位置に配設されている。
尚、この各位置検出センサの配置については、必ずしもＸ軸およびＹ軸に対して線対称の位置でなくてもよい。
【００７５】
そして、例えば前述した補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が電磁駆動手段４に付勢されて図６（Ａ）に示すように矢印Ｆの方向（図中、右上方向）に移動動作した場合、本実施形態では、補助テーブル５の両側に（及び上下方向に）位置する位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２（２６Ｙ１，２６Ｙ２ ），２６Ｘ３，２６Ｘ４（２６Ｙ３，２６Ｙ４）で検出される変化した容量成分が、位置情報演算回路（演算部）２７の信号変換回路部２７Ａで電圧変換された後に位置信号演算回路部２７Ｂに送り込まれ、この位置信号演算回路部２７Ｂで前述した各変換電圧を入力してＸ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹとして（後述するように）差動出力される構成となっている。
【００７６】
又、前述した補助テーブル５が電磁駆動手段４に付勢されて図６（Ｂ）に示すように矢印方向に回転動作した場合、本実施形態では、前述した場合と同様に各部が作動し同様に機能して、その変化した容量成分が電圧変換されて所定の回転角信号Ｖθとして（後述するように）差動出力される構成となっている。
【００７７】
即ち、位置情報演算回路（演算部）２７は、テーブル部材（補助テーブル５）の移動と共に前述した一方と他方のセンサ用面電極５Ｇ，２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の相互間に形成される静電容量の変化をテーブル部材（補助テーブル５）の移動の位置情報として検出し所定の電気信号に変換して外部出力する機能を備えている。。
【００７８】
換言すると、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動と共に８個の各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４に生じる容量変化が、位置情報演算回路（演算部）２７の信号変換回路部２７Ａによってリアルタイムで検知され、それが位置信号演算回路部２７Ｂへ送り込まれる。そして、この位置信号演算回路部２７Ｂでは、この８つのセンサ情報に基づいて可動テーブル１の移動方向と移動量とを含む位置情報を特定する。
符号２７ａは、位置情報演算回路（演算部）２７で特定された可動テーブルの位置情報を外部出力するための出力端子を示す。
【００７９】
この場合、例えば補助テーブル５のＹ軸方向の各端部に対応して装備した合計４個の各位置検出センサ２６Ｙ１〜２６Ｙ４に容量変化が見られない場合には可動テーブル１はＸ軸に沿って（回転動作なしに）移動したことを意味し、その移動方向はＸ軸方向の４個の位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４の容量の増減で判断され、その移動量はＸ軸方向の位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４の変化した容量値によって特定される。
【００８０】
又、Ｘ軸方向とＹ軸方向の両方の位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４が同一の容量変化を検出した場合には、可動テーブル１は４５°方向に（回転動作なしに）移動したことを意味し、その移動方向は直接的には各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量の増減のパターンによって判断され、又その移動量は、各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量の変化量によって特定される。
【００８１】
更に、同一箇所に配置された対を成す２個の位置検出センサ（例えば２６Ｘ１，２６Ｘ２）が異なった容量変化を出力した場合は、可動テーブル１は回転動作をしたことを意味し、同時に一方の２つの位置検出センサ（例えば２６Ｘ１，２６Ｘ２）の容量変化の差と隣接する他方の２つの位置検出センサ（例えば２６Ｙ１，２６Ｙ２）の容量変化の差とが等しい場合には正常回転を意味する。
この可動テーブルの回転方向は各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量の増減のパターンによって判断され、又その移動量は、各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量の変化量によって特定される。
【００８２】
ここで、これら各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量変化のパターンによる移動方向の特定，および各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の容量の変化量と可動テーブルの移動量との関係は、例えば、予め実験的に特定され且つマップ化してメモリ等に記憶し、これを基準として位置ずれ等を判断するように構成してもよい。
このようにすると、演算処理の迅速化が図られて都合がよい。そして、これら一連の分析および判断は、テーブル駆動制御手段２１にて行われる。
【００８３】
又、本実施形態にあっては、例えば、図３の左右（及び上下）の各位置検出センサに同時に印加されるノイズを差動出力（例えば、Ｘ軸方向の一端部と他端部に配置された位置検出センサに検知される容量変化の差をとること：外部雑音排除機能）によって打ち消すことができ、同時に測定値が電圧変換された後にその変化分が合算されて出力されるので、補助テーブル５（可動テーブル１）の位置情報を高感度に出力することができるという利点がある。かかる外部雑音排除機能は、本実施形態にあっては前述した位置情報演算回路（演算部）２７が備えている。
【００８４】
〔動作制御系〕
本実施形態にあっては、前述した電磁駆動手段４には、前述した複数の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御して前述した可動テーブル１の移動若しくは回転動作を規制する動作制御系２０が併設されている（図５参照）。
【００８５】
この動作制御系２０は、図５に示すように、前述した電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７を所定の制御モードに従って個別に駆動し前述した可動テーブル１を所定の方向に（補助テーブル５を介して）移動制御するテーブル駆動制御手段２１と、このテーブル駆動制御手段２１に併設され前述した可動テーブル１の移動方向，回転方向，およびその動作量等を特定するための複数の制御モードにかかる複数の制御プログラムが記憶された動作プログラム記憶部２２と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
【００８６】
テーブル駆動制御手段２１には、複数の各田形状駆動コイル７に対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。又、このテーブル駆動制御手段２１には、前述した可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前述した位置情報検出手段２５によって検出され、後述するように所定の演算処理が成されて送り込まれるようになっている。
【００８７】
前述したテーブル駆動制御手段２１は、本実施形態にあっては、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードを動作プログラム記憶部２２から選択し前述した複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電制御する主制御部２１Ａと、この主制御部２１Ａにて設定される制御モードに従って所定の４個の各田形状駆動コイル７，７，……を同時に且つ個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１Ｂとを備えている。
【００８８】
又、主制御部２１Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前述した可動テーブル１の移動方向及び現在位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。
符号４Ｇは、前述した電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電する電源回路部を示す。
【００８９】
更に、上記テーブル駆動制御手段２１は、前述した位置情報検出手段２５からの情報を入力して所定の演算を行いこれに基づいて予め動作指令入力部２４で設定した移動先の基準位置情報とのズレを算定する位置ずれ算定機能と、この算定された位置ずれ情報に基づいて電磁駆動手段４を駆動し予め設定された移動先の基準位置に当該可動テーブル１を移送制御するテーブル位置補正機能とを備えている。
【００９０】
このため、本実施形態にあっては、可動テーブル１の移動方向が外乱等によってずれた場合には、当該ずれを修正しながら可動テーブル１を所定の方向に移送制御することとなり、これにより当該可動テーブル１は迅速且つ高精度に予め設定した目標位置に移送されることとなる。
【００９１】
〔動作プログラム記憶部〕
前述したテーブル駆動制御手段２１は、動作プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の通電パターンおよびその選択組合せである所定の制御モード）に従って前述した電磁駆動手段４の４個の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御するように構成されている。
【００９２】
即ち、前述した動作プログラム記憶部２２には、本実施形態にあっては前述した４個の各田形状駆動コイル７，７，……に対する基本的な４つの通電パターンを実行するためのプログラムが記憶されている（図５，図７参照）。
【００９３】
図７は、田形状駆動コイル７（固定子側）の４個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄに対する４種類の通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄと、その時に各田形状駆動コイルの十字辺部分に生じる電流の向き、及びこれに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
【００９４】
この図７において、通電パターンＡの場合は、角形小コイル７ａ，７ｂに対しては左回りの電流が，又角形小コイル７ｃ，７ｄに対しては右回りの電流がそれぞれ通電制御され、これによって中央部に位置する十字状のコイル辺部分では、外部に出力される磁束が全体的に加算又は相殺され、その結果としてＸ軸の正方向の電流ＩＡ のみが通電されたのと同等の状態となる。
【００９５】
又、通電パターンＢでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｄが個別に通電制御され、これによってＸ軸の負方向の電流ＩＢのみが通電されたのと同等の状態となる。通電パターンＣでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｄが個別に通電制御され、これによってＹ軸の正方向の電流ＩＣのみが通電されたのと同等の状態となる。同様に、通電パターンＤでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｄが個別に通電され、これによってＹ軸の負方向の電流ＩＤ のみが通電されたのと同等の状態となる。
この上記４つの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、動作プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラムに基づいて実行されるようになっている。
【００９６】
又、図７に開示した白抜き矢印は、これらの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６との間に発生する電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
【００９７】
この場合、対応する各電磁力は田形状駆動コイル７の通電コイル辺部分にフレミングの左手の法則によって発生するが、当該田形状駆動コイル７が固定プレート８上に固定されていることからその反力が電磁駆動力（推力）として被駆動磁石（永久磁石）６側に向けて発生する。
図７に開示した白抜き矢印は、その反力（電磁駆動力）の向きを示すものでもある。このため、この反力（電磁駆動力）は、被駆動磁石６の磁極Ｎ，Ｓの種類によってその向きが反転する。
【００９８】
更に、この動作プログラム記憶部２２には、前述した固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ平面上にて可動テーブル１をＸ軸の正負２方向およびＹ軸の正負２方向にそれぞれ移動せしめる第１乃至第４の制御モードと、Ｘ−Ｙ平面上に設定される各象限内の所定方向に可動テーブル１を移動せしめる第５乃至第８の制御モードと、可動テーブル１を所定位置にて時計方向又は反時計方向に回転動作せしめる第９乃至第１０の各制御モードにかかる各動作プログラムが記憶されている。
【００９９】
図８乃至図１０に、前述した第１，第５，第９の各制御モードにかかる動作プログラムを実行した場合に生じる各田形状駆動コイル７の機能および補助テーブル（可動テーブル１）の動作状態の一例を、それぞれ示す。
【０１００】
図８（Ａ）（Ｂ）は、第１の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第１の制御モードでは、Ｘ軸上の２つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の２つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御される。図８（Ａ）において、記号Ｎ，Ｓは、各被駆動磁石（永久磁石）６の磁極の種類を示す。
【０１０１】
その結果、この第１の制御モードでは、各被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＸ１，ＦＸ２，ＦＸ３，ＦＸ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸ軸上の正の方向（矢印 ＋ＦＸ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる（図１２，図１３参照）。
ここで、図１３中、位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の交差した斜線部分は当該箇所の位置検出センサにおける増加した容量成分ＣＸ１，ＣＸ２の大きさを示し、一方向の斜線部分は当該箇所の位置検出センサにおける減少した容量成分ＣＸ３，ＣＸ４の大きさを示す。
【０１０２】
図８（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７，……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ軸上の正の方向に補助テーブル５を移送する場合には、特に、Ｙ軸上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさの駆動力を発生させることが重要となる。
【０１０３】
第２乃至第４の各制御モードの場合も、上記第１の制御モードの場合と同様に、それぞれ各田形状駆動コイル７，７，……に通電する通電パターンＡ〜Ｄを適宜選択し、これによって、補助テーブル５（可動テーブル１）をＸ軸又はＹ軸に沿った所定の方向に駆動し得るようになっている。
【０１０４】
図９（Ａ）（Ｂ）は、第５の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の２つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ通電パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の２つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ通電パターンＢの手法で通電制御される。
【０１０５】
その結果、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の２つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＸ１， ＦＸ３の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上の２つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＹ２， ＦＹ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸ−Ｙ軸上の中心点から第１象限方向に向けて（矢印ＦＸＹ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる（図１４参照）。
ここで、図１４中、位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の内の交差した斜線部分はそれぞれ当該箇所の位置検出センサにおける増加した容量成分ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２の大きさを示し、一方向の斜線部分はそれぞれ当該箇所の位置検出センサにおける減少した容量成分ＣＸ３，ＣＸ４，ＣＹ３，ＣＹ４の大きさを示す。
【０１０６】
図９（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７，……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第１象限方向に向かう方向（矢印ＦＸＹ）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形状駆動コイル７，７，……に通電される電流値の大きさを適当に設定することによって、その移動方向を変化させることができることが分かる。かかる通電電流の大きさは前述した主制御部２１Ａで設定制御される。
【０１０７】
第６乃至第８の各制御モードの場合も、上記第５の制御モードの場合と同様に、それぞれ各田形状駆動コイル７，７，……に通電する通電パターンＡ〜Ｄを適宜選択し、これによって、補助テーブル５（可動テーブル１）をＸ−Ｙ座標上の所定の象限の方向に向けて駆動し得るようになっている。
【０１０８】
図１０（Ａ）（Ｂ）は、第９の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第９の制御モードでは、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）を所定角度θ分、回転動作させるためのもので、この制御動作では、所定の許容範囲内において中心軸を有しない補助テーブル５を左回り（反時計方向）の円運動をさせ所定位置での静止動作が可能としたものである。
【０１０９】
即ち、この図１０（Ａ）に示す第９の制御モードでは、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は通電パターンＡの手法によって、Ｘ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は通電パターンＢの手法によって、Ｙ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は通電パターンＤの手法によって、又Ｙ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は通電パターンＣの手法によって、それぞれ通電制御される。
【０１１０】
その結果、この第９の制御モードでは、各田形状駆動コイル７，７，……に対応した各被駆動磁石（永久磁石）６には、図１０（Ｂ）に示すようにそれぞれ左回りの方向に沿って各軸に直交する方向ＦＹ１，−ＦＸ２，−ＦＹ３，又はＦＸ４に向けてそれぞれ電磁駆動力が発生する。
【０１１１】
このため、図１０（Ａ）に開示したように、当該各被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力の大きさをそれぞれ同一の大きさＰに設定制御することにより、補助テーブル５は所定の許容範囲内において中心軸を有しない状態でも左回りの円運動をし所定位置での静止動作が可能となる（図１５参照）。
【０１１２】
ここで、図１５中、容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の内の交差した斜線部分は当該箇所の位置検出センサにおける増加した容量成分ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＹ２，ＣＹ３，の大きさを示し、一方向の斜線部分は当該箇所の位置検出センサにおける減少した容量成分ＣＸ１，ＣＸ４，ＣＹ１，ＣＹ４の大きさを示す。
【０１１３】
この場合、円運動後の停止位置は、全体の電磁駆動力と前述したテーブル保持機構２のバネ作用による元位置復帰力とのバランス点（所定角度θ分、回転した位置）となり、かかる停止位置は設定回転角度と前述した電磁駆動力との関係として予め実験的に特定し、検索可能に図表化（マップ化）して前述したデータ記憶部２３に記憶するようにしてもよい。
【０１１４】
図１０（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７，……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ−Ｙ座標上の中心点Ｏを回転中心として補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は所定角度θだけ左回り（反時計方向）に回転し停止することとなる。
この場合、回転後の停止位置を設定する回転角度θの大きさは、各田形状駆動コイル７，７，……に通電される同一の電流値の大きさを適当に設定制御することにより、その回転角度θが定められる。かかる通電電流の大きさは前述した主制御部２１Ａで設定制御される。
【０１１５】
第１０の制御モードの場合は、補助テーブル５（即ち可動テーブル１）を右回り（時計方向）に回転させる場合である。このため、この第１０の制御モードでは、前述した各各田形状駆動コイル７，７，……に通電される同一の電流の向きをそれぞれ逆方向に設定すればよい。
【０１１６】
これらの各通電パターンおよび各制御動作にかかる動作プログラムは、テーブル駆動制御手段２１に併設された動作プログラム記憶部２２に出力可能に記憶されている。そして、テーブル駆動制御手段２１は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて前述した各動作プログラムの何れかを選択し、これに基づいて前述した電磁駆動手段４を駆動制御するようになっている。
【０１１７】
〔制動用プレート〕
前述した４個の各田形状駆動コイル７の被駆動磁石６に対向した端面部分には、図１乃至図３に示すように、非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９が、周囲から絶縁された状態で各被駆動磁石６の磁極面に対向し且つ近接してそれぞれ固着装備されている。そして、この各制動用プレート９は、補助テーブル５（可動テーブル１）の急激な移動動作に対してこれを抑制しつつ当該補助テーブル５（可動テーブル１）を緩やかに移動させる機能を備えている。
【０１１８】
即ち、４個の被駆動磁石６が装備された補助テーブル５又は可動テーブル１が急激な移動動作をした場合、当各該被駆動磁石６とこれに対応した各制動用プレート９との間に電磁制動（うず電流ブレーキ）が働く。これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は急激な移動動作が抑制されて徐々に移動することとなる。
【０１１９】
図１１（Ａ）（Ｂ）に、上記電磁制動（うず電流ブレーキ）の発生について示す。
この図において、制動用プレート９は、被駆動磁石６のＮ極に対向して田形状駆動コイル７の端部に固着されている。
いま、補助テーブル５が図の右方向に速度Ｖ１で急激に移動すると、金属製の制動用プレート９は（固定されているため）相対的に図の左方向に同一の速度Ｖ２（＝Ｖ１）で急激に移動することになる。これにより、制動用プレート９内にはフレミングの右手の法則に従って速度Ｖ２に比例した起電力ＥＶが図１１（Ｂ）に示す方向（図中、上向き）に発生し、これにより同矢印の方向に左右対象の渦電流が流れる。
【０１２０】
次に、起電力ＥＶ の発生領域にはＮ極からの磁束が存在することから、この被駆動磁石６の磁束と制動用プレート９内の（起電力ＥＶ方向の）渦電流との間にフレミングの左手の法則に従って所定の移動力ｆ１が制動用プレート９内に（図の右方向に向けて）発生する。
【０１２１】
一方、制動用プレート９は固定プレート８上で固定されているため、移動力ｆ１の反力ｆ２が被駆動磁石６上に制動力として発生し、その向きは移動力ｆ１の向きとは逆の向きになる。即ち、この制動力ｆ２は被駆動磁石６（即ち補助テーブル５）の最初の急激な移動方向とは逆の方向となり、しかもその大きさは当該補助テーブル５の移動速度に比例した大きさとなることから、当該補助テーブル５はその急激な移動が適度の制動力ｆ２によって抑制され、安定した状態で円滑に移動することとなる。
他の制動用プレート９の箇所でも全く同様に所定の制動力ｆ２ が発生する。
【０１２２】
このため、被駆動磁石６を備えた補助テーブル５では、例えば急激な停止動作に際しては当該停止箇所にて往復移動が生じ易いが、これに対しては制動力ｆ２ によってその動作が適度に抑制されて円滑に穏やかに移動することとなる。このため、全体的にはこの各制動用プレート９が有効に機能して、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動動作の安定した装置を得ることができる。又、外部からの振動によって補助テーブル５が往復微小振動した場合にも、同様に機能してかかる往復微小振動は有効に抑制される。
【０１２３】
このため、テーブル位置検出用センサ装置では、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動動作が安定することから、当該補助テーブル５（可動テーブル１）の位置情報も振動の少ない安定した位置情報として検知することができ、その移動状態をリアルタイムで且つ連続して外部出力することができる。
【０１２４】
又、上記各制動用プレート９は、各田形状駆動コイル７の駆動時に生じる熱を放熱する機能を兼ね備えている。かかる点において経年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性および信頼性を高めることができる。
【０１２５】
尚、前述した制動用プレート９については、本実施形態では各田形状駆動コイル７毎に装備した場合を例示したが、２個以上又は全部の田形状駆動コイル７を対象としてこれを一枚の制動用プレートで覆うように構成したものであってもよい。
【０１２６】
〔位置情報検出手段とテーブル駆動制御手段との連係動作〕
ここで、前述した位置情報検出手段２５の具体的な構成および前述したテーブル駆動制御手段２１との連係した機能を、図１６に基づいて更に詳細に説明する。
【０１２７】
位置情報検出手段２５は、前述したように、容量センサ群２６として８個の位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４を備えている。
この８個の各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４は、前述した補助テーブル５が所定の方向へ移動した場合に生じる静電容量の変化分を、それぞれ個別にＣＸ１，ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＸ４，ＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４として出力する。
これら静電容量の変化分（信号）は、以後、前述した補助テーブル５（可動テーブル１）の移動情報として取り扱われる。
【０１２８】
ここで、実際の容量データの測定に際しては、一般に行われている手法が使用され、所定周波数の測定電流（交流）を通電し、その抵抗成分の増減をもって静電容量の変化が連続した変化情報として捕捉される。
【０１２９】
図１６に、前述した各８個の位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と当該箇所で個別に検知され出力される静電容量の変化分ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＸ４，ＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４との対応およびデータ処理の手順を示す。
ここで、各静電容量の変化分ＣＸ１〜ＣＸ４，ＣＹ１〜ＣＹ４の値（測定により得られた値）そのものは、静電容量の増加又は減少に対応して正負の符号を含んだものとなっている。
【０１３０】
この容量センサ群２６の各位置検出センサ２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４で検出された静電容量の変化分（移動情報）ＣＸ１〜ＣＸ４，ＣＹ１〜ＣＹ４は、位置変換回路部２７Ａでそれぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２，ｖＸ３，ｖＸ４，ｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、位置信号演算回路部２７Ｂへ送られる。
この各電圧信号ｖＸ１〜ｖＸ４，ｖＹ１〜ｖＹ４は、前述した静電容量の増加又は減少に対応して正負の符号を含んだものとなっている。
【０１３１】
位置信号演算回路部２７Ｂは、補助テーブル５（移動テーブル１）の移動後のＸ方向の位置信号を演算し特定するための少なくとも３つの加算回路２７Ｂ１，２７Ｂ２，２７Ｂ３と、Ｙ方向の位置信号を形成するための少なくとも３つの加算回路２７Ｂ４，２７Ｂ５，２７Ｂ６と、回転移動した場合の回転角信号を形成するための少なくとも３つの加算回路２７Ｂ７，２７Ｂ８，２７Ｂ９の合計９個の加算回路を備えた構成となっている。
【０１３２】
この内、Ｘ方向の位置信号ＶＸ は、下記の順序で演算され特定される。
まず、加算回路２７Ｂ１で「ＶＸ１２＝ｖＸ１ ＋ｖＸ２ 」
加算回路２７Ｂ２で「ＶＸ３４＝ｖＸ３ ＋ｖＸ４ 」
加算回路２７Ｂ３で「ＶＸ＝ＶＸ１２ −ＶＸ３４ 」
このＸ方向の位置信号ＶＸを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで、前述した位置情報演算回路（演算部）２７の雑音排除機能が実行され、外部から到来する雑音が雑音が排除（相殺）され、当該Ｘ方向位置信号ＶＸ は差動出力信号として出力される。
【０１３３】
又、Ｙ方向の位置信号ＶＹは、前述したＸ方向位置信号ＶＸと並行して下記の順序で演算され特定される。
まず、加算回路２７Ｂ４で「ＶＹ１２＝ｖＹ１ ＋ｖＹ２ 」
加算回路２７Ｂ５で「ＶＹ３４＝ｖＹ３ ＋ｖＹ４ 」
加算回路２７Ｂ６で「ＶＹ＝ＶＹ１ ２ −ＶＹ３４ 」
このＹ方向の位置信号ＶＹを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで、前述した位置情報演算回路（演算部）２７の雑音排除機能が実行され、外部から到来する雑音が排除（相殺）され、当該Ｙ方向位置信号ＶＹ は差動出力信号として出力される。
【０１３４】
更に、回転角信号Ｖθは、前述したＸ方向位置信号ＶＸ及びＹ方向位置信号ＶＹと並行して下記の順序で演算され特定される。
まず、加算回路２７Ｂ７で「Ｖ０１＝ｖＸ２＋ｖＸ３＋ｖＹ２＋ｖＹ３ 」
加算回路２７Ｂ８で「Ｖ０２＝ｖＸ１＋ｖＸ４＋ｖＹ１＋ｖＹ４ 」
加算回路２７Ｂ９で「Ｖθ＝Ｖ０１−Ｖ０２ 」
この回転角信号Ｖθを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで、前述した位置情報演算回路（演算部）２７の雑音排除機能が実行され、これによって外部から到来する雑音が排除（相殺）され、当該回転角信号Ｖθは差動出力信号として出力される。
【０１３５】
このようにして演算され特定されたＸ方向位置信号ＶＸ ，Ｙ方向位置信号ＶＹ 及び回転角信号Ｖθは、外部出力端子２７ａを介して例えば外部の位置表示装置等に向けて出力され、同時に前述したテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａへ送られるようになっている（図５参照）。
【０１３６】
そして、外部出力されたＸ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹ及び回転角信号Ｖθは、外部の位置表示装置等に表示されてオペレータ等により成される可動テーブル１の位置の確認、および位置ずれに対して成される正常位置への移動操作に際しての目標データとして有効利用される。
又、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａでは、入力されたＸ方向位置信号ＶＸ ，Ｙ方向位置信号ＶＹ 及び回転角信号Ｖθに基づいて可動テーブル１の位置ずれ等が演算され、必要に応じて位置補正にかかる制御動作が実行される。
【０１３７】
この主制御部２１Ａでは、可動テーブル１の位置ずれ等の演算に先立って、前述した位置情報検出手段２５から送り込まれるＸ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹ及び回転角信号Ｖθの内容を分析し、これに基づいて、可動テーブル１の実際の移動方向及びその位置を、下記の基準に従って算定するようになっている。
（１）．ＶＸ ＞０，ＶＹ ＝０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｘ軸上の正方向、・移動先の位置：ＶＸ の値に対応した位置
（２）．ＶＸ ＜０，ＶＹ ＝０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｘ軸上の負方向、・移動先の位置：ＶＸ の値に対応した位置
（３）．ＶＸ ＝０，ＶＹ ＞０，Ｖθ＝０ の場合、
・移動方向：Ｙ軸上の正方向、・移動先の位置：ＶＹ の値に対応した位置
（４）．ＶＸ ＝０，ＶＹ ＜０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｙ軸上の負方向、・移動先の位置：ＶＹ の値に対応した位置
（５）．ＶＸ ＞０，ＶＹ ＞０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で第１象限の正方向
・移動先の位置：Ｘ−Ｙ座標上で「ＶＸ ，ＶＹ 」の値に対応した位置
（６）．ＶＸ ＜０，ＶＹ ＜０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で第３象限の正方向
・移動先の位置：Ｘ−Ｙ座標上で「ＶＸ ，ＶＹ 」の値に対応した位置
（７）．ＶＸ ＜０，ＶＹ ＞０，Ｖθ＝０ の場合、
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で第２象限の正方向
・移動先の位置：Ｘ−Ｙ座標上で「ＶＸ ，ＶＹ 」の値に対応した位置
（８）．ＶＸ ＞０，ＶＹ ＜０，Ｖθ＝０ の場合
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で第４象限の正方向
・移動先の位置：Ｘ−Ｙ座標上で「ＶＸ ，ＶＹ 」の値に対応した位置
（９）．Ｖθ＞０ の場合、
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で反時計回りの方向
・回転角度：「Ｖθ」の値に対応した角度
（１０）．Ｖθ＜０の場合、
・移動方向：Ｘ−Ｙ座標上で時計回りの方向
・回転角度：「Ｖθ」の値に対応した角度
【０１３８】
ここで、Ｘ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹ及び回転角信号Ｖθの各値が前述した動作指令入力部２４から最初に指令された移動先の位置情報（基準位置情報）と異なった場合に、前述した主制御部２１Ａでは、位置ずれ演算機能が作動して「位置ずれあり」と判断され、位置ずれの方向とその大きさが演算され、同時にテーブル位置補正機能が作動して位置ずれが自動的に補正制御される。
【０１３９】
又、出力端子２７ａから外部出力されるＸ方向位置信号ＶＸ ，Ｙ方向位置信号ＶＹ 及び回転角信号Ｖθを、前述したように例えば所定の表示手段によって当該補正テーブル５（可動テーブル１）の現在位置を表示することにより、オペレータは、その位置のずれの有無および位置ずれの大きさ等を知ることができ、これに基づいて動作指令入力部２４から所定の補正情報を入力し主制御部２１Ａに対して位置ずれ補正を実行するように指令することも可能となっている。
この位置ずれに対する補正を自動化するか手動に依存するかは、切り替えスイッチ等により予め切り換え動作可能に構成しておいてもよい。
【０１４０】
ここで、補正テーブル５の位置ずれの有無及びその大きさについては、前述した主演算部２１Ａで判断するように構成してもよい。
【０１４１】
〔第１実施形態の全体的な動作〕
次に、上記第１実施形態の全体的な動作について説明する。
【０１４２】
図５において、まず動作指令入力部２４から、可動テーブル１を所定位置へ移動させるための動作指令が入力されると、前述したように、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａは、直ちに作動して当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択し、続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを付勢し、電磁駆動手段４の４つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
【０１４３】
そして、例えば、可動テーブル１をＸ軸の正方向への所定位置へ移動する旨の指令が動作指令入力部２４から入力されると、これに基づいて装置全体は、前述したように補助テーブル５を介して可動テーブル１をＸ軸の正方向に沿って移送するように作動する（図１２，図１３参照）。符号Ｔは移動した距離を示す。ここで、図１７は図１３を簡略化した図である。
【０１４４】
この事例では、制御モードとしては前述したように図８に示す第１の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図８に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って動作したことを示す。
【０１４５】
ここで、補助テーブル５が電磁駆動手段４によってＸ軸の正方向（図１の右方向）へ付勢されると、前述したテーブル保持機構２の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは弾性変形し、当該補助テーブル５（及び可動テーブル１）の高さ位置を保持しつつ当該補助テーブル５の移動を許容する。そして、この補助テーブル５（及び可動テーブル１）は、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において前述したように停止する。
【０１４６】
この図１７は、補助テーブル５がＸ軸に沿った方向へ移動し、且つＹ軸方向への位置ずれが無い場合であるから、検出される容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＸ４およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３， ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２，ｖＸ３，ｖＸ４およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が定量的に算定される。
加算回路２７Ｂ３では、
ＶＸ＝ＶＸ１２−ＶＸ３４＝（ｖＸ１＋ｖＸ２）−（ｖＸ３＋ｖＸ４）＞０
加算回路２７Ｂ６では、
ＶＹ＝ＶＹ１２−ＶＹ３４＝（０ ＋０ ）−（０ ＋０ ）＝０
加算回路２７Ｂ９では、
Ｖθ＝０
ここで、ＶＸ ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＸ の値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。これらの位置情報の演算は、位置情報検出手段２５の位置情報演算回路１７でなされ、その演算結果の分析や判断およびそれに対する対応策は主制御部２１Ａで成される。
【０１４７】
又、補助テーブル５をＸ軸の負の方向に移動した場合，補助テーブル５をＹ軸上の正又は負の方向に移動した場合にも、同様にその情報は位置情報検出手段２５で検出され且つ所定の信号処理がなされ、主制御部２１Ａで前述した図１７の場合と同様に処理され、その位置が定量的に特定されるようになっている。
【０１４８】
次に、補助テーブル５を前述した第１象限の方向（＋４５°の傾斜方向）へ移送した場合の例について説明する。
【０１４９】
この事例では、前述したように制御モードとしては図９に示す第５の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図９に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。
【０１５０】
この事例における各容量検出電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と変動した容量成分（ＣＸ１〜ＣＸ４，ＣＹ１〜ＣＹ４）との関係を図１８に示す。
この図１８において、斜線部分は、補助テーブル５の移動によって前述した他方の容量検出電極２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ３，２６Ｙ４の容量成分が減少した部分ＣＸ３，ＣＸ４，ＣＹ３，ＣＹ４を示す。又、交差斜線部分は、前述した一方の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２の容量成分が増加した部分ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２を示す。
【０１５１】
そして、この図１８にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＸ４およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２，ｖＸ３，ｖＸ４およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が算定される。
加算回路２７Ｂ３では、
ＶＸ＝ＶＸ１２−ＶＸ３４＝（ｖＸ１＋ｖＸ２）−（ｖＸ３＋ｖＸ４）＞０
加算回路２７Ｂ６では、
ＶＹ＝ＶＹ１２−ＶＹ３４＝（ｖＹ１＋ｖＹ２）−（ｖＹ３＋ｖＹ４）＞０
ＶＸ＝ＶＹ
加算回路２７Ｂ９では、Ｖθ＝０
【０１５２】
ここで、ＶＸ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＹ＞０はＹ軸の正方向への移動を意味する。そして、「ＶＸ＝ＶＹ」なる情報が得られることにより、補助テーブル５の移動方向は第１象限の＋４５°の方向であることを確認し得る。又、ＶＸ，ＶＹの値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。この場合も、これらの位置情報の演算は、位置情報検出手段２５の位置情報演算回路２７でなされ、その演算結果の分析や判断およびそれに対する対応策は主制御部２１Ａで成される。
【０１５３】
補助テーブル５の移動方向が第１象限内における＋４５°の方向以外の方向である場合には、「ＶＸ≠ＶＹ」となり、その位置情報は検出されたＶＸとＶＹの値に基づいて主制御部２１Ａで演算され特定される。
【０１５４】
又、補助テーブル５をＸ−Ｙ平面上の第２象限乃至第４象限の各々の方向に移動した場合にも、同様にその情報は位置情報検出手段２５で検出されて信号処理がなされた後、主制御部２１Ａで前述した図１８の場合と同様に演算処理され、その移動後の位置が定量的に特定されるようになっている。
【０１５５】
次に、補助テーブル５を反時計方向に回転させた場合の例について説明する。
【０１５６】
この事例では、制御モードとしては図１０に示す第９の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図１０に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。
そして、この場合の各容量検出電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と変動した容量成分ＣＸ１〜ＣＸ４，ＣＹ１〜ＣＹ４との関係を図１９（Ａ）に示す。
【０１５７】
この図１９（Ａ）において、斜線部分は補助テーブル５の回転によって容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ４の容量成分が減少した部分ＣＸ１，ＣＸ４，ＣＹ１，ＣＹ４を示す。又、交差斜線部分は前述した一方の容量検出電極２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｙ２〜２６Ｙ３における増加したの容量成分ＣＸ２，ＣＸ３，ＣＹ２，ＣＹ３を示す。
【０１５８】
そして、この図１９（Ａ）にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＸ３， ＣＸ４およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３， ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２，ｖＸ３，ｖＸ４およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その回転角信号Ｖθが算定される。
加算回路２７Ｂ９では、
ここで、Ｖθ＞０は回転方向が反時計方向を意味し、Ｖθの値そのもの（絶対値）は、停止した箇所での回転角情報を示す。又、Ｖ０２は容量成分の減少した箇所の合計であることから、負の値となっている。このため、これが演算されると、回転角信号Ｖθは、
Ｖ０１−Ｖ０２＝（Ｖ０１の絶対値＋Ｖ０２の絶対値）＝Ｖθ＞０
となる。
【０１６０】
即ち、Ｖθとして算定された容量値はＶ０１とＶ０２の各絶対値が加算された値となり、このため、Ｖθの値としてはＶ０１の２倍に近い値（感度の高い値）を差動出力として得ることができる。そして、これらの位置情報の演算は、前述したＸ軸方向への移動情報の場合と同様に位置情報検出手段２５の位置情報演算回路１７でなされ、その演算結果の分析や判断およびそれに対する対応策は主制御部２１Ａで成され、対応する大きさの回転角度が特定される。
【０１６１】
補助テーブル５を時計方向に回転駆動した場合にも、同様にその情報は位置情報検出手段２５で検出され且つ所定の信号処理がなされ、主制御部２１Ａでは前述した図１９（Ａ）の場合と同様に、その回転角情報が定量的に算定されるようになっている。この場合、Ｖθ＜０となり、回転方向が時計方向であることが確認される。
【０１６２】
これに対し、動作中に、外乱等によって補助テーブル５の移動位置が目標位置からずれた場合には、まず、この容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量成分の増加減少の情報に基づいて位置情報演算回路（演算部）２７で前述したように実際の移動後の位置が検出（特定）され、続いて、その位置情報に基づいてテーブル駆動制御手段２１では位置ずれ算定機能が作動する。そして、ここで位置ずれが算定されると、直ちにテーブル位置補正機能が作動して前述したように位置ずれ防止用のフィードバック制御が行われるようになっている。
【０１６３】
そして、このような各動作状態から補助テーブル５に印加されている電磁駆動力が開放されると、補助テーブル５はピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力に付勢されて元位置に復帰する（テーブル保持機構２の元位置復帰機能の実行）。
【０１６４】
又、これら一連の動作にあって、補助テーブル５（及び可動テーブル１）の移動動作は、通常は電磁駆動力の印加制御又は開放制御が何れの場合でも急激に行われる。このような場合、補助テーブル５（及び可動テーブル１）は、移動先での停止時又は元位置復帰に際しての停止位置において、慣性力及びばね力に起因した繰り返し往復動作が生じる。
しかしながら、本実施形態にあっては、かかる繰り返し往復動作は前述したように制動用プレートと被駆動磁石との間に生じる電磁制動（うず電流ブレーキ）によって抑制され、所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
【０１６５】
動作指令入力部２４から、上記以外の他の所定位置へ可動テーブル１を移動させるための動作指令が入力された場合にも、前述した場合と同様に、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択する。続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを付勢し、電磁駆動手段４の４つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
【０１６６】
そして、この場合も、前述した場合と同様に、補助テーブル５（及び可動テーブル１）の位置ずれに対しては位置ずれ算定機能およびテーブル位置補正機能が作動して前述したように位置ずれ防止用のフィードバック制御が行われるようになっている。同時に急激な移動に対しては制動用プレートによる制動動作が実行され、補助テーブル５（可動テーブル１）は所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
【０１６７】
〔第１実施形態の作用／効果〕
このように、この第１の実施形態に開示したテーブル位置検出用センサ装置にあっては、従来より必要としていた重厚な２重構造のＸ−Ｙ軸移動保持機構を用いることなく、補助テーブル５（可動テーブル１）を中心位置から（所定範囲内において）同一の高さ位置を維持しつつＸ−Ｙ平面上のいずれの方向へも円滑に移動させ或いは回転させることが可能となり、これがため、装置全体の小型化，軽量化が可能となり、かかる点において可搬性を著しく改善することができ、従来例に比較して部品点数も少なくなり、かかる点において耐久性を著しく向上させることができる。
【０１６８】
又、被駆動磁石が装備された補助テーブル５（可動テーブル１）が急激に動作変化しても、前述したように当該被駆動磁石６と非磁性金属部材からなる制動用プレート９との間に電磁制動（うず電流ブレーキ）が働くことから、これにより、可動テーブルはその急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で円滑に移動することができる。
【０１６９】
この制動用プレート９については各被駆動磁石６に対向した状態で個別に田形状駆動コイル７に装着するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段４も補助テーブル５に装備した被駆動磁石６とこれに対向して固定プレート８に田形状駆動コイル７を装備するという簡単な構成であることから、かかる点においても、装置全体の小型化および軽量化に寄与した形態となっている。
【０１７０】
そして、前述したテーブル位置検出用センサ装置に位置情報検出手段２５として組み込まれた本発明にかかるテーブル位置検出用センサ装置にあっては、容量センサ群２６を前述したように装備したので、可動テーブルがＸ−Ｙ座標上における原点から何れの方向へ移動しても、当該可動テーブルの位置の微小変化を容量変化としてリアルタイムで容易に且つ迅速に検出することが可能となり、かかる点において可動テーブルのミクロン単位での移動に際しても、充分これに対応してその移動距離情報を高精度に検出し所定の信号処理をした後、これを当該可動テーブルの位置情報として出力することができる。
【０１７１】
又、この可動テーブルの同一平面内での回転動作に対しても、同一の構成にて当該可動テーブルの回転角度も同時に検出し同様に信号処理し、回転角度情報として外部出力することができ、更に、センサ部分を一方と他方のセンサ用面電極で構成すると共に相互に常時近接し対向した状態になるように設定したので、装備箇所の空間領域を小さくすることができ、かかる点において、これを装備すると、ステージ装置全体の小型化に寄与し得るという利点がある。
【０１７２】
又、上記実施形態で開示したセンサ装置によって特定された可動テーブル１の位置情報が、当該可動テーブル１の周囲に配置された複数の容量センサにより検出されるようになっているので、異なった位置の容量センサからの位置情報を前述したように演算処理することにより、当該可動テーブル１の位置ずれを容易に検出することができ、このため、可動テーブルの位置ずれに対しては、これを直ちに捕捉し当該テーブルの位置を補正することも可能となる。
【０１７３】
即ち、上記実施形態にあっては、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動に際しては、前述したように、容量センサ群２６で検出され位置情報演算回路（演算部）２７で特定される位置情報に基づいて、テーブル駆動制御手段２１の位置ずれ算定機能およびテーブル位置補正機能が作用し補助テーブル５（可動テーブル１）の位置ずれが直ちに検出されると共に当該位置ずれが補正されるので、当該補助テーブル５（可動テーブル１）は自動的に且つ高精度に所定の目標位置に移送される。
【０１７４】
ここで、前述した演算部としての位置情報演算回路（演算部）２７では、前述したように実際の移動後の位置が検出（特定）されるが、これをそのまま、現在位置の情報として外部出力し所定の表示部（図示せず）にて表示するように構成してもよい。
このようにすると、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動操作に際してオペレータはその途中および最終結果等に対して実際の状態を確認しながら当該移送位置の修正を迅速に成し得るという利点がある。
【０１７５】
この場合、上記補助テーブル５（可動テーブル１）の現在位置の情報を表示部（図示せず）によって表示する現在位置表示方式と前述したテーブル駆動制御手段２１の有する位置ずれ補正機能およびテーブル位置補正機能の連係による位置ずれ自動補正方式とを併存させてもよい。
【０１７６】
又、この位置ずれ情報に関しては、上記現在位置表示方式と位置ずれ自動補正方式とを、前述したテーブル駆動制御手段２１によって切替え作動させるか、或いは、前述したように何れか一方を選択動作させるように構成してもよい。
【０１７７】
また、上述した実施形態では、加算回路Ｂ１〜Ｂ９を用いてＶθにより回転方向を特定するようにしたが、回転角θを求める場合について説明する。この場合、図１９（Ｂ）において、例えば、Ｘ方向の２個の平行な各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２間の距離をＬ０、補助テーブル５の回転に伴って２個の容量検出電極２６Ｘ１，Ｘ２が検出する補助テーブル５の辺５ｂの変位量をＸ１，Ｘ２とする。
Ｘ方向への補助テーブル５の変位Ｘは、
Ｘ＝（Ｘ１ ＋Ｘ２ ）／２の式により得られる。
また、Ｖθを補助テーブル５の回転角θに比例した電圧とすると、
Ｖθ＝ｋ（Ｘ１ −Ｘ２ ）で表すことが可能である。ここで、ｋは、アンプの増幅率を意味する。
したがって、ｔａｎθ ＝ （Ｘ１ −Ｘ２ ）／Ｌ０
θ ＝ ｔａｎ−１（Ｖθ／ｋＬ０）
また、Ｙ方向についても同様に
ｔａｎθ ＝ （Ｙ１ −Ｙ２ ）／Ｌ０
θ ＝ ｔａｎ−１（Ｖθ／ｋＬ０）
これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）のＸ，Ｙ方向及び回転方向への移動量を検出することができる。
【０１７８】
〔第２の実施形態〕
次に、第２の実施形態を図２０〜図２３に基づいて説明する。
【０１７９】
この図２０〜図２３に示す第２の実施形態は、前述した第１の実施形態において、各位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４の内、２個の位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ２，２６Ｘ４を削除し、これにより、容量センサ群２６を全体で６個の位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ３，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４で構成した点に特徴を備えたものとなっている。
【０１８０】
このため、検出される容量変化分の情報数は、Ｘ軸に沿った方向の情報が２個，Ｙ軸に沿った方向の情報が４個となり、演算処理のバランス上、信号変換回路部２７Ａでは容量変化分ＣＸ１，ＣＸ２の電圧信号への変換に際して対応する電圧信号として２ｖＸ １，２ｖＸ ３を出力するように設定している。
【０１８１】
ここで、前述した位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ３（残した分）の配設位置は、前述した第１実施形態における位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ３の配設位置（図２中、Ｘ−Ｙ座標上でＹ軸上の正方向へずれた位置）と同一に設定されている。
又、位置信号演算回路部２７Ｂでは、Ｘ軸に沿った方向の情報が半減したことから第１及び第２の加算器２７Ｂ１，２７Ｂ２が不要となり、図２０に示すように当該回路の構成が簡略化されている。
【０１８２】
即ち、この第２の実施形態における位置信号演算回路部２７Ｂは、補助テーブル５（可動テーブル１）の移動後のＸ方向の位置信号を演算し特定するための少なくとも一つの加算回路２７Ｂ３と、Ｙ方向の位置信号を形成するための少なくとも３つの加算回路２７Ｂ４，２７Ｂ５，２７Ｂ６と、回転移動した場合の回転角信号を形成するための少なくとも３つの加算回路２７Ｂ７，２７Ｂ８，２７Ｂ９の合計７個の加算回路を備えた構成となっている。
【０１８３】
この内、Ｘ方向の位置信号ＶＸは、下記の順序で演算され特定される。
まず、信号変換回路部２７Ａでは、「ＶＸ１＝２ｖＸ１」「ＶＸ３＝２ｖＸ３」が実行される。又、加算回路２７Ｂ３では、「ＶＸ＝ＶＸ１−ＶＸ３」が実行される。
このＸ方向の位置信号ＶＸを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能が同時に実行され、外部から到来する雑音が排除（相殺）され、当該Ｘ方向位置信号ＶＸ は差動出力信号として出力される。
【０１８４】
更に、Ｙ方向の位置信号ＶＹは、前述したＸ方向位置信号ＶＸと並行して下記の順序で演算される。そして、このＹ方向の位置信号ＶＹの演算に際しては、位置検出センサ２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４については、前述した第１の実施形態の場合と同様に構成されているので、同様にして以下の如く特定される。
まず、加算回路２７Ｂ４では、「ＶＹ１２＝ｖＹ１ ＋ｖＹ２ 」
加算回路２７Ｂ５では、「ＶＹ３４＝ｖＹ３ ＋ｖＹ４ 」
加算回路２７Ｂ６では、「ＶＹ＝ＶＹ１２ −ＶＹ３４ 」
このＹ方向の位置信号ＶＹを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能が実行され、外部から到来する雑音が排除（相殺）され、当該Ｙ方向位置信号ＶＹ は差動出力信号として出力される。
【０１８５】
これに対し、回転角信号Ｖθは、前述したＸ方向位置信号ＶＸ及びＹ方向位置信号ＶＹと並行して下記の順序で演算され特定される。
まず、加算回路２７Ｂ７では、「Ｖ０１ ＝２ｖＸ３＋ｖＹ２＋ｖＹ３ 」
加算回路２７Ｂ８では、「Ｖ０２ ＝２ｖＸ１＋ｖＹ１＋ｖＹ４ 」
加算回路２７Ｂ９では、「Ｖθ ＝Ｖ０１−Ｖ０２ 」
この回転角信号Ｖθを得るための演算（差をとること）により、この位置信号演算回路部２７Ｂで前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能が実行され、外部から到来する雑音が排除（相殺）され、当該回転角信号Ｖθは差動出力信号として出力される。
【０１８６】
このようにして演算され特定されたＸ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹ及び回転角信号Ｖθは、外部出力端子２７ａを介して例えば外部の位置表示装置等に向けて出力され、同時に前述したテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａへ送られるようになっている（図５参照）。
【０１８７】
（上記第２の実施形態の動作）
次に、上記第２の実施形態の全体的な動作について説明する。
【０１８８】
まず、前述し第１実施形態の場合と同様に、図５において、可動テーブル１をＸ軸の正方向への所定位置へ移動する旨の指令が動作指令入力部２４から入力されると、これに基づいて装置全体は、前述したように補助テーブル５を介して可動テーブル１をＸ軸の正方向に沿って移送するように作動する（図２１参照）。符号Ｔは移動した距離を示す。
【０１８９】
この事例では、制御モードとしては前述したように図８に示す第１の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７には図８に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って動作する。
【０１９０】
ここで、補助テーブル５が電磁駆動手段４によってＸ軸の正方向に沿って付勢されると、前述したテーブル保持機構２によって同一高さが維持されつつ当該補助テーブル５の位置が移動し、テーブル保持機構２が備えている弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において前述したように停止する。この事例（Ｘ軸の正方向への移動）における各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ３，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と変動した容量成分（ＣＸ１，ＣＸ３，ＣＹ１〜ＣＹ４）との関係を図２１に示す。
【０１９１】
この事例では、補助テーブル５がＸ軸に沿った方向へ移動し、且つＹ軸方向への位置ずれが無い場合であるから、検出される容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ３，およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号２ｖＸ１，２ｖＸ３，およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が定量的に算定される。
加算回路２７Ｂ３では、
ＶＸ＝ＶＸ１ −ＶＸ３ ＝（２ｖＸ１）−（２ｖＸ３）＞０
加算回路２７Ｂ６では、
ＶＹ＝ＶＹ１２ −ＶＹ３４ ＝（０＋０）−（０＋０）＝０
加算回路２７Ｂ９では、
Ｖθ＝０
ここで、ｖＸ３は負の数値であることから「ＶＸ＝２（ｖＸ１＋ｖＸ３）＞０」となる。このＶＸ ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＸの値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。これらの位置情報は主制御部２１Ａで演算される。
【０１９２】
補助テーブル５をＸ軸の負の方向に移動した場合，補助テーブル５をＹ軸上の正又は負の方向に移動した場合にも、同様にその情報は図５における位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図１７（第１の実施形態）の場合と同様に演算され、その位置が定量的に算定されるようになっている。
【０１９３】
次に、補助テーブル５を前述した第１象限の方向（＋４５°の傾斜方向）へ移送した場合の例について説明する。
【０１９４】
この事例では、前述したように制御モードとしては図９に示す第５の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図９に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。
【０１９５】
この事例（第１象限の方向）における各位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ３，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と変動した容量成分（ＣＸ１，ＣＸ３，ＣＹ１〜ＣＹ４）との関係を図２２に示す。
この図２２において、斜線部分は、補助テーブル５の移動によって前述した他方の位置検出センサ２６Ｘ３，２６Ｙ３，２６Ｙ４の容量成分が減少した部分ＣＸ３，ＣＹ３，ＣＹ４を示す。又、交差斜線部分は、前述した他方の位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｙ１，２６Ｙ２の容量成分が増加した部分ＣＸ１，ＣＹ１，ＣＹ２を示す。
【０１９６】
そして、この図２２にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ３およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号２ｖＸ１，２ｖＸ３およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３，ｖＹ４に変換され、それぞれ前述したように演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が算定される。
加算回路２７Ｂ３では、
ＶＸ＝ＶＸ１ −ＶＸ３ ＝（２ｖＸ１ ）−（２ｖＸ３ ）＞０
加算回路２７Ｂ６では、
ＶＹ＝ＶＹ１２−ＶＹ３４＝（ｖＹ１＋ｖＹ２）−（ｖＹ３＋ｖＹ４）＞０
又、ＶＸ＝ＶＹ
加算回路２７Ｂ９では、
Ｖθ＝０
【０１９７】
ここで、ｖＸ３，ｖＹ３，ｖＹ４は負の数値であることから「ＶＸ＝＞０，ＶＹ＝＞０」となる。ＶＸ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＹ＞０はＹ軸の正方向への移動を意味する。
そして、「ＶＸ＝ＶＹ」なる情報が検知されることにより、補助テーブル５の移動方向は第１象限の＋４５°の方向であることが確認される。このＶＸ，ＶＹの値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。この場合も、対応する座標位置情報は主制御部２１Ａで演算される。
【０１９８】
補助テーブル５の移動方向が第１象限内における＋４５°の方向以外の方向である場合には、「ＶＸ≠ＶＹ」となり、その位置情報は検出されたＶＸとＶＹの値に基づいて主制御部２１Ａで演算され特定される。
【０１９９】
又、補助テーブル５をＸ−Ｙ平面上の第２象限乃至第４象限の各々の方向に移動した場合にも、同様にその情報は位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図１８Ａの場合と同様に演算され、その位置が定量的に算定されるようになっている。
【０２００】
次に、補助テーブル５を反時計方向に回転させた場合の例について説明する。
【０２０１】
この事例では、制御モードとしては図１０に示す第９の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図１０に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。
そして、この場合の各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ３，２６Ｙ１〜２６Ｙ４と変動した容量成分ＣＸ１，ＣＸ３， ＣＹ１〜ＣＹ４との関係を図２３に示す。
【０２０２】
この図２３において、斜線部分は補助テーブル５の回転によって容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｙ１，２６Ｙ４の容量成分が減少した部分ＣＸ１，ＣＹ１，ＣＹ４を示す。又、交差斜線部分は前述した一方の容量検出電極２６Ｘ３，２６Ｙ２〜２６Ｙ３における増加したの容量成分ＣＸ２，ＣＹ２，ＣＹ３を示す。
【０２０３】
そして、この図２３にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ３およびＣＹ１，ＣＹ２，ＣＹ３，ＣＹ４は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ３およびｖＹ１，ｖＹ２，ｖＹ３， ｖＹ４に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その回転角信号Ｖθが算定される。
加算回路２７Ｂ９では、
ここで、Ｖθ＞０は回転方向が反時計方向を意味し、Ｖθの値そのもの（絶対値）は、停止した箇所での回転角情報を示す。又、Ｖ０２は容量成分の減少した箇所の合計であることから、負の値となっている。このため、これが演算されると、回転角信号Ｖθは、
Ｖ０１−Ｖ０２＝（Ｖ０１の絶対値＋Ｖ０２の絶対値）＝Ｖθ＞０
となる。
【０２０５】
即ち、Ｖθとして算定された容量値はＶ０１とＶ０２の各絶対値が加算された値となり、このため、Ｖθの値としてはＶ０１の２倍に近い値（感度の高い値）を差動出力として得ることができる。これらの情報は前述したＸ軸方向への移動情報の場合と同様に主制御部２１Ａで演算処理され、対応する大きさの回転角度が演算され出力される。
【０２０６】
補助テーブル５を時計方向に回転駆動した場合にも、その情報は同様に位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図１９の場合と同様に演算され、その回転角情報が定量的に算定されるようになっている。この場合、Ｖθ＜０となり、回転方向が時計方向であることがわかる。
その他の構成およびその動作，機能等については、前述した第１の実施形態と同一となっている。
【０２０７】
このようにしても、前述した第１の実施形態の場合とほぼ同等の作用効果を得ることができるほか、更に位置信号演算回路部２７Ｂの加算回路を合計７個としたので、前述した第１の実施形態に比較して加算回路を少なくすることができ、かかる点で装置全体の原価低減および信号処理の迅速化を図り得るという利点がある。
【０２０８】
〔第３の実施形態〕
次に、第３の実施形態を図２４〜図２７に基づいて説明する。
【０２０９】
この図２４〜図２７に示す第３の実施形態は、前述した第１の実施形態において、各８個の位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の内、Ｘ軸に沿った方向先に位置する位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ３，２６Ｘ４とＸ軸に沿った方向先に位置する位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｙ３，２６Ｙ４とを削除する。そして、当該位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）を２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２の４個で構成した点に特徴を備えている。
【０２１０】
即ち、この第３の実施形態では、センサ群２６を全体で４個の位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２を備え、検出される容量変化分の情報数も、これに対応して、バランスよくＸ軸に沿った方向先の情報が２個とＹ軸に沿った方向先の情報が２個となっている。
【０２１１】
ここで、前述した位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２（残した分）の配設位置は、前述した第１実施形態における位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２の配設位置と同一に設定されている。
又、これに対応して、位置信号演算回路部２７Ｂでは、Ｘ軸およびＹ軸に沿った方向の情報がそれぞれ半減したことから第２及び第３の加算器２７Ｂ３，２７Ｂ４が、又第５及び第６の加算器２７Ｂ５，２７Ｂ６が不要となり、図２０に示すように当該回路の構成が簡略化されている。
【０２１２】
即ち、この第３の実施形態における位置信号演算回路部２７Ｂでは、補助テーブル５（移動テーブル１）の移動後のＸ方向の位置信号を演算し特定するための少なくとも一つの加算回路２７Ｂ１と、Ｙ方向の位置信号を演算し特定するための少なくとも一つの加算回路２７Ｂ４と、回転移動した場合の回転角信号を演算し特定するための少なくとも３個の加算回路２７Ｂ７，２７Ｂ８，２７Ｂ９の合計５個の加算回路を備えた構成となっている（図２０参照）。
【０２１３】
この内、Ｘ方向の位置信号ＶＸは、下記の如く演算され特定される。
加算回路２７Ｂ１で、「ＶＸ＝ｖＸ１＋ｖＸ２」
この場合、本実施形態では、このＸ方向の位置信号ＶＸを得るための演算過程で、テーブル部材である補助テーブル５を挟んで反対側から得られる情報に基づいた「差」をとる演算工程はない。このため、この第３の実施形態では前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能は作動しない構成となっている。
【０２１４】
また、Ｙ方向の位置信号ＶＹは、前述したＸ方向位置信号ＶＸと並行して下記の順序で演算され特定される。
加算回路２７Ｂ４では、「ＶＹ＝ｖＹ１＋ｖＹ２」
この場合、本実施形態では、このＹ方向の位置信号ＶＹを得るための演算過程で、テーブル部材である補助テーブル５を挟んで反対側から得られる情報に基づいた「差」をとる演算工程はない。反対側にて得られる情報に基づいた差をとる演算工程はない。このため、この第３の実施形態では前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能が作動しない構成となっている。
【０２１５】
更に、回転角信号Ｖθは、前述したＸ方向位置信号ＶＸ及びＹ方向位置信号ＶＹと並行して下記の順序で演算され特定される。
まず、加算回路２７Ｂ７では、「Ｖ０１＝ｖＸ２＋ｖＹ２」
加算回路２７Ｂ８では、「Ｖ０２＝ｖＸ１＋ｖＹ１」
加算回路２７Ｂ９では、「Ｖθ＝Ｖ０１＋Ｖ０２」
この場合、本実施形態では、この回転角信号Ｖθを得るための演算過程で、テーブル部材である補助テーブル５を挟んで反対側から得られる情報に基づいた「差」をとる演算工程はない。このため、この第３の実施形態では前述した位置情報演算回路（演算部）２７における雑音排除機能は作動しない構成となっている。
【０２１６】
このようにして演算され特定されたＸ方向位置信号ＶＸ，Ｙ方向位置信号ＶＹ及び回転角信号Ｖθは、外部出力端子２７ａを介して例えば外部の位置表示装置等に向けて出力され、同時に前述したテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａへ送られるようになっている（図２４，図５参照）。
【０２１７】
（上記第３実施形態の動作）
次に、上記第３の実施形態の全体的な動作について前述した第３の実施形態の場合と同様の手順で説明する。
【０２１８】
まず、前述し第１実施形態の場合と同様に、図５において、可動テーブル１をＸ軸の正方向への所定位置へ移動する旨の指令が動作指令入力部２４から入力されると、これに基づいて装置全体は、前述したように補助テーブル５を介して可動テーブル１をＸ軸の正方向に沿って移送するように作動する（図２５参照）。符号Ｔは移動した距離を示す。
【０２１９】
この事例では、制御モードとしては前述したように図８に示す第１の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７には図８に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って動作する。
【０２２０】
ここで、補助テーブル５が電磁駆動手段４によってＸ軸の正方向に沿ってへ付勢されると、前述したテーブル保持機構２によって同一高さが維持されつつ当該補助テーブル５の移動が移動し、テーブル保持機構２が備えている弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において前述したように停止する。
【０２２１】
この事例（Ｘ軸の正方向への移動）における各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２と変動した容量成分（ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２）との関係を図２５に示す。
この事例では、補助テーブル５がＸ軸に沿った方向へ移動し、且つＹ軸方向への位置ずれが無い場合であるから、検出される容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ２，およびＣＹ１，ＣＹ２は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２，およびｖＹ１，ｖＹ２に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が定量的に算定される。
加算回路２７Ｂ１では、ＶＸ＝（ｖＸ１＋ｖＸ２）＞０
加算回路２７Ｂ４では、ＶＹ＝（０ ＋０ ）＝０
加算回路２７Ｂ９では、Ｖθ＝ ０
ここで、ｖＸ１，ｖＸ２は正の数であり、「ＶＸ＞０」となる。このＶＸ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＸの値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。これらの位置情報は主制御部２１Ａで演算される。
【０２２２】
補助テーブル５をＸ軸の負の方向に移動した場合，補助テーブル５をＹ軸上の正又は負の方向に移動した場合にも、同様にその情報は図５における位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図１７の場合と同様に演算され、その位置が定量的に算定されるようになっている。
【０２２３】
次に、補助テーブル５を前述した第１象限の方向（＋４５°の傾斜方向）へ移送した場合の例について説明する。
【０２２４】
この事例では、前述したように制御モードとしては図９に示す第５の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図９に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。
【０２２５】
この事例（第１象限の方向）における各位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２と変動した容量成分（ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２）との関係を図２６に示す。
この図２６において、交差斜線部分はは、補助テーブル５の移動によって前述した各位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２の容量成分が増加した部分ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２を示す（この図２６では容量成分の減少はない）。
【０２２６】
そして、この図２６にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ１，ＣＸ２およびＣＹ１，ＣＹ２は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ１，ｖＸ２およびｖＹ１，ｖＹ２に変換され、それぞれ前述したように演算式に下記のように組み込まれて、その移動方向および移動量が算定される。
加算回路２７Ｂ１では、ＶＸ ＝（ｖＸ１＋ｖＸ２）＞０
加算回路２７Ｂ４ では、ＶＹ ＝（ｖＹ１＋ｖＹ２）＞０
ＶＸ ＝ＶＹ
加算回路２７Ｂ９ では、Ｖθ＝０
【０２２７】
ここで、ＶＸ＞０はＸ軸の正方向への移動を意味し、ＶＹ＞０はＹ軸の正方向への移動を意味する。
そして、「ＶＸ＝ＶＹ」なる情報が得られることにより、補助テーブル５の移動方向は第１象限の＋４５°の方向であることを確認し得る。又、ＶＸ ，ＶＹの値（絶対値）は停止位置座標にかかる位置情報を示す。この場合も、対応する座標位置情報は主制御部２１Ａで演算される。
【０２２８】
補助テーブル５の移動方向が第１象限内における＋４５°の方向以外の方向である場合には、「ＶＸ≠ＶＹ」となり、この場合の具体的な位置情報は検出されたＶＸ とＶＹ の値に基づいて主制御部２１Ａで演算され特定される。
【０２２９】
又、補助テーブル５をＸ−Ｙ平面上の第２象限乃至第４象限の各々の方向に移動した場合にも、同様にその情報は位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図１８Ａの場合と同様に演算され、その位置が定量的に算定されるようになっている。
【０２３０】
次に、補助テーブル５を反時計方向に回転させた場合の例について説明する。この事例では、制御モードとしては図１０に示す第９の制御モードが選択され、これに従って各４つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図１０に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って補助テーブル５が動作する。そして、この場合の各各位置検出センサ（他方のセンサ用面電極）２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｙ１，２６Ｙ２と変動した容量成分ＣＸ１，ＣＸ２，ＣＹ１，ＣＹ２との関係を図２７に示す。
【０２３１】
この図２７において、斜線部分は補助テーブル５の回転によって容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｙ１の容量成分が減少した部分ＣＸ１，ＣＹ１を示す。又、交差斜線部分は前述した一方の容量検出電極２６Ｘ２，２６Ｙ２における増加した容量成分ＣＸ２，ＣＹ２を示す。
【０２３２】
そして、この図２７にあって、容量成分の増加／減少の各情報ＣＸ２，ＣＹ２およびＣＸ１，ＣＹ１は、それぞれ対応する所定レベルの電圧信号ｖＸ２，ｖＹ２およびｖＸ１，ｖＹ１に変換され、それぞれ前述した演算式に下記のように組み込まれて、その回転角信号Ｖθが算定される。
加算回路２７Ｂ９ では、
Ｖ０１−Ｖ０２＝（Ｖ０１の絶対値＋Ｖ０２の絶対値）＝Ｖθ＞０
となる。
【０２３３】
即ち、Ｖθとして算定された容量値はＶ０１とＶ０２の各絶対値が加算された値となり、このため、Ｖθの値としてはＶ０１の２倍に近い値（感度の高い値）を差動出力として得ることができる。これらの情報は前述したＸ軸方向への移動情報の場合と同様に主制御部２１Ａで演算処理され、対応する大きさの回転角度が演算され出力される。又、この事例では（回転動作の場合には）差を取る演算工程が介在することから、外来雑音を相殺する雑音排除機能が位置情報演算回路２７で稼働するようになっている。
【０２３４】
補助テーブル５を時計方向に回転駆動した場合にも、その情報は同様に位置情報検出手段２５で検出され、主制御部２１Ａで前述した図２７の場合と同様に演算され、その回転角情報が定量的に算定されるようになっている。この場合、Ｖθ＜０となり、回転方向が時計方向であることが確認される。
その他の構成およびその動作，機能等については、前述した第１の実施形態と同一となっている。
【０２３５】
このようにしても、上記第３の実施形態にあっては、回転動作を除いて雑音排除機能を備えていないこと、及び検出容量の感度が幾分低下することを除き、前述した前述した第１の実施形態の場合とほぼ同等の作用効果を得ることができるほか、更に位置信号演算回路部２７Ｂの加算回路を合計５個としたので、前述した第１の実施形態に比較して加算回路を少なくすることができ、かかる点で装置全体の原価低減および信号処理の迅速化を、より一層高めることができる。
【０２３６】
〔第４の実施形態〕
次に、第４の実施形態を図２８〜図３０に基づいて説明する。
この図２８〜図３０に示す第４の実施形態は、前述した第１の実施形態において、静電容量型の位置検出センサを構成する一方のセンサ用面電極である共通電極４１と、これに対向して装備された複数の他方のセンサ用面電極４２Ｘ１，４２Ｘ２，４２Ｘ３，４２Ｘ４，４２Ｙ１，４２Ｙ２，４２Ｙ３，４２Ｙ４の各々について、その対向面領域の構造を断面櫛形に形成した点に特徴を備えている。
【０２３７】
以下、これを説明する。
この図２８〜図２９において、符号５１はテーブル部材としての補助テーブルを示す。この補助テーブル５１は、前述した第１実施形態における補助テーブル５と同一の機能を備え、第１実施形態の場合と同様に連結支柱１０を介して可動テーブル１と一体化されてテーブル保持機構２に支持されている。
この図２８〜図２９における補助テーブル５１は、前述した第１実施形態における補助テーブル５と比較して、その周囲が所定幅だけ一様に切除され、この切除された箇所に、前述した共通電極４１が装着されている。
【０２３８】
この一方のセンサ用面電極である共通電極４１は、全体が４角形状の大口形状を成し、その外周囲の端（後述する電極フィンの先端）が前述した第１実施形態における補助テーブル５の外周囲の端に重なる大きさに設定されている。図２８内にその一部の部分断面図を示す。
【０２３９】
これを更に詳細に説明すると、この一方のセンサ用面電極である共通電極４１は、積層状態に配設された複数（本実施形態では３枚）の大口形状の板状電極である電極フィン４１Ａと、この複数の電極フィン４１Ａを保持する電極フィン保持体４１Ｂとを備えている。
【０２４０】
この内、電極フィン保持体４１Ｂは、補助テーブル５１及び当該補助テーブル５１が備えている下方突出部５Ａ，５Ｂを取り巻くようにして配設され且つ全体的には角形の管を輪切りにしたような４角形状に形成されている。この電極フィン保持体４１Ｂの内壁側の角部から前述した補助テーブル５１の上面に沿って、取付け部材４１Ｂａが延設されている（図２９参照）。
この取付け部材４１Ｂａは、具体的には、図２９に示すように電極フィン保持体４１Ｂの内壁の角部４箇所に設けられている。そして、この取付け部材４１Ｂａを介して前述した電極フィン保持体４１Ｂが補助テーブル５１に固着されている。符号４１Ｂｂは固定ネジを示す。
【０２４１】
そして、この電極フィン保持体４１Ｂの外側周囲に、大口形状に形成された３枚の電極フィン４１Ａが、上下方向に平行に所定間隔を隔てて（所定の空隙Ｓ１ を挟んで積層された状態で）且つ外側周囲が開口された状態で、電極フィン保持体４１Ｂを囲むようにして装着されている。これにより、共通電極４１の端部断面が櫛形状に形成されている。
【０２４２】
この一方のセンサ用面電極である共通電極４１に対応して装備される他方のセンサ用面電極４２Ｘ１，４２Ｘ２，４２Ｘ３，４２Ｘ４，４２Ｙ１，４２Ｙ２，４２Ｙ３，４２Ｙ４は、本実施形態では８個の容量検出電極から成り、前述した第１の実施形態における８個の他方のセンサ用面電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４（図２参照）の装備箇所と同一箇所にそれぞれ配設され装着されている。
【０２４３】
この内、例えば他方のセンサ用面電極４２Ｘ１は、図２８に示すように前述した共通電極４１の３枚の電極フィン４１Ａとの無接触での噛合動作を許容する３つの空隙Ｓ２と、この３つの空隙Ｓ２を交互に介して積層状態に配設された４枚の板状電極としての電極フィン４２ａと、この４枚の電極フィン４２ａを外側端部（図２８の右側端部）で連結する連結保持部材４２ｂとを備えた構成となっている。この連結保持部材４２ｂは、接着材又はネジ等の固定手段により本体部としてのケース本体３に固定されている。
【０２４４】
前述した他方のセンサ用面電極４２Ｘ１の４枚の電極フィン４２ａは、その形状および大きさが前述した第１実施形態にける他方のセンサ用面電極２６Ｘ１と同一の形状で且つ同一の大きさに形成されている。
その他のセンサ用面電極４２Ｘ２〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４も、前述したセンサ用面電極４２Ｘ１と全く同一に形成されている。
【０２４５】
ここで、各他方のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４が備えている３つの空隙Ｓ２は、その間隔が前述した共通電極４１の３枚の各電極フィン４１Ａが無接触で個別に挿入し離脱し得る程度の大きさに設定されている。同様に、前述した共通電極４１の３枚の電極フィン４１Ａの相互間の空隙Ｓ１は、その隙間が前述した各他方のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４が備えている４枚の各電極フィン４２ａの内の内側の２枚が無接触で個別に挿入し離脱し得る程度の大きさに設定されている。図２８に、上記共通電極４１の電極フィン４１Ａと他方のセンサ用面電極４２Ｘ１の４枚の電極フィン４２ａがそれぞれ無接触で挿入された状態（装置全体の停止状態）の例を示す。
【０２４６】
これにより、他方のセンサ用面電極４２Ｘ１は、図３０に示すように６個の容量成分が並列接続された構成となっているので、前述した第１の実施形態における他方のセンサ用面電極２６Ｘ１の場合と比較して６倍の静電容量となり、これがため、補助テーブル５の移動に際しては６倍の感度で当該補助テーブル５の移動情報を検出することができるという利点がある。
他のセンサ用面電極４２Ｘ２〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４の場合も、それぞれ全く同一に構成され同一の作用効果を備えたのとなっている。
【０２４７】
そして、その他の全体的な構成及びその作用効果は、前述した第１の実施形態の場合（図１乃至図１９）と全く同一となっている。
【０２４８】
尚、この第４の実施形態では、各他のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４を前述した第１の実施形態における他のセンサ用面電極２６Ｘ１の場合と比較して６倍の静電容量を得られるように構成したが、これはあくまで例示であり、７倍以上としても、或いは２〜５倍の何れかの静電容量を得られるように構成したものであってもよい。
【０２４９】
又、上記実施形態にあっては、共通電極４１を大口形状にした場合を例示したが、前述した各他のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４に対応して個別に独立した形状であっても、或いは補助テーブル５の各片毎に４つに分ける等、複数に分割したものであってもよい。
【０２５０】
更に、この第４の実施形態では、一方のセンサ用面電極である共通電極４１と、他方のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４の各々を断面櫛形に形成すると共に、これを、前述した第１の実施形態に適用した場合を例示したが、これを前述した第２，第３の各実施形態について実施したものであってもよい。
【０２５１】
又、上記各実施形態にあっては、テーブル部材の移動情報を連続的に検出してそのＸ−Ｙ座標上の位置情報に変換し外部へ出力する場合を例示したが、これらの位置情報に基づいて前述した演算部（位置情報演算回路）２７が所定の演算をし、当該テーブル部材の移動の形態，移動方向，回転動作における回転方向等にかかる各情報としてまとめて出力するように構成してもよい。
【０２５２】
又、上記各実施形態において、テーブル部材側に装備された一方のセンサ用面電極として、大口形状の連続した単一電極である共通電極４１を使用した場合を例示したが、前述した複数からなる他方のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４に個別に対応して当該他方のセンサ用面電極４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４と同形状で且つこれよりも幾分大きい複数のセンサ用面電極で構成してもよい。
【０２５３】
更に、前述した大口形状の連続した単一電極に代えて、複数の他方のセンサ用面電極（例えば４２Ｘ１と４２Ｘ２）を対象として各辺毎に共用する所定幅の電極部材をもって帯状に形成された複数の共通電極で構成してもよい。
【０２５４】
又、上記各実施形態では、同一面上を移動する４角形状のテーブル部材に本発明を実施した場合を例示したが、複数の位置検出センサの取付け位置を明確に特定し得る形態で且つ前述した各実施形態と同等に機能し得るものであれば、テーブル部材は特に４角形でなくてもよい。
【０２５５】
即ち、テーブル部材の形状如何を問わず（円形でも８角形でもよい）当該テーブル部材に複数の位置検出センサの取付け位置を装備するための例えば３角形の枠を想定すると共に当該枠に沿って複数の位置検出センサを分散して装備しても、或いは５角形，６角形又は８角形等の枠を想定して当該枠に沿って複数の位置検出センサを分散して装備するように構成しても、技術思想としてはその作用効果がほぼ前述した各実施形態と同等であり、従って、これらも実質的には上記各実施形態と同等のものであり、それぞれ本発明の実施形態の一つである。
【０２５６】
〔第５の実施形態〕
次に、第５の実施形態を図３１に基づいて説明する。
上述した実施形態では、アナログ量を出力する位置検出センサとして静電容量型の位置検出センサ（アナログ量検出センサ）を用いたが、この図３１に示す実施形態では、差動変圧器，ポテンショメータ，レーザ変位計などのアナログ量出力センサ（アナログ量検出センサ）を用いている。位置検出センサとして直線型ポテンショメータを用いた場合の例を図３１に基いて説明する。
【０２５７】
図３１において、位置検出センサの要部をなす２個の直線型ポテンショメータ５１Ｘ１，５１Ｘ２，５１Ｙ１，５１Ｙ２をそれぞれ１組として、電磁駆動手段４によって駆動される補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の周囲の４辺の内少なくとも隣接する２辺にそれぞれ配設している。これらの直線型ポテンショメータ５１Ｘ１，５１Ｘ２，５１Ｙ１，５１Ｙ２は、直線的に移動する摺動片と抵抗体とから構成され、検出用ロッド５１ａ，５１ｂが直線移動すると上述した摺動片が上述した抵抗体の上を直線的にスライドし、上述したスライドと上述した抵抗体の端部の間の抵抗値が検出用ロッド５１ａ，５１ｂの大きさに比例して変化する構造になっている。
図３１に示す実施形態では、直線型ポテンショメータ５１Ｘ１，５１Ｘ２，５１Ｙ１，５１Ｙ２は、それぞれの検出用ロッド５１ａ，５１ｂを平行に配置して、補助テーブル５の隣接する２辺にそれぞれ配設し、検出用ロッド５１ａ，５１ｂの先端を補助テーブル５の端面に当接しておき、上述した抵抗体に所定値の電圧をかけて上述した摺動片により分圧された電圧を取出すことによって、補助テーブル５のＸ−Ｙ平面内での動きをＸ−Ｙ平面内での２方向（Ｘ，Ｙ方向）の直線変位に分解して検出用ロッド５１ａ、５１ｂの直線的な変位に基いてＸ，Ｙ方向の移動量を得ると共にＸ，Ｙ方向の移動量から回転方向の移動量を得るようになっている。
【０２５８】
この図３１において、例えば、２個の平行なポテンショメータの５１Ｘ１，５１Ｘ２，５１Ｙ１，５１Ｙ２の検出用ロッド５１ａ，５１ｂ間の距離をＬ０、各検出用ロッド５１ａ，５１ｂのＸ方向への移動量をＸ１，Ｘ２とすると、
Ｘ方向への補助テーブル５の変位Ｘは、
Ｘ＝（Ｘ１ ＋Ｘ２ ）／２の式により得られる。
また、Ｖθを補助テーブル５の回転角θに比例した電圧とすると、
Ｖθ＝ｋ（Ｘ１ −Ｘ２ ）で表すことが可能である。ここで、ｋは、アンプの増幅率を意味する。
したがって、ｔａｎθ ＝ （Ｘ１ −Ｘ２ ）／Ｌ０
θ ＝ ｔａｎ−１（Ｖθ／ｋＬ０）
また、Ｙ方向についても同様に
ｔａｎθ ＝ （Ｙ１ −Ｙ２ ）／Ｌ０
θ ＝ ｔａｎ−１（Ｖθ／ｋＬ０）
これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）のＸ，Ｙ方向及び回転方向への移動量を検出することができる。
【０２５９】
この図３１では、位置検出センサとして直線型ポテンショメータを用いたが、位置検出センサとして差動変圧器，レーザ変位計を用いる場合にも同様に適用することができる。差動変圧器は、１個の１次コイルと２個の２次コイルとコアの組合せからなり、１個の１次コイルに交流電圧を流し、２個の２次コイルから差動的に信号を取出し、補助テーブル５の移動に伴うコアの位置を検出することとなる。また、位置検出センサとしてレーザ変位計を用いる場合には、干渉性のよいレーザ光を補助テーブル５の端面に向けて発射した光と補助テーブル５の端面で反射した光の光路差によって生じる干渉現象を利用して、補助テーブル５のＸ−Ｙ平面内での移動量及び回転量を検出する。また、差動変圧器やレーザ変位計において、Ｘ−Ｙ平面内での２方向の移動量，及び回転量を算出する方式は、上述した式により同様に求める。
【０２６０】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成され機能するので、これによると、同一面上の所定範囲内を移動するテーブル部材の移動方向および移動停止位置を連続的に検出することができ、また、テーブル部材の移動位置検出がアナログ量に基いて行われるため、テーブル部材を微小範囲、例えばミクロン単位で移動させる場合においても正確に位置の制御を行うことができる。また、テーブル部材の周囲４辺の内の少なくとも隣接する２辺に位置検出センサを配設しているため、位置検出センサが相互干渉するに至る距離を長くしてテーブル部材の移動範囲を広くすることができ、広範囲でテーブル部材の位置を正確に検出することができる。
【０２６１】
前述した位置検出センサとしては、差動変圧器，ポテンショメータ，レーザ変位計などのアナログ量検出センサを用いて、テーブル部材の移動量をアナログ量として出力することができる。また、前述した位置検出センサが、差動変圧器，ポテンショメータ或いはレーザ変位計であるときに、テーブル部材の移動をＸ−Ｙ平面内の２方向の直線変位に分解してＸ，Ｙ方向の移動量を得ると共にＸ又はＹ方向の移動量から回転方向の移動量を容易に得ることができる。
【０２６２】
また、請求項４記載の発明のように、位置検出センサに静電容量型の位置検出センサを用い、一方と他方のセンサ用面電極の組み合わせで位置検出センサを構成したので、小型軽量化が可能となり、テーブル部材の微小移動に際しても容量変化としてこれを検知し所定の位置情報に変換して外部出力することができ、このため、ミクロン単位の移動に対しても連続的に且つ有効にこれを検出することができ、同一面上で３６０°いずれの方向への移動に対しても、又回転動作に対してもこれらをリアルタイムで同時に連続的に且つ高精度に検出し当該各情報に対応した所定の位置信号（位置情報）として出力することができるという（回転動作の検出に際しては外部から到来する雑音を有効に排除することができるという）従来にな優れたテーブル位置検出用センサ装置を提供することができる。
【０２６３】
請求項１記載の発明では、更に、移動するテーブル部材上にあって隣接する２つの辺部分にそれぞれ少なくとも２つの位置検出センサを装備する構成としたので、装置全体のより一層の小型軽量化が可能となる。
【０２６４】
請求項５乃至６記載の各発明では、更に、テーブル部材上の対向する辺部分にそれぞれ同数の位置検出センサを装備したので、テーブル部材の移動に際してはいずれの方向への移動であっても各対向する辺部分の位置検出センサで検出される静電容量の変化をそのまま演算部で加算する等の処理が可能となり、このため、測定感度を倍増させることができるという利点がある。
【０２６５】
請求項７記載の発明では、更に、前述した請求項４又は５記載のテーブル位置検出用センサ装置において、前述した演算部が、テーブル部材の移動に際して検出される外部雑音を、それが直線移動であっても或いは回転動作であっても、これらを有効に排除する雑音排除機能を備えている、という構成をとっている。
このため、この請求項７記載の発明では、周囲環境の悪い箇所においても、テーブル部材の移動に伴う位置情報を比較的高精度に且つ鮮明に検出し出力することができるという従来にない優れた効果を奏する。
【０２６６】
請求項８記載の発明では、更に、前述した一方のセンサ用面電極を所定幅の電極部材をもって帯状にしこれを共通電極として装備したので、一方のセンサ用面電極の複数を一度に同時に取付けたのと同等の結果を得ることができ、かかる点において一方のセンサ用面電極の取付け工程が簡略化され、生産性及び保守性の向上を図ることができる。
【０２６７】
請求項９記載の発明では、更に、各位置検出センサを構成する一方と他方の各センサ用面電極をそれぞれ複数の所定空隙を介して積層した状態で一体化することによって断面櫛形状に形成したので、テーブル部材の移動又は回転に伴う静電容量の変化量を各面電極の対向面の数だけ数倍に倍増した状態で検出することができ、かかる点において微小移動を高精度に検出することができるという従来にない優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２】図１の一部切り欠いた平面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線に沿った概略断面図である。
【図４】図１に開示した田形状駆動コイルと被駆動磁石および制動用プレートとの位置関係を示す説明図である。
【図５】図１の各構成要素とその動作制御系との関係を示すブロック図である。
【図６】図５に開示した動作制御系に付勢されて作動する補助テーブル（可動テーブル）の動作例を示す図で、図６（Ａ）は右上４５°の方向に補助テーブル（可動テーブル）が平面移動した場合を示す説明図、図６（Ｂ）は補助テーブル（可動テーブル）が角度θだけ回動した場合を示す説明図である。
【図７】図１乃至図４に開示した田形状駆動コイルの４つの角形小コイルに通電される４つの通電パターン（通電プログラムは予めプログラム記憶部に記憶される）とその機能とを示す図表である。
【図８】図５に開示した動作制御系が備えている４つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）の動作方向とを示す図で、図８（Ａ）は第１の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）のＸ軸の正方向への動作を示す説明図、図８（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図９】図５に開示した動作制御系が備えている４つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）の動作方向とを示す図で、図９（Ａ）は第５の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）のＸ軸およびＹ軸の各正方向への動作を示す説明図、図９（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１０】図５に開示した動作制御系が備えている４つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）の動作方向とを示す図で、図１０（Ａ）は第９の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）のＸ−Ｙ座標上の原点を中心として反時計方向に回動する場合を示す説明図、図１０（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１１】図１に開示した制動用プレートの制動力発生原理を示す図で、図１１（Ａ）は図１の制動用プレート部分を示す拡大部分断面図、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）中のＡ−Ａ線に沿って見た制動用プレートに生じるうず電流制動の発生状況を示す説明図である。
【図１２】図１に開示した第１実施形態の全体的な動作例で、補助テーブルがＸ軸に沿って移動した場合の例を示す説明図である。
【図１３】図１２中の補助テーブル部分の動作（Ｘ軸に沿った正方向への移動）を平面的に見た場合の一例を示す説明図である。
【図１４】補助テーブルがＸ−Ｙ座標上「ｙ＝ｘ」の直線に沿って移動した場合の一例を示す説明図である。
【図１５】補助テーブルが原点を中心に角度θだけ反時計方向に回転動作した場合の例を示す説明図である。
【図１６】図５中に開示した位置情報検出手段（テーブル位置検出用センサ装置）における位置情報演算回路（演算部）部分の具体例を示すブロック回路図である。
【図１７】図１３中に開示した補助テーブルのＸ軸に沿った正方向への移動状態を簡略化したもので、各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化（増減状態）を示す説明図である。
【図１８】図１４中に開示した補助テーブルの第１象限方向への移動状態を簡略化したもので、各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化（増減状態）を示す説明図である。
【図１９】図１９（Ａ）は、図１５中に開示した補助テーブルの反時計方向への移動状態を簡略化したもので、各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化（増減状態）を示す説明図、図１９（Ｂ）は、補助テーブルの回転角を求めるための説明図である。
【図２０】第２の実施形態で装備した位置情報検出手段（テーブル位置検出用センサ装置）における位置情報演算回路（演算部）部分の具体例を示す回路図である。
【図２１】第２の実施形態において補助テーブルがＸ軸に沿った正方向へ移動した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２２】第２の実施の形態において補助テーブルが第１象限の方向へ移動した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２３】第２の実施の形態において補助テーブルが反時計方向へ回転した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２４】第３の実施形態で装備した位置情報検出手段（テーブル位置検出用センサ装置）における位置情報演算回路（演算部）部分の具体例を示す回路図である。
【図２５】第３の実施形態において補助テーブルがＸ軸に沿った正方向へ移動した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２６】第３の実施形態において補助テーブルが第１象限の方向へ移動した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２７】第３の実施の形態において補助テーブルが反時計方向へ回転した際に各他方のセンサ用面電極に生じる静電容量の変化を示す説明図である。
【図２８】第４の実施形態を示す部分断面図である。
【図２９】図２８内に開示した複数の位置検出センサ（容量センサ群）の配置例を示す説明図である。
【図３０】図２８内に開示した位置検出センサにおける一方のセンサ用面電極と他方のセンサ用面電極の組合せにより生じる静電結合状態の一部を示す回路図である。
【図３１】本発明において、位置検出センサとして、差動変圧器，ポテンショメータ，レーザ変位計などのアナログ量出力センサを用いた第５の実施形態を説明する説明図である。
【符号の説明】
１ 可動テーブル
３ 本体部としてのケース本体
３Ｂ 本体側突出部
５，５１ テーブル部材としての補助テーブル
６ 被駆動磁石
２０ 動作制御系
２１ テーブル駆動制御手段
２１Ａ 主制御部（ＣＰＵ内蔵）
２５ 位置情報検出手段（テーブル位置検出用センサ装置）
２６ 容量センサ群
２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４，４２Ｘ１〜４２Ｘ４，４２Ｙ１〜４２Ｙ４位置検出センサの要部をなす他方のセンサ用面電極
２７ 位置情報演算回路（演算部）
２７Ａ 信号変換回路部
２７Ｂ 位置信号演算回路部
４１ 位置検出センサの一方のセンサ用面電極としての共通電極
４１Ａ，４２ａ 板状電極としての電極フィン
Ｓ１，Ｓ２ 空隙
５１Ｘ１，５１Ｘ２，５１Ｙ１，５１Ｙ２ 直線型ポテンショメータ
５１ａ，５１ｂ 検出用ロッド
Claims (9)
- Ｘ−Ｙ平面上を所定範囲内で平面移動するテーブル部材の周囲４辺の内の少なくとも隣接する２辺に、アナログ量を出力する位置検出センサを配設し、
前記テーブル部材の移動と共に変化するアナログ量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し所定の電気信号に変換して外部出力する演算部を備えていることを特徴としたテーブル位置検出用センサ装置。 - 前記請求項１に記載のテーブル位置検出用センサ装置において、
前記位置検出センサが、差動変圧器，ポテンショメータ，レーザ変位計などのアナログ量検出センサであることを特徴としたテーブル位置検出センサ装置。 - 前記請求項１に記載のテーブル位置検出用センサ装置において、
前記位置検出センサが、差動変圧器，ポテンショメータ或いはレーザ変位計であるときに、テーブル部材の移動をＸ−Ｙ平面内の２方向の直線変位に分解してＸ，Ｙ方向の移動量を得ると共にＸ又はＹ方向の移動量から回転方向の移動量を得るアナログ量検出センサであることを特徴としたテーブル位置検出用センサ装置。 - 前記請求項１に記載のテーブル位置検出用センサ装置において、
前記位置検出センサが、静電容量型の位置検出センサであるときに、Ｘ−Ｙ平面上を所定範囲内で平面移動するテーブル部材の周囲４辺の内の隣接する２辺に、それぞれ少なくとも２個の静電容量型の位置検出センサを所定間隔を隔てて配設し、
この各位置検出センサを構成する一方のセンサ用面電極を前記テーブル部材の一方の面の端面領域に装着すると共に、前記各位置検出センサを構成する他方のセンサ用面電極を前記一方のセンサ用面電極に一部分対向し且つ近接した状態で前記テーブル部材保持用のケース本体側に固定装備し、
前記演算部が、前記テーブル部材の移動と共に前記一方と他方のセンサ用面電極の相互間に形成される静電容量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し所定の電気信号に変換して外部出力するものであることを特徴としたテーブル位置検出用センサ装置。 - 前記請求項１に記載のテーブル位置検出用センサ装置において、
前記位置検出センサが、静電容量型の位置検出センサであり、Ｘ−Ｙ平面上を所定範囲内で平面移動するテーブル部材の周囲４辺の各々に、それぞれ少なくとも２個の静電容量型の位置検出センサを所定間隔を隔てて配設し、
この各位置検出センサを構成する一方のセンサ用面電極を前記テーブル部材の一方の面の端面領域に装着すると共に、前記各位置検出センサを構成する他方のセンサ用面電極を前記一方のセンサ用面電極に一部分対向し且つ近接した状態で前記テーブル部材保持用のケース本体側に固定装備し、
前記演算部が、前記テーブル部材の移動と共に前記一方と他方のセンサ用面電極の相互間に形成される静電容量の変化をテーブル移動の位置情報として検出し所定の電気信号に変換して外部出力するものであることを特徴としたテーブル位置検出用センサ装置。 - 前記請求項５記載のテーブル位置検出用センサ装置において、
前記テーブル部材の中心部からＸ軸およびＹ軸に沿った方向先に位置する各端部領域に配設した２個の位置検出センサの内、Ｘ軸又はＹ軸の何れか一方の軸線に沿った方向先の各端部に配設した２個の位置検出センサを、それぞれ一個としたことを特徴とするテーブル位置検出用センサ装置。 - 前記請求項１，４又は５のいずれか一項に記載のテーブル位置検出用センサ装置において、
前記演算部が、前記テーブル部材の移動情報の検出時に作動し外部から到来する雑音を有効に排除する雑音排除機能を備えていることを特徴としたテーブル位置検出用センサ装置。 - 前記請求項１，４，５又は６のいずれか一項に記載のテーブル位置検出用センサ装置において、
前記各位置検出センサの内の前記テーブル部材側に装備した各一方のセンサ用面電極を、所定幅の電極部材をもって帯状に形成された共通電極としたことを特徴とするテーブル位置検出用センサ装置。 - 前記請求項１，４，５，６又は７のいずれか一項に記載のテーブル位置検出用センサ装置において、
前記各位置検出センサを構成する一方と他方の各センサ用面電極を、それぞれ複数の板状電極を所定空隙を介して積層した状態で一体化することによって断面櫛型状に形成すると共に、前記一方と他方の各センサ用面電極が相互に対向する部分の電極面部分が相互に接触することなく噛み合った形態をもって組み込まれていることを特徴としたテーブル位置検出用センサ装置。
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2002
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