JPWO2004012260A1 - 精密加工用ステージ装置 - Google Patents
精密加工用ステージ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2004012260A1 JPWO2004012260A1 JP2004524309A JP2004524309A JPWO2004012260A1 JP WO2004012260 A1 JPWO2004012260 A1 JP WO2004012260A1 JP 2004524309 A JP2004524309 A JP 2004524309A JP 2004524309 A JP2004524309 A JP 2004524309A JP WO2004012260 A1 JPWO2004012260 A1 JP WO2004012260A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable table
- braking
- coil
- electromagnetic
- drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 title claims description 24
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 226
- 230000009471 action Effects 0.000 claims abstract description 31
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 180
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 177
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 125
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 84
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 45
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 42
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 41
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims description 17
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 15
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 54
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 46
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 description 41
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 29
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 25
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 19
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 19
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 18
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 16
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 16
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 9
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 8
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 8
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 8
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 6
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 5
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 2
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000009432 framing Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000008531 maintenance mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
- B23Q1/623—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K2201/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
- H02K2201/18—Machines moving with multiple degrees of freedom
Abstract
被加工物を支持する可動テーブルは、テーブル保持機構により同一面内の任意の方向への移動を許容される。また、前記可動テーブルは、電磁駆動手段により、前記同一面内での送りが与えられる。また、前記可動テーブルは、電磁制動機構により、前記同一面内の任意の位置に停止される。前記電磁駆動手段は、被駆動磁石と駆動コイルとの相互磁気作用により前記可動テーブルの送りを発生させる。前記電磁制動機構は、制動用磁石と非磁性及び導電性の制動プレートとを含んでおり、当該制動用磁石と当該制動プレートとの組は、前記可動テーブルの移動に伴って当該制動プレートに発生する渦電流による磁力と当該制動用磁石の磁力との磁気作用に基づく制動力を発生させる。
Description
本発明は、精密加工用ステージ装置に係り、特にＩＣやＬＳＩ等の半導体生産工程における精密加工，配線作業，或いはその検査等で使用される精密加工用ステージ装置に関する。
従来、半導体産業等では、ＩＣやＬＳＩ等の生産工程で被加工物を精密加工或いは検査等の位置に配設し保持するのに、多くは精密移動可能な可動テーブルを備えた加工用ステージ装置が使用されている。
この場合、可動テーブルをＸ−Ｙ面上の任意の位置に精密移動させるには、通常は、まずＸ方向移動機構で可動テーブル全体をＸ方向に移動し、次に（又は同時に）、この可動テーブル及びＸ方向移動機構の全体をＹ方向移動機構にてＹ方向に移動する、という二重重ね構造の移動体保持機構を備えた方式のものが多い。
又、この種の加工用ステージ装置は、可動テーブルをＸ方向およびＹ方回への移動制御に際しては、比較的低速度で駆動し且つ機械的な制動機構を装備したものが多い。
しかしながら、前記従来例のものは、可動テーブルの移動に際しては、前述したように、Ｘ方向へ移動させるＸ方向移動機構とＹ方向へ移動させるＹ方向移動機構とが交差した二重構造の移動体保持機構を備えており、特に精密を要する当接移動部分はすり合わせ構造を備えていることから、加工に多くの手間がかかり、又、組立時の精密調整にも熟練を要するという不都合があった。このため、生産性が悪く、多くは装置全体が高価なものとなっていた。
更に、当該テーブル移動に関するシステムの自動化に際しては、前記二重構造の駆動機構の連結および位置センサの装備等に多くのスペースをとり、装置全体が大型化するという不都合があった。
また、前記従来例のものは、可動テーブルに元位置復帰用の復帰ばねが併設されているものが多い。この場合、可動テーブルの停止に際しては当該可動テーブルに付加される加速又は減速の駆動力に起因して当該可動テーブルに停止位置での往復微小動作が生じ易い。このため、所定位置での停止に際しては摩擦を利用した機械的な制動装置が不可欠なものとなっていた。
一方、この種の機械的な摩擦制動は作動時に微小振動が生じ易いことから、ミクロン単位の精密移動には停止時の動作が不安定となる。また、当該機械的な制動機構の併設によって装置全体が大型化し、可搬性が悪く、保守性も悪いという不都合が常に伴っていた。
本発明の目的は、同一面上で所定方向に円滑に精密加工用の可動テーブルを精密移動させる機能を備えると共に、組立作業の大幅な改善および装置全体の小型軽量化を可能とし、更に、可動テーブルの停止時の往復動作や微小振動等を有効に抑制し、これによって当該可動テーブルの精密移動をより迅速に且つ円滑になし得る精密加工用ステージ装置を提供することにある。
この場合、可動テーブルをＸ−Ｙ面上の任意の位置に精密移動させるには、通常は、まずＸ方向移動機構で可動テーブル全体をＸ方向に移動し、次に（又は同時に）、この可動テーブル及びＸ方向移動機構の全体をＹ方向移動機構にてＹ方向に移動する、という二重重ね構造の移動体保持機構を備えた方式のものが多い。
又、この種の加工用ステージ装置は、可動テーブルをＸ方向およびＹ方回への移動制御に際しては、比較的低速度で駆動し且つ機械的な制動機構を装備したものが多い。
しかしながら、前記従来例のものは、可動テーブルの移動に際しては、前述したように、Ｘ方向へ移動させるＸ方向移動機構とＹ方向へ移動させるＹ方向移動機構とが交差した二重構造の移動体保持機構を備えており、特に精密を要する当接移動部分はすり合わせ構造を備えていることから、加工に多くの手間がかかり、又、組立時の精密調整にも熟練を要するという不都合があった。このため、生産性が悪く、多くは装置全体が高価なものとなっていた。
更に、当該テーブル移動に関するシステムの自動化に際しては、前記二重構造の駆動機構の連結および位置センサの装備等に多くのスペースをとり、装置全体が大型化するという不都合があった。
また、前記従来例のものは、可動テーブルに元位置復帰用の復帰ばねが併設されているものが多い。この場合、可動テーブルの停止に際しては当該可動テーブルに付加される加速又は減速の駆動力に起因して当該可動テーブルに停止位置での往復微小動作が生じ易い。このため、所定位置での停止に際しては摩擦を利用した機械的な制動装置が不可欠なものとなっていた。
一方、この種の機械的な摩擦制動は作動時に微小振動が生じ易いことから、ミクロン単位の精密移動には停止時の動作が不安定となる。また、当該機械的な制動機構の併設によって装置全体が大型化し、可搬性が悪く、保守性も悪いという不都合が常に伴っていた。
本発明の目的は、同一面上で所定方向に円滑に精密加工用の可動テーブルを精密移動させる機能を備えると共に、組立作業の大幅な改善および装置全体の小型軽量化を可能とし、更に、可動テーブルの停止時の往復動作や微小振動等を有効に抑制し、これによって当該可動テーブルの精密移動をより迅速に且つ円滑になし得る精密加工用ステージ装置を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明に係る精密加工用ステージ装置は、本体部に組み込まれ、被加工物を支持する可動テーブルと、前記本体部に組み込まれ、前記可動テーブルを同一面内の任意の方向への移動を許容するテーブル保持機構と、前記本体部に組み込まれ、前記可動テーブルに前記同一面内での送りを与える電磁駆動手段と、前記同一面内の任意の位置に前記可動テーブルを停止させるための制動力を発生させる電磁制動機構と、を有し、
前記電磁駆動手段は、複数の被駆動磁石と、通電の方向により前記被駆動磁石の磁力に作用する磁力を発生するための駆動コイルとの組を有し、前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの相互磁気作用により前記可動テーブルの送りを発生させるものであり、
前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの内、一方は定位置に固定され、他方は前記可動テーブルと一体に移動可能に設けられ、
前記電磁制動機構は、相互に対面し、かつ前記可動テーブルの動きに同期して相対的に移動する制動用磁石と非磁性及び導電性の制動プレートとを含み、
前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は定位置に固定され、他方は前記可動テーブルの動きに同期して移動可能に設けられ、当該制動用磁石と当該制動プレートとの組は、前記可動テーブルの移動に伴って当該制動プレートに発生する渦電流による磁力と当該制動用磁石の磁力との相互磁気作用に基づく制動力を発生するという構成を採用している。
本発明によれば、前記電磁駆動手段が作動すると、まず、当該電磁駆動手段の駆動コイルと被駆動磁石との間に相互磁気作用が生じ、その相互磁気作用により前記可動テーブルに所定の方向への送りが与えられる。この場合、可動テーブルは前記テーブル保持機構によって同一面内での移動が許容されていることから、上下動することなく所定の方向に円滑に移動する。特に、前記可動テーブルは、当該可動テーブルに元位置復帰力が付与されている場合に、当該元位置復帰力と電磁駆動手段の磁力との平衡がとれる位置（即ち、所定の移動停止位置）まで移動される。
ここで、前記可動テーブルは、移動する際に、電磁駆動手段によって，又は可動テーブルに付与される元位置復帰力によって、急加速される場合が多い。前記可動テーブルの移動範囲が例えばミクロン単位の場合には、前記急加速されたままで急減速されて停止されることとなる。したがって、可動テーブルが停止される際に、前記可動テーブルの慣性力と前記テーブル保持機構の元位置復帰力とにより、可動テーブルの停止時に微小往復動作が生じやすい。
本発明においては、前記可動テーブルが急激に移動すると、前記電磁制動機構の制動用磁石と非磁性及び導電性の制動プレートとが前記可動テーブルの移動に同期して相対的に変位する。そして、前記電磁制動機構は、前記可動テーブルの移動速度に比例した大きさの渦電流が前記制動プレートに発生し、当該制動プレートに発生する渦電流による磁力と前記制動用磁石の磁力との相互磁気作用に基づく制動力を発生させる。当該電磁制動機構の制動力を受けて、前記可動テーブルの微小往復動作が短時間内で収束される。
したがって、前記可動テーブルを所望の位置に停止させるために要する停止時間が短縮され、ひいては、前記可動テーブルを同一面内に移動させるために要する全体的な時間を短縮し、作業効率を向上させることができる。
本発明において、前記電磁制動機構は、前記可動テーブルに制動を懸ける、又は前記可動テーブル及び前記テーブル保持機構に制動を懸けるようにしてもよいものである。
したがって、前記可動テーブルに前記電磁制動機構による制動力を懸けることにより、上述したように可動テーブの制動時間を短縮することができる。さらに、前記可動テーブル及び前記電磁制動機構の双方に電磁制動機構による制動力を懸けることにより、可動テーブルの制動時間を更に短縮することができる。
また、本発明においては、前記電磁制動機構は、相互に対面し、かつ前記可動テーブルの動きに同期して相対的に移動する制動用磁石と非磁性及び導電性の制動プレートを含むという簡単な構成である。
したがって、装置全体を小型化及び軽量化することができる。このため、前記可動テーブルの慣性力を増加させることはなく、前記可動テーブルの動きを阻害することはない。また、組立作業に際しても、特に熟練を要することがないことから、作業性も良好となり、かかる点において二重構造の移動機構を備えた従来のものに比較して生産性を大幅に高めることができる。
また、電磁制動機構の制動用磁石は、前記電磁駆動手段を構成する被駆動磁石を用いることも可能であり、或いは前記被駆動磁石と別体に形成することも可能である。
したがって、前記電磁制動機構の制動用磁石を前記被駆動磁石から形成した場合には、前記制動用プレートは、前記電磁駆動手段の駆動コイルにより形成される磁束を鎖交する部分がコイルと同等に機能するため、トランスの二次側回路と同等の回路を構成し、同時にこの二次側回路は、制動用プレートの電気抵抗成分（渦電流損を生じる）を介して常時短絡された形態を構成する。
このため、この場合の二次回路を構成する制動プレートには渦電流が流れ、駆動コイルが作る磁束を打ち消し、元の駆動磁石だけの磁束になり駆動力は歪むことなく発生する。また、制動プレートはボイスコイルモータのショートリングと同じ効果を生じ、電源から見た一次回路のインピーダンスは小さく観測され、二次側回路が解法上体の場合（制動プレートがない場合）に較べて比較的大きい電流を位相遅れなく通電することができる。したがって、前記被駆動磁石との間には、当該制動用プレートが存在しない場合に較べて比較的大きい電磁力を位相遅れなく出力することが可能となっている。
また、前記制動用プレートは、放熱板としても機能し、かかる点において駆動コイルの連続運転に伴って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下（即ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制して通電電流を長時間ほぼ一定レベルに設定することができる。このため、電磁駆動手段から出力される磁力による駆動力に対する外部からの電流制御を安定した状態にて継続することができ、経年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができる。このため、装置全体の耐久性を、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
また、前記電磁制動機構は、前記可動テーブルの中央部に装備することが望ましいものである。このようにすれば、電磁制動機構による制動力を可動テーブルに偏奇することなく均一に懸けることができ、可動テーブルが停止する際の往復動作を短時間内に抑えることができることとなる。
また、前記電磁制動機構の制動用プレートは、複数の制動用磁石に対して単一のプレートとして形成してもよいものである。これにより、制動用プレートの組み込みに要する時間を短縮することができ、組立作業の効率性を向上することができる。
また、前記可動テーブルは、当該可動テーブルと平行に、かつ一体に連結された補助テーブルを介して、或いは直接的に前記テーブル保持機構に保持されるようにしてもよいものである。
このように、可動テーブルをテーブル保持機構により保持する関係を適宜選択することができ、可動テーブルや補助テーブルを利用して電磁制動機構の制動力を有効に発揮することが可能な態様に組み込むことができる。
また、前記テーブル保持機構は、前記可動テーブルの周端部の同一円周上に所定間隔を隔てて平行に配設され且つ一端部が当該可動テーブルに植設された少なくとも三本の一方の棒状弾性部材と、前記一方の各棒状弾性部材に対応し且つ当該各棒状弾性部材の外側にて同一円周上に所定間隔を隔てて平行に配設され一端部が前記本体部に保持された同一長さの少なくとも三本の他方の棒状弾性部材と、前記一方と他方の各棒状弾性部材の他端部を平行状態を維持しつつ一体的に保持する中継部材とにより構成され、
前記テーブル保持機構の三組の各棒状弾性部材は、それぞれ同一の強度で同一長さのピアノ線等の棒状弾性部材により構成されるという態様を採用することが可能である。
このように、テーブル保持機構をリンク機構として構成することにより、可動テーブルを同一面内に上下動させることがなく、ミクロン単位で移動させる際にも可動テーブルを正確に移動させることができる。
以上のように、前記テーブル保持機構をリンク機構として構成する場合には、前記電磁制動機構の前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は、前記可動テーブルと一体に移動するように設けられ、他方は前記本体部に設けられることが望ましいものである。
また、前記電磁制動機構の前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は、前記可動テーブルと一体に移動するように設けられ、他方は前記本体部に設け、さらに、前記電磁制動機構の前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は、前記中継部材と一体に移動するように設けられ、他方は前記本体部に設けるようにしてもよいものである。
このように、前記電磁制動機構を可動テーブル，テーブル保持機構の中継部材に適宜設けることにより、可動テーブルに電磁制動機構の制動力を有効に懸けることができる。
また、前記電磁制動機構の前記制動用磁石は、前記被駆動磁石から形成する、或いは前記被駆動磁石と別体に構成することが可能である。これにより、前記電磁制動機構の設置位置を適宜選択することができ、電磁制動機構による制動力を有効に発揮させる位置に電磁制動機構を設置することができることとなる。
また、前記電磁制動機構の前記制動用磁石は、永久磁石又は電磁石のいずれか１つから形成することが可能となる。これにより、電磁駆動手段の被駆動磁石の構成を種々変更することができる。さらに、前記被駆動磁石を電磁石により形成することにより、可動テーブルの駆動制御を種々変化させることができる。例えば、可動テーブルの移動時における加速／減速に際しては、駆動コイルと前記電磁石との両方を駆動制御して可動テーブルを移動させることができ、可動テーブルの移動方向を迅速に変化させることができる。
また、前記テーブル保持機構は、前記可動テーブルを元位置に復帰させる元位置復帰力を備えるようにしてもよいものである。これにより、テーブル保持機構と別体に元位置復帰機構を設ける場合と比較して、装置の構成をコンパクトにすることができる。
また、前記被駆動磁石は、前記可動テーブルが移動する面内に設定した原点を通る１つの軸線を基準として円周方向に等分してなる複数の軸線上にそれぞれ配置することが望ましいものである。この場合、前記複数の軸線は、前記可動テーブルが移動する面内に設定した原点を通る直交した複数の軸線として設定する。或いは、前記複数の軸線は、前記可動テーブルが移動する面内に設定した原点を中心として放射方向に向かう複数の軸線として設定する。
また、前記可動テーブルが前記テーブル保持機構により復帰する元位置は、前記可動テーブルが移動する面内に設定した軸線の基点となる原点に一致するように設定することが望ましいものである。
これにより、前記テーブル保持機構による前記可動テーブルの復帰位置と、前記可動テーブルが移動するための起点となる位置とが一致することとなり、当該可動テーブルを正確に位置決めして移動させることができる。
また、前記電磁駆動手段をなす複数の被駆動磁石は、前記原点から等距離の位置で前記各軸線上に配置され、前記電磁駆動手段をなす複数の駆動コイルは、前記複数の被駆動磁石に対応して配置されることが望ましいものである。
したがって、電磁駆動手段をなす被駆動磁石及び駆動コイルを軸線上に配置したため、余分な回転力が可動テーブルに加わることを排除することができ、可動テーブルの正確な位置制御を行うことができる。前記軸線上に配置された複数の被駆動磁石を線対称な位置関係に配置することにより、可動テーブルの移動に妨げとなる力を確実に排除することができる。
なお、電磁制動機構は、前記軸線上に配置することが望ましいものであるが、前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの組は、前記軸線に対してずれた位置に配置してもよいものである。前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの組の設置位置を自由に変更した場合にも、電磁制動機構の制動力を用いて所定の位置に可動テーブルを停止させることができ、極めて汎用性に富むステージ装置を提供することができる。
また、前記電磁駆動手段の被駆動磁石は、永久磁石により形成する、或いは電磁石により形成するようにしてもよいものである。
電磁駆動手段を永久磁石で形成することにより、電磁石のように通電回路が不要となり、その分、組立時及び保守点検時における作業の煩雑さを回避することができる。
前記電磁駆動手段の被駆動磁石を電磁石により形成した場合には、当該被駆動磁石への通電を、前記駆動コイルへの通電に同期させて順方向又は逆方向に選択的に制御する。これにより、可動テーブルの駆動制御に種々の変化をもたせることができる。また、複数の駆動コイルへの通電を個々に制御して、電磁力により可動テーブルに与えられる送りの度合いを自由に変更することができる
また、前記駆動コイルは、前記被駆動磁石の磁力に作用する磁力を発生させるためのコイル片を有している。この場合、前記駆動コイルのコイル辺は、十字状又は直線状の形状に形成されている、或いは前記被駆動磁石が配置された前記軸線に沿う姿勢に配置されていることが望ましいものである。これにより、駆動コイルのコイル辺と被駆動磁石との間に相互磁気作用を確実に発生することができる。また、前記コイル辺を十字状又は直線状に選択して形成することにより、被駆動磁石との間に発生する相互磁気作用の方向性を任意に選択することができ、可動テーブルの動きに種々の変化を与えることができる。
また、前記駆動コイルは、寸法を異ならせて内外に配列した複数のコイルから形成することが可能である。これにより、駆動コイルと被駆動磁石との間に発生する相互磁気力を倍加することができ、可動テーブルの送り力を向上させて、可動テーブルによる可搬力を倍加することができる。
この場合、前記駆動コイルの直線状コイル辺は、前記駆動磁石が配置された前記軸線に沿う、或いは横切る姿勢に配置することが望ましいものである。これにより、駆動コイルと被駆動磁石との間に発生する相互磁気作用を任意に選択して可動テーブルに対する駆動力を種々変更させることができる。
また、前記駆動コイルは、独立して通電される複数の小コイルを組み合わせて形成され、当該小コイル同士の突合せ部に前記十字状又は直線状のコイル辺が形成されているようにすることが可能である。これにより、駆動コイルにコイル辺を容易に形成することができる。
この場合、前記小コイルは、角形形状に形成されている、特に四角形，三角形，五角形又は扇形状のいずれかであることが望ましいものである。なお、駆動コイルの角形形状は、コイル辺を容易に形成するための手段であるから、四角形，三角形，五角形又は扇形状の限られるものではない。
また、前記駆動コイルの外形寸法は、前記被駆動磁石の外形寸法より大きく設定されていることが望ましいものである。これにより、複数の駆動コイルと被駆動磁石との間に発生する電磁駆動力を常に可動テーブルの起点位置から外側に向かう方向に発生させることとなり、これらの電磁駆動力の合力も必ず常に可動テーブルの起点位置から外側に向かう方向に発生させることができる。
また、前記電磁駆動手段は、前記駆動コイルへの通電を制御して前記可動テーブルを直線移動させる、或いは直線移動及び回転移動させる動作制御系を備えるようにしてもよいものである。これにより、可動テーブルの動きに変化をもたせることができる。
また、前記動作制御系は、前記電磁駆動手段の駆動コイルを制御モードに従って通電制御するコイル駆動制御手段と、前記可動テーブルの移動方向，回転方向，及びその動作量等が特定された複数の制御モードにかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部と、前記各制御プログラムの実行に際して使用される所定の座標データ等を記憶したデータ記憶部と、前記コイル駆動制御手段に前記駆動コイルに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部とを含んで構成することが可能である。
この場合、前記動作制御系の制御コードは、前記直交する２軸の交点を原点として各軸の正負方向に前記可動テーブルを移動させるための第１乃至第４の制御モードと、前記直交する２軸により区画される各象限内の方向に前記可動テーブルを移動させるための第５乃至第８の制御モードと、前記直交する２軸により形成される面内にて前記可動テーブルを時計方向又は反時計方向に回転させるための第９乃至第１０の各制御モードとから構成されている。
前記構成において、動作指令入力部からの指令に基づいてコイル駆動制御手段が作動し、プログラム記憶部及びデータ記憶部から異動方向先の情報及び移動用の所定の制御モードを取り出すとともに、これに基づいて前述した電磁駆動手段の駆動コイルを駆動制御し、これによって、可動テーブルを所定の方向に移動させる。
したがって、予め駆動コイルの制御モードを記憶しておき、これに基づいて駆動コイルを駆動制御することができ、動作指令入力部からの指令に迅速に対応することができる。
また、前記動作制御系は、上記の構成に加えて、前記可動テーブルの移動情報を検出し外部出力する複数の位置検出センサと、前記位置検出センサで検出される情報に基づいて所定の演算を行い前記可動テーブルの移動方向およびその変化量等を特定して位置情報として外部出力する位置情報演算回路とを併設するという構成を採ることが可能となる。
したがって、可動テーブルの移動情報及び移動後の位置情報をリアルタイムで外部に出力することができ、オペレータは、可動テーブルの移動方向や移動後の位置ずれなどを外部から容易に把握し得るものである。このため、可動テーブルの移動作業を高精度にかつ迅速に行うことができる。
また、前記電磁駆動手段は、外部からの指令に応じて作動し当該電磁駆動手段の有する駆動コイルと被駆動磁石とを個別に制御して前記可動テーブルを所定の移動方向に移動させる動作制御系を備えるという構成を採用しても良いものである。
これにより、可動テーブルの移動方向に向けて有効に機能する１又は２以上の被駆動磁石を選択して作動させることができ、可動テーブルを確実に所定の方向に移動制御することができる。
前記動作制御系は、前記駆動コイルに対する通電方向を一方の方向に設定し維持する通電方向設定機能と、前記駆動コイルに対する通電方向の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能と、前記駆動コイルに対する通電方向に応じて作動し前記各駆動磁石に対する磁極を個別に設定し維持する磁極可変設定機能と、前記各被駆動磁石の磁力強度を外部からの指令に応じて個別に可変設定する磁力強度設定機能と、これらの諸機能を適度に作動させて可動テーブルに対する移送方向及び移送力を調整するテーブル動作制御機能とを有する構成とすることが可能となる。
これにより、可動テーブルを具体的にかつ確実に所定の方向に移動制御させることができる。
前記電磁駆動手段は、複数の被駆動磁石と、通電の方向により前記被駆動磁石の磁力に作用する磁力を発生するための駆動コイルとの組を有し、前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの相互磁気作用により前記可動テーブルの送りを発生させるものであり、
前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの内、一方は定位置に固定され、他方は前記可動テーブルと一体に移動可能に設けられ、
前記電磁制動機構は、相互に対面し、かつ前記可動テーブルの動きに同期して相対的に移動する制動用磁石と非磁性及び導電性の制動プレートとを含み、
前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は定位置に固定され、他方は前記可動テーブルの動きに同期して移動可能に設けられ、当該制動用磁石と当該制動プレートとの組は、前記可動テーブルの移動に伴って当該制動プレートに発生する渦電流による磁力と当該制動用磁石の磁力との相互磁気作用に基づく制動力を発生するという構成を採用している。
本発明によれば、前記電磁駆動手段が作動すると、まず、当該電磁駆動手段の駆動コイルと被駆動磁石との間に相互磁気作用が生じ、その相互磁気作用により前記可動テーブルに所定の方向への送りが与えられる。この場合、可動テーブルは前記テーブル保持機構によって同一面内での移動が許容されていることから、上下動することなく所定の方向に円滑に移動する。特に、前記可動テーブルは、当該可動テーブルに元位置復帰力が付与されている場合に、当該元位置復帰力と電磁駆動手段の磁力との平衡がとれる位置（即ち、所定の移動停止位置）まで移動される。
ここで、前記可動テーブルは、移動する際に、電磁駆動手段によって，又は可動テーブルに付与される元位置復帰力によって、急加速される場合が多い。前記可動テーブルの移動範囲が例えばミクロン単位の場合には、前記急加速されたままで急減速されて停止されることとなる。したがって、可動テーブルが停止される際に、前記可動テーブルの慣性力と前記テーブル保持機構の元位置復帰力とにより、可動テーブルの停止時に微小往復動作が生じやすい。
本発明においては、前記可動テーブルが急激に移動すると、前記電磁制動機構の制動用磁石と非磁性及び導電性の制動プレートとが前記可動テーブルの移動に同期して相対的に変位する。そして、前記電磁制動機構は、前記可動テーブルの移動速度に比例した大きさの渦電流が前記制動プレートに発生し、当該制動プレートに発生する渦電流による磁力と前記制動用磁石の磁力との相互磁気作用に基づく制動力を発生させる。当該電磁制動機構の制動力を受けて、前記可動テーブルの微小往復動作が短時間内で収束される。
したがって、前記可動テーブルを所望の位置に停止させるために要する停止時間が短縮され、ひいては、前記可動テーブルを同一面内に移動させるために要する全体的な時間を短縮し、作業効率を向上させることができる。
本発明において、前記電磁制動機構は、前記可動テーブルに制動を懸ける、又は前記可動テーブル及び前記テーブル保持機構に制動を懸けるようにしてもよいものである。
したがって、前記可動テーブルに前記電磁制動機構による制動力を懸けることにより、上述したように可動テーブの制動時間を短縮することができる。さらに、前記可動テーブル及び前記電磁制動機構の双方に電磁制動機構による制動力を懸けることにより、可動テーブルの制動時間を更に短縮することができる。
また、本発明においては、前記電磁制動機構は、相互に対面し、かつ前記可動テーブルの動きに同期して相対的に移動する制動用磁石と非磁性及び導電性の制動プレートを含むという簡単な構成である。
したがって、装置全体を小型化及び軽量化することができる。このため、前記可動テーブルの慣性力を増加させることはなく、前記可動テーブルの動きを阻害することはない。また、組立作業に際しても、特に熟練を要することがないことから、作業性も良好となり、かかる点において二重構造の移動機構を備えた従来のものに比較して生産性を大幅に高めることができる。
また、電磁制動機構の制動用磁石は、前記電磁駆動手段を構成する被駆動磁石を用いることも可能であり、或いは前記被駆動磁石と別体に形成することも可能である。
したがって、前記電磁制動機構の制動用磁石を前記被駆動磁石から形成した場合には、前記制動用プレートは、前記電磁駆動手段の駆動コイルにより形成される磁束を鎖交する部分がコイルと同等に機能するため、トランスの二次側回路と同等の回路を構成し、同時にこの二次側回路は、制動用プレートの電気抵抗成分（渦電流損を生じる）を介して常時短絡された形態を構成する。
このため、この場合の二次回路を構成する制動プレートには渦電流が流れ、駆動コイルが作る磁束を打ち消し、元の駆動磁石だけの磁束になり駆動力は歪むことなく発生する。また、制動プレートはボイスコイルモータのショートリングと同じ効果を生じ、電源から見た一次回路のインピーダンスは小さく観測され、二次側回路が解法上体の場合（制動プレートがない場合）に較べて比較的大きい電流を位相遅れなく通電することができる。したがって、前記被駆動磁石との間には、当該制動用プレートが存在しない場合に較べて比較的大きい電磁力を位相遅れなく出力することが可能となっている。
また、前記制動用プレートは、放熱板としても機能し、かかる点において駆動コイルの連続運転に伴って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下（即ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制して通電電流を長時間ほぼ一定レベルに設定することができる。このため、電磁駆動手段から出力される磁力による駆動力に対する外部からの電流制御を安定した状態にて継続することができ、経年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができる。このため、装置全体の耐久性を、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
また、前記電磁制動機構は、前記可動テーブルの中央部に装備することが望ましいものである。このようにすれば、電磁制動機構による制動力を可動テーブルに偏奇することなく均一に懸けることができ、可動テーブルが停止する際の往復動作を短時間内に抑えることができることとなる。
また、前記電磁制動機構の制動用プレートは、複数の制動用磁石に対して単一のプレートとして形成してもよいものである。これにより、制動用プレートの組み込みに要する時間を短縮することができ、組立作業の効率性を向上することができる。
また、前記可動テーブルは、当該可動テーブルと平行に、かつ一体に連結された補助テーブルを介して、或いは直接的に前記テーブル保持機構に保持されるようにしてもよいものである。
このように、可動テーブルをテーブル保持機構により保持する関係を適宜選択することができ、可動テーブルや補助テーブルを利用して電磁制動機構の制動力を有効に発揮することが可能な態様に組み込むことができる。
また、前記テーブル保持機構は、前記可動テーブルの周端部の同一円周上に所定間隔を隔てて平行に配設され且つ一端部が当該可動テーブルに植設された少なくとも三本の一方の棒状弾性部材と、前記一方の各棒状弾性部材に対応し且つ当該各棒状弾性部材の外側にて同一円周上に所定間隔を隔てて平行に配設され一端部が前記本体部に保持された同一長さの少なくとも三本の他方の棒状弾性部材と、前記一方と他方の各棒状弾性部材の他端部を平行状態を維持しつつ一体的に保持する中継部材とにより構成され、
前記テーブル保持機構の三組の各棒状弾性部材は、それぞれ同一の強度で同一長さのピアノ線等の棒状弾性部材により構成されるという態様を採用することが可能である。
このように、テーブル保持機構をリンク機構として構成することにより、可動テーブルを同一面内に上下動させることがなく、ミクロン単位で移動させる際にも可動テーブルを正確に移動させることができる。
以上のように、前記テーブル保持機構をリンク機構として構成する場合には、前記電磁制動機構の前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は、前記可動テーブルと一体に移動するように設けられ、他方は前記本体部に設けられることが望ましいものである。
また、前記電磁制動機構の前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は、前記可動テーブルと一体に移動するように設けられ、他方は前記本体部に設け、さらに、前記電磁制動機構の前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は、前記中継部材と一体に移動するように設けられ、他方は前記本体部に設けるようにしてもよいものである。
このように、前記電磁制動機構を可動テーブル，テーブル保持機構の中継部材に適宜設けることにより、可動テーブルに電磁制動機構の制動力を有効に懸けることができる。
また、前記電磁制動機構の前記制動用磁石は、前記被駆動磁石から形成する、或いは前記被駆動磁石と別体に構成することが可能である。これにより、前記電磁制動機構の設置位置を適宜選択することができ、電磁制動機構による制動力を有効に発揮させる位置に電磁制動機構を設置することができることとなる。
また、前記電磁制動機構の前記制動用磁石は、永久磁石又は電磁石のいずれか１つから形成することが可能となる。これにより、電磁駆動手段の被駆動磁石の構成を種々変更することができる。さらに、前記被駆動磁石を電磁石により形成することにより、可動テーブルの駆動制御を種々変化させることができる。例えば、可動テーブルの移動時における加速／減速に際しては、駆動コイルと前記電磁石との両方を駆動制御して可動テーブルを移動させることができ、可動テーブルの移動方向を迅速に変化させることができる。
また、前記テーブル保持機構は、前記可動テーブルを元位置に復帰させる元位置復帰力を備えるようにしてもよいものである。これにより、テーブル保持機構と別体に元位置復帰機構を設ける場合と比較して、装置の構成をコンパクトにすることができる。
また、前記被駆動磁石は、前記可動テーブルが移動する面内に設定した原点を通る１つの軸線を基準として円周方向に等分してなる複数の軸線上にそれぞれ配置することが望ましいものである。この場合、前記複数の軸線は、前記可動テーブルが移動する面内に設定した原点を通る直交した複数の軸線として設定する。或いは、前記複数の軸線は、前記可動テーブルが移動する面内に設定した原点を中心として放射方向に向かう複数の軸線として設定する。
また、前記可動テーブルが前記テーブル保持機構により復帰する元位置は、前記可動テーブルが移動する面内に設定した軸線の基点となる原点に一致するように設定することが望ましいものである。
これにより、前記テーブル保持機構による前記可動テーブルの復帰位置と、前記可動テーブルが移動するための起点となる位置とが一致することとなり、当該可動テーブルを正確に位置決めして移動させることができる。
また、前記電磁駆動手段をなす複数の被駆動磁石は、前記原点から等距離の位置で前記各軸線上に配置され、前記電磁駆動手段をなす複数の駆動コイルは、前記複数の被駆動磁石に対応して配置されることが望ましいものである。
したがって、電磁駆動手段をなす被駆動磁石及び駆動コイルを軸線上に配置したため、余分な回転力が可動テーブルに加わることを排除することができ、可動テーブルの正確な位置制御を行うことができる。前記軸線上に配置された複数の被駆動磁石を線対称な位置関係に配置することにより、可動テーブルの移動に妨げとなる力を確実に排除することができる。
なお、電磁制動機構は、前記軸線上に配置することが望ましいものであるが、前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの組は、前記軸線に対してずれた位置に配置してもよいものである。前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの組の設置位置を自由に変更した場合にも、電磁制動機構の制動力を用いて所定の位置に可動テーブルを停止させることができ、極めて汎用性に富むステージ装置を提供することができる。
また、前記電磁駆動手段の被駆動磁石は、永久磁石により形成する、或いは電磁石により形成するようにしてもよいものである。
電磁駆動手段を永久磁石で形成することにより、電磁石のように通電回路が不要となり、その分、組立時及び保守点検時における作業の煩雑さを回避することができる。
前記電磁駆動手段の被駆動磁石を電磁石により形成した場合には、当該被駆動磁石への通電を、前記駆動コイルへの通電に同期させて順方向又は逆方向に選択的に制御する。これにより、可動テーブルの駆動制御に種々の変化をもたせることができる。また、複数の駆動コイルへの通電を個々に制御して、電磁力により可動テーブルに与えられる送りの度合いを自由に変更することができる
また、前記駆動コイルは、前記被駆動磁石の磁力に作用する磁力を発生させるためのコイル片を有している。この場合、前記駆動コイルのコイル辺は、十字状又は直線状の形状に形成されている、或いは前記被駆動磁石が配置された前記軸線に沿う姿勢に配置されていることが望ましいものである。これにより、駆動コイルのコイル辺と被駆動磁石との間に相互磁気作用を確実に発生することができる。また、前記コイル辺を十字状又は直線状に選択して形成することにより、被駆動磁石との間に発生する相互磁気作用の方向性を任意に選択することができ、可動テーブルの動きに種々の変化を与えることができる。
また、前記駆動コイルは、寸法を異ならせて内外に配列した複数のコイルから形成することが可能である。これにより、駆動コイルと被駆動磁石との間に発生する相互磁気力を倍加することができ、可動テーブルの送り力を向上させて、可動テーブルによる可搬力を倍加することができる。
この場合、前記駆動コイルの直線状コイル辺は、前記駆動磁石が配置された前記軸線に沿う、或いは横切る姿勢に配置することが望ましいものである。これにより、駆動コイルと被駆動磁石との間に発生する相互磁気作用を任意に選択して可動テーブルに対する駆動力を種々変更させることができる。
また、前記駆動コイルは、独立して通電される複数の小コイルを組み合わせて形成され、当該小コイル同士の突合せ部に前記十字状又は直線状のコイル辺が形成されているようにすることが可能である。これにより、駆動コイルにコイル辺を容易に形成することができる。
この場合、前記小コイルは、角形形状に形成されている、特に四角形，三角形，五角形又は扇形状のいずれかであることが望ましいものである。なお、駆動コイルの角形形状は、コイル辺を容易に形成するための手段であるから、四角形，三角形，五角形又は扇形状の限られるものではない。
また、前記駆動コイルの外形寸法は、前記被駆動磁石の外形寸法より大きく設定されていることが望ましいものである。これにより、複数の駆動コイルと被駆動磁石との間に発生する電磁駆動力を常に可動テーブルの起点位置から外側に向かう方向に発生させることとなり、これらの電磁駆動力の合力も必ず常に可動テーブルの起点位置から外側に向かう方向に発生させることができる。
また、前記電磁駆動手段は、前記駆動コイルへの通電を制御して前記可動テーブルを直線移動させる、或いは直線移動及び回転移動させる動作制御系を備えるようにしてもよいものである。これにより、可動テーブルの動きに変化をもたせることができる。
また、前記動作制御系は、前記電磁駆動手段の駆動コイルを制御モードに従って通電制御するコイル駆動制御手段と、前記可動テーブルの移動方向，回転方向，及びその動作量等が特定された複数の制御モードにかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部と、前記各制御プログラムの実行に際して使用される所定の座標データ等を記憶したデータ記憶部と、前記コイル駆動制御手段に前記駆動コイルに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部とを含んで構成することが可能である。
この場合、前記動作制御系の制御コードは、前記直交する２軸の交点を原点として各軸の正負方向に前記可動テーブルを移動させるための第１乃至第４の制御モードと、前記直交する２軸により区画される各象限内の方向に前記可動テーブルを移動させるための第５乃至第８の制御モードと、前記直交する２軸により形成される面内にて前記可動テーブルを時計方向又は反時計方向に回転させるための第９乃至第１０の各制御モードとから構成されている。
前記構成において、動作指令入力部からの指令に基づいてコイル駆動制御手段が作動し、プログラム記憶部及びデータ記憶部から異動方向先の情報及び移動用の所定の制御モードを取り出すとともに、これに基づいて前述した電磁駆動手段の駆動コイルを駆動制御し、これによって、可動テーブルを所定の方向に移動させる。
したがって、予め駆動コイルの制御モードを記憶しておき、これに基づいて駆動コイルを駆動制御することができ、動作指令入力部からの指令に迅速に対応することができる。
また、前記動作制御系は、上記の構成に加えて、前記可動テーブルの移動情報を検出し外部出力する複数の位置検出センサと、前記位置検出センサで検出される情報に基づいて所定の演算を行い前記可動テーブルの移動方向およびその変化量等を特定して位置情報として外部出力する位置情報演算回路とを併設するという構成を採ることが可能となる。
したがって、可動テーブルの移動情報及び移動後の位置情報をリアルタイムで外部に出力することができ、オペレータは、可動テーブルの移動方向や移動後の位置ずれなどを外部から容易に把握し得るものである。このため、可動テーブルの移動作業を高精度にかつ迅速に行うことができる。
また、前記電磁駆動手段は、外部からの指令に応じて作動し当該電磁駆動手段の有する駆動コイルと被駆動磁石とを個別に制御して前記可動テーブルを所定の移動方向に移動させる動作制御系を備えるという構成を採用しても良いものである。
これにより、可動テーブルの移動方向に向けて有効に機能する１又は２以上の被駆動磁石を選択して作動させることができ、可動テーブルを確実に所定の方向に移動制御することができる。
前記動作制御系は、前記駆動コイルに対する通電方向を一方の方向に設定し維持する通電方向設定機能と、前記駆動コイルに対する通電方向の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能と、前記駆動コイルに対する通電方向に応じて作動し前記各駆動磁石に対する磁極を個別に設定し維持する磁極可変設定機能と、前記各被駆動磁石の磁力強度を外部からの指令に応じて個別に可変設定する磁力強度設定機能と、これらの諸機能を適度に作動させて可動テーブルに対する移送方向及び移送力を調整するテーブル動作制御機能とを有する構成とすることが可能となる。
これにより、可動テーブルを具体的にかつ確実に所定の方向に移動制御させることができる。
第１図は、本発明の第１実施形態を示す一部省略した概略断面図である。第２図は、第１図の一部切り欠いた平面図である。第３図は、第１図のＡ−Ａ線に沿った概略断面図である。第４図は、第１図の下方からみた一部切り欠いた底面図である。第５図は、第１図に開示した田形状駆動コイルと被駆動磁石および制動用プレートとの位置関係を示す説明図である。第６図は、第１図の各構成部分とその動作制御系との関係を示すブロック図である。第７図は、第６図に開示した動作制御系に付与されて作動する補助テーブル（可動テーブル）の動作例を示す図で、第７図（Ａ）は右上４５°の方向に可動テーブルが平面移動した場合を示す説明図、第７図（Ｂ）は補助テーブル（可動テーブル）が角度θだけ回動した場合を示す説明図である。第８図は、第１図乃至第４図に開示した駆動コイルの四つの角形小コイルに通電される四つの通電パターン（通電プログラムは予めプログラム記憶部に記憶される）とその機能とを示す図表である。第９図は、第６図に開示した動作制御系が四つの駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）の動作方向とを示す図で、第９図（Ａ）は第１の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）のＸ軸（正）方向への動作を示す説明図、第９図（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。第１０図は、第６図に開示した動作制御系が四つの駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート（可動テーブル）の動作方向とを示す図で、第１０図（Ａ）は第３の制御モードと可動テーブルのＹ軸（正）方向への動作を示す説明図、第１０図（Ｂ）は、この場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。第１１図は、第６図に開示した動作制御系が四つの駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）の動作方向とを示す図で、第１１図（Ａ）は第５の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）のＸ−Ｙ座標上の第１象限方向への動作を示す説明図、第１１図（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。第１２図は、第６図に開示した動作制御系が四つの駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）の動作方向とを示す図で、第１２図（Ａ）は第７の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）のＸ−Ｙ座標上の第２象限方向への動作を示す説明図、第１２図（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。第１３図は、第６図に開示した動作制御系が四つの駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）の動作方向とを示す図で、第１３図（Ａ）は第９の制御モードと補助テーブル（可動テーブル）のＸ−Ｙ座標上の原点を中心として回動する場合を示す説明図、第１３図（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。第１４図は、第１図に開示した制動プレートと四つの駆動コイル及び被駆動磁石との位置関係を示す図で、第１４図（Ａ）は制動プレートを含む部分の構造を示す部分断面図、第１４図（Ｂ）は第１４図（Ａ）中のＡ−Ａ線に沿って見た平面図である。第１５図は、第１図に開示した制動プレートの制動力発生原理を示す図で、第１５図（Ａ）は第１図の制動プレート部分を示す拡大部分断面図、第１５図（Ｂ）は、この場合の第１４図（Ａ）中のＡ−Ａ線に沿って見た制動プレートに生じる渦電流制動の発生状況を示す説明図である。第１６図は、第１図に開示した駆動コイルと制動プレートとの電気的な関係を示す図で、第１６図（Ａ）は両者を連結された場合の状態を示す等価回路、第１６図（Ｂ）は制動プレートが無い場合の駆動コイルの状態を示す等価回路である。第１７図は、第１図に開示した第１実施形態の全体的な動作例を示す説明図である。第１８図は、第１７図の動作例を平面的に見た場合の一例を示す説明図である。第１９図は、本発明の第２の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。第２０図は、第１９図の一部切り欠いた平面図である。第２１図は、本発明の第３の実施形態を示す図で、第２１図（Ａ）は一部省略した概略部分断面図、第２図１（Ｂ）は第２１図（Ａ）の矢印Ａ−Ａ線に沿ってみた一部省略した平面図である。第２２図は、本発明の第４の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。第２３図は、本発明の第５の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。第２４図は、本発明の第６の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。第２５図は、本発明の各実施形態で開示した四つの駆動コイルの固定プレート上における他の配置例と被駆動磁石との関係を示す説明図である。第２６図は、本発明における電磁駆動手段の他の例を示す図で、第２６図（Ａ）は単一の口状駆動コイルと四個の被駆動磁石とを備えた場合の例を示す説明図、第２６図（Ｂ）は四個の駆動コイルと八個の被駆動磁石とを備えた場合の例を示す説明図である。第２７図は、本発明における電磁駆動手段の他の例を示す図で、第２７図（Ａ）は単一の駆動コイルと四個の被駆動磁石とを備えた場合の他の例を示す説明図、第２７図（Ｂ）は十字状枠型に形成されたの十字状枠形駆動コイルと八個の被駆動磁石とを備えた場合の例を示す説明図である。第２８図は、本発明の第８の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。第２９図は、本発明における各実施形態に開示した駆動コイルの他の例を示す図で、駆動コイルを菱形状とした場合の例を示す説明図である。第３０図は、本発明における各実施形態に開示した田形状駆動コイルの他の例を示す図で、駆動コイルを円形状とした場合の例を示す説明図である。第３１図は、本発明における各実施形態に開示した駆動コイルの他の例を示す図で、駆動コイルを八角形状とした場合の例を示す説明図である。第３２図は、本発明の第１０の実施形態を示す縦断面図である。第３３図は、第３２図に示す第１０の実施形態の一部切り欠いた平面図である。第３４図は、第３２図のＡ−Ａ線に沿った概略横断面図である。第３５図は、第３２図に開示した第１０の実施形態の動作制御系を含む装置全体を示すブロック図である。第３６図は、第３２図に開示した補助テーブル部分の動作と位置情報検出用の容量検出電極との関係を示す説明図である。第３７図は、第３５図に開示した第１０の実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＡ１〜Ａ４の制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第３８図は、第３５図に開示した第１０の実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＡ５〜Ａ８の制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第３９図は、第３２図に開示した制動プレートを示す図で、第３９図（Ａ）はその構成を示す説明図、第３９図（Ｂ）はその動作原理を示す説明図である。第４０図は、第３２図に開示した第１０の実施形態全体の動作例を示す説明図である。第４１図は、第４０図に示す動作実施例に生じる補助テーブル部分の移動量の変化を容量検出電極が検知する場合の状態を示す説明図である。第４２図は、第３２図に開示した制動プレートの他の例を示す説明図である。第４３図は、第３２図に開示した駆動コイルの他の例を示す図で、第４３図（Ａ）は駆動コイルを三角形状とした場合の例を示す説明図、第４３図（Ｂ）は駆動コイルを円形状とした場合の例を示す説明図、第４３図（Ｃ）は駆動コイルを六角形状とした場合の例を示す説明図、第４３図（Ｄ）は駆動コイルを八形状とした場合の例を示す説明図である。第４４図は、本発明の第１１の実施形態を示す縦断面図である。第４５図は、第４４図のＡ−Ａ線に沿った概略横断面図である。第４６図は、第４４図に開示した第１１の実施形態の動作制御系を含む装置全体を示すブロック図である。第４７図は、第４６図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＢ１〜Ｂ４の制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第４８図は、第４６図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＢ５〜Ｂ８の制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第４９図は、本発明の実施形態を示す縦断面図である。第５０図は、第４９図のＡ−Ａ線に沿ってみた概略横断面図である。第５１図は、第４９図に開示した実施形態の動作制御系を含む装置全体を示すブロック図である。第５２図は、第４９図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＣ１〜Ｃ４の通電制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第５３図は、第４９図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＣ５〜Ｃ８の制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第５４図は、本発明の第１３の実施形態を示す縦断面図である。第５５図は、第５４図のＡ−Ａ線に沿ってみた概略横断面図である。第５６図は、第５４図に開示した実施形態の動作制御系を含む装置全体を示すブロック図である。第５７図は、第５４図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＤ１〜Ｄ４の通電制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第５８図は、第５４図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＤ５〜Ｄ８の制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第５９図は、本発明の第１４の実施形態を示す縦断面図である。第６０図は、第５９図のＡ−Ａ線に沿ってみた概略横断面図である。第６１図は、第５９図に開示した実施形態の動作制御系を含む装置全体を示すブロック図である。第６２図は、第５９図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＥ１〜Ｅ４の通電制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第６３図は、第５９図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＥ５〜Ｅ８の通電制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第６４図は、第５９図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＥ９〜Ｅ１０（回転動作）の通電制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第６５図は、本発明の第１５の実施形態を示す縦断面図である。第６６図は、第６５図のＡ−Ａ線に沿ってみた概略横断面図である。第６７図は、第６５図に開示した実施形態の動作制御系を含む装置全体を示すブロック図である。第６８図は、第６５図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＦ１〜Ｆ４の通電制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第６９図は、第６５図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＦ５〜Ｆ８の通電制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第７０図は、第６５図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＦ９〜Ｆ１０（回転動作）の通電制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第７１図は、本発明の第１６の実施形態を示す縦断面図である。第７２図は、第７１図のＡ−Ａ線に沿ってみた概略横断面図である。第７３図は、第７１図に開示した実施形態の動作制御系を含む装置全体を示すブロック図である。第７４図は、第７１図に開示した実施形態における駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＫ１〜Ｋ４の通電制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第７５図は、第７１図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＫ５〜Ｋ８の通電制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第７６図は、第７１図に開示した実施形態におけるテーブル駆動制御手段が実行する複数の通電制御モードＫ９〜Ｋ１０（回転動作）の通電制御内容と被駆動磁石全体の移動方向（可動テーブルの移送方向）を示す図表である。第７７図は、本発明の第１７の実施形態を示す図であり、電磁制動機構を可動テーブルとテーブル保持機構との双方に取り付けた場合の例を示す模式断面図である。第７８図は、本体の底部を本体から取り外し、かつ制動用プレートを取り外した状態で電磁制動機構における制動用磁石の配置の例を示す図である。第７９図は、第１７の実施形態における制動特性と従来例とを比較した結果を示す特性図である。
発明を実施するための最良な形態
以下、本発明の実施の形態を添付図に基づいて説明する。
発明を実施するための最良な形態
以下、本発明の実施の形態を添付図に基づいて説明する。
本発明の第１の実施形態を第１図乃至第１８図に示す。第１図乃至第１８図において、符号１は可動テーブルを示し、符号２はテーブル保持機構を示す。このテーブル保持機構２は第１図に示すように、ケース本体（本体部）３の下方部分に配設されている。当該テーブル保持機構２は、前記可動テーブル１が同一面内で任意の方向へ移動するのを許容すると共に当該可動テーブル１に元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブル１を保持するように構成されている。
このテーブル保持機構２は本体部としてのケース本体３によって支持されている。
本実施形態に係るケース本体３は第１図に示すように、上方および下方が開放された箱体状に形成されている。
付号４は電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段４は、その主要部がケース本体３側に保持され、前記可動テーブル１に移動力（送り）を付与する機能を備えている。符号３Ａは、ケース本体３の内壁部周囲に内側方向に突設された本体側突出部を示す。
本実施形態に係る電磁駆動手段４は、可動テーブル１と後述する補助テーブル５との間に配設されている。
補助テーブル５は、磁性材料から形成され、前記可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に当該可動テーブル１に連結装備されている。そして、前記テーブル保持機構２は、この補助テーブル５側に装備され、該補助テーブル５を介して可動テーブル１を保持するように構成されている。
前記電磁駆動手段４は、補助テーブル５の所定位置に固定装備された四個の正方形形状の被駆動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置された十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６と協働して前記可動テーブル１に所定移動方向に沿う磁力による所定の移動力（送り）を付与する田形状駆動コイル７と、この田形状駆動コイル７を定位置にて保持すると共に前記補助テーブル５の可動テーブル１側に装備された固定プレート８とを備えている。この固定プレート８は、磁性部材から形成されている。なお、駆動コイル７は、巻回した端部の形状を強調するために閉回路のように図示しているが、この駆動コイル７は、ソレノイド状に巻回されて両端に通電用の２つの端子を備えた構成であり、通電により磁力を発生する構造になっている。この駆動コイルの図示方法は、以下に説明する各実施形態においても同様である。
更に、前記複数の田形状駆動コイル７は、前記被駆動磁石６と対面する端面側に非磁性金属部材（例えば電気抵抗の少ない銅製部材）からなる制動用プレート９をそれぞれ備えており、当該制動用プレート９は、対面する被駆動磁石６の磁極面に近接している。この制動用プレート９は、前記固定プレート８側に固着されている。
以下、これを更に詳細に説明する。
〔可動テーブルと補助テーブル〕
第１図乃至第４図において、可動テーブル１は円形状に形成され、補助テーブル５は四角形状に形成されている。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に配置され、その中心部の連結支柱１０を介して前記可動テーブル１に一体的に連結されている。このため、この可動テーブル１は、補助テーブル５と平行状態を維持しつつ一体的に移動し且つ一体的に回転し得るようになっている。
連結支柱１０は、前述したように可動テーブル１と補助テーブル５とを連結する連結部材であって、両端部に鍔部１０Ａ，１０Ｂを備えた断面工字状に形成され、その両端部外側中央には、可動テーブル１と補助テーブル５との各中心部に形成された位置決め孔１ａ，５ａに係合する突起１０ａ，１０ｂが設けられている。
可動テーブル１と補助テーブル５とは、突起１０ａ，１０ｂと鍔部１０Ａ，１０Ｂとによって位置決めされ当該連結支柱１０に固着され一体化されている。この一体化に際しては本実施形態では接着剤が用いられているが、溶接にて部分的に接合しても、或いは突起１０ａ，１０ｂ部分を位置決め孔１ａ，５ａに圧入し他の部分を接着剤又は溶接等によって一体化してもよい。なお、可動テーブル１或いは補助テーブル５の何れか一方をネジ止めにて前記連結支柱１０の鍔部１０Ａ又は１０Ｂに着脱自在に固着してもよい。この場合、ネジ止め後に、数本のノックピンを位置決め固定用として係合し両者間に打ち込むようにしてもよいものである（図示せず）。このようにすると、可動テーブル１と補助テーブル５とを確実に一体化することができる。
〔テーブル保持機構〕
本実施形態に係るテーブル保持機構２は、可動テーブル１を保持しつつ当該可動テーブル１をその高さ位置を変えることなく同一面上のいずれの方向へも自在に移動可能とする機能を備えたものであり、補助テーブル５を介してこれを実行するようにしたものである。
このテーブル保持機構２は、リンク機構を三次元空間に応用したものであり、所定間隔を隔てて設置される二本のピアノ線を一組として予め補助テーブル５の端部周囲のコーナー部分に対応して四組準備し、この四組のピアノ線を組毎に、四角形状の中継プレート２Ｇの各四隅部分に分けてそれぞれ上方向に向けて植設する。前記テーブル保持機構２は、内側に位置する四本のピアノ線２Ａで補助テーブル５を下方から保持し、外側に位置する四本のピアノ線２Ｂで中継プレート２Ｇを本体部３から揺動自在に吊り下げた構成となっている。なお、２本のピアノ線は、可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材であれば他の部材であってもよい。
これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が中継プレート２Ｇと各四本のピアノ線２Ａ，２Ｂとによって空中で安定した態様で保持され、その水平面内での移動は、後述するように同一の高さ位置を維持しつつ何れの方向にも自在に移動可能となっている。補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の同一面内での回転動作もほぼ同様に可能となる。
これを更に詳述する。
前記テーブル保持機構２は、補助テーブル５の周端部の四隅部分からそれぞれ第１図の下方に向けて植設された四本のテーブル側ピアノ線２Ａと、この各テーブル側ピアノ線２Ａの第１図における下端部に装備された中継プレート２Ｇと、この中継プレート２Ｇを本体部３側から吊り下げるように構成され前記テーブル側ピアノ線２Ａの外側に装備された本体側ピアノ線２Ｂとを備えている。
この四本のテーブル側ピアノ線２Ａは、第１図における上端部が補助テーブル５に固着され、下端部が中継プレート２Ｇに固着されている。符号５Ａ，５Ｂは補助テーブル５の下面側の二箇所に設けられた下方突出部を示す。この下方突出部５Ａ，５Ｂによってテーブル側ピアノ線２Ａの固定位置が設定されている。
この四本の各テーブル側ピアノ線２Ａの外側には、所定間隔Ｓを隔てて本体側ピアノ線２Ｂがそれぞれ個別に且つ平行に配設されている。この本体側ピアノ線２Ｂは、その下端部が前記テーブル側ピアノ線２Ａと同様に中継プレート２Ｇに固着され、その上端部がケース本体３の内壁部に設けられた本体側突出部３Ｂに固着されている。
これらの各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、前述したように可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材によって形成されている。
これにより、前記可動テーブル１は、補助テーブル５と共に中継プレート２Ｇ上にて内側の４本のテーブル側ピアノ線２Ａによって支持され、当該４本のテーブル側ピアノ線２Ａの弾性限界内においてリンク機構の原理に従ってその平行移動および面内での回転が許容された状態となっている。
一方、中継プレート２Ｇは、当該中継プレート２Ｇ上の外側に位置する４本のテーブル側ピアノ線２Ｂによって本体側突出部３Ｂに吊持されていることから、ケース本体３に対してはその平行移動および面内での回転が同様に許容された状態となっている。
このため、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が、外力を受けて面内で移動し又は回転すると、後述する第１７図に示すようにテーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂが同時に弾性変形して中継プレート２Ｇが平行状態を維持しつつ上下動する。そして、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が外力によって面内で移動し又は回転すると、その高さ位置の変動は、中継プレート２Ｇの高さが上下に変動することにより吸収される。
これにより、可動テーブル１は、外力を受けて移動しても、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性限界内において何れの方向へも同一高さを維持しつつ移動することが可能となっている。
ここで、テーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは同一の直径を備え同一の弾性を備えたものが使用され、その実効長Ｌはそれぞれ全く同一に設定されている。又、本実施形態に係る各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、例えば第１図，第３図に示すように、左右方向に沿って配設されているが、Ｘ−Ｙ面上におけるＸ軸およびＹ軸に対してそれぞれ線対称に成る位置に配設されておれば、第２図に示す位置以外の位置に配設してもよい。
可動テーブル１の移動に際して各ピアノ線２Ａ，２Ｂには弾性応力がそれぞれ均一に生じることから、可動テーブル１の元位置復帰を含めて可動テーブル１を円滑に移動し得るという利点を得ることができる。
このように、前記テーブル保持機構２は、例えば補助テーブル５が全体的に同一方向にスライド移動すると、各組の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは全て同一に変形することとなる。この場合、本体側ピアノ線２Ｂは、その端部が保持された状態で弾性変形することから、同様に弾性変形するテーブル側ピアノ線２Ａの変形動作により補助テーブル５の高さ位置は不変となり、代わって、両ピアノ線２Ａ，２Ｂに共通に支持された中継プレート２Ｇの高さ位置が変動する。
換言すると、この中継プレート２Ｇが両ピアノ線２Ａ，２Ｂの変形で生じる高さ位置の変動を吸収することになり、これにより、補助テーブル５（即ち可動テーブル１）は全体的に高さ変動することなく同一面内でスライド移動することとなる。この場合、補助テーブル５から外力を開放すると、当該補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用（復元力）によって一直線に元位置に復帰する。
また、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が同一面内で回転駆動された場合にも、同等の理由から補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は全体的にほぼ同一の高さを維持しつつ同一面内で回転動作することとなる。この場合にも、補助テーブル５から外力を開放すると、補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用（復元力）により一直線に元位置に復帰する。
〔電磁駆動手段〕
可動テーブル１と補助テーブル５との間には、前述したように、補助テーブル５を介して可動テーブル１に対し所定の移動力を付与する電磁駆動手段４が装備されている（第１図参照）。
本実施形態に係る電磁駆動手段４は、補助テーブル５上に装備された四個の被駆動磁石（本実施形態では永久磁石が使用されている）６と、この各被駆動磁石６を介して可動テーブル１に所定の移動方向に向けて所定の電磁力を発生する四個の田形状駆動コイル７と、この各田形状駆動コイル７を保持する固定プレート８とを備えている。
固定プレート８は第１図に示すように、補助テーブル５の可動テーブル１側（補助テーブル５と可動テーブル１との間）に装備され、その周囲がケース本体３に固着装備されている。ここで、この固定プレート８については、第１図の左右両端部のみがケース本体３に固定装備されるように構成してもよい。この固定プレート８の中央部には、前記連結支柱１０の所定範囲内での平行移動を許容する貫通穴８Ａが形成されている。本実施形態に係る貫通穴８Ａは円形形状に形成されているが、四角形であっても、或いはその他の形状であってもよい。要は、固定プレート８の貫通穴８Ａは、連結支柱１０の動きを許容する形状であれば、いずれの形状であってもよいものである。
前記固定プレート８は、前述したように、その周囲全体が本体側突出部３に保持されている。この場合、固定プレート８と本体側突出部３Ａとは、その一体化を堅牢にするため、ネジ止め後にノックピン等で一体化しても、或いは溶接等で一体化してもよい。このようにすると、可動テーブル１のミクロン（μ）単位の変位や移動に対しても、固定プレート８がケース本体３に対して位置ずれを生じることなく円滑にこれに対応することができるという利点が生じる。
本実施形態に係る前記四個の被駆動磁石６は第２図，第３図に示すように、駆動コイル７に対向する対向面が四角形状をなす永久磁石から形成されている。
ここで、可動テーブル１の位置移動を制御するために、可動テーブル１が移動する同一面内に設定した原点を通る１つの軸線を基準として円周方向に等分して複数の軸線を設定している。本実施形態の場合、前記原点は、固定プレート８の中心部に一致させて設定している。
第２図及び第３図に示す本実施形態では、可動テーブル１が移動する同一面内に設定した原点を通る１つの軸線を基準として円周方向に９０°の角度毎に４等分して４本の軸線を設定している。そして、前記原点を通って互いに反対方向に伸びる２本の軸線の組をそれぞれＸ軸とＹ軸とし、Ｘ軸，Ｙ軸に一致する方向をＸ方向，Ｙ方向として想定している。したがって、これらのＸ方向とＹ方向とは前記原点にて直交している。
また、可動テーブル１の移動の起点となる位置は、本体部３上に可動テーブル１が外力を受けずにフリーな状態で存在するときの連結支柱１０の中心位置、すなわち可動テーブル１の中心位置とし、この中心位置と前記Ｘ−Ｙ方向が交差する原点とを固定プレート８の中心位置上にて一致させている。
第２図及び第３図に示すように、前記４個の被駆動磁石６は、前記補助テーブル５上の前記Ｘ−Ｙ方向（４本の軸線上）であって、かつ前記原点から等距離の位置にそれぞれ配設され固着されている。
この四個の被駆動磁石６に対向する位置には、田形状駆動コイル７が、前記四個の被駆動磁石６に個別に対応して固定プレート８上の定位置に、固着装備されている。前記田形状駆動コイル７は、その中央部に前記Ｘ−Ｙ軸に沿う十字状のコイル辺を有し、且つ通電により発生する磁力と各被駆動磁石６の磁力との相互磁気作用により前記可動テーブル１に所定の移動方向に沿って移動力（送り）を付与する。
この場合、四個の被駆動磁石６の向きは、田形状駆動コイル７に面する側の磁極が、本実施形態ではＸ軸上のものはＮ極に、Ｙ軸上のものはＳ極に、それぞれ設定されている（第２図，第３図参照）。
このため、駆動コイル７の十字状コイル辺の縦方向又は横方向に生じる磁力と被駆動磁石６の磁力との間に発生する磁力は、常にＸ軸方向又はＹ軸方向に統一され、その合力が常に最大値となるように設定されている。このため、発生する磁力を効率良く可動テーブル１に対する駆動力として出力することが可能となる。
また、前記田形状駆動コイル７については、その大きさは内側に有する十字状コイル辺の長さが前記被駆動磁石６の最大移動範囲を許容する寸法に設定されている。
このため、四個の被駆動磁石６との間に生じる田形状駆動コイル７の電磁力は、当該田形状駆動コイル７が固定プレート８上の定位置に固定されていることにより、当該被駆動磁石６を介して補助テーブル５に対する所定方向への移動力として確実に出力されることとなる。
〔田形状駆動コイル〕
電磁駆動手段４の主要部を成す田形状駆動コイル７は、例えば第５図に示すように、それぞれ独立して通電可能な四個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄにより構成されている。そして、４個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの内側の互いに十字状に突き合わされたコイル部分が前記十字状のコイル辺を形成している。
このため、各角形小コイル７ａ〜７ｄの通電方向を後述する動作制御系によって外部から切り換え制御することにより、例えば田形状駆動コイル７の内部の十字状部分に流れる電流を図中の縦方向又は横方向の何れか一方に限定して通電（正又は逆方向を含めて）することが可能となり、これにより対応して配置された被駆動磁石６に対しては、フレミングの左手の法則に従って当該各被駆動磁石６を所定の方向へ押圧する電磁力（反力）を出力することができる。
この四個の角形小コイル７ａ〜７ｄに生じる電磁力の方向を組み合わせることにより、前記田形状駆動コイル７の内側に位置する十字状のコイル辺部分に、縦方向又は横方向等の何れか一方への通電状態が設定され、これによって、対応する被駆動磁石６に所定方向への電磁駆動力が出力される。そして、前記四個の被駆動磁石６に生じる電磁駆動力の合力によって、前記補助テーブル５に対してＸ−Ｙ軸上で回転動作を含む任意の方向に向けて移動力が付与されるようになっている。
これら四個の角形小コイル７ａ〜７ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第６図，第８図）で詳述する。
又、この四個の角形小コイル７ａ〜７ｄは中空のコイルもよいが、内側にフェライト等の被導電性磁性部材を充填したものであってもよい。第５図において、コイルの内側の斜線部分は磁束鎖交領域を示す。
符号９は、被駆動磁石６に近接対向して田形状駆動コイル７側に固定装備された制動用プレートを示す。
〔位置検出センサ機構〕
前記電磁駆動手段４によって駆動される補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の移動状態は、位置検出センサ機構２５によって検出される。
第６図に示す位置検出センサ機構２５は、静電容量型の複数の検出電極（本実施形態では８個）を備えた容量センサ群２６と、この容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を電圧変換すると共に所定の演算をして位置変化情報として後述するテーブル駆動制御手段２１に送り込む位置情報演算回路２７とを備えた構成となっている。
前記位置情報演算回路２７は、前記容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を個別に電圧変換する信号変換回路部２７Ａと、この信号変換回路部２７で変換された複数の容量変化成分にかかる電圧信号を所定の演算によりＸ−Ｙ座標上の位置を示すＸ方向位置信号ＶＸ及びＹ方向位置信号ＶＹに変換し、更には回転角信号θを演算して出力する位置信号演算回路部２７Ｂとにより構成されている。
前記複数の容量センサ群２６は第１図乃至第４図に示すように、補助テーブル５の周囲の下面部分に対向して且つ前記本体側突出部３Ｂの上面に所定間隔を隔てて配設された８個の角形の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４と、これに対応して前記補助テーブル５の周囲の下面部分に設定された比較的幅の広い共通電極（図示せず）とにより構成されている。
そして、前記各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４の内、容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２が第２図，第３図の右端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備され、これに対して容量検出電極２６Ｘ３，２６Ｘ４が第２図，第３図の左端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
また、前記各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４の内、容量検出電極２６Ｙ１，２６Ｙ２が第２図，第３図の上端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備され、容量検出電極２６Ｙ３，２６Ｙ４が第２図，第３図の下端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
そして、例えば前記補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が電磁駆動手段４による送りを付与されて、第７図（Ａ）に示すように矢印Ｆの方向（図中、右上方向）に移動動作した場合、本実施形態では、補助テーブル５の両側に（及び上下方向に）位置する一方の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２（２６Ｙ１、２６Ｙ２）と他方の２６Ｘ３，２６Ｘ４（２６Ｙ３，２６Ｙ４）で検出される容量変化成分が、信号変換回路２７Ａで電圧変換された後に位置信号演算回路２７Ｂに送り込まれ、この位置信号演算回路２７Ｂで前記各変換電圧を入力してＸ方向位置信号ＶＸ−Ｙ方向位置信号ＶＹとして差動出力するように構成されている。
前記補助テーブル５が電磁駆動手段４による送りを受けて第７図（Ｂ）に示すように矢印方向に回転動作した場合、本実施形態では、前記の場合と同様に各部が作動し同様に機能し、変化成分が電圧変換されて所定の回転角信号θとして差動出力されるように構成されている。
このため、本実施形態にあっては、第３図の左右（及び上下）の各容量検出電極に同時に印加されるノイズを差動出力（例えば、Ｘ軸方向の一端部と他端部に配置された容量検出電極に検知される容量変化の差をとること：外部雑音排除機能）によって打ち消すことができ、同時に測定値が電圧変換された後にその変化分が合算されて出力されるので（減少した分がマイナス分として引き算されること、例えばＡ−（−Ａ）＝２Ａの如きもの）、これにより補助テーブル５（可動テーブル１）の位置情報を高感度に出力することができるという利点がある。
〔動作制御系〕
本実施形態にあっては、前記電磁駆動手段４には、前記複数の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御して前記可動テーブル１の移動若しくは回転動作を規制する動作制御系２０が併設されている（第６図参照）。
この動作制御系２０は第６図に示すように、前記電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７を所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル１を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１と、このテーブル駆動制御手段２１に併設され前記可動テーブル１の移動方向，回転方向，およびその動作量等が特定された複数の制御モードにかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
テーブル駆動制御手段２１には、複数の各田形状駆動コイル７に対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。このテーブル駆動制御手段２１には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置検出センサ機構２５によって検出され後述するように高感度に演算処理されて送り込まれるようになっている。
本実施形態に係る前記テーブル駆動制御手段２１は、主制御部２１Ａとコイル駆動制御部２１Ｂとを有している。主制御部２１Ａは、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２から選択し前記複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電制御する機能を有している。コイル駆動制御部２１Ｂは、前記主制御部２１Ａにて設定される制御モードに従って所定の四個の各田形状駆動コイル７，７……を同時に且つ個別に駆動制御する機能を有している。
主制御部２１Ａは、前記機能に加えて、テーブル位置を検出する位置検出センサ機構２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。
符号４Ｇは、前記電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電する電源回路部を示す。
前記テーブル駆動制御手段２１は、前記位置検出センサ機構２５からの情報を入力して所定の演算を行いこれに基づいて予め動作指令入力部２４で設定した移動先の基準位置情報とのズレを算定する位置ずれ演算機能と、この算定された位置ずれ情報に基づいて電磁駆動手段４を駆動し予め設定された移動先の基準位置に当該可動テーブル１を移送制御するテーブル位置補正機能とを備えている。
このため、本実施形態にあっては、可動テーブル１の移動方向が外乱等によってずれた場合には当該ずれを修正しながら可動テーブル１を所定の方向に移送制御することとなり、これにより当該可動テーブル１は迅速且つ高精度に予め設定した目標位置に移送されることとなる。
〔プログラム記憶部〕
前記テーブル駆動制御手段２１は、プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の通電パターンおよびその選択組合せである所定の制御モード）に従って前記電磁駆動手段４の四個の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、前記プログラム記憶部２２には、本実施形態にあっては前記四個の各田形状駆動コイル７，７，……に対する基本的な四つの通電パターンを実行するためのプログラムが記憶されている（第６図，第８図参照）。
第８図は、田形状駆動コイル７（固定子側）の四個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄに対する四種類の通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄと、その時に各田形状駆動コイルの十字辺部分に生じる電流の向き、及びこれに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
第８図において、通電パターンＡの場合は、一方の角形小コイル７ａ，７ｂに対しては左回りの電流が，他方の角形小コイル７ｃ，７ｄに対しては右回りの電流がそれぞれ通電制御され、これによって中央部に位置する十字状のコイル辺部分では、外部に出力される磁束が全体的に加算又は相殺され、その結果としてＸ軸の正方向の電流ＩＡのみが通電されたのと同等の状態となる。
通電パターンＢでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによってＸ軸の負方向の電流ＩＢのみが通電されたのと同等の状態となる。通電パターンＣでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによってＹ軸の正方向の電流ＩＣのみが通電されたのと同等の状態となる。同様に、通電パターンＤでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによって、Ｙ軸の負方向の電流ＩＤのみが通電されたのと同等の状態となる。
前記四つの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラムに基づいて実行されるようになっている。
第８図に示した白抜き矢印は、これらの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６との間に発生する電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
この場合、対応する各電磁力は田形状駆動コイル７の通電コイル辺部分にフレミングの左手の法則によって発生するが、当該田形状駆動コイル７が固定プレート８上に固定されていることから、その反力が電磁駆動力（推力）として被駆動磁石（永久磁石）６側に向けて発生する。
第８図に示した白抜き矢印は、その反力（電磁駆動力）を示すものである。このため、この反力（電磁駆動力）は、被駆動磁石６の磁極Ｎ，Ｓの種類によってその向きが反転する。
プログラム記憶部２２には、前記固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ平面上にて可動テーブル１をＸ軸の正負二方向およびＹ軸の正負二方向にそれぞれ移動せしめる第１乃至第４の制御モードと、Ｘ−Ｙ平面上に設定される各象限内の所定方向に可動テーブル１を移動せしめる第５乃至第８の制御モードと、可動テーブル１を所定位置にて時計方向又は反時計方向に回転動作せしめる第９乃至第１０の各制御モードにかかる各動作プログラムが記憶されている。
第９図乃至第１３図に、それぞれ前記第１乃至第１０の各制御モードにかかる動作プログラムを実行した場合に生じる各田形状駆動コイル７の機能および補助テーブル（可動テーブル１）の動作状態の一例をそれぞれ示す。
第９図（Ａ）（Ｂ）は、第１の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第１の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御される。第９図（Ａ）において、記号Ｎ，Ｓは、各被駆動磁石（永久磁石）６の磁極の種類を示す。
その結果、この第１の制御モードでは、各被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＸ１，ＦＸ２，ＦＸ３，ＦＸ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによって、Ｘ軸上の正の方向（矢印＋ＦＸ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
第９図（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ軸上の正の方向に補助テーブル５を移送する場合には、特に、Ｙ軸上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさの駆動力を発生させることが重要となる。
第２の制御モードの場合は、Ｘ軸上の負の方向（図示せず）に補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを前記第１の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第２の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御される。これより、Ｘ軸上の負の方向に補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
第１０図（Ａ）（Ｂ）は、第３の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第３の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
その結果、この第３の制御モードでは、各被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＹ１，ＦＹ２，ＦＹ３，ＦＹ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによって、Ｙ軸上の正の方向（矢印＋ＦＹ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
第１０図（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｙ軸上の正の方向に補助テーブル５を移送する場合には、特に、Ｘ軸上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさの駆動力を発生させることが重要となる。
第４の制御モードの場合は、Ｙ軸上の負の方向に補助テーブル５を移送する場合（図示せず）であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを前記第３の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第２の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御される。これより、Ｙ軸上の負の方向に補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
第１１図（Ａ）（Ｂ）は、第５の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
その結果、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＸ１，ＦＸ３の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＹ２，ＦＹ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸ−Ｙ軸上の中心点から第１象限方向に向けて（矢印ＦＸＹ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
第１１図（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第１象限方向に向かう方向（矢印ＦＸＹ）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形状駆動コイル７，７……に通電される電流値の大きさを適当に設定することによって、その移動方向を変化させることができる。かかる通電電流の大きさは前記主制御部２１Ａで設定制御される。
第６の制御モードの場合は、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第３象限方向（図示せず）に向けて補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを前記第５の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御される。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第３象限方向に向けて補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
第１２図（Ａ）（Ｂ）は、第７の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第７の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
その結果、この第７の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印−ＦＸ１，−ＦＸ３の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＹ２，ＦＹ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸ−Ｙ軸上の中心点から第２象限方向に向けて（矢印ＦＹＸ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
第１２図（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第２象限方向に向かう方向（矢印ＦＹＸ）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形状駆動コイル７，７……に通電される電流値の大きさを適当に設定することによって、その移動方向を変化させることができる。かかる通電電流の大きさは、前記主制御部２１Ａで設定制御される。
第８の制御モードの場合は、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第４象限方向（図示せず）に向けて補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを前記第７の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第８の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御される。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第４象限方向に向けて補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
第１３図（Ａ）（Ｂ）は、第９の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第９の制御モードでは、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）を所定角度θ分、回転動作させるためのもので、この制御動作では、所定の許容範囲内において中心軸を有しない補助テーブル５を左回りの円運動をさせ所定位置での静止動作が可能としたものである。
即ち、この第１３図（Ａ）に示す第９の制御モードでは、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＡの手法によって、Ｘ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＢの手法によって、Ｙ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＤの手法によって、又Ｙ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＣの手法によって、それぞれ通電制御される。
その結果、この第９の制御モードでは、各田形状駆動コイル７，７，……に対応した各被駆動磁石（永久磁石）６には、第１１図に示すようにそれぞれ左回りの方向に沿って各軸に直交する方向ＦＹ１，−ＦＸ２，−ＦＹ３，又はＦＸ４に向けてそれぞれ電磁駆動力が発生する。
このため、第１３図（Ａ）に示したように、当該各被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力の大きさをそれぞれ同一の大きさＰに設定制御することにより、補助テーブル５は所定の許容範囲内において中心軸を有しない状態でも左回りの円運動をし所定位置での静止動作が可能となる。
この場合、円運動後の停止位置は、全体の電磁駆動力と前記テーブル保持機構２のバネ作用による元位置復帰力とのバランス点（所定角度θ分、回転した位置）となり、かかる位置は設定回転角度と前記電磁駆動力との関係として予め実験的に特定され、検索可能に図表化（マップ化）されて前記データ記憶部２３に記憶されるようになっている。
第１３図（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点Ｏを回転中心として補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は所定角度θだけ左回りに回転し停止することとなる。
この場合、回転後の停止位置を設定する回転角度θの大きさは、各田形状駆動コイル７，７・・に通電される同一の電流値の大きさを適当に設定制御することにより、その回転角度θが定められる。かかる通電電流の大きさは前記主制御部２１Ａで設定制御される。
第１０の制御モードの場合は、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）を右回りに回転させる場合である。このため、この第１０の制御モードでは、前記各田形状駆動コイル７，７……に通電される同一の電流の向きを逆方向に設定すればよい。
即ち、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＢの手法により、Ｘ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＡの手法により、Ｙ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＣの手法により、そしてＹ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＤの手法により、それぞれ通電制御される。
これより、Ｘ−Ｙ軸上で、補助テーブル５は右回りに所定角度θ分だけ、円滑に回転制御されることとなる（図示せず）。
これらの各通電パターンおよび各制御動作にかかる動作プログラムは、テーブル駆動制御手段２１に併設された動作プログラム記憶部２２に出力可能に記憶されている。そして、テーブル駆動制御手段２１は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて前記各動作プログラムの何れかを選択し、これに基づいて前記電磁駆動手段４を駆動制御するようになっている。
〔電磁制動機構〕
電磁制動機構は、相互に対面し、かつ可動テーブル１の動きに同期して相対的に移動する制動用磁石と非磁性及び導電性の制動プレート９とを含んでいる。前記制動用磁石と前記制動プレート９とのうち一方は定位置に固定され、他方は前記可動テーブル１の動きに同期して移動可能に設けられ、当該制動用磁石と当該制動プレート９との組は、前記可動テーブル１の移動に伴って当該制動プレート９に発生する渦電流による磁力と当該制動用磁石の磁力との磁気作用に基づく制動力を発生するという構成になっている。
本実施形態に係る電磁制動機構の前記制動用磁石として、被駆動磁石６を用いている。前記四個の各田形状駆動コイル７の被駆動磁石６に対向した側の端面部分には、第１４図に示すように、非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９が、周囲から絶縁された状態で各被駆動磁石６の磁極面に対向し且つ近接してそれぞれ固着装備されている。
前記電磁制動機構は、補助テーブル５（可動テーブル１）の急激な移動動作に対してこれを抑制しつつ当該補助テーブル５（可動テーブル１）を緩やかに移動させる機能を備えている。
ここで、第１４図（Ａ）は、第１図の制動用プレート９部分を示す部分断面図である。また、第１４図（Ｂ）は、第１４図（Ａ）の矢印Ａ−Ａ線に沿って見た平面図を示す。
四個の被駆動磁石６が装備された補助テーブル５又は可動テーブル１が急激な移動動作をした場合には、当各該被駆動磁石６とこれに対応した各制動用プレート９との間に、電磁制動（渦電流ブレーキ）が働く。これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は急激な移動動作が抑制されて徐々に移動することとなる。
第１５図（Ａ）（Ｂ）に、前記電磁制動（渦電流ブレーキ）の発生について示す。
この図において、制動用プレート９は、被駆動磁石６のＮ極に対向して田形状駆動コイル７の端部に固着されている。
いま、補助テーブル５が図の右方向に速度ｖ１で急激に移動すると、金属製の制動用プレート９は（固定されているため）、相対的に図の左方向に同一の速度ｖ２（＝ｖ１）で急激に移動することになる。これにより、制動用プレート９内にはフレミングの右手の法則に従って速度ｖ２に比例した大きさの起電力ＥＶが第１５図（Ｂ）に示す方向（図中、上向き）に発生し、これにより同矢印の方向に左右対象の渦電流が流れる。
次に、起電力ＥＶの発生領域にはＮ極からの磁束が存在することから、この被駆動磁石６の磁束と制動用プレート９内の（起電力ＥＶ方向の）渦電流との間にフレミングの左手の法則に従って所定の移動力ｆ１が、制動用プレート９内に（図の右方向に向けて）発生する。
一方、制動用プレート９は固定プレート８上で固定されているため、移動力ｆ１の反力ｆ２が被駆動磁石６上に制動力として発生し、その向きは移動力ｆ１の向きとは逆の向きになる。即ち、この制動力ｆ２は、被駆動磁石６（即ち補助テーブル５）の最初の急激な移動方向とは逆の方向となり、しかも、その大きさは当該補助テーブル５の移動速度に比例した大きさとなることから、当該補助テーブル５はその急激な移動が適度の制動力ｆ２によって抑制され、安定した状態で円滑に移動することとなる。
他の制動用プレート９の箇所でも全く同様に所定の制動力ｆ２が発生する。
このため、被駆動磁石６を備えた補助テーブル５では、例えば急激な停止動作に際しては当該停止箇所にて往復動作が生じ易いが、これに対してはその動作が適度に抑制されて円滑に緩やかに移動することとなる。このため、全体的にはこの各制動用プレート９が有効に機能して、補助テーブル５（可動テーブル１）を安定した状態で移動させることができる。又、外部からの振動によって補助テーブル５が往復微小振動した場合にも、同様に機能してかかる往復微小振動は有効に抑制される。
この各田形状駆動コイル７の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の各制動用プレート９は第１６図に示すように、各田形状駆動コイル７との関係ではトランスの二次側回路を構成し、且つ所定の低抵抗ｒ（渦電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
第１６図において、Ｋ１は田形状駆動コイル７を表す一次側巻線を示し、Ｋ２は制動用プレート９に相当する二次側巻線を示す。第１６図（Ａ）は、制動用プレート９内の電気抵抗成分（低抵抗ｒ：渦電流損を生じる）を介して当該二次側巻線部分が短絡された状態を示す。この場合、制動用プレート９内には、二次側巻線の短絡状態と同等の電流（即ち、駆動コイル７の磁束の大小に比例した渦電流）が流れる。他の制動用プレート９が付された箇所も全く同様の状態となっている。又、第１６図（Ｂ）は、制動用プレート９が無い状態（二次側巻線部分が開放された状態）を示す。
このため、この場合の一次側回路を構成する各田形状駆動コイル７は、起動時の立ち上がり時（過渡状態）におけるコイルのインダクタンス成分による大きな抵抗が存在しても、二次側短絡によりその影響を有効に低減することができる。この点において、起動時から比較的大きい電流を通電することができ、前記被駆動磁石との間には当該制動用プレート９が無い場合に比較して電磁駆動力を迅速に出力することができる。
前記各制動用プレート９は、各田形状駆動コイル７の駆動時に生じる熱を放熱する機能を兼ね備えている。かかる点において駆動コイルの連続運転に伴って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下（即ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制して通電電流を長時間ほぼ一定レベルに設定することができる。このため、電磁駆動手段から出力される電磁駆動力に対する外部からの電流制御を安定した状態にて継続することができ、径年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができる。これにより、装置全体の耐久性、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
尚、本実施形態において、前記制動用プレート９は、制動用プレートとしての各田形状駆動コイル７毎にそれぞれ装備した場合を例示したが、この制動用プレート９を、二個以上の田形状駆動コイル７に共通に作用する単一の制動用プレートとして形成し、この単一の制動用プレートに複数の田形状駆動コイル７を対面させるように構成したものであってもよい。
〔前記実施形態の全体的な動作〕
次に、前記第１の実施形態の全体的な動作について説明する。
第６図において、まず動作指令入力部２４から、可動テーブル１を所定位置へ移動させるための動作指令が入力されると、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択し、続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを作動させ、電磁駆動手段４の四つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
第１７図，第１８図に、可動テーブル１をＸ軸の正方向への所定位置へ移動する旨の指令が動作指令入力部２４から入力され、これに基づいて装置全体が作動した状態を示す。
この事例では、制御モードとしては第９図に示す第１の制御モードが選択され、これに従って各四つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ第９図に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って動作したことを示す。
この場合、前記ステージ保持機構２では、補助テーブル５が電磁駆動手段４によって図の右方に送りを与えられると、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性力（元位置復帰力）に抗して当該補助テーブル５が移動する。そして、この補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において停止する。
第１７図，第１８図において、符号Ｔは移動した距離を示す。
第１８図において、斜線部分は補助テーブル５の移動によって前記他方の容量検出電極２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量成分が減少した部分を示し、交差斜線部分は前記一方の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２の容量成分が増加した部分を示す。尚、第１８図には、Ｙ軸方向への位置ずれが無い場合が示されている。
動作中に、外乱等によって補助テーブル５の移動位置が目標位置からずれた場合には、この容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量成分の増加減少の情報に基づいて実際の移動後の位置が検出され、位置ずれ防止用のフィードバック制御が行われるようになっている。
一方、かかる状態から補助テーブル５に印加されている電磁駆動力が開放されると、補助テーブル５はピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力に付与されて元位置に復帰する。
かかる一連の動作にあって、補助テーブル５の移動動作は、通常は電磁駆動力の印加制御又は開放制御の何れの場合でも急激に行われる。このため、補助テーブル５（又は可動テーブル１）には、移動先での停止時又は元位置復帰に際しての停止位置において、慣性力及びばね力に起因した繰り返し動作（往復動作）が生じる。
しかしながら、本実施形態にあっては、かかる繰り返し動作（往復動作）は制動用プレートと被駆動磁石との間に生じる電磁制動電流ブレーキによって抑制され、所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
動作指令入力部２４から、可動テーブル１を前記以外の他の所定位置へ移動させるための動作指令が入力された場合にも、前記場合と同様にテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択する。これと同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択する。続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを付与し、電磁駆動手段４の四つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
そして、この場合も、前記場合と同様の制御動作および制動用プレートによる制動動作が実行され、補助テーブル５（可動テーブル１）は所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
このように、前記第１の実施形態にあっては、従来の場合に必要としていた重厚な二重構造のＸ−Ｙ軸移動保持機構を用いることなく、補助テーブル５（可動テーブル１）を、中心位置から（所定範囲内において）同一の高さ位置を維持しつつＸ−Ｙ平面上のいずれの方向に対しても円滑に移動させ或いは同一面内での回転駆動を実行させることができる。
このため、前記第１の実施形態によると、構造が簡単なので、装置全体の小型化軽量化が可能となり、かかる点において可搬性を著しく改善することができるばかりでなく、従来例と比較して部品点数も少なくなるという利点がある。さらに、部品点数が少なくなることに関して、耐久性を著しく向上させることができ、組立時の調整に熟練を必要としないため生産性を高めることができる。
被駆動磁石６が装備された補助テーブル５（可動テーブル１）が急激に動作変化しても、当該被駆動磁石６と非磁性金属部材からなる制動用プレート９との間に急激な変化に比例した大きさの電磁制動（渦電流ブレーキ）力が働くことから、可動テーブル１はその急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で円滑に移動することができる。
この制動用プレート９については各被駆動磁石６に対向した状態で個別に田形状駆動コイル７に装備するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段４も補助テーブル５に装備した被駆動磁石６とこれに対向して固定プレート８に田形状駆動コイル７を装備するという簡単な構成であることから、装置全体の小型化および軽量化が可能となり、可搬性が良好となるばかりでなく、組立作業に際しても特に熟練を要することが無いことから、作業性も良好となる。
更に、駆動コイル７の前記被駆動磁石６側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９は、駆動コイル７との関係ではトランスの二次側回路と同等の回路を構成し、且つ制動用プレート９の電気抵抗成分（渦電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
このため、この場合の一次側回路を構成する田形状駆動コイル７は、二次側回路が開放状態の場合に較べて比較的大きい電流を通電することができる。これにより、前記被駆動磁石との間には当該制動用プレート９が無い場合に比較して比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
又、この制動用プレート９は、放熱板としても機能するため、田形状駆動コイル７の連続運転に伴う径年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができる。これにより、装置全体の耐久性を増大することができ、その結果、装置全体の信頼性を高めることができる。
尚、前記第１の実施形態にあっては、被駆動磁石６を補助テーブル５に装備した場合を例示したが、被駆動磁石６を可動テーブル１側に装備すると共に、これに対向して固定テーブル８上の所定位置に前記各田形状駆動コイル７を配設してもよい。この場合、固定テーブル８を貫通した状態で各田形状駆動コイル７を装備すると共に、この各田形状駆動コイル７に対向して、被駆動磁石６を可動テーブル１側と補助テーブル５側の両方に装備してもよい。
更に、前記第１の実施形態では、駆動コイルとして田形状駆動コイル７を装備した場合を例示したが、本発明では駆動コイルを必ずしも田形状駆動コイルに限定するものではなく、同等に機能するものであれば、他の形態の駆動コイルであってもよい。
このテーブル保持機構２は本体部としてのケース本体３によって支持されている。
本実施形態に係るケース本体３は第１図に示すように、上方および下方が開放された箱体状に形成されている。
付号４は電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段４は、その主要部がケース本体３側に保持され、前記可動テーブル１に移動力（送り）を付与する機能を備えている。符号３Ａは、ケース本体３の内壁部周囲に内側方向に突設された本体側突出部を示す。
本実施形態に係る電磁駆動手段４は、可動テーブル１と後述する補助テーブル５との間に配設されている。
補助テーブル５は、磁性材料から形成され、前記可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に当該可動テーブル１に連結装備されている。そして、前記テーブル保持機構２は、この補助テーブル５側に装備され、該補助テーブル５を介して可動テーブル１を保持するように構成されている。
前記電磁駆動手段４は、補助テーブル５の所定位置に固定装備された四個の正方形形状の被駆動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置された十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６と協働して前記可動テーブル１に所定移動方向に沿う磁力による所定の移動力（送り）を付与する田形状駆動コイル７と、この田形状駆動コイル７を定位置にて保持すると共に前記補助テーブル５の可動テーブル１側に装備された固定プレート８とを備えている。この固定プレート８は、磁性部材から形成されている。なお、駆動コイル７は、巻回した端部の形状を強調するために閉回路のように図示しているが、この駆動コイル７は、ソレノイド状に巻回されて両端に通電用の２つの端子を備えた構成であり、通電により磁力を発生する構造になっている。この駆動コイルの図示方法は、以下に説明する各実施形態においても同様である。
更に、前記複数の田形状駆動コイル７は、前記被駆動磁石６と対面する端面側に非磁性金属部材（例えば電気抵抗の少ない銅製部材）からなる制動用プレート９をそれぞれ備えており、当該制動用プレート９は、対面する被駆動磁石６の磁極面に近接している。この制動用プレート９は、前記固定プレート８側に固着されている。
以下、これを更に詳細に説明する。
〔可動テーブルと補助テーブル〕
第１図乃至第４図において、可動テーブル１は円形状に形成され、補助テーブル５は四角形状に形成されている。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に配置され、その中心部の連結支柱１０を介して前記可動テーブル１に一体的に連結されている。このため、この可動テーブル１は、補助テーブル５と平行状態を維持しつつ一体的に移動し且つ一体的に回転し得るようになっている。
連結支柱１０は、前述したように可動テーブル１と補助テーブル５とを連結する連結部材であって、両端部に鍔部１０Ａ，１０Ｂを備えた断面工字状に形成され、その両端部外側中央には、可動テーブル１と補助テーブル５との各中心部に形成された位置決め孔１ａ，５ａに係合する突起１０ａ，１０ｂが設けられている。
可動テーブル１と補助テーブル５とは、突起１０ａ，１０ｂと鍔部１０Ａ，１０Ｂとによって位置決めされ当該連結支柱１０に固着され一体化されている。この一体化に際しては本実施形態では接着剤が用いられているが、溶接にて部分的に接合しても、或いは突起１０ａ，１０ｂ部分を位置決め孔１ａ，５ａに圧入し他の部分を接着剤又は溶接等によって一体化してもよい。なお、可動テーブル１或いは補助テーブル５の何れか一方をネジ止めにて前記連結支柱１０の鍔部１０Ａ又は１０Ｂに着脱自在に固着してもよい。この場合、ネジ止め後に、数本のノックピンを位置決め固定用として係合し両者間に打ち込むようにしてもよいものである（図示せず）。このようにすると、可動テーブル１と補助テーブル５とを確実に一体化することができる。
〔テーブル保持機構〕
本実施形態に係るテーブル保持機構２は、可動テーブル１を保持しつつ当該可動テーブル１をその高さ位置を変えることなく同一面上のいずれの方向へも自在に移動可能とする機能を備えたものであり、補助テーブル５を介してこれを実行するようにしたものである。
このテーブル保持機構２は、リンク機構を三次元空間に応用したものであり、所定間隔を隔てて設置される二本のピアノ線を一組として予め補助テーブル５の端部周囲のコーナー部分に対応して四組準備し、この四組のピアノ線を組毎に、四角形状の中継プレート２Ｇの各四隅部分に分けてそれぞれ上方向に向けて植設する。前記テーブル保持機構２は、内側に位置する四本のピアノ線２Ａで補助テーブル５を下方から保持し、外側に位置する四本のピアノ線２Ｂで中継プレート２Ｇを本体部３から揺動自在に吊り下げた構成となっている。なお、２本のピアノ線は、可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材であれば他の部材であってもよい。
これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が中継プレート２Ｇと各四本のピアノ線２Ａ，２Ｂとによって空中で安定した態様で保持され、その水平面内での移動は、後述するように同一の高さ位置を維持しつつ何れの方向にも自在に移動可能となっている。補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の同一面内での回転動作もほぼ同様に可能となる。
これを更に詳述する。
前記テーブル保持機構２は、補助テーブル５の周端部の四隅部分からそれぞれ第１図の下方に向けて植設された四本のテーブル側ピアノ線２Ａと、この各テーブル側ピアノ線２Ａの第１図における下端部に装備された中継プレート２Ｇと、この中継プレート２Ｇを本体部３側から吊り下げるように構成され前記テーブル側ピアノ線２Ａの外側に装備された本体側ピアノ線２Ｂとを備えている。
この四本のテーブル側ピアノ線２Ａは、第１図における上端部が補助テーブル５に固着され、下端部が中継プレート２Ｇに固着されている。符号５Ａ，５Ｂは補助テーブル５の下面側の二箇所に設けられた下方突出部を示す。この下方突出部５Ａ，５Ｂによってテーブル側ピアノ線２Ａの固定位置が設定されている。
この四本の各テーブル側ピアノ線２Ａの外側には、所定間隔Ｓを隔てて本体側ピアノ線２Ｂがそれぞれ個別に且つ平行に配設されている。この本体側ピアノ線２Ｂは、その下端部が前記テーブル側ピアノ線２Ａと同様に中継プレート２Ｇに固着され、その上端部がケース本体３の内壁部に設けられた本体側突出部３Ｂに固着されている。
これらの各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、前述したように可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材によって形成されている。
これにより、前記可動テーブル１は、補助テーブル５と共に中継プレート２Ｇ上にて内側の４本のテーブル側ピアノ線２Ａによって支持され、当該４本のテーブル側ピアノ線２Ａの弾性限界内においてリンク機構の原理に従ってその平行移動および面内での回転が許容された状態となっている。
一方、中継プレート２Ｇは、当該中継プレート２Ｇ上の外側に位置する４本のテーブル側ピアノ線２Ｂによって本体側突出部３Ｂに吊持されていることから、ケース本体３に対してはその平行移動および面内での回転が同様に許容された状態となっている。
このため、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が、外力を受けて面内で移動し又は回転すると、後述する第１７図に示すようにテーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂが同時に弾性変形して中継プレート２Ｇが平行状態を維持しつつ上下動する。そして、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が外力によって面内で移動し又は回転すると、その高さ位置の変動は、中継プレート２Ｇの高さが上下に変動することにより吸収される。
これにより、可動テーブル１は、外力を受けて移動しても、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性限界内において何れの方向へも同一高さを維持しつつ移動することが可能となっている。
ここで、テーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは同一の直径を備え同一の弾性を備えたものが使用され、その実効長Ｌはそれぞれ全く同一に設定されている。又、本実施形態に係る各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、例えば第１図，第３図に示すように、左右方向に沿って配設されているが、Ｘ−Ｙ面上におけるＸ軸およびＹ軸に対してそれぞれ線対称に成る位置に配設されておれば、第２図に示す位置以外の位置に配設してもよい。
可動テーブル１の移動に際して各ピアノ線２Ａ，２Ｂには弾性応力がそれぞれ均一に生じることから、可動テーブル１の元位置復帰を含めて可動テーブル１を円滑に移動し得るという利点を得ることができる。
このように、前記テーブル保持機構２は、例えば補助テーブル５が全体的に同一方向にスライド移動すると、各組の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは全て同一に変形することとなる。この場合、本体側ピアノ線２Ｂは、その端部が保持された状態で弾性変形することから、同様に弾性変形するテーブル側ピアノ線２Ａの変形動作により補助テーブル５の高さ位置は不変となり、代わって、両ピアノ線２Ａ，２Ｂに共通に支持された中継プレート２Ｇの高さ位置が変動する。
換言すると、この中継プレート２Ｇが両ピアノ線２Ａ，２Ｂの変形で生じる高さ位置の変動を吸収することになり、これにより、補助テーブル５（即ち可動テーブル１）は全体的に高さ変動することなく同一面内でスライド移動することとなる。この場合、補助テーブル５から外力を開放すると、当該補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用（復元力）によって一直線に元位置に復帰する。
また、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が同一面内で回転駆動された場合にも、同等の理由から補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は全体的にほぼ同一の高さを維持しつつ同一面内で回転動作することとなる。この場合にも、補助テーブル５から外力を開放すると、補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用（復元力）により一直線に元位置に復帰する。
〔電磁駆動手段〕
可動テーブル１と補助テーブル５との間には、前述したように、補助テーブル５を介して可動テーブル１に対し所定の移動力を付与する電磁駆動手段４が装備されている（第１図参照）。
本実施形態に係る電磁駆動手段４は、補助テーブル５上に装備された四個の被駆動磁石（本実施形態では永久磁石が使用されている）６と、この各被駆動磁石６を介して可動テーブル１に所定の移動方向に向けて所定の電磁力を発生する四個の田形状駆動コイル７と、この各田形状駆動コイル７を保持する固定プレート８とを備えている。
固定プレート８は第１図に示すように、補助テーブル５の可動テーブル１側（補助テーブル５と可動テーブル１との間）に装備され、その周囲がケース本体３に固着装備されている。ここで、この固定プレート８については、第１図の左右両端部のみがケース本体３に固定装備されるように構成してもよい。この固定プレート８の中央部には、前記連結支柱１０の所定範囲内での平行移動を許容する貫通穴８Ａが形成されている。本実施形態に係る貫通穴８Ａは円形形状に形成されているが、四角形であっても、或いはその他の形状であってもよい。要は、固定プレート８の貫通穴８Ａは、連結支柱１０の動きを許容する形状であれば、いずれの形状であってもよいものである。
前記固定プレート８は、前述したように、その周囲全体が本体側突出部３に保持されている。この場合、固定プレート８と本体側突出部３Ａとは、その一体化を堅牢にするため、ネジ止め後にノックピン等で一体化しても、或いは溶接等で一体化してもよい。このようにすると、可動テーブル１のミクロン（μ）単位の変位や移動に対しても、固定プレート８がケース本体３に対して位置ずれを生じることなく円滑にこれに対応することができるという利点が生じる。
本実施形態に係る前記四個の被駆動磁石６は第２図，第３図に示すように、駆動コイル７に対向する対向面が四角形状をなす永久磁石から形成されている。
ここで、可動テーブル１の位置移動を制御するために、可動テーブル１が移動する同一面内に設定した原点を通る１つの軸線を基準として円周方向に等分して複数の軸線を設定している。本実施形態の場合、前記原点は、固定プレート８の中心部に一致させて設定している。
第２図及び第３図に示す本実施形態では、可動テーブル１が移動する同一面内に設定した原点を通る１つの軸線を基準として円周方向に９０°の角度毎に４等分して４本の軸線を設定している。そして、前記原点を通って互いに反対方向に伸びる２本の軸線の組をそれぞれＸ軸とＹ軸とし、Ｘ軸，Ｙ軸に一致する方向をＸ方向，Ｙ方向として想定している。したがって、これらのＸ方向とＹ方向とは前記原点にて直交している。
また、可動テーブル１の移動の起点となる位置は、本体部３上に可動テーブル１が外力を受けずにフリーな状態で存在するときの連結支柱１０の中心位置、すなわち可動テーブル１の中心位置とし、この中心位置と前記Ｘ−Ｙ方向が交差する原点とを固定プレート８の中心位置上にて一致させている。
第２図及び第３図に示すように、前記４個の被駆動磁石６は、前記補助テーブル５上の前記Ｘ−Ｙ方向（４本の軸線上）であって、かつ前記原点から等距離の位置にそれぞれ配設され固着されている。
この四個の被駆動磁石６に対向する位置には、田形状駆動コイル７が、前記四個の被駆動磁石６に個別に対応して固定プレート８上の定位置に、固着装備されている。前記田形状駆動コイル７は、その中央部に前記Ｘ−Ｙ軸に沿う十字状のコイル辺を有し、且つ通電により発生する磁力と各被駆動磁石６の磁力との相互磁気作用により前記可動テーブル１に所定の移動方向に沿って移動力（送り）を付与する。
この場合、四個の被駆動磁石６の向きは、田形状駆動コイル７に面する側の磁極が、本実施形態ではＸ軸上のものはＮ極に、Ｙ軸上のものはＳ極に、それぞれ設定されている（第２図，第３図参照）。
このため、駆動コイル７の十字状コイル辺の縦方向又は横方向に生じる磁力と被駆動磁石６の磁力との間に発生する磁力は、常にＸ軸方向又はＹ軸方向に統一され、その合力が常に最大値となるように設定されている。このため、発生する磁力を効率良く可動テーブル１に対する駆動力として出力することが可能となる。
また、前記田形状駆動コイル７については、その大きさは内側に有する十字状コイル辺の長さが前記被駆動磁石６の最大移動範囲を許容する寸法に設定されている。
このため、四個の被駆動磁石６との間に生じる田形状駆動コイル７の電磁力は、当該田形状駆動コイル７が固定プレート８上の定位置に固定されていることにより、当該被駆動磁石６を介して補助テーブル５に対する所定方向への移動力として確実に出力されることとなる。
〔田形状駆動コイル〕
電磁駆動手段４の主要部を成す田形状駆動コイル７は、例えば第５図に示すように、それぞれ独立して通電可能な四個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄにより構成されている。そして、４個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの内側の互いに十字状に突き合わされたコイル部分が前記十字状のコイル辺を形成している。
このため、各角形小コイル７ａ〜７ｄの通電方向を後述する動作制御系によって外部から切り換え制御することにより、例えば田形状駆動コイル７の内部の十字状部分に流れる電流を図中の縦方向又は横方向の何れか一方に限定して通電（正又は逆方向を含めて）することが可能となり、これにより対応して配置された被駆動磁石６に対しては、フレミングの左手の法則に従って当該各被駆動磁石６を所定の方向へ押圧する電磁力（反力）を出力することができる。
この四個の角形小コイル７ａ〜７ｄに生じる電磁力の方向を組み合わせることにより、前記田形状駆動コイル７の内側に位置する十字状のコイル辺部分に、縦方向又は横方向等の何れか一方への通電状態が設定され、これによって、対応する被駆動磁石６に所定方向への電磁駆動力が出力される。そして、前記四個の被駆動磁石６に生じる電磁駆動力の合力によって、前記補助テーブル５に対してＸ−Ｙ軸上で回転動作を含む任意の方向に向けて移動力が付与されるようになっている。
これら四個の角形小コイル７ａ〜７ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第６図，第８図）で詳述する。
又、この四個の角形小コイル７ａ〜７ｄは中空のコイルもよいが、内側にフェライト等の被導電性磁性部材を充填したものであってもよい。第５図において、コイルの内側の斜線部分は磁束鎖交領域を示す。
符号９は、被駆動磁石６に近接対向して田形状駆動コイル７側に固定装備された制動用プレートを示す。
〔位置検出センサ機構〕
前記電磁駆動手段４によって駆動される補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の移動状態は、位置検出センサ機構２５によって検出される。
第６図に示す位置検出センサ機構２５は、静電容量型の複数の検出電極（本実施形態では８個）を備えた容量センサ群２６と、この容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を電圧変換すると共に所定の演算をして位置変化情報として後述するテーブル駆動制御手段２１に送り込む位置情報演算回路２７とを備えた構成となっている。
前記位置情報演算回路２７は、前記容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を個別に電圧変換する信号変換回路部２７Ａと、この信号変換回路部２７で変換された複数の容量変化成分にかかる電圧信号を所定の演算によりＸ−Ｙ座標上の位置を示すＸ方向位置信号ＶＸ及びＹ方向位置信号ＶＹに変換し、更には回転角信号θを演算して出力する位置信号演算回路部２７Ｂとにより構成されている。
前記複数の容量センサ群２６は第１図乃至第４図に示すように、補助テーブル５の周囲の下面部分に対向して且つ前記本体側突出部３Ｂの上面に所定間隔を隔てて配設された８個の角形の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４と、これに対応して前記補助テーブル５の周囲の下面部分に設定された比較的幅の広い共通電極（図示せず）とにより構成されている。
そして、前記各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４の内、容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２が第２図，第３図の右端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備され、これに対して容量検出電極２６Ｘ３，２６Ｘ４が第２図，第３図の左端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
また、前記各容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４の内、容量検出電極２６Ｙ１，２６Ｙ２が第２図，第３図の上端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備され、容量検出電極２６Ｙ３，２６Ｙ４が第２図，第３図の下端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
そして、例えば前記補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が電磁駆動手段４による送りを付与されて、第７図（Ａ）に示すように矢印Ｆの方向（図中、右上方向）に移動動作した場合、本実施形態では、補助テーブル５の両側に（及び上下方向に）位置する一方の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２（２６Ｙ１、２６Ｙ２）と他方の２６Ｘ３，２６Ｘ４（２６Ｙ３，２６Ｙ４）で検出される容量変化成分が、信号変換回路２７Ａで電圧変換された後に位置信号演算回路２７Ｂに送り込まれ、この位置信号演算回路２７Ｂで前記各変換電圧を入力してＸ方向位置信号ＶＸ−Ｙ方向位置信号ＶＹとして差動出力するように構成されている。
前記補助テーブル５が電磁駆動手段４による送りを受けて第７図（Ｂ）に示すように矢印方向に回転動作した場合、本実施形態では、前記の場合と同様に各部が作動し同様に機能し、変化成分が電圧変換されて所定の回転角信号θとして差動出力されるように構成されている。
このため、本実施形態にあっては、第３図の左右（及び上下）の各容量検出電極に同時に印加されるノイズを差動出力（例えば、Ｘ軸方向の一端部と他端部に配置された容量検出電極に検知される容量変化の差をとること：外部雑音排除機能）によって打ち消すことができ、同時に測定値が電圧変換された後にその変化分が合算されて出力されるので（減少した分がマイナス分として引き算されること、例えばＡ−（−Ａ）＝２Ａの如きもの）、これにより補助テーブル５（可動テーブル１）の位置情報を高感度に出力することができるという利点がある。
〔動作制御系〕
本実施形態にあっては、前記電磁駆動手段４には、前記複数の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御して前記可動テーブル１の移動若しくは回転動作を規制する動作制御系２０が併設されている（第６図参照）。
この動作制御系２０は第６図に示すように、前記電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７を所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル１を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１と、このテーブル駆動制御手段２１に併設され前記可動テーブル１の移動方向，回転方向，およびその動作量等が特定された複数の制御モードにかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
テーブル駆動制御手段２１には、複数の各田形状駆動コイル７に対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。このテーブル駆動制御手段２１には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置検出センサ機構２５によって検出され後述するように高感度に演算処理されて送り込まれるようになっている。
本実施形態に係る前記テーブル駆動制御手段２１は、主制御部２１Ａとコイル駆動制御部２１Ｂとを有している。主制御部２１Ａは、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２から選択し前記複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電制御する機能を有している。コイル駆動制御部２１Ｂは、前記主制御部２１Ａにて設定される制御モードに従って所定の四個の各田形状駆動コイル７，７……を同時に且つ個別に駆動制御する機能を有している。
主制御部２１Ａは、前記機能に加えて、テーブル位置を検出する位置検出センサ機構２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。
符号４Ｇは、前記電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電する電源回路部を示す。
前記テーブル駆動制御手段２１は、前記位置検出センサ機構２５からの情報を入力して所定の演算を行いこれに基づいて予め動作指令入力部２４で設定した移動先の基準位置情報とのズレを算定する位置ずれ演算機能と、この算定された位置ずれ情報に基づいて電磁駆動手段４を駆動し予め設定された移動先の基準位置に当該可動テーブル１を移送制御するテーブル位置補正機能とを備えている。
このため、本実施形態にあっては、可動テーブル１の移動方向が外乱等によってずれた場合には当該ずれを修正しながら可動テーブル１を所定の方向に移送制御することとなり、これにより当該可動テーブル１は迅速且つ高精度に予め設定した目標位置に移送されることとなる。
〔プログラム記憶部〕
前記テーブル駆動制御手段２１は、プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の通電パターンおよびその選択組合せである所定の制御モード）に従って前記電磁駆動手段４の四個の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、前記プログラム記憶部２２には、本実施形態にあっては前記四個の各田形状駆動コイル７，７，……に対する基本的な四つの通電パターンを実行するためのプログラムが記憶されている（第６図，第８図参照）。
第８図は、田形状駆動コイル７（固定子側）の四個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄに対する四種類の通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄと、その時に各田形状駆動コイルの十字辺部分に生じる電流の向き、及びこれに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
第８図において、通電パターンＡの場合は、一方の角形小コイル７ａ，７ｂに対しては左回りの電流が，他方の角形小コイル７ｃ，７ｄに対しては右回りの電流がそれぞれ通電制御され、これによって中央部に位置する十字状のコイル辺部分では、外部に出力される磁束が全体的に加算又は相殺され、その結果としてＸ軸の正方向の電流ＩＡのみが通電されたのと同等の状態となる。
通電パターンＢでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによってＸ軸の負方向の電流ＩＢのみが通電されたのと同等の状態となる。通電パターンＣでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによってＹ軸の正方向の電流ＩＣのみが通電されたのと同等の状態となる。同様に、通電パターンＤでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによって、Ｙ軸の負方向の電流ＩＤのみが通電されたのと同等の状態となる。
前記四つの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラムに基づいて実行されるようになっている。
第８図に示した白抜き矢印は、これらの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６との間に発生する電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
この場合、対応する各電磁力は田形状駆動コイル７の通電コイル辺部分にフレミングの左手の法則によって発生するが、当該田形状駆動コイル７が固定プレート８上に固定されていることから、その反力が電磁駆動力（推力）として被駆動磁石（永久磁石）６側に向けて発生する。
第８図に示した白抜き矢印は、その反力（電磁駆動力）を示すものである。このため、この反力（電磁駆動力）は、被駆動磁石６の磁極Ｎ，Ｓの種類によってその向きが反転する。
プログラム記憶部２２には、前記固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ平面上にて可動テーブル１をＸ軸の正負二方向およびＹ軸の正負二方向にそれぞれ移動せしめる第１乃至第４の制御モードと、Ｘ−Ｙ平面上に設定される各象限内の所定方向に可動テーブル１を移動せしめる第５乃至第８の制御モードと、可動テーブル１を所定位置にて時計方向又は反時計方向に回転動作せしめる第９乃至第１０の各制御モードにかかる各動作プログラムが記憶されている。
第９図乃至第１３図に、それぞれ前記第１乃至第１０の各制御モードにかかる動作プログラムを実行した場合に生じる各田形状駆動コイル７の機能および補助テーブル（可動テーブル１）の動作状態の一例をそれぞれ示す。
第９図（Ａ）（Ｂ）は、第１の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第１の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御される。第９図（Ａ）において、記号Ｎ，Ｓは、各被駆動磁石（永久磁石）６の磁極の種類を示す。
その結果、この第１の制御モードでは、各被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＸ１，ＦＸ２，ＦＸ３，ＦＸ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによって、Ｘ軸上の正の方向（矢印＋ＦＸ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
第９図（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ軸上の正の方向に補助テーブル５を移送する場合には、特に、Ｙ軸上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさの駆動力を発生させることが重要となる。
第２の制御モードの場合は、Ｘ軸上の負の方向（図示せず）に補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを前記第１の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第２の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御される。これより、Ｘ軸上の負の方向に補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
第１０図（Ａ）（Ｂ）は、第３の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第３の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
その結果、この第３の制御モードでは、各被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＹ１，ＦＹ２，ＦＹ３，ＦＹ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによって、Ｙ軸上の正の方向（矢印＋ＦＹ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
第１０図（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｙ軸上の正の方向に補助テーブル５を移送する場合には、特に、Ｘ軸上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさの駆動力を発生させることが重要となる。
第４の制御モードの場合は、Ｙ軸上の負の方向に補助テーブル５を移送する場合（図示せず）であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを前記第３の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第２の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御される。これより、Ｙ軸上の負の方向に補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
第１１図（Ａ）（Ｂ）は、第５の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
その結果、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＸ１，ＦＸ３の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＹ２，ＦＹ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸ−Ｙ軸上の中心点から第１象限方向に向けて（矢印ＦＸＹ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
第１１図（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第１象限方向に向かう方向（矢印ＦＸＹ）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形状駆動コイル７，７……に通電される電流値の大きさを適当に設定することによって、その移動方向を変化させることができる。かかる通電電流の大きさは前記主制御部２１Ａで設定制御される。
第６の制御モードの場合は、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第３象限方向（図示せず）に向けて補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを前記第５の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御される。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第３象限方向に向けて補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
第１２図（Ａ）（Ｂ）は、第７の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第７の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
その結果、この第７の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印−ＦＸ１，−ＦＸ３の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦＹ２，ＦＹ４の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸ−Ｙ軸上の中心点から第２象限方向に向けて（矢印ＦＹＸ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
第１２図（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第２象限方向に向かう方向（矢印ＦＹＸ）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形状駆動コイル７，７……に通電される電流値の大きさを適当に設定することによって、その移動方向を変化させることができる。かかる通電電流の大きさは、前記主制御部２１Ａで設定制御される。
第８の制御モードの場合は、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第４象限方向（図示せず）に向けて補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを前記第７の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第８の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御される。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点から第４象限方向に向けて補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
第１３図（Ａ）（Ｂ）は、第９の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第９の制御モードでは、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）を所定角度θ分、回転動作させるためのもので、この制御動作では、所定の許容範囲内において中心軸を有しない補助テーブル５を左回りの円運動をさせ所定位置での静止動作が可能としたものである。
即ち、この第１３図（Ａ）に示す第９の制御モードでは、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＡの手法によって、Ｘ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＢの手法によって、Ｙ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＤの手法によって、又Ｙ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＣの手法によって、それぞれ通電制御される。
その結果、この第９の制御モードでは、各田形状駆動コイル７，７，……に対応した各被駆動磁石（永久磁石）６には、第１１図に示すようにそれぞれ左回りの方向に沿って各軸に直交する方向ＦＹ１，−ＦＸ２，−ＦＹ３，又はＦＸ４に向けてそれぞれ電磁駆動力が発生する。
このため、第１３図（Ａ）に示したように、当該各被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力の大きさをそれぞれ同一の大きさＰに設定制御することにより、補助テーブル５は所定の許容範囲内において中心軸を有しない状態でも左回りの円運動をし所定位置での静止動作が可能となる。
この場合、円運動後の停止位置は、全体の電磁駆動力と前記テーブル保持機構２のバネ作用による元位置復帰力とのバランス点（所定角度θ分、回転した位置）となり、かかる位置は設定回転角度と前記電磁駆動力との関係として予め実験的に特定され、検索可能に図表化（マップ化）されて前記データ記憶部２３に記憶されるようになっている。
第１３図（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸ−Ｙ座標上に例示したものである。これより、Ｘ−Ｙ軸上の中心点Ｏを回転中心として補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は所定角度θだけ左回りに回転し停止することとなる。
この場合、回転後の停止位置を設定する回転角度θの大きさは、各田形状駆動コイル７，７・・に通電される同一の電流値の大きさを適当に設定制御することにより、その回転角度θが定められる。かかる通電電流の大きさは前記主制御部２１Ａで設定制御される。
第１０の制御モードの場合は、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）を右回りに回転させる場合である。このため、この第１０の制御モードでは、前記各田形状駆動コイル７，７……に通電される同一の電流の向きを逆方向に設定すればよい。
即ち、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＢの手法により、Ｘ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＡの手法により、Ｙ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＣの手法により、そしてＹ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＤの手法により、それぞれ通電制御される。
これより、Ｘ−Ｙ軸上で、補助テーブル５は右回りに所定角度θ分だけ、円滑に回転制御されることとなる（図示せず）。
これらの各通電パターンおよび各制御動作にかかる動作プログラムは、テーブル駆動制御手段２１に併設された動作プログラム記憶部２２に出力可能に記憶されている。そして、テーブル駆動制御手段２１は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて前記各動作プログラムの何れかを選択し、これに基づいて前記電磁駆動手段４を駆動制御するようになっている。
〔電磁制動機構〕
電磁制動機構は、相互に対面し、かつ可動テーブル１の動きに同期して相対的に移動する制動用磁石と非磁性及び導電性の制動プレート９とを含んでいる。前記制動用磁石と前記制動プレート９とのうち一方は定位置に固定され、他方は前記可動テーブル１の動きに同期して移動可能に設けられ、当該制動用磁石と当該制動プレート９との組は、前記可動テーブル１の移動に伴って当該制動プレート９に発生する渦電流による磁力と当該制動用磁石の磁力との磁気作用に基づく制動力を発生するという構成になっている。
本実施形態に係る電磁制動機構の前記制動用磁石として、被駆動磁石６を用いている。前記四個の各田形状駆動コイル７の被駆動磁石６に対向した側の端面部分には、第１４図に示すように、非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９が、周囲から絶縁された状態で各被駆動磁石６の磁極面に対向し且つ近接してそれぞれ固着装備されている。
前記電磁制動機構は、補助テーブル５（可動テーブル１）の急激な移動動作に対してこれを抑制しつつ当該補助テーブル５（可動テーブル１）を緩やかに移動させる機能を備えている。
ここで、第１４図（Ａ）は、第１図の制動用プレート９部分を示す部分断面図である。また、第１４図（Ｂ）は、第１４図（Ａ）の矢印Ａ−Ａ線に沿って見た平面図を示す。
四個の被駆動磁石６が装備された補助テーブル５又は可動テーブル１が急激な移動動作をした場合には、当各該被駆動磁石６とこれに対応した各制動用プレート９との間に、電磁制動（渦電流ブレーキ）が働く。これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は急激な移動動作が抑制されて徐々に移動することとなる。
第１５図（Ａ）（Ｂ）に、前記電磁制動（渦電流ブレーキ）の発生について示す。
この図において、制動用プレート９は、被駆動磁石６のＮ極に対向して田形状駆動コイル７の端部に固着されている。
いま、補助テーブル５が図の右方向に速度ｖ１で急激に移動すると、金属製の制動用プレート９は（固定されているため）、相対的に図の左方向に同一の速度ｖ２（＝ｖ１）で急激に移動することになる。これにより、制動用プレート９内にはフレミングの右手の法則に従って速度ｖ２に比例した大きさの起電力ＥＶが第１５図（Ｂ）に示す方向（図中、上向き）に発生し、これにより同矢印の方向に左右対象の渦電流が流れる。
次に、起電力ＥＶの発生領域にはＮ極からの磁束が存在することから、この被駆動磁石６の磁束と制動用プレート９内の（起電力ＥＶ方向の）渦電流との間にフレミングの左手の法則に従って所定の移動力ｆ１が、制動用プレート９内に（図の右方向に向けて）発生する。
一方、制動用プレート９は固定プレート８上で固定されているため、移動力ｆ１の反力ｆ２が被駆動磁石６上に制動力として発生し、その向きは移動力ｆ１の向きとは逆の向きになる。即ち、この制動力ｆ２は、被駆動磁石６（即ち補助テーブル５）の最初の急激な移動方向とは逆の方向となり、しかも、その大きさは当該補助テーブル５の移動速度に比例した大きさとなることから、当該補助テーブル５はその急激な移動が適度の制動力ｆ２によって抑制され、安定した状態で円滑に移動することとなる。
他の制動用プレート９の箇所でも全く同様に所定の制動力ｆ２が発生する。
このため、被駆動磁石６を備えた補助テーブル５では、例えば急激な停止動作に際しては当該停止箇所にて往復動作が生じ易いが、これに対してはその動作が適度に抑制されて円滑に緩やかに移動することとなる。このため、全体的にはこの各制動用プレート９が有効に機能して、補助テーブル５（可動テーブル１）を安定した状態で移動させることができる。又、外部からの振動によって補助テーブル５が往復微小振動した場合にも、同様に機能してかかる往復微小振動は有効に抑制される。
この各田形状駆動コイル７の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の各制動用プレート９は第１６図に示すように、各田形状駆動コイル７との関係ではトランスの二次側回路を構成し、且つ所定の低抵抗ｒ（渦電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
第１６図において、Ｋ１は田形状駆動コイル７を表す一次側巻線を示し、Ｋ２は制動用プレート９に相当する二次側巻線を示す。第１６図（Ａ）は、制動用プレート９内の電気抵抗成分（低抵抗ｒ：渦電流損を生じる）を介して当該二次側巻線部分が短絡された状態を示す。この場合、制動用プレート９内には、二次側巻線の短絡状態と同等の電流（即ち、駆動コイル７の磁束の大小に比例した渦電流）が流れる。他の制動用プレート９が付された箇所も全く同様の状態となっている。又、第１６図（Ｂ）は、制動用プレート９が無い状態（二次側巻線部分が開放された状態）を示す。
このため、この場合の一次側回路を構成する各田形状駆動コイル７は、起動時の立ち上がり時（過渡状態）におけるコイルのインダクタンス成分による大きな抵抗が存在しても、二次側短絡によりその影響を有効に低減することができる。この点において、起動時から比較的大きい電流を通電することができ、前記被駆動磁石との間には当該制動用プレート９が無い場合に比較して電磁駆動力を迅速に出力することができる。
前記各制動用プレート９は、各田形状駆動コイル７の駆動時に生じる熱を放熱する機能を兼ね備えている。かかる点において駆動コイルの連続運転に伴って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下（即ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制して通電電流を長時間ほぼ一定レベルに設定することができる。このため、電磁駆動手段から出力される電磁駆動力に対する外部からの電流制御を安定した状態にて継続することができ、径年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができる。これにより、装置全体の耐久性、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
尚、本実施形態において、前記制動用プレート９は、制動用プレートとしての各田形状駆動コイル７毎にそれぞれ装備した場合を例示したが、この制動用プレート９を、二個以上の田形状駆動コイル７に共通に作用する単一の制動用プレートとして形成し、この単一の制動用プレートに複数の田形状駆動コイル７を対面させるように構成したものであってもよい。
〔前記実施形態の全体的な動作〕
次に、前記第１の実施形態の全体的な動作について説明する。
第６図において、まず動作指令入力部２４から、可動テーブル１を所定位置へ移動させるための動作指令が入力されると、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択し、続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを作動させ、電磁駆動手段４の四つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
第１７図，第１８図に、可動テーブル１をＸ軸の正方向への所定位置へ移動する旨の指令が動作指令入力部２４から入力され、これに基づいて装置全体が作動した状態を示す。
この事例では、制御モードとしては第９図に示す第１の制御モードが選択され、これに従って各四つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ第９図に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って動作したことを示す。
この場合、前記ステージ保持機構２では、補助テーブル５が電磁駆動手段４によって図の右方に送りを与えられると、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性力（元位置復帰力）に抗して当該補助テーブル５が移動する。そして、この補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において停止する。
第１７図，第１８図において、符号Ｔは移動した距離を示す。
第１８図において、斜線部分は補助テーブル５の移動によって前記他方の容量検出電極２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量成分が減少した部分を示し、交差斜線部分は前記一方の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２の容量成分が増加した部分を示す。尚、第１８図には、Ｙ軸方向への位置ずれが無い場合が示されている。
動作中に、外乱等によって補助テーブル５の移動位置が目標位置からずれた場合には、この容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量成分の増加減少の情報に基づいて実際の移動後の位置が検出され、位置ずれ防止用のフィードバック制御が行われるようになっている。
一方、かかる状態から補助テーブル５に印加されている電磁駆動力が開放されると、補助テーブル５はピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力に付与されて元位置に復帰する。
かかる一連の動作にあって、補助テーブル５の移動動作は、通常は電磁駆動力の印加制御又は開放制御の何れの場合でも急激に行われる。このため、補助テーブル５（又は可動テーブル１）には、移動先での停止時又は元位置復帰に際しての停止位置において、慣性力及びばね力に起因した繰り返し動作（往復動作）が生じる。
しかしながら、本実施形態にあっては、かかる繰り返し動作（往復動作）は制動用プレートと被駆動磁石との間に生じる電磁制動電流ブレーキによって抑制され、所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
動作指令入力部２４から、可動テーブル１を前記以外の他の所定位置へ移動させるための動作指令が入力された場合にも、前記場合と同様にテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択する。これと同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択する。続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを付与し、電磁駆動手段４の四つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
そして、この場合も、前記場合と同様の制御動作および制動用プレートによる制動動作が実行され、補助テーブル５（可動テーブル１）は所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
このように、前記第１の実施形態にあっては、従来の場合に必要としていた重厚な二重構造のＸ−Ｙ軸移動保持機構を用いることなく、補助テーブル５（可動テーブル１）を、中心位置から（所定範囲内において）同一の高さ位置を維持しつつＸ−Ｙ平面上のいずれの方向に対しても円滑に移動させ或いは同一面内での回転駆動を実行させることができる。
このため、前記第１の実施形態によると、構造が簡単なので、装置全体の小型化軽量化が可能となり、かかる点において可搬性を著しく改善することができるばかりでなく、従来例と比較して部品点数も少なくなるという利点がある。さらに、部品点数が少なくなることに関して、耐久性を著しく向上させることができ、組立時の調整に熟練を必要としないため生産性を高めることができる。
被駆動磁石６が装備された補助テーブル５（可動テーブル１）が急激に動作変化しても、当該被駆動磁石６と非磁性金属部材からなる制動用プレート９との間に急激な変化に比例した大きさの電磁制動（渦電流ブレーキ）力が働くことから、可動テーブル１はその急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で円滑に移動することができる。
この制動用プレート９については各被駆動磁石６に対向した状態で個別に田形状駆動コイル７に装備するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段４も補助テーブル５に装備した被駆動磁石６とこれに対向して固定プレート８に田形状駆動コイル７を装備するという簡単な構成であることから、装置全体の小型化および軽量化が可能となり、可搬性が良好となるばかりでなく、組立作業に際しても特に熟練を要することが無いことから、作業性も良好となる。
更に、駆動コイル７の前記被駆動磁石６側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９は、駆動コイル７との関係ではトランスの二次側回路と同等の回路を構成し、且つ制動用プレート９の電気抵抗成分（渦電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
このため、この場合の一次側回路を構成する田形状駆動コイル７は、二次側回路が開放状態の場合に較べて比較的大きい電流を通電することができる。これにより、前記被駆動磁石との間には当該制動用プレート９が無い場合に比較して比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
又、この制動用プレート９は、放熱板としても機能するため、田形状駆動コイル７の連続運転に伴う径年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができる。これにより、装置全体の耐久性を増大することができ、その結果、装置全体の信頼性を高めることができる。
尚、前記第１の実施形態にあっては、被駆動磁石６を補助テーブル５に装備した場合を例示したが、被駆動磁石６を可動テーブル１側に装備すると共に、これに対向して固定テーブル８上の所定位置に前記各田形状駆動コイル７を配設してもよい。この場合、固定テーブル８を貫通した状態で各田形状駆動コイル７を装備すると共に、この各田形状駆動コイル７に対向して、被駆動磁石６を可動テーブル１側と補助テーブル５側の両方に装備してもよい。
更に、前記第１の実施形態では、駆動コイルとして田形状駆動コイル７を装備した場合を例示したが、本発明では駆動コイルを必ずしも田形状駆動コイルに限定するものではなく、同等に機能するものであれば、他の形態の駆動コイルであってもよい。
第２の実施形態を第１９図〜第２０図に示す。第１９図〜第２０図に示す第２の実施形態は、前記第１の実施形態において装備した補助テーブル５を削除し、可動テーブル３１をテーブル保持機構２で直接保持すると共に、電磁駆動手段４によって可動テーブル３１を直接駆動するように構成した点に特徴を備えている。
この第１９図乃至第２０図において、符号３１は四角形状の可動テーブルを示す。この可動テーブル３１は、上面に円形の平坦作業面３１Ａを備えている。
符号２は前記第１実施形態におけるテーブル保持機構と同一のテーブル保持機構を示す。このテーブル保持機構２は、前記第１実施形態と同様に第１９図の下方部分に配設され、可動テーブル３１の同一面内での任意方向への移動を許容すると共に、当該可動テーブル３１に元位置復帰力を付加し得る状態で当該可動テーブル３１を保持している。
即ち、この第２の実施形態にあっては、可動テーブル３１は、本体部としてのケース本体３３の内側に配設された前記テーブル保持機構２を介して、前記ケース本体３３に組み込まれている。
又、前記可動テーブル３１とケース本体３３の後述する駆動手段保持部（本体側突出部）３３Ａとの間に、可動テーブル３１の移動位置を常時検出する容量型の位置検出センサが前記第１の実施形態の場合と同様に装備されている。
即ち、可動テーブル３１の第１９図における下面（底面）の端部周囲には、所定幅の平坦面を備えた口字状のスペーサ３１Ｂが装備され、その下面部分に、容量型の位置検出センサの共通電極３１Ｂａが設けられている。又、この共通電極３１Ｂａに対向して前記第１実施形態における容量検出電極と同一の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４が、前記第１の実施形態の場合と同様に設けられ、後述する駆動手段保持部（本体側突出部）３３Ａの上面に装備されている。
テーブル保持機構２は、前記第１の実施形態におけるテーブル保持機構２と同様に、所定間隔を隔てて設置される二本のピアノ線（可動テーブル３１を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材であれば他の部材であってもよい） ２Ａ，２Ｂを一組として予め可動テーブル３１の周端部に対応して四組準備し、この四組のピアノ線２Ａ，２Ｂを組毎に、四角形状の中継部材２Ｇの各四隅部分に分けてそれぞれ上方向に向けて植設する。
そして、内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａで可動テーブル３１を下方から保持し、外側に位置する本体側の四本のピアノ線２Ｂで中継部材２Ｇをケース本体３３から揺動自在に吊り下げたような構造となっている。
これにより、可動テーブル３１は、前記第１の実施形態の場合と同様に高さ位置を変えることなく同一面内においていずれの方向へも移動することができ、同時に許容された範囲内での回転動作も可能となっている。
本実施形態に係るケース本体（本体部）３３は第１９図に示すように、上方および下方が開放された箱体状に形成されている。
付号３４は電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段３４は、前記第１の実施形態における電磁駆動手段４と同一に形成され、可動テーブル３１の第１９図における下側に配置されてケース本体３３側に保持され、前記可動テーブル３１に移動力を付与する機能を備えている。
符号３３Ａは、ケース本体３３の内壁部周囲に突設された本体側突出部としての駆動手段保持部を示す。電磁駆動手段３４は、この駆動手段保持部３３Ａを介してケース本体３３に保持されている。
この駆動手段保持部３３Ａの第１９図における上面は平坦面として形成され、この平坦面上に、可動テーブル３１の位置情報を外部出力する容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４が前記第１の実施形態の場合と同様に装備され、同様に機能するようになっている。
前記電磁駆動手段３４は、前記第１実施形態の場合と同様に、可動テーブル３１の第１９図における下面部分の所定位置に固定装備された四個の被駆動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置された十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対して前記可動テーブル３１の所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付与する田形状駆動コイル７と、この田形状駆動コイル７を定位置にて保持する固定プレート３８とを備えている。
この固定プレート３８は、前記可動テーブル３１に所定間隔を隔てて平行に設定され、可動テーブル３１の第１９図における下方に配設されてその周囲がケース本体３３の駆動手段保持部３３Ａに保持されている。
更に、田形状駆動コイル７の前記被駆動磁石６側の端面側には、前記第１の実施形態の場合と同様に、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が被駆動磁石６の磁極面に近接して個別に配設されている。
本実施形態に係る制動用プレート９は、田形状駆動コイル７の端面部分に固着され、この田形状駆動コイル７を介して前記固定プレート３８側に固定された状態となっている。
尚、この制動用プレート９については、田形状駆動コイル７の端面部分に当接した状態を維持しつつ、他のスペーサ部材（図示せず）を介して固定プレート３８に固定するように構成してもよい。この点は前記第１の実施形態の場合も同様である。
可動テーブル３１は、内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａによって保持されている。符号３１Ｃは、この四本のテーブル側ピアノ線２Ａに係合するために可動テーブル３１の第１９図における下面から下方に向けて突設された四本のテーブル側脚部を示す。この四本のテーブル側脚部３１Ｃを介して、前記可動テーブル３１が四本のテーブル側ピアノ線２Ａに連結され保持されている。
ここで、この四本のテーブル側脚部３１Ｃの長さは、前記内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａが外側に位置する四本のピアノ線２Ｂとその実効長Ｌを同一にし得る長さに設定されている。
前記固定プレート３８の四隅部分には、所定の大きさの貫通穴３８Ａがそれぞれ形成されている。本実施形態に係る貫通穴３８Ａは、四角形状に形成されているが、前記可動テーブル３１の動作を許容し得る大きさであれば、その形状については、円形等，他の形状であってもよい。
前記貫通穴３８Ａを前記四本のテーブル側脚部３１Ｃがそれぞれ個別に貫挿し、これによって、第１９図の上方部分に位置する可動テーブル１が同図の下方部分に位置するテーブル保持機構２の四本のテーブル側ピアノ線２Ａによって保持された構造となっている。
その他の構成及び機能は前記第１の実施形態の場合と同一となっている。
以上説明した第２の実施形態は、前記第１の実施形態とほぼ同様の作用効果を有するほか、特に前記第１の実施形態において装備した補助テーブル５を削除して可動テーブル３１をテーブル保持機構２で直接保持すると共にテーブル駆動制御手段２１によって可動テーブル３１を直接駆動するように構成したので、構造がより一層単純化され、その分、小型軽量化が可能となる。このため、可動テーブル１側の重量が軽減されるので、テーブル保持機構２の耐久性向上を図ることができるばかりでなく、装置全体の可搬性の向上を図ることができる。更には、補助テーブル５を可動テーブル３１に連結し且つ組み込むという作業工程が不要となるので、生産性および保守性を著しく向上させることができ、装置全体の原価低減を図ることができるという利点がある。
この第１９図乃至第２０図において、符号３１は四角形状の可動テーブルを示す。この可動テーブル３１は、上面に円形の平坦作業面３１Ａを備えている。
符号２は前記第１実施形態におけるテーブル保持機構と同一のテーブル保持機構を示す。このテーブル保持機構２は、前記第１実施形態と同様に第１９図の下方部分に配設され、可動テーブル３１の同一面内での任意方向への移動を許容すると共に、当該可動テーブル３１に元位置復帰力を付加し得る状態で当該可動テーブル３１を保持している。
即ち、この第２の実施形態にあっては、可動テーブル３１は、本体部としてのケース本体３３の内側に配設された前記テーブル保持機構２を介して、前記ケース本体３３に組み込まれている。
又、前記可動テーブル３１とケース本体３３の後述する駆動手段保持部（本体側突出部）３３Ａとの間に、可動テーブル３１の移動位置を常時検出する容量型の位置検出センサが前記第１の実施形態の場合と同様に装備されている。
即ち、可動テーブル３１の第１９図における下面（底面）の端部周囲には、所定幅の平坦面を備えた口字状のスペーサ３１Ｂが装備され、その下面部分に、容量型の位置検出センサの共通電極３１Ｂａが設けられている。又、この共通電極３１Ｂａに対向して前記第１実施形態における容量検出電極と同一の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４が、前記第１の実施形態の場合と同様に設けられ、後述する駆動手段保持部（本体側突出部）３３Ａの上面に装備されている。
テーブル保持機構２は、前記第１の実施形態におけるテーブル保持機構２と同様に、所定間隔を隔てて設置される二本のピアノ線（可動テーブル３１を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材であれば他の部材であってもよい） ２Ａ，２Ｂを一組として予め可動テーブル３１の周端部に対応して四組準備し、この四組のピアノ線２Ａ，２Ｂを組毎に、四角形状の中継部材２Ｇの各四隅部分に分けてそれぞれ上方向に向けて植設する。
そして、内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａで可動テーブル３１を下方から保持し、外側に位置する本体側の四本のピアノ線２Ｂで中継部材２Ｇをケース本体３３から揺動自在に吊り下げたような構造となっている。
これにより、可動テーブル３１は、前記第１の実施形態の場合と同様に高さ位置を変えることなく同一面内においていずれの方向へも移動することができ、同時に許容された範囲内での回転動作も可能となっている。
本実施形態に係るケース本体（本体部）３３は第１９図に示すように、上方および下方が開放された箱体状に形成されている。
付号３４は電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段３４は、前記第１の実施形態における電磁駆動手段４と同一に形成され、可動テーブル３１の第１９図における下側に配置されてケース本体３３側に保持され、前記可動テーブル３１に移動力を付与する機能を備えている。
符号３３Ａは、ケース本体３３の内壁部周囲に突設された本体側突出部としての駆動手段保持部を示す。電磁駆動手段３４は、この駆動手段保持部３３Ａを介してケース本体３３に保持されている。
この駆動手段保持部３３Ａの第１９図における上面は平坦面として形成され、この平坦面上に、可動テーブル３１の位置情報を外部出力する容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４が前記第１の実施形態の場合と同様に装備され、同様に機能するようになっている。
前記電磁駆動手段３４は、前記第１実施形態の場合と同様に、可動テーブル３１の第１９図における下面部分の所定位置に固定装備された四個の被駆動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置された十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対して前記可動テーブル３１の所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付与する田形状駆動コイル７と、この田形状駆動コイル７を定位置にて保持する固定プレート３８とを備えている。
この固定プレート３８は、前記可動テーブル３１に所定間隔を隔てて平行に設定され、可動テーブル３１の第１９図における下方に配設されてその周囲がケース本体３３の駆動手段保持部３３Ａに保持されている。
更に、田形状駆動コイル７の前記被駆動磁石６側の端面側には、前記第１の実施形態の場合と同様に、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が被駆動磁石６の磁極面に近接して個別に配設されている。
本実施形態に係る制動用プレート９は、田形状駆動コイル７の端面部分に固着され、この田形状駆動コイル７を介して前記固定プレート３８側に固定された状態となっている。
尚、この制動用プレート９については、田形状駆動コイル７の端面部分に当接した状態を維持しつつ、他のスペーサ部材（図示せず）を介して固定プレート３８に固定するように構成してもよい。この点は前記第１の実施形態の場合も同様である。
可動テーブル３１は、内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａによって保持されている。符号３１Ｃは、この四本のテーブル側ピアノ線２Ａに係合するために可動テーブル３１の第１９図における下面から下方に向けて突設された四本のテーブル側脚部を示す。この四本のテーブル側脚部３１Ｃを介して、前記可動テーブル３１が四本のテーブル側ピアノ線２Ａに連結され保持されている。
ここで、この四本のテーブル側脚部３１Ｃの長さは、前記内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａが外側に位置する四本のピアノ線２Ｂとその実効長Ｌを同一にし得る長さに設定されている。
前記固定プレート３８の四隅部分には、所定の大きさの貫通穴３８Ａがそれぞれ形成されている。本実施形態に係る貫通穴３８Ａは、四角形状に形成されているが、前記可動テーブル３１の動作を許容し得る大きさであれば、その形状については、円形等，他の形状であってもよい。
前記貫通穴３８Ａを前記四本のテーブル側脚部３１Ｃがそれぞれ個別に貫挿し、これによって、第１９図の上方部分に位置する可動テーブル１が同図の下方部分に位置するテーブル保持機構２の四本のテーブル側ピアノ線２Ａによって保持された構造となっている。
その他の構成及び機能は前記第１の実施形態の場合と同一となっている。
以上説明した第２の実施形態は、前記第１の実施形態とほぼ同様の作用効果を有するほか、特に前記第１の実施形態において装備した補助テーブル５を削除して可動テーブル３１をテーブル保持機構２で直接保持すると共にテーブル駆動制御手段２１によって可動テーブル３１を直接駆動するように構成したので、構造がより一層単純化され、その分、小型軽量化が可能となる。このため、可動テーブル１側の重量が軽減されるので、テーブル保持機構２の耐久性向上を図ることができるばかりでなく、装置全体の可搬性の向上を図ることができる。更には、補助テーブル５を可動テーブル３１に連結し且つ組み込むという作業工程が不要となるので、生産性および保守性を著しく向上させることができ、装置全体の原価低減を図ることができるという利点がある。
第３の実施形態を第２１図に示す。第２１図に示す第３の実施形態は、前記第１の実施形態において、各被駆動磁石に対向して複数の田形状駆動コイルの端部に個別に装備した制動用プレート９を、一枚の板状部材を使用して共用とした構造に特徴を有している。
第２１図では、前記第１の実施形態に装備した四枚の制動用プレート９に代えて同一材質からなる１枚の制動用プレート３９を装備した場合を示す。
この場合、制動用プレート３９の中央部には、第１図に開示した連結支柱１０の挿通を許容し且つ当該連結支柱１０が補助テーブル５（及び可動テーブル１）と共に第２１図の直交軸Ｘ−Ｙの平面内において移動するのを許容する程度の大きさの貫通穴３９Ａが形成されている。
尚、この制動用プレート３９は、第２１図（Ａ）では、複数の各田形状駆動コイル７の各端部に当接した状態で当該各田形状駆動コイル７を介して固定プレート８に装着した場合を例示してある。一方、この制動用プレート３９については、各田形状駆動コイル７の端面部分に当接した状態を維持しつつ、他のスペーサ部材（図示せず）を介して固定プレート８に固定するように構成してもよい。
その他の構成は前記第１の実施形態と同一となっている。
以上説明した第３の実施形態は、前記第１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、更に制動用プレート３９の組立作業が前記第１実施形態の場合に比較して著しく単純化され、制動用プレート３９の全体の表面積が大きくなるので、放熱板としても有効に機能する。また、構造が単純化されるため、生産性および装置の耐久性の向上を図ることができるという利点がある。
尚、この第３の実施形態は、前記第１の実施形態における複数の制動用プレート９に代えて同一材質の一枚の板状部材を装備するように構成した場合を例示したが、これに限られるものではない。前記第２の実施形態のように、補助テーブル５を削除した構成における複数の制動用プレート９に代えて同一材質の一枚の板状部材を単一の制動用プレート３９として装備するように構成してもよい。
前記第１〜第３の各実施形態にあっては、被駆動磁石６として永久磁石を装備した場合を例示したが、永久磁石に代えて電磁石を装備したものであってもよい。この場合、この電磁石の駆動制御については、前記テーブル駆動制御手段２１が担当し、前記各田形状駆動コイル７の動作に連動してその順方向又は逆方向或いは通電停止状態が選択され所定の通電制御が成されるようになっている（図示せず）。
このため、この被駆動磁石６として電磁石を装備した場合にあっては、前記実施形態１とほぼ同等の機能を有するほか、被駆動磁石を電磁石としたことから、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもたせることができる。
例えば、移動時の加速／減速に際しては各駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し得るので、可動テーブルの移動方向等の変化に対して迅速に対応し得ることが可能となる。又、被駆動磁石の磁束密度（磁石強度）を必要に応じて自由に設定し得るので、当該被駆動磁石の強度を使用状態に応じて変化させることができるという利点がある。
第２１図では、前記第１の実施形態に装備した四枚の制動用プレート９に代えて同一材質からなる１枚の制動用プレート３９を装備した場合を示す。
この場合、制動用プレート３９の中央部には、第１図に開示した連結支柱１０の挿通を許容し且つ当該連結支柱１０が補助テーブル５（及び可動テーブル１）と共に第２１図の直交軸Ｘ−Ｙの平面内において移動するのを許容する程度の大きさの貫通穴３９Ａが形成されている。
尚、この制動用プレート３９は、第２１図（Ａ）では、複数の各田形状駆動コイル７の各端部に当接した状態で当該各田形状駆動コイル７を介して固定プレート８に装着した場合を例示してある。一方、この制動用プレート３９については、各田形状駆動コイル７の端面部分に当接した状態を維持しつつ、他のスペーサ部材（図示せず）を介して固定プレート８に固定するように構成してもよい。
その他の構成は前記第１の実施形態と同一となっている。
以上説明した第３の実施形態は、前記第１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、更に制動用プレート３９の組立作業が前記第１実施形態の場合に比較して著しく単純化され、制動用プレート３９の全体の表面積が大きくなるので、放熱板としても有効に機能する。また、構造が単純化されるため、生産性および装置の耐久性の向上を図ることができるという利点がある。
尚、この第３の実施形態は、前記第１の実施形態における複数の制動用プレート９に代えて同一材質の一枚の板状部材を装備するように構成した場合を例示したが、これに限られるものではない。前記第２の実施形態のように、補助テーブル５を削除した構成における複数の制動用プレート９に代えて同一材質の一枚の板状部材を単一の制動用プレート３９として装備するように構成してもよい。
前記第１〜第３の各実施形態にあっては、被駆動磁石６として永久磁石を装備した場合を例示したが、永久磁石に代えて電磁石を装備したものであってもよい。この場合、この電磁石の駆動制御については、前記テーブル駆動制御手段２１が担当し、前記各田形状駆動コイル７の動作に連動してその順方向又は逆方向或いは通電停止状態が選択され所定の通電制御が成されるようになっている（図示せず）。
このため、この被駆動磁石６として電磁石を装備した場合にあっては、前記実施形態１とほぼ同等の機能を有するほか、被駆動磁石を電磁石としたことから、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもたせることができる。
例えば、移動時の加速／減速に際しては各駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し得るので、可動テーブルの移動方向等の変化に対して迅速に対応し得ることが可能となる。又、被駆動磁石の磁束密度（磁石強度）を必要に応じて自由に設定し得るので、当該被駆動磁石の強度を使用状態に応じて変化させることができるという利点がある。
第２２図に第４の実施形態を示す。第１図に示す第１の実施形態における電磁制動機構は、制動用磁石として被駆動磁石６を用い、この被駆動磁石６と制動用プレート９とを組み合わせて構成されている。これに対して、第２２図に示す第４の実施形態に係る電磁制動機構４１は、被駆動磁石と独立した別体の磁石を制動用磁石として用い、当該制動用磁石と、制動用プレート９に代えた制動用プレート４９とを組み合わせて構成されている。
即ち、第２２図において、電磁制動機構４１は固定プレート８の上面部分の同一円周上に等間隔に固定装備された四枚の制動用プレート４９と、この各制動用プレート４９に近接し対向して前記可動テーブル１の下面部分に固定装備された四個の制動用磁石４６とによって構成されている。
ここで、四枚の各制動用プレート４９と四個の各制動用磁石４６は、何れも、前記電磁駆動手段４の四個の各田形状駆動コイル７および各被駆動磁石６に対応した位置に装備されている。
この四枚の各制動用プレート４９は非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。又、四個の各制動用磁石４６は、その磁極の極性Ｎ，Ｓが、一つ置きに逆に（隣接する磁石の極性が異なるように）配置され、これによって可動テーブル１と固定プレート８を介して磁気回路が円滑に形成されるようになっている。
その他の構成は第１図に示す第１の実施形態とほぼ同一となっている。
以上説明した第４の実施形態は、その作用効果が第１図に示す第１の実施形態の場合とほぼ同等の作用効果を得ることができ、特に電磁制動機構４１についても、第１図（第１の実施形態）に示した制動用プレート９と被駆動磁石６との関係で生じる電磁制動（渦電流制動）と同等若しくはそれ以上の電磁制動を得ることができる。
更に、本実施形態にあっては、制動用プレート９を電磁駆動手段４の設置領域から削除したことから、各田形状駆動コイル７と各被駆動磁石６との間の隙間（間隔）を小さく（狭く）設定することができる。このため、前記第１の実施形態の場合に比較して電磁駆動力を更に大きく設定することができるという利点がある。
尚、前記実施形態にあっては、前記第１の実施形態（第１図）における制動用プレート９を削除した場合を例示したが、実際上は制動用プレート９をそのまま装備した状態で新たに前記電磁制動機構４１を追加装備した状態で使用してもよい。
この電磁制動機構４１については、制動用磁石４６の数と制動用プレート４９の数及びその装備箇所を特定した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定するものではない。制動用磁石４６については三個以上の任意に数を装備しても、また制動用プレート４９については各制動用磁石４６に対応した大きさで所定形状の１枚の制動用プレートを装備してもよい。
更に、制動用磁石４６と制動用プレート４９とは、その装備位置を入れ換えても、同等に機能する電磁制動機構４１を得ることができる。
即ち、第２２図において、電磁制動機構４１は固定プレート８の上面部分の同一円周上に等間隔に固定装備された四枚の制動用プレート４９と、この各制動用プレート４９に近接し対向して前記可動テーブル１の下面部分に固定装備された四個の制動用磁石４６とによって構成されている。
ここで、四枚の各制動用プレート４９と四個の各制動用磁石４６は、何れも、前記電磁駆動手段４の四個の各田形状駆動コイル７および各被駆動磁石６に対応した位置に装備されている。
この四枚の各制動用プレート４９は非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。又、四個の各制動用磁石４６は、その磁極の極性Ｎ，Ｓが、一つ置きに逆に（隣接する磁石の極性が異なるように）配置され、これによって可動テーブル１と固定プレート８を介して磁気回路が円滑に形成されるようになっている。
その他の構成は第１図に示す第１の実施形態とほぼ同一となっている。
以上説明した第４の実施形態は、その作用効果が第１図に示す第１の実施形態の場合とほぼ同等の作用効果を得ることができ、特に電磁制動機構４１についても、第１図（第１の実施形態）に示した制動用プレート９と被駆動磁石６との関係で生じる電磁制動（渦電流制動）と同等若しくはそれ以上の電磁制動を得ることができる。
更に、本実施形態にあっては、制動用プレート９を電磁駆動手段４の設置領域から削除したことから、各田形状駆動コイル７と各被駆動磁石６との間の隙間（間隔）を小さく（狭く）設定することができる。このため、前記第１の実施形態の場合に比較して電磁駆動力を更に大きく設定することができるという利点がある。
尚、前記実施形態にあっては、前記第１の実施形態（第１図）における制動用プレート９を削除した場合を例示したが、実際上は制動用プレート９をそのまま装備した状態で新たに前記電磁制動機構４１を追加装備した状態で使用してもよい。
この電磁制動機構４１については、制動用磁石４６の数と制動用プレート４９の数及びその装備箇所を特定した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定するものではない。制動用磁石４６については三個以上の任意に数を装備しても、また制動用プレート４９については各制動用磁石４６に対応した大きさで所定形状の１枚の制動用プレートを装備してもよい。
更に、制動用磁石４６と制動用プレート４９とは、その装備位置を入れ換えても、同等に機能する電磁制動機構４１を得ることができる。
第２３図に第５の実施形態を示す。第２３図に示す第５の実施形態は、前記第１９図に示す第２の実施形態において、新たに電磁制動機構５１を装備すると共に、この電磁制動機構５１を、前記電磁駆動手段３４から切り離して別に（独立して）装備した点に特徴を備えている。
この場合、電磁制動機構５１は第２３図に示すように、固定プレート３８の上面中央部分に装備された二個の制動用磁石５６と、この制動用磁石５６に近接し且つ対向して前記可動テーブル１の下面部分に固定装備された一枚の制動用プレート５９とによって構成されている。
ここで、一枚の制動用プレート５９と二個の各制動用磁石５６は、何れも、前記電磁駆動手段４の四個の各田形状駆動コイル７および各被駆動磁石６とは独立して装備されている。制動用プレート５９は、非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。又、二個の各制動用磁石５６は、その磁極の極性Ｎ，Ｓが、逆に（隣接する磁石の極性が異なるように）配置され、これによって可動テーブル１と固定プレート３８を介して磁気回路が円滑に形成されるようになっている。
その他の構成は、前記第１９図に示す第２の実施形態とほぼ同一となっている。
第５の実施形態は、第１９図に示す第２の実施形態とほぼ同等の作用効果を得ることができるほか、更に、この第５の実施形態は、制動用プレート９を電磁駆動手段４の設置領域から削除したので、各田形状駆動コイル７と各被駆動磁石６との間の隙間（間隔）を小さく（狭く）設定することができる。このため、前記第２実施形態の場合に比較して、電磁駆動力を更に大きく設定することができるという利点がある。
尚、前記第５の実施形態にあっては、前記第２の実施形態（第１９図）における制動用プレート５９を削除した場合を例示したが、実際上は制動用プレート９をそのまま装備した状態で使用してもよい。
又、電磁制動機構５１については、制動用磁石５６の数と制動用プレート５９の数及びその装備箇所を特定した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定するものではない。制動用磁石５６については三個以上の任意の数を装備しても、また制動用プレート５９については各制動用磁石５６に対応して個別に独立して装備してもよい。
この場合、電磁制動機構５１は第２３図に示すように、固定プレート３８の上面中央部分に装備された二個の制動用磁石５６と、この制動用磁石５６に近接し且つ対向して前記可動テーブル１の下面部分に固定装備された一枚の制動用プレート５９とによって構成されている。
ここで、一枚の制動用プレート５９と二個の各制動用磁石５６は、何れも、前記電磁駆動手段４の四個の各田形状駆動コイル７および各被駆動磁石６とは独立して装備されている。制動用プレート５９は、非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。又、二個の各制動用磁石５６は、その磁極の極性Ｎ，Ｓが、逆に（隣接する磁石の極性が異なるように）配置され、これによって可動テーブル１と固定プレート３８を介して磁気回路が円滑に形成されるようになっている。
その他の構成は、前記第１９図に示す第２の実施形態とほぼ同一となっている。
第５の実施形態は、第１９図に示す第２の実施形態とほぼ同等の作用効果を得ることができるほか、更に、この第５の実施形態は、制動用プレート９を電磁駆動手段４の設置領域から削除したので、各田形状駆動コイル７と各被駆動磁石６との間の隙間（間隔）を小さく（狭く）設定することができる。このため、前記第２実施形態の場合に比較して、電磁駆動力を更に大きく設定することができるという利点がある。
尚、前記第５の実施形態にあっては、前記第２の実施形態（第１９図）における制動用プレート５９を削除した場合を例示したが、実際上は制動用プレート９をそのまま装備した状態で使用してもよい。
又、電磁制動機構５１については、制動用磁石５６の数と制動用プレート５９の数及びその装備箇所を特定した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定するものではない。制動用磁石５６については三個以上の任意の数を装備しても、また制動用プレート５９については各制動用磁石５６に対応して個別に独立して装備してもよい。
第２４図に第６の実施形態の一例を示す。第２４図に示す第６の実施形態に係る電磁制動機構は、前記第２１図に示す第３の実施形態において、制動用プレート３９に代えて、当該制動用プレート３９の周囲を大きく延設してケース本体３（第１図参照）に固着してなる構造の新たな制動用プレート６９を固着装備すると共に、固定プレート８を削除した点に特徴を備えている。符号６９Ａは制動用プレート６９の中央部に形成された貫通穴を示す。この貫通穴６９Ａは、連結支柱１０の移行動作を許容する大きさに形成されている。
ここで、制動用プレート６９は、非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。
この第２４図に示す第６の実施形態では、固定プレート８の削除によって、各田形状駆動コイル７は、その下面側が制動用プレート６９に保持された形態となっている。
このため、この第６の実施形態に係る電磁駆動手段６４は、制動用プレート６９と、この制動用プレート６９上に固着された各田形状駆動コイル７と、この各田形状駆動コイル７に対応して制動用プレート６９および所定の隙間を介して補助テーブル５上に装備された状態の各被駆動磁石６とにより構成されている。
また、第６の実施形態に係る電磁制動機構は、制動用プレート６９と被駆動磁石６との組み合わせから構成されている。
更に、符号６６は四個の他の被駆動磁石を示す。この四個の他の被駆動磁石６６は、前記各田形状駆動コイル７の第２４図における上面（可動テーブル１側の端面）に対向して可動テーブル１にそれぞれ固着装備され、これによって電磁駆動手段６４の駆動力が強化された状態となっている。
ここで、新たに追加した各被駆動磁石６６の磁極については、前記各被駆動磁石６に対向した面がそれぞれ異なる磁極（Ｎ極とＳ極とが対向する形態）と成るように設定されている。その他の構成は、前記第２図１に示す第３の実施形態と同一となっている。
このようにしても、前記第２１図に示す第３の実施形態と同一の作用効果を備えており、特に制動用プレート６９と被駆動磁石６との位置関係は前記第３の実施形態（第２１図）の場合と同一状態に維持されていることから、制動用プレート６９による制動機能も前記第３の実施形態（第２１図）の場合と全く同一となっている。その他の作用効果については、固定プレート８を削除したことから、装置全体を更に小型化し軽量化することが可能となるという利点がある。
ここで、新たに追加した被駆動磁石６６については、例えば鉄材等による通常の磁性部材で構成してもよい。この場合、被駆動磁石６６に代わる磁性部材は、磁気回路形成部材として有効に機能する。
尚、この第６の実施形態において、前記新たな被駆動磁石６６については削除してもよい。このようにすると、装置全体の小型化および軽量化を更に推進することができ、装置の汎用性を更に高めることができて都合がよい。
ここで、制動用プレート６９は、非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。
この第２４図に示す第６の実施形態では、固定プレート８の削除によって、各田形状駆動コイル７は、その下面側が制動用プレート６９に保持された形態となっている。
このため、この第６の実施形態に係る電磁駆動手段６４は、制動用プレート６９と、この制動用プレート６９上に固着された各田形状駆動コイル７と、この各田形状駆動コイル７に対応して制動用プレート６９および所定の隙間を介して補助テーブル５上に装備された状態の各被駆動磁石６とにより構成されている。
また、第６の実施形態に係る電磁制動機構は、制動用プレート６９と被駆動磁石６との組み合わせから構成されている。
更に、符号６６は四個の他の被駆動磁石を示す。この四個の他の被駆動磁石６６は、前記各田形状駆動コイル７の第２４図における上面（可動テーブル１側の端面）に対向して可動テーブル１にそれぞれ固着装備され、これによって電磁駆動手段６４の駆動力が強化された状態となっている。
ここで、新たに追加した各被駆動磁石６６の磁極については、前記各被駆動磁石６に対向した面がそれぞれ異なる磁極（Ｎ極とＳ極とが対向する形態）と成るように設定されている。その他の構成は、前記第２図１に示す第３の実施形態と同一となっている。
このようにしても、前記第２１図に示す第３の実施形態と同一の作用効果を備えており、特に制動用プレート６９と被駆動磁石６との位置関係は前記第３の実施形態（第２１図）の場合と同一状態に維持されていることから、制動用プレート６９による制動機能も前記第３の実施形態（第２１図）の場合と全く同一となっている。その他の作用効果については、固定プレート８を削除したことから、装置全体を更に小型化し軽量化することが可能となるという利点がある。
ここで、新たに追加した被駆動磁石６６については、例えば鉄材等による通常の磁性部材で構成してもよい。この場合、被駆動磁石６６に代わる磁性部材は、磁気回路形成部材として有効に機能する。
尚、この第６の実施形態において、前記新たな被駆動磁石６６については削除してもよい。このようにすると、装置全体の小型化および軽量化を更に推進することができ、装置の汎用性を更に高めることができて都合がよい。
〔駆動コイルに関する他の実施形態〕
前記各駆動コイル７に関する他の実施形態例を示し、制動プレートとの関係を示す。この場合、駆動コイル以外の他の構成部分は、それぞれ前記各実施形態のものと同等に構成されており、ここではその説明を省略する。
（１）．田形駆動コイルに関する実施形態
前記各実施形態にあっては、電磁駆動手段４，３４，６４の主要部をなす駆動コイルとしての田形状駆動コイル７をＸ−Ｙ軸上に限定装備した場合を例示したが、第２５図に示すようにＸ−Ｙ軸上からはずれた位置に田形状駆動コイル７を装備したものであってもよい。
この場合、被駆動磁石６（又は６６）は、田形状駆動コイル７に対応した位置で前記田形状駆動コイル７側に固着されている。
この第２５図の場合を含めて、当該田形状駆動コイル７の内側に位置する十字状コイル辺の配置については、前記各実施形態にあってはその縦又は横のコイル辺部分が前記Ｘ−Ｙ軸に沿って配置された場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定されず、Ｘ軸又はＹ軸に対して所定の傾きをもって配置したものであってもよい。
この田形駆動コイル７については第２５図では四個装備した場合を例示したが、同等に機能するものであれば、三個であっても五個以上であってもよい。
更に、この田形駆動コイル７については、その外径が四角形以外の形状であってもよい。
（２）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その１）
前記各実施形態にあっては、電磁駆動手段の主要部をなす駆動コイルとして田形状駆動コイル７を装備した場合を例示したが、これは例示的記載であり、同等に機能するものであれば、これに代えて他の駆動コイルを装備したものであってもよい。
第２６図（Ａ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的大きい単一の口状駆動コイル７１を使用し、この口状駆動コイル７１の四辺部分に対向して磁極のＮ，Ｓが個別に可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で４個の電磁石８１を個別に配置し、これによって、電磁駆動手段４（又は３４）を構成した場合を示す。
この事例では、口状駆動コイル７１および各電磁石８１への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、可動テーブル１（又は３１）の回転動作を除いて全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。口状駆動コイル７１の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
（３）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その２）
第２６図（Ｂ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的小さい四個の口状駆動コイル７２と八個の電磁石８２を使用した事例を示す。
この第２３図（Ｂ）の事例では、四個の各口状駆動コイル７２をＸ−Ｙ軸と交差する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。又この各口状駆動コイル７２がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差する箇所に位置する各口状駆動コイル７２のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８２を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４（又は３４）を構成する。
この事例でも、前記第２６図（Ａ）の場合と同様に、各口状駆動コイル７２及び各電磁石８２への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、可動テーブル１（又は３１）の回転動作を除く全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。
この場合も、口状駆動コイル７２の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
（４）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その３）
第２７図（Ａ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的小さい四個の口状駆動コイル７３と八個の電磁石８３を使用した事例を示す。
この第２７図（Ａ）の事例では、四個の各口状駆動コイル７３をＸ−Ｙ軸と交差する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。又この各口状駆動コイル７３がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差しない箇所に位置する各口状駆動コイル７３のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８３を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４又は３４を構成する。
この事例では、口状駆動コイル７３および電磁石８３への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、前記第１乃至第３の各実施形態の場合と同様に、回転動作および全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。この場合、口状駆動コイル７３の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
（５）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その４）
第２７図（Ｂ）は、駆動コイルとして単一の白抜き十字状に形成された十字状枠型駆動コイル７４と八個の電磁石８４とを使用した事例を示す。
この第２７図（Ａ）の事例では、十字状枠型駆動コイル７４の縦方向及び横方向の中心線部分がＸ−Ｙ軸上に位置する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。そして、この十字状枠型駆動コイル７４がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差しない箇所に位置する十字状枠型駆動コイル７４のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８４を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４又は３４を構成する。
この事例でも、十字状枠型駆動コイル７４および八個の電磁石８４への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、前記第１乃至第３の各実施形態の場合と同様に、回転動作及び全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。
そして、前記（２）乃至（５）の各事例にあって、各駆動コイル７１，７２，７３又は７４の所定のコイル辺部分に当接し且つ対応する各被駆動磁石６に個別に対向して前記各制動用プレート９が各被駆動磁石毎に前記駆動コイル側に固着装備されている。
又、この場合も前記第３の実施形態の場合（第２１図参照）と同様に、複数の各制動用プレート９に代えて同一部材からなる単一の板状部材を制動用プレート３９（図示せず）として装備してもよい。
以上説明したように前記実施形態は、被加工物を支持する可動テーブルを、同一面上で（高さ位置を変化させることなく）所定方向に自在に且つ円滑に精密移動させ若しくは元位置に復帰させることができ、テーブル保持機構として弾性部材を利用し同一面内で任意に方向に可動テーブルを移動可能としたものを装備したので、従来必要としていた二重構造の摺動機構が不要となる。このため、特別な精密加工等が不要となったことから加工組立作業の大幅な改善および装置全体の小型軽量化が可能となる。
更に、テーブル駆動用の電磁駆動手段の一部を構成する複数の磁石に対向して非磁性部材からなる導電性の制動プレートを装備したため、停止時における可動テーブルの往復移動動作の繰り返しや周囲の振動等に起因して同一面内での微小振動等が発生しても、これを有効に抑制することが可能となる。これにより、当該可動テーブルの精密移動を円滑に行うことができる。
前述したように、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面内での任意の方向への移動を許容するテーブル保持機構と、前記テーブル保持機構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可動テーブルに移動力を付与する電磁駆動手段とを備えている。なお、前記テーブル保持機構は、後述するように、前記可動テーブルに元位置復帰力を付加する機能を備えるようにしてもよいものである。
また、電磁駆動手段は、少なくとも前記可動テーブル側の所定位置に固定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置されたコイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石に対して可動テーブルの所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付与する駆動コイルとにより構成されている。なお、前記駆動コイルは、固定プレートを介して、又は、この固定プレートに代わる他の部材を介して本体部に組み付けるようにしてもよいものである。
また、非磁性金属部材からなる制動用プレートが前記被駆動磁石の磁極面に近接して配設され、この制動用プレートと被駆動磁石との組み合わせにより、電磁制動機構が構成されている。
このため、本実施形態は、電磁駆動手段が作動すると、まず、当該電磁駆動手段が備えている駆動コイルと被駆動磁石との間に磁力が生じ、可動テーブルが所定の方向に移動力が付与される。
この場合、可動テーブルはテーブル保持機構によって同一面内での任意の方向への移動が許容された状態で保持されていることから、上下動することなく所定の方向に円滑に移動し、前記テーブル保持機構の有する元位置復帰力と電磁駆動手段の磁力との平衡のとれた位置（即ち、所定の移動停止位置）にて停止する。
一方、この可動テーブルは、その移動／停止に際して急加速又は急減速されると、可動テーブル自体が急発進／急停止され、特に停止に際しては前記テーブル保持機構の有する元位置復帰力との相互作用で繰り返し往復移動を起こしやすい。
かかる場合、可動テーブルの急激な動作変化により当該被駆動磁石と制動用プレートとの間に電磁制動（渦電流ブレーキ）が働き、これにより、可動テーブルは、その急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で徐々に円滑に移動することができる。
また、電磁制動機構は、制動用プレートと被駆動磁石との組み合わせによる簡単な構成であり、電磁駆動手段は、被駆動磁石とこれに対向する駆動コイルとの組み合わせた簡単な構成としている。このため、二重構造の移動機構を備えた従来のものと比較して、装置全体の小型化及び軽量化が可能となり、可搬性良好であるばかりでなく、組立作業に際しても、特に熟練を要することがないことから、作業性も良好となり、生産性を高めることが可能となる。
更に、駆動コイルの前記被駆動磁石側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレートは、駆動コイルとの関係ではトランスの二次側回路に相当する回路を構成し、且つ制動用プレートの電気抵抗成分（渦電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
このため、トランスの一次側回路を構成する駆動コイルは、二次側回路が開放状態の場合に較べて比較的大きい電流を通電することができる。これにより、前記被駆動磁石との間には当該制動用プレートがない場合と比較して比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
この制動用プレートは、放熱板としても機能し、かかる点において駆動コイルの連続運転に伴う径年変化（熱による絶縁破壊等）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性および信頼性を高めることができる。
また、可動テーブルに対して、これに対向し且つ所定間隔を隔てて補助テーブルを平行に一体的に連結装備すると共に、この補助テーブル側に前記テーブル保持機構を装備し、この補助テーブルに前記被駆動磁石を装備する、という構成を採用することも可能である。
補助テーブルに被駆動磁石を装備することにより、組立作業に際しては可動テーブルの損傷事故等の発生を有効に回避することができる。
また、駆動コイルを複数個の田形状駆動コイルにより構成すると共に、この田形状駆動コイルの内側に位置する十字状部分に対応して前記被駆動磁石を個別に配設する、という構成を採ることも可能である。これにより、田形状駆動コイルの内側に設定された許容移動範囲内において各被駆動磁石（ひいては可動テーブル）を所定の方向に自在に且つ精密に移動させることが可能となる。
この場合、田形状駆動コイルは、実際には別に装備された駆動制御手段によって例えばＸ方向又はＹ方向の駆動力を対応する各被駆動磁石との間に発生せしめ、全体的に統括制御して当該被駆動磁石を介して可動テーブルを所定の方向に移動させることが可能となっている。
また、複数の被駆動磁石を永久磁石で構成するという構成を採ることも可能である。被駆動磁石を永久磁石としたため、電磁石のような通電回路が不要となり、その分、組立時及び保守点検時における作業の煩雑さを回避することができ、したがって、生産性及び保守性の向上を図り、装置全体の耐久性を増すことができる。
また、前記複数の被駆動磁石を電磁石で構成すると共に、この各被駆動磁石を前記駆動コイルに連動して順方向又は逆方向或いは通電停止状態に選択的に通電制御するように構成するということも可能である。
このため、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもたせることができる。例えば、可動テーブルの移動時における加速／減速には、駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御することにより対応し得るため、可動テーブルの移動方向等の変化に対して迅速に対応し得ることができる。被駆動磁石の磁束密度も自由に設定し得るため、当該被駆動磁石の強度を使用状態に応じて変えることができる。
また、前記制動用プレートを、複数の被駆動磁石に対応して個別に装備し、また、制動用プレートを各駆動コイル側の端部に固定するようにしてもよいものである。
更に、前記制動用プレートを、前記複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成し、この単一のプレート部材を前記各駆動コイルの各磁石側端部に固着装備してもよい。
更に、駆動コイル毎に制動用プレートを装備することにより、駆動コイル相互間に空間が設定されることとなり、保守点検作業の円滑化，即ち保守性の向上を図り得る。
又、制動用プレートを複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成することにより、組立作業が単純化され、装置全体の生産性及び耐久性の向上および原価低減を図ることができる。
また、制動用プレートを駆動コイル側から切り離し、新たに他の制動用磁石と組み合わせて電磁制動機構を構成することも可能である。この場合には、制動用プレートを駆動コイルとは異なった箇所に装備することが可能となる。
このため、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備ことが可能となり、電磁制動力の強さを自由に設定することができる。この場合、電磁駆動手段側では駆動コイルと被駆動磁石との間の隙間を更に小さく設定し得るため、駆動コイルと被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生させることができる。
また、制動プレートを各被駆動磁石に対応した単一の制動プレートで構成し、この単一の制動プレートを本体部に固定し、且つこの単一の制動プレートで前記駆動コイルを保持するようにしてもよいものである。
このため、前記固定プレートを削除することができるばかりでなく、制動用プレートにて駆動コイルを保持することができる。さらに、固定プレートを削除することができるため、装置全体の小型軽量化を一層促進することができる。これにより、一層の可搬性および汎用性を高めることができ、構成要素の削減に伴って原価低減を図ることができる。
前記各駆動コイル７に関する他の実施形態例を示し、制動プレートとの関係を示す。この場合、駆動コイル以外の他の構成部分は、それぞれ前記各実施形態のものと同等に構成されており、ここではその説明を省略する。
（１）．田形駆動コイルに関する実施形態
前記各実施形態にあっては、電磁駆動手段４，３４，６４の主要部をなす駆動コイルとしての田形状駆動コイル７をＸ−Ｙ軸上に限定装備した場合を例示したが、第２５図に示すようにＸ−Ｙ軸上からはずれた位置に田形状駆動コイル７を装備したものであってもよい。
この場合、被駆動磁石６（又は６６）は、田形状駆動コイル７に対応した位置で前記田形状駆動コイル７側に固着されている。
この第２５図の場合を含めて、当該田形状駆動コイル７の内側に位置する十字状コイル辺の配置については、前記各実施形態にあってはその縦又は横のコイル辺部分が前記Ｘ−Ｙ軸に沿って配置された場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定されず、Ｘ軸又はＹ軸に対して所定の傾きをもって配置したものであってもよい。
この田形駆動コイル７については第２５図では四個装備した場合を例示したが、同等に機能するものであれば、三個であっても五個以上であってもよい。
更に、この田形駆動コイル７については、その外径が四角形以外の形状であってもよい。
（２）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その１）
前記各実施形態にあっては、電磁駆動手段の主要部をなす駆動コイルとして田形状駆動コイル７を装備した場合を例示したが、これは例示的記載であり、同等に機能するものであれば、これに代えて他の駆動コイルを装備したものであってもよい。
第２６図（Ａ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的大きい単一の口状駆動コイル７１を使用し、この口状駆動コイル７１の四辺部分に対向して磁極のＮ，Ｓが個別に可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で４個の電磁石８１を個別に配置し、これによって、電磁駆動手段４（又は３４）を構成した場合を示す。
この事例では、口状駆動コイル７１および各電磁石８１への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、可動テーブル１（又は３１）の回転動作を除いて全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。口状駆動コイル７１の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
（３）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その２）
第２６図（Ｂ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的小さい四個の口状駆動コイル７２と八個の電磁石８２を使用した事例を示す。
この第２３図（Ｂ）の事例では、四個の各口状駆動コイル７２をＸ−Ｙ軸と交差する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。又この各口状駆動コイル７２がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差する箇所に位置する各口状駆動コイル７２のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８２を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４（又は３４）を構成する。
この事例でも、前記第２６図（Ａ）の場合と同様に、各口状駆動コイル７２及び各電磁石８２への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、可動テーブル１（又は３１）の回転動作を除く全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。
この場合も、口状駆動コイル７２の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
（４）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その３）
第２７図（Ａ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的小さい四個の口状駆動コイル７３と八個の電磁石８３を使用した事例を示す。
この第２７図（Ａ）の事例では、四個の各口状駆動コイル７３をＸ−Ｙ軸と交差する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。又この各口状駆動コイル７３がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差しない箇所に位置する各口状駆動コイル７３のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８３を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４又は３４を構成する。
この事例では、口状駆動コイル７３および電磁石８３への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、前記第１乃至第３の各実施形態の場合と同様に、回転動作および全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。この場合、口状駆動コイル７３の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
（５）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その４）
第２７図（Ｂ）は、駆動コイルとして単一の白抜き十字状に形成された十字状枠型駆動コイル７４と八個の電磁石８４とを使用した事例を示す。
この第２７図（Ａ）の事例では、十字状枠型駆動コイル７４の縦方向及び横方向の中心線部分がＸ−Ｙ軸上に位置する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。そして、この十字状枠型駆動コイル７４がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差しない箇所に位置する十字状枠型駆動コイル７４のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８４を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４又は３４を構成する。
この事例でも、十字状枠型駆動コイル７４および八個の電磁石８４への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、前記第１乃至第３の各実施形態の場合と同様に、回転動作及び全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。
そして、前記（２）乃至（５）の各事例にあって、各駆動コイル７１，７２，７３又は７４の所定のコイル辺部分に当接し且つ対応する各被駆動磁石６に個別に対向して前記各制動用プレート９が各被駆動磁石毎に前記駆動コイル側に固着装備されている。
又、この場合も前記第３の実施形態の場合（第２１図参照）と同様に、複数の各制動用プレート９に代えて同一部材からなる単一の板状部材を制動用プレート３９（図示せず）として装備してもよい。
以上説明したように前記実施形態は、被加工物を支持する可動テーブルを、同一面上で（高さ位置を変化させることなく）所定方向に自在に且つ円滑に精密移動させ若しくは元位置に復帰させることができ、テーブル保持機構として弾性部材を利用し同一面内で任意に方向に可動テーブルを移動可能としたものを装備したので、従来必要としていた二重構造の摺動機構が不要となる。このため、特別な精密加工等が不要となったことから加工組立作業の大幅な改善および装置全体の小型軽量化が可能となる。
更に、テーブル駆動用の電磁駆動手段の一部を構成する複数の磁石に対向して非磁性部材からなる導電性の制動プレートを装備したため、停止時における可動テーブルの往復移動動作の繰り返しや周囲の振動等に起因して同一面内での微小振動等が発生しても、これを有効に抑制することが可能となる。これにより、当該可動テーブルの精密移動を円滑に行うことができる。
前述したように、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面内での任意の方向への移動を許容するテーブル保持機構と、前記テーブル保持機構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可動テーブルに移動力を付与する電磁駆動手段とを備えている。なお、前記テーブル保持機構は、後述するように、前記可動テーブルに元位置復帰力を付加する機能を備えるようにしてもよいものである。
また、電磁駆動手段は、少なくとも前記可動テーブル側の所定位置に固定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置されたコイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石に対して可動テーブルの所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付与する駆動コイルとにより構成されている。なお、前記駆動コイルは、固定プレートを介して、又は、この固定プレートに代わる他の部材を介して本体部に組み付けるようにしてもよいものである。
また、非磁性金属部材からなる制動用プレートが前記被駆動磁石の磁極面に近接して配設され、この制動用プレートと被駆動磁石との組み合わせにより、電磁制動機構が構成されている。
このため、本実施形態は、電磁駆動手段が作動すると、まず、当該電磁駆動手段が備えている駆動コイルと被駆動磁石との間に磁力が生じ、可動テーブルが所定の方向に移動力が付与される。
この場合、可動テーブルはテーブル保持機構によって同一面内での任意の方向への移動が許容された状態で保持されていることから、上下動することなく所定の方向に円滑に移動し、前記テーブル保持機構の有する元位置復帰力と電磁駆動手段の磁力との平衡のとれた位置（即ち、所定の移動停止位置）にて停止する。
一方、この可動テーブルは、その移動／停止に際して急加速又は急減速されると、可動テーブル自体が急発進／急停止され、特に停止に際しては前記テーブル保持機構の有する元位置復帰力との相互作用で繰り返し往復移動を起こしやすい。
かかる場合、可動テーブルの急激な動作変化により当該被駆動磁石と制動用プレートとの間に電磁制動（渦電流ブレーキ）が働き、これにより、可動テーブルは、その急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で徐々に円滑に移動することができる。
また、電磁制動機構は、制動用プレートと被駆動磁石との組み合わせによる簡単な構成であり、電磁駆動手段は、被駆動磁石とこれに対向する駆動コイルとの組み合わせた簡単な構成としている。このため、二重構造の移動機構を備えた従来のものと比較して、装置全体の小型化及び軽量化が可能となり、可搬性良好であるばかりでなく、組立作業に際しても、特に熟練を要することがないことから、作業性も良好となり、生産性を高めることが可能となる。
更に、駆動コイルの前記被駆動磁石側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレートは、駆動コイルとの関係ではトランスの二次側回路に相当する回路を構成し、且つ制動用プレートの電気抵抗成分（渦電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
このため、トランスの一次側回路を構成する駆動コイルは、二次側回路が開放状態の場合に較べて比較的大きい電流を通電することができる。これにより、前記被駆動磁石との間には当該制動用プレートがない場合と比較して比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
この制動用プレートは、放熱板としても機能し、かかる点において駆動コイルの連続運転に伴う径年変化（熱による絶縁破壊等）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性および信頼性を高めることができる。
また、可動テーブルに対して、これに対向し且つ所定間隔を隔てて補助テーブルを平行に一体的に連結装備すると共に、この補助テーブル側に前記テーブル保持機構を装備し、この補助テーブルに前記被駆動磁石を装備する、という構成を採用することも可能である。
補助テーブルに被駆動磁石を装備することにより、組立作業に際しては可動テーブルの損傷事故等の発生を有効に回避することができる。
また、駆動コイルを複数個の田形状駆動コイルにより構成すると共に、この田形状駆動コイルの内側に位置する十字状部分に対応して前記被駆動磁石を個別に配設する、という構成を採ることも可能である。これにより、田形状駆動コイルの内側に設定された許容移動範囲内において各被駆動磁石（ひいては可動テーブル）を所定の方向に自在に且つ精密に移動させることが可能となる。
この場合、田形状駆動コイルは、実際には別に装備された駆動制御手段によって例えばＸ方向又はＹ方向の駆動力を対応する各被駆動磁石との間に発生せしめ、全体的に統括制御して当該被駆動磁石を介して可動テーブルを所定の方向に移動させることが可能となっている。
また、複数の被駆動磁石を永久磁石で構成するという構成を採ることも可能である。被駆動磁石を永久磁石としたため、電磁石のような通電回路が不要となり、その分、組立時及び保守点検時における作業の煩雑さを回避することができ、したがって、生産性及び保守性の向上を図り、装置全体の耐久性を増すことができる。
また、前記複数の被駆動磁石を電磁石で構成すると共に、この各被駆動磁石を前記駆動コイルに連動して順方向又は逆方向或いは通電停止状態に選択的に通電制御するように構成するということも可能である。
このため、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもたせることができる。例えば、可動テーブルの移動時における加速／減速には、駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御することにより対応し得るため、可動テーブルの移動方向等の変化に対して迅速に対応し得ることができる。被駆動磁石の磁束密度も自由に設定し得るため、当該被駆動磁石の強度を使用状態に応じて変えることができる。
また、前記制動用プレートを、複数の被駆動磁石に対応して個別に装備し、また、制動用プレートを各駆動コイル側の端部に固定するようにしてもよいものである。
更に、前記制動用プレートを、前記複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成し、この単一のプレート部材を前記各駆動コイルの各磁石側端部に固着装備してもよい。
更に、駆動コイル毎に制動用プレートを装備することにより、駆動コイル相互間に空間が設定されることとなり、保守点検作業の円滑化，即ち保守性の向上を図り得る。
又、制動用プレートを複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成することにより、組立作業が単純化され、装置全体の生産性及び耐久性の向上および原価低減を図ることができる。
また、制動用プレートを駆動コイル側から切り離し、新たに他の制動用磁石と組み合わせて電磁制動機構を構成することも可能である。この場合には、制動用プレートを駆動コイルとは異なった箇所に装備することが可能となる。
このため、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備ことが可能となり、電磁制動力の強さを自由に設定することができる。この場合、電磁駆動手段側では駆動コイルと被駆動磁石との間の隙間を更に小さく設定し得るため、駆動コイルと被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生させることができる。
また、制動プレートを各被駆動磁石に対応した単一の制動プレートで構成し、この単一の制動プレートを本体部に固定し、且つこの単一の制動プレートで前記駆動コイルを保持するようにしてもよいものである。
このため、前記固定プレートを削除することができるばかりでなく、制動用プレートにて駆動コイルを保持することができる。さらに、固定プレートを削除することができるため、装置全体の小型軽量化を一層促進することができる。これにより、一層の可搬性および汎用性を高めることができ、構成要素の削減に伴って原価低減を図ることができる。
第２８図に第８の実施形態を示す。第２８図に示す第８の実施形態は、前記第１の実施形態における四つの各田形状駆動コイル７を前記固定プレート４８の孔にそれぞれ貫通した状態で当該固定プレート４８に固着装備すると共に、この各田形状駆動コイル７の端面に個別に対応して前記補助テーブル５及び可動テーブル１の各々に被駆動磁石６を装備し、これによって電磁駆動手段４４を構成した点に特徴を備えている。
符号４８Ａは第１図における貫通穴８Ａと同様に連結支柱１０の移動動作を許容する貫通穴を示す。又、符号４９，５０はそれぞれ各田形状駆動コイル７の各端面に当接して固定プレート８の両面に、前記各被駆動磁石６毎に対向し且つ近接した状態で各々固着装備された制動用プレートを示す。その他の構成は前記第１の実施形態と同一となっている。
本実施形態は、前記第１の実施形態と同一の作用効果を有するほか、更に、被駆動磁石６を、田形状駆動コイル７の両端面の十字状コイル辺を挟んで上下にそれぞれ装備したので、電磁駆動力を倍増させることができる。このため、より迅速に且つ安定した状態で補助テーブル５及び可動テーブル１を平面駆動することができ、装置全体の性能および信頼性の向上を図り得るという利点がある。
ここで、前記本実施形態に係る制動用プレート４９，５０については、各々前記各田形状駆動コイル７の各端面毎に区画して同一面上に個別に独立して装備した場合を例示したが、前記第３の実施形態における制動用プレート３９（第２１図参照）の場合と同様に、補助テーブル５側（又は可動テーブル１側）の各被駆動磁石６に共通に対向して一枚の制動用プレートで共用するように構成してもよい。
なお、第２８図に示す第８の実施形態においては、電磁制動機構の制動用磁石として電磁駆動手段の被駆動磁石６を使用したが、これらの被駆動磁石に代えて別体の制動用磁石を用い、この制動用磁石と制動用プレートとを組み合わせて電磁制動機構を構成し、この電磁制動機構を電磁駆動手段から切り離して設けることにより、制動用プレート４９，５０については削除してもよい。
このようにすると、各被駆動磁石６と対応する各田形状駆動コイル７との間の隙間を小さくすることができ、その両者間に働く電磁駆動力を大きく設定することができるという利点がある。
符号４８Ａは第１図における貫通穴８Ａと同様に連結支柱１０の移動動作を許容する貫通穴を示す。又、符号４９，５０はそれぞれ各田形状駆動コイル７の各端面に当接して固定プレート８の両面に、前記各被駆動磁石６毎に対向し且つ近接した状態で各々固着装備された制動用プレートを示す。その他の構成は前記第１の実施形態と同一となっている。
本実施形態は、前記第１の実施形態と同一の作用効果を有するほか、更に、被駆動磁石６を、田形状駆動コイル７の両端面の十字状コイル辺を挟んで上下にそれぞれ装備したので、電磁駆動力を倍増させることができる。このため、より迅速に且つ安定した状態で補助テーブル５及び可動テーブル１を平面駆動することができ、装置全体の性能および信頼性の向上を図り得るという利点がある。
ここで、前記本実施形態に係る制動用プレート４９，５０については、各々前記各田形状駆動コイル７の各端面毎に区画して同一面上に個別に独立して装備した場合を例示したが、前記第３の実施形態における制動用プレート３９（第２１図参照）の場合と同様に、補助テーブル５側（又は可動テーブル１側）の各被駆動磁石６に共通に対向して一枚の制動用プレートで共用するように構成してもよい。
なお、第２８図に示す第８の実施形態においては、電磁制動機構の制動用磁石として電磁駆動手段の被駆動磁石６を使用したが、これらの被駆動磁石に代えて別体の制動用磁石を用い、この制動用磁石と制動用プレートとを組み合わせて電磁制動機構を構成し、この電磁制動機構を電磁駆動手段から切り離して設けることにより、制動用プレート４９，５０については削除してもよい。
このようにすると、各被駆動磁石６と対応する各田形状駆動コイル７との間の隙間を小さくすることができ、その両者間に働く電磁駆動力を大きく設定することができるという利点がある。
次に、前記田形状駆動コイルに関する他の構成例を説明する。前記第１の実施形態においては、田形状駆動コイルとして四角形状のものを例示したが、本発明は田形状駆動コイルを必ずしもこれに限定するものではない。以下に示す形状のものも、田形状駆動コイルとして機能し得るものである。
（１）．外形が菱形の田形状駆動コイル
第２９図に示す田形状駆動コイル６１は、それぞれ独立して通電可能な四個の三角形状の角形小コイル６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄによって構成され、その全体の組合せを菱形状としたもの（四角形状のものを９０°回転させた状態）で、内側には第２９図に示すように十字状コイル辺を備えている。
第２９図は、このようにして形成された四個の田形状駆動コイル６１を、前記第１の実施形態の場合と同様にＸ−Ｙ直交座標上の各軸上に配置し固定テーブル８（図示せず）に固着装備した場合を示す。
そして、この場合も、被駆動磁石６は各田形状駆動コイル６１の十字状コイル辺に対応して補助テーブル５上に装備されるようになっている。また、符号５９は前記制動用プレート３９と同等に機能する制動用プレートを示す。同様に、符号５は補助テーブルを示す。その他の構成は前記第１の実施形態と同一となっている。
このようにしても、田形状駆動コイル６１は前記第１の実施形態における田形状駆動コイル７と同等に機能し、これを装備した精密加工用ステージ装置も前記第１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができる。
（２）．外形が円形状の田形状駆動コイル
第３０図に示す田形状駆動コイル６２は、それぞれ独立して通電可能な四個の扇形の角形小コイル６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄによって構成され、その全体の組合せを円形状としたもので、内側には第２第９図の場合と同様に十字状コイル辺を備えている。
第３０図は、このようにして形成された四個の円形状の田形状駆動コイル６２を、前記第１の実施形態の場合と同様にＸ−Ｙ直交座標上の各軸上に配置し固定テーブル８（図示せず）に固着装備した場合を示す。
そして、この場合も、被駆動磁石６は各田形状駆動コイル６２の十字状コイル辺に対応して補助テーブル５上に装備されるようになっている。また、符号５９は前記第３の実施形態における制動用プレート３９と同一の制動用プレートを示す。同様に、符号５は補助テーブルを示す。その他の構成は前記第１の実施形態と同一となっている。
このようにしても、円形状の田形状駆動コイル６２は前記第１の実施形態における四角形状の田形状駆動コイル７と同等に機能し、これを装備した精密加工用ステージ装置も前記第１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができる。
（３）．外形が八角形状の田形状駆動コイル
第３１図に示す田形状駆動コイル６３は、それぞれ独立して通電可能な四個の五角形状の角形小コイル６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄによって構成され、その全体の組合せを八角形状としたものであり、内側には第２９図の場合と同様に十字状コイル辺を備えている。
第３１図は、このようにして形成された四個の八角形状の田形状駆動コイル６３を、前記第１の実施形態の場合と同様にＸ−Ｙ直交座標上の各軸上に配置し固定テーブル８（図示せず）に固着装備した場合を示す。
そして、この場合も、被駆動磁石６は各田形状駆動コイル６３の十字状コイル辺に対応して補助テーブル５上に装備されるようになっている。また、符号５９は前記第３の実施形態における制動用プレート３９と同一の制動用プレートを示す。同様に、符号５は補助テーブルを示す。その他の構成は前記第１の実施形態と同一となっている。
このようにしても、八角形状の田形状駆動コイル６３は前記第１の実施形態における四角形状の田形状駆動コイル７と同等に機能し、これを装備した精密加工用ステージ装置も前記第１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができる。
以上のように、本発明における田形状駆動コイルについては、内側に十字状コイル辺を備えたものであれば、その外形の形状に関しては必ずしも四角形状に限定するものではなく、同等に機能するものであれば他の形状であってもよい。
また、前記各実施形態にあっては、各田形状駆動コイルの内側部分（十字状コイル辺部分）の空間領域を中空状態の場合を例示したが、この部分には、フェライト等の非導電性磁性部材を充填したものであってもよい。
更に、前記実施形態にあっては、被駆動磁石６として永久磁石を装備した場合を例示したが、被駆動磁石６として、永久磁石に代えて電磁石を用いたものであってもよい。この場合、この被駆動磁石６としての電磁石の駆動制御については、前記テーブル駆動制御手段２１が担当し、前記各田形状駆動コイル７の動作に連動してその順方向又は逆方向或いは通電停止状態が選択され所定の通電制御が成されるようになっている（図示せず）。
この被駆動磁石６を電磁石とした場合にあっては、可動テーブル１の駆動制御に種々変化をもたせることができる。例えば、移動時の加速／減速に際しては、各駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し得るので、可動テーブルの移動方向等の変化に対して迅速に対応し得ることが可能となる。
即ち、この被駆動磁石６を電磁石とした場合にあっては、被駆動磁石の磁束密度（磁石の強さ）を必要に応じて自由に設定し得るので、当該被駆動磁石の強度を使用状態に応じて変化させることができるという利点がある。
又、前記各実施形態にあっては、四個の被駆動磁石６及び対応する各田形状駆動コイル７，６１，６２又は６３を補助テーブル５（又は可動テーブル１）の上面におけるＸ−Ｙ直交座標上の原点から等距離の位置のＸ軸上及びＹ軸上にそれぞれ配設した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定されず、四個の各被駆動磁石６はＸ−Ｙ直交座標上でバランスのとれた位置であれば、原点である中心部から等距離の位置でなくてもよい。
被駆動磁石６については、これを偶数個（四個でなくてもよい）準備すると共に、この偶数個の被駆動磁石６を補助テーブル５（又は可動テーブル１）の同一円周上に等間隔に配置し、これによって位置が特定された各被駆動磁石６に個別に対応して前記田形状駆動コイル７を前記固定プレート８上にそれぞれ配置してもよい。
更に、被駆動磁石６については、被駆動磁石６のを偶数個準備すると共に、この偶数個の被駆動磁石６を、例えば補助テーブル５（又は可動テーブル１）の面におけるＸ−Ｙ直交座標上のＸ軸（又はＹ軸）を基準として左右対称（又は上下対称）となるように配置し、これによって位置が特定された各被駆動磁石６に個別に対応して前記田形状駆動コイル７を前記固定プレート８上にそれぞれ配置してもよい。
このようにしても、前記実施形態とほぼ同等の作用効果を備えた精密加工用ステージ装置を得ることができる。
また前記各実施形態において、容量センサ群２６を八個の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４を補助テーブル５又は可動テーブル１の周囲下面の口字状の共通電極に対応して各辺（例えばＸ−Ｙ平面における各軸の両端に位置する領域）に所定間隔を隔てて二個づつ配置した場合を例示したが、これを半減して例えばＸ−Ｙ平面における各軸の正方向の端に位置する領域のみに所定間隔を隔てて二個配置したものであってもよい。
このようにすると、演算部の雑音排除機能はなくなるが、構成が単純化されるばかりでなく検出される情報量が半減するため、位置情報の演算処理をより一層迅速に成し得ることとなり、移動中の可動テーブル１の位置ずれ等に対する修正をより一層迅速に成し得るという効果を奏する。
更に、前記各実施形態において、テーブル保持機構２としては、四本のテーブル側棒状弾性部材（テーブル側ピアノ線）２Ａとこれに対応し且つ本体側に位置する四本の本体側棒状弾性部材（本体側ピアノ線）２Ｂとを備え、且つ対応する各棒状弾性部材２Ａ，２Ｂは近接した位置に配置した場合の具体例を説明したが、本発明は、必ずしもこれに限定するものではなく、棒状弾性部材２Ａ，２Ｂの数については、それぞれバランスよく配置することを前提として、それぞれ三本（合計六本）であってもよい。又、一組を構成するテーブル側及び本体側の各棒状弾性部材２Ａ，２Ｂについては、必ずしも相互に近接して装備しなくてもよい。
このようにしても、可動テーブル１の移動に際しては、各棒状弾性部材２Ａ，２Ｂはそれぞれほぼ同様に弾性変形してこれに対応することから、全体的には、前記各実施形態におけるテーブル保持機構２の場合と同等に機能し同等の作用効果を得ることができる。又、このテーブル保持機構２における棒状弾性部材２Ａ，２Ｂについては、五組以上であってもよい。
以上説明したように、本実施形態は、精密加工用ステージ装置における田形状駆動コイルの外形の形状を特定した点に特徴を有する。
即ち、各田形状駆動コイルを、それぞれ独立して通電可能な四個の四角形状の角形小コイルにより構成し、その組合せの全体の形状を四角形状とする。各田形状駆動コイルを、それぞれ独立して通電可能な四個の三角形状の角形小コイルにより構成し、その組合せの全体の形状を菱形状とする。各田形状駆動コイルをそれぞれ独立して通電可能な四個の扇状の角形小コイルにより構成し、その組合せの全体の形状を円形状とする。各田形状駆動コイルを、それぞれ独立して通電可能な四個の５角形状の角形小コイルにより構成し、その組合せの全体の形状を八角形状とする。以上のように、田形状駆動コイルの構成を種々変更することが可能となる。
このため、可動テーブルの形状や構造その他の環境条件に合わせてこれに対応した田形状駆動コイルを設定することができ、装置の汎用性を高めることができる。
また、田形状駆動コイルの被駆動磁石側の端面部分に、非磁性金属部材からなる制動用プレートを前記被駆動磁石の磁極面に近接して配設し、この制動用プレートを固定プレート側に固定装備することが可能となる。
このため、被駆動磁石が装備された補助テーブル又は可動テーブルが急激な移動動作をした場合に当該被駆動磁石を制動用プレートとの間に電磁制動（渦電流ブレーキ）が働き、補助テーブル又は可動テーブルは急激な動作が抑制されて徐々に移動させることができる。
また、前記電磁駆動手段に前記可動テーブルが平面内で移動するのを規制する動作制御系を併設し、この動作制御系が、前記電磁駆動手段の有する複数の田形状駆動コイルの十字状コイル辺の少なくとも縦方向又は横方向の何れか一方を動作可能に選択的に通電制御して前記可動テーブルを所定の方向に移動制御するコイル駆動制御手段を備えた構成とすることが可能となる。
このため、動作制御系が有効に機能して複数の田形状駆動コイルを作動させ、これによって可動テーブルを所定の方向に具体的に移動させることができる。
また、電磁駆動手段に可動テーブルの移動若しくは回転動作を規制する動作制御系を併設することが可能となる。そして、この動作制御系の動作指令入力部からの指令に基づいてコイル駆動制御手段が作動し、プログラム記憶部およびデータ記憶部から移動方向先の情報および移動用の所定の制御モードを取り出すと共に、これに基づいて前記電磁駆動手段の複数の各田形状駆動コイルを駆動制御し、可動テーブルを所定の方向に移動させることが可能となる。
また、可動テーブルの移動情報を検出し外部出力する複数の移動情報検出センサを当該可動テーブルの周端部の複数箇所にそれぞれ分散して装備し、この複数の移動情報検出センサで検出される情報に基づいて所定の演算をし前記可動テーブルの移動方向およびその変化量等を特定して位置情報として外部出力する位置情報演算回路部を設けるという構成を採用することも可能である。
このため、可動テーブルの移動情報若しくは移動後の位置情報をリアルタイムで外部出力することができ、オペレータは、可動テーブルの移動方向や移動後の位置のずれ等を外部から容易に把握し得るので、やり直し又は修正の必要性を迅速に把握することができる。このため、補助テーブル（即ち可動テーブル）の移動作業を高精度に且つ迅速に成し得ることとなる。
また、前記可動テーブルの移動情報を検出し外部出力する複数の位置情報検出センサを前記補助テーブルの複数箇所にそれぞれ分散して装備し、この複数の位置情報検出センサで検出される情報に基づいて所定の演算をし前記可動テーブルの移動方向およびその変化量等を特定して位置情報として外部出力する位置情報演算回路部を設けることが可能となる。
このため、可動テーブルの移動情報若しくは移動後の位置情報をリアルタイムで外部出力することができる。また、オペレータは、可動テーブルの移動方向や移動後の位置のずれ等を外部から容易に把握し得るので、やり直し又は修正の必要性を迅速に把握することができ、補助テーブル（即ち可動テーブル）の移動作業を、迅速に且つ高精度に実行することができる。
また、被駆動磁石を永久磁石により構成することも可能となる。
このため、電磁石に必要な通電回路が不要となり、その分、構造が簡略化されることから生産性および保守性の向上を図ることができ、装置全体の故障率を低減させることができ、かかる点において耐久性向上を図ることができる。
（１）．外形が菱形の田形状駆動コイル
第２９図に示す田形状駆動コイル６１は、それぞれ独立して通電可能な四個の三角形状の角形小コイル６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄによって構成され、その全体の組合せを菱形状としたもの（四角形状のものを９０°回転させた状態）で、内側には第２９図に示すように十字状コイル辺を備えている。
第２９図は、このようにして形成された四個の田形状駆動コイル６１を、前記第１の実施形態の場合と同様にＸ−Ｙ直交座標上の各軸上に配置し固定テーブル８（図示せず）に固着装備した場合を示す。
そして、この場合も、被駆動磁石６は各田形状駆動コイル６１の十字状コイル辺に対応して補助テーブル５上に装備されるようになっている。また、符号５９は前記制動用プレート３９と同等に機能する制動用プレートを示す。同様に、符号５は補助テーブルを示す。その他の構成は前記第１の実施形態と同一となっている。
このようにしても、田形状駆動コイル６１は前記第１の実施形態における田形状駆動コイル７と同等に機能し、これを装備した精密加工用ステージ装置も前記第１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができる。
（２）．外形が円形状の田形状駆動コイル
第３０図に示す田形状駆動コイル６２は、それぞれ独立して通電可能な四個の扇形の角形小コイル６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄによって構成され、その全体の組合せを円形状としたもので、内側には第２第９図の場合と同様に十字状コイル辺を備えている。
第３０図は、このようにして形成された四個の円形状の田形状駆動コイル６２を、前記第１の実施形態の場合と同様にＸ−Ｙ直交座標上の各軸上に配置し固定テーブル８（図示せず）に固着装備した場合を示す。
そして、この場合も、被駆動磁石６は各田形状駆動コイル６２の十字状コイル辺に対応して補助テーブル５上に装備されるようになっている。また、符号５９は前記第３の実施形態における制動用プレート３９と同一の制動用プレートを示す。同様に、符号５は補助テーブルを示す。その他の構成は前記第１の実施形態と同一となっている。
このようにしても、円形状の田形状駆動コイル６２は前記第１の実施形態における四角形状の田形状駆動コイル７と同等に機能し、これを装備した精密加工用ステージ装置も前記第１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができる。
（３）．外形が八角形状の田形状駆動コイル
第３１図に示す田形状駆動コイル６３は、それぞれ独立して通電可能な四個の五角形状の角形小コイル６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄによって構成され、その全体の組合せを八角形状としたものであり、内側には第２９図の場合と同様に十字状コイル辺を備えている。
第３１図は、このようにして形成された四個の八角形状の田形状駆動コイル６３を、前記第１の実施形態の場合と同様にＸ−Ｙ直交座標上の各軸上に配置し固定テーブル８（図示せず）に固着装備した場合を示す。
そして、この場合も、被駆動磁石６は各田形状駆動コイル６３の十字状コイル辺に対応して補助テーブル５上に装備されるようになっている。また、符号５９は前記第３の実施形態における制動用プレート３９と同一の制動用プレートを示す。同様に、符号５は補助テーブルを示す。その他の構成は前記第１の実施形態と同一となっている。
このようにしても、八角形状の田形状駆動コイル６３は前記第１の実施形態における四角形状の田形状駆動コイル７と同等に機能し、これを装備した精密加工用ステージ装置も前記第１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができる。
以上のように、本発明における田形状駆動コイルについては、内側に十字状コイル辺を備えたものであれば、その外形の形状に関しては必ずしも四角形状に限定するものではなく、同等に機能するものであれば他の形状であってもよい。
また、前記各実施形態にあっては、各田形状駆動コイルの内側部分（十字状コイル辺部分）の空間領域を中空状態の場合を例示したが、この部分には、フェライト等の非導電性磁性部材を充填したものであってもよい。
更に、前記実施形態にあっては、被駆動磁石６として永久磁石を装備した場合を例示したが、被駆動磁石６として、永久磁石に代えて電磁石を用いたものであってもよい。この場合、この被駆動磁石６としての電磁石の駆動制御については、前記テーブル駆動制御手段２１が担当し、前記各田形状駆動コイル７の動作に連動してその順方向又は逆方向或いは通電停止状態が選択され所定の通電制御が成されるようになっている（図示せず）。
この被駆動磁石６を電磁石とした場合にあっては、可動テーブル１の駆動制御に種々変化をもたせることができる。例えば、移動時の加速／減速に際しては、各駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し得るので、可動テーブルの移動方向等の変化に対して迅速に対応し得ることが可能となる。
即ち、この被駆動磁石６を電磁石とした場合にあっては、被駆動磁石の磁束密度（磁石の強さ）を必要に応じて自由に設定し得るので、当該被駆動磁石の強度を使用状態に応じて変化させることができるという利点がある。
又、前記各実施形態にあっては、四個の被駆動磁石６及び対応する各田形状駆動コイル７，６１，６２又は６３を補助テーブル５（又は可動テーブル１）の上面におけるＸ−Ｙ直交座標上の原点から等距離の位置のＸ軸上及びＹ軸上にそれぞれ配設した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定されず、四個の各被駆動磁石６はＸ−Ｙ直交座標上でバランスのとれた位置であれば、原点である中心部から等距離の位置でなくてもよい。
被駆動磁石６については、これを偶数個（四個でなくてもよい）準備すると共に、この偶数個の被駆動磁石６を補助テーブル５（又は可動テーブル１）の同一円周上に等間隔に配置し、これによって位置が特定された各被駆動磁石６に個別に対応して前記田形状駆動コイル７を前記固定プレート８上にそれぞれ配置してもよい。
更に、被駆動磁石６については、被駆動磁石６のを偶数個準備すると共に、この偶数個の被駆動磁石６を、例えば補助テーブル５（又は可動テーブル１）の面におけるＸ−Ｙ直交座標上のＸ軸（又はＹ軸）を基準として左右対称（又は上下対称）となるように配置し、これによって位置が特定された各被駆動磁石６に個別に対応して前記田形状駆動コイル７を前記固定プレート８上にそれぞれ配置してもよい。
このようにしても、前記実施形態とほぼ同等の作用効果を備えた精密加工用ステージ装置を得ることができる。
また前記各実施形態において、容量センサ群２６を八個の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４を補助テーブル５又は可動テーブル１の周囲下面の口字状の共通電極に対応して各辺（例えばＸ−Ｙ平面における各軸の両端に位置する領域）に所定間隔を隔てて二個づつ配置した場合を例示したが、これを半減して例えばＸ−Ｙ平面における各軸の正方向の端に位置する領域のみに所定間隔を隔てて二個配置したものであってもよい。
このようにすると、演算部の雑音排除機能はなくなるが、構成が単純化されるばかりでなく検出される情報量が半減するため、位置情報の演算処理をより一層迅速に成し得ることとなり、移動中の可動テーブル１の位置ずれ等に対する修正をより一層迅速に成し得るという効果を奏する。
更に、前記各実施形態において、テーブル保持機構２としては、四本のテーブル側棒状弾性部材（テーブル側ピアノ線）２Ａとこれに対応し且つ本体側に位置する四本の本体側棒状弾性部材（本体側ピアノ線）２Ｂとを備え、且つ対応する各棒状弾性部材２Ａ，２Ｂは近接した位置に配置した場合の具体例を説明したが、本発明は、必ずしもこれに限定するものではなく、棒状弾性部材２Ａ，２Ｂの数については、それぞれバランスよく配置することを前提として、それぞれ三本（合計六本）であってもよい。又、一組を構成するテーブル側及び本体側の各棒状弾性部材２Ａ，２Ｂについては、必ずしも相互に近接して装備しなくてもよい。
このようにしても、可動テーブル１の移動に際しては、各棒状弾性部材２Ａ，２Ｂはそれぞれほぼ同様に弾性変形してこれに対応することから、全体的には、前記各実施形態におけるテーブル保持機構２の場合と同等に機能し同等の作用効果を得ることができる。又、このテーブル保持機構２における棒状弾性部材２Ａ，２Ｂについては、五組以上であってもよい。
以上説明したように、本実施形態は、精密加工用ステージ装置における田形状駆動コイルの外形の形状を特定した点に特徴を有する。
即ち、各田形状駆動コイルを、それぞれ独立して通電可能な四個の四角形状の角形小コイルにより構成し、その組合せの全体の形状を四角形状とする。各田形状駆動コイルを、それぞれ独立して通電可能な四個の三角形状の角形小コイルにより構成し、その組合せの全体の形状を菱形状とする。各田形状駆動コイルをそれぞれ独立して通電可能な四個の扇状の角形小コイルにより構成し、その組合せの全体の形状を円形状とする。各田形状駆動コイルを、それぞれ独立して通電可能な四個の５角形状の角形小コイルにより構成し、その組合せの全体の形状を八角形状とする。以上のように、田形状駆動コイルの構成を種々変更することが可能となる。
このため、可動テーブルの形状や構造その他の環境条件に合わせてこれに対応した田形状駆動コイルを設定することができ、装置の汎用性を高めることができる。
また、田形状駆動コイルの被駆動磁石側の端面部分に、非磁性金属部材からなる制動用プレートを前記被駆動磁石の磁極面に近接して配設し、この制動用プレートを固定プレート側に固定装備することが可能となる。
このため、被駆動磁石が装備された補助テーブル又は可動テーブルが急激な移動動作をした場合に当該被駆動磁石を制動用プレートとの間に電磁制動（渦電流ブレーキ）が働き、補助テーブル又は可動テーブルは急激な動作が抑制されて徐々に移動させることができる。
また、前記電磁駆動手段に前記可動テーブルが平面内で移動するのを規制する動作制御系を併設し、この動作制御系が、前記電磁駆動手段の有する複数の田形状駆動コイルの十字状コイル辺の少なくとも縦方向又は横方向の何れか一方を動作可能に選択的に通電制御して前記可動テーブルを所定の方向に移動制御するコイル駆動制御手段を備えた構成とすることが可能となる。
このため、動作制御系が有効に機能して複数の田形状駆動コイルを作動させ、これによって可動テーブルを所定の方向に具体的に移動させることができる。
また、電磁駆動手段に可動テーブルの移動若しくは回転動作を規制する動作制御系を併設することが可能となる。そして、この動作制御系の動作指令入力部からの指令に基づいてコイル駆動制御手段が作動し、プログラム記憶部およびデータ記憶部から移動方向先の情報および移動用の所定の制御モードを取り出すと共に、これに基づいて前記電磁駆動手段の複数の各田形状駆動コイルを駆動制御し、可動テーブルを所定の方向に移動させることが可能となる。
また、可動テーブルの移動情報を検出し外部出力する複数の移動情報検出センサを当該可動テーブルの周端部の複数箇所にそれぞれ分散して装備し、この複数の移動情報検出センサで検出される情報に基づいて所定の演算をし前記可動テーブルの移動方向およびその変化量等を特定して位置情報として外部出力する位置情報演算回路部を設けるという構成を採用することも可能である。
このため、可動テーブルの移動情報若しくは移動後の位置情報をリアルタイムで外部出力することができ、オペレータは、可動テーブルの移動方向や移動後の位置のずれ等を外部から容易に把握し得るので、やり直し又は修正の必要性を迅速に把握することができる。このため、補助テーブル（即ち可動テーブル）の移動作業を高精度に且つ迅速に成し得ることとなる。
また、前記可動テーブルの移動情報を検出し外部出力する複数の位置情報検出センサを前記補助テーブルの複数箇所にそれぞれ分散して装備し、この複数の位置情報検出センサで検出される情報に基づいて所定の演算をし前記可動テーブルの移動方向およびその変化量等を特定して位置情報として外部出力する位置情報演算回路部を設けることが可能となる。
このため、可動テーブルの移動情報若しくは移動後の位置情報をリアルタイムで外部出力することができる。また、オペレータは、可動テーブルの移動方向や移動後の位置のずれ等を外部から容易に把握し得るので、やり直し又は修正の必要性を迅速に把握することができ、補助テーブル（即ち可動テーブル）の移動作業を、迅速に且つ高精度に実行することができる。
また、被駆動磁石を永久磁石により構成することも可能となる。
このため、電磁石に必要な通電回路が不要となり、その分、構造が簡略化されることから生産性および保守性の向上を図ることができ、装置全体の故障率を低減させることができ、かかる点において耐久性向上を図ることができる。
第３２図乃至第４３図に、本発明の第１０の実施形態を示す。第３２図乃至第３４図において、符号１は精密作業用の可動テーブルを示す。符号２はテーブル保持機構を示す。このテーブル保持機構２は、第３２図における可動テーブル１の下方部分に配設され、前記可動テーブル１が同一面内での任意の方向へ移動するのを許容すると共に当該可動テーブル１に対する元位置復帰機能を有し、当該可動テーブル１に元位置復帰力を常時付加し得る状態で当該可動テーブル１を保持するように構成されている。
このテーブル保持機構２は、本体部としてのケース本体３によって支持されている。
このケース本体３は、本実施形態では第３２図に示すように上方および下方が開放された箱体状に形成されている。
付号４は、可動テーブル１を駆動する電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段４は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル１に所定の移動力を付与する機能を備えている。符号３Ａは、ケース本体３の内壁部周囲に突設された駆動手段保持部を示す。本実施形態に係る電磁駆動手段４は、可動テーブル１と後述する補助テーブル５との間に配設されている。
可動テーブル１の第３２図における下方に、補助テーブル５が配置されている。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に配設され当該可動テーブル１に連結装備されている。そして、この補助テーブル５と前記可動テーブル１とによって、可動テーブル部１５が構成されている。
前記テーブル保持機構２は、この補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
前記電磁駆動手段４は、後述するように補助テーブル５の所定位置に固定装備された四個の正方形状の被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄと、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに各コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ部分が対向して配置された駆動コイルとしての一個の比較的大きい四角形状の環状駆動コイル７と、この環状駆動コイル７を定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。
この固定プレート８は、第３２図に示すように前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。
ここで、環状駆動コイル７と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段４の主要部である固定子部分が構成されている。
環状駆動コイル７は、作動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを各コイル辺に直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。このため、各コイル辺７ａ〜７ｄに直交しない方向（各コイル辺７ａ〜７ｄに斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように少なくとも二以上の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
更に、環状駆動コイル７の前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに面するコイル辺７ａ〜７ｄ部分には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極面に近接して個別に配設されている。この制動用プレート９は前記環状駆動コイル７側（本実施形態では固定プレート８側）に固定された状態となっている。符号９Ａ，９Ｂは、制動用プレート９を保持するスペーサ部材を示す。
以下、これを更に詳細に説明する。
〔可動テーブル部〕
まず、第３２図乃至第３４図において、本実施形態に係る可動テーブル１は円形状に形成され、補助テーブル５は四角形状に形成されている。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に配置され且つその中心部の連結支柱１０を介して前記可動テーブル１に一体的に連結され、これによって、可動テーブル部１５が構成されている。
このため、この可動テーブル１は、補助テーブル５と平行状態を維持しつつ一体的に移動し且つ一体的に回転し得るようになっている。
連結支柱１０は、前述したように可動テーブル１と補助テーブル５とを連結する連結部材であって、両端部に鍔部１０Ａ，１０Ｂを備えた断面工字状に形成され、その両端部外側中央には、可動テーブル１と補助テーブル５との各中心部に形成された位置決め孔１ａ，５ａに係合する突起１０ａ，１０ｂが設けられている。
そして、可動テーブル１と補助テーブル５とは、この突起１０ａ，１０ｂと鍔部１０Ａ，１０Ｂとによって位置決めされ当該連結支柱１０に固着され一体化されている。この一体化に際しては本実施形態では接着剤が用いられているが、溶接にて部分的に接合しても、或いは突起１０ａ，１０ｂ部分を位置決め孔１ａ，５ａに圧入し他の部分を接着剤又は溶接等によって一体化してもよい。
又、可動テーブル１或いは補助テーブル５の何れか一方をネジ止めにて前記連結支柱１０の鍔部１０Ａ又は１０Ｂに着脱自在に固着してもよい。この場合、ネジ止め後に、数本のノックピンを位置決め固定用として係合する両者間に打ち込むとよい（図示せず）。このようにすると、可動テーブル１と補助テーブル５との一体化を更に有効に実現することができて都合がよい。
〔テーブル保持機構〕
前記本実施形態に係るテーブル保持機構２は、可動テーブル１を保持しつつ当該可動テーブル１がその高さ位置を変えることなく同一面上のいずれの方向へも自在に移動するのを許容する機能を備え、同時に外力が解除された場合には可動テーブル１を元の位置に復帰せしめる元位置復帰機能を備えたものであり、補助テーブル５を介してこれを実行するようにしたものである。
このテーブル保持機構２にあっては、全体的にはリンク機構を三次元空間に応用したもので、所定間隔を隔てて設置される二本の棒状弾性部材としてのピアノ線（テーブル側ピアノ線）２Ａおよび（本体側ピアノ線）２Ｂを一組として予め補助テーブル５の端部周囲のコーナー部分に対応して四組準備され、この四組のピアノ線２Ａ，２Ｂが組毎に、四角形状に形成された中継部材としての中継プレート２Ｇの各四隅部分に分けて、それぞれ上方向に向けて植設されている。この各ピアノ線２Ａ，２Ｂについては、それぞれ同一の剛性を備えたものが使用されている。
ここで、前記ピアノ線２Ａ，２Ｂについては、可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性部材であれば、当該ピアノ線に代えて他の素材で形成したものであってもよい。
そして、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの内、内側に位置する四本のピアノ線２Ａによって補助テーブル５を下方から保持し、外側に位置する四本のピアノ線２Ｂによって中継部材としての中継プレート２Ｇを本体部３から揺動自在に吊り下げたように構成されている。
これにより、可動テーブル１５（即ち、可動テーブル１と補助テーブル５）が中継プレート２Ｇと各四本のピアノ線（棒状弾性部材）２Ａ，２Ｂとによって空中で安定した様態で保持され、その水平面内での移動は、後述するように同一の高さの位置を維持しつつ何れの方向にも所定範囲内で自在に移動可能となっている。同一面内での回転動作もほぼ同様に可能となる。
前記四本のテーブル側ピアノ線２Ａは、第３２図における上端部が補助テーブル５に固着され、下端部が中継プレート２Ｇに固着されている。符号５Ａ，５Ｂは補助テーブル５の下面側の二箇所に設けられた下方突出部を示す。この下方突出部５Ａ，５Ｂによってテーブル側ピアノ線２Ａの固定位置が設定されている。
又、この四本の各テーブル側ピアノ線２Ａの外側には、これに個別に対応して且つ所定間隔Ｓを隔てて本体側ピアノ線２Ｂがそれぞれ個別に且つ平行に配設されている。この本体側ピアノ線２Ｂは、その下端部が前記テーブル側ピアノ線２Ａと同様に中継プレート（中継部材）２Ｇに固着され、その上端部がケース本体３の内壁部に設けられた本体側突出部３Ｂに固着されている。
これらの各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、前記可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた弾性線材によって形成されている。
これにより、前記可動テーブル１は、まず、補助テーブル５と共に中継プレート２Ｇ上にて内側の４本のテーブル側ピアノ線２Ａによって支持され、当該４本のテーブル側ピアノ線２Ａの弾性限界内においてリンク機構の原理に従ってその平行移動および面内での回転が許容された状態となっている。
一方、中継プレート２Ｇは、当該中継プレート２Ｇ上の外側の４本のテーブル側ピアノ線２Ｂによって本体側突出部３Ｂに吊持されていることから、ケース本体３に対してはその平行移動および面内での回転が同様に許容された状態となっている。
このため、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が、外力に付与されてその面内で移動し又は回転すると、後述する第４９図に示すようにテーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂが同時に弾性変形して中継プレート２Ｇが平行状態を維持しつつ上下動する。即ち、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が外力によってその面内で移動し又は回転すると、その高さ位置の変動は中継プレート２Ｇによって吸収される。
これにより、可動テーブル１は、外力に付与されて移動しても、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性限界内において何れの方向へも同一高さを維持しつつ移動することが可能となっている。
本実施形態にあっては、テーブル側とケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂをほぼ等間隔に四組装備すると共に、テーブル側のピアノ線２Ａとケース本体側のピアノ線２Ｂとを所定間隔を隔てて近接して装備したので、強度的に全体のバランスがとられており、安定した状態で可動テーブル１を移動させることができるという利点がある。
ここで、テーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは同一の直径を備え同一の弾性を備えたものが使用され、その露出部分の長さＬはそれぞれ全く同一に設定されている。又、各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、例えば第３２図，第３４図に示すようにＹ軸に対しては左右方向に分かれて，又Ｘ軸に対しては上下方向に分かれて、それぞれ配設されている。
この場合、各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、Ｘ軸およびＹ軸に対してそれぞれ線対称に成る位置に（又は、各ピアノ線２Ａ，２Ｂが全体的にほぼ均等に）配設されておれば、第３３図に示す位置以外の位置に配設しておよい。
そして、前記各ピアノ線２Ａ，２Ｂを配置することにより、可動テーブル１の移動に際して各ピアノ線２Ａ，２Ｂには弾性応力がそれぞれ均一に生じることから、可動テーブル１の元位置復帰動作を含めて可動テーブル１を円滑に移動し得るという利点を得ることができる。
このように、前記テーブル保持機構２では、例えば補助テーブル５が全体的に同一方向にスライド移動すると、各組の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは全て同一に変形する。この場合、本体側ピアノ線２Ｂは端部が保持された状態で弾性変形することから、同様に弾性変形するテーブル側ピアノ線２Ａの変形動作により補助テーブル５の高さ位置は不変となり、代わって、両ピアノ線２Ａ，２Ｂに共通に支持された中継プレート２Ｇの高さ位置が変動する。
換言すると、この中継プレート２Ｇが両ピアノ線２Ａ，２Ｂの変形で生じる高さ位置の変動を吸収することになり、これにより、補助テーブル５（即ち可動テーブル１）は全体的に高さ変動することなく同一面内でスライド移動することとなる。この場合、補助テーブル５から駆動力を開放すると、当該補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用によって一直線に元位置に復帰する（元位置復帰機能の発動）。
又、可動テーブル部１５が同一面内で（所定の角範囲内で）回転駆動された場合にも、同等の理由から可動テーブル部１５は全体的にほぼ同一の高さを維持しつつ同一面内で回転動作することとなる。そして、この場合も駆動力を開放すると、補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用によって一直線に元位置に復帰する（元位置復帰機能の発動）。
ここで、前記テーブル保持機構２では、両ピアノ線２Ａ，２Ｂを四組八本装備した場合を例示したが、両ピアノ線２Ａ，２Ｂを適度にバランス良く（例えば等間隔に）配置することにより、三組六本で構成してもよい。この場合、三組六本のピアノ線２Ａ，２Ｂは、１組のピアノ線２Ａ，２Ｂを相互に近接して配置すると共に、全体的には三組のピアノ線２Ａ，２Ｂをほぼ等間隔に（三箇所に均等に）併設してもよい。又、両ピアノ線２Ａ，２Ｂを５組以上組み込んだものであってもよい。
〔電磁駆動手段〕
本実施形態に係る電磁駆動手段４は、補助テーブル５上に装備された四個の被駆動磁石（本実施形態では電磁石が使用されている）６Ａ〜６Ｄと、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを介して可動テーブル１に所定の移動方向に向けて所定の電磁力を付与する駆動コイルとしての環状駆動コイル７と、この環状駆動コイル７を保持する固定プレート８とを備えている。
前記固定プレート８は第３２図に示すように、補助テーブル５の可動テーブル１側（補助テーブル５と可動テーブル１との間）に装備され、その周囲がケース本体３に固着装備されている。ここで、この固定プレート８については、第３２図の左右両端部のみがケース本体３に保持されるような構造としてもよい。
この固定プレート８の中央部には、前記連結支柱１０の所定範囲内での平行移動を許容する貫通穴８Ａが形成されている。この貫通穴８Ａは、本実施形態では円形のものが形成されているが、四角形であっても或いはその他の形状であってもよい。
固定プレート８は、その周囲の一部又は全部が本体側突出部３に連結され保持されている。この場合、固定プレート８と本体側突出部３Ａとは、その一体化を堅牢にするため、ネジ止め後に複数のノックピン等で一体化しても或いは溶接等で一体化してもよい。
このようにすると、可動テーブル１のミクロン（μ）単位の変位や移動に対しても、固定プレート８がケース本体３に対して位置ずれを生じることなく円滑にこれに対応することができる。
環状駆動コイル７は、前記固定プレート８上のコイル保持面の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ平面上に、その中心部を原点に一致させた状態で配置されている。そして、この駆動コイル７のＸ軸およびＹ軸と交差する箇所の各コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ部分に対応して、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが個別に配置されている。
即ち、前記本実施形態に係る四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは第３３図，第３４図に示すように、磁極の端面（環状駆動コイル７の各コイル辺との対向面）が四角形状の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
このため、本実施形態にあっては、例えば環状駆動コイル７の通電方向が特定され通電が開始されると、これに対応して、後述するように、まず四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電されて前記可動テーブル部１５の移送方向に応じて磁極（Ｎ極，Ｓ極，又は磁極なし）が設定される。同時に環状駆動コイル７を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
ここで、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの移動方向は、環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄに直交する方向（即ちＸ−Ｙ平面上で原点から外に向かう方向）であることから、可動テーブル部１５に対する回転駆動は成されず、同一面内で３６０°方向への移動に限定されている。
この可動テーブル部１５に対する移送方向およびその駆動移送力に関する電磁駆動手段４の働き（環状駆動コイル７と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する通電駆動）については、第３７図乃至第３８図にて詳述する。第３７図及び第３８図では、駆動コイルへの通電による回転駆動はないものとして示している。
〔環状駆動コイル〕
電磁駆動手段４の主要部を成す四角形状の環状駆動コイル７は第３３図，第３４図に示すように、角部を切落とした状態の八角形状に形成し、全体的には四つのコイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄを備えた角型形状に形成されている。
このため、各コイル辺７ａ〜７ｄの通電方向を後述する動作制御系２０によって外部から特定し、これに対応して四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電方向および通電電流の大小を可変制御（通電停止制御を含めて）することにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って当該各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ又は６Ｄを所定の方向（コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ又は７ｄに直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）を出力することができる。
又、四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第３７図〜第３８図）で詳述する。
ここで、前記環状駆動コイル７の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該環状駆動コイル７の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料を充填装備してもよい。
〔位置情報検出手段〕
前記電磁駆動手段４によって駆動される可動テーブル部１５の移動位置は、位置情報検出手段２５によって検出される。
本実施形態に係る位置情報検出手段２５は第３５図に示すように、静電容量型の複数の検出電極を備えた容量センサ群２６（容量検出電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４の全体を総称）と、この容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を電圧変換すると共に所定の演算をして位置変化情報として後述する動作制御系２０のテーブル駆動制御手段２１に送り込む演算部としての位置情報演算回路２７とを備えた構成となっている。
位置情報演算回路（演算部）２７は、前記容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を個別に電圧変換する信号変換回路部２７Ａと、この信号変換回路部２７で変換された複数の容量変化成分にかかる電圧信号を所定の演算によりＸ−Ｙ座標上の位置を示すＸ方向位置信号ＶＸ及びＹ方向位置信号ＶＹに変換し出力し更には回転角信号θを演算して出力する位置信号演算回路部２７Ｂとにより構成されている。
前記複数の検出電極を備えた容量センサ群２６は、第３２図乃至第３４図に示すように、補助テーブル５の周囲の下面部分に対向して且つ前記本体側突出部３Ｂの上面に所定間隔を隔てて配設された八個の角形の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，および２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４と、これに対応して前記補助テーブル５の周囲の下面部分に連続して設けられた比較的幅の広い共通電極（図示せず）とによって構成されている。
前記位置検出センサは、複数の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，および２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４と共通電極（図示せず）との組合せで構成されるが、ここでは、便宜上、容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４を位置検出センサとして扱うものとする。
前記各容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の内、一対の容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｘ１，２６Ｘ２が第３３図，第３４図の右端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備され、これに対して他の一対の容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｘ３，２６Ｘ４が第３３図，第３４図の左端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
また、前記各容量検出電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の内、一対の容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｙ１，２６Ｙ２が第３３図，第３４図の上端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備され、他の一対の容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｙ３，Ｙ４が第３３図，第３４図の下端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
即ち、本実施形態に係る八個の各容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４は、第３３図〜第３４図に示すように、Ｘ軸およびＹ軸に対して、それぞれ線対称の位置に配設されている。
そして、例えば前記可動テーブル部１５が電磁駆動手段４に付与されて第３６図に示すように矢印Ｆの方向（図中、右上方向）に移動した場合には、本実施形態では、図中、補助テーブル５の両側に（及び上下方向に）位置する一方の位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２（２６Ｙ１，２６Ｙ２）と他方の位置検出センサ２６Ｘ３，２６Ｘ４（２６Ｙ３，２６Ｙ４）で検出される容量変化成分が、信号変換回路２７Ａで電圧変換された後に位置信号演算回路２７Ｂに送り込まれ、この位置信号演算回路２７Ｂで前記各変換電圧を入力してＸ方向位置信号ＶＸ−Ｙ方向位置信号ＶＹとして差動出力するように構成されている。
ここで、可動テーブル部１５が外力もしくは電磁駆動手段４の誤動作によって同一面内で回転動作した場合、本実施形態では、前述した場合と同様に各部が作動し同様に機能して、その変化成分が電圧変換されて所定の回転角信号θとして差動出力される。この場合は、実際には、後述する動作制御系２０で可動テーブル部１５の動作異常と判断され、その修正動作が成されるようになっている。
ここで、可動テーブル部１５の移動と共に八つの各容量検出電極（位置検出センサ）では、その容量変化をリアルタイムで検知して位置情報演算回路（演算部）２７へ出力する。この位置情報演算回路（演算部）２７では、この八つのセンサ情報に基づいて可動テーブル部１５の移動方向と移動量とを特定する。
この場合、例えばＹ軸に沿った方向先でＹ軸に直交するようにして装備された二対（四個）の各位置検出センサに容量変化が見られない場合には、可動テーブルはＸ軸に沿って（回転動作なしに）移動したことを意味する。同時に、その移動量は、Ｘ軸方向の二対の位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，および２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量の増減で判断され特定される。
又、Ｘ軸方向とＹ軸方向の両方の位置検出センサが例えば同一の容量変化を検出した場合には、可動テーブル１は第３６図に示すように第１象限内のＸ軸正方向に４５°の方向に（回転動作なしに）移動したことを意味し、その移動方向は、各位置検出センサの容量の増減のパターンによって判断され、又その移動量は、各位置検出センサの容量の変化量によって特定される。
これら各位置検出センサの容量変化のパターンによる移動方向の特定，および各位置検出センサの容量の変化量と可動テーブル１の移動量との関係は、例えば予め実験的に特定され且つマップ化されてメモリ等に記憶し、これを基準として位置ずれ等が判断されるようにしてもよい。このようにすると、演算処理の迅速化を図ることができる。
更に、本実施形態において、例えば、第３４図の左右（及び上下）の各容量検出電極に同時に印加されるノイズを差動出力（例えば、Ｘ軸方向の一端部と他端部に配置された容量検出電極に検知される容量変化の差をとること：外部雑音排除機能）によって打ち消すことができ、同時に測定値が電圧変換された後にその変化分が、例えば「（＋ｖＸ）−（−ｖＸ）＝２ｖＸ」の如く合算されて出力される。このため、補助テーブル５（可動テーブル１）の位置変化情報を高感度に出力することができるという利点がある。
〔動作制御系〕
本実施形態にあっては、前記電磁駆動手段４には、前記環状駆動コイル７および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを個別に駆動制御して前記可動テーブル部１５の移動若しくは回転動作を規制する動作制御系２０が併設されている（第３５図参照）。
この動作制御系２０は、前記環状駆動コイル７に対する通電方向を所定の方向（一方又は他方）に設定し維持する通電方向設定機能と、この環状駆動コイル７への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能と、この環状駆動コイル７への通電方向に応じて作動し前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極を個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁力強度を外部からの指令に応じて個別に可変設定（通電電流を可変制御することによって設定）すると共に，これによって前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能とを備えている。
そして、この動作制御系２０は、前記諸機能を実行するために、前記電磁駆動手段４の環状駆動コイル７及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の通電制御モードに従って個別に駆動して前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１と、このテーブル駆動制御手段２１に併設され前記可動テーブル１の移動方向，およびその移動量等が特定された複数の制御モード（本実施形態ではＡ１〜Ａ８の八個の通電制御モード）にかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている（第３５図参照）。
又、テーブル駆動制御手段２１には、環状駆動コイル７及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。更に、このテーブル駆動制御手段２１には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２の複数の通電制御モードＡ１〜Ａ８に総合的に包含されており、動作指令入力部２４を介して外部から入力される選択指令に基づいて選択される。この選択された所定の制御モードＡ１〜Ａ８を介して、前記各種制御機能が作動し実行され、外部指令に基づいて、可動テーブル１が所定の方向に移送されるようになっている。
これを更に具体的に説明する。
本実施形態に係る前記テーブル駆動制御手段２１は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の通電制御モードをプログラム記憶部２２から選択し前記環状駆動コイル７および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１Ａと、この主制御部２１Ａに選択設定され所定の制御モード（Ａ１〜Ａ８）に従って環状駆動コイル７および四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１Ｂとを備えている。
又、主制御部２１Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。
ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段４の環状駆動コイル７および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
更に、前記テーブル駆動制御手段２１は、前記位置情報検出手段２５からの情報を入力して所定の演算を行うと共にこれに基づいて予め動作指令入力部２４で設定した移動先の基準位置情報とのズレを算定する位置ずれ演算機能と、この算定された位置ずれ情報に基づいて電磁駆動手段４を駆動し予め設定された移動先の基準位置に当該可動テーブル部１５を移送制御するテーブル位置補正機能とを備えている。
このため、第１０の実施形態にあっては、可動テーブル部１５の移動方向が外乱等によってずれた場合には当該ずれを修正しながら可動テーブル部１５を所定の方向に移送制御することとなり、これにより、当該可動テーブル部１５は迅速且つ高精度に予め設定した目標位置に移送される。この場合、位置ずれの修正は、通電駆動中の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流を調整することにより実行される。
〔プログラム記憶部〕
前記テーブル駆動制御手段２１は、プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の制御モード）に従って、前記電磁駆動手段４の環状駆動コイル７および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、本実施形態に係るプログラム記憶部２２には、前記環状駆動コイル７に対する通電方向を特定し通電電流の大小を可変設定する駆動コイル用制御プログラムと、環状駆動コイル７に対する通電方向が特定された場合に機能しこれに対応して四個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムとが記憶されている。同時に、前記各制御プログラムの動作タイミングが、八組の通電制御モードＡ１乃至Ａ８に整理されて記憶されている（第３７図，第３８図参照）。
ここで、第１０の実施形態における八組の通電制御モードＡ１乃至Ａ８について、第３７図〜第３８図に基づいて説明する。
第３７図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、又Ｙ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各通電制御モードＡ１乃至Ａ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第３７図において、各通電制御モードＡ１〜Ａ４では、環状駆動コイル７に対する直流電流の通電方向を矢印Ａに示すように、本実施形態では右回りに設定されている。
（制御モードＡ１）
この第１０の実施形態における制御モードＡ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第３７図参照）。
この制御モードＡ１では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが通電停止制御され、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａの前記コイル辺７ａに対向する端面部がＮ極に設定され，Ｘ軸上の被駆動磁石６Ｃの前記コイル辺７ｃに対向する端面部がＳ極に設定されている。
このため、環状駆動コイル７のコイル辺７ａ，７ｃ部分では、当該コイル辺７ａ，７ｃ内に点線の矢印に示す方向の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（環状駆動コイル７が固定されている）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＡ２）
この制御モードＡ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第３７図参照）。
この制御モードＡ２では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃの磁極の設定を前記制御モードＡ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＡ１の場合と同一となっている。
このため、環状駆動コイル７のコイル辺７ａ，７ｃ部分では、前記制御モードＡ１の場合と同様の原理で制御モードＡ１の場合とは逆向きの電磁駆動力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＡ３）
この制御モードＡ３は、可動テーブル１をＹ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第３７図参照）。
この制御モードＡ３では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃが通電停止制御される。そして、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂの前記コイル辺７ｂに対向する端面部がＮ極に設定され，同じくＹ軸上の被駆動磁石６Ｄの前記コイル辺７ｄに対向する端面部がＳ極に設定されている。
このため、環状駆動コイル７のコイル辺７ｂ，７ｄ部分では、当該コイル辺７ｂ，７ｄ内に点線の矢印に示す方向の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（環状駆動コイル７が固定されている）で、被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＡ４）
この制御モードＡ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第３７図参照）。
この制御モードＡ４では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄの磁極の設定を前記制御モードＡ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＡ３の場合と同一となっている。
このため、環状駆動コイル７のコイル辺７ｂ，７ｄ部分では、前記モードＡ３の場合と同様の原理で電磁駆動力が発生し、反力で被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。
続いて、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて可動テーブル部１５を移送する場合の各通電制御モードＡ５乃至Ａ８の一例（図表化したもの）を説明する。第３８図にこれを示す。
この第３８図において、各通電制御モードＡ５〜Ａ８では、環状駆動コイル７に対する直流電流の通電方向を矢印Ａに示すように、本実施形態では右回りに設定されている。
（制御モードＡ５）
この第１０の実施形態における制御モードＡ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示す（第３８図参照）。
この制御モードＡ５では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、環状駆動コイル７のコイル辺７ａ，７ｂに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、同じく環状駆動コイル７のコイル辺７ｃ，７ｄに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、それぞれ設定されている。
このため、環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄ部分では、前記制御モードＡ１とＡ３とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第３８図の制御モードＡ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。これによって、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θは、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを可変制御させて、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させることにより、自在にその大きさを可変設定することができる。これにより、可動テーブル部１５を第１象限方向の任意の方向に自在に移送制御することができる。
（制御モードＡ６）
この制御モードＡ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第３８図参照）。
この制御モードＡ６では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、制御モードＡ５の場合とは全く逆に設定されている。
このため、環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄ部分では、前記制御モードＡ２とＡ４とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第７図の制御モードＡ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを可変制御させて、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させることにより、自在にその大きさを可変設定することができる。これにより、可動テーブル部１５を第３象限方向の任意の方向に自在に移送制御することができる。
（制御モードＡ７）
この制御モードＡ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第３８図参照）。
この制御モードＡ７では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、環状駆動コイル７のコイル辺７ｂ，７ｃに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、同じく環状駆動コイル７のコイル辺７ｃ，７ａに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、それぞれ設定されている。
このため、環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄ部分では、前記制御モードＡ２と制御モードＡ３とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第７図の制御モードＡ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これによって、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを可変制御させて、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させることにより、自在にその大きさを可変設定することができる。これにより、可動テーブル部１５を第２象限方向の任意の方向に自在に移送制御することができる。
（制御モードＡ８）
この制御モードＡ８は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第３８図参照）。
この制御モードＡ８では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、制御モードＡ７の場合とはそれぞれ逆に設定されている。
このため、環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄ部分では、前記制御モードＡ１と制御モードＡ４とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第７図の制御モードＡ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度θは、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させることにより自在にその大きさを可変設定することができ。これにより、可動テーブル部１５を第４象限方向の任意の方向に自在に移送制御することができる。
〔制動用プレート〕
前記環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄ部分で前記四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極面に対向し且つ近接した位置には、第３２図乃至第３４図に示すように、非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９が、周囲から絶縁された状態で配置され、それぞれ環状駆動コイル７側に固着装備されている。
この各制動用プレート９は、可動テーブル部１５の急激な移動動作に対してこれを抑制しつつ当該可動テーブル部１５を緩やかに移動させる機能を備えている。第３９図に、その動作原理を示す。
ここで、第３９図（Ａ）は第３２図の制動用プレート９部分を示す一部省略した部分断面図である。又、第３９図（Ｂ）は第３９図（Ａ）の矢印Ａ−Ａ線に沿って見た平面図（動作原理説明図）を示す。
この場合、四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが装備された可動テーブル部１５が急激に移動した場合、当該各該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとこれに対応した各制動用プレート９との間に移動速度に比例した大きさの電磁制動（渦電流ブレーキ）が働く。これにより、可動テーブル部１５は急激な移動動作が抑制されて徐々に移動することとなる。
これを更に具体的に説明すると、第３９図において、制動用プレート９は、被駆動磁石６ＡのＮ極に対向して環状駆動コイル７のコイル辺７ａ部分に固着されている。符号９Ａ，９Ｂは制動用プレート９を固定するためのスペーサ部材を示す。このスペーサ部材９Ａ，９Ｂは、本実施形態では非導電性部材によって形成されている。
いま、補助テーブル５が図の右方向に速度Ｖ１で急激に移動すると、金属製の制動用プレート９は（固定されているため）相対的に図の左方向に同一の速度Ｖ２（＝Ｖ１）で急激に移動することになる。これにより、制動用プレート９内にはフレミングの右手の法則に従って速度Ｖ２に比例した起電力ＥＶが第３９図（Ｂ）に示す方向（図中、上向き）に発生し、同矢印の方向に左右対象の渦電流が流れる。この渦電流の大きさも速度Ｖ２に比例する。
次に、起電力ＥＶの発生領域にはＮ極からの磁束が存在することから、この被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁束と制動用プレート９内の（起電力ＥＶ方向の）渦電流との間にフレミングの左手の法則に従って所定の移動力ｆ１が制動用プレート９内に（図の右方向に向けて）発生する。
一方、制動用プレート９は固定プレート８上で固定されているため、移動力ｆ１の反力ｆ２が被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ上に制動力として発生し、その向きは移動力ｆ１の向きとは逆の向きになる。即ち、この制動力ｆ２は被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ（即ち補助テーブル５）の最初の急激な移動方向とは逆の方向となり、しかもその大きさは当該補助テーブル５の移動速度に比例した大きさとなることから、当該補助テーブル５はその急激な移動が適度の制動力ｆ２によって抑制され、安定した状態で円滑に移動することとなる。
他の制動用プレート９の箇所でも全く同様に所定の制動力ｆ２が発生する。
このため、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを備えた補助テーブル５では、例えば急激な停止動作に際しては当該停止箇所にて往復移動が生じ易いが、これに対しては制動力ｆ２によってその動作が適度に抑制されて円滑に穏やかに移動することとなる。即ち、全体的にはこの各制動用プレート９が有効に機能して、可動テーブル部１５の移動動作の安定した装置を得ることができる。外部からの振動によって可動テーブル部１５が往復微小振動した場合にも、同様に機能して当該往復微小振動は有効に抑制される。
又、前記各制動用プレート９は、環状駆動コイル７の駆動時に生じる熱を放熱する機能を兼ね備えている。かかる点において環状駆動コイル７の連続運転に伴って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下（即ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制しつつ通電電流を長時間ほぼ一定レベルに設定することができ、このため、電磁駆動手段から出力される電磁駆動力に対する外部からの電流制御を安定した状態にて継続することができ、経年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性を、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
〔全体的な動作〕
次に、前記第１０の実施形態における全体的な動作について説明する。
第３５図において、まず、動作指令入力部２４から、可動テーブル１を所定位置へ移動させるための動作指令が動作制御系２０に入力されると、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モード（Ａ１乃至Ａ８の何れか一つにかかる制御プログラム）を選択する。続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを作動させ、電磁駆動手段４の一個の環状駆動コイル７と四個の被駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
ここで、前記動作制御系２０に、例えば可動テーブル１をＸ軸の正方向の所定位置へ移送駆動する旨の動作指令が動作指令入力部２４から入力され、これに基づいて装置全体が所定の通電制御モードに従って作動する。この場合の作動後の状態を、第４０図〜第４１図に例示する。
この事例では、通電制御モードとしては第３７図に示す制御モードＡ１が選択され、これに従って環状駆動コイル７及び四つの各被駆動コイル６Ａ〜６Ｄが当該制御モードＡ１によって作動したことを意味する。
この場合、前記テーブル保持機構４では、補助テーブル５が電磁駆動手段４によって第３２図の右方に付与されると、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性力に抗して当該補助テーブル５が移動する。そして、この補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において停止する（第４０図，第４１図参照）。
この第４０図，第４１図において、符号Ｔは移動した距離を示す。又、第４１図において、斜線部分は補助テーブル５の移動によって前記他方の容量検出電極２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量成分が減少した部分を示し、交差斜線部分は前記一方の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２の容量成分が増加した部分を示す。尚、この第４１図にあっては、Ｙ軸方向への位置ずれは無い理想状態が示されている。
そして、この動作中に、外乱等によって補助テーブル５の移動位置が目標位置からずれた場合には、この容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量成分の増加減少の情報に基づいて前述したように実際の移動後の位置が検出され、位置ずれ防止用のフィードバック制御（図示せず）が行われるようになっている。
一方、かかる状態から補助テーブル５に印加されている電磁駆動力が開放されると、補助テーブル５はピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力に付与されて元位置に復帰する（元位置復帰機能の発動）。
かかる一連の動作にあって、補助テーブル５の移動動作は、通常は電磁駆動力の印加制御又は開放制御が何れの場合でも急激に行われる。かかる場合、補助テーブル５（又は可動テーブル１）には、移動先での停止時又は元位置復帰に際しての停止位置において、慣性力およびばね力に起因した繰り返し往復動作が生じる状態となる。
しかしながら、本実施形態において、この種の繰り返し往復動作は、前記制動用プレートと被駆動磁石との間に生じる電磁制動（渦電流ブレーキ）によって抑制され、所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
動作指令入力部２４から、可動テーブル１を前記以外の他の所定位置へ移動させるための動作指令が入力された場合にも、同様にテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択する。続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを作動させ、電磁駆動手段４の環状駆動コイル７および四つの被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
そして、この場合も、前記場合と同様の制御動作および制動用プレートによる制動動作が実行され、補助テーブル５（可動テーブル１）は所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
このように、前記第１０の実施形態にあっては、リンク機構を応用したテーブル保持機構２によって滑り動作を伴うことなく可動テーブル部１５を中心位置から（所定範囲内において）同一の高さ位置を維持しつつＸ−Ｙ平面上のいずれの方向へも円滑に移動させ（或いは回転させ）ることができる。
したがって、前記第１０の実施形態では、従来必要としていた重厚な二重構造のＸ−Ｙ軸移動保持機構を不要としたことから装置全体の小型化軽量化が可能となり、同時に軽量化によって可搬性を著しく改善することができ、従来例に比較して部品点数も少なくなり、耐久性を著しく向上させることができる。また、組立時の調整に熟練を必要としないため、生産性を高めることができる。
又、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを有する可動テーブル部１５が急激に動作変化しても、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄと非磁性金属部材からなる制動用プレート９との間に電磁制動（渦電流ブレーキ）が働くことから、これにより、可動テーブルはその急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で円滑に移動することができる。
更に、この制動用プレート９を、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対向した状態で環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ部分に装備するという簡単な構成であり、同時に、電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段４も、補助テーブル５に装備した被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとこれに対応して固定プレート８上に一個の環状駆動コイル７を装備するという簡単な構成である。このため、装置全体の小型化および軽量化が可能となり、可搬性が良好となるばかりでなく、組立作業に際しても特に熟練を要することが無いことから、作業性も良好となる。
更に、駆動コイルの前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９は、駆動コイル７との関係ではトランスの二次側回路と同等の回路を構成し、且つ制動用プレートの電気抵抗成分（渦電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
そして、この場合の一次側回路を構成する駆動コイル７の各コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄには、二次側回路が開放状態の場合（制動プレートが無い場合）に較べて比較的大きい電流を通電することができる。したがって、制動用プレート９により駆動コイル７と被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとの間の間隔が幾分大きくなるが、通電電流も増加することから、かかる点において発生する電磁駆動力を低下させることがなく、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対しては比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
又、この制動用プレート９は、放熱板としても機能し、かかる点において環状駆動コイル７の連続運転に伴う径年変化（熱による絶縁破壊等）を有効に抑制することができる。したがって、装置全体の耐久性を増大することができ、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
更に、本実施形態では、電磁駆動手段４における１個の環状駆動コイル７とこれに対応する各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを装備したので、環状駆動コイル７の四個の各コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄは、対応する各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを常にＸ−Ｙ平面上のＸ軸又はＹ軸に直交する方向に押圧するように作動する。このため、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）に対する電磁駆動力は何れの方向に移動させる場合でも常にその合力がＸ−Ｙ平面上の中心点側から外側に向かう方向に発生することとなる。
したがって、可動テーブル部１５の移送方向が変化しても常に回転を伴うことなく可動テーブル１を円滑に（許容範囲内において）平面移動させることができる。
このように、前記実施形態にあっては、一個の環状駆動コイル７と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対して通電電流を調整し設定することによって所定方向に連続した電磁駆動力を出力し得るので、可動テーブル１をいずれの方向へも連続的に移送することができ、かかる点においてミクロン単位の精密移動が可能となっている。
又、駆動コイルを１個の環状駆動コイル７で構成したので、構造が単純化され、対応する被駆動磁石６Ａ〜６Ｄも含めてその全体を、可動テーブル部１５の大きさ全体を利用して広げた状態で、当該可動テーブル部１５と固定プレート８との間に装備したので、空間の専有領域を小さくすることができ、かかる点において装置全体の小型軽量化が可能となり可搬性がよくなる。又、部品点数が少ないので、生産性及び保守性を高めることができるという利点がある。
ここで、前記第１０の実施形態にあっては、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを補助テーブル５に装備した場合を例示したが、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを可動テーブル１側に装備すると共に、これに対向して前記環状駆動コイル７を固定プレート８上の所定位置に配設してもよい。
又、可動テーブル１については、円形状の場合を例示したが、四角形状でも他の形状であってもよい。補助テーブル５については四角形状の場合を例示したが、前記諸機能を実現し得るものであれば、円形でも他の形状のものであってもよい。
前記テーブル保持機構２は、可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたものについて例示したが、この可動テーブル部１５に対する元位置復帰手段を別に装備し、テーブル保持機構２については元位置復帰機能を取り除いた構成としてもよい。具体的に説明すると、本発明の実施形態では、リンク機構としてばね材からなるピアノ線を用いることにより、リンク機構に可動テーブルの元位置復帰力を備えるようにしたが、これに限られるものではない。すなわち、リンク機構と、可動テーブルを元位置に復帰させる元位置復帰機構とを分離して独立の機構として構成するようにしてもよいものである。
前述したようにテーブル保持機構のリンク機構と元位置復帰機構とを独立した機構として構成した場合には、元位置復帰機構が可動テーブルの移動に伴って元位置復帰力としてのばね力を蓄力することになる。さらに、可動テーブルの移動した現在位置を検出するセンサを備え、そのセンサが検出した位置信号に基づいて電磁駆動手段の駆動コイルに通電する電流値を制御することにより、前記元位置復帰機構が発生するばね力に対向する反力を発生させるようにする必要がある。
本実施形態に係る制動用プレート９は、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ毎に装備した場合を例示したが、二個以上又は全部の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを対象として、これらを一枚の制動用プレートに対向させるように構成したものであってもよい。
第４２図に、この一枚の制動用プレートを全部の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対面させるように構成した場合の例を示す。
この第４２図において、符号９２，９３は単一の制動用プレート９を保持するためのスペーサ部材を示す。ここで、符号９ａは固定プレート８に沿って支柱１０が往復移動するのを許容する貫通穴を示す。
この場合、制動用プレート９の周囲を延長するとともに、この制動用プレート９の周囲の一部又は全部を前記ケース本体３によって保持するように構成し、このスペーサ部材９２，９３を省略してもよい。
又、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄと環状駆動コイル７とを入れ替え装備し、環状駆動コイル７を補助テーブル５側に又各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを固定プレート８側に装備してもよい。この場合、制動用プレート９も、その機能の実効を図るために環状駆動コイル７側に固定装備される。
更に、前記第１０の実施形態において、直交座標（Ｘ−Ｙ座標）上に四個の被駆動磁石を原点から等距離に装備した場合を例示したが、複数の被駆動磁石であって当該各被駆動磁石の移動方向（反発駆動方向）が座標上の原点（直交座標でなくてもよい）を通過する線上にあれば、原点から等距離に装備してなくても、座標軸上から外れた位置に配置されていても、又その数が４個でなくてもよい。
このようにすると、一又は二以上の各被駆動磁石によって可動テーブル部１５を所定方向へ移送駆動する場合に、回転力成分が発生する要素を予め確実に排除することができる。また、例えば直交座標（Ｘ−Ｙ座標）上に四個の被駆動磁石を原点から等距離に装備した場合には動作制御系２０による制御動作の単純化を図ることができる。このため、迅速に且つ円滑に当該可動テーブル部１５を所定方向に移送することができる。
更に、前記第１０の実施形態では、被駆動磁石として４個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを装備した場合を例示したが、本発明では被駆動磁石を、４個に限定するものではなく、三個でも或いは五個以上の被駆動磁石を備えたものであってもよい。又、この被駆動磁石の形状は、他の形状（例えば円柱状）であってもよい。
又、複数の被駆動磁石を適当に装備した場合には、前記動作制御系２０によって、外部から指示された移動方向に向けて都合のよい（例えば移送方向に効率良く機能する位置にある）複数の被駆動磁石を選択して通電駆動し、その合力をもって前記可動テーブル部１５を、外部から指示された移動方向に向けて移送するように構成するとよい。
又、前記第１０の実施形態では、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ａ１〜Ａ８の制御モードに分けて電磁駆動手段４を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＡ２では被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの各通電方向を制御モードＡ１と同一とし環状駆動コイル７の通電方向のみを逆方向に設定する等、同等に機能するものであれば、他の駆動制御方法を採用してもよい。
〔環状駆動コイルの他の例〕
第４３図（Ａ）〜（Ｄ）に、それぞれＸ−Ｙ平面上に配設された一個の環状駆動コイル７に関する他の構成例を示す。
（三角形状の環状駆動コイル）
まず、第４３図（Ａ）に、環状駆動コイルを正三角形状に形成した場合を示す。この正三角形状の環状駆動コイル７１は、角部が円弧状に形成され、固定子側である固定プレート（図示せず）に固着され保持されている。
又、この三角形状の環状駆動コイル７１の各コイル辺７Ａａ，７Ａｂ，７Ａｃに対応して、電磁石から成る被駆動磁石６Ａ〜６Ｃが、それぞれ個別に配設されている。この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｃは、可動子側である可動テーブル部（図示せず）側に固着装備されている。
この各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ又は６Ｃは、稼働状態にあっては、環状駆動コイル７１の対応する各コイル辺７１ａ，７１ｂ，又は７１ｃから個別に電磁力を受けて当該各コイル辺７１ａ，７１ｂ，又は７１ｃに直交する方向に向けて、反発駆動される。
ここで、各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ又は６Ｃは、その駆動される方向の中心線の延長線が前記環状駆動コイル７１のＸ−Ｙ平面上の原点を通るように、前記各コイル辺７１ａ，７１ｂ，又は７１ｃに対応して配置されている。
そして、装置全体の稼働に際しては、前記第１０の実施形態の場合と同様に、動作制御系が作動し、予め特定された複数の通電制御モードから所定の通電制御モードが選択され、これに従って環状駆動コイル７１及び各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ又は６Ｃが個別に通電制御されるようになっている。その他の構成は、前記第３２図乃至第４１図に示す第１０の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、環状駆動コイル７１及び各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ又は６Ｃに対して個別に成される動作制御系による（ゼロを含む）通電制御によって、前記可動テーブル部をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に移送することができ、前記第１０の実施形態の場合とほぼ同一の作用効果を得ることができる。
（円形状の環状駆動コイル）
次に、第４３図（Ｂ）に、環状駆動コイルを円形状に形成した場合を示す。この円形状の環状駆動コイル７２は、固定子側である固定プレート（図示せず）に固着され保持されている。
又、この円形状の環状駆動コイル７２のＸ−Ｙ平面上のＸ軸およびＹ軸と交差する箇所に、当該環状駆動コイル７２の各コイル辺部分７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，７２ｄに対応して、電磁石から成る被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄが、それぞれ個別に配設されている。この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、可動子側である可動テーブル部（図示せず）側に固着装備されている。
この各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，又は６Ｄは、稼働状態にあっては、対応する各コイル辺部分７２ａ，７２ｂ，７２ｃ又は７２ｄから個別に電磁力を受けて当該環状駆動コイル７Ｂの当該箇所の接線に直交する方向に向けて、反発駆動される。
ここで、各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，又は６Ｄは、その駆動される方向の中心線の延長線が前記環状駆動コイル７２のＸ−Ｙ平面上の原点を通るように、前記各コイル辺部分７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，又は７２ｄに対応して配置されている。
そして、装置全体の稼働に際しては、前記第１０の実施形態の場合と同様に、動作制御系が作動し、予め特定された複数の通電制御モードから所定の通電制御モードが選択され、これに従って環状駆動コイル７２及び各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，又は６Ｄが個別に通電制御されるようになっている。その他の構成は、前記第３２図乃至第４１図に示す第１０の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、環状駆動コイル７２及び各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，又は６Ｄに対して個別に成される前記動作制御系による（ゼロを含む）通電制御によって、前記可動テーブル部をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に移送することができ、前記第１０の実施形態の場合とほぼ同一の作用効果を得ることができる。
（六角形状の環状駆動コイル）
次に、第４３図（Ｃ）に、環状駆動コイルを正六角状に形成した場合を示す。この正六角状の環状駆動コイル７３は、固定子側である固定プレート（図示せず）に固着され保持されている。
又、この正六角状の環状駆動コイル７３の六個の各コイル辺７３ａ，７３ｂ，７３ｃ，７３ｄ，７３ｅ，７３ｆに対応して、電磁石から成る六個の各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄ，６Ｅ，６Ｆが、それぞれ個別に配設されている。この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｆは、可動子側である可動テーブル部（図示せず）側に固着装備されている。
この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｆは、稼働時にあっては、それぞれ対応する各コイル辺７３ａ〜７３ｆから個別に電磁力を受けて当該各コイル辺７３ａ〜７３ｆに直交する方向に向けて、反発駆動される。
ここで、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｆは、その駆動される方向の中心線の延長線が前記環状駆動コイル７３のＸ−Ｙ平面上の原点を通るように、前記各コイル辺部分７３ａ〜７３ｆに対応して配置されている。
そして、装置全体の稼働に際しては、前記第１０の実施形態の場合と同様に、動作制御系が作動し、予め特定された複数の通電制御モードから所定の通電制御モードが選択され、これに従って環状駆動コイル７３及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｆが個別に通電制御されるようになっている。その他の構成は、前記第３２図〜第４１図に示す第１０の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、正六角状の環状駆動コイル７３及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｆに対して個別に成される前記動作制御系による（ゼロを含む）通電制御によって、前記可動テーブル部をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に移送することができ、これによって前記第１０の実施形態の場合とほぼ同一の作用効果を得ることができる。
（八角形状の環状駆動コイル）
次に、第４３図（Ｄ）に、環状駆動コイルを正八角状に形成した場合を示す。この正八角状の環状駆動コイル７４は、固定子側である固定プレート（図示せず）に固着され保持されている。
又、この正八角状の環状駆動コイル７４の八個の各コイル辺７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄ，７４ｅ，７４ｆ，７４ｇ，７４ｈに対応して、電磁石から成る八個の被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄ，６Ｅ，６Ｆ，６Ｇ，６Ｈが、それぞれ個別に配設されている。この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｈは、可動子側である可動テーブル部（図示せず）側に固着装備されている。
この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｈは、稼働状態にあっては、対応する各コイル辺７４ａ〜７４ｈから個別に電磁力を受けて当該各７４ａ〜７４ｈに直交する方向に向けて、個別に反発駆動される。
ここで、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｈは、その駆動される方向の中心線の延長線が前記環状駆動コイル７４のＸ−Ｙ平面上の原点を通るように、前記各コイル辺部分７４ａ〜７３ｈに個別に対応して配置されている。
そして、装置全体の稼働に際しては、前記第１０の実施形態の場合と同様に、動作制御系が作動し、予め特定された複数の通電制御モードから所定の通電制御モードが選択され、これに従って環状駆動コイル７４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｈが個別に通電制御されるようになっている。その他の構成は、前記第３２図乃至第４１図に示す第１０の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、環状駆動コイル７４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｈに対して個別に成される前記動作制御系による（ゼロを含む）通電制御によって、前記可動テーブル部をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に移送することができ、これによって前記第１０の実施形態の場合とほぼ同一の作用効果を得ることができる。
このテーブル保持機構２は、本体部としてのケース本体３によって支持されている。
このケース本体３は、本実施形態では第３２図に示すように上方および下方が開放された箱体状に形成されている。
付号４は、可動テーブル１を駆動する電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段４は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル１に所定の移動力を付与する機能を備えている。符号３Ａは、ケース本体３の内壁部周囲に突設された駆動手段保持部を示す。本実施形態に係る電磁駆動手段４は、可動テーブル１と後述する補助テーブル５との間に配設されている。
可動テーブル１の第３２図における下方に、補助テーブル５が配置されている。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に配設され当該可動テーブル１に連結装備されている。そして、この補助テーブル５と前記可動テーブル１とによって、可動テーブル部１５が構成されている。
前記テーブル保持機構２は、この補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
前記電磁駆動手段４は、後述するように補助テーブル５の所定位置に固定装備された四個の正方形状の被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄと、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに各コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ部分が対向して配置された駆動コイルとしての一個の比較的大きい四角形状の環状駆動コイル７と、この環状駆動コイル７を定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。
この固定プレート８は、第３２図に示すように前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。
ここで、環状駆動コイル７と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段４の主要部である固定子部分が構成されている。
環状駆動コイル７は、作動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを各コイル辺に直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。このため、各コイル辺７ａ〜７ｄに直交しない方向（各コイル辺７ａ〜７ｄに斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように少なくとも二以上の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
更に、環状駆動コイル７の前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに面するコイル辺７ａ〜７ｄ部分には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極面に近接して個別に配設されている。この制動用プレート９は前記環状駆動コイル７側（本実施形態では固定プレート８側）に固定された状態となっている。符号９Ａ，９Ｂは、制動用プレート９を保持するスペーサ部材を示す。
以下、これを更に詳細に説明する。
〔可動テーブル部〕
まず、第３２図乃至第３４図において、本実施形態に係る可動テーブル１は円形状に形成され、補助テーブル５は四角形状に形成されている。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に配置され且つその中心部の連結支柱１０を介して前記可動テーブル１に一体的に連結され、これによって、可動テーブル部１５が構成されている。
このため、この可動テーブル１は、補助テーブル５と平行状態を維持しつつ一体的に移動し且つ一体的に回転し得るようになっている。
連結支柱１０は、前述したように可動テーブル１と補助テーブル５とを連結する連結部材であって、両端部に鍔部１０Ａ，１０Ｂを備えた断面工字状に形成され、その両端部外側中央には、可動テーブル１と補助テーブル５との各中心部に形成された位置決め孔１ａ，５ａに係合する突起１０ａ，１０ｂが設けられている。
そして、可動テーブル１と補助テーブル５とは、この突起１０ａ，１０ｂと鍔部１０Ａ，１０Ｂとによって位置決めされ当該連結支柱１０に固着され一体化されている。この一体化に際しては本実施形態では接着剤が用いられているが、溶接にて部分的に接合しても、或いは突起１０ａ，１０ｂ部分を位置決め孔１ａ，５ａに圧入し他の部分を接着剤又は溶接等によって一体化してもよい。
又、可動テーブル１或いは補助テーブル５の何れか一方をネジ止めにて前記連結支柱１０の鍔部１０Ａ又は１０Ｂに着脱自在に固着してもよい。この場合、ネジ止め後に、数本のノックピンを位置決め固定用として係合する両者間に打ち込むとよい（図示せず）。このようにすると、可動テーブル１と補助テーブル５との一体化を更に有効に実現することができて都合がよい。
〔テーブル保持機構〕
前記本実施形態に係るテーブル保持機構２は、可動テーブル１を保持しつつ当該可動テーブル１がその高さ位置を変えることなく同一面上のいずれの方向へも自在に移動するのを許容する機能を備え、同時に外力が解除された場合には可動テーブル１を元の位置に復帰せしめる元位置復帰機能を備えたものであり、補助テーブル５を介してこれを実行するようにしたものである。
このテーブル保持機構２にあっては、全体的にはリンク機構を三次元空間に応用したもので、所定間隔を隔てて設置される二本の棒状弾性部材としてのピアノ線（テーブル側ピアノ線）２Ａおよび（本体側ピアノ線）２Ｂを一組として予め補助テーブル５の端部周囲のコーナー部分に対応して四組準備され、この四組のピアノ線２Ａ，２Ｂが組毎に、四角形状に形成された中継部材としての中継プレート２Ｇの各四隅部分に分けて、それぞれ上方向に向けて植設されている。この各ピアノ線２Ａ，２Ｂについては、それぞれ同一の剛性を備えたものが使用されている。
ここで、前記ピアノ線２Ａ，２Ｂについては、可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性部材であれば、当該ピアノ線に代えて他の素材で形成したものであってもよい。
そして、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの内、内側に位置する四本のピアノ線２Ａによって補助テーブル５を下方から保持し、外側に位置する四本のピアノ線２Ｂによって中継部材としての中継プレート２Ｇを本体部３から揺動自在に吊り下げたように構成されている。
これにより、可動テーブル１５（即ち、可動テーブル１と補助テーブル５）が中継プレート２Ｇと各四本のピアノ線（棒状弾性部材）２Ａ，２Ｂとによって空中で安定した様態で保持され、その水平面内での移動は、後述するように同一の高さの位置を維持しつつ何れの方向にも所定範囲内で自在に移動可能となっている。同一面内での回転動作もほぼ同様に可能となる。
前記四本のテーブル側ピアノ線２Ａは、第３２図における上端部が補助テーブル５に固着され、下端部が中継プレート２Ｇに固着されている。符号５Ａ，５Ｂは補助テーブル５の下面側の二箇所に設けられた下方突出部を示す。この下方突出部５Ａ，５Ｂによってテーブル側ピアノ線２Ａの固定位置が設定されている。
又、この四本の各テーブル側ピアノ線２Ａの外側には、これに個別に対応して且つ所定間隔Ｓを隔てて本体側ピアノ線２Ｂがそれぞれ個別に且つ平行に配設されている。この本体側ピアノ線２Ｂは、その下端部が前記テーブル側ピアノ線２Ａと同様に中継プレート（中継部材）２Ｇに固着され、その上端部がケース本体３の内壁部に設けられた本体側突出部３Ｂに固着されている。
これらの各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、前記可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた弾性線材によって形成されている。
これにより、前記可動テーブル１は、まず、補助テーブル５と共に中継プレート２Ｇ上にて内側の４本のテーブル側ピアノ線２Ａによって支持され、当該４本のテーブル側ピアノ線２Ａの弾性限界内においてリンク機構の原理に従ってその平行移動および面内での回転が許容された状態となっている。
一方、中継プレート２Ｇは、当該中継プレート２Ｇ上の外側の４本のテーブル側ピアノ線２Ｂによって本体側突出部３Ｂに吊持されていることから、ケース本体３に対してはその平行移動および面内での回転が同様に許容された状態となっている。
このため、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が、外力に付与されてその面内で移動し又は回転すると、後述する第４９図に示すようにテーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂが同時に弾性変形して中継プレート２Ｇが平行状態を維持しつつ上下動する。即ち、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が外力によってその面内で移動し又は回転すると、その高さ位置の変動は中継プレート２Ｇによって吸収される。
これにより、可動テーブル１は、外力に付与されて移動しても、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性限界内において何れの方向へも同一高さを維持しつつ移動することが可能となっている。
本実施形態にあっては、テーブル側とケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂをほぼ等間隔に四組装備すると共に、テーブル側のピアノ線２Ａとケース本体側のピアノ線２Ｂとを所定間隔を隔てて近接して装備したので、強度的に全体のバランスがとられており、安定した状態で可動テーブル１を移動させることができるという利点がある。
ここで、テーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは同一の直径を備え同一の弾性を備えたものが使用され、その露出部分の長さＬはそれぞれ全く同一に設定されている。又、各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、例えば第３２図，第３４図に示すようにＹ軸に対しては左右方向に分かれて，又Ｘ軸に対しては上下方向に分かれて、それぞれ配設されている。
この場合、各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、Ｘ軸およびＹ軸に対してそれぞれ線対称に成る位置に（又は、各ピアノ線２Ａ，２Ｂが全体的にほぼ均等に）配設されておれば、第３３図に示す位置以外の位置に配設しておよい。
そして、前記各ピアノ線２Ａ，２Ｂを配置することにより、可動テーブル１の移動に際して各ピアノ線２Ａ，２Ｂには弾性応力がそれぞれ均一に生じることから、可動テーブル１の元位置復帰動作を含めて可動テーブル１を円滑に移動し得るという利点を得ることができる。
このように、前記テーブル保持機構２では、例えば補助テーブル５が全体的に同一方向にスライド移動すると、各組の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは全て同一に変形する。この場合、本体側ピアノ線２Ｂは端部が保持された状態で弾性変形することから、同様に弾性変形するテーブル側ピアノ線２Ａの変形動作により補助テーブル５の高さ位置は不変となり、代わって、両ピアノ線２Ａ，２Ｂに共通に支持された中継プレート２Ｇの高さ位置が変動する。
換言すると、この中継プレート２Ｇが両ピアノ線２Ａ，２Ｂの変形で生じる高さ位置の変動を吸収することになり、これにより、補助テーブル５（即ち可動テーブル１）は全体的に高さ変動することなく同一面内でスライド移動することとなる。この場合、補助テーブル５から駆動力を開放すると、当該補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用によって一直線に元位置に復帰する（元位置復帰機能の発動）。
又、可動テーブル部１５が同一面内で（所定の角範囲内で）回転駆動された場合にも、同等の理由から可動テーブル部１５は全体的にほぼ同一の高さを維持しつつ同一面内で回転動作することとなる。そして、この場合も駆動力を開放すると、補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用によって一直線に元位置に復帰する（元位置復帰機能の発動）。
ここで、前記テーブル保持機構２では、両ピアノ線２Ａ，２Ｂを四組八本装備した場合を例示したが、両ピアノ線２Ａ，２Ｂを適度にバランス良く（例えば等間隔に）配置することにより、三組六本で構成してもよい。この場合、三組六本のピアノ線２Ａ，２Ｂは、１組のピアノ線２Ａ，２Ｂを相互に近接して配置すると共に、全体的には三組のピアノ線２Ａ，２Ｂをほぼ等間隔に（三箇所に均等に）併設してもよい。又、両ピアノ線２Ａ，２Ｂを５組以上組み込んだものであってもよい。
〔電磁駆動手段〕
本実施形態に係る電磁駆動手段４は、補助テーブル５上に装備された四個の被駆動磁石（本実施形態では電磁石が使用されている）６Ａ〜６Ｄと、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを介して可動テーブル１に所定の移動方向に向けて所定の電磁力を付与する駆動コイルとしての環状駆動コイル７と、この環状駆動コイル７を保持する固定プレート８とを備えている。
前記固定プレート８は第３２図に示すように、補助テーブル５の可動テーブル１側（補助テーブル５と可動テーブル１との間）に装備され、その周囲がケース本体３に固着装備されている。ここで、この固定プレート８については、第３２図の左右両端部のみがケース本体３に保持されるような構造としてもよい。
この固定プレート８の中央部には、前記連結支柱１０の所定範囲内での平行移動を許容する貫通穴８Ａが形成されている。この貫通穴８Ａは、本実施形態では円形のものが形成されているが、四角形であっても或いはその他の形状であってもよい。
固定プレート８は、その周囲の一部又は全部が本体側突出部３に連結され保持されている。この場合、固定プレート８と本体側突出部３Ａとは、その一体化を堅牢にするため、ネジ止め後に複数のノックピン等で一体化しても或いは溶接等で一体化してもよい。
このようにすると、可動テーブル１のミクロン（μ）単位の変位や移動に対しても、固定プレート８がケース本体３に対して位置ずれを生じることなく円滑にこれに対応することができる。
環状駆動コイル７は、前記固定プレート８上のコイル保持面の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ平面上に、その中心部を原点に一致させた状態で配置されている。そして、この駆動コイル７のＸ軸およびＹ軸と交差する箇所の各コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ部分に対応して、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが個別に配置されている。
即ち、前記本実施形態に係る四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは第３３図，第３４図に示すように、磁極の端面（環状駆動コイル７の各コイル辺との対向面）が四角形状の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
このため、本実施形態にあっては、例えば環状駆動コイル７の通電方向が特定され通電が開始されると、これに対応して、後述するように、まず四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電されて前記可動テーブル部１５の移送方向に応じて磁極（Ｎ極，Ｓ極，又は磁極なし）が設定される。同時に環状駆動コイル７を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
ここで、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの移動方向は、環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄに直交する方向（即ちＸ−Ｙ平面上で原点から外に向かう方向）であることから、可動テーブル部１５に対する回転駆動は成されず、同一面内で３６０°方向への移動に限定されている。
この可動テーブル部１５に対する移送方向およびその駆動移送力に関する電磁駆動手段４の働き（環状駆動コイル７と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する通電駆動）については、第３７図乃至第３８図にて詳述する。第３７図及び第３８図では、駆動コイルへの通電による回転駆動はないものとして示している。
〔環状駆動コイル〕
電磁駆動手段４の主要部を成す四角形状の環状駆動コイル７は第３３図，第３４図に示すように、角部を切落とした状態の八角形状に形成し、全体的には四つのコイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄを備えた角型形状に形成されている。
このため、各コイル辺７ａ〜７ｄの通電方向を後述する動作制御系２０によって外部から特定し、これに対応して四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電方向および通電電流の大小を可変制御（通電停止制御を含めて）することにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って当該各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ又は６Ｄを所定の方向（コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ又は７ｄに直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）を出力することができる。
又、四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第３７図〜第３８図）で詳述する。
ここで、前記環状駆動コイル７の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該環状駆動コイル７の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料を充填装備してもよい。
〔位置情報検出手段〕
前記電磁駆動手段４によって駆動される可動テーブル部１５の移動位置は、位置情報検出手段２５によって検出される。
本実施形態に係る位置情報検出手段２５は第３５図に示すように、静電容量型の複数の検出電極を備えた容量センサ群２６（容量検出電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４の全体を総称）と、この容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を電圧変換すると共に所定の演算をして位置変化情報として後述する動作制御系２０のテーブル駆動制御手段２１に送り込む演算部としての位置情報演算回路２７とを備えた構成となっている。
位置情報演算回路（演算部）２７は、前記容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を個別に電圧変換する信号変換回路部２７Ａと、この信号変換回路部２７で変換された複数の容量変化成分にかかる電圧信号を所定の演算によりＸ−Ｙ座標上の位置を示すＸ方向位置信号ＶＸ及びＹ方向位置信号ＶＹに変換し出力し更には回転角信号θを演算して出力する位置信号演算回路部２７Ｂとにより構成されている。
前記複数の検出電極を備えた容量センサ群２６は、第３２図乃至第３４図に示すように、補助テーブル５の周囲の下面部分に対向して且つ前記本体側突出部３Ｂの上面に所定間隔を隔てて配設された八個の角形の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，および２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４と、これに対応して前記補助テーブル５の周囲の下面部分に連続して設けられた比較的幅の広い共通電極（図示せず）とによって構成されている。
前記位置検出センサは、複数の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，および２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４と共通電極（図示せず）との組合せで構成されるが、ここでは、便宜上、容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４，２６Ｙ１，２６Ｙ２，２６Ｙ３，２６Ｙ４を位置検出センサとして扱うものとする。
前記各容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の内、一対の容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｘ１，２６Ｘ２が第３３図，第３４図の右端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備され、これに対して他の一対の容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｘ３，２６Ｘ４が第３３図，第３４図の左端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
また、前記各容量検出電極２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４の内、一対の容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｙ１，２６Ｙ２が第３３図，第３４図の上端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備され、他の一対の容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｙ３，Ｙ４が第３３図，第３４図の下端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
即ち、本実施形態に係る八個の各容量検出電極（位置検出センサ）２６Ｘ１〜２６Ｘ４，２６Ｙ１〜２６Ｙ４は、第３３図〜第３４図に示すように、Ｘ軸およびＹ軸に対して、それぞれ線対称の位置に配設されている。
そして、例えば前記可動テーブル部１５が電磁駆動手段４に付与されて第３６図に示すように矢印Ｆの方向（図中、右上方向）に移動した場合には、本実施形態では、図中、補助テーブル５の両側に（及び上下方向に）位置する一方の位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２（２６Ｙ１，２６Ｙ２）と他方の位置検出センサ２６Ｘ３，２６Ｘ４（２６Ｙ３，２６Ｙ４）で検出される容量変化成分が、信号変換回路２７Ａで電圧変換された後に位置信号演算回路２７Ｂに送り込まれ、この位置信号演算回路２７Ｂで前記各変換電圧を入力してＸ方向位置信号ＶＸ−Ｙ方向位置信号ＶＹとして差動出力するように構成されている。
ここで、可動テーブル部１５が外力もしくは電磁駆動手段４の誤動作によって同一面内で回転動作した場合、本実施形態では、前述した場合と同様に各部が作動し同様に機能して、その変化成分が電圧変換されて所定の回転角信号θとして差動出力される。この場合は、実際には、後述する動作制御系２０で可動テーブル部１５の動作異常と判断され、その修正動作が成されるようになっている。
ここで、可動テーブル部１５の移動と共に八つの各容量検出電極（位置検出センサ）では、その容量変化をリアルタイムで検知して位置情報演算回路（演算部）２７へ出力する。この位置情報演算回路（演算部）２７では、この八つのセンサ情報に基づいて可動テーブル部１５の移動方向と移動量とを特定する。
この場合、例えばＹ軸に沿った方向先でＹ軸に直交するようにして装備された二対（四個）の各位置検出センサに容量変化が見られない場合には、可動テーブルはＸ軸に沿って（回転動作なしに）移動したことを意味する。同時に、その移動量は、Ｘ軸方向の二対の位置検出センサ２６Ｘ１，２６Ｘ２，および２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量の増減で判断され特定される。
又、Ｘ軸方向とＹ軸方向の両方の位置検出センサが例えば同一の容量変化を検出した場合には、可動テーブル１は第３６図に示すように第１象限内のＸ軸正方向に４５°の方向に（回転動作なしに）移動したことを意味し、その移動方向は、各位置検出センサの容量の増減のパターンによって判断され、又その移動量は、各位置検出センサの容量の変化量によって特定される。
これら各位置検出センサの容量変化のパターンによる移動方向の特定，および各位置検出センサの容量の変化量と可動テーブル１の移動量との関係は、例えば予め実験的に特定され且つマップ化されてメモリ等に記憶し、これを基準として位置ずれ等が判断されるようにしてもよい。このようにすると、演算処理の迅速化を図ることができる。
更に、本実施形態において、例えば、第３４図の左右（及び上下）の各容量検出電極に同時に印加されるノイズを差動出力（例えば、Ｘ軸方向の一端部と他端部に配置された容量検出電極に検知される容量変化の差をとること：外部雑音排除機能）によって打ち消すことができ、同時に測定値が電圧変換された後にその変化分が、例えば「（＋ｖＸ）−（−ｖＸ）＝２ｖＸ」の如く合算されて出力される。このため、補助テーブル５（可動テーブル１）の位置変化情報を高感度に出力することができるという利点がある。
〔動作制御系〕
本実施形態にあっては、前記電磁駆動手段４には、前記環状駆動コイル７および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを個別に駆動制御して前記可動テーブル部１５の移動若しくは回転動作を規制する動作制御系２０が併設されている（第３５図参照）。
この動作制御系２０は、前記環状駆動コイル７に対する通電方向を所定の方向（一方又は他方）に設定し維持する通電方向設定機能と、この環状駆動コイル７への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能と、この環状駆動コイル７への通電方向に応じて作動し前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極を個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁力強度を外部からの指令に応じて個別に可変設定（通電電流を可変制御することによって設定）すると共に，これによって前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能とを備えている。
そして、この動作制御系２０は、前記諸機能を実行するために、前記電磁駆動手段４の環状駆動コイル７及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の通電制御モードに従って個別に駆動して前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１と、このテーブル駆動制御手段２１に併設され前記可動テーブル１の移動方向，およびその移動量等が特定された複数の制御モード（本実施形態ではＡ１〜Ａ８の八個の通電制御モード）にかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている（第３５図参照）。
又、テーブル駆動制御手段２１には、環状駆動コイル７及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。更に、このテーブル駆動制御手段２１には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２の複数の通電制御モードＡ１〜Ａ８に総合的に包含されており、動作指令入力部２４を介して外部から入力される選択指令に基づいて選択される。この選択された所定の制御モードＡ１〜Ａ８を介して、前記各種制御機能が作動し実行され、外部指令に基づいて、可動テーブル１が所定の方向に移送されるようになっている。
これを更に具体的に説明する。
本実施形態に係る前記テーブル駆動制御手段２１は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の通電制御モードをプログラム記憶部２２から選択し前記環状駆動コイル７および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１Ａと、この主制御部２１Ａに選択設定され所定の制御モード（Ａ１〜Ａ８）に従って環状駆動コイル７および四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１Ｂとを備えている。
又、主制御部２１Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。
ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段４の環状駆動コイル７および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
更に、前記テーブル駆動制御手段２１は、前記位置情報検出手段２５からの情報を入力して所定の演算を行うと共にこれに基づいて予め動作指令入力部２４で設定した移動先の基準位置情報とのズレを算定する位置ずれ演算機能と、この算定された位置ずれ情報に基づいて電磁駆動手段４を駆動し予め設定された移動先の基準位置に当該可動テーブル部１５を移送制御するテーブル位置補正機能とを備えている。
このため、第１０の実施形態にあっては、可動テーブル部１５の移動方向が外乱等によってずれた場合には当該ずれを修正しながら可動テーブル部１５を所定の方向に移送制御することとなり、これにより、当該可動テーブル部１５は迅速且つ高精度に予め設定した目標位置に移送される。この場合、位置ずれの修正は、通電駆動中の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流を調整することにより実行される。
〔プログラム記憶部〕
前記テーブル駆動制御手段２１は、プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の制御モード）に従って、前記電磁駆動手段４の環状駆動コイル７および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、本実施形態に係るプログラム記憶部２２には、前記環状駆動コイル７に対する通電方向を特定し通電電流の大小を可変設定する駆動コイル用制御プログラムと、環状駆動コイル７に対する通電方向が特定された場合に機能しこれに対応して四個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムとが記憶されている。同時に、前記各制御プログラムの動作タイミングが、八組の通電制御モードＡ１乃至Ａ８に整理されて記憶されている（第３７図，第３８図参照）。
ここで、第１０の実施形態における八組の通電制御モードＡ１乃至Ａ８について、第３７図〜第３８図に基づいて説明する。
第３７図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、又Ｙ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各通電制御モードＡ１乃至Ａ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第３７図において、各通電制御モードＡ１〜Ａ４では、環状駆動コイル７に対する直流電流の通電方向を矢印Ａに示すように、本実施形態では右回りに設定されている。
（制御モードＡ１）
この第１０の実施形態における制御モードＡ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第３７図参照）。
この制御モードＡ１では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが通電停止制御され、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａの前記コイル辺７ａに対向する端面部がＮ極に設定され，Ｘ軸上の被駆動磁石６Ｃの前記コイル辺７ｃに対向する端面部がＳ極に設定されている。
このため、環状駆動コイル７のコイル辺７ａ，７ｃ部分では、当該コイル辺７ａ，７ｃ内に点線の矢印に示す方向の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（環状駆動コイル７が固定されている）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＡ２）
この制御モードＡ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第３７図参照）。
この制御モードＡ２では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃの磁極の設定を前記制御モードＡ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＡ１の場合と同一となっている。
このため、環状駆動コイル７のコイル辺７ａ，７ｃ部分では、前記制御モードＡ１の場合と同様の原理で制御モードＡ１の場合とは逆向きの電磁駆動力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＡ３）
この制御モードＡ３は、可動テーブル１をＹ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第３７図参照）。
この制御モードＡ３では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃが通電停止制御される。そして、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂの前記コイル辺７ｂに対向する端面部がＮ極に設定され，同じくＹ軸上の被駆動磁石６Ｄの前記コイル辺７ｄに対向する端面部がＳ極に設定されている。
このため、環状駆動コイル７のコイル辺７ｂ，７ｄ部分では、当該コイル辺７ｂ，７ｄ内に点線の矢印に示す方向の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（環状駆動コイル７が固定されている）で、被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＡ４）
この制御モードＡ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第３７図参照）。
この制御モードＡ４では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄの磁極の設定を前記制御モードＡ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＡ３の場合と同一となっている。
このため、環状駆動コイル７のコイル辺７ｂ，７ｄ部分では、前記モードＡ３の場合と同様の原理で電磁駆動力が発生し、反力で被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。
続いて、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて可動テーブル部１５を移送する場合の各通電制御モードＡ５乃至Ａ８の一例（図表化したもの）を説明する。第３８図にこれを示す。
この第３８図において、各通電制御モードＡ５〜Ａ８では、環状駆動コイル７に対する直流電流の通電方向を矢印Ａに示すように、本実施形態では右回りに設定されている。
（制御モードＡ５）
この第１０の実施形態における制御モードＡ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示す（第３８図参照）。
この制御モードＡ５では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、環状駆動コイル７のコイル辺７ａ，７ｂに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、同じく環状駆動コイル７のコイル辺７ｃ，７ｄに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、それぞれ設定されている。
このため、環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄ部分では、前記制御モードＡ１とＡ３とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第３８図の制御モードＡ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。これによって、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θは、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを可変制御させて、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させることにより、自在にその大きさを可変設定することができる。これにより、可動テーブル部１５を第１象限方向の任意の方向に自在に移送制御することができる。
（制御モードＡ６）
この制御モードＡ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第３８図参照）。
この制御モードＡ６では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、制御モードＡ５の場合とは全く逆に設定されている。
このため、環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄ部分では、前記制御モードＡ２とＡ４とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第７図の制御モードＡ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを可変制御させて、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させることにより、自在にその大きさを可変設定することができる。これにより、可動テーブル部１５を第３象限方向の任意の方向に自在に移送制御することができる。
（制御モードＡ７）
この制御モードＡ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第３８図参照）。
この制御モードＡ７では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、環状駆動コイル７のコイル辺７ｂ，７ｃに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、同じく環状駆動コイル７のコイル辺７ｃ，７ａに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、それぞれ設定されている。
このため、環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄ部分では、前記制御モードＡ２と制御モードＡ３とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第７図の制御モードＡ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これによって、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを可変制御させて、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させることにより、自在にその大きさを可変設定することができる。これにより、可動テーブル部１５を第２象限方向の任意の方向に自在に移送制御することができる。
（制御モードＡ８）
この制御モードＡ８は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第３８図参照）。
この制御モードＡ８では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、制御モードＡ７の場合とはそれぞれ逆に設定されている。
このため、環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄ部分では、前記制御モードＡ１と制御モードＡ４とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第７図の制御モードＡ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度θは、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させることにより自在にその大きさを可変設定することができ。これにより、可動テーブル部１５を第４象限方向の任意の方向に自在に移送制御することができる。
〔制動用プレート〕
前記環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ〜７ｄ部分で前記四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極面に対向し且つ近接した位置には、第３２図乃至第３４図に示すように、非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９が、周囲から絶縁された状態で配置され、それぞれ環状駆動コイル７側に固着装備されている。
この各制動用プレート９は、可動テーブル部１５の急激な移動動作に対してこれを抑制しつつ当該可動テーブル部１５を緩やかに移動させる機能を備えている。第３９図に、その動作原理を示す。
ここで、第３９図（Ａ）は第３２図の制動用プレート９部分を示す一部省略した部分断面図である。又、第３９図（Ｂ）は第３９図（Ａ）の矢印Ａ−Ａ線に沿って見た平面図（動作原理説明図）を示す。
この場合、四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが装備された可動テーブル部１５が急激に移動した場合、当該各該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとこれに対応した各制動用プレート９との間に移動速度に比例した大きさの電磁制動（渦電流ブレーキ）が働く。これにより、可動テーブル部１５は急激な移動動作が抑制されて徐々に移動することとなる。
これを更に具体的に説明すると、第３９図において、制動用プレート９は、被駆動磁石６ＡのＮ極に対向して環状駆動コイル７のコイル辺７ａ部分に固着されている。符号９Ａ，９Ｂは制動用プレート９を固定するためのスペーサ部材を示す。このスペーサ部材９Ａ，９Ｂは、本実施形態では非導電性部材によって形成されている。
いま、補助テーブル５が図の右方向に速度Ｖ１で急激に移動すると、金属製の制動用プレート９は（固定されているため）相対的に図の左方向に同一の速度Ｖ２（＝Ｖ１）で急激に移動することになる。これにより、制動用プレート９内にはフレミングの右手の法則に従って速度Ｖ２に比例した起電力ＥＶが第３９図（Ｂ）に示す方向（図中、上向き）に発生し、同矢印の方向に左右対象の渦電流が流れる。この渦電流の大きさも速度Ｖ２に比例する。
次に、起電力ＥＶの発生領域にはＮ極からの磁束が存在することから、この被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁束と制動用プレート９内の（起電力ＥＶ方向の）渦電流との間にフレミングの左手の法則に従って所定の移動力ｆ１が制動用プレート９内に（図の右方向に向けて）発生する。
一方、制動用プレート９は固定プレート８上で固定されているため、移動力ｆ１の反力ｆ２が被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ上に制動力として発生し、その向きは移動力ｆ１の向きとは逆の向きになる。即ち、この制動力ｆ２は被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ（即ち補助テーブル５）の最初の急激な移動方向とは逆の方向となり、しかもその大きさは当該補助テーブル５の移動速度に比例した大きさとなることから、当該補助テーブル５はその急激な移動が適度の制動力ｆ２によって抑制され、安定した状態で円滑に移動することとなる。
他の制動用プレート９の箇所でも全く同様に所定の制動力ｆ２が発生する。
このため、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを備えた補助テーブル５では、例えば急激な停止動作に際しては当該停止箇所にて往復移動が生じ易いが、これに対しては制動力ｆ２によってその動作が適度に抑制されて円滑に穏やかに移動することとなる。即ち、全体的にはこの各制動用プレート９が有効に機能して、可動テーブル部１５の移動動作の安定した装置を得ることができる。外部からの振動によって可動テーブル部１５が往復微小振動した場合にも、同様に機能して当該往復微小振動は有効に抑制される。
又、前記各制動用プレート９は、環状駆動コイル７の駆動時に生じる熱を放熱する機能を兼ね備えている。かかる点において環状駆動コイル７の連続運転に伴って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下（即ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制しつつ通電電流を長時間ほぼ一定レベルに設定することができ、このため、電磁駆動手段から出力される電磁駆動力に対する外部からの電流制御を安定した状態にて継続することができ、経年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性を、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
〔全体的な動作〕
次に、前記第１０の実施形態における全体的な動作について説明する。
第３５図において、まず、動作指令入力部２４から、可動テーブル１を所定位置へ移動させるための動作指令が動作制御系２０に入力されると、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モード（Ａ１乃至Ａ８の何れか一つにかかる制御プログラム）を選択する。続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを作動させ、電磁駆動手段４の一個の環状駆動コイル７と四個の被駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
ここで、前記動作制御系２０に、例えば可動テーブル１をＸ軸の正方向の所定位置へ移送駆動する旨の動作指令が動作指令入力部２４から入力され、これに基づいて装置全体が所定の通電制御モードに従って作動する。この場合の作動後の状態を、第４０図〜第４１図に例示する。
この事例では、通電制御モードとしては第３７図に示す制御モードＡ１が選択され、これに従って環状駆動コイル７及び四つの各被駆動コイル６Ａ〜６Ｄが当該制御モードＡ１によって作動したことを意味する。
この場合、前記テーブル保持機構４では、補助テーブル５が電磁駆動手段４によって第３２図の右方に付与されると、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性力に抗して当該補助テーブル５が移動する。そして、この補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において停止する（第４０図，第４１図参照）。
この第４０図，第４１図において、符号Ｔは移動した距離を示す。又、第４１図において、斜線部分は補助テーブル５の移動によって前記他方の容量検出電極２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量成分が減少した部分を示し、交差斜線部分は前記一方の容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２の容量成分が増加した部分を示す。尚、この第４１図にあっては、Ｙ軸方向への位置ずれは無い理想状態が示されている。
そして、この動作中に、外乱等によって補助テーブル５の移動位置が目標位置からずれた場合には、この容量検出電極２６Ｘ１，２６Ｘ２，２６Ｘ３，２６Ｘ４の容量成分の増加減少の情報に基づいて前述したように実際の移動後の位置が検出され、位置ずれ防止用のフィードバック制御（図示せず）が行われるようになっている。
一方、かかる状態から補助テーブル５に印加されている電磁駆動力が開放されると、補助テーブル５はピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力に付与されて元位置に復帰する（元位置復帰機能の発動）。
かかる一連の動作にあって、補助テーブル５の移動動作は、通常は電磁駆動力の印加制御又は開放制御が何れの場合でも急激に行われる。かかる場合、補助テーブル５（又は可動テーブル１）には、移動先での停止時又は元位置復帰に際しての停止位置において、慣性力およびばね力に起因した繰り返し往復動作が生じる状態となる。
しかしながら、本実施形態において、この種の繰り返し往復動作は、前記制動用プレートと被駆動磁石との間に生じる電磁制動（渦電流ブレーキ）によって抑制され、所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
動作指令入力部２４から、可動テーブル１を前記以外の他の所定位置へ移動させるための動作指令が入力された場合にも、同様にテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択する。続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを作動させ、電磁駆動手段４の環状駆動コイル７および四つの被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
そして、この場合も、前記場合と同様の制御動作および制動用プレートによる制動動作が実行され、補助テーブル５（可動テーブル１）は所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
このように、前記第１０の実施形態にあっては、リンク機構を応用したテーブル保持機構２によって滑り動作を伴うことなく可動テーブル部１５を中心位置から（所定範囲内において）同一の高さ位置を維持しつつＸ−Ｙ平面上のいずれの方向へも円滑に移動させ（或いは回転させ）ることができる。
したがって、前記第１０の実施形態では、従来必要としていた重厚な二重構造のＸ−Ｙ軸移動保持機構を不要としたことから装置全体の小型化軽量化が可能となり、同時に軽量化によって可搬性を著しく改善することができ、従来例に比較して部品点数も少なくなり、耐久性を著しく向上させることができる。また、組立時の調整に熟練を必要としないため、生産性を高めることができる。
又、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを有する可動テーブル部１５が急激に動作変化しても、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄと非磁性金属部材からなる制動用プレート９との間に電磁制動（渦電流ブレーキ）が働くことから、これにより、可動テーブルはその急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で円滑に移動することができる。
更に、この制動用プレート９を、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対向した状態で環状駆動コイル７の各コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ部分に装備するという簡単な構成であり、同時に、電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段４も、補助テーブル５に装備した被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとこれに対応して固定プレート８上に一個の環状駆動コイル７を装備するという簡単な構成である。このため、装置全体の小型化および軽量化が可能となり、可搬性が良好となるばかりでなく、組立作業に際しても特に熟練を要することが無いことから、作業性も良好となる。
更に、駆動コイルの前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９は、駆動コイル７との関係ではトランスの二次側回路と同等の回路を構成し、且つ制動用プレートの電気抵抗成分（渦電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
そして、この場合の一次側回路を構成する駆動コイル７の各コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄには、二次側回路が開放状態の場合（制動プレートが無い場合）に較べて比較的大きい電流を通電することができる。したがって、制動用プレート９により駆動コイル７と被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとの間の間隔が幾分大きくなるが、通電電流も増加することから、かかる点において発生する電磁駆動力を低下させることがなく、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対しては比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
又、この制動用プレート９は、放熱板としても機能し、かかる点において環状駆動コイル７の連続運転に伴う径年変化（熱による絶縁破壊等）を有効に抑制することができる。したがって、装置全体の耐久性を増大することができ、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
更に、本実施形態では、電磁駆動手段４における１個の環状駆動コイル７とこれに対応する各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを装備したので、環状駆動コイル７の四個の各コイル辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄは、対応する各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを常にＸ−Ｙ平面上のＸ軸又はＹ軸に直交する方向に押圧するように作動する。このため、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）に対する電磁駆動力は何れの方向に移動させる場合でも常にその合力がＸ−Ｙ平面上の中心点側から外側に向かう方向に発生することとなる。
したがって、可動テーブル部１５の移送方向が変化しても常に回転を伴うことなく可動テーブル１を円滑に（許容範囲内において）平面移動させることができる。
このように、前記実施形態にあっては、一個の環状駆動コイル７と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対して通電電流を調整し設定することによって所定方向に連続した電磁駆動力を出力し得るので、可動テーブル１をいずれの方向へも連続的に移送することができ、かかる点においてミクロン単位の精密移動が可能となっている。
又、駆動コイルを１個の環状駆動コイル７で構成したので、構造が単純化され、対応する被駆動磁石６Ａ〜６Ｄも含めてその全体を、可動テーブル部１５の大きさ全体を利用して広げた状態で、当該可動テーブル部１５と固定プレート８との間に装備したので、空間の専有領域を小さくすることができ、かかる点において装置全体の小型軽量化が可能となり可搬性がよくなる。又、部品点数が少ないので、生産性及び保守性を高めることができるという利点がある。
ここで、前記第１０の実施形態にあっては、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを補助テーブル５に装備した場合を例示したが、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを可動テーブル１側に装備すると共に、これに対向して前記環状駆動コイル７を固定プレート８上の所定位置に配設してもよい。
又、可動テーブル１については、円形状の場合を例示したが、四角形状でも他の形状であってもよい。補助テーブル５については四角形状の場合を例示したが、前記諸機能を実現し得るものであれば、円形でも他の形状のものであってもよい。
前記テーブル保持機構２は、可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたものについて例示したが、この可動テーブル部１５に対する元位置復帰手段を別に装備し、テーブル保持機構２については元位置復帰機能を取り除いた構成としてもよい。具体的に説明すると、本発明の実施形態では、リンク機構としてばね材からなるピアノ線を用いることにより、リンク機構に可動テーブルの元位置復帰力を備えるようにしたが、これに限られるものではない。すなわち、リンク機構と、可動テーブルを元位置に復帰させる元位置復帰機構とを分離して独立の機構として構成するようにしてもよいものである。
前述したようにテーブル保持機構のリンク機構と元位置復帰機構とを独立した機構として構成した場合には、元位置復帰機構が可動テーブルの移動に伴って元位置復帰力としてのばね力を蓄力することになる。さらに、可動テーブルの移動した現在位置を検出するセンサを備え、そのセンサが検出した位置信号に基づいて電磁駆動手段の駆動コイルに通電する電流値を制御することにより、前記元位置復帰機構が発生するばね力に対向する反力を発生させるようにする必要がある。
本実施形態に係る制動用プレート９は、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ毎に装備した場合を例示したが、二個以上又は全部の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを対象として、これらを一枚の制動用プレートに対向させるように構成したものであってもよい。
第４２図に、この一枚の制動用プレートを全部の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対面させるように構成した場合の例を示す。
この第４２図において、符号９２，９３は単一の制動用プレート９を保持するためのスペーサ部材を示す。ここで、符号９ａは固定プレート８に沿って支柱１０が往復移動するのを許容する貫通穴を示す。
この場合、制動用プレート９の周囲を延長するとともに、この制動用プレート９の周囲の一部又は全部を前記ケース本体３によって保持するように構成し、このスペーサ部材９２，９３を省略してもよい。
又、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄと環状駆動コイル７とを入れ替え装備し、環状駆動コイル７を補助テーブル５側に又各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを固定プレート８側に装備してもよい。この場合、制動用プレート９も、その機能の実効を図るために環状駆動コイル７側に固定装備される。
更に、前記第１０の実施形態において、直交座標（Ｘ−Ｙ座標）上に四個の被駆動磁石を原点から等距離に装備した場合を例示したが、複数の被駆動磁石であって当該各被駆動磁石の移動方向（反発駆動方向）が座標上の原点（直交座標でなくてもよい）を通過する線上にあれば、原点から等距離に装備してなくても、座標軸上から外れた位置に配置されていても、又その数が４個でなくてもよい。
このようにすると、一又は二以上の各被駆動磁石によって可動テーブル部１５を所定方向へ移送駆動する場合に、回転力成分が発生する要素を予め確実に排除することができる。また、例えば直交座標（Ｘ−Ｙ座標）上に四個の被駆動磁石を原点から等距離に装備した場合には動作制御系２０による制御動作の単純化を図ることができる。このため、迅速に且つ円滑に当該可動テーブル部１５を所定方向に移送することができる。
更に、前記第１０の実施形態では、被駆動磁石として４個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを装備した場合を例示したが、本発明では被駆動磁石を、４個に限定するものではなく、三個でも或いは五個以上の被駆動磁石を備えたものであってもよい。又、この被駆動磁石の形状は、他の形状（例えば円柱状）であってもよい。
又、複数の被駆動磁石を適当に装備した場合には、前記動作制御系２０によって、外部から指示された移動方向に向けて都合のよい（例えば移送方向に効率良く機能する位置にある）複数の被駆動磁石を選択して通電駆動し、その合力をもって前記可動テーブル部１５を、外部から指示された移動方向に向けて移送するように構成するとよい。
又、前記第１０の実施形態では、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ａ１〜Ａ８の制御モードに分けて電磁駆動手段４を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＡ２では被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの各通電方向を制御モードＡ１と同一とし環状駆動コイル７の通電方向のみを逆方向に設定する等、同等に機能するものであれば、他の駆動制御方法を採用してもよい。
〔環状駆動コイルの他の例〕
第４３図（Ａ）〜（Ｄ）に、それぞれＸ−Ｙ平面上に配設された一個の環状駆動コイル７に関する他の構成例を示す。
（三角形状の環状駆動コイル）
まず、第４３図（Ａ）に、環状駆動コイルを正三角形状に形成した場合を示す。この正三角形状の環状駆動コイル７１は、角部が円弧状に形成され、固定子側である固定プレート（図示せず）に固着され保持されている。
又、この三角形状の環状駆動コイル７１の各コイル辺７Ａａ，７Ａｂ，７Ａｃに対応して、電磁石から成る被駆動磁石６Ａ〜６Ｃが、それぞれ個別に配設されている。この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｃは、可動子側である可動テーブル部（図示せず）側に固着装備されている。
この各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ又は６Ｃは、稼働状態にあっては、環状駆動コイル７１の対応する各コイル辺７１ａ，７１ｂ，又は７１ｃから個別に電磁力を受けて当該各コイル辺７１ａ，７１ｂ，又は７１ｃに直交する方向に向けて、反発駆動される。
ここで、各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ又は６Ｃは、その駆動される方向の中心線の延長線が前記環状駆動コイル７１のＸ−Ｙ平面上の原点を通るように、前記各コイル辺７１ａ，７１ｂ，又は７１ｃに対応して配置されている。
そして、装置全体の稼働に際しては、前記第１０の実施形態の場合と同様に、動作制御系が作動し、予め特定された複数の通電制御モードから所定の通電制御モードが選択され、これに従って環状駆動コイル７１及び各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ又は６Ｃが個別に通電制御されるようになっている。その他の構成は、前記第３２図乃至第４１図に示す第１０の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、環状駆動コイル７１及び各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ又は６Ｃに対して個別に成される動作制御系による（ゼロを含む）通電制御によって、前記可動テーブル部をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に移送することができ、前記第１０の実施形態の場合とほぼ同一の作用効果を得ることができる。
（円形状の環状駆動コイル）
次に、第４３図（Ｂ）に、環状駆動コイルを円形状に形成した場合を示す。この円形状の環状駆動コイル７２は、固定子側である固定プレート（図示せず）に固着され保持されている。
又、この円形状の環状駆動コイル７２のＸ−Ｙ平面上のＸ軸およびＹ軸と交差する箇所に、当該環状駆動コイル７２の各コイル辺部分７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，７２ｄに対応して、電磁石から成る被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄが、それぞれ個別に配設されている。この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、可動子側である可動テーブル部（図示せず）側に固着装備されている。
この各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，又は６Ｄは、稼働状態にあっては、対応する各コイル辺部分７２ａ，７２ｂ，７２ｃ又は７２ｄから個別に電磁力を受けて当該環状駆動コイル７Ｂの当該箇所の接線に直交する方向に向けて、反発駆動される。
ここで、各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，又は６Ｄは、その駆動される方向の中心線の延長線が前記環状駆動コイル７２のＸ−Ｙ平面上の原点を通るように、前記各コイル辺部分７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，又は７２ｄに対応して配置されている。
そして、装置全体の稼働に際しては、前記第１０の実施形態の場合と同様に、動作制御系が作動し、予め特定された複数の通電制御モードから所定の通電制御モードが選択され、これに従って環状駆動コイル７２及び各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，又は６Ｄが個別に通電制御されるようになっている。その他の構成は、前記第３２図乃至第４１図に示す第１０の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、環状駆動コイル７２及び各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，又は６Ｄに対して個別に成される前記動作制御系による（ゼロを含む）通電制御によって、前記可動テーブル部をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に移送することができ、前記第１０の実施形態の場合とほぼ同一の作用効果を得ることができる。
（六角形状の環状駆動コイル）
次に、第４３図（Ｃ）に、環状駆動コイルを正六角状に形成した場合を示す。この正六角状の環状駆動コイル７３は、固定子側である固定プレート（図示せず）に固着され保持されている。
又、この正六角状の環状駆動コイル７３の六個の各コイル辺７３ａ，７３ｂ，７３ｃ，７３ｄ，７３ｅ，７３ｆに対応して、電磁石から成る六個の各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄ，６Ｅ，６Ｆが、それぞれ個別に配設されている。この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｆは、可動子側である可動テーブル部（図示せず）側に固着装備されている。
この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｆは、稼働時にあっては、それぞれ対応する各コイル辺７３ａ〜７３ｆから個別に電磁力を受けて当該各コイル辺７３ａ〜７３ｆに直交する方向に向けて、反発駆動される。
ここで、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｆは、その駆動される方向の中心線の延長線が前記環状駆動コイル７３のＸ−Ｙ平面上の原点を通るように、前記各コイル辺部分７３ａ〜７３ｆに対応して配置されている。
そして、装置全体の稼働に際しては、前記第１０の実施形態の場合と同様に、動作制御系が作動し、予め特定された複数の通電制御モードから所定の通電制御モードが選択され、これに従って環状駆動コイル７３及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｆが個別に通電制御されるようになっている。その他の構成は、前記第３２図〜第４１図に示す第１０の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、正六角状の環状駆動コイル７３及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｆに対して個別に成される前記動作制御系による（ゼロを含む）通電制御によって、前記可動テーブル部をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に移送することができ、これによって前記第１０の実施形態の場合とほぼ同一の作用効果を得ることができる。
（八角形状の環状駆動コイル）
次に、第４３図（Ｄ）に、環状駆動コイルを正八角状に形成した場合を示す。この正八角状の環状駆動コイル７４は、固定子側である固定プレート（図示せず）に固着され保持されている。
又、この正八角状の環状駆動コイル７４の八個の各コイル辺７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄ，７４ｅ，７４ｆ，７４ｇ，７４ｈに対応して、電磁石から成る八個の被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄ，６Ｅ，６Ｆ，６Ｇ，６Ｈが、それぞれ個別に配設されている。この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｈは、可動子側である可動テーブル部（図示せず）側に固着装備されている。
この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｈは、稼働状態にあっては、対応する各コイル辺７４ａ〜７４ｈから個別に電磁力を受けて当該各７４ａ〜７４ｈに直交する方向に向けて、個別に反発駆動される。
ここで、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｈは、その駆動される方向の中心線の延長線が前記環状駆動コイル７４のＸ−Ｙ平面上の原点を通るように、前記各コイル辺部分７４ａ〜７３ｈに個別に対応して配置されている。
そして、装置全体の稼働に際しては、前記第１０の実施形態の場合と同様に、動作制御系が作動し、予め特定された複数の通電制御モードから所定の通電制御モードが選択され、これに従って環状駆動コイル７４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｈが個別に通電制御されるようになっている。その他の構成は、前記第３２図乃至第４１図に示す第１０の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、環状駆動コイル７４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｈに対して個別に成される前記動作制御系による（ゼロを含む）通電制御によって、前記可動テーブル部をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に移送することができ、これによって前記第１０の実施形態の場合とほぼ同一の作用効果を得ることができる。
次に、第１１の実施形態を、第４４図乃至第４８図に基づいて説明する。
この第１１の実施形態では、前記第１０の実施形態における電磁駆動手段４が駆動コイルとして一個の環状駆動コイル７を装備しているのに対し、日の字状に形成された四個の駆動コイルを装備した電磁駆動手段１４２を備えている点に特徴を有する。同時に、この電磁駆動手段１４２を効率よく駆動するための動作制御系２０２を、前記動作制御系２０に代えて装備した点に特徴を有する。
以下、これを詳細に説明する。
まず、この第１１の実施形態は、前記第１０の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４２とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第４図４に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４２について〕
電磁駆動手段１４２は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル部１５に当該可動テーブル部１５の移送方向に沿って所定の移動力（駆動力）を付与する機能を備えている。この電磁駆動手段４は、前記可動テーブル１と補助テーブル５との間に配設されている。
この電磁駆動手段１４２は、具体的には、四個の駆動コイル７２１，７２２，７２３，７２４と、この各駆動コイル７２１〜７２４の中央部に位置する内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａに個別に対応して前記補助テーブル５上に装備された四個の被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄと、前記四個の駆動コイル７２１〜７２４を所定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。４個の駆動コイル７２１，７２２，７２３，７２４は、２個の□形状コイルを組み合わせて形成され、コイル同士の突合せ部に前記内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａが形成されている。
前記各日の字状駆動コイル７２１〜７２４は、その中央部に位置する内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａがその中央部で、固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上のＸ軸又はＹ軸に直交するように、前記Ｘ軸およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
また、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、外部からの通電制御が可能な電磁石で構成され、前記各日の字状駆動コイルの内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａに対応して、Ｘ軸上およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
固定プレート８は、第３２図に示すように前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。この日の字状の各駆動コイル７２１〜７２４と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段４の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、各駆動コイル７２１〜７２４は、作動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを各内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａに直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。この場合、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの移動方向の中心軸線が前記Ｘ−Ｙ平面上の中心点を通るように設定されている。また、各内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａに直交しない方向（各コイル辺７ａ〜７ｄに斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように少なくとも二以上の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
更に、各駆動コイル７２１〜７２４の前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに面する内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極面に近接して（ほぼ当接した状態で）配設されている。この制動用プレート９は本実施形態では一枚のものが使用され、その周囲の一部又は全部が前記ケース本体３に固着されている。
電磁駆動手段１４２の一部を構成する四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、本実施形態では第４５図に示すように、磁極の端面（各駆動コイル７２１〜７２４の各内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａとの対向面）が四角形状の電磁石により形成され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
このため、本実施形態にあっては、例えば四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電されて各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが稼働状態に設定され、その後に又は同時に後述する所定の制御モードに従って各駆動コイル７２１〜７２４が稼働状態に設定され通電が開始される。そして、各駆動コイル７２１〜７２４を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその移送駆動力に関する電磁駆動手段１４２の働き（各駆動コイル７２１〜７２４と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する通電駆動）については、第４第７図乃至第４８図にて詳述する。第４７図及び第４８図では、駆動コイルへの通電による回転駆動を示していない。
電磁駆動手段１４２の主要部を成す四個の日の字状駆動コイル７２１〜７２４は、第４４図〜第４５図に示すように、二つの口状小コイル部Ｋａ，Ｋｂの組合せから形成されている。そして、二つの口状小コイル部Ｋａ，Ｋｂの当接する部分にコイル辺（内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分）が形成され、当該コイル辺（内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分）に、常に電流が同方向（当接する部分の一方と他方の各コイル辺内には常に同じ向きの電流を流す）に流されるようになっている。このため、その向きを変える場合には、二つの口状小コイル部Ｋａ，Ｋｂ内の通電方向を同時に変化させるようになっている。
この場合、この第１１の実施形態では、電磁石からなる前記四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電方向が後述するように予め特定されていることから、四個の日字状駆動コイル７２１〜７２４における各内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分の通電方向および通電電流の大小（通電停止制御を含めて）が、前記可動テーブル１の移送方向に対応して後述する動作制御系２０により、設定制御される。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って所定の方向（内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分にそれぞれ直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力されることとなる。
又、四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該４個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第４７図〜第４８図）で詳述する。
ここで、前記各駆動コイル７２１〜７２４の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該各駆動コイル７２１〜７２４の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料を充填装備してもよい。
〔動作制御系２０２について〕
次に、この第１１の実施形態における動作制御系２０２について詳述する。
この第１１の実施形態において、前記各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを個別に通電制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０２が、電磁駆動手段１４２に併設されている（第４６図参照）。
この動作制御系２０２は、前記各日の字状駆動コイル７２１〜７２４に対応して装備された各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極を個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁力強度を個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能と、前記各日の字状駆動コイル７２１〜７２４における内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分の通電方向を所定の方向（一方又は他方）に外部からの指令に応じて設定し維持する通電方向設定機能と、この各日の字状駆動コイル７２１〜７２４への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能とを備え、これらの諸機能の出力を適度に調整しながら前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能とを備えている。
そして、この動作制御系２０２は、前記諸機能を実行するために、第４６図に示すように、前記電磁駆動手段１４２の各日の字状駆動コイル７２１〜７２４および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１２と、このテーブル駆動制御手段２１２に併設され前記可動テーブル１の移動方向およびその動作量等が特定された複数の制御モード（本実施形態ではＢ１〜Ｂ８の八個の通電制御モード）にかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２２と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
又、テーブル駆動制御手段２１２には、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。更に、このテーブル駆動制御手段２１２には、前記可動テーブル部１５の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０２が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２２の複数の通電制御モードＢ１〜Ｂ８に総合的に包含され、動作指令入力部２４を介して入力されるオペレータからの指令で選択される制御モードＢ１〜Ｂ８の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
テーブル駆動制御手段２１２は、本実施形態にあっては、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２２から選択し前記各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１２Ａと、この主制御部２１２Ａに選択設定され所定の通電制御モード（Ｂ１〜Ｂ８）に従って各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１２Ｂとを備えている。
又、主制御部２１２Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル部１５の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段１４２の各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
〔プログラム記憶部２２２について〕
前記テーブル駆動制御手段２１２は、プログラム記憶部２２２に予め記憶された所定の通電制御プログラム（所定の制御モード）に従って、前記電磁駆動手段１４２の各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、本実施形態に係るプログラム記憶部２２２には、前記四個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムと、この四個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄの通電方向が特定され磁極のＮ極又はＳ極（又は通電停止）は設定された場合に機能しこれに対応して四個の各日の字状駆動コイル７２１〜７２４に対する通電方向およびその通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル用制御プログラムが記憶されている。同時に、これらの各制御プログラムの動作タイミングが、八組の制御モードＢ１乃至Ｂ８に整理されて記憶されている（第４７図〜第４８図参照）。
ここで、この第１１の実施形態における八組の制御モードＢ１乃至Ｂ８について、第４７図〜第４８図に基づいて説明する。
第４７図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、またＹ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＢ１乃至Ｂ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第４７図において、各制御モードＢ１〜Ｂ４では、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定されている。又、四個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については、各磁極のＮ極又はＳ極は、制御モードの如何に拘らず常に変化しないように（固定した状態に）、設定制御されている。
即ち、この第１１の実施形態では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの前記日の字状駆動コイル７２１，７２２に対向する端面部の磁極を、被駆動磁石６Ａ，６ＢではＮ極に、被駆動磁石６Ｃ，６ＤではＳ極に、それぞれ設定され、制御モードＢ１〜Ｂ４が異なっても当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極は固定された状態に設定制御されている。
（制御モードＢ１）
この制御モードＢ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第４７図参照）。
この制御モードＢ１では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが通電停止制御され、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａの前記内側コイル辺７２１ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ｃの前記コイル辺７２３ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
このため、駆動コイル７２１，７２３のコイル辺７２１ａ，７２３ａ部分では、当該コイル辺７２１ａ，７２３ａ内に点線の矢印で示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７２１，７２３が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に移送される。この場合、駆動コイル７２２，７２４は、通電停止制御の状態に設定されている。
尚、通電停止中の駆動コイル７２２，７２４および被駆動磁石６Ｂ，６Ｄは、可動テーブル１の位置ずれに際しては、個別に通電駆動されて位置ずれ補正動作が実行されるようになっている（これは前記第１０の実施形態を含む他の実施形態でも同様である）。
（制御モードＢ２）
この制御モードＢ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第４７図参照）。
この制御モードＢ２では、Ｘ軸上の駆動コイル７２１，７２３のコイル辺７２１ａ，７２３ａ部分の通電方向を前記制御モードＢ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＢ１の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７２１，７２３のコイル辺７２１ａ，７２３ａ部分では、前記モードＢ１の場合と同様の原理で電磁駆動力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。可動テーブル１の位置ずれに際しては、前記制御モードＢ１の場合と同様の補正動作が実行される。
（制御モードＢ３）
この制御モードＢ３は、可動テーブル１をＹ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第４７図参照）。
この制御モードＢ３では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃが通電停止制御され、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂの前記内側コイル辺７２２ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され，Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｄの前記コイル辺７２４ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
このため、駆動コイル７２２，７２４のコイル辺７２２ａ，７２４ａ部分では、当該各コイル辺７２２ａ，７２４ａ内に点線の矢印で示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７２２，７２４が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。この場合、駆動コイル７２１，７２３は、通電停止制御の状態に設定される。
尚、通電停止中の駆動コイル７２１，７２３および被駆動磁石６Ａ，６Ｃは、可動テーブル１の位置ずれに際しては、個別に通電駆動されて位置ずれ補正動作が実行されるようになっている。
（制御モードＢ４）
この制御モードＢ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第４７図参照）。
この制御モードＢ４では、Ｙ軸上の駆動コイル７２２，７２４のコイル辺７２２ａ，７２４ａ部分の通電方向を前記制御モードＢ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＢ３の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７２２，７２４のコイル辺７２２ａ，７２４ａ部分では、前記モードＢ３の場合と同様の原理で電磁駆動力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ｂ，６Ｄがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。可動テーブル１の位置ずれに際しては、前記制御モードＢ３の場合と同様の補正動作が実行される。
続いて、第４８図に、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＢ５乃至Ｂ８の一例（図表化したもの）を示す。
この第４８図において、各制御モードＢ５〜Ｂ８では、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定され、四個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については各磁極のＮ極又はＳ極が、制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）設定制御されている。
（制御モードＢ５）
この第１１の実施形態における制御モードＢ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第４８図参照）。
この制御モードＢ５では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その通電方向（磁極Ｎ，Ｓ）は前記各制御モードＢ１〜Ｂ４の場合と同様に固定されている。
即ち、Ｘ軸上，Ｙ軸上の正方向に配置された被駆動磁石６Ａ，６Ｂは、その各日の字状駆動コイル７２１，７２２に対向する端面部分がＮ極に設定されている。又、Ｘ軸上，Ｙ軸上の負方向に配置された被駆動磁石６Ｃ，６Ｄは、その各日の字状駆動コイル７２３，７２４に対向する端面部分がＢ極に設定されている。
このため、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４の各コイル辺７２１ａ〜７２４ｄ部分では、前記制御モードＢ１とＢ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＢ１，Ｂ３の場合と同様の向き（第４第８図の右方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第４８図の制御モードＢ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θ（Ｘ軸との角度θ）は、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＢ６）
この制御モードＢ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第４８図参照）。
この制御モードＢ６では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＢ５の場合と同一に設定されている。
即ち、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４の各コイル辺７２１ａ〜７２４ｄ部分では、前記制御モードＢ２とＢ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。
このため、前記制御モードＢ２，Ｂ４の場合と同様の向き（第４８図の左方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第４第８図の制御モードＢ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＢ７）
この制御モードＢ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第４８図参照）。
この制御モードＢ７では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＢ６の場合と同様に固定されている。
この制御モードＢ７の場合、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４の各コイル辺７２１ａ〜７２４ｄ部分では、前記制御モードＢ２とＢ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。
このため、前記制御モードＢ２，Ｂ４の場合と同様の向き（第４８図の左方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第４８図の制御モードＢ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＢ８）
この制御モードＢ８は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第４８図参照）。
この制御モードＢ８では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＢ７の場合と同様に固定されている。
この制御モードＢ８の場合、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４の各コイル辺７２１ａ〜７２４ｄ部分では、前記制御モードＢ１とＢ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＢ１，Ｂ４の場合と同様の向き（第４８図の右方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第１７図の制御モードＢ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
その他の構成及びその動作，機能等については、前記第１０の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、第１０の実施形態の場合と同様の作用効果を得ることができるほか、更に、第１１の実施形態では、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対して個別に駆動コイル７２１〜７２４を配置したので、駆動力の出力を要しない箇所の駆動コイル７２１，７２２，７２３又は７２４、或いは被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ又は６Ｄについては、その該当する箇所の通電動作を停止制御することが可能となる。したがって、稼動中における装置全体の省エネルギー化が可能となるという利点がある。
又、前記第１１の実施形態において、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ｂ１〜Ｂ８の制御モードに分けて電磁駆動手段１４２を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＢ２では被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの各通電方向を制御モードＢ１の場合とは逆の方向に設定し、駆動コイル７２１，７２３の通電方向を制御モードＢ１の場合と同一に設定する等、同等に機能するのであれば、他の制御手法で電磁駆動手段１４２を駆動制御するようにこ構成してもよい。
更に、前記第１１の実施形態において、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの装備箇所と日の字状駆動コイル７２１〜７２４の装備箇所とを入れ換えてもよい。この場合は、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが固定子側に装備され、日の字状駆動コイル７２１〜７２４が可動子側に装備されることとなる。
又、前記第１１の実施形態においては、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを電磁石で構成した場合を例示したが、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを永久磁石で構成してもよい。
このようにすると、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの周囲の電気配線が簡略化され、生産性および保守性を大幅に改善することができ、電気配線の簡略化に伴い被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの装備箇所の空間領域を小さくすることができる。したがって、その分、装置全体の小型軽量化が可能となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを電磁石とした場合に比較して、その通電駆動が不要となることから全体的に電力消費および温度上昇を大幅にを抑制することができる。したがって、装置全体のランニングコストを大幅に低減することができ、電磁駆動手段４の駆動制御に際しては複数の各駆動コイル７２１〜７２４の通電方向の切り換え制御のみで可動テーブル１を任意の方向に移送駆動することができる。これにより、可動テーブル１の移動方向の切替えに際しての迅速な応答が可能となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの断線事故等の発生が皆無となるので、装置全体の耐久性を大幅に向上させることができるという利点がある。
この第１１の実施形態では、前記第１０の実施形態における電磁駆動手段４が駆動コイルとして一個の環状駆動コイル７を装備しているのに対し、日の字状に形成された四個の駆動コイルを装備した電磁駆動手段１４２を備えている点に特徴を有する。同時に、この電磁駆動手段１４２を効率よく駆動するための動作制御系２０２を、前記動作制御系２０に代えて装備した点に特徴を有する。
以下、これを詳細に説明する。
まず、この第１１の実施形態は、前記第１０の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４２とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第４図４に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４２について〕
電磁駆動手段１４２は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル部１５に当該可動テーブル部１５の移送方向に沿って所定の移動力（駆動力）を付与する機能を備えている。この電磁駆動手段４は、前記可動テーブル１と補助テーブル５との間に配設されている。
この電磁駆動手段１４２は、具体的には、四個の駆動コイル７２１，７２２，７２３，７２４と、この各駆動コイル７２１〜７２４の中央部に位置する内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａに個別に対応して前記補助テーブル５上に装備された四個の被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄと、前記四個の駆動コイル７２１〜７２４を所定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。４個の駆動コイル７２１，７２２，７２３，７２４は、２個の□形状コイルを組み合わせて形成され、コイル同士の突合せ部に前記内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａが形成されている。
前記各日の字状駆動コイル７２１〜７２４は、その中央部に位置する内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａがその中央部で、固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上のＸ軸又はＹ軸に直交するように、前記Ｘ軸およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
また、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、外部からの通電制御が可能な電磁石で構成され、前記各日の字状駆動コイルの内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａに対応して、Ｘ軸上およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
固定プレート８は、第３２図に示すように前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。この日の字状の各駆動コイル７２１〜７２４と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段４の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、各駆動コイル７２１〜７２４は、作動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを各内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａに直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。この場合、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの移動方向の中心軸線が前記Ｘ−Ｙ平面上の中心点を通るように設定されている。また、各内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａに直交しない方向（各コイル辺７ａ〜７ｄに斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように少なくとも二以上の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
更に、各駆動コイル７２１〜７２４の前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに面する内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極面に近接して（ほぼ当接した状態で）配設されている。この制動用プレート９は本実施形態では一枚のものが使用され、その周囲の一部又は全部が前記ケース本体３に固着されている。
電磁駆動手段１４２の一部を構成する四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、本実施形態では第４５図に示すように、磁極の端面（各駆動コイル７２１〜７２４の各内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａとの対向面）が四角形状の電磁石により形成され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
このため、本実施形態にあっては、例えば四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電されて各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが稼働状態に設定され、その後に又は同時に後述する所定の制御モードに従って各駆動コイル７２１〜７２４が稼働状態に設定され通電が開始される。そして、各駆動コイル７２１〜７２４を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその移送駆動力に関する電磁駆動手段１４２の働き（各駆動コイル７２１〜７２４と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する通電駆動）については、第４第７図乃至第４８図にて詳述する。第４７図及び第４８図では、駆動コイルへの通電による回転駆動を示していない。
電磁駆動手段１４２の主要部を成す四個の日の字状駆動コイル７２１〜７２４は、第４４図〜第４５図に示すように、二つの口状小コイル部Ｋａ，Ｋｂの組合せから形成されている。そして、二つの口状小コイル部Ｋａ，Ｋｂの当接する部分にコイル辺（内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分）が形成され、当該コイル辺（内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分）に、常に電流が同方向（当接する部分の一方と他方の各コイル辺内には常に同じ向きの電流を流す）に流されるようになっている。このため、その向きを変える場合には、二つの口状小コイル部Ｋａ，Ｋｂ内の通電方向を同時に変化させるようになっている。
この場合、この第１１の実施形態では、電磁石からなる前記四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電方向が後述するように予め特定されていることから、四個の日字状駆動コイル７２１〜７２４における各内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分の通電方向および通電電流の大小（通電停止制御を含めて）が、前記可動テーブル１の移送方向に対応して後述する動作制御系２０により、設定制御される。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って所定の方向（内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分にそれぞれ直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力されることとなる。
又、四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該４個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第４７図〜第４８図）で詳述する。
ここで、前記各駆動コイル７２１〜７２４の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該各駆動コイル７２１〜７２４の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料を充填装備してもよい。
〔動作制御系２０２について〕
次に、この第１１の実施形態における動作制御系２０２について詳述する。
この第１１の実施形態において、前記各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを個別に通電制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０２が、電磁駆動手段１４２に併設されている（第４６図参照）。
この動作制御系２０２は、前記各日の字状駆動コイル７２１〜７２４に対応して装備された各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極を個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁力強度を個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能と、前記各日の字状駆動コイル７２１〜７２４における内側コイル辺７２１ａ〜７２４ａ部分の通電方向を所定の方向（一方又は他方）に外部からの指令に応じて設定し維持する通電方向設定機能と、この各日の字状駆動コイル７２１〜７２４への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能とを備え、これらの諸機能の出力を適度に調整しながら前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能とを備えている。
そして、この動作制御系２０２は、前記諸機能を実行するために、第４６図に示すように、前記電磁駆動手段１４２の各日の字状駆動コイル７２１〜７２４および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１２と、このテーブル駆動制御手段２１２に併設され前記可動テーブル１の移動方向およびその動作量等が特定された複数の制御モード（本実施形態ではＢ１〜Ｂ８の八個の通電制御モード）にかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２２と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
又、テーブル駆動制御手段２１２には、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。更に、このテーブル駆動制御手段２１２には、前記可動テーブル部１５の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０２が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２２の複数の通電制御モードＢ１〜Ｂ８に総合的に包含され、動作指令入力部２４を介して入力されるオペレータからの指令で選択される制御モードＢ１〜Ｂ８の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
テーブル駆動制御手段２１２は、本実施形態にあっては、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２２から選択し前記各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１２Ａと、この主制御部２１２Ａに選択設定され所定の通電制御モード（Ｂ１〜Ｂ８）に従って各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１２Ｂとを備えている。
又、主制御部２１２Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル部１５の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段１４２の各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
〔プログラム記憶部２２２について〕
前記テーブル駆動制御手段２１２は、プログラム記憶部２２２に予め記憶された所定の通電制御プログラム（所定の制御モード）に従って、前記電磁駆動手段１４２の各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、本実施形態に係るプログラム記憶部２２２には、前記四個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムと、この四個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄの通電方向が特定され磁極のＮ極又はＳ極（又は通電停止）は設定された場合に機能しこれに対応して四個の各日の字状駆動コイル７２１〜７２４に対する通電方向およびその通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル用制御プログラムが記憶されている。同時に、これらの各制御プログラムの動作タイミングが、八組の制御モードＢ１乃至Ｂ８に整理されて記憶されている（第４７図〜第４８図参照）。
ここで、この第１１の実施形態における八組の制御モードＢ１乃至Ｂ８について、第４７図〜第４８図に基づいて説明する。
第４７図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、またＹ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＢ１乃至Ｂ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第４７図において、各制御モードＢ１〜Ｂ４では、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定されている。又、四個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については、各磁極のＮ極又はＳ極は、制御モードの如何に拘らず常に変化しないように（固定した状態に）、設定制御されている。
即ち、この第１１の実施形態では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの前記日の字状駆動コイル７２１，７２２に対向する端面部の磁極を、被駆動磁石６Ａ，６ＢではＮ極に、被駆動磁石６Ｃ，６ＤではＳ極に、それぞれ設定され、制御モードＢ１〜Ｂ４が異なっても当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極は固定された状態に設定制御されている。
（制御モードＢ１）
この制御モードＢ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第４７図参照）。
この制御モードＢ１では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが通電停止制御され、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａの前記内側コイル辺７２１ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ｃの前記コイル辺７２３ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
このため、駆動コイル７２１，７２３のコイル辺７２１ａ，７２３ａ部分では、当該コイル辺７２１ａ，７２３ａ内に点線の矢印で示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７２１，７２３が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に移送される。この場合、駆動コイル７２２，７２４は、通電停止制御の状態に設定されている。
尚、通電停止中の駆動コイル７２２，７２４および被駆動磁石６Ｂ，６Ｄは、可動テーブル１の位置ずれに際しては、個別に通電駆動されて位置ずれ補正動作が実行されるようになっている（これは前記第１０の実施形態を含む他の実施形態でも同様である）。
（制御モードＢ２）
この制御モードＢ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第４７図参照）。
この制御モードＢ２では、Ｘ軸上の駆動コイル７２１，７２３のコイル辺７２１ａ，７２３ａ部分の通電方向を前記制御モードＢ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＢ１の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７２１，７２３のコイル辺７２１ａ，７２３ａ部分では、前記モードＢ１の場合と同様の原理で電磁駆動力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。可動テーブル１の位置ずれに際しては、前記制御モードＢ１の場合と同様の補正動作が実行される。
（制御モードＢ３）
この制御モードＢ３は、可動テーブル１をＹ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第４７図参照）。
この制御モードＢ３では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃが通電停止制御され、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂの前記内側コイル辺７２２ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され，Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｄの前記コイル辺７２４ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
このため、駆動コイル７２２，７２４のコイル辺７２２ａ，７２４ａ部分では、当該各コイル辺７２２ａ，７２４ａ内に点線の矢印で示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７２２，７２４が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。この場合、駆動コイル７２１，７２３は、通電停止制御の状態に設定される。
尚、通電停止中の駆動コイル７２１，７２３および被駆動磁石６Ａ，６Ｃは、可動テーブル１の位置ずれに際しては、個別に通電駆動されて位置ずれ補正動作が実行されるようになっている。
（制御モードＢ４）
この制御モードＢ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第４７図参照）。
この制御モードＢ４では、Ｙ軸上の駆動コイル７２２，７２４のコイル辺７２２ａ，７２４ａ部分の通電方向を前記制御モードＢ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＢ３の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７２２，７２４のコイル辺７２２ａ，７２４ａ部分では、前記モードＢ３の場合と同様の原理で電磁駆動力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ｂ，６Ｄがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。可動テーブル１の位置ずれに際しては、前記制御モードＢ３の場合と同様の補正動作が実行される。
続いて、第４８図に、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＢ５乃至Ｂ８の一例（図表化したもの）を示す。
この第４８図において、各制御モードＢ５〜Ｂ８では、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定され、四個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については各磁極のＮ極又はＳ極が、制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）設定制御されている。
（制御モードＢ５）
この第１１の実施形態における制御モードＢ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第４８図参照）。
この制御モードＢ５では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その通電方向（磁極Ｎ，Ｓ）は前記各制御モードＢ１〜Ｂ４の場合と同様に固定されている。
即ち、Ｘ軸上，Ｙ軸上の正方向に配置された被駆動磁石６Ａ，６Ｂは、その各日の字状駆動コイル７２１，７２２に対向する端面部分がＮ極に設定されている。又、Ｘ軸上，Ｙ軸上の負方向に配置された被駆動磁石６Ｃ，６Ｄは、その各日の字状駆動コイル７２３，７２４に対向する端面部分がＢ極に設定されている。
このため、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４の各コイル辺７２１ａ〜７２４ｄ部分では、前記制御モードＢ１とＢ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＢ１，Ｂ３の場合と同様の向き（第４第８図の右方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第４８図の制御モードＢ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θ（Ｘ軸との角度θ）は、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＢ６）
この制御モードＢ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第４８図参照）。
この制御モードＢ６では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＢ５の場合と同一に設定されている。
即ち、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４の各コイル辺７２１ａ〜７２４ｄ部分では、前記制御モードＢ２とＢ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。
このため、前記制御モードＢ２，Ｂ４の場合と同様の向き（第４８図の左方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第４第８図の制御モードＢ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＢ７）
この制御モードＢ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第４８図参照）。
この制御モードＢ７では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＢ６の場合と同様に固定されている。
この制御モードＢ７の場合、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４の各コイル辺７２１ａ〜７２４ｄ部分では、前記制御モードＢ２とＢ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。
このため、前記制御モードＢ２，Ｂ４の場合と同様の向き（第４８図の左方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第４８図の制御モードＢ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＢ８）
この制御モードＢ８は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第４８図参照）。
この制御モードＢ８では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＢ７の場合と同様に固定されている。
この制御モードＢ８の場合、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４の各コイル辺７２１ａ〜７２４ｄ部分では、前記制御モードＢ１とＢ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＢ１，Ｂ４の場合と同様の向き（第４８図の右方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第１７図の制御モードＢ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７２１〜７２４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
その他の構成及びその動作，機能等については、前記第１０の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、第１０の実施形態の場合と同様の作用効果を得ることができるほか、更に、第１１の実施形態では、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対して個別に駆動コイル７２１〜７２４を配置したので、駆動力の出力を要しない箇所の駆動コイル７２１，７２２，７２３又は７２４、或いは被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ又は６Ｄについては、その該当する箇所の通電動作を停止制御することが可能となる。したがって、稼動中における装置全体の省エネルギー化が可能となるという利点がある。
又、前記第１１の実施形態において、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ｂ１〜Ｂ８の制御モードに分けて電磁駆動手段１４２を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＢ２では被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの各通電方向を制御モードＢ１の場合とは逆の方向に設定し、駆動コイル７２１，７２３の通電方向を制御モードＢ１の場合と同一に設定する等、同等に機能するのであれば、他の制御手法で電磁駆動手段１４２を駆動制御するようにこ構成してもよい。
更に、前記第１１の実施形態において、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの装備箇所と日の字状駆動コイル７２１〜７２４の装備箇所とを入れ換えてもよい。この場合は、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが固定子側に装備され、日の字状駆動コイル７２１〜７２４が可動子側に装備されることとなる。
又、前記第１１の実施形態においては、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを電磁石で構成した場合を例示したが、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを永久磁石で構成してもよい。
このようにすると、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの周囲の電気配線が簡略化され、生産性および保守性を大幅に改善することができ、電気配線の簡略化に伴い被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの装備箇所の空間領域を小さくすることができる。したがって、その分、装置全体の小型軽量化が可能となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを電磁石とした場合に比較して、その通電駆動が不要となることから全体的に電力消費および温度上昇を大幅にを抑制することができる。したがって、装置全体のランニングコストを大幅に低減することができ、電磁駆動手段４の駆動制御に際しては複数の各駆動コイル７２１〜７２４の通電方向の切り換え制御のみで可動テーブル１を任意の方向に移送駆動することができる。これにより、可動テーブル１の移動方向の切替えに際しての迅速な応答が可能となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの断線事故等の発生が皆無となるので、装置全体の耐久性を大幅に向上させることができるという利点がある。
次に、第１２の実施形態を、第４９図乃至第５３図に基づいて説明する。
この第１２の実施形態は、前記第１０の実施形態における電磁駆動手段４に代えて、大小二つの環状駆動コイル及びこれに対応した被駆動磁石を備えた電磁駆動手段１４３を装備した点に特徴を備えている。
同時に、この電磁駆動手段１４３を効率よく駆動するための動作制御系２０３を、前記動作制御系２０に代えて装備した点に特徴を備えている。
以下、これを詳細に説明する。
まず、この第１２の実施形態は、前記第１０の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４３とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第４９図に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４３について〕
電磁駆動手段１４３は、前述したように第１０の実施形態で装備した環状駆動コイル７に代えて、同一面上に大小二個の環状駆動コイル７３１，７３２を装備している。この環状駆動コイル７３１，７３２は固定プレート８に保持されている。
又、この電磁駆動手段１４３は、当該各環状駆動コイル７３１，７３２の各コイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄに対応して、前記第１の実施形態の場合と同様に、各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄがそれぞれ配設されている。
そして、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは補助テーブル５に装着されている。
この大小二つの各環状駆動コイル７３１，７３２は、この第１２の実施形態では、固定プレート８上のコイル保持面の中央部を原点として想定される同一のＸ−Ｙ面上に、その中心軸を共通にして配設されている。
この内、内側に位置する内側環状駆動コイル７３１は、前記第１０の実施形態の場合における環状駆動コイル７と同様にほぼ四角形状に形成され、その各コイル辺７３１ａ，７３１ｂ，７３１ｃ，７３１ｄの各中央部がＸ軸，Ｙ軸と交差するように前記固定プレート８上に装備されている。
そして、この内側環状駆動コイル７３１の各コイル辺７３１ａ，７３１ｂ，７３１ｃ，７３１ｄの各線分の中央部に近接し且つ対向して、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄがそれぞれ個別に配設され、補助テーブル５に装着され保持されている。
又、内側環状駆動コイル７３１の外側に配設された外側環状駆動コイル７３２は、第５０図に示すように八角形状に形成されている。この外側環状駆動コイル７３２は、前記内側環状駆動コイル７３１の各コイル辺７３１ａ〜７３１ｄに隣接するコイル辺７３２ａ〜７３２ｄ部分の四辺の各中央部がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差するように、前記固定プレート８上に装備されている。
更に、この外側環状駆動コイル７３２の各コイル辺７３２ａ，７３２ｂ，７３２ｃ，７３２ｄの各線分の中央部に近接し且つ対向して、前記各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄが、それぞれ個別に配設されている。この各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄは、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに併設された状態で補助テーブル５に装着され保持されている。
この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、本実施形態では外部からの通電制御が可能な電磁石で構成されている。
本実施形態に係る四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは第１第９図に示すように、磁極の端面（環状駆動コイル７の各コイル辺との対向面）が四角形状の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
又、他の四個の被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄも、同様の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
前記固定プレート８は第４９図に示すように、前記補助テーブル５と可動テーブル１との間に配設され、前記ケース本体３に保持されている。ここで、環状駆動コイル７３１，７３２と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段４の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、環状駆動コイル７３１，７３２は、稼働状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを各コイル辺に直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。
このため、各コイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄに直交しない方向（各コイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄに斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように、少なくとも二以上の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
更に、環状駆動コイル７３１，７３２の前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに面するコイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄ部分には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極面に近接して配設されている。この制動用プレート９は前記環状駆動コイル７３１，７３２側（本実施例ではケース本体３）に固定された状態となっている。
そして、この第１２の実施形態にあって、装置全体が稼働状態に設定されると、環状駆動コイル７３１，７３２には予め設定された通電方向に通電が開始される。又、これに対応して、後述するように、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電され、前記可動テーブル部１５の移送方向に応じて磁極（Ｎ極，Ｓ極，又は磁極なし）が設定される。同時に、環状駆動コイル７３１，７３２を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、環状駆動コイル７３１，７３２の通電方向は、後述する動作制御系２０３によって予め特定され、これに対応して各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が可動テーブル部１５の移送方向に合わせて特定され、装置全体の稼働に際しては、前述したようにその通電電流の大小が動作制御系２０３によって可変制御（通電停止制御を含めて）される。
そして、内側環状駆動コイル７３１のコイル辺７３１ａ〜７３１ｄ部分では、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対して、フレミングの左手の法則に従って例えば各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ又は６Ｄを所定の方向（コイル辺７３１ａ，７３１ｂ，７３１ｃ又は７３１ｄに直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力される。
外側環状駆動コイル７３２と被駆動磁石１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ又は１６Ｄとの間でも、同様に所定の電磁力（反力）が前記各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ又は６Ｄに合わせて出力される。
この場合、内側環状駆動コイル７３１が対応する各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに出力する電磁駆動力と、外側環状駆動コイル７３２が対応する各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄに出力する電磁駆動力とは、その出力の向きが常に一致するように、予め設定制御されている。
又、各環状駆動コイル７３１，７３２の各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその駆動移送力に関する電磁駆動手段１４３の働き（環状駆動コイル７３１，７３２と各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する通電駆動）については、第５２図乃至第５３図にて詳述する。第５２図及び第５３図では、駆動コイルへの通電による回転駆動を示していない。
ここで、前記環状駆動コイル７３１，７３２の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該環状駆動コイル７３１，７３２の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料を充填装備してもよい。
〔動作制御系２０３について〕
本実施形態にあっては、前記電磁駆動手段１４３には、内側および外側の二つの環状駆動コイル７３１，７３２および各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを個別に駆動制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０３が併設されている（第５１図参照）。
この動作制御系２０３は、前記各環状駆動コイル７３１，７３２に対する通電方向を所定の方向（一方又は他方）に設定し維持する通電方向設定機能と、この各環状駆動コイル７３１，７３２への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能と、この各環状駆動コイル７３１，７３２への通電方向に応じて作動し前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極を個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁力強度を外部からの指令に応じて個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能とを備え、これらの諸機能による動作を適度に調整して前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能を備えている。
そして、この動作制御系２０３は、前記諸機能を実行するために、第５１図に示すように、前記電磁駆動手段１４３の二つの環状駆動コイル７３１，７３２及び対応する各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１３と、このテーブル駆動制御手段２１３に併設され前記可動テーブル１の移動方向およびその動作量等が特定された複数の通電制御モード（本実施形態ではＣ１〜Ｃ８の八個の制御モード）にかかる複数の通電制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２３と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
又、テーブル駆動制御手段２１３には、環状駆動コイル７３１，７３２及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。更に、このテーブル駆動制御手段２１３には、前記可動テーブル部１５の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０３が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２３の複数の通電制御モードＣ１〜Ｃ８に総合的に包含され、動作指令入力部２４から入力されるオペレータからの指令に基づいて選択される制御モードＣ１〜Ｃ８の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
テーブル駆動制御手段２１３は、具体的には、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の通電制御モードをプログラム記憶部２２３から選択し前記各環状駆動コイル７３１，７３２および各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１３Ａと、この主制御部２１３Ａに選択設定され所定の通電制御モード（Ｃ１〜Ｃ８）に従って環状駆動コイル７３１，７３２および各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１３Ｂとを備えている。
この主制御部２１３Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。
ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段４の環状駆動コイル７３１，７３２および各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
更に、前記テーブル駆動制御手段２１３は、前記位置情報検出手段２５からの情報を入力して所定の演算を行うと共にこれに基づいて予め動作指令入力部２４で設定した移動先の基準位置情報とのズレを算定する位置ずれ演算機能と、この算定された位置ずれ情報に基づいて電磁駆動手段４を駆動し予め設定された移動先の基準位置に当該可動テーブル部１５を移送制御するテーブル位置補正機能とを備えている。
このため、本実施形態にあっては、可動テーブル部１５の移動方向が外乱等によってずれた場合には当該ずれを修正しながら可動テーブル部１５を所定の方向に移送制御することとなり、これにより、当該可動テーブル部１５は迅速且つ高精度に予め設定した目標位置に移送される。この場合、位置ずれの修正は、通電駆動中の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，又は１６Ａ〜１６Ｄの通電電流を調整することにより実行される。
〔プログラム記憶部〕
前記テーブル駆動制御手段２１３は、プログラム記憶部２２３に予め記憶された所定の通電制御プログラム（所定の通電制御モード）に従って、前記電磁駆動手段１４３の各環状駆動コイル７３１，７３２および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、プログラム記憶部２２３には、本実施形態にあっては前記各環状駆動コイル７３１，７３２に対する通電方向を特定し通電電流の大小を可変設定する駆動コイル用制御プログラムと、各環状駆動コイル７３１，７３２に対する通電方向が特定された場合に機能しこれに対応して各四個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムとが記憶されている。同時に、これらの各制御プログラムの動作のタイミングが、八組の制御モードＣ１乃至Ｃ８に整理されてプログラム記憶部２２３に記憶されている（第５１図，第５２図参照）。
ここで、この第１２の実施形態における八組の通電制御モードＣ１乃至Ｃ８について、第５２図〜第５３図に基づいて説明する。
第５２図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、又Ｙ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各通電制御モードＣ１乃至Ｃ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第５２図において、各通電制御モードＣ１〜Ｃ４では、内側環状駆動コイル７３１に対する直流電流の通電方向を矢印Ａに示すように、本実施形態では右回りに設定されている。又、外側環状駆動コイル７３２に対する直流電流の通電方向を矢印Ｂに示すように、本実施形態では左回りに設定されている。
（制御モードＣ１）
この制御モードＣ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５２図参照）。
この制御モードＣ１では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄ，１６Ｂ，１６Ｄが通電停止制御されている。
そして、内側環状駆動コイル７３１に関しては、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａの前記コイル辺７３１ａに対向する端面部がＮ極に設定され，Ｘ軸上の被駆動磁石６Ｃの前記コイル辺７３１ｃに対向する端面部がＳ極に設定されている。
同様に、外側環状駆動コイル７３２に関しては、Ｘ軸上の被駆動磁石１６Ａの前記コイル辺７３２ａに対向する端面部がＳ極に設定され，Ｘ軸上の被駆動磁石１６Ｃの前記コイル辺７３２ｃに対向する端面部がＮ極に設定されている。
このため、環状駆動コイル７３１，７３２の各コイル辺７３１ａ，７３１ｃおよび７３２ａ，７３２ｃ部分では、当該７３１ａ，７３１ｃおよび７３２ａ，７３２ｃ内に点線の矢印で示す方向の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（環状駆動コイル７３１，７３２が固定されている）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃおよび１６Ａ，１６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＣ２）
この制御モードＣ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５２図参照）。
この制御モードＣ２では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃおよび１６Ａ，１６Ｃの磁極の設定を前記制御モードＣ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＣ１の場合と同一となっている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２のコイル辺７３１ａ，７３１ｃおよび７３２ａ，７３２ｃ部分では、前記モードＣ１の場合と同様の原理で逆向きの電磁駆動力が点線の矢印で示す方向に発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，６Ｃおよび１６Ａ，１６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＣ３）
この制御モードＣ３は、可動テーブル１をＹ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５２図参照）。
この制御モードＣ３では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃ，１６Ａ，１６Ｃが通電停止制御されている。
そして、内側環状駆動コイル７３１に関しては、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂの前記コイル辺７３１ｂに対向する端面部がＮ極に設定され，Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｄの前記コイル辺７３１ｄに対向する端面部がＳ極に設定されている。
同様に、外側環状駆動コイル７３２に関しては、Ｙ軸上の被駆動磁石１６Ｂの前記コイル辺７３２ｂに対向する端面部がＳ極に設定され，Ｙ軸上の被駆動磁石１６Ｄの前記コイル辺７３２ｄに対向する端面部がＮ極に設定されている。
このため、環状駆動コイル７３１，７３２の各コイル辺７３１ｂ，７３１ｄおよび７３２ｂ，７３２ｄ部分では、当該７３１ｂ，７３１ｄおよび７３２ｂ，７３２ｄ内に点線の矢印で示す方向の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（環状駆動コイル７３１，７３２が固定されている）で、被駆動磁石６Ｂ，６Ｄおよび１６Ｂ，１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＣ４）
この制御モードＣ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５２図参照）。
この制御モードＣ４では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄおよび１６Ｂ，１６Ｄの磁極の設定を前記制御モードＣ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＣ３の場合と同一となっている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２のコイル辺７３１ｂ，７３１ｄおよび７３２ｂ，７３２ｄ部分では、前記モードＣ３の場合と同様の原理で電磁駆動力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ｂ，６Ｄおよび１６Ｂ，１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。
続いて制御モードＣ５乃至Ｃ８の例を説明する。
第５図３に、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＣ５乃至Ｃ８の一例（図表化したもの）を示す。
（制御モードＣ５）
この第１２の実施形態における制御モードＣ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第５３図参照）。
この制御モードＣ５では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄおよび１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、内側環状駆動コイル７３１のコイル辺７３１ａ，７３１ｂに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、同じく内側環状駆動コイル７３１のコイル辺７３１ｃ，７３１ｄに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、それぞれ設定されている。
同様に、外側環状駆動コイル７３２のコイル辺７３２ａ，７３２ｂに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、同じく外側環状駆動コイル７３２のコイル辺７３２ｃ，７３２ｄに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、それぞれ設定されている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２のコイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄ部分では、前記制御モードＣ１とＣ３とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第５３図の制御モードＣ５の欄に示すようにＸ−Ｙ座標上の第１象限の方向に向けられる。これによって、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θは、例えば各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを可変制御することによって当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＣ６）
この制御モードＣ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第５３図参照）。
この制御モードＣ６では、各四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、それぞれ前記制御モードＣ５の場合とは逆に設定されている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２のコイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄ部分では、前記制御モードＣ２とＣ４とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第５３図の制御モードＣ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、例えば各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変設定することにより、任意の方向に自在に可変設定することが可能となっている。
（制御モードＣ７）
この制御モードＣ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第５３図参照）。
この制御モードＣ７では、各四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、内側環状駆動コイル７３１のコイル辺７３１ｂ，７３１ｃに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、同じく内側環状駆動コイル７３１のコイル辺７３１ｄ，７３１ａに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、それぞれ設定されている。
同様に、外側環状駆動コイル７３２のコイル辺７３２ｂ，７３２ｃに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、同じく外側環状駆動コイル７３２のコイル辺７３２ｄ，７３２ａに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、それぞれ設定されている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２のコイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄ部分では、前記制御モードＣ２とＣ３とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第５３図の制御モードＣ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これによって、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
尚、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＣ８）
この制御モードＣ８は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第２象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第５３図参照）。
この制御モードＣ８では、各四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、それぞれが前記制御モードＣ７の場合とは逆に設定されている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２の各コイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄ部分では、前記制御モードＣ１と制御モードＣ４とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第５３図の制御モードＣ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
尚、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度は、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変設定することにより、任意の方向に自在に可変設定することが可能となっている。
〔環状駆動コイル７３１，７３２の他の例〕
この第１２の実施形態では、前記第１０の実施形態で第４３図（Ａ）〜（Ｄ）に開示した環状駆動コイル７１〜７４と技術的に同一のものを、第５０図の実施形態の構成に準じて同一面上にそれぞれ大小二重に設け、これに合わせてそれぞれ複数の被駆動磁石を装備する。そして、これに対応して前記各構成要素を構築し、これにより、この第１２の実施形態のものと同等に機能する環状駆動コイルを備えた電磁駆動手段を得ることができる。
この第１２の実施形態は、以上のように構成されているので、前記第１０の実施形態の場合と同等の機能を有し、同等の作用効果を有するほか、更に、環状駆動コイルおよび被駆動磁石を第１０の実施形態の場合に対してそれぞれ二倍の数のものを装備したので、電磁駆動手段の出力を大きくすることができ、又被駆動磁石が多いことから、可動テーブル部の移送制御に際しては、前記第１０の実施形態の場合に比較して、より迅速に且つ高精度に可動テーブル部の移動動作を実行することができるという利点がある。
又、この第１２の実施例形態では、前記複数の被駆動磁石の装備箇所を各駆動コイルのＸ軸及びＹ軸と交差する箇所に配置したことから、実際上、移送方向の特定（演算処理）が容易となり、そのため、全体的に当該被駆動磁石の駆動制御が単純化される。従って、可動テーブル部の移送方向の変化に対してもこれに迅速に対応することができ、同時に可動テーブル部の移送制御等（例えばその方向の切り換え制御，或いは位置づれ等が生じた場合の補正）に際しても、これに迅速に対応することができるという利点がある。
この第１２の実施形態は、前記第１０の実施形態における電磁駆動手段４に代えて、大小二つの環状駆動コイル及びこれに対応した被駆動磁石を備えた電磁駆動手段１４３を装備した点に特徴を備えている。
同時に、この電磁駆動手段１４３を効率よく駆動するための動作制御系２０３を、前記動作制御系２０に代えて装備した点に特徴を備えている。
以下、これを詳細に説明する。
まず、この第１２の実施形態は、前記第１０の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４３とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第４９図に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４３について〕
電磁駆動手段１４３は、前述したように第１０の実施形態で装備した環状駆動コイル７に代えて、同一面上に大小二個の環状駆動コイル７３１，７３２を装備している。この環状駆動コイル７３１，７３２は固定プレート８に保持されている。
又、この電磁駆動手段１４３は、当該各環状駆動コイル７３１，７３２の各コイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄに対応して、前記第１の実施形態の場合と同様に、各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄがそれぞれ配設されている。
そして、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは補助テーブル５に装着されている。
この大小二つの各環状駆動コイル７３１，７３２は、この第１２の実施形態では、固定プレート８上のコイル保持面の中央部を原点として想定される同一のＸ−Ｙ面上に、その中心軸を共通にして配設されている。
この内、内側に位置する内側環状駆動コイル７３１は、前記第１０の実施形態の場合における環状駆動コイル７と同様にほぼ四角形状に形成され、その各コイル辺７３１ａ，７３１ｂ，７３１ｃ，７３１ｄの各中央部がＸ軸，Ｙ軸と交差するように前記固定プレート８上に装備されている。
そして、この内側環状駆動コイル７３１の各コイル辺７３１ａ，７３１ｂ，７３１ｃ，７３１ｄの各線分の中央部に近接し且つ対向して、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄがそれぞれ個別に配設され、補助テーブル５に装着され保持されている。
又、内側環状駆動コイル７３１の外側に配設された外側環状駆動コイル７３２は、第５０図に示すように八角形状に形成されている。この外側環状駆動コイル７３２は、前記内側環状駆動コイル７３１の各コイル辺７３１ａ〜７３１ｄに隣接するコイル辺７３２ａ〜７３２ｄ部分の四辺の各中央部がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差するように、前記固定プレート８上に装備されている。
更に、この外側環状駆動コイル７３２の各コイル辺７３２ａ，７３２ｂ，７３２ｃ，７３２ｄの各線分の中央部に近接し且つ対向して、前記各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄが、それぞれ個別に配設されている。この各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄは、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに併設された状態で補助テーブル５に装着され保持されている。
この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、本実施形態では外部からの通電制御が可能な電磁石で構成されている。
本実施形態に係る四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは第１第９図に示すように、磁極の端面（環状駆動コイル７の各コイル辺との対向面）が四角形状の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
又、他の四個の被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄも、同様の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
前記固定プレート８は第４９図に示すように、前記補助テーブル５と可動テーブル１との間に配設され、前記ケース本体３に保持されている。ここで、環状駆動コイル７３１，７３２と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段４の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、環状駆動コイル７３１，７３２は、稼働状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを各コイル辺に直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。
このため、各コイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄに直交しない方向（各コイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄに斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように、少なくとも二以上の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
更に、環状駆動コイル７３１，７３２の前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに面するコイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄ部分には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極面に近接して配設されている。この制動用プレート９は前記環状駆動コイル７３１，７３２側（本実施例ではケース本体３）に固定された状態となっている。
そして、この第１２の実施形態にあって、装置全体が稼働状態に設定されると、環状駆動コイル７３１，７３２には予め設定された通電方向に通電が開始される。又、これに対応して、後述するように、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電され、前記可動テーブル部１５の移送方向に応じて磁極（Ｎ極，Ｓ極，又は磁極なし）が設定される。同時に、環状駆動コイル７３１，７３２を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、環状駆動コイル７３１，７３２の通電方向は、後述する動作制御系２０３によって予め特定され、これに対応して各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が可動テーブル部１５の移送方向に合わせて特定され、装置全体の稼働に際しては、前述したようにその通電電流の大小が動作制御系２０３によって可変制御（通電停止制御を含めて）される。
そして、内側環状駆動コイル７３１のコイル辺７３１ａ〜７３１ｄ部分では、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対して、フレミングの左手の法則に従って例えば各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ又は６Ｄを所定の方向（コイル辺７３１ａ，７３１ｂ，７３１ｃ又は７３１ｄに直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力される。
外側環状駆動コイル７３２と被駆動磁石１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ又は１６Ｄとの間でも、同様に所定の電磁力（反力）が前記各被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ又は６Ｄに合わせて出力される。
この場合、内側環状駆動コイル７３１が対応する各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに出力する電磁駆動力と、外側環状駆動コイル７３２が対応する各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄに出力する電磁駆動力とは、その出力の向きが常に一致するように、予め設定制御されている。
又、各環状駆動コイル７３１，７３２の各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその駆動移送力に関する電磁駆動手段１４３の働き（環状駆動コイル７３１，７３２と各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する通電駆動）については、第５２図乃至第５３図にて詳述する。第５２図及び第５３図では、駆動コイルへの通電による回転駆動を示していない。
ここで、前記環状駆動コイル７３１，７３２の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該環状駆動コイル７３１，７３２の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料を充填装備してもよい。
〔動作制御系２０３について〕
本実施形態にあっては、前記電磁駆動手段１４３には、内側および外側の二つの環状駆動コイル７３１，７３２および各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを個別に駆動制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０３が併設されている（第５１図参照）。
この動作制御系２０３は、前記各環状駆動コイル７３１，７３２に対する通電方向を所定の方向（一方又は他方）に設定し維持する通電方向設定機能と、この各環状駆動コイル７３１，７３２への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能と、この各環状駆動コイル７３１，７３２への通電方向に応じて作動し前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極を個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁力強度を外部からの指令に応じて個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能とを備え、これらの諸機能による動作を適度に調整して前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能を備えている。
そして、この動作制御系２０３は、前記諸機能を実行するために、第５１図に示すように、前記電磁駆動手段１４３の二つの環状駆動コイル７３１，７３２及び対応する各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１３と、このテーブル駆動制御手段２１３に併設され前記可動テーブル１の移動方向およびその動作量等が特定された複数の通電制御モード（本実施形態ではＣ１〜Ｃ８の八個の制御モード）にかかる複数の通電制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２３と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
又、テーブル駆動制御手段２１３には、環状駆動コイル７３１，７３２及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。更に、このテーブル駆動制御手段２１３には、前記可動テーブル部１５の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０３が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２３の複数の通電制御モードＣ１〜Ｃ８に総合的に包含され、動作指令入力部２４から入力されるオペレータからの指令に基づいて選択される制御モードＣ１〜Ｃ８の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
テーブル駆動制御手段２１３は、具体的には、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の通電制御モードをプログラム記憶部２２３から選択し前記各環状駆動コイル７３１，７３２および各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１３Ａと、この主制御部２１３Ａに選択設定され所定の通電制御モード（Ｃ１〜Ｃ８）に従って環状駆動コイル７３１，７３２および各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１３Ｂとを備えている。
この主制御部２１３Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。
ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段４の環状駆動コイル７３１，７３２および各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
更に、前記テーブル駆動制御手段２１３は、前記位置情報検出手段２５からの情報を入力して所定の演算を行うと共にこれに基づいて予め動作指令入力部２４で設定した移動先の基準位置情報とのズレを算定する位置ずれ演算機能と、この算定された位置ずれ情報に基づいて電磁駆動手段４を駆動し予め設定された移動先の基準位置に当該可動テーブル部１５を移送制御するテーブル位置補正機能とを備えている。
このため、本実施形態にあっては、可動テーブル部１５の移動方向が外乱等によってずれた場合には当該ずれを修正しながら可動テーブル部１５を所定の方向に移送制御することとなり、これにより、当該可動テーブル部１５は迅速且つ高精度に予め設定した目標位置に移送される。この場合、位置ずれの修正は、通電駆動中の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，又は１６Ａ〜１６Ｄの通電電流を調整することにより実行される。
〔プログラム記憶部〕
前記テーブル駆動制御手段２１３は、プログラム記憶部２２３に予め記憶された所定の通電制御プログラム（所定の通電制御モード）に従って、前記電磁駆動手段１４３の各環状駆動コイル７３１，７３２および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、プログラム記憶部２２３には、本実施形態にあっては前記各環状駆動コイル７３１，７３２に対する通電方向を特定し通電電流の大小を可変設定する駆動コイル用制御プログラムと、各環状駆動コイル７３１，７３２に対する通電方向が特定された場合に機能しこれに対応して各四個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムとが記憶されている。同時に、これらの各制御プログラムの動作のタイミングが、八組の制御モードＣ１乃至Ｃ８に整理されてプログラム記憶部２２３に記憶されている（第５１図，第５２図参照）。
ここで、この第１２の実施形態における八組の通電制御モードＣ１乃至Ｃ８について、第５２図〜第５３図に基づいて説明する。
第５２図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、又Ｙ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各通電制御モードＣ１乃至Ｃ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第５２図において、各通電制御モードＣ１〜Ｃ４では、内側環状駆動コイル７３１に対する直流電流の通電方向を矢印Ａに示すように、本実施形態では右回りに設定されている。又、外側環状駆動コイル７３２に対する直流電流の通電方向を矢印Ｂに示すように、本実施形態では左回りに設定されている。
（制御モードＣ１）
この制御モードＣ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５２図参照）。
この制御モードＣ１では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄ，１６Ｂ，１６Ｄが通電停止制御されている。
そして、内側環状駆動コイル７３１に関しては、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａの前記コイル辺７３１ａに対向する端面部がＮ極に設定され，Ｘ軸上の被駆動磁石６Ｃの前記コイル辺７３１ｃに対向する端面部がＳ極に設定されている。
同様に、外側環状駆動コイル７３２に関しては、Ｘ軸上の被駆動磁石１６Ａの前記コイル辺７３２ａに対向する端面部がＳ極に設定され，Ｘ軸上の被駆動磁石１６Ｃの前記コイル辺７３２ｃに対向する端面部がＮ極に設定されている。
このため、環状駆動コイル７３１，７３２の各コイル辺７３１ａ，７３１ｃおよび７３２ａ，７３２ｃ部分では、当該７３１ａ，７３１ｃおよび７３２ａ，７３２ｃ内に点線の矢印で示す方向の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（環状駆動コイル７３１，７３２が固定されている）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃおよび１６Ａ，１６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＣ２）
この制御モードＣ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５２図参照）。
この制御モードＣ２では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃおよび１６Ａ，１６Ｃの磁極の設定を前記制御モードＣ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＣ１の場合と同一となっている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２のコイル辺７３１ａ，７３１ｃおよび７３２ａ，７３２ｃ部分では、前記モードＣ１の場合と同様の原理で逆向きの電磁駆動力が点線の矢印で示す方向に発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，６Ｃおよび１６Ａ，１６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＣ３）
この制御モードＣ３は、可動テーブル１をＹ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５２図参照）。
この制御モードＣ３では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃ，１６Ａ，１６Ｃが通電停止制御されている。
そして、内側環状駆動コイル７３１に関しては、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂの前記コイル辺７３１ｂに対向する端面部がＮ極に設定され，Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｄの前記コイル辺７３１ｄに対向する端面部がＳ極に設定されている。
同様に、外側環状駆動コイル７３２に関しては、Ｙ軸上の被駆動磁石１６Ｂの前記コイル辺７３２ｂに対向する端面部がＳ極に設定され，Ｙ軸上の被駆動磁石１６Ｄの前記コイル辺７３２ｄに対向する端面部がＮ極に設定されている。
このため、環状駆動コイル７３１，７３２の各コイル辺７３１ｂ，７３１ｄおよび７３２ｂ，７３２ｄ部分では、当該７３１ｂ，７３１ｄおよび７３２ｂ，７３２ｄ内に点線の矢印で示す方向の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（環状駆動コイル７３１，７３２が固定されている）で、被駆動磁石６Ｂ，６Ｄおよび１６Ｂ，１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＣ４）
この制御モードＣ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５２図参照）。
この制御モードＣ４では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄおよび１６Ｂ，１６Ｄの磁極の設定を前記制御モードＣ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＣ３の場合と同一となっている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２のコイル辺７３１ｂ，７３１ｄおよび７３２ｂ，７３２ｄ部分では、前記モードＣ３の場合と同様の原理で電磁駆動力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ｂ，６Ｄおよび１６Ｂ，１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。
続いて制御モードＣ５乃至Ｃ８の例を説明する。
第５図３に、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＣ５乃至Ｃ８の一例（図表化したもの）を示す。
（制御モードＣ５）
この第１２の実施形態における制御モードＣ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第５３図参照）。
この制御モードＣ５では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄおよび１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、内側環状駆動コイル７３１のコイル辺７３１ａ，７３１ｂに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、同じく内側環状駆動コイル７３１のコイル辺７３１ｃ，７３１ｄに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、それぞれ設定されている。
同様に、外側環状駆動コイル７３２のコイル辺７３２ａ，７３２ｂに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、同じく外側環状駆動コイル７３２のコイル辺７３２ｃ，７３２ｄに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、それぞれ設定されている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２のコイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄ部分では、前記制御モードＣ１とＣ３とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第５３図の制御モードＣ５の欄に示すようにＸ−Ｙ座標上の第１象限の方向に向けられる。これによって、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θは、例えば各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを可変制御することによって当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＣ６）
この制御モードＣ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第５３図参照）。
この制御モードＣ６では、各四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、それぞれ前記制御モードＣ５の場合とは逆に設定されている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２のコイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄ部分では、前記制御モードＣ２とＣ４とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第５３図の制御モードＣ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、例えば各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変設定することにより、任意の方向に自在に可変設定することが可能となっている。
（制御モードＣ７）
この制御モードＣ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第５３図参照）。
この制御モードＣ７では、各四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、内側環状駆動コイル７３１のコイル辺７３１ｂ，７３１ｃに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、同じく内側環状駆動コイル７３１のコイル辺７３１ｄ，７３１ａに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、それぞれ設定されている。
同様に、外側環状駆動コイル７３２のコイル辺７３２ｂ，７３２ｃに対向する箇所の端面部の磁極がＳ極に、同じく外側環状駆動コイル７３２のコイル辺７３２ｄ，７３２ａに対向する箇所の端面部の磁極がＮ極に、それぞれ設定されている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２のコイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄ部分では、前記制御モードＣ２とＣ３とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第５３図の制御モードＣ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これによって、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
尚、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＣ８）
この制御モードＣ８は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第２象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第５３図参照）。
この制御モードＣ８では、各四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、それぞれが前記制御モードＣ７の場合とは逆に設定されている。
このため、各環状駆動コイル７３１，７３２の各コイル辺７３１ａ〜７３１ｄ，７３２ａ〜７３２ｄ部分では、前記制御モードＣ１と制御モードＣ４とが同時に作動したのと同等の状態となり、その合力が第５３図の制御モードＣ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
尚、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度は、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変設定することにより、任意の方向に自在に可変設定することが可能となっている。
〔環状駆動コイル７３１，７３２の他の例〕
この第１２の実施形態では、前記第１０の実施形態で第４３図（Ａ）〜（Ｄ）に開示した環状駆動コイル７１〜７４と技術的に同一のものを、第５０図の実施形態の構成に準じて同一面上にそれぞれ大小二重に設け、これに合わせてそれぞれ複数の被駆動磁石を装備する。そして、これに対応して前記各構成要素を構築し、これにより、この第１２の実施形態のものと同等に機能する環状駆動コイルを備えた電磁駆動手段を得ることができる。
この第１２の実施形態は、以上のように構成されているので、前記第１０の実施形態の場合と同等の機能を有し、同等の作用効果を有するほか、更に、環状駆動コイルおよび被駆動磁石を第１０の実施形態の場合に対してそれぞれ二倍の数のものを装備したので、電磁駆動手段の出力を大きくすることができ、又被駆動磁石が多いことから、可動テーブル部の移送制御に際しては、前記第１０の実施形態の場合に比較して、より迅速に且つ高精度に可動テーブル部の移動動作を実行することができるという利点がある。
又、この第１２の実施例形態では、前記複数の被駆動磁石の装備箇所を各駆動コイルのＸ軸及びＹ軸と交差する箇所に配置したことから、実際上、移送方向の特定（演算処理）が容易となり、そのため、全体的に当該被駆動磁石の駆動制御が単純化される。従って、可動テーブル部の移送方向の変化に対してもこれに迅速に対応することができ、同時に可動テーブル部の移送制御等（例えばその方向の切り換え制御，或いは位置づれ等が生じた場合の補正）に際しても、これに迅速に対応することができるという利点がある。
次に、第１３の実施形態を、第５４図乃至第５８図に基づいて説明する。
この第１３の実施形態は、前記第１１の実施形態における電磁駆動手段１４２に代えて四個の方形状駆動コイルを備えた他の電磁駆動手段１４４を装備した点に特徴を備えている。同時に、この電磁駆動手段１４４を効率よく駆動するための動作制御系２０４を、前記動作制御系２０２に代えて装備した点に特徴を有する。
以下、これを詳細に説明する。
まず、この第１３の実施形態は、前記第１０の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４４とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第５図４に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４４について〕
電磁駆動手段１４４は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル部１５の移送方向に沿って所定の移動力（駆動力）を付与する機能を備えている。この電磁駆動手段１４４は、前記可動テーブル１と補助テーブル５との間に配設されている。
この電磁駆動手段１４４は、具体的には、四角形状に形成された四個の方形状駆動コイル７４１，７４２，７４３，７４４と、この各方形状駆動コイル７４１〜７４４のＸ軸又はＹ軸と交差する箇所に位置する内側コイル辺７４１ａ〜７４４ａおよび外側コイル辺７４１ｂ〜７４４ｂに個別に対応して配設され且つ前記補助テーブル５上に装備された各四個の被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄ，および１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄと、前記各四個の方形状駆動コイル７４１〜７４４を所定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。
前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４は、対向する二つの辺が前記固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上のＸ軸又はＹ軸に直交するように、前記Ｘ軸上，Ｙ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
又、合計八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、外部から個別に通電制御が可能な電磁石で構成され、前記各方形状駆動コイルの内側コイル辺７４１ａ〜７４４ａおよび外側コイル辺７４１ｂ〜７４４ｂに対応して、Ｘ軸上およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
固定プレート８は、第５４図に示すように前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。又、前記方形状の各駆動コイル７４１〜７４４と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段１４４の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、各駆動コイル７４１〜７４４は、作動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを各コイル辺７４１ａ〜７４４ａ，７４１ｂ〜７４４ｂに直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。この場合、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの移動方向の中心軸線が前記Ｘ−Ｙ平面上の中心点を通るように設定されている。
また、各コイル辺７４１ａ〜７４４ａ，７４１ｂ〜７４４ｂに直交しない方向（各コイル辺７４１ａ〜７４４ａ，７４１ｂ〜７４４ｂに対しては斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように少なくとも二以上の方形状駆動コイル７４１，７４２，７４３又は７４４にかかる各被駆動磁石に対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
更に、各駆動コイル７４１〜７４４の前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに面するコイル辺７４１ａ〜７４４ａ，７４１ｂ〜７４４ｂ部分には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極面に近接して（ほぼ当接した状態で）配設されている。この制動用プレート９は本実施形態では一枚のものが使用され、その周囲の一部又は全部が前記ケース本体３に固着されている。
電磁駆動手段１４４の一部を構成する四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、本実施形態では第５５図に示すように、磁極の端面（各駆動コイル７４１〜７４４の各コイル辺７２１ａ〜７２４ａ，７２１ｂ〜７２４ｂとの対向面）が四角形状の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
そして、本実施形態にあっては、例えば八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電されて当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが稼働状態に設定され、その後に又は同時に、後述する所定の制御モードに従って各駆動コイル７４１〜７４４が稼働状態に設定される。そして、各駆動コイル７４１〜７４４を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその移送駆動力に関する電磁駆動手段１４４の働き（各駆動コイル７４１〜７４４と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する通電駆動）については、第５７図乃至第５８図にて詳述する。第５７図及び第５８図では、駆動コイルへの通電による回転駆動を示していない。
この場合、第１３の実施形態では、電磁石からなる前記八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が後述するように予め特定されていることから、八個の方形状駆動コイル７４１〜７４４の各内側コイル辺７４１ａ〜７４４ａ，外側コイル辺７４１ｂ〜７４４ｂ部分の通電方向および通電電流の大小（通電停止制御を含めて）が、前記可動テーブル１の移送方向に対応して後述する動作制御系２０４により、設定制御される。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って所定の方向（各コイル辺７４１ａ〜７４４ａ，７４１ｂ〜７４４ｂ部分にそれぞれ直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力されることとなる。
又、八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることができ、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第５７図〜第５８図）で詳述する。
ここで、前記各駆動コイル７４１〜７４４の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該各駆動コイル７４１〜７４４の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料が充填装備してもよい。
〔動作制御系２０４について〕
次に、この第１３の実施形態における動作制御系２０４について詳述する。
本第１３の実施形態において、前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを個別に通電制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０４が、電磁駆動手段１４４に併設されている（第５６図参照）。
この動作制御系２０４は、前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４に対応して装備された八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極を個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁力強度を個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能と、前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４の前記Ｘ軸又はＹ軸と交叉する部分のコイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４２ａ，７４２ｂ，７４３ａ，７４３ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分の通電方向を所定の方向（一方又は他方）に外部からの指令に応じて設定し維持する通電方向設定機能と、この各方形状駆動コイル７４１〜７４４への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能とを備え、これらの諸機能の出力を適度に調整しながら前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能とを備えている。
そして、この動作制御系２０４は、前記諸機能を実行するために、第５６図に示すように、前記電磁駆動手段１４４の各方形状駆動コイル７４１〜７４４および各四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１４と、このテーブル駆動制御手段２１４に併設され前記可動テーブル１の移動方向およびその動作量等が特定された複数の制御モード（本実施形態ではＤ１〜Ｄ８の八個の制御モード）にかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２４と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
又、テーブル駆動制御手段２１４には、方形状駆動コイル７４１〜７４４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。更に、このテーブル駆動制御手段２１４には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０４が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２４の複数の制御モードＤ１〜Ｄ８に総合的に包含され、動作指令入力部２４を介して入力されるオペレータからの指令で選択される制御モードＤ１〜Ｄ８の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
本実施形態に係るテーブル駆動制御手段２１４は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２４から選択し前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１４Ａと、この主制御部２１４Ａに選択設定され所定の制御モード（Ｄ１〜Ｄ８）に従って各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１４Ｂとを備えている。
又、主制御部２１４Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段１４２の各方形状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
〔プログラム記憶部２２４について〕
前記テーブル駆動制御手段２１４は、プログラム記憶部２２４に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の制御モード）に従って、前記電磁駆動手段１４４の各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、プログラム記憶部２２４には、この第１３の実施形態にあっては前記八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムと、この八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が特定され磁極のＮ極又はＳ極（又は通電停止）は設定された場合に機能しこれに対応して四個の各方形状駆動コイル７４１〜７４４に対する通電方向およびその通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル用制御プログラムが記憶されている。同時に、これらの各制御プログラムの動作のタイミングが、八組の制御モードＤ１乃至Ｄ８に整理されて記憶されている（第５７図，第５８図参照）。
ここで、この第１３の実施形態における八組の制御モードＤ１乃至Ｄ８について、第５７図〜第５８図に基づいて説明する。
第５７図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、またＹ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＤ１乃至Ｄ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第５７図において、各制御モードＤ１〜Ｄ４では、各方形状駆動コイル７４１〜７４４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定されている。又、八個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については、各磁極のＮ極又はＳ極が制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）、設定制御されている。
即ち、この第１３の実施形態では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの前記方形状駆動コイル７４１，７４２に対向する端面部の磁極を、被駆動磁石６Ａ，６ＢではＮ極に、被駆動磁石６Ｃ，６ＤではＳ極に、それぞれ設定されている。同様に、被駆動磁石１６Ａ，１６ＢではＳ極に、被駆動磁石１６Ｃ，１６ＤではＮ極に、それぞれ設定されている。そして、この第３の実施形態にあっては、この設定された各磁極のＮ，Ｓは、制御モードＤ１〜Ｄ４が異なっても固定された状態に制御されている。
（制御モードＤ１）
この第１３の実施形態における制御モードＤ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５７図参照）。
この制御モードＤ１では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄおよび１６Ｂ，１６Ｄが通電停止制御されている。同時に、方形状駆動コイル７４２，７４４も、通電停止制御の状態が維持される。
又、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａの前記内側コイル辺７４１ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され，Ｘ軸上の被駆動磁石６Ｃの前記内側コイル辺７４３ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
更に、Ｘ軸上の被駆動磁石１６Ａの前記外側コイル辺７４１ｂに対向する端面部がＳ極に固定制御され，Ｘ軸上の被駆動磁石１６Ｃの前記外側コイル辺７４３ｂに対向する端面部がＮ極に固定制御されている。
そして、前記駆動コイル７４１，７４３は、何れも反時計方向（左回り）に通電駆動されるようになっている。
このため、実際の通電駆動に際しては、駆動コイル７４１，７４３の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４３ａ，７４３ｂ部分に、点線の矢印に示す方向に所定の電磁力が発生し、同時にその反力（方形状駆動コイル７４１，７４３が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃ，１６Ａ，１６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動される。これにより、可動テーブル部１５はＸ軸上の正の方向に移送される。
尚、通電停止中の駆動コイル７４２，７４４および被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄは、可動テーブル１の位置ずれに際しては、個別に通電駆動されて位置ずれ補正動作が実行されるようになっている。
（制御モードＤ２）
この制御モードＤ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５７図参照）。
この制御モードＤ２では、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７４１，７４３の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４３ａ，７４３ｂ部分の通電方向を、前記制御モードＤ１の場合に比較して逆向き（時計の回転方向）とした点が相違する。その他は前記制御モードＤ１の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７４１，７４３の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４３ａ，７４３ｂ部分では、前記モードＤ１の場合と同様の原理で逆向きの電磁駆動力（点線の矢印）が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，１６Ａ及び６Ｃ，１６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。ここで、可動テーブル１の位置ずれに際しては、前記制御モードＤ１の場合と同様の補正動作が実行される。
（制御モードＤ３）
この制御モードＤ３は、可動テーブル１をＹ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５７図参照）。
この制御モードＤ３では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃ，１６Ａ，１６Ｃが通電停止制御される。同時に、方形状駆動コイル７４１，７４３も、通電停止制御の状態に設定される。
又、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂの前記内側コイル辺７４２ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され，Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｄの前記コイル辺７４４ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
同様に、Ｙ軸上の被駆動磁石１６Ｂの前記内側コイル辺７４２ｂに対向する端面部がＳ極に固定制御され，Ｙ軸上の被駆動磁石１６Ｄの前記コイル辺７４４ｂに対向する端面部がＮ極に固定制御されている。
一方、前記駆動コイル７４２，７４４が、何れも反時計方向（左回り）に通電駆動されるようになっている。
このため、実際の通電駆動に際しては、駆動コイル７４２，７４４の各コイル辺７４２ａ，７４２ｂ及び７４４ａ，７４４ｂ部分に、それぞれ点線で示す方向の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（方形状駆動コイル７４２，７４４が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
ここで、通電停止中の駆動コイル７４１，７４３および被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃは、可動テーブル１の位置ずれに際しては、個別に通電駆動されて位置ずれ補正動作が実行されるようになっている。
（制御モードＤ４）
この制御モードＤ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５７図参照）。
この制御モードＤ４では、Ｘ軸上の各方形状駆動コイル７４２，７４４の各コイル辺７４２ａ，７４２ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分の通電方向を、前記制御モードＤ３の場合に比較して逆向き（時計方向）とした点が相違する。その他は前記制御モードＤ３の場合と同一となっている。
このため、方形状駆動コイル７４２，７４４の各コイル辺７４２ａ，７４２ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分では、前記制御モードＤ３の場合と同様の原理で点線の矢印に示す方向（制御モードＤ３の場合とは逆向き）に電磁駆動力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。ここで、可動テーブル１の位置ずれに際しては、前記制御モードＤ３の場合と同様の補正動作が実行される。
続いて、第５８図に、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＤ５乃至Ｄ８の一例（図表化したもの）を示す。
この第５８図において、各制御モードＤ５〜Ｄ８では、前記各制御モードＤ５〜Ｄ８の場合と同様に、各方形状駆動コイル７４１〜７４４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定され、八個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については各磁極のＮ極又はＳ極が、制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）設定制御されている。
（制御モードＤ５）
この制御モードＤ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第５８図参照）。
この制御モードＤ５では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定されている。又、その通電方向（磁極Ｎ，Ｓの設定）は前記各制御モードＤ１〜Ｄ４の場合と同様に固定されている。
即ち、Ｘ軸上，Ｙ軸上の正方向に配置された被駆動磁石６Ａ，６Ｂは、その各方形状駆動コイルのコイル辺７４１ａ，７４２ａに対向する端面部分がＮ極に設定されている。又、Ｘ軸上，Ｙ軸上の負方向に配置された被駆動磁石６Ｃ，６Ｄは、その各方形状駆動コイルのコイル辺７４３ａ，７４４ａに対向する端面部分がＳ極に設定されている。
同様に、Ｘ軸上，Ｙ軸上の正方向に配置された被駆動磁石１６Ａ，１６Ｂは、その各方形状駆動コイルのコイル辺７４１ｂ，７４２ｂに対向する端面部分がＳ極に設定されている。又、Ｘ軸上，Ｙ軸上の負方向に配置された被駆動磁石１６Ｃ，１６Ｄは、その各方形状駆動コイル７４３ｂ，７４４ｂに対向する端面部分がＮ極に設定されている。
そして、前記方形状駆動コイル７４１〜７４４の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４２ａ，７４２ｂ，７４３ａ，７４３ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分では、前記制御モードＤ１とＤ３とが同時に作動したのと同等の通電制御（通電方向は反時計方向）がなされる。このため、前記制御モードＤ１，Ｄ３の場合と同様の向き（Ｘ軸の正方向とＹ軸の正方向）の電磁駆動力が同時に発生し、その合力が第５８図の制御モードＤ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。
これにより、前記可動テーブル部１５は、Ｘ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θ（移送方向）は、各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＤ６）
この制御モードＤ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第５８図参照）。
この制御モードＤ６では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＤ１〜Ｄ５の場合と同一に設定されている。
又、各方形状駆動コイル７４１〜７４４の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４２ａ，７４２ｂ，７４３ａ，７４３ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分では、前記制御モードＤ２とＤ４とが同時に作動したのと同等の通電制御（通電方向は全て時計回り方向）がなされる。このため、前記制御モードＤ２，Ｄ４の場合と同様の向き（第５８図の左方向と下方向）の反力（電磁駆動力）が同時に発生し、且つその合力が第５８図の制御モードＤ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
尚、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θ（移送方向）は、各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これによって、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＤ７）
この制御モードＤ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第５８図参照）。
この制御モードＤ７では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＤ１〜Ｄ６の場合と同様に固定されている。
一方、前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４については、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７４１，７４３が制御モードＤ２の場合と同様に時計方向（第５８図中で右回り）に通電駆動され、Ｙ軸上の方形状駆動コイル７４２，７４４が制御モードＤ３の場合と同様に反時計方向（第５８図中で左回り）に通電駆動されるようになっている。
このため、この制御モードＤ７の場合、各方形状駆動コイル７４１〜７４４の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４２ａ，７４２ｂ，７４３ａ，７４３ｂ，７４４ａ，７２４ｂ部分では、前記制御モードＤ２とＤ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＤ２，Ｄ３の場合と同様の向き（第５８図の左方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第５７図の制御モードＤ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
尚、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θ（移送方向）は、各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、移送方向を任意の方向に設定することができる。
（制御モードＤ８）
この制御モードＤ８は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第５８図参照）。
この制御モードＤ８では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＤ１〜Ｄ７の場合と同様に固定されている。
一方、前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４については、前記制御モードＤ８の場合とはその通電駆動方向が全て逆方向に設定されている。即ち、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７４１，７４３が制御モードＤ１の場合と同様に反時計方向（第５８図中で左回り）に通電駆動され、Ｙ軸上の方形状駆動コイル７４２，７４４が制御モードＤ４の場合と同様に時計方向（第５８図中で右回り）に通電駆動されるようになっている。
このため、この制御モードＤ８の場合、各方形状駆動コイル７４１〜７４４の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４２ａ，７４２ｂ，７４３ａ，７４３ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分では、前記制御モードＤ１とＤ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされ、制御モードＤ１，Ｄ４の場合と同様の向き（第５８図の右方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第５８図の制御モードＤ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
尚、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度θ（移送方向）は、各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
その他の構成及びその動作，機能等については、前記第１１の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、前記第１１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、方形状駆動コイル７４１〜７４４の構成が前記第２実施形態における日の字状駆動コイル７２１〜７２４に比較して大幅に単純化されており、このため、当該駆動コイル７４１〜７４４の配線が簡略化されることから、前記第１１の実施形態の場合に比較してその生産性および耐久性の向上を図ることができ、更に駆動コイル７４１〜７４４の通電制御も簡略化されることから応答性も改善されるという利点がある。
又、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを前記第１１の実施形態の場合の２倍としたので、電磁駆動力の出力を強化するこができ、可動テーブル１の迅速な移動をなし得るという利点もある。
尚、前記第１３の実施形態において、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ｄ１〜Ｄ８の制御モードに分けて電磁駆動手段１４２を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＤ２では被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの各通電方向を制御モードＤ１の場合とは逆の方向に設定し、駆動コイル７４１，７４３の通電方向を制御モードＤ１の場合と同一に設定する等、同等に機能するのであれば、他の制御手法で電磁駆動手段１４４を駆動制御するようにこ構成してもよい。
又、前記第１３の実施形態において、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの装備箇所と方形状駆動コイル７４１〜７４４の装備箇所とを入れ換えてもよい。この場合は、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが固定子側に装備され、方形状駆動コイル７４１〜７４４が可動子側に装備されることとなる。
更に前記第１３の実施形態にあっては、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを電磁石で構成した場合を例示したが、これを永久磁石で構成してもよい。
このようにすると、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの周囲の電気的な配線が一切不要となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの装備箇所の空間領域を小さくすることができる。したがって、その分、装置全体の小型軽量化が可能となり、生産性および保守性の向上を図ることができ、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを電磁石とした場合に比較して、その通電駆動が不要となることから全体的に電力消費およびこの部分の温度上昇を抑制することができる。これにより、装置全体のランニングコストを大幅に低減することができ、電磁駆動手段４の駆動制御に際しては複数の各方形状駆動コイル７４１〜７４４の通電方向の切り換え制御のみで可動テーブル１を任意の方向に移送駆動することができる。したがって、可動テーブル１の移動方向の切替えに際しての迅速な応答が可能となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの断線事故等の発生が皆無となるのでかかる点において装置全体の耐久性を大幅に向上させることができるという利点がある。
この第１３の実施形態は、前記第１１の実施形態における電磁駆動手段１４２に代えて四個の方形状駆動コイルを備えた他の電磁駆動手段１４４を装備した点に特徴を備えている。同時に、この電磁駆動手段１４４を効率よく駆動するための動作制御系２０４を、前記動作制御系２０２に代えて装備した点に特徴を有する。
以下、これを詳細に説明する。
まず、この第１３の実施形態は、前記第１０の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４４とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第５図４に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４４について〕
電磁駆動手段１４４は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル部１５の移送方向に沿って所定の移動力（駆動力）を付与する機能を備えている。この電磁駆動手段１４４は、前記可動テーブル１と補助テーブル５との間に配設されている。
この電磁駆動手段１４４は、具体的には、四角形状に形成された四個の方形状駆動コイル７４１，７４２，７４３，７４４と、この各方形状駆動コイル７４１〜７４４のＸ軸又はＹ軸と交差する箇所に位置する内側コイル辺７４１ａ〜７４４ａおよび外側コイル辺７４１ｂ〜７４４ｂに個別に対応して配設され且つ前記補助テーブル５上に装備された各四個の被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄ，および１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄと、前記各四個の方形状駆動コイル７４１〜７４４を所定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。
前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４は、対向する二つの辺が前記固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上のＸ軸又はＹ軸に直交するように、前記Ｘ軸上，Ｙ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
又、合計八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、外部から個別に通電制御が可能な電磁石で構成され、前記各方形状駆動コイルの内側コイル辺７４１ａ〜７４４ａおよび外側コイル辺７４１ｂ〜７４４ｂに対応して、Ｘ軸上およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
固定プレート８は、第５４図に示すように前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。又、前記方形状の各駆動コイル７４１〜７４４と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段１４４の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、各駆動コイル７４１〜７４４は、作動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを各コイル辺７４１ａ〜７４４ａ，７４１ｂ〜７４４ｂに直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。この場合、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの移動方向の中心軸線が前記Ｘ−Ｙ平面上の中心点を通るように設定されている。
また、各コイル辺７４１ａ〜７４４ａ，７４１ｂ〜７４４ｂに直交しない方向（各コイル辺７４１ａ〜７４４ａ，７４１ｂ〜７４４ｂに対しては斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように少なくとも二以上の方形状駆動コイル７４１，７４２，７４３又は７４４にかかる各被駆動磁石に対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
更に、各駆動コイル７４１〜７４４の前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに面するコイル辺７４１ａ〜７４４ａ，７４１ｂ〜７４４ｂ部分には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極面に近接して（ほぼ当接した状態で）配設されている。この制動用プレート９は本実施形態では一枚のものが使用され、その周囲の一部又は全部が前記ケース本体３に固着されている。
電磁駆動手段１４４の一部を構成する四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、本実施形態では第５５図に示すように、磁極の端面（各駆動コイル７４１〜７４４の各コイル辺７２１ａ〜７２４ａ，７２１ｂ〜７２４ｂとの対向面）が四角形状の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
そして、本実施形態にあっては、例えば八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電されて当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが稼働状態に設定され、その後に又は同時に、後述する所定の制御モードに従って各駆動コイル７４１〜７４４が稼働状態に設定される。そして、各駆動コイル７４１〜７４４を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその移送駆動力に関する電磁駆動手段１４４の働き（各駆動コイル７４１〜７４４と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する通電駆動）については、第５７図乃至第５８図にて詳述する。第５７図及び第５８図では、駆動コイルへの通電による回転駆動を示していない。
この場合、第１３の実施形態では、電磁石からなる前記八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が後述するように予め特定されていることから、八個の方形状駆動コイル７４１〜７４４の各内側コイル辺７４１ａ〜７４４ａ，外側コイル辺７４１ｂ〜７４４ｂ部分の通電方向および通電電流の大小（通電停止制御を含めて）が、前記可動テーブル１の移送方向に対応して後述する動作制御系２０４により、設定制御される。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って所定の方向（各コイル辺７４１ａ〜７４４ａ，７４１ｂ〜７４４ｂ部分にそれぞれ直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力されることとなる。
又、八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることができ、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第５７図〜第５８図）で詳述する。
ここで、前記各駆動コイル７４１〜７４４の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該各駆動コイル７４１〜７４４の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料が充填装備してもよい。
〔動作制御系２０４について〕
次に、この第１３の実施形態における動作制御系２０４について詳述する。
本第１３の実施形態において、前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを個別に通電制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０４が、電磁駆動手段１４４に併設されている（第５６図参照）。
この動作制御系２０４は、前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４に対応して装備された八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極を個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁力強度を個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能と、前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４の前記Ｘ軸又はＹ軸と交叉する部分のコイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４２ａ，７４２ｂ，７４３ａ，７４３ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分の通電方向を所定の方向（一方又は他方）に外部からの指令に応じて設定し維持する通電方向設定機能と、この各方形状駆動コイル７４１〜７４４への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能とを備え、これらの諸機能の出力を適度に調整しながら前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能とを備えている。
そして、この動作制御系２０４は、前記諸機能を実行するために、第５６図に示すように、前記電磁駆動手段１４４の各方形状駆動コイル７４１〜７４４および各四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１４と、このテーブル駆動制御手段２１４に併設され前記可動テーブル１の移動方向およびその動作量等が特定された複数の制御モード（本実施形態ではＤ１〜Ｄ８の八個の制御モード）にかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２４と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
又、テーブル駆動制御手段２１４には、方形状駆動コイル７４１〜７４４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。更に、このテーブル駆動制御手段２１４には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０４が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２４の複数の制御モードＤ１〜Ｄ８に総合的に包含され、動作指令入力部２４を介して入力されるオペレータからの指令で選択される制御モードＤ１〜Ｄ８の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
本実施形態に係るテーブル駆動制御手段２１４は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２４から選択し前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１４Ａと、この主制御部２１４Ａに選択設定され所定の制御モード（Ｄ１〜Ｄ８）に従って各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１４Ｂとを備えている。
又、主制御部２１４Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段１４２の各方形状駆動コイル７２１〜７２４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
〔プログラム記憶部２２４について〕
前記テーブル駆動制御手段２１４は、プログラム記憶部２２４に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の制御モード）に従って、前記電磁駆動手段１４４の各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、プログラム記憶部２２４には、この第１３の実施形態にあっては前記八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムと、この八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が特定され磁極のＮ極又はＳ極（又は通電停止）は設定された場合に機能しこれに対応して四個の各方形状駆動コイル７４１〜７４４に対する通電方向およびその通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル用制御プログラムが記憶されている。同時に、これらの各制御プログラムの動作のタイミングが、八組の制御モードＤ１乃至Ｄ８に整理されて記憶されている（第５７図，第５８図参照）。
ここで、この第１３の実施形態における八組の制御モードＤ１乃至Ｄ８について、第５７図〜第５８図に基づいて説明する。
第５７図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、またＹ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＤ１乃至Ｄ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第５７図において、各制御モードＤ１〜Ｄ４では、各方形状駆動コイル７４１〜７４４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定されている。又、八個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については、各磁極のＮ極又はＳ極が制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）、設定制御されている。
即ち、この第１３の実施形態では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの前記方形状駆動コイル７４１，７４２に対向する端面部の磁極を、被駆動磁石６Ａ，６ＢではＮ極に、被駆動磁石６Ｃ，６ＤではＳ極に、それぞれ設定されている。同様に、被駆動磁石１６Ａ，１６ＢではＳ極に、被駆動磁石１６Ｃ，１６ＤではＮ極に、それぞれ設定されている。そして、この第３の実施形態にあっては、この設定された各磁極のＮ，Ｓは、制御モードＤ１〜Ｄ４が異なっても固定された状態に制御されている。
（制御モードＤ１）
この第１３の実施形態における制御モードＤ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５７図参照）。
この制御モードＤ１では、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂ，６Ｄおよび１６Ｂ，１６Ｄが通電停止制御されている。同時に、方形状駆動コイル７４２，７４４も、通電停止制御の状態が維持される。
又、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａの前記内側コイル辺７４１ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され，Ｘ軸上の被駆動磁石６Ｃの前記内側コイル辺７４３ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
更に、Ｘ軸上の被駆動磁石１６Ａの前記外側コイル辺７４１ｂに対向する端面部がＳ極に固定制御され，Ｘ軸上の被駆動磁石１６Ｃの前記外側コイル辺７４３ｂに対向する端面部がＮ極に固定制御されている。
そして、前記駆動コイル７４１，７４３は、何れも反時計方向（左回り）に通電駆動されるようになっている。
このため、実際の通電駆動に際しては、駆動コイル７４１，７４３の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４３ａ，７４３ｂ部分に、点線の矢印に示す方向に所定の電磁力が発生し、同時にその反力（方形状駆動コイル７４１，７４３が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃ，１６Ａ，１６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動される。これにより、可動テーブル部１５はＸ軸上の正の方向に移送される。
尚、通電停止中の駆動コイル７４２，７４４および被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄは、可動テーブル１の位置ずれに際しては、個別に通電駆動されて位置ずれ補正動作が実行されるようになっている。
（制御モードＤ２）
この制御モードＤ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５７図参照）。
この制御モードＤ２では、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７４１，７４３の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４３ａ，７４３ｂ部分の通電方向を、前記制御モードＤ１の場合に比較して逆向き（時計の回転方向）とした点が相違する。その他は前記制御モードＤ１の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７４１，７４３の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４３ａ，７４３ｂ部分では、前記モードＤ１の場合と同様の原理で逆向きの電磁駆動力（点線の矢印）が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，１６Ａ及び６Ｃ，１６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。ここで、可動テーブル１の位置ずれに際しては、前記制御モードＤ１の場合と同様の補正動作が実行される。
（制御モードＤ３）
この制御モードＤ３は、可動テーブル１をＹ軸の正の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５７図参照）。
この制御モードＤ３では、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａ，６Ｃ，１６Ａ，１６Ｃが通電停止制御される。同時に、方形状駆動コイル７４１，７４３も、通電停止制御の状態に設定される。
又、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂの前記内側コイル辺７４２ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され，Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｄの前記コイル辺７４４ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
同様に、Ｙ軸上の被駆動磁石１６Ｂの前記内側コイル辺７４２ｂに対向する端面部がＳ極に固定制御され，Ｙ軸上の被駆動磁石１６Ｄの前記コイル辺７４４ｂに対向する端面部がＮ極に固定制御されている。
一方、前記駆動コイル７４２，７４４が、何れも反時計方向（左回り）に通電駆動されるようになっている。
このため、実際の通電駆動に際しては、駆動コイル７４２，７４４の各コイル辺７４２ａ，７４２ｂ及び７４４ａ，７４４ｂ部分に、それぞれ点線で示す方向の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（方形状駆動コイル７４２，７４４が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
ここで、通電停止中の駆動コイル７４１，７４３および被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃは、可動テーブル１の位置ずれに際しては、個別に通電駆動されて位置ずれ補正動作が実行されるようになっている。
（制御モードＤ４）
この制御モードＤ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための制御モードの一例を示す（第５７図参照）。
この制御モードＤ４では、Ｘ軸上の各方形状駆動コイル７４２，７４４の各コイル辺７４２ａ，７４２ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分の通電方向を、前記制御モードＤ３の場合に比較して逆向き（時計方向）とした点が相違する。その他は前記制御モードＤ３の場合と同一となっている。
このため、方形状駆動コイル７４２，７４４の各コイル辺７４２ａ，７４２ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分では、前記制御モードＤ３の場合と同様の原理で点線の矢印に示す方向（制御モードＤ３の場合とは逆向き）に電磁駆動力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。ここで、可動テーブル１の位置ずれに際しては、前記制御モードＤ３の場合と同様の補正動作が実行される。
続いて、第５８図に、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＤ５乃至Ｄ８の一例（図表化したもの）を示す。
この第５８図において、各制御モードＤ５〜Ｄ８では、前記各制御モードＤ５〜Ｄ８の場合と同様に、各方形状駆動コイル７４１〜７４４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定され、八個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については各磁極のＮ極又はＳ極が、制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）設定制御されている。
（制御モードＤ５）
この制御モードＤ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第５８図参照）。
この制御モードＤ５では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定されている。又、その通電方向（磁極Ｎ，Ｓの設定）は前記各制御モードＤ１〜Ｄ４の場合と同様に固定されている。
即ち、Ｘ軸上，Ｙ軸上の正方向に配置された被駆動磁石６Ａ，６Ｂは、その各方形状駆動コイルのコイル辺７４１ａ，７４２ａに対向する端面部分がＮ極に設定されている。又、Ｘ軸上，Ｙ軸上の負方向に配置された被駆動磁石６Ｃ，６Ｄは、その各方形状駆動コイルのコイル辺７４３ａ，７４４ａに対向する端面部分がＳ極に設定されている。
同様に、Ｘ軸上，Ｙ軸上の正方向に配置された被駆動磁石１６Ａ，１６Ｂは、その各方形状駆動コイルのコイル辺７４１ｂ，７４２ｂに対向する端面部分がＳ極に設定されている。又、Ｘ軸上，Ｙ軸上の負方向に配置された被駆動磁石１６Ｃ，１６Ｄは、その各方形状駆動コイル７４３ｂ，７４４ｂに対向する端面部分がＮ極に設定されている。
そして、前記方形状駆動コイル７４１〜７４４の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４２ａ，７４２ｂ，７４３ａ，７４３ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分では、前記制御モードＤ１とＤ３とが同時に作動したのと同等の通電制御（通電方向は反時計方向）がなされる。このため、前記制御モードＤ１，Ｄ３の場合と同様の向き（Ｘ軸の正方向とＹ軸の正方向）の電磁駆動力が同時に発生し、その合力が第５８図の制御モードＤ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。
これにより、前記可動テーブル部１５は、Ｘ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θ（移送方向）は、各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＤ６）
この制御モードＤ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第５８図参照）。
この制御モードＤ６では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＤ１〜Ｄ５の場合と同一に設定されている。
又、各方形状駆動コイル７４１〜７４４の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４２ａ，７４２ｂ，７４３ａ，７４３ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分では、前記制御モードＤ２とＤ４とが同時に作動したのと同等の通電制御（通電方向は全て時計回り方向）がなされる。このため、前記制御モードＤ２，Ｄ４の場合と同様の向き（第５８図の左方向と下方向）の反力（電磁駆動力）が同時に発生し、且つその合力が第５８図の制御モードＤ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
尚、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θ（移送方向）は、各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これによって、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＤ７）
この制御モードＤ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための制御モードの一例を示す（第５８図参照）。
この制御モードＤ７では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＤ１〜Ｄ６の場合と同様に固定されている。
一方、前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４については、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７４１，７４３が制御モードＤ２の場合と同様に時計方向（第５８図中で右回り）に通電駆動され、Ｙ軸上の方形状駆動コイル７４２，７４４が制御モードＤ３の場合と同様に反時計方向（第５８図中で左回り）に通電駆動されるようになっている。
このため、この制御モードＤ７の場合、各方形状駆動コイル７４１〜７４４の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４２ａ，７４２ｂ，７４３ａ，７４３ｂ，７４４ａ，７２４ｂ部分では、前記制御モードＤ２とＤ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＤ２，Ｄ３の場合と同様の向き（第５８図の左方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第５７図の制御モードＤ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
尚、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θ（移送方向）は、各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、移送方向を任意の方向に設定することができる。
（制御モードＤ８）
この制御モードＤ８は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第５８図参照）。
この制御モードＤ８では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＤ１〜Ｄ７の場合と同様に固定されている。
一方、前記各方形状駆動コイル７４１〜７４４については、前記制御モードＤ８の場合とはその通電駆動方向が全て逆方向に設定されている。即ち、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７４１，７４３が制御モードＤ１の場合と同様に反時計方向（第５８図中で左回り）に通電駆動され、Ｙ軸上の方形状駆動コイル７４２，７４４が制御モードＤ４の場合と同様に時計方向（第５８図中で右回り）に通電駆動されるようになっている。
このため、この制御モードＤ８の場合、各方形状駆動コイル７４１〜７４４の各コイル辺７４１ａ，７４１ｂ，７４２ａ，７４２ｂ，７４３ａ，７４３ｂ，７４４ａ，７４４ｂ部分では、前記制御モードＤ１とＤ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされ、制御モードＤ１，Ｄ４の場合と同様の向き（第５８図の右方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第５８図の制御モードＤ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
尚、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度θ（移送方向）は、各方形状駆動コイル７４１〜７４４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
その他の構成及びその動作，機能等については、前記第１１の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、前記第１１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、方形状駆動コイル７４１〜７４４の構成が前記第２実施形態における日の字状駆動コイル７２１〜７２４に比較して大幅に単純化されており、このため、当該駆動コイル７４１〜７４４の配線が簡略化されることから、前記第１１の実施形態の場合に比較してその生産性および耐久性の向上を図ることができ、更に駆動コイル７４１〜７４４の通電制御も簡略化されることから応答性も改善されるという利点がある。
又、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを前記第１１の実施形態の場合の２倍としたので、電磁駆動力の出力を強化するこができ、可動テーブル１の迅速な移動をなし得るという利点もある。
尚、前記第１３の実施形態において、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ｄ１〜Ｄ８の制御モードに分けて電磁駆動手段１４２を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＤ２では被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの各通電方向を制御モードＤ１の場合とは逆の方向に設定し、駆動コイル７４１，７４３の通電方向を制御モードＤ１の場合と同一に設定する等、同等に機能するのであれば、他の制御手法で電磁駆動手段１４４を駆動制御するようにこ構成してもよい。
又、前記第１３の実施形態において、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの装備箇所と方形状駆動コイル７４１〜７４４の装備箇所とを入れ換えてもよい。この場合は、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが固定子側に装備され、方形状駆動コイル７４１〜７４４が可動子側に装備されることとなる。
更に前記第１３の実施形態にあっては、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを電磁石で構成した場合を例示したが、これを永久磁石で構成してもよい。
このようにすると、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの周囲の電気的な配線が一切不要となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの装備箇所の空間領域を小さくすることができる。したがって、その分、装置全体の小型軽量化が可能となり、生産性および保守性の向上を図ることができ、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを電磁石とした場合に比較して、その通電駆動が不要となることから全体的に電力消費およびこの部分の温度上昇を抑制することができる。これにより、装置全体のランニングコストを大幅に低減することができ、電磁駆動手段４の駆動制御に際しては複数の各方形状駆動コイル７４１〜７４４の通電方向の切り換え制御のみで可動テーブル１を任意の方向に移送駆動することができる。したがって、可動テーブル１の移動方向の切替えに際しての迅速な応答が可能となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの断線事故等の発生が皆無となるのでかかる点において装置全体の耐久性を大幅に向上させることができるという利点がある。
次に、第１４の実施形態を、第５９図乃至第６４図に基づいて説明する。
この第１４の実施形態は、前記第１１の実施形態における電磁駆動手段１４２に代えて他の電磁駆動手段１４５を装備し、同時に、この電磁駆動手段１４５を効率よく駆動するための動作制御系２０５を、前記動作制御系２０２に代えて装備した点に特徴を有する。
即ち、本実施形態における電磁駆動手段１４５は、前記第１１の実施形態における電磁駆動手段１４２において装備した四個の日の字状駆動コイル７２１，７２２，７２３，７２４をそれぞれ９０°回転させた状態で固定プレート８に装備し、これを日の字状駆動コイル７５１，７５２，７５３，７５４とした点に特徴を有する。同時に、これに対応して、前記動作制御系２０５による制御内容に新たに回転制御機能（制御モード９，１０）を付加した点に特徴を有する。
これにより、この第１１の実施形態は、前記第１１の実施形態では原理的に不可能であった可動テーブル１に対する限定範囲での回転駆動を、新たに別の駆動手段を装備することなく可能とした。
以下、これを説明する。
まず、この第１４の実施形態は、前記第１１の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４５とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、前記各実施形態の場合と同様に、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第５第９図に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４５について〕
電磁駆動手段１４５は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル部１５の移送方向に沿って所定の移動力（駆動力）を付与する機能を備えている。この電磁駆動手段１４５は、前記可動テーブル１と補助テーブル５との間に配設されている。
この電磁駆動手段１４５は、具体的には、日の字状に形成された四個の駆動コイル７５１，７５２，７５３，７５４と、この各駆動コイル７５１〜７５４の中央部に位置する内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａに個別に対応して前記補助テーブル５上に装備された四個の被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄと、前記四個の駆動コイル７５１〜７５４を所定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。
前記各日の字状駆動コイル７５１〜７５４は、その中央部に位置する内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａが、固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上の各軸上に沿って重合された状態にて、前記Ｘ軸上およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
このため、この内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａにそれぞれ個別に対向して配置される四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対しては、後述するように、当該各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ（即ち、Ｘ軸又はＹ軸）に直交する方向に電磁駆動力が出力されるようになっている。
そして、木実施形態では、各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａに通電される電流の向きを目的に合わせて可変制御することにより、前記可動テーブル１を所定範囲内で回転駆動することが可能な構成となっている。
また、この四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、外部からの通電制御が可能な電磁石で構成され、前記各日の字状駆動コイルの内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａに対応して、Ｘ軸上およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
固定プレート８は第５９図に示すように、前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。この日の字状の各駆動コイル７５１〜７５４と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段４の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４は、作動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとの間で、当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａに直交する方向（即ち、対応するＸ軸又はＹ軸に直交する方向）に反発駆動する電磁駆動力を発生する。
また、各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａに直交しない方向（各コイル辺７５１ａ〜７５４ａに斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように少なくとも二以上の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
更に、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４の前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに面する内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極面に近接して（ほぼ当接した状態で）配設されている。この制動用プレート９は本実施形態では一枚のものが使用され、その周囲の一部又は全部が前記ケース本体３に固着されている。
電磁駆動手段１４５の一部を構成する四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、本実施形態では第６０図に示すように、磁極の端面（各駆動コイル７５１〜７５４の各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａとの対向面）を四角形状とした電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
このため、本実施形態にあっては、例えば四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電されて各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが稼働状態に設定され、その後に、又は同時に、所定の制御モードに従って各駆動コイル７５１〜７５４が稼働状態に設定されて通電が開始される。そして、各駆動コイル７５１〜７５４を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその移送駆動力に関する電磁駆動手段１４５の働き（各駆動コイル７５１〜７５４と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する通電駆動）については、第６図２乃至第６４図にて詳述する。
電磁駆動手段１４５の主要部を成す四個の日の字状駆動コイル７５１〜７５４は、第５９図〜第６０図に示すように、二つの角形小コイル部Ｋａ，Ｋｂの組合せからなり、全体的に日の字状に構成されている。そして、二つの角形小コイル部Ｋａ，Ｋｂが相互に当接する部分のコイル辺（内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分）には、常に電流の向き（一方と他方の角形小コイル部の当接する部分のコイル辺内には流す電流の向き）が同方向となるように設定制御されている。このため、その向きを変える場合には、二つの角形小コイル部Ｋａ，Ｋｂ内の通電方向が同時に変化するようになっている。
この場合、この第１４の実施形態では、電磁石からなる前記四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電方向は後述するように予め特定されていることから、四個の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４の各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分の通電方向および通電電流の大小（通電停止制御を含めて）が、前記可動テーブル部１５の移送方向に対応して動作制御系２０５により、設定制御される。
これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って所定の方向（内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分にそれぞれ直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力されることとなる。
又、四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２５の説明箇所（第６２図〜第６４図）で詳述する。
ここで、前記各駆動コイル７５１〜７５４の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該各駆動コイル７５１〜７５４の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料を充填装備してもよい。
〔動作制御系２０５について〕
次に、この第１４の実施形態における動作制御系２０５について詳述する。
この第１４の実施形態において、前記各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを個別に通電制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０５が、電磁駆動手段１４５に併設されている（第６１図参照）。
この動作制御系２０５は、前記各日の字状駆動コイル７５１〜７５４に対応して装備された各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極を個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁力強度を個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能と、前記各日の字状駆動コイル７５１〜７５４の内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分の通電方向を所定の方向（一方又は他方）に外部からの指令に応じて設定し維持する通電方向設定機能と、この各日の字状駆動コイル７５１〜７５４への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能とを備え、これらの諸機能による動作を適度に調整しながら前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能を備えている。
そして、この動作制御系２０５は、前記諸機能を実行するために、第６１図に示すように、前記電磁駆動手段１４５の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１５と、このテーブル駆動制御手段２１５に併設され前記可動テーブル１の移動方向，回転方向，およびその動作量等が特定された複数の通電制御モード（本実施形態ではＥ１〜Ｅ１０の１０個の制御モード）にかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２５と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
テーブル駆動制御手段２１５には、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。又、このテーブル駆動制御手段２１５には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０５が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２５の複数の制御モードＥ１〜Ｅ１０に総合的に包含され、動作指令入力部２４を介して入力されるオペレータからの指令で選択される制御モードＥ１〜Ｅ１０の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
本実施形態に係るテーブル駆動制御手段２１５は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２５から選択し前記各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１５Ａと、この主制御部２１５Ａに選択設定され所定の制御モード（Ｅ１〜Ｅ１０）に従って各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１５Ｂとを備えている。
又、主制御部２１５Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段１４５の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
〔プログラム記憶部２２５について〕
前記テーブル駆動制御手段２１５は、プログラム記憶部２２５に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の制御モード）に従って、前記電磁駆動手段１４５の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、本実施形態に係るプログラム記憶部２２５には、前記四個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムと、この四個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄの通電方向が特定され磁極のＮ極又はＳ極（又は通電停止）は設定された場合に機能しこれに対応して四個の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４に対する通電方向およびその通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル用の通電制御プログラムが記憶されている。同時に、これらの各通電制御プログラムの動作のタイミングが、１０組の制御モードＥ１〜Ｅ１０に整理されて記憶されている（第６２図〜第６４図参照）。
次に、この第１４の実施形態における１０組の制御モードＥ１乃至Ｅ１０について、第６２図〜第６４図に基づいて説明する。
第６２図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、またＹ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＥ１乃至Ｅ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第６２図において、各制御モードＥ１〜Ｅ４では、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定されている。又、四個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については、各磁極のＮ極又はＳ極が通電制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）、設定制御されている。
即ち、この第１４の実施形態では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの前記日の字状駆動コイル７５１，７５２に対向する端面部の磁極を、被駆動磁石６Ａ，６ＢではＮ極に、被駆動磁石６Ｃ，６ＤではＳ極に、それぞれ設定され、制御モードＥ１〜Ｅ４が異なっても当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極は固定された状態に設定制御されている。
（制御モードＥ１）
この第１４の実施形態における制御モードＥ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの例である（第６２図参照）。
この制御モードＥ１では、Ｙ軸上の日の字状駆動コイル７５２，７５４及びこれに対応して装備された被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが通電制御され、Ｘ軸上の日の字状駆動コイル７５１，７５３及びこれに対応して装備された被駆動磁石６Ａ，６Ｃが、通電停止制御される。
そして、Ｙ軸上の日の字状駆動コイル７５２，７５４の通電方向は、日の字状駆動コイル７５２の内側コイル辺７５２ａ部分ではＹ軸の正方向からＹ軸に沿って原点０に向かう方向に設定制御され、同じく日の字状駆動コイル７５４の内側コイル辺７５４ａ部分ではＹ軸の負方向からＹ軸に沿って原点に向かう方向に設定制御される。
又、被駆動磁石６Ｂ，６Ｄでは、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂの内側コイル辺７５２ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され、同じくＹ軸上の被駆動磁石６Ｄの前記内側コイル辺７５４ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
このため、駆動コイル７５２，７５４のコイル辺７５２ａ，７５４ａ部分では、当該コイル辺７５２ａ，７５４ａ内に（図中の左方向：点線の矢印で示す）所定の電磁力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７５２，７５４が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動され、この二つの被駆動磁石６Ｂ，６Ｄに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に移送される。
又、移送方向のずれに際しては、二つの被駆動磁石６Ｂ，６Ｄ又は駆動コイル７５２，７５４に対する通電電流の大きさが調整され、これによって二つの被駆動磁石６Ｂ，６Ｄに生じる電磁駆動力のバランスが維持され、移送方向のずれが修正される。
（制御モードＥ２）
この制御モードＥ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための制御モードの例である（第６２図参照）。
この制御モードＥ２では、Ｘ軸上の駆動コイル７５２，７５４のコイル辺７５２ａ，７５４ａ部分の通電方向を前記制御モードＥ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＥ１の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７５２，７５４のコイル辺７２１ａ，７２４ａ部分では、前記制御モードＥ１の場合と同様の原理で制御モードＥ１の場合とは逆向きの電磁力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、この二つの被駆動磁石６Ｂ，６Ｄに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＥ３）
この制御モードＥ３は、可動テーブル１をＹ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例である（第６２図参照）。
この制御モードＥ３においては、Ｘ軸上の日の字状駆動コイル７５１，７５３及びこれに対応して装備された被駆動磁石６Ａ，６Ｃが通電制御され、Ｙ軸上の日の字状駆動コイル７５２，７５４及びこれに対応して装備された被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが通電停止制御される。
そして、Ｘ軸上の日の字状駆動コイル７５１，７５３の通電方向は、日の字状駆動コイル７５１の内側コイル辺７５１ａ部分ではＸ軸に沿って原点０方向から正方向に向かう方向に設定制御され、同じく日の字状駆動コイル７５３の内側コイル辺７５３ａ部分ではＸ軸に沿って原点０方向から負方向に向かう方向に設定制御される。
又、被駆動磁石６Ａ，６Ｃでは、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａの内側コイル辺７５１ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され、同じくＸ軸上の被駆動磁石６Ｃの前記内側コイル辺７５３ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
このため、駆動コイル７５１，７５３のコイル辺７５１ａ，７５３ａ部分では、当該各コイル辺７５１ａ，７５３ａ内に所定の電磁力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７５１，７５３が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、この二つの被駆動磁石６Ａ，６Ｃに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
可動テーブル部１５の位置ずれに際しては、前記制御モードＥ１の場合と同様の補正動作が実行される。
（制御モードＥ４）
この制御モードＥ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第６２図参照）。
この制御モードＥ４では、Ｘ軸上の駆動コイル７５１，７５３のコイル辺７５１ａ，７５３ａ部分の通電方向を前記制御モードＥ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＥ３の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７５１，７５３のコイル辺７５１ａ，７５３ａ部分では、前記制御モードＥ３の場合と同様の原理で当該制御モードＥ３の場合とは逆向きの電磁力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、この二つの被駆動磁石６Ａ，６Ｃに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。可動テーブル１の位置ずれに際しては、前記制御モードＢ３の場合と同様の補正動作が実行される。
続いて、第６３図に、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＥ５乃至Ｅ８の一例（図表化したもの）を示す。
この第６３図において、各制御モードＥ５〜Ｅ８では、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定され、四個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については各磁極のＮ極又はＳ極が、制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）設定制御されている。
（制御モードＥ５）
この第１４の実施形態における制御モードＥ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示す（第６３図参照）。
この制御モードＥ５では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その通電方向（磁極Ｎ，Ｓ）は前記各制御モードＥ１〜Ｅ４の場合と同様に固定されている。即ち、Ｘ軸上，Ｙ軸上の正方向に配置された被駆動磁石６Ａ，６Ｂは、その各日の字状駆動コイル７５１，７５２に対向する端面部分がＮ極に設定されている。又、Ｘ軸上，Ｙ軸上の負方向に配置された被駆動磁石６Ｃ，６Ｄは、その各日の字状駆動コイル７５３，７５４に対向する端面部分がＳ極に設定されている。
又、制御モードＥ５では、四個の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４も同時に通電駆動される。具体的には、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４の各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、前記制御モードＥ１とＥ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＥ１，Ｅ３の場合と同様の向き（第６３図の右方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６３図の制御モードＥ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θ（Ｘ軸との角度θ）は、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＥ６）
この制御モードＥ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６３図参照）。
この制御モードＥ６では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＢ１〜Ｂ５の場合と同一に設定されている。
このため、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４も前記制御モードＥ２とＥ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、前記制御モードＥ２，Ｅ４の場合と同様の向き（第６３図の左方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６３図の制御モードＥ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＥ７）
この制御モードＥ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示す（第６３図参照）。
この制御モードＥ７では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＥ１〜Ｅ６の場合と同様に固定されている。
この制御モードＥ７の場合、四個の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４も同時に通電駆動される。具体的には、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４では、その各コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分で、前記制御モードＥ２とＥ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。
このため、前記制御モードＥ２，Ｅ３の場合と同様の向き（第６３図の左方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６３図の制御モードＥ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＥ８）
この制御モードＥ８は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第６３図参照）。
この制御モードＥ８では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＥ１〜Ｅ７の場合と同様に固定されている。
この制御モードＥ８の場合、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４の各コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、前記制御モードＥ１とＥ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＥ１，Ｅ４の場合と同様の向き（第６３図の右方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６３図の制御モードＥ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＥ９）
この制御モードＥ９は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面上で反時計方向（左回り）に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための通電制御モードの一例を示すものである（第６４図参照）。
この制御モードＥ９では、日の字状駆動コイル７５１〜７５４と各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御される。この場合、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極Ｎ，Ｓは、前記Ｅ１〜Ｅ８の場合と同一に設定されている。
又、日の字状駆動コイル７５１〜７５４については、対応する四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対して、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした同一レベルの所定のモーメント（Ｘ軸又はＹ軸に直交する方向への回転駆動力）がそれぞれ反時計方向に発生するように通電制御されるようになっている（第６４図参照）。
具体的には、Ｘ軸上の駆動コイル７５１の内側コイル辺７５１ａ部分にはＸ軸上の原点０方向から正方向に向けて通電方向が設定され、Ｘ軸上の駆動コイル７５３の内側コイル辺７５３ａ部分にはＸ軸上の負方向から原点０方向に向けて通電方向が設定制御されている。又、Ｙ軸上の駆動コイル７５２の内側コイル辺７５２ａ部分にはＹ軸上の原点０方向から正方向に向けて通電方向が設定され、Ｙ軸上の駆動コイル７５４の内側コイル辺７５４ａ部分にはＹ軸上の負方向から原点０方向に向けて通電方向が設定制御されている。
そして、各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、各被駆動磁石６Ａ〜６に対して同一の電磁力を出力し得るように、通電電流の大きさは同一に設定されている。
第６４図では、同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを介して所定の範囲内で反時計方向に回転駆動されることとなる。
即ち、駆動コイル７５１〜７５４の各コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、当該コイル辺７５１ａ〜７５４ａ内に点線の矢印で示す所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７５１〜７５４が固定プレート８に固定されているために生じる）で、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、反時計方向）に反発駆動され、この四つの各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる各電磁駆動力（同一レベルの所定の回転モーメント）のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面上で（所定の範囲内で）反時計方向に回転駆動される。
（制御モードＥ１０）
この制御モードＥ１０は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上で時計回り方向（右回り）に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための制御モードの一例を示す（第６４図参照）。
この制御モードＥ１０では、日の字型駆動コイル７５１〜７５４と各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御される。
この場合、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極Ｎ，Ｓは、前記Ｅ１〜Ｅ９の場合と同一に設定されている。又、日の字型駆動コイル７５１〜７５４については、対応する四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対して、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした同一レベルの所定のモーメント（Ｘ軸又はＹ軸に直交する方向への回転駆動力）がそれぞれ時計方向（右回り）に発生するように前記制御モードＥ９の場合とは逆向きに通電制御されるようになっている。
第６４図では、同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを介して所定の範囲内で反時計方向に回転駆動されることとなる。
即ち、駆動コイル７５１〜７５４の各コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、当該コイル辺７５１ａ〜７５４ａ内に点線の矢印で示す所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７５１〜７５４が固定プレート８に固定されているために生じる）で、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、時計回り方向）に反発駆動され、この四つの各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる各電磁駆動力（同一レベルの所定の回転モーメント）のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面上で（所定の範囲内で）時計回り方向に回転駆動される。
その他の構成及びその動作，機能等については、前記第１１の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、前記第１１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、更に、この第１４の実施形態では、前記電磁駆動手段により出力される各電磁駆動力をＸ軸又はＹ軸に対して直交する方向に且つ回転する方向に出力し得るので、別途新たに回転駆動手段を装備することなく、可動テーブル部に対する所定角度内での回転駆動が可能となるという利点があり、その汎用化を更に高めることができる。
ここで、前記第１４の実施形態において、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ｅ１〜Ｅ１０の制御モードに分けて電磁駆動手段１４５を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＥ２では被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの各通電方向を制御モードＥ１の場合とは逆の方向に設定し、駆動コイル７５１，７５３の通電方向を制御モードＥ１の場合と同一に設定する等、同等に機能するのであれば、他の制御手法で電磁駆動手段１４５を駆動制御するように構成してもよい。
又、前記第１４の実施形態において、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの装備箇所と日の字状駆動コイル７５１〜７５４の装備箇所とを入れ換えてもよい。この場合は、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが固定子側に装備され、日の字状駆動コイル７５１〜７５４が可動子側に装備されることとなる。
更に、前記実施形態では各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを電磁石で構成した場合を例示したが、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄをそれぞれ永久磁石で構成してもよい。
この被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの各々を永久磁石とすることにより当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの周囲の電気的な配線が一切不要となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの装備箇所の空間領域を小さくすることができる。したがって、その分、装置全体の小型軽量化が可能となり、生産性および保守性の向上を図ることができ、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを電磁石とした場合に比較して、その通電駆動が不要となることから全体的に電力消費を抑制することができる。これにより、装置全体のランニングコストを大幅に低減することができ、電磁駆動手段４の駆動制御に際しては複数の各駆動コイル７５１〜７５４の通電方向の切り換え制御のみで可動テーブル１を任意の方向に移送駆動することができる。したがって、可動テーブル１の移動方向の切替えに際しての迅速な応答が可能となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの断線事故等の発生が皆無となるので、装置全体の耐久性を大幅に向上させることができるという利点がある。
この第１４の実施形態は、前記第１１の実施形態における電磁駆動手段１４２に代えて他の電磁駆動手段１４５を装備し、同時に、この電磁駆動手段１４５を効率よく駆動するための動作制御系２０５を、前記動作制御系２０２に代えて装備した点に特徴を有する。
即ち、本実施形態における電磁駆動手段１４５は、前記第１１の実施形態における電磁駆動手段１４２において装備した四個の日の字状駆動コイル７２１，７２２，７２３，７２４をそれぞれ９０°回転させた状態で固定プレート８に装備し、これを日の字状駆動コイル７５１，７５２，７５３，７５４とした点に特徴を有する。同時に、これに対応して、前記動作制御系２０５による制御内容に新たに回転制御機能（制御モード９，１０）を付加した点に特徴を有する。
これにより、この第１１の実施形態は、前記第１１の実施形態では原理的に不可能であった可動テーブル１に対する限定範囲での回転駆動を、新たに別の駆動手段を装備することなく可能とした。
以下、これを説明する。
まず、この第１４の実施形態は、前記第１１の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４５とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、前記各実施形態の場合と同様に、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第５第９図に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４５について〕
電磁駆動手段１４５は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル部１５の移送方向に沿って所定の移動力（駆動力）を付与する機能を備えている。この電磁駆動手段１４５は、前記可動テーブル１と補助テーブル５との間に配設されている。
この電磁駆動手段１４５は、具体的には、日の字状に形成された四個の駆動コイル７５１，７５２，７５３，７５４と、この各駆動コイル７５１〜７５４の中央部に位置する内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａに個別に対応して前記補助テーブル５上に装備された四個の被駆動磁石６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄと、前記四個の駆動コイル７５１〜７５４を所定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。
前記各日の字状駆動コイル７５１〜７５４は、その中央部に位置する内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａが、固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上の各軸上に沿って重合された状態にて、前記Ｘ軸上およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
このため、この内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａにそれぞれ個別に対向して配置される四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対しては、後述するように、当該各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ（即ち、Ｘ軸又はＹ軸）に直交する方向に電磁駆動力が出力されるようになっている。
そして、木実施形態では、各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａに通電される電流の向きを目的に合わせて可変制御することにより、前記可動テーブル１を所定範囲内で回転駆動することが可能な構成となっている。
また、この四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、外部からの通電制御が可能な電磁石で構成され、前記各日の字状駆動コイルの内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａに対応して、Ｘ軸上およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
固定プレート８は第５９図に示すように、前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。この日の字状の各駆動コイル７５１〜７５４と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段４の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４は、作動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄとの間で、当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａに直交する方向（即ち、対応するＸ軸又はＹ軸に直交する方向）に反発駆動する電磁駆動力を発生する。
また、各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａに直交しない方向（各コイル辺７５１ａ〜７５４ａに斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように少なくとも二以上の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
更に、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４の前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに面する内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分には、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極面に近接して（ほぼ当接した状態で）配設されている。この制動用プレート９は本実施形態では一枚のものが使用され、その周囲の一部又は全部が前記ケース本体３に固着されている。
電磁駆動手段１４５の一部を構成する四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、本実施形態では第６０図に示すように、磁極の端面（各駆動コイル７５１〜７５４の各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａとの対向面）を四角形状とした電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
このため、本実施形態にあっては、例えば四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電されて各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが稼働状態に設定され、その後に、又は同時に、所定の制御モードに従って各駆動コイル７５１〜７５４が稼働状態に設定されて通電が開始される。そして、各駆動コイル７５１〜７５４を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその移送駆動力に関する電磁駆動手段１４５の働き（各駆動コイル７５１〜７５４と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する通電駆動）については、第６図２乃至第６４図にて詳述する。
電磁駆動手段１４５の主要部を成す四個の日の字状駆動コイル７５１〜７５４は、第５９図〜第６０図に示すように、二つの角形小コイル部Ｋａ，Ｋｂの組合せからなり、全体的に日の字状に構成されている。そして、二つの角形小コイル部Ｋａ，Ｋｂが相互に当接する部分のコイル辺（内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分）には、常に電流の向き（一方と他方の角形小コイル部の当接する部分のコイル辺内には流す電流の向き）が同方向となるように設定制御されている。このため、その向きを変える場合には、二つの角形小コイル部Ｋａ，Ｋｂ内の通電方向が同時に変化するようになっている。
この場合、この第１４の実施形態では、電磁石からなる前記四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電方向は後述するように予め特定されていることから、四個の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４の各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分の通電方向および通電電流の大小（通電停止制御を含めて）が、前記可動テーブル部１５の移送方向に対応して動作制御系２０５により、設定制御される。
これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って所定の方向（内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分にそれぞれ直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力されることとなる。
又、四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２５の説明箇所（第６２図〜第６４図）で詳述する。
ここで、前記各駆動コイル７５１〜７５４の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該各駆動コイル７５１〜７５４の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料を充填装備してもよい。
〔動作制御系２０５について〕
次に、この第１４の実施形態における動作制御系２０５について詳述する。
この第１４の実施形態において、前記各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを個別に通電制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０５が、電磁駆動手段１４５に併設されている（第６１図参照）。
この動作制御系２０５は、前記各日の字状駆動コイル７５１〜７５４に対応して装備された各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極を個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁力強度を個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能と、前記各日の字状駆動コイル７５１〜７５４の内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分の通電方向を所定の方向（一方又は他方）に外部からの指令に応じて設定し維持する通電方向設定機能と、この各日の字状駆動コイル７５１〜７５４への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能とを備え、これらの諸機能による動作を適度に調整しながら前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能を備えている。
そして、この動作制御系２０５は、前記諸機能を実行するために、第６１図に示すように、前記電磁駆動手段１４５の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４および四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１５と、このテーブル駆動制御手段２１５に併設され前記可動テーブル１の移動方向，回転方向，およびその動作量等が特定された複数の通電制御モード（本実施形態ではＥ１〜Ｅ１０の１０個の制御モード）にかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２５と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
テーブル駆動制御手段２１５には、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。又、このテーブル駆動制御手段２１５には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０５が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２５の複数の制御モードＥ１〜Ｅ１０に総合的に包含され、動作指令入力部２４を介して入力されるオペレータからの指令で選択される制御モードＥ１〜Ｅ１０の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
本実施形態に係るテーブル駆動制御手段２１５は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２５から選択し前記各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１５Ａと、この主制御部２１５Ａに選択設定され所定の制御モード（Ｅ１〜Ｅ１０）に従って各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１５Ｂとを備えている。
又、主制御部２１５Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段１４５の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
〔プログラム記憶部２２５について〕
前記テーブル駆動制御手段２１５は、プログラム記憶部２２５に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の制御モード）に従って、前記電磁駆動手段１４５の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、本実施形態に係るプログラム記憶部２２５には、前記四個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムと、この四個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄの通電方向が特定され磁極のＮ極又はＳ極（又は通電停止）は設定された場合に機能しこれに対応して四個の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４に対する通電方向およびその通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル用の通電制御プログラムが記憶されている。同時に、これらの各通電制御プログラムの動作のタイミングが、１０組の制御モードＥ１〜Ｅ１０に整理されて記憶されている（第６２図〜第６４図参照）。
次に、この第１４の実施形態における１０組の制御モードＥ１乃至Ｅ１０について、第６２図〜第６４図に基づいて説明する。
第６２図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、またＹ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＥ１乃至Ｅ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第６２図において、各制御モードＥ１〜Ｅ４では、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定されている。又、四個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については、各磁極のＮ極又はＳ極が通電制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）、設定制御されている。
即ち、この第１４の実施形態では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの前記日の字状駆動コイル７５１，７５２に対向する端面部の磁極を、被駆動磁石６Ａ，６ＢではＮ極に、被駆動磁石６Ｃ，６ＤではＳ極に、それぞれ設定され、制御モードＥ１〜Ｅ４が異なっても当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極は固定された状態に設定制御されている。
（制御モードＥ１）
この第１４の実施形態における制御モードＥ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの例である（第６２図参照）。
この制御モードＥ１では、Ｙ軸上の日の字状駆動コイル７５２，７５４及びこれに対応して装備された被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが通電制御され、Ｘ軸上の日の字状駆動コイル７５１，７５３及びこれに対応して装備された被駆動磁石６Ａ，６Ｃが、通電停止制御される。
そして、Ｙ軸上の日の字状駆動コイル７５２，７５４の通電方向は、日の字状駆動コイル７５２の内側コイル辺７５２ａ部分ではＹ軸の正方向からＹ軸に沿って原点０に向かう方向に設定制御され、同じく日の字状駆動コイル７５４の内側コイル辺７５４ａ部分ではＹ軸の負方向からＹ軸に沿って原点に向かう方向に設定制御される。
又、被駆動磁石６Ｂ，６Ｄでは、Ｙ軸上の被駆動磁石６Ｂの内側コイル辺７５２ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され、同じくＹ軸上の被駆動磁石６Ｄの前記内側コイル辺７５４ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
このため、駆動コイル７５２，７５４のコイル辺７５２ａ，７５４ａ部分では、当該コイル辺７５２ａ，７５４ａ内に（図中の左方向：点線の矢印で示す）所定の電磁力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７５２，７５４が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動され、この二つの被駆動磁石６Ｂ，６Ｄに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に移送される。
又、移送方向のずれに際しては、二つの被駆動磁石６Ｂ，６Ｄ又は駆動コイル７５２，７５４に対する通電電流の大きさが調整され、これによって二つの被駆動磁石６Ｂ，６Ｄに生じる電磁駆動力のバランスが維持され、移送方向のずれが修正される。
（制御モードＥ２）
この制御モードＥ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための制御モードの例である（第６２図参照）。
この制御モードＥ２では、Ｘ軸上の駆動コイル７５２，７５４のコイル辺７５２ａ，７５４ａ部分の通電方向を前記制御モードＥ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＥ１の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７５２，７５４のコイル辺７２１ａ，７２４ａ部分では、前記制御モードＥ１の場合と同様の原理で制御モードＥ１の場合とは逆向きの電磁力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、この二つの被駆動磁石６Ｂ，６Ｄに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＥ３）
この制御モードＥ３は、可動テーブル１をＹ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例である（第６２図参照）。
この制御モードＥ３においては、Ｘ軸上の日の字状駆動コイル７５１，７５３及びこれに対応して装備された被駆動磁石６Ａ，６Ｃが通電制御され、Ｙ軸上の日の字状駆動コイル７５２，７５４及びこれに対応して装備された被駆動磁石６Ｂ，６Ｄが通電停止制御される。
そして、Ｘ軸上の日の字状駆動コイル７５１，７５３の通電方向は、日の字状駆動コイル７５１の内側コイル辺７５１ａ部分ではＸ軸に沿って原点０方向から正方向に向かう方向に設定制御され、同じく日の字状駆動コイル７５３の内側コイル辺７５３ａ部分ではＸ軸に沿って原点０方向から負方向に向かう方向に設定制御される。
又、被駆動磁石６Ａ，６Ｃでは、Ｘ軸上の被駆動磁石６Ａの内側コイル辺７５１ａに対向する端面部がＮ極に固定制御され、同じくＸ軸上の被駆動磁石６Ｃの前記内側コイル辺７５３ａに対向する端面部がＳ極に固定制御されている。
このため、駆動コイル７５１，７５３のコイル辺７５１ａ，７５３ａ部分では、当該各コイル辺７５１ａ，７５３ａ内に所定の電磁力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７５１，７５３が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、この二つの被駆動磁石６Ａ，６Ｃに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
可動テーブル部１５の位置ずれに際しては、前記制御モードＥ１の場合と同様の補正動作が実行される。
（制御モードＥ４）
この制御モードＥ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第６２図参照）。
この制御モードＥ４では、Ｘ軸上の駆動コイル７５１，７５３のコイル辺７５１ａ，７５３ａ部分の通電方向を前記制御モードＥ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＥ３の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７５１，７５３のコイル辺７５１ａ，７５３ａ部分では、前記制御モードＥ３の場合と同様の原理で当該制御モードＥ３の場合とは逆向きの電磁力が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、この二つの被駆動磁石６Ａ，６Ｃに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。可動テーブル１の位置ずれに際しては、前記制御モードＢ３の場合と同様の補正動作が実行される。
続いて、第６３図に、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＥ５乃至Ｅ８の一例（図表化したもの）を示す。
この第６３図において、各制御モードＥ５〜Ｅ８では、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定され、四個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については各磁極のＮ極又はＳ極が、制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）設定制御されている。
（制御モードＥ５）
この第１４の実施形態における制御モードＥ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示す（第６３図参照）。
この制御モードＥ５では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その通電方向（磁極Ｎ，Ｓ）は前記各制御モードＥ１〜Ｅ４の場合と同様に固定されている。即ち、Ｘ軸上，Ｙ軸上の正方向に配置された被駆動磁石６Ａ，６Ｂは、その各日の字状駆動コイル７５１，７５２に対向する端面部分がＮ極に設定されている。又、Ｘ軸上，Ｙ軸上の負方向に配置された被駆動磁石６Ｃ，６Ｄは、その各日の字状駆動コイル７５３，７５４に対向する端面部分がＳ極に設定されている。
又、制御モードＥ５では、四個の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４も同時に通電駆動される。具体的には、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４の各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、前記制御モードＥ１とＥ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＥ１，Ｅ３の場合と同様の向き（第６３図の右方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６３図の制御モードＥ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θ（Ｘ軸との角度θ）は、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＥ６）
この制御モードＥ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６３図参照）。
この制御モードＥ６では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＢ１〜Ｂ５の場合と同一に設定されている。
このため、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４も前記制御モードＥ２とＥ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、前記制御モードＥ２，Ｅ４の場合と同様の向き（第６３図の左方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６３図の制御モードＥ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＥ７）
この制御モードＥ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示す（第６３図参照）。
この制御モードＥ７では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＥ１〜Ｅ６の場合と同様に固定されている。
この制御モードＥ７の場合、四個の各日の字状駆動コイル７５１〜７５４も同時に通電駆動される。具体的には、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４では、その各コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分で、前記制御モードＥ２とＥ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。
このため、前記制御モードＥ２，Ｅ３の場合と同様の向き（第６３図の左方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６３図の制御モードＥ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＥ８）
この制御モードＥ８は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための制御モードの一例を示すものである（第６３図参照）。
この制御モードＥ８では、四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＥ１〜Ｅ７の場合と同様に固定されている。
この制御モードＥ８の場合、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４の各コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、前記制御モードＥ１とＥ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＥ１，Ｅ４の場合と同様の向き（第６３図の右方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６３図の制御モードＥ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度θは、各日の字状駆動コイル７５１〜７５４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＥ９）
この制御モードＥ９は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面上で反時計方向（左回り）に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための通電制御モードの一例を示すものである（第６４図参照）。
この制御モードＥ９では、日の字状駆動コイル７５１〜７５４と各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御される。この場合、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極Ｎ，Ｓは、前記Ｅ１〜Ｅ８の場合と同一に設定されている。
又、日の字状駆動コイル７５１〜７５４については、対応する四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対して、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした同一レベルの所定のモーメント（Ｘ軸又はＹ軸に直交する方向への回転駆動力）がそれぞれ反時計方向に発生するように通電制御されるようになっている（第６４図参照）。
具体的には、Ｘ軸上の駆動コイル７５１の内側コイル辺７５１ａ部分にはＸ軸上の原点０方向から正方向に向けて通電方向が設定され、Ｘ軸上の駆動コイル７５３の内側コイル辺７５３ａ部分にはＸ軸上の負方向から原点０方向に向けて通電方向が設定制御されている。又、Ｙ軸上の駆動コイル７５２の内側コイル辺７５２ａ部分にはＹ軸上の原点０方向から正方向に向けて通電方向が設定され、Ｙ軸上の駆動コイル７５４の内側コイル辺７５４ａ部分にはＹ軸上の負方向から原点０方向に向けて通電方向が設定制御されている。
そして、各内側コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、各被駆動磁石６Ａ〜６に対して同一の電磁力を出力し得るように、通電電流の大きさは同一に設定されている。
第６４図では、同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを介して所定の範囲内で反時計方向に回転駆動されることとなる。
即ち、駆動コイル７５１〜７５４の各コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、当該コイル辺７５１ａ〜７５４ａ内に点線の矢印で示す所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７５１〜７５４が固定プレート８に固定されているために生じる）で、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、反時計方向）に反発駆動され、この四つの各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる各電磁駆動力（同一レベルの所定の回転モーメント）のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面上で（所定の範囲内で）反時計方向に回転駆動される。
（制御モードＥ１０）
この制御モードＥ１０は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上で時計回り方向（右回り）に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための制御モードの一例を示す（第６４図参照）。
この制御モードＥ１０では、日の字型駆動コイル７５１〜７５４と各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが同時に通電制御される。
この場合、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極Ｎ，Ｓは、前記Ｅ１〜Ｅ９の場合と同一に設定されている。又、日の字型駆動コイル７５１〜７５４については、対応する四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに対して、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした同一レベルの所定のモーメント（Ｘ軸又はＹ軸に直交する方向への回転駆動力）がそれぞれ時計方向（右回り）に発生するように前記制御モードＥ９の場合とは逆向きに通電制御されるようになっている。
第６４図では、同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを介して所定の範囲内で反時計方向に回転駆動されることとなる。
即ち、駆動コイル７５１〜７５４の各コイル辺７５１ａ〜７５４ａ部分では、当該コイル辺７５１ａ〜７５４ａ内に点線の矢印で示す所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（日の字状駆動コイル７５１〜７５４が固定プレート８に固定されているために生じる）で、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、時計回り方向）に反発駆動され、この四つの各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに生じる各電磁駆動力（同一レベルの所定の回転モーメント）のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面上で（所定の範囲内で）時計回り方向に回転駆動される。
その他の構成及びその動作，機能等については、前記第１１の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、前記第１１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、更に、この第１４の実施形態では、前記電磁駆動手段により出力される各電磁駆動力をＸ軸又はＹ軸に対して直交する方向に且つ回転する方向に出力し得るので、別途新たに回転駆動手段を装備することなく、可動テーブル部に対する所定角度内での回転駆動が可能となるという利点があり、その汎用化を更に高めることができる。
ここで、前記第１４の実施形態において、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ｅ１〜Ｅ１０の制御モードに分けて電磁駆動手段１４５を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＥ２では被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの各通電方向を制御モードＥ１の場合とは逆の方向に設定し、駆動コイル７５１，７５３の通電方向を制御モードＥ１の場合と同一に設定する等、同等に機能するのであれば、他の制御手法で電磁駆動手段１４５を駆動制御するように構成してもよい。
又、前記第１４の実施形態において、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの装備箇所と日の字状駆動コイル７５１〜７５４の装備箇所とを入れ換えてもよい。この場合は、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄが固定子側に装備され、日の字状駆動コイル７５１〜７５４が可動子側に装備されることとなる。
更に、前記実施形態では各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを電磁石で構成した場合を例示したが、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄをそれぞれ永久磁石で構成してもよい。
この被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの各々を永久磁石とすることにより当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの周囲の電気的な配線が一切不要となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの装備箇所の空間領域を小さくすることができる。したがって、その分、装置全体の小型軽量化が可能となり、生産性および保守性の向上を図ることができ、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを電磁石とした場合に比較して、その通電駆動が不要となることから全体的に電力消費を抑制することができる。これにより、装置全体のランニングコストを大幅に低減することができ、電磁駆動手段４の駆動制御に際しては複数の各駆動コイル７５１〜７５４の通電方向の切り換え制御のみで可動テーブル１を任意の方向に移送駆動することができる。したがって、可動テーブル１の移動方向の切替えに際しての迅速な応答が可能となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの断線事故等の発生が皆無となるので、装置全体の耐久性を大幅に向上させることができるという利点がある。
次に、第１５の実施形態を、第６５図乃至第７０図に基づいて説明する。
この第１５の実施形態は、前記第１３の実施形態における電磁駆動手段１４４（第２４図参照）に代えて、他の電磁駆動手段１４６（第３５図参照）を装備した点に特徴を備えている。
本実施形態における電磁駆動手段１４６は、具体的には、前記第１３の実施形態における電磁駆動手段１４４の四個の方形状駆動コイルとこれに対応して装備された各被駆動コイルとを、各方形状駆動コイル毎に９０°回転した状態にて配設し装備した点に構造上の特徴を備えている。これにより、任意の方向への移動と共に可動テーブル部１５に対する同一面上での回転駆動を、新たに別の回転駆動手段を装備することなく実現した点に動作上の特徴を備えている。
又、この電磁駆動手段１４６を効率よく駆動するための動作制御系２０６を、前記第１３の実施形態における動作制御系２０４に代えて装備した点に特徴を備えている。
以下、これを詳細に説明する。
まず、この第１５の実施形態は、前記第１３の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４６とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第６図５に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４６について〕
電磁駆動手段１４６は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル部１５の移送方向に沿って所定の移動力（駆動力）を付与する機能を備えている。この電磁駆動手段１４６は、前記可動テーブル１と補助テーブル５との間に配設されている。
この電磁駆動手段１４６は、具体的には、四角形状に形成された四個の方形状駆動コイル７６１，７６２，７６３，７６４と、この各方形状駆動コイル７６１〜７６４のＸ軸およびＹ軸に平行に位置する平行コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ（符号は、第６５図中で反時計方向に順次付す）に個別に対応して配設され前記補助テーブル５上に装備された八個の各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｂ，１６Ｂ，６Ｃ，１６Ｃ，６Ｄ，１６Ｄと、前記各四個の方形状駆動コイル７６１〜７６４を所定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。
前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４は、対向する二つの辺が固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上のＸ軸又はＹ軸を挟んでこれに平行するように、前記Ｘ軸上又はＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
又、合計八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、外部から個別に通電制御が可能な電磁石で構成され、前記各方形状駆動コイルのＸ軸又はＹ軸に平行なコイル辺７６１ａ〜７６４ａおよび外側コイル辺７６１ｂ〜７６４ｂの中央領域に対応して、それぞれ個別に配設されている。
固定プレート８は、第６５図に示すように前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。ここで、前記方形状の各駆動コイル７６１〜７６４と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段１４６の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、各方形状駆動コイル７６１〜７６４は、作動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを各コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，７６１ｂ〜７６４ｂに直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。この場合、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの移動方向の中心軸線が前記Ｘ軸又はＹ軸に直交するように設定されている。
また、各コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，７６１ｂ〜７６４ｂに直交しない方向（各コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，７６１ｂ〜７６４ｂに対しては斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように少なくとも二以上の方形状駆動コイル７６１，７６２，７６３又は７６４にかかる各被駆動磁石に対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
電磁駆動手段１４６の一部を構成する各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、本実施形態では第６６図に示すように、磁極の端面（各駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，７６１ｂ〜７６４ｂとの対向面）が四角形状の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上又はＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
そして、本実施形態にあっては、例えば八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電されて当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが稼働状態に設定され、その後に又同時に、後述する所定の制御モードに従って各方形状駆動コイル７６１〜７６４が稼働状態に設定され通電が開始される。そして、各駆動コイル７６１〜７６４を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその移送駆動力に関する電磁駆動手段１４６の働き（各駆動コイル７６１〜７６４と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する通電駆動）については、第６７図〜第６９図にて詳述する。
この場合、この第１５の実施形態では、電磁石からなる前記八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が後述するように予め特定されていることから、八個の方形状駆動コイル７６１〜７６４の各内側コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，外側コイル辺７６１ｂ〜７６４ｂ部分の通電方向および通電電流の大小（通電停止制御を含めて）が、前記可動テーブル１の移送方向に対応して動作制御系２０６により、設定制御される。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って所定の方向（各コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，７６１ｂ〜７６４ｂ部分にそれぞれ直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力されることとなる。
又、八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第６８図〜第７０図）で詳述する。
ここで、前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該各駆動コイル７６１〜７６４の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料が充填装備してもよい。
〔動作制御系２０６について〕
次に、この第１５の実施形態における動作制御系２０６について詳述する。
この第１５の実施形態において、前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを個別に通電制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０６が、電磁駆動手段１６４に併設されている（第６７図参照）。
この動作制御系２０６は、前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対応して装備された各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極Ｎ，Ｓを個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁力強度を個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能と、前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４の前記Ｘ軸又はＹ軸に平行なコイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分の通電方向を所定の方向（一方又は他方）に外部からの指令に応じて設定し維持する通電方向設定機能と、この各方形状駆動コイル７６１〜７６４への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能とを有し、これらの諸機能の動作を適度に調整しながら前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能を備えている。
そして、この動作制御系２０６は、前記諸機能を実行するために、第６６図に示すように、前記電磁駆動手段１４６の各方形状駆動コイル７６１〜７６４および八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１６と、このテーブル駆動制御手段２１６に併設され前記可動テーブル１の移動方向，回転方向，およびその動作量等が特定された複数の制御モード（本実施形態ではＦ１〜Ｆ１０の１０個の制御モード）にかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２６と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
又、テーブル駆動制御手段２１６には、各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。更に、このテーブル駆動制御手段２１６には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０６が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２６の複数の制御モードＦ１〜Ｆ１０に総合的に包含され、動作指令入力部２４を介して入力されるオペレータからの指令で選択される制御モードＦ１〜Ｆ１０の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
本実施形態に係るテーブル駆動制御手段２１６は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２６から選択し前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１６Ａと、この主制御部２１６Ａに選択設定され所定の制御モード（Ｆ１〜Ｆ１０）に従って各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１６Ｂとを備えている。
又、主制御部２１６Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段１４６の各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
〔プログラム記憶部２２６について〕
前記テーブル駆動制御手段２１６は、プログラム記憶部２２６に予め記憶された所定の通電制御プログラム（所定の通電制御モードを実行するためのプログラム）に従って、前記電磁駆動手段１４６の各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、本実施形態に係るプログラム記憶部２２６には、前記八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムと、この八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が特定され磁極のＮ極又はＳ極（又は通電停止）が設定された場合に機能しこれに対応して四個の各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対する通電方向およびその通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル用制御プログラムが記憶されている。
同時に、これらの各制御プログラムの動作タイミングが、１０組の制御モードＦ１乃至Ｆ１０に整理されて記憶されている（第６８図〜第７０図参照）。
ここで、この１０組の制御モードＦ１乃至Ｆ１０について、第６８図〜第７０図に基づいて説明する。
第６８図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、またＹ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＦ１乃至Ｆ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第６８図において、各制御モードＦ１〜Ｆ４では、各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定されている。又、八個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については、各磁極のＮ極又はＳ極が制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）、設定制御されている。
即ち、この第１５の実施形態では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの前記方形状駆動コイル７６１，７６２に対向する端面部の磁極を、被駆動磁石６Ａ〜６ＤではＮ極に、被駆動磁石１６Ａ〜１６ＤではＳ極に、それぞれ設定されている。そして、この第１５の実施形態にあっては、この設定された各磁極のＮ，Ｓは、制御モードＦ１〜Ｆ４が異なっても固定された状態に制御されている。
（制御モードＦ１）
この制御モードＦ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第６８図参照）。
この制御モードＦ１では、Ｙ軸上の各方形状駆動コイル７６２，７６４とこれに対応した各被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄが通電制御され、Ｘ軸上の各方形状駆動コイル７６１，７６３及びこれに対応した各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ及び６Ｃ，１６Ｃが通電停止制御されるようになっている。
ここで、Ｙ軸上の方形状駆動コイル７６２，７６４に対応した被駆動磁石６Ｂ，６Ｄは前記各コイル辺７６２ａ，７６４ａに対向する被駆動磁石６Ｂ，６Ｄの端面部がＮ極に固定制御され，コイル辺７６２ｂ，７６４ｂに対向する被駆動磁石１６Ｂ，１６Ｄの端面部がＳ極に固定制御されている。
又、Ｙ軸上の各方形状駆動コイル７６２，７６４に対する通電方向は、方形状駆動コイル７６２に対しては時計方向（右回り）に、又方形状駆動コイル７６４に対しては反時計方向（左回り）に、それぞれ設定されている。
このため、各方形状駆動コイル７６２，７６４の各コイル辺７６２ａ，７６２ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、点線の矢印に示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（方形状駆動コイル７６２，７６４が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動される。
そして、この四つの被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、前記可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に円滑に移送される。
（制御モードＦ２）
この制御モードＦ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第６８図参照）。
この制御モードＦ２では、Ｙ軸上の方形状駆動コイル７６２，７６４の各コイル辺７６２ａ，７６２ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分の通電方向を前記制御モードＦ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＦ１の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７６２，７６４の各コイル辺７６２ａ，７６２ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、前記モードＦ１の場合と同様の原理で逆向きの電磁駆動力（点線の矢印）が発生し、その反力で被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＦ３）
この制御モードＦ３は、可動テーブル３をＹ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第６８図参照）。
この制御モードＦ３では、Ｘ軸上の各方形状駆動コイル７６１，７６３およびこれに対応した各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ及び６Ｃ，１６Ｃが通電制御され、Ｙ軸上の各方形状駆動コイル７６２，７６４及びこれに対応した各被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄが通電停止制御されるようになっている。
ここで、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７６１に対応した被駆動磁石６Ａ，１６Ａの内、前記コイル辺７６１ａに対向する被駆動磁石６Ａの端面部がＮ極に固定制御され，コイル辺７６１ｂに対向する被駆動磁石１６Ａの端面部がＳ極に固定制御されている。
同様に、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７６３に対応した被駆動磁石６Ｃ，１６Ｃの内、前記コイル辺７６３ａに対向する被駆動磁石６Ｃの端面部がＮ極に固定制御され，コイル辺７６３ｂに対向する被駆動磁石１６Ｃの端面部がＳ極に固定制御されている。
又、Ｘ軸上の各方形状駆動コイル７６１，７６３に対する通電方向は、方形状駆動コイル７６１に対しては反時計方向（左回り）に、又方形状駆動コイル７６３に対しては時計方向（右回り）に、それぞれ設定されている。
このため、方形状駆動コイル７６１，７６３の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６３ａ，７６３ｂ部分では、点線の矢印に示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（方形状駆動コイル７６１，７６３が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、この四つの被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＦ４）
この制御モードＦ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６８図参照）。
この制御モードＦ４では、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７６１，７６３の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６３ａ，７６３ｂ部分の通電方向を前記制御モードＦ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＦ３の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７６１，７６３の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６３ａ，７６３ｂ部分では、前記モードＦ３の場合と同様の原理で逆向きの（反対方向の）電磁駆動力（点線の矢印）が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，１６Ａ及び６Ｃ，１６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
続いて、第６８図に、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＦ５乃至Ｆ８の一例（図表化したもの）を示す。
この第６８図において、各制御モードＦ５〜Ｆ８では、前記各制御モードＦ１〜Ｆ４の場合と同様に各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対する直流電流の通電方向を個別に可変設定するように制御され、八個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については前記各制御モードＦ１〜Ｆ４の場合と同様に、各磁極のＮ極又はＳ極が、制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）設定制御されている。
（制御モードＦ５）
この制御モードＦ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６９図参照）。
この制御モードＦ５では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、その通電方向（磁極Ｎ，Ｓの設定）は前記各制御モードＦ１〜Ｆ４の場合と同様に固定されている。
即ち、Ｘ軸上，Ｙ軸上に位置する各方形状駆動コイル７６１〜７６４のコイル辺７６１ａ〜７６４ａに対応して装備された各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、その各コイル辺７６１ａ〜７６４ａに対向する端面部分がそれぞれＮ極に設定されている。又、Ｘ軸上，Ｙ軸上のに位置する各方形状駆動コイル７６１〜７６４のコイル辺７６１ｂ〜７６２ｂに対応して装備された各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄは、その各コイル辺７６１ｂ〜７６４ｂに対向する端面部分がそれぞれＳ極に設定されている。
そして、前記方形状駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、前記制御モードＦ１とＦ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＦ１，Ｆ３の場合と同様の向き（Ｘ軸の正方向とＹ軸の正方向）の電磁駆動力が同時に発生し、その合力が第６８図の制御モードＦ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５は、Ｘ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θ（Ｘ軸との角度θ）は、各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＦ６）
この制御モードＦ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６９図参照）。
この制御モードＦ６では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＦ１〜Ｆ５の場合と同一に設定されている。
このため、各方形状駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、前記制御モードＦ２とＦ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＦ２，Ｆ４の場合と同様の向き（第６８図の左方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６８図の制御モードＦ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＦ７）
この制御モードＦ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６９図参照）。
この制御モードＦ７では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＦ１〜Ｆ６の場合と同様に固定されている。
この制御モードＦ７の場合、各方形状駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、前記制御モードＦ２とＦ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＦ２，Ｆ３の場合と同様の向き（第６８図の左方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６８図の制御モードＦ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＦ８）
この制御モードＦ８は、前記可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第２象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６９図参照）。
この制御モードＦ８では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＦ１〜Ｆ７の場合と同様に固定されている。
この制御モードＦ８の場合、各方形状駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、前記制御モードＦ１とＦ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＦ１，Ｆ４の場合と同様の向き（第６８図の右方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６８図の制御モードＦ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＦ９）
この制御モードＦ９は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上で反時計方向に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための通電制御モードの一例を示すものである（第７０図参照）。
この制御モードＦ９では、各方形状駆動コイル７６１〜７６４と八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとが同時に通電制御される。
この場合、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極Ｎ，Ｓは、前記Ｆ１〜Ｆ８の場合と同一に設定されている。
又、各方形状駆動コイル７６１〜７６４については、対応する八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対して、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした同一レベルの所定のモーメントがそれぞれ反時計方向に発生するように所定の電磁駆動力を出力するように通電制御されるようになっている。
この場合、各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対する通電方向は、この制御モードＦ９では、その何れも反時計方向（左回り）に設定制御されている。
第７０図に、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６ＤのＸ軸およびＹ軸上にそれぞれ生じる同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを介して所定の範囲内で反時計方向に回転駆動されることとなる。
即ち、方形状駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、点線の矢印で示す所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（駆動コイル７６１〜７６４が固定プレート８に固定されているために生じる）で、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、反時計方向）に反発駆動され、この八つの各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる各電磁駆動力（同一レベルの所定の回転モーメント）のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面上で（所定の範囲内で）反時計方向に回転駆動される。
（制御モードＦ１０）
この制御モードＦ１０は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上で時計方向に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための通電制御モードの一例を示すものでる（第７０図参照）。
この制御モードＦ１０では、各方形状駆動コイル７６１〜７６４と八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとが同時に通電制御される。この場合、各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対しては、前記制御モードＦ９の場合とは逆向きの制御電流が通電されるようになっている（第７０図の制御モードＦ１０の欄参照）。
この場合、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極Ｎ，Ｓは、前記Ｆ１〜Ｆ９の場合と同一に設定されている。又、各方形状駆動コイル７６１〜７６４については、対応する八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対して、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした同一レベルの所定のモーメント（回転駆動力）がそれぞれ時計方向に発生するように、前記制御モードＦ９の場合とは逆の方向に通電制御され、これにより所定の電磁駆動力を出力されるように設定されている。
第７０図にこれを示す。図では、同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを介して所定の範囲内で時計方向（右回り）に回転駆動されることとなる。
その他の構成及びその動作，機能等については、前記第１３の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、前記第１３の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、更に、この第１５の実施形態では、前記電磁駆動手段により出力される各電磁駆動力をＸ軸又はＹ軸に対して直交する方向に且つ回転する方向に出力し得るので、別途新たに回転駆動手段を装備することなく、可動テーブル部１５に対する所定角度内での回転駆動が可能となるという利点があり、その汎用化を更に高めることができる。
尚、この第１５の実施形態において、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ｆ１〜Ｆ１０の各制御モードに分けて電磁駆動手段１４２を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＦ２では被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの各通電方向を制御モードＦ１の場合とは逆の方向に設定し、駆動コイル７６１，７６３の通電方向を制御モードＦ１の場合と同一に設定する等、同等に機能するのであれば、他の制御手法で電磁駆動手段１６４を駆動制御するようにこ構成してもよい。
又、この第１５の実施形態において、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの装備箇所と方形状駆動コイル７６１〜７６４の装備箇所とを入れ換えてもよい。この場合は、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが固定子側に装備され、方形状駆動コイル７６１〜７６４が可動子側に装備されることとなる。
更に、この第１５の実施形態では、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを電磁石で構成した場合を例示したが、永久磁石で構成してもよい。
この被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを永久磁石とすることにより、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの周囲の電気的な配線が一切不要となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの装備箇所の空間領域を小さくすることができる。したがって、その分、装置全体の小型軽量化が可能となり、生産性および保守性の向上を図ることができ、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを電磁石とした場合に比較して、その通電駆動が不要となることから全体的に電力消費を抑制することができる。これにより、装置全体のランニングコストを大幅に低減することができ、電磁駆動手段４の駆動制御に際しては複数の各方形状駆動コイル７６１〜７６４の通電方向の切り換え制御のみで可動テーブル１を任意の方向に移送駆動することができる。したがって、可動テーブル１の移動方向の切替えに際しての迅速な応答が可能となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの断線事故等の発生が皆無となるので、装置全体の耐久性を大幅に向上させることができるという利点がある。
この第１５の実施形態は、前記第１３の実施形態における電磁駆動手段１４４（第２４図参照）に代えて、他の電磁駆動手段１４６（第３５図参照）を装備した点に特徴を備えている。
本実施形態における電磁駆動手段１４６は、具体的には、前記第１３の実施形態における電磁駆動手段１４４の四個の方形状駆動コイルとこれに対応して装備された各被駆動コイルとを、各方形状駆動コイル毎に９０°回転した状態にて配設し装備した点に構造上の特徴を備えている。これにより、任意の方向への移動と共に可動テーブル部１５に対する同一面上での回転駆動を、新たに別の回転駆動手段を装備することなく実現した点に動作上の特徴を備えている。
又、この電磁駆動手段１４６を効率よく駆動するための動作制御系２０６を、前記第１３の実施形態における動作制御系２０４に代えて装備した点に特徴を備えている。
以下、これを詳細に説明する。
まず、この第１５の実施形態は、前記第１３の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４６とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第６図５に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４６について〕
電磁駆動手段１４６は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル部１５の移送方向に沿って所定の移動力（駆動力）を付与する機能を備えている。この電磁駆動手段１４６は、前記可動テーブル１と補助テーブル５との間に配設されている。
この電磁駆動手段１４６は、具体的には、四角形状に形成された四個の方形状駆動コイル７６１，７６２，７６３，７６４と、この各方形状駆動コイル７６１〜７６４のＸ軸およびＹ軸に平行に位置する平行コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ（符号は、第６５図中で反時計方向に順次付す）に個別に対応して配設され前記補助テーブル５上に装備された八個の各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｂ，１６Ｂ，６Ｃ，１６Ｃ，６Ｄ，１６Ｄと、前記各四個の方形状駆動コイル７６１〜７６４を所定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。
前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４は、対向する二つの辺が固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上のＸ軸又はＹ軸を挟んでこれに平行するように、前記Ｘ軸上又はＹ軸上にそれぞれ個別に配設されている。
又、合計八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、外部から個別に通電制御が可能な電磁石で構成され、前記各方形状駆動コイルのＸ軸又はＹ軸に平行なコイル辺７６１ａ〜７６４ａおよび外側コイル辺７６１ｂ〜７６４ｂの中央領域に対応して、それぞれ個別に配設されている。
固定プレート８は、第６５図に示すように前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。ここで、前記方形状の各駆動コイル７６１〜７６４と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段１４６の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、各方形状駆動コイル７６１〜７６４は、作動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを各コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，７６１ｂ〜７６４ｂに直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。この場合、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの移動方向の中心軸線が前記Ｘ軸又はＹ軸に直交するように設定されている。
また、各コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，７６１ｂ〜７６４ｂに直交しない方向（各コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，７６１ｂ〜７６４ｂに対しては斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように少なくとも二以上の方形状駆動コイル７６１，７６２，７６３又は７６４にかかる各被駆動磁石に対する電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
電磁駆動手段１４６の一部を構成する各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、本実施形態では第６６図に示すように、磁極の端面（各駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，７６１ｂ〜７６４ｂとの対向面）が四角形状の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上又はＹ軸上に、それぞれ配設され固着されている。
そして、本実施形態にあっては、例えば八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの一部又は全部に所定の作動電流が通電されて当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが稼働状態に設定され、その後に又同時に、後述する所定の制御モードに従って各方形状駆動コイル７６１〜７６４が稼働状態に設定され通電が開始される。そして、各駆動コイル７６１〜７６４を含む各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその移送駆動力に関する電磁駆動手段１４６の働き（各駆動コイル７６１〜７６４と四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する通電駆動）については、第６７図〜第６９図にて詳述する。
この場合、この第１５の実施形態では、電磁石からなる前記八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が後述するように予め特定されていることから、八個の方形状駆動コイル７６１〜７６４の各内側コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，外側コイル辺７６１ｂ〜７６４ｂ部分の通電方向および通電電流の大小（通電停止制御を含めて）が、前記可動テーブル１の移送方向に対応して動作制御系２０６により、設定制御される。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って所定の方向（各コイル辺７６１ａ〜７６４ａ，７６１ｂ〜７６４ｂ部分にそれぞれ直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力されることとなる。
又、八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第６８図〜第７０図）で詳述する。
ここで、前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４の同一面上における外側および内側には、少なくとも当該各駆動コイル７６１〜７６４の高さ（Ｙ軸方向の）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料が充填装備してもよい。
〔動作制御系２０６について〕
次に、この第１５の実施形態における動作制御系２０６について詳述する。
この第１５の実施形態において、前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを個別に通電制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０６が、電磁駆動手段１６４に併設されている（第６７図参照）。
この動作制御系２０６は、前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対応して装備された各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極Ｎ，Ｓを個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁力強度を個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能と、前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４の前記Ｘ軸又はＹ軸に平行なコイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分の通電方向を所定の方向（一方又は他方）に外部からの指令に応じて設定し維持する通電方向設定機能と、この各方形状駆動コイル７６１〜７６４への通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能とを有し、これらの諸機能の動作を適度に調整しながら前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能を備えている。
そして、この動作制御系２０６は、前記諸機能を実行するために、第６６図に示すように、前記電磁駆動手段１４６の各方形状駆動コイル７６１〜７６４および八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１６と、このテーブル駆動制御手段２１６に併設され前記可動テーブル１の移動方向，回転方向，およびその動作量等が特定された複数の制御モード（本実施形態ではＦ１〜Ｆ１０の１０個の制御モード）にかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２６と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
又、テーブル駆動制御手段２１６には、各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。更に、このテーブル駆動制御手段２１６には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０６が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２６の複数の制御モードＦ１〜Ｆ１０に総合的に包含され、動作指令入力部２４を介して入力されるオペレータからの指令で選択される制御モードＦ１〜Ｆ１０の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
本実施形態に係るテーブル駆動制御手段２１６は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２６から選択し前記各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１６Ａと、この主制御部２１６Ａに選択設定され所定の制御モード（Ｆ１〜Ｆ１０）に従って各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１６Ｂとを備えている。
又、主制御部２１６Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段１４６の各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び四個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
〔プログラム記憶部２２６について〕
前記テーブル駆動制御手段２１６は、プログラム記憶部２２６に予め記憶された所定の通電制御プログラム（所定の通電制御モードを実行するためのプログラム）に従って、前記電磁駆動手段１４６の各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、本実施形態に係るプログラム記憶部２２６には、前記八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石用制御プログラムと、この八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が特定され磁極のＮ極又はＳ極（又は通電停止）が設定された場合に機能しこれに対応して四個の各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対する通電方向およびその通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル用制御プログラムが記憶されている。
同時に、これらの各制御プログラムの動作タイミングが、１０組の制御モードＦ１乃至Ｆ１０に整理されて記憶されている（第６８図〜第７０図参照）。
ここで、この１０組の制御モードＦ１乃至Ｆ１０について、第６８図〜第７０図に基づいて説明する。
第６８図に、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、またＹ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＦ１乃至Ｆ４の一例（図表化したもの）を示す。
この第６８図において、各制御モードＦ１〜Ｆ４では、各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対する直流電流の通電方向を個別に可変制御するように設定されている。又、八個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については、各磁極のＮ極又はＳ極が制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）、設定制御されている。
即ち、この第１５の実施形態では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの前記方形状駆動コイル７６１，７６２に対向する端面部の磁極を、被駆動磁石６Ａ〜６ＤではＮ極に、被駆動磁石１６Ａ〜１６ＤではＳ極に、それぞれ設定されている。そして、この第１５の実施形態にあっては、この設定された各磁極のＮ，Ｓは、制御モードＦ１〜Ｆ４が異なっても固定された状態に制御されている。
（制御モードＦ１）
この制御モードＦ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第６８図参照）。
この制御モードＦ１では、Ｙ軸上の各方形状駆動コイル７６２，７６４とこれに対応した各被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄが通電制御され、Ｘ軸上の各方形状駆動コイル７６１，７６３及びこれに対応した各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ及び６Ｃ，１６Ｃが通電停止制御されるようになっている。
ここで、Ｙ軸上の方形状駆動コイル７６２，７６４に対応した被駆動磁石６Ｂ，６Ｄは前記各コイル辺７６２ａ，７６４ａに対向する被駆動磁石６Ｂ，６Ｄの端面部がＮ極に固定制御され，コイル辺７６２ｂ，７６４ｂに対向する被駆動磁石１６Ｂ，１６Ｄの端面部がＳ極に固定制御されている。
又、Ｙ軸上の各方形状駆動コイル７６２，７６４に対する通電方向は、方形状駆動コイル７６２に対しては時計方向（右回り）に、又方形状駆動コイル７６４に対しては反時計方向（左回り）に、それぞれ設定されている。
このため、各方形状駆動コイル７６２，７６４の各コイル辺７６２ａ，７６２ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、点線の矢印に示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（方形状駆動コイル７６２，７６４が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動される。
そして、この四つの被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、前記可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に円滑に移送される。
（制御モードＦ２）
この制御モードＦ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第６８図参照）。
この制御モードＦ２では、Ｙ軸上の方形状駆動コイル７６２，７６４の各コイル辺７６２ａ，７６２ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分の通電方向を前記制御モードＦ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＦ１の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７６２，７６４の各コイル辺７６２ａ，７６２ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、前記モードＦ１の場合と同様の原理で逆向きの電磁駆動力（点線の矢印）が発生し、その反力で被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＦ３）
この制御モードＦ３は、可動テーブル３をＹ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第６８図参照）。
この制御モードＦ３では、Ｘ軸上の各方形状駆動コイル７６１，７６３およびこれに対応した各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ及び６Ｃ，１６Ｃが通電制御され、Ｙ軸上の各方形状駆動コイル７６２，７６４及びこれに対応した各被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄが通電停止制御されるようになっている。
ここで、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７６１に対応した被駆動磁石６Ａ，１６Ａの内、前記コイル辺７６１ａに対向する被駆動磁石６Ａの端面部がＮ極に固定制御され，コイル辺７６１ｂに対向する被駆動磁石１６Ａの端面部がＳ極に固定制御されている。
同様に、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７６３に対応した被駆動磁石６Ｃ，１６Ｃの内、前記コイル辺７６３ａに対向する被駆動磁石６Ｃの端面部がＮ極に固定制御され，コイル辺７６３ｂに対向する被駆動磁石１６Ｃの端面部がＳ極に固定制御されている。
又、Ｘ軸上の各方形状駆動コイル７６１，７６３に対する通電方向は、方形状駆動コイル７６１に対しては反時計方向（左回り）に、又方形状駆動コイル７６３に対しては時計方向（右回り）に、それぞれ設定されている。
このため、方形状駆動コイル７６１，７６３の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６３ａ，７６３ｂ部分では、点線の矢印に示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（方形状駆動コイル７６１，７６３が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、この四つの被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＦ４）
この制御モードＦ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６８図参照）。
この制御モードＦ４では、Ｘ軸上の方形状駆動コイル７６１，７６３の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６３ａ，７６３ｂ部分の通電方向を前記制御モードＦ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＦ３の場合と同一となっている。
このため、駆動コイル７６１，７６３の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６３ａ，７６３ｂ部分では、前記モードＦ３の場合と同様の原理で逆向きの（反対方向の）電磁駆動力（点線の矢印）が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，１６Ａ及び６Ｃ，１６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
続いて、第６８図に、Ｘ−Ｙ平面座標上の四つの各象限の方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＦ５乃至Ｆ８の一例（図表化したもの）を示す。
この第６８図において、各制御モードＦ５〜Ｆ８では、前記各制御モードＦ１〜Ｆ４の場合と同様に各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対する直流電流の通電方向を個別に可変設定するように制御され、八個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については前記各制御モードＦ１〜Ｆ４の場合と同様に、各磁極のＮ極又はＳ極が、制御モードが異なっても常に変化しないように（固定した状態に）設定制御されている。
（制御モードＦ５）
この制御モードＦ５は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６９図参照）。
この制御モードＦ５では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、その通電方向（磁極Ｎ，Ｓの設定）は前記各制御モードＦ１〜Ｆ４の場合と同様に固定されている。
即ち、Ｘ軸上，Ｙ軸上に位置する各方形状駆動コイル７６１〜７６４のコイル辺７６１ａ〜７６４ａに対応して装備された各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは、その各コイル辺７６１ａ〜７６４ａに対向する端面部分がそれぞれＮ極に設定されている。又、Ｘ軸上，Ｙ軸上のに位置する各方形状駆動コイル７６１〜７６４のコイル辺７６１ｂ〜７６２ｂに対応して装備された各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄは、その各コイル辺７６１ｂ〜７６４ｂに対向する端面部分がそれぞれＳ極に設定されている。
そして、前記方形状駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、前記制御モードＦ１とＦ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＦ１，Ｆ３の場合と同様の向き（Ｘ軸の正方向とＹ軸の正方向）の電磁駆動力が同時に発生し、その合力が第６８図の制御モードＦ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５は、Ｘ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θ（Ｘ軸との角度θ）は、各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＦ６）
この制御モードＦ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６９図参照）。
この制御モードＦ６では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＦ１〜Ｆ５の場合と同一に設定されている。
このため、各方形状駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、前記制御モードＦ２とＦ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＦ２，Ｆ４の場合と同様の向き（第６８図の左方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６８図の制御モードＦ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＦ７）
この制御モードＦ７は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６９図参照）。
この制御モードＦ７では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＦ１〜Ｆ６の場合と同様に固定されている。
この制御モードＦ７の場合、各方形状駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、前記制御モードＦ２とＦ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＦ２，Ｆ３の場合と同様の向き（第６８図の左方向と上方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６８図の制御モードＦ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＦ８）
この制御モードＦ８は、前記可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第２象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第６９図参照）。
この制御モードＦ８では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＦ１〜Ｆ７の場合と同様に固定されている。
この制御モードＦ８の場合、各方形状駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、前記制御モードＦ１とＦ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＦ１，Ｆ４の場合と同様の向き（第６８図の右方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第６８図の制御モードＦ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、各方形状駆動コイル７６１〜７６４及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＦ９）
この制御モードＦ９は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上で反時計方向に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための通電制御モードの一例を示すものである（第７０図参照）。
この制御モードＦ９では、各方形状駆動コイル７６１〜７６４と八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとが同時に通電制御される。
この場合、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極Ｎ，Ｓは、前記Ｆ１〜Ｆ８の場合と同一に設定されている。
又、各方形状駆動コイル７６１〜７６４については、対応する八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対して、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした同一レベルの所定のモーメントがそれぞれ反時計方向に発生するように所定の電磁駆動力を出力するように通電制御されるようになっている。
この場合、各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対する通電方向は、この制御モードＦ９では、その何れも反時計方向（左回り）に設定制御されている。
第７０図に、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６ＤのＸ軸およびＹ軸上にそれぞれ生じる同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを介して所定の範囲内で反時計方向に回転駆動されることとなる。
即ち、方形状駆動コイル７６１〜７６４の各コイル辺７６１ａ，７６１ｂ，７６２ａ，７６２ｂ，７６３ａ，７６３ｂ，７６４ａ，７６４ｂ部分では、点線の矢印で示す所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（駆動コイル７６１〜７６４が固定プレート８に固定されているために生じる）で、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、反時計方向）に反発駆動され、この八つの各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる各電磁駆動力（同一レベルの所定の回転モーメント）のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面上で（所定の範囲内で）反時計方向に回転駆動される。
（制御モードＦ１０）
この制御モードＦ１０は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上で時計方向に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための通電制御モードの一例を示すものでる（第７０図参照）。
この制御モードＦ１０では、各方形状駆動コイル７６１〜７６４と八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとが同時に通電制御される。この場合、各方形状駆動コイル７６１〜７６４に対しては、前記制御モードＦ９の場合とは逆向きの制御電流が通電されるようになっている（第７０図の制御モードＦ１０の欄参照）。
この場合、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄの磁極Ｎ，Ｓは、前記Ｆ１〜Ｆ９の場合と同一に設定されている。又、各方形状駆動コイル７６１〜７６４については、対応する八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対して、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした同一レベルの所定のモーメント（回転駆動力）がそれぞれ時計方向に発生するように、前記制御モードＦ９の場合とは逆の方向に通電制御され、これにより所定の電磁駆動力を出力されるように設定されている。
第７０図にこれを示す。図では、同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを介して所定の範囲内で時計方向（右回り）に回転駆動されることとなる。
その他の構成及びその動作，機能等については、前記第１３の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、前記第１３の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、更に、この第１５の実施形態では、前記電磁駆動手段により出力される各電磁駆動力をＸ軸又はＹ軸に対して直交する方向に且つ回転する方向に出力し得るので、別途新たに回転駆動手段を装備することなく、可動テーブル部１５に対する所定角度内での回転駆動が可能となるという利点があり、その汎用化を更に高めることができる。
尚、この第１５の実施形態において、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ｆ１〜Ｆ１０の各制御モードに分けて電磁駆動手段１４２を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＦ２では被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの各通電方向を制御モードＦ１の場合とは逆の方向に設定し、駆動コイル７６１，７６３の通電方向を制御モードＦ１の場合と同一に設定する等、同等に機能するのであれば、他の制御手法で電磁駆動手段１６４を駆動制御するようにこ構成してもよい。
又、この第１５の実施形態において、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの装備箇所と方形状駆動コイル７６１〜７６４の装備箇所とを入れ換えてもよい。この場合は、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが固定子側に装備され、方形状駆動コイル７６１〜７６４が可動子側に装備されることとなる。
更に、この第１５の実施形態では、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを電磁石で構成した場合を例示したが、永久磁石で構成してもよい。
この被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを永久磁石とすることにより、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの周囲の電気的な配線が一切不要となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの装備箇所の空間領域を小さくすることができる。したがって、その分、装置全体の小型軽量化が可能となり、生産性および保守性の向上を図ることができ、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄを電磁石とした場合に比較して、その通電駆動が不要となることから全体的に電力消費を抑制することができる。これにより、装置全体のランニングコストを大幅に低減することができ、電磁駆動手段４の駆動制御に際しては複数の各方形状駆動コイル７６１〜７６４の通電方向の切り換え制御のみで可動テーブル１を任意の方向に移送駆動することができる。したがって、可動テーブル１の移動方向の切替えに際しての迅速な応答が可能となり、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの断線事故等の発生が皆無となるので、装置全体の耐久性を大幅に向上させることができるという利点がある。
次に、第１６の実施形態を、第７１図乃至第７６図に基づいて説明する。
この第１６の実施形態は、前記第１５の実施形態における電磁駆動手段１４６（第６６図参照）に代えて他の電磁駆動手段１４７（第７１図，第７２図参照）を装備した点に特徴を備えている。
具体的には、この第１６の実施形態における電磁駆動手段１４７は、前記第１５の実施形態における電磁駆動手段１４６の四個の方形状駆動コイルに代えて十字枠状に形成された十字状駆動コイル７７１を装備した点に構造上の特徴を有し、これにより、任意の方向への移動と共に可動テーブル部１５に対する同一面上での回転駆動をも可能とした点に動作上の特徴を備えている。
ている。
又、この電磁駆動手段１４７を効率よく駆動するための動作制御系２０７を、前記第１５の実施形態における動作制御系２０６に代えて装備し、同一面上での回転駆動を可能とした点に特徴を備えている。
以下、これを詳細に説明する。
まず、この第１６の実施形態は、前記第１５の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４７とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第３第４図に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４７について〕
電磁駆動手段１４７は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル部１５の移送方向に沿って所定の移動力（駆動力）を付与する機能を備えている。この電磁駆動手段１４７は、前記可動テーブル１と補助テーブル５との間に配設されている。
この電磁駆動手段１４７は、具体的には、十字枠状に形成された十字状駆動コイル７７１と、この十字状駆動コイル７７１のＸ軸およびＹ軸に平行に位置する平行コイル辺７７１ａ，７７１ｂ，７７１ｃ，７７１ｄ，７７１ｅ，７７１ｆ，７７１ｇ，７７１ｈ（符号は、第７２図中で反時計方向に順次付す）に個別に対応して配設され前記補助テーブル５上に装備された各八個の被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｂ，１６Ｂ，６Ｃ，１６Ｃ，６Ｄ，１６Ｄと、前記十字状駆動コイル７７１を所定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。
前記十字状駆動コイル７７１は、その中心点が固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上の原点に配設され、四方に張り出した対向する二つの辺がＸ−Ｙ面上の各軸を挟んで、これに平行に、前記Ｘ軸およびＹ軸に沿ってそれぞれ配設されている。
また、合計八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、外部から個別に通電制御が可能な電磁石で構成され、前記十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈに対応して、それぞれ個別に配設されている（第７１図〜第７２図参照）。
固定プレート８は、第７１図に示すように前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。又、前記十字状駆動コイル７７１と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段１４７の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、十字状駆動コイル７７１は、稼動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈに直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。この場合、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの移動方向の中心軸線が前記Ｘ軸又はＹ軸に直交するように設定されている。
又、各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈに直交しない方向（各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈに対しては斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように、Ｘ軸およびＹ軸に沿ってそれぞれ配設された異なった箇所の少なくとも二以上の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
電磁駆動手段１４７の一部を構成する各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、本実施形態では第７２図に示すように、磁極の端面（各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈとの対向面）が四角形状の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離に位置する各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ上に、それぞれ配設されている。
そして、本実施形態にあっては、例えば八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの一部又は全部に所定の駆動電流が通電されて当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが稼働状態に設定され、その後又は同時に、後述する所定の制御モードに従って十字状駆動コイル７７１が稼働状態に設定され通電が開始される。そして、十字状駆動コイル７７１に対する通電電流および各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその移送駆動力に関する電磁駆動手段１４７の働き（十字状駆動コイル７７１と各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する通電駆動）については、第７４図乃至第７６図にて詳述する。
又、この第１６の実施形態では、電磁石からなる前記八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が前記第１の実施形態の場合と同様に可変制御されることから、十字状駆動コイル７７１の（各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ部分の）通電方向および通電電流の大小が、前記可動テーブル部１５の移送方向に対応して後述する動作制御系２０７により、各制御モードの内容に応じて設定制御される。
これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って所定の方向（各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ部分にそれぞれ直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力されることとなる。
又、八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向（回転を含む）に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第７４図〜第７６図）で詳述する。
ここで、十字状駆動コイル７７１の同一面上におけるコイル部分の外側および内側には、少なくとも当該十字状駆動コイル７７１の高さ（固定プレート８面上の高さ）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料を充填装備してもよい。
〔動作制御系２０７について〕
次に、この第１６の実施形態における動作制御系２０７について詳述する。
この第１６の実施形態において、前記電磁駆動手段１４７には、前記十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを個別に通電制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０７が、併設されている（第７３図参照）。
この動作制御系２０７は、前記十字状駆動コイル７７１に対する通電方向を所定の方向（一方又は他方）に設定し維持する通電方向設定機能と、この十字状駆動コイル７７１の通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能と、この十字状駆動コイル７７１への通電方向に応じて作動し前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極Ｎ，Ｓを個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁力強度を外部からの指令に応じて個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能とを有し、これらの各諸機能の動作を調整しつつ前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能とを備えている。
そして、この動作制御系２０７は、前記諸機能を実行するため、第７３図に示すように、前記電磁駆動手段１４７の十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１７と、このテーブル駆動制御手段２１７に併設され前記可動テーブル１の移動方向およびその動作量等が特定された複数の通電制御モード（本実施形態ではＫ１〜Ｋ１０の１０個の通電制御モード）にかかる複数の通電制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２７と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
又、テーブル駆動制御手段２１７には、十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。又、このテーブル駆動制御手段２１７には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０７が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２７の複数の制御モードＫ１〜Ｋ１０に総合的に包含され、動作指令入力部２４から入力されるオペレータからの指令に基づいて選択される制御モードＫ１〜Ｋ１０の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
テーブル駆動制御手段２１７は、本実施形態にあっては、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２７から選択し前記十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１７Ａと、この主制御部２１７Ａに選択設定され所定の制御モード（Ｋ１〜Ｋ１０の内の一つ）に従って十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１７Ｂとを備えている。
又、主制御部２１７Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段１４７の十字状駆動コイル７７１及び各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
〔プログラム記憶部２２７について〕
前記テーブル駆動制御手段２１７は、プログラム記憶部２２７に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の制御モードを実行するためのプログラム）に従って、前記電磁駆動手段１４７の十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、本実施形態に係るプログラム記憶部２２７には、前記八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に、通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石駆動用制御プログラムと、この八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が特定され磁極のＮ極又はＳ極（又は通電停止）は設定された場合に機能しこれに対応して十字状駆動コイル７７１対する通電方向およびその通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル用の通電制御プログラムが記憶されている。同時に、これらの各制御プログラムの動作タイミングが、１０組の制御モードＫ１乃至Ｋ１０に整理されて記憶されている（第７４図〜第７６図参照）。
ここで、この１０組の制御モードＫ１乃至Ｋ１０について、第７３図〜第７５図に基づいて説明する。
第７４図は、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、またＹ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＫ１乃至Ｋ４の一例（図表化したもの）を示すものである。
この第７４図において、本実施形態における各制御モードＫ１〜Ｋ４では、十字状駆動コイル７７１に対する直流電流の通電方向は時計回り（右回り）に固定され、又、八個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については、個別にその磁極（Ｓ極又はＮ極）が制御モードによって可変設定されるようになっている。
（制御モードＫ１）
この制御モードＫ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第７４図参照）。
この第７の実施形態における制御モードＫ１では、Ｙ軸に沿って位置する各コイル辺７７１ｃ，７７１ｄ，７７１ｇ，７７１ｈに対する被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄが通電制御され、Ｘ軸に沿って位置する各コイル辺７７１ａ，７７１ｂ，７７１ｅ，７７１ｆに対する各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃは通電停止制御されるようになっている。
ここで、Ｙ軸に沿って配置された被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂは、前記各コイル辺７７１ｃ，７７１ｄに対向する端面部がＮ極，Ｓ極にそれぞれ設定制御されている。又、Ｙ軸に沿って配置された他の被駆動磁石６Ｄ，１６Ｄは、前記各コイル辺７７１ｇ，７７１ｈに対向する端面部がＳ極，Ｎ極にそれぞれ設定制御されている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ｃ，７７１ｄ，７７１ｇ，７７１ｈ部分では、点線の矢印に示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（十字状駆動コイル７７１が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動され、この四つの被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＫ２）
この制御モードＫ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７４図参照）。
この制御モードＫ２では、Ｙ軸に沿った方向に位置する被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄの磁極の設定を前記制御モードＫ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＫ１の場合と同一となっている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ｃ，７７１ｄ，７７１ｇ，７７１ｈ部分では、前記モードＫ１の場合と同様の原理で逆向きの電磁駆動力（点線の矢印）が発生し、その反力で被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＫ３）
この制御モードＫ３は、可動テーブル部１５をＹ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７４図参照）。
この制御モードＫ３では、Ｘ軸に沿った方向に位置する各コイル辺７７１ａ，７７１ｂ，７７１ｅ，７７１ｆに対する被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃが通電制御され、Ｙ軸に沿った方向に位置する各コイル辺７７１ｃ，７７１ｄ，７７１ｇ，７７１ｈに対する各被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄが通電停止制御されるようになっている。
ここで、Ｘ軸に沿って配置された被駆動磁石６Ａ，１６Ａは、前記各コイル辺７７１ａ，７７１ｂに対向する端面部がＳ極，Ｎ極にそれぞれ設定制御されている。又、Ｘ軸に沿って配置された他の被駆動磁石６Ｃ，１６Ｃは、前記各コイル辺７７１ｅ，７７１ｆに対向する端面部がＮ極，Ｓ極にそれぞれ設定制御されている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ，７７１ｂ，７７１ｅ，７７１ｆ部分では、点線の矢印に示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（十字状駆動コイル７７１が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、この四つの被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＫ４）
この制御モードＫ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第７４図参照）。
この制御モードＫ４では、Ｘ軸に沿った方向に位置する被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃの磁極の設定を前記制御モードＫ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＫ３の場合と同一となっている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ，７７１ａ，７７１ｅ，７７１ｆ部分では、前記モードＫ３の場合と同様の原理で逆向きの電磁駆動力（点線の矢印）が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，１６Ａ及び６Ｃ，１６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＫ５）
この第１６の実施形態における制御モードＫ５は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７５図参照）。
この制御モードＫ５では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの全部に対して予めその通電方向（磁極Ｎ，Ｓの設定）が個別に設定制御されるようになっている。
即ち、第７５図に示すように、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈに対応して装備された各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｂ，１６Ｂ，６Ｃ，１６Ｃ，６Ｄ，１６Ｄの内、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは対応する各コイル辺に対向する端面部分がそれぞれＳ極，Ｎ極，Ｎ極，Ｓ極に順次設定され、又、各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄは対応する各コイル辺に対向する端面部分がそれぞれＮ極，Ｓ極，Ｓ極，Ｎ極に、順次設定されている。
そして、前記十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈの各部分では、前記制御モードＫ１とＫ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＫ１，Ｋ３の場合と同様の向き（Ｘ軸の正方向とＹ軸の正方向）の電磁駆動力が同時に発生し、その合力が第７５図の制御モードＫ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５は、Ｘ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θ（Ｘ軸との角度θ）は、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＫ６）
この制御モードＫ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７５図参照）。
この制御モードＫ６では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＫ５の場合とは逆向きに設定されるようになっている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ部分では、前記制御モードＫ２とＫ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＫ２，Ｋ４の場合と同様の向き（第７５図の左方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第７５図の制御モードＫ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＫ７）
この第１６の実施形態における制御モードＫ７は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７５図参照）。
この制御モードＫ５では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの全部に対して予めその通電方向（磁極Ｎ，Ｓの設定）が個別に設定制御されるようになっている。
即ち、第７５図に示すように、Ｘ軸の正方向に位置するコイル辺７７１ａ〜７７１ｈに対応して装備された各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｂ，１６Ｂ，６Ｃ，１６Ｃ，６Ｄ，１６Ｄの内、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは対応する各コイル辺に対向する端面部分がそれぞれＳ極，Ｓ極，Ｎ極，Ｎ極に順次設定され、又各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄは対応する各コイル辺に対向する端面部分がそれぞれＮ極，Ｎ極，Ｓ極，Ｓ極に順次設定されている。
そして、前記十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈの各部分では、前記制御モードＫ２とＫ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＫ２，Ｋ３の場合と同様の向き（Ｘ軸の負方向とＹ軸の正方向）の電磁駆動力が同時に発生し、その合力が第７５図の制御モードＫ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５は、Ｘ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＫ８）
この制御モードＫ８は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第２象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７５図参照）。
この制御モードＫ８では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＫ７の場合とは逆向きに設定されるようになっている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ部分では、前記制御モードＫ１とＫ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。そして、前記制御モードＫ１，Ｋ４の場合と同様の向き（第７５図の右方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第７５図の制御モードＫ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度θは、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＫ９）
この第１６の実施形態における制御モードＫ９は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上で反時計方向に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための通電制御モードの一例を示すものである（第７６図参照）。
この制御モードＫ９では、十字状駆動コイル７７１と八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとが同時に通電制御される。
この場合、十字状駆動コイル７７１の通電方向は、第７６図に示すように、前記Ｋ１〜Ｋ８の場合と同様に右回りで固定した状態に設定されている。又、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極Ｎ，Ｓについては、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺に対向する部分の磁極が、被駆動磁石６Ａ〜６ＤではそれぞれＳ極に設定され、被駆動磁石１６Ａ〜１６ＤではそれぞれＮ極に設定されている。
これにより、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが前記状態に通電制御され、当該八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄには、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした各同一レベルの所定のモーメント（所定の電磁駆動力）が、それぞれ反時計方向に向けて発生する。
第７６図では、同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを介して所定の範囲内で反時計方向に回転駆動されることとなる。
即ち、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ部分では、点線の矢印で示す所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（十字状駆動コイル７７１が固定プレート８に固定されているために生じる）で、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、反時計方向）に反発駆動され、この八つの各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる各電磁駆動力（同一レベルの所定の回転モーメント）のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面上で（所定の範囲内で）反時計方向に回転駆動される。
（制御モードＫ１０）
この第１６の実施形態における制御モードＫ１０は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上で時計方向に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための通電制御モードの一例を示すものである（第７６図参照）。
この制御モードＫ１０では、十字状駆動コイル７７１と八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとが同時に通電制御される。この場合、十字状駆動コイル７７１に対しては、前記制御モードＦ９の場合と同一の方向（右回り）に駆動電流が通電されるようになっている（第７６図の制御モードＫ１０の欄参照）。又、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極Ｎ，Ｓの設定については、前記Ｋ９の場合とはＮ極，Ｓ極が逆に設定されている。
これにより、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが前記状態に通電制御され、当該八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄには、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした各同一レベルの所定のモーメント（所定の電磁駆動力）が、それぞれ時計方向（右回り）に向けて発生する。
第７６図にこれを示す。図では、同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを介して所定の範囲内で時計方向（右回り）に回転駆動されることとなる。
その他の構成及びその動作，機能等については、前記第１５の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、前記第１５の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、更に、駆動コイルを十字状駆動コイル７７１の一個で構成したので、組立時の手間が少なく且つ故障等の発生も軽減することができ、かかる点において生産工程の簡略化および保守性を改善することができるという利点がある。
ここで、前記第１６の実施形態において、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ｋ１〜Ｋ１０の各制御モードに分けて電磁駆動手段１４７を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＫ２，Ｋ１０では十字状駆動コイル７７１の各通電方向を制御モードＫ１，Ｋ９の場合とは逆の方向に設定し、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向を制御モードＫ１，Ｋ９の場合と同一に設定する等、同等に機能するのであれば、他の制御手法で電磁駆動手段１６７を駆動制御するようにこ構成してもよい。
又、前記第１６の実施形態において、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの装備箇所と十字状駆動コイル７７１の装備箇所とを入れ換えてもよい。この場合は、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが固定子側に装備され、十字状駆動コイル７７１および制動プレート９が可動子側に装備されることとなる。
ここで、前記各実施形態においては、可動テーブル１として円形状のものを例示したが、四角形状でも他の形状であってもよい。補助テーブル５については四角形状の場合を例示したが、前記諸機能を実現し得るものであれば、円形でも他の形状のものであってもよい。又、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄについても同一形状のものであれば磁極面が四角形でなく例えば円形であってもよい。
更に、前記各実施形態にあっては、制動用プレート９を装備した場合を例示したが、特に移動の迅速性を問わない場合には当該制動用プレート９は装備しなくてもよい。
又、前記テーブル保持機構２は、可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたものについて例示したが、この可動テーブル部１５に対する元位置復帰手段を別に装備し、テーブル保持機構２については元位置復帰機能を取り除いた構成としてもよい。
前記各実施形態にて装備した制動用プレート９については、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄ毎に装備したものであっても、複数の各被駆動磁石に共通の単一の制動用プレート９としてもよい。
この場合、制動用プレート９の周囲をケース本体３で保持するように構成すると共に、この制動用プレート９に前記各実施形態における駆動コイルを装着し、固定プレート８を削除するように構成してもよい。この制動用プレート９に駆動コイルを装着するに際しては、当該制動用プレート９は、導電性で且つ非磁性部材で形成すると、制動用プレート９の本来の機能を維持しつつ駆動コイルを有効に維持することができて都合がよい。
このようにすると、構成が更に単純化されることから、装置全体の小型軽量化を更に促進することができるという利点がある。
又、前記各実施形態において、直交座標（Ｘ−Ｙ座標）上に四個の被駆動磁石を原点から等距離に装備した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定するものではなく、原点から等距離に装備していなくても、座標軸上から外れた位置に配置されていても、又その数が４個でなくてもよい。
この場合、前記各実施形態では、その動作制御系２，２０２，２０３，２０４・・・によって、外部から指示された移動方向に向けて都合のよい（例えば移送方向に効率良く機能する位置にある）複数の被駆動磁石を選択して通電駆動し、その合力をもって、前記可動テーブル部１５を外部から指示された移動方向に向けて移送するように構成するとよい。
又、前記各実施形態にあっては、可動テーブル部１５を可動テーブル１と補助テーブル５とで構成した場合を例示したが、可動テーブル部１５を可動テーブル１のみで構成するようにしてもよい。
この場合、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ（又は６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄ）は、可動テーブル１側に装着し、これに対向して固定プレートの対向面に前記駆動コイル７，７２１，７３１，・・・及び制動プレート９を装備するように構成してもよい。そして、テーブル保持機構２は、補助テーブル５を介することなく可動テーブル１を直接保持するような構造となっている。
このようにすると、装置全体の小型化および軽量化をより一層促進させることができ、可搬性および汎用性を高めることができて都合がよい。
更に、前記各実施形態では、テーブル保持機構として可動テーブルに対する元位置復帰機能を備えたものを例示したが、可動テーブルに対する元位置復帰機能を前記テーブル保持機構とは切り離して（元位置復帰機能を備えた手段として）別装備したものであってもよい。この場合、この元位置復帰機能を備えた手段がテーブル保持機構と同時に作動するものである限りにおいて技術思想的には前記各実施形態におけるテーブル保持機構と同等のものである。
又、前記各実施例において、各駆動コイルを固定コイル８上に装備した場合を例示したが、各駆動コイルを、前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対応する各コイル辺部分を当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄ側に露出するようにして、前記固定コイル８にそれぞれ埋設するように装着してもよい。
このようにすると、電磁駆動手段部分の空間領域を更に小さく設定することができ、装置全体の小型軽量化を更に促進させることができて都合がよい。
以上説明したように、本実施形態は、電磁駆動手段が作動して環状駆動コイルを通電駆動すると共に、外部からの指示に従って前記各被駆動磁石の内の移動方向に対応する一又は二以上の被駆動磁石を選択し通電駆動すると、その各被駆動磁石に働く電磁駆動力（反発力）の合力によって、可動テーブルをテーブル保持機構によって保持された所定の限定範囲内で同一平面上の任意の方向（環状駆動コイルの中心部側から外部に向かう方向）に平面移送することができる。
この場合、電磁駆動力の大きさを、環状駆動コイルと被駆動磁石の両方の通電電流を可変制御して設定し得るので、可動テーブルの移送速度を大小任意の大きさに設定することができ、かかる点において、汎用性をより一層たかめることができる。
又、この可動テーブル部の移送は、電磁駆動手段の環状駆動コイル及び所定の被駆動磁石に通電される電流の大きさをアナログ量で連続的に変化させ或いは所定の大きさに設定制御することが可能となっているので、テーブル保持機構の元位置復帰力とのバランスをとることにより、移送距離のミクロン単位での設定を可能としている。このため、精密作業用の可動テーブルを高精度に且つ円滑に、同一平面内において所定方向に高精度に且つ円滑に移送することができる。
更に、電磁駆動手段を可動テーブル部と固定プレートとの空間を利用して保持する構成とすることにより、当該電磁駆動手段の全体を薄板状の空間内に配置することができる。また、駆動機構としてＸ軸方向とＹ軸方向とを交差させた二重構造を採用していないので、当該電磁駆動手段の小型化軽量化が、ひいては装置全体の小型化軽量化が可能となっている。
又、駆動コイルとして単一の形状に形成された駆動コイルとしたので、生産時の組み込み及び装着作業が容易となり、生産性の向上を図ることができ、稼働時においても複雑な通電制御が不要となる。したがって、装置全体の起動時の迅速な立ち上げが可能となるという従来にない優れた精密加工用ステージ装置を提供することができる。
更に、少なくとも四組の駆動コイルのコイル辺をＸ軸およびＹ軸上にそれぞれ前述したように個別に配設すると共にこれに対応して各被駆動磁石を配置することにより、例えば、Ｘ軸に沿った方向への移動に際しては、Ｙ軸上の駆動コイルおよび対応する各被駆動磁石の通電動作を休止させることができ、かかる点において消費電力および温度上昇を有効に抑制することができる。
又、駆動コイルを二個の角形小コイルを突合わせて構成すると共に、当該駆動コイルのコイル辺が固定プレート上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上の各軸に直交するように当該駆動コイルを前記Ｘ軸およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設することが可能となる。このため、対応する各被駆動磁石に対してはそれぞれ電磁力を個別に且つ効率良く出力することができ、又、各被駆動磁石に対して個別に異なった大きさの電磁駆動力を発生させることが可能となる。しかも、駆動コイルと対応する被駆動磁石の両方の通電電流を同時に作用させることにより、所定の方向への移送速度を大きく設定することができ、又、例えば、移動方向のずれに際してはより迅速にこれに対応することができるという効果を奏する。
更に、駆動コイルとして同一面上に中心軸を同一にした大小二つの環状駆動コイルを装備すると共に各環状駆動コイルに対応してそれぞれ四個の被駆動磁石を装備することが可能となる。このため、可動テーブルの移送制御に際しては、より迅速に且つ高精度に可動テーブル部の移動動作を実行することができるという効果を奏する。
又、精密加工用ステージ装置において、駆動コイルのＸ軸及びＹ軸と交差する箇所に、当該駆動コイルのコイル辺部分に対応して前記被駆動磁石を個別に配設するという構成を採用することが可能となる。
前記複数の被駆動磁石の装備箇所を駆動コイルのＸ軸及びＹ軸と交差する箇所に限定したことから、実際上、移送方向の特定（演算）が容易となり、そのため、全体的に当該被駆動磁石の駆動制御が単純化される。したがって、可動テーブル部の移送方向の変化に対してもこれに迅速に対応することができ、同時に可動テーブル部の移送制御等（例えばその方向の切り換え制御，或いは位置ずれ等が生じた場合の補正）に際しても、これに迅速に対応することができる。
更に駆動コイルとして少なくとも四個の方形状駆動コイルを有すると共に被駆動磁石の数を倍増することにより、当該方形状駆動コイルと各被駆動磁石との間に発生する電磁駆動力をほぼ倍増させることができ、これにより、当該可動テーブルに対する移送駆動をより迅速に且つ高精度に実行することができる。
更に、駆動コイルとして少なくとも四組の駆動コイルを装備すると共に、この各駆動コイルのコイル辺が前記Ｘ軸又はＹ軸に沿って配設し且つ前記コイル辺に対向して前記被駆動磁石をＸ軸又はＹ軸上にそれぞれ個別に配設することが可能となる。このため、電磁駆動手段により出力される各電磁駆動力をＸ軸又はＹ軸に対して直交する方向で且つ回転する方向に出力し得ることとなる。このため、別途新たに回転駆動手段を装備することなく、可動テーブルに対する所定角度内での回転駆動が可能となるという効果を奏することとなり、その汎用化を更に高めることができるという、従来にない優れた精密加工用ステージ装置を提供することができる。
駆動コイルとして少なくとも四個の方形状駆動コイルにより構成し更に各方形状駆動コイルの前記Ｘ軸及びＹ軸と平行に位置する箇所の各コイル辺に対応して前記各被駆動磁石をそれぞれ個別に配設することが可能となる。このため、各駆動コイルとこれに対応した各被駆動磁石との間に発生する電磁駆動力を装置全体ではほぼ倍増させることができ、これにより、当該可動テーブル部に対する駆動制御をより迅速に且つ高精度に実行することができる。
精密加工用ステージ装置において、各被駆動磁石を電磁石に代えて永久磁石とすることにより、各被駆動磁石に対する通電制御が不要となり、各被駆動磁石の配線回路が不要となることから、電磁駆動手段の構造が更に単純化され且つ小型軽量化が促進され、可動テーブルに対する駆動制御に際しての制御対象が少なくなることから制御動作の即応性を高めることができ、更には装置全体の生産性及び耐久性を高めることができるという効果を奏する。
更に、駆動コイルを、全体的には十字枠状に形成された一個の十字状駆動コイルにより構成すると共にこの一個の十字状駆動コイルの前記Ｘ軸又はＹ軸と平行に位置する箇所のコイル辺に対応して、前記各被駆動磁石をそれぞれ個別に配設することが可能となる。このため、電磁駆動手段により出力される各電磁駆動力をＸ軸又はＹ軸に対して直交する方向で且つ回転する方向に出力することが可能となる。したがって、別途新たに回転駆動手段を装備することなく、可動テーブルに対する所定角度内での回転駆動が可能となるという効果を奏する。このため、その汎用化を更に高めることができるという、従来にない優れた精密加工用ステージ装置を提供することができる。
各被駆動磁石に対向し且つ微小間隙を介して導電性部材から成る制動プレートを配設すると共に、この制動プレートを前記駆動コイル側に固着装備することが可能となる。
このため、電磁駆動手段を急激に駆動しもしくは急激にその動作を停止させても、各被駆動磁石と制動プレートとの間に生ずる渦電流制動によって可動テーブル側に適度の制動力が無接触で発生し、これによって、可動テーブル部は微小振動することなく安定した状態で円滑に移送することができる。
ここで、前記制動プレートを、前記各被駆動磁石に共通に対応し得る単一の板状部材によって構成してもよい。
このようにすると、部品点数が少なくなり、装置全体の組立工程が単純化され、又保守性も改善され、装置全体の耐久性を増加させることができる。
前記駆動コイルとこれに対応して装備された複数の被駆動磁石の各々の装備箇所を、当該各駆動コイルと被駆動磁石の対応関係を維持しつつその全体を入れ替え装備するように構成してもよい。
前記制動プレートを前記本体部で保持すると共にこの制動プレートに前記駆動コイルを固着装備し、前記固定プレートを削除するように構成してもよいものである。
このため、固定プレートを不要としたことから、小型軽量化を更に促進することができる。
電磁駆動手段に、外部からの指令に応じて作動し当該電磁駆動手段の有する駆動コイルと各被駆動磁石とを個別に通電制御して前記可動テーブル部の所定の移動方向に向けて所定の駆動力を出力せしめる動作制御系を併設するようにしてもよいものである。
このため、可動テーブルの移動方向に向けて有効に機能する一又は二以上の被駆動磁石を選択して作動させるようにしたので、可動テーブルを確実に所定の方向に移動制御させることができる。
ここで、動作制御系については、前記駆動コイルに対する通電方向を一方の方向に設定し維持する通電方向設定機能と、駆動コイルに対する通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能と、駆動コイルに対する通電方向に応じて作動し前記各被駆動磁石に対する磁極の設定を設定し維持する磁極可変設定機能と、前記各被駆動磁石の磁力強度を外部からの指令に応じて個別に可変設定すると共にこれによって可動テーブル部に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能とを備えた構成としてもよい。
これにより、駆動コイル又は駆動コイルおよび各被駆動磁石の通電電流を単に個別に調整するだけで、可動テーブルを、同一面内で任意の速度で任意の方向に、高精度に且つ確実に移送することができる、という従来にない優れた精密加工用ステージ装置を提供することができる。
この第１６の実施形態は、前記第１５の実施形態における電磁駆動手段１４６（第６６図参照）に代えて他の電磁駆動手段１４７（第７１図，第７２図参照）を装備した点に特徴を備えている。
具体的には、この第１６の実施形態における電磁駆動手段１４７は、前記第１５の実施形態における電磁駆動手段１４６の四個の方形状駆動コイルに代えて十字枠状に形成された十字状駆動コイル７７１を装備した点に構造上の特徴を有し、これにより、任意の方向への移動と共に可動テーブル部１５に対する同一面上での回転駆動をも可能とした点に動作上の特徴を備えている。
ている。
又、この電磁駆動手段１４７を効率よく駆動するための動作制御系２０７を、前記第１５の実施形態における動作制御系２０６に代えて装備し、同一面上での回転駆動を可能とした点に特徴を備えている。
以下、これを詳細に説明する。
まず、この第１６の実施形態は、前記第１５の実施形態の場合と同様に、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された精密作業用の可動テーブル部１５と、この可動テーブル部１５の移動を許容すると共に当該可動テーブル部１５を保持し且つ当該可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたテーブル保持機構２と、このテーブル保持機構２を支持する本体部としてのケース本体３と、このケース本体３側に装備され且つ外部からの指令に応じて可動テーブル部１５に所定方向への移動力を付与する電磁駆動手段１４７とを備えている。
ここで、可動テーブル部１５は、精密作業用の可動テーブル１と、この可動テーブル１に対して所定間隔を隔てて平行に且つ同一中心軸上に一体的に配置された補助テーブル５とにより構成されている。そして、第３第４図に示すように、テーブル保持機構２は、補助テーブル５側に装備され、当該補助テーブル５を介して前記可動テーブル１を保持するように構成されている。
〔電磁駆動手段１４７について〕
電磁駆動手段１４７は、その主要部がケース本体３側に保持され、外部からの指令に応じて前記可動テーブル部１５の移送方向に沿って所定の移動力（駆動力）を付与する機能を備えている。この電磁駆動手段１４７は、前記可動テーブル１と補助テーブル５との間に配設されている。
この電磁駆動手段１４７は、具体的には、十字枠状に形成された十字状駆動コイル７７１と、この十字状駆動コイル７７１のＸ軸およびＹ軸に平行に位置する平行コイル辺７７１ａ，７７１ｂ，７７１ｃ，７７１ｄ，７７１ｅ，７７１ｆ，７７１ｇ，７７１ｈ（符号は、第７２図中で反時計方向に順次付す）に個別に対応して配設され前記補助テーブル５上に装備された各八個の被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｂ，１６Ｂ，６Ｃ，１６Ｃ，６Ｄ，１６Ｄと、前記十字状駆動コイル７７１を所定位置にて保持する固定プレート８とを備えている。
前記十字状駆動コイル７７１は、その中心点が固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上の原点に配設され、四方に張り出した対向する二つの辺がＸ−Ｙ面上の各軸を挟んで、これに平行に、前記Ｘ軸およびＹ軸に沿ってそれぞれ配設されている。
また、合計八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、外部から個別に通電制御が可能な電磁石で構成され、前記十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈに対応して、それぞれ個別に配設されている（第７１図〜第７２図参照）。
固定プレート８は、第７１図に示すように前記補助テーブル５の可動テーブル１側に配設され前記ケース本体３に保持されている。又、前記十字状駆動コイル７７１と固定プレート８とによって、前記電磁駆動手段１４７の主要部である固定子部分が構成されている。
そして、十字状駆動コイル７７１は、稼動状態に設定されると、前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとの間で当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈに直交する方向に反発駆動する電磁駆動力を発生する。この場合、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの移動方向の中心軸線が前記Ｘ軸又はＹ軸に直交するように設定されている。
又、各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈに直交しない方向（各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈに対しては斜めの方向）に前記可動テーブル部１５を移送する場合には、後述するように、Ｘ軸およびＹ軸に沿ってそれぞれ配設された異なった箇所の少なくとも二以上の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁駆動力の合力をもって、当該可動テーブル部１５の移送が実行されるようになっている。
電磁駆動手段１４７の一部を構成する各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄは、本実施形態では第７２図に示すように、磁極の端面（各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈとの対向面）が四角形状の電磁石が使用され、補助テーブル５の上面に想定されるＸ−Ｙ平面上で、中心部から等距離に位置する各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ上に、それぞれ配設されている。
そして、本実施形態にあっては、例えば八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの一部又は全部に所定の駆動電流が通電されて当該各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが稼働状態に設定され、その後又は同時に、後述する所定の制御モードに従って十字状駆動コイル７７１が稼働状態に設定され通電が開始される。そして、十字状駆動コイル７７１に対する通電電流および各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁気力の大小が通電制御により調整され、これにより、前記可動テーブル部１５が所定の方向に移送される。
この場合、可動テーブル部１５に対する移送方向およびその移送駆動力に関する電磁駆動手段１４７の働き（十字状駆動コイル７７１と各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する通電駆動）については、第７４図乃至第７６図にて詳述する。
又、この第１６の実施形態では、電磁石からなる前記八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が前記第１の実施形態の場合と同様に可変制御されることから、十字状駆動コイル７７１の（各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ部分の）通電方向および通電電流の大小が、前記可動テーブル部１５の移送方向に対応して後述する動作制御系２０７により、各制御モードの内容に応じて設定制御される。
これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対しては、フレミングの左手の法則に従って所定の方向（各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ部分にそれぞれ直交する方向）へ押圧する電磁力（反力）が出力されることとなる。
又、八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁力の方向を予め選択し組み合わせることにより、当該八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる電磁駆動力の合力を前記可動テーブル部１５の移送方向（回転を含む）に合わせることが可能となり、当該可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上の任意の方向に向けて移動力を付与することができる。
これら八個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（第７４図〜第７６図）で詳述する。
ここで、十字状駆動コイル７７１の同一面上におけるコイル部分の外側および内側には、少なくとも当該十字状駆動コイル７７１の高さ（固定プレート８面上の高さ）と同一の高さに、且つ前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの動作範囲を包含する範囲にて、フェライト等の磁性材料を充填装備してもよい。
〔動作制御系２０７について〕
次に、この第１６の実施形態における動作制御系２０７について詳述する。
この第１６の実施形態において、前記電磁駆動手段１４７には、前記十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを個別に通電制御して前記可動テーブル部１５の移動動作を規制する動作制御系２０７が、併設されている（第７３図参照）。
この動作制御系２０７は、前記十字状駆動コイル７７１に対する通電方向を所定の方向（一方又は他方）に設定し維持する通電方向設定機能と、この十字状駆動コイル７７１の通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能と、この十字状駆動コイル７７１への通電方向に応じて作動し前記各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極Ｎ，Ｓを個別に設定し維持する磁極個別設定機能と、この各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁力強度を外部からの指令に応じて個別に可変設定（通電電流を可変することによって設定し得る）する磁力強度設定機能とを有し、これらの各諸機能の動作を調整しつつ前記可動テーブル部１５に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能とを備えている。
そして、この動作制御系２０７は、前記諸機能を実行するため、第７３図に示すように、前記電磁駆動手段１４７の十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の制御モードに従って個別に駆動し前記可動テーブル部１５を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１７と、このテーブル駆動制御手段２１７に併設され前記可動テーブル１の移動方向およびその動作量等が特定された複数の通電制御モード（本実施形態ではＫ１〜Ｋ１０の１０個の通電制御モード）にかかる複数の通電制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２７と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
又、テーブル駆動制御手段２１７には、十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。又、このテーブル駆動制御手段２１７には、前記可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前記位置情報検出手段２５によって検出され演算処理されて送り込まれるようになっている。
そして、前記動作制御系２０７が有する種々の制御機能は、前記プログラム記憶部２２７の複数の制御モードＫ１〜Ｋ１０に総合的に包含され、動作指令入力部２４から入力されるオペレータからの指令に基づいて選択される制御モードＫ１〜Ｋ１０の何れかに基づいて作動し、実行されるようになっている。
これを更に詳述する。
テーブル駆動制御手段２１７は、本実施形態にあっては、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２７から選択し前記十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄにゼロを含む所定の直流電流を通電制御する主制御部２１７Ａと、この主制御部２１７Ａに選択設定され所定の制御モード（Ｋ１〜Ｋ１０の内の一つ）に従って十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを同時に又は個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１７Ｂとを備えている。
又、主制御部２１７Ａは、テーブル位置を検出する位置情報検出手段２５からの入力情報に基づいて前記可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。ここで、符号４Ｇは、前記電磁駆動手段１４７の十字状駆動コイル７７１及び各四個の被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに所定の電流を通電する電源回路部を示す。
〔プログラム記憶部２２７について〕
前記テーブル駆動制御手段２１７は、プログラム記憶部２２７に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の制御モードを実行するためのプログラム）に従って、前記電磁駆動手段１４７の十字状駆動コイル７７１及び八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを所定の関連性を持たせて個別に駆動制御するように構成されている。
即ち、本実施形態に係るプログラム記憶部２２７には、前記八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向を個別に特定し磁極のＮ極又はＳ極を特定すると共に、通電停止を含む通電電流の大小を個別に可変設定する複数の磁石駆動用制御プログラムと、この八個の各被駆動磁石（電磁石）６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向が特定され磁極のＮ極又はＳ極（又は通電停止）は設定された場合に機能しこれに対応して十字状駆動コイル７７１対する通電方向およびその通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル用の通電制御プログラムが記憶されている。同時に、これらの各制御プログラムの動作タイミングが、１０組の制御モードＫ１乃至Ｋ１０に整理されて記憶されている（第７４図〜第７６図参照）。
ここで、この１０組の制御モードＫ１乃至Ｋ１０について、第７３図〜第７５図に基づいて説明する。
第７４図は、Ｘ軸の正方向又は負方向に向けて、またＹ軸の正方向又は負方向に向けて、それぞれ可動テーブル部１５を移送する場合の各制御モードＫ１乃至Ｋ４の一例（図表化したもの）を示すものである。
この第７４図において、本実施形態における各制御モードＫ１〜Ｋ４では、十字状駆動コイル７７１に対する直流電流の通電方向は時計回り（右回り）に固定され、又、八個の各被駆動磁石（電磁石）の通電方向については、個別にその磁極（Ｓ極又はＮ極）が制御モードによって可変設定されるようになっている。
（制御モードＫ１）
この制御モードＫ１は、可動テーブル１をＸ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第７４図参照）。
この第７の実施形態における制御モードＫ１では、Ｙ軸に沿って位置する各コイル辺７７１ｃ，７７１ｄ，７７１ｇ，７７１ｈに対する被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄが通電制御され、Ｘ軸に沿って位置する各コイル辺７７１ａ，７７１ｂ，７７１ｅ，７７１ｆに対する各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃは通電停止制御されるようになっている。
ここで、Ｙ軸に沿って配置された被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂは、前記各コイル辺７７１ｃ，７７１ｄに対向する端面部がＮ極，Ｓ極にそれぞれ設定制御されている。又、Ｙ軸に沿って配置された他の被駆動磁石６Ｄ，１６Ｄは、前記各コイル辺７７１ｇ，７７１ｈに対向する端面部がＳ極，Ｎ極にそれぞれ設定制御されている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ｃ，７７１ｄ，７７１ｇ，７７１ｈ部分では、点線の矢印に示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（十字状駆動コイル７７１が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、右方向）に反発駆動され、この四つの被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＫ２）
この制御モードＫ２は、可動テーブル１をＸ軸の負の方向に移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７４図参照）。
この制御モードＫ２では、Ｙ軸に沿った方向に位置する被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄの磁極の設定を前記制御モードＫ１の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＫ１の場合と同一となっている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ｃ，７７１ｄ，７７１ｇ，７７１ｈ部分では、前記モードＫ１の場合と同様の原理で逆向きの電磁駆動力（点線の矢印）が発生し、その反力で被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ及び６Ｄ，１６Ｄがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、左方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＸ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＫ３）
この制御モードＫ３は、可動テーブル部１５をＹ軸の正の方向に移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７４図参照）。
この制御モードＫ３では、Ｘ軸に沿った方向に位置する各コイル辺７７１ａ，７７１ｂ，７７１ｅ，７７１ｆに対する被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃが通電制御され、Ｙ軸に沿った方向に位置する各コイル辺７７１ｃ，７７１ｄ，７７１ｇ，７７１ｈに対する各被駆動磁石６Ｂ，１６Ｂ，６Ｄ，１６Ｄが通電停止制御されるようになっている。
ここで、Ｘ軸に沿って配置された被駆動磁石６Ａ，１６Ａは、前記各コイル辺７７１ａ，７７１ｂに対向する端面部がＳ極，Ｎ極にそれぞれ設定制御されている。又、Ｘ軸に沿って配置された他の被駆動磁石６Ｃ，１６Ｃは、前記各コイル辺７７１ｅ，７７１ｆに対向する端面部がＮ極，Ｓ極にそれぞれ設定制御されている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ，７７１ｂ，７７１ｅ，７７１ｆ部分では、点線の矢印に示す方向に所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（十字状駆動コイル７７１が固定されているために生じる）で、被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃが実線の矢印に示す方向（図中、上方向）に反発駆動され、この四つの被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃに生じる電磁駆動力のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＹ軸上の正の方向に移送される。
（制御モードＫ４）
この制御モードＫ４は、可動テーブル１をＹ軸の負の方向に移送するための通電制御モードの一例を示す（第７４図参照）。
この制御モードＫ４では、Ｘ軸に沿った方向に位置する被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｃ，１６Ｃの磁極の設定を前記制御モードＫ３の場合に比較して逆にした点が相違する。その他は前記制御モードＫ３の場合と同一となっている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ，７７１ａ，７７１ｅ，７７１ｆ部分では、前記モードＫ３の場合と同様の原理で逆向きの電磁駆動力（点線の矢印）が発生し、その反力で被駆動磁石６Ａ，１６Ａ及び６Ｃ，１６Ｃがそれぞれ実線の矢印に示す方向（図中、下方向）に反発駆動され、これによって、可動テーブル部１５がＹ軸上の負の方向に移送される。
（制御モードＫ５）
この第１６の実施形態における制御モードＫ５は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７５図参照）。
この制御モードＫ５では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの全部に対して予めその通電方向（磁極Ｎ，Ｓの設定）が個別に設定制御されるようになっている。
即ち、第７５図に示すように、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈに対応して装備された各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｂ，１６Ｂ，６Ｃ，１６Ｃ，６Ｄ，１６Ｄの内、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは対応する各コイル辺に対向する端面部分がそれぞれＳ極，Ｎ極，Ｎ極，Ｓ極に順次設定され、又、各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄは対応する各コイル辺に対向する端面部分がそれぞれＮ極，Ｓ極，Ｓ極，Ｎ極に、順次設定されている。
そして、前記十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈの各部分では、前記制御モードＫ１とＫ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＫ１，Ｋ３の場合と同様の向き（Ｘ軸の正方向とＹ軸の正方向）の電磁駆動力が同時に発生し、その合力が第７５図の制御モードＫ５の欄に示すように第１象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５は、Ｘ−Ｙ平面座標上の第１象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第１象限方向への移送角度θ（Ｘ軸との角度θ）は、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＫ６）
この制御モードＫ６は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向（第１象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７５図参照）。
この制御モードＫ６では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＫ５の場合とは逆向きに設定されるようになっている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ部分では、前記制御モードＫ２とＫ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＫ２，Ｋ４の場合と同様の向き（第７５図の左方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第７５図の制御モードＫ６の欄に示すように第３象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第３象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第３象限方向への移送角度θは、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＫ７）
この第１６の実施形態における制御モードＫ７は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７５図参照）。
この制御モードＫ５では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの全部に対して予めその通電方向（磁極Ｎ，Ｓの設定）が個別に設定制御されるようになっている。
即ち、第７５図に示すように、Ｘ軸の正方向に位置するコイル辺７７１ａ〜７７１ｈに対応して装備された各被駆動磁石６Ａ，１６Ａ，６Ｂ，１６Ｂ，６Ｃ，１６Ｃ，６Ｄ，１６Ｄの内、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄは対応する各コイル辺に対向する端面部分がそれぞれＳ極，Ｓ極，Ｎ極，Ｎ極に順次設定され、又各被駆動磁石１６Ａ〜１６Ｄは対応する各コイル辺に対向する端面部分がそれぞれＮ極，Ｎ極，Ｓ極，Ｓ極に順次設定されている。
そして、前記十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈの各部分では、前記制御モードＫ２とＫ３とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。このため、前記制御モードＫ２，Ｋ３の場合と同様の向き（Ｘ軸の負方向とＹ軸の正方向）の電磁駆動力が同時に発生し、その合力が第７５図の制御モードＫ７の欄に示すように第２象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５は、Ｘ−Ｙ平面座標上の第２象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第２象限方向への移送角度θは、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＫ８）
この制御モードＫ８は、可動テーブル１をＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向（第２象限の方向とは逆の方向）に向けて移送するための通電制御モードの一例を示すものである（第７５図参照）。
この制御モードＫ８では、八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが同時に通電制御可能な状態に設定され、その磁極Ｎ，Ｓは、前記各制御モードＫ７の場合とは逆向きに設定されるようになっている。
このため、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ部分では、前記制御モードＫ１とＫ４とが同時に作動したのと同等の通電制御がなされる。そして、前記制御モードＫ１，Ｋ４の場合と同様の向き（第７５図の右方向と下方向）の電磁駆動力が同時に発生し、且つその合力が第７５図の制御モードＫ８の欄に示すように第４象限の方向に向けられる。これにより、前記可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面座標上の第４象限の方向に向けて移送される。
ここで、Ｘ軸に対する第４象限方向への移送角度θは、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電電流の大きさを個別に可変制御することによって各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに作用する電磁駆動力を変化させ、これにより、任意の方向に自在に可変設定することができる。
（制御モードＫ９）
この第１６の実施形態における制御モードＫ９は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上で反時計方向に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための通電制御モードの一例を示すものである（第７６図参照）。
この制御モードＫ９では、十字状駆動コイル７７１と八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとが同時に通電制御される。
この場合、十字状駆動コイル７７１の通電方向は、第７６図に示すように、前記Ｋ１〜Ｋ８の場合と同様に右回りで固定した状態に設定されている。又、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極Ｎ，Ｓについては、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺に対向する部分の磁極が、被駆動磁石６Ａ〜６ＤではそれぞれＳ極に設定され、被駆動磁石１６Ａ〜１６ＤではそれぞれＮ極に設定されている。
これにより、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが前記状態に通電制御され、当該八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄには、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした各同一レベルの所定のモーメント（所定の電磁駆動力）が、それぞれ反時計方向に向けて発生する。
第７６図では、同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを介して所定の範囲内で反時計方向に回転駆動されることとなる。
即ち、十字状駆動コイル７７１の各コイル辺７７１ａ〜７７１ｈ部分では、点線の矢印で示す所定の電磁駆動力が発生し、同時にその反力（十字状駆動コイル７７１が固定プレート８に固定されているために生じる）で、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが実線の矢印に示す方向（図中、反時計方向）に反発駆動され、この八つの各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに生じる各電磁駆動力（同一レベルの所定の回転モーメント）のバランスのもとに、可動テーブル部１５がＸ−Ｙ平面上で（所定の範囲内で）反時計方向に回転駆動される。
（制御モードＫ１０）
この第１６の実施形態における制御モードＫ１０は、可動テーブル部１５をＸ−Ｙ平面上で時計方向に所定角度の回転駆動を可能としたもので、そのための通電制御モードの一例を示すものである（第７６図参照）。
この制御モードＫ１０では、十字状駆動コイル７７１と八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄとが同時に通電制御される。この場合、十字状駆動コイル７７１に対しては、前記制御モードＦ９の場合と同一の方向（右回り）に駆動電流が通電されるようになっている（第７６図の制御モードＫ１０の欄参照）。又、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの磁極Ｎ，Ｓの設定については、前記Ｋ９の場合とはＮ極，Ｓ極が逆に設定されている。
これにより、十字状駆動コイル７７１及び各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが前記状態に通電制御され、当該八個の各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄには、Ｘ−Ｙ平面上の原点（０点）を中心とした各同一レベルの所定のモーメント（所定の電磁駆動力）が、それぞれ時計方向（右回り）に向けて発生する。
第７６図にこれを示す。図では、同一レベルの所定の回転モーメントを実線で図示する。これにより、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを保持する可動テーブル部１５には、当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄを介して所定の範囲内で時計方向（右回り）に回転駆動されることとなる。
その他の構成及びその動作，機能等については、前記第１５の実施形態の場合とほぼ同一となっている。
このようにしても、前記第１５の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、更に、駆動コイルを十字状駆動コイル７７１の一個で構成したので、組立時の手間が少なく且つ故障等の発生も軽減することができ、かかる点において生産工程の簡略化および保守性を改善することができるという利点がある。
ここで、前記第１６の実施形態において、可動テーブル部１５の移送方向の設定に際しては、Ｋ１〜Ｋ１０の各制御モードに分けて電磁駆動手段１４７を駆動制御する場合を例示したが、例えば、制御モードＫ２，Ｋ１０では十字状駆動コイル７７１の各通電方向を制御モードＫ１，Ｋ９の場合とは逆の方向に設定し、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの通電方向を制御モードＫ１，Ｋ９の場合と同一に設定する等、同等に機能するのであれば、他の制御手法で電磁駆動手段１６７を駆動制御するようにこ構成してもよい。
又、前記第１６の実施形態において、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄの装備箇所と十字状駆動コイル７７１の装備箇所とを入れ換えてもよい。この場合は、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄが固定子側に装備され、十字状駆動コイル７７１および制動プレート９が可動子側に装備されることとなる。
ここで、前記各実施形態においては、可動テーブル１として円形状のものを例示したが、四角形状でも他の形状であってもよい。補助テーブル５については四角形状の場合を例示したが、前記諸機能を実現し得るものであれば、円形でも他の形状のものであってもよい。又、被駆動磁石６Ａ〜６Ｄについても同一形状のものであれば磁極面が四角形でなく例えば円形であってもよい。
更に、前記各実施形態にあっては、制動用プレート９を装備した場合を例示したが、特に移動の迅速性を問わない場合には当該制動用プレート９は装備しなくてもよい。
又、前記テーブル保持機構２は、可動テーブル部１５に対する元位置復帰機能を備えたものについて例示したが、この可動テーブル部１５に対する元位置復帰手段を別に装備し、テーブル保持機構２については元位置復帰機能を取り除いた構成としてもよい。
前記各実施形態にて装備した制動用プレート９については、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄ毎に装備したものであっても、複数の各被駆動磁石に共通の単一の制動用プレート９としてもよい。
この場合、制動用プレート９の周囲をケース本体３で保持するように構成すると共に、この制動用プレート９に前記各実施形態における駆動コイルを装着し、固定プレート８を削除するように構成してもよい。この制動用プレート９に駆動コイルを装着するに際しては、当該制動用プレート９は、導電性で且つ非磁性部材で形成すると、制動用プレート９の本来の機能を維持しつつ駆動コイルを有効に維持することができて都合がよい。
このようにすると、構成が更に単純化されることから、装置全体の小型軽量化を更に促進することができるという利点がある。
又、前記各実施形態において、直交座標（Ｘ−Ｙ座標）上に四個の被駆動磁石を原点から等距離に装備した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定するものではなく、原点から等距離に装備していなくても、座標軸上から外れた位置に配置されていても、又その数が４個でなくてもよい。
この場合、前記各実施形態では、その動作制御系２，２０２，２０３，２０４・・・によって、外部から指示された移動方向に向けて都合のよい（例えば移送方向に効率良く機能する位置にある）複数の被駆動磁石を選択して通電駆動し、その合力をもって、前記可動テーブル部１５を外部から指示された移動方向に向けて移送するように構成するとよい。
又、前記各実施形態にあっては、可動テーブル部１５を可動テーブル１と補助テーブル５とで構成した場合を例示したが、可動テーブル部１５を可動テーブル１のみで構成するようにしてもよい。
この場合、各被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ（又は６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄ）は、可動テーブル１側に装着し、これに対向して固定プレートの対向面に前記駆動コイル７，７２１，７３１，・・・及び制動プレート９を装備するように構成してもよい。そして、テーブル保持機構２は、補助テーブル５を介することなく可動テーブル１を直接保持するような構造となっている。
このようにすると、装置全体の小型化および軽量化をより一層促進させることができ、可搬性および汎用性を高めることができて都合がよい。
更に、前記各実施形態では、テーブル保持機構として可動テーブルに対する元位置復帰機能を備えたものを例示したが、可動テーブルに対する元位置復帰機能を前記テーブル保持機構とは切り離して（元位置復帰機能を備えた手段として）別装備したものであってもよい。この場合、この元位置復帰機能を備えた手段がテーブル保持機構と同時に作動するものである限りにおいて技術思想的には前記各実施形態におけるテーブル保持機構と同等のものである。
又、前記各実施例において、各駆動コイルを固定コイル８上に装備した場合を例示したが、各駆動コイルを、前記被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄに対応する各コイル辺部分を当該被駆動磁石６Ａ〜６Ｄ，１６Ａ〜１６Ｄ側に露出するようにして、前記固定コイル８にそれぞれ埋設するように装着してもよい。
このようにすると、電磁駆動手段部分の空間領域を更に小さく設定することができ、装置全体の小型軽量化を更に促進させることができて都合がよい。
以上説明したように、本実施形態は、電磁駆動手段が作動して環状駆動コイルを通電駆動すると共に、外部からの指示に従って前記各被駆動磁石の内の移動方向に対応する一又は二以上の被駆動磁石を選択し通電駆動すると、その各被駆動磁石に働く電磁駆動力（反発力）の合力によって、可動テーブルをテーブル保持機構によって保持された所定の限定範囲内で同一平面上の任意の方向（環状駆動コイルの中心部側から外部に向かう方向）に平面移送することができる。
この場合、電磁駆動力の大きさを、環状駆動コイルと被駆動磁石の両方の通電電流を可変制御して設定し得るので、可動テーブルの移送速度を大小任意の大きさに設定することができ、かかる点において、汎用性をより一層たかめることができる。
又、この可動テーブル部の移送は、電磁駆動手段の環状駆動コイル及び所定の被駆動磁石に通電される電流の大きさをアナログ量で連続的に変化させ或いは所定の大きさに設定制御することが可能となっているので、テーブル保持機構の元位置復帰力とのバランスをとることにより、移送距離のミクロン単位での設定を可能としている。このため、精密作業用の可動テーブルを高精度に且つ円滑に、同一平面内において所定方向に高精度に且つ円滑に移送することができる。
更に、電磁駆動手段を可動テーブル部と固定プレートとの空間を利用して保持する構成とすることにより、当該電磁駆動手段の全体を薄板状の空間内に配置することができる。また、駆動機構としてＸ軸方向とＹ軸方向とを交差させた二重構造を採用していないので、当該電磁駆動手段の小型化軽量化が、ひいては装置全体の小型化軽量化が可能となっている。
又、駆動コイルとして単一の形状に形成された駆動コイルとしたので、生産時の組み込み及び装着作業が容易となり、生産性の向上を図ることができ、稼働時においても複雑な通電制御が不要となる。したがって、装置全体の起動時の迅速な立ち上げが可能となるという従来にない優れた精密加工用ステージ装置を提供することができる。
更に、少なくとも四組の駆動コイルのコイル辺をＸ軸およびＹ軸上にそれぞれ前述したように個別に配設すると共にこれに対応して各被駆動磁石を配置することにより、例えば、Ｘ軸に沿った方向への移動に際しては、Ｙ軸上の駆動コイルおよび対応する各被駆動磁石の通電動作を休止させることができ、かかる点において消費電力および温度上昇を有効に抑制することができる。
又、駆動コイルを二個の角形小コイルを突合わせて構成すると共に、当該駆動コイルのコイル辺が固定プレート上の中央部を原点として想定されるＸ−Ｙ面上の各軸に直交するように当該駆動コイルを前記Ｘ軸およびＹ軸上にそれぞれ個別に配設することが可能となる。このため、対応する各被駆動磁石に対してはそれぞれ電磁力を個別に且つ効率良く出力することができ、又、各被駆動磁石に対して個別に異なった大きさの電磁駆動力を発生させることが可能となる。しかも、駆動コイルと対応する被駆動磁石の両方の通電電流を同時に作用させることにより、所定の方向への移送速度を大きく設定することができ、又、例えば、移動方向のずれに際してはより迅速にこれに対応することができるという効果を奏する。
更に、駆動コイルとして同一面上に中心軸を同一にした大小二つの環状駆動コイルを装備すると共に各環状駆動コイルに対応してそれぞれ四個の被駆動磁石を装備することが可能となる。このため、可動テーブルの移送制御に際しては、より迅速に且つ高精度に可動テーブル部の移動動作を実行することができるという効果を奏する。
又、精密加工用ステージ装置において、駆動コイルのＸ軸及びＹ軸と交差する箇所に、当該駆動コイルのコイル辺部分に対応して前記被駆動磁石を個別に配設するという構成を採用することが可能となる。
前記複数の被駆動磁石の装備箇所を駆動コイルのＸ軸及びＹ軸と交差する箇所に限定したことから、実際上、移送方向の特定（演算）が容易となり、そのため、全体的に当該被駆動磁石の駆動制御が単純化される。したがって、可動テーブル部の移送方向の変化に対してもこれに迅速に対応することができ、同時に可動テーブル部の移送制御等（例えばその方向の切り換え制御，或いは位置ずれ等が生じた場合の補正）に際しても、これに迅速に対応することができる。
更に駆動コイルとして少なくとも四個の方形状駆動コイルを有すると共に被駆動磁石の数を倍増することにより、当該方形状駆動コイルと各被駆動磁石との間に発生する電磁駆動力をほぼ倍増させることができ、これにより、当該可動テーブルに対する移送駆動をより迅速に且つ高精度に実行することができる。
更に、駆動コイルとして少なくとも四組の駆動コイルを装備すると共に、この各駆動コイルのコイル辺が前記Ｘ軸又はＹ軸に沿って配設し且つ前記コイル辺に対向して前記被駆動磁石をＸ軸又はＹ軸上にそれぞれ個別に配設することが可能となる。このため、電磁駆動手段により出力される各電磁駆動力をＸ軸又はＹ軸に対して直交する方向で且つ回転する方向に出力し得ることとなる。このため、別途新たに回転駆動手段を装備することなく、可動テーブルに対する所定角度内での回転駆動が可能となるという効果を奏することとなり、その汎用化を更に高めることができるという、従来にない優れた精密加工用ステージ装置を提供することができる。
駆動コイルとして少なくとも四個の方形状駆動コイルにより構成し更に各方形状駆動コイルの前記Ｘ軸及びＹ軸と平行に位置する箇所の各コイル辺に対応して前記各被駆動磁石をそれぞれ個別に配設することが可能となる。このため、各駆動コイルとこれに対応した各被駆動磁石との間に発生する電磁駆動力を装置全体ではほぼ倍増させることができ、これにより、当該可動テーブル部に対する駆動制御をより迅速に且つ高精度に実行することができる。
精密加工用ステージ装置において、各被駆動磁石を電磁石に代えて永久磁石とすることにより、各被駆動磁石に対する通電制御が不要となり、各被駆動磁石の配線回路が不要となることから、電磁駆動手段の構造が更に単純化され且つ小型軽量化が促進され、可動テーブルに対する駆動制御に際しての制御対象が少なくなることから制御動作の即応性を高めることができ、更には装置全体の生産性及び耐久性を高めることができるという効果を奏する。
更に、駆動コイルを、全体的には十字枠状に形成された一個の十字状駆動コイルにより構成すると共にこの一個の十字状駆動コイルの前記Ｘ軸又はＹ軸と平行に位置する箇所のコイル辺に対応して、前記各被駆動磁石をそれぞれ個別に配設することが可能となる。このため、電磁駆動手段により出力される各電磁駆動力をＸ軸又はＹ軸に対して直交する方向で且つ回転する方向に出力することが可能となる。したがって、別途新たに回転駆動手段を装備することなく、可動テーブルに対する所定角度内での回転駆動が可能となるという効果を奏する。このため、その汎用化を更に高めることができるという、従来にない優れた精密加工用ステージ装置を提供することができる。
各被駆動磁石に対向し且つ微小間隙を介して導電性部材から成る制動プレートを配設すると共に、この制動プレートを前記駆動コイル側に固着装備することが可能となる。
このため、電磁駆動手段を急激に駆動しもしくは急激にその動作を停止させても、各被駆動磁石と制動プレートとの間に生ずる渦電流制動によって可動テーブル側に適度の制動力が無接触で発生し、これによって、可動テーブル部は微小振動することなく安定した状態で円滑に移送することができる。
ここで、前記制動プレートを、前記各被駆動磁石に共通に対応し得る単一の板状部材によって構成してもよい。
このようにすると、部品点数が少なくなり、装置全体の組立工程が単純化され、又保守性も改善され、装置全体の耐久性を増加させることができる。
前記駆動コイルとこれに対応して装備された複数の被駆動磁石の各々の装備箇所を、当該各駆動コイルと被駆動磁石の対応関係を維持しつつその全体を入れ替え装備するように構成してもよい。
前記制動プレートを前記本体部で保持すると共にこの制動プレートに前記駆動コイルを固着装備し、前記固定プレートを削除するように構成してもよいものである。
このため、固定プレートを不要としたことから、小型軽量化を更に促進することができる。
電磁駆動手段に、外部からの指令に応じて作動し当該電磁駆動手段の有する駆動コイルと各被駆動磁石とを個別に通電制御して前記可動テーブル部の所定の移動方向に向けて所定の駆動力を出力せしめる動作制御系を併設するようにしてもよいものである。
このため、可動テーブルの移動方向に向けて有効に機能する一又は二以上の被駆動磁石を選択して作動させるようにしたので、可動テーブルを確実に所定の方向に移動制御させることができる。
ここで、動作制御系については、前記駆動コイルに対する通電方向を一方の方向に設定し維持する通電方向設定機能と、駆動コイルに対する通電電流の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能と、駆動コイルに対する通電方向に応じて作動し前記各被駆動磁石に対する磁極の設定を設定し維持する磁極可変設定機能と、前記各被駆動磁石の磁力強度を外部からの指令に応じて個別に可変設定すると共にこれによって可動テーブル部に対する移送方向および移送力を調整するテーブル動作制御機能とを備えた構成としてもよい。
これにより、駆動コイル又は駆動コイルおよび各被駆動磁石の通電電流を単に個別に調整するだけで、可動テーブルを、同一面内で任意の速度で任意の方向に、高精度に且つ確実に移送することができる、という従来にない優れた精密加工用ステージ装置を提供することができる。
第７７図及び第７８図に示す本発明に係る第１７の実施形態は、第１図に示す第１の実施形態の電磁制動機構の改良に関するものである。すなわち、第１図に示す第１の実施形態は、電磁制動機構（制動磁石及び制動用プレート）により可動テーブル１にのみ制動を懸ける例であるが、第７７図に示す第１７の実施形態は、電磁制動機構により可動テーブル１及びテーブル保持機構２の両方に制動を懸ける構成に関するものである。
第７７図に示す第１７の実施形態は、テーブル保持機構２のうち、特に中継プレート（中継部材）２Ｇを選定し、この中継プレート２Ｇに電磁制動機構により制動を懸ける場合を示している。
第７７図において、電磁制動機構により可動テーブル１に制動を懸ける構成は、第１図に示す構成と同様であるため、電磁制動機構により中継プレート２Ｇに制動を懸ける構成について説明する。なお、電磁制動機構により可動テーブル１に制動を懸ける構成は、第１図に示す構成に限られるものではなく、上述した実施形態において説明した電磁制動機構を採用することができるものである。
第７７図に示すように、テーブル保持機構、特に中継プレート２Ｇに制動を懸ける電磁制動機構は、上述した実施形態において採用した構成と同様に、制動磁石８００ａ〜８００ｂと制動用プレート８０１との組み合わせにより構成されている。
制動用プレート８０１は、ケース本体３の底部３Ｂに植立させた支持軸８０２に中継プレート２Ｇと平行に保持して支えられている。そして、制動用プレート８０１は、支持軸８０２に支えられて中継プレート２Ｇに対面している。
本実施形態においては、制動磁石を４個用いている。この４個の制動磁石８００ａ〜８００ｂは、ケース本体３の底部３Ｂに支えられている。そして、これらの制動磁石８００ａ〜８００ｂは、ケース本体３に支えられて中継プレート８０１に対面している。すなわち、制動磁石８００ａ〜８００ｂは、中継プレート２Ｇを挟んで対峙した位置に配置されている。これらの制動磁石８００ａ〜８００ｂは、支持軸８０２を中心とし、かつ支持軸８０２の円周方向に等間隔に分割した位置にそれぞれ配置されている。さらに、これらの制動磁石８００ａ〜８００ｂは、隣り合う制動磁石同士の磁極が異なるように配置されている。すなわち、例えば隣り合う制動磁石８００ａの磁極をＳ極とした場合には、制動磁石８００ｂ又は８００ｄはＮ極となるように配置している。
したがって、本実施形態においては、制動磁石（８００ｂ又は８００ｄ）のＮ極からの磁束８０４が制動用プレート８０１を介してＳ極の制動磁石（８００ａ又は８００ｃ）に流れ込み、磁路を形成している。
第７７図及び第７８図に示す電磁制動機構（制動磁石８００ａ〜８００ｄ，制動用プレート８０１）は、第９図に示す制動原理に基づいて制動力を発生させ、その制動力をテーブル保持機構２、特に中継プレート２Ｇに懸けることにより、テーブル保持機構２に発生する微小な往復動を短時間内に抑制する。
次に、本実施形態と、電磁制動機構がない従来例との制動力を比較した結果を第７９図（Ａ）（Ｂ）に示す。第７９図（Ａ）（Ｂ）において、横軸は時間、縦軸は微小な往復動作の振幅をしている。第７９図（Ａ）に示すように、本発明の第１７の実施形態は、可動テーブル１とテーブル保持機構２との双方に電磁制動機構により制動を懸けるため、第７９図（Ｂ）に示す従来例と比較して、制動力を懸けた際に発生する微小な往復動作を短時間内に抑制することができるという効果を奏するものであることが分かる。
第７７図に示す第１７の実施形態は、テーブル保持機構２のうち、特に中継プレート（中継部材）２Ｇを選定し、この中継プレート２Ｇに電磁制動機構により制動を懸ける場合を示している。
第７７図において、電磁制動機構により可動テーブル１に制動を懸ける構成は、第１図に示す構成と同様であるため、電磁制動機構により中継プレート２Ｇに制動を懸ける構成について説明する。なお、電磁制動機構により可動テーブル１に制動を懸ける構成は、第１図に示す構成に限られるものではなく、上述した実施形態において説明した電磁制動機構を採用することができるものである。
第７７図に示すように、テーブル保持機構、特に中継プレート２Ｇに制動を懸ける電磁制動機構は、上述した実施形態において採用した構成と同様に、制動磁石８００ａ〜８００ｂと制動用プレート８０１との組み合わせにより構成されている。
制動用プレート８０１は、ケース本体３の底部３Ｂに植立させた支持軸８０２に中継プレート２Ｇと平行に保持して支えられている。そして、制動用プレート８０１は、支持軸８０２に支えられて中継プレート２Ｇに対面している。
本実施形態においては、制動磁石を４個用いている。この４個の制動磁石８００ａ〜８００ｂは、ケース本体３の底部３Ｂに支えられている。そして、これらの制動磁石８００ａ〜８００ｂは、ケース本体３に支えられて中継プレート８０１に対面している。すなわち、制動磁石８００ａ〜８００ｂは、中継プレート２Ｇを挟んで対峙した位置に配置されている。これらの制動磁石８００ａ〜８００ｂは、支持軸８０２を中心とし、かつ支持軸８０２の円周方向に等間隔に分割した位置にそれぞれ配置されている。さらに、これらの制動磁石８００ａ〜８００ｂは、隣り合う制動磁石同士の磁極が異なるように配置されている。すなわち、例えば隣り合う制動磁石８００ａの磁極をＳ極とした場合には、制動磁石８００ｂ又は８００ｄはＮ極となるように配置している。
したがって、本実施形態においては、制動磁石（８００ｂ又は８００ｄ）のＮ極からの磁束８０４が制動用プレート８０１を介してＳ極の制動磁石（８００ａ又は８００ｃ）に流れ込み、磁路を形成している。
第７７図及び第７８図に示す電磁制動機構（制動磁石８００ａ〜８００ｄ，制動用プレート８０１）は、第９図に示す制動原理に基づいて制動力を発生させ、その制動力をテーブル保持機構２、特に中継プレート２Ｇに懸けることにより、テーブル保持機構２に発生する微小な往復動を短時間内に抑制する。
次に、本実施形態と、電磁制動機構がない従来例との制動力を比較した結果を第７９図（Ａ）（Ｂ）に示す。第７９図（Ａ）（Ｂ）において、横軸は時間、縦軸は微小な往復動作の振幅をしている。第７９図（Ａ）に示すように、本発明の第１７の実施形態は、可動テーブル１とテーブル保持機構２との双方に電磁制動機構により制動を懸けるため、第７９図（Ｂ）に示す従来例と比較して、制動力を懸けた際に発生する微小な往復動作を短時間内に抑制することができるという効果を奏するものであることが分かる。
以上説明したように本発明によれば、電磁制動機構の制動用磁石と非磁性及び導電性の制動プレートとを可動テーブルの移動に同期して相対的に変位させることにより、前記可動テーブルの移動速度に比例した大きさの渦電流を前記制動プレートに発生させ、当該制動プレートに発生する渦電流による磁力と前記制動用磁石の磁力との相互磁気作用に基づく制動力を発生させるため、当該電磁制動機構の制動力を受けて、前記可動テーブルの微小往復動作を短時間内で収束させることができる。
Claims (39)
- 本体部に組み込まれ、被加工物を支持する可動テーブルと、
前記本体部に組み込まれ、前記可動テーブルを同一面内の任意の方向への移動を許容するテーブル保持機構と、
前記本体部に組み込まれ、前記可動テーブルに前記同一面内での送りを与える電磁駆動手段と、
前記同一面内の任意の位置に前記可動テーブルを停止させるための制動力を発生させる電磁制動機構と、
を有し、
前記電磁駆動手段は、複数の被駆動磁石と、通電の方向により前記被駆動磁石の磁力に作用する磁力を発生するための駆動コイルとの組を有し、前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの相互磁気作用により前記可動テーブルの送りを発生させるものであり、
前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの内、一方は定位置に固定され、他方は前記可動テーブルと一体に移動可能に設けられ、
前記電磁制動機構は、相互に対面し、かつ前記可動テーブルの動きに同期して相対的に移動する制動用磁石と非磁性及び導電性の制動プレートとを含み、
前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は定位置に固定され、他方は前記可動テーブルの動きに同期して移動可能に設けられ、当該制動用磁石と当該制動プレートとの組は、前記可動テーブルの移動に伴って当該制動プレートに発生する渦電流による磁力と当該制動用磁石の磁力との相互磁気作用に基づく制動力を発生するものであることを特徴とする精密加工用ステージ装置。 - 前記電磁制動機構は、前記可動テーブルにのみ制動を懸けるものであることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁制動機構は、前記可動テーブル及び前記テーブル保持機構に制動を懸けるものであることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁制動機構は、前記制動用磁石と前記制動プレートとの対を複数有することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁制動機構は、前記可動テーブルの中央部に装備したことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁制動機構の前記制動プレートは、前記複数の制動用磁石に対して単一のプレートとして形成されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記可動テーブルは、当該可動テーブルと平行に、かつ一体に連結された補助テーブルを介して、或いは直接的に前記テーブル保持機構に保持されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記テーブル保持機構は、
前記可動テーブルの周端部の同一円周上に所定間隔を隔てて平行に配設され且つ一端部が当該可動テーブルに植設された少なくとも三本の一方の棒状弾性部材と、
前記一方の各棒状弾性部材に対応し且つ当該各棒状弾性部材の外側にて同一円周上に所定間隔を隔てて平行に配設され一端部が前記本体部に保持された同一長さの少なくとも三本の他方の棒状弾性部材と、
前記一方と他方の各棒状弾性部材の他端部を平行状態を維持しつつ一体的に保持する中継部材とにより構成され、
前記テーブル保持機構の三組の各棒状弾性部材は、それぞれ同一の強度で同一長さのピアノ線等の棒状弾性部材により構成されていることを特徴とする請求の範囲第７項に記載の精密加工用ステージ装置。 - 前記電磁制動機構の前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は、前記可動テーブルと一体に移動するように設けられ、他方は前記本体部に設けられたことを特徴とする請求の範囲第８項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁制動機構の前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は、前記可動テーブルと一体に移動するように設けられ、他方は前記本体部に設けられ、
さらに、前記電磁制動機構の前記制動用磁石と前記制動プレートとの内、一方は、前記中継部材と一体に移動するように設けられ、他方は前記本体部に設けられたことを特徴とする請求の範囲第８項に記載の精密加工用ステージ装置。 - 前記電磁制動機構の前記制動用磁石は、前記被駆動磁石から形成されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁制動機構の前記制動用磁石は、前記被駆動磁石と別体に構成されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁制動機構の前記制動用磁石は、永久磁石又は電磁石のいずれか１つから形成されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記テーブル保持機構は、前記可動テーブルを元位置に復帰させる元位置復帰力を備えたものであることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記被駆動磁石と前記駆動コイルとは、前記可動テーブルが移動する面内に設定した原点を通る１つの軸線を基準として円周方向に等分してなる複数の軸線上に配置されて定位置に固定されたことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記複数の軸線は、前記可動テーブルが移動する面内に設定した原点を通る直交した複数の軸線であることを特徴とする請求の範囲第１５項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記複数の軸線は、前記可動テーブルが移動する面内に設定した原点を中心として放射方向に向かう複数の軸線であることを特徴とする請求の範囲第１５項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記可動テーブルが前記テーブル保持機構により復帰する元位置は、前記可動テーブルが移動する面内に設定した軸線の基点となる原点に一致することを特徴とする請求の範囲第１４項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの組は、前記軸線に対してずれた位置に配置されたことを特徴とする請求の範囲第１５項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁駆動手段をなす複数の被駆動磁石は、前記原点から等距離の位置で前記各軸線上に配置され、
前記電磁駆動手段をなす複数の駆動コイルは、前記複数の被駆動磁石に対応して配置されていることを特徴とする請求の範囲第１５項に記載の精密加工用ステージ装置。 - 前記軸線上に配置された複数の被駆動磁石は、線対称な位置関係に配置されていることを特徴とする請求の範囲第２０項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁駆動手段の被駆動磁石は、永久磁石により形成されたものであることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁駆動手段の被駆動磁石は、電磁石により形成され、当該被駆動磁石への通電を、前記駆動コイルへの通電に同期させて順方向又は逆方向に選択的に制御するようにしたことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記駆動コイルは、前記被駆動磁石の磁力に作用する磁力を発生させるためのコイル片を有するものであることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記駆動コイルは、寸法を異ならせて内外に配列した複数のコイルから形成されたことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記駆動コイルのコイル辺は、十字状又は直線状の形状に形成されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記駆動コイルの十字状コイル辺は、前記被駆動磁石が配置された前記軸線に沿う姿勢に配置されたものであることを特徴とする請求の範囲第２６項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記駆動コイルの直線状コイル辺は、前記駆動磁石が配置された前記軸線に沿う、或いは横切る姿勢に配置されたものであることを特徴とする請求の範囲第２６項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記駆動コイルは、独立して通電される複数の小コイルを組み合わせて形成され、当該小コイル同士の突合せ部に前記十字状又は直線状のコイル辺が形成されていることを特徴とする請求の範囲第２６項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記小コイルは、角形形状に形成されていることを特徴とする請求の範囲第２９項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記小コイルの角形形状は、四角形，三角形，五角形又は扇形状のいずれかであることを特徴とする請求の範囲第２９項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁駆動手段は、前記被駆動磁石と前記駆動コイルとの対を複数有することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記駆動コイルの外形寸法は、前記被駆動磁石の外形寸法より大きく設定されていることを特徴とする請求範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記電磁駆動手段は、前記駆動コイルへの通電を制御して前記可動テーブルを直線移動させる、或いは直線移動及び回転移動させる動作制御系を備えていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記動作制御系は、
前記電磁駆動手段の駆動コイルを制御モードに従って通電制御するコイル駆動制御手段と、
前記可動テーブルの移動方向，回転方向，及びその動作量等が特定された複数の制御モードにかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部と、
前記各制御プログラムの実行に際して使用される所定の座標データ等を記憶したデータ記憶部と、
前記コイル駆動制御手段に前記駆動コイルに対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部とを含んで構成されていることを特徴とする請求の範囲第３４項に記載の精密加工用ステージ装置。 - 前記動作制御系の制御コードは、
前記直交する２軸の交点を原点として各軸の正負方向に前記可動テーブルを移動させるための第１乃至第４の制御モードと、
前記直交する２軸により区画される各象限内の方向に前記可動テーブルを移動させるための第５乃至第８の制御モードと、
前記直交する２軸により形成される面内にて前記可動テーブルを時計方向又は反時計方向に回転させるための第９乃至第１０の各制御モードとから構成されていることを特徴とする請求の範囲第３５項に記載の精密加工用ステージ装置。 - 更に前記動作制御系は、
前記可動テーブルの移動情報を検出し外部出力する複数の位置検出センサと、
前記位置検出センサで検出される情報に基づいて所定の演算を行い前記可動テーブルの移動方向およびその変化量等を特定して位置情報として外部出力する位置情報演算回路とを併設したことを特徴とする請求の範囲第３５項に記載の精密加工用ステージ装置。 - 前記電磁駆動手段は、外部からの指令に応じて作動し当該電磁駆動手段の有する駆動コイルと被駆動磁石とを個別に制御して前記可動テーブルを所定の移動方向に移動させる動作制御系を備えていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記動作制御系は、
前記駆動コイルに対する通電方向を一方の方向に設定し維持する通電方向設定機能と、
前記駆動コイルに対する通電方向の大きさを可変設定する駆動コイル通電制御機能と、
前記駆動コイルに対する通電方向に応じて作動し前記各駆動磁石に対する磁極を個別に設定し維持する磁極可変設定機能と、
前記各被駆動磁石の磁力強度を外部からの指令に応じて個別に可変設定する磁力強度設定機能と、
これらの諸機能を適度に作動させて可動テーブルに対する移送方向及び移送力を調整するテーブル動作制御機能とを有していることを特徴とする請求の範囲第３８項に記載の精密加工用ステージ装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002221545 | 2002-07-30 | ||
| JP2002221545 | 2002-07-30 | ||
| PCT/JP2003/009641 WO2004012260A1 (ja) | 2002-07-30 | 2003-07-30 | 精密加工用ステージ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2004012260A1 true JPWO2004012260A1 (ja) | 2005-11-24 |
Family
ID=31184864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004524309A Pending JPWO2004012260A1 (ja) | 2002-07-30 | 2003-07-30 | 精密加工用ステージ装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6992407B2 (ja) |
| EP (1) | EP1548819A4 (ja) |
| JP (1) | JPWO2004012260A1 (ja) |
| CN (1) | CN1311537C (ja) |
| AU (1) | AU2003252723A1 (ja) |
| WO (1) | WO2004012260A1 (ja) |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10304462B4 (de) * | 2003-02-04 | 2007-03-29 | Weiss Gmbh Sondermaschinentechnik | Rundschalttisch |
| DE102004013919A1 (de) * | 2004-03-22 | 2005-10-20 | Siemens Ag | Elektromotor |
| KR100773545B1 (ko) * | 2006-02-15 | 2007-11-06 | 삼성전자주식회사 | 로킹장치를 구비한 ｘ-ｙ스테이지 구동장치와, 이를 채용한정보저장기기 |
| US20070290282A1 (en) * | 2006-06-15 | 2007-12-20 | Nanochip, Inc. | Bonded chip assembly with a micro-mover for microelectromechanical systems |
| JP2008086144A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Murata Mach Ltd | リニアモータおよびそれを搭載した工作機械 |
| US20080170213A1 (en) * | 2007-01-12 | 2008-07-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US7535193B2 (en) * | 2007-06-18 | 2009-05-19 | Xradia, Inc. | Five axis compensated rotating stage |
| KR101398470B1 (ko) * | 2008-02-12 | 2014-06-27 | 삼성전자주식회사 | 촬상 장치용 손떨림 보정 모듈 및 이를 구비한 촬상 장치 |
| CN102114600B (zh) * | 2009-12-30 | 2012-07-18 | 财团法人金属工业研究发展中心 | 超精密压电定位平台 |
| CN102947925A (zh) * | 2010-04-07 | 2013-02-27 | 株式会社安川电机 | θZ 驱动装置和载物台装置 |
| WO2012029168A1 (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-08 | 株式会社Ｗｉｎｐｒｏ | 円盤型同軸反転式発電機及び該円盤型同軸反転式発電機を用いた風力発電装置 |
| US8670195B2 (en) * | 2011-06-09 | 2014-03-11 | Panasonic Corporation | Lens actuator |
| CN103196409B (zh) * | 2013-03-08 | 2015-10-28 | 成都成保发展股份有限公司 | 汽车悬架转向系间隙检查台 |
| JP6648984B2 (ja) * | 2014-12-26 | 2020-02-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| CN104723121A (zh) * | 2015-04-07 | 2015-06-24 | 天津市裕泰机械有限责任公司 | 一种可旋转夹具 |
| CN106910533B (zh) * | 2017-03-07 | 2018-11-13 | 中南大学 | 基于直线步进电机的角位移平台装置 |
| JP6808665B2 (ja) * | 2017-03-10 | 2021-01-06 | Hoya株式会社 | 表示装置製造用フォトマスク、及び表示装置の製造方法 |
| CN107150350B (zh) * | 2017-05-25 | 2019-07-12 | 东莞质研工业设计服务有限公司 | 设有阻隔墙的吸盘安装板 |
| MX2020003028A (es) | 2017-09-20 | 2020-11-06 | Mainspring Energy Inc | Frenado automatico para una maquina electromagnetica. |
| CN108188486A (zh) * | 2018-02-09 | 2018-06-22 | 洛阳天浩泰轨道装备制造有限公司 | 一种平面多工位定位机床加工装置及操控方法 |
| WO2021226652A1 (en) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | Australian National University | Electromagnet |
| CN111817497B (zh) * | 2020-07-10 | 2022-01-21 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 控制装置和运动机构 |
| CN112719944A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-30 | 宁波启航船业有限公司 | 一种船舱密封板六边形密封槽自动切削加工机构 |
| CN116540503B (zh) * | 2023-07-03 | 2023-10-24 | 之江实验室 | 一种激光直写样品的固定装置及工作方法 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2562592B2 (ja) | 1987-02-24 | 1996-12-11 | 快男 鹿野 | 同一面内における一方向移動装置 |
| JPH01282493A (ja) | 1988-05-09 | 1989-11-14 | Yoshio Kano | 計測機器用ステージ装置 |
| JPH01282494A (ja) | 1988-05-09 | 1989-11-14 | Yoshio Kano | 計測機器用ステージ装置 |
| US4952858A (en) * | 1988-05-18 | 1990-08-28 | Galburt Daniel N | Microlithographic apparatus |
| JP3087305B2 (ja) * | 1990-03-05 | 2000-09-11 | 株式会社ニコン | ステージ装置 |
| US5153494A (en) | 1990-04-06 | 1992-10-06 | International Business Machines Corp. | Ultrafast electro-dynamic x, y and theta positioning stage |
| JPH06323803A (ja) | 1993-05-14 | 1994-11-25 | K G S Kk | 移動体の位置検出装置 |
| JPH06327222A (ja) | 1993-05-14 | 1994-11-25 | K G S Kk | リニアモータ装置 |
| US6144118A (en) * | 1998-09-18 | 2000-11-07 | General Scanning, Inc. | High-speed precision positioning apparatus |
| US6147421A (en) * | 1998-11-16 | 2000-11-14 | Nikon Corporation | Platform positionable in at least three degrees of freedom by interaction with coils |
| KR100625625B1 (ko) * | 1999-10-07 | 2006-09-20 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판, 스테이지 장치, 스테이지 구동 방법, 노광 장치 및노광 방법 |
| JP2001185604A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置 |
| US6437463B1 (en) * | 2000-04-24 | 2002-08-20 | Nikon Corporation | Wafer positioner with planar motor and mag-lev fine stage |
| US6405659B1 (en) * | 2000-05-01 | 2002-06-18 | Nikon Corporation | Monolithic stage |
| US6452292B1 (en) * | 2000-06-26 | 2002-09-17 | Nikon Corporation | Planar motor with linear coil arrays |
| JP2002035709A (ja) | 2000-07-25 | 2002-02-05 | Japan Steel Works Ltd:The | レーザクリーニング処理におけるパーティクルの捕集装置及び捕集方法 |
| CN2447799Y (zh) * | 2000-09-30 | 2001-09-12 | 麦克奥迪实业集团有限公司 | 可移动式载物台 |
| JP2002323584A (ja) | 2001-02-22 | 2002-11-08 | Nikon Corp | アクチュエータ、ステージ、露光装置、デバイスの製造方法、及び免震装置 |
| US6750625B2 (en) * | 2001-08-15 | 2004-06-15 | Nikon Corporation | Wafer stage with magnetic bearings |
| JP4139608B2 (ja) * | 2002-03-11 | 2008-08-27 | 株式会社タムラ製作所 | 精密加工用ステージ装置 |
-
2003
- 2003-07-30 US US10/512,866 patent/US6992407B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-07-30 WO PCT/JP2003/009641 patent/WO2004012260A1/ja active IP Right Grant
- 2003-07-30 EP EP03771421A patent/EP1548819A4/en not_active Withdrawn
- 2003-07-30 CN CNB038179911A patent/CN1311537C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-07-30 AU AU2003252723A patent/AU2003252723A1/en not_active Abandoned
- 2003-07-30 JP JP2004524309A patent/JPWO2004012260A1/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU2003252723A1 (en) | 2004-02-16 |
| CN1672254A (zh) | 2005-09-21 |
| US20050219025A1 (en) | 2005-10-06 |
| AU2003252723A8 (en) | 2004-02-16 |
| EP1548819A1 (en) | 2005-06-29 |
| CN1311537C (zh) | 2007-04-18 |
| US6992407B2 (en) | 2006-01-31 |
| EP1548819A4 (en) | 2007-05-02 |
| WO2004012260A1 (ja) | 2004-02-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPWO2004012260A1 (ja) | 精密加工用ステージ装置 | |
| Rovers et al. | Analysis method of the dynamic force and torque distribution in the magnet array of a commutated magnetically levitated planar actuator | |
| RU2642907C2 (ru) | Поворотное устройство позиционирования | |
| Nguyen et al. | Two-phase Lorentz coils and linear Halbach array for multiaxis precision-positioning stages with magnetic levitation | |
| EP3076531A1 (en) | Flat voice coil motor | |
| TW200934086A (en) | Magnetic floating system | |
| KR101792390B1 (ko) | 정밀 공간 운동기 | |
| JP4139608B2 (ja) | 精密加工用ステージ装置 | |
| JP6632355B2 (ja) | 制振装置 | |
| JP6567811B2 (ja) | 複数のセクションに分かれた支持台を備える防振システム及びその防振システムを制御する方法 | |
| JP4729915B2 (ja) | 制振装置及びその制御方法 | |
| CN103426345A (zh) | 一种紧凑型磁悬浮工作台的实验装置 | |
| KR20170033652A (ko) | 자기부상을 이용한 그리퍼 | |
| JP2013123297A (ja) | 磁気浮揚装置 | |
| KR100598996B1 (ko) | 정밀 가공용 스테이지 장치 | |
| JP4139612B2 (ja) | 精密加工用ステージ装置 | |
| JP2014177152A (ja) | 移動装置及びプログラム | |
| TWI220875B (en) | Stage equipment for precision processing | |
| KR20090109250A (ko) | 비접촉평면액추에이터 그리고 이를 이용한 제진대 및능동진동제어시스템 | |
| Lahdo et al. | A novel high-precision magnetic levitation system | |
| JP4386404B2 (ja) | テーブル位置検出用センサ装置 | |
| CN215990534U (zh) | 电磁式执行机构及电磁式振动控制装置 | |
| JP2823313B2 (ja) | ６軸姿勢制御装置 | |
| KR200174677Y1 (ko) | 6자유도 위치 기기 | |
| JP5656902B2 (ja) | アクチュエータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060529 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090929 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100209 |