JP2004104069A - 半導体デバイス製造のためのベーク装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】チャンバ内部の温度雰囲気が迅速に形成されると共にウェハのCD均一性を改善することができる半導体デバイス製造のためのベーク装置を提供する。
【解決手段】ウェハWの装着されるホットプレート11が内部に具備されるチャンバ10と、チャンバ10の上部を閉じるためのカバー20と、カバー20の内側面に具備される垂直放射率係数の低い材質の薄膜30と、からなる。
【選択図】 図1
【解決手段】ウェハWの装着されるホットプレート11が内部に具備されるチャンバ10と、チャンバ10の上部を閉じるためのカバー20と、カバー20の内側面に具備される垂直放射率係数の低い材質の薄膜30と、からなる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、半導体デバイス製造のためのベーク装置に係るものであり、詳しくは、チャンバにおいてホットプレートに対向する内側上部面に垂直放射率係数が低く且つ研磨により鏡面処理された薄膜を形成することにより、チャンバ内部の温度雰囲気、即ち、工程雰囲気が迅速に形成されると共に、ウェハのCD(クリティカルディメンション)の均一性(CD散布)を改善することができる半導体デバイス製造のためのベーク装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体装置が高集積化され回路パターンのサイズが一層微細化されるに従い微細パターンのサイズに影響する各種パラメーターの管理がさらに厳しくなっている。特に、半導体デバイス製造工程中でもフォト工程は微細パターンのサイズに直接的に影響する。このようなフォト工程では、ウェハ上に微細パターンを形成するためにウェハ上にフォトレジストを塗布し、レチクル(ステッパーなどの露光装置に用いられるフォトマスク)に形成された回路パターンを伝写するために、塗布されたフォトレジストを露光し、露光されたフォトレジストを現像する一連の工程が実行される。
【0003】
ここで現像工程では、フォトレジストの露光されたウェハに現像液を撒布し、フォトレジストの性質に従って、露光された部分を除去し露光されていない部分をパターンとして残すか、反対に露光された部分をパターンとして残し露光されていない部分を除去する。次に、ウェハに純水を撒布して、残存する現像液をリンスした後にポストベークユニットにウェハを移送してウェハを所定の温度(ベーク温度)でベーキング処理する。以下、説明のために、このようなベーキングを行う装置をベーク装置といい、ベーキングを行う工程をベーク工程という。
【0004】
このようなベーク工程においては、通常チャンバ内のホットプレート上にフォトレジストが塗布されたウェハを装着して所定の温度でフォトレジストをベークするチャンバ式ベーク装置(ベークチャンバ)を用いる。
【0005】
このようなベーク装置を用いて微細パターンをパターニングする場合、フォトレジストのベーク温度の均一性が写真工程及び食刻工程のときに大きな影響を与えるため、最近では、フォトレジストのベーク温度を面内方向で均一に維持することが求められている。
【0006】
即ち、ウェハがチャンバ内に実装されたときに、ウェハの温度を一定温度(ベーク温度)まで短時間で達することができる点と、温度の誤差が少なく面内方向で均一な温度分布をもつように所定のベーク温度にウェハを維持することができる点とが半導体素子の収率に直接的な影響を与えるため、精密な温度調節と、より速い温度補償とがなされるベーク装置が求められている。
【0007】
しかし、現在のベークチャンバは図5に示すようにチャンバ10の内部に具備されるホットプレート11の上部面にウェハWを装着して所定の温度で加熱することによってパターンを形成している。したがって、一般のパターンを形成する場合には特別な問題が発生しないが、微細な直径のコンタクトホールを形成する場合又は特に熱に敏感なフォトレジストを用いる場合には、CD不良が招来されるという問題点があった。
【0008】
又、現在、ホットプレート11と相対するように置かれてチャンバの上部を閉じるためのカバー20の内側面は、通常では酸化処理されており、その表面が粗く形成されている。このような表面処理によって、ホットプレート11の面内での均一な温度分布がなされるようにしている。
【0009】
ホットプレート11での温度分布では、センター部位の温度が一番低い値を示す。したがって、ウェハWでも図6に示すように他の部位T,L,R,Fに比べセンター部位CでのCDが過度に低く現れて、CD均一性が悪化して、微細パターンの形成時に不良が発生するといった問題点があった。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の目的は、ホットプレートの直上部側で、チャンバの内壁面を垂直放射率の低い材質で構成することによって、ベーク工程を実行するときにチャンバ内部の工程雰囲気を安定させ、且つCDの線幅のばらつきを減少させてCD均一性を高めることにある。
【0011】
又、本発明の目的は、チャンバの内部雰囲気を短い時間に安定化させて工程実行時間を短縮させることにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため本発明は、ウェハの装着されるホットプレートが内部に備えられるチャンバと、前記チャンバの上部を閉じるためのカバーと、前記カバーの内側面に具備される垂直放射率係数の低い材質の薄膜と、から構成される。
【0013】
前記薄膜は、前記チャンバの内部に具備されるホットプレートの直上部側で、前記カバーの内側上部面に形成される。
【0014】
又、前記薄膜の表面は、研磨により鏡面処理されている。そして、前記薄膜は垂直放射率係数が0.02乃至0.05になるようにし、このような垂直放射率係数を有する金属であることが望ましい。特に、薄膜は、有機物による腐食に強い材質、すなわち有機物による腐食に耐性を有する材質からなることが望ましい。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面を用いて詳しく説明する。
【0016】
フォト装備として、ウェハを搬送する搬送路の周りに多数の処理ユニットが配置される。前記搬送路にそってウェハを各ユニットに搬送することにより、各ユニットにおいて必要な工程が実行される。
【0017】
即ち、ウェハはキャリアに収納されて裁置台上にローディングされ、ローディングされるウェハはメインアーム機構により搬送路にそってHMDS(Hexa−Methyl Disilazane:(CH3)3SiNHSi(CH3)3)ユニットに提供され、HMDSユニットでウェハはアドヒージョン(adhision)処理される。ここで、HMDSユニットでのアドヒージョン処理とは、たとえば、HMDSを蒸気状に塗布してレジスト膜とウェハとの密着性の向上を目的とした処理であり、密着性強化材塗布処理と呼ばれる。
【0018】
次いで、ウェハはクーリングユニットで常温に冷却された後、塗布ユニットに移送され、塗布ユニットでウェハをスピンチャックに固定して回転しながらウェハ表面にフォトレジスト溶液を撒布して、均一な厚さにフォトレジストが塗布されるように処理が実行される。
【0019】
ウェハは再びフリーベークユニットに移送されて、略100℃程度に所定時間置かれて、ソフトベークされる。この過程でフォトレジスト膜に含められた溶剤を揮発させて膜質を安定化させる。ウェハは再びクーリングユニットに移送されて常温で冷却され、ステッパーに移送され、ステッパーでフォトレジスト膜は露光処理される。
【0020】
その後、ウェハはWEE(Wafer Edge Exposure:ウエハエッジ露光)ユニットに移送されてウェハのエッジ部位を露光した後、露光されたウェハはPEB(Post Exposure Bake)ユニットに移送されて所定温度で所定時間置かれて、この間にベーキング処理される。
【0021】
ベーキングされたウェハはクーリングユニットに移送されて常温で冷却した後、現像ユニットに移送されて、フォトレジストの露光されたウェハに現像液を撒布して、フォトレジストの性質に従って、露光された部分を除去し露光されていない部分をパターンとして残すか、或いは反対に露光された部分をパターンとして残し露光されていない部分を除去する。次いで、ウェハに純水を撒布してウェハ上に残存する現像液をリンスした後にポストベークユニットにウェハを移送する。
【0022】
そして、ベークユニット(ベーク装置)ではウェハを所定温度でベーキング処理する。このようなベーキング処理は残されたフォトレジストを硬化させて、耐薬品性を向上させるためのものである。ベーキング処理されたウェハはクーリングユニットに移送されて常温で冷却された後に裁置台のウェハキャリアにアンローディングされる。
【0023】
上述のような一連の工程実行過程は従来と同じである。
【0024】
但し、ウェハ上に形成されたコンタクトホールの部分が漸次に小さいサイズをもつようにしつつ最終的に必要とされるサイズのコンタクトホールを具現するためには、何度にも亘って複数回のベーキング処理を実行することが必要となっている。
【0025】
即ち、ベーキング処理を何度も実行すると、コンタクトホールの上段部外周縁部がベーキングによる効果によって漸次に陥没される。この結果、より小さい直径のコンタクトホールを形成させるのである。
【0026】
このような一連のフォト工程において現像後にウェハをベーキング処理するベークユニットは通常、図1に示すような構成からなる。
【0027】
図示したように本発明の図面では従来の構成と同一な構成に対しては同じ符号を付する。
【0028】
図1に示されるとおり、本発明のベークユニット(ベーク装置)は大きくわけて、チャンバ10とカバー20からなる。ここで、チャンバ10は内部にホットプレート11を備え、該ホットプレート11の上部面にウェハWが装着(安着)される構成となっている。
【0029】
チャンバ10の内部に具備されるホットプレート11は、ヒーター(図示せず)により加熱される構成をしており、そのホートプレート11の上部面にウェハWが装着される。このようにして、現像されたパターンをベーキング処理して必要なパターンが形成されることとなる。
【0030】
そして、カバー20はチャンバ10の開放された上部(すなわち、ホートプレート11の本体からみてウェハが置かれている方向の部分)を密閉する構成をしている。たとえば、該カバー20は通常チャンバ10と同じ材質で構成される。
【0031】
このような構成は従来の構成と類似している。但し、本発明はこのような構成においてカバー20の構成、特にカバー20の内側面を改善させるのにその特徴がある。
【0032】
言い換えれば、チャンバ10でベーク工程が実行される内部空間中でカバー20の内側面の表面に、垂直放射率係数εの低い材質の薄膜30が具備されることを本発明の一番の特徴としている。
【0033】
特に薄膜30はホットプレート11の直上部側で、ホットプレート11に載置されたウェハWと相対するように、チャンバ10の内側上部面に形成されることが好ましい。そして、前記薄膜30の垂直放射率係数εは0.02乃至0.05の範囲が適当であり、特に、垂直放射率係数εが0.02乃至0.05の金属であることが望ましい。また、この薄膜30の表面は研磨により鏡面処理されていることが最も好ましい。
【0034】
たとえば、薄膜30として適当な材質はアルミニウムであり、鏡面処理されたアルミニウム薄膜(ホイル)をカバー30の内側上部面に付着するのがよい。
【0035】
図2は、本発明の薄膜30に適用される金属材質の垂直放射率係数を図示している。
【0036】
図2に示すように、アルミニウムであっても、酸化され、またはその表面が研磨されていなくて鈍くなったアルミニウムは、よく研磨され又は鏡面処理されたアルミニウムに比べて、垂直放射率が相対的に高く現れる性質をもつ。したがって、薄膜30として、上述した適切な垂直放射率係数の材質を選択する見地からは、よく研磨されたものを使用するのがよい。また、薄膜30として、アルミニウムのほかにも黄銅、銅、又は金などの材質を使用することができ、このような材質を用いる場合であっても、研磨されたものを使用するのが最も好ましい。
【0037】
本発明の薄膜30は、カバー20の本体とは別途に製作および研磨されたものを用意し、この薄膜をカバー20の内側面に付着してもよく、又はカバー20に鍍金のような方式で成層させた後に研磨する方式により本発明の薄膜30を形成することもできる。
【0038】
なお、薄膜30はフォトレジストのような有機物による腐食に強い材質で構成される。
【0039】
以下、このように構成された本発明による作用を説明する。
【0040】
上述のように本発明は、ベーク工程を実行するチャンバ10に結合されたカバー20において、ホットプレート11又はホットプレート11に装着されたウェハWに対向される内側上部面に垂直放射率係数の低い材質の薄膜30を備えて、ウェハWでのCD均一性(CD散布)を改善するものである。ここで、CD均一性(CD散布)とは、通常CD(クリティカルディメンション)を決め、その線幅が処理後にどれだけばらついているかを表す。
【0041】
そして、以下に示されるように、CD均一性は、カバー20の構造、すなわち形状や配置よりは、熱を放射するカバー20での熱放射表面の材質と相関関係があることを試験を通じて確認することができる。
【0042】
図3は、ホットプレート11とホットプレート11に対向するカバー20の内側上部面の間の構造変更を行った場合におけるウェハWでのCDデータを条件別に算出したものである。
【0043】
図3において、「既存」の場合とはホットプレート11に対向するカバー20の上部面を酸化処理して表面を粗くした場合をいい、「構造変更」とは図4に示すようにホットプレート11(あるいはホットプレート11上のウェハの表面)とカバー20の上部面との間の距離を改善した場合を意味し、「Alテープ」とは、上述したとおり薄膜30としてアルミニウムをカバー20の上部面にテープで付着することによってカバー20での熱放射表面の材質を変更した場合を意味する。
【0044】
図示したように、条件別CDデータを見ると、熱を放射するカバー20の材質を変更する条件でCD差が一番小さい値を示すことがわかり(RANGE欄参照)、単純な構造変更はCDに大きな影響を与えないことがわかる。
【0045】
又、図示していないが、カバー20の上部面の色変更による試験でもその表面色はCDにまったく影響を与えないことがわかる。
【0046】
このように本発明は多様な試験を通じてCDに一番影響を与える条件はホットプレート11と対向するカバー20の内側上部面の表面材質と粗さであることに着目して、このカバー20の内側上部面に、垂直放射率係数の低い材質、即ち、アルミニウム、銅、銀、および金などを用いて薄膜30を形成し、さらに好ましくは前記薄膜30の表面を研磨により鏡面処理することによって、CD均一性を大幅に改善する。
【0047】
また、カバー20において、ホットプレート11と相対する表面に垂直放射率係数の低い材質で薄膜30を形成して、チャンバ10内での熱放出を最大限に防止して内部の工程雰囲気をより速く安定化させることができる。
【0048】
即ち、内部の温度を迅速に安定化させると、工程進行速度が速くなるだけでなく、CDを改善し製品の不良率を最大限に低めることができる。
【0049】
一方、上記の説明において多くの事項が具体的に記載されたが、それらは発明の範囲を限定するものでなく、好ましい実施例の例示として解釈すべきである。
【0050】
従って、本発明の範囲は説明された実施例により決められるべきものでなく、特許請求範囲に記載された技術的思想により決めるべきである。
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、チャンバ10内に具備されるホットプレート11と相対するカバー20の内側上部面に垂直放射率係数の非常に低い材質の薄膜30を形成し、その薄膜30の表面を鏡面処理することによって、チャンバ10内部での工程温度を迅速に安定化させ、ウェハWでのCD均一性を大幅に改善させることができるという効果がある。
【0052】
つまり、ウェハの生産性と製品の品質を向上させることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のベーク装置を示した側断面図である。
【図2】本発明による薄膜に適用する金属の垂直放射率を示した表である。
【図3】本発明による薄膜を適用した場合、および適用しない場合の各CDデータを示した試験成績表である。
【図4】本発明による構造変更を例示した側断面図である。
【図5】一般のベーク装置を示した側断面図である。
【図6】一般のウェハのCD分布状態を示すための平面図である。
【符号の説明】
10…チャンバ、
11…ホットプレート、
20…カバー、
30…薄膜、
W…ウェハ。
【発明の属する技術の分野】
本発明は、半導体デバイス製造のためのベーク装置に係るものであり、詳しくは、チャンバにおいてホットプレートに対向する内側上部面に垂直放射率係数が低く且つ研磨により鏡面処理された薄膜を形成することにより、チャンバ内部の温度雰囲気、即ち、工程雰囲気が迅速に形成されると共に、ウェハのCD(クリティカルディメンション)の均一性(CD散布)を改善することができる半導体デバイス製造のためのベーク装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体装置が高集積化され回路パターンのサイズが一層微細化されるに従い微細パターンのサイズに影響する各種パラメーターの管理がさらに厳しくなっている。特に、半導体デバイス製造工程中でもフォト工程は微細パターンのサイズに直接的に影響する。このようなフォト工程では、ウェハ上に微細パターンを形成するためにウェハ上にフォトレジストを塗布し、レチクル(ステッパーなどの露光装置に用いられるフォトマスク)に形成された回路パターンを伝写するために、塗布されたフォトレジストを露光し、露光されたフォトレジストを現像する一連の工程が実行される。
【0003】
ここで現像工程では、フォトレジストの露光されたウェハに現像液を撒布し、フォトレジストの性質に従って、露光された部分を除去し露光されていない部分をパターンとして残すか、反対に露光された部分をパターンとして残し露光されていない部分を除去する。次に、ウェハに純水を撒布して、残存する現像液をリンスした後にポストベークユニットにウェハを移送してウェハを所定の温度(ベーク温度)でベーキング処理する。以下、説明のために、このようなベーキングを行う装置をベーク装置といい、ベーキングを行う工程をベーク工程という。
【0004】
このようなベーク工程においては、通常チャンバ内のホットプレート上にフォトレジストが塗布されたウェハを装着して所定の温度でフォトレジストをベークするチャンバ式ベーク装置(ベークチャンバ)を用いる。
【0005】
このようなベーク装置を用いて微細パターンをパターニングする場合、フォトレジストのベーク温度の均一性が写真工程及び食刻工程のときに大きな影響を与えるため、最近では、フォトレジストのベーク温度を面内方向で均一に維持することが求められている。
【0006】
即ち、ウェハがチャンバ内に実装されたときに、ウェハの温度を一定温度(ベーク温度)まで短時間で達することができる点と、温度の誤差が少なく面内方向で均一な温度分布をもつように所定のベーク温度にウェハを維持することができる点とが半導体素子の収率に直接的な影響を与えるため、精密な温度調節と、より速い温度補償とがなされるベーク装置が求められている。
【0007】
しかし、現在のベークチャンバは図5に示すようにチャンバ10の内部に具備されるホットプレート11の上部面にウェハWを装着して所定の温度で加熱することによってパターンを形成している。したがって、一般のパターンを形成する場合には特別な問題が発生しないが、微細な直径のコンタクトホールを形成する場合又は特に熱に敏感なフォトレジストを用いる場合には、CD不良が招来されるという問題点があった。
【0008】
又、現在、ホットプレート11と相対するように置かれてチャンバの上部を閉じるためのカバー20の内側面は、通常では酸化処理されており、その表面が粗く形成されている。このような表面処理によって、ホットプレート11の面内での均一な温度分布がなされるようにしている。
【0009】
ホットプレート11での温度分布では、センター部位の温度が一番低い値を示す。したがって、ウェハWでも図6に示すように他の部位T,L,R,Fに比べセンター部位CでのCDが過度に低く現れて、CD均一性が悪化して、微細パターンの形成時に不良が発生するといった問題点があった。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の目的は、ホットプレートの直上部側で、チャンバの内壁面を垂直放射率の低い材質で構成することによって、ベーク工程を実行するときにチャンバ内部の工程雰囲気を安定させ、且つCDの線幅のばらつきを減少させてCD均一性を高めることにある。
【0011】
又、本発明の目的は、チャンバの内部雰囲気を短い時間に安定化させて工程実行時間を短縮させることにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため本発明は、ウェハの装着されるホットプレートが内部に備えられるチャンバと、前記チャンバの上部を閉じるためのカバーと、前記カバーの内側面に具備される垂直放射率係数の低い材質の薄膜と、から構成される。
【0013】
前記薄膜は、前記チャンバの内部に具備されるホットプレートの直上部側で、前記カバーの内側上部面に形成される。
【0014】
又、前記薄膜の表面は、研磨により鏡面処理されている。そして、前記薄膜は垂直放射率係数が0.02乃至0.05になるようにし、このような垂直放射率係数を有する金属であることが望ましい。特に、薄膜は、有機物による腐食に強い材質、すなわち有機物による腐食に耐性を有する材質からなることが望ましい。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面を用いて詳しく説明する。
【0016】
フォト装備として、ウェハを搬送する搬送路の周りに多数の処理ユニットが配置される。前記搬送路にそってウェハを各ユニットに搬送することにより、各ユニットにおいて必要な工程が実行される。
【0017】
即ち、ウェハはキャリアに収納されて裁置台上にローディングされ、ローディングされるウェハはメインアーム機構により搬送路にそってHMDS(Hexa−Methyl Disilazane:(CH3)3SiNHSi(CH3)3)ユニットに提供され、HMDSユニットでウェハはアドヒージョン(adhision)処理される。ここで、HMDSユニットでのアドヒージョン処理とは、たとえば、HMDSを蒸気状に塗布してレジスト膜とウェハとの密着性の向上を目的とした処理であり、密着性強化材塗布処理と呼ばれる。
【0018】
次いで、ウェハはクーリングユニットで常温に冷却された後、塗布ユニットに移送され、塗布ユニットでウェハをスピンチャックに固定して回転しながらウェハ表面にフォトレジスト溶液を撒布して、均一な厚さにフォトレジストが塗布されるように処理が実行される。
【0019】
ウェハは再びフリーベークユニットに移送されて、略100℃程度に所定時間置かれて、ソフトベークされる。この過程でフォトレジスト膜に含められた溶剤を揮発させて膜質を安定化させる。ウェハは再びクーリングユニットに移送されて常温で冷却され、ステッパーに移送され、ステッパーでフォトレジスト膜は露光処理される。
【0020】
その後、ウェハはWEE(Wafer Edge Exposure:ウエハエッジ露光)ユニットに移送されてウェハのエッジ部位を露光した後、露光されたウェハはPEB(Post Exposure Bake)ユニットに移送されて所定温度で所定時間置かれて、この間にベーキング処理される。
【0021】
ベーキングされたウェハはクーリングユニットに移送されて常温で冷却した後、現像ユニットに移送されて、フォトレジストの露光されたウェハに現像液を撒布して、フォトレジストの性質に従って、露光された部分を除去し露光されていない部分をパターンとして残すか、或いは反対に露光された部分をパターンとして残し露光されていない部分を除去する。次いで、ウェハに純水を撒布してウェハ上に残存する現像液をリンスした後にポストベークユニットにウェハを移送する。
【0022】
そして、ベークユニット(ベーク装置)ではウェハを所定温度でベーキング処理する。このようなベーキング処理は残されたフォトレジストを硬化させて、耐薬品性を向上させるためのものである。ベーキング処理されたウェハはクーリングユニットに移送されて常温で冷却された後に裁置台のウェハキャリアにアンローディングされる。
【0023】
上述のような一連の工程実行過程は従来と同じである。
【0024】
但し、ウェハ上に形成されたコンタクトホールの部分が漸次に小さいサイズをもつようにしつつ最終的に必要とされるサイズのコンタクトホールを具現するためには、何度にも亘って複数回のベーキング処理を実行することが必要となっている。
【0025】
即ち、ベーキング処理を何度も実行すると、コンタクトホールの上段部外周縁部がベーキングによる効果によって漸次に陥没される。この結果、より小さい直径のコンタクトホールを形成させるのである。
【0026】
このような一連のフォト工程において現像後にウェハをベーキング処理するベークユニットは通常、図1に示すような構成からなる。
【0027】
図示したように本発明の図面では従来の構成と同一な構成に対しては同じ符号を付する。
【0028】
図1に示されるとおり、本発明のベークユニット(ベーク装置)は大きくわけて、チャンバ10とカバー20からなる。ここで、チャンバ10は内部にホットプレート11を備え、該ホットプレート11の上部面にウェハWが装着(安着)される構成となっている。
【0029】
チャンバ10の内部に具備されるホットプレート11は、ヒーター(図示せず)により加熱される構成をしており、そのホートプレート11の上部面にウェハWが装着される。このようにして、現像されたパターンをベーキング処理して必要なパターンが形成されることとなる。
【0030】
そして、カバー20はチャンバ10の開放された上部(すなわち、ホートプレート11の本体からみてウェハが置かれている方向の部分)を密閉する構成をしている。たとえば、該カバー20は通常チャンバ10と同じ材質で構成される。
【0031】
このような構成は従来の構成と類似している。但し、本発明はこのような構成においてカバー20の構成、特にカバー20の内側面を改善させるのにその特徴がある。
【0032】
言い換えれば、チャンバ10でベーク工程が実行される内部空間中でカバー20の内側面の表面に、垂直放射率係数εの低い材質の薄膜30が具備されることを本発明の一番の特徴としている。
【0033】
特に薄膜30はホットプレート11の直上部側で、ホットプレート11に載置されたウェハWと相対するように、チャンバ10の内側上部面に形成されることが好ましい。そして、前記薄膜30の垂直放射率係数εは0.02乃至0.05の範囲が適当であり、特に、垂直放射率係数εが0.02乃至0.05の金属であることが望ましい。また、この薄膜30の表面は研磨により鏡面処理されていることが最も好ましい。
【0034】
たとえば、薄膜30として適当な材質はアルミニウムであり、鏡面処理されたアルミニウム薄膜(ホイル)をカバー30の内側上部面に付着するのがよい。
【0035】
図2は、本発明の薄膜30に適用される金属材質の垂直放射率係数を図示している。
【0036】
図2に示すように、アルミニウムであっても、酸化され、またはその表面が研磨されていなくて鈍くなったアルミニウムは、よく研磨され又は鏡面処理されたアルミニウムに比べて、垂直放射率が相対的に高く現れる性質をもつ。したがって、薄膜30として、上述した適切な垂直放射率係数の材質を選択する見地からは、よく研磨されたものを使用するのがよい。また、薄膜30として、アルミニウムのほかにも黄銅、銅、又は金などの材質を使用することができ、このような材質を用いる場合であっても、研磨されたものを使用するのが最も好ましい。
【0037】
本発明の薄膜30は、カバー20の本体とは別途に製作および研磨されたものを用意し、この薄膜をカバー20の内側面に付着してもよく、又はカバー20に鍍金のような方式で成層させた後に研磨する方式により本発明の薄膜30を形成することもできる。
【0038】
なお、薄膜30はフォトレジストのような有機物による腐食に強い材質で構成される。
【0039】
以下、このように構成された本発明による作用を説明する。
【0040】
上述のように本発明は、ベーク工程を実行するチャンバ10に結合されたカバー20において、ホットプレート11又はホットプレート11に装着されたウェハWに対向される内側上部面に垂直放射率係数の低い材質の薄膜30を備えて、ウェハWでのCD均一性(CD散布)を改善するものである。ここで、CD均一性(CD散布)とは、通常CD(クリティカルディメンション)を決め、その線幅が処理後にどれだけばらついているかを表す。
【0041】
そして、以下に示されるように、CD均一性は、カバー20の構造、すなわち形状や配置よりは、熱を放射するカバー20での熱放射表面の材質と相関関係があることを試験を通じて確認することができる。
【0042】
図3は、ホットプレート11とホットプレート11に対向するカバー20の内側上部面の間の構造変更を行った場合におけるウェハWでのCDデータを条件別に算出したものである。
【0043】
図3において、「既存」の場合とはホットプレート11に対向するカバー20の上部面を酸化処理して表面を粗くした場合をいい、「構造変更」とは図4に示すようにホットプレート11(あるいはホットプレート11上のウェハの表面)とカバー20の上部面との間の距離を改善した場合を意味し、「Alテープ」とは、上述したとおり薄膜30としてアルミニウムをカバー20の上部面にテープで付着することによってカバー20での熱放射表面の材質を変更した場合を意味する。
【0044】
図示したように、条件別CDデータを見ると、熱を放射するカバー20の材質を変更する条件でCD差が一番小さい値を示すことがわかり(RANGE欄参照)、単純な構造変更はCDに大きな影響を与えないことがわかる。
【0045】
又、図示していないが、カバー20の上部面の色変更による試験でもその表面色はCDにまったく影響を与えないことがわかる。
【0046】
このように本発明は多様な試験を通じてCDに一番影響を与える条件はホットプレート11と対向するカバー20の内側上部面の表面材質と粗さであることに着目して、このカバー20の内側上部面に、垂直放射率係数の低い材質、即ち、アルミニウム、銅、銀、および金などを用いて薄膜30を形成し、さらに好ましくは前記薄膜30の表面を研磨により鏡面処理することによって、CD均一性を大幅に改善する。
【0047】
また、カバー20において、ホットプレート11と相対する表面に垂直放射率係数の低い材質で薄膜30を形成して、チャンバ10内での熱放出を最大限に防止して内部の工程雰囲気をより速く安定化させることができる。
【0048】
即ち、内部の温度を迅速に安定化させると、工程進行速度が速くなるだけでなく、CDを改善し製品の不良率を最大限に低めることができる。
【0049】
一方、上記の説明において多くの事項が具体的に記載されたが、それらは発明の範囲を限定するものでなく、好ましい実施例の例示として解釈すべきである。
【0050】
従って、本発明の範囲は説明された実施例により決められるべきものでなく、特許請求範囲に記載された技術的思想により決めるべきである。
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、チャンバ10内に具備されるホットプレート11と相対するカバー20の内側上部面に垂直放射率係数の非常に低い材質の薄膜30を形成し、その薄膜30の表面を鏡面処理することによって、チャンバ10内部での工程温度を迅速に安定化させ、ウェハWでのCD均一性を大幅に改善させることができるという効果がある。
【0052】
つまり、ウェハの生産性と製品の品質を向上させることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のベーク装置を示した側断面図である。
【図2】本発明による薄膜に適用する金属の垂直放射率を示した表である。
【図3】本発明による薄膜を適用した場合、および適用しない場合の各CDデータを示した試験成績表である。
【図4】本発明による構造変更を例示した側断面図である。
【図5】一般のベーク装置を示した側断面図である。
【図6】一般のウェハのCD分布状態を示すための平面図である。
【符号の説明】
10…チャンバ、
11…ホットプレート、
20…カバー、
30…薄膜、
W…ウェハ。
Claims (5)
- ウェハの装着されるホットプレートが内部に具備されるチャンバと、
前記チャンバの上部を閉じるためのカバーと、
前記カバーの内側面に具備される垂直放射率係数の低い材質の薄膜と、からなることを特徴とする半導体デバイス製造のためのベーク装置。 - 前記薄膜は、前記チャンバの内部に具備される前記ホットプレートの直上部側で、前記カバーの内側上部面に形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体デバイス製造のためのベーク装置。
- 前記薄膜は、前記ホットプレート側の表面が研磨により鏡面処理されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体デバイス製造のためのベーク装置。
- 前記薄膜は、垂直放射率係数が0.02乃至0.05の金属であることを特徴とする請求項1に記載の半導体デバイス製造のためのベーク装置。
- 前記薄膜は、有機物による腐食に強い材質からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体デバイス製造のためのベーク装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0054913A KR100475737B1 (ko) | 2002-09-11 | 2002-09-11 | 반도체 제조를 위한 베이크 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004104069A true JP2004104069A (ja) | 2004-04-02 |
Family
ID=31987385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003017747A Pending JP2004104069A (ja) | 2002-09-11 | 2003-01-27 | 半導体デバイス製造のためのベーク装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6808391B2 (ja) |
JP (1) | JP2004104069A (ja) |
KR (1) | KR100475737B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008016768A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080008837A1 (en) * | 2006-07-10 | 2008-01-10 | Yasuhiro Shiba | Substrate processing apparatus and substrate processing method for heat-treating substrate |
US8847122B2 (en) * | 2009-06-08 | 2014-09-30 | Macronix International Co., Ltd. | Method and apparatus for transferring substrate |
US9097463B2 (en) * | 2010-02-23 | 2015-08-04 | Ngk Insulators, Ltd. | Housing for heating and use method of the same, heating jig and use method of the same, and operation method of heating device |
EP3491679B1 (en) | 2016-07-26 | 2023-02-22 | CreeLED, Inc. | Light emitting diodes, components and related methods |
CN109992138B (zh) * | 2017-12-29 | 2022-06-21 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 薄膜触控感应器的制作方法及薄膜触控感应器 |
US11121298B2 (en) | 2018-05-25 | 2021-09-14 | Creeled, Inc. | Light-emitting diode packages with individually controllable light-emitting diode chips |
US11233183B2 (en) | 2018-08-31 | 2022-01-25 | Creeled, Inc. | Light-emitting diodes, light-emitting diode arrays and related devices |
USD902448S1 (en) | 2018-08-31 | 2020-11-17 | Cree, Inc. | Light emitting diode package |
US11335833B2 (en) | 2018-08-31 | 2022-05-17 | Creeled, Inc. | Light-emitting diodes, light-emitting diode arrays and related devices |
CN111090181A (zh) * | 2018-10-23 | 2020-05-01 | 李东明 | 可多元加热机构的基板烘烤机台 |
CN111090182A (zh) * | 2018-10-23 | 2020-05-01 | 李东明 | 基板烘烤机台的热风流向控制机构 |
US11101411B2 (en) | 2019-06-26 | 2021-08-24 | Creeled, Inc. | Solid-state light emitting devices including light emitting diodes in package structures |
DE102020123546A1 (de) | 2020-09-09 | 2022-03-10 | Aixtron Se | CVD-Reaktor mit einer Kühlfläche mit bereichsweise vergrößerter Emissivität |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5429498A (en) * | 1991-12-13 | 1995-07-04 | Tokyo Electron Sagami Kabushiki Kaisha | Heat treatment method and apparatus thereof |
JPH1174188A (ja) * | 1997-08-27 | 1999-03-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板加熱処理装置 |
JP2000021733A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板加熱装置 |
KR20000019347A (ko) * | 1998-09-10 | 2000-04-06 | 윤종용 | 베이크 장치 |
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US6579579B2 (en) * | 2000-12-29 | 2003-06-17 | Alcan Technology & Management Ltd. | Container made of a light metal alloy and process for its manufacture |
US6575739B1 (en) * | 2002-04-15 | 2003-06-10 | Wafermasters, Inc. | Configurable wafer furnace |
-
2002
- 2002-09-11 KR KR10-2002-0054913A patent/KR100475737B1/ko active IP Right Grant
-
2003
- 2003-01-27 JP JP2003017747A patent/JP2004104069A/ja active Pending
- 2003-09-05 US US10/655,306 patent/US6808391B2/en not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008016768A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040048219A1 (en) | 2004-03-11 |
KR100475737B1 (ko) | 2005-03-10 |
KR20040023231A (ko) | 2004-03-18 |
US6808391B2 (en) | 2004-10-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080902 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081202 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090512 |