JP2004103119A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】テスト時間が短い半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】このSDRAMの列デコーダ20aは、マルチビットテスト時には、列アドレス信号CA0〜CA8およびテストモード信号TM0〜TM8に従って256の列選択線CSLのうちのいずれか複数の列選択線CSLまたはすべての列選択線CSLを選択し、選択した各列選択線CSLをテスト電位VTM=Vthにする。列選択ゲート27は「L」レベルの信号のみを通過させるので、選択した複数のメモリセルMCが不良メモリセルMCを含む場合はローカルIO線LIO,/LIOがともに「L」レベルになる。したがって、所望の数のメモリセルMCを一度にテストすることができる。
【選択図】 図4
【解決手段】このSDRAMの列デコーダ20aは、マルチビットテスト時には、列アドレス信号CA0〜CA8およびテストモード信号TM0〜TM8に従って256の列選択線CSLのうちのいずれか複数の列選択線CSLまたはすべての列選択線CSLを選択し、選択した各列選択線CSLをテスト電位VTM=Vthにする。列選択ゲート27は「L」レベルの信号のみを通過させるので、選択した複数のメモリセルMCが不良メモリセルMCを含む場合はローカルIO線LIO,/LIOがともに「L」レベルになる。したがって、所望の数のメモリセルMCを一度にテストすることができる。
【選択図】 図4
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体記憶装置に関し、特に、複数のメモリセルが正常か否かを同時にテストするテストモードを有する半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、DRAMの大容量化に伴って製品の出荷テストの時間が増大し、生産性が低下している。そこで、既存のテスト設備を用いてテスト時間を減少させ、生産性の向上を図るため、DRAMチップには複数のメモリセルを同時にテストするマルチビットテストモードが設けられている。
【0003】
図22は、そのようなDRAMの要部を示すブロック図である。図22において、このDRAMでは、1つのデータバスDB0に対応して2つのメモリマットMMa,MMbが設けられている。メモリマットMMa,MMbの各々は、複数のセンスアンプ帯SAと、それらの間にそれぞれ配置された複数のメモリブロックMBとを含む。各メモリブロックMBには複数のワード線WLが設けられ、メモリマットMMa,MMbにはそれぞれ列選択線CSL0〜CSL255,CSL256〜CSL512が設けられている。各ワード線WLの一方端は行デコーダ(図示せず)に接続され、各列選択線CSLの一方端は列デコーダ150に接続されている。
【0004】
また、各センスアンプ帯SAにはローカルIO線対LIO,/LIOが設けられ、各ローカルIO線対LIO,/LIOに対応してブロック選択スイッチBSが設けられる。メモリマットMMaに対応してグローバルIO線対GIOa,/GIOaおよび読出/書込回路151aが設けられ、メモリマットMMbに対応してグローバルIO線対GIOb,/GIObおよび読出/書込回路151bが設けられる。
【0005】
通常動作時は、列デコーダ150によって512本の列選択線CSL0〜CSL511のうちのいずれか1本の列選択線CSLが選択されるとともに、行デコーダによってメモリマットMMa,MMbの各々において複数のメモリブロックMBのうちのいずれかのメモリブロックMBと、そのメモリブロックMBに属する複数のワード線WLのうちのいずれか1本のワード線WLとが選択され、選択された列選択線CSLおよびワード線WLによって1つのメモリセルが選択される。
【0006】
書込動作時は、データバスDB0を介して読出/書込回路151a,151bに書込データ信号が与えられ、読出/書込回路151a,151bは、グローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIOb、ブロック選択スイッチBSおよびローカルIO線対LIO,/LIOを介して選択されたメモリセルにデータ信号を書込む。
【0007】
読出動作時は、選択されたメモリセルの読出データ信号はローカルIO線対LIO,/LIO、ブロック選択スイッチBS、グローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObを介して読出/書込回路151aまたは151bに与えられる。読出/書込回路151aまたは151bは、データバスDB0およびIOバッファ(図示せず)を介して読出データ信号を外部に出力する。
【0008】
マルチビットテスト時は、列デコーダ150によって216本の列選択線CSL0〜CSL255のうちのいずれか1本の列選択線CSLと216本の列選択線CSL256〜CSL512のうちのいずれか1本の列選択線CSLとが選択されるとともに、行デコーダによってメモリマットMMa,MMbの各々において複数のメモリブロックMBのうちのいずれかのメモリブロックMBと、そのメモリブロックMBに属する複数のワード線WLのうちのいずれか1本のワード線WLとが選択され、選択された2本の列選択線CSLおよび2本のワード線WLによって2つのメモリセルが選択される。
【0009】
マルチビットテストにおける書込動作時は、データバスDB0を介して読出/書込回路151a,151bの各々に書込データ信号が与えられ、読出/書込回路151a,151bの各々は、グローバルIO線対GIO,/GIO、ブロック選択スイッチBSおよびローカルIO線対LIO,/LIOを介して選択されたメモリセルにデータ信号を書込む。したがって、2つのメモリセルに同じデータ信号が同時に書込まれる。
【0010】
マルチビットテストにおける読出動作時は、選択された2つのメモリセルの読出データ信号の各々はローカルIO線対LIO,/LIO、ブロック選択スイッチBS、グローバルIO線対GIO,/GIOを介して対応の読出/書込回路151aまたは151bに与えられる。読出/書込回路151a,151bの各々は、対応のメモリセルからの読出データ信号に従って、予め「H」レベルに充電されたデータバス線DBL0,/DBL0のうちのいずれか1本のデータバス線を「L」レベルに引下げる。したがって、選択された2つのメモリセルが正常であって、それらの読出データ信号の論理レベルが一致した場合は、データバス線DBL0,/DBL0のうちのいずれか一方のデータバス線が「H」レベルにされるとともに他方のデータバス線が「L」レベルにされる。また、選択された2つのメモリセルのうちの一方のメモリセルが不良であって、それらの読出データ信号の論理レベルが一致しない場合は、データバス線DBL0,/DBL0はともに「L」レベルにされる。よって、データバス線DBL0と/DBL0の電位を比較することによって、選択された2つのメモリセルが正常であるか否かを判定することができる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のマルチビットテストでは、同時に読出した複数のデータ信号のワイヤードオアをデータバスDB0上でとるので、同時に選択できる列選択線CSLの数は読出/書込回路151a,151bの分割数(図では2つ)が上限である。
【0012】
読出/書込回路151a,151bの分割数を増やすと、同時にテストすることが可能なメモリセルの数が増えてテスト効率が高くなる一方、レイアウト面積が増大するので、読出/書込回路151a,151bの分割数を増やすにも限界がある。このため、従来のマルチビットテストでは、テスト効率をさほど高くすることはできなかった。
【0013】
それゆえに、この発明の主たる目的は、テスト効率が高い半導体記憶装置を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体記憶装置は、テストモードを有する半導体記憶装置であって、複数行複数列に配置された複数のメモリセルと、それぞれ複数行に対応して設けられた複数のワード線と、それぞれ複数列に対応して設けられた複数組の第1および第2のビット線とを含むメモリブロックと、各第1および第2のビット線に対応して設けられ、対応の第1および第2のビット線間に生じた電位差を増幅していずれか一方のビット線を電源電位にするとともに他方のビット線を接地電圧にするセンスアンプと、それぞれ複数列に対応して設けられた複数の列選択線と、各列に対応して設けられ、それらの第1の電極がそれぞれ対応の第1および第2のビット線に接続され、それらのゲート電極がともに対応の列選択線に接続された第1および第2のNチャネルMOSトランジスタを含む列選択ゲートと、それぞれ第1および第2のNチャネルMOSトランジスタの第2の電極に接続され、各々が予め電源電位に充電された第1および第2のデータ線と、行アドレス信号に従って複数のワード線のうちのいずれかのワード線を選択し、選択したワード線に対応する各メモリセルを活性化させて各第1および第2のビット線間に電位差を発生させる行選択回路と、テストモード時は、列アドレス信号およびテストモード信号に従って複数の列選択線のうちのいずれか複数の列選択線またはすべての列選択線を選択し、選択した各列選択線を第1および第2のNチャネルMOSトランジスタのしきい値電位に略等しいテスト電位にする列選択回路と、予め同一のデータ信号が書込まれたテスト対象の複数のメモリセルが行選択回路によって活性化され、かつ列選択回路によって選択された複数の列選択線に対応する場合に、第1および第2のデータ線がともに接地電位にされたことに応じてテスト対象の複数のメモリセルのうちの少なくとも1つのメモリセルは不良であると判定し、第1および第2のデータ線のうちのいずれか一方のデータ線が電源電位であり他方のデータ線が接地電位であることに応じてテスト対象の複数のメモリセルは正常であると判定する判定回路とを備えたものである。
【0015】
好ましくは、列選択回路によって選択される列選択線の数は、テストモード信号によって変更可能にされている。
【0016】
また好ましくは、列選択回路は、通常動作時は列アドレス信号に従って複数の列選択線のうちのいずれかの列選択線を選択し、選択した列選択線をテスト電位よりも高い選択電位にしてその列選択線に対応する第1および第2のNチャネルMOSトランジスタを導通させる。この半導体記憶装置には、さらに、第1および第2のデータ線と列選択回路によって選択された各列選択線に対応する第1および第2のNチャネルMOSトランジスタならびに第1および第2のビット線とを介して、行選択回路によって活性化された各メモリセルのデータ信号の書込を行なう書込回路と、通常動作時に活性化され、第1および第2のデータ線の電位に基づいて、行選択回路によって選択されたワード線に対応し、かつ列選択回路によって選択された列選択線に対応するメモリセルのデータ信号を読出す読出回路とが設けられる。
【0017】
また好ましくは、列選択回路が列選択線をテスト電位にする時間は、列選択回路が列選択線を選択電位にする時間よりも長く設定されている。
【0018】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の一実施の形態によるSDRAMの概略構成を示すブロック図である。図1において、このSDRAMは、クロックバッファ1、制御信号バッファ2、アドレスバッファ3、モードレジスタ4、制御回路5、4つのメモリアレイ6〜9(バンク♯0〜♯3)、4つの読出/書込回路10〜13、およびIOバッファ14を備える。
【0019】
クロックバッファ1は、外部制御信号CKEによって活性化され、外部クロック信号CLKを制御信号バッファ2、アドレスバッファ3および制御回路5に伝達させる。制御信号バッファ2は、クロックバッファ1からの外部クロック信号CLKに同期して、外部制御信号/CS,/RAS,/CAS,/WE,DQMをラッチし、制御回路5に与える。アドレスバッファ3は、クロックバッファ1からの外部クロック信号CLKに同期して、外部アドレス信号A0〜Am(ただし、mは0以上の整数である)およびバンク選択信号BA0,BA1をラッチし、制御回路5に与える。
【0020】
モードレジスタ4は、外部アドレス信号A0〜Amによって指示されたモードを記憶し、そのモードに応じた内部コマンド信号を出力する。メモリアレイ6〜9の各々は、行列状に配列され、それぞれが1ビットのデータを記憶する複数のメモリセルを含む。複数のメモリセルは、予めn+1個(ただし、nは0以上の整数である)ずつグループ化されている。
【0021】
制御回路5は、クロックバッファ1、制御信号バッファ2、アドレスバッファ3およびモードレジスタ4からの信号に従って種々の内部信号を生成し、SDRAM全体を制御する。制御回路5は、読出動作時および書込動作時は、バンク選択信号BA0,BA1に従って4つのメモリアレイ6〜9のうちのいずれかのメモリアレイを選択し、アドレス信号A0〜Amに従ってそのメモリアレイのうちのn+1個のメモリセルを選択する。
【0022】
読出/書込回路10〜13は、読出動作時は制御回路5によって選択されたn+1個のメモリセルからデータQ0〜Qnを読出し、書込動作時は制御回路5によって選択されたn+1個のメモリセルにデータD0〜Dnを書込む。読出/書込回路10〜13は、データバスDB0〜DBnを介してIOバッファ14に結合される。
【0023】
IOバッファ14は、読出動作時は読出/書込回路10〜13からの読出データQ0〜Qnを外部に出力し、書込動作時は外部から入力されたデータD0〜Dnを読出/書込回路10〜13に与える。
【0024】
図2は、図1に示したSDRAMのチップレイアウトを示す図である。図2において、メモリアレイ6〜9は、長方形の半導体基板15の四隅にそれぞれ配置されている。メモリアレイ6〜9は、それぞれチップ長辺方向に2つのメモリアレイ6a,6b;…;9a,9bに分割されており、メモリアレイ6aと6b,…,9aと9bの間にはそれぞれ行デコーダ16〜19が配置されている。また、メモリアレイ6〜9のチップ中央側にはそれぞれ列デコーダ20〜23および読出/書込回路(R/W)10〜13が配置されている。行デコーダ16〜19および列デコーダ20〜23は、図1の制御回路5に含まれる。
【0025】
図3は、図2に示したメモリアレイ6aの要部と、それに関連する部分の構成を示すブロック図である。図3において、メモリアレイ6aは複数(図では2つ)のメモリマットMMa,MMbを含む。メモリマットMMa,MMbの各々は、複数のセンスアンプ帯SAと、それらの間にそれぞれ配置された複数のメモリブロックMBとを含む。各メモリブロックMBには、複数のワード線WLが配置されている。行デコーダ16は、行アドレス信号RA0〜RAm(信号/RASが「L」レベルのときのアドレス信号A0〜Am)に従って、メモリマットMMa,MMbの各々において、複数のメモリブロックMBのうちのいずれかのメモリブロックMBと、そのメモリブロックMBに属する複数のワード線WLのうちのいずれかのワード線WLを選択し、選択したワード線WLを選択レベルの「H」レベルにする。
【0026】
また、2つのメモリマットMMa,MMbには、複数のセンスアンプ帯SAおよび複数のメモリブロックMBを横切るようにして、それぞれ複数(図では256)の列選択線CSL0〜CSL255,CSL256〜CSL511が配置される。列デコーダ20のうちのメモリマットMMa,MMbに対応する部分20aは、列アドレス信号CA0〜CAm(信号/CASが「L」レベルのときのアドレス信号A0〜Am)に従って、通常動作時は512本の列選択線CSL0〜CSL511のうちのいずれかの列選択線CSLを選択し、マルチビットテスト時はメモリマットMMaの256本の列選択線CSL0〜CSL255のうちの所望の数(1〜256のうちのいずれかの数、ここでは2とする)の列選択線CSLとメモリマットMMbの256本の列選択線CSL256〜CSL511のうちの所望の数(1〜256のうちのいずれかの数、ここでは2とする)の列選択線CSLとを選択する。選択された各列選択線CSLは、通常動作時は選択レベルの「H」レベルVH=VCCにされ、マルチビットテスト時はテスト電位VTM=Vth≒1.0(V)にされる。ここで、Vthは、NチャネルMOSトランジスタのしきい値電位である。
【0027】
また、各センスアンプ帯SAにはローカルIO線対LIO,/LIOが配置され、メモリマットMMa,MMbに対応してそれぞれグローバルIO線対GIOa,/GIOa;GIOb,/GIObが配置され、各ローカルIO線対LIO,/LIOはブロック選択スイッチBSを介して対応のグローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObに接続されている。行デコーダ16および列デコーダ20aによってワード線WLおよび列選択線CSLが選択されてメモリセルが選択されると、そのメモリセルに対応するブロック選択スイッチBSが導通する。
【0028】
読出/書込回路10のうちのメモリマットMMa,MMbに対応する部分10a,10bの各々は、対応のグローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObとデータバスDB0との間に接続される。データバスDB0は、1対のデータバス線DBL0,/DBL0を含む。
【0029】
通常の読出動作時は、行デコーダ16および列デコーダ20aによって選択されたワード線WLおよび列選択線CSLに対応する1つのメモリセルからデータ信号が読出され、そのデータ信号が対応のローカルIO線対LIO,/LIO、ブロック選択スイッチBSおよびグローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObを介して読出/書込回路10aまたは10bに伝達される。読出/書込回路10aまたは10bは、グローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObを介して与えられたデータ信号に従って、データバス線DBL0,/DBL0のうちの一方のデータバス線を「H」レベルにするとともに他方のデータバス線を「L」レベルにする。
【0030】
通常の書込動作時は、読出/書込回路10a(10b)は、データバスDB0を介して与えられた書込データ信号に従って、対応のグローバルIO線対GIOa,/GIOa(GIOb,/GIOb)のうちのいずれか一方のグローバルIO線を「H」レベルにするとともに他方のグローバルIO線を「L」レベルにする。グローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObに与えられたデータ信号は、行デコーダ16および列デコーダ20aによって選択されたワード線WLおよび列選択線CSLに対応する1つのメモリセルに書込まれる。
【0031】
マルチビットテストにおける書込動作時は、読出/書込回路10a(10b)は、データバスDB0を介して与えられた書込データ信号に従って、対応のグローバルIO線GIOa,/GIOa(GIOb,/GIOb)のうちのいずれか1本のグローバルIO線を「H」レベルにするとともに他方のグローバルIO線を「L」レベルにする。グローバルIO線対GIOa,/GIOa(GIOb,/GIOb)に与えられたデータ信号は、行デコーダ16および列デコーダ20aによって選択されたワード線WLおよび2本の列選択線CSLに対応する2つのメモリセルに同時に書込まれる。
【0032】
マルチビットテストにおける読出動作時は、メモリマットMMa,MMbの各々において、選択されたワード線WLおよび2本の列選択線CSLに対応する2つのメモリセルから読出された2つのデータ信号の論理レベルが一致しているか否かを示すデータ信号が、対応のローカルIO線対LIO,/LIOに与えられる。2つのメモリセルから読出されたデータ信号の論理レベルが一致している場合は、そのデータ信号に従ってローカルIO線対LIO,/LIOのうちのいずれか一方のローカルIO線が「H」レベルにされるとともに他方のローカルIO線が「L」レベルにされる。2つのメモリセルから読出されたデータ信号の論理レベルが一致していない場合は、ローカルIO線LIO,/LIOがともに「L」レベルにされる。
【0033】
ローカルIO線対LIO,/LIOのデータ信号は、ブロック選択スイッチBSおよびグローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObを介して対応の読出/書込回路10aまたは10bに与えられる。読出/書込回路10aは、グローバルIO線対GIOa,/GIOaおよびGIOb,/GIObを介して与えられたデータ信号に従って、データバス線DBL0,/DBL0のうちのいずれか一方のデータバス線を「H」レベルにするとともに他方のデータバス線を「L」レベルにする。メモリマットMMa,MMbから読出された4つのデータ信号の論理レベルが一致した場合は、データバス線DBL0,/DBL0はそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされる。また、メモリマットMMa,MMbから読出された4つのデータ信号の論理レベルが一致しない場合は、データバス線DBL0,/DBL0はそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルにされる。
【0034】
図4は、図3に示したメモリブロックMBおよびセンスアンプ帯SAの要部を示すブロック図である。図4において、メモリブロックMBは、複数行複数列(図では12行256列)に配置された複数のメモリセルMCと、それぞれ12行に対応して設けられた12本のワード線WL0〜WL11と、それぞれ256列に対応して設けられた256のビット線対BL0,/BL0〜BL255,/BL255を含む。
【0035】
メモリセルMCは、図5に示すように、アクセス用のNチャネルMOSトランジスタ30と情報記憶用のキャパシタ31とを含む。NチャネルMOSトランジスタ30は、対応の列のビット線BLまたは/BL(図では/BL)とストレージノードSNとの間に接続され、そのゲートは対応の行のワード線WLに接続される。キャパシタ31は、ストレージノードSNとセルプレート電位VCPのラインとの間に接続される。
【0036】
書込動作時は、ワード線WLは選択レベルの「H」レベルにされるとともに、書込データ信号に従ってビット線BL,/BLのうちの1本のビット線が「H」レベルにされるとともに他方のビット線が「L」レベルにされる。これにより、NチャネルMOSトランジスタ30が導通してストレージノードSNにビット線/BLの電位が与えられる。ワード線WLが非選択レベルの「L」レベルにされると、ストレージノードSNにデータ信号が記憶される。
【0037】
読出動作時は、ビット線BL,/BLがビット線プリチャージ電位VBL(=VCC/2)にされた後に、ワード線WLが選択レベルの「H」レベルにされる。これにより、ビット線BL,/BL間に記憶データに応じた極性の微小電位差が生じる。この微小電位差を増幅し、ビット線BLと/BLの電位を比較することにより、データ信号を読出すことができる。
【0038】
図4に戻って、センスアンプ帯SAは、各列に対応して設けられたセンスアンプ25、イコライザ26および列選択ゲート27と、ローカルIO線対LIO,/LIOと、イコライザ28とを含む。
【0039】
センスアンプ25は、図6に示すように、PチャネルMOSトランジスタ33〜35およびNチャネルMOSトランジスタ36〜40を含む。PチャネルMOSトランジスタ33のソースは電源電位VCCを受け、そのゲートはセンスアンプ活性化信号ZS0Pを受ける。PチャネルMOSトランジスタ34,35は、それぞれPチャネルMOSトランジスタ33のドレインとノードN34,N35との間に接続され、それらのゲートはそれぞれノードN35,N34に接続される。NチャネルMOSトランジスタ36,37は、それぞれノードN34,N35とNチャネルMOSトランジスタ38のドレインとの間に接続され、それらのゲートはそれぞれノードN35,N34に接続される。NチャネルMOSトランジスタ38のソースは接地電位GNDを受け、そのゲートはセンスアンプ活性化信号S0Nを受ける。NチャネルMOSトランジスタ39は、ノードN30とビット線BLとの間に接続され、そのゲートは信号BLIを受ける。NチャネルMOSトランジスタ40は、ノードN35とビット線BLとの間に接続され、そのゲートは信号BLIを受ける。
【0040】
信号BLIが「H」レベルの期間は、NチャネルMOSトランジスタ39,40が導通し、ノードN34,N35とビット線対BL,/BLとが結合される。センスアンプ活性化信号ZS0P,S0Nがそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルにされると、MOSトランジスタ33,38が導通してセンスアンプ25が活性化される。
【0041】
ノードN34の電位VAがノードN35の電位/VAよりも高い場合は、MOSトランジスタ34,37の導通抵抗値がMOSトランジスタ35,36の導通抵抗値よりも低くなってノードN34,N35間の電位差が電源電圧VCCに増幅される。ノードN35の電位/VAがノードN34の電位VAよりも高い場合は、MOSトランジスタ35,36の導通抵抗値がMOSトランジスタ34,37の導通抵抗値よりも低くなってノードN35,N34間の電位差が電源電圧VCCに増幅される。センスアンプ活性化信号ZS0P,S0Nがそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされると、MOSトランジスタ33,38が非導通になってセンスアンプ25が非活性化される。
【0042】
イコライザ26は、NチャネルMOSトランジスタ41〜43を含む。NチャネルMOSトランジスタ41は、ノードN34とN35の間に接続され、そのゲートはビット線イコライズ信号BLEQを受ける。NチャネルMOSトランジスタ42,43は、それぞれノードN34,N35とビット線プリチャージ電位VBLのラインとの間に接続され、それらのゲートはともにビット線イコライズ信号BLEQを受ける。
【0043】
信号BLEQが活性化レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ41〜43が導通してノードN34,N35の電位VA,/VAがともにビット線プリチャージ電位VBLにされる。信号BLEQが非活性化レベルの「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ41〜43が非導通になってイコライザ26が非活性化される。
【0044】
列選択ゲート27は、NチャネルMOSトランジスタ44,45を含む。NチャネルMOSトランジスタ44はノードN34とローカルIO線LIOとの間に接続され、NチャネルMOSトランジスタ45はノードN35とローカルIO線/LIOとの間に接続される。NチャネルMOSトランジスタ44,45のゲートは、ともに、対応の列選択線CSLを介して列デコーダ20aに接続される。
【0045】
通常の読出および書込動作時、およびマルチビットテストにおける書込動作時において、この列が選択された場合は、列選択線CSLは選択レベルの「H」レベルVH=VCCにされ、NチャネルMOSトランジスタ44,45が導通してローカルIO線対LIO,/LIOとビット線対BL,/BLとが結合される。この場合は、「H」レベルの信号および「L」レベルの信号はNチャネルMOSトランジスタ44,45を通過する。
【0046】
マルチビットテストにおける読出動作時において、この列が選択された場合は、列選択線CSLはテスト電位VTM=Vth≒1.0Vにされる。この場合は、「L」レベルの信号はNチャネルMOSトランジスタ44,45を通過するが、「H」レベルの信号はNチャネルMOSトランジスタ44,45を通過しない。これは、NチャネルMOSトランジスタ44,45のソースに「H」レベル(VCC)が印加されると、NチャネルMOSトランジスタ44,45のゲート−ソース間電圧が負電圧になってNチャネルMOSトランジスタ44,45は非導通になるからである。
【0047】
図4に戻って、ローカルIO線対LIO,/LIOにはイコライザ28が設けられ、ローカルIO線対LIO,/LIOはブロック選択スイッチBSを介してグローバルIO線対GIOa,/GIOaに接続され、グローバルIO線対GIOa,/GIOaにもイコライザ29が設けられる。
【0048】
イコライザ28は、図7に示すように、NチャネルMOSトランジスタ51〜53を含む。NチャネルMOSトランジスタ51,52は、ローカルIO線LIOと/LIOの間に直列接続され、それらのゲートはローカルIO線イコライズ信号LIOEQを受ける。NチャネルMOSトランジスタ51,52の間のノードは、電源電位VCCを受ける。NチャネルMOSトランジスタ53は、ローカルIO線LIOと/LIOとの間に接続され、そのゲートはローカルIO線イコライズ信号LIOEQを受ける。
【0049】
信号LIOEQが活性化レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ51〜53が導通してローカルIO線LIO,/LIOの電位が電源電位VCCにイコライズされる。信号LIOEQが非活性化レベルの「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ51〜53が非導通になってイコライザ28が非活性化される。
【0050】
ブロック選択スイッチBSは、NチャネルMOSトランジスタ54,55を含む。NチャネルMOSトランジスタ54はローカルIO線LIOとグローバルIO線GIOaとの間に接続され、NチャネルMOSトランジスタ55はローカルIO線/LIOとグローバルIO線/GIOaとの間に接続される。NチャネルMOSトランジスタ54,55のゲートはともにブロック選択信号φBを受ける。
【0051】
信号φBが選択レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ54,55が導通してローカルIO線LIO,/LIOとグローバルIO線GIOa,/GIOaとが結合される。信号φBが非選択レベルの「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ54,55が非導通になってローカルIO線LIO,/LIOとグローバルIO線GIOa,/GIOaとが電気的に切り離される。
【0052】
イコライザ29は、NチャネルMOSトランジスタ56〜58を含む。NチャネルMOSトランジスタ56,57はグローバルIO線GIOaと/GIOaとの間に直列接続され、NチャネルMOSトランジスタ58はグローバルIO線GIOaと/GIOaとの間に接続される。NチャネルMOSトランジスタ56,57間のノードは電源電位VCCを受け、NチャネルMOSトランジスタ56〜58のゲートはともにグローバルIO線イコライズ信号GIOEQを受ける。
【0053】
信号GIOEQが活性化レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ56〜58が導通してグローバルIO線GIOaと/GIOaの電位は電源電位VCCにイコライズされる。信号GIOEQが非活性化レベルの「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ56〜58が非導通になってイコライザ29が非活性化される。
【0054】
次に、図4〜図7で示した部分の動作について簡単に説明する。通常の読出動作時は、イコライザ26,28,29が非活性化された後、1本のワード線WLが選択レベルの「H」レベルに立上げられ、センスアンプ25が活性化される。これにより、そのワード線WLに対応する各メモリセルMCが活性化されて、そのメモリセルMCの記憶データがそのメモリセルMCに対応するビット線対BL,/BLに読出される。次いで、1本の列選択線CSLが選択レベルの「H」レベルに立上げられてその列選択線CSLに対応する列選択ゲート27が導通し、その列選択線CSLに対応するビット線対BL,/BLのデータ信号が列選択ゲート27、ローカルIO線対LIO,/LIO、ブロック選択スイッチBSおよびグローバルIO線対GIOa,/GIOaを介して読出/書込回路10aに伝達される。
【0055】
通常の書込動作時は、イコライザ26,28,29が非活性化された後、1本のワード線WLが選択レベルの「H」レベルに立上げられ、センスアンプ25が活性化される。これにより、そのワード線WLに対応する各メモリセルMCが活性化されて、そのメモリセルMCの記憶データがそのメモリセルMCに対応するビット線対BL,/BLに読出される。次いで、この列選択線CSLが選択レベルの「H」レベルに立上げられ、その列選択線CSLに対応する列選択ゲート27が導通し、読出/書込回路10aによってグローバルIO線対GIOa,/GIOa、ブロック選択スイッチBS、ローカルIO線対LIO,/LIO、列選択ゲート27およびビット線対BL,/BLを介して選択されたメモリセルMCにデータ信号が書込まれる。
【0056】
マルチビットテストにおける書込動作時は、同時に複数本の列選択線CSLが選択レベルの「H」レベルVHにされて、同時に複数のメモリセルMCに同じ論理レベルのデータ信号が書込まれる。
【0057】
マルチビットテストにおける読出動作時は、同時に複数本の列選択線CSLがテスト電位VTMにされる。テスト電位VTMにされた列選択線CSLに対応する列選択ゲート27は「L」レベルの信号のみを通過させる。したがって、選択された複数のメモリセルMCから読出された複数のデータ信号の論理レベルが一致した場合は、ローカルIO線LIO,/LIOのうちのいずれか一方のローカルIO線が「H」レベルになり、他方のローカルIO線が「L」レベルになる。また、選択された複数のメモリセルMCから読出された複数のデータ信号の論理レベルが一致しない場合は、ローカルIO線LIO,/LIOがともに「L」レベルになる。なお、メモリマットMMbもメモリマットMMaと同じ構成である。
【0058】
図8は、図3に示した読出/書込回路10aの構成を示す回路ブロック図である。図8において、読出/書込回路10aは、ライトデータアンプ60、ライトドライバ61、プリアンプ62、判定回路63およびデータバスドライバ64を含み、データバスDBL0,/DBL0にはイコライザ65が設けられている。
【0059】
イコライザ65は、NチャネルMOSトランジスタ66〜68を含む。NチャネルMOSトランジスタ66はデータバス線DBL0と/DBL0の間に接続され、NチャネルMOSトランジスタ67,68はデータバス線DBL0と/DBL0の間に直列接続される。NチャネルMOSトランジスタ66〜68のゲートはともにデータバスイコライズ信号DBEQを受け、NチャネルMOSトランジスタ67,68の間のノードは接地電位GNDを受ける。
【0060】
信号DBEQが活性化レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ66〜68が導通し、データバス線DBL0と/DBL0の電位は接地電位GNDにイコライズされる。信号DBEQが非活性化レベルの「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ66〜68は非導通になってイコライザ65が非活性化される。
【0061】
ライトデータアンプ60は、書込動作時に活性化され、IOバッファ14からデータバスDB0を介して与えられた書込データ信号をライトドライバ61に与える。ライトドライバ61は、ライトデータアンプ60から与えられた書込データ信号に従って、グローバルIO線GIOa,/GIOaのうちのいずれか一方のグローバルIO線を「H」レベルにするとともに他方のグローバルIO線を「L」レベルにする。
【0062】
プリアンプ62は、通常の読出動作時に活性化され、グローバルIO線対GIOa,/GIOaのデータ信号を読出してデータバスドライバ64に与える。判定回路63は、マルチビットテストにおける読出動作時に活性化され、グローバルIO線GIOa,/GIOaがともに「L」レベルの場合および/またはGIOb,/GIObがともに「L」レベルの場合は選択された複数のメモリセルMCのうちの少なくとも1つが正常でないと判定し、グローバルIO線GIOa,/GIOaのうちのいずれか一方が「H」レベルであり、かつグローバルIO線GIOb,/GIObのうちのいずれか一方が「H」レベルである場合は選択された複数のメモリセルMCはともに正常であると判定し、判定結果を示すデータ信号をデータバスドライバ64に与える。データバスドライバ64は、プリアンプ62および判定回路63からのデータ信号に従って、データバス線DBL0,/DBL0のうちのいずれか一方を「H」レベルにするとともに他方を「L」レベルにする。
【0063】
図9は、図8に示した判定回路63の構成を示す回路図である。図9において、この判定回路63は、NORゲート71,72、ORゲート73、インバータ74,75およびNチャネルMOSトランジスタ76〜79を含む。NORゲート71はグローバルIO線GIOa,/GIOaの電位を受け、NORゲート72はグローバルIO線GIOb,/GIObの電位を受け、ORゲート73はNORゲート71,72の出力信号を受ける。
【0064】
インバータ74およびNチャネルMOSトランジスタ76は、ORゲート73の出力ノードとノードN76との間に直列接続され、NチャネルMOSトランジスタ77はORゲート73の出力ノードとノードN77との間に接続される。NチャネルMOSトランジスタ76,77のゲートはともに信号φTを受ける。NチャネルMOSトランジスタ78,79は、それぞれノードN76,N77と接地電位GNDのラインとの間に接続される。信号φTは、インバータ75を介してNチャネルMOSトランジスタ78,79のゲートに入力される。ノードN76,N77に現われる信号は、この判定回路の出力信号φP,/φPとなる。
【0065】
グローバルIO線GIOa,/GIOaがともに「L」レベルの場合および/またはグローバルIO線GIOb,/GIObがともに「L」レベルの場合は、NORゲート71および/またはNORゲート72の出力信号が「H」レベルになってORゲート73の出力信号が「H」レベルになる。
【0066】
グローバルIO線GIOa,/GIOaのうちの少なくとも一方が「H」レベルであり、かつグローバルIO線GIOb,/GIObのうちの少なくとも一方が「H」レベルである場合は、NORゲート71,72の出力信号はともに「L」レベルになってORゲート73の出力信号が「L」レベルになる。
【0067】
信号φTが非活性化レベルの「L」レベルの場合は、NチャネルMOSトランジスタ76,77が非導通になるとともにNチャネルMOSトランジスタ78,79が導通し、信号φP,/φPがともに「L」レベルにされる。信号φTは、マルチビットテストにおける読出動作時に、所定タイミングで活性化レベルの「H」レベルにされる。信号φTが活性化レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ78,79が非導通になるとともにNチャネルMOSトランジスタ76,77が導通し、ORゲート73の出力信号はインバータ74で反転されて信号φPにされるとともに、ORゲート73の出力信号が信号/φPとなる。したがって、メモリマットMMa,MMbから選択された複数のメモリセルMCのうちの少なくとも1つが不良である場合は信号φP,/φPはそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルにされ、選択された複数のメモリセルMCがともに正常である場合は信号φP,/φPはそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされる。信号φP,/φPは、データバスドライバ64に与えられる。
【0068】
データバスドライバ64は、図10に示すように、インバータ81,82、PチャネルMOSトランジスタ83,84およびNチャネルMOSトランジスタ85,86を含む。PチャネルMOSトランジスタ83,84はそれぞれ電源電位VCCのラインとデータバス線DBL0,/DBL0との間に接続され、NチャネルMOSトランジスタ85,86はそれぞれデータバスDBL0,/DBL0と接地電位GNDのラインとの間に接続される。信号φPは、インバータ81を介してPチャネルMOSトランジスタ83のゲートに入力されるとともに、NチャネルMOSトランジスタ86のゲートに入力される。信号/φPは、インバータ82を介してPチャネルMOSトランジスタ84のゲートに入力されるとともに、NチャネルMOSトランジスタ85のゲートに入力される。
【0069】
信号φP,/φPがともに「L」レベルの場合は、MOSトランジスタ83〜85がともに非導通になってデータバス線DBL0,/DBL0がともにハイインピーダンス状態にされる。信号φP,/φPがそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルの場合は、MOSトランジスタ83,86が非導通になるとともにMOSトランジスタ84,85が導通し、データバス線DBL0,/DBL0がそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルにされる。信号φP,/φPが「H」レベルおよび「L」レベルの場合は、MOSトランジスタ84,85は非導通になるとともにMOSトランジスタ83,86が導通し、データバス線DBL0,/DBL0がそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルになる。読出/書込回路10bは、読出/書込回路10aから判定回路63を除去したものである。
【0070】
次に、列デコーダ20aについて説明する。列デコーダ20aは、図11に示すように、プリデコーダ90〜94およびメインデコーダ95を備える。プリデコーダ90は、列アドレス信号CA0,CA1およびテストモード信号TM0,TM1に従って、プリデコード信号AYA〜AYA3のうちのいずれか1または2以上の信号を活性化レベルの「H」レベルにする。プリデコーダ91は、列アドレス信号CA2,CA3およびテストモード信号TM2,TM3に従って、プリデコード信号AYB0〜AYB3のうちのいずれか1または2以上の信号を活性化レベルの「H」レベルにする。プリデコーダ92は、列アドレス信号CA4,CA5およびテストモード信号TM4,TM5に従って、プリデコード信号AYC0〜AYC3のうちのいずれか1または2以上の信号を活性化レベルの「H」レベルにする。プリデコーダ93は、列アドレス信号CA6,CA7およびテストモード信号TM6,TM7に従って、プリデコード信号AYD0〜AYD3のうちのいずれか1または2以上の信号を活性化レベルの「H」レベルにする。プリデコーダ94は、列アドレス信号CA8およびテストモード信号TM8に従って、プリデコード信号CDE0,CDE1のうちのいずれか1つまたは両方の信号を活性化レベルの「H」レベルにする。
【0071】
テストモード信号TM0〜TM8は、たとえば、いわゆるアドレスキー方式により生成される。すなわち、WCBR(/WE,/CAS Before /RAS)のタイミングで、アドレス信号A0〜Amが所定の論理レベルの組合せで入力されると、そのアドレス信号A0〜Amに応じた論理レベルの組合せのテストモード信号TM0〜TM8が図1の制御回路5で生成される。
【0072】
メインデコーダ95は、プリデコーダ90〜94からのプリデコード信号AYA0〜AYA3;…;CDE0,CDE1に従って、通常動作時は512本の列選択線CSL0〜CSL511のうちのいずれか1本の列選択線CSLを選択レベルの「H」レベルVHにし、マルチビットテスト時は512本の列選択線CSL0〜CSL511のうちのいずれか2以上の列選択線CSLまたはすべての列選択線CSL0〜CSL511を選択し、選択した各列選択線CSLをテスト電位VTMにする。
【0073】
図12は、プリデコーダ90の構成を示す回路図である。図12において、プリデコーダ90は、インバータ100〜103およびNORゲート104〜115を含む。列アドレス信号CA0はインバータ100,103の各々に入力され、列アドレス信号CA1はインバータ101,102の各々に入力される。NORゲート104,105の一方入力ノードは、それぞれインバータ100,101の出力信号/CA0,/CA1を受ける。NORゲート106,107の一方入力ノードは、それぞれ信号CA0およびインバータ102の出力信号/CA1を受ける。NORゲート108,109の一方入力ノードは、それぞれインバータ103の出力信号/CA0および信号CA1を受ける。NORゲート110,111の一方入力ノードは、それぞれ信号CA0,CA1を受ける。NORゲート104,106,108,110の他方入力ノードは、テストモード信号TM0を受ける。NORゲート105,107,109,111の他方入力ノードは、テストモード信号TM1を受ける。
【0074】
NORゲート112は、NORゲート104,105の出力信号を受け、その出力信号はプリデコード信号AYA0になる。NORゲート113は、NORゲート106,107の出力信号を受け、その出力信号はプリデコード信号AYA1になる。NORゲート114は、NORゲート108,109の出力信号を受け、その出力信号はプリデコード信号AYA2になる。NORゲート115は、NORゲート110,111の出力信号を受け、その出力信号はプリデコード信号AYA3になる。
【0075】
通常動作時は、テストモード信号(TM0,TM1)は(0,0)にされる。したがって、列アドレス信号(CA0,CA1)が(0,0)、(1,0)、(0,1)、(1,1)の場合は、プリデコード信号AYA0〜AYA3はそれぞれ(1,0,0,0)、(0,1,0,0)、(0,0,1,0)、(0,0,0,1)にされる。なお、0は「L」レベル、1は「H」レベルである。
【0076】
マルチビットテスト時は、テストモード信号(TM0,TM1)が(0,0)、(1,0)、(0,1)または(1,1)にされる。テストモード信号(TM0,TM1)が(0,0)の場合は、上述のとおりである。テストモード信号(TM0,TM1)が(1,0)の場合は、列アドレス信号CA0に関係なく、NORゲート104,106,108,110の出力信号が「L」レベルにされる。したがって、列アドレス信号(CA0,CA1)が(0,0)、(1,0)、(0,1)、(1,1)の場合は、プリデコード信号(AYA0〜AYA3)はそれぞれ(1,1,0,0)、(1,1,0,0)、(0,0,1,1)、(0,0,1,1)にされる。
【0077】
テストモード信号(TM0,TM1)が(0,1)の場合は、列アドレス信号CA1に関係なく、NORゲート105,107,109,111の出力信号が「L」レベルにされる。したがって、列アドレス信号(CA0,CA1)が(0,0)、(1,0)、(0,1)、(1,1)の場合は、プリデコード信号(AYA0〜AYA3)は(1,0,1,0)、(0,1,0,1)、(1,0,1,0)、(0,1,0,1)にされる。
【0078】
テストモード信号(TM0,TM1)が(1,1)の場合は、列アドレス信号CA0,CA1に関係なく、NORゲート104〜111の出力信号が「L」レベルにされて、プリデコード信号(AYA0〜AYA3)は(1,1,1,1)にされる。他のプリデコーダ91〜93は、信号の番号が異なるだけで、プリデコーダ90と同じ構成である。
【0079】
プリデコーダ94は、図13に示すように、インバータ116およびORゲート117,118を含む。列アドレス信号CA8は、インバータ116で反転されて信号/CA8となる。ORゲート117は、信号/CA8およびテストモード信号TM8を受け、その出力信号はプリデコード信号CDE0となる。ORゲート118は、列アドレス信号CA8およびテストモード信号TM8を受け、その出力信号はプリデコード信号CDE1となる。
【0080】
通常動作時はテストモード信号TM8は0にされ、マルチビットテスト時はテストモード信号TM8は0または1にされる。テストモード信号TM8が0の場合は、プリデコード信号CDE0,CDE1はそれぞれ信号/CA8,CA8となる。したがって、列アドレス信号CA8が0、1の場合は、それぞれプリデコード信号(CDE0,CDE1)は(1,0)、(0,1)となる。
【0081】
テストモード信号TM8が1の場合は、列アドレス信号CA8に関係なく、ORゲート117,118の出力信号は1になる。したがって、列アドレス信号CA8が0,1の場合は、それぞれプリデコード信号(CDE0,CDE1)は(1,1)、(1,1)となる。
【0082】
図14は、メインデコーダ95の構成を示す回路図である。図14において、このメインデコーダ95は、それぞれ512本の列選択線CSL0〜CSL511に対応して設けられた512組のNANDゲート120およびインバータ121を含む。512本の列選択線CSL0〜CSL511の各々には、信号AYA0〜AYA3のうちのいずれか1つの信号と、信号AYB0〜AYB3のうちのいずれか1つの信号と、AYC0〜AYC3のうちのいずれか1つの信号と、信号AYD0〜AYD3のうちのいずれか1つの信号と、信号CDE0,CDE1のうちのいずれか1つの信号とが予め割当てられている。ある列選択線CSLに割当てられた5つの信号は、その列選択線CSLに対応するNANDゲート120に入力される。インバータ121は、NANDゲート120の出力信号を反転させてその列選択線CSLに与える。したがって、予め割当てられた5つの信号がともに「H」レベルにされた場合のみその列選択線CSLが選択レベルにされる。
【0083】
たとえば、1番目の列選択線CSL0には、プリデコード信号AYA0,AYB0,AYC0,AYD0,CDE0が割当てられている。これらの信号AYA0,AYB0,AYC0,AYD0,CDE0がともに「H」レベルにされると、列選択線CSL0は「H」レベルにされる。
【0084】
2番目の列選択線CSL1には、プリデコード信号AYA1,AYB0,AYC0,AYD0,CDE0が割当てられている。これらの信号AYA1,AYB0,AYC0,AYD0,CDE0がともに「H」レベルにされると、列選択線CSL1は「H」レベルにされる。以下同様である。
【0085】
換言すると、512本の列選択線CSL0〜CSL511は、それぞれが256本の列選択線CSLを含む2つの第1グループに分割されている。2つの第1グループには信号CDE0,CDE1が予め割当てられている。信号CDE0,CDE1の各々を「L」レベルまたは「H」レベルにすることにより、いずれか1つまたは2つの第1のグループを選択することができる。
【0086】
各第1グループの256本の列選択線(たとえばCSL0〜CSL255)は、それぞれが64本の列選択線CSLを含む4つの第2グループに分割されている。4つの第2グループにはそれぞれ信号AYD0〜AYD3が予め割当てられている。信号AYD0〜AYD3の各々を「L」レベルまたは「H」レベルにすることにより、いずれか1つまたは2以上の第2グループを選択することができる。
【0087】
各第2グループの64本の列選択線(たとえばCSL0〜CSL63)は、それぞれが16本の列選択線CSLを含む4つの第3グループに分割されている。4つの第3グループにはそれぞれ信号AYC0〜AYC3が予め割当てられている。信号AYC0〜AYC3の各々を「L」レベルまたは「H」レベルにすることにより、いずれか1つまたは2以上の第3グループを選択することができる。
【0088】
各第3グループの16本の列選択線(たとえばCSL0〜CSL15)は、それぞれが4本の列選択線CSLを含む4つの第4グループに分割されている。4つの第4グループにはそれぞれ信号AYB0〜AYB3が予め割当てられている。信号AYB0〜AYB3の各々を「L」レベルまたは「H」レベルにすることにより、いずれか1つまたは2以上の第4グループを選択することができる。
【0089】
各第4グループの4本の列選択線(たとえばCSL0〜CSL3)には、それぞれ信号AYA0〜AYA3が予め割当てられている。信号AYA0〜AYA3の各々を「L」レベルまたは「H」レベルにすることにより、いずれか1または2以上の列選択線CSLを選択することができる。
【0090】
したがって、図11〜図13で示したプリデコーダ90〜94によって所定のプリデコード信号を「H」レベルにすることによって所望の数の列選択線CSLを同時に選択することができる。
【0091】
たとえば、図12がプリデコーダ90においてテストモード信号(TM0,TM1)を(0,1)にするとともに列アドレス信号CA0を0にすることにより、2つのプリデコード信号AYA0,AYA2を「H」レベルにすることができる。この状態で、プリデコード信号AYB0,AYC0,AYD0,CDE0を「H」レベルにすれば、2本の列選択線CSL0,CSL2を同時に選択することができる。さらに、図13のプリデコーダ94においてテストモード信号TM8を1にすることにより、プリデコード信号CDE0,CDE1をともに「H」レベルにすれば、4本の列選択線CSL0,CSL2,CSL256,CSL258を同時に選択することができる。また、すべてのプリデコード信号AYA0〜AYA3;…;CDE0,CDE1を「H」レベルにすることにより、512本の列選択線CSL0〜CSL511を同時に選択することができる。
【0092】
図15は、メインデコーダ95の各インバータ121の駆動電圧を切換える切換回路130の構成を示す回路図である。図15において、この切換回路130は、NANDゲート131、インバータ132およびPチャネルMOSトランジスタ133,134を含む。PチャネルMOSトランジスタ133は電源電位VCCのラインとインバータ121の電源ノードN122との間に接続され、PチャネルMOSトランジスタ134はテスト電位VTMのラインとインバータ121の電源ノードとの間に接続される。NANDゲート131は、テストモード信号TMおよび信号RDSを受ける。信号TMはマルチビットテスト時に活性化レベルの「H」レベルにされる信号であり、信号RDSは読出動作時に活性化レベルの「H」レベルにされる信号である。NANDゲート131の出力信号ZTMDは、インバータ132を介してPチャネルMOSトランジスタ133のゲートに入力されるとともに、PチャネルMOSトランジスタ134のゲートに直接入力される。
【0093】
通常動作時およびマルチビットテストにおける書込動作時は、信号TM,RDSのうちの少なくとも1つの信号は「L」レベルにされるので、NANDゲート131の出力信号ZTMDが「H」レベルにされ、インバータ130の出力信号TMDが「L」レベルにされる。これにより、PチャネルMOSトランジスタ134が非導通にされるとともにPチャネルMOSトランジスタ133が導通し、インバータ121の電源ノードN122には電源電位VCCが与えられる。
【0094】
マルチビットテストにおける読出動作時は、信号TM,RDSがともに「H」レベルにされてNANDゲート131の出力信号ZTMDが「L」レベルにされ、インバータ132の出力信号TMDが「H」レベルにされる。これにより、PチャネルMOSトランジスタ133が非導通にされるとともにPチャネルMOSトランジスタ134が導通し、インバータ121の電源ノードN122にはテスト電位VTMが与えられる。
【0095】
インバータ121は、PチャネルMOSトランジスタ122およびNチャネルMOSトランジスタ123を含む。PチャネルMOSトランジスタ122は、電源ノードN122と対応の列選択線(たとえばCSL0)との間に接続され、そのゲートはNANDゲート120の出力信号φ120を受ける。NチャネルMOSトランジスタ123は、列選択線CSL0と接地電位GNDのラインとの間に接続され、そのゲートはNANDゲート120の出力信号φ120を受ける。
【0096】
NANDゲート120の出力信号φ120が「H」レベルの場合は、PチャネルMOSトランジスタ122が非導通にされるとともにNチャネルMOSトランジスタ123が導通し、列選択線CSL0が接地電位GNDにされる。NANDゲート120の出力信号φ120が「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ123が非導通にされるとともにインバータ122が導通し、列選択線CSL0は電源電位VCCまたはテスト電位VTMにされる。
【0097】
以下、このSDRAMのマルチビットテスト時の動作について説明する。まず、図16に示すように、メモリマットMMa,MMbの各々において複数の列選択線(図ではCSL0,CSL1)を選択して複数のメモリセルMCに「H」レベルのデータ信号を一度に書込む。
【0098】
すなわち図17に示すように、外部クロック信号CLKのある立上がりエッジ(時刻t0)に同期してアクティブコマンドACT(/CS=L,/RAS=L,CAS=H,/WE=H)が入力され、そのときのアドレス信号A0〜Amが行アドレス信号RA0〜RAmとして取込まれる。これに応じて、行デコーダ16によって行アドレス信号RA0〜RAmに応じた行のワード線(図ではWL0)が選択レベルの「H」レベルに立上げられ、その行の各メモリセルMCが活性化される。これにより、各ビット線対BL,/BL間に微小電位差が発生し、センスアンプ25のノードN34,N35の電位VA,/VA間にも微小電位差が発生する。
【0099】
次いでセンスアンプ活性化信号S0N,ZS0Pがそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされると、センスアンプ25が活性化されて各ビット線対BL,/BL間の電位差が電源電圧VCCに増幅される。ここでは、列選択線CSL0,CSL1に対応するメモリセルMC,MCには「L」レベルのデータ信号が記憶されていて、ビット線(BL0,/BL0)、(BL1,/BL1)はそれぞれ(L,H)、(L,H)になったものとする。
【0100】
次に、アクティブコマンドACTの入力から2クロックサイクル経過後のクロック信号CLKの立上がりエッジ(時刻t2)に同期してライトコマンドWRITE(/CS=L,/RAS=H,/CAS=L,WE=L)が入力され、そのときのアドレス信号A0〜Amが列アドレス信号CA0〜CAmとして取込まれるとともに、書込データ信号D0が取込まれる。これに応じて、列デコーダ20aによって列アドレス信号CA0〜CAmおよびテストモード信号TM0〜TM8に応じた列の列選択線CSL0,CSL1が選択レベルの「H」レベルに立上げられ、列選択線CSL0,CSL1に対応する列選択ゲート27,27が導通する。また、取込んだ書込データ信号D0の論理レベル(図では「H」レベル)に従って、データバス線DBL0,/DBL0がそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルされる。データバス線DBL0,/DBL0の電位は、読出/書込回路10a、グローバルIO線対GIOa,/GIOa、ブロック選択スイッチBS、ローカルIO線対LIO,/LIO、列選択ゲート27,27、およびビット線対BL0,/BL0;BL1,/BL1を介して2つのメモリセルMC,MCに書込まれる。
【0101】
列選択線CSL0,CSL1およびワード線WL0が「L」レベルに立下げられ、センスアンプ25が非活性化されると、各メモリセルMCにはデータ信号が記憶される。メモリセルMCが正常な場合は書込データ信号D0と同じ論理レベル(この場合は「H」レベル)のデータ信号がそのメモリセルMCに記憶されるが、メモリセルMCが不良な場合は書込データ信号D0と逆の論理レベル(この場合は「L」レベル)のデータ信号がそのメモリセルMCに記憶される。
【0102】
図18は、各メモリセルMCが正常である場合の読出動作を示すタイムチャートである。図18において、外部クロック信号CLKのある立上がりエッジ(時刻t0)に同期してアクティブコマンドACT(/CS=L,/RAS=L,/CAS=H,/WE=H)が入力され、そのときのアドレス信号A0〜Amが行アドレス信号RA0〜RAmとして取込まれる。これに応じて、行デコーダ16によって行アドレス信号RA0〜RAmに応じた行のワード線(図ではWL0)が選択レベルの「H」レベルに立上げられ、その行の各メモリセルMCが活性化される。これにより、各ビット線対BL,/BL間に微小電位差が発生し、センスアンプ25のノードN34,N35の電位VA,/VA間にも微小電位差が発生する。
【0103】
次いでセンスアンプ活性化信号S0N,ZS0Pがそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされると、センスアンプ25が活性化されてビット線対BL,/BL間の電位差が電源電圧VCCに増幅される。ここでは、列選択線CS0,CS1に対応するメモリセルMC,MCには書込データ信号D0と同じ論理レベルすなわち「H」レベルのデータ信号が記憶されていて、ビット線(BL0,/BL0)、(BL1,/BL1)はそれぞれ(H,L)、(H,L)になったものとする。
【0104】
次に、アクティブコマンドACTの入力から2クロックサイクル経過後のクロック信号の立上がりエッジ(時刻t2)に同期してリードコマンドREAD(/CS=L,/RAS=H,/CAS=L,/WE=H)が入力され、そのときのアドレス信号A0〜Amが列アドレス信号CA0〜CAmとして取込まれる。これに応じて、列デコーダ20aによって列アドレス信号CA0〜CAmおよびテストモード信号TM0〜TM8に応じた列の列選択線CSL0,CSL1がテスト電位VTMに立上げられ、センスアンプ25,25の出力電位VA0,/VA0;VA1,/VA1のうちの「L」レベルの電位だけが列選択ゲート27,27を通過してローカルIO線LIO,/LIOに伝達される。したがって、ローカルIO線LIO,/LIOはそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされる。ローカルIO線LIO,/LIOの電位は、ブロック選択信号BSおよびグローバルIO線GIOa,/GIOaを介して読出/書込回路10aに伝達される。
【0105】
グローバルIO線GIOa,/GIOaはそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルであるから、図9のNORゲート71の出力信号は「L」レベルになる。ここでは、メモリマットMMbで選択された2つのメモリセルMCも正常であり、NORゲート72の出力信号も「L」レベルになったものとする。したがって、ORゲート73の出力信号は「L」レベルになり、インバータ74の出力信号は「H」レベルになる。次いで信号φPが所定時間だけ「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ76,77が導通するとともにNチャネルMOSトランジスタ78,79が非導通になり、φP,/φPがそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルになる。これにより、図10のMOSトランジスタ83,86が導通するとともにMOSトランジスタ84,85が非導通になってデータバス線DBL0,/BDL0は「H」レベルおよび「L」レベルになり、読出データ信号Q0は選択された全メモリセルMCが正常であることを示す「H」レベルになる。
【0106】
次に、図19に示すように、ワード線WL0および列選択線CSL1によって選択されるメモリセルMCが不良であり、「H」レベルのデータ信号を書込んだにもかかわらずそのメモリセルMCには「L」レベルのデータ信号が記憶されているものとする。図20は、この場合における読出動作を示すタイムチャートである。
【0107】
図20において、アクティブコマンドACTに応答してワード線WL0が選択レベルの「H」レベルにされて各ビット線対BL,/BL間に微小電位差が発生し、センスアンプ25が活性化されて各ビット線対BL,/BL間の電位差が電源電圧VCCに増幅される。ここでは、列選択線CSL0,CSL1に対応するメモリセルMC,MCにはそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルのデータ信号が記憶されていて、ビット線(BL0,/BL0)、(BL1,/BL1)がそれぞれ(H,L)、(L,H)になったものとする。
【0108】
次に、リードコマンドREADに応答して列選択線CSL0,CSL1がテスト電位VTMに立上げられ、センスアンプ25,25の出力電位VA0,/VA0;VA1,/VA1のうちの「L」レベルの電位だけが列選択ゲート27,27を介してローカルIO線LIO,/LIOに伝達される。したがって、ローカルIO線LIO,/LIOは「L」レベルにされる。ローカルIO線LIO,/LIOの電位は、ブロック選択スイッチBSおよびグローバルIO線GIOa,/GIOaを介して読出/書込回路10aに伝達される。
【0109】
グローバルIO線GIOa,/GIOaはともに「L」レベルであるから、図9のNORゲート71の出力信号は「H」レベルになる。したがって、メモリマットMMbで選択された2つのメモリセルMCが正常であるか否かに関係なく、ORゲート73の出力は「H」レベルになり、インバータ74の出力は「L」レベルになる。次いで信号φTが所定時間だけ「H」レベルされると、NチャネルMOSトランジスタ76,77は導通するとともにNチャネルMOSトランジスタ78,79は非導通になり、信号φP,/φPがそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルになる。これにより、図10のMOSトランジスタ84,85が導通するとともにMOSトランジスタ83,86が非導通になってデータバス線DBL0,/BDL0はそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルになり、読出データ信号Q0は選択された4つのメモリセルMCのうちの少なくとも1つが不良であることを示す「L」レベルになる。
【0110】
この実施の形態では、1つの行の所望の数(2〜512)のメモリセルMCを選択し、選択した所望の数のメモリセルMCのデータの書込および読出の各々を一度に行なってそれらのメモリセルMCが正常か否かを判定する。したがって、SDRAMのテスト時間の短縮化を図ることができる。
【0111】
なお、通常センスアンプ25の電流供給能力は小さく、それに比べてローカルIO線LIO,/LIOおよびグローバルIO線GIO,/GIOの配線容量が大きいので、テストモード時において列選択線CSLをテスト電位VTMにする時間が短いと、センスアンプ25が列選択ゲート27を介してローカルIO線LIOまたは/LIOおよびグローバルIO線GIOまたは/GIOの電位を接地電位GNDまで十分に引下げることができなくなるおそれがある。したがって、図21に示すように、マルチビットテストにおける読出動作時に列選択線CSLをテスト電位VTMにする時間は、通常動作時に列選択線CSLを選択レベルの「H」レベルにする時間よりも長くするとよい。
【0112】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0113】
【発明の効果】
以上のように、この発明に係る半導体記憶装置では、複数のメモリセル、複数のワード線および複数組の第1および第2のビット線を含むメモリブロックと、各第1および第2のビット線に対応して設けられたセンスアンプと、複数の列選択線と、各列に対応して設けられ、それらの第1の電極がそれぞれ対応の第1および第2のビット線に接続され、それらのゲート電極がともに対応の列選択線に接続された第1および第2のNチャネルMOSトランジスタを含む列選択ゲートと、それぞれ第1および第2のNチャネルMOSトランジスタの第2の電極に接続され、各々が予め電源電位に充電された第1および第2のデータ線と、行アドレス信号に従って複数のワード線のうちのいずれかのワード線を選択する行選択回路と、テストモード時は、列アドレス信号およびテストモード信号に従って複数の列選択線のうちのいずれか複数の列選択線またはすべての列選択線を選択し、選択した各列選択線を第1および第2のNチャネルMOSトランジスタのしきい値電位に略等しいテスト電位にする列選択回路と、予め同一のデータ信号が書込まれたテスト対象の複数のメモリセルが行選択回路によって活性化され、かつ列選択回路によって選択された複数の列選択線に対応する場合に、第1および第2のデータ線がともに接地電位にされたことに応じてテスト対象の複数のメモリセルのうちの少なくとも1つのメモリセルは不良であると判定し、第1および第2のデータ線のうちのいずれか一方のデータ線が電源電位であり他方のデータ線が接地電位であることに応じてテスト対象の複数のメモリセルは正常であると判定する判定回路とが設けられる。したがって、選択された行に属する複数のメモリセルのうちのいずれか複数のメモリセルまたはすべてのメモリセルが正常か否かを一度に判定することができるので、テスト時間の短縮化を図ることができる。
【0114】
好ましくは、列選択回路によって選択される列選択線の数は、テストモード信号によって変更可能にされている。この場合は、一度にテストするメモリセルの数を容易に変更することができる。
【0115】
また好ましくは、列選択回路は、通常動作時は列アドレス信号に従って複数の列選択線のうちのいずれかの列選択線を選択し、選択した列選択線をテスト電位よりも高い選択電位にしてその列選択線に対応する第1および第2のNチャネルMOSトランジスタを導通させる。またこの半導体記憶装置には、さらに、第1および第2のデータ線と列選択回路によって選択された各列選択線に対応する第1および第2のNチャネルMOSトランジスタならびに第1および第2のビット線とを介して、行選択回路によって活性化された各メモリセルのデータ信号の書込を行なう書込回路と、通常動作時に活性化され、第1および第2のデータ線の電位に基づいて、行選択回路によって選択されたワード線に対応し、かつ列選択回路によって選択された列選択線に対応するメモリセルのデータ信号を読出す読出回路とが設けられる。この場合は、選択された複数のメモリセルに同じデータ信号を一度に書込むことができる。
【0116】
また好ましくは、列選択回路が列選択線をテスト電位にする時間は、列選択回路が列選択線を選択電位にする時間よりも長く設定されている。この場合は、第1および/または第2のデータ線の電位を接地電位に十分に引下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施の形態によるSDRAMの全体構成を示すブロック図である。
【図2】図1に示したSDRAMのチップレイアウトを示す図である。
【図3】図2に示したメモリアレイ6aおよびそれに関連する部分を示すブロック図である。
【図4】図3に示したセンスアンプ帯およびメモリブロックの構成を示すブロック図である。
【図5】図4に示したメモリセルの構成を示す回路図である。
【図6】図4に示したセンスアンプ、イコライザおよび列選択ゲートの構成を示す回路図である。
【図7】図4に示したブロック選択スイッチおよびイコライザ28,29の構成を示す回路図である。
【図8】図3に示した読出/書込回路10aの構成を示すブロック図である。
【図9】図8に示した判定回路の構成を示す回路図である。
【図10】図8に示したデータバスドライバの構成を示す回路図である。
【図11】図3に示した列デコーダの構成を示すブロック図である。
【図12】図11に示したプリデコーダ90の構成を示す回路図である。
【図13】図11に示したプリデコーダ94の構成を示す回路図である。
【図14】図11に示したメインデコーダ95の構成を示す回路図である。
【図15】図14に示したインバータに接続される切換回路の構成を示す回路図である。
【図16】図1〜図15で示したSDRAMのマルチビットテストにおける書込動作を説明するためのブロック図である。
【図17】図16で説明した書込動作を示すタイムチャートである。
【図18】このSDRAMのマルチビットテストにおける読出動作を示すタイムチャートである。
【図19】このSDRAMのマルチビットテストにおける読出動作を説明するためのブロック図である。
【図20】図19で説明した読出動作を示すタイムチャートである。
【図21】この実施の形態の変更例を示すタイムチャートである。
【図22】従来のDRAMの要部を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 クロックバッファ、2 制御信号バッファ、3 アドレスバッファ、4 モードレジスタ、5 制御回路、6〜9 メモリアレイ、10〜13,151 読出/書込回路、14 IOバッファ、16〜19 行デコーダ、20〜23,150 列デコーダ、MC メモリセル、WL ワード線、BL,/BL ビット線、CSL 列選択線、LIO,/LIO ローカルIO線、GIO,/GIO グローバルIO線、DBL,/DBL データバス線、BS ブロック選択スイッチ、SA センスアンプ帯、MB メモリブロック、MM メモリマット、25 センスアンプ、26,28,29 イコライザ、27 列選択ゲート、30,36〜45,51〜58,66〜68,76〜79,85,86,123NチャネルMOSトランジスタ、31 キャパシタ、33〜35,83,84,122,133,134 PチャネルMOSトランジスタ、60 ライトデータアンプ、61 ライトドライバ、62 プリアンプ、63 反転回路、64 データバスドライバ、71,72,104〜115 NORゲート、77,117,118 ORゲート、74,75,81,82,100〜103,116,121,132 インバータ、90〜94 プリデコーダ、95 メインデコーダ、95 メインデコーダ、120,131 NANDゲート、130 切換回路。
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体記憶装置に関し、特に、複数のメモリセルが正常か否かを同時にテストするテストモードを有する半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、DRAMの大容量化に伴って製品の出荷テストの時間が増大し、生産性が低下している。そこで、既存のテスト設備を用いてテスト時間を減少させ、生産性の向上を図るため、DRAMチップには複数のメモリセルを同時にテストするマルチビットテストモードが設けられている。
【0003】
図22は、そのようなDRAMの要部を示すブロック図である。図22において、このDRAMでは、1つのデータバスDB0に対応して2つのメモリマットMMa,MMbが設けられている。メモリマットMMa,MMbの各々は、複数のセンスアンプ帯SAと、それらの間にそれぞれ配置された複数のメモリブロックMBとを含む。各メモリブロックMBには複数のワード線WLが設けられ、メモリマットMMa,MMbにはそれぞれ列選択線CSL0〜CSL255,CSL256〜CSL512が設けられている。各ワード線WLの一方端は行デコーダ(図示せず)に接続され、各列選択線CSLの一方端は列デコーダ150に接続されている。
【0004】
また、各センスアンプ帯SAにはローカルIO線対LIO,/LIOが設けられ、各ローカルIO線対LIO,/LIOに対応してブロック選択スイッチBSが設けられる。メモリマットMMaに対応してグローバルIO線対GIOa,/GIOaおよび読出/書込回路151aが設けられ、メモリマットMMbに対応してグローバルIO線対GIOb,/GIObおよび読出/書込回路151bが設けられる。
【0005】
通常動作時は、列デコーダ150によって512本の列選択線CSL0〜CSL511のうちのいずれか1本の列選択線CSLが選択されるとともに、行デコーダによってメモリマットMMa,MMbの各々において複数のメモリブロックMBのうちのいずれかのメモリブロックMBと、そのメモリブロックMBに属する複数のワード線WLのうちのいずれか1本のワード線WLとが選択され、選択された列選択線CSLおよびワード線WLによって1つのメモリセルが選択される。
【0006】
書込動作時は、データバスDB0を介して読出/書込回路151a,151bに書込データ信号が与えられ、読出/書込回路151a,151bは、グローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIOb、ブロック選択スイッチBSおよびローカルIO線対LIO,/LIOを介して選択されたメモリセルにデータ信号を書込む。
【0007】
読出動作時は、選択されたメモリセルの読出データ信号はローカルIO線対LIO,/LIO、ブロック選択スイッチBS、グローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObを介して読出/書込回路151aまたは151bに与えられる。読出/書込回路151aまたは151bは、データバスDB0およびIOバッファ(図示せず)を介して読出データ信号を外部に出力する。
【0008】
マルチビットテスト時は、列デコーダ150によって216本の列選択線CSL0〜CSL255のうちのいずれか1本の列選択線CSLと216本の列選択線CSL256〜CSL512のうちのいずれか1本の列選択線CSLとが選択されるとともに、行デコーダによってメモリマットMMa,MMbの各々において複数のメモリブロックMBのうちのいずれかのメモリブロックMBと、そのメモリブロックMBに属する複数のワード線WLのうちのいずれか1本のワード線WLとが選択され、選択された2本の列選択線CSLおよび2本のワード線WLによって2つのメモリセルが選択される。
【0009】
マルチビットテストにおける書込動作時は、データバスDB0を介して読出/書込回路151a,151bの各々に書込データ信号が与えられ、読出/書込回路151a,151bの各々は、グローバルIO線対GIO,/GIO、ブロック選択スイッチBSおよびローカルIO線対LIO,/LIOを介して選択されたメモリセルにデータ信号を書込む。したがって、2つのメモリセルに同じデータ信号が同時に書込まれる。
【0010】
マルチビットテストにおける読出動作時は、選択された2つのメモリセルの読出データ信号の各々はローカルIO線対LIO,/LIO、ブロック選択スイッチBS、グローバルIO線対GIO,/GIOを介して対応の読出/書込回路151aまたは151bに与えられる。読出/書込回路151a,151bの各々は、対応のメモリセルからの読出データ信号に従って、予め「H」レベルに充電されたデータバス線DBL0,/DBL0のうちのいずれか1本のデータバス線を「L」レベルに引下げる。したがって、選択された2つのメモリセルが正常であって、それらの読出データ信号の論理レベルが一致した場合は、データバス線DBL0,/DBL0のうちのいずれか一方のデータバス線が「H」レベルにされるとともに他方のデータバス線が「L」レベルにされる。また、選択された2つのメモリセルのうちの一方のメモリセルが不良であって、それらの読出データ信号の論理レベルが一致しない場合は、データバス線DBL0,/DBL0はともに「L」レベルにされる。よって、データバス線DBL0と/DBL0の電位を比較することによって、選択された2つのメモリセルが正常であるか否かを判定することができる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のマルチビットテストでは、同時に読出した複数のデータ信号のワイヤードオアをデータバスDB0上でとるので、同時に選択できる列選択線CSLの数は読出/書込回路151a,151bの分割数(図では2つ)が上限である。
【0012】
読出/書込回路151a,151bの分割数を増やすと、同時にテストすることが可能なメモリセルの数が増えてテスト効率が高くなる一方、レイアウト面積が増大するので、読出/書込回路151a,151bの分割数を増やすにも限界がある。このため、従来のマルチビットテストでは、テスト効率をさほど高くすることはできなかった。
【0013】
それゆえに、この発明の主たる目的は、テスト効率が高い半導体記憶装置を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体記憶装置は、テストモードを有する半導体記憶装置であって、複数行複数列に配置された複数のメモリセルと、それぞれ複数行に対応して設けられた複数のワード線と、それぞれ複数列に対応して設けられた複数組の第1および第2のビット線とを含むメモリブロックと、各第1および第2のビット線に対応して設けられ、対応の第1および第2のビット線間に生じた電位差を増幅していずれか一方のビット線を電源電位にするとともに他方のビット線を接地電圧にするセンスアンプと、それぞれ複数列に対応して設けられた複数の列選択線と、各列に対応して設けられ、それらの第1の電極がそれぞれ対応の第1および第2のビット線に接続され、それらのゲート電極がともに対応の列選択線に接続された第1および第2のNチャネルMOSトランジスタを含む列選択ゲートと、それぞれ第1および第2のNチャネルMOSトランジスタの第2の電極に接続され、各々が予め電源電位に充電された第1および第2のデータ線と、行アドレス信号に従って複数のワード線のうちのいずれかのワード線を選択し、選択したワード線に対応する各メモリセルを活性化させて各第1および第2のビット線間に電位差を発生させる行選択回路と、テストモード時は、列アドレス信号およびテストモード信号に従って複数の列選択線のうちのいずれか複数の列選択線またはすべての列選択線を選択し、選択した各列選択線を第1および第2のNチャネルMOSトランジスタのしきい値電位に略等しいテスト電位にする列選択回路と、予め同一のデータ信号が書込まれたテスト対象の複数のメモリセルが行選択回路によって活性化され、かつ列選択回路によって選択された複数の列選択線に対応する場合に、第1および第2のデータ線がともに接地電位にされたことに応じてテスト対象の複数のメモリセルのうちの少なくとも1つのメモリセルは不良であると判定し、第1および第2のデータ線のうちのいずれか一方のデータ線が電源電位であり他方のデータ線が接地電位であることに応じてテスト対象の複数のメモリセルは正常であると判定する判定回路とを備えたものである。
【0015】
好ましくは、列選択回路によって選択される列選択線の数は、テストモード信号によって変更可能にされている。
【0016】
また好ましくは、列選択回路は、通常動作時は列アドレス信号に従って複数の列選択線のうちのいずれかの列選択線を選択し、選択した列選択線をテスト電位よりも高い選択電位にしてその列選択線に対応する第1および第2のNチャネルMOSトランジスタを導通させる。この半導体記憶装置には、さらに、第1および第2のデータ線と列選択回路によって選択された各列選択線に対応する第1および第2のNチャネルMOSトランジスタならびに第1および第2のビット線とを介して、行選択回路によって活性化された各メモリセルのデータ信号の書込を行なう書込回路と、通常動作時に活性化され、第1および第2のデータ線の電位に基づいて、行選択回路によって選択されたワード線に対応し、かつ列選択回路によって選択された列選択線に対応するメモリセルのデータ信号を読出す読出回路とが設けられる。
【0017】
また好ましくは、列選択回路が列選択線をテスト電位にする時間は、列選択回路が列選択線を選択電位にする時間よりも長く設定されている。
【0018】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の一実施の形態によるSDRAMの概略構成を示すブロック図である。図1において、このSDRAMは、クロックバッファ1、制御信号バッファ2、アドレスバッファ3、モードレジスタ4、制御回路5、4つのメモリアレイ6〜9(バンク♯0〜♯3)、4つの読出/書込回路10〜13、およびIOバッファ14を備える。
【0019】
クロックバッファ1は、外部制御信号CKEによって活性化され、外部クロック信号CLKを制御信号バッファ2、アドレスバッファ3および制御回路5に伝達させる。制御信号バッファ2は、クロックバッファ1からの外部クロック信号CLKに同期して、外部制御信号/CS,/RAS,/CAS,/WE,DQMをラッチし、制御回路5に与える。アドレスバッファ3は、クロックバッファ1からの外部クロック信号CLKに同期して、外部アドレス信号A0〜Am(ただし、mは0以上の整数である)およびバンク選択信号BA0,BA1をラッチし、制御回路5に与える。
【0020】
モードレジスタ4は、外部アドレス信号A0〜Amによって指示されたモードを記憶し、そのモードに応じた内部コマンド信号を出力する。メモリアレイ6〜9の各々は、行列状に配列され、それぞれが1ビットのデータを記憶する複数のメモリセルを含む。複数のメモリセルは、予めn+1個(ただし、nは0以上の整数である)ずつグループ化されている。
【0021】
制御回路5は、クロックバッファ1、制御信号バッファ2、アドレスバッファ3およびモードレジスタ4からの信号に従って種々の内部信号を生成し、SDRAM全体を制御する。制御回路5は、読出動作時および書込動作時は、バンク選択信号BA0,BA1に従って4つのメモリアレイ6〜9のうちのいずれかのメモリアレイを選択し、アドレス信号A0〜Amに従ってそのメモリアレイのうちのn+1個のメモリセルを選択する。
【0022】
読出/書込回路10〜13は、読出動作時は制御回路5によって選択されたn+1個のメモリセルからデータQ0〜Qnを読出し、書込動作時は制御回路5によって選択されたn+1個のメモリセルにデータD0〜Dnを書込む。読出/書込回路10〜13は、データバスDB0〜DBnを介してIOバッファ14に結合される。
【0023】
IOバッファ14は、読出動作時は読出/書込回路10〜13からの読出データQ0〜Qnを外部に出力し、書込動作時は外部から入力されたデータD0〜Dnを読出/書込回路10〜13に与える。
【0024】
図2は、図1に示したSDRAMのチップレイアウトを示す図である。図2において、メモリアレイ6〜9は、長方形の半導体基板15の四隅にそれぞれ配置されている。メモリアレイ6〜9は、それぞれチップ長辺方向に2つのメモリアレイ6a,6b;…;9a,9bに分割されており、メモリアレイ6aと6b,…,9aと9bの間にはそれぞれ行デコーダ16〜19が配置されている。また、メモリアレイ6〜9のチップ中央側にはそれぞれ列デコーダ20〜23および読出/書込回路(R/W)10〜13が配置されている。行デコーダ16〜19および列デコーダ20〜23は、図1の制御回路5に含まれる。
【0025】
図3は、図2に示したメモリアレイ6aの要部と、それに関連する部分の構成を示すブロック図である。図3において、メモリアレイ6aは複数(図では2つ)のメモリマットMMa,MMbを含む。メモリマットMMa,MMbの各々は、複数のセンスアンプ帯SAと、それらの間にそれぞれ配置された複数のメモリブロックMBとを含む。各メモリブロックMBには、複数のワード線WLが配置されている。行デコーダ16は、行アドレス信号RA0〜RAm(信号/RASが「L」レベルのときのアドレス信号A0〜Am)に従って、メモリマットMMa,MMbの各々において、複数のメモリブロックMBのうちのいずれかのメモリブロックMBと、そのメモリブロックMBに属する複数のワード線WLのうちのいずれかのワード線WLを選択し、選択したワード線WLを選択レベルの「H」レベルにする。
【0026】
また、2つのメモリマットMMa,MMbには、複数のセンスアンプ帯SAおよび複数のメモリブロックMBを横切るようにして、それぞれ複数(図では256)の列選択線CSL0〜CSL255,CSL256〜CSL511が配置される。列デコーダ20のうちのメモリマットMMa,MMbに対応する部分20aは、列アドレス信号CA0〜CAm(信号/CASが「L」レベルのときのアドレス信号A0〜Am)に従って、通常動作時は512本の列選択線CSL0〜CSL511のうちのいずれかの列選択線CSLを選択し、マルチビットテスト時はメモリマットMMaの256本の列選択線CSL0〜CSL255のうちの所望の数(1〜256のうちのいずれかの数、ここでは2とする)の列選択線CSLとメモリマットMMbの256本の列選択線CSL256〜CSL511のうちの所望の数(1〜256のうちのいずれかの数、ここでは2とする)の列選択線CSLとを選択する。選択された各列選択線CSLは、通常動作時は選択レベルの「H」レベルVH=VCCにされ、マルチビットテスト時はテスト電位VTM=Vth≒1.0(V)にされる。ここで、Vthは、NチャネルMOSトランジスタのしきい値電位である。
【0027】
また、各センスアンプ帯SAにはローカルIO線対LIO,/LIOが配置され、メモリマットMMa,MMbに対応してそれぞれグローバルIO線対GIOa,/GIOa;GIOb,/GIObが配置され、各ローカルIO線対LIO,/LIOはブロック選択スイッチBSを介して対応のグローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObに接続されている。行デコーダ16および列デコーダ20aによってワード線WLおよび列選択線CSLが選択されてメモリセルが選択されると、そのメモリセルに対応するブロック選択スイッチBSが導通する。
【0028】
読出/書込回路10のうちのメモリマットMMa,MMbに対応する部分10a,10bの各々は、対応のグローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObとデータバスDB0との間に接続される。データバスDB0は、1対のデータバス線DBL0,/DBL0を含む。
【0029】
通常の読出動作時は、行デコーダ16および列デコーダ20aによって選択されたワード線WLおよび列選択線CSLに対応する1つのメモリセルからデータ信号が読出され、そのデータ信号が対応のローカルIO線対LIO,/LIO、ブロック選択スイッチBSおよびグローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObを介して読出/書込回路10aまたは10bに伝達される。読出/書込回路10aまたは10bは、グローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObを介して与えられたデータ信号に従って、データバス線DBL0,/DBL0のうちの一方のデータバス線を「H」レベルにするとともに他方のデータバス線を「L」レベルにする。
【0030】
通常の書込動作時は、読出/書込回路10a(10b)は、データバスDB0を介して与えられた書込データ信号に従って、対応のグローバルIO線対GIOa,/GIOa(GIOb,/GIOb)のうちのいずれか一方のグローバルIO線を「H」レベルにするとともに他方のグローバルIO線を「L」レベルにする。グローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObに与えられたデータ信号は、行デコーダ16および列デコーダ20aによって選択されたワード線WLおよび列選択線CSLに対応する1つのメモリセルに書込まれる。
【0031】
マルチビットテストにおける書込動作時は、読出/書込回路10a(10b)は、データバスDB0を介して与えられた書込データ信号に従って、対応のグローバルIO線GIOa,/GIOa(GIOb,/GIOb)のうちのいずれか1本のグローバルIO線を「H」レベルにするとともに他方のグローバルIO線を「L」レベルにする。グローバルIO線対GIOa,/GIOa(GIOb,/GIOb)に与えられたデータ信号は、行デコーダ16および列デコーダ20aによって選択されたワード線WLおよび2本の列選択線CSLに対応する2つのメモリセルに同時に書込まれる。
【0032】
マルチビットテストにおける読出動作時は、メモリマットMMa,MMbの各々において、選択されたワード線WLおよび2本の列選択線CSLに対応する2つのメモリセルから読出された2つのデータ信号の論理レベルが一致しているか否かを示すデータ信号が、対応のローカルIO線対LIO,/LIOに与えられる。2つのメモリセルから読出されたデータ信号の論理レベルが一致している場合は、そのデータ信号に従ってローカルIO線対LIO,/LIOのうちのいずれか一方のローカルIO線が「H」レベルにされるとともに他方のローカルIO線が「L」レベルにされる。2つのメモリセルから読出されたデータ信号の論理レベルが一致していない場合は、ローカルIO線LIO,/LIOがともに「L」レベルにされる。
【0033】
ローカルIO線対LIO,/LIOのデータ信号は、ブロック選択スイッチBSおよびグローバルIO線対GIOa,/GIOaまたはGIOb,/GIObを介して対応の読出/書込回路10aまたは10bに与えられる。読出/書込回路10aは、グローバルIO線対GIOa,/GIOaおよびGIOb,/GIObを介して与えられたデータ信号に従って、データバス線DBL0,/DBL0のうちのいずれか一方のデータバス線を「H」レベルにするとともに他方のデータバス線を「L」レベルにする。メモリマットMMa,MMbから読出された4つのデータ信号の論理レベルが一致した場合は、データバス線DBL0,/DBL0はそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされる。また、メモリマットMMa,MMbから読出された4つのデータ信号の論理レベルが一致しない場合は、データバス線DBL0,/DBL0はそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルにされる。
【0034】
図4は、図3に示したメモリブロックMBおよびセンスアンプ帯SAの要部を示すブロック図である。図4において、メモリブロックMBは、複数行複数列(図では12行256列)に配置された複数のメモリセルMCと、それぞれ12行に対応して設けられた12本のワード線WL0〜WL11と、それぞれ256列に対応して設けられた256のビット線対BL0,/BL0〜BL255,/BL255を含む。
【0035】
メモリセルMCは、図5に示すように、アクセス用のNチャネルMOSトランジスタ30と情報記憶用のキャパシタ31とを含む。NチャネルMOSトランジスタ30は、対応の列のビット線BLまたは/BL(図では/BL)とストレージノードSNとの間に接続され、そのゲートは対応の行のワード線WLに接続される。キャパシタ31は、ストレージノードSNとセルプレート電位VCPのラインとの間に接続される。
【0036】
書込動作時は、ワード線WLは選択レベルの「H」レベルにされるとともに、書込データ信号に従ってビット線BL,/BLのうちの1本のビット線が「H」レベルにされるとともに他方のビット線が「L」レベルにされる。これにより、NチャネルMOSトランジスタ30が導通してストレージノードSNにビット線/BLの電位が与えられる。ワード線WLが非選択レベルの「L」レベルにされると、ストレージノードSNにデータ信号が記憶される。
【0037】
読出動作時は、ビット線BL,/BLがビット線プリチャージ電位VBL(=VCC/2)にされた後に、ワード線WLが選択レベルの「H」レベルにされる。これにより、ビット線BL,/BL間に記憶データに応じた極性の微小電位差が生じる。この微小電位差を増幅し、ビット線BLと/BLの電位を比較することにより、データ信号を読出すことができる。
【0038】
図4に戻って、センスアンプ帯SAは、各列に対応して設けられたセンスアンプ25、イコライザ26および列選択ゲート27と、ローカルIO線対LIO,/LIOと、イコライザ28とを含む。
【0039】
センスアンプ25は、図6に示すように、PチャネルMOSトランジスタ33〜35およびNチャネルMOSトランジスタ36〜40を含む。PチャネルMOSトランジスタ33のソースは電源電位VCCを受け、そのゲートはセンスアンプ活性化信号ZS0Pを受ける。PチャネルMOSトランジスタ34,35は、それぞれPチャネルMOSトランジスタ33のドレインとノードN34,N35との間に接続され、それらのゲートはそれぞれノードN35,N34に接続される。NチャネルMOSトランジスタ36,37は、それぞれノードN34,N35とNチャネルMOSトランジスタ38のドレインとの間に接続され、それらのゲートはそれぞれノードN35,N34に接続される。NチャネルMOSトランジスタ38のソースは接地電位GNDを受け、そのゲートはセンスアンプ活性化信号S0Nを受ける。NチャネルMOSトランジスタ39は、ノードN30とビット線BLとの間に接続され、そのゲートは信号BLIを受ける。NチャネルMOSトランジスタ40は、ノードN35とビット線BLとの間に接続され、そのゲートは信号BLIを受ける。
【0040】
信号BLIが「H」レベルの期間は、NチャネルMOSトランジスタ39,40が導通し、ノードN34,N35とビット線対BL,/BLとが結合される。センスアンプ活性化信号ZS0P,S0Nがそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルにされると、MOSトランジスタ33,38が導通してセンスアンプ25が活性化される。
【0041】
ノードN34の電位VAがノードN35の電位/VAよりも高い場合は、MOSトランジスタ34,37の導通抵抗値がMOSトランジスタ35,36の導通抵抗値よりも低くなってノードN34,N35間の電位差が電源電圧VCCに増幅される。ノードN35の電位/VAがノードN34の電位VAよりも高い場合は、MOSトランジスタ35,36の導通抵抗値がMOSトランジスタ34,37の導通抵抗値よりも低くなってノードN35,N34間の電位差が電源電圧VCCに増幅される。センスアンプ活性化信号ZS0P,S0Nがそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされると、MOSトランジスタ33,38が非導通になってセンスアンプ25が非活性化される。
【0042】
イコライザ26は、NチャネルMOSトランジスタ41〜43を含む。NチャネルMOSトランジスタ41は、ノードN34とN35の間に接続され、そのゲートはビット線イコライズ信号BLEQを受ける。NチャネルMOSトランジスタ42,43は、それぞれノードN34,N35とビット線プリチャージ電位VBLのラインとの間に接続され、それらのゲートはともにビット線イコライズ信号BLEQを受ける。
【0043】
信号BLEQが活性化レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ41〜43が導通してノードN34,N35の電位VA,/VAがともにビット線プリチャージ電位VBLにされる。信号BLEQが非活性化レベルの「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ41〜43が非導通になってイコライザ26が非活性化される。
【0044】
列選択ゲート27は、NチャネルMOSトランジスタ44,45を含む。NチャネルMOSトランジスタ44はノードN34とローカルIO線LIOとの間に接続され、NチャネルMOSトランジスタ45はノードN35とローカルIO線/LIOとの間に接続される。NチャネルMOSトランジスタ44,45のゲートは、ともに、対応の列選択線CSLを介して列デコーダ20aに接続される。
【0045】
通常の読出および書込動作時、およびマルチビットテストにおける書込動作時において、この列が選択された場合は、列選択線CSLは選択レベルの「H」レベルVH=VCCにされ、NチャネルMOSトランジスタ44,45が導通してローカルIO線対LIO,/LIOとビット線対BL,/BLとが結合される。この場合は、「H」レベルの信号および「L」レベルの信号はNチャネルMOSトランジスタ44,45を通過する。
【0046】
マルチビットテストにおける読出動作時において、この列が選択された場合は、列選択線CSLはテスト電位VTM=Vth≒1.0Vにされる。この場合は、「L」レベルの信号はNチャネルMOSトランジスタ44,45を通過するが、「H」レベルの信号はNチャネルMOSトランジスタ44,45を通過しない。これは、NチャネルMOSトランジスタ44,45のソースに「H」レベル(VCC)が印加されると、NチャネルMOSトランジスタ44,45のゲート−ソース間電圧が負電圧になってNチャネルMOSトランジスタ44,45は非導通になるからである。
【0047】
図4に戻って、ローカルIO線対LIO,/LIOにはイコライザ28が設けられ、ローカルIO線対LIO,/LIOはブロック選択スイッチBSを介してグローバルIO線対GIOa,/GIOaに接続され、グローバルIO線対GIOa,/GIOaにもイコライザ29が設けられる。
【0048】
イコライザ28は、図7に示すように、NチャネルMOSトランジスタ51〜53を含む。NチャネルMOSトランジスタ51,52は、ローカルIO線LIOと/LIOの間に直列接続され、それらのゲートはローカルIO線イコライズ信号LIOEQを受ける。NチャネルMOSトランジスタ51,52の間のノードは、電源電位VCCを受ける。NチャネルMOSトランジスタ53は、ローカルIO線LIOと/LIOとの間に接続され、そのゲートはローカルIO線イコライズ信号LIOEQを受ける。
【0049】
信号LIOEQが活性化レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ51〜53が導通してローカルIO線LIO,/LIOの電位が電源電位VCCにイコライズされる。信号LIOEQが非活性化レベルの「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ51〜53が非導通になってイコライザ28が非活性化される。
【0050】
ブロック選択スイッチBSは、NチャネルMOSトランジスタ54,55を含む。NチャネルMOSトランジスタ54はローカルIO線LIOとグローバルIO線GIOaとの間に接続され、NチャネルMOSトランジスタ55はローカルIO線/LIOとグローバルIO線/GIOaとの間に接続される。NチャネルMOSトランジスタ54,55のゲートはともにブロック選択信号φBを受ける。
【0051】
信号φBが選択レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ54,55が導通してローカルIO線LIO,/LIOとグローバルIO線GIOa,/GIOaとが結合される。信号φBが非選択レベルの「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ54,55が非導通になってローカルIO線LIO,/LIOとグローバルIO線GIOa,/GIOaとが電気的に切り離される。
【0052】
イコライザ29は、NチャネルMOSトランジスタ56〜58を含む。NチャネルMOSトランジスタ56,57はグローバルIO線GIOaと/GIOaとの間に直列接続され、NチャネルMOSトランジスタ58はグローバルIO線GIOaと/GIOaとの間に接続される。NチャネルMOSトランジスタ56,57間のノードは電源電位VCCを受け、NチャネルMOSトランジスタ56〜58のゲートはともにグローバルIO線イコライズ信号GIOEQを受ける。
【0053】
信号GIOEQが活性化レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ56〜58が導通してグローバルIO線GIOaと/GIOaの電位は電源電位VCCにイコライズされる。信号GIOEQが非活性化レベルの「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ56〜58が非導通になってイコライザ29が非活性化される。
【0054】
次に、図4〜図7で示した部分の動作について簡単に説明する。通常の読出動作時は、イコライザ26,28,29が非活性化された後、1本のワード線WLが選択レベルの「H」レベルに立上げられ、センスアンプ25が活性化される。これにより、そのワード線WLに対応する各メモリセルMCが活性化されて、そのメモリセルMCの記憶データがそのメモリセルMCに対応するビット線対BL,/BLに読出される。次いで、1本の列選択線CSLが選択レベルの「H」レベルに立上げられてその列選択線CSLに対応する列選択ゲート27が導通し、その列選択線CSLに対応するビット線対BL,/BLのデータ信号が列選択ゲート27、ローカルIO線対LIO,/LIO、ブロック選択スイッチBSおよびグローバルIO線対GIOa,/GIOaを介して読出/書込回路10aに伝達される。
【0055】
通常の書込動作時は、イコライザ26,28,29が非活性化された後、1本のワード線WLが選択レベルの「H」レベルに立上げられ、センスアンプ25が活性化される。これにより、そのワード線WLに対応する各メモリセルMCが活性化されて、そのメモリセルMCの記憶データがそのメモリセルMCに対応するビット線対BL,/BLに読出される。次いで、この列選択線CSLが選択レベルの「H」レベルに立上げられ、その列選択線CSLに対応する列選択ゲート27が導通し、読出/書込回路10aによってグローバルIO線対GIOa,/GIOa、ブロック選択スイッチBS、ローカルIO線対LIO,/LIO、列選択ゲート27およびビット線対BL,/BLを介して選択されたメモリセルMCにデータ信号が書込まれる。
【0056】
マルチビットテストにおける書込動作時は、同時に複数本の列選択線CSLが選択レベルの「H」レベルVHにされて、同時に複数のメモリセルMCに同じ論理レベルのデータ信号が書込まれる。
【0057】
マルチビットテストにおける読出動作時は、同時に複数本の列選択線CSLがテスト電位VTMにされる。テスト電位VTMにされた列選択線CSLに対応する列選択ゲート27は「L」レベルの信号のみを通過させる。したがって、選択された複数のメモリセルMCから読出された複数のデータ信号の論理レベルが一致した場合は、ローカルIO線LIO,/LIOのうちのいずれか一方のローカルIO線が「H」レベルになり、他方のローカルIO線が「L」レベルになる。また、選択された複数のメモリセルMCから読出された複数のデータ信号の論理レベルが一致しない場合は、ローカルIO線LIO,/LIOがともに「L」レベルになる。なお、メモリマットMMbもメモリマットMMaと同じ構成である。
【0058】
図8は、図3に示した読出/書込回路10aの構成を示す回路ブロック図である。図8において、読出/書込回路10aは、ライトデータアンプ60、ライトドライバ61、プリアンプ62、判定回路63およびデータバスドライバ64を含み、データバスDBL0,/DBL0にはイコライザ65が設けられている。
【0059】
イコライザ65は、NチャネルMOSトランジスタ66〜68を含む。NチャネルMOSトランジスタ66はデータバス線DBL0と/DBL0の間に接続され、NチャネルMOSトランジスタ67,68はデータバス線DBL0と/DBL0の間に直列接続される。NチャネルMOSトランジスタ66〜68のゲートはともにデータバスイコライズ信号DBEQを受け、NチャネルMOSトランジスタ67,68の間のノードは接地電位GNDを受ける。
【0060】
信号DBEQが活性化レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ66〜68が導通し、データバス線DBL0と/DBL0の電位は接地電位GNDにイコライズされる。信号DBEQが非活性化レベルの「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ66〜68は非導通になってイコライザ65が非活性化される。
【0061】
ライトデータアンプ60は、書込動作時に活性化され、IOバッファ14からデータバスDB0を介して与えられた書込データ信号をライトドライバ61に与える。ライトドライバ61は、ライトデータアンプ60から与えられた書込データ信号に従って、グローバルIO線GIOa,/GIOaのうちのいずれか一方のグローバルIO線を「H」レベルにするとともに他方のグローバルIO線を「L」レベルにする。
【0062】
プリアンプ62は、通常の読出動作時に活性化され、グローバルIO線対GIOa,/GIOaのデータ信号を読出してデータバスドライバ64に与える。判定回路63は、マルチビットテストにおける読出動作時に活性化され、グローバルIO線GIOa,/GIOaがともに「L」レベルの場合および/またはGIOb,/GIObがともに「L」レベルの場合は選択された複数のメモリセルMCのうちの少なくとも1つが正常でないと判定し、グローバルIO線GIOa,/GIOaのうちのいずれか一方が「H」レベルであり、かつグローバルIO線GIOb,/GIObのうちのいずれか一方が「H」レベルである場合は選択された複数のメモリセルMCはともに正常であると判定し、判定結果を示すデータ信号をデータバスドライバ64に与える。データバスドライバ64は、プリアンプ62および判定回路63からのデータ信号に従って、データバス線DBL0,/DBL0のうちのいずれか一方を「H」レベルにするとともに他方を「L」レベルにする。
【0063】
図9は、図8に示した判定回路63の構成を示す回路図である。図9において、この判定回路63は、NORゲート71,72、ORゲート73、インバータ74,75およびNチャネルMOSトランジスタ76〜79を含む。NORゲート71はグローバルIO線GIOa,/GIOaの電位を受け、NORゲート72はグローバルIO線GIOb,/GIObの電位を受け、ORゲート73はNORゲート71,72の出力信号を受ける。
【0064】
インバータ74およびNチャネルMOSトランジスタ76は、ORゲート73の出力ノードとノードN76との間に直列接続され、NチャネルMOSトランジスタ77はORゲート73の出力ノードとノードN77との間に接続される。NチャネルMOSトランジスタ76,77のゲートはともに信号φTを受ける。NチャネルMOSトランジスタ78,79は、それぞれノードN76,N77と接地電位GNDのラインとの間に接続される。信号φTは、インバータ75を介してNチャネルMOSトランジスタ78,79のゲートに入力される。ノードN76,N77に現われる信号は、この判定回路の出力信号φP,/φPとなる。
【0065】
グローバルIO線GIOa,/GIOaがともに「L」レベルの場合および/またはグローバルIO線GIOb,/GIObがともに「L」レベルの場合は、NORゲート71および/またはNORゲート72の出力信号が「H」レベルになってORゲート73の出力信号が「H」レベルになる。
【0066】
グローバルIO線GIOa,/GIOaのうちの少なくとも一方が「H」レベルであり、かつグローバルIO線GIOb,/GIObのうちの少なくとも一方が「H」レベルである場合は、NORゲート71,72の出力信号はともに「L」レベルになってORゲート73の出力信号が「L」レベルになる。
【0067】
信号φTが非活性化レベルの「L」レベルの場合は、NチャネルMOSトランジスタ76,77が非導通になるとともにNチャネルMOSトランジスタ78,79が導通し、信号φP,/φPがともに「L」レベルにされる。信号φTは、マルチビットテストにおける読出動作時に、所定タイミングで活性化レベルの「H」レベルにされる。信号φTが活性化レベルの「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ78,79が非導通になるとともにNチャネルMOSトランジスタ76,77が導通し、ORゲート73の出力信号はインバータ74で反転されて信号φPにされるとともに、ORゲート73の出力信号が信号/φPとなる。したがって、メモリマットMMa,MMbから選択された複数のメモリセルMCのうちの少なくとも1つが不良である場合は信号φP,/φPはそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルにされ、選択された複数のメモリセルMCがともに正常である場合は信号φP,/φPはそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされる。信号φP,/φPは、データバスドライバ64に与えられる。
【0068】
データバスドライバ64は、図10に示すように、インバータ81,82、PチャネルMOSトランジスタ83,84およびNチャネルMOSトランジスタ85,86を含む。PチャネルMOSトランジスタ83,84はそれぞれ電源電位VCCのラインとデータバス線DBL0,/DBL0との間に接続され、NチャネルMOSトランジスタ85,86はそれぞれデータバスDBL0,/DBL0と接地電位GNDのラインとの間に接続される。信号φPは、インバータ81を介してPチャネルMOSトランジスタ83のゲートに入力されるとともに、NチャネルMOSトランジスタ86のゲートに入力される。信号/φPは、インバータ82を介してPチャネルMOSトランジスタ84のゲートに入力されるとともに、NチャネルMOSトランジスタ85のゲートに入力される。
【0069】
信号φP,/φPがともに「L」レベルの場合は、MOSトランジスタ83〜85がともに非導通になってデータバス線DBL0,/DBL0がともにハイインピーダンス状態にされる。信号φP,/φPがそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルの場合は、MOSトランジスタ83,86が非導通になるとともにMOSトランジスタ84,85が導通し、データバス線DBL0,/DBL0がそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルにされる。信号φP,/φPが「H」レベルおよび「L」レベルの場合は、MOSトランジスタ84,85は非導通になるとともにMOSトランジスタ83,86が導通し、データバス線DBL0,/DBL0がそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルになる。読出/書込回路10bは、読出/書込回路10aから判定回路63を除去したものである。
【0070】
次に、列デコーダ20aについて説明する。列デコーダ20aは、図11に示すように、プリデコーダ90〜94およびメインデコーダ95を備える。プリデコーダ90は、列アドレス信号CA0,CA1およびテストモード信号TM0,TM1に従って、プリデコード信号AYA〜AYA3のうちのいずれか1または2以上の信号を活性化レベルの「H」レベルにする。プリデコーダ91は、列アドレス信号CA2,CA3およびテストモード信号TM2,TM3に従って、プリデコード信号AYB0〜AYB3のうちのいずれか1または2以上の信号を活性化レベルの「H」レベルにする。プリデコーダ92は、列アドレス信号CA4,CA5およびテストモード信号TM4,TM5に従って、プリデコード信号AYC0〜AYC3のうちのいずれか1または2以上の信号を活性化レベルの「H」レベルにする。プリデコーダ93は、列アドレス信号CA6,CA7およびテストモード信号TM6,TM7に従って、プリデコード信号AYD0〜AYD3のうちのいずれか1または2以上の信号を活性化レベルの「H」レベルにする。プリデコーダ94は、列アドレス信号CA8およびテストモード信号TM8に従って、プリデコード信号CDE0,CDE1のうちのいずれか1つまたは両方の信号を活性化レベルの「H」レベルにする。
【0071】
テストモード信号TM0〜TM8は、たとえば、いわゆるアドレスキー方式により生成される。すなわち、WCBR(/WE,/CAS Before /RAS)のタイミングで、アドレス信号A0〜Amが所定の論理レベルの組合せで入力されると、そのアドレス信号A0〜Amに応じた論理レベルの組合せのテストモード信号TM0〜TM8が図1の制御回路5で生成される。
【0072】
メインデコーダ95は、プリデコーダ90〜94からのプリデコード信号AYA0〜AYA3;…;CDE0,CDE1に従って、通常動作時は512本の列選択線CSL0〜CSL511のうちのいずれか1本の列選択線CSLを選択レベルの「H」レベルVHにし、マルチビットテスト時は512本の列選択線CSL0〜CSL511のうちのいずれか2以上の列選択線CSLまたはすべての列選択線CSL0〜CSL511を選択し、選択した各列選択線CSLをテスト電位VTMにする。
【0073】
図12は、プリデコーダ90の構成を示す回路図である。図12において、プリデコーダ90は、インバータ100〜103およびNORゲート104〜115を含む。列アドレス信号CA0はインバータ100,103の各々に入力され、列アドレス信号CA1はインバータ101,102の各々に入力される。NORゲート104,105の一方入力ノードは、それぞれインバータ100,101の出力信号/CA0,/CA1を受ける。NORゲート106,107の一方入力ノードは、それぞれ信号CA0およびインバータ102の出力信号/CA1を受ける。NORゲート108,109の一方入力ノードは、それぞれインバータ103の出力信号/CA0および信号CA1を受ける。NORゲート110,111の一方入力ノードは、それぞれ信号CA0,CA1を受ける。NORゲート104,106,108,110の他方入力ノードは、テストモード信号TM0を受ける。NORゲート105,107,109,111の他方入力ノードは、テストモード信号TM1を受ける。
【0074】
NORゲート112は、NORゲート104,105の出力信号を受け、その出力信号はプリデコード信号AYA0になる。NORゲート113は、NORゲート106,107の出力信号を受け、その出力信号はプリデコード信号AYA1になる。NORゲート114は、NORゲート108,109の出力信号を受け、その出力信号はプリデコード信号AYA2になる。NORゲート115は、NORゲート110,111の出力信号を受け、その出力信号はプリデコード信号AYA3になる。
【0075】
通常動作時は、テストモード信号(TM0,TM1)は(0,0)にされる。したがって、列アドレス信号(CA0,CA1)が(0,0)、(1,0)、(0,1)、(1,1)の場合は、プリデコード信号AYA0〜AYA3はそれぞれ(1,0,0,0)、(0,1,0,0)、(0,0,1,0)、(0,0,0,1)にされる。なお、0は「L」レベル、1は「H」レベルである。
【0076】
マルチビットテスト時は、テストモード信号(TM0,TM1)が(0,0)、(1,0)、(0,1)または(1,1)にされる。テストモード信号(TM0,TM1)が(0,0)の場合は、上述のとおりである。テストモード信号(TM0,TM1)が(1,0)の場合は、列アドレス信号CA0に関係なく、NORゲート104,106,108,110の出力信号が「L」レベルにされる。したがって、列アドレス信号(CA0,CA1)が(0,0)、(1,0)、(0,1)、(1,1)の場合は、プリデコード信号(AYA0〜AYA3)はそれぞれ(1,1,0,0)、(1,1,0,0)、(0,0,1,1)、(0,0,1,1)にされる。
【0077】
テストモード信号(TM0,TM1)が(0,1)の場合は、列アドレス信号CA1に関係なく、NORゲート105,107,109,111の出力信号が「L」レベルにされる。したがって、列アドレス信号(CA0,CA1)が(0,0)、(1,0)、(0,1)、(1,1)の場合は、プリデコード信号(AYA0〜AYA3)は(1,0,1,0)、(0,1,0,1)、(1,0,1,0)、(0,1,0,1)にされる。
【0078】
テストモード信号(TM0,TM1)が(1,1)の場合は、列アドレス信号CA0,CA1に関係なく、NORゲート104〜111の出力信号が「L」レベルにされて、プリデコード信号(AYA0〜AYA3)は(1,1,1,1)にされる。他のプリデコーダ91〜93は、信号の番号が異なるだけで、プリデコーダ90と同じ構成である。
【0079】
プリデコーダ94は、図13に示すように、インバータ116およびORゲート117,118を含む。列アドレス信号CA8は、インバータ116で反転されて信号/CA8となる。ORゲート117は、信号/CA8およびテストモード信号TM8を受け、その出力信号はプリデコード信号CDE0となる。ORゲート118は、列アドレス信号CA8およびテストモード信号TM8を受け、その出力信号はプリデコード信号CDE1となる。
【0080】
通常動作時はテストモード信号TM8は0にされ、マルチビットテスト時はテストモード信号TM8は0または1にされる。テストモード信号TM8が0の場合は、プリデコード信号CDE0,CDE1はそれぞれ信号/CA8,CA8となる。したがって、列アドレス信号CA8が0、1の場合は、それぞれプリデコード信号(CDE0,CDE1)は(1,0)、(0,1)となる。
【0081】
テストモード信号TM8が1の場合は、列アドレス信号CA8に関係なく、ORゲート117,118の出力信号は1になる。したがって、列アドレス信号CA8が0,1の場合は、それぞれプリデコード信号(CDE0,CDE1)は(1,1)、(1,1)となる。
【0082】
図14は、メインデコーダ95の構成を示す回路図である。図14において、このメインデコーダ95は、それぞれ512本の列選択線CSL0〜CSL511に対応して設けられた512組のNANDゲート120およびインバータ121を含む。512本の列選択線CSL0〜CSL511の各々には、信号AYA0〜AYA3のうちのいずれか1つの信号と、信号AYB0〜AYB3のうちのいずれか1つの信号と、AYC0〜AYC3のうちのいずれか1つの信号と、信号AYD0〜AYD3のうちのいずれか1つの信号と、信号CDE0,CDE1のうちのいずれか1つの信号とが予め割当てられている。ある列選択線CSLに割当てられた5つの信号は、その列選択線CSLに対応するNANDゲート120に入力される。インバータ121は、NANDゲート120の出力信号を反転させてその列選択線CSLに与える。したがって、予め割当てられた5つの信号がともに「H」レベルにされた場合のみその列選択線CSLが選択レベルにされる。
【0083】
たとえば、1番目の列選択線CSL0には、プリデコード信号AYA0,AYB0,AYC0,AYD0,CDE0が割当てられている。これらの信号AYA0,AYB0,AYC0,AYD0,CDE0がともに「H」レベルにされると、列選択線CSL0は「H」レベルにされる。
【0084】
2番目の列選択線CSL1には、プリデコード信号AYA1,AYB0,AYC0,AYD0,CDE0が割当てられている。これらの信号AYA1,AYB0,AYC0,AYD0,CDE0がともに「H」レベルにされると、列選択線CSL1は「H」レベルにされる。以下同様である。
【0085】
換言すると、512本の列選択線CSL0〜CSL511は、それぞれが256本の列選択線CSLを含む2つの第1グループに分割されている。2つの第1グループには信号CDE0,CDE1が予め割当てられている。信号CDE0,CDE1の各々を「L」レベルまたは「H」レベルにすることにより、いずれか1つまたは2つの第1のグループを選択することができる。
【0086】
各第1グループの256本の列選択線(たとえばCSL0〜CSL255)は、それぞれが64本の列選択線CSLを含む4つの第2グループに分割されている。4つの第2グループにはそれぞれ信号AYD0〜AYD3が予め割当てられている。信号AYD0〜AYD3の各々を「L」レベルまたは「H」レベルにすることにより、いずれか1つまたは2以上の第2グループを選択することができる。
【0087】
各第2グループの64本の列選択線(たとえばCSL0〜CSL63)は、それぞれが16本の列選択線CSLを含む4つの第3グループに分割されている。4つの第3グループにはそれぞれ信号AYC0〜AYC3が予め割当てられている。信号AYC0〜AYC3の各々を「L」レベルまたは「H」レベルにすることにより、いずれか1つまたは2以上の第3グループを選択することができる。
【0088】
各第3グループの16本の列選択線(たとえばCSL0〜CSL15)は、それぞれが4本の列選択線CSLを含む4つの第4グループに分割されている。4つの第4グループにはそれぞれ信号AYB0〜AYB3が予め割当てられている。信号AYB0〜AYB3の各々を「L」レベルまたは「H」レベルにすることにより、いずれか1つまたは2以上の第4グループを選択することができる。
【0089】
各第4グループの4本の列選択線(たとえばCSL0〜CSL3)には、それぞれ信号AYA0〜AYA3が予め割当てられている。信号AYA0〜AYA3の各々を「L」レベルまたは「H」レベルにすることにより、いずれか1または2以上の列選択線CSLを選択することができる。
【0090】
したがって、図11〜図13で示したプリデコーダ90〜94によって所定のプリデコード信号を「H」レベルにすることによって所望の数の列選択線CSLを同時に選択することができる。
【0091】
たとえば、図12がプリデコーダ90においてテストモード信号(TM0,TM1)を(0,1)にするとともに列アドレス信号CA0を0にすることにより、2つのプリデコード信号AYA0,AYA2を「H」レベルにすることができる。この状態で、プリデコード信号AYB0,AYC0,AYD0,CDE0を「H」レベルにすれば、2本の列選択線CSL0,CSL2を同時に選択することができる。さらに、図13のプリデコーダ94においてテストモード信号TM8を1にすることにより、プリデコード信号CDE0,CDE1をともに「H」レベルにすれば、4本の列選択線CSL0,CSL2,CSL256,CSL258を同時に選択することができる。また、すべてのプリデコード信号AYA0〜AYA3;…;CDE0,CDE1を「H」レベルにすることにより、512本の列選択線CSL0〜CSL511を同時に選択することができる。
【0092】
図15は、メインデコーダ95の各インバータ121の駆動電圧を切換える切換回路130の構成を示す回路図である。図15において、この切換回路130は、NANDゲート131、インバータ132およびPチャネルMOSトランジスタ133,134を含む。PチャネルMOSトランジスタ133は電源電位VCCのラインとインバータ121の電源ノードN122との間に接続され、PチャネルMOSトランジスタ134はテスト電位VTMのラインとインバータ121の電源ノードとの間に接続される。NANDゲート131は、テストモード信号TMおよび信号RDSを受ける。信号TMはマルチビットテスト時に活性化レベルの「H」レベルにされる信号であり、信号RDSは読出動作時に活性化レベルの「H」レベルにされる信号である。NANDゲート131の出力信号ZTMDは、インバータ132を介してPチャネルMOSトランジスタ133のゲートに入力されるとともに、PチャネルMOSトランジスタ134のゲートに直接入力される。
【0093】
通常動作時およびマルチビットテストにおける書込動作時は、信号TM,RDSのうちの少なくとも1つの信号は「L」レベルにされるので、NANDゲート131の出力信号ZTMDが「H」レベルにされ、インバータ130の出力信号TMDが「L」レベルにされる。これにより、PチャネルMOSトランジスタ134が非導通にされるとともにPチャネルMOSトランジスタ133が導通し、インバータ121の電源ノードN122には電源電位VCCが与えられる。
【0094】
マルチビットテストにおける読出動作時は、信号TM,RDSがともに「H」レベルにされてNANDゲート131の出力信号ZTMDが「L」レベルにされ、インバータ132の出力信号TMDが「H」レベルにされる。これにより、PチャネルMOSトランジスタ133が非導通にされるとともにPチャネルMOSトランジスタ134が導通し、インバータ121の電源ノードN122にはテスト電位VTMが与えられる。
【0095】
インバータ121は、PチャネルMOSトランジスタ122およびNチャネルMOSトランジスタ123を含む。PチャネルMOSトランジスタ122は、電源ノードN122と対応の列選択線(たとえばCSL0)との間に接続され、そのゲートはNANDゲート120の出力信号φ120を受ける。NチャネルMOSトランジスタ123は、列選択線CSL0と接地電位GNDのラインとの間に接続され、そのゲートはNANDゲート120の出力信号φ120を受ける。
【0096】
NANDゲート120の出力信号φ120が「H」レベルの場合は、PチャネルMOSトランジスタ122が非導通にされるとともにNチャネルMOSトランジスタ123が導通し、列選択線CSL0が接地電位GNDにされる。NANDゲート120の出力信号φ120が「L」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ123が非導通にされるとともにインバータ122が導通し、列選択線CSL0は電源電位VCCまたはテスト電位VTMにされる。
【0097】
以下、このSDRAMのマルチビットテスト時の動作について説明する。まず、図16に示すように、メモリマットMMa,MMbの各々において複数の列選択線(図ではCSL0,CSL1)を選択して複数のメモリセルMCに「H」レベルのデータ信号を一度に書込む。
【0098】
すなわち図17に示すように、外部クロック信号CLKのある立上がりエッジ(時刻t0)に同期してアクティブコマンドACT(/CS=L,/RAS=L,CAS=H,/WE=H)が入力され、そのときのアドレス信号A0〜Amが行アドレス信号RA0〜RAmとして取込まれる。これに応じて、行デコーダ16によって行アドレス信号RA0〜RAmに応じた行のワード線(図ではWL0)が選択レベルの「H」レベルに立上げられ、その行の各メモリセルMCが活性化される。これにより、各ビット線対BL,/BL間に微小電位差が発生し、センスアンプ25のノードN34,N35の電位VA,/VA間にも微小電位差が発生する。
【0099】
次いでセンスアンプ活性化信号S0N,ZS0Pがそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされると、センスアンプ25が活性化されて各ビット線対BL,/BL間の電位差が電源電圧VCCに増幅される。ここでは、列選択線CSL0,CSL1に対応するメモリセルMC,MCには「L」レベルのデータ信号が記憶されていて、ビット線(BL0,/BL0)、(BL1,/BL1)はそれぞれ(L,H)、(L,H)になったものとする。
【0100】
次に、アクティブコマンドACTの入力から2クロックサイクル経過後のクロック信号CLKの立上がりエッジ(時刻t2)に同期してライトコマンドWRITE(/CS=L,/RAS=H,/CAS=L,WE=L)が入力され、そのときのアドレス信号A0〜Amが列アドレス信号CA0〜CAmとして取込まれるとともに、書込データ信号D0が取込まれる。これに応じて、列デコーダ20aによって列アドレス信号CA0〜CAmおよびテストモード信号TM0〜TM8に応じた列の列選択線CSL0,CSL1が選択レベルの「H」レベルに立上げられ、列選択線CSL0,CSL1に対応する列選択ゲート27,27が導通する。また、取込んだ書込データ信号D0の論理レベル(図では「H」レベル)に従って、データバス線DBL0,/DBL0がそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルされる。データバス線DBL0,/DBL0の電位は、読出/書込回路10a、グローバルIO線対GIOa,/GIOa、ブロック選択スイッチBS、ローカルIO線対LIO,/LIO、列選択ゲート27,27、およびビット線対BL0,/BL0;BL1,/BL1を介して2つのメモリセルMC,MCに書込まれる。
【0101】
列選択線CSL0,CSL1およびワード線WL0が「L」レベルに立下げられ、センスアンプ25が非活性化されると、各メモリセルMCにはデータ信号が記憶される。メモリセルMCが正常な場合は書込データ信号D0と同じ論理レベル(この場合は「H」レベル)のデータ信号がそのメモリセルMCに記憶されるが、メモリセルMCが不良な場合は書込データ信号D0と逆の論理レベル(この場合は「L」レベル)のデータ信号がそのメモリセルMCに記憶される。
【0102】
図18は、各メモリセルMCが正常である場合の読出動作を示すタイムチャートである。図18において、外部クロック信号CLKのある立上がりエッジ(時刻t0)に同期してアクティブコマンドACT(/CS=L,/RAS=L,/CAS=H,/WE=H)が入力され、そのときのアドレス信号A0〜Amが行アドレス信号RA0〜RAmとして取込まれる。これに応じて、行デコーダ16によって行アドレス信号RA0〜RAmに応じた行のワード線(図ではWL0)が選択レベルの「H」レベルに立上げられ、その行の各メモリセルMCが活性化される。これにより、各ビット線対BL,/BL間に微小電位差が発生し、センスアンプ25のノードN34,N35の電位VA,/VA間にも微小電位差が発生する。
【0103】
次いでセンスアンプ活性化信号S0N,ZS0Pがそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされると、センスアンプ25が活性化されてビット線対BL,/BL間の電位差が電源電圧VCCに増幅される。ここでは、列選択線CS0,CS1に対応するメモリセルMC,MCには書込データ信号D0と同じ論理レベルすなわち「H」レベルのデータ信号が記憶されていて、ビット線(BL0,/BL0)、(BL1,/BL1)はそれぞれ(H,L)、(H,L)になったものとする。
【0104】
次に、アクティブコマンドACTの入力から2クロックサイクル経過後のクロック信号の立上がりエッジ(時刻t2)に同期してリードコマンドREAD(/CS=L,/RAS=H,/CAS=L,/WE=H)が入力され、そのときのアドレス信号A0〜Amが列アドレス信号CA0〜CAmとして取込まれる。これに応じて、列デコーダ20aによって列アドレス信号CA0〜CAmおよびテストモード信号TM0〜TM8に応じた列の列選択線CSL0,CSL1がテスト電位VTMに立上げられ、センスアンプ25,25の出力電位VA0,/VA0;VA1,/VA1のうちの「L」レベルの電位だけが列選択ゲート27,27を通過してローカルIO線LIO,/LIOに伝達される。したがって、ローカルIO線LIO,/LIOはそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルにされる。ローカルIO線LIO,/LIOの電位は、ブロック選択信号BSおよびグローバルIO線GIOa,/GIOaを介して読出/書込回路10aに伝達される。
【0105】
グローバルIO線GIOa,/GIOaはそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルであるから、図9のNORゲート71の出力信号は「L」レベルになる。ここでは、メモリマットMMbで選択された2つのメモリセルMCも正常であり、NORゲート72の出力信号も「L」レベルになったものとする。したがって、ORゲート73の出力信号は「L」レベルになり、インバータ74の出力信号は「H」レベルになる。次いで信号φPが所定時間だけ「H」レベルにされると、NチャネルMOSトランジスタ76,77が導通するとともにNチャネルMOSトランジスタ78,79が非導通になり、φP,/φPがそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルになる。これにより、図10のMOSトランジスタ83,86が導通するとともにMOSトランジスタ84,85が非導通になってデータバス線DBL0,/BDL0は「H」レベルおよび「L」レベルになり、読出データ信号Q0は選択された全メモリセルMCが正常であることを示す「H」レベルになる。
【0106】
次に、図19に示すように、ワード線WL0および列選択線CSL1によって選択されるメモリセルMCが不良であり、「H」レベルのデータ信号を書込んだにもかかわらずそのメモリセルMCには「L」レベルのデータ信号が記憶されているものとする。図20は、この場合における読出動作を示すタイムチャートである。
【0107】
図20において、アクティブコマンドACTに応答してワード線WL0が選択レベルの「H」レベルにされて各ビット線対BL,/BL間に微小電位差が発生し、センスアンプ25が活性化されて各ビット線対BL,/BL間の電位差が電源電圧VCCに増幅される。ここでは、列選択線CSL0,CSL1に対応するメモリセルMC,MCにはそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルのデータ信号が記憶されていて、ビット線(BL0,/BL0)、(BL1,/BL1)がそれぞれ(H,L)、(L,H)になったものとする。
【0108】
次に、リードコマンドREADに応答して列選択線CSL0,CSL1がテスト電位VTMに立上げられ、センスアンプ25,25の出力電位VA0,/VA0;VA1,/VA1のうちの「L」レベルの電位だけが列選択ゲート27,27を介してローカルIO線LIO,/LIOに伝達される。したがって、ローカルIO線LIO,/LIOは「L」レベルにされる。ローカルIO線LIO,/LIOの電位は、ブロック選択スイッチBSおよびグローバルIO線GIOa,/GIOaを介して読出/書込回路10aに伝達される。
【0109】
グローバルIO線GIOa,/GIOaはともに「L」レベルであるから、図9のNORゲート71の出力信号は「H」レベルになる。したがって、メモリマットMMbで選択された2つのメモリセルMCが正常であるか否かに関係なく、ORゲート73の出力は「H」レベルになり、インバータ74の出力は「L」レベルになる。次いで信号φTが所定時間だけ「H」レベルされると、NチャネルMOSトランジスタ76,77は導通するとともにNチャネルMOSトランジスタ78,79は非導通になり、信号φP,/φPがそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルになる。これにより、図10のMOSトランジスタ84,85が導通するとともにMOSトランジスタ83,86が非導通になってデータバス線DBL0,/BDL0はそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルになり、読出データ信号Q0は選択された4つのメモリセルMCのうちの少なくとも1つが不良であることを示す「L」レベルになる。
【0110】
この実施の形態では、1つの行の所望の数(2〜512)のメモリセルMCを選択し、選択した所望の数のメモリセルMCのデータの書込および読出の各々を一度に行なってそれらのメモリセルMCが正常か否かを判定する。したがって、SDRAMのテスト時間の短縮化を図ることができる。
【0111】
なお、通常センスアンプ25の電流供給能力は小さく、それに比べてローカルIO線LIO,/LIOおよびグローバルIO線GIO,/GIOの配線容量が大きいので、テストモード時において列選択線CSLをテスト電位VTMにする時間が短いと、センスアンプ25が列選択ゲート27を介してローカルIO線LIOまたは/LIOおよびグローバルIO線GIOまたは/GIOの電位を接地電位GNDまで十分に引下げることができなくなるおそれがある。したがって、図21に示すように、マルチビットテストにおける読出動作時に列選択線CSLをテスト電位VTMにする時間は、通常動作時に列選択線CSLを選択レベルの「H」レベルにする時間よりも長くするとよい。
【0112】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0113】
【発明の効果】
以上のように、この発明に係る半導体記憶装置では、複数のメモリセル、複数のワード線および複数組の第1および第2のビット線を含むメモリブロックと、各第1および第2のビット線に対応して設けられたセンスアンプと、複数の列選択線と、各列に対応して設けられ、それらの第1の電極がそれぞれ対応の第1および第2のビット線に接続され、それらのゲート電極がともに対応の列選択線に接続された第1および第2のNチャネルMOSトランジスタを含む列選択ゲートと、それぞれ第1および第2のNチャネルMOSトランジスタの第2の電極に接続され、各々が予め電源電位に充電された第1および第2のデータ線と、行アドレス信号に従って複数のワード線のうちのいずれかのワード線を選択する行選択回路と、テストモード時は、列アドレス信号およびテストモード信号に従って複数の列選択線のうちのいずれか複数の列選択線またはすべての列選択線を選択し、選択した各列選択線を第1および第2のNチャネルMOSトランジスタのしきい値電位に略等しいテスト電位にする列選択回路と、予め同一のデータ信号が書込まれたテスト対象の複数のメモリセルが行選択回路によって活性化され、かつ列選択回路によって選択された複数の列選択線に対応する場合に、第1および第2のデータ線がともに接地電位にされたことに応じてテスト対象の複数のメモリセルのうちの少なくとも1つのメモリセルは不良であると判定し、第1および第2のデータ線のうちのいずれか一方のデータ線が電源電位であり他方のデータ線が接地電位であることに応じてテスト対象の複数のメモリセルは正常であると判定する判定回路とが設けられる。したがって、選択された行に属する複数のメモリセルのうちのいずれか複数のメモリセルまたはすべてのメモリセルが正常か否かを一度に判定することができるので、テスト時間の短縮化を図ることができる。
【0114】
好ましくは、列選択回路によって選択される列選択線の数は、テストモード信号によって変更可能にされている。この場合は、一度にテストするメモリセルの数を容易に変更することができる。
【0115】
また好ましくは、列選択回路は、通常動作時は列アドレス信号に従って複数の列選択線のうちのいずれかの列選択線を選択し、選択した列選択線をテスト電位よりも高い選択電位にしてその列選択線に対応する第1および第2のNチャネルMOSトランジスタを導通させる。またこの半導体記憶装置には、さらに、第1および第2のデータ線と列選択回路によって選択された各列選択線に対応する第1および第2のNチャネルMOSトランジスタならびに第1および第2のビット線とを介して、行選択回路によって活性化された各メモリセルのデータ信号の書込を行なう書込回路と、通常動作時に活性化され、第1および第2のデータ線の電位に基づいて、行選択回路によって選択されたワード線に対応し、かつ列選択回路によって選択された列選択線に対応するメモリセルのデータ信号を読出す読出回路とが設けられる。この場合は、選択された複数のメモリセルに同じデータ信号を一度に書込むことができる。
【0116】
また好ましくは、列選択回路が列選択線をテスト電位にする時間は、列選択回路が列選択線を選択電位にする時間よりも長く設定されている。この場合は、第1および/または第2のデータ線の電位を接地電位に十分に引下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施の形態によるSDRAMの全体構成を示すブロック図である。
【図2】図1に示したSDRAMのチップレイアウトを示す図である。
【図3】図2に示したメモリアレイ6aおよびそれに関連する部分を示すブロック図である。
【図4】図3に示したセンスアンプ帯およびメモリブロックの構成を示すブロック図である。
【図5】図4に示したメモリセルの構成を示す回路図である。
【図6】図4に示したセンスアンプ、イコライザおよび列選択ゲートの構成を示す回路図である。
【図7】図4に示したブロック選択スイッチおよびイコライザ28,29の構成を示す回路図である。
【図8】図3に示した読出/書込回路10aの構成を示すブロック図である。
【図9】図8に示した判定回路の構成を示す回路図である。
【図10】図8に示したデータバスドライバの構成を示す回路図である。
【図11】図3に示した列デコーダの構成を示すブロック図である。
【図12】図11に示したプリデコーダ90の構成を示す回路図である。
【図13】図11に示したプリデコーダ94の構成を示す回路図である。
【図14】図11に示したメインデコーダ95の構成を示す回路図である。
【図15】図14に示したインバータに接続される切換回路の構成を示す回路図である。
【図16】図1〜図15で示したSDRAMのマルチビットテストにおける書込動作を説明するためのブロック図である。
【図17】図16で説明した書込動作を示すタイムチャートである。
【図18】このSDRAMのマルチビットテストにおける読出動作を示すタイムチャートである。
【図19】このSDRAMのマルチビットテストにおける読出動作を説明するためのブロック図である。
【図20】図19で説明した読出動作を示すタイムチャートである。
【図21】この実施の形態の変更例を示すタイムチャートである。
【図22】従来のDRAMの要部を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 クロックバッファ、2 制御信号バッファ、3 アドレスバッファ、4 モードレジスタ、5 制御回路、6〜9 メモリアレイ、10〜13,151 読出/書込回路、14 IOバッファ、16〜19 行デコーダ、20〜23,150 列デコーダ、MC メモリセル、WL ワード線、BL,/BL ビット線、CSL 列選択線、LIO,/LIO ローカルIO線、GIO,/GIO グローバルIO線、DBL,/DBL データバス線、BS ブロック選択スイッチ、SA センスアンプ帯、MB メモリブロック、MM メモリマット、25 センスアンプ、26,28,29 イコライザ、27 列選択ゲート、30,36〜45,51〜58,66〜68,76〜79,85,86,123NチャネルMOSトランジスタ、31 キャパシタ、33〜35,83,84,122,133,134 PチャネルMOSトランジスタ、60 ライトデータアンプ、61 ライトドライバ、62 プリアンプ、63 反転回路、64 データバスドライバ、71,72,104〜115 NORゲート、77,117,118 ORゲート、74,75,81,82,100〜103,116,121,132 インバータ、90〜94 プリデコーダ、95 メインデコーダ、95 メインデコーダ、120,131 NANDゲート、130 切換回路。
Claims (4)
- テストモードを有する半導体記憶装置であって、
複数行複数列に配置された複数のメモリセルと、それぞれ前記複数行に対応して設けられた複数のワード線と、それぞれ前記複数列に対応して設けられた複数組の第1および第2のビット線とを含むメモリブロック、
各第1および第2のビット線に対応して設けられ、対応の第1および第2のビット線間に生じた電位差を増幅していずれか一方のビット線を電源電位にするとともに他方のビット線を接地電位にするセンスアンプ、
それぞれ前記複数列に対応して設けられた複数の列選択線、
各列に対応して設けられ、それらの第1の電極がそれぞれ対応の第1および第2のビット線に接続され、それらのゲート電極がともに対応の列選択線に接続された第1および第2のNチャネルMOSトランジスタを含む列選択ゲート、
それぞれ前記第1および第2のNチャネルMOSトランジスタの第2の電極に接続され、各々が予め前記電源電位に充電された第1および第2のデータ線、
行アドレス信号に従って前記複数のワード線のうちのいずれかのワード線を選択し、選択したワード線に対応する各メモリセルを活性化させて各第1および第2のビット線間に電位差を発生させる行選択回路、
前記テストモード時は、列アドレス信号およびテストモード信号に従って前記複数の列選択線のうちのいずれか複数の列選択線またはすべての列選択線を選択し、選択した各列選択線を前記第1および第2のNチャネルMOSトランジスタのしきい値電位に略等しいテスト電位にする列選択回路、および
予め同一のデータ信号が書込まれたテスト対象の複数のメモリセルが前記行選択回路によって活性化され、かつ前記列選択回路によって選択された複数の列選択線に対応する場合に、前記第1および第2のデータ線がともに前記接地電位にされたことに応じて前記テスト対象の複数のメモリセルのうちの少なくとも1つのメモリセルは不良であると判定し、前記第1および第2のデータ線のうちのいずれか一方のデータ線が前記電源電位であり他方のデータ線が前記接地電位であることに応じて前記テスト対象の複数のメモリセルは正常であると判定する判定回路を備える、半導体記憶装置。 - 前記列選択回路によって選択される列選択線の数は、前記テストモード信号によって変更可能にされている、請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記列選択回路は、通常動作時は前記列アドレス信号に従って前記複数の列選択線のうちのいずれかの列選択線を選択し、選択した列選択線を前記テスト電位よりも高い選択電位にしてその列選択線に対応する第1および第2のNチャネルMOSトランジスタを導通させ、
前記半導体記憶装置は、
さらに、前記第1および第2のデータ線と前記列選択回路によって選択された各列選択線に対応する第1および第2のNチャネルMOSトランジスタならびに第1および第2のビット線とを介して、前記行選択回路によって活性化された各メモリセルのデータ信号の書込を行なう書込回路、および
前記通常動作時に活性化され、前記第1および第2のデータ線の電位に基づいて、前記行選択回路によって選択されたワード線に対応し、かつ前記列選択回路によって選択された列選択線に対応するメモリセルのデータ信号を読出す読出回路を備える、請求項1または請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 前記列選択回路が前記列選択線を前記テスト電位にする時間は、前記列選択回路が前記列選択線を前記選択電位にする時間よりも長く設定されている、請求項3に記載の半導体記憶装置。
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US7768853B2 (en) | 2007-06-01 | 2010-08-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor memory device |
-
2002
- 2002-09-10 JP JP2002264074A patent/JP2004103119A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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