JP2004101585A - 光導波路の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】フェムト秒レーザ光により透明体中に形成される微細空洞を利用して立体的な光導波路を透明体中に作製する新規な方法。
【解決手段】1ピコ秒より短いパルスレーザ光2を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板1中に集光照射して微細空洞5を形成し、その微細空洞5を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔6を形成し、形成された連通孔6中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板1中に光導波路を形成する。この場合に、隣接する微細空洞5をその半径d/2以下の間隔Lで連続的に形成することにより連通孔6を形成する。
【選択図】 図1
【解決手段】1ピコ秒より短いパルスレーザ光2を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板1中に集光照射して微細空洞5を形成し、その微細空洞5を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔6を形成し、形成された連通孔6中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板1中に光導波路を形成する。この場合に、隣接する微細空洞5をその半径d/2以下の間隔Lで連続的に形成することにより連通孔6を形成する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光導波路の作製方法に関し、特に、フェムト秒レーザを用いた光導波路の作製方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
1パルスの長さが1ピコ秒より短いフェムト秒単位のパルスレーザはフェムト秒レーザと呼ばれる。このような極めて短いレーザパルスをシリカガラス(SiO2 )等の透明体中で集光させると、その集光点ではエネルギー密度が急激に極めて高くなるため多光子吸収が起き、その多光子吸収に続いてマイクロエックスプロージョンと呼ばれる爆発が発生して、その集光点に微細な空洞が形成されることが知られている(特開2001−236002公報、2001.9.21徳島大学,(株)技術情報協会セミナー,三澤弘明「フェムト秒超加工技術とそのフォトニック結晶作製への応用」)。
【0003】
図5はこのマイクロエックスプロージョンによる微細な空洞の形成工程を簡単に示す図であり、図(a)に示すように、シリカガラス等の透明体1中に、例えばチタンサファイアレーザのような50〜500fs程度のフェムト秒レーザからのパルスレーザ光2を不図示の対物レンズで集光すると、その集光領域3ではエネルギー密度が極めて高くなるため多光子吸収が起き、その多光子吸収に続いて、図(b)に示すように、クーロン爆発によるマイクロエックスプロージョン4が起き、そのマイクロエックスプロージョンにより、図(c)に示すように、透明体1中に微細な空洞5が形成される。この空洞5はその後のアニーリングによっても消滅しない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は従来技術のこのような状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、フェムト秒レーザ光により透明体中に形成される微細空洞を利用して立体的な光導波路を透明体中に作製する新規な方法を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の光導波路の作製方法は、1ピコ秒より短いパルスレーザ光を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板中に集光照射して微細空洞を形成し、その微細空洞を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔を形成し、形成された連通孔中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板中に光導波路を形成することを特徴とする方法である。
【0006】
この場合に、隣接する微細空洞をその半径以下の間隔で連続的に形成することによりその連通孔を形成するようにすることが望ましい。
【0007】
また、形成された連通孔をエッチングしてその径を広げると共にその軸方向での径の変化を取り除き、その後に透明媒質をその中に充填することにより透明基板中に光導波路を形成するようにすることが望ましい。
【0008】
また、その透明媒質として紫外線硬化型樹脂を用い、その充填後に紫外線照射により硬化させることが望ましい。
【0009】
また、透明基板は例えばシリカガラスから構成することができる。
【0010】
本発明は、透明基板中に形成された連通孔中にその透明基板より屈折率の大きい透明樹脂が充填されてなる光導波路を含むものである。
【0011】
この場合、その連通孔の断面は円形であることが望ましい。
【0012】
また、その透明基板は例えばシリカガラスから構成することができる。
【0013】
本発明においては、1ピコ秒より短いパルスレーザ光を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板中に集光照射して微細空洞を形成し、その微細空洞を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔を形成し、形成された連通孔中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板中に光導波路を形成するので、光導波路形状を3次元的に任意に自由な形状に形成できる。また、光導波路の断面が円形の円形光導波路であるので、導波効率が断面矩形光導波路より良いものを作製することができる。また、コア径、コアとクラッドの屈折率差は自由に選べるので、マルチモード光導波路、シングルモード光導波路何れも容易に作製することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の光導波路の作製方法を実施例に基づいて説明する。
【0015】
まず、図1(a)に示すように、光導波路の透明基板1を用意する。透明基板1としては、光導波路のクラッドとして機能するために比較的低屈折率で、しかも、フェムト秒レーザからのパルスレーザ光を集光照射したとき多光子吸収をしてマイクロエックスプロージョンにより微細空洞を形成する例えばシリカガラスからなる。そして、この透明基板1中に、チタンサファイアレーザ等のフェムト秒レーザ10からのパルスレーザ光2を対物レンズ11で集光させてマイクロエックスプロージョンにより微細空洞5を連続的に形成していって連通する連通孔6を形成する。
【0016】
ここで、図1(b)に示すように、1個のフェムト秒レーザパルスを集光照射したときに透明基板1内に形成される1個の微細空洞5の直径をdとしたとき、隣接して連通した連通孔6を形成する微細空洞5間の距離Lは、L≦d/2の関係を満たすように、一連の微細空洞5をつないで連通孔6を形成するようにする。ここで、隣接する微細空洞5間の距離LがL>d/2の関係で形成されたときには、微細空洞5間がつながらないか、あるいは、つながっても、連通孔6の軸方向での径の変化が大きくなってしまい、後記するエッチング処置によってもその径の変化が最終的に形成されるコアの径の変化として残ってしまい、高性能の光導波路を作製することができない。
【0017】
透明基板1中にこのような連通孔6の形成後、図2に示すように、連通孔6の一端からエッチング液7、透明基板1がシリカガラスの場合はフッ酸を流し込んで、連通孔6の径を広げると共に、微細空洞5をつないで連通孔6を形成することにより残るその軸方向での径の変化を取り除く。図2中、径が広げられ径の変化が取り除かれて一様な断面円形のエッチング後の連通孔を符号16で示す。例えば、マイクロエックスプロージョンにより形成される微細空洞5の直径dが250nmのとき、このエッチング後の連通孔16の直径が500nmになるようにエッチングする。
【0018】
次に、このようにして形成された透明基板1中の断面円形で径が一様なエッチング後の連通孔16中に、図3に示すように、その一端から透明基板1より屈折率が若干大きな紫外線硬化型樹脂17を流し込んで連通孔16を満たし、その状態で透明基板1の外側から紫外線12を照射してエッチング後の連通孔16中の紫外線硬化型樹脂17を硬化させる。
【0019】
このようにして、図4に示すような本発明による光導波路20が完成する。図中、断面円形で径が一様なエッチング後の連通孔16が光導波路を構成し、その中の硬化した紫外線硬化型樹脂がこの光導波路のコア17’となる。そして、そのコア17’を取り囲む透明基板1がクラッドとなる。
【0020】
以上のように、フェムト秒レーザ10からの1ピコ秒より短いパルスレーザ光2を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞5を形成可能な透明基板1中に集光照射して微細空洞5を形成し、微細空洞5をその半径以下の間隔で連続的に形成して連通孔6を形成し、その連通孔6をエッチングして連通孔6の径を広げると共にその軸方向での径の変化を取り除き、その径が広げられ径の変化が取り除かれた一様な断面円形のエッチング後の連通孔16中に紫外線硬化型樹脂17を充填して硬化させることにより作製された本発明の光導波路20は、光導波路形状を3次元的に任意に自由な形状に形成できる。また、コアの径と界面は一様で滑らかになっているので、損失がなく高品質な光導波路が得られる。さらには、光導波路の断面が円形の円形光導波路であるので、導波効率が断面矩形光導波路より良いものとなる。また、コア径、コアとクラッドの屈折率差は自由に選べるので、マルチモード光導波路、シングルモード光導波路何れも容易に作製することができる。
【0021】
以上、本発明の光導波路の作製方法を実施例に基づいて説明してきたが、本発明はこれらの実施例に限定されず種々の変形が可能である。
【0022】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の光導波路の作製方法によると、1ピコ秒より短いパルスレーザ光を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板中に集光照射して微細空洞を形成し、その微細空洞を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔を形成し、形成された連通孔中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板中に光導波路を形成するので、光導波路形状を3次元的に任意に自由な形状に形成できる。また、光導波路の断面が円形の円形光導波路であるので、導波効率が断面矩形光導波路より良いものを作製することができる。また、コア径、コアとクラッドの屈折率差は自由に選べるので、マルチモード光導波路、シングルモード光導波路何れも容易に作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光導波路の作製方法の1実施例の最初の工程を説明するための図である。
【図2】本発明の光導波路の作製方法の1実施例の図1の次の工程を説明するための図である。
【図3】本発明の光導波路の作製方法の1実施例の図2の次の工程を説明するための図である。
【図4】図1から図3の工程を経て完成した本発明による光導波路を示す斜視図である。
【図5】マイクロエックスプロージョンによる微細な空洞の形成工程を簡単に示す図である。
【符号の説明】
1…透明基板
2…パルスレーザ光
3…集光領域
4…マイクロエックスプロージョン
5…微細空洞
6…連通孔
7…エッチング液
10…フェムト秒レーザ
11…対物レンズ
12…紫外線
16…エッチング後の連通孔
17…紫外線硬化型樹脂
17’…コア
20…光導波路
【発明の属する技術分野】
本発明は、光導波路の作製方法に関し、特に、フェムト秒レーザを用いた光導波路の作製方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
1パルスの長さが1ピコ秒より短いフェムト秒単位のパルスレーザはフェムト秒レーザと呼ばれる。このような極めて短いレーザパルスをシリカガラス(SiO2 )等の透明体中で集光させると、その集光点ではエネルギー密度が急激に極めて高くなるため多光子吸収が起き、その多光子吸収に続いてマイクロエックスプロージョンと呼ばれる爆発が発生して、その集光点に微細な空洞が形成されることが知られている(特開2001−236002公報、2001.9.21徳島大学,(株)技術情報協会セミナー,三澤弘明「フェムト秒超加工技術とそのフォトニック結晶作製への応用」)。
【0003】
図5はこのマイクロエックスプロージョンによる微細な空洞の形成工程を簡単に示す図であり、図(a)に示すように、シリカガラス等の透明体1中に、例えばチタンサファイアレーザのような50〜500fs程度のフェムト秒レーザからのパルスレーザ光2を不図示の対物レンズで集光すると、その集光領域3ではエネルギー密度が極めて高くなるため多光子吸収が起き、その多光子吸収に続いて、図(b)に示すように、クーロン爆発によるマイクロエックスプロージョン4が起き、そのマイクロエックスプロージョンにより、図(c)に示すように、透明体1中に微細な空洞5が形成される。この空洞5はその後のアニーリングによっても消滅しない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は従来技術のこのような状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、フェムト秒レーザ光により透明体中に形成される微細空洞を利用して立体的な光導波路を透明体中に作製する新規な方法を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の光導波路の作製方法は、1ピコ秒より短いパルスレーザ光を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板中に集光照射して微細空洞を形成し、その微細空洞を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔を形成し、形成された連通孔中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板中に光導波路を形成することを特徴とする方法である。
【0006】
この場合に、隣接する微細空洞をその半径以下の間隔で連続的に形成することによりその連通孔を形成するようにすることが望ましい。
【0007】
また、形成された連通孔をエッチングしてその径を広げると共にその軸方向での径の変化を取り除き、その後に透明媒質をその中に充填することにより透明基板中に光導波路を形成するようにすることが望ましい。
【0008】
また、その透明媒質として紫外線硬化型樹脂を用い、その充填後に紫外線照射により硬化させることが望ましい。
【0009】
また、透明基板は例えばシリカガラスから構成することができる。
【0010】
本発明は、透明基板中に形成された連通孔中にその透明基板より屈折率の大きい透明樹脂が充填されてなる光導波路を含むものである。
【0011】
この場合、その連通孔の断面は円形であることが望ましい。
【0012】
また、その透明基板は例えばシリカガラスから構成することができる。
【0013】
本発明においては、1ピコ秒より短いパルスレーザ光を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板中に集光照射して微細空洞を形成し、その微細空洞を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔を形成し、形成された連通孔中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板中に光導波路を形成するので、光導波路形状を3次元的に任意に自由な形状に形成できる。また、光導波路の断面が円形の円形光導波路であるので、導波効率が断面矩形光導波路より良いものを作製することができる。また、コア径、コアとクラッドの屈折率差は自由に選べるので、マルチモード光導波路、シングルモード光導波路何れも容易に作製することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の光導波路の作製方法を実施例に基づいて説明する。
【0015】
まず、図1(a)に示すように、光導波路の透明基板1を用意する。透明基板1としては、光導波路のクラッドとして機能するために比較的低屈折率で、しかも、フェムト秒レーザからのパルスレーザ光を集光照射したとき多光子吸収をしてマイクロエックスプロージョンにより微細空洞を形成する例えばシリカガラスからなる。そして、この透明基板1中に、チタンサファイアレーザ等のフェムト秒レーザ10からのパルスレーザ光2を対物レンズ11で集光させてマイクロエックスプロージョンにより微細空洞5を連続的に形成していって連通する連通孔6を形成する。
【0016】
ここで、図1(b)に示すように、1個のフェムト秒レーザパルスを集光照射したときに透明基板1内に形成される1個の微細空洞5の直径をdとしたとき、隣接して連通した連通孔6を形成する微細空洞5間の距離Lは、L≦d/2の関係を満たすように、一連の微細空洞5をつないで連通孔6を形成するようにする。ここで、隣接する微細空洞5間の距離LがL>d/2の関係で形成されたときには、微細空洞5間がつながらないか、あるいは、つながっても、連通孔6の軸方向での径の変化が大きくなってしまい、後記するエッチング処置によってもその径の変化が最終的に形成されるコアの径の変化として残ってしまい、高性能の光導波路を作製することができない。
【0017】
透明基板1中にこのような連通孔6の形成後、図2に示すように、連通孔6の一端からエッチング液7、透明基板1がシリカガラスの場合はフッ酸を流し込んで、連通孔6の径を広げると共に、微細空洞5をつないで連通孔6を形成することにより残るその軸方向での径の変化を取り除く。図2中、径が広げられ径の変化が取り除かれて一様な断面円形のエッチング後の連通孔を符号16で示す。例えば、マイクロエックスプロージョンにより形成される微細空洞5の直径dが250nmのとき、このエッチング後の連通孔16の直径が500nmになるようにエッチングする。
【0018】
次に、このようにして形成された透明基板1中の断面円形で径が一様なエッチング後の連通孔16中に、図3に示すように、その一端から透明基板1より屈折率が若干大きな紫外線硬化型樹脂17を流し込んで連通孔16を満たし、その状態で透明基板1の外側から紫外線12を照射してエッチング後の連通孔16中の紫外線硬化型樹脂17を硬化させる。
【0019】
このようにして、図4に示すような本発明による光導波路20が完成する。図中、断面円形で径が一様なエッチング後の連通孔16が光導波路を構成し、その中の硬化した紫外線硬化型樹脂がこの光導波路のコア17’となる。そして、そのコア17’を取り囲む透明基板1がクラッドとなる。
【0020】
以上のように、フェムト秒レーザ10からの1ピコ秒より短いパルスレーザ光2を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞5を形成可能な透明基板1中に集光照射して微細空洞5を形成し、微細空洞5をその半径以下の間隔で連続的に形成して連通孔6を形成し、その連通孔6をエッチングして連通孔6の径を広げると共にその軸方向での径の変化を取り除き、その径が広げられ径の変化が取り除かれた一様な断面円形のエッチング後の連通孔16中に紫外線硬化型樹脂17を充填して硬化させることにより作製された本発明の光導波路20は、光導波路形状を3次元的に任意に自由な形状に形成できる。また、コアの径と界面は一様で滑らかになっているので、損失がなく高品質な光導波路が得られる。さらには、光導波路の断面が円形の円形光導波路であるので、導波効率が断面矩形光導波路より良いものとなる。また、コア径、コアとクラッドの屈折率差は自由に選べるので、マルチモード光導波路、シングルモード光導波路何れも容易に作製することができる。
【0021】
以上、本発明の光導波路の作製方法を実施例に基づいて説明してきたが、本発明はこれらの実施例に限定されず種々の変形が可能である。
【0022】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の光導波路の作製方法によると、1ピコ秒より短いパルスレーザ光を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板中に集光照射して微細空洞を形成し、その微細空洞を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔を形成し、形成された連通孔中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板中に光導波路を形成するので、光導波路形状を3次元的に任意に自由な形状に形成できる。また、光導波路の断面が円形の円形光導波路であるので、導波効率が断面矩形光導波路より良いものを作製することができる。また、コア径、コアとクラッドの屈折率差は自由に選べるので、マルチモード光導波路、シングルモード光導波路何れも容易に作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光導波路の作製方法の1実施例の最初の工程を説明するための図である。
【図2】本発明の光導波路の作製方法の1実施例の図1の次の工程を説明するための図である。
【図3】本発明の光導波路の作製方法の1実施例の図2の次の工程を説明するための図である。
【図4】図1から図3の工程を経て完成した本発明による光導波路を示す斜視図である。
【図5】マイクロエックスプロージョンによる微細な空洞の形成工程を簡単に示す図である。
【符号の説明】
1…透明基板
2…パルスレーザ光
3…集光領域
4…マイクロエックスプロージョン
5…微細空洞
6…連通孔
7…エッチング液
10…フェムト秒レーザ
11…対物レンズ
12…紫外線
16…エッチング後の連通孔
17…紫外線硬化型樹脂
17’…コア
20…光導波路
Claims (8)
- 1ピコ秒より短いパルスレーザ光を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板中に集光照射して微細空洞を形成し、その微細空洞を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔を形成し、形成された連通孔中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板中に光導波路を形成することを特徴とする光導波路の作製方法。
- 隣接する微細空洞をその半径以下の間隔で連続的に形成することにより前記連通孔を形成することを特徴とする請求項1記載の光導波路の作製方法。
- 形成された連通孔をエッチングしてその径を広げると共にその軸方向での径の変化を取り除き、その後に前記透明媒質をその中に充填することにより透明基板中に光導波路を形成することを特徴とする請求項1又は2記載の記載の光導波路の作製方法。
- 前記透明媒質が紫外線硬化型樹脂からなり、その充填後に紫外線照射により硬化させることを特徴とする請求項1から3の何れか1項記載の記載の光導波路の作製方法。
- 前記透明基板がシリカガラスからなることを特徴とする請求項1から4の何れか1項記載の記載の光導波路の作製方法。
- 透明基板中に形成された連通孔中に前記透明基板より屈折率の大きい透明樹脂が充填されてなることを特徴とする光導波路。
- 前記連通孔の断面が円形であることを特徴とする請求項6記載の光導波路。
- 前記透明基板がシリカガラスからなることを特徴とする請求項6又は7記載の光導波路。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002259566A JP2004101585A (ja) | 2002-09-05 | 2002-09-05 | 光導波路の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2002259566A JP2004101585A (ja) | 2002-09-05 | 2002-09-05 | 光導波路の作製方法 |
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ID=32260530
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JP2002259566A Pending JP2004101585A (ja) | 2002-09-05 | 2002-09-05 | 光導波路の作製方法 |
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---|---|
JP (1) | JP2004101585A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007144990A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-06-14 | Seiko Instruments Inc | 発熱抵抗素子、サーマルヘッド、プリンタ、及び発熱抵抗素子の製造方法 |
-
2002
- 2002-09-05 JP JP2002259566A patent/JP2004101585A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007144990A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-06-14 | Seiko Instruments Inc | 発熱抵抗素子、サーマルヘッド、プリンタ、及び発熱抵抗素子の製造方法 |
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