JP2004093510A - 分析結果表示方法、x線分析装置、及びコンピュータプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透過X線検出器28から出力される透過X線の出力レベルに対応するパルス数をマルチチャンネルアナライザ等の計数手段により計数する。計数手段には、出力レベル毎にパルス数が計数され計数値がメモリーに記憶される。X線分析装置1は、計数手段により計数した出力レベルに対応する計数値のなかから、所定範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出する。そして、抽出した出力レベルに対応する計数値に基づいて、透過X線画像を生成し、生成した透過X線画像を表示装置へ出力する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被照射体に対してX線を照射するX線発生器、及び被照射体を透過する透過X線を検出する透過X線検出器を備えるX線分析装置における分析結果の表示方法、該方法に使用するX線分析装置、及びコンピュータをX線分析装置の一部として機能させるためのコンピュータプログラムに関し、特に得られた透過X線画像のコントラストを改善するための分析結果表示方法等に関する。
【0002】
【従来の技術】
X線分析装置においては、X線発生器から被照射体に対してX線を照射し、被照射体を透過して得られる透過X線を分析し、透過X線画像を表示装置に表示するようになっている。図12は従来のX線分析装置の概要を示す模式図である。X線分析装置100は被照射体(以下、試料という)226aにX線を照射して、照射後のX線を分析する分析部200、分析部200から得られたデータを処理するデータ処理部220、及びデータ処理部220で処理されたデータを表示するコンピュータ210から構成される。
【0003】
X線コントローラ221bの制御に従いX線発生器221で発生したX線(一次X線)は、X線導管221aにより集光された後、X線導管221a端部に形成される真空領域225及びX線遮蔽壁224aに貼り渡されたレジンフィルム224を経て、試料ステージ226に載置された試料226aを照射する。
【0004】
227はステージコントローラであり、コンピュータ210のジョイスティック等の入力部からの指示に従い、モータを制御して試料ステージ226を上下方向(Z軸方向)及び前後左右方向(X、Y軸方向)へ移動させる。試料ステージのX軸、Y軸、Z軸の各軸の位置情報は、ステージコントローラ227からデータ処理部220へ出力される。
【0005】
試料ステージ226の下側であって、X線発生器221から照射されるX線ビームの照射方向の延長上には、試料226aを透過した透過X線を検出する透過X線検出器228が固設されている。透過X線検出器228は例えばNaI(TI)シンチレータ及び光電子増倍管等が用いられる。シンチレータにて吸収されたエネルギーに比例した強度の光は、電子に変換され光電子増倍管により増幅の後、電気信号(パルス)としてデータ処理部220へ出力される。データ処理部220は、透過X線検出器228から出力されたパルス数をカウンタ220aによって計数する。そして、ステージコントローラ227から得られるXY座標値と共に透過X線の計数値(パルス数)がコンピュータ210へ出力される。
【0006】
以上の処理を試料全域について座標値XYを逐次変更させながら計数値(パルス数)を取得する。コンピュータ210は得られた計数値を8ビット256階調の明度値に変換し、透過X画像を生成する。得られた透過X線画像はコンピュータ210の表示装置に表示され、観察者は試料の透過X線画像を確認することができる。
【0007】
【特許文献1】
特開平4−175648号公報
【特許文献2】
特開平8−15187号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の透過X線分析装置では透過X線に係るパルスを全て計数し、その計数値に基づき透過X線画像を生成しているため、被照射体が軽元素で構成されている場合、または原子番号が近い元素同士で構成されている被照射体の場合は、透過X線画像のコントラストを高くすることができず、被照射体中のクラックまたは異常物等を検出することが困難であった。
【0009】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは透過X線検出器から出力される透過X線の出力レベルに対応するパルス数を計数し、計数された出力レベルに対応する計数値から、所定範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出して、透過X線画像を生成することにより、透過X線画像等の透過X線画像のコントラストを改善することが可能な、分析結果表示方法、該方法に使用するX線分析装置、及びコンピュータをX線分析装置として機能させるためのコンピュータプログラムを提供することにある。
【0010】
また、本発明の他の目的は、被照射体が存在する場合の基準計数値を予め記憶しておき、これと被照射体が存在する場合の計数値とを比較して、最適な出力レベルの計数値のみを抽出することにより、効果的に透過X線画像のコントラストを改善することが可能なX線分析装置を提供することにある。
【0011】
さらに、本発明の他の目的は、被照射体の種類または元素の入力を受け付け、この受け付けた種類または元素に応じて最適な範囲の出力レベルの計数値のみを抽出することにより、効果的に透過X線画像のコントラストを改善することが可能なX線分析装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る分析結果表示方法は、被照射体に対してX線を照射するX線発生器、及び被照射体を透過する透過X線を検出する透過X線検出器を備えるX線分析装置における分析結果の表示方法において、透過X線検出器から出力される透過X線の出力レベルに対応するパルス数を計数する計数ステップと、計数ステップにより計数された計数値から、所定範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出する抽出ステップと、抽出した出力レベルに対応する計数値に基づいて、透過X線画像を生成する生成ステップと、生成した透過X線画像を表示装置へ出力する表示ステップとを備えることを特徴とする。
【0013】
本発明に係るX線分析装置は、被照射体に対してX線を照射するX線発生器、及び被照射体を透過する透過X線を検出する透過X線検出器を備えるX線分析装置において、透過X線検出器から出力される透過X線の出力レベルに対応するパルス数を計数する計数手段と、計数手段により計数された計数値から、所定範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出する抽出手段と、抽出した出力レベルに対応する計数値に基づいて、透過X線画像を生成する生成手段と、生成した透過X線画像を表示装置へ出力する表示手段とを備えることを特徴とする。
【0014】
本発明にあっては、透過X線検出器から出力される透過X線の出力レベルに対応するパルス数をマルチチャンネルアナライザ等の計数手段により計数する。計数手段には、出力レベル毎にパルス数が計数され計数値がメモリーに記憶される。X線分析装置は、計数手段により計数した出力レベルに対応する計数値のなかから、所定範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出する。そして、抽出した出力レベルに対応する計数値に基づいて、透過X線画像を生成し、生成した透過X線画像を表示装置へ出力するようにしたので、出力レベル全域を計数して画像を生成する従来の方法と比較して、コントラストの改善を図ることが可能となる。これにより、被照射体が軽元素で構成されている場合、または原子番号が近い元素同士で構成されている被照射体の場合であっても、該被照射体中のクラックまたは異物等を容易に検出することが可能となる。
【0015】
本発明に係るX線分析装置は、第2発明において、被照射体が存在しない場合に、前記計数手段により計数される出力レベルに対応する基準計数値を記憶する記憶手段をさらに備え、前記抽出手段は、記憶した出力レベルに対する基準計数値と、被照射体が存在する場合に、前記計数手段により計数される出力レベルに対応する計数値との差が所定の閾値を超える範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出するよう構成してあることを特徴とする。
【0016】
また、本発明にあっては、被照射体が存在しない状態で、計数手段により計数される出力レベルに対応する基準計数値を予め記憶しておく。そして、記憶した出力レベルに対する基準計数値と、被照射体が存在する場合に、計数手段により計数される出力レベルに対応する計数値とを比較する。比較した結果その差が所定の閾値を超える範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出する。そして、他の座標値XYについても同様の範囲にて計数値を抽出し、この抽出した各XY座標値の計数値に基づき透過X線画像を生成して表示する。これにより、透過X線量の変化量の大きい範囲についてのみ、計数値が抽出されて画像が生成されるので、バックグラウンドのノイズを消去でき効果的にコントラストの改善を図ることが可能となる。
【0017】
本発明に係るX線分析装置は、第2発明において、被照射体の種類または主成分に応じた出力レベルの抽出範囲を記憶した抽出範囲テーブルと、被照射体の種類または主成分を受け付ける受付手段と、前記受付手段により受け付けた被照射体の種類または主成分に基づいて、前記抽出範囲テーブルから抽出範囲を検索する検索手段とをさらに備え、前記抽出手段は、前記検索した抽出範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出するよう構成してあることを特徴とする。
【0018】
さらに、本発明にあっては、被照射体の種類または主成分に応じた出力レベルの抽出範囲を記憶した抽出範囲テーブルを予め用意しておく。この抽出範囲テーブルには例えば、被照射体の主成分がCaの場合抽出範囲は4.038kev〜7kev等と予め抽出する範囲が記憶されている。X線分析装置は、被照射体の種類または主成分を受け付け、受け付けた被照射体の種類または主成分に基づいて、抽出範囲テーブルから抽出範囲を検索し、検索した抽出範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出する。例えば、被照射体元素がCaと入力された場合、出力レベルの範囲が4.038kev〜7kevに対応して計数された計数値が抽出される。そして、他の座標値XYについても同様の範囲にて計数値を抽出し、この抽出した各XY座標値の計数値に基づき透過X線画像を生成して表示する。これにより、予め観察者から入力された情報に基づいて計数値が抽出されて画像が生成されるので、効果的にコントラストの改善を図ることが可能となる。
【0019】
本発明に係るコンピュータプログラムは、被照射体に対してX線を照射するX線発生器、及び被照射体を透過する透過X線を検出する透過X線検出器に接続されるコンピュータの表示装置に分析結果を表示させるためのコンピュータプログラムにおいて、コンピュータに、前記透過X線検出器から出力された透過X線の出力レベルに対応する計数値から、所定範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出させる抽出ステップと、コンピュータに、抽出させた各出力レベルの計数値の合計値を明度値へ変換させる変換ステップと、コンピュータに、変換させた明度値に基づき透過X線画像を生成させる生成ステップとを実行させることを特徴とする。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下本発明を実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。
実施の形態1
図1は本発明に係るX線分析装置の概要を示す模式図である。X線分析装置1は被照射体(以下、試料という)26aにX線を照射して、照射後のX線を分析する分析部20、分析部20から得られたデータを処理するデータ処理部2、及びデータ処理部2で処理されたデータを表示するコンピュータ10から構成される。以下に、分析部20のハードウェア構成について説明する。分析部20は、X線発生器21、撮像器(CCD(Charge Coupled Device))22、透過X線検出器28,X線コントローラ21b、及び試料ステージ26等から構成される。X線コントローラ21bの制御に従いX線発生器21で発生したX線(一次X線)は、ガラス管等のX線導管21aにより集光された後、X線導管21aの下端に形成される真空領域25、及びX線導管21aと交差する方向に設けられるX線遮蔽壁24aに貼り渡されるレジンフィルム24を経て、試料ステージ26に載置された試料26aを照射する。なお、本実施例では、X線導管21aを用いて説明するが、本件はこれに限定されるものではなく、コリメータ等を用いて集光することも可能である。
【0021】
22aは顕微鏡でありその一端を真空領域25に臨ませており、試料26aから得られる光学的像はその他端に接続される撮像器(以下、CCD(Charge Coupled Device)という)22により電気信号に変換され、ディジタル信号に変換された後、コンピュータ10へ試料26aの画像データが出力される。
【0022】
試料ステージ26の下側であって、X線発生器21から照射されるX線ビームの照射方向の延長上には、試料26aを透過した透過X線を検出する透過X線検出器28が固設されている。透過X線検出器28は例えばNaI(TI)シンチレータ及び光電子増倍管等が用いられる。シンチレータにて吸収されたエネルギーに比例した強度の光は、電子に変換され光電子増倍管により電気信号(パルス)として図示しないアンプにより増幅された後、透過X線のエネルギーに応じたパルスがデータ処理部2へ出力される。
【0023】
27はステージコントローラであり、コンピュータ10のジョイスティック等の入力部からの指示に従い、モータを制御して、試料ステージ26を上下方向(Z軸方向)及び左右方向(X、Y軸方向)へ移動させる。試料ステージのX軸、Y軸、Z軸の各軸の位置情報は、ステージコントローラ27からデータ処理部2へ出力される。すなわち、CCD22から出力される画像データ、及び透過X線検出器28から出力される透過X線に係る信号は、X軸、Y軸、Z軸の各軸の位置情報に対応づけられてデータ処理部2またはコンピュータ10へ出力される。
【0024】
続いて、データ処理部2及びコンピュータ10のハードウェア構成について説明する。図2はX線分析装置1のハードウェア構成を示すブロック図である。コンピュータ10はバス17を介してCPU(Central Processing Unit)11、記憶部15、入力部13、RAM(Random Access Memory)12、画像メモリ19、表示装置(以下、表示部という)14、通信部16等が接続されている。
【0025】
CPU11は、バス17及び通信部16を介してX線分析装置1の上述したようなハードウェア各部と接続されていて、それらを制御すると共に、ハードディスク等の記憶部15に格納された制御プログラム15Pに従って、種々のソフトウェア的機能を実行する。RAM12は、SRAM(Static Random Access Memory)またはフラッシュメモリ等で構成され、ソフトウェアの実行時に発生する一時的なデータを記憶する。観察者の入力部13からの画像取込指示があった場合、CPU11はCCD22に対して画像の取り込み信号を出力する。CCD22に蓄積された電荷は電気信号としてA/D変換器221に出力され、A/D変換器221によりディジタル信号に変換された画像データはRGB各成分のデータとして画像メモリ19に記憶され、また液晶ディスプレイ等の表示部14へ出力される。
【0026】
画像メモリ19はDRAM(Dynamic Random Access Memory)等で構成され、複数領域のフレームバッファを有し、CCD22から取り込まれた画像データ(第1画像データ)は第1のフレームバッファに記憶される。後述する処理により生成された、透過X線像に係る画像データ(第2画像データ)は第2のフレームバッファに記憶される。
【0027】
入力部13はキーボード、マウス、及びジョイスティック等で構成され、操作信号をCPU11へ出力する。時計部18は時間情報をCPU11へ出力し、CPU11は時計部18から出力される時間情報に基づいて各種ハードウェアの同期タイミングをとる。また、表示部14はCRT(Cathode−ray Tube)、またはLCD(Liquid Crystal Display)等のディスプレイで構成され、画像メモリ19のフレームバッファから読み出された画像データを表示出力する。通信部16はデータ処理部2との間で情報の送受信を行う。
【0028】
続いて、データ処理部2を説明する。図に示すように透過X線検出器28にはパルスプロセッサ281、計数手段としてのマルチチャンネルアナライザ(以下、MCAという)282、及びスペクトルメモリ283が接続されている。透過X線検出器28を構成するシンチレータ(図示せず)にて吸収されたエネルギーレベルに比例した強度の光は、光電子増倍管(図示せず)により電子に変換され電気信号(パルス)として図示しないアンプにより増幅された後、パルスプロセッサ281を経てMCA282に入力される。
【0029】
MCA282は透過X線検出器28から出力される透過X線のエネルギーに対応するパルス数、すなわちパルスの波高毎にパルスの数を計数する。MCA282は例えば、出力されるパルスの波高が0v〜Nvまでのパルスを受け付ける。MCA282のメモリ数が1024チャンネルの装置にNvのパルスが入力された場合、1024番目のチャンネルの計数が1増え、N/2vのパルスなら512番目のチャンネルの計数が1増える。このようにして透過X線検出器28から出力される透過X線の出力レベルに対応するパルス数が計数され、計数後の出力レベルに対応する計数値はスペクトルメモリ283にいったん保存された後、通信インターフェース200を介してコンピュータ10へ出力される。
【0030】
図3は透過X線スペクトルの特性図である。縦軸は計数値であり、横軸は透過X線のエネルギー(kev)を示している。なお、実際に得られる横軸データはMCA282のチャンネル番号(増幅後のパルスの波高電圧(V)レベル)の離散的なデータであるが、説明を容易にするため、横軸のスケールを透過X線のエネルギー(kev)に変換して計数値を波形表示している。実線で表されるグラフはCaを主成分とする試料26aを分析した場合に得られる透過X線エネルギーレベルに対応する計数値を示し、点線で表されるグラフは試料が存在しない場合に分析される透過X線量に対応する計数値を示す。透過X線量Iは、照射X線強度をI0とした場合、下記の式1で表すことができる。
I=I0×exp(−試料密度×試料厚み×質量吸収係数)…式1
【0031】
質量吸収係数は照射X線のエネルギーによって決まる値であり、一般に照射X線のエネルギーが高くなった場合、質量吸収係数は小さくなる。質量吸収係数が小さくなった場合、透過X線量は多くなる。また、試料26a中に含まれる元素により決定される特定のエネルギーで、質量吸収係数が大きくなる。この特定エネルギーを吸収端といい、例えば、Caの場合4.083kevのエネルギーを超えた場合、質量吸収係数が約10倍大きくなる。従って、試料26aがCaを主成分とする場合、4.083kev〜7kevの領域を抽出範囲として透過X線画像を生成することにより、Caのコントラストを向上させることが可能になる。
【0032】
抽出範囲の決定は、スペクトルが急激に変化する範囲に着目して決定する、試料が存在しない場合と比較して計数値が所定の閾値以上相違する範囲に決定する、または試料26aの主成分または種類を受け付けて予め登録している範囲を読み出して決定する処理などが考えられる。なお、試料の主成分、種類を受け付けて範囲を決定する処理については実施の形態2において説明する。
【0033】
抽出する範囲が決定した後、CPU11は試料ステージ26を所定範囲のXY座標値内で動作させ、スペクトルメモリ283からの出力される抽出範囲内の出力レベルに応じた計数値をXY座標値に対応させてRAM12に記憶する。上述の例では4.083kev〜7kevに対応する計数値のみをXY座標値に対応させて記憶する。
【0034】
CPU11は全ての座標値について走査が終了した後、RAM12に記憶した計数値を読み出してヒストグラムを生成する。CPU11は、生成したヒストグラムに基づいて、各X、Y座標値における計数値を8ビット256階調の明度値へ変換して画像データを生成する。生成された透過X線画像に係る画像データ(第2の画像データ)は画像メモリ19の第2フレームバッファに記憶される。CPU11は第2フレームバッファから生成した透過X線画像を読み出して表示部14へ出力する。
【0035】
以上の構成において、本発明の処理を、フローチャートを用いて説明する。図4及び図5は抽出範囲を決定する際の処理手順を示すフローチャートである。まず、試料26aを試料ステージ26上に載置しない状態で、X線発生器21を動作させ、X線を試料ステージ26に向けて照射する(ステップS41)。CPU11はスペクトルメモリ283から出力される出力レベルに対応した計数値を受け付け(ステップS42)、記憶部15に出力レベルに対応させて基準計数値を記憶させる(ステップS43)。
【0036】
次に試料26aを試料ステージ26に載置した状態で、X線発生器21を動作させ、X線を試料ステージ26に向けて照射する(ステップS44)。CPU11はスペクトルメモリ283から出力される出力レベルに応じた計数値を受け付け(ステップS45)、記憶部15に出力レベルに対応させて計数値を記憶させる(ステップS46)。CPU11は記憶部15に記憶した基準計数値及び計数値を読み出し、特定の出力レベル(上述の例では1024のメモリアドレス中、一のアドレス)における計数値と基準計数値との差を求め、その絶対値が、予め記憶部15に記憶された閾値以上であるか否かを判断する(ステップS47)。
【0037】
差の絶対値が閾値以上である場合は(ステップS47でYES)、コントラストを得やすい領域であると判断して、その特定の出力レベルにフラグをセットする(ステップS48)。一方、差の絶対値が閾値以上でない場合は(ステップS47でNO)、コントラストを得にくい領域であると判断して、ステップS48の処理をスキップする。その後CPU11は全ての出力レベルについてステップS47の処理を行ったか否かを判断し(ステップS51)、全ての出力レベル(上述の例では1024全てのメモリアドレス)についての処理が終了していない場合は(ステップS51でNO)、ステップS47へ移行し他の出力レベルについてステップS47の処理を実行する。
【0038】
全ての出力レベルについて処理が終了したと判断した場合は(ステップS51でYES)、フラグがセットされた出力レベルを抽出し(ステップS52)、抽出した範囲の出力レベルを記憶する(ステップS53)。以上の処理により、抽出すべき範囲を決定することができる。なお、本実施の形態においては抽出範囲の決定に際し、特定のXY座標値1点についてX線を照射して透過X線を分析するようにしたが、これに限らず複数のXY座標値について分析を行って抽出範囲を求め、その平均をとることにより最終的な抽出範囲を決定するようにしても良い。
【0039】
図6及び図7は抽出範囲を決定した後の透過X線画像生成処理の手順を示すフローチャートである。試料26aを試料ステージ26に載置した状態で、X線発生器21を動作させ、X線を試料ステージ26に向けて照射する(ステップS61)。CPU11はスペクトルメモリ283から出力される出力レベルに応じた計数値を受け付ける(ステップS62)、RAM12に出力レベルに対応した計数値を一時的に記憶する。CPU11はステップS53にて記憶した抽出範囲を記憶部15から読み出す(ステップS63)。
【0040】
CPU11は抽出範囲に係る出力レベルの計数値のみを、RAM12に記憶した出力レベルに対応する計数値から抽出して、記憶部15に記憶する(ステップS64)。CPU11は記憶部15に記憶した各出力レベルの計数値を読み出し、計数値の合計値を算出する(ステップS65)。CPU11は座標値メモリ271から試料ステージ26の座標値データを取得し(ステップS66)、取得した座標値データに対応させて合計値をRAM12に記憶する(ステップS67)。
【0041】
CPU11は分析範囲の全てについて分析を行ったか否かを判断し(ステップS68)、全ての範囲について分析が終了していない場合は(ステップS68でNO)、試料ステージを制御して(ステップS69)、他の座標値についてステップS62〜S67の処理を同様に行う。一方、全ての分析範囲全ての分析が終了した場合は(ステップS68でYES)、RAM12に記憶した全ての各座標値データの合計値を読み出し(ステップS71)、合計値を256階調の明度値へ変換する処理を行う(ステップS72)。具体的には各合計値の内、最大合計値と最小合計値との差を求め、その差と階調256との比を求め、求めた比を各合計値に乗ずることにより明度値へ変換する。
【0042】
変換後の明度値は、座標値データと対応づけられて記憶部15に記憶され、これにより透過X線画像の生成処理が終了する(ステップS73)。最後に、CPU11は透過X線画像を表示部へ出力する(ステップS74)。
【0043】
実施の形態2
実施の形態2は抽出範囲の決定を、観察者が入力した試料26aの主成分または試料の種類に基づいて行う方法に関する。
【0044】
図8は実施の形態2に係るX線分析装置1のハードウェア構成を示すブロック図である。記憶部15には、試料26aの主成分または種類に対応させて出力エネルギーの抽出範囲を記憶した抽出範囲テーブル151が用意されている。図9は抽出範囲テーブル151のレコードレイアウトを示す説明図である。
【0045】
抽出範囲テーブル151の主成分フィールドには分析対象である試料26aの主成分元素が記憶されている。これに対応して抽出範囲フィールドには抽出すべき出力レベルの範囲が記憶されている。例えば、試料26aの主成分がFeである場合、Feの吸収端は7.111kevであることから、抽出範囲は7.111kevから11kevとなる。また種類フィールドには試料26aの種類が記憶されている。例えば試料26aが化粧品Aである場合、抽出範囲は1.2kev〜3.5kevとなる。なお、これらのデータは入力部13から観察者が自由に入力して登録することが可能である。CPU11は入力部13から試料26aの主成分、または種類を受け付けた場合、SQL(Structured Query Language)を用いて抽出範囲テーブル151に対して、検索処理を実行し、検索した抽出範囲に基づいて透過X線画像を生成する。
【0046】
図10は実施の形態2に係る抽出範囲決定処理の手順を示すフローチャートである。まず、試料26aの主成分または種類の情報を入力部13から受け付ける(ステップS101)。CPU11は入力部13から試料26aの主成分または種類の情報が入力された場合は、この情報を基に抽出範囲テーブル151を検索し(ステップS102)、対応する抽出範囲を読み出す(ステップS103)。CPU11は読み出された抽出範囲の情報をRAM12に記憶する(ステップS104)。これにより抽出範囲が決定したので、実施の形態1で述べたステップS61以降の処理を同様に行い、透過X線画像を得ることができる。
【0047】
実施の形態3
図11は実施の形態3に係るX線分析装置1のハードウェア構成を示すブロック図である。実施の形態1に係るコンピュータ10を実行させるためのコンピュータプログラムは、本実施の形態3のようにコンピュータ10にプレインストールして提供することも、またCD−ROM、MO等の可搬型記録媒体で提供することも可能である。さらに、コンピュータプログラムを回線経由で搬送波として伝搬させて提供することも可能である。以下に、その内容を説明する。
【0048】
図11に示すコンピュータ10に、計数値を抽出させ、明度値へ変換させ、透過X線画像を生成させるプログラムが記録された記録媒体1a(CD−ROM、MO又はDVD−ROM等)がコンピュータ10の記憶部15にインストールされている。かかるプログラムはコンピュータ10のRAM12にロードして実行される。これにより、上述のような本発明のコンピュータ10として機能する。
【0049】
実施の形態2及び3は以上の如き構成としてあり、その他の構成及び作用は実施の形態1と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。
【0050】
【発明の効果】
以上詳述した如く、本発明にあっては、透過X線検出器から出力される透過X線の出力レベルに対応するパルス数を計数手段により計数する。計数手段には、出力レベル毎にパルス数が計数され計数値がメモリに記憶される。X線分析装置は、計数手段により計数した出力レベルに対応する計数値のなかから、所定範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出する。そして、抽出した出力レベルに対応する計数値に基づいて、透過X線画像を生成し、生成した透過X線画像を表示装置へ出力するようにしたので、出力レベル全域を計数して画像を生成する従来の方法と比較して、コントラストの改善を図ることが可能となる。これにより、被照射体が軽元素で構成されている場合、または原子番号が近い元素同士で構成されている被照射体の場合であっても、該被照射体中のクラックまたは異物等を容易に検出することが可能となる。
【0051】
また、本発明にあっては、被照射体が存在しない状態で、計数手段により計数される出力レベルに対応する基準計数値を予め記憶しておく。そして、記憶した出力レベルに対する基準計数値と、被照射体が存在する場合に、計数手段により計数される出力レベルに対応する計数値との差が所定の閾値を超える範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出する。そして、他の座標値XYについても同様の範囲にて計数値を抽出し、この抽出した各XY座標値の計数値に基づき透過X線画像を生成して表示する。これにより、透過X線量の変化量の大きい範囲についてのみ、計数値が抽出されて画像が生成されるので、バックグラウンドのノイズを消去でき効果的にコントラストの改善を図ることが可能となる。
【0052】
さらに、本発明にあっては、被照射体の種類または主成分に応じた出力レベルの抽出範囲を記憶した抽出範囲テーブルを予め用意しておく。X線分析装置は、被照射体の種類または主成分を受け付け、受け付けた被照射体の種類または主成分に基づいて、抽出範囲テーブルから抽出範囲を検索し、検索した抽出範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出する。そして、他の座標値XYについても同様の範囲にて計数値を抽出し、この抽出した各XY座標値の計数値に基づき透過X線画像を生成して表示する。これにより、予め観察者から入力された情報に基づいて計数値が抽出されて画像が生成されるので、効果的にコントラストの改善を図ることが可能となる等、本発明は優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るX線分析装置の概要を示す模式図である。
【図2】X線分析装置のハードウェア構成を示すブロック図である。
【図3】透過X線スペクトルの特性図である。
【図4】抽出範囲を決定する際の処理手順を示すフローチャートである。
【図5】抽出範囲を決定する際の処理手順を示すフローチャートである。
【図6】抽出範囲を決定した後の透過X線画像生成処理の手順を示すフローチャートである。
【図7】抽出範囲を決定した後の透過X線画像生成処理の手順を示すフローチャートである。
【図8】実施の形態2に係るX線分析装置のハードウェア構成を示すブロック図である。
【図9】抽出範囲テーブルのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図10】実施の形態2に係る抽出範囲決定処理の手順を示すフローチャートである。
【図11】実施の形態3に係るX線分析装置のハードウェア構成を示すブロック図である。
【図12】従来のX線分析装置の概要を示す模式図である。
【符号の説明】
1 X線分析装置
21 X線発生器
22 CCD
26 試料ステージ
26a 試料(被照射体)
28 透過X線検出器
10 コンピュータ
2 データ処理部
20 分析部
1a 記録媒体
13 入力部
14 表示部(表示装置)
281 パルスプロセッサ
282 MCA
283 スペクトルメモリ
151 抽出範囲テーブル
Claims (5)
- 被照射体に対してX線を照射するX線発生器、及び被照射体を透過する透過X線を検出する透過X線検出器を備えるX線分析装置における分析結果の表示方法において、
透過X線検出器から出力される透過X線の出力レベルに対応するパルス数を計数する計数ステップと、
計数ステップにより計数された計数値から、所定範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出する抽出ステップと、
抽出した出力レベルに対応する計数値に基づいて、透過X線画像を生成する生成ステップと、
生成した透過X線画像を表示装置へ出力する表示ステップと
を備えることを特徴とする分析結果表示方法。 - 被照射体に対してX線を照射するX線発生器、及び被照射体を透過する透過X線を検出する透過X線検出器を備えるX線分析装置において、透過X線検出器から出力される透過X線の出力レベルに対応するパルス数を計数する計数手段と、
計数手段により計数された計数値から、所定範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出する抽出手段と、
抽出した出力レベルに対応する計数値に基づいて、透過X線画像を生成する生成手段と、
生成した透過X線画像を表示装置へ出力する表示手段と
を備えることを特徴とするX線分析装置。 - 被照射体が存在しない場合に、前記計数手段により計数される出力レベルに対応する基準計数値を記憶する記憶手段をさらに備え、
前記抽出手段は、記憶した出力レベルに対する基準計数値と、被照射体が存在する場合に、前記計数手段により計数される出力レベルに対応する計数値との差が所定の閾値を超える範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出するよう構成してある
ことを特徴とする請求項2に記載のX線分析装置。 - 被照射体の種類または主成分に応じた出力レベルの抽出範囲を記憶した抽出範囲テーブルと、
被照射体の種類または主成分を受け付ける受付手段と、
前記受付手段により受け付けた被照射体の種類または主成分に基づいて、前記抽出範囲テーブルから抽出範囲を検索する検索手段とをさらに備え、
前記抽出手段は、前記検索した抽出範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出するよう構成してある
ことを特徴とする請求項2に記載のX線分析装置。 - 被照射体に対してX線を照射するX線発生器、及び被照射体を透過する透過X線を検出する透過X線検出器に接続されるコンピュータの表示装置に分析結果を表示させるためのコンピュータプログラムにおいて、
コンピュータに、前記透過X線検出器から出力された透過X線の出力レベルに対応する計数値から、所定範囲の出力レベルに対応する計数値を抽出させる抽出ステップと、
コンピュータに、抽出させた各出力レベルの計数値の合計値を明度値へ変換させる変換ステップと、
コンピュータに、変換させた明度値に基づき透過X線画像を生成させる生成ステップと
を実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
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