JP2004087774A - 半導体レーザへのレンズ組み付け方法 - Google Patents
半導体レーザへのレンズ組み付け方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004087774A JP2004087774A JP2002246487A JP2002246487A JP2004087774A JP 2004087774 A JP2004087774 A JP 2004087774A JP 2002246487 A JP2002246487 A JP 2002246487A JP 2002246487 A JP2002246487 A JP 2002246487A JP 2004087774 A JP2004087774 A JP 2004087774A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- semiconductor laser
- adhesive
- laser
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】半導体レーザにレンズを、半導体レーザとレンズの隙間に接着剤が浸透して発光面に付着することなくかつ位置精度良く組み付ける。
【解決手段】半導体レーザ1にコリメータレンズ5を紫外線硬化型接着剤7a、7bにて組み付ける際に、半導体レーザ1とコリメータレンズ5を位置決めして配置した状態でコリメータレンズ5の複数の取付部6a、6bと半導体レーザ1の間に接着剤7a、7bを塗布し、その後塗布した接着剤7a、7bの仮硬化を行い、次にコリメータレンズ5の位置調整後に複数の接着剤塗布部に同時に紫外線を照射して接着剤7a、7bを硬化させるようにした。
【選択図】 図1
【解決手段】半導体レーザ1にコリメータレンズ5を紫外線硬化型接着剤7a、7bにて組み付ける際に、半導体レーザ1とコリメータレンズ5を位置決めして配置した状態でコリメータレンズ5の複数の取付部6a、6bと半導体レーザ1の間に接着剤7a、7bを塗布し、その後塗布した接着剤7a、7bの仮硬化を行い、次にコリメータレンズ5の位置調整後に複数の接着剤塗布部に同時に紫外線を照射して接着剤7a、7bを硬化させるようにした。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザへのレンズ組み付け方法に関し、特に高出力半導体レーザに好適に適用できるレンズ組み付け方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のレーザ加工機の光源としては、CO2 レーザ、YAGレーザなどが用いられているが、装置が大きい、あるいはレーザ出力の細かな制御が行い難いなどの課題があった。
【0003】
近年、高出力の半導体レーザが実用化され、この高出力半導体レーザを光源として用いることでレーザ加工機の小型化が進んでいる。高出力半導体レーザでは、高出力化のために発光部がライン状に並んだ半導体レーザアレイを構成し、さらに出力が必要なときにはこの半導体レーザアレイを複数段積み重ねて用いられている。
【0004】
半導体レーザはレーザ射出光の広がり角が大きいため、射出光を平行光化させるレンズは、NAが大きく、焦点距離の小さなものが用いられる。半導体レーザのレーザ出射光の広がり角は、活性層に垂直な方向に大きいので、レーザ光を有効利用するためには、例えばNA=0.8程度のシリンドリカルレンズ(以下、第1レンズと称する)が必要になる。また、積層する半導体レーザアレイ間の間隔を2mmとすると、レンズの焦点距離は、f=0.8mm程度となる。
【0005】
NAが大きく、焦点距離の短いレンズでは、レンズの位置、傾きのずれが射出光の方向、平行度に大きく影響し、レーザ光の集光特性が悪化する。このため、半導体レーザとレンズの位置を機械的に決めることは難しく、レンズの位置、傾き調整が必要になる。
【0006】
このようにレンズの位置、傾きを調整した後、半導体レーザへのレンズの取り付けに際しては、取扱いの容易さから一般的に紫外線硬化接着剤が用いられ、レンズ両端の取付部と半導体レーザの筐体とを接着している。
【0007】
次に、半導体レーザの活性層に平行な方向にレーザ光を平行光化するために、各発光点に対応したシリンドリカルレンズ(以下、第2レンズと称する)を第1レンズと同様に、半導体レーザを発光させ、レンズの位置調整を行い、レンズの両端の取付部を半導体レーザの筐体に接着している。
【0008】
半導体レーザに第1レンズと第2レンズを組み付ける具体的な手順を図7を参照して説明すると、第1レンズのアライメントを行った後、一方(左側)の取付部に接着剤を塗布した後硬化させ、次に他方(右側)の取付部に接着剤を塗布した後硬化させ、次いで第2レンズのアライメントを行った後、一方(左側)の取付部に接着剤を塗布した後硬化させ、次に他方(右側)の取付部に接着剤を塗布した後硬化させるという手順で組み付けている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、第1レンズの焦点距離が0.8mm程度と小さいので、レンズと半導体レーザの発光面との隙間は0.3mm程度以下となり、接着剤を塗布したときに毛細管現象により隙間に浸透し易くなる。発光面に異物が付着すると、そこで光が散乱し、高出力レーザでは数百度の温度となる。通常、半導体レーザの耐熱温度は150℃程度であるので、半導体レーザが破壊されてしまう。
【0010】
これに対して接着剤が半導体レーザとレンズの隙間に浸透する前に紫外線を照射し、硬化してしまう方法もあるが、接着剤塗布時のレンズの移動、例えば接着剤をディスペンサで塗布するときに、ディスペンサの先端がレンズに接触し、レンズ位置が変化したときに、レンズ位置、傾きの再調整を行うことができないという問題がある。
【0011】
また、第2レンズにおいても、レーザを点灯させてレンズの位置調整、接着を行うので、第1レンズへの接触による破損や、第1レンズと同様に接着剤の付着が起こり易いという問題がある。
【0012】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、半導体レーザにレンズを位置精度良くかつ接着剤が半導体レーザとレンズの隙間に浸透して発光面に付着することなく組み付けることができる半導体レーザへのレンズ組み付け方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体レーザへのレンズ組み付け方法は、半導体レーザにコリメータレンズを紫外線硬化型接着剤にて組み付ける方法であって、半導体レーザとコリメータレンズを位置決めして配置した状態でコリメータレンズの複数の取付部と半導体レーザの間に接着剤を塗布し、その後塗布した接着剤の仮硬化を行い、次にコリメータレンズの位置調整後に複数の接着剤塗布部に同時に紫外線を照射して接着剤を硬化させるものである。
【0014】
このような構成により、接着剤の塗布後に仮硬化することにより、半導体レーザとコリメータレンズの隙間に接着剤が浸透して発光面に付着するのを防止しながらコリメータレンズの位置調整が可能な状態とし、コリメータレンズの位置調整後接着剤を同時に硬化させることで接着剤が発光面に付着することなくかつ接着剤の硬化収縮の影響を殆ど受けずに半導体レーザにレンズを位置精度良く組み付けることができる。
【0015】
また、本発明の半導体レーザへのレンズ組み付け方法は、半導体レーザからの出射光を平行光化するレンズを半導体レーザに組み付ける方法であって、半導体レーザの活性層に垂直な方向にレーザ光を平行光化する第1レンズと、活性層に平行な方向にレーザ光を平行光化する第2レンズとを、半導体レーザのレーザ発光部と同ピッチの発光点を有する光源を用いてレンズ間の位置調整を行い、相互に接着固定して組レンズに結合し、組レンズを半導体レーザに組み付けるものである。
【0016】
このような構成により、半導体レーザへのレンズの位置調整、接着を1回で済ますことができ、また第2レンズの第1レンズへの接触による破損や、接着剤の付着の可能性を低減することができる。
【0017】
また、この組レンズと半導体レーザの組み付けに際して、上記のように半導体レーザと組レンズを位置決めして配置し、組レンズの複数の取付部と半導体レーザの間に接着剤を塗布し、塗布した接着剤の仮硬化を行い、組レンズの位置調整後に複数の接着剤塗布部に同時に紫外線を照射して接着剤を硬化させることにより、上記のように接着剤が発光面に付着することなくかつ接着剤の硬化収縮の影響を殆ど受けずに半導体レーザに組レンズを位置精度良く組み付けることができる。
【0018】
また、仮硬化時に照射する光量は、接着剤硬化に必要な光量の1/60000から1/3000とするのが好適である。
【0019】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
以下、本発明の半導体レーザへのレンズ組み付け方法の第1の実施形態について、図1〜図3を参照して説明する。
【0020】
図1、図2において、1は半導体レーザであり、ライン状に配列された複数のレーザ発光部3を有する半導体レーザアレイ2を冷却板4に装着して構成され、冷却板4にて半導体レーザアレイ2を冷却するように構成されている。
【0021】
5は、各レーザ発光部3からの出射光を平行光化するため、半導体レーザアレイ2の発光面に所定の隙間を設けて対向配置されるコリメータレンズであり、両端に半導体レーザ1に組み付けるための取付部6a、6bが冷却板4の両側端面に向けて延設され、冷却板4の両側端面と取付部6a、6bの間に接着剤7a、7bを塗布し、この接着剤7a、7bを硬化させることでコリメータレンズ5が半導体レーザ1に組み付けられている。接着剤7a、7bとしては、一般的に紫外線硬化型接着剤、特に耐熱性が高く、硬化収縮が小さいエポキシ系が用いられる。
【0022】
なお、半導体レーザ1の各レーザ発光部3から放射されるレーザ光の放射角は、レーザ発光部3の活性層に垂直な方向に大きく広がるため、レーザ光を有効に利用するためには、コリメータレンズ5のNAは0.8mm程度のものが必要である。また、このような半導体レーザ1を積み重ねることで高出力化する場合、コリメータレンズ5の断面高さ寸法を冷却板4の厚みと同程度とし、その厚みを2mmとすると、コリメータレンズ5の焦点距離は0.8mm程度、作動距離は0.3mm程度となる。
【0023】
次に、図3を参照して、半導体レーザ1に上記のようにコリメータレンズ5を組み付ける手順を説明する。
【0024】
まず、コリメータレンズ5と半導体レーザ1のアライメント(位置合わせ)を行う。コリメータレンズ5と各レーザ発光部3の位置がずれると、コリメータレンズ5からの射出光の方向、平行度にずれが生じ、この平行光を集光したときの集光スポットが広がってしまう。例えば、半導体レーザ1の各レーザ発光部3とコリメータレンズ5とが10μm位置ずれを起こすと、コリメータレンズ5の焦点距離が0.6mmのとき、コリメータレンズ5の射出光の方向が1°ずれる。半導体レーザ1を積み重ねて用いるとき、この平行光をf=100mmの集光レンズで集光すると、スポット径は3.5mmにもなる。これに対してコリメータレンズ5の位置ずれがない場合には、スポット径は0.05mmに絞ることができる。
【0025】
このようにコリメータレンズ5の位置、傾きを高精度に調整した後、接着剤7aを塗布する。接着剤7aは冷却板4と取付部6aとの間に充填されるように塗布する。接着剤7aを塗布した後放置すると、毛細管現象により接着剤7aはコリメータレンズ5と半導体レーザアレイ2の発光面との間に浸透してくる。接着剤7aの粘度40000cps、室温25℃、コリメータレンズ5と発光面との間の距離が0.3mmの場合、取付部6aの長さに相当する約2mmの距離を20秒で移動する速度で接着剤7aが浸透する。この速度は、接着剤7aの塗布量が少ないほど遅く、多いほど速い。そこで、コリメータレンズ5と半導体レーザアレイ2間への接着剤の浸透速度を遅くするために、塗布量を少なくすると、取付部6aと冷却板4との間に接着剤7aが十分に充填されず隙間ができ、あるいは強度が足りなくなるという問題が生じる。
【0026】
また、接着剤塗布後、20秒以下で紫外線を照射し接着剤を硬化した場合、接着剤塗布時にコリメータレンズ5の位置ずれが生じ、この時間内での再アライメントができないと、コリメータレンズ5の位置ずれが生じたまま接着剤7aが硬化してしまうことになる。また、コリメータレンズ5の位置ずれがない場合でも、コリメータレンズ5を片側づつ硬化すると、接着剤の硬化収縮によりコリメータレンズ5の位置ずれが起こり易くなる。
【0027】
そこで、接着剤7aの仮硬化を行う。仮硬化では、接着剤7aを完全に硬化させず、コリメータレンズ5と半導体レーザアレイ2の発光面との間に接着剤が流れ込まない程度で、かつレンズアライメントを行える程度の硬さとする。例えば、XOC−02THK(協立化学産業製)では、紫外線照射硬化光量6000mJ/cm2 に対し、1/60000〜1/3000の光量、すなわち、0.1〜2mJ/cm2 の光量にすればよい。10mJ/cm2 の光量では、接着剤が硬くなりすぎ、レンズアライメントができなくなる。逆に、0.05mJ/cm2 以下の光量では、接着剤7aが硬化せず、半導体レーザアレイ2の発光面への浸透を防げない。
【0028】
このように接着剤7aを塗布し、20秒以内に0.1〜2mJ/cm2 の光量を照射した後、次いで接着剤7bを塗布し、同様に20秒以内に、0.1〜2mJ/cm2 の光量を照射する。
【0029】
次に、コリメータレンズ5に位置ずれがあれば、再度、レンズアライメントを行う。そのあと、接着剤7a、7bに対して、両方同時に紫外線を照射することで、均等に硬化収縮を起こし、コリメータレンズ5の位置ずれを防止する。
【0030】
以上のように本実施形態によれば、紫外線硬化型接着剤において、紫外線照射量を本硬化時の1/60000〜1/3000の光量で仮硬化することで、半導体レーザアレイ2の発光面への接着剤の浸透を防ぐことができる。さらに、仮硬化後、コリメータレンズ5のアライメントを行えるので、半導体レーザ1とコリメータレンズ5との間の位置決めを精度良く行うことができ、集光特性の高い平行光を得ることができる。また、コリメータレンズ5の両側の接着剤7a、7bを本硬化のときに両方同時に紫外線を照射することで、均等な硬化収縮を起こさせ、コリメータレンズ5の位置ずれを低減することができる。
【0031】
(第2の実施形態)
次に、本発明の半導体レーザへのレンズ組み付け方法の第2の実施形態について、図4〜図6を参照して説明する。
【0032】
図4は、半導体レーザ1の出射光を2つのシリンドリカルレンズ8、9を用いて平行光化する構成を示している。1は半導体レーザであり、半導体レーザアレイ2の複数のレーザ発光部3の活性層がX−Z面上でX方向にライン状に配列されている。8は、第1のレンズであり、半導体レーザ1の各レーザ発光部3の活性層に垂直な方向(Y方向)に出射光を平行光化するシリンドリカルレンズにて構成されている。9は、第2レンズであり、半導体レーザ1の各レーザ発光部3の活性層に平行な方向(X方向)に出射光を平行光化するシリンドリカルレンズアレイにて構成されている。
【0033】
図5に、第1レンズ8と第2レンズ9を位置調整するレンズ位置調整装置の光学系を示す。10は、半導体レーザ1における各レーザ発光部3のピッチと等しいピッチ間隔で配設されたレーザあるいはLEDなどの発光点11を有する光源である。12は、第1レンズ8と第2レンズ9で平行光化された光を集光するレンズであり、13はレンズ12の後側の焦点位置に配設されたCCDカメラである。14は、CCDカメラ13で撮像した画像を表示するモニターテレビであり、15は撮像したビーム像である。16a、16bは第1レンズ8と第2レンズ9を固定する接着剤である。
【0034】
次に、以上の構成におけるレンズ組み付け手順を説明する。まず、第2レンズ9を取り付けず、第1レンズ8のみを取り付けて光源10を点灯する。図6(a)に示すように、横長の楕円形のビーム像17が画面中央にくるように第1レンズ8の位置調整を行う。次に、第2レンズ9を取り付け、光源10を点灯する。図6(b)に示すように、円形のビーム像18が画面中央にくるように第2レンズ9の位置を調整する。最後に、第1レンズ8の取付部と第2レンズ9の取付部に接着剤16a、16bを塗布して硬化し、第1レンズ8と第2レンズ9を相互に固定して組レンズ19を構成する。
【0035】
以上のようにして構成された第1レンズ8と第2レンズ9から成る組レンズ19を半導体レーザ1に上記第1の実施形態で説明した方法で組み付けることで、半導体レーザ1に対する第1レンズ8と第2レンズ9の位置調整及び接着を1回で済ますことができる。また、第2レンズ9の第1レンズ8への接触による破損、あるいは接着剤の付着の可能性を低減することができる。また、半導体レーザ1には、レーザ発光部3の並びが直線からずれていることがあるが、レンズ位置調整装置で用いる光源10に精度の高いものを用いることで、第1レンズ8と第2レンズ9の組み付けを高精度で行うことができる。
【0036】
【発明の効果】
本発明の半導体レーザへのレンズ組み付け方法によれば、コリメータレンズの複数の取付部と半導体レーザの間に塗布した接着剤の仮硬化を行うことで、半導体レーザとコリメータレンズの隙間に接着剤が浸透して発光面に付着するのを防止しながら、コリメータレンズの位置調整を可能とし、コリメータレンズの位置調整を行った後接着剤を同時に硬化させるので、接着剤が発光面に付着することなくかつ接着剤の硬化収縮の影響を殆ど受けずに半導体レーザにレンズを位置精度良く組み付けることができる。
【0037】
また、半導体レーザの活性層に垂直な方向にレーザ光を平行光化する第1レンズと、活性層に平行な方向にレーザ光を平行光化する第2レンズとを、半導体レーザのレーザ発光部と同ピッチの発光点を有する光源を用いてレンズ間の位置調整を行い、相互に接着固定して組レンズに結合し、組レンズを半導体レーザに組み付けると、半導体レーザへのレンズの位置調整、接着を1回で済ますことができ、また第2レンズの第1レンズへの接触による破損や、接着剤の付着の可能性を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態における半導体レーザとコリメータレンズの組み付け状態を示す平面図である。
【図2】図1のA−A矢視図である。
【図3】同実施形態における半導体レーザにコリメータレンズを組み付ける手順のフロー図である。
【図4】本発明の第2の実施形態における半導体レーザとコリメータレンズの組み付け状態を示し、(a)は側面図、(b)は平面図である。
【図5】同実施形態におけるレンズ位置調整装置の模式図である。
【図6】同実施形態におけるレンズ位置調整時におけるCCDカメラの撮像画像の説明図である。
【図7】従来例の半導体レーザとコリメータレンズの組み付け手順のフロー図である。
【符号の説明】
1 半導体レーザ
3 レーザ発光部
5 コリメータレンズ
6a、6b 取付部
7a、7b 接着剤
8 第1レンズ
9 第2レンズ
10 光源
11 発光点
19 組レンズ
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザへのレンズ組み付け方法に関し、特に高出力半導体レーザに好適に適用できるレンズ組み付け方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のレーザ加工機の光源としては、CO2 レーザ、YAGレーザなどが用いられているが、装置が大きい、あるいはレーザ出力の細かな制御が行い難いなどの課題があった。
【0003】
近年、高出力の半導体レーザが実用化され、この高出力半導体レーザを光源として用いることでレーザ加工機の小型化が進んでいる。高出力半導体レーザでは、高出力化のために発光部がライン状に並んだ半導体レーザアレイを構成し、さらに出力が必要なときにはこの半導体レーザアレイを複数段積み重ねて用いられている。
【0004】
半導体レーザはレーザ射出光の広がり角が大きいため、射出光を平行光化させるレンズは、NAが大きく、焦点距離の小さなものが用いられる。半導体レーザのレーザ出射光の広がり角は、活性層に垂直な方向に大きいので、レーザ光を有効利用するためには、例えばNA=0.8程度のシリンドリカルレンズ(以下、第1レンズと称する)が必要になる。また、積層する半導体レーザアレイ間の間隔を2mmとすると、レンズの焦点距離は、f=0.8mm程度となる。
【0005】
NAが大きく、焦点距離の短いレンズでは、レンズの位置、傾きのずれが射出光の方向、平行度に大きく影響し、レーザ光の集光特性が悪化する。このため、半導体レーザとレンズの位置を機械的に決めることは難しく、レンズの位置、傾き調整が必要になる。
【0006】
このようにレンズの位置、傾きを調整した後、半導体レーザへのレンズの取り付けに際しては、取扱いの容易さから一般的に紫外線硬化接着剤が用いられ、レンズ両端の取付部と半導体レーザの筐体とを接着している。
【0007】
次に、半導体レーザの活性層に平行な方向にレーザ光を平行光化するために、各発光点に対応したシリンドリカルレンズ(以下、第2レンズと称する)を第1レンズと同様に、半導体レーザを発光させ、レンズの位置調整を行い、レンズの両端の取付部を半導体レーザの筐体に接着している。
【0008】
半導体レーザに第1レンズと第2レンズを組み付ける具体的な手順を図7を参照して説明すると、第1レンズのアライメントを行った後、一方(左側)の取付部に接着剤を塗布した後硬化させ、次に他方(右側)の取付部に接着剤を塗布した後硬化させ、次いで第2レンズのアライメントを行った後、一方(左側)の取付部に接着剤を塗布した後硬化させ、次に他方(右側)の取付部に接着剤を塗布した後硬化させるという手順で組み付けている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、第1レンズの焦点距離が0.8mm程度と小さいので、レンズと半導体レーザの発光面との隙間は0.3mm程度以下となり、接着剤を塗布したときに毛細管現象により隙間に浸透し易くなる。発光面に異物が付着すると、そこで光が散乱し、高出力レーザでは数百度の温度となる。通常、半導体レーザの耐熱温度は150℃程度であるので、半導体レーザが破壊されてしまう。
【0010】
これに対して接着剤が半導体レーザとレンズの隙間に浸透する前に紫外線を照射し、硬化してしまう方法もあるが、接着剤塗布時のレンズの移動、例えば接着剤をディスペンサで塗布するときに、ディスペンサの先端がレンズに接触し、レンズ位置が変化したときに、レンズ位置、傾きの再調整を行うことができないという問題がある。
【0011】
また、第2レンズにおいても、レーザを点灯させてレンズの位置調整、接着を行うので、第1レンズへの接触による破損や、第1レンズと同様に接着剤の付着が起こり易いという問題がある。
【0012】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、半導体レーザにレンズを位置精度良くかつ接着剤が半導体レーザとレンズの隙間に浸透して発光面に付着することなく組み付けることができる半導体レーザへのレンズ組み付け方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体レーザへのレンズ組み付け方法は、半導体レーザにコリメータレンズを紫外線硬化型接着剤にて組み付ける方法であって、半導体レーザとコリメータレンズを位置決めして配置した状態でコリメータレンズの複数の取付部と半導体レーザの間に接着剤を塗布し、その後塗布した接着剤の仮硬化を行い、次にコリメータレンズの位置調整後に複数の接着剤塗布部に同時に紫外線を照射して接着剤を硬化させるものである。
【0014】
このような構成により、接着剤の塗布後に仮硬化することにより、半導体レーザとコリメータレンズの隙間に接着剤が浸透して発光面に付着するのを防止しながらコリメータレンズの位置調整が可能な状態とし、コリメータレンズの位置調整後接着剤を同時に硬化させることで接着剤が発光面に付着することなくかつ接着剤の硬化収縮の影響を殆ど受けずに半導体レーザにレンズを位置精度良く組み付けることができる。
【0015】
また、本発明の半導体レーザへのレンズ組み付け方法は、半導体レーザからの出射光を平行光化するレンズを半導体レーザに組み付ける方法であって、半導体レーザの活性層に垂直な方向にレーザ光を平行光化する第1レンズと、活性層に平行な方向にレーザ光を平行光化する第2レンズとを、半導体レーザのレーザ発光部と同ピッチの発光点を有する光源を用いてレンズ間の位置調整を行い、相互に接着固定して組レンズに結合し、組レンズを半導体レーザに組み付けるものである。
【0016】
このような構成により、半導体レーザへのレンズの位置調整、接着を1回で済ますことができ、また第2レンズの第1レンズへの接触による破損や、接着剤の付着の可能性を低減することができる。
【0017】
また、この組レンズと半導体レーザの組み付けに際して、上記のように半導体レーザと組レンズを位置決めして配置し、組レンズの複数の取付部と半導体レーザの間に接着剤を塗布し、塗布した接着剤の仮硬化を行い、組レンズの位置調整後に複数の接着剤塗布部に同時に紫外線を照射して接着剤を硬化させることにより、上記のように接着剤が発光面に付着することなくかつ接着剤の硬化収縮の影響を殆ど受けずに半導体レーザに組レンズを位置精度良く組み付けることができる。
【0018】
また、仮硬化時に照射する光量は、接着剤硬化に必要な光量の1/60000から1/3000とするのが好適である。
【0019】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
以下、本発明の半導体レーザへのレンズ組み付け方法の第1の実施形態について、図1〜図3を参照して説明する。
【0020】
図1、図2において、1は半導体レーザであり、ライン状に配列された複数のレーザ発光部3を有する半導体レーザアレイ2を冷却板4に装着して構成され、冷却板4にて半導体レーザアレイ2を冷却するように構成されている。
【0021】
5は、各レーザ発光部3からの出射光を平行光化するため、半導体レーザアレイ2の発光面に所定の隙間を設けて対向配置されるコリメータレンズであり、両端に半導体レーザ1に組み付けるための取付部6a、6bが冷却板4の両側端面に向けて延設され、冷却板4の両側端面と取付部6a、6bの間に接着剤7a、7bを塗布し、この接着剤7a、7bを硬化させることでコリメータレンズ5が半導体レーザ1に組み付けられている。接着剤7a、7bとしては、一般的に紫外線硬化型接着剤、特に耐熱性が高く、硬化収縮が小さいエポキシ系が用いられる。
【0022】
なお、半導体レーザ1の各レーザ発光部3から放射されるレーザ光の放射角は、レーザ発光部3の活性層に垂直な方向に大きく広がるため、レーザ光を有効に利用するためには、コリメータレンズ5のNAは0.8mm程度のものが必要である。また、このような半導体レーザ1を積み重ねることで高出力化する場合、コリメータレンズ5の断面高さ寸法を冷却板4の厚みと同程度とし、その厚みを2mmとすると、コリメータレンズ5の焦点距離は0.8mm程度、作動距離は0.3mm程度となる。
【0023】
次に、図3を参照して、半導体レーザ1に上記のようにコリメータレンズ5を組み付ける手順を説明する。
【0024】
まず、コリメータレンズ5と半導体レーザ1のアライメント(位置合わせ)を行う。コリメータレンズ5と各レーザ発光部3の位置がずれると、コリメータレンズ5からの射出光の方向、平行度にずれが生じ、この平行光を集光したときの集光スポットが広がってしまう。例えば、半導体レーザ1の各レーザ発光部3とコリメータレンズ5とが10μm位置ずれを起こすと、コリメータレンズ5の焦点距離が0.6mmのとき、コリメータレンズ5の射出光の方向が1°ずれる。半導体レーザ1を積み重ねて用いるとき、この平行光をf=100mmの集光レンズで集光すると、スポット径は3.5mmにもなる。これに対してコリメータレンズ5の位置ずれがない場合には、スポット径は0.05mmに絞ることができる。
【0025】
このようにコリメータレンズ5の位置、傾きを高精度に調整した後、接着剤7aを塗布する。接着剤7aは冷却板4と取付部6aとの間に充填されるように塗布する。接着剤7aを塗布した後放置すると、毛細管現象により接着剤7aはコリメータレンズ5と半導体レーザアレイ2の発光面との間に浸透してくる。接着剤7aの粘度40000cps、室温25℃、コリメータレンズ5と発光面との間の距離が0.3mmの場合、取付部6aの長さに相当する約2mmの距離を20秒で移動する速度で接着剤7aが浸透する。この速度は、接着剤7aの塗布量が少ないほど遅く、多いほど速い。そこで、コリメータレンズ5と半導体レーザアレイ2間への接着剤の浸透速度を遅くするために、塗布量を少なくすると、取付部6aと冷却板4との間に接着剤7aが十分に充填されず隙間ができ、あるいは強度が足りなくなるという問題が生じる。
【0026】
また、接着剤塗布後、20秒以下で紫外線を照射し接着剤を硬化した場合、接着剤塗布時にコリメータレンズ5の位置ずれが生じ、この時間内での再アライメントができないと、コリメータレンズ5の位置ずれが生じたまま接着剤7aが硬化してしまうことになる。また、コリメータレンズ5の位置ずれがない場合でも、コリメータレンズ5を片側づつ硬化すると、接着剤の硬化収縮によりコリメータレンズ5の位置ずれが起こり易くなる。
【0027】
そこで、接着剤7aの仮硬化を行う。仮硬化では、接着剤7aを完全に硬化させず、コリメータレンズ5と半導体レーザアレイ2の発光面との間に接着剤が流れ込まない程度で、かつレンズアライメントを行える程度の硬さとする。例えば、XOC−02THK(協立化学産業製)では、紫外線照射硬化光量6000mJ/cm2 に対し、1/60000〜1/3000の光量、すなわち、0.1〜2mJ/cm2 の光量にすればよい。10mJ/cm2 の光量では、接着剤が硬くなりすぎ、レンズアライメントができなくなる。逆に、0.05mJ/cm2 以下の光量では、接着剤7aが硬化せず、半導体レーザアレイ2の発光面への浸透を防げない。
【0028】
このように接着剤7aを塗布し、20秒以内に0.1〜2mJ/cm2 の光量を照射した後、次いで接着剤7bを塗布し、同様に20秒以内に、0.1〜2mJ/cm2 の光量を照射する。
【0029】
次に、コリメータレンズ5に位置ずれがあれば、再度、レンズアライメントを行う。そのあと、接着剤7a、7bに対して、両方同時に紫外線を照射することで、均等に硬化収縮を起こし、コリメータレンズ5の位置ずれを防止する。
【0030】
以上のように本実施形態によれば、紫外線硬化型接着剤において、紫外線照射量を本硬化時の1/60000〜1/3000の光量で仮硬化することで、半導体レーザアレイ2の発光面への接着剤の浸透を防ぐことができる。さらに、仮硬化後、コリメータレンズ5のアライメントを行えるので、半導体レーザ1とコリメータレンズ5との間の位置決めを精度良く行うことができ、集光特性の高い平行光を得ることができる。また、コリメータレンズ5の両側の接着剤7a、7bを本硬化のときに両方同時に紫外線を照射することで、均等な硬化収縮を起こさせ、コリメータレンズ5の位置ずれを低減することができる。
【0031】
(第2の実施形態)
次に、本発明の半導体レーザへのレンズ組み付け方法の第2の実施形態について、図4〜図6を参照して説明する。
【0032】
図4は、半導体レーザ1の出射光を2つのシリンドリカルレンズ8、9を用いて平行光化する構成を示している。1は半導体レーザであり、半導体レーザアレイ2の複数のレーザ発光部3の活性層がX−Z面上でX方向にライン状に配列されている。8は、第1のレンズであり、半導体レーザ1の各レーザ発光部3の活性層に垂直な方向(Y方向)に出射光を平行光化するシリンドリカルレンズにて構成されている。9は、第2レンズであり、半導体レーザ1の各レーザ発光部3の活性層に平行な方向(X方向)に出射光を平行光化するシリンドリカルレンズアレイにて構成されている。
【0033】
図5に、第1レンズ8と第2レンズ9を位置調整するレンズ位置調整装置の光学系を示す。10は、半導体レーザ1における各レーザ発光部3のピッチと等しいピッチ間隔で配設されたレーザあるいはLEDなどの発光点11を有する光源である。12は、第1レンズ8と第2レンズ9で平行光化された光を集光するレンズであり、13はレンズ12の後側の焦点位置に配設されたCCDカメラである。14は、CCDカメラ13で撮像した画像を表示するモニターテレビであり、15は撮像したビーム像である。16a、16bは第1レンズ8と第2レンズ9を固定する接着剤である。
【0034】
次に、以上の構成におけるレンズ組み付け手順を説明する。まず、第2レンズ9を取り付けず、第1レンズ8のみを取り付けて光源10を点灯する。図6(a)に示すように、横長の楕円形のビーム像17が画面中央にくるように第1レンズ8の位置調整を行う。次に、第2レンズ9を取り付け、光源10を点灯する。図6(b)に示すように、円形のビーム像18が画面中央にくるように第2レンズ9の位置を調整する。最後に、第1レンズ8の取付部と第2レンズ9の取付部に接着剤16a、16bを塗布して硬化し、第1レンズ8と第2レンズ9を相互に固定して組レンズ19を構成する。
【0035】
以上のようにして構成された第1レンズ8と第2レンズ9から成る組レンズ19を半導体レーザ1に上記第1の実施形態で説明した方法で組み付けることで、半導体レーザ1に対する第1レンズ8と第2レンズ9の位置調整及び接着を1回で済ますことができる。また、第2レンズ9の第1レンズ8への接触による破損、あるいは接着剤の付着の可能性を低減することができる。また、半導体レーザ1には、レーザ発光部3の並びが直線からずれていることがあるが、レンズ位置調整装置で用いる光源10に精度の高いものを用いることで、第1レンズ8と第2レンズ9の組み付けを高精度で行うことができる。
【0036】
【発明の効果】
本発明の半導体レーザへのレンズ組み付け方法によれば、コリメータレンズの複数の取付部と半導体レーザの間に塗布した接着剤の仮硬化を行うことで、半導体レーザとコリメータレンズの隙間に接着剤が浸透して発光面に付着するのを防止しながら、コリメータレンズの位置調整を可能とし、コリメータレンズの位置調整を行った後接着剤を同時に硬化させるので、接着剤が発光面に付着することなくかつ接着剤の硬化収縮の影響を殆ど受けずに半導体レーザにレンズを位置精度良く組み付けることができる。
【0037】
また、半導体レーザの活性層に垂直な方向にレーザ光を平行光化する第1レンズと、活性層に平行な方向にレーザ光を平行光化する第2レンズとを、半導体レーザのレーザ発光部と同ピッチの発光点を有する光源を用いてレンズ間の位置調整を行い、相互に接着固定して組レンズに結合し、組レンズを半導体レーザに組み付けると、半導体レーザへのレンズの位置調整、接着を1回で済ますことができ、また第2レンズの第1レンズへの接触による破損や、接着剤の付着の可能性を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態における半導体レーザとコリメータレンズの組み付け状態を示す平面図である。
【図2】図1のA−A矢視図である。
【図3】同実施形態における半導体レーザにコリメータレンズを組み付ける手順のフロー図である。
【図4】本発明の第2の実施形態における半導体レーザとコリメータレンズの組み付け状態を示し、(a)は側面図、(b)は平面図である。
【図5】同実施形態におけるレンズ位置調整装置の模式図である。
【図6】同実施形態におけるレンズ位置調整時におけるCCDカメラの撮像画像の説明図である。
【図7】従来例の半導体レーザとコリメータレンズの組み付け手順のフロー図である。
【符号の説明】
1 半導体レーザ
3 レーザ発光部
5 コリメータレンズ
6a、6b 取付部
7a、7b 接着剤
8 第1レンズ
9 第2レンズ
10 光源
11 発光点
19 組レンズ
Claims (4)
- 半導体レーザにコリメータレンズを紫外線硬化型接着剤にて組み付ける方法であって、半導体レーザとコリメータレンズを位置決めして配置した状態でコリメータレンズの複数の取付部と半導体レーザの間に接着剤を塗布し、その後塗布した接着剤の仮硬化を行い、次にコリメータレンズの位置調整後に複数の接着剤塗布部に同時に紫外線を照射して接着剤を硬化させることを特徴とする半導体レーザへのレンズ組み付け方法。
- 半導体レーザからの出射光を平行光化するレンズを半導体レーザに組み付ける方法であって、半導体レーザの活性層に垂直な方向にレーザ光を平行光化する第1レンズと、活性層に平行な方向にレーザ光を平行光化する第2レンズとを、半導体レーザのレーザ発光部と同ピッチの発光点を有する光源を用いてレンズ間の位置調整を行い、相互に接着固定して組レンズに結合し、組レンズを半導体レーザに組み付けることを特徴とする半導体レーザへのレンズ組み付け方法。
- 半導体レーザと組レンズを位置決めして配置し、組レンズの複数の取付部と半導体レーザの間に接着剤を塗布し、塗布した接着剤の仮硬化を行い、組レンズの位置調整後に複数の接着剤塗布部に同時に紫外線を照射して接着剤を硬化させることを特徴とする請求項2記載の半導体レーザへのレンズ組み付け方法。
- 仮硬化時に照射する光量を、接着剤硬化に必要な光量の1/60000から1/3000とすることを特徴とする請求項1又は3に記載の半導体レーザへのレンズ組み付け方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002246487A JP2004087774A (ja) | 2002-08-27 | 2002-08-27 | 半導体レーザへのレンズ組み付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002246487A JP2004087774A (ja) | 2002-08-27 | 2002-08-27 | 半導体レーザへのレンズ組み付け方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004087774A true JP2004087774A (ja) | 2004-03-18 |
Family
ID=32054375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002246487A Pending JP2004087774A (ja) | 2002-08-27 | 2002-08-27 | 半導体レーザへのレンズ組み付け方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004087774A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014138021A (ja) * | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | 調芯装置及びそれを用いた調芯方法 |
US9929531B2 (en) | 2013-05-30 | 2018-03-27 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical module |
US10439358B2 (en) | 2016-04-28 | 2019-10-08 | Nichia Corporation | Manufacturing method of light-emitting device |
US10535849B2 (en) | 2018-02-02 | 2020-01-14 | Lg Chem, Ltd. | Method for manufacturing battery module and battery module |
-
2002
- 2002-08-27 JP JP2002246487A patent/JP2004087774A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014138021A (ja) * | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | 調芯装置及びそれを用いた調芯方法 |
US9929531B2 (en) | 2013-05-30 | 2018-03-27 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical module |
US10439358B2 (en) | 2016-04-28 | 2019-10-08 | Nichia Corporation | Manufacturing method of light-emitting device |
USRE49645E1 (en) | 2016-04-28 | 2023-09-05 | Nichia Corporation | Manufacturing method of light-emitting device |
US10535849B2 (en) | 2018-02-02 | 2020-01-14 | Lg Chem, Ltd. | Method for manufacturing battery module and battery module |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4980329B2 (ja) | 少なくとも1つの高出力ダイオードレーザを含む高出力レーザダイオードアレイ、及びそれを含むレーザ光源 | |
USRE49645E1 (en) | Manufacturing method of light-emitting device | |
JP6147341B2 (ja) | 半導体レーザモジュール | |
JP5979648B2 (ja) | フリット密封システム及び方法 | |
US20030063391A1 (en) | Method and apparatus for illuminating a spatial light modulator | |
CN101142534A (zh) | 曝光设备和曝光方法 | |
WO2010047147A1 (ja) | 半導体レーザモジュール及びその製造方法 | |
JP4647314B2 (ja) | 光源装置とその製造方法および記録装置 | |
JP2011513774A (ja) | 光伝送装置の製造方法及び光伝送装置 | |
JP2004087774A (ja) | 半導体レーザへのレンズ組み付け方法 | |
WO2002095464A1 (fr) | Module optique et procede d'assemblage | |
JP2007219337A (ja) | 光学部品の接着固定方法およびレーザ光源装置 | |
CN111264007B (zh) | 激光光源装置及其制造方法 | |
JP2004101847A (ja) | 光モジュール | |
US8169875B2 (en) | Optical pickup device and method of manufacture therefor | |
JP2004087776A (ja) | 半導体レーザへの組付レンズ及びレンズ組付構造体 | |
JP2002232056A (ja) | 半導体レーザ装置、及び、半導体レーザ装置のレンズ位置固定方法 | |
JP4662016B2 (ja) | 光源装置の製造装置 | |
JP7358004B2 (ja) | 光デバイスアセンブリ | |
WO2021177017A1 (ja) | 半導体レーザ装置およびその製造方法 | |
US8448197B2 (en) | Optical pickup device with protrusions in a laser beam direction to shield ultraviolet light and method for manufacturing the same | |
JP2002296530A (ja) | 光ファイバ光学装置 | |
KR102312392B1 (ko) | 라이다 모듈용 기판의 접합 방법 | |
JP2006185994A (ja) | 光学素子の製造方法 | |
JP3802456B2 (ja) | 積層型光導波路及びレーザ発光装置 |