JP2004087533A - 半導体装置の製造方法およびそれに使用されるボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ボンディング装置30は配線基板20をピッチ送りするフィーダ32と、チップ10をピックアップするピックアップヘッド77と、ピックアップヘッド77を反転させるΘ軸ロボット75と、ピックアップヘッド77がピックアップしたチップ10を受け取って配線基板20の下面にボンディングする第一ボンディングヘッド44と、ピックアップヘッド77がピックアップして反転させたチップ10を受け取って配線基板20の上面にボンディングする第二ボンディングヘッド56とを備えている。配線基板の両面に二個のチップを第一ボンディングヘッドと第二ボンディングヘッドにより同時にボンディングできる。
【効果】配線基板の両面にチップを有するメモリモジュールを一台のボンディング装置で製造できるため、設備投資、製造コスト、製造時間を低減できる。
【選択図】 図8
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造技術、特に、半導体チップ(chip of semiconductor 。能動素子、受動素子、これらを電気的に接続する回路を含む集積回路が作り込まれたチップ。以下、チップという。)をキャリア(carrier )に機械的に接続(bond。原子間力が働く程度に密着していない機械的な接続。以下、ボンディングという。)するボンディング技術に関し、例えば、RAMモジュール(以下、メモリモジュールという。)を製造するのに利用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
チップをキャリアにボンディングするボンディング装置として、BGA/CSP用ダイボンダおよびフリップチップボンダが、普及しつつある。
【0003】
ところで、メモリモジュールの規格サイズを維持したままメモリ容量を増加するために、集積回路の一例であるメモリ回路が作り込まれたチップをメモリモジュールのキャリアの表裏面にボンディングすることが、考えられる。
【0004】
このメモリモジュールの製造方法としては、キャリアの一方の主面にチップをフリップチップボンダによってボンディングした後に、キャリアの他方の主面にチップをBGA/CSP用ダイボンダによってボンディングする方法が、考えられる。
【0005】
なお、BGA/CSP用ダイボンダおよびフリップチップボンダを述べている例としては、株式会社工業調査会2000年11月27日発行「電子材料2000年11月号別冊」P124〜P129、がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、キャリアの一方の主面にチップをフリップチップボンダによってボンディングした後に、キャリアの他方の主面にチップをBGA/CSP用ダイボンダによってボンディングするメモリモジュールの製造方法においては、二種類のボンダを設備する必要があるため、設備投資が高くなるばかりでなく、二種類のボンダにキャリアやチップを実装する必要があるため、段取り時間や工数が増加するという問題点がある。
【0007】
本発明の目的は、キャリアの表裏面に二個のチップをボンディングすることができるボンディング技術を提供することにある。
【0008】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通りである。
【0010】
すなわち、ボンディング装置は、キャリアを支持して一方向に移動させるフィーダと、半導体チップをピックアップするピックアップヘッドと、このピックアップヘッドを180度反転させる反転装置と、前記フィーダに支持されたキャリアの一方の片側に設置されて前記ピックアップヘッドがピックアップした半導体チップを受け取って前記キャリアの一方の主面にボンディングする第一ボンディングヘッドと、前記フィーダに支持されたキャリアの他方の片側に設置されて前記ピックアップヘッドがピックアップした半導体チップを受け取って前記キャリアの他方の主面にボンディングする第二ボンディングヘッドとを備えていることを特徴とする。
【0011】
前記したボンディング装置においては、ピックアップヘッドによってピックアップされた第一の半導体チップはピックアップヘッドが反転装置によって180度反転された後に第一ボンディングヘッドに受け渡される。他方、ピックアップによってピックアップされた第二の半導体チップはそのまま第二ボンディングヘッドに受け渡される。第一ボンディングヘッドに受け渡された第一の半導体チップはフィーダに支持されたキャリアの一方の主面に第一ボンディングヘッドによってボンディングされる。同時に、第二ボンディングヘッドに受け渡された第二の半導体チップはキャリアの他方の主面に第二ボンディングヘッドによってボンディングされる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【0013】
本実施の形態において、本発明に係る半導体装置の製造方法は、メモリモジュールを製造する方法として構成されており、その特徴工程である図1に示されたチップ10を図2に示されたキャリアとしての配線基板20にボンディングするダイボンディング工程は、図3および図4に示されたボンディング装置30によって実施される。
【0014】
図1に示されたチップ10は長方形の平板形状に形成されたサブストレート11を備えており、サブストレート11のアクティブエリア側の主面である第一主面12側にはRAM回路が作り込まれている。サブストレート11の第一主面12には複数個の電極パッド13が両長辺の端部にそれぞれ一列ずつ整列されて形成されており、チップ10の第一主面12にはパッシベーション膜(passivation film)14が各電極パッド13をそれぞれ露出させた状態で全体的に被着されている。各電極パッド13には金材料(金または金合金)からなるバンプ15がそれぞれ突設されており、各バンプ15の頭部はパッシベーション膜14の上面から突出した状態になっている。バンプ15は金線が使用されたワイヤボンディング技術によって略半球形状に形成されている。
【0015】
図3および図4に示されているように、チップ10は多数個が所謂ICの製造方法の前工程において、ウエハシート17およびウエハリング18に装着された状態でボンディング装置30に供給される。すなわち、チップ10は多数個がICの製造方法の前工程においてウエハ16にマトリックス状に配列されて作り込まれる。ウエハ16のアクティブエリア側主面である第一主面とは反対側の第二主面にはウエハシート17が貼付され、ウエハシート17の外周辺部にはウエハリング18が貼付される。ウエハシート17が貼付された状態で、ウエハ16はダイシング工程においてスクライビイングラインに沿って長方形の平板形状に分断され、多数個のチップ10が製造された状態になる。分断されたチップ10はウエハ16にウエハシート17が貼付されているため、ばらばらになることはない。そして、チップ10群はウエハシート17およびウエハリング18に保持された状態で、ボンディング装置30のピックアップ装置に供給される。
【0016】
ボンディング装置30の他方のワークである図2に示された配線基板20は、基板本体(以下、本体という。)21を備えており、本体21はガラス含浸エポキシ樹脂やセラミック等の絶縁材料が使用されて長方形の平板形状に形成されている。本体21の短辺はチップ10の長辺よりも大きく設定されており、本体21の長辺は八個のチップ10が横並びに表面実装されてもなお余裕が残るように設定されている。本体21の表裏両主面における一方の長辺の端部には多数個の外部端子22が、互いに平行に並べられて形成されている。本体21の表裏両面における外側端子22群を除く領域には仮想的に形成された略長方形のボンディングエリア23が八箇所、所定の間隔をもって設定されており、各ボンディングエリア23は長辺方向が本体21の長辺と平行な中心線に直交されている。各ボンディングエリア23にはチップ10を機械的かつ電気的に接続するためのランド24が複数個、左右で一対の列に配置されてそれぞれ形成されており、各ランド24は本体21の内部に配線された電気配線(図示せず)によって所定の各外部端子22に互いに絶縁されてそれぞれ接続されている。
【0017】
図3に示されているように、ボンディング装置30は機台31を備えており、機台31の略中央部には配線基板20を一方向(以下、右方向とする。)にピッチ送りするフィーダ32が敷設されている。機台31のフィーダ32の上流側端部の位置と下流側端部の位置とには、配線基板20をフィーダ32に供給するためのローディング装置33と、ボンディング済みの配線基板20をフィーダ32から排出するためのアンローディング装置34とがそれぞれ設備されている。フィーダ32のローディング装置33の下流側には、銀ペースト等の接着材を塗布するための塗布装置35が設備されている。フィーダ32における塗布装置35の下流側の位置にはボンディングステーション36が設定されており、機台31のボンディングステーション36の前側の位置にはウエハシート17およびウエハリング18に装着されたウエハ16をセットされるピックアップ装置37が設置されている。機台31のピックアップ装置37の左側の位置にはウエハローディング・アンローディング装置38が設置されており、ウエハローディング・アンローディング装置38はウエハシート17およびウエハリング18に装着されたウエハ16をピックアップ装置37にローディングし、かつまた、チップ10がピックアップされた空のウエハリング18をピックアップ装置37からアンローディングするように構成されている。
【0018】
図3および図4に示されているように、ボンディングステーション36における機台31の上にはY軸ロボット41が前後方向(以下、Y方向という。)に敷設されており、Y軸ロボット41はX軸ロボット42をY方向に往復移動させるように構成されている。X軸ロボット42はその上に設置されたZ軸ロボット43をフィーダ32の送り方向である左右方向(以下、X方向という。)に往復移動させるように構成されており、Z軸ロボット43はその上に設置された第一ボンディングヘッド44を垂直方向(以下、Z方向という。)に往復移動させるように構成されている。第一ボンディングヘッド44はチップ10の第二主面を真空吸着して保持するとともに、内蔵されたヒータ(図示せず)によって加熱するように構成されている。
【0019】
ボンディングステーション36のフィーダ32の後脇には、第二のY軸ロボット51がY方向に敷設されており、第二のY軸ロボット51は第二のX軸ロボット52をY方向に往復移動させるように構成されている。第二のX軸ロボット52はその前端に設置された第二のZ軸ロボット53をX方向に往復移動させるように構成されており、第二のZ軸ロボット53はその前端に設置された昇降台54をZ方向に往復移動させるように構成されている。昇降台54にはヒートブロック55が設置されており、ヒートブロック55の下面には第二ボンディングヘッド56がZ方向下向きに設置されている。第二ボンディングヘッド56はチップ10の第二主面を真空吸着して保持するとともに、ヒートブロック55によって加熱するように構成されている。
【0020】
図4に示されているように、ボンディングステーション36の第二のY軸ロボット51の下側には第三のY軸ロボット61がY方向に敷設されており、第三のY軸ロボット61は第三のX軸ロボット62および第四のX軸ロボット63をY方向に往復移動させるように構成されている。第三のX軸ロボット62および第四のX軸ロボット63はその前端に設置された画像認識装置64、65をそれぞれX方向に往復移動させるように構成されている。下側に配置された第一の画像認識装置64はフィーダ32に保持された配線基板20の下面の特徴パターンと第一ボンディングヘッド44に保持されたチップ10の特徴パターンとを認識するように構成されており、上側に配置された第二の画像認識装置65はフィーダ32に保持された配線基板20の上面の特徴パターンと第二ボンディングヘッド56に保持されたチップ10の特徴パターンとを認識するように構成されている。
【0021】
図3に示されているように、ピックアップ装置37は機台31の上に敷設されたY軸ロボット71を備えており、Y軸ロボット71はX軸ロボット72をY方向に往復移動させるように構成されている。X軸ロボット72はその上に立脚されたスタンド73をX方向に往復移動させるように構成されており、スタンド73にはZ軸ロボット74が設置されている。Z軸ロボット74は反転装置としてのΘ軸ロボット75をZ方向に往復移動させるように構成されており、Θ軸ロボット75はアーム76を垂直面内において180度往復回動させるように構成されている。アーム76の先端部にはピックアップヘッド77が直角に設置されており、ピックアップヘッド77はウエハ16のチップ10を一個ずつ真空吸着保持してピックアップするように構成されている。ウエハ16の真上にはウエハ16に貼付されたチップ10を認識するための画像認識装置78が垂直方向下向きに設置されている。
【0022】
次に、前記構成に係るボンディング装置による本発明の一実施の形態であるメモリモジュールの製造方法のダイボンディング工程を説明する。
【0023】
ローディング装置33からフィーダ32に供給された配線基板20が一ピッチずつ歩進送りされてボンディングステーション36に達し、配線基板20の最初のボンディングエリア23がボンディングステーション36の画像認識装置64、65の位置に対向すると、配線基板20は間欠停止される。
【0024】
他方、図4に示されているように、ピックアップ装置37においてはウエハ16の良品のチップ10が画像認識装置78によって選定され、ピックアップヘッド77の真下にXYテーブルの操作によって相対的に対向される。このチップ10が突き上げ棒(図示せず)によって突き上げられると、このチップ10の真上で待機したピックアップヘッド77が突き上げられたチップ10を真空吸着保持する。
【0025】
ピックアップヘッド77がチップ10を保持すると、ピックアップ装置37のY軸ロボット71がX軸ロボット72を後退させることによって、図5に示されているように、チップ10が第一の受け渡し位置に搬送され、第一ボンディングヘッド44に受け渡される。この際、チップ10は第一ボンディングヘッド44にバンプ15の側である第一主面12が上向きになった状態で受け渡される。チップ10を受け取って真空吸着保持した第一ボンディングヘッド44は第一のY軸ロボット41によって、図6に示されているように、フィーダ32の真下位置であるボンディングステーション36に移動される。
【0026】
他方、チップ10を第一ボンディングヘッド44に受け渡したピックアップヘッド77はY軸ロボット71によってウエハ16の位置に戻され、次のチップ10をピックアップする。次のチップ10をピックアップすると、Θ軸ロボット75がアーム76を180度回動させることにより、図6に示されているように、チップ10が第二の受け渡し位置に搬送される。この状態において、チップ10は第一主面が下向きになった状態になっている。チップ10が第二の受け渡し位置に搬送されると、第二のY軸ロボット51が第二のX軸ロボット52を前進させることにより、第二のボンディングヘッド56が第二の受け渡し位置に移動されてピックアップヘッド77に保持されたチップ10に対向され、チップ10を真空吸着保持する。この際、第二のボンディングヘッド56はチップ10をバンプ15の側である第一主面が下向きになった状態で受け取る。チップ10を受け取って真空吸着保持した第二ボンディングヘッド56は第二のY軸ロボット51により、図7に示されているように、フィーダ32の真上位置であるボンディングステーション36に移動される。
【0027】
他方、チップ10を第二ボンディングヘッド56に受け渡したピックアップヘッド77はΘ軸ロボット75によって図7に示されているように、逆方向に180度回動されることにより、ウエハ16の位置に戻され、次のチップ10をピックアップするべく待機する。
【0028】
翻って、第一ボンディングヘッド44のチップ10と第二ボンディングヘッド56のチップ10とがボンディングステーション36において配線基板20を挟んで対向されると、図7に示されているように、第三のY軸ロボット61が第三のX軸ロボット62および第四のX軸ロボット63をそれぞれ前進させることにより、第一の画像認識装置64がフィーダ32に保持された配線基板20の下面と第一ボンディングヘッド44に保持されたチップ10との間に挿入されるとともに、第二の画像認識装置65がフィーダ32に保持された配線基板20の上面と第二ボンディングヘッド56に保持されたチップ10との間に挿入される。第一の画像認識装置64は配線基板20の下面の特徴パターンと第一ボンディングヘッド44に保持されたチップ10の特徴パターンとを認識することにより、配線基板20の下面のランド24と第一ボンディングヘッド44のチップ10のバンプ15とを位置合わせする。第二の画像認識装置65は配線基板20の上面の特徴パターンと第二ボンディングヘッド56に保持されたチップ10の特徴パターンとを認識することにより、配線基板20の上面のランド24と第二ボンディングヘッド56のチップ10のバンプ15とを位置合わせする。位置合わせが終了すると、両画像認識装置64、65は第三のY軸ロボット61によって元の位置に戻される。
【0029】
両方の位置合わせが終了すると、図8に示されているように、第一ボンディングヘッド44が第一のZ軸ロボット43によって上昇されるとともに、第二ボンディングヘッド56が第二のZ軸ロボット53によって下降されることにより、第一ボンディングヘッド44のチップ10が配線基板20の下面の所定のボンディングエリア23にボンディングされ、第二ボンディングヘッド56のチップ10が配線基板20の上面の所定のボンディングエリア23にボンディングされる。
この際、配線基板20の下面のランド24と第一ボンディングヘッド44のチップ10のバンプ15とが予め位置合わせされており、配線基板20の上面のランド24と第二ボンディングヘッド56のチップ10のバンプ15とが予め位置合わせされているため、第一ボンディングヘッド44のチップ10は配線基板20の下面の所定のボンディングエリア23に適正にボンディングされ、第二ボンディングヘッド56のチップ10は配線基板20の上面の所定のボンディングエリア23に適正にボンディングされる。
【0030】
以降、前記作動が繰り返されることにより、二個のチップ10が配線基板20の下面および上面における八個ずつのボンディングエリア23に同時にボンディングされて行く。合計十六個のチップ10が一枚の配線基板20にボンディングされると、ボンディング済みの配線基板20がボンディングステーション36から排出され、次の配線基板20がボンディングステーション36に自動的に供給されて来る状態になる。
【0031】
以上のようにして、図9に示されたメモリモジュール25が製造されたことになる。すなわち、メモリモジュール25の配線基板20の第一主面および第二主面にはRAM回路が作り込まれたチップ10がそれぞれ八個ずつボンディングされている。
【0032】
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
【0033】
1) 二個のチップを配線基板の表裏面にアクティブエリア側主面を配線基板側に向けた状態で同時にボンディングすることにより、配線基板の一方の主面にチップをフリップチップボンダによってボンディングした後に、他方の主面にチップをBGA/CSP用ダイボンダによってボンディングするメモリモジュールの製造方法に比べて、配線基板の表裏面にチップを有するメモリモジュールの製造方法の製造コストや製造時間を低減することができる。
【0034】
2) 配線基板を支持して一方向に移動させるフィーダと、チップをピックアップするピックアップヘッドと、このピックアップヘッドを180度反転させるΘ軸ロボットと、フィーダに支持された配線基板の一方の片側に設置されてピックアップヘッドがピックアップしたチップを受け取って配線基板の一方の主面にボンディングする第一ボンディングヘッドと、フィーダに支持された配線基板の他方の片側に設置されてピックアップヘッドが180度反転したチップを受け取って配線基板の他方の主面にボンディングする第二ボンディングヘッドとをボンディング装置に設置することにより、配線基板の表裏面にチップを有するメモリモジュールを一台のボンディング装置によって製造することができるため、フリップチップボンダとBGA/CSP用ダイボンダとを設備する場合に比べて設備投資を低減することができる。
【0035】
3) また、配線基板の表裏面にチップを有するメモリモジュールを一台のボンディング装置によって製造することにより、フリップチップボンダとBGA/CSP用ダイボンダとによって製造する場合に比べて段取り時間や工数を低減するため、材料投入から製品の完成までの期間を短縮することができる。
【0036】
4) 第一ボンディングヘッドが受け取ったチップおよび配線基板の一方の主面の特徴パターンを認識する第一画像認識装置と、第二ボンディングヘッドが受け取ったチップおよび配線基板の他方の主面の特徴パターンを認識する第二画像認識装置とを設置することにより、二個のチップが配線基板の表裏面に同時にボンディングされる以前に、二個のチップと配線基板の表裏面とをそれぞれ位置合わせすることができるため、二個のチップを配線基板の表裏面に正確にボンディングすることができる。
【0037】
5) フィーダに支持された配線基板の一方の主面側に設置されて、ピックアップヘッドがピックアップしたチップをそのまま受け取って配線基板の一方の主面にボンディングする第一ボンディングヘッドを備えていることにより、通常のBGA/CSP用ダイボンダを兼用することができるため、設備投資を低減することができる。
【0038】
6) チップをピックアップしたピックアップヘッドを180度反転させるΘ軸ロボットと、フィーダに支持された配線基板の一方の主面に設置されてピックアップヘッドが180度反転したチップを受け取って配線基板の一方の主面にボンディングする第二ボンディングヘッドとを備えていることにより、フリップチップボンダを兼用することができるため、設備投資を低減することができる。
【0039】
以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0040】
例えば、ピックアップヘッドが反転する垂直平面は、ピックアップヘッドの移動線を含む垂直平面に限らず、移動線を含む平面と直角の垂直平面であってもよいし、場合によっては水平面であってもよい。
【0041】
ピックアップヘッドを反転させる反転装置は、Θ軸ロボットとアームとによって構成するに限らない。
【0042】
フィーダやピックアップヘッド、第一ボンディングヘッドおよび第二ボンディングヘッドの具体的な構成は、前記実施の形態に限らない。
【0043】
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明をその背景となった利用分野であるメモリモジュールの製造技術について説明したが、それに限定されるものではなく、混成集積回路装置等の半導体装置の製造技術全般に適用することができる。
【0044】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。
【0045】
二個の半導体チップをキャリアの表裏面に同時にボンディングすることにより、キャリアの一方の主面に半導体チップをフリップチップボンダによってボンディングした後に、他方の主面に半導体チップをBGA/CSP用ダイボンダによってボンディングする半導体装置の製造方法に比べて、キャリアの表裏面に半導体チップを有する半導体装置の製造方法の製造コストや製造時間を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態であるメモリモジュールの製造方法に使用されるチップを示しており、(a)は平面図、(b)は(a)のb−b線に沿う正面断面図である。
【図2】同じく配線基板を示しており、(a)は一部省略平面図、(b)は主要部の拡大平面図、(c)は(b)のc−c線に沿う断面図である。
【図3】本発明の一実施の形態であるボンディング装置を示す斜視図である。
【図4】同じく一部省略側面断面図である。
【図5】チップの第一ボンディングヘッドへの受け渡しステップを示す一部省略側面断面図である。
【図6】チップの第二ボンディングヘッドへの受け渡しステップを示す一部省略側面断面図である。
【図7】位置合わせステップを示す一部省略側面断面図である。
【図8】ボンディングステップを示す一部省略側面断面図である。
【図9】メモリモジュールを示しており、(a)は一部省略平面図、(b)は主要部の拡大平面図、(c)は(b)のc−c線に沿う断面図である。
【符号の説明】
10…チップ(半導体チップ)、11…サブストレート、12…第一主面、13…電極パッド、14…パッシベーション膜、15…バンプ、16…ウエハ、17…ウエハシート、18…ウエハリング、20…配線基板、21…基板本体(本体)、22…外部端子、23…ボンディングエリア、24…ランド、25…メモリモジュール(半導体装置)、30…ボンディング装置、31…機台、32…フィーダ、33…ローディング装置、34…アンローディング装置、35…塗布装置、36…ボンディングステーション、37…ピックアップ装置、38…ウエハローディング・アンローディング装置、41…Y軸ロボット、42…X軸ロボット、43…Z軸ロボット、44…第一ボンディングヘッド、51…第二のY軸ロボット、52…第二のX軸ロボット、53…第二のZ軸ロボット、54…昇降台、55…ヒートブロック、56…第二ボンディングヘッド、61…第三のY軸ロボット、62…第三のX軸ロボット、63…第四のX軸ロボット、64、65…画像認識装置、71…Y軸ロボット、72…X軸ロボット、73…スタンド、74…Z軸ロボット、75…Θ軸ロボット(反転装置)、76…アーム、77…ピックアップヘッド、78…画像認識装置。
Claims (5)
- 二個の半導体チップがキャリアの表裏面に同時にボンディングされることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記二個の半導体チップのアクティブエリア側主面がいずれも、前記キャリア側に向けられてボンディングされることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記二個の半導体チップがキャリアの表裏面に同時にボンディングされる以前に、前記二個の半導体チップおよび前記キャリアの位置が合わされることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- キャリアを支持して一方向に移動させるフィーダと、半導体チップをピックアップするピックアップヘッドと、このピックアップヘッドを180度反転させる反転装置と、前記フィーダに支持されたキャリアの一方の片側に設置されて前記ピックアップヘッドがピックアップした半導体チップを受け取って前記キャリアの一方の主面にボンディングする第一ボンディングヘッドと、前記フィーダに支持されたキャリアの他方の片側に設置されて前記ピックアップヘッドがピックアップした半導体チップを受け取って前記キャリアの他方の主面にボンディングする第二ボンディングヘッドとを備えていることを特徴とするボンディング装置。
- 前記第一ボンディングヘッドが受け取った前記半導体チップおよび前記キャリアの一方の主面のパターンを認識する第一画像認識装置と、前記第二ボンディングヘッドが受け取った前記半導体チップおよび前記キャリアの他方の主面のパターンを認識する第二画像認識装置とを備えていることを特徴とする請求項4に記載のボンディング装置。
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