JP2004087514A - 固体撮像素子及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】画素の縮小化を図っても各種特性を確保することができるようにすることにより、縮小化や多画素化を図ることを可能にした構成の固体撮像素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】複数のセンサ部１１と、読み出しゲート部１２と、転送領域５及び転送電極７から成る転送レジスタ１３とを有し、転送領域５及びセンサ部１１が半導体層１内に形成され、この半導体層１の転送領域５の表面がセンサ部１１の表面よりも深く形成されている固体撮像素子２１を構成する。また、半導体層１の表面に転送領域５及び読み出しゲート部１２を含むように凹部１０を形成し、この凹部１０の下に転送領域５を形成し、半導体層の表面に絶縁膜６を形成し、その上に凹部１０を埋めるように転送電極７を形成し、さらに半導体層１の転送電極７のない部分にセンサ部１１を形成して、上記固体撮像素子２１を製造する。
【選択図】　図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、センサ部と読み出しゲート部と転送レジスタ（電荷転送部）を有する固体撮像素子（及びその製造方法）に係わる。
【０００２】
【従来の技術】
従来のＣＣＤ固体撮像素子の概略構成図を図１３に示す。
このＣＣＤ固体撮像素子は、例えばシリコン基板等の半導体基板、或いは半導体基板及びその上の半導体エピタキシャル層から成る半導体基体５１に、ｎ型不純物領域５２、ｐ型の正電荷蓄積領域５３、ｐ型半導体ウエル領域５４、ｎ型の転送チャネル領域５５、読み出しゲート部６２、チャネルストップ領域６４がそれぞれ不純物の拡散により形成されている。
このうち、ｎ型不純物領域５２とｐ型の正電荷蓄積領域５３とによりセンサ部（受光部）６１が構成され、ｐ型半導体ウエル領域５４と転送チャネル領域５５とその上方の後述する転送電極５７とからＣＣＤ構造の垂直転送レジスタ６３が構成される。
センサ部６１は画素となるもので、このセンサ部６１で光電変換が行われる。
【０００３】
また、半導体基体５１より上方にはゲート絶縁膜５６を介して転送電極５７が形成され、この転送電極５７は、読み出しゲート部６２及び垂直転送レジスタ６３及びチャネルストップ領域６４上に形成されている。
【０００４】
尚、転送電極５７より上方には、図示しないが遮光膜やその他必要に応じてカラーフィルタやオンチップレンズ等の各層が形成される。
【０００５】
そして、固体撮像素子において、今後の多画素化や光学系の縮小化に伴って、単位画素の縮小が求められている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、単位画素を縮小しようとすると、センサ部６１、読出しゲート部６２、垂直転送レジスタ６３、チャネルストップ領域６４等のサイズの縮小が余儀なくされる。
【０００７】
このようにサイズを縮小することにより、電荷が蓄積される各部（センサ部６１、読み出しゲート部６２、垂直転送レジスタ６３）において、取り扱い電荷量が減少してしまう。
【０００８】
特に、垂直転送レジスタ６３の取り扱い電荷量は、転送チャネル領域５５の面積及び基板表面近傍の容量で決まってしまう。このため、垂直転送レジスタ６３のサイズの縮小に伴い、取り扱い電荷量が大幅に減少してしまう。
【０００９】
また、読み出しゲート部６２においては、サイズの縮小に伴い、充分なゲート長が得られなくなるため、読み出しゲート部６２の特性が劣化してしまう。
【００１０】
さらに、サイズの縮小に伴い、各部の分離を充分に行うことが難しくなることから、センサ部６１の表面のｐ型の正電荷蓄積領域５３を構成するｐ型不純物が、製造時の熱処理等により拡散して、図１４に破線で示すように、読み出しゲート部６２側にも拡散する。
これにより、読み出しゲート部６２に拡散したｐ型不純物によって、読み出しゲート部６２の基体５１の表面付近における不純物濃度が非常に高くなる。
そして、センサ部６１から転送チャネル領域５５への信号電荷の読み出し経路は図１４中矢印Ｅで示すように、転送チャネル領域５５の表面付近に向かう上向きとなるため、拡散したｐ型不純物の影響により、信号電荷の読み出しが妨げられることになる。
従って、電荷を読み出すための読み出し電圧を高くする必要が生じる。
【００１１】
さらには、単位画素の縮小化に伴い、転送電極５７、オンチップレンズやカラーフィルタ等、センサ部６１より上方に形成される各層による高さも問題になってくる。単位画素の縮小化によりセンサ部６１の開口幅が縮小していくのに対して、この上方に形成される各層の高さを低減することが難しいため、その結果、光がセンサ部６１に入射する経路が細長く（アスペクト比即ち幅と高さの比が大きく）なってしまう。
このため、集光状態が非常に悪くなり、ＣＣＤ固体撮像素子の基本特性である感度、スミア等が大きく劣化する。
【００１２】
また、製造工程における熱処理による各部からの不純物の拡散により、読み出しゲート部や転送チャネル領域が、実効的にはさらに縮小されていると予想されるので、取り扱い電荷量が減少することが考えられる。
【００１３】
上述した問題の解決のために、本発明においては、画素の縮小化を図っても各種特性を確保することができるようにすることにより、縮小化や多画素化を図ることを可能にした構成の固体撮像素子及びその製造方法を提供するものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の固体撮像素子は、光電変換を行う複数のセンサ部と、このセンサ部で光電変換された信号電荷を読み出す読み出しゲート部と、この読み出しゲート部により読み出された信号電荷を転送する転送領域及びこの転送領域の転送を制御する転送電極から成る転送レジスタとを有し、転送レジスタの転送領域及びセンサ部が半導体層内に形成され、この半導体層は、転送領域の表面がセンサ部の表面よりも深く形成されているものである。
【００１５】
上記本発明の固体撮像素子において、少なくとも転送領域を含む半導体層の表面に凹部が形成され、この凹部を埋めるように転送電極が形成されている構成とするを可とする。
【００１６】
上記本発明の固体撮像素子において、さらに転送電極の表面とセンサ部の表面とがほぼ同一平面になるように平坦化されている構成とするを可とする。
【００１７】
上記本発明の固体撮像素子において、センサ部の半導体層は、半導体の選択成長により、転送領域を含む部分よりも厚く形成されている構成とするを可とする。
【００１８】
上記本発明の固体撮像素子において、転送レジスタの最小ポテンシャル位置の半導体層の表面からの距離が、センサ部の最小ポテンシャル位置の半導体層の表面からの距離の５０％〜１５０％の範囲にある構成とするを可とする。
【００１９】
上述の本発明の固体撮像素子の構成によれば、転送レジスタの転送領域及びセンサ部が半導体層内に形成され、この半導体層の転送領域の表面がセンサ部の表面よりも深く形成されていることにより、センサ部から転送領域に向かう信号電荷の読み出しの経路が、従来よりも深く形成された転送領域に向かうため、従来よりも下方に向かうことになる。これにより、信号電荷の読み出しの経路が、センサ部の表面付近の不純物（例えば正電荷蓄積領域のｐ型不純物）の拡散の影響を受けにくくなる。
従って、信号電荷の読み出しを良好に行うことが可能になり、読み出しゲート部の読み出し電圧を高くする必要がなくなる。
【００２０】
特に、少なくとも転送領域を含む半導体層の表面に凹部が形成され、この凹部を埋めるように転送電極が形成されている構成としたときには、転送電極が凹部を埋めていることにより、従来の半導体層の表面に凹部が形成されていない場合と比較して、転送電極の高さを低くして、さらに転送電極の上方に形成される各層の高さを低くすることができる。これにより、光がセンサ部に入射する経路のアスペクト比（幅に対する高さの比）を小さくすることができる。また、凹部は斜面（平面の他に傾斜した曲面を含む）又は垂直面を有するので、この斜面又は垂直面によって、半導体層の読み出しゲート部や転送領域の表面積を増やすことができることから、読み出しゲート部や転送領域の取り扱い電荷量を増やすことが可能になる。
【００２１】
さらに、転送電極の表面とセンサ部の表面とがほぼ同一平面になるように平坦化されている構成としたときには、転送電極及びその上方に形成される各層の高さをより低くすることができる。
【００２２】
また特に、センサ部の半導体層が、半導体の選択成長により転送領域を含む部分よりも厚く形成されている構成としたときには、半導体層に凹部を形成した場合と同様に、センサ部に対する転送電極の相対的な高さを、従来の構成よりも低くすることができるため、光がセンサ部に入射する経路のアスペクト比（幅に対する高さの比）を小さくすることができる。
【００２３】
また特に、転送レジスタの最小ポテンシャル位置の半導体層の表面からの距離が、センサ部の最小ポテンシャル位置の半導体層の表面からの距離の５０％〜１５０％の範囲にある構成としたときには、両者の最小ポテンシャル位置が近くなるため、電荷の読み出しに必要な電圧を低減することができる。
【００２４】
本発明の固体撮像素子は、光電変換を行う複数のセンサ部と、このセンサ部で光電変換された信号電荷を読み出す読み出しゲート部と、この読み出しゲート部により読み出された信号電荷を転送する転送領域及びこの転送領域の転送を制御する転送電極から成る転送レジスタとを有し、転送レジスタの転送領域及びセンサ部が半導体層内に形成され、転送領域とセンサ部との間の半導体層に凹部が形成され、この凹部内に埋め込まれた導電膜により読み出しゲート部が構成されているものである。
【００２５】
上述の本発明の固体撮像素子の構成によれば、転送領域とセンサ部との間の半導体層に凹部が形成され、この凹部内に埋め込まれた導電膜により読み出しゲート部が構成されていることにより、導電膜によって読み出しゲート部の特性を従来の構成と比較して大幅に向上することが可能になる。
従って、信号電荷の読み出しを非常に良好に行うことが可能になり、読み出しゲート部の読み出し電圧を高くする必要がなくなる。
【００２６】
本発明の固体撮像素子の製造方法は、光電変換を行う複数のセンサ部と、センサ部で光電変換された信号電荷を読み出す読み出しゲート部と、読み出しゲート部により読み出された信号電荷を転送する転送領域及びこの転送領域の転送を制御する転送電極から成る転送レジスタとを有する固体撮像素子を製造する際に、半導体層の表面に凹部を形成する工程と、半導体層の凹部の下にイオン注入により転送領域を形成する工程と、半導体層の表面に絶縁膜を形成する工程と、この絶縁膜上に凹部を埋めるように転送電極を形成する工程と、半導体層の転送電極のない部分に、イオン注入によりセンサ部を形成する工程とを少なくとも有し、凹部は転送領域及び読み出しゲート部を含むように形成するものである。
【００２７】
上述の本発明の固体撮像素子の製造方法によれば、半導体層の表面に凹部を形成し、この凹部の下に転送領域を形成することにより、転送領域は凹部の下の一段下がった位置に形成される。そして、半導体層の表面に絶縁膜を形成し、その上に凹部を埋めるように転送電極を形成することにより、凹部を埋めた転送電極の上面は、半導体層に凹部を形成しない従来の構成よりも低くなる。さらに、半導体層の転送電極のない部分にセンサ部を形成することにより、センサ部は凹部以外に形成されるため、凹部の下に形成される転送領域の表面はセンサ部の表面よりも深く形成される。また、凹部は斜面或いは垂直面を有するので、転送電極又は読み出しゲート部の表面積や読み出しゲート部のゲート長を増大させることができる。
【００２８】
本発明の固体撮像素子の製造方法は、光電変換を行う複数のセンサ部と、センサ部で光電変換された信号電荷を読み出す読み出しゲート部と、読み出しゲート部により読み出された信号電荷を転送する転送領域及びこの転送領域の転送を制御する転送電極から成る転送レジスタとを有する固体撮像素子を製造する際に、読み出しゲート部となる部分の半導体層の表面に凹部を形成する工程と、半導体層の凹部の周辺にイオン注入により転送領域を形成する工程と、半導体層の表面に絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜上の凹部の周辺の転送領域上に転送電極を形成する工程と、凹部に導電材を埋めて読み出しゲート部を形成する工程と、半導体層の転送電極及び導電材のない部分に、イオン注入によりセンサ部を形成する工程とを有するものである。
【００２９】
上述の本発明の固体撮像素子の製造方法によれば、読み出しゲート部となる部分の半導体層の表面に凹部を形成し、この凹部の周辺に転送領域を形成することにより、転送領域は凹部以外の部分に形成される。そして、半導体層の表面に絶縁膜を形成し、凹部の周辺の転送領域上に転送電極を形成し、凹部に導電材を埋めて読み出しゲート部を形成することにより、凹部を埋めた導電材から成る読み出しゲート部の周辺に転送領域及び転送電極が配置される。さらに、半導体層の転送電極及び導電材のない部分にセンサ部を形成することにより、センサ部は凹部以外に形成され、センサ部と転送領域との間に凹部を埋めた導電材から成る読み出しゲート部が配置される。
【００３０】
本発明の固体撮像素子の製造方法は、光電変換を行う複数のセンサ部と、センサ部で光電変換された信号電荷を読み出す読み出しゲート部と、読み出しゲート部により読み出された信号電荷を転送する転送領域及びこの転送領域の転送を制御する転送電極から成る転送レジスタとを有する固体撮像素子を製造する際に、半導体層内にイオン注入により転送領域を形成する工程と、半導体層の表面に絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜上の少なくとも転送レジスタ及び読み出しゲート部となる部分に転送電極を形成する工程と、半導体層の転送電極のない部分を半導体の選択成長により隆起させる工程と、半導体層の隆起させた部分にイオン注入によりセンサ部を形成する工程とを有するものである。
【００３１】
上述の本発明の固体撮像素子の製造方法によれば、半導体層内にイオン注入により転送領域を形成し、半導体層の表面に絶縁膜を形成し、絶縁膜上の少なくとも転送レジスタ及び読み出しゲート部となる部分に転送電極を形成し、半導体層の転送電極のない部分を半導体の選択成長により隆起させ、この隆起させた部分にイオン注入によりセンサ部を形成することにより、センサ部の表面は、転送電極のある転送領域及び読み出しゲート部の半導体層の表面よりも高く形成される。即ち半導体層に凹部を形成した場合と同様に、転送領域の表面がセンサ部の表面よりも深く形成された構造となる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態として、固体撮像素子の概略構成図を図１及び図２に示す。図１は平面図、図２は図１のＡ−Ａにおける断面図である。この固体撮像素子１は、本発明をＣＣＤ固体撮像素子に適用したものである。
【００３３】
図１に示すように、この固体撮像素子は、フォトダイオードから成る多数のセンサ部１１がマトリクス状に配置されている。センサ部１１の各列の一側には、センサ部１１の列方向（図中Ｖ方向）に伸びるＣＣＤ構造の垂直転送レジスタ１３が配置されている。
そして、各センサ部１１の左側には、垂直転送レジスタ１３との間に読み出しゲート部１２が配置されている。一方、各センサ部１１の右側には垂直転送レジスタ１３との間にチャネルストップ領域１４が形成されている。
垂直転送レジスタ１３の先には、センサ部１１の行方向（図中Ｈ方向）に伸びるＣＣＤ構造の水平転送レジスタ１５が配置され、水平転送レジスタ１５の一方の端部にアンプ部１６と出力端子１７が形成されている。
【００３４】
センサ部１１付近の断面構造は、図２に示すように、例えば半導体基板或いは半導体基板とその上の半導体エピタキシャル層により構成される半導体基体１内に、それぞれｎ型不純物領域２、ｐ型の正電荷蓄積領域３、ｐ型半導体ウエル領域４、ｎ型の転送チャネル領域５、読み出しゲート部１２、チャネルストップ領域１４がそれぞれ不純物の拡散により形成されている。
このうち、ｎ型不純物領域２とｐ型の正電荷蓄積領域３とによりセンサ部（受光部）１１が構成され、ｐ型半導体ウエル領域４とｎ型の転送チャネル領域５とその上方の後述する転送電極７とからＣＣＤ構造の垂直転送レジスタ１３が構成される。
センサ部１１は画素となるもので、このセンサ部１１で光電変換が行われる。
【００３５】
また、半導体基体１より上方にはゲート絶縁膜６を介して転送電極７が形成され、この転送電極７は、読み出しゲート部１２及び垂直転送レジスタ１３及びチャネルストップ領域１４上に形成されている。
【００３６】
尚、転送電極７より上方には、図示しないが従来のＣＣＤ固体撮像素子と同様に、遮光膜やその他必要に応じてカラーフィルタやオンチップレンズ等の各層が形成される。
【００３７】
本実施の形態は、特に、読み出しゲート部１２の一部及び垂直転送レジスタ１３において、半導体基体１に凹部１０が形成され、この半導体基体１に形成された凹部１０を埋めて転送電極７が形成されている。
即ち、転送電極７が、読み出しゲート部１２の一部及び垂直転送レジスタ１３において、センサ部１１等他の部分の半導体基体１の表面よりも埋め込まれている。
【００３８】
従って、転送電極７が半導体基体１の凹部１０に埋め込まれていることにより、図１３に示した構造と比較して、垂直転送レジスタ１３や読み出しゲート部１２の表面積が増えることになるため、その分取り扱い電荷量を確保することができる。
また、実効的な読み出しゲート部１２のゲート長も確保することができる。
【００３９】
さらに、転送チャネル領域５が半導体基体１の凹部１０の下に形成されているため、センサ部１１の正電荷蓄積領域３よりも深い位置に転送チャネル領域５がある。
これにより、読み出しゲート部１２により電荷を読み出す経路を、図３の矢印Ｅで示すように、ある程度深い位置に置くことができるため、センサ部１１のｐ形不純物（ｐ^＋＋）の拡散の影響を受けにくくなり、読み出しやすくなると考えられる。
【００４０】
上述の本実施の形態の固体撮像素子２１によれば、半導体基体１に凹部１０が形成され、この凹部１０の形成された部分に転送チャネル領域５が設けられていることにより、センサ部１１の表面よりも転送チャネル領域５の表面が深い位置になることから、転送チャネル領域５がセンサ部１１の正電荷蓄積領域３よりも深い位置になっている。
これにより、センサ部１１から転送チャネル領域５への信号電荷の読み出しの経路が、例えば図３の矢印Ｅで示すように下方に向かうようになり、正電荷蓄積領域３のｐ型不純物が製造時に拡散して読み出しゲート部１２側にかかっていても、信号電荷の読み出しの経路Ｅがこの拡散した部分を通らないようにすることができるため、正電荷蓄積領域３のｐ型不純物の拡散の影響によって信号電荷の読み出しが妨げられる問題を解決することができる。
従って、読み出しゲート部１２による信号電荷の読み出しを容易にして、読み出しゲート部１２の特性を確保し、転送電極７に印加する読み出し電圧の改善を図ることができる。
【００４１】
また、本実施の形態の固体撮像素子２１によれば、読み出しゲート部１２の表面が、半導体基体１に形成された凹部１０の斜面となっているため、転送電極７と対向する部分の長さ、即ちセンサ部１１から転送チャネル領域５までの実効的な読み出しゲート長が、従来の固体撮像素子の構成よりも長くなる。
これにより、読み出しゲート部１２の取り扱い電荷量を確保することができると共に、実効的な読み出しゲート長を充分確保して、読み出しゲート部１２の特性を確保することが可能になる。
【００４２】
同様に、転送チャネル領域５の表面も、その一部が凹部１０の斜面となっているため、その分転送チャネル領域５の表面積が増えて、転送チャネル領域５の取り扱い電荷量を確保することができる。
【００４３】
即ち、固体撮像素子２１の画素の縮小化を図っても、電荷の読み出しを問題なく行うと共に、取り扱い電荷量や各部の特性を確保することができる。
従って、固体撮像素子２１の画素を縮小化して、固体撮像素子２１の多画素化や縮小化を図ることができる。そして、固体撮像素子２１の縮小化により、１枚のウエハから得られる固体撮像素子２１を増やして、製造コストの低減を図ることが可能になる。
さらに、固体撮像素子２１を備えた固体撮像装置やカメラ等の装置において、素子２１の多画素化による装置の高解像度化や、素子の縮小化による装置の小型化を実現することができる。
【００４４】
さらに、転送電極７が半導体基体１に一部埋め込まれた構造となっているため、図１３に示した従来の構成と比較して、転送電極７の上面の高さを低くすることができ、また転送電極７より上方に設けられる遮光膜や、カラーフィルタ、オンチップレンズ等の各層を従来の構成よりも低くして、固体撮像素子の総厚さを薄くすることができる。
これにより、入射光がセンサ部１１に達するまでの経路のアスペクト比（幅に対する高さの比）を従来の固体撮像素子の構造よりも低減することができることから、斜めに入射する光を遮光膜等にけられることなくセンサ部１１に到達するようにできるため、光の利用効率や感度を向上することができる。さらに、スミアの発生を抑制することができる。
このため、斜めに入射した光がセンサ部１１に到達するように例えばセンサ部１１とオンチップレンズとの間に層内レンズを形成する必要がなくなる。
【００４５】
本実施の形態の固体撮像素子は、例えば次のようにして製造することができる。
まず、図４Ａに示すように、半導体基体１に対してエッチングを行って、凹部１０を形成する。この凹部１０は、読み出しゲート部１２となる部分と、垂直転送レジスタ１３となる部分と、チャネルストップ領域１４となる部分とに対応して形成されている。
【００４６】
次に、半導体基体１に対して、不純物（ｎ型不純物或いはｐ型不純物）のイオン注入を行い、注入した不純物の拡散を行って、ｐ型半導体ウエル領域４、転送チャネル領域５、読み出しゲート部１２、並びにチャネルストップ領域１４を、それぞれ半導体基体１内に形成する。
続いて、図４Ｂに示すように、半導体基体１の表面を熱酸化することにより、ゲート絶縁膜６を形成する。このとき、半導体基体１の凹部１０の表面も、同様に熱酸化されて絶縁膜６が形成される。
【００４７】
次に、表面を覆って、転送電極７を構成する導電膜を形成する。これにより、半導体基体１の凹部１０を含んで、この凹部１０を埋めるように導電膜が形成される。
そして、図４Ｃに示すように、この導電膜をパターニングして、半導体基体１の凹部１０を含むようなパターンに転送電極７を形成する。
【００４８】
続いて、転送電極７をマスクとして、半導体基体１にイオン注入を行って、センサ部１１を構成するｎ型不純物領域２及びｐ型の正電荷蓄積領域３を形成する。
その後は、表面を覆って絶縁膜を形成し、その上に遮光膜を形成する。さらに層間絶縁膜を形成して、必要に応じてカラーフィルタやオンチップレンズ等の各層を形成する。
このようにして、図２に示した本実施の形態の固体撮像素子２１を製造することができる。
【００４９】
次に、本発明の固体撮像素子の他の実施の形態の概略構成図（断面図）を図５に示す。
本実施の形態の固体撮像素子２２は、特に転送電極７の上面とセンサ部１１の上面とが、ほぼ同一面上にあるように平坦化されている。
また、半導体基体１に形成された凹部１０は、読み出しゲート部１２及びチャネルストップ領域１４のみに斜面を有し、転送チャネル領域５には斜面を有していない。
尚、図中８は、平坦化した後に表面に形成した熱酸化膜（絶縁膜）を示す。
その他の構成は、図２に示した先の実施の形態の固体撮像素子２１と同様であるので、同一符号を付して重複説明を省略する。
【００５０】
本実施の形態の固体撮像素子２２によれば、半導体基体１に凹部１０が形成され、この凹部１０の形成された部分に転送チャネル領域５が設けられていることにより、先の実施の形態と同様に、転送チャネル領域５がセンサ部１１の正電荷蓄積領域３よりも深い位置になる。
これにより、先の実施の形態と同様に、正電荷蓄積領域３のｐ型不純物の拡散の影響によって電荷の読み出しが妨げられる問題を解決し、読み出しゲート部１２の特性を確保し、転送電極７に印加する読み出し電圧の改善を図ることができる。
【００５１】
また、本実施の形態の固体撮像素子２２によれば、読み出しゲート部１２の表面が、半導体基体１に形成された凹部１０の斜面となっているため、転送電極７と対向する部分の長さ、即ちセンサ部１１から転送チャネル領域５までの実効的な読み出しゲート長が、従来の固体撮像素子の構成よりも長くなる。
これにより、読み出しゲート部１２の取り扱い電荷量を確保すること、読み出しゲート部１２の特性を確保することが可能になる。
【００５２】
即ち、固体撮像素子２２の画素の縮小化を図っても、電荷の読み出しを問題なく行うと共に、取り扱い電荷量や各部の特性を確保することができる。
従って、固体撮像素子２２の画素の縮小化によって、固体撮像素子２２の多画素化や縮小化を図り、１枚のウエハから得られる固体撮像素子２２を増加させて製造コストを低減すると共に、固体撮像素子２２を備えた固体撮像装置やカメラ等の装置において、高解像度化や小型化を図ることが可能になる。
【００５３】
さらに、本実施の形態の固体撮像素子２２によれば、特に半導体基体１に転送電極７が完全に埋め込まれて、転送電極７の上面がセンサ部１１の上面とほぼ同一面となるように平坦化されているため、半導体基体１の表面から上方にある各部に関して少なくとも転送電極７の厚さの影響がなくなる。これにより、遮光膜や、さらにその上のオンチップフィルタ及びオンチップレンズ等の各層も容易に作製することができる。また、各層の高さを従来の構成よりも大幅に低くして、固体撮像素子の総厚さを薄くすることができる。さらに、各層の膜厚均一性を向上し、製造ムラの低減を図ることができる。
従って、入射光がセンサ部１１に達するまでの経路のアスペクト比（高さ／幅）を従来の固体撮像素子の構造よりも低減して、光の利用効率や感度を大幅に向上することができる。また、スミアの発生を抑制することができる。さらに、オンチップレンズを半導体基体１の表面に近づけて設けることができるため、シェーディング特性が改善される。
このことから、固体撮像素子の画素を縮小することが容易になるため、固体撮像素子のさらなる小型化や多画素化を図ることが可能になる。
【００５４】
本実施の形態の固体撮像素子２２は、例えば次のように製造することができる。
基本的には、先の実施の形態の固体撮像素子２１の製造方法と同様な方法で製造することができる。
ただし、転送電極７を形成する工程では、表面を覆って電極膜（導電膜）を形成した後、パターニングを行う代わりに表面の平坦化工程、例えばＣＭＰ（化学的機械的研磨）法による研磨加工を行って、電極膜の半導体基体１の表面から突出した部分を除去する。
【００５５】
まず、半導体基体１に対してエッチングを行って、それぞれ読み出しゲート部１２、転送チャネル領域５、チャネルストップ領域１４となる部分に対応して、凹部１０を形成する。この場合、凹部１０は、読み出しゲート部１２となる部分とチャネルストップ領域１４となる部分が斜面となっている。
【００５６】
次に、半導体基体１に対して、不純物のイオン注入を行い、注入した不純物の拡散を行って、ｐ型半導体ウエル領域４、転送チャネル領域５、読み出しゲート部１２、並びにチャネルストップ領域１４を、それぞれ半導体基体１内に形成する。
続いて、半導体基体１の表面を熱酸化することにより、ゲート絶縁膜６を形成する。このとき、半導体基体１の凹部１０の表面も、同様に熱酸化されて絶縁膜６が形成される。ここまでの工程は、凹部１０の形状を除けば図４Ａ及び図４Ｂと同様である。
【００５７】
次に、図６に示すように、成長或いは堆積により、表面を覆って電極膜７Ｘを形成する。
その後、表面の平坦化工程（例えば研磨加工）を行って、上面がほぼセンサ部１１となる部分の上面と同一面となる転送電極７を形成する。尚、センサ部１１となる部分のゲート絶縁膜６は、平坦化工程において除去される。
次に、熱酸化により、転送電極７の表面及びセンサ部１１となる部分の半導体基体１の表面に熱酸化膜８を形成する。
続いて、転送電極７をマスクとして、半導体基体１にイオン注入を行って、センサ部１１を構成するｎ型不純物領域２及びｐ型の正電荷蓄積領域３を形成する。
その後は、熱酸化膜８の上に、直接又は絶縁膜を介して、遮光膜を形成する。さらに、層間絶縁膜等を形成して、必要に応じてカラーフィルタやオンチップレンズ等の各層を形成する。
このようにして、図５に示した本実施の形態の固体撮像素子２２を製造することができる。
【００５８】
尚、上述の各実施の形態では、半導体基体１の凹部１０が斜面（平面）を有する構成となっているが、水平面（底面）と垂直面（側面）とを有する構成や、傾斜した曲面を有する構成としてもよい。これらの場合も、垂直面や傾斜した曲面が形成された部分において、その部分の表面積を増やして取り扱い電荷量を増やすことができる。
その場合の実施の形態を次に示す。
【００５９】
図１３に示した従来の構成では、ＣＣＤ固体撮像素子の単位セルの小型化に伴い、垂直転送レジスタの容量を増大する必要が生じることに対応して、図１５に示すように、垂直転送レジスタ６３のｐ型半導体ウエル領域５４の最小ポテンシャル位置（図１５中破線で示す）５４Ａを、半導体基体５１−ゲート絶縁膜５６の界面付近に近づけることにより容量を増大させている。その一方、センサ部６１では、センサ部６１内で発生する暗電流を減らすために、最小ポテンシャル位置（図１５中破線で示す）５２Ａを半導体基体５１−ゲート絶縁膜５６の界面から遠ざけるようにしている。
【００６０】
このように、垂直転送レジスタ６３のｐ型半導体ウエル領域５４の最小ポテンシャル位置５４Ａとセンサ部６１の最小ポテンシャル位置５２Ａとが、表面からの深さに違いがあることにより、この違いが大きくなりこれら最小ポテンシャル位置５４Ａ，５２Ａが離れてしまうと、センサ部６１から垂直転送レジスタ６３への電荷の読み出しに必要な電圧が上昇してしまう。
しかし、これら最小ポテンシャル位置５４Ａ，５２Ａの深さを同一にしようとすると、垂直転送レジスタ６３の容量を減らしてしまう、或いはセンサ部６１の暗電流を悪化させてしまうという問題を生じることになる。
【００６１】
この問題を解決する構成として、本発明の固体撮像素子の別の実施の形態の概略構成図（断面図）を図７に示す。
本実施の形態の固体撮像素子２３は、図５に示した固体撮像素子２２と同様に、転送電極７の上面とセンサ部１１の上面とが、ほぼ同一面上にあるように平坦化されている。
本実施の形態では、特に半導体基体１に形成された凹部１０が、読み出しゲート部１２、転送チャネル領域５、チャネルストップ領域１４にまたがる底面を有し、両端に垂直面を有している。そして、この凹部１０内にゲート絶縁膜６を介して、転送電極７が形成されている。
尚、この図７では、絶縁膜８上に形成された遮光膜９を示している。
【００６２】
本実施の形態では、半導体基体１に転送電極７が完全に埋め込まれて、転送電極７の上面がセンサ部１１の上面とほぼ同一面となるように平坦化されているため、さらに図７に示すように、ｐ型半導体ウエル領域４の最小ポテンシャル位置４Ａとセンサ部１１の最小ポテンシャル位置２Ａとが、半導体基体１の表面からほぼ同じ深さになっている。これにより、前述した読み出し電圧の上昇の問題を解決することができる。
【００６３】
尚、図７では、垂直転送レジスタ１３のｐ型半導体ウエル領域４の最小ポテンシャル位置４Ａとセンサ部１１の最小ポテンシャル位置２Ａとが、半導体基体１の表面からほぼ同じ深さになっているが、必ずしも同じほぼ深さになっていなくても、半導体基体１の表面からの深さが近くなるようにすればよい。
好ましくは、垂直転送レジスタ１３のｐ型半導体ウエル領域４の最小ポテンシャル位置４Ａの半導体基体１の表面からの深さが、センサ部１１の最小ポテンシャル位置２Ａの半導体基体１の表面からの深さの５０〜１５０％の範囲内にあるようにする。
【００６４】
その他の構成は、図５に示した先の実施の形態の固体撮像素子２２と同様であるので、同一符号を付して重複説明を省略する。
【００６５】
本実施の形態の固体撮像素子２３によれば、半導体基体１に凹部１０が形成され、この凹部１０の形成された部分に転送チャネル領域５が設けられていることにより、先の実施の形態と同様に、転送チャネル領域５がセンサ部１１の正電荷蓄積領域３よりも深い位置になる。
これにより、先の実施の形態と同様に、正電荷蓄積領域３のｐ型不純物の拡散の影響によって電荷の読み出しが妨げられる問題を解決し、読み出しゲート部１２の特性を確保し、転送電極７に印加する読み出し電圧の改善を図ることができる。
【００６６】
また、本実施の形態の固体撮像素子２３によれば、特に半導体基体１に転送電極７が完全に埋め込まれて、転送電極７の上面がセンサ部１１の上面とほぼ同一面となるように平坦化されているため、半導体基体１の表面から上方にある各部に関して少なくとも転送電極７の厚さの影響がなくなる。これにより、遮光膜９や、さらにその上のオンチップフィルタ及びオンチップレンズ等の各層も容易に作製することができる。また、各層の高さを従来の構成よりも大幅に低くして、固体撮像素子の総厚さを薄くすることができる。さらに、各層の膜厚均一性を向上し、製造ムラの低減を図ることができる。
従って、入射光がセンサ部１１に達するまでの経路のアスペクト比（高さ／幅）を従来の固体撮像素子の構造よりも低減して、光の利用効率（集光性）や感度を大幅に向上することができる。また、スミアの発生を抑制することができる。さらに、オンチップレンズを半導体基体１の表面に近づけて設けることができるため、シェーディング特性が改善される。
【００６７】
このことから、固体撮像素子の画素を縮小することが容易になるため、固体撮像素子のさらなる小型化や多画素化を図ることが可能になる。
従って、固体撮像素子２３の画素の縮小化によって、固体撮像素子２３の多画素化や縮小化を図り、１枚のウエハから得られる固体撮像素子２３を増加させて製造コストを低減すると共に、固体撮像素子２３を備えた固体撮像装置やカメラ等の装置において、高解像度化や小型化を図ることが可能になる。
【００６８】
さらに、本実施の形態の固体撮像素子２３によれば、垂直転送レジスタ１３の最小ポテンシャル位置即ちｐ型半導体ウエル領域４の最小ポテンシャル位置４Ａが、センサ部１１の最小ポテンシャル位置２Ａと、半導体基体１の表面からの深さがほぼ同一となっているため、読み出し電圧を低減することができる。
そして、垂直転送レジスタ１３の容量を低下させてしまったり、センサ部１１の暗電流を増大させてしまったりすることなく、読み出し電圧を低減することができるため、特性が良好であり、かつ読み出し電圧の小さい固体撮像素子を構成することができる。
【００６９】
尚、先に示した各実施の形態の固体撮像装置２１，２２においても、転送電極７を半導体基体１の表面よりも深い位置に配置しているので、センサ部１１及び垂直転送レジスタ１３の不純物の分布を調整することにより、同様に垂直転送レジスタ１３のｐ型半導体ウエル領域４の最小ポテンシャルの位置４Ａをセンサ部１１の最小ポテンシャル位置２Ａと半導体基体１の表面からほぼ同じ深さにする、もしくは深さを近く（センサ部１１の最小ポテンシャル位置２Ａの５０〜１５０％）することが可能である。
即ち、転送電極７が半導体基体１に完全に埋め込まれている構成でも、転送電極７の一部が半導体基体１に埋め込まれている構成でも、いずれも垂直転送レジスタ１３のｐ型半導体ウエル領域４の最小ポテンシャルの位置４Ａをセンサ部１１の最小ポテンシャル位置２Ａと半導体基体１の表面からほぼ同じ深さにする、もしくは深さを近くすることが可能である。
【００７０】
本実施の形態の固体撮像素子２３は、例えば次のように製造することができる。
基本的には、先の実施の形態の固体撮像素子２２の製造方法と同様な方法で製造することができる。
【００７１】
まず、図８Ａに示すように、半導体基体１に対してエッチングを行って、それぞれ読み出しゲート部１２、転送チャネル領域５、チャネルストップ領域１４となる部分に対応した凹部１０を形成する。この場合、凹部１０は、両端面が垂直面であり、その間が水平な底面となっている。
【００７２】
次に、図８Ｂに示すように、半導体基体１に対して、不純物のイオン注入を行い、注入した不純物の拡散を行って、ｐ型半導体ウエル領域４、転送チャネル領域５、読み出しゲート部１２、並びにチャネルストップ領域１４を、それぞれ半導体基体１内に形成する。
続いて、図８Ｃに示すように、半導体基体１の表面を熱酸化することにより、ゲート絶縁膜６を形成する。このとき、半導体基体１の凹部１０の表面も、同様に熱酸化されて絶縁膜６が形成される。
【００７３】
次に、成長或いは堆積により、表面を覆って電極膜を形成する。
その後、図９Ｄに示すように、表面の平坦化工程（例えばＣＭＰ（化学的機械的研磨）法等の研磨加工）を行って、転送電極７を形成する。
尚、先の実施の形態の固体撮像素子２２の製造工程の説明では、上面がほぼセンサ部１１となる部分の上面と同一面となる転送電極７を形成するようにして、センサ部１１となる部分のゲート絶縁膜６が平坦化工程において除去されていたが、この図９Ｄは平坦化工程の後も、センサ部１１となる部分のゲート絶縁膜６を残した場合を示している。
【００７４】
次に、センサ部１１に開口を有するマスクを用いて、半導体基体１にイオン注入を行って、図９Ｅに示すように、センサ部１１を構成するｎ型不純物領域２及びｐ型の正電荷蓄積領域３を形成する。
さらに、図９Ｆに示すように、表面にシリコン酸化膜８を形成した後、シリコン酸化膜８の上に遮光膜９を形成する。
さらに、層間絶縁膜等を形成して、必要に応じてカラーフィルタやオンチップレンズ等の各層を形成する。
このようにして、図７に示した本実施の形態の固体撮像素子２３を製造することができる。
【００７５】
尚、上述した各実施の形態のように半導体基体１をエッチングして凹部１０を形成する代わりに、逆にセンサ部１１側をエピタキシャル成膜（選択成長）させることにより隆起させてもよい。
その場合には、例えば転送電極７をマスクとして、または別途センサ部１１となる部分に開口を形成したフォトレジストをマスクとして、センサ部１１において半導体層を選択成長させる。その後、センサ部１１を構成する半導体領域２，３を形成するイオン注入を行う。
【００７６】
即ち図１０Ａに示すように、ｐ型半導体ウエル領域４、ｎ型の転送チャネル領域５、読出しゲート部１２、チャネルストップ領域１４の各不純物領域を半導体基体１に形成し、半導体基体１表面のゲート絶縁膜６を形成し、転送電極７を読出しゲート部１２、垂直転送レジスタ１３、チャネルストップ領域１４に対応する部分に形成する。ここまでは、従来の構成と同様の製造工程を採る。
【００７７】
その後、センサ部となる部分のゲート絶縁膜６を除去し、転送電極７または別途形成したフォトレジストをマスクとして、半導体層を選択成長させ、その後、図１０Ｂに示すように、選択成長層１Ｘに、センサ部１１を構成するｎ型不純物領域２及びｐ型の正電荷蓄積領域３をイオン注入により形成する。
この場合、ｎ型不純物領域２は、選択成長層１Ｘと元の半導体基体１とに跨って形成されている。
この後は、遮光膜や、層間絶縁膜、さらに必要に応じてカラーフィルタやオンチップレンズ等の各層を形成する。
【００７８】
このようにしても、上述の各実施の形態の固体撮像素子２１，２２，２３と同様に、転送チャネル領域５の表面がセンサ部１１の表面よりも深く形成され、転送チャネル領域がセンサ部の正電荷蓄積領域よりも深い位置にある構造を形成することができる。
【００７９】
続いて、本発明のさらに他の実施の形態として、固体撮像素子の概略構成図を図１１に示す。
本実施の形態の固体撮像素子３１は、半導体基体１の読み出しゲート部１２のみに凹部３３が形成され、この凹部３３内に導電膜（導電材）３２が埋め込まれている。
導電膜３２が埋め込まれた凹部３３は、転送チャネル領域５よりも深い位置まで形成されている。導電膜３２には、例えば電極材（例えばアモルファスシリコン、多結晶シリコン、ＳｉＧｅ等）を用いることができる。
【００８０】
また、読出しゲート部１２の導電膜３２と半導体基体１との間には、ゲート絶縁膜６を兼ねる絶縁膜が形成されている。
読出しゲート部１２の導電膜３２があるため、転送電極７は通常の構成とは異なり、転送電極７は垂直転送レジスタ１３及びチャネルストップ領域１４のみに対応して形成されている。
【００８１】
さらに、読み出しゲート部１２の導電膜３２と転送電極７との間は、互いに絶縁膜３４により電気的に分離されている。このように互いに分離して、導電膜３２と転送電極７とにそれぞれ異なる電位を印加することが可能となるように構成することが望ましい。
【００８２】
その他の構成は、図１３に示した従来の固体撮像素子の構造と同様になっている。転送チャネル領域５の上面は、センサ部１１の上面と同じく、半導体基体１の表面となっている。
【００８３】
本実施の形態の固体撮像素子３１によれば、読み出しゲート部１２の導電膜３２の中を通って、電荷がセンサ部１１から垂直転送レジスタ１３に移動する。
これにより、読み出しゲート部が半導体層である従来の構成と比較して読み出しゲート部１２の特性が飛躍的に向上する。即ち読み出しゲート部１２が導電膜３２であることにより、電荷の移動がスムーズであり、またセンサ部１１の正電荷蓄積領域３のｐ型不純物が導電膜３２の一部に拡散しても導電膜３２のその他の部分で容易に電荷が移動するのでｐ型不純物の拡散の影響を低減することができる。
従って、読み出し電圧を高くする必要がなくなり、読み出しゲート部１２の特性を確保することができる。
【００８４】
即ち、本実施の形態の固体撮像素子３１によれば、固体撮像素子３１の画素の縮小化を図っても、電荷の読み出しを容易に行うと共に、読み出しゲート部の特性を確保することができる。
従って、固体撮像素子３１の画素を縮小化して、固体撮像素子３１の多画素化や縮小化を図ることができる。そして、固体撮像素子３１の縮小化により、１枚のウエハから得られる固体撮像素子３１を増やして、製造コストの低減を図ることが可能になる。
さらに、固体撮像素子３１を備えた固体撮像装置やカメラ等の装置において、素子３１の多画素化による装置の高解像度化や、素子の縮小化による装置の小型化を実現することができる。
【００８５】
本実施の形態の固体撮像素子３１は、例えば次のようにして製造することができる。
【００８６】
まず、半導体基体１の読み出しゲート部１２となる部分に、例えばエッチングにより凹部３３を形成する。
次に、半導体基体１に、不純物のイオン注入により、ｐ型半導体ウエル領域４、転送チャネル領域５、及びチャネルストップ領域１４をそれぞれ形成する。
続いて、半導体基体１の表面に、例えば熱酸化等により、ゲート絶縁膜を兼ねる絶縁膜６を形成する。このとき、半導体基体１の凹部３３の表面にも絶縁膜６が形成される。
次に、転送チャネル領域５及びチャネルストップ領域１４上の部分の絶縁膜６上に、転送電極７を形成する。ここまでの状態を図１２に示す。
【００８７】
その後、転送電極７の表面の熱酸化或いは薄い絶縁膜の成膜により、転送電極７を覆って絶縁膜３４を形成する。
次に、半導体基体１の凹部３３を埋めるように導電膜３２を形成する。この導電膜３２をパターニングして読み出しゲート部１２とする。
【００８８】
続いて、半導体基体１に、イオン注入によりセンサ部１１のｎ型不純物領域２及びｐ型の正電荷蓄積領域３を形成する。このとき、転送電極７及び導電膜３２をイオン注入のマスクとしてもよいし、これらの膜７，３２とは別にマスクを形成してもよい。
その後は、層間絶縁膜、遮光膜、さらに必要に応じてカラーフィルタやオンチップレンズを形成する。
このようにして、図１１に示した本実施の形態の固体撮像素子３１を製造することができる。
【００８９】
尚、本実施の形態において、読み出しゲート部１２の導電膜３２と、転送電極７とを同じ材料で構成することも可能である。
さらに、同じ材料で構成し、同一工程で同時に形成することも可能である。例えば凹部３３を埋めて全面的に電極材を成膜し、これをパターニングして導電膜３２と転送電極７をそれぞれ形成する。同一工程で形成することにより、固体撮像素子の製造工程数を低減することができる利点を有する。
これらの構成においても、読み出しゲート部１２の導電膜３２と転送電極７との間を絶縁分離して、導電膜３２と転送電極７とにそれぞれ異なる電位を印加することが可能となるように構成することが望ましい。
【００９０】
上述の各実施の形態では、ＣＣＤ固体撮像素子に本発明を適用したが、その他の構成にも本発明を適用することができる。
例えばＣＣＤ構造以外の電荷転送部（転送レジスタ）を有するＣＣＤ固体撮像素子にも、同様に本発明を適用することができる。
【００９１】
また、図１に示したようにセンサ部１１がマトリクス状に形成された構成だけでなく、例えばいわゆるラインセンサのように、一列のセンサ部と１つの電荷転送部（転送レジスタ）との組を単位とした構成にも本発明を適用することができる。
【００９２】
尚、本発明における半導体層は、その材料や膜構造が特に限定されるものではなく、上述した半導体基体（半導体基板、或いは半導体基板及びその上の半導体エピタキシャル層等）以外の構成も可能であり、例えば絶縁基板上に形成された半導体層をも含むものである。
【００９３】
本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
【００９４】
【発明の効果】
上述の本発明によれば、読み出しゲート部の特性を向上して、画素縮小に伴う読み出しゲート部の特性等の劣化を防ぐことができる。
これにより、読み出し電圧を低減して、消費電力を低減することができる。
【００９５】
特に、半導体層の転送領域の表面をセンサ部の表面よりも深く形成したときは、センサ部に対する転送電極の高さや、転送電極より上層のカラーフィルタやオンチップレンズ等の高さを低くすることができる。これにより、センサ部に入射する光の経路のアスペクト比（幅に対する高さの比）を小さくすることができる。これにより、斜めに入射した光が遮光膜等にけられることなくセンサ部に到達するようになって、光の利用効率や感度を向上させ、スミアを抑制することができる。このため、斜めに入射した光がセンサ部に達するように例えば層内レンズを形成する必要がなくなる。
【００９６】
さらに、半導体層に凹部を形成して、この凹部に転送領域及び読み出しゲート部を形成する構成としたときには、凹部の斜面や垂直面により、転送領域又は読み出しゲート部において、表面積を増やして取り扱い電荷量を増やすことができると共に、さらに読み出しゲート部においては、そのゲート長を長くして読み出し特性を向上することが可能になる。
【００９７】
即ち本発明により、固体撮像素子の多画素化や縮小化のために単位画素を縮小したことによる各種特性の劣化を防ぐことができ、基本特性を維持したまま多画素化、縮小化を実現することができる。
そして、固体撮像素子の縮小化により、１枚のウエハからの収率を増やして、製造コストの低減を図ることが可能になる。
【００９８】
従って、本発明によれば、固体撮像素子を搭載した装置（カメラ等）において、素子の多画素化による装置の高解像度化や、素子の縮小化による装置の小型化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の固体撮像素子の概略構成図（平面図）である。
【図２】図１のＡ−Ａにおける断面図である。
【図３】図２の構成における電荷の読み出し時の電荷の移動経路を説明する図である。
【図４】Ａ〜Ｃ　図１及び図２の固体撮像素子の製造工程を示す工程図である。
【図５】本発明の他の実施の形態の固体撮像素子の概略構成図（断面図）である。
【図６】図５の固体撮像素子の製造工程を示す工程図である。
【図７】本発明の別の実施の形態の固体撮像素子の概略構成図（断面図）である。
【図８】Ａ〜Ｃ　図７の固体撮像素子の製造工程を示す工程図である。
【図９】Ｄ〜Ｆ　図７の固体撮像素子の製造工程を示す工程図である。
【図１０】Ａ、Ｂ　半導体層を選択成長させる場合の製造工程を示す工程図である。
【図１１】本発明のさらに他の実施の形態の固体撮像素子の概略構成図（断面図）である。
【図１２】図１１の固体撮像素子の製造工程を示す工程図である。
【図１３】従来のＣＣＤ固体撮像素子の概略構成図（断面図）である。
【図１４】図１３の構成における電荷の読み出し時の電荷の移動経路を説明する図である。
【図１５】図１３の構成における最小ポテンシャル位置の関係を示す図である。
【符号の説明】
１　半導体基体、２　ｎ型不純物領域、３　正電荷蓄積領域、５　転送チャネル領域、６　ゲート絶縁膜、７　転送電極、９　遮光膜、１０，３３　凹部、１１センサ部、１２　読み出しゲート部、１３　垂直転送レジスタ、１４　チャネルストップ領域、１５　水平転送レジスタ、２１，２２，２３，３１　固体撮像素子、３２　導電膜

Claims (9)

1. 光電変換を行う複数のセンサ部と、
   上記センサ部で光電変換された信号電荷を読み出す読み出しゲート部と、
   上記読み出しゲート部により読み出された上記信号電荷を転送する転送領域及び該転送領域の転送を制御する転送電極から成る転送レジスタとを有し、
   上記転送レジスタの上記転送領域及び上記センサ部が、半導体層内に形成され、
   上記半導体層は、上記転送領域の表面が、上記センサ部の表面よりも深く形成されている
   ことを特徴とする固体撮像素子。
2. 少なくとも上記転送領域を含む上記半導体層の表面に凹部が形成され、上記凹部を埋めるように上記転送電極が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
3. 上記転送電極の表面と、上記センサ部の表面とがほぼ同一平面になるように平坦化されていることを特徴とする請求項２に記載の固体撮像素子。
4. 上記センサ部の上記半導体層は、半導体の選択成長により、上記転送領域を含む部分よりも厚く形成されていることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
5. 上記転送レジスタの最小ポテンシャル位置の上記半導体層の表面からの距離が、上記センサ部の最小ポテンシャル位置の上記半導体層の表面からの距離の５０％〜１５０％の範囲にあることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
6. 光電変換を行う複数のセンサ部と、
   上記センサ部で光電変換された信号電荷を読み出す読み出しゲート部と、
   上記読み出しゲート部により読み出された上記信号電荷を転送する転送領域及び該転送領域の転送を制御する転送電極から成る転送レジスタとを有し、
   上記転送レジスタの上記転送領域及び上記センサ部が、半導体層内に形成され、
   上記転送領域と上記センサ部との間の上記半導体層に凹部が形成され、
   上記凹部内に埋め込まれた導電膜により、上記読み出しゲート部が構成されている
   ことを特徴とする固体撮像素子。
7. 光電変換を行う複数のセンサ部と、
   上記センサ部で光電変換された信号電荷を読み出す読み出しゲート部と、
   上記読み出しゲート部により読み出された上記信号電荷を転送する転送領域及び該転送領域の転送を制御する転送電極から成る転送レジスタとを有する固体撮像素子を製造する方法であって、
   半導体層の表面に凹部を形成する工程と、
   上記半導体層の上記凹部の下に、イオン注入により上記転送領域を形成する工程と、
   上記半導体層の表面に絶縁膜を形成する工程と、
   上記絶縁膜上に、上記凹部を埋めるように上記転送電極を形成する工程と、
   上記半導体層の上記転送電極のない部分に、イオン注入により上記センサ部を形成する工程とを少なくとも有し、
   上記凹部は、上記転送領域及び上記読み出しゲート部を含むように形成する
   ことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
8. 光電変換を行う複数のセンサ部と、
   上記センサ部で光電変換された信号電荷を読み出す読み出しゲート部と、
   上記読み出しゲート部により読み出された上記信号電荷を転送する転送領域及び該転送領域の転送を制御する転送電極から成る転送レジスタとを有する固体撮像素子を製造する方法であって、
   上記読み出しゲート部となる部分の半導体層の表面に凹部を形成する工程と、上記半導体層の上記凹部の周辺に、イオン注入により上記転送領域を形成する工程と、
   上記半導体層の表面に絶縁膜を形成する工程と、
   上記絶縁膜上の上記凹部の周辺の上記転送領域上に、上記転送電極を形成する工程と、
   上記凹部に導電材を埋めて、上記読み出しゲート部を形成する工程と、
   上記半導体層の上記転送電極及び上記導電材のない部分に、イオン注入により上記センサ部を形成する工程とを有する
   ことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
9. 光電変換を行う複数のセンサ部と、
   上記センサ部で光電変換された信号電荷を読み出す読み出しゲート部と、
   上記読み出しゲート部により読み出された上記信号電荷を転送する転送領域及び該転送領域の転送を制御する転送電極から成る転送レジスタとを有する固体撮像素子を製造する方法であって、
   上記半導体層内に、イオン注入により上記転送領域を形成する工程と、
   上記半導体層の表面に絶縁膜を形成する工程と、
   上記絶縁膜上の少なくとも上記転送レジスタ及び上記読み出しゲート部となる部分に、上記転送電極を形成する工程と、
   上記半導体層の上記転送電極のない部分を、半導体の選択成長により隆起させる工程と、
   上記半導体層の隆起させた部分に、イオン注入により上記センサ部を形成する工程とを有する
   ことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。

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