JP2004085342A - 光波長計測装置及び光波長計測方法 - Google Patents

光波長計測装置及び光波長計測方法 Download PDF

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Abstract

【課題】計測誤差が少ない光波長計測装置及び光波長計測方法を提供する。
【解決手段】第1の広波長帯域光源1からの光及び第2の広波長帯域光源2から光にそれぞれ異なる周波数F、Fで強度変調をかけ、光源1からの被変調波と、光源2からの被変調波の基準波長フィルタ3透過後の被変調波とを同時にFBG6a〜6cに入射し、FBG6a〜6cからの反射波を受光素子12で光電変換した信号をそれぞれの周波数F、Fで分離することにより、FBG6a〜6cからの信号光と基準波長フィルタ3の信号光とを同時に分離することができるので、可変波長帯域フィルタ11の非再現性、ヒステリシス、非線形性の影響を低減することができ、計測誤差が少ない光波長計測装置及び光波長計測方法の提供を実現することができる。
【選択図】    図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光波長計測装置及び光波長計測方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図6は従来の光波長計測方法を適用した光波長計測装置のブロック図である。
この光波長計測装置は、第1の広波長帯域光源1(以下「光源1」という。)と、光源1の波長帯域に略等しい波長帯域を有する第2の広波長帯域光源2(以下「光源2」という。)と、光源1から基準となる信号光を透過させる基準波長フィルタ3と、基準波長フィルタ3からの信号光及び光源1からの信号光を合波する2×2光カプラ4と、2×2光カプラ4に光ファイバ5を介して接続された複数の光ファイバブラッググレーティング(以下「FBG」という。)6a、6b、6cと、2×2光カプラ4に接続されFBG6a〜6cからの反射光を受光して反射光の波長を検出する検出手段7とで構成されたものである。
【0003】
検出手段7は、同期信号源(周波数10Hz〜100Hz)8と、光源1に接続され光源1を同期信号源8に同期してオンオフ動作させる第1のスイッチ9と、光源2に接続され光源2を同期信号源8に同期してオフオン動作させる第2のスイッチ10と、2×2光カプラ4に接続された可変波長帯域フィルタ11と、可変波長帯域フィルタ11の出力端に接続された受光素子12と、受光素子12に接続され同期信号源8に同期して波長検出を行う波長検出装置13と、同期信号源8に同期して同期信号の2倍の周波数の信号を発生する逓倍回路14と、逓倍回路14に接続され同期信号の2倍の周波数の三角波を発生する三角波発生器15と、波長検出装置13に接続され可変波長帯域フィルタ11のバイアス電圧を制御するためのバイアス制御回路16と、三角波発生器15からの出力とバイアス制御回路16からの出力とを加算して可変波長帯域フィルタ11にバイアス電圧を印加する加算器17とで構成されている。
【0004】
光源1から出射した信号光は、FBG6a〜6cによって反射され、2×2光カプラ4、可変波長帯域フィルタ11を透過して、受光素子12で受光される。
【0005】
光源2から出射した信号光は、基準波長フィルタ3を透過した後、2×2光カプラ4、可変波長帯域フィルタ11を経て受光素子12に入射する。2つの光路を伝搬した信号光は、同じ透過帯域のフィルタ3、11を透過する必要があるが、同時に検出する場合、そのままでは光路の分離をすることができない。
【0006】
そこで、同期信号源8を用いて、光源1、2を同時に発光させないように制御することが行われている。すなわち、同期信号源8の同期信号のうち、前半周期はスイッチ9をオンにして光源1をオンにし、スイッチ10をオフにして光源2をオフにすることであり、これとは逆に同期信号の後半周期はスイッチ9をオフにして光源1をオフにし、スイッチ10をオンにして光源2をオンにすることである。
【0007】
図7は可変波長帯域フィルタのスペクトルを示す図であり、横軸が波長を示し、縦軸が透過率を示す。
【0008】
印加電圧がVからVまで変化すると、透過中心波長λからλまで変化する。可変波長帯域フィルタ11には、同期信号源8から逓倍回路14及び三角波発生器15を用いて、同期信号の2倍の周波数で最小電圧V、最大電圧Vの三角波信号とバイアス電圧とを加算し、透過中心波長を走査開始波長λから走査終了波長λまでの三角波状に制御する(図6参照)。このときの波長制御は可変波長帯域フィルタ11の非再現性、非直線性により完全な三角波にはならず、毎回わずかに異なった形状になる。
【0009】
可変波長帯域フィルタ11の制御信号と受光素子12の受光信号とを同時に計測することで光波長を計測することができる。
【0010】
可変波長帯域フィルタ11としては、PZT素子を用いた可変ファブリペローフィルタが用いられるが、この場合、PZT素子にはヒステリシスがあり、再現性に問題があるため、可変波長帯域フィルタ11の制御信号と透過中心波長との関係は時間と共に変化する。
【0011】
この結果、制御信号だけで波長を計測すると誤差が大きくなるため、基準波長フィルタからの信号を参照して波長を計測することが行われている。
【0012】
図8は基準波長フィルタの透過スペクトルを示す図であり、横軸が波長を示し、縦軸が光強度を示す。
【0013】
波長λからλの間に複数の透過ピークがある形状を有しており、ピーク波長は温度や時間で変動しない。可変波長帯域フィルタ11の透過ピーク数は、走査信号−透過中心波長特性を折線近似したときに、誤差を無視できる程度に設定する。
【0014】
図9はFBGの反射スペクトルを示す図であり、横軸が波長を示し、縦軸が光強度を示す。
【0015】
波長λからλの間に三つの透過ピークがある形状を有している。
【0016】
図10は第1の広波長帯域光源及び第2の広波長帯域光源のオンオフ及び可変波長帯域フィルタの透過中心波長走査を行ったときの受光素子で検出される信号を示す図であり、横軸が時間軸を示し、縦軸が電圧を示す。
【0017】
前半周期(図では左側)の走査では対象となるFBG6a〜6cからの反射光を計測するための図9に示したFBG反射スペクトルの形状に近い波形となり、後半周期(この場合右側)の走査では、基準波長フィルタ3の透過スペクトルに近い形状(図8参照)の信号を計測する。
【0018】
波長検出装置13内では、図10に示した信号波形のうちの前半周期のFBG信号と後半周期の基準波長フィルタ信号とを重ねる処理を行う。
【0019】
図11は図10に示した信号波形の前半周期のFBG信号と図10に示した後半周期の基準波長フィルタ信号とを重ねる処理を説明するための説明図であり、横軸は時間を示し、縦軸は電圧を示す。
【0020】
各々の信号のピークを検出することにより、ピーク時刻はFBG6a〜6cのピーク:TF1、TF2、TF3、基準波長フィルタ3のピーク:T、T、T、T、T、Tと計測される。基準波長フィルタ3のピーク波長は安定しているため、折線近似により波長を計測する。図11に示した例ではFBGピークPaは基準波長フィルタ3のピークP2とピークP3との間にあり、FBGピークPbは基準波長フィルタ3のピークP3とピークP4との間にあり、FBGピークPcは基準波長フィルタ3のピークP5とピークP6との間にある。このため、FBG6a〜6cの波長は数1式、数2式及び数3式で算出される。
【0021】
【数1】
Figure 2004085342
【0022】
【数2】
Figure 2004085342
【0023】
【数3】
Figure 2004085342
【0024】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図6に示した従来技術は、FBG6a〜6cの信号と基準波長フィルタ3の信号とを同時に計測していないため、計測時において前半周期と後半周期とで波長走査にずれが生じた場合、計測誤差が生じてしまうという問題があった。
【0025】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、計測誤差が少ない光波長計測装置及び光波長計測方法を提供することにある。
【0026】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、第1の広波長帯域光源と、第2の広波長帯域光源と、第2の広波長帯域光源から基準となる信号光を透過させる基準波長フィルタと、基準波長フィルタからの信号光及び第1の広波長帯域光源からの信号光を合波する光カプラと、光カプラに光ファイバを介して接続された複数の光ファイバブラッググレーティングと、光カプラに接続され光ファイバブラッググレーティングからの反射光を受光してピーク値と波長との関係より反射光の波長を検出する検出手段とを有する光波長計測装置において、第1の広波長帯域光源からの信号光を第1の周波数で強度変調する第1の強度変調用発振器と、第2の広波長帯域光源からの信号光を第1の周波数と異なる第2の周波数で強度変調する第2の強度変調用発振器と、光ファイバブラッググレーティングからの反射光を第1の周波数及び第2の周波数で分離する分離手段とを備えたものである。
【0027】
請求項2の発明は、請求項1に記載の構成に加え、分離手段は、光ファイバブラッググレーティングからの反射光を受光する受光素子に接続され透過周波数帯域の異なる一対のバンドパスフィルタと、両バンドパスフィルタの出力端にそれぞれ接続された一対の整流回路と、両整流回路の出力端にそれぞれ接続され同時に検出手段にピークを出力する一対のローパスフィルタとを有してもよい。
【0028】
請求項3の発明は、請求項1に記載の構成に加え、分離手段は、光ファイバブラッググレーティングからの反射光を受光する受光素子に接続され周波数帯域の異なる一対の同調増幅器、両同調増幅器の出力端にそれぞれ接続された一対の位相敏感検出器及び両位相敏感検出器の出力端にそれぞれ接続され同時に検出手段にピークを出力する一対のローパスフィルタからなるロックインアンプであってもよい。
【0029】
請求項4の発明は、第1の広波長帯域光源からの信号光と、第2の広波長帯域光源及び基準波長フィルタからの基準信号光とを光カプラで合波し、光ファイバを介して複数の光ファイバブラッググレーティングに入射し、光ファイバブラッググレーティングからの反射光を検出手段で受光して反射光の波長を検出する光波長計測方法において、第1の強度変調用発振器を用いて第1の広波長帯域光源からの信号光を第1の周波数で強度変調し、第2の強度変調用発振器を用いて第2の広波長帯域光源からの信号光を第1の周波数と異なる第2の周波数で強度変調し、分離手段を用いて光ファイバブラッググレーティングからの反射光を第1の周波数及び第2の周波数で分離し、検出手段で反射光の波長を検出するものである。
【0030】
本発明によれば、第1の広波長帯域光源からの光を第1の周波数で強度変調をかけ、第2の広波長帯域光源からの光を第2の周波数で強度変調をかけ、第1の広波長帯域光源からの被変調波と、第2の広波長帯域光源からの被変調波の基準波長フィルタ透過後の被変調波とを同時にFBGに入射し、FBGからの反射波を受光素子で光電変換し、得られた信号を第1及び第2の周波数で分離することにより、FBGからの信号光と基準波長フィルタの信号光とを同時に分離することができるので、可変波長帯域フィルタの非再現性、ヒステリシス、非線形性の影響を低減することができ、計測誤差が少ない光波長計測装置及び光波長計測方法の提供を実現することができる。
【0031】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【0032】
図1は本発明の光波長計測方法を適用した光波長計測装置の一実施の形態を示すブロック図である。尚、図6に示した光波長計測装置と同様の部材には共通の符号を用いた。
【0033】
本光波長計測装置は、発振周波数F(1kHz〜1GHz)の強度変調用発振器(以下「OSC」という)1と、OSC1により強度変調される光源1と、発振周波数F(1kHz〜1GHz)OSC2と、OSC2により強度変調される光源2と、光源1から基準となる信号光を透過させる基準波長フィルタ(PZT若しくは回折格子)3と、基準波長フィルタ3からの信号光及び光源1からの信号光を合波する2×2光カプラ4と、2×2光カプラ4に光ファイバ5を介して接続された複数のFBG6a〜6cと、2×2光カプラ4に接続されFBG6a〜6cからの反射光を受光して反射光の波長を検出する検出手段20とで構成されたものである。
【0034】
検出手段20は、同期信号源8と、2×2光カプラ4に接続された可変波長帯域フィルタ11と、可変波長帯域フィルタ11の出力端に接続された受光素子12と、受光素子12に接続され同期信号源8に同期して波長検出を行う波長検出装置21と、同期信号源8に同期して三角波を発生する三角波発生器15と、波長検出装置21に接続され可変波長帯域フィルタ11のバイアス電圧を制御するためのバイアス制御回路16と、三角波発生器15からの出力とバイアス制御回路16からの出力とを加算して可変波長帯域フィルタ11にバイアス電圧を印加する加算器17と、受光素子12と波長検出装置21との間に挿入され、FBG6a〜6cからの反射光を第1の周波数及び第2の周波数で分離する分離手段22とで構成されたものである。
【0035】
分離手段22は、FBG6a〜6cからの反射光を受光する受光素子12に接続され、2つに分岐する信号線L1、L2と、透過周波数帯域の異なる一対のバンドパスフィルタ23a、23bと、両バンドパスフィルタ23a、23bの出力端にそれぞれ接続された一対の整流回路(全波整流回路若しくは半波整流回路)24a、24bと、両整流回路24a、24bの出力端にそれぞれ接続され同時にピークを出力する一対のローパスフィルタ25a、25bとで構成されたものである。
【0036】
次にこの光波長計測装置の動作について説明する。
【0037】
光源1からの信号光はOSC1により周波数Fで強度変調が行われ、FBG6a〜6cに入射する。FBG6a〜6cで反射した信号光は、2×2光カプラ4及び可変波長帯域フィルタ11を透過した後、受光素子12に入射する。受光素子12に入射した信号光は周波数Fで変調されているため、FBG6a〜6cの反射光の信号波形は図8に示した信号波形にsin(2πt/F)で表される信号波形を乗じたもの、つまり、中心周波数がFのAM(振幅変調)信号波形である。
【0038】
光源2からの信号光はOSC2により周波数Fで強度変調が行われ、基準波長フィルタ3及び2×2光カプラ4を透過した後に可変波長帯域フィルタ11を透過し、受光素子12に入射する。基準波長フィルタ3のみの信号波形は図7に示した信号波形にsin(2πt/F)で表される信号波形を乗じたもの、つまり中心周波数FのAM信号波形である。
【0039】
これら中心周波数FのAM信号と、中心周波数FのAM信号との和が受光素子12で受光される。受光された信号光は、周波数の異なるAM信号の和であるため、バンドパスフィルタ23a、23bで分離し、包絡線検波を行うことで元の信号を復調することができる。
【0040】
FBG6a〜6cの反射信号と基準波長フィルタ3の信号とは同時に可変波長帯域フィルタ11に透過されるので、波長走査が1周期で計測が可能であり、信号は図2に示すようになる。
【0041】
図2は図1に示した光波長計測装置の受光信号波形であり、横軸が時間を示し、縦軸が電圧を示す。図3は図2に示した受光信号波形の時間T〜Tの部分拡大図である。
【0042】
この信号はF、Fの2つの周波数を有するため、透過中心周波数がそれぞれF、Fの2つのバンドパスフィルタを用いて分離され、図4に示す2つの信号になる。
【0043】
図4は図3に示した信号波形の周波数分離信号波形を示す図であり、横軸が時間を示し、縦軸が電圧を示す。
【0044】
各信号は整流回路24a、24bと、ローパスフィルタ25a、25bとを通して整形することにより、図11に示した波形が得られる。このようにして基準波長フィルタ3を透過した信号とFBG6a〜6cからの信号とを同時に計測することができる。
【0045】
(最適条件についての根拠)
波長計測範囲を100nm帯とし、計測周波数を10Hzとし、波長分解能を1pmと仮定すると、ローパスフィルタ25a、25bの帯域がDC〜1MHz、バンドパスフィルタ23a、23bのバンド幅ΔFが2MHz必要である。周波数の条件として、クロストークを避けるため、2つのバンドパスフィルタ23a、23bの帯域が少なくともΔF/2=1MHz以上離れていることとした(図1参照)。また、変調にゆがみが生じた場合には信号成分の中に2倍波や3倍波等の高調波が生じるおそれもあるため、2倍波帯とクロストークを生じさせないために、2×F帯とF帯とがΔF/2=1MHz以上離れていることとした。
【0046】
以上より最低条件として、中心周波数F=7MHz、F=10MHzが挙げられる。
【0047】
図5は本発明の光波長計測方法を適用した光波長計測装置の他の実施の形態を示すブロック図である。
【0048】
図1に示した光波計測装置との相違点は、分離手段にロックインアンプを用いた点である。
【0049】
すなわち、図5に示す光波長計測装置の分離手段31は、FBG6a〜6cからの反射光を受光する受光素子12に接続され、2つに分岐する信号線L1、L2と、周波数帯域の異なる一対の同調増幅器(所定周波数についての増幅器)32a、32b、両同調増幅器32a、32bの出力端にそれぞれ接続された一対の位相敏感検出器(信号と参照信号の位相を揃えてこれらの積をとる装置)33a、33b及び両位相敏感検出器33a、33bの出力端にそれぞれ接続され、同時にピークを出力する一対のローパスフィルタ(積分器型フィルタ)34a、34bからなるロックインアンプである。
【0050】
このような分離手段31を有する検出手段30を用いても図1に示した光波長計測装置と同様の効果が得られる。
【0051】
本光波長計測装置は、FBGを多用した多点歪み計測システムへの適用が可能である。
【0052】
以上において、本発明は、基準波長フィルタの信号とFBGからの信号との同時計測であるため、波長走査の再現性に左右されずに計測ができる。また、基準波長の計測を同時に行うため、従来のように2回も波長走査を行う必要がなくなり、計測時間を半分にすることができる。さらに、ヒステリシスの影響を低減することができるため、逆波長走査を行っている部分の計測も可能であり、波長計測精度を向上させることができる。
【0053】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、計測誤差が少ない光波長計測装置及び光波長計測方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光波長計測方法を適用した光波長計測装置の一実施の形態を示すブロック図である。
【図2】図1に示した光波長計測装置の受光信号波形である。
【図3】図2に示した受光信号波形の時間T〜Tの部分拡大図である。
【図4】図3に示した信号波形の周波数分離信号波形を示す図である。
【図5】本発明の光波長計測方法を適用した光波長計測装置の他の実施の形態を示すブロック図である。
【図6】従来の光波長計測方法を適用した光波長計測装置のブロック図である。
【図7】可変波長帯域フィルタのスペクトルを示す図である。
【図8】基準波長フィルタの透過スペクトルを示す図である。
【図9】FBGの反射スペクトルを示す図である。
【図10】第1の広波長帯域光源及び第2の広波長帯域光源のオンオフ及び可変波長帯域フィルタの透過中心波長走査を行ったときの受光素子で検出される信号を示す図である。
【図11】図10に示した信号波形の前半周期のFBG信号と図10に示した後半周期の基準波長フィルタの信号とを重ねる処理を説明するための説明図である。
【符号の説明】
1 第1の広波長帯域光源(光源)
2 第2の広波長帯域光源(光源)
3 基準波長フィルタ
4 2×2光カプラ
6a〜6c 光ファイバブラッググレーティング(FBG)
8 同期信号源
11 可変波長帯域フィルタ
12 受光素子
15 三角波発生器
16 バイアス制御回路
17 加算器
20 検出手段
21 波長検出装置
22 分離手段
23a、23b バンドパスフィルタ
24a、24b 整流回路
25a、25b ローパスフィルタ
L1、L2 信号線
OSC1 第1の強度変調用発振器
OSC2 第2の強度変調用発振器

Claims (4)

  1. 第1の広波長帯域光源と、第2の広波長帯域光源と、第2の広波長帯域光源から基準となる信号光を透過させる基準波長フィルタと、該基準波長フィルタからの信号光及び第1の広波長帯域光源からの信号光を合波する光カプラと、該光カプラに光ファイバを介して接続された複数の光ファイバブラッググレーティングと、上記光カプラに接続され上記光ファイバブラッググレーティングからの反射光を受光してピーク値と波長との関係より該反射光の波長を検出する検出手段とを有する光波長計測装置において、第1の広波長帯域光源からの信号光を第1の周波数で強度変調する第1の強度変調用発振器と、第2の広波長帯域光源からの信号光を第1の周波数と異なる第2の周波数で強度変調する第2の強度変調用発振器と、上記光ファイバブラッググレーティングからの反射光を第1の周波数及び第2の周波数で分離する分離手段とを備えたことを特徴とする光波長計測装置。
  2. 上記分離手段は、上記光ファイバブラッググレーティングからの反射光を受光する受光素子に接続され透過周波数帯域の異なる一対のバンドパスフィルタと、両バンドパスフィルタの出力端にそれぞれ接続された一対の整流回路と、両整流回路の出力端にそれぞれ接続され同時に上記検出手段にピークを出力する一対のローパスフィルタとを有する請求項1に記載の光波長計測装置。
  3. 上記分離手段は、上記光ファイバブラッググレーティングからの反射光を受光する受光素子に接続され周波数帯域の異なる一対の同調増幅器、両同調増幅器の出力端にそれぞれ接続された一対の位相敏感検出器及び両位相敏感検出器の出力端にそれぞれ接続され同時に上記検出手段にピークを出力する一対のローパスフィルタからなるロックインアンプである請求項1に記載の光波長計測装置。
  4. 第1の広波長帯域光源からの信号光と、第2の広波長帯域光源及び基準波長フィルタからの基準信号光とを光カプラで合波し、光ファイバを介して複数の光ファイバブラッググレーティングに入射し、上記光ファイバブラッググレーティングからの反射光を検出手段で受光して該反射光の波長を検出する光波長計測方法において、第1の強度変調用発振器を用いて第1の広波長帯域光源からの信号光を第1の周波数で強度変調し、第2の強度変調用発振器を用いて第2の広波長帯域光源からの信号光を第1の周波数と異なる第2の周波数で強度変調し、分離手段を用いて上記光ファイバブラッググレーティングからの反射光を第1の周波数及び第2の周波数で分離し、上記検出手段で反射光の波長を検出することを特徴とする光波長計測方法。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004295839A (ja) * 2003-03-28 2004-10-21 Toshiyuki Ochi 遠隔自動光波計測管理制御システム
JP2013528495A (ja) * 2010-05-11 2013-07-11 プレシテック カーゲー レーザ切断ヘッドおよびレーザ切断ヘッドを用いて被加工物を切断する方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004295839A (ja) * 2003-03-28 2004-10-21 Toshiyuki Ochi 遠隔自動光波計測管理制御システム
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