JP2004082238A - 可動構造部を有する微小構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】微小構造体は、可動構造部14の露出した面の上部に張られ、当該可動部の過剰な動きを防止するワイヤ22を備える。そして、ワイヤ22の端部が固定されるワイヤ固定部の位置が、可動構造部14の上面に対して相対的に低く設定する。
【選択図】 図1
Description
【産業上の利用分野】
本発明は、可動構造部を有する微小構造体に関し、特に、可動構造部の動きに応じて出力信号を得る加速度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
可動構造部を利用したセンサには種々のタイプのものがある。例えば、慣性センサとして代表的なものとして、加速度センサや角加速度センサ(振動ジャイロ)がある。
【0003】
自動車などの車両の加速度を検出する加速度センサは、一般に、半導体のピエゾ抵抗効果を利用している。このようなセンサは、例えば、シリコン基体に空洞部を形成し、その中に3次元方向に自由に動くことができる箱形の可動構造部を収容している。可動構造部にはピエゾ素子が連結されており、可動構造部の動きに対応した応力がピエゾ素子に加わるように構成されている。そして、ピエゾ素子に加わる応力の変化を抵抗の変化として検出し、当該検出結果を用いて車両の走行制御などを行っている。
【0004】
ところで、上記のようにシリコン基体に収容される可動構造部は、自由に動けることが重要であるが、過剰に動いた場合には、センサの破壊につながることもある。そこで、従来においては、例えば、特公平5−71148号公報に開示されているように、可動構造部の上下方向の過剰動作を防止するための、ガラス製のストッパが設けられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のようにガラス製のストッパを設けると、センサ(チップ)の厚みが増すという問題点があった。また、ガラスの接合工程が煩雑であり、製造コストの増加につながる。更に、ガラスとシリコンの接合による応力がセンサ特性に影響することも否定できない。
【0006】
従って、本発明の目的は、厚みの増加を最小限に抑えることが可能であり、実質的に微小構造体の特性への影響が無く、簡易且つ低コストで製造可能な微小構造体を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の第1の態様に係る微小構造体は、可動構造部の露出した面の上部に張られ、当該可動部の過剰な動きを防止するワイヤを備える。そして、ワイヤの端部が固定されるワイヤ固定部の位置が、可動構造部の上面に対して相対的に低く設定する。
【0008】
現在のワイヤボンディング加工技術においては、ワイヤを低く張るのには限界があり、特に100μm以下の高さとした場合に、最下部から最上部までの高さのばらつきが大きくなる。上記のような本発明によれば、ワイヤの最下部(ワイヤ固定部)から最上部までの高さは変わらなくとも、可動部上面からワイヤまでの距離を短くすることが可能となる。その結果、ワイヤ高さのばらつきを増大させることなく、センサの厚さを減少させることが可能となる。
【0009】
例えば、可動構造部の上面に突出部を形成することにより、ワイヤ固定部の位置を相対的に低くすることができる。また、突出部としては、可動構造部の上面に形成された樹脂層;メッキ層;多結晶シリコン層を採用することができる。
【0010】
ワイヤ固定部は、基体上に設けられ、可動構造部の上面に対して相対的に低い位置に配置することもできる。例えば、ワイヤ固定部を、基体に形成された段差部とする。
【0011】
本発明を加速度センサに適用した具体的な態様においては、微小構造体(センサ本体)をパッケージに収容するものであり、ストッパとして機能するワイヤの端部をパッケージのリードパッドに固定し、当該リードパッドをワイヤ固定部として活用する。そして、センサの可動構造部の上面に対して相対的に低い位置にリードパッドを配置する。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、加速度センサを例にとって説明する。なお、本発明は、角加速度センサ(振動ジャイロ)等の他の慣性センサに加えて、アクチュエータ等の可動構造部を有するあらゆるタイプの微小構造体(MEMS)に適用可能である。
【0013】
図1及び図2は、本発明の第1実施例に係る加速度センサ10の構造を示す斜視図及び平面図である。なお、図2において、説明の便宜上、ピエゾ抵抗素子などの細かな構成は省略する。図3は、加速度センサ10の内部構造を示す断面図である。本実施例に係る加速度センサ10は、シリコン基体12と、シリコン基体12の中央付近において上下左右のあらゆる方向に移動可能に収容された可動構造部(可動マス)14とを備えている。シリコン基体12の中央には、箱形の空間が形成されており、その中に可動構造部14が収容される。可動構造部14は、慣性力を向上させるために、4つの正方形を中央で連結した所謂クローバー型に成形されている。基本的に、可動構造部14(後述の突起部14aを除く)の上面は、シリコン基体12の上面と同一面となるように設計されている。
【0014】
4つに区画された可動構造部14の上部には、各々隆起部(突起部)14aが設けられ、シリコン基体12の上面に対して突起部14aがΔhだけ高くなるように設定されている。
【0015】
センサ10は、また、可動構造部14とシリコン基体12とを連結する4本のビーム(支持梁)16と、ビーム16とシリコン基体12との連結部分に跨って配置された8個のピエゾ抵抗素子18とを備えている。各ビーム16は、可動構造部14のクローバーの葉と葉の間に対応する位置に配置される。シリコン基体12の上面には、電極パッド20が形成されており、図示しない配線によってピエゾ抵抗素子18と電気的に接続されている。
【0016】
ピエゾ抵抗素子18に接続されていない電極パッド20は、ワイヤ22のボンディングパッドとして利用される。すなわち、ストッパとして機能する4本のワイヤ22は、可動構造部14の四隅に架かるように配置され、その端部が電極パッド20上に周知のワイヤボンディング工程によって接合される。
【0017】
図3に示すように、シリコン基体12は、ダイボンド面24上に固定されている。上述したように、可動構造部14はシリコン基体12の空間内で上下左右に自由に移動可能であるが、下方向への過動はダイボンド面24によって制止され、水平方向の過動はシリコン基体12の内面によって制止される。そして、可動構造部14の上方向への過動は、ワイヤ22によって制止される。ここで、「過動」とは、センサなどの微小構造体が正常に動作しなくなる程度の動き、例えば、構造体が破壊される以上の動き、若しくは、センサ出力の最大定格以上の動き等を言う。
【0018】
なお、突起部14aの上面からワイヤ22までの距離Hは、ボンディング装置の設定及び突出部14aの高さΔhによって調整することができる。本実施例においては、ワイヤ22の最下部(ワイヤ固定部)から最上部までの高さ(H+Δh)は変わらなくとも、可動部14a上面からワイヤ22までの距離Hを短くすることが可能となる。その結果、ワイヤ22の高さのばらつきを増大させることなく、センサ10の全体的な厚さを減少させることが可能となる。例えば、突起部14aの上面からワイヤ22までの距離Hを約80μmとした場合にも、センサ毎の高さHのばらつきを抑えることができる。
【0019】
図4(A)〜(D)は、第1実施例に係る加速度センサ10の第1の製造工程例を示す断面図である。本実施例の加速度センサ10の製造に際しては、最初に、活性層(Si);埋め込み酸化膜層(SiO2);Si基板からなるSOI基板30を形成する。その後、SOI基板30の活性層上に半導体加工技術を用いてブリッジ回路を構成するように、ピエゾ抵抗素子18、金属配線及び電極パッド20を配列形成してセンサ回路32を成形する(図4A)。次に、感光性ポリイミド、レジスト等を所望の膜厚でスピンコート(回転塗布)し、露光、現像、ベーク等の処理を経て突起部34を形成する(図4B)。
【0020】
次に、Si Deep RIE (Reactive Ion Etching)によりビーム部16を形成する。その後、Si基板側から同様に、Si Deep
RIE によって可動構造部14を形成する。次に、埋め込み酸化膜をエッチングすることにより、可動構造部14をリリースする(図4C)。その後、ダイシングによって個々のセンサチップに切断する。次に、このセンサチップをパッケージ(図示せず)にボンディングし、続いて、センサチップ10の電極パッド20とパッケージのリードパッド(図示せず)をワイヤボンディングする。この時、同一のボンディング工程において、センサチップ10にワイヤ22を形成する(図4D)。
【0021】
図5(A)〜(D)、図6(E)〜(G)は、第1実施例に係る加速度センサ10の第2の製造工程例を示す断面図である。本実施例の加速度センサ10の製造に際しては、最初に、活性層(Si);埋め込み酸化膜層(SiO2);Si基板からなるSOI基板30を形成する。その後、SOI基板30の活性層上に半導体加工技術を用いてブリッジ回路を構成するように、ピエゾ抵抗素子18,金属配線及び電極パッド20を配列形成してセンサ回路32を成形する(図5A)。そして、電極パッドを除いた部分をSiN等の保護膜で覆う。
【0022】
次に、Ni,Cu,Au,Pd,Ag,Sn,Co等からなるシード゛層40をスパッタリングにより成膜する(図5B)。その後、感光性ポリイミド、レジスト等を所望の膜厚でスピンコート(回転塗布)し、露光、現像、ベーク等の処理を経てレジストパターン42を形成する(図5C)。
【0023】
次に、Ni,Cu,Au,Pd,Ag,Sn,Co等のメッキ層を成膜する(図5D)。その後、レジストパターンを除去し、シード層40をイオンミリング、ウェットエッチング、RIE (Reactive Ion Etching)等により、除去して突起部44を形成する(図6E)。
【0024】
次に、Si Deep RIE (Reactive Ion Etching)によりビーム部16を形成する。その後、Si基板側から同様に、Si Deep
RIE によって可動構造部14を形成する。次に、埋め込み酸化膜をエッチングすることにより、可動構造部14をリリースする(図6F)。その後、ダイシングによって個々のセンサチップに切断する。次に、このセンサチップをパッケージ(図示せず)にボンディングし、続いて、センサチップ10の電極パッド20とパッケージのリードパッド(図示せず)をワイヤボンディングする。この時、同一のボンディング工程において、センサチップ10にワイヤ22を形成する(図6G)。
【0025】
図7(A)〜(C)、図8(D)〜(F)は、第1実施例に係る加速度センサ10の第3の製造工程例を示す断面図である。本実施例の加速度センサ10の製造に際しては、最初に、活性層(Si);埋め込み酸化膜層(SiO2);Si基板からなるSOI基板30を形成する。その後、SOI基板30上に、多結晶シリコン層50を成膜する(図7A)。次に、レジストをスピンコート(回転塗布)し、露光、現像、ベーク処理を経てレジストパターン52を形成する(図7B)。
【0026】
次に、RIE(Reactive Ion Etching)により多結晶シリコン層50をエッチングして、突起部54を形成する(図7C)。その後、半導体加工技術を用いてブリッジ回路を構成するように、ピエゾ抵抗素子18,金属配線及び電極パッド20を配列形成してセンサ回路32を成形する(図8D)。そして、電極パッドを除いた部分をSiN等の保護膜で覆う。
【0027】
次に、Si Deep RIE (Reactive Ion Etching)によりビーム部16を形成する。その後、Si基板側から同様に、Si Deep
RIE によって可動構造部14を形成する。次に、埋め込み酸化膜をエッチングすることにより、可動構造部14をリリースする(図8E)。その後、ダイシングによって個々のセンサチップに切断する。次に、このセンサチップをパッケージ(図示せず)にボンディングし、続いて、センサチップ10の電極パッド20とパッケージのリードパッド(図示せず)をワイヤボンディングする。この時、同一のボンディング工程において、センサチップ10にワイヤ22を形成する(図8F)。
【0028】
図9は、本発明の第2実施例に係る加速度センサの構造を示す断面図である。図10(A)〜(E)は、第2実施例に係る加速度センサの製造工程例を示す断面図である。なお、図9及び図10において、上記第1実施例と同一又は対応する構成要素については、同一の符号を付し、重複した説明は省略する。本実施例の加速度センサと第1実施例のセンサとの違いは、可動構造部14及びシリコン基体58の構造にある。すなわち、本実施例においては、可動構造部14に突起部14aを形成することなく、シリコン基体58の上面を削ることにより、可動構造部14の上面とワイヤ22との距離Δhを形成するものである。
【0029】
本実施例の加速度センサ10の製造に際しては、最初に、活性層(Si);埋め込み酸化膜層(SiO2);Si基板からなるSOI基板30を形成する。次に、SOI基板30の活性層上に、レジストをスピンコート(回転塗布)し、露光、現像、ベーク処理を経てレジストパターン60を形成する(図10A)。その後、RIE(Reactive Ion
Etching)によりSOI基板30をエッチングして、ストッパ形成用の電極パッド部30aを形成する(図10B)。
【0030】
次に、半導体加工技術を用いてブリッジ回路を構成するように、ピエゾ抵抗素子18,金属配線及び電極パッド20を配列形成してセンサ回路32を成形する(図10C)。そして、電極パッドを除いた部分をSiN等の保護膜で覆う。その後、Si Deep RIE (Reactive Ion Etching)によりビーム部16を形成し、Si基板側から同様に、Si Deep RIE によって可動構造部14を形成する。次に、埋め込み酸化膜をエッチングすることにより、可動構造部14をリリースする(図10D)。その後、ダイシングによって個々のセンサチップに切断する。次に、このセンサチップをパッケージ(図示せず)にボンディングし、続いて、センサチップ10の電極パッド20とパッケージのリードパッド(図示せず)をワイヤボンディングする。この時、同一のボンディング工程において、センサチップ10にワイヤ22を形成する(図10E)。
【0031】
図11は、本発明の第3実施例に係る加速度センサパッケージ70に収容される加速度センサ74の構造を示す斜視図である。図12は、第3実施例に係る加速度センサパッケージ70の構造を示す断面図である。なお、図11及び図12において、上記第1及び第2実施例と同一又は対応する構成要素については、同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【0032】
本実施例に係る加速度センサ74は、シリコン基体12と、シリコン基体12の中央付近において上下左右のあらゆる方向に移動可能に収容された可動構造部(可動マス)14とを備えている。シリコン基体12の中央には、箱形の空間が形成されており、その中に可動構造部14が収容される。可動構造部14は、慣性力を向上させるために、4つの正方形を中央で連結した所謂クローバー型に成形されている。可動構造部14(後述の突起部14aを除く)の上面は、シリコン基体12の上面と同一面となるように設計されている。
【0033】
センサ74は、また、可動構造部14とシリコン基体12とを連結する4本のビーム(支持梁)16と、ビーム16とシリコン基体12との連結部分に跨って配置された8個のピエゾ抵抗素子18とを備えている。各ビーム16は、可動構造部14のクローバーの葉と葉の間に対応する位置に配置される。シリコン基体12の上面には、電極パッド20が形成されており、図示しない配線によってピエゾ抵抗素子18と電気的に接続されている。
【0034】
本実施例に係るセンサ74は、パッケージ70の内部に収容される。パッケージ70のリードパッド76は、センサ74の上面からΔhだけ低い位置に設定されている。センサ74の逆側に位置する2つのリードパッド76をワイヤ22で連結することにより、当該ワイヤ22を過動防止ストッパとして機能させる。本実施例においても、上記第1及び第2実施例と同様の作用・効果を得ることができる。
【0035】
以上、本発明の実施例(実施形態、実施態様)について説明したが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではなく、特許請求の範囲に示された技術的思想の範疇において変更可能なものである。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明においては、ワイヤを用いて可動構造部の過剰な動きを防止しているため、ガラス製のストッパを用いた場合に比べ、厚みの増加を最小限に抑えることが可能となる。特に、ワイヤ固定部(端部)と可動構造部の上面との間に相対的な段差を設けているため、ワイヤの最下部(ワイヤ固定部)から最上部までの高さは変わらなくとも、可動部上面からワイヤまでの距離を短くすることが可能となる。その結果、ワイヤ高さのばらつきを増大させることなく、センサの厚さを減少させることが可能となる。
【0037】
また、ワイヤの接合時に基体及び可動構造部に加わる応力は殆ど無いため、センサなどの微小構造体の特性への影響が実質的に無い。更に、ワイヤボンディング工程において、ストッパワイヤを形成できるため、製造工程が煩雑になることもなく、従来のようにガラス製ストッパを接合する場合に比べ、製造工程が簡素且つ低コストで実行することができる。特に、加速度センサなどの場合には、センサチップの電極パッドとパッケージのリードパッドをワイヤボンディングする際に、これと同一工程で、ストッパ用のワイヤを形成することができ、極めて合理的、効率的である。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の第1実施例に係る加速度センサの構造を示す斜視図である。
【図2】図2は、第1実施例に係る加速度センサの構造を示す平面図である。
【図3】図3は、図1のI−I方向の断面図である。
【図4】図4(A)〜(D)は、第1実施例に係る加速度センサの第1の製造工程例を示す断面図である。
【図5】図5(A)〜(D)は、第1実施例に係る加速度センサの第2の製造工程例を示す断面図である。
【図6】図6(E)〜(G)は、第1実施例に係る加速度センサの第2の製造工程例を示す断面図であり、図5から続く。
【図7】図7(A)〜(C)は、第1実施例に係る加速度センサの第3の製造工程例を示す断面図である。
【図8】図8(D)〜(F)は、第1実施例に係る加速度センサの第3の製造工程例を示す断面図であり、図7から続く。
【図9】図9は、本発明の第2実施例に係る加速度センサの構造を示す断面図である。
【図10】図10(A)〜(E)は、第2実施例に係る加速度センサの製造工程例を示す断面図である。
【図11】図11は、本発明の第3実施例に係る加速度センサパッケージに使用される加速度センサの構造を示す斜視図である。
【図12】図12は、第3実施例に係る加速度センサパッケージの構造を示す断面図である。
【符号の説明】
10 加速度センサ
12 シリコン基体
14 可動構造部(可動マス)
14a 突起部
16 ビーム(支持梁)
18 ピエゾ抵抗素子
20 電極パッド
22 ワイヤ
24 ダイボンド面
70 パッケージ
Claims (10)
- 可動構造部を有する微小構造体において、
前記可動構造部を3次元方向に移動可能に収容した基体を備え;
前記可動構造部は、前記基体に収容された時に、少なくとも1面が外部に露出した状態であり;
前記可動構造部の露出した面の上部に張られ、当該可動部の過剰な動きを防止するワイヤを備え、
前記ワイヤの端部が固定されるワイヤ固定部の位置が、前記可動構造部の上面に対して相対的に低く設定されていることを特徴とする微小構造体。 - 前記可動構造部の上面に突出部を形成することにより、前記ワイヤ固定部の位置を相対的に低くすることを特徴とする請求項1に記載の微小構造体。
- 前記突出部は、前記可動構造部の上面に形成された樹脂層であることを特徴とする請求項2に記載の微小構造体。
- 前記突出部は、前記可動構造部の上面に形成されたメッキ層であることを特徴とする請求項2に記載の微小構造体。
- 前記突出部は、前記可動構造部の上面に形成された多結晶シリコン層であることを特徴とする請求項2に記載の微小構造体。
- 前記ワイヤ固定部は、前記基体上に設けられ、前記可動構造部の上面に対して相対的に低い位置に配置されることを特徴とする請求項1に記載の微小構造体。
- 前記ワイヤ固定部は、前記基体に形成された段差部であることを特徴とする請求項6に記載の微小構造体。
- 可動構造部の動きに応じて出力信号を得る加速度センサにおいて、
前記可動構造部を3次元方向に移動可能に収容したシリコン基体を備え;
前記可動構造部は、前記シリコン基体に収容された時に、少なくとも上面が外部に露出した状態であり;
前記可動構造部の上面を横切るように張られ、両端部が前記シリコン基体の上面にワイヤボンディング工程によって接合されて、当該可動部の上方への過剰な動きを防止するワイヤを備え、
前記ワイヤの端部が固定されるワイヤ固定部の位置が、前記可動構造部の上面に対して相対的に低く設定されていることを特徴とする加速度センサ。 - 前記シリコン基体は、パッケージのリードパッドとワイヤボンディングによって接続される電極パッドを備え、
前記ワイヤは、前記パッケージのリードパッドと前記電極パッドとをワイヤボンディングするのと同一の工程によって形成されることを特徴とする請求項8に記載の加速度センサ。 - 前記リードパッドが前記ワイヤ固定部を兼ね、
前記リードパッドが形成される位置が、前記可動構造部の上面に対して相対的に低い位置に配置されていることを特徴とする請求項9に記載の加速度センサ。
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