JP2004079904A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 基板を収容し、前記基板上に膜を成膜する成膜チャンバと、前記成膜チャンバ内に設けられ、前記基板に向けて原料ガスを流出させるインジェクタと、前記インジェクタに原料ガスを供給する原料ガス供給管とを備え、前記インジェクタを介して原料ガスを前記成膜チャンバに導入して気相成長法により前記基板上に膜を成長させる成膜装置において、
   前記インジェクタ内の原料ガス流路が、第１の分岐管と、前記第１の分岐管の各出口に接続された２本の第２の分岐管と、以下、同様にして、第（ｎー１）（ｎは２以上の任意の整数）の分岐管の各出口に接続された２^n-1 個の第ｎの分岐管からなるｎ段縦続の分岐構造として構成され、
   前記第１の分岐管が、前記原料ガス供給管の出口に接続された入口と、原料ガスを２系統に分流させる２本の分岐管体と、２本の分岐管体のそれぞれに設けられた出口とを有し、
   前記第２の分岐管が、前記第１の分岐管の分岐管体の出口に接続された入口と、原料ガスを更に２系統に分流させる２本の分岐管体と、２本の分岐管体のそれぞれに設けられた出口とを有し、
   前記第ｎの分岐管が、それぞれ、前記第（ｎ−１）の分岐管の分岐管体の出口に接続された入口と、原料ガスを更に２系統に分流させる２本の分岐管体と、２本の分岐管のそれぞれに設けられ、原料ガスを成膜チャンバ内に流出させる出口とを有する
   ことを特徴とする成膜装置。
2. 前記インジェクタの流路を構成する第１から第ｎの分岐管は、それぞれ、所定の平面に沿って形成され、
   前記第１の分岐管から第ｍ（２≦ｍ≦ｎ−１）の分岐管が設けられている面は、それぞれ、相互に平行であり、第（ｍ＋１）の分岐管から前記第ｎの分岐管が設けられている面は、それぞれ、相互に平行であり、かつ前記第（ｍ＋１）の分岐管から第ｎの分岐管が設けられている面は前記第１の分岐管から第ｍ（２≦ｍ≦ｎ−１）の分岐管が設けられている面に交差している
   ことを特徴とする請求項１に記載の成膜装置。
3. 前記第１の分岐管から前記第ｍ（２≦ｍ≦ｎ−１）の分岐管は一つの面からなる第１面に設けられており、前記第（ｍ＋１）の分岐管から第ｎの分岐管は一つの面からなる第２面に設けられており、かつ前記第２面は前記第１面に交差している
   ことを特徴とする請求項２に記載の成膜装置。
4. 前記インジェクタの流路を構成する第１から第ｎの分岐管は、それぞれ、所定の平面に沿って形成され、かつ第ｍ（２≦ｍ≦ｎ）の分岐管が設けられている面が、第（ｍ−１）の分岐管が設けられている面に対して交差している
   ことを特徴とする請求項１に記載の成膜装置。
5. 前記インジェクタの流路を構成する各分岐管の２本の分岐管体は、前記分岐管体の入口から前記各分岐管体の出口までの原料ガスの流路長さはがそれぞれ等しくなるように形成されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の成膜装置。