JP2004077372A

JP2004077372A - ディスペンサヘッド及びチップ製造装置

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Publication number: JP2004077372A
Application number: JP2002240501A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Fujii; 藤井　正寛; Shuji Koeda; 小枝　周史; Fumio Takagi; 高城　富美男
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-08-21
Filing date: 2002-08-21
Publication date: 2004-03-11
Anticipated expiration: 2022-08-21
Also published as: JP4029691B2

Abstract

【課題】プローブ溶液の組み合わせの変更やメンテナンス等を行いやすく、取り扱いが容易なディスペンサヘッドを提供すること。
【解決手段】ディスペンサヘッド１００は、少なくとも蛋白質又は核酸を含む複数のプローブ溶液をそれぞれ独立に吐出するものであって、プローブ溶液を収容し、外部から供給される駆動信号を受けてプローブ溶液を吐出する複数のカートリッジ１０と、これら複数のカートリッジのそれぞれを収容する複数のスロット１２を備えるキャリッジ１４とを含み、複数のカートリッジ１０のそれぞれが各スロット１２から着脱自在になるように構成されている。
【選択図】　　図１

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、医療診断等における検査などに用いられるチップ上に、蛋白質や抗体等を含むプローブ溶液を滴下（スポッティング）するために用いられるディスペンサヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
蛋白質や核酸、あるいはＤＮＡなどに関する解析を行う際には、基板上に蛋白質等を含むプローブ溶液をスポッティングして作製した解析用チップが用いられる。このような解析用チップを作製する方法として、例えば、特開平１１−１８７９００号公報には、微小液滴を所望場所に所望量だけ吐出する、いわゆるインクジェット技術を利用して、基板上にプローブ溶液をスポッティングする手法が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来技術では、多数の種類のプローブ溶液を基板上の任意の位置へスポッティングする場合には、スポッティングに多くの時間を要するために、解析用チップの生産性の向上が難しく、また時間経過によってプローブ溶液が乾燥して活性を失うなどの不都合を生じる場合がある。
【０００４】
このため、一の液滴吐出用のヘッド（ディスペンサヘッド）によって、より多くの種類のプローブ溶液をスポッティングすることを可能とする技術が検討されている。この場合には、一のディスペンサヘッドに多種類のプローブ溶液を収容しておくことが必要となる。しかしながら、一のディスペンサヘッドに収容するプローブ溶液が多くなると、使用するプローブ溶液の組み合わせの変更やメンテナンス等を行いにくくなり、ディスペンサヘッドの取り扱いが容易ではなくなる。
【０００５】
本発明は、このような点に着目して創作されたものであり、プローブ溶液の組み合わせの変更やメンテナンス等を行いやすく、取り扱いが容易なディスペンサヘッドを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のディスペンサヘッドは、少なくとも蛋白質又は核酸を含む複数のプローブ溶液をそれぞれ独立に吐出するディスペンサヘッドであって、上記プローブ溶液を収容し、外部から供給される駆動信号を受けてプローブ溶液を吐出する複数のカートリッジと、これら複数のカートリッジのそれぞれを収容する複数のスロットを備えるキャリッジと、を含んでおり、複数のカートリッジのそれぞれが各スロットから着脱自在になるように構成されている。
【０００７】
かかる構成とすることにより、より多くの種類のプローブ溶液をスポッティングすることが可能であり、かつプローブ溶液の組み合わせの変更やメンテナンス等を行いやすく、取り扱いが容易なディスペンサヘッドを実現することが可能となる。
【０００８】
好ましくは、上記カートリッジは、プローブ溶液を収容するタンクと、外部からの駆動信号に基づいて、タンクに収容されるプローブ溶液を吐出する液滴吐出ヘッドと、タンク及び液滴吐出ヘッドが取り付けられる本体部と、を含んで構成される。
【０００９】
好ましくは、上記スロットに装着されたカートリッジを当該スロットに固定する係止手段を更に備える。これにより、スロット内におけるカートリッジの装着位置をより安定させることが可能となる。
【００１０】
好ましくは、上記係止手段は、スロットの内壁に設けられており、カートリッジの一部を把握して当該カートリッジを固定する。
【００１１】
好ましくは、上記係止手段は略Ｖ字状のバネにより形成され、カートリッジは上記略Ｖ字状のバネの形状に対応して周囲が略三角形状に形成された凸部を備えており、当該凸部を略Ｖ字状のバネで挟むことによってカートリッジを固定する。これにより、比較的に簡単な構成でカートリッジを固定することが可能となる。
【００１２】
好ましくは、上記スロット内の係止手段の設置位置と対向する位置に、スロットの中心部に向けてカートリッジを押圧する押圧部を備える。これにより、スロット内でのカートリッジの装着位置をさらに安定させることが可能となる。
【００１３】
好ましくは、上記押圧部は、弾性体を用いて構成される。弾性体としては、例えば、バネやゴムなどが挙げられる。このような弾性体を用いて押圧部を構成することにより、カートリッジを確実に押圧することができるとともに、カートリッジの脱着も比較的に容易となる。
【００１４】
好ましくは、上記カートリッジは、液滴吐出ヘッドに駆動信号を中継するための電極部と配線を備えており、また、上記押圧部は、カートリッジをスロットに装着した際に電極部を押圧するような位置に設けられており、外部から供給される駆動信号を電極部に伝える機能を担う。これにより、カートリッジを押圧する機能と駆動信号を伝える機能を押圧部に兼用させることが可能となり、使用する部品の数を低減し、ディスペンサヘッドの構造の簡素化が可能となる。
【００１５】
好ましくは、上記カートリッジは、当該カートリッジの少なくとも一部がスロット内に収容されるようになされるものであり、スロットに収容されない部分には着脱用の把持部が形成されている。これにより、当該把持部をつかんでカートリッジを着脱することが可能となり、ディスペンサヘッドの使い勝手を更に向上させることが可能となる。
【００１６】
また、本発明は、上述したディスペンサヘッドと、位置制御信号に基づいてディスペンサヘッドを移動させる走査駆動手段と、プローブ溶液が吐出される対象となる基板とディスペンサヘッドとの相対的な位置を制御する位置制御手段と、を備えており、各種検査等に用いられるチップを製造するためのチップ製造装置でもある。
【００１７】
かかる構成とすることにより、より多くの種類のプローブ溶液をスポッティングすることが可能であり、かつ取り扱いが容易なチップ製造装置を実現することが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は、本実施形態のディスペンサヘッドの外観を示す斜視図である。同図に示すディスペンサヘッド１００は、蛋白質等を含むプローブ溶液を基板上に配列して形成される解析用チップを製造するための製造装置に組み込まれ、プローブ溶液を基板上へスポッティングするために用いられるものであり、それぞれが液滴吐出を行うことが可能な最小単位である複数のカートリッジ１０と、当該カートリッジ１０のそれぞれが装填される複数のスロット１２を備えるキャリッジ１４と、当該キャリッジ１４の下側に取り付けられるノズル位置決め板１５を含んで構成されている。
【００２０】
カートリッジ１０は、キャリッジ１４に対して着脱可能に構成されており、各カートリッジ１０の使用状況、吐出するべき溶液の種類などに応じて、それぞれ個別的に交換等を行うことが可能となっている。本実施形態では、蛋白質あるいは核酸などを含むプローブ溶液がカートリッジ１０に収容されている。各カートリッジ１０は、外部から供給される駆動信号に基づいて、吐出量（吐出回数）や吐出タイミングなどを制御してプローブ溶液を吐出する。ノズル位置決め板１５は、キャリッジ１４に付設され、各カートリッジ１０のヘッドチップ（後述する）の相互の位置を決めている。
【００２１】
図２は、カートリッジ１０の詳細構成を説明する斜視図である。図２（ａ）はカートリッジ１０を一方側から見た斜視図、図２（ｂ）はカートリッジ１０を他方側（図２（ａ）の場合と逆の側）から見た斜視図をそれぞれ示している。また、図３は、カートリッジ１０の内部構成を説明する図であり、カートリッジ１０を分解した状態を斜視図によって示している。
【００２２】
図２及び図３に示すように、カートリッジ１０は、本体部２０、把持部２２、ヘッドチップ２４、電極部２６、凸部２８、タンク３０、ヘッド取付け板３２、パッキン３４、ヘッド固定板３６、封止栓３８を含んで構成されている。
【００２３】
まず、主に図２を参照しながら、カートリッジ１０の構成を説明する。把持部２２は、本体部２０の一方端に設けられた板状部分である。この把持部２２をつまむことにより、カートリッジ１０の着脱を容易に行うことができる。なお、把持部２２の配置位置は、図示の位置に限定されるものではなく、カートリッジ１０をスロット１２に装填した際に、把持部２２がスロット１２の外側となる位置であればどこでもよい。また、把持部２２の形状についても、板状に限定されるものではなく、つまみやすい形状であればよく、棒状など他の形状にしてもよい。
【００２４】
ヘッドチップ２４は、外部から供給される駆動信号に基づいて、本体部２０の内部（詳細は後述する）に収容されるプローブ溶液を吐出するものであり、プローブ溶液を吐出するノズル面が本体部２０の他方端に位置するように、本体部２０に組み付けられている。
【００２５】
２つの電極部２６は、上記駆動信号をヘッドチップ２４に伝えるためのものであり、接触面が外部に露出するようにして本体部２０に組み付けられている。これらの電極２６と図示しない配線を介して、駆動信号がヘッドチップ２４に伝えられる。
【００２６】
凸部２８は、周囲が略三角形状となっており、本体部２０の側面に形成されている。詳細については後述するが、スロット１２の内壁には略Ｖ字状のバネが設けられており、当該Ｖ字状のバネによって凸部２８を挟むことにより、スロット１２に装着されたカートリッジ１０が固定されるようになっている。
【００２７】
次に、主に図３を参照してカートリッジ１０の内部構成について詳細に説明する。タンク３０は、吐出対象となるプローブ溶液を収容するものであり、本体部２０の内部に設置されている。図示のように、タンク３０の開口部にはフランジ状のパッキンが形成されており、このパッキンを本体部２０とヘッド取付け板３２によって把持することにより、プローブ溶液がタンク３０内に封入可能となる。
【００２８】
ここで、ヘッドチップ２４にプローブ溶液を供給しつつ、安定した吐出が行えるようにするには、ヘッドチップ２４に対して、プローブ溶液を大気圧よりも小さな圧力（負圧）で供給する必要がある。このような条件を満たすために、タンク３０は、例えば、ブチルゴムを用いて形成されたものを用いることが好適である。これにより、プローブ溶液に適度な圧力を加えながら、ヘッドチップ２４にプローブ溶液を供給することが可能となる。ブチルゴムは、気体や水蒸気の透過性が低いので、タンク３０内外へのこれらの進入、流出を防ぎ、タンク３０内の圧力を安定させることが可能となる。これにより、タンク３０に収容されるプローブ溶液の変質を回避することが可能となり、プローブ溶液の管理が容易になる。
【００２９】
ヘッド取付け板３２は、ヘッドチップ２４の一部を貫入するための開口部３２ａを備えており、本体部２０の開口部（タンク３０が挿入される側）に設置され、ヘッドチップ２４を本体部２０へ取り付けるために用いられる。また、ヘッド取付け板３２は、タンク３０へプローブ溶液を注入するための注入孔３２ｂを備えている。
【００３０】
プローブ溶液を充填する際は、タンク３０を加圧し、ヘッドチップ２４の流路にプローブ溶液を満たす。タンク３０の加圧は、不図示の棒状の部材を本体部２０に設けられたプライミング用穴２１に挿入して、棒状の部材によりタンク３０を押圧し、変形させて行う。ヘッドチップ２４の流路中に気泡等のプローブ溶液の吐出を阻害するものが混入した場合に行う復旧も前述のプローブ溶液を充填する際と同様な操作を行う。
【００３１】
プローブ溶液の充填や復旧は、タンク３０を加圧して、ヘッドチップ２４のノズルから、余剰のプローブ溶液が出てきた後、速やかにノズル面を払拭してノズルにメニスカスを形成して完了する。
【００３２】
なお、タンク３０に使用する材料としては、可撓性の材料であれば良く、フッ素ゴムやシリコンゴム、ＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ディエンモノマー）、脱蛋白天然ゴム等でもよい。タンク３０に使用する材料は、プローブ溶液中の蛋白質等の活性が維持可能である材料を選択して適用する。
【００３３】
パッキン３４は、ヘッドチップ２４とヘッド取付け板３２との当接面に介在するように組み付けられている。このパッキン３４により、上記当接面の気密性を高め、タンク３０からのプローブ溶液の流出や、タンク３０への気泡の侵入を回避する。
【００３４】
ヘッド固定板３６は、ヘッドチップ２４の一部を貫入するための開口部３６ａを備えており、ヘッド取付け板３２の一方面側に設置され、ヘッドチップ２４を本体部２０へ取り付けるために用いられる。このヘッド固定板３６の開口部３６ａを貫通して、ヘッドチップ２０のノズル面が外部に露出する。また、ヘッド固定板３６は、タンク３０へプローブ溶液を注入するための注入孔３６ｂを備えている。ヘッド取付け板３２とヘッド固定板３６の両者は、注入孔３２ｂと注入孔３６ｂとが向かい合うようにして、相互の位置を合わせて組み付けられる。これにより、各注入孔３２ｂ、３６ｂを通してタンク３０へのプローブ溶液を注入することが可能となる。
【００３５】
封止栓３８は、注入孔３６ｂに挿入されており、タンク３０に収容されているプローブ溶液の流出を防止する。
【００３６】
次に、スロット１２の内側の構造について詳細に説明する。図４は、スロット１２の内側の構造について説明する図である。
【００３７】
図４（ａ）に示すように、スロット１２の一の内壁１２ａには、略Ｖ字状の形状を有するバネ１６が設置されている。スロット１２にカートリッジ１０が挿入された際には、図４（ｂ）に部分拡大図で示すように、カートリッジ１０に設けられた凸部２８が当該バネ１６によって挟まれることにより、カートリッジ１０はスロット１２の底面１２ｃに付勢されて位置決めされるとともに固定される。図４（ｃ）は、スロット１２内にカートリッジ１０が装着された状態を示している。
【００３８】
また、スロット１２の底面１２ｃには、カートリッジ１０のヘッド固定板３６の一部を挿入し、ヘッドチップ２４のノズル面を外部に露出するための開口部１５ａが形成されている。本実施形態では、主にこの開口部１５ａと上述した底面１２ｃとバネ１６とによって、スロット１２内でのカートリッジ１０の位置決めがなされる。
【００３９】
また、本実施形態のディスペンサヘッド１００は、スロット１２内に、スロット１２の中心部に向けてカートリッジ１０を押圧する手段（押圧部）を備えることにより、スロット１２内でのカートリッジ１０の位置ずれをより確実に防止している。以下、その詳細について説明する。
【００４０】
図５は、カートリッジ１０を押圧する手段について詳細に説明する図である。同図では、カートリッジ１０の先端（ヘッドチップ２４のノズル面側）及びその周辺が断面図により示されている。
【００４１】
図５に示すように、キャリッジ１４によって構成されるスロット１２の一の内壁１２ｂに、弾性体としてのバネ１８が２つ設けられている。これらのバネ１８は、カートリッジ１０をスロット１２に装着した際に電極部２６を押圧するような位置であり、かつ上述したＶ字状のバネ１６の設置位置と対向する位置となるように設けられており、スロット１２の中心部に向けてカートリッジ１０を押圧する機能を担い、ノズル位置決め板１５の開口部１５ａの側面に対してヘッドチップ２４を付勢して、ヘッドチップ２４とノズル位置決め板１５の開口部１５ａの側面との位置を決めている。また、各バネ１８は、ヘッドチップ２４を駆動するために外部から供給される駆動信号を電極部２６に伝える機能をも担っている。
【００４２】
このように、本実施形態のディスペンサヘッド１００は、それぞれ独立にプローブ溶液を吐出可能な複数のカートリッジ１０を備えているので、より多くの種類のプローブ溶液をスポッティングすることが可能であり、更に、各カートリッジ１０を着脱自在に構成していることから、プローブ溶液の組み合わせの変更やメンテナンス等を行いやすくなる。したがって、取り扱いが容易なディスペンサヘッドを実現することが可能となる。
【００４３】
なお、本実施形態におけるヘッドチップ２４は、プローブ溶液をインクジェット方式により吐出する。ヘッドチップ２４の端面はノズル面となっており、ノズル面にはノズルが設けられ、ノズルに連通するプローブ溶液を満たす通路である圧力室の壁の一部には振動板が設けられている。更にこの振動板に対向する流路の外側に隙間を隔てて電極（対向電極）が設けられている。振動板と対向電極に電位差を与えることにより、振動板は、対向電極に静電圧力により吸引されて、圧力室に負圧を発生させ、適時電位差を解除することにより、振動板を復元力により復帰させ、圧力室内のプローブ溶液を振動させてノズルから適量のプローブ溶液を吐出させる。
【００４４】
ヘッドチップ２４としてこれら静電駆動方式により駆動されるインクジェットヘッドを採用することにより、構造が単純で、プローブ溶液の吐出量が安定しており、熱を用いないのでプローブ溶液中の蛋白質等の変質を回避し、活性を維持することが可能となる。更に、装置の小型化、低消費電力化を実現することができる。静電駆動方式のインクジェットヘッドは、本発明に係るディスペンサヘッドに採用するヘッドチップとして好適である。この他、ヘッドチップ２４として圧電素子を用いたピエゾ方式のインクジェットヘッドを用いてもよい。この場合は、静電駆動方式と同様に、熱を用いない利点と、印加する電圧を可変としてプローブ溶液の吐出を調整しやすいという利点を有する。勿論、インクジェット方式であれば、この他、加熱して流路に圧力を発生させる方式や、音響レンズによる方式等、何れの方式でも本発明に係るディスペンサヘッドに採用することが可能である。
【００４５】
次に、上述した本実施形態のディスペンサヘッド１００を用いて構成される解析用チップ製造装置の具体例について説明する。
【００４６】
図６は、解析用チップ製造装置の具体例について説明する図である。同図に示す解析用チップ製造装置は、ディスペンサヘッド１００、作業台１０１、Ｙ方向駆動軸１０２、Ｙ方向駆動モータ１０３、Ｘ方向ガイド軸１０４、作業台駆動モータ１０５、基台１０６、制御部１０７を含んで構成されている。
【００４７】
作業台１０１は、製造すべき解析用チップを構成する基板１０８を載置させるためのものである。基板１０８は、例えば作業台１０１上に４８枚（８×６枚）並べられている。この基板１０８上に所望のプローブ溶液をスポッティングすることによって、解析用チップが製造される。
【００４８】
Ｙ方向駆動軸１０２には、Ｙ方向駆動モータ１０３が接続されている。Ｙ方向駆動モータ１０３は、例えばステッピングモータ等であり、制御部１０７からＹ軸方向に対応する駆動信号が供給されると、Ｙ方向駆動軸１０２を回転させる。Ｙ方向駆動軸１０２が回転させられると、ディスペンサヘッド１００はＹ方向駆動軸１０２の方向に沿って移動する。
【００４９】
Ｘ軸方向ガイド軸１０４は、基台１０６に対して動かないように固定されている。また、作業台１０１には、作業台駆動モータ１０５が接続されている。作業台駆動モータ１０５は、例えばステッピングモータ等であり、制御部１０７からＸ軸方向に対応する駆動信号が供給されると、作業台１０１をＸ軸方向に移動させる。すなわち、作業台１０１をＸ軸方向に駆動し、ディスペンサヘッド１００をＹ軸方向に駆動することによって、ディスペンサヘッド１００を基板１０８上の所望の場所に自在に移動させることができる。
【００５０】
制御部１０７は、プローブ溶液の吐出タイミング、吐出回数等を制御するための駆動信号をディスペンサヘッド１００に供給する。また、制御部１０７は、Ｙ方向駆動モータ１０３及び作業台駆動モータ１０５のそれぞれに対して、これらの動作を制御するための駆動信号を供給する。
【００５１】
なお、上述したＹ方向駆動軸１０２、Ｙ方向駆動モータ１０３、制御部１０７が走査駆動手段に、Ｘ方向ガイド軸１０２、作業台駆動モータ１０５、制御部１０７が位置制御手段にそれぞれ対応している。
【００５２】
このような構成を備える本実施形態の解析用チップ製造装置によれば、より多くの種類のプローブ溶液をスポッティングすることが可能であり、かつ取り扱いが容易な解析用チップ製造装置を実現することができる。
【００５３】
なお、本発明は、上記実施形態の内容に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変形実施が可能である。例えば、上述した実施形態では、蛋白質や核酸を含むプローブ溶液をスポッティングする場合について考えていたが、これに限定されるものではなく、ＤＮＡ解析に用いられるプローブ溶液などのスポッティングを行う場合についても本実施形態のディスペンサヘッドを用いることが可能である。
【００５４】
また、上述した実施形態の解析用チップ製造装置では、ディスペンサヘッド１００がＹ軸方向にしか移動せず、Ｘ軸方向については作業台１０１が移動するにようにしているが、これを逆に構成してもよい。また、ディスペンサヘッド１００又は作業台１０１のいずれか一方又は双方がＸ軸方向及びＹ軸方向の双方に移動できるようにしてもよい。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、より多くの種類のプローブ溶液をスポッティングすることが可能であり、かつプローブ溶液の組み合わせの変更やメンテナンス等を行いやすく、取り扱いが容易なディスペンサヘッドが実現される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態のディスペンサヘッドの外観を示す斜視図である。
【図２】カートリッジの詳細構成を説明する斜視図である。
【図３】カートリッジの内部構成を説明する図である。
【図４】スロットの内側の構造について説明する図である。
【図５】カートリッジを押圧する手段について詳細に説明する図である。
【図６】解析用チップ製造装置の具体例について説明する図である。
【符号の説明】
１０　カートリッジ
１２　スロット
１４　キャリッジ
１６、１８　バネ
２０　本体部
２２　把持部
２４　ヘッドチップ
２６　電極部
２８　凸部
３０　タンク
３２　ヘッド取付け板
３４　パッキン
３６　ヘッド固定板
１００　ディスペンサヘッド
１０１　作業台
１０２　Ｙ方向駆動軸
１０３　Ｙ方向駆動モータ
１０４　Ｘ方向ガイド軸
１０５　作業台駆動モータ
１０６　基台
１０７　制御部

Claims

少なくとも蛋白質又は核酸を含む複数のプローブ溶液をそれぞれ独立に吐出するディスペンサヘッドであって、
前記プローブ溶液を収容し、外部から供給される駆動信号を受けて前記プローブ溶液を吐出する複数のカートリッジと、
前記複数のカートリッジのそれぞれを収容する複数のスロットを備えるキャリッジと、を含み、
前記複数のカートリッジのそれぞれが各スロットから着脱自在になるように構成されている、ディスペンサヘッド。
前記カートリッジは、
前記プローブ溶液を収容するタンクと、
前記駆動信号に基づいて前記タンクに収容される前記プローブ溶液を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記タンク及び前記液滴吐出ヘッドが取り付けられる本体部と、
を備える、請求項１に記載のディスペンサヘッド。
前記スロットに装着された前記カートリッジを当該スロットに固定する係止手段を更に備える、請求項１又は２に記載のディスペンサヘッド。
前記係止手段は、前記スロットの内壁に設けられており、前記カートリッジの一部を把握して前記カートリッジを固定する、請求項３に記載のディスペンサヘッド。
前記係止手段は略Ｖ字状のバネにより形成され、前記カートリッジは前記略Ｖ字状のバネの形状に対応して周囲が略三角形状に形成された凸部を備えており、前記凸部を前記略Ｖ字状のバネで挟むことによって前記カートリッジを固定する、請求項４に記載のディスペンサヘッド。
前記スロット内の前記係止手段の設置位置と対向する位置に、前記スロットの中心部に向けて前記カートリッジを押圧する押圧部を備える、請求項３乃至５のいずれかに記載のディスペンサヘッド。
前記押圧部は、弾性体を用いて構成される、請求項６に記載のディスペンサヘッド。
前記カートリッジは、前記液滴吐出ヘッドに前記駆動信号を中継するための電極部と配線を備えており、
前記押圧部は、前記カートリッジを前記スロットに装着した際に前記電極部を押圧するような位置に設けられており、外部から供給される前記駆動信号を前記電極部に伝える機能を担う、請求項６又は７に記載のディスペンサヘッド。
前記カートリッジは、当該カートリッジの少なくとも一部が前記スロット内に収容されるようになされるものであり、前記スロットに収容されない部分には着脱用の把持部が形成されている、請求項１乃至８のいずれかに記載のディスペンサヘッド。
請求項１乃至９のいずれかに記載のディスペンサヘッドと、
位置制御信号に基づいて前記ディスペンサヘッドを移動させる走査駆動手段と、
前記プローブ溶液が吐出される対象となる基板と前記ディスペンサヘッドとの相対的な位置を制御する位置制御手段と、
を備える、チップ製造装置。