JP2004069717A - エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1の回折格子と第2の回折格子を設けた被測定物体に、光源手段から互いに可干渉性のある第1及び第2の光束を前記第1及び第2の回折格子に入射し、
回折させた複数の回折光のうち、被測定物体が直線運動したときに相対的に位相がずれる2光束を干渉させ、検出系により該被測定物体の直線運動を検出する第1の光学系及び第1の検出系と、
被測定物体が回転運動するときに相対的に位相がずれる2光束を干渉させ、検出系により該被測定物体の回転運動を検出する第2の光学系及び第2の検出系の2つの移動情報検出系をもつことを特徴とするエンコーダ。
【選択図】 図11
Description
2π・n・N・θ/360
だけずれるという性質がある。
回折させた複数の回折光のうち、被測定物体が直線運動したときに相対的に位相がずれる2光束を干渉させ、検出系により該被測定物体の直線運動を検出する第1の光学系及び第1の検出系と、
被測定物体が回転運動するときに相対的に位相がずれる2光束を干渉させ、検出系により該被測定物体の回転運動を検出する第2の光学系及び第2の検出系の2つの移動情報検出系をもつことを特徴としている。
Psinθ=mλ(m=0,±1,・・・・)
の回折光が発生する。
2 コリメーターレンズ
3a,3b,11 偏光ビームスプリッター
4a,4b,6a,6b,6c,6d,7a,7b ミラー
5a,5b 回折格子
8a,8b λ/4
9a,9b 光検出器
10 回転軸
Claims (4)
- 第1の回折格子と第2の回折格子を設けた被測定物体に、光源手段から互いに可干渉性のある第1及び第2の光束を前記第1及び第2の回折格子に入射し、
回折させた複数の回折光のうち、被測定物体が直線運動したときに相対的に位相がずれる2光束を干渉させ、検出系により該被測定物体の直線運動を検出する第1の光学系及び第1の検出系と、
被測定物体が回転運動するときに相対的に位相がずれる2光束を干渉させ、検出系により該被測定物体の回転運動を検出する第2の光学系及び第2の検出系の2つの移動情報検出系をもつことを特徴とするエンコーダ。 - 前記被測定物体は回転物体より成り、前記第1及び第2の回折格子は該回転物体の回転軸を中心とする放射格子より成っていることを特徴とする請求項1のエンコーダ。
- 前記被測定物体は回転物体より成り、前記第1及び第2の回折格子はスケール面内にあって該回転物体の回転軸に直交する直線に平行の直線格子であることを特徴とする請求項1又は2のエンコーダ。
- 前記被測定物体は筐体内に設けた弾性体と筐体とからなり、前記第1の検出系と第2の検出系は該弾性体の筐体に対する変動を検出して、該筐体に加わる加速度及び角加速度を検出していることを特徴とする請求項1、2又は3のエンコーダ。
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