JP2004053495A - カラーフィルタの検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
カラーフィルタを正確に検査することが可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】
本発明にかかる検査装置は、白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部32、33、34を有するカラーフィルタ3の表面の高さ測定を行うものである。この検査装置は、複数の種類のフィルタ14を備えている。また、検査部分をカラーカメラ22によって撮影し、その色を検出する。そして、検出された色に応じて、フィルタ14を切り換える。
【選択図】 図1
カラーフィルタを正確に検査することが可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】
本発明にかかる検査装置は、白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部32、33、34を有するカラーフィルタ3の表面の高さ測定を行うものである。この検査装置は、複数の種類のフィルタ14を備えている。また、検査部分をカラーカメラ22によって撮影し、その色を検出する。そして、検出された色に応じて、フィルタ14を切り換える。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルタの表面を検査する検査装置に関するものであり、より詳しくは、カラーフィルタの表面上の構造物、異物等の高さを非接触で測定する検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置には、カラー表示を行うためにカラーフィルタが用いられる。このカラーフィルタは、製造工程において、突起状の異物が形成される場合がある。また、カラーフィルタの構造が設計通りに形成されない場合もある。このような状態が発生しているかどうかを検査し、また、その異物や構造の高さを測定する検査装置がある。例えば、レーザ顕微鏡により検査装置が構成される。レーザ顕微鏡により検査装置を構成した場合、通常、共焦点型光学系による焦点の合う最大輝度を検出することによって異物や構造の高さを測定している。また、レーザ顕微鏡では、通常、可視光の特定波長のレーザを用いている。
【0003】
ここで、カラーフィルタは、図6の断面図に示されるような構造を有している。即ち、ガラス基板31の上面にブラックマトリックス(BM)35が設けられ、さらに、色画素部32、33、34が設けられている。ここで、ブラックマトリックス35は、隣接画素間からの光漏れとスイッチング素子への外光照射を防ぐために設けられている。色画素部32は赤(R)の色材、色画素部33は緑(G)の色材、そして、色画素部34は青(B)の色材からそれぞれ形成される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このような構造を有するカラーフィルタを、可視光の特定波長のレーザによって検査すると、色画素部32、33、34では、図5に示されるように、それぞれの色に応じて当該可視光レーザが透過する。例えば、赤(R)の色画素32においては、赤色のレーザ光が通過する。特にレーザ顕微鏡のレーザ光は単色波長なので、赤(R)、緑(G)、青(B)のどれかを通過する。色画素部32、33、34を通過したレーザ光は、ガラス基板31の表面等によって反射される。この反射光は、色画素部32、33、34の表面上の異物や構造を検査する上で誤差の原因となる。
【0005】
このように、従来の検査装置では、カラーフィルタを正確に検査することができないという問題点があった。
【0006】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、カラーフィルタを正確に検査することが可能な検査装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる検査装置は、白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部を有するカラーフィルタの表面の高さ測定を行う検査装置であって、検査する色画素部の色に応じて、検査のために当該色画素部に出射する光の波長成分を制御するものである。このような構成により、色画素部を通過し、ガラス基板等で反射する光の発生を抑制できるため、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【0008】
ここで、検査する色画素部の色の波長成分が抑制された光をこの色画素部に出射することが望ましい。
【0009】
また、前記光の波長成分の制御は、光源より出射される白色スリット光を波長透過特性の異なる複数のフィルタを切り換えることにより実行するとよい。これにより、簡易な構成により、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【0010】
また、光の波長成分の制御は、出射する光の波長が異なる複数の光源を切り換えることにより実行するようにしてもよい。
【0011】
また、前記色画素部の色は、カラーカメラによって撮影することによって検出するとよい。これにより、確実に色画素部の色を判別できる。
【0012】
他方、本発明にかかる検査方法は、白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部を有するカラーフィルタの表面の高さ測定を行う検査方法であって、検査する色画素部の色に応じて、検査のために当該色画素部に出射する光の波長成分を制御するものである。このような方法により、色画素部を通過し、ガラス基板等で反射する光の発生を抑制できるため、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【0013】
ここで、検査する色画素部の色の波長成分が抑制された光をこの色画素部に出射することが望ましい。
【0014】
また、光の波長成分の制御は、光源より出射される白色スリット光を波長透過特性の異なる複数のフィルタを切り換えることにより実行するとよい。これにより、簡易な構成により、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【0015】
また、前記光の波長成分の制御は、出射する光の波長が異なる複数の光源を切り換えることにより実行するようにしてもよい。
【0016】
さらに、前記色画素部の色は、カラーカメラによって撮影することによって検出するとよい。これにより、確実に色画素部の色を判別できる。
【0017】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態1.
図1に本発明の実施の形態にかかるカラーフィルタの検査装置の基本構成を示す。図に示されるように、この検査装置は、コンフォーカル顕微鏡1、フィルタ14、反射鏡21、レンズ2、カラーカメラ22、制御部4及び駆動部5を備えている。
【0018】
コンフォーカル顕微鏡1は、共焦点型光学系による焦点の合う最大輝度を検出することによって異物や構造の高さを測定している。このコンフォーカル顕微鏡1の具体的なハードウェア構成については後に詳述するが、少なくとも、白色(多色スペクトル)スリット光を出射する光源と、カラーフィルタからの光を検出する検出素子及び共焦点型光学系を有する。
【0019】
フィルタ14は、可視光波長制限用フィルタである。フィルタ14は、少なくとも通過することができる周波数帯の異なる2種類のフィルタを有する。これらの複数のフィルタ14は、切り換えることができる。例えば、複数のフィルタ14は、フィルタホルダに横並びに固定され、駆動部5によってこのフィルタホルダをスライドさせることにより、種類の異なるフィルタ14を切り換えるようにする。また、複数のフィルタ14を同芯円上に配置し、回転させることによって複数のフィルタ14を切り換えるようにしてもよい。
【0020】
反射鏡21は、カラーフィルタ3を反射した光をカラーカメラ22の方向に反射させるものである。この例における反射鏡21は、カラーフィルタ3を反射した光の進行方向とほぼ垂直に移動させることができ、カラーカメラ22に対してカラーフィルタ3からの反射光を供給する場合にのみ、当該反射光の光路上に位置する。
【0021】
カラーカメラ22は、例えば、多数のCCD素子により構成され、カラー画像を得ることができる。
【0022】
レンズ2は、カラーフィルタ3上に集光させるための対物レンズ等である。
【0023】
制御部4は、コンフォーカル顕微鏡1、カラーカメラ22、駆動部5等の検査装置内の各構成を制御する。特に本発明の実施の形態における制御部4は、カラーカメラ22によって撮像された画像データに基づき、カラーフィルタ3上の画素の色を判別し、その判別結果に基づいて、フィルタ14を駆動部5を介して切り換える制御を行う。
【0024】
駆動部5は、制御部4からの制御信号に応じて、複数のフィルタ14を切り換える。駆動部5は、例えば、駆動回路、モータや歯車等により構成される。
【0025】
その他、本発明にかかる検査装置は、検査対象であるカラーフィルタ3を移動させる駆動機構を備えている。この駆動機構によって、コンフォーカル顕微鏡1により出射される光がカラーフィルタ3全体を走査できるように、カラーフィルタ3を移動させる。
【0026】
ここで、図2を用いて、本発明の動作原理について説明する。図2(a)は、カラーフィルタの波長透過特性を示す。カラーフィルタは、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色画素部32、33、34を有するため、図2(a)に示されるように、各色画素部32、33、34の色に対応した波長を有する光の透過率が高くなっている。
【0027】
図2(b)は、第1のフィルタ14の波長透過特性を示す。この第1のフィルタ14は、赤(R)の波長を有する光の透過率が高くなっており、他の緑(G)、青(B)の波長を有する光の透過率は低くなっている。従って、第1のフィルタ14を通過した光は、少なくとも緑(G)、青(B)の波長成分が少なくなっている。このため、第1のフィルタ14を通過した光を、緑(G)の色画素部33に照射したとしても、この緑(G)の色画素部33を透過する緑(G)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、緑(G)の色画素部33を透過せず、その表面において反射される。同様にして、第1のフィルタ14を通過した光を、青(B)の色画素部34に照射したとしても、この青(B)の色画素部34を透過する青(B)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、青(B)の色画素部34を透過せず、その表面において反射される。他方で、赤(R)の色画素部32は、第1のフィルタ14を通過した光を透過させるため、赤(R)の色画素部32の検査には用いることはできない。
【0028】
図2(c)は、第2のフィルタ14の波長透過特性を示す。この第2のフィルタ14は、緑(G)の波長を有する光の透過率が高くなっており、他の赤(R)、青(B)の波長を有する光の透過率は低くなっている。従って、第2のフィルタ14を通過した光は、少なくとも赤(R)、青(B)の波長成分が少なくなっている。このため、第2のフィルタ14を通過した光を、赤(R)の色画素部32に照射したとしても、この赤(R)の色画素部32を透過する赤(R)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、赤(R)の色画素部32を透過せず、その表面において反射される。同様にして、第1のフィルタ14を通過した光を、青(B)の色画素部34に照射したとしても、この青(B)の色画素部34を透過する青(B)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、青(B)の色画素部34を透過せず、その表面において反射される。他方で、緑(G)の色画素部33は、第2のフィルタ14を通過した光を透過させるため、緑(G)の色画素部33の検査には用いることはできない。
【0029】
図2(d)は、第3のフィルタ14の波長透過特性を示す。この第3のフィルタ14は、青(B)の波長を有する光の透過率が高くなっており、他の赤(R)、緑(G)の波長を有する光の透過率は低くなっている。従って、第3のフィルタ14を通過した光は、少なくとも赤(R)、緑(G)の波長成分が少なくなっている。このため、第3のフィルタ14を通過した光を、赤(R)の色画素部32に照射したとしても、この赤(R)の色画素部32を透過する赤(R)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、赤(R)の色画素部32を透過せず、その表面において反射される。同様にして、第3のフィルタ14を通過した光を、緑(G)の色画素部33に照射したとしても、この緑(G)の色画素部33を透過する緑(G)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、緑(G)の色画素部33を透過せず、その表面において反射される。他方で、青(B)の色画素部34は、第3のフィルタ14を通過した光を透過させるため、青(B)の色画素部34の検査には用いることはできない。
【0030】
即ち、第1のフィルタ14を用いた場合には、青(B)の色画素部34、緑(G)の色画素部33の検査を行なうことができる。第2のフィルタ14を用いた場合には、青(B)の色画素部34、赤(R)の色画素部32の検査を行なうことができる。第3のフィルタ14を用いた場合には、赤(R)の色画素部32、緑(G)の色画素部33の検査を行なうことができる。
【0031】
従って、これらのフィルタ14を適宜、検査しようとする色画素部の色に応じて切り換えることにより、全ての色画素部を正確に検査することができる。
【0032】
続いて、図1にかかる検査装置の検査動作について説明する。
【0033】
カラーフィルタ3の所定位置に位置決めする。例えば、コンフォーカル顕微鏡1からの光が赤(R)の色画素部32に照射されているものとする。最初は、反射鏡21は、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に位置する。カラーカメラ22は、反射鏡21及びレンズ2を介して、当該色画素部32を撮影する。そして、カラーカメラ22は、撮影により得られる画像データより、撮影対象の色画素部2の色を判別する。この例では、カラーカメラ22は、赤(R)であることを判別し、赤(R)を示す判別信号を制御部4に出力する。制御部4は、判別信号を入力し、赤(R)の色画素部32が測定できるようなフィルタ14を選択する。図2に示す例では、第2のフィルタ14又は第3のフィルタ14を選択することができるが、この説明では、第2のフィルタ14を選択したとする。
【0034】
制御部4は、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に、選択した第2のフィルタ14が位置するように、駆動部5に命令信号を出力する。駆動部5は、この命令信号を入力し、第2のフィルタ14をコンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に移動させる。
【0035】
次に、反射鏡21を、図示しない駆動機構により、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。そして、コンフォーカル顕微鏡1から出射された白色光は、第2のフィルタ14及びレンズ2を通過してカラーフィルタ3に入射する。より詳細には、出射光は、カラーカメラ22によって撮影された赤(R)の色画素部32に入射する。また、出射光は、第2のフィルタ14を通過することによって、青(B)及び赤(R)の波長成分が制限される。そのため、入射した光は、赤(R)の色画素部32を通過せずに、その表面において反射される。
【0036】
そして、反射光は、レンズ2及び第2のフィルタ14を通過して、コンフォーカル顕微鏡1に入射する。コンフォーカル顕微鏡1は、反射光を入射し、その反射光を検出する。そして、周知の手段により、光が入射した部分、この例では、赤(R)の色画素部32の表面を観察する。より具体的には、この部分に異物や構造欠陥等がないかどうかを判別するために、表面の高さを測定する。
【0037】
次に、カラーフィルタ3を予め定められた距離分移動させる。また、反射鏡21を、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に移動させる。そして、再び、カラーカメラ22によってカラーフィルタ3の検査部分の色を検出する。この例では、前回の検査部分と同一画素上にあり、色が同じであるとする。その場合には、フィルタ14は、同じものが選択される。続いて、反射鏡21をコンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。その後に上述の場合と同様にして、コンフォーカル顕微鏡1は、カラーフィルタ3の表面を観察し、表面の高さを測定する。このような一連の動作を繰り返す。
【0038】
その後、カラーフィルタ3を移動させ、カラーカメラ22が、緑(G)の色画素部33を撮影したものとする。この場合には、緑(G)を示す判別信号を制御部4に出力する。制御部4は、判別信号を入力し、緑(G)の色画素部32を測定できるようなフィルタ14を選択する。図2に示す例では、第1のフィルタ14又は第3のフィルタ14を選択することができるが、この説明では、第1のフィルタ14を選択したとする。
【0039】
制御部4は、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に、選択した第1のフィルタ14が位置するように、駆動部5に命令信号を出力する。駆動部5は、この命令信号を入力し、第1のフィルタ14をコンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に移動させる。
【0040】
次に、反射鏡21を、図示しない駆動機構により、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。そして、コンフォーカル顕微鏡1から出射された光は、第1のフィルタ14及びレンズ2を通過してカラーフィルタ3に入射する。より詳細には、出射光は、カラーカメラ22によって撮影された緑(G)の色画素部33に入射する。また、出射光は、第1のフィルタ14を通過することによって、青(B)及び緑(G)の波長成分が制限される。そのため、入射した光は、緑(G)の色画素部33を通過せずに、その表面において反射される。
【0041】
そして、反射光は、レンズ2及び第1のフィルタ14を通過して、コンフォーカル顕微鏡1に入射する。コンフォーカル顕微鏡1は、反射光を入射し、その反射光を検出する。そして、周知の手段により、光が入射した部分、この例では、緑(G)の色画素部33の表面を観察する。より具体的には、この部分に異物や構造欠陥等がないかどうかを判別するために、表面の高さを測定する。
【0042】
さらに、カラーフィルタ3を移動させ、カラーカメラ22が、青(B)の色画素部34を撮影したものとする。この場合には、青(B)を示す判別信号を制御部4に出力する。制御部4は、判別信号を入力し、青(B)の色画素部34が測定できるようなフィルタ14を選択する。図2に示す例では、第1のフィルタ14又は第2のフィルタ14が選択される。この説明では、第1のフィルタ14を選択したとする。
【0043】
制御部4は、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に、選択した第1のフィルタ14が位置するように、駆動部5に命令信号を出力する。駆動部5は、この命令信号を入力し、第1のフィルタ14は、既にコンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に位置しているため、その状態を維持する。
【0044】
次に、反射鏡21を、図示しない駆動機構により、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。そして、コンフォーカル顕微鏡1から出射された光は、第1のフィルタ14及びレンズ2を通過してカラーフィルタ3に入射する。より詳細には、出射光は、カラーカメラ22によって撮影された青(B)の色画素部34に入射する。また、出射光は、第1のフィルタ14を通過することによって、青(B)及び緑(G)の波長成分が制限される。そのため、入射した光は、青(B)の色画素部34を通過せずに、その表面において反射される。
【0045】
そして、反射光は、レンズ2及び第1のフィルタ14を通過して、コンフォーカル顕微鏡1に入射する。コンフォーカル顕微鏡1は、反射光を入射し、その反射光を検出する。そして、周知の手段により、光が入射した部分、この例では、青(B)の色画素部34の表面を観察する。より具体的には、この部分に異物等がないかどうかを判別するために、表面の高さを測定する。
【0046】
このような処理を繰り返し、検査対象であるカラーフィルタ3の検査範囲すべてにつき、光を走査し、検査を行なう。
【0047】
次に、図3に本発明の実施の形態にかかるカラーフィルタの検査装置の構成例を示す。図1において、光源11は、多色スペクトルを含む光、即ち白色光を放射するものであり、例えば、キセノンランプ、水銀ランプ、ハロゲンランプ、蛍光ランプである。この光源から放射される光は、ファイバ束12の結束端に入射される。このファイバ束12の出射端13におけるファイバはライン状に配列されている。このようなファイバ束12を用いるため、出射端13からは中央部でも端部でも均一の光量が放射されることになるとともに出射される光線の進行方向もファイバの出射角によって決まり、従来のスリットを用いたコンフォーカル顕微鏡に比べて光軸に対する傾斜角は小さいものとなる。ファイバ束12の出射端13から出射される光は、フィルタ14に入射する。
【0048】
このフィルタ14は、図1、図2において説明した通りである。フィルタ14を通過した光は、スリット15に入射される。このスリット15を対物レンズ24に関してカラーフィルタ3である試料面25と共役の位置に配置してコンフォーカル光学系を構成する。さらに、スリット15の後方に偏光板16を配置する。
【0049】
偏光板16を通過した光は、リレーレンズ17を経て、偏光ビームスプリッタ18に入射される。この偏光ビームスプリッタ18の偏光面で反射されたビームは、振動ミラーを有する走査ミラー19に入射される。この走査ミラー19を、テレビジョンの垂直走査に同期して駆動し、ビームを主走査方向と直交する副走査方向(垂直走査方向)に偏向し、さらにリレーレンズ20に入射させる。したがって、このリレーレンズ20によってビームによるラスタBが形成される。このラスタBの像を1/4λ板23および対物レンズ24を経て試料面25に結像させる。これによって試料面25をラスタ走査するようにしている。
【0050】
試料面25で反射されたビームは、対物レンズ24、1/4λ板23、リレーレンズ20、走査ミラー19を経て偏光ビームスプリッタ18に入射される。ここで、走査ミラー19を通ることによって副走査方向の偏向は相殺されてなくなる。また、1/4λ板23を2度通ることによりビームの偏光面は90度回転するので、偏光ビームスプリッタ18の偏光面を透過することになる。このようにして偏光ビームスプリッタ18を透過したビームを結像レンズ26によって予定焦点面に配置された1次元イメージセンサアレイ27に収束させる。1次元イメージセンサアレイ27から読み出される画像信号を信号処理回路で処理した後、例えばテレビジョンモニタ上に映出する。そして、検査対象であるカラーフィルタ3の表面の状態を観察する。ここで、顕微鏡は共焦点光学系で構成している故、光軸上で焦点の合った部分が最大光量を与える。そこで対物レンズを光軸方向に移動するなどして異物などの表面に焦点が合うように、焦点を移動することにより、最大光量を与える点が移動し、最大光量を与える点が消失するまで移動を行えば、この移動量から異物等の高さが検出できることになる。
【0051】
即ち、この発明の実施の形態における検査装置は、スリット15を用い、その像をリレーレンズ17および20によって結像することによりラスタBを形成し、このラスタの縮小像を対物レンズ24によって試料面22上に形成して試料面をラスタ走査している。そして、このラスタ像を対物レンズ24、リレーレンズ20および結像レンズ20によって1次元イメージセンサアレイ27の受光面上に結像するようにしている。この場合、対物レンズ24に入射する光は対物レンズの中心部だけではなく、広い範囲にわたるので、対物レンズの実効的なNAは大きくなり、したがって分解能も高くなる。これは特に対物レンズとして広視野、低倍率のものを使用したときに有利となる。さらに、実効的なNAが大きくなると、試料25の傾斜面も観察できるようになる。
【0052】
本発明の実施の形態にかかる検査装置では、さらに反射鏡21及びカラーカメラ22を備えている。この反射鏡21は、上述の通り、試料25を反射した光をカラーカメラ22の方向に反射させるものである。この例における反射鏡21は、試料25を反射した光の進行方向とほぼ垂直に移動させることができ、カラーカメラ22に対して試料25からの反射光を供給させる場合にのみ、当該反射光の光路上に位置する。カラーカメラ22は、例えば、多数のCCD素子により構成され、カラー画像を得ることができる。
【0053】
この発明の実施の形態1にかかる検査装置では、カラーフィルタを通過しない光が照射されるよう、制御しているため、カラーフィルタを正確に検査することが可能となる。
【0054】
尚、図3に示す検査装置では、フィルタ14は、ファイバ束12の出射端13の近傍に設けたが、これに限らず、ファイバ束12の出射端13から反射鏡21の間の光路の任意の位置に設けることが可能である。
【0055】
発明の実施の形態2.
発明の実施の形態1では、反射鏡21を移動させることによって、カラーカメラ22側とコンフォーカル顕微鏡1側のいずれかの光路を切り換えるようにした。発明の実施の形態2では、図4に示されるようにカラーカメラ22の光路とコンフォーカル顕微鏡1の光路がほぼ平行になるように配置している。従って、同じタイミングにおいて、カラーカメラ22の撮影箇所とコンフォーカル顕微鏡1の観察箇所は異なる。そのため、制御部4は、カラーカメラ22の撮影することによって得られた色情報を、カラーフィルタ3の位置情報と関連付けて、図示しない記憶手段に格納しておき、コンフォーカル顕微鏡1の観察箇所が何色であるかをわかるようにしている。コンフォーカル顕微鏡1の観察時には、観察箇所の色情報を記憶手段より抽出する。そして、制御部4は、抽出された色情報に基づき、フィルタ14を選択する。コンフォーカル顕微鏡1は、発明の実施の形態1と同様にして、カラーフィルタ3を観察する。尚、図4に示されるように、本発明の実施の形態2では、カラーカメラ22に対応するレンズ2a、コンフォーカル顕微鏡1に対応するレンズ2bを備えている。
【0056】
この発明の実施の形態2にかかる検査装置でも、観察箇所のカラーフィルタを通過しない光が照射されるよう、制御しているため、カラーフィルタを正確に検査することが可能となる。
【0057】
特に、この発明の実施の形態2における検査装置は、反射鏡21が必要ないため、駆動動作が容易となるという効果を奏する。
【0058】
その他の発明の実施の形態.
上述の検査装置は、検査機能のみならず、異物の除去や高さの修正を行う修復機能を備えるようにしてもよい。
【0059】
本発明の検査装置の対象となるカラーフィルタは、液晶用に限らず他の用途に用いられるものであってもよい。
【0060】
上述の例では、カラーカメラによって、観察部分の色を判別するようにしたが、予めカラーフィルタにおける色の情報がカラーフィルタの設計情報等よりわかる場合には、カラーカメラを用いて撮影する必要はない。
【0061】
カラーカメラにより撮影を一旦検査対象のカラーフィルタ全体について行い、撮影情報又はその撮影情報より得られる色情報を記憶しておき、その色情報に基づきフィルタを適宜選択し、カラーフィルタ全体を観察するようにしてもよい。
【0062】
上述の例では、フィルタを切り換えることにより、カラーフィルタに出射される光の波長成分を調整するようにしたが、これに限らず、複数の波長の異なる光を出射する光源を設け、この光源を切り換えるようにしてもよい。例えば、赤(R)を出射する光源、緑(G)を出射する光源、青(B)を出射する光源を用意する。
【0063】
【発明の効果】
本発明によれば、カラーフィルタを正確に検査することが可能な検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる検査装置の構成例を示すブロック図である。
【図2】カラーフィルタの波長透過特性及び本発明にかかる検査装置のフィルタの波長透過特性を示す図である。
【図3】本発明にかかる検査装置の構成例を示す図である。
【図4】本発明にかかる他の検査装置の構成例を示すブロック図である。
【図5】一般的なカラーフィルタの波長透過特性を示す図である。
【図6】一般的なカラーフィルタの断面図である。
【符号の説明】
1 コンフォーカル顕微鏡 2 レンズ 3 カラーフィルタ
4 制御部 5 駆動部
14 フィルタ
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルタの表面を検査する検査装置に関するものであり、より詳しくは、カラーフィルタの表面上の構造物、異物等の高さを非接触で測定する検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置には、カラー表示を行うためにカラーフィルタが用いられる。このカラーフィルタは、製造工程において、突起状の異物が形成される場合がある。また、カラーフィルタの構造が設計通りに形成されない場合もある。このような状態が発生しているかどうかを検査し、また、その異物や構造の高さを測定する検査装置がある。例えば、レーザ顕微鏡により検査装置が構成される。レーザ顕微鏡により検査装置を構成した場合、通常、共焦点型光学系による焦点の合う最大輝度を検出することによって異物や構造の高さを測定している。また、レーザ顕微鏡では、通常、可視光の特定波長のレーザを用いている。
【0003】
ここで、カラーフィルタは、図6の断面図に示されるような構造を有している。即ち、ガラス基板31の上面にブラックマトリックス(BM)35が設けられ、さらに、色画素部32、33、34が設けられている。ここで、ブラックマトリックス35は、隣接画素間からの光漏れとスイッチング素子への外光照射を防ぐために設けられている。色画素部32は赤(R)の色材、色画素部33は緑(G)の色材、そして、色画素部34は青(B)の色材からそれぞれ形成される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このような構造を有するカラーフィルタを、可視光の特定波長のレーザによって検査すると、色画素部32、33、34では、図5に示されるように、それぞれの色に応じて当該可視光レーザが透過する。例えば、赤(R)の色画素32においては、赤色のレーザ光が通過する。特にレーザ顕微鏡のレーザ光は単色波長なので、赤(R)、緑(G)、青(B)のどれかを通過する。色画素部32、33、34を通過したレーザ光は、ガラス基板31の表面等によって反射される。この反射光は、色画素部32、33、34の表面上の異物や構造を検査する上で誤差の原因となる。
【0005】
このように、従来の検査装置では、カラーフィルタを正確に検査することができないという問題点があった。
【0006】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、カラーフィルタを正確に検査することが可能な検査装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる検査装置は、白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部を有するカラーフィルタの表面の高さ測定を行う検査装置であって、検査する色画素部の色に応じて、検査のために当該色画素部に出射する光の波長成分を制御するものである。このような構成により、色画素部を通過し、ガラス基板等で反射する光の発生を抑制できるため、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【0008】
ここで、検査する色画素部の色の波長成分が抑制された光をこの色画素部に出射することが望ましい。
【0009】
また、前記光の波長成分の制御は、光源より出射される白色スリット光を波長透過特性の異なる複数のフィルタを切り換えることにより実行するとよい。これにより、簡易な構成により、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【0010】
また、光の波長成分の制御は、出射する光の波長が異なる複数の光源を切り換えることにより実行するようにしてもよい。
【0011】
また、前記色画素部の色は、カラーカメラによって撮影することによって検出するとよい。これにより、確実に色画素部の色を判別できる。
【0012】
他方、本発明にかかる検査方法は、白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部を有するカラーフィルタの表面の高さ測定を行う検査方法であって、検査する色画素部の色に応じて、検査のために当該色画素部に出射する光の波長成分を制御するものである。このような方法により、色画素部を通過し、ガラス基板等で反射する光の発生を抑制できるため、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【0013】
ここで、検査する色画素部の色の波長成分が抑制された光をこの色画素部に出射することが望ましい。
【0014】
また、光の波長成分の制御は、光源より出射される白色スリット光を波長透過特性の異なる複数のフィルタを切り換えることにより実行するとよい。これにより、簡易な構成により、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【0015】
また、前記光の波長成分の制御は、出射する光の波長が異なる複数の光源を切り換えることにより実行するようにしてもよい。
【0016】
さらに、前記色画素部の色は、カラーカメラによって撮影することによって検出するとよい。これにより、確実に色画素部の色を判別できる。
【0017】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態1.
図1に本発明の実施の形態にかかるカラーフィルタの検査装置の基本構成を示す。図に示されるように、この検査装置は、コンフォーカル顕微鏡1、フィルタ14、反射鏡21、レンズ2、カラーカメラ22、制御部4及び駆動部5を備えている。
【0018】
コンフォーカル顕微鏡1は、共焦点型光学系による焦点の合う最大輝度を検出することによって異物や構造の高さを測定している。このコンフォーカル顕微鏡1の具体的なハードウェア構成については後に詳述するが、少なくとも、白色(多色スペクトル)スリット光を出射する光源と、カラーフィルタからの光を検出する検出素子及び共焦点型光学系を有する。
【0019】
フィルタ14は、可視光波長制限用フィルタである。フィルタ14は、少なくとも通過することができる周波数帯の異なる2種類のフィルタを有する。これらの複数のフィルタ14は、切り換えることができる。例えば、複数のフィルタ14は、フィルタホルダに横並びに固定され、駆動部5によってこのフィルタホルダをスライドさせることにより、種類の異なるフィルタ14を切り換えるようにする。また、複数のフィルタ14を同芯円上に配置し、回転させることによって複数のフィルタ14を切り換えるようにしてもよい。
【0020】
反射鏡21は、カラーフィルタ3を反射した光をカラーカメラ22の方向に反射させるものである。この例における反射鏡21は、カラーフィルタ3を反射した光の進行方向とほぼ垂直に移動させることができ、カラーカメラ22に対してカラーフィルタ3からの反射光を供給する場合にのみ、当該反射光の光路上に位置する。
【0021】
カラーカメラ22は、例えば、多数のCCD素子により構成され、カラー画像を得ることができる。
【0022】
レンズ2は、カラーフィルタ3上に集光させるための対物レンズ等である。
【0023】
制御部4は、コンフォーカル顕微鏡1、カラーカメラ22、駆動部5等の検査装置内の各構成を制御する。特に本発明の実施の形態における制御部4は、カラーカメラ22によって撮像された画像データに基づき、カラーフィルタ3上の画素の色を判別し、その判別結果に基づいて、フィルタ14を駆動部5を介して切り換える制御を行う。
【0024】
駆動部5は、制御部4からの制御信号に応じて、複数のフィルタ14を切り換える。駆動部5は、例えば、駆動回路、モータや歯車等により構成される。
【0025】
その他、本発明にかかる検査装置は、検査対象であるカラーフィルタ3を移動させる駆動機構を備えている。この駆動機構によって、コンフォーカル顕微鏡1により出射される光がカラーフィルタ3全体を走査できるように、カラーフィルタ3を移動させる。
【0026】
ここで、図2を用いて、本発明の動作原理について説明する。図2(a)は、カラーフィルタの波長透過特性を示す。カラーフィルタは、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色画素部32、33、34を有するため、図2(a)に示されるように、各色画素部32、33、34の色に対応した波長を有する光の透過率が高くなっている。
【0027】
図2(b)は、第1のフィルタ14の波長透過特性を示す。この第1のフィルタ14は、赤(R)の波長を有する光の透過率が高くなっており、他の緑(G)、青(B)の波長を有する光の透過率は低くなっている。従って、第1のフィルタ14を通過した光は、少なくとも緑(G)、青(B)の波長成分が少なくなっている。このため、第1のフィルタ14を通過した光を、緑(G)の色画素部33に照射したとしても、この緑(G)の色画素部33を透過する緑(G)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、緑(G)の色画素部33を透過せず、その表面において反射される。同様にして、第1のフィルタ14を通過した光を、青(B)の色画素部34に照射したとしても、この青(B)の色画素部34を透過する青(B)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、青(B)の色画素部34を透過せず、その表面において反射される。他方で、赤(R)の色画素部32は、第1のフィルタ14を通過した光を透過させるため、赤(R)の色画素部32の検査には用いることはできない。
【0028】
図2(c)は、第2のフィルタ14の波長透過特性を示す。この第2のフィルタ14は、緑(G)の波長を有する光の透過率が高くなっており、他の赤(R)、青(B)の波長を有する光の透過率は低くなっている。従って、第2のフィルタ14を通過した光は、少なくとも赤(R)、青(B)の波長成分が少なくなっている。このため、第2のフィルタ14を通過した光を、赤(R)の色画素部32に照射したとしても、この赤(R)の色画素部32を透過する赤(R)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、赤(R)の色画素部32を透過せず、その表面において反射される。同様にして、第1のフィルタ14を通過した光を、青(B)の色画素部34に照射したとしても、この青(B)の色画素部34を透過する青(B)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、青(B)の色画素部34を透過せず、その表面において反射される。他方で、緑(G)の色画素部33は、第2のフィルタ14を通過した光を透過させるため、緑(G)の色画素部33の検査には用いることはできない。
【0029】
図2(d)は、第3のフィルタ14の波長透過特性を示す。この第3のフィルタ14は、青(B)の波長を有する光の透過率が高くなっており、他の赤(R)、緑(G)の波長を有する光の透過率は低くなっている。従って、第3のフィルタ14を通過した光は、少なくとも赤(R)、緑(G)の波長成分が少なくなっている。このため、第3のフィルタ14を通過した光を、赤(R)の色画素部32に照射したとしても、この赤(R)の色画素部32を透過する赤(R)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、赤(R)の色画素部32を透過せず、その表面において反射される。同様にして、第3のフィルタ14を通過した光を、緑(G)の色画素部33に照射したとしても、この緑(G)の色画素部33を透過する緑(G)の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、緑(G)の色画素部33を透過せず、その表面において反射される。他方で、青(B)の色画素部34は、第3のフィルタ14を通過した光を透過させるため、青(B)の色画素部34の検査には用いることはできない。
【0030】
即ち、第1のフィルタ14を用いた場合には、青(B)の色画素部34、緑(G)の色画素部33の検査を行なうことができる。第2のフィルタ14を用いた場合には、青(B)の色画素部34、赤(R)の色画素部32の検査を行なうことができる。第3のフィルタ14を用いた場合には、赤(R)の色画素部32、緑(G)の色画素部33の検査を行なうことができる。
【0031】
従って、これらのフィルタ14を適宜、検査しようとする色画素部の色に応じて切り換えることにより、全ての色画素部を正確に検査することができる。
【0032】
続いて、図1にかかる検査装置の検査動作について説明する。
【0033】
カラーフィルタ3の所定位置に位置決めする。例えば、コンフォーカル顕微鏡1からの光が赤(R)の色画素部32に照射されているものとする。最初は、反射鏡21は、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に位置する。カラーカメラ22は、反射鏡21及びレンズ2を介して、当該色画素部32を撮影する。そして、カラーカメラ22は、撮影により得られる画像データより、撮影対象の色画素部2の色を判別する。この例では、カラーカメラ22は、赤(R)であることを判別し、赤(R)を示す判別信号を制御部4に出力する。制御部4は、判別信号を入力し、赤(R)の色画素部32が測定できるようなフィルタ14を選択する。図2に示す例では、第2のフィルタ14又は第3のフィルタ14を選択することができるが、この説明では、第2のフィルタ14を選択したとする。
【0034】
制御部4は、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に、選択した第2のフィルタ14が位置するように、駆動部5に命令信号を出力する。駆動部5は、この命令信号を入力し、第2のフィルタ14をコンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に移動させる。
【0035】
次に、反射鏡21を、図示しない駆動機構により、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。そして、コンフォーカル顕微鏡1から出射された白色光は、第2のフィルタ14及びレンズ2を通過してカラーフィルタ3に入射する。より詳細には、出射光は、カラーカメラ22によって撮影された赤(R)の色画素部32に入射する。また、出射光は、第2のフィルタ14を通過することによって、青(B)及び赤(R)の波長成分が制限される。そのため、入射した光は、赤(R)の色画素部32を通過せずに、その表面において反射される。
【0036】
そして、反射光は、レンズ2及び第2のフィルタ14を通過して、コンフォーカル顕微鏡1に入射する。コンフォーカル顕微鏡1は、反射光を入射し、その反射光を検出する。そして、周知の手段により、光が入射した部分、この例では、赤(R)の色画素部32の表面を観察する。より具体的には、この部分に異物や構造欠陥等がないかどうかを判別するために、表面の高さを測定する。
【0037】
次に、カラーフィルタ3を予め定められた距離分移動させる。また、反射鏡21を、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に移動させる。そして、再び、カラーカメラ22によってカラーフィルタ3の検査部分の色を検出する。この例では、前回の検査部分と同一画素上にあり、色が同じであるとする。その場合には、フィルタ14は、同じものが選択される。続いて、反射鏡21をコンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。その後に上述の場合と同様にして、コンフォーカル顕微鏡1は、カラーフィルタ3の表面を観察し、表面の高さを測定する。このような一連の動作を繰り返す。
【0038】
その後、カラーフィルタ3を移動させ、カラーカメラ22が、緑(G)の色画素部33を撮影したものとする。この場合には、緑(G)を示す判別信号を制御部4に出力する。制御部4は、判別信号を入力し、緑(G)の色画素部32を測定できるようなフィルタ14を選択する。図2に示す例では、第1のフィルタ14又は第3のフィルタ14を選択することができるが、この説明では、第1のフィルタ14を選択したとする。
【0039】
制御部4は、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に、選択した第1のフィルタ14が位置するように、駆動部5に命令信号を出力する。駆動部5は、この命令信号を入力し、第1のフィルタ14をコンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に移動させる。
【0040】
次に、反射鏡21を、図示しない駆動機構により、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。そして、コンフォーカル顕微鏡1から出射された光は、第1のフィルタ14及びレンズ2を通過してカラーフィルタ3に入射する。より詳細には、出射光は、カラーカメラ22によって撮影された緑(G)の色画素部33に入射する。また、出射光は、第1のフィルタ14を通過することによって、青(B)及び緑(G)の波長成分が制限される。そのため、入射した光は、緑(G)の色画素部33を通過せずに、その表面において反射される。
【0041】
そして、反射光は、レンズ2及び第1のフィルタ14を通過して、コンフォーカル顕微鏡1に入射する。コンフォーカル顕微鏡1は、反射光を入射し、その反射光を検出する。そして、周知の手段により、光が入射した部分、この例では、緑(G)の色画素部33の表面を観察する。より具体的には、この部分に異物や構造欠陥等がないかどうかを判別するために、表面の高さを測定する。
【0042】
さらに、カラーフィルタ3を移動させ、カラーカメラ22が、青(B)の色画素部34を撮影したものとする。この場合には、青(B)を示す判別信号を制御部4に出力する。制御部4は、判別信号を入力し、青(B)の色画素部34が測定できるようなフィルタ14を選択する。図2に示す例では、第1のフィルタ14又は第2のフィルタ14が選択される。この説明では、第1のフィルタ14を選択したとする。
【0043】
制御部4は、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に、選択した第1のフィルタ14が位置するように、駆動部5に命令信号を出力する。駆動部5は、この命令信号を入力し、第1のフィルタ14は、既にコンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上に位置しているため、その状態を維持する。
【0044】
次に、反射鏡21を、図示しない駆動機構により、コンフォーカル顕微鏡1から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。そして、コンフォーカル顕微鏡1から出射された光は、第1のフィルタ14及びレンズ2を通過してカラーフィルタ3に入射する。より詳細には、出射光は、カラーカメラ22によって撮影された青(B)の色画素部34に入射する。また、出射光は、第1のフィルタ14を通過することによって、青(B)及び緑(G)の波長成分が制限される。そのため、入射した光は、青(B)の色画素部34を通過せずに、その表面において反射される。
【0045】
そして、反射光は、レンズ2及び第1のフィルタ14を通過して、コンフォーカル顕微鏡1に入射する。コンフォーカル顕微鏡1は、反射光を入射し、その反射光を検出する。そして、周知の手段により、光が入射した部分、この例では、青(B)の色画素部34の表面を観察する。より具体的には、この部分に異物等がないかどうかを判別するために、表面の高さを測定する。
【0046】
このような処理を繰り返し、検査対象であるカラーフィルタ3の検査範囲すべてにつき、光を走査し、検査を行なう。
【0047】
次に、図3に本発明の実施の形態にかかるカラーフィルタの検査装置の構成例を示す。図1において、光源11は、多色スペクトルを含む光、即ち白色光を放射するものであり、例えば、キセノンランプ、水銀ランプ、ハロゲンランプ、蛍光ランプである。この光源から放射される光は、ファイバ束12の結束端に入射される。このファイバ束12の出射端13におけるファイバはライン状に配列されている。このようなファイバ束12を用いるため、出射端13からは中央部でも端部でも均一の光量が放射されることになるとともに出射される光線の進行方向もファイバの出射角によって決まり、従来のスリットを用いたコンフォーカル顕微鏡に比べて光軸に対する傾斜角は小さいものとなる。ファイバ束12の出射端13から出射される光は、フィルタ14に入射する。
【0048】
このフィルタ14は、図1、図2において説明した通りである。フィルタ14を通過した光は、スリット15に入射される。このスリット15を対物レンズ24に関してカラーフィルタ3である試料面25と共役の位置に配置してコンフォーカル光学系を構成する。さらに、スリット15の後方に偏光板16を配置する。
【0049】
偏光板16を通過した光は、リレーレンズ17を経て、偏光ビームスプリッタ18に入射される。この偏光ビームスプリッタ18の偏光面で反射されたビームは、振動ミラーを有する走査ミラー19に入射される。この走査ミラー19を、テレビジョンの垂直走査に同期して駆動し、ビームを主走査方向と直交する副走査方向(垂直走査方向)に偏向し、さらにリレーレンズ20に入射させる。したがって、このリレーレンズ20によってビームによるラスタBが形成される。このラスタBの像を1/4λ板23および対物レンズ24を経て試料面25に結像させる。これによって試料面25をラスタ走査するようにしている。
【0050】
試料面25で反射されたビームは、対物レンズ24、1/4λ板23、リレーレンズ20、走査ミラー19を経て偏光ビームスプリッタ18に入射される。ここで、走査ミラー19を通ることによって副走査方向の偏向は相殺されてなくなる。また、1/4λ板23を2度通ることによりビームの偏光面は90度回転するので、偏光ビームスプリッタ18の偏光面を透過することになる。このようにして偏光ビームスプリッタ18を透過したビームを結像レンズ26によって予定焦点面に配置された1次元イメージセンサアレイ27に収束させる。1次元イメージセンサアレイ27から読み出される画像信号を信号処理回路で処理した後、例えばテレビジョンモニタ上に映出する。そして、検査対象であるカラーフィルタ3の表面の状態を観察する。ここで、顕微鏡は共焦点光学系で構成している故、光軸上で焦点の合った部分が最大光量を与える。そこで対物レンズを光軸方向に移動するなどして異物などの表面に焦点が合うように、焦点を移動することにより、最大光量を与える点が移動し、最大光量を与える点が消失するまで移動を行えば、この移動量から異物等の高さが検出できることになる。
【0051】
即ち、この発明の実施の形態における検査装置は、スリット15を用い、その像をリレーレンズ17および20によって結像することによりラスタBを形成し、このラスタの縮小像を対物レンズ24によって試料面22上に形成して試料面をラスタ走査している。そして、このラスタ像を対物レンズ24、リレーレンズ20および結像レンズ20によって1次元イメージセンサアレイ27の受光面上に結像するようにしている。この場合、対物レンズ24に入射する光は対物レンズの中心部だけではなく、広い範囲にわたるので、対物レンズの実効的なNAは大きくなり、したがって分解能も高くなる。これは特に対物レンズとして広視野、低倍率のものを使用したときに有利となる。さらに、実効的なNAが大きくなると、試料25の傾斜面も観察できるようになる。
【0052】
本発明の実施の形態にかかる検査装置では、さらに反射鏡21及びカラーカメラ22を備えている。この反射鏡21は、上述の通り、試料25を反射した光をカラーカメラ22の方向に反射させるものである。この例における反射鏡21は、試料25を反射した光の進行方向とほぼ垂直に移動させることができ、カラーカメラ22に対して試料25からの反射光を供給させる場合にのみ、当該反射光の光路上に位置する。カラーカメラ22は、例えば、多数のCCD素子により構成され、カラー画像を得ることができる。
【0053】
この発明の実施の形態1にかかる検査装置では、カラーフィルタを通過しない光が照射されるよう、制御しているため、カラーフィルタを正確に検査することが可能となる。
【0054】
尚、図3に示す検査装置では、フィルタ14は、ファイバ束12の出射端13の近傍に設けたが、これに限らず、ファイバ束12の出射端13から反射鏡21の間の光路の任意の位置に設けることが可能である。
【0055】
発明の実施の形態2.
発明の実施の形態1では、反射鏡21を移動させることによって、カラーカメラ22側とコンフォーカル顕微鏡1側のいずれかの光路を切り換えるようにした。発明の実施の形態2では、図4に示されるようにカラーカメラ22の光路とコンフォーカル顕微鏡1の光路がほぼ平行になるように配置している。従って、同じタイミングにおいて、カラーカメラ22の撮影箇所とコンフォーカル顕微鏡1の観察箇所は異なる。そのため、制御部4は、カラーカメラ22の撮影することによって得られた色情報を、カラーフィルタ3の位置情報と関連付けて、図示しない記憶手段に格納しておき、コンフォーカル顕微鏡1の観察箇所が何色であるかをわかるようにしている。コンフォーカル顕微鏡1の観察時には、観察箇所の色情報を記憶手段より抽出する。そして、制御部4は、抽出された色情報に基づき、フィルタ14を選択する。コンフォーカル顕微鏡1は、発明の実施の形態1と同様にして、カラーフィルタ3を観察する。尚、図4に示されるように、本発明の実施の形態2では、カラーカメラ22に対応するレンズ2a、コンフォーカル顕微鏡1に対応するレンズ2bを備えている。
【0056】
この発明の実施の形態2にかかる検査装置でも、観察箇所のカラーフィルタを通過しない光が照射されるよう、制御しているため、カラーフィルタを正確に検査することが可能となる。
【0057】
特に、この発明の実施の形態2における検査装置は、反射鏡21が必要ないため、駆動動作が容易となるという効果を奏する。
【0058】
その他の発明の実施の形態.
上述の検査装置は、検査機能のみならず、異物の除去や高さの修正を行う修復機能を備えるようにしてもよい。
【0059】
本発明の検査装置の対象となるカラーフィルタは、液晶用に限らず他の用途に用いられるものであってもよい。
【0060】
上述の例では、カラーカメラによって、観察部分の色を判別するようにしたが、予めカラーフィルタにおける色の情報がカラーフィルタの設計情報等よりわかる場合には、カラーカメラを用いて撮影する必要はない。
【0061】
カラーカメラにより撮影を一旦検査対象のカラーフィルタ全体について行い、撮影情報又はその撮影情報より得られる色情報を記憶しておき、その色情報に基づきフィルタを適宜選択し、カラーフィルタ全体を観察するようにしてもよい。
【0062】
上述の例では、フィルタを切り換えることにより、カラーフィルタに出射される光の波長成分を調整するようにしたが、これに限らず、複数の波長の異なる光を出射する光源を設け、この光源を切り換えるようにしてもよい。例えば、赤(R)を出射する光源、緑(G)を出射する光源、青(B)を出射する光源を用意する。
【0063】
【発明の効果】
本発明によれば、カラーフィルタを正確に検査することが可能な検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる検査装置の構成例を示すブロック図である。
【図2】カラーフィルタの波長透過特性及び本発明にかかる検査装置のフィルタの波長透過特性を示す図である。
【図3】本発明にかかる検査装置の構成例を示す図である。
【図4】本発明にかかる他の検査装置の構成例を示すブロック図である。
【図5】一般的なカラーフィルタの波長透過特性を示す図である。
【図6】一般的なカラーフィルタの断面図である。
【符号の説明】
1 コンフォーカル顕微鏡 2 レンズ 3 カラーフィルタ
4 制御部 5 駆動部
14 フィルタ
Claims (10)
- 白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部を有するカラーフィルタの表面の高さ測定を行う検査装置であって、
検査する色画素部の色に応じて、検査のために当該色画素部に出射する光の波長成分を制御する検査装置。 - 検査する色画素部の色の波長成分が抑制された光をこの色画素部に出射することを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記光の波長成分の制御は、光源より出射される白色スリット光を波長透過特性の異なる複数のフィルタを切り換えることにより実行することを特徴とする請求項1又は2記載の検査装置。
- 前記光の波長成分の制御は、出射する光の波長が異なる複数の光源を切り換えることにより実行することを特徴とする請求項1又は2記載の検査装置。
- 前記色画素部の色は、カラーカメラによって撮影することによって検出することを特徴とする請求項1又は2記載の検査装置。
- 白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部を有するカラーフィルタの表面の高さ測定を行う検査方法であって、
検査する色画素部の色に応じて、検査のために当該色画素部に出射する光の波長成分を制御する検査方法。 - 検査する色画素部の色の波長成分が抑制された光をこの色画素部に出射することを特徴とする請求項6記載の検査方法。
- 前記光の波長成分の制御は、光源より出射される白色スリット光を波長透過特性の異なる複数のフィルタを切り換えることにより実行することを特徴とする請求項6又は7記載の検査方法。
- 前記光の波長成分の制御は、出射する光の波長が異なる複数の光源を切り換えることにより実行することを特徴とする請求項6又は7記載の検査方法。
- 前記色画素部の色は、カラーカメラによって撮影することによって検出することを特徴とする請求項6又は7記載の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002213340A JP2004053495A (ja) | 2002-07-23 | 2002-07-23 | カラーフィルタの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002213340A JP2004053495A (ja) | 2002-07-23 | 2002-07-23 | カラーフィルタの検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004053495A true JP2004053495A (ja) | 2004-02-19 |
Family
ID=31935954
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2002213340A Pending JP2004053495A (ja) | 2002-07-23 | 2002-07-23 | カラーフィルタの検査装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2004053495A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006308336A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Ohkura Industry Co | 撮像システム |
JP2006337542A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Lasertec Corp | カラーフィルタ基板のステージ装置及び検査装置 |
-
2002
- 2002-07-23 JP JP2002213340A patent/JP2004053495A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006308336A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Ohkura Industry Co | 撮像システム |
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