JP2004047961A - 光接続装置及びその製造方法 - Google Patents
光接続装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004047961A JP2004047961A JP2003127843A JP2003127843A JP2004047961A JP 2004047961 A JP2004047961 A JP 2004047961A JP 2003127843 A JP2003127843 A JP 2003127843A JP 2003127843 A JP2003127843 A JP 2003127843A JP 2004047961 A JP2004047961 A JP 2004047961A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide groove
- optical
- connection device
- lens
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
【解決手段】単結晶シリコン基板10にレンズ用ガイド溝11を設けるに際して、所望のガイド溝の幅よりも狭い直方体上の開口部を設けその後KOH溶液によりウェットエッチングを行う。ガイド溝11の光軸方向の端面は、2つの{111}面が露出して、上下から斜めに基板側に食い込んだ形状となる。端面下部にガイド溝11側へのせり出し部がなく、その結果LD12とレンズ13を近接して配置することができ、素子間の光結合効率の高い光接続装置となる。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光素子あるいは受光素子等の光素子と、光ファイバあるいはレンズ等の他の光素子との光結合を、高い効率で実現することが可能な光接続装置とその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来技術の例を、図7、図8を参照して、発光素子であるレーザーダイオード(LDと称する)とレンズを結合する場合を例に説明する。この種の光接続装置に関しては、Si(シリコン)基板に両側面が下方に狭いテーパー状のガイド溝を位置決め形成し、ガイド溝内にレンズを固定して結合させる技術が広く知られている。図7はそのような光接続装置80の斜視図、図8はガイド溝33にレンズ35を配置した状態を、図7中の8−8線で切断した断面図である。X−X線は光軸を示す。
【0003】
図7、8に示すように、Si基板31の表面に、レンズ35を支持するガイド溝33が形成され、その端部に隣接するSi基板31の表面上に、LD32が配置されている。このガイド溝33の加工には簡便に高精度微細加工が行える異方性ウェットエッチングを利用する。Si基板31として表面が{100}面である基板を用い、マスクに光軸方向に1辺を有する矩形の開口部を設けてエッチングすると、Si基板31の各結晶面のエッチング速度の違いから、下に狭いテーパー状の側面37、38を有するガイド溝33が形成される。面37、38は共に{111}面である。ガイド溝33にレンズ35を固定することにより、レンズ35は、LD32と光軸が一致するように径方向の位置が決定され、LD32とレンズ35との光結合が実現される。
なお、{111}面というように{ }を用いて表現する方法は、方向の異なる同種の結晶面を総称するものとして一般的に用いられている。
【0004】
しかしながら、この技術では、ガイド溝33の終端部に端部{111}結晶面34(傾き角度θ=54.7°)が形成されるので、この端部{111}結晶面34が障害となってLD32とレンズ35を近づけることが出来ない。即ち、Si結晶は単一元素からなるため、ガイド溝を構成する{111}面は1種類のみである。そのためガイド溝の終端部にも側面と同じく{111}面が形成され、これがレンズ35に向かってテーパー状にせり出すため、LD32とレンズ35との間隔を狭くするには限界がある。例えば、外径1000μmのレンズ35を用いた場合、LD32とレンズ35との間隔は約350μmにも開いてしまうため、LD32とレンズ35との光結合効率は極端に低くなってしまう。
【0005】
上記のような光接続装置において、レンズ35とLD32との間隔を低減するための技術として、機械的な加工法としては、ガイド溝33の終端部の{111}面34をほぼ垂直にダイシングで研削する方法が提案されている。あるいは化学的なウェットエッチングによる方法としては、2種類の{100}面を有するGaAs(ガリウム砒素)基板を用いて、光軸方向にV字状に凹んだ端面を形成する技術が知られている(例えば特許文献1参照)。この場合ガイド溝の端部には図8に2点鎖線で示す2種類の{100}面39a、39bが現れる。これらの技術では、LD32に対してレンズ35の端部を近接配置でき、光結合効率を改善する上では有効である。
【0006】
【特許文献1】
特開平11−295558号公報(図3、図7参照)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、提案されている上記の2つの方法はそれぞれ以下のような問題点を有している。前者の機械的な加工では、位置合わせで十分な精度を得ることが難しい上に、ダイシング溝がガイド溝33の底面よりも下方まで形成されるため機械的強度が低下し、その後の素子アセンブルの工程で破損してしまうことも多い。更に、基板を横切る形でしか加工できないため、ガイド溝以外の部分も研削することから、シリコン基板上で素子の集積化を図るときの大きな制約となる。一方、後者のGaAS基板を用いる方法はSi基板の場合とほぼ同様に加工できるが、GaAs基板はSi基板に比べて非常に脆く、機械的加工の場合と同様に、素子アセンブルの工程での破損が頻繁に発生する。
【0008】
本発明の目的は、上記の問題点を解決し、Si基板を用いて、簡易な異方性ウェットエッチングにより、高効率の光結合が得られる光接続装置とその製造方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、{100}面を表面とする単結晶シリコン基板上にガイド溝が形成され、該ガイド溝内に置かれた光素子と前記ガイド溝外に置かれた他の光素子とを、それぞれの光軸が一致する様に結合する光接続装置であって、前記光軸は{110}方向の方位を有し、前記ガイド溝の前記光軸方向の少なくとも一端面は、前記ガイド溝の深さ方向の中央部で、前記光軸に直交し前記表面に平行な一辺を共有する、2つの{111}面により形成されている、ことを特徴とする光接続装置である。
2つの{111}面はそれぞれ、基板表面及びガイド溝底面から、深さ方向の中央部に向かってガイド溝空間を広げる方向に傾斜した面である。即ち、ガイド溝の光軸方向の端面は上下から斜めに基板側に食い込んだ面となり、端面の下部がガイド溝側にせり出していない形状となる。従って、光素子どうしを近接配置することが可能となり、同じSi基板を用いた従来例よりも高効率の光結合が実現できる。
【0010】
本発明は、ガイド溝が光軸方向に逆台形の開口断面形状を有し、光軸と平行な両側面は共に{111}面であることが好ましい。
上記構成により、光軸と直角な方向、例えばレンズの場合の径方向、の位置決めが非常に容易になる。
【0011】
本発明は、シリコン基板の表面に絶縁膜が形成され、該絶縁膜上に、ガイド溝の外部に配置される光素子用の金属配線膜が形成されている光接続装置とすることができる。
本構成により、レーザーダイオード(LD)、フォトダイオード(PD)等の発光、受光素子を、金属配線部以外との絶縁を確実にして配置することができる。
【0012】
本発明は、ガイド溝内に光学レンズを、ガイド溝の外部の単結晶シリコン基板上に発光素子あるいは受光素子を、それぞれの光軸が一致するように配置したことを特徴とする、光通信用接続モジュールである。
本構成により各素子間の光結合の効率を高くすることができ、伝達損失の少ない、且つ小型の光通信用接続モジュールとなる。
【0013】
本発明は、 {100}面を表面とする単結晶シリコン基板の表面に、直方体状の開口部を、該開口部の深さ方向の対向する2対の側面が全て{110}面であるように形成する工程と、前記開口部を含み幅方向に前記開口部よりも広い領域に対して異方性ウェットエッチングを行い、前記開口部の{110}方向の少なくとも一端面に、{110}方向と直交し前記表面に平行な一辺を共有する、2つの{111}面を露出させてガイド溝を形成する工程と、を有することを特徴とする光接続装置の製造方法である。
本発明により、シリコン基板の各結晶面のエッチング速度の差を利用し、ガイド溝の光軸方向の端部に、下部のせり出し部のない、素子の近接配置が可能な端面を精度良く簡便に形成できる。
【0014】
本発明は、前記開口部の形成をSF6(六弗化硫黄)及びC4F8(パーフロロ1ブテン又はパーフロロ2ブテン又はパーフロロシクロブテン)を用いる反応性イオンエッチングにより行うことが好ましい。
位置合わせの精度が良く、また異方性をもつことから、所望の直方体状の開口部を設けることがで容易である。
【0015】
【発明の実施の形態】
[第1の実施の形態]以下、本発明の第1の実施の形態を、図1乃至図4を参照して説明する。
図1は本実施の形態の光接続装置を示す全体斜視図、図2は、図1の光接続装置を用いてレンズと発光素子(LD)を結合させて配置した状態を、図1の線2−2で切断した状態で示す斜視図、図3は図2の状態を線3−3で切断した断面図、図4は光接続装置の製造方法を示す工程断面図である。
【0016】
本実施の形態の光接続装置70には、図1、図2に示す様に、{100}面を表面とする単結晶Si基板10の表面に、レンズ13を配置するためのガイド溝11が異方性ウェットエッチングにより形成されている。図1中のX−X線が光軸を示し、光軸方向の一方の端面には16a、16bで示す2つの{111}面が図のように露出し、光軸方向に凹んだ面となっている。対抗する他の端面も同様に、破線で形状を示す17a、17bの2つの{111}面が露出している。光軸に沿う方向の両側面には他の2つの{111}面14、15が傾斜を持って現れ、ガイド溝11の断面は逆台形状である。両側面14、15により、レンズ13の径方向の位置決めがなされる。
【0017】
レンズ13、LD12の位置関係は図3に示すとおりである。ガイド溝11の端面を形成する2つの{111}面、16a、16bが図のようにレンズ13の反対側に傾斜して光軸方向に凹んだ端面となているため、従来例のように端面がレンズ13を近づけるための障害となることがなく、LD12とレンズ13を十分近接させて配置することができる。
【0018】
次に、上記構成の光接続装置70を製造する方法の一例を図4(A)〜(E)を用いて説明する。図4(A)〜(E)の各図において、左側の図は光軸に沿って切断した断面図、右側の図は、図中のY−Y線で光軸と直交する方向に切断した断面図である。
まず、図4(A)に示すように単結晶Si基板10の表面に、熱酸化法等により、厚さ1000Å(0.1μm)程度のSiO2膜20を成膜する。その上にCVD法により厚さ3000ÅのSiN膜21を積層する。
【0019】
更にスピンコート法により第1のレジスト22を塗布し、ガイド溝を開口する領域をパターニングする。パターニングされたレジスト22をマスクにSiN膜21、SiO2膜20をエッチングして図4(B)となる。この時点の開口部50の長手方向寸法L1と幅D1はそれぞれ、最終的に基板に形成されるガイド溝11の、基板表面における光軸方向の長さ及び幅の寸法と一致している。ここで、SiN膜21のエッチングには反応性ガスとしてSF6を用いた反応性イオンエッチング(RIE)法を用い、その後のSiO2膜20のエッチングはバッファードフッ酸によるウェットエッチングで行う。
【0020】
次に第1のレジスト22を除去し、第2のレジスト23を塗布して開口部をパターニングし、図4(C)となる。この時点での開口部51の寸法は、光軸方向は開口部50と同じくL1であり、幅方向は、後のウェットエッチング工程での幅方向への侵食を考慮し、D1よりも小さいD2となる。即ち、ガイド溝11の光軸方向の全長にわたって、両側面14、15がが連続した{111}面から形成されるようにD2を設定する。具体的には、幅D2の溝の深さをD4としたとき、D1、D2が
D1=D2+2・D4tan(90°−θ) (1)
ここで、θは{111}面の傾き角度
の関係を満たしていれば良い。
次に図4(D)に示す様に、レジスト23をマスクとしてSi基板10に直方体状の開口部52を設ける。この工程は、SF6(六弗化硫黄)及びC4F8(パーフロロ1ブテン又はパーフロロ2ブテン又はパーフロロシクロブテン)を用いるRIEにより行う。通常のSF6だけを用いるRIEよりも、特に深さ方向に精度良く平滑な端面を得ることができる。
【0021】
次に第2のレジスト23を除去し、SiO2膜20、SiN膜21をマスクとして、Si基板10をウェットエッチングする。エッチング液として20%KOH溶液を用い、温度80℃にて行うと、エッチング速度は1.5μm/分程度となり、制御が容易である。
このウェットエッチングにより光軸方向の両端面には2つの{111}面、それぞれ16a、16bと17a、17bが現れ、図示するように上下から斜めに基板側に食い込んだ面となる。幅方向にも両側に{111}面14、15が露出し、溝断面は逆台形状となる。この形状により、レンズ13の径方向が位置決めされる。
【0022】
以上述べた他に、開口部52の形成をレーザー加工により行うこともできる。加工面の精度、平滑性という点では前述のRIEによる方法に劣るが、最終的にはウェットエッチングによる面が露出するためその影響は少なく、RIEよりも簡便な方法として十分適用できる。
【0023】
[第2の実施形態]以下、本発明の第2の実施形態を図5、図6を参照して説明する。図5は本実施の形態の光接続装置を示す全体斜視図、図6は光接続装置の製造方法を示す工程断面図である。第1の実施の形態と同一の部材には同じ符号を付して説明を省略する。
本実施の形態の光接続装置71は、第1の実施の形態におけるレンズ13の後側(LD12の反対側)に、レンズ用のガイド溝11とつながる光ファイバ用のガイド溝18を設けた光接続装置である。LDに対してレンズ、レンズに対して光ファイバをそれぞれ近接配置することができ、高効率の光結合が可能となる。ガイド溝18はV字状の溝となっており、両側面19a、19bは共に{111}面である。
【0024】
図6に示す製造方法は、光ファイバ用のガイド溝18をレンズ用のガイド溝11と同時に作成できる方法である。図6において、図4の場合と同様に、各図の左側は光軸で切断した面の形状、右側は図中のZ−Z線で光軸と直交する方向に切断した面の形状である。また、図6(A)〜(E)は、それぞれ図4の(A)〜(E)に対応している。即ち図6(A)〜(E)において、レンズ用ガイド溝11が作成される領域はそれぞれ図4(A)〜(E)と同様の処理がなされている。
先ず図6(A)に示す様にSiO2膜20、SiN膜21を成膜し、第1のレジスト22をパターニングし、それをマスクにてSiO2膜20、SiN膜21エッチングして図6(B)の形状となる。このときをガイド溝18用の開口部54の幅D3は、最終的なガイド溝18の幅よりも狭く設定される。
次に図4(C)と同様に第2のレジスト23を塗布し、パターニングして図6(C)となる。光ファイバ用ガイド溝18はウェットエッチング前の直方体状の開口を必要としないので、この時点において開口部54はレジスト23に覆われている。
【0025】
次に図6(D)に示すようにRIEで直方体状の開口部52を形成し、その後第2のレジスト23を除去する。更にKOHによるウェットエッチングによりレンズ用ガイド溝11光ファイバ用ガイド溝18を同時に形成する。ガイド溝18の両側面には{111}面19a、19bが現れ、V字状の断面となる。
【0026】
本発明の技術的範囲は上記の実施の形態に限られるものではなく、光学素子を結合させる接続装置全般について、各素子間の光軸方向の距離に設定の幅を持たせる手段として適用することができる。
【0027】
【発明の効果】
以上説明の様に、本発明の光接続装置は、シリコン基板を用いウェットエッチングで製作した従来例とは異なり、ガイド溝の光軸方向の端面下部は溝の内側にせり出していない形状である。従ってガイド溝内に置かれた光素子と基板上におかれた他の光素子を近接して配置することができ、高効率の光結合が得られる。また、ウェットエッチングにおける各結晶面のエッチング速度の差を利用するので、高精度の光接続装置を再現性良く製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態である光接続装置を示す斜視図である
【図2】図1の光接続装置にレンズ、LDを配置した場合の斜視図である。
【図3】図2の3−3線に沿う断面図である。
【図4】同、光接続装置の製造工程を示す工程断面図である。
【図5】本発明の第2の実施の形態である光接続装置を示す斜視図である
【図6】同、光接続装置の製造工程を示す工程断面図である。
【図7】従来の光接続装置の1例を示す斜視図である。
【図8】図7の8−8線に沿う断面図である。
【符号の説明】
10、31 シリコン基板
11、34 レンズ用ガイド溝
12、32 レーザーダイオード
13、35 レンズ
14、15 ガイド溝側面
16a、16b ガイド溝端面
17a、17b ガイド溝端面
18 光ファイバ用ガイド溝
19a、19b ガイド溝側面
70、71 本発明の光接続装置
80 従来例の光接続装置
Claims (6)
- {100}面を表面とする単結晶シリコン基板上にガイド溝が形成され、該ガイド溝内に置かれた光素子と前記ガイド溝外に置かれた他の光素子とを、それぞれの光軸が一致する様に結合する光接続装置であって、前記光軸は{110}方向の方位を有し、前記ガイド溝の前記光軸方向の少なくとも一端面は、前記ガイド溝の深さ方向の略中央部で、前記光軸に直交し前記表面に平行な一辺、を共有する2つの{111}面により形成されている、ことを特徴とする光接続装置。
- 前記ガイド溝の前記光軸と平行な両側面は、共に{111}面であることを特徴とする請求項1記載の光接続装置。
- 前記単結晶シリコン基板の表面に絶縁膜が形成され、該絶縁膜上に、前記ガイド溝の外部に配置される光素子用の金属配線膜が形成されていることを特徴とする請求項1記載の光接続装置。
- 請求項1乃至3の光接続装置を用い、前記ガイド溝内に光学レンズを、前記ガイド溝の外部の前記単結晶シリコン基板上に発光素子あるいは受光素子を、それぞれの光軸が一致するように配置したことを特徴とする光通信用接続モジュール。
- {100}面を表面とする単結晶シリコン基板の表面に、直方体状の開口部を、該開口部の深さ方向の対向する2対の側面が全て{110}面であるように形成する工程と、前記開口部を含み幅方向に前記開口部よりも広い領域に対して異方性ウェットエッチングを行い、前記開口部の{110}方向の少なくとも一端面に、{110}方向と直交し前記表面に平行な一辺を共有する、2つの{111}面を露出させてガイド溝を形成する工程と、を有することを特徴とする光接続装置の製造方法。
- 前記開口部の形成をSF6(六弗化硫黄)及びC4F8(パーフロロ1ブテン又はパーフロロ2ブテン又はパーフロロシクロブテン)を用いる反応性イオンエッチングにより行うことを特徴とする、請求項5記載の光接続装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003127843A JP2004047961A (ja) | 2002-05-13 | 2003-05-06 | 光接続装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002136549 | 2002-05-13 | ||
JP2003127843A JP2004047961A (ja) | 2002-05-13 | 2003-05-06 | 光接続装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004047961A true JP2004047961A (ja) | 2004-02-12 |
Family
ID=31719261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003127843A Withdrawn JP2004047961A (ja) | 2002-05-13 | 2003-05-06 | 光接続装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004047961A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006330475A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Nec Electronics Corp | 光半導体装置およびその製造方法 |
-
2003
- 2003-05-06 JP JP2003127843A patent/JP2004047961A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006330475A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Nec Electronics Corp | 光半導体装置およびその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6888989B1 (en) | Photonic chip mounting in a recess for waveguide alignment and connection | |
EP3671298B1 (en) | High-efficiency fiber-to-waveguide coupler | |
JP2019519914A (ja) | シリコンフォトニクスにおけるiii−vチップの作成および集積化 | |
JPS59197184A (ja) | 半導体レ−ザ | |
JP2000304956A (ja) | 光導波路装置の製造方法および光導波路装置 | |
JP2752851B2 (ja) | 光導波路の製造方法 | |
JP2004047961A (ja) | 光接続装置及びその製造方法 | |
EP3316011A1 (en) | Apparatus and method for a low loss, high q resonator | |
GB2374155A (en) | A tapered optical waveguide formed with two substrates | |
US6920267B2 (en) | Optical coupling device and manufacturing method thereof | |
JP2007240743A (ja) | 波長変換素子及びその製造方法 | |
US20220206220A1 (en) | Edge couplers including a grooved membrane | |
JPS62106686A (ja) | 半導体レ−ザ装置 | |
JP2982861B2 (ja) | 光結合器及びその製造方法 | |
US7267780B1 (en) | Formation of facets on optical components | |
JP3112115B2 (ja) | 光導波路の製造方法 | |
JP3426854B2 (ja) | 光混成集積回路装置 | |
JP3175688B2 (ja) | 光接続装置およびその製造方法 | |
JPH06160676A (ja) | 半導体レーザモジュールの製造方法 | |
JP2820202B2 (ja) | スポットサイズ変換器の製造方法 | |
EP0871049A1 (en) | Semiconductor device | |
JPH04308803A (ja) | 光導波路形成法 | |
KR100558887B1 (ko) | 광소자 제조방법 | |
KR100396252B1 (ko) | 광소자 및 그 제조방법 | |
JP2022133127A (ja) | 半導体光素子およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051130 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080303 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20080303 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090602 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090706 |