JP2004047795A - 多層配線基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スルーホール7は、穴径が次第に大きくなる第1、第2および第3のホール部11,12,13の順に連設された段差状に形成され、第1のホール部11内に設けられた第1のメッキ膜16によって第1および第2の配線層5a,5b間が電気的に接続された第1の接続群21と、第3のホール部13に設けられた第2のメッキ膜18によって第3および第4の配線層5c,5d間が電気的に接続された第2の接続群22とが、第2のホール部12内に設けられた絶縁体17によって電気的に分断されている。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の配線層が絶縁層を介して積層されて、各配線層を電気的に接続するスルーホールを有する多層配線基板およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、各種電子部品が実装されるPCB(Printed−Circuit Board)等の配線基板では、配線効率を高めるため、複数の配線層が絶縁層を介して積層された多層配線基板が知られている。
【0003】
この種の多層配線基板では、一般的に、所望の各配線層間を電気的に接続するために、各配線層間に跨って貫通するスルーホールが設けられ、例えばスルーホール内に導電性のメッキ膜を被覆して形成することによって、各配線層間が電気的に接続されている。すなわち、従来の多層配線基板では、1つのスルーホール内で、メッキ膜を介して電気的に接続される複数の配線層からなる1つの接続群が構成されている。
【0004】
従来の多層配線基板では、1つのスルーホール内で1つの接続群を構成しているため、複数の接続群を構成する場合に、複数のスルーホールが必要になり、スルーホールによる配線効率が乏しいという不都合があった。そのため、従来の多層配線基板では、1つのスルーホール内で複数の接続群を独立して構成し、配線効率を向上することが求められている。
【0005】
そこで、従来、各配線層をIVH(Inner Via Hole)によるコア材を介して電気的に接続する方法がある。例えば図7に示すように、従来の多層配線基板101は、各種配線パターンを第1〜第6の配線層105a,105b,105c,105d,105e,105fと、第1〜第4の接地/電源層106a,106b,106c,106dと、任意の各配線層間を電気的に接続するための第1、第2、第3のコア材109a,109b,109cとを備えている。そして、この従来の多層配線基板101は、電気的に接続される一組の各配線層105a,105b、配線層105c,105d、各配線層105e,105fと、第1〜第4の接地/電源層106a,106b,106c,106dとが絶縁層108を介して交互に積層されて設けられている。
【0006】
しかしながら、この従来の多層配線基板101は、1つのスルーホールに対応する位置で、各コア材109a,109b,109cが跨いで配設された各配線層間のみが電気的に接続されるため、各接続群毎にコア材が必要になり、製造コストが嵩むという不都合があった。
【0007】
また、上述したコア部材を用いることなく、1つのスルーホール内で複数の接続群を構成するために、特開平8−186381号公報には、段付き穴をなすスルーホールを形成し、このスルーホール内の段差部に十字型中子を配置してメッキ処理を施す製造方法が開示されている。この従来の製造方法によれば、スルーホール内に十字型中子を配置した状態でメッキ処理を施した後、スルーホール内から十字中子を除去することによって、スルーホールの内周面の円周方向に、小径スルーホールと大径スルーホールの各導体層が複数に分割されて、独立回路である複数の接続群がスルーホール内に構成される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の製造方法は、スルーホール内に十字型中子を配置してメッキ処理を行った際、スルーホールの内周面と十字型中子の外周面との間にメッキ膜が浸透することを完全に防ぐことが困難であった。したがって、この従来の製造方法は、1つのスルーホール内に設けられる各接続群を確実に絶縁する絶縁部分が形成されずに、各接続群の絶縁不良が生じる虞があった。
【0009】
そこで、本発明は、1つのスルーホールによって、各配線層が電気的に接続された複数の接続群を個別に形成することを可能にする多層配線基板およびその製造方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するため、本発明に係る多層配線基板は、複数の配線層が絶縁層を介して積層されて、任意の各配線層間が電気的に接続された接続群と、表裏面に貫通して設けられたスルーホールとを有する。スルーホールは、穴径が次第に大きくなる第1、第2および第3のホール部の順に連設された段差状に形成される。そして、このスルーホールは、第1のホール部内に設けられた第1の導電体によって各配線層間が電気的に接続された第1の接続群と、第3のホール部に設けられた第2の導電体によって各配線層間が電気的に接続された第2の接続群とが、第2のホール部内に設けられた絶縁体によって電気的に分断されている。
【0011】
以上のように構成した本発明に係る多層配線基板によれば、各接続群を構成する第1のホール部と第3のホール部との間に位置する第2のホール部内に絶縁体が設けられることによって、第1のホール部と第3のホール部の各接続群が、第2のホール部内の絶縁体を介して確実に絶縁される。したがって、本発明に係る多層配線基板によれば、1つのスルーホール内で、確実に絶縁された複数の接続群が構成される。
【0012】
上述した目的を達成するため、本発明に係る多層配線基板の製造方法は、本発明に係る前記多層配線基板の製造方法であって、多層配線基板の表裏面に貫通して第1のホール部を形成する第1の工程と、第1のホール部内に第1の導電体を形成して各配線層間を電気的に接続する第2の工程と、第1のホール部に隣接して第2のホール部を形成することにより第1のホール部内の一端側の第1の導電体を除去する第3の工程とを有する。また、この本発明に係る多層配線基板の製造方法は、第1および第2のホール部内に絶縁性材料を充填する第4の工程と、第2のホール部に隣接して第3のホール部を形成することにより第2のホール部内の一端側の絶縁性材料を除去し第2のホール部内に絶縁体を形成する第5の工程と、第3のホール部内に第2の導電体を形成する第6の工程とを有する。
【0013】
以上のように構成した本発明に係る多層配線基板の製造方法によれば、第3の工程で、第1のホール部よりも大径の第2のホール部が形成されることによって、第1のホール部内に形成された所望の領域の第1の導電体が除去される。また、この多層配線基板の製造方法によれば、第5の工程で、第2のホール部よりもさらに大径の第3のホール部が形成されることによって、第2のホール部内に充填された所望の領域の絶縁性材料が除去される。したがって、第1のホール部と第3のホール部との間に、絶縁体が充填された第2のホール部が形成されて、第1のホール部と第3のホール部の各接続群は、第2のホール部内の絶縁体を介して確実に絶縁される。
【0014】
なお、本発明は、1つのスルーホール内で、少なくとも第1および第2のホール部の各接続群が、第2のホール部内の絶縁体によって確実に絶縁されるものであって、例えば第3のホール部に連設された更に他の第4および第5のホール部が設けられるとともに、第5のホール部の他の接続群が、第4のホール部内に設けられた他の絶縁体によって絶縁される構成が採られてもよいことは勿論である。
【0015】
また、本発明に係る多層配線基板の製造方法において、第1のホール部内の一端側とは、スルーホールの深さ方向の第2のホール部側を指しており、また第2のホール部内の一端側とは、スルーホールの深さ方向の第3のホール部側を指している。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施形態について、多層配線基板および多層配線基板の製造方法を図面を参照して説明する。
【0017】
図1に示すように、多層配線基板1は、各種配線パターンを構成する第1、第2、第3および第4の配線層5a,5b,5c,5dと、これら各配線層5a〜5dに対応する第1、第2、第3および第4の接地/電源層6a,6b,6c,6dとを備えており、各配線層5a〜5dと各接地/電源層6a〜6dが絶縁層8を介して交互に積層されて設けられている。そして、この多層配線基板1は、第1の配線層5aと第2の配線層5bとを電気的に接続するとともに、第3の配線層5cと第4の配線層5dとを電気的に接続するためのスルーホール7を備えている。
【0018】
スルーホール7は、図2に示すように、多層配線基板1の表裏面に貫通して設けられており、穴径が異なる第1、第2及び第3のホール部11,12,13が連設された段差状に形成されている。スルーホール7は、第1、第2、第3のホール部11,12,13の順に穴径が大きくされている。
【0019】
第1のホール部11は、第1の配線層5aと第2の配線層5bとに跨って形成されている。この第1のホール部11内には、内周面上に、導電性の第1のメッキ膜16が被覆されて形成されるとともに、絶縁性樹脂材料(松下電工株式会社製:エポキシマルチ「R−1766」)が充填されている。したがって、第1のホール部11は、第1のメッキ膜16を介して第1の配線層5aと第4の配線層5bとが電気的に接続された第1の接続群21を構成している。
【0020】
第2のホール部12は、第2の配線層5bと第3の配線層5cとの間に位置して、各配線層5a〜5dに跨らないように形成されている。この第2のホール部12は、穴径が第1のホール部11の穴径より大とされており、内部に、絶縁性樹脂材料(松下電工株式会社製:エポキシマルチ「R−1766」)が充填されて形成された絶縁体17が設けられている。この絶縁体17は、第1のホール部11内に充填された絶縁性樹脂材料と連続して形成されている。
【0021】
第3のホール部13は、第3の配線層5cと第4の配線層5dとに跨って形成されている。この第3のホール部13は、穴径が第2のホール部12の穴径より大とされており、内周面上に、導電性の第2のメッキ膜18が被覆されて形成されている。したがって、第3のホール部13は、第2のメッキ膜18を介して第3の配線層5cと第4の配線層5dとが電気的に接続された第2の接続群22を構成している。
【0022】
すなわち、スルーホール7は、第1のホール部11内の第1のメッキ膜16と、第3のホール部13内の第2のメッキ膜18とが、第2のホール部12内の絶縁体17によって確実に絶縁されている。
【0023】
以上のように構成された多層配線基板1の製造方法について図面を参照して説明する。
【0024】
多層配線基板1の製造方法は、多層配線基板1の表裏面に貫通する第1のホール部11を形成する第1の工程と、第1のホール部11内にメッキ処理を施す第2の工程と、第1のホール部11に隣接して第2のホール部12を形成することによって第1のホール部11内に被覆された第1のメッキ膜16の一端側を除去する第3の工程とを有している。
【0025】
また、この多層配線基板1の製造方法は、第1および第2のホール部11,12内に絶縁性樹脂材料を充填する第4の工程と、第2のホール部12に隣接して第3のホール部13を形成することによって第2のホール部12内の一端側の絶縁性樹脂材料を除去する第5の工程と、第3のホール部13内にメッキ処理を施す第6の工程とを有している。
【0026】
なお、本実施形態の多層配線基板1の製造方法では、各工程で外径が異なるドリルをそれぞれ用いて穴あけ加工を行うが、各第1、第2、第3のホール部11,12,13を加工する各ドリルを、外径が大きくなる順に、小径ドリル、中径ドリル、大径ドリルとそれぞれ称する。
【0027】
第1の工程では、図3の示すように、小径ドリルを用いた穴あけ加工によって、多層配線基板1の表裏面に貫通する第1のホール部11を形成する。第1のホール部11が形成された後、第2の工程は、第1のホール部11の内周面上に第1のメッキ膜16を形成することによって、第1〜第4の配線層5a〜5dをそれぞれ電気的に接続する。したがって、この第1の工程では、多層配線基板1において電気的に接続されない第1および第2の配線層5a,5bと、第3および第4の配線層5c,5dとが一時的に接続される。
【0028】
第3の工程では、図4に示すように、第3および第4の配線層13,14に対応する第1のホール部11の範囲である一端側を、小径ドリルによる加工軸線と一致させて中径ドリルを用いて穴あけ加工することによって、第3および第4の配線層5c,5dを電気的に接続している第1のメッキ膜16が部分的に除去される。したがって、多層配線基板1には、穴径が異なる第1および第2のホール部11,12が段差状に連続して形成される。
【0029】
第4の工程では、図5に示すように、第1および第2のホール部11,12内に、溶融された絶縁性樹脂材料を充填して冷却固化する。
【0030】
第5の工程では、図6に示すように、絶縁性樹脂材料が充填された第2のホール部12内に、小径ドリルによる加工軸線と一致させた大径ドリルを用いて穴あけ加工することによって、第3のホール部13が形成されるとともに、第1の配線層5aと第2の配線層5bを電気的に接続している第1のメッキ膜16との間に、絶縁体17が位置されて残されるように、絶縁性樹脂材料の一部が除去される。
【0031】
第6の工程では、図1に示したように、第3のホール部13内に、第3の接続層5cと第4の接続層5dとを電気的に接続する第2のメッキ膜18が形成される。
【0032】
なお、上述した各工程において、各ドリルを用いて穴あけ加工する位置(X−Y座標)および穴あけ加工の深さ(Z座標)は、例えば多層配線基板1の設計データに基づいて自動制御されて加工される。
【0033】
上述した多層配線基板1および製造方法によれば、1つのスルーホール7内で、第1のホール部11による第1の接続群21と、第3のホール部13による第2の接続群21とが、第2のホール12部内の絶縁体17によって確実に絶縁することができる。すなわち、多層配線基板1によれば、各配線層が電気的に接続された複数の接続群を、絶縁体17によって確実に電気的に分離することができる。したがって、この多層配線基板1によれば、1つのスルーホール7内で、複数の接続群を構成することにより、配線効率を向上することができる。したがって、多層配線基板1によれば、集積化、小型化を図ることができる。
【0034】
なお、上述した多層配線基板1は、スルーホール7が、第1、第2および第2のホール部11,12,13を有する構成にされたが、必要に応じて更に他のホール部が絶縁体を介して連設される構成にされてもよいことは勿論である。
【0035】
【発明の効果】
上述したように本発明に係る多層配線基板によれば、第2のホール部内に絶縁体が設けられることによって、この絶縁体を介して第1および第2の接続群を確実に絶縁することが可能になり、1つのスルーホール内で、複数の接続群を構成することができる。したがって、この多層配線基板によれば、配線効率を向上し、多層配線基板の集積化、小型化を図ることができる。
【0036】
また、本発明に係る多層配線基板の製造方法によれば、第5の工程で、絶縁性材料が充填された第2のホール部に隣接して第3のホール部を形成することにより、第2のホール部内の一端側の絶縁性材料を除去し、第2のホール部内に絶縁体を形成することによって、第2のホール部内に絶縁体を容易かつ確実に形成することが可能になり、第1のホール部による第1の接続群と、第3のホール部による第2の接続群とを、第2のホール部内の絶縁体によって確実に絶縁することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る多層配線基板を示す断面図である。
【図2】スルーホールを説明するための断面図である。
【図3】前記多層配線基板を製造する第1および第2の工程を説明するための断面図である。
【図4】前記多層配線基板を製造する第3の工程を説明するための断面図である。
【図5】前記多層配線基板を製造する第4の工程を説明するための断面図である。
【図6】前記多層配線基板を製造する第5の工程を説明するための断面図である。
【図7】従来の多層配線基板を示す断面図である。
【符号の説明】
1 多層配線基板
5a 第1の配線層
5b 第2の配線層
5c 第3の配線層
5d 第4の配線層
6a 第1の接地/電源層
6b 第2の接地/電源層
6c 第3の接地/電源層
6d 第4の接地/電源層
7 スルーホール
8 絶縁層
11 第1のホール部
12 第2のホール部
13 第3のホール部
16 第1のメッキ膜
17 絶縁体
18 第2のメッキ膜
21 第1の接続群
22 第2の接続群
Claims (8)
- 複数の配線層が絶縁層を介して積層されて、任意の各配線層間が電気的に接続された接続群と、表裏面に貫通して設けられたスルーホールとを有する多層配線基板において、
前記スルーホールは、穴径が次第に大きくなる第1、第2および第3のホール部の順に連設された段差状に形成され、前記第1のホール部内に設けられた第1の導電体によって前記各配線層間が電気的に接続された第1の接続群と、前記第3のホール部に設けられた第2の導電体によって前記各配線層間が電気的に接続された第2の接続群とが、前記第2のホール部内に設けられた絶縁体によって電気的に分断されていることを特徴とする多層配線基板。 - 前記第1および第2の導電体は、メッキ膜である請求項1に記載の多層配線基板。
- 前記絶縁体は、前記第2のホール部内に充填された樹脂材料からなる請求項1または2に記載の多層配線基板。
- 前記絶縁体は、前記第2および第3のホール部内に連続して設けられている請求項3に記載の多層配線基板。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の多層配線基板の製造方法であって、
前記多層配線基板の表裏面に貫通して前記第1のホール部を形成する第1の工程と、
前記第1のホール部内に前記第1の導電体を形成して、前記各配線層間を電気的に接続する第2の工程と、
前記第1のホール部に隣接して前記第2のホール部を形成することにより、前記第1のホール部内の一端側の前記第1の導電体を除去する第3の工程と、
前記第1および第2のホール部内に絶縁性材料を充填する第4の工程と、
前記第2のホール部に隣接して前記第3のホール部を形成することにより、前記第2のホール部内の一端側の前記絶縁性材料を除去し、前記第2のホール部内に前記絶縁体を形成する第5の工程と、
前記第3のホール部内に前記第2の導電体を形成する第6の工程とを有する多層配線基板の製造方法。 - 前記第1、第2の導電体および前記絶縁性材料の少なくともいずれか1つは、ドリルを用いた穴あけ加工によって除去される請求項5に記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記第2および第6の工程では、メッキ処理によって前記第1および第2の導電体を形成する請求項5に記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記第4の工程は、絶縁性樹脂材料を充填する請求項5に記載の多層配線基板の製造方法。
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JP2010537402A (ja) * | 2007-08-13 | 2010-12-02 | フォース テン ネットワークス,インク. | 複口径ドリル加工スルーホールおよびバイアを用いたバックプレーン搭載高速ルータ |
US9345138B2 (en) | 2013-11-29 | 2016-05-17 | Fujitsu Limited | Laminated substrate and method of manufacturing laminated substrate |
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2002
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