JP2004037595A - 液晶パネルの製造方法 - Google Patents
液晶パネルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004037595A JP2004037595A JP2002191585A JP2002191585A JP2004037595A JP 2004037595 A JP2004037595 A JP 2004037595A JP 2002191585 A JP2002191585 A JP 2002191585A JP 2002191585 A JP2002191585 A JP 2002191585A JP 2004037595 A JP2004037595 A JP 2004037595A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- glass substrates
- glass substrate
- crystal panel
- sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【解決手段】未硬化の熱硬化性シール材2を間に設けた一対のガラス基板1a,1bをシート3a,3bで包み、シート3a,3b内を略密閉状態にして減圧し、シート3a,3bを介し所定ギャップ下で大気圧との差圧によりガラス基板1a,1bとシール材2に加圧するとともにシート3a,3bから離れた位置にあるヒータ9a,9bでシート3a,3b、ガラス基板1a,1b及びシール材2を加熱し、シール材2を硬化させることにより、一対のガラス基板1a,1bのギャップを保持させる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルの製造技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、液晶パネルでは、2枚のガラス基板間に液晶を保持する。例えば薄膜トランジスタ(TFT)方式のパネルの場合、ガラス基板面上には、カラーフィルタ、透明電極、薄膜トランジスタが成膜され、ガラス基板間の間隔はスペーサで略一定に保たれる。
【0003】
基板間に充填される液晶は熱硬化樹脂であるシール材により密閉状態で保持されるようになっている。このため、液晶パネルの製造にあたっては、2枚のガラス基板の少なくともどちらか一方にシール材を、液晶充填部を囲むようにして設けた後、該2枚のガラス基板どうしを複合体化する処理を行う。
【0004】
この処理は、表示エリアにおいて、両ガラス基板に対し均一にスペーサが接し、均一なギャップが得られるよう、シール材をつぶしながら硬化させる。
【0005】
このシール材硬化後、液晶を該シール材で囲まれた領域内に封入する。
【0006】
特に、シール材として熱硬化性樹脂のものを用いる場合、従来技術において、2枚のガラス基板間のギャップ出しは、主に次の3つの方式で行われている。すなわち、(1)加熱した2枚の平坦状ヒータでガラス基板を挟み、加圧する方式、(2)プレート上にガラス基板を置き、その上に気密性のシートをかぶせ、真空排気して、ガラス基板を大気圧との差圧によって加圧し、片面からプレートに設けたヒータまたは温風炉等で加熱する方式、(3)ガラス基板を両側から気密性のあるシートで挟み、真空排気を行って該ガラス基板を大気圧との差圧によって加圧し、温風炉等で加熱する方式である。いずれも加圧力の均一性を向上させるために開発させた方式であり、2枚のガラス基板を同一温度で加熱している。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
(1)の方式では、基板の面積が大きくなるほど、加圧力が必要となり、装置が大形化する。このためクリーンルームでの製造には適さない。また、ガラス基板が急速加熱され、かつ加圧されるため、ガラス基板間の排気が間に合わなくなって基板間ギャップにむらを生じる。また、排気促進のために加圧力を増大させると、内圧が上昇してシール材がパンクしたり、ガラス基板間にずれを生じたりする。
【0008】
(2)の方式では、プレートを予め加熱しておく場合は、片面からの加熱のため、ガラス基板間に温度差が生じ、熱膨張の差によってガラス基板に反りやずれを生じる。また、ガラス基板を置いてからプレートを加熱する場合は、プレート自体の温度上昇に時間がかかる。温風炉で処理する場合も同様である。
【0009】
(3)の方式では、昇温に時間がかかる。
また、重ね合わせる2枚のガラス基板において、一方のガラス基板にはTFT素子が形成され、もう一方のガラス基板にはカラーフィルターされている。従って、ガラス基板に異なる薄膜が形成されることになるので、2枚のガラス基板の熱膨張率が異なることになる。
【0010】
上記の3方式はいずれの方法も熱硬化性樹脂を硬化するときに2枚のガラス基板を同じ温度で加熱する構造となっているため、2枚のガラス基板の膨張量が異なった状態で固定されてしまう。そのため、硬化後に基板を冷却するに従い、熱膨張係数の大きいガラス基板の方が大きく収縮するため、液晶パネルに反りが生じ、組立誤差を生じていた。
【0011】
本発明の他の目的は、基板のずれやそりを防止し、基板間ギャップのむらを抑えることにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の態様の一つに、ガラス基板の複合体を形成するステップを含む液晶パネルの製造方法であって、ガラス基板間に熱硬化性のシール材を設ける第1のステップと、該ガラス基板をシートで包み、該シート内を略密閉状態にする第2のステップと、該シート内から排気しつつ、該シートの外側から空間を空けてた該シートから離れた位置にあるヒータでシート及びその内部を加熱する第3のステップと、該シート内を大気に開放する第4のステップと、該シートを該ガラス基板から退避させる第5のステップと、を有するものがある。
【0013】
他の態様として、TFT素子とカラーフィルタがいずれか一方のガラス基板に形成されている一対のガラス基板を有し、その一対のガラス基板の間に熱硬化性樹脂で液晶保持領域を囲む構造を有する液晶パネルの製造方法であって、一対の基板の少なくとも一方の基板に、重ね合わせ用のマークを形成する第1のステップと、一方のガラス基板に熱硬化性樹脂を塗布する第2のステップと、ガラス基板上に形成されたマークの座標を測定し、記憶する第3のステップと、2枚のガラス基板に設けられたマークの相対的位置が、あらかじめ記憶しておいた値とほぼ同じとなるように位置合わせを行いながら熱硬化性樹脂を挟み込むように重ね合わせを行うとともに、マークの位置を記憶し、あらかじめ記憶しておいた数式あるいは表を用いて、2枚のガラス基板の重心位置誤差、基板の傾きおよびマーク間距離の差を求めて記憶する第4のステップと、基板を所定の圧力で加圧しながら、あらかじめ記憶しておいた値で加熱し、熱硬化性樹脂を硬化させる第5のステップと、ガラス基板を所定の温度まで冷却する第6のステップと、2枚のガラス基板上のマーク位置を測定し、記憶するとともに、あらかじめ記憶しておいた数式あるいは表を用いて2枚のガラス基板の重心位置誤差、基板の傾きおよびマーク間距離の差を求めて記憶する第7のステップと、を有するものがある。
【0014】
また、他の態様として、ガラス基板の歪みを測定することが可能な回路をガラス基板上に形成するものがある。
【0015】
また、ガラス基板の歪みを測定することが可能な回路をTFT素子と同じ材料でTFT素子と同時にガラス基板上に形成することが好ましい。
【0016】
また、他の態様として、2枚のガラス基板の間に液晶を保持するために、熱硬化性樹脂で液晶保持領域を囲む構造の液晶パネルの製造方法であって、2枚のガラス基板の一方に前記熱硬化性樹脂を塗布し、その熱硬化性樹脂を挟み込むように重ね合わせた後、所定の圧力で加圧しながら2枚のガラス基板の温度が異なる状態で熱硬化性樹脂を硬化させることによりガラス基板の複合体を形成するものがある。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例につき、図面を用いて説明する。
【0018】
図1において、1a、1bは液晶保持用の一対のガラス基板、2はガラス基板1a、1b間にあって液晶充填領域を囲み液晶をシールする熱硬化性シール材、3a、3bは可撓性を有する耐熱性のシート、4はシート3a、3bの所定位置におけるシート3a、3b相互間のギャップを所定範囲に確保するための突起、6は、シート3a、3b間を密閉状にするためシート3a、3b間の空間から空気を排気する排気口、7は、シート3a、3bで囲まれる空間部を密閉状に保つためのOリング、8a、8b、8c、8dはシート3a、3bを保持し移動させるためのシート保持部材、9a、9bは熱源としてのヒータ、18はこれら全体を囲んで支持する筺体である。
【0019】
熱硬化性シール材2を間に設けた2枚のガラス基板1a、1bを、搬送装置の搬送機構により、筺体18内の所定位置に搬入して位置決めする。
【0020】
シート保持部材8a、8dは、シート3aを保持しシート3aを、ガラス基板1aの上方からガラス基板1aの方向に移動させ、シート保持部材8b、8cは、シート3bを保持しシート3bを、ガラス基板1bの下方からガラス基板1bの方向に移動させる。
【0021】
シート3a、3bは互いに、シート3b上の突起4がシート3aの面と突き当たる位置まで接近する。
【0022】
突き当たった位置で両シート3a、3bは空間部を形成し、熱硬化性シール材2及びガラス基板1a、1bを空間部に包んだ状態で空間部を略密閉状態にする。
【0023】
Oリング7は、シート保持部材8b、8c上にあってシート3a、3bの端部を囲み両シート3a、3bで囲まれた空間部を略密閉状態に保つ。
【0024】
略密閉状態において、排気口6からシート3a、3b内部の空気を排気し、内部を減圧する。
【0025】
突起4は、所定ギャップ状態の両ガラス基板1a、1bの複合体の全体厚さ寸法に略等しい高さ寸法を有し、ガラス基板1a、1bの領域の外側で両シート3a、3b間のギャップを形成し、減圧用排気時の空気流路を確保するためのものである。
【0026】
減圧によって、シート3a、3bはそれぞれ、ガラス基板1a、1bの表面に密着した状態になる。
【0027】
この状態において、ガラス基板1a、1bは、シート3a、3bを介し大気圧によって減圧分の圧力で押された状態となる。
【0028】
ガラス基板1a、1bは押されることにより、熱硬化性シール材2を押しつぶして所定ギャップを形成した状態になる。
【0029】
本実施例の場合、ガラス基板1a、1b間には電極、薄膜トランジスタ(TFT)、カラーフィルタ等が存在するが、スペーサ材によって基板相互間の所定ギャップを保持できるようになっている。
【0030】
加圧状態のシート3a、3b、ガラス基板1a、1b及び熱硬化性シール材2は、熱源としてのヒータ9a、9bによって上下両側から加熱される。両ヒータ9a、9bはそれぞれ、シート3a、3bから離れた位置に配され、空間部を介し輻射と対流によりシート3a、3b側に熱が伝達される。
【0031】
両ヒータ9a、9bはそれぞれ、個別に両シート3a、3bそれぞれとの距離を変えることができ、かつ、個別に発生熱量を変えて熱源温度も変えることができるようになっている。また、電源のオン・オフも可能なようになっている。
【0032】
また,シート3a,3bを熱伝導率の異なる材料で作製する,あるいはシート3a,3bのシートの厚さを変える,シート3a,3bのヒータ側の面に熱伝導率の異なるシートを張り付ける方法によっても,ガラス基板1a,1bを異なる温度で加熱することが可能である。
【0033】
また,シート3a,3bの表面に可塑性の発熱体を張り付けても良い。
【0034】
両ヒータ9a、9bは、加熱のための所定位置に移動するまでに予め所定の熱源温度に達するようにしておくと、加熱処理の時間を短くできる。
【0035】
シート3a、3bからの熱がガラス基板1a、1b及び熱硬化性シール材2に伝わる。
【0036】
熱硬化性シール材2は、両ガラス基板1a、1b間で押しつぶされた状態で加熱され硬化する。
【0037】
加熱されたとき、熱硬化性シール材2は、軟化温度に達した時にいったん軟化し始め、軟化温度領域よりもさらに高い温度領域(硬化温度領域)において硬化する。
【0038】
軟化した状態では熱硬化性シール材2は両ガラス基板1a、1bに密着した状態となるため、もしも軟化状態で排気処理を行った場合は、両ガラス基板1a、1b間空間及び両シート3a、3b間空間での空気の流動抵抗が増大し、所定の減圧状態になるまでに時間がかかる等の不具合が生ずる。
【0039】
このため、少なくとも熱硬化性シール材2の軟化が始まるまで、つまり、熱硬化性シール材2の温度が軟化温度に達するまでに所定の減圧化が終了する(所定の減圧値に達している)ように加熱温度、排気のいずれか一方または両方の制御を行う。
【0040】
熱硬化温度領域で熱硬化性シール材2が硬化すると、ヒータ9a、9bの電源をオフにする等して加熱を終了させ、ヒータ9a、9bを両シート3a、3bから遠ざけて退避させる。
【0041】
また、排気動作も終了させて両シート3a、3bで囲まれた空間部を減圧状態から解放し、大気圧状態に戻す(大気圧開放)。
【0042】
大気圧開放動作後にまたは大気圧開放動作に並行して、シート保持部材8a、8dを上方向に、また、シート保持部材8b、8cは下方向に移動させて、シート3aをガラス基板1aから、また、シート3bをガラス基板1bから離間させる。
【0043】
次に、熱硬化性シール材2をはさんだ両ガラス基板1a、1bの複合体(ワーク)を、搬送装置の搬送機構により筺体18内から搬出する。
【0044】
このようにして完成したパネルの断面図を図3に示す。11は薄膜トランジスタまたは透明電極、12はカラーフィルタ、13はスペーサ材、gはギャップである。ギャップg部に液晶が充填される。充填された液晶は、ガラス基板1a、1b間に設けられ処理で熱硬化した熱硬化性樹脂によって漏れないように保持する。
【0045】
図2において、122は搬送装置であって熱硬化性シール材2をはさんだ両ガラス基板1a、1bをワークとして筺体18内に搬入し所定位置に位置決めするとともに、熱硬化性シール材2の硬化処理終了後等に位置からワークを筺体18の外部に搬出するためのものであり、120は搬送装置122内の搬送機構でワークの搬入、位置決め、搬出等を行うための機構、109cはワークの位置や姿勢、搬送機構120の位置などを検出するための位置検出器、121は位置検出器109cの検出信号(位置情報)に基づき搬送機構120の動作を制御するための搬送制御部である。
【0046】
また、115は搬送装置122と結合される液晶パネル組立装置、100は、搬送装置122と液晶パネル組立装置100の全体制御を行う組立装置制御部、109aは図1におけるシート保持部材8a〜8dまたはシート3a、3bの位置を検出する位置検出器、108aはシート保持部材8a〜8dを移動させるアクチュエータ、107は位置検出器109aの検出信号と組立装置制御部100からの情報とに基づきアクチュエータ108aを制御するシート上下制御部、106はシート3a、3bで囲まれる空間部の圧力を検出するための圧力検出器、116はシート3a、3bで囲まれる空間部の圧力を調整する制御弁、103は圧力検出器106の検出信号と組立装置制御部100からの情報とに基づき制御弁116を制御するシート内圧力制御部、104は、図1で説明した大気圧開放のときに積極的に、シート3a、3b間の空間部に制御弁116を介して空気を供給するためのコンプレッサ、105はシート3a、3bで囲まれる空間部から排気して空間部を減圧状態にするための減圧ポンプ、9はヒータ9a、9bの発熱部、102は発熱部の温度を測定しヒータ温度情報を出力するヒータ温度測定器、111はシート3a、3bで囲まれる空間部の温度を測定し温度情報を出力するためのシート内温度測定器、101は、ヒータ温度測定器102及びシート内温度測定器111からの温度情報と組立装置制御部100からの制御情報とに基づきヒータ9a、9bの発熱部9を制御するためのヒータ温度制御部、109bはヒータ9a、9bの位置を検出するための位置検出器、108bはヒータ9a、9bを移動させるアクチュエータ、110は位置検出器109bの検出信号と組立装置制御部100からの情報とに基づきアクチュエータ108bを制御するヒータ上下制御部である。位置検出器109a、アクチュエータ108a及びシート上下制御部107は、液晶パネル組立装置115内においてシート3a、3bの移動制御系を構成し、圧力検出器、制御弁116、シート内圧力制御部103、コンプレッサ104及び減圧ポンプ105は、シート3a、3bで囲まれる空間部の圧力制御系を構成し、発熱部9、ヒータ温度測定器102、シート内温度測定器111、ヒータ温度制御部101、位置検出器109b、アクチュエータ108b及びヒータ上下制御部110は、加熱制御系を構成する。
【0047】
液晶パネル組立装置115の組立装置制御部100と搬送装置122の搬送制御部121との間も制御信号(基板受け渡し信号)を授受する。
【0048】
この構成において、熱硬化性シール材2を両ガラス基板1a、1b間にはさんだ複合体としてのワークを、搬送装置122の搬送機構120により、液晶パネル組立装置115の筺体18内に搬入し所定位置に位置決めする。
【0049】
ワーク位置決め後、シート上下制御部107で制御したアクチュエータ108aによりシート保持部材8a〜8dを移動動作させ、シート3aをワークの上方から下降移動、シート3bをワーク下方から上昇移動させ、それぞれを所定位置で止めてシート3a、3b間の空間を略密閉状態としこの中にワークを包み込む。
【0050】
包み込んだ状態で、圧力制御系内の減圧ポンプ105により、シート3a、3b間の空間部から排気を行い空間部の圧力を大気圧に対し所定の減圧状態にする。
【0051】
空間部の圧力レベルの調整は、圧力検出器106からの圧力情報に基づき圧力制御部103で制御弁116を制御することにより行う。
【0052】
減圧ポンプ105による排気動作は、空間部が所定の減圧状態に到達した後も継続し、所定の減圧状態の維持や空間部内の水分除去等を行うようにする。
【0053】
シート3a、3bを介してのワークの加熱は、本実施例の場合、ヒータ9a、9bの位置と発熱部9の温度のいずれかまたは両方を制御して行えるようになっている。
【0054】
位置の制御は位置検出器109bからの位置情報に基づきヒータ上下制御部110でアクチュエータ108bを制御して行う。
【0055】
ヒータ9a、9bの温度が一定の場合は、ヒータ9a、9bがワークに近い位置にある場合ほど、ワークに対する加熱温度は高い。
【0056】
また、発熱部9の温度制御は、シート内温度測定器111からの温度情報とヒータ温度測定器102からの温度情報に基づきヒータ温度制御部101で発熱部109を制御して行う。
【0057】
ワークの加熱動作は、シート3a、3b間空間部の所定の減圧状態にした後で開始するようにしてもよいし、または所定の減圧状態になる前に開始してもよい。
【0058】
所定の減圧状態になる前に開始する場合は、特に排気性能の点から、ガラス基板間の熱硬化性シール材2の軟化が所定の減圧状態になってから始まるように加熱温度及びその時間的上昇率を、ヒータ温度制御部101及びヒータ上下制御部で制御する。
【0059】
加熱により熱硬化性シール材2が所定の状態に熱硬化した後、ヒータ9a、9bの電源をオフ状態にするとともに、ヒータ9a、9bをそれぞれ、シート3aの上方、3bの下方に退避移動させる。
【0060】
減圧ポンプ105による排気動作もオフし、シート3a、3b間の空間部には逆に、コンプレッサ104により空気を供給して空間部を大気圧状態に戻す。
【0061】
さらに、シート上下制御部107でアクチュエータ108aを制御しシート保持部材8a〜8dを移動動作させ、シート3aはワークの上方に、シート3bは下方に移動させて、両シート3a、3bそれぞれをワークのガラス基板から離間させ、所定の位置まで退避させる。
【0062】
その後、処理を終えたワークを搬送機構120により筺体18外に搬出する。
【0063】
組立装置制御部100は、搬送制御部121、シート上下制御部107、シート内圧力制御部103、ヒータ温度制御部101、及びヒータ上下制御部110を制御し、ワーク搬入・位置決め動作、シート移動動作、排気・減圧動作、ヒータ移動・加熱動作とその終了、ヒータ退避移動、排気動作終了と大気開放化、シート退避動作、及びワーク搬出動作が一連の処理工程として行われるようにする。
【0064】
図4は本発明の技術で加熱処理する熱硬化性シール材2の状態を示し、(a)はガラス基板1b上に熱硬化性シール材2を設けた(塗布した)状態の斜視図、(b)は2枚のガラス基板1a、1b間に熱硬化性シール材2をはさみ、シール材が軟化する前の状態の断面図、(c)はガラス基板1a、1b間に熱硬化性シール材2をはさみ、加熱によりシール材が軟化したときの状態の断面図である。
【0065】
(a)において、線状の熱硬化性シール材2が途切れた部分は液晶の封入口である。
【0066】
(b)の状態ではガラス基板1aの面との間に小さな隙間20がある。
【0067】
減圧ポンプで排気するとき、空気は隙間20をも通ってシートの外部に排気される。
【0068】
また、(c)の軟化状態のときの温度よりもさらに加熱温度が上げると、シール材2は(c)と同様の状態で熱硬化する。
【0069】
図5は、本発明を適用した場合の熱硬化性シール材の温度上昇特性例を示す図である。
【0070】
横軸に加熱時間、縦軸にシール材の温度をとってある。例えば、本発明の図1の実施例ではヒータ9a、9bを、シート3a、3b、ガラス基板1a、1b及び熱硬化性シール材2から離れた位置に配し、空間部を介して輻射と対流によりシート3a、3b側に熱を伝達する構成にしてあるため、直接ヒータを被加熱部に接触させる方式に比べ、加熱による熱硬化性シール材の温度上昇が緩やかでシール材の軟化温度に達するまでの時間も長い。特に、ガラス基板1a、1b及び熱硬化性シール材2に対し熱が均一に伝達されてそれぞれにおける温度勾配も抑えられる。
【0071】
軟化温度に達するまでの時間が長いことによっては、シート3a、3b間空間部の減圧処理をシール材の軟化前に確実に行えるし、熱が均一に伝達されることによっては、ガラス基板1a、1bに対してはそり等の変形やずれ等の発生を抑えられるし、シール材2に対しては一部硬化・一部未硬化等のむらを防止することができる。
【0072】
図6に本発明を適用した場合のガラス基板1a、1bの温度上昇特性例及び熱硬化性シール材2の硬化特性例を示す。
【0073】
ガラス基板1a、1bは、ヒータからの輻射や対流による熱がシート3a、3bを通して伝わり時間的に緩やかに温度上昇し、間にはさんだ熱硬化性シール材2に熱を伝える。
【0074】
基板温度は熱硬化性シール材2が熱硬化する温度(シール硬化温度)T2に達するまで上昇させる(経過時間t2(シール硬化時間))。
【0075】
一方、熱硬化性シール材2の硬度は、シール材自体の温度上昇につれていったん下がり流動性を有する状態となる。
【0076】
温度が軟化温度T1に達する(経過時間t1(シール軟化時間))と軟化し(硬度低下し)て流動性を有するようになり、さらにある温度まで硬度低下し続ける。
【0077】
さらに、温度が上がると硬度が増加し始め、温度が軟化温度T1を超えると流動性がなくなってきて次第に固化状態となる。
【0078】
図7において、シート間空間部の排気を行い(S4)、空間部の減圧量を測定し(S4−1)、減圧量が所定値ΔP以上のときはヒータを接近させて(S5)加熱工程に入る。加熱工程では、シール硬化時間t2以上の時間にわたって加熱を行い、シート間空間部の減圧量の確認も行って、さらにガラス基板の温度を測定し(S5−1)、温度がシール硬化温度T2以上に達しているときは、ヒータを退避移動させる(S7)。また、加熱を排気動作中に開始している場合において、シート間空間部の減圧量を測定したとき(S4−1)、減圧量が所定値ΔPに達していないときは、ガラス基板の温度を測定し(S4−2)、温度がシール軟化温度T1に達していない場合に限って再びシート間空間部の排気を行う。温度がシール軟化温度T1に既に到達してしまっている場合はガラス基板を不良基板として排出する。
【0079】
図8は、シート保持部材8a〜8dのうちの1つの保持部材8b用のアクチュエータ部の構成を示す図である。他の保持部材用のアクチュエータについてもこれと同様である。
【0080】
図8において、17はシート保持部材8bに固定された部材、14は部材に設けた孔、15は孔14にすき間、特に図の左右方向に十分なすき間をもって係合するピン、19はピン15が設けられた部材、16は部材19を支える支持部材、10は表面にねじを有し回転によって支持部材16を移動させる棒状部材である。
【0081】
ワーク(熱硬化性シール材をガラス基板間にはさんだ複合体)の加熱処理が終って、ヒータが退避移動した後、シート3a、3bをワークから離間させるとき、棒状部材10が回転して支持部材16を図の下方に移動させ、シート保持部材8bを図の下方に移動させる。
【0082】
この時、シート3bを保持しているもう一方のシート保持部材8c側では棒状部材はまだ回転せず支持部材16も下方への移動を始めていない。従って、シート3bは、シート保持部材8b側の部分からワークからの離間を始める。
【0083】
シート保持部材8bが所定位置まで下がったとき、シート保持部材8b側の棒状部材10の回転を停止させ、シート保持部材8bの移動を停止させる。
【0084】
次に入れ替わって、シート保持部材8c側の棒状部材を回転させ支持部材を移動させてシート保持部材8cを下降させ、シート3bのシート保持部材8c側の部分をワークから離間させる。
【0085】
シート保持部材8cがシート保持部材8bと略同じ位置まで下降した時、シート保持部材8b側の棒状部材10を再び回転させてシート保持部材8bに下降移動を開始させ、シート保持部材8bとシート保持部材8cを所定位置まで並行的に下降移動させる。
【0086】
シート3aを保持するシート保持部材8a、8dについても同様である。
【0087】
かかる構成によれば、ワークからのシートの離間が容易となる。
【0088】
図9は基板(ワーク)の搬入から搬出までの処理手順の例を示す。
【0089】
この処理は、ガラス基板間に熱硬化性シール材をはさんだ複合体のワークを搬送機構により筺体内に搬入するステップS1と、所定位置に位置決めするステップS2と、シートを移動させてワークを略密閉状に包み込むステップS3と、密閉状空間部から排気を行い空間部を大気圧に対し減圧状態にして大気圧によりワークのガラス基板に負荷をかけるステップS4と、ワークの両側から加熱用のヒータを接近させるステップS5と、シートに対し空間部を隔てて所定距離離れた位置からシートを加熱しシート内のワークに熱が伝わって行くようにしてワークのガラス基板間の熱硬化性シール材を硬化させるステップS6と、熱硬化性シール材の硬化後、ヒータ電源をオフにする等して加熱を終了させるとともにワークの両側から加熱用のヒータを退避させるステップS7と、シートで囲まれた空間部を減圧状態から解放し、大気圧状態に戻す(大気開放)ステップS8と、シート保持部材の移動により、ワークからシートを離間させて除去するステップS9と、ガラス基板間の熱硬化性シール材が硬化したワークを、搬送機構により筺体から搬出するステップS10と、を経る処理である。この処理により、所定ギャップを有した液晶保持用ガラス基板の複合体を形成する。
【0090】
このステップS6の加熱動作は、ステップS4でシート間空間部の圧力を所定の減圧状態にした後に開始するようにしてもよいし、または所定の減圧状態になる前に開始してもよい。
【0091】
この製造方法によれば、シート間空間部からの排気を確実に効率的に行うことができシール材の短時間処理が可能となり、液晶パネルの生産性を改善できる。また、ガラス基板及びシール材に対し、ヒータの温度ばらつきの影響を抑えた均一加熱や、均一加圧を行うことができ、ガラス基板のずれやそりを防止して基板間ギャップを均一にし液晶パネルの高品質化を図れる。また、シール材の硬度特性の管理がし易くなる。また、さらに、基板面積が増大した場合も装置の大形化を抑えられる。ガラス基板からのシートの離間も容易となる。
【0092】
図10は液晶パネル製造装置の他の実施例を示す。
【0093】
この実施例は、シートを冷却するため冷却手段としての送風機を設けた構成例である。全体を囲んで支持する筺体部は図示を省略してある。
【0094】
図10において、30a、30bはシート間の空間部に冷却風を送風するための送風機である。送風機30a、30bによる送風は、シート3a、3bがそれぞれガラス基板1a、1bから離れている状態の時に行う。送風のタイミング及び送風量等の制御も各送風機毎に行えるようになっている。他部の構成及び作用は図1の実施例の場合とほぼ同様である。
【0095】
本実施例構成によれば、シート3a、3bを強制冷却することができ、シート間空間部の減圧を行うときの、ガラス基板に密着するシートの温度を下げることができる。シートの温度が高過ぎると、空間部が所定の減圧状態にならないうちにガラス基板間のシール材が軟化してしまい、正常状態での減圧動作が困難となる危険性があるが、本実施例構成によれば、これを一層確実に防止できる。その他の作用・効果は図1の実施例の場合と同様である。
【0096】
図11は本発明の液晶パネル製造装置の他の実施例を示す。
【0097】
この実施例は、ヒータの上下両側に冷却手段を設けた構成例である。図11の場合も、全体を囲んで支持する筺体部は図示は省略してある。
【0098】
図11において、31a、31bはそれぞれ、ヒータ9a、9bに近接または接してヒータを冷却するための冷却手段である。
【0099】
加熱処理終了後、ヒータ9a、9bを、電源オフの状態にするとともに、冷却手段に近接または接するように移動させて冷却する。
【0100】
シート3a、3bをヒータ9a、9bに対し近接または接するようにした場合は、シート3a、3bもヒータ9a、9bを介し冷却可能である。
【0101】
冷却手段としては、金属板状のものや水を用いる方式のものであってもよいし、あるいは他の方式のものであってもよい。他部の構成及び作用については図2の実施例の場合とほぼ同様である。
【0102】
この実施例の構成によれば、ヒータ9a、9bを強制冷却することができ、加熱処理を終えたワークも温度が下がった状態で筺体内から搬出できるし、加熱処理するために新たに筺体内に搬入するワークに対しても、ガラス基板間のシール材の早過ぎる軟化を防止できる。
【0103】
ワーク搬出・搬入用の搬送機構も温度の下がった環境内で作動させることができる。その他の作用・効果は図1の実施例の場合と同様である。
【0104】
なお、先の実施例におけるシート冷却用の冷却手段と、本実施例におけるヒータ冷却用の冷却手段とを併せ持つ構成であってもよい。
【0105】
なお、本発明に適用する加熱手段(ヒータ)は、実施例の構成に限定されず、例えば、加熱用空気等を噴出するような構成のものであってもよい。
【0106】
図12は本発明の他の実施例を示す図であり、組立誤差測定装置と基板重ね合わせ装置を付加した液晶パネルの製造装置の制御系全体のブロック構成例を示す。
【0107】
201は組立誤差測定装置であって、液晶パネル組立装置115で組み立てた液晶パネルの組立精度を測定するものであり、202はアライメントマークの相対的位置誤差を測定する測定部、203は複数のアライメントマークの相対的位置誤差から液晶パネルの組立誤差を計算する組立誤差計算部、204は液晶パネルの組立誤差から加熱条件を決定する加熱条件決定部、205はこれらを制御する測定装置制御部、206は重ね合わせ条件決定部である。
【0108】
207は基板重ね合わせ装置であって、2枚のガラス基板を位置合わせしながら重ね合わせるものであり、208は基板重ね合わせ部、209は仮固定部、210は重ね合わせ装置制御部、211は重ね合わせ条件記憶部である。
液晶パネルは2枚のガラス基板1a、1bで構成されているが、それぞれのガラス基板上に位置合わせ用のアライメントマークが設けられている。アライメントマークは、薄膜トランジスタ又は透明電極11あるいはカラーフィルタ12と同時に形成されるものであり、これらのマークが重なれば液晶パネルの組立誤差が0であることを意味する。
【0109】
基板重ね合わせ装置207において、基板重ね合わせ部208でアライメントマークを用いて2枚のガラス基板の相対的な位置合わせを行いながら重ね合わせる。このとき重ね合わせ条件記憶部211より取得した目標値になるように位置合わせを行うことにより、最終的な組立誤差が最小となるようにする。
【0110】
仮固定部209で仮固定した後、液晶パネル組立装置115へ搬送する。
【0111】
液晶パネル組立装置115において、112は加熱条件を記憶する加熱条件記憶部である。
【0112】
液晶パネルを組み立てるとき、組立装置制御部100は加熱条件記憶部112から加熱条件を読み込み、ヒータ温度制御部101a、101bへそれぞれ目標値を与える。
【0113】
それぞれの目標値を使用してヒータ9a、9bの温度およびガラス基板までの距離を別々に制御する。他部の構成及び作用については図1の実施例の場合とほぼ同様である。
【0114】
液晶パネルを組み立てた後、組立誤差測定装置201へ液晶パネルを搬入する。
【0115】
組立誤差測定装置201では、アライメントマークの相対的な位置誤差を測定部202にて測定する。通常アライメントマークを複数組測定し、組立誤差測定部203において、これらアライメントマークの相対的位置誤差から、最小二乗法等を使用して液晶パネル全体の相対的組立誤差およびマーク間距離を計算する。
【0116】
加熱条件決定部204では、計算したマーク間距離から加熱条件を決定し、加熱条件記憶部112に保存する。
【0117】
重ね合わせ条件決定部206では、液晶パネル全体の相対的組立誤差から重ね合わせ条件を決定し、重ね合わせ条件記憶部211に保存する。
図13は液晶パネルの組立状態を示し、(a)は組み立てた液晶パネルの斜視図、(b)はガラス基板1a、1bを等温で加熱した状態の断面図、(c)はガラス基板1bの加熱温度をガラス基板1aの加熱温度より高くした状態の断面図である。
【0118】
液晶パネルの組立において、(a)に示すように、ガラス基板1a上に設けられたアライメントマーク220a、220bとガラス基板1b上に設けられたアライメントマーク220c、220dが重なるように2枚のガラス基板を重ね合わせる。
【0119】
(b)において、Laはアライメントマーク220a、220b間の距離を示し、Lbはアライメントマーク220c、220d間の距離を示す。
【0120】
液晶パネルの組立においてシール材2を硬化させるために加熱する工程があるが、例えばガラス基板1a表面には薄膜トランジスタ又は透明電極11、ガラス基板1b表面にはカラーフィルタ12というように、性質の異なる膜が形成されているため、それぞれの基板で熱膨張率が異なり、ガラス基板1a、1bを等温加熱するとマーク間距離La、Lbの値が異なってしまう。例えば、等温で加熱したときに(b)のようにマーク間距離Laがマーク間距離Lbより大きい場合、この誤差を解消するために、ガラス基板1bの加熱温度をガラス基板1aより高くすることにより、ガラス基板1bをガラス基板1aよりも多く膨張させ、(c)に示すようにマーク間距離La、Lbの差を“0”とすることが可能である。
【0121】
本例ではアライメントマーク2対の例を示したが、さらに多くのアライメントマークを使用してマーク間距離誤差を求めることも可能である。
【0122】
図14にガラス基板1a、1bの加熱温度差によるマーク間距離の誤差変化例を示す。横軸にガラス基板1a、1bに加える加熱温度差、縦軸にマーク間距離誤差をとってある。
【0123】
ここで加熱温度差は、ガラス基板1aの温度からガラス基板1bの温度を引いた値とし、ガラス基板1aの温度がガラス基板1bの温度より高い場合に正の値をとることとする。マーク間距離誤差は、ガラス基板1aのマーク間距離Laからガラス基板1bのマーク間距離Lbを引いた値とし、マーク間距離Laがマーク間距離Lbより大きい場合に正の値をとることとする。
【0124】
また,マーク間距離誤差は、ガラス基板1aのマーク間距離Laからガラス基板1bのマーク間距離Lbを引いた値とし、マーク間距離Laがマーク間距離Lbより大きい場合に正の値をとることとする。
【0125】
図14の例では、等温加熱つまり加熱温度差“0”の場合、マーク間距離誤差が正であり、マーク間距離Laがマーク間距離Lbより大きく、図13(a)の状態を示している。
【0126】
ここで、ガラス基板1bの加熱温度を上昇させる、つまり加熱温度差を負とするとマーク間距離誤差が“0”となる。このときの加熱温度差Tcを目標値として与えればよい。例えば,熱硬化性樹脂2の硬化温度が120度で,加熱温度差を20度とするとき,ガラス基板1aの加熱温度Taを120度,ガラス基板1bの加熱温度Tbを140度とすればよい。
【0127】
また、このときの加熱温度を加熱条件決定部204に記憶しておけばよい。
【0128】
薄膜トランジスタまたは透明電極11あるいはカラーフィルタ12を形成する工程のプロセス変動や装置差により、加熱温度として加熱条件決定部204に記憶した値を使用してもマーク間距離誤差が“0”とならない場合がある。この場合も図14に示す関係を用いれば、マーク間距離誤差を低減する加熱温度差を算出することが可能である。
【0129】
図14の関係を表す式あるいは表を加熱温度決定部204に記憶しておき、組立誤差計算部203で算出したマーク間距離誤差より新たな加熱条件を決定することが可能である。
【0130】
図15は液晶パネル上に設けた座標系の定義を示したものである。ガラス基板1aの重心を230a、ガラス基板1bの重心を230bとする。ガラス基板の重心230a、230bを原点とし、ガラス基板の短辺と平行にX軸を、ガラス基板の長辺と平行にY軸をとる。これらの座標を用いて、液晶パネルの組立誤差を評価する。ガラス基板1aに対するガラス基板1bの位置ずれは、重心位置の誤差(Lx、Ly)とガラス基板の角度の誤差θで示される。液晶パネルの組立誤差については、以下この座標系を用いる。
図16は、組立誤差測定装置201で測定した、ガラス基板1bの重心230b位置の測定結果の一例である。図16に示すように重心位置はばらつきを持つが、測定値の平均値XAVE、YAVEが“0”となるように、あらかじめガラス基板1bをずらして重ね合わせれば、液晶パネルの組立誤差を最小とすることができる。ガラス基板の傾きθについても同様である。重ね合わせ条件決定部206にこれらの測定データを記憶し、例えば過去20点のデータから平均値を求めて、重ね合わせ時のオフセット量として重ね合わせ条件記憶部211で記憶し、基板の重ね合わせ時に使用することができる。
【0131】
本実施例の構成によれば、加熱によるマーク間距離誤差を低減できるだけでなく、液晶パネル組立後の組立誤差測定により、次の液晶パネルを組み立てるときの、重ね合わせ条件および加熱条件を動的に変更することが可能であり、液晶パネルの生産性の改善と高品質化を図れる。
【0132】
図17を用いて液晶パネルの製造方法の他の実施例を説明する。
【0133】
まず成膜手段S1により,ガラス基板1a上に薄膜トランジスタまたは透明電極を,ガラス基板1b上にカラーフィルタ12を形成する。
【0134】
次に熱硬化性樹脂塗布手段S2により熱硬化性樹脂2を2枚のガラス基板の一方に塗布した後,マーク座標測定手段S3により基板上のマーク位置の測定を行う。マーク位置の測定は熱硬化性樹脂の塗布前に実施したり,熱硬化性樹脂塗布手段により測定してもよい。
【0135】
S4は重ね合わせ手段であり,熱硬化性樹脂2を挟み込むようにして,2枚のガラス基板1a,1bを重ね合わせ,仮硬化する。また重ね合わせ時に測定されたマーク位置を記憶する。
【0136】
S5はギャップ形成手段であり,ガラス基板1a,1bの複合体を加圧しながら,加熱し,熱硬化性樹脂2を硬化させる。
【0137】
S6は組立精度測定手段であり,2枚のガラス基板1a,1bの重心位置の誤差(図15のLx,Ly)と基板の傾き(図15のθ),マーク間距離誤差(後述)を測定する。
【0138】
S7は情報統合手段であり,マーク位置測定装置S3と重ね合わせ装置S4,組立精度測定装置S5からマーク位置の測定値を受け取り,この測定値とデータベースに蓄えられている設計寸法や過去の測定値,指令値を考慮して,成膜手段S1または重ね合わせ手段S4,ギャップ形成手段S5に補正値を設定するものである。
【0139】
図18に測定値をギャップ形成プロセスにフィードバックする一例を示す。
【0140】
マーク間距離誤差が変動する原因には,薄膜トランジスタまたは透明電極11あるいはカラーフィルタ12を形成する工程のプロセス変動とギャップ形成のプロセス変動が考えられる。これらの変動に対して,加熱温度の目標値を一定のまま使用すると組立精度測定結果が変動する。
【0141】
現在設定しているガラス基板温度差の目標値がD1であるとき,プロセス変動などによりΔP(ΔP>0)のマーク間距離誤差が発生したとする。このとき生じたΔPを補正するために,図18よりマーク間距離誤差が−ΔPとなるガラス基板温度差D2を求めこれを新しい目標値とすればよい。
【0142】
図14の関係を表す式あるいは表を情報統合装置に記憶しておき、組立精度測定装置で測定したマーク間距離誤差より新たな加熱条件を決定し,組立誤差を低減することが可能である。
【0143】
マーク間距離誤差の低減に対しては,薄膜トランジスタまたは透明電極11あるいはカラーフィルタ12のパターン寸法を変更することでも対処可能である。
【0144】
図19に測定値を液晶パネル重ね合わせプロセスにフィードバックする一例を示す。2枚のガラス基板1a,1bを重ね合わせ装置で位置あわせを行いながら重ねあわせたのち,ギャップ形成装置で加圧されるが,シート3の経時変化等により加圧時にガラス基板を横にずらす力が発生することがある。重ね合わせ装置から得られたマーク位置の情報を情報統合装置で受け取り,ガラス基板の組立誤差を計算した結果をA1,ギャップ形成後に,組立精度測定装置で測定した組立誤差がA2であったとする。ここで図19は図15に示した座標系を用いている。
【0145】
ギャップ形成時にA1からA2へ組立誤差が変化することがわかるので,あらかじめこの変化量を見込んで2枚のガラス基板1a,1bを重ね合わせればよい。図19上で,A2のA1に対する点対称の位置A3が示す位置関係で基板を重ね合わせればよい。ここでは説明の都合上,X,Y方向のみ取り上げたが,基板の傾きθを加えても同様に補正値を決定することが可能である。また,重ね合わせ時の組立誤差が十分小さい,つまりA1が原点にあると考えられる場合には,組立精度測定装置での測定結果のみを使用し,A1が原点にあるとして,同様の手法で補正値を決定することが可能である。また,このA1とA2の差がある一定値を越えた場合には警報を発生し,シート3の調整あるいは取り替えることにより,組立精度を向上させることも可能である。
本実施例の有効性を検証するために,図20(a)に示すような構成でガラス基板1bの残留応力を測定した。40は定盤,41は歪みゲージ,42は歪み計,43は切断線である。シール2を硬化後,定盤40の上にガラス基板の複合体1a,1bを置いた。このとき,ガラス基板の複合体1a,1bは自重で定盤にならい,平坦となった。この状態で,基板1b表面に一般に販売されている歪みゲージ41を張り付け,歪み計42に接続した。このときの測定値をE1とする。次に切断線43に沿ってガラス基板1bを切断した。これによって,基板の残留応力が解放され,歪みゲージ41が延ばされあるいは縮められ,歪みが測定された。このときの測定値をE2とする。E2とE1の差が,組立時における基板の歪みである。図20(b)に測定結果を示す。本発明方式は,従来方式より歪みが小さくなっていることがわかった。これにより,基板の反り低減による組立精度の向上や,ガラス基板の歪みにより透明電極11が断線するなどの不具合を低下させることができた。ここで測定された歪みとヤング率の積が基板の残留応力である。残留応力の測定法としては,他にポーラリメータがあり,同様な結果を得られた。
本実施例によれば、組立精度の測定・管理と迅速なフィードバックによって組立誤差を低減できるため,液晶パネルの生産性の向上と高品質化を図ることができる。
【0146】
図21に他の実施例を示す。図21において,21a,21bは熱伝導率調整部aであり,熱伝導率を変える効果を持つ材料で作られている。図1と同様に熱硬化性樹脂2を両ガラス基板1a,1b間に挟んだ複合体としてのワークを筐体18内に搬入し,位置決めする。ワークを位置決め後,シート3a,3bでワークを包み込み,略密閉状態とする。ワークを包み込んだ状態で,内部の空気を排気口6から排気し,内部を減圧することで,シート3a,3bを介して大気圧で基板1a,1bを加圧する。熱硬化性樹脂2を硬化させるため加熱するが,ヒータ9a,9bの発生熱量が同じであっても,熱伝導率調整部21a,21bを通過することにより,ガラス基板1a,1bに伝わる熱量が変わるため,ガラス基板1a,1bの温度を異なる状態にすることが可能である。また,熱伝導率調整部21a,21bをシート3a,3bのガラス基板側に張り付けても同様な効果が得られる。また,熱伝導率調整部21a,21bを可塑性の発熱体とする,あるいはヒータ9a,9bの発生熱量をそれぞれ独立に設定できるようにすれば,熱膨張率が異なる数種類の組み合わせの液晶パネルを組み立てることが可能である。
【0147】
また,図21において,シート3a,3bとシート保持部材8a,8b,8c,8dからなる部分を取り外し可能な構造とし,筐体18外でガラス基板1a,1bを包み込んだ後,筐体18内に搬送する方式でもよい。
【0148】
この実施例においても,図1の実施例と同じ効果が得られ,高品質な液晶パネルを製造することができる。
【0149】
図22に他の実施例を示す。図22において,22a,22bは別の熱伝導率調整部bであり,熱伝導率を変える効果を持つ材料で作られている。図1と同様に熱硬化性樹脂2を両ガラス基板1a,1b間に挟んだ複合体としてのワークを筐体18内に搬入し,位置決めする。ワークを位置決め後,シート3a,3bでワークを包み込み,略密閉状態とする。ワークを包み込んだ状態で,内部の空気を排気口6から排気し,内部を減圧することで,シート3a,3bを介して大気圧で基板1a,1bを加圧する。熱硬化性樹脂2を硬化させるため加熱するが,ヒータ9a,9bの発生熱量が同じであっても,熱伝導率調整部22a,22bを通過することにより,ガラス基板1a,1bに伝わる熱量が変わるため,ガラス基板1a,1bの温度を異なる状態にすることが可能である。また,熱伝導率調整部22a,22bは熱伝導率が同じであるが厚さが異なるようにしても同様の効果が得られる。また,ヒータ9a,9bの発生熱量をそれぞれ独立に設定できるようにすれば,熱膨張率が異なる数種類の組み合わせの液晶パネルを組み立てることが可能である。
【0150】
また,図22において,シート3a,3bとシート保持部材8a,8b,8c,8dからなる部分を取り外し可能な構造とし,筐体18外でガラス基板1a,1bを包み込んだ後,筐体18内に搬送する方式でもよい。
【0151】
本実施例においても,図1の実施例と同じ効果が得られ,高品質な液晶パネルを製造することができる。
【0152】
図23に他の実施例を示す。ギャップ形成装置以外の装置構成は図1の実施例と同じである。
【0153】
図23において,10は平坦度が高く剛性が高い平面を持つヒータである。図1と同様に熱硬化性樹脂2を両ガラス基板1a,1b間に挟んだ複合体としてのワークを筐体18内に搬入し,位置決めする。
【0154】
ワークを位置決め後,シート3をワークの上方から降下させることにより,シート3とヒータ10の間の空間を略密閉状態とし,この中にワークを包み込む。ワークを包み込んだ状態で,内部の空気を排気口6から排気し,内部を減圧することで,シート3を介して大気圧で基板1a,1bを加圧する。このとき,ヒータ10の平坦度と高剛性を利用して,基板の平坦度を確保している。
【0155】
加圧と同時に,ヒータ9,10によって上下両側から加熱するが,ヒータ9と10は個別に発生熱量を変えることができ,かつヒータ9はシート3との距離を変えることができる。この機構により,ガラス基板1a,1bを異なる温度で加熱することが可能である。また,ヒータ10の表面に熱伝導率を変える効果を持つ材料の張り付けあるいはシート3の厚さや熱伝導率の変更によりガラス基板1a,1bの温度上昇率や到達温度を変えることが可能である。また,シート3を可塑性の発熱体を取り付けてもよい。熱硬化性樹脂が硬化後,シート3とヒータ10で囲まれた空間を減圧状態から解放し,大気圧に戻す。大気解放後,シート3を上昇させ,ガラス基板1a,1bの複合体を搬送機構により筐体18から搬出する。
【0156】
本実施例においても,図1の実施例と同じ効果が得られ,液晶パネルの生産性の向上と高品質化を図ることができる。
【0157】
図24に他の実施例を示す。ギャップ形成装置以外の装置構成は図1の実施例と同じである。図13において,筐体18内には断熱材19が取り付けられ,内部の温度を任意に設定可能な機構を持つ。ガラス基板1a,1bをシート3とヒータ10の間の空間に包み込んだのち,内部を排気し,加圧状態にする。筐体18内は設定温度まで加熱され,ガラス基板1a,1bおよび熱硬化性樹脂2を加熱する。ガラス基板1bはさらにヒータ10によっても加熱されるため,ガラス基板1aと1bを異なる温度で加熱することが可能である。熱硬化性樹脂が硬化したのち,ガラス基板1a,1bの複合体を筐体18から搬出する。
本実施例においても,図1の実施例と同じ効果が得られ,液晶パネルの生産性の向上と高品質化を図ることができる。
【0158】
図25に本発明についての第6の実施例を示す。ガラス基板1a,1bをシート3aと3bの間の空間に包み込んだのち,内部を排気し,加圧状態にする。筐体18内には断熱材19が取り付けられ,隔壁30とシート3bによって加熱室Aと加熱室Bに分けられており,それぞれ任意の温度に設定可能である。加熱室A,B内の温度を変えることにより,ガラス基板1a,1bの加熱温度を変え,ガラス基板1a,1bの温度が異なる状態にすることが可能である。熱硬化性樹脂が硬化したのち,ガラス基板1a,1bの複合体を筐体18から搬出する。
【0159】
また,図25において,シート3a,3bとシート保持部材8a,8b,8c,8dからなる部分を取り外し可能な構造とし,筐体18外でガラス基板1a,1bを包み込んだ後,筐体18内に搬送する方式でもよい。
【0160】
本実施例においても,図1の実施例と同じ効果が得られ,高品質な液晶パネルを製造することができる。
【0161】
図26に他の実施例を示す。ギャップ形成装置以外の装置構成は図1の実施例と同じである。
【0162】
図26において,16a,16bは平坦度が高く,高い剛性をもつステージであり,17a,17bは柔軟性を持ったヒータである。
【0163】
図1と同様に熱硬化性樹脂2を両ガラス基板1a,1b間に挟んだ複合体としてのワークを筐体18内に搬入し,位置決めする。ワークを位置決め後,ヒータ16aを降下させ,加圧状態とする。
【0164】
ヒータ16a,16bは異なる発熱量に設定されており,ガラス基板1aと1bを異なる温度で加熱することが可能である。ヒータ16a,16bという2つの剛体を重ね合わせる場合,ヒータ16a,16bの平坦度と平行度を厳密に合わせることは難しいため,一般的にガラス基板1a,1bと接する面には柔軟性シート17a,17bが張り付けられている。この柔軟シートの熱伝導率を変えることによっても,ガラス基板1a,1bの加熱温度を変えることができる。また,ヒータ16a,16bを平坦度が高く,高剛性のステージとし,発熱体17a,17bを張り付けることによっても,ガラス基板1a,1bの加熱温度を変えることができる。この場合は,発熱体17a,17bの熱容量を小さくできるため,加熱プロセスを制御しやすいと言うメリットがある。また,ステージへの熱の散逸を防止するため,発熱体17a,17bとステージ16a,16bの間に断熱材を挟む構造としてもよい。
【0165】
この実施例においても,図1の実施例と同じ効果が得られ,液晶パネルの生産性の向上と高品質化を図ることができる。
【0166】
図27に他の実施例を示す。図27において,16a,16bは平坦度が高く,高い剛性をもつステージであり,17a,17bは柔軟性を持ったヒータである。図1と同様に熱硬化性樹脂2を両ガラス基板1a,1b間に挟んだ複合体としてのワークを筐体18内に搬入し,位置決めする。ワークを位置決め後,ステージ16aを降下させ,加圧状態とする。ヒータ17a,17bは異なる発熱量に設定されており,ガラス基板1aと1bの温度を異なる状態にすることが可能である。この実施例では,発熱体17a,17bの熱容量を小さくできるため,加熱プロセスを制御しやすいと言うメリットがある。また,ステージへの熱の散逸を防止するため,発熱体17a,17bとステージ16a,16bの間に断熱材を挟む構造としてもよい。
【0167】
本実施例においても,図1の実施例と同じ効果が得られ,高品質な液晶パネルを製造することができる。
【0168】
図28,29にガラス基板の歪みを測定する機構についての実施例を示す。
【0169】
図28において,21は液晶を保持する領域であり,31はTFT素子を構成するとき同時に形成した配線である。
【0170】
配線31aは熱硬化性樹脂2が塗布されている位置に形成されている例であり,配線32bは熱硬化性樹脂2より液晶保持領域21側に形成されている例である。これは,例えば切断線B−B,C−Cでガラス基板を切断したとき,ギャップ形成工程で発生した応力が保持されるのは熱硬化性樹脂で囲まれた領域内であるためである。
【0171】
ガラス基板の長さが変わる,例えば長くなると,配線31も同時に長く延ばされ,配線31の抵抗が変わる。基板を重ね合わせる前とギャップ形成後の抵抗値の変化を測定することにより,配線の延びを計算でき,これからガラス基板にかかっている応力を計算することができる。ガラス基板にかかっている応力を管理することは,例えば,内部応力によりガラス基板が割れることを防止したり,ガラス基板上の配線も同様に延ばされていることからその応力による断線を防止したり,応力による基板の反りによる組立誤差を防止するなどに利用可能である。
【0172】
図29に配線31付近の拡大図を示す。(a)は平面図であり,(b)は(a)のQ−Q断面図である。例えば配線31は基板1bの基板1a側の面上に形成されているとすると,配線31にプローブをあてるためには,基板1aを取り除く必要がある。
【0173】
一般的にTFT素子の駆動回路を接続するために図14(a)(b)に示すように,基板端に段差が設けられており,容易に配線31にプローブをあてることができる。また,外部と通信するためのアンテナと配線31の配線抵抗を測り,アンテナで信号を出力するための駆動回路を同時に作り込むことにより,非接触で応力を測定する方法でもよい。
本実施例により,ガラス基板にかかる応力,基板の反りを管理することができ,液晶パネルの信頼性および歩留まり,組立精度の向上を図ることができる。
【0174】
【発明の効果】
本発明によれば、液晶保持用のガラス基板及び樹脂に対し、熱膨張率の違いを考慮した加熱を行うことができ、ガラス基板のずれやそりを防止して液晶パネルの高品質化を図れる。また、継続的なラインの監視を行うことにより,プロセスの変動を迅速にフィードバックできるため,液晶パネル品質を安定的に保つことができる。また,プロセス条件の確認,再調整が不要となり,生産ラインを停止することなく生産可能となるため,液晶パネルの生産性を一層向上させ得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】液晶パネル製造装置のガラス基板処理部の断面構成図である。
【図2】液晶パネル製造装置の制御系全体のブロック構成を示し、図1のガラス基板処理部とその周辺部を含めた部分を制御する場合の構成例
【図3】本発明の製造方法で製造される液晶パネルの断面の一部で、熱硬化性シール材のない部分を示す図である。
【図4】本発明の技術で加熱処理する熱硬化性シール材の状態を示す図である。
【図5】本発明の技術による熱硬化性シール材の温度上昇特性例を示す図である。
【図6】本発明の技術によるガラス基板の温度上昇特性例及び熱硬化性シール材の硬化特性例を示す図である。
【図7】排気・減圧処理と加熱処理の手順を示す図である。
【図8】シート保持部材を移動させるアクチュエータ部の構成例である。
【図9】基板の投入(搬入)から搬出までの一連の処理手順を示す図である。
【図10】液晶パネル製造装置のガラス基板処理部の断面構成図である。
【図11】液晶パネル製造装置のガラス基板処理部の断面構成図である。
【図12】液晶パネル製造装置の制御系全体のブロック構成である。
【図13】温度差加熱の効果を説明する図である。
【図14】温度差加熱時のマーク間距離誤差特性を説明する図である。
【図15】液晶パネルの組立状態を示す例である。
【図16】組立誤差を説明する図である。
【図17】パネル製造工程の説明図である。
【図18】プロセス変動によりマーク間距離差が“0”からずれた場合の補正方式説明図
【図19】
組立誤差を基板重ね合わせプロセスへフィードバックする方式の説明図である
。
【図20】
基板の残留応力の測定例である。
【図21】
液晶パネル製造装置のガラス基板処理部の断面構成図である。
【図22】
液晶パネル製造装置のガラス基板処理部の断面構成図である。
【図23】
液晶パネル製造装置のガラス基板処理部の断面構成図である。
【図24】
液晶パネル製造装置のガラス基板処理部の断面構成図である。
【図25】
液晶パネル製造装置のガラス基板処理部の断面構成図である。
【図26】
液晶パネル製造装置のガラス基板処理部の断面構成図である。
【図27】
液晶パネル製造装置のガラス基板処理部の断面構成図である。
【図28】ガラス基板にかかる応力を測定する機構の説明図である。
【図29】ガラス基板にかかる応力を測定する機構の拡大図である。
【符号の説明】
1a、1b…ガラス基板、 2a、2b…熱硬化性シール材、 3a、3b…シート、 4…突起、 6…排気口、 7…Oリング、 8a〜8d…シート保持部材、 9a、9b…ヒータ、 10…棒状部材、 11…電極、薄膜トランジスタ、 12…カラーフィルタ、 13…スペーサ材、 14…孔、 15…ピン、 16…支持部材、 17…シート保持部材、18…筐体、19…ピンの支持部材、 20…隙間、 30a、30b…送風機、 31a、31b…冷却手段、 100…組立装置制御部、 101a、101b…ヒータ温度制御部、 102a、102b…ヒータ温度測定器、 103…シート内圧力制御部、 104…コンプレッサ、 105…油圧ポンプ、 106…圧力検出器、 107…シート上下制御部、 108a、108b…アクチュエータ、 109a、109b、109c…位置検出器、 110…ヒータ上下制御部、 111…シート内温度測定器、 112…加熱条件記憶部、 115…液晶パネル組立装置、116…制御弁、 120…搬送機構、 121…搬送制御部、 122…搬送装置、 201…組立誤差測定装置、 202…測定部、 203…組立誤差計算、204加熱条件決定部、205…測定装置制御部、206…重ね合わせ条件決定部、207…基板重ね合わせ装置、208…基板重ね合わせ部、209…仮固定部、210…重ね合わせ装置制御部、211…重ね合わせ条件記憶部、 220a、220b、220c、220d…アライメントマーク、 230…基板重心
Claims (20)
- ガラス基板の複合体を形成するステップを含む液晶パネルの製造方法であって、
ガラス基板間に熱硬化性のシール材を設ける第1のステップと、
該ガラス基板をシートで包み、該シート内を略密閉状態にする第2のステップと、
該シート内から排気しつつ、該シートの外側から空間を空けてた該シートから離れた位置にあるヒータでシート及びその内部を加熱する第3のステップと、
該シート内を大気に開放する第4のステップと、
該シートを該ガラス基板から退避させる第5のステップと、を有することを特徴とする液晶パネルの製造方法。 - 第2のステップでは、前記ガラス基板の両側から2枚のシートで包むことを特徴とする請求項1に記載の液晶パネルの製造方法。
- 第3のステップで、ヒータ温度またはヒータ位置により加熱温度を変化させることを特徴とする請求項1に記載の液晶パネルの製造方法。
- 第3のステップでは、上記熱硬化性シール材の温度が軟化温度に達するまでに上記排気により上記シート内が所定の減圧状態になるようにすることを特徴とする請求項1に記載の液晶パネルの製造方法。
- TFT素子とカラーフィルタがいずれか一方のガラス基板に形成されている一対のガラス基板を有し、その一対のガラス基板の間に熱硬化性樹脂で液晶保持領域を囲む構造を有する液晶パネルの製造方法であって、
前記一対の基板の少なくとも一方の基板に、重ね合わせ用のマークを形成する第1のステップと、
一方のガラス基板に前記熱硬化性樹脂を塗布する第2のステップと、
ガラス基板上に形成されたマークの座標を測定し、記憶する第3のステップと、
上記2枚のガラス基板に設けられたマークの相対的位置が、あらかじめ記憶しておいた値とほぼ同じとなるように位置合わせを行いながら上記熱硬化性樹脂を挟み込むように重ね合わせを行うとともに、マークの位置を記憶し、あらかじめ記憶しておいた数式あるいは表を用いて、2枚のガラス基板の重心位置誤差、基板の傾きおよびマーク間距離の差を求めて記憶する第4のステップと、
基板を所定の圧力で加圧しながら、あらかじめ記憶しておいた値で加熱し、熱硬化性樹脂を硬化させる第5のステップと、
ガラス基板を所定の温度まで冷却する第6のステップと、
2枚のガラス基板上のマーク位置を測定し、記憶するとともに、あらかじめ記憶しておいた数式あるいは表を用いて2枚のガラス基板の重心位置誤差、基板の傾きおよびマーク間距離の差を求めて記憶する第7のステップと、を有することを特徴とする液晶パネル製造方法。 - 第5のステップにおいて、
2枚のガラス基板を異なる温度で加熱あるいは熱伝導率の異なるシートを介して加熱することにより、2枚のガラス基板の温度が異なる状態で熱硬化性樹脂を硬化させることを特徴とする請求項5に記載の液晶パネル製造方法。 - 第3のステップにおいて、マーク座標の測定を熱硬化性樹脂の塗布前、あるいは塗布後に実施することを特徴とする請求項5又は6に記載の液晶パネル製造方法。
- 前記第7のステップで記憶した2枚のガラス基板の重心位置誤差、基板の傾きおよびマーク間距離の差から、あらかじめ記憶しておいた数式あるいは表を用いて、前記第4のステップにおけるマークの相対的位置の目標値あるいは前記第5のステップにおける加熱温度の目標値の少なくとも一方を決定し、記憶することを特徴とする請求項5から7のいずれかに記載の液晶パネル製造方法。
- 2枚のガラス基板の重心位置誤差、基板の傾きおよびマーク間距離の差について、前記第4のステップにおける値と前記第7のステップにおける値の変化量から、あらかじめ記憶しておいた数式あるいは表を用いて、前記第4のステップにおけるマークの相対的位置の目標値あるいは前記第5のステップにおける加熱温度の目標値の少なくとも一方を決定し、記憶することを特徴とする請求項5から7に記載の液晶パネル製造方法。
- 前記第7のステップにおけるマーク間距離の差から、あらかじめ記憶しておいた数式あるいは表を用いて、ガラス基板上に形成するTFT素子あるいはカラーフィルタの寸法を変更することを特徴とする請求項5から7に記載の液晶パネル製造方法。
- 前記第3のステップにおけるマーク座標があらかじめ記憶しておいたマーク座標となるように、ガラス基板上に形成するTFT素子あるいはカラーフィルタの寸法を変更することを特徴とする請求項5から7に記載の液晶パネル製造方法。
- 前記第3のステップにおけるマーク座標とあらかじめ記憶しておいたマーク座標の差から、あらかじめ記憶しておいた数式あるいは表を用いて、前記第4のステップにおけるマークの相対的位置の目標値あるいは前記第5のステップにおける加熱温度の目標値の少なくとも一方を決定し、記憶することを特徴とする請求項5から7に記載の液晶パネル製造方法。
- 前記第7のステップにおいて、ガラス基板の歪み量を測定し、歪み量が所定の値以下となるように、あらかじめ記憶しておいた数式あるいは表を用いて、前記第5のステップにおける加熱温度の目標値を決定し、記憶することを特徴とする請求項5から7に記載の液晶パネル製造方法。
- ガラス基板の歪みを測定することが可能な回路をガラス基板上に形成することを特徴とする液晶パネル製造方法。
- ガラス基板の歪みを測定することが可能な回路をTFT素子と同じ材料でガラス基板上に形成することを特徴とする請求項14に記載の液晶パネル製造方法。
- ガラス基板の歪みを測定することが可能な回路をTFT素子と同時にガラス基板上に形成することを特徴とする請求項14に記載の液晶パネル製造方法。
- ガラス基板の歪みを測定することが可能な回路と同時に駆動回路およびアンテナを形成し、非接触にてガラス基板の歪み量を測定できることを特徴とする請求項14に記載の液晶パネル製造方法。
- 2枚のガラス基板の間に液晶を保持するために、熱硬化性樹脂で液晶保持領域を囲む構造の液晶パネルの製造方法であって、
上記2枚のガラス基板の一方に前記熱硬化性樹脂を塗布し、その熱硬化性樹脂を挟み込むように重ね合わせた後、所定の圧力で加圧しながら2枚のガラス基板の温度が異なる状態で熱硬化性樹脂を硬化させることによりガラス基板の複合体を形成することを特徴とする液晶パネル製造方法。 - 請求項18において、2枚のガラス基板を異なる温度で加熱することを特徴とする液晶パネル製造方法。
- 請求項19において、熱伝導率の異なる加圧部材を介して加熱することを特徴とする液晶パネル製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002191585A JP3900027B2 (ja) | 2002-07-01 | 2002-07-01 | 液晶パネルの製造方法 |
US10/331,072 US6867841B2 (en) | 2001-10-31 | 2002-12-27 | Method for manufacturing liquid crystal display panels |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002191585A JP3900027B2 (ja) | 2002-07-01 | 2002-07-01 | 液晶パネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004037595A true JP2004037595A (ja) | 2004-02-05 |
JP3900027B2 JP3900027B2 (ja) | 2007-04-04 |
Family
ID=31701106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002191585A Expired - Fee Related JP3900027B2 (ja) | 2001-10-31 | 2002-07-01 | 液晶パネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3900027B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016136525A1 (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置の検査方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5066270B2 (ja) * | 2011-02-18 | 2012-11-07 | 株式会社東芝 | 梱包容器、梱包部材 |
-
2002
- 2002-07-01 JP JP2002191585A patent/JP3900027B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016136525A1 (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置の検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3900027B2 (ja) | 2007-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6128066A (en) | Method of manufacturing liquid crystal panels with simultaneously evacuating and pressurizing and manufacturing apparatus | |
JP4781802B2 (ja) | サポートプレートの貼り合わせ手段及び貼り合わせ装置、並びにサポートプレートの貼り合わせ方法 | |
JP5549343B2 (ja) | 基板接合装置、基板ホルダ、基板接合方法、デバイスの製造方法および位置合わせ装置 | |
JP3230833B2 (ja) | ホットプレス | |
JP6579262B2 (ja) | 基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法 | |
WO2010011742A1 (en) | Efficient lamination press with radiant heating | |
JP2013098291A (ja) | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 | |
JP6569802B2 (ja) | 基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法 | |
TWI493647B (zh) | 接合裝置、接合方法、程式及電腦記憶媒體 | |
WO2017208909A1 (ja) | ラミネート装置、ラミネート方法および太陽電池モジュールの製造方法 | |
JP2013538175A (ja) | ガラス基板を熱処理する装置および方法 | |
TWI740109B (zh) | 樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法 | |
JP2013125817A (ja) | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 | |
US6867841B2 (en) | Method for manufacturing liquid crystal display panels | |
JP3900027B2 (ja) | 液晶パネルの製造方法 | |
CN112743880B (zh) | 一种蜂窝夹层结构件大面积损伤的修理方法 | |
KR100463357B1 (ko) | 액정 표시 장치 및 제조 방법 | |
JP2012133098A (ja) | 基板組立装置 | |
JP2007196434A (ja) | 微細構造転写装置および微細構造転写方法 | |
JP4773938B2 (ja) | 太陽電池モジュールのラミネート装置。 | |
JP7152881B2 (ja) | 複合材料構造物の製造用治具 | |
JP2005010298A (ja) | 液晶表示パネルの製造方法および液晶表示パネルの製造装置 | |
TWI442505B (zh) | A pallet type substrate transport system, a film forming method, and a manufacturing method of an electronic device | |
TWM573670U (zh) | Glass laser packaging equipment | |
KR20150031435A (ko) | 첩부 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040622 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060324 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060711 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060911 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061218 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 3900027 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100112 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
S631 | Written request for registration of reclamation of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313631 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 5 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 5 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140112 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |