JP2004037202A - 半導体集積回路のテスト回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】ICCリークテストの詳細度を向上させつつ効率よくテストを行うことができる半導体集積回路のテスト回路を提供することを目的とする。
【解決手段】この半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータ1では、機能ブロック7a〜7cへの電源配線9に介装された電源制御スイッチ5と、入力される電源制御クロック信号に基づいて電源制御スイッチ5を導通、遮断するNAND回路8とが備えられる。このマイクロコンピュータ1では、動作テストに伴ってICCリークテストが行われ、そのICCリークテストの際に、電源制御スイッチ5が、動作クロック信号の立ち上がりエッジから所定タイミングだけ遅れた時点から所定期間が経過するまでの期間だけ、電源配線9を導通状態から遮断状態に切り替えさせた後、再び導通させる。
【選択図】 図1
【解決手段】この半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータ1では、機能ブロック7a〜7cへの電源配線9に介装された電源制御スイッチ5と、入力される電源制御クロック信号に基づいて電源制御スイッチ5を導通、遮断するNAND回路8とが備えられる。このマイクロコンピュータ1では、動作テストに伴ってICCリークテストが行われ、そのICCリークテストの際に、電源制御スイッチ5が、動作クロック信号の立ち上がりエッジから所定タイミングだけ遅れた時点から所定期間が経過するまでの期間だけ、電源配線9を導通状態から遮断状態に切り替えさせた後、再び導通させる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路のテスト回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路、例えばマイクロコンピュータには、消費電力低減のため、動作クロック信号を停止してマイクロコンピュータを待機状態とする機能(以下、「クロック停止モード」という)が備えられているものがある。このようなマイクロコンピュータでは、出荷前の検査として、クロック停止モードでの電源電流がないか否かをテストする電源電流テスト(以下、「ICCリークテスト」という)が行われる。
【0003】
ここで、クロック停止モードにおける電源電流(以下、「ICCリーク」という)は、マイクロコンピュータの製造工程での欠陥に起因した膜質の劣化、配線ショート、断線などにより増加するため、ICCリークテストにより、製造時の微細欠陥の有無を判定することも可能である。
【0004】
また、このICCリークは、クロック停止モード移行時にマイクロコンピュータ内の互いに異電位となっている隣接配線間で生じるため、クロック停止モード移行時にどの隣接配線間が異電位となっているかによってリークの有無や程度も異なったものとなる。
【0005】
このため、従来のICCリークテストでは、マイクロコンピュータ内の内部メモリ、レジスタに設定する設定値を変化させたICCリークテスト用の複数のテストパターンを用意し、そのテストパターンによってマイクロコンピュータ内の異電位となる隣接配線の組み合わせを変更しながら、電源電流を直接検出することによりクロック停止モード時におけるICCリークを検出するようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来のICCリークテストでは、詳細なテストを行おうとすると多数のICCリークテスト用のテストパターンが必要になるとともに、テストに長時間を要することとなるため、詳細なテストを行うことが困難であるという問題がある。
【0007】
そこで、本発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、ICCリークテストの詳細度を向上させつつ効率よくテストを行うことができる半導体集積回路のテスト回路を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
第1の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、半導体集積回路に設けられ、そのテストに用いられる半導体集積回路のテスト回路において、半導体集積回路に設けられる機能ブロックへの電源配線に介装され、その電源配線を導通、遮断する第1のスイッチ回路と、動作クロック信号の立ち上がりエッジから所定タイミングだけ遅れた時点から所定期間が経過するまでの期間だけ、前記第1のスイッチ回路に前記電源配線を導通状態から遮断状態に切り替えさせた後、再び導通させる制御回路と、を備える。
【0009】
第2の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記制御回路は、外部から入力される電源制御クロック信号に基づいて、前記第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行う。
【0010】
第3の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記制御回路は、入力されるテスト信号による指令に応じてテストモードと通常モードとの間でモード切り替えを行い、前記テストモードでは前記電源制御クロック信号に基づいて前記第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行い、前記通常モードでは前記第1のスイッチ回路を導通状態に保持する。
【0011】
第4の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記制御回路は、自ら生成した電源制御クロック信号に基づいて、前記第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行う。
【0012】
第5の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記第1のスイッチ回路は、前記各機能ブロックごとに個別に対応して、その機能ブロックへの電源供給を個別に導通、遮断可能な位置に設けられ、前記制御回路は、前記各機能ブロックごとに個別に設けられた前記各第1のスイッチ回路を、個別に導通、遮断制御可能となっている。
【0013】
第6の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記電源配線上における前記第1のスイッチ回路と前記機能ブロックとの間の地点における電圧レベルを検出する検出回路をさらに備える。
【0014】
第7の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記検出回路の検出結果が示す前記電圧レベルの低下量が基準レベル以下であるか否かを判定する判定回路をさらに備える。
【0015】
第8の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記半導体集積回路はアナログ/ディジタル変換器が設けられたものであり、前記半導体集積回路のテスト回路は、前記アナログ/ディジタル変換器へのアナログ信号入力のための入力用配線に介装され、その入力用配線を介してアナログ/ディジタル変換器に入力される通常のアナログ信号と、前記検出回路の検出結果を示す信号とのいずれかを選択的に前記アナログ/ディジタル変換器に入力させる選択回路をさらに備える。
【0016】
第9の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記第1のスイッチ回路により前記電源配線が遮断される際に、前記電源配線の電圧レベルを強制的に低下させる降圧回路をさらに備える。
【0017】
第10の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、この半導体集積回路のテスト回路を構成する回路のうちの電源供給が必要な回路への電源供給をオン、オフする第2のスイッチ回路をさらに備える。
【0018】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータ(半導体集積回路)の要部のブロック図である。なお、本実施形態では、半導体集積回路としてマイクロコンピュータ1を例にして説明を行うが、マイクロコンピュータ1に限定されるものではない。このマイクロコンピュータ1は、図1に示すように、電源入力端子2と、電源制御クロック入力端子3と、動作クロック入力端子4と、電源制御スイッチ(トランスミッションゲート)5と、インバータ6と、機能ブロック7a〜7c(これらを総称する場合には符号「7」を用いる)と、NAND回路(制御回路)8とを備えている。このうち、電源制御スイッチ5及びインバータ6が本発明に係る第1のスイッチ回路に相当している。
【0019】
電源入力端子2は、マイクロコンピュータ1に電源電圧を供給するためのものである。電源制御クロック入力端子3は、後述する電源制御クロック信号を入力するためのものである。動作クロック入力端子4は、マイクロコンピュータ1に動作クロック信号を供給するためのものである。機能ブロック7は、マイクロコンピュータ1の処理機能を担うものであり、入力される動作クロック信号に応じて各種の処理を行う。
【0020】
電源制御スイッチ5は、電源入力端子2から機能ブロック7に向かう電源配線9に介装されており、電源配線9を導通、遮断する。この電源制御スイッチ5は、その一側の入力端子がNAND回路8の出力端子に直接的に電気的に接続されており、他側の入力端子がインバータ6を介してNAND回路8の出力端子に電気的に接続されており、そして、NAND回路8からの出力レベルがハイレベルであるときに電源配線9を導通させ、NAND回路8からの出力レベルがローレベルであるときに電源配線9を遮断するようになっている。
【0021】
NAND回路8は、電線制御クロック入力端子3から入力される電源制御クロック信号、及びテスト信号との2つの入力信号に基づいて出力信号の出力レベルをハイ、ローに切り替える。ここで、電源制御クロック信号は、電源制御スイッチ5を動作させるための信号である。テスト信号は、制御回路であるNAND回路8の動作モードを、通常モードとテストモードとの間で切り替えるためのものであり、ICCリークテストを行うべきときにハイレベルのテスト信号がNAND回路8に入力されると、NAND回路8の動作モードがテストモードになり、ICCリークテストを行わない状態では、テスト信号がローレベルに保持されてNAND回路8が通常モードに保持される。このテスト信号は、マイクロコンピュータ1の外部から入力するようにしてもよく、あるいはマイクロコンピュータ1の内部のレジスタの設定状態等に基づいてマイクロコンピュータ1内部で生成するようにしてもよい。
【0022】
このような構成により、ハイレベルのテスト信号がNAND回路8に入力されている状態で、電源制御クロック信号がハイレベルと、ローレベルとの間で変化すると、これに伴ってNAND回路8の出力信号がハイレベルと、ローレベルとの間で変化し、これに伴って電源制御スイッチ5によって電源配線9が導通、遮断される。すなわち、テスト信号がハイレベルであるときに、ローレベルの電源制御クロック信号がNAND回路8に入力された場合には、NAND回路8からハイレベルの出力信号が出力されて電源制御回路5によって電源配線9が導通され、ハイレベルの電源制御クロック信号がNAND回路8に入力された場合には、NAND回路8からローレベルの出力信号が出力されて電源制御回路5によって電源配線9が遮断される。テスト信号がローレベルであるときには、電線制御クロック信号の入力状態にかかわらず、NAND回路8の出力信号がハイレベルに保持され、これによって電源制御スイッチ5によって電源配線9は導通状態に保持される。
【0023】
次に、図2を参照し、電源制御クロック信号に基づいて電源制御スイッチ5によって電源配線9が導通、遮断された際の電源配線9の電圧レベル(電源電圧)の様子等について説明する。ここで、電源電圧とは、電源配線9上における電源制御スイッチ5と機能ブロック7との間の地点(例えば地点A)の電圧をいう。また、図2の最上段の波形は動作クロック信号を示し、2段目の波形は電源制御クロック信号を示し、3段目の波形はマイクロコンピュータ1にICCリークがない場合(良品の場合)の電源電圧の様子を示し、4段目の波形はマイクロコンピュータ1にICCリークがある場合(不良品の場合)の電源電圧の様子を示す。
【0024】
本実施形態では、マイクロコンピュータ1の動作テストに伴ってICCリークテストが行われるようになっており、ICCリークテストを行う際には、テスト信号をハイレベルに切り替えた状態で、図2に示すように、動作テストの際の動作クロック信号に応じて電源制御クロック信号をハイレベルとローレベルとの間で周期的に切り替えて電源スイッチ5によって電源配線9を周期的に導通、遮断するようになっている。
【0025】
ICCリークテストの際、電源制御クロック信号は、図2に示すように、動作クロック信号の立ち上がりエッジから所定タイミングTaだけ遅れた時点から所定期間Tbが経過するまでの期間だけ、ローレベルからハイレベルに切り替わった後、再びローレベルに切り替わるようになっており、動作クロック信号と同一の周期(あるいは動作クロック信号の周期の整数倍の周期)で周期的にローレベルとハイレベルとの間で切り替わるようになっている。このとき、電源制御スイッチ5は、電源制御クロック信号がハイレベルのときに電源配線9を遮断し、電源制御クロック信号がローレベルのときに電源配線9を導通させる。なお、図2に示す例では、電源制御クロック信号を動作クロック信号に対して所定タイミングTaだけ遅れた状態で動作クロック信号と同一周期でハイ、ローに切り替えているが、図3に示す例のように、電源制御クロック信号を動作クロック信号に対して所定タイミングTaだけ遅れた状態で動作クロック信号の2倍の周期でハイ、ローに切り替えるようにしてもよい。この電圧制御クロック信号の周期を動作クロック信号の周期の何倍に設定するかの点に関しては、例えば、動作クロック信号に応じてマイクロコンピュータ1(特に、機能ブロック7)内のレジスタ等の状態が変化する周期に対応させるようにしてもよい(例えば、マイクロコンピュータ1内の状態が動作クロック信号の2周期ごとに変化する場合には、電源制御クロック信号の周期は動作クロック信号の2倍の周期に設定される)。
【0026】
この電源制御スイッチ5の導通、遮断動作によって電源配線9が遮断された際に、ICCリークがない場合(実質的にICCリークがないと判断される場合も含む)には、図2の3段目の波形のように、電源配線9の電源電圧は電源配線9などの内部容量により比較的緩やかに降下するのに対して、ICCリークが生じた場合には、図2の4段目の波形のように、電源配線9の電源電圧はリーク電流により急速に降下するため、電源配線9が遮断されてから電源電圧が所定レベル(例えば、マイクロコンピュータ1の最低動作電圧)以下に降下するまでの所要時間が異なる。
【0027】
このため、電源制御スイッチ5により電源配線9を遮断してから再び導通させるまでの時間(すなわち、電源制御クロック信号のハイレベル期間(Tb))を調節することにより、図2の3、4段目の波形のように、ICCリークがない場合には電源配線9が遮断された後再び導通されるまで電源電圧が最低動作電圧以下に降下しないように、かつ、ICCリークがある場合には電源配線9が遮断された後再び導通されるまで電源電圧が最低動作電圧以下に降下するように設定することができる。このように設定することにより、ICCリークが発生した際に電圧低下によりマイクロコンピュータ1が動作不良となるようにすることができる。
【0028】
また、一般にマイクロコンピュータ1の動作テストが行われている間は、そのテストの性質上、マイクロコンピュータ1のレジスタ等の設定値が種々のパターンで変化され、マイクロコンピュータ1内の異電位となる隣接配線の組み合わせが時々刻々と変更されるようになっている。
【0029】
これによって、電源制御クロック信号のハイレベル期間(Tb)を上記のように設定し、動作テストが行われる際にテスト信号をローレベルからハイレベルに切り替え、動作クロック信号に応じて上記のように電源制御クロック信号に基づいて電源配線9を電源制御スイッチ5により導通、遮断することにより、動作テストに伴ってマイクロコンピュータ1内の異電位となる隣接配線の組み合わせを時々刻々と変化させつつ、詳細にICCリークテストを行うことができ、動作テスト中にICCリークが発生した場合にはその時点でマイクロコンピュータ1が動作不良となり、これによってICCリークの発生を容易に検出及び認識できる。このように、動作テストに伴ってICCリークテストを行うことができるため、ICCリークテストのための専用の工程を省略することができ、ICCリークテストの詳細度を向上させつつ効率よくテストを行うことができる。
【0030】
また、NAND回路8が外部から入力される電源制御クロック信号に基づいて電源制御スイッチ5の導通、遮断の切り替えを行うため、マイクロコンピュータ1内に独自に電線制御クロック信号の生成のための手段を設ける必要がなく、マイクロコンピュータ1の構成を簡単化することができる。
【0031】
さらに、通常動作状態においては、テスト信号はローレベルに保持され、電源制御スイッチ5が電源配線9を導通させた状態に保持されるため、通常動作に影響が及ぶことはない。
【0032】
実施の形態2.
図4は、本発明の実施の形態2に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態1に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、電線制御クロック信号をマイクロコンピュータ1内部で生成するようにした点とその関連部分のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。
【0033】
本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1では、図4に示すように、前述のNAND回路8の代わりに制御クロック発振回路(制御回路)10が設けられているとともに、前述の電源制御クロック入力端子3が省略されている。
【0034】
制御クロック発振回路10は、電源配線9から電力供給を受けて動作し、ハイレベルのテスト信号が入力されているときには、前述の電源制御クロック信号と同様なクロック信号を生成し、その生成した信号に基づいて電源制御スイッチ5を導通、遮断し、ローレベルのテスト信号が入力されているときは、前記クロック信号を生成することなく、電源制御スイッチ5を電源配線9を導通させた状態に保持する。ICCリークテストの際に、制御クロック発振回路10によって電源制御スイッチ5が導通状態、遮断状態との間で切り替えられる際の切り替え周期、タイミング等は、前述の実施の形態1の場合と同様である。
【0035】
これによって、本実施の形態によれば、制御クロック信号発信回路10が自ら生成したクロック信号に基づいて電源制御スイッチ5の導通、遮断の切り替えを行うため、電源制御スイッチ5を導通、遮断させるための制御クロック信号を外部から入力する必要がないという利点がある。
【0036】
実施の形態3.
図5は、本発明の実施の形態3に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態1に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、電源制御スイッチ5a〜5c及びインバータ6a〜6cが各機能ブロック7a〜7cごとに個別に設けられた点と、これに伴って前述のNAND回路8の代わりに機能ブロック選択回路(制御回路)11が備えられた点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。
【0037】
本実施の形態では、図5に示すように、電源制御スイッチ5a〜5c及びインバータ6a〜6cが、各機能ブロック7a〜7cごとに1組ずつ個別に対応して設けられている。各組の電源制御スイッチ5a〜5cは、電源入力端子2から各機能ブロック7a〜7cに向けて配設された電源配線9が各機能ブロック7a〜7cに向けて分岐した分岐後の部分9a〜9cに介装され、各機能ブロック7a〜7cへの電力供給を個別にオン、オフできるようになっている。電源制御スイッチ5a〜5cとインバータ6a〜6cとの接続形態は、実施の形態1の場合と同様である。
【0038】
機能ブロック選択回路11は、各電源制御スイッチ5a〜5bを個別に導通、遮断させることができるようになっており、ハイレベルのテスト信号が入力されているときに、電源制御クロック信号が入力されると、その電源制御クロック信号に基づいて各電源制御スイッチ5a〜5bを個別に遮断、導通させる。なお、テスト信号がローレベルであるときには、電源制御クロック信号の状態にかわわらず、すべての電源制御スイッチ5a〜5cが電源配線9の分岐後の部分9a〜9cを導通させた状態に保持される。
【0039】
図6は、図5のマイクロコンピュータ1に備えられる機能ブロック選択回路11の具体的構成例を示すブロック図である。この機能ブロック選択回路11は、ブロック選択レジスタ12と、各電源制御スイッチ5a〜5cに対応して1個ずつ設けられるNAND回路13a〜13cとを備えて構成されている。ブロック選択レジスタ12は、いずれのNAND回路13a〜13cに電源制御スイッチ5a〜5cの導通、遮断の切り替え動作をさせるかを決定するための設定パラメータを保存するためのものであり、本実施形態では、その設定パラメータの各ビット(例えばbit1〜3)の0、1の値に基づいて各NAND回路13a〜13cの動作状態が切り替えられるようになっている。
【0040】
各NAND回路13a〜13cは、ブロック選択レジスタ12に設定された設定パラメータの対応するbit1〜3の値に対応した信号(選択信号)、電源制御クロック入力端子3から入力される電源制御クロック信号、及びテスト信号の入力内容に基づいて出力信号の信号レベルをハイ、ローに切り替えて対応する電源制御スイッチ5a〜5cを制御するようになっている。
【0041】
例えば、ハイレベルのテスト信号が入力された際に、ブロック選択レジスタ12に設定された設定パラメータの各bit1〜3の設定状態がbit(3,2,1)=(0,0,1)である場合には、NAND回路13aに入力される設定信号のみがハイレベルとなり、NAND回路13b,13cに入力される設定信号はローレベルとなるため、NAND回路13b,13cの出力信号はハイレベルに固定される。このため、この場合には、入力される電源制御クロック信号のハイ、ローの切り替わりに伴って、NAND回路13aの出力信号のみがハイ、ローに切り替えられ、これによって電源制御スイッチ5aが導通状態と、遮断状態との間で切り替えられ、電源制御スイッチ5b,5cは導通状態に保持される。その結果、機能ブロック5b,5cへの給電を連続的に行いつつ、機能ブロック5aのみについて給電をオン、オフできるため、機能ブロック5aのみについてのICCリークの有無を検査することができる。
【0042】
同様に、設定パラメータの各bit1〜3の設定状態をbit(3,2,1)=(0,1,0)とした場合には、機能ブロック5bのみについてのICCリークテストを行うことができ、設定パラメータの各bit1〜3の設定状態をbit(3,2,1)=(1,0,0)とした場合には、機能ブロック5cのみについてのICCリークテストを行うことができる。
【0043】
なお、ICCリークテストをマイクロコンピュータ1の動作テストに伴って行う点、及び用いられる電源制御クロック信号の内容等は実施の形態1と同様である。
【0044】
以上のように、本実施の形態によれば、各機能ブロック7a〜7cごとに個別に設けられた電源制御スイッチ5a〜5cを個別に導通、遮断制御することにより、各機能ブロック7a〜7cごとに個別にICCリークテストを行うことができる。
【0045】
実施の形態4.
図7は、本発明の実施の形態4に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態1に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、図7に示す回路構成を追加的に設けた点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。なお、前述の実施の形態1では、マイクロコンピュータ1の動作テストに伴ってICCリークテストを行い、その際にマイクロコンピュータ1が動作不良になった場合に、ICCリーク不良と判定していたが、本実施の形態では、後述するコンパレータ15の判定結果に基づいてICCリークについての良否判定を行うようになっている。
【0046】
本実施形態に係るマイクロコンピュータ1では、図1に示される構成に追加して、図7に示されるように、サンプリング回路(検出回路)14、コンパレータ(判定回路)15及び判定レジスタ16等が追加的に設けられている。
【0047】
サンプリング回路14は、電源配線9から電力供給を受け、所定のタイミングで、電源配線9上における電源制御スイッチ5と機能ブロック7との間の地点(例えば、地点A)における電圧レベル(電源電圧)を検出し、その検出結果を出力する。
【0048】
コンパレータ15は、サンプリング回路14の出力結果が示す電源電圧と、入力される判定基準電圧とを比較し、電源電圧が判定基準電圧を上回っているか否かにより出力レベルをハイ、ローに切り替える(例えば、電源電圧が判定基準電圧を上回っている場合にはハイレベル出力が行われ、電源電圧が判定基準電圧を下回っている場合にはローレベル出力が行われる)。そして、このコンパレータ15の出力値に基づいてマイクロコンピュータ1のICCリーク不良の有無が判定される。判定基準電圧は、基準電圧供給配線17の供給電圧を直列接続した抵抗18a,18bによってレベル調節したものが用いられ、抵抗18a,18bの抵抗値の比を調節することにより、調節可能となっている。コンパレータ16の判定結果は、判定レジスタ16に保存される。
【0049】
次に動作説明を行う。前述の実施の形態1についての説明の中で記載したように、電源制御スイッチ5により電源配線9を遮断したときの電源電圧の降下速度がICCリークの有無によって異なるため(ICCリークがある場合には電源電圧の降下速度が大きくなるため)、本実施の形態においてもその特性を利用してICCリーク不良の判定を行う。
【0050】
すなわち、動作テストに伴うICCリークテスト時に電源制御クロック信号に基づいて電源制御スイッチ5によって電源配線9が遮断された時点から所定の経過時間だけ経過した時点(この時点では電源配線9はまだ導通状態に切り替えられていない)で、サンプリング回路14に電源電圧を検出させる。その際、ICCリークがなくその検出電圧が判定基準電圧を上回っており、コンパレータ15の出力がハイレベルである場合には、そのコンパレータ15のハイレベルの出力値が判定レジスタ16に保存され、ICCリークがありその検出電圧が判定基準電圧を下回っており、コンパレータ15の出力がローレベルである場合には、そのコンパレータ15のローレベルの出力値が判定レジスタ16に保存される。そして、プログラムにより、判定レジスタ16に保存されている判定結果を示すコンパレータ15の出力値を読み出し、その読み出した出力値に基づいてそのマイクロコンピュータ1のICCリークの良否判定が行われる。
【0051】
このサンプリング回路14の検出結果に基づくコンパレータ15によるICCリークの良否判定は、動作テストに伴うICCリークテスト時に電源制御スイッチ5によって電源配線9が遮断されるごとに行われ、その判定結果が判定レジスタ16に保存されるようになっている。
【0052】
なお、本実施の形態では、電源配線9を遮断した際に、遮断時から所定の経過時間が経過した時点で電源電圧が判定基準電圧以下に低下しているか否かによりICCリークの良否判定を行う構成であるため、電源制御クロック信号のハイレベル期間(Tb)は実施の形態1の場合よりも短く設定され、電源配線9の遮断後、仮にICCリークがあっても電源電圧が最低動作電圧以下に降下してしまう前に、電源配線9が再導通されるようになっている。
【0053】
以上のように、本実施の形態によれば、動作テストに伴って電源制御クロック信号に基づいて電源配線9を導通、遮断しつつ、電源電圧をサンプリング回路14により電源電圧をサンプリングすることにより、そのサンプリング結果に基づいてICCリークの有無をコンパレータ15で判定させることができる。
【0054】
また、判定レジスタ16に保存されたコンパレータ15の判定結果を読み出して、マイクロコンピュータ1のICCリークについての良否判定を行うことができる。
【0055】
なお、本実施の形態では、本実施の形態に係る技術内容を実施の形態1に適用した場合について説明したが、本実施の形態に係る技術内容を実施の形態2又3に適用してもよい。
【0056】
実施の形態5.
図8は、本発明の実施の形態5に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態4に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、マイクロコンピュータ1がアナログ/ディジタル(以下、「A/D」という)変換器19が設けられている点と、前述のコンパレータ15及び判定レジスタ16の代わりに入力切替スイッチ(選択回路)20が設けられている点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。
【0057】
本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1には、機能ブロック7の一つして(あるいは機能ブロック7とは別に)A/D変換器19が設けられるとともに、そのA/D変換器19にアナログ信号を入力するためのアナログ入力端子21が設けられている。
【0058】
入力切替スイッチ20は、アナログ入力端子21とA/D変換器19とを接続するアナログ信号の入力用配線に介装されており、A/D変換器19への信号入力経路をテスト信号に応じてサンプリング回路14側とアナログ入力端子21側との間で択一的に切り替える。テスト信号がハイレベルである場合(ICCリークテスト時)には、入力切替スイッチ20が”1”側に切り替えられてA/D変換器19への信号入力経路がサンプリング回路14側に切り替えられ、これによってサンプリング回路14が検出した電源電圧を示す信号がA/D変換器19に入力されてA/D変換される。また、テスト信号がローレベルである場合(通常動作時)には、入力切替スイッチ20が”0”側に切り替えられてA/D変換器19への信号入力経路がアナログ入力端子21側に切り替えられ、これによってアナログ入力端子21から入力されたアナログ信号がA/D変換器19に入力されてA/D変換される。
【0059】
本実施の形態でも実施の形態4と同様に、動作テストに伴ってICCリークテストを行うようになっており、ICCリークテストに用いられる電源制御クロック信号の内容、及びサンプリング回路14によって電源電圧を検出するサンプリングタイミングは、実施の形態4と同様であり、ここでは説明を省略する。
【0060】
このような構成により、ICCリークテストの際には、テスト信号のローレベルからハイレベルへの切り替わりに伴って入力切替スイッチ20がアナログ入力端子21側からサンプリング回路14側に切り替えられ、サンプリング回路14によってサンプリングされた電源電圧を示す信号が、入力切替スイッチ20を介してA/D変換器19に入力されて、A/D変換されるようになっている。
【0061】
以上のように、本実施の形態によれば、ICCリークテストを行う際に、サンプリング回路14によってサンプリングされたアナログ信号である電源電圧を示す信号が入力切替スイッチ20を介してA/D変換器19に入力されてディジタル信号に変換されるため、そのディジタル信号に変換されたサンプリング回路14の検出結果に基づいて、情報処理装置によりICCリークの有無を容易に判定することができる。
【0062】
また、サンプリング回路14の検出信号を、マイクロコンピュータ1にもとから備えられたA/D変換器19を用いてA/D変換する構成であるため、マイクロコンピュータ1の回路構成の増加を小さく抑えることができる。
【0063】
実施の形態6.
図9は、本発明の実施の形態6に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。本実施の形態に係る技術内容は前述の実施の形態4又は5に係るマイクロコンピュータ1に適用されるものであり、本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態4又は5に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、図9に示す回路構成を追加的に設けた点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。また、本実施の形態でも実施の形態4又は5と同様に、動作テストに伴ってICCリークテストを行うようになっており、ICCリークテストに用いられる電源制御クロック信号の内容及びサンプリング回路14によって電源電圧を検出するサンプリングタイミングは、実施の形態4又は5と同様であり、ここでは説明を省略する。
【0064】
本実施形態に係るマイクロコンピュータ1では、図7又は図8に示される構成に追加して、図9に示されるように、電源切替スイッチ22及び降圧回路(以下、「VDC(ボルテージ・ダウン・コンバータ)」という)23が追加的に設けられている。
【0065】
VDC23は、入力される電源の電圧レベルを強制的に所定量だけ降下させて電源制御スイッチ5側に供給する。
【0066】
電源切替スイッチ22は、電源入力端子2から機能ブロック7に向かう電源配線7(本実施の形態では、電源配線9の電源制御スイッチ5とサンプリング回路14によるサンプリング地点Aとの間の部分)に介装され、入力されるテスト信号に応じて、電源入力の経路を、その経路中にVDC23を介装する経路と、その経路中にVDC23を介装しない経路との間で択一的に切り替える。具体的には、テスト信号がハイレベルである場合(ICCリークテスト時)には、電源切替スイッチ22が”1”側に切り替えられ、これによって電源制御スイッチ5を介して与えられる電源入力端子2からの電源入力がVDC23を介して機能ブロック7側に供給される。このとき、電源配線9を介して機能ブロック7側に供給される電源電圧は、VDC23によって所定量だけ強制的に降下される。テスト信号がローレベルである場合(通常動作時)には、電源切替スイッチ22が”0”側に切り替えられて電源入力端子2からの電源入力がVDC23を介さずに電源ブロック7側に供給される。
【0067】
このようにICCリークテスト時にVDC23によって電源電圧を強制的に所定量だけ低下させることにより、以下のような効果が得られる。ここで、図10の上段の波形は、VDC23を用いない場合における良品及び不良品の電源遮断時の電源電圧の推移を示し、図10の下段の波形は、VDC23を用いて電源電圧を強制的に降下させた場合における良品及び不良品の電源遮断時の電源電圧の推移を示している。図10の上段及び下段の波形の様子を比較すると分かるように、VDC23によって電源電圧を強制的に所定量だけ降下させた方が、電源制御スイッチ5による電源遮断時から電源電圧が所定の判定基準電圧まで降下するまでの所要時間が短くなり、電源電圧の降下に基づいたICCリーク判定を早いタイミング(サンプリングタイミング)で行うことができる(図10の例では、ICCリーク判定のタイミングを時間Tcだけ早めることができている)。例えば、通常状態の電源電圧が5V、判定基準電圧が2Vの場合、ICCリークテスト時にVDC23によって電源電圧を5Vから3Vに強制的に降下させる。
【0068】
以上のように、本実施の形態によれば、ICCリークテスト時に電源制御スイッチ5により電源配線9が遮断された際に、VDC23によって電源電圧を所定量だけ強制的に低下させることができるため、電源制御スイッチ5により電源配線9が遮断されてから電源電圧が所定の判定基準電圧まで降下するまでの時間を短縮することができ、ICCリークの有無についての判定を迅速に行うことができる。
【0069】
実施の形態7.
図11は、本発明の実施の形態7に係る半導体集積回路のテスト回路の要部のブロック図である。本実施の形態に係る技術内容は前述の実施の形態1ないし6に係るマイクロコンピュータ1に適用されるものであり、本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態1ないし6に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、図11に示す電源制御スイッチ(トランスミッションゲート)24及びインバータ25を追加的に設けた点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。本実施に形態おける電源制御スイッチ24及びインバータ25以外の部分についての動作については、前述の実施の形態1ないし6と同様であるため、説明を省略する。なお、電源制御スイッチ24及びインバータ25が本発明に係る第2のスイッチ回路24aに相当している。
【0070】
図11中のICCリークテスト回路26は、前述の実施の形態2ないし6に係るマイクロコンピュータ1内に設けられるICCリークテストのための回路のうちの電源供給が必要な回路を示している。そのような電源供給が必要な回路としては、例えば、実施の形態2に係る図4の制御クロック発振回路10、実施の形態3に係る図5の機能ブロック選択回路11、実施の形態4に係る図7のサンプリング回路14等が該当する。
【0071】
電源制御スイッチ24は、電源入力端子2からICCリークテスト回路26に向かう電源配線27に介装されており、テスト信号に応じて電源配線27を導通、遮断する。この電源制御スイッチの一側端子にはテスト信号が直接的に入力され、その他側端子にはインバータ25を介してテスト信号が入力される構成であるため、テスト信号のハイ、ローの切り替わりに伴って電源制御スイッチ24によって電源配線27が導通、遮断されるようになっている。すなわち、テスト信号がハイレベルのときに電源制御スイッチ24によって電源配線27が導通され、テスト信号がローレベルのときに電源制御スイッチ24によって電源配線27が遮断されるようになっている。
【0072】
このため、テスト信号がローレベルからハイレベルに切り替えられてICCリークテストが行われるときにのみ、電源制御スイッチ24により電源配線27が導通されてICCリークテスト回路26に給電され、ICCリークテストを行わない通常の状態では、ICCリークテスト回路26への給電がカットされるようになっている。
【0073】
これによって、本実施の形態によれば、不要な電力消費を削減することができる。
【0074】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明によれば、半導体集積回路の動作テストの際に、動作クロック信号に対応して制御回路に第1のスイッチ回路の導通、遮断動作を行わせることにより、動作テストに伴ってICCリークテストを行うことができる。すなわち、動作テストの際に、第1のスイッチ回路は、制御回路の制御により、動作クロック信号の立ち上がりエッジから所定タイミングだけ遅れた時点から所定期間が経過するまでの期間だけ機能ブロックの電源配線を導通状態から遮断状態に切り替えた後、再び導通させる。この第1のスイッチ回路の導通、遮断動作によって電源配線が遮断された際に、ICCリークがない場合(実質的にICCリークがないと判断される場合も含む)には、電源配線などの内部容量により電源配線の電圧レベル(電源電圧)は比較的緩やか降下するのに対して、ICCリークが生じた場合には、リーク電流により電源電圧が急速に降下するため、電源配線が遮断されてから電源電圧が所定レベル(例えば、半導体集積回路の最低動作電圧)以下に降下するまでの所要時間が異なる。このため、この電源電圧の降下速度の違いに基づいてICCリークの有無を判定することができる。具体的には、第1のスイッチ回路により電源配線を遮断してから再び導通させるまでの時間を調節することにより、ICCリークがない場合には電源配線が遮断された後再び導通されるまで電源電圧が最低動作電圧以下に降下しないように、かつ、ICCリークがある場合には電源配線が遮断された後再び導通されるまで電源電圧が最低動作電圧以下に降下するように設定することができる。このように設定することにより、ICCリークが発生した際に電圧低下により半導体集積回路が動作不良となるようにすることができる。
【0075】
また、一般に半導体集積回路の動作テストが行われている間は、そのテストの性質上、半導体集積回路のレジスタ等の設定値が種々のパターンで変化され、半導体集積回路内の異電位となる隣接配線の組み合わせが時々刻々と変更される。
【0076】
これによって、第1のスイッチ回路により電源配線を遮断してから再び導通させるまでの時間を上記のように設定し、動作テストが行われる際の動作クロック信号に応じて上記のように電源配線を第1のスイッチ回路により導通、遮断することにより、動作テストに伴って回路内の異電位となる隣接配線の組み合わせを時々刻々と変化させつつ、詳細にICCリークテストを行うことができ、動作テスト中にICCリークが発生した場合にはその時点で半導体集積回路が動作不良となり、これによってICCリークの発生を容易に検出及び認識できる。このように、動作テストに伴ってICCリークテストを行うことができるため、ICCリークテストのための専用の工程を省略することができ、ICCリークテストの詳細度を向上させつつ効率よくテストを行うことができる。
【0077】
請求項2に記載の発明によれば、制御回路が外部から入力される電源制御クロック信号に基づいて第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行うため、制御回路内に独自にクロック信号生成手段を設ける必要がなく、制御回路の構成を簡単化することができる。
【0078】
請求項3に記載の発明によれば、制御回路が、動作クロック信号に応じて第1のスイッチ回路を導通、遮断するテストモードと、第1のスイッチ回路を導通状態に保持する通常モードとを切り替え可能に備えているため、ICCリークテストを行うとき以外の通常動作時には、制御回路の動作モードを通常モードに設定することにより、第1のスイッチ回路が導通、遮断されて半導体集積回路の動作に悪影響が及ぶのを防止することができる。
【0079】
請求項4に記載の発明によれば、制御回路が自ら生成した電源制御クロック信号に基づいて第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行うため、第1のスイッチ回路を導通、遮断させるための制御クロック信号を外部から入力する必要がない。
【0080】
請求項5に記載の発明によれば、第1のスイッチ回路が、各機能ブロックごとに個別に対応してその機能ブロックへの電源供給を個別に導通、遮断制御可能となっているため、動作クロック信号に応じて第1のスイッチ回路を個別に導通、遮断させることにより、各機能ブロックごとに個別にICCリークテストを行うことができる。
【0081】
請求項6に記載の発明によれば、動作クロック信号に応じて第1のスイッチ回路により電源配線が遮断された際の電源配線の電圧レベルを検出回路によって検出することにより、検出回路の検出結果に基づいてICCリークの有無を判別することができる。
【0082】
請求項7に記載の発明によれば、検出回路の検出結果が示す電圧レベルの低下量が基準レベル以下であるか否かを判定する判定回路が備えられているため、判定回路の判定により半導体集積回路の良否判定を容易に行うことができる。
【0083】
請求項8に記載の発明によれば、ICCリークテストを行う際に、アナログ信号である検出回路の検出結果を示す信号が選択回路を介してアナログ/ディジタル変換器に入力してディジタル信号に変換されるため、そのディジタル信号に変換された検出回路の検出結果に基づいて、ICCリークの有無を容易に判定することができる。
【0084】
また、半導体集積回路に備えられたアナログ/ディジタル変換器をテスト回路の一部として流用する構成であるため、半導体集積回路の回路構成の増加を小さく抑えることができる。
【0085】
請求項9に記載の発明によれば、第1のスイッチ回路により電源配線が遮断される際に、降圧回路によって電源配線の電圧レベルを所定量だけ強制的に低下させることができるため、第1のスイッチ回路により電源配線が遮断されてから電源配線の電圧レベルが所定の判定基準レベルまで降下するまでの時間を短縮することができ、ICCリークの有無についての判定を迅速に行うことができる。
【0086】
請求項10に記載の発明によれば、ICCリークテストを行うとき以外は、半導体集積回路のテスト回路を構成する回路のうちの電源供給が必要な回路への電源供給を第2のスイッチ回路によりオフすることができるため、不要な電力消費を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図2】動作クロック信号及び電源制御クロック信号のタイミングチャート及び電源電圧の変化の様子を示す図である。
【図3】動作クロック信号及び電源制御クロック信号のタイミングチャートを示す図である。
【図4】本発明の実施の形態2に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図5】本発明の実施の形態3に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図6】図5のマイクロコンピュータに備えられる機能ブロック選択回路の具体的構成例を示すブロック図である。
【図7】本発明の実施の形態4に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図8】本発明の実施の形態5に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図9】本発明の実施の形態6に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図10】電源電圧の変化の様子を示す図である。
【図11】本発明の実施の形態7に係る半導体集積回路のテスト回路の要部のブロック図である。
【符号の説明】
1 マイクロコンピュータ、2 電源入力端子、3 電源制御クロック入力端子、4 動作クロック入力端子、5,5a〜5c 電源制御スイッチ、6,6a〜6c インバータ、7,7a〜7c 機能ブロック、8 NAND回路、9 電源配線、10 制御クロック発振回路、11 機能ブロック選択回路、12 ブロック選択レジスタ、13a〜13c NAND回路、14 サンプリング回路、15 コンパレータ、16 判定レジスタ、19 A/D変換器、20 入力切替スイッチ、21 アナログ入力端子、22 電源切替スイッチ、23 VDC(ボルテージ・ダウン・コンバータ)、24 電源制御スイッチ、24a 第2のスイッチ回路、25 インバータ、26 ICCリークテスト回路。
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路のテスト回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路、例えばマイクロコンピュータには、消費電力低減のため、動作クロック信号を停止してマイクロコンピュータを待機状態とする機能(以下、「クロック停止モード」という)が備えられているものがある。このようなマイクロコンピュータでは、出荷前の検査として、クロック停止モードでの電源電流がないか否かをテストする電源電流テスト(以下、「ICCリークテスト」という)が行われる。
【0003】
ここで、クロック停止モードにおける電源電流(以下、「ICCリーク」という)は、マイクロコンピュータの製造工程での欠陥に起因した膜質の劣化、配線ショート、断線などにより増加するため、ICCリークテストにより、製造時の微細欠陥の有無を判定することも可能である。
【0004】
また、このICCリークは、クロック停止モード移行時にマイクロコンピュータ内の互いに異電位となっている隣接配線間で生じるため、クロック停止モード移行時にどの隣接配線間が異電位となっているかによってリークの有無や程度も異なったものとなる。
【0005】
このため、従来のICCリークテストでは、マイクロコンピュータ内の内部メモリ、レジスタに設定する設定値を変化させたICCリークテスト用の複数のテストパターンを用意し、そのテストパターンによってマイクロコンピュータ内の異電位となる隣接配線の組み合わせを変更しながら、電源電流を直接検出することによりクロック停止モード時におけるICCリークを検出するようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来のICCリークテストでは、詳細なテストを行おうとすると多数のICCリークテスト用のテストパターンが必要になるとともに、テストに長時間を要することとなるため、詳細なテストを行うことが困難であるという問題がある。
【0007】
そこで、本発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、ICCリークテストの詳細度を向上させつつ効率よくテストを行うことができる半導体集積回路のテスト回路を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
第1の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、半導体集積回路に設けられ、そのテストに用いられる半導体集積回路のテスト回路において、半導体集積回路に設けられる機能ブロックへの電源配線に介装され、その電源配線を導通、遮断する第1のスイッチ回路と、動作クロック信号の立ち上がりエッジから所定タイミングだけ遅れた時点から所定期間が経過するまでの期間だけ、前記第1のスイッチ回路に前記電源配線を導通状態から遮断状態に切り替えさせた後、再び導通させる制御回路と、を備える。
【0009】
第2の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記制御回路は、外部から入力される電源制御クロック信号に基づいて、前記第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行う。
【0010】
第3の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記制御回路は、入力されるテスト信号による指令に応じてテストモードと通常モードとの間でモード切り替えを行い、前記テストモードでは前記電源制御クロック信号に基づいて前記第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行い、前記通常モードでは前記第1のスイッチ回路を導通状態に保持する。
【0011】
第4の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記制御回路は、自ら生成した電源制御クロック信号に基づいて、前記第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行う。
【0012】
第5の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記第1のスイッチ回路は、前記各機能ブロックごとに個別に対応して、その機能ブロックへの電源供給を個別に導通、遮断可能な位置に設けられ、前記制御回路は、前記各機能ブロックごとに個別に設けられた前記各第1のスイッチ回路を、個別に導通、遮断制御可能となっている。
【0013】
第6の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記電源配線上における前記第1のスイッチ回路と前記機能ブロックとの間の地点における電圧レベルを検出する検出回路をさらに備える。
【0014】
第7の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記検出回路の検出結果が示す前記電圧レベルの低下量が基準レベル以下であるか否かを判定する判定回路をさらに備える。
【0015】
第8の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記半導体集積回路はアナログ/ディジタル変換器が設けられたものであり、前記半導体集積回路のテスト回路は、前記アナログ/ディジタル変換器へのアナログ信号入力のための入力用配線に介装され、その入力用配線を介してアナログ/ディジタル変換器に入力される通常のアナログ信号と、前記検出回路の検出結果を示す信号とのいずれかを選択的に前記アナログ/ディジタル変換器に入力させる選択回路をさらに備える。
【0016】
第9の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、前記第1のスイッチ回路により前記電源配線が遮断される際に、前記電源配線の電圧レベルを強制的に低下させる降圧回路をさらに備える。
【0017】
第10の発明に係る半導体集積回路のテスト回路では、この半導体集積回路のテスト回路を構成する回路のうちの電源供給が必要な回路への電源供給をオン、オフする第2のスイッチ回路をさらに備える。
【0018】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータ(半導体集積回路)の要部のブロック図である。なお、本実施形態では、半導体集積回路としてマイクロコンピュータ1を例にして説明を行うが、マイクロコンピュータ1に限定されるものではない。このマイクロコンピュータ1は、図1に示すように、電源入力端子2と、電源制御クロック入力端子3と、動作クロック入力端子4と、電源制御スイッチ(トランスミッションゲート)5と、インバータ6と、機能ブロック7a〜7c(これらを総称する場合には符号「7」を用いる)と、NAND回路(制御回路)8とを備えている。このうち、電源制御スイッチ5及びインバータ6が本発明に係る第1のスイッチ回路に相当している。
【0019】
電源入力端子2は、マイクロコンピュータ1に電源電圧を供給するためのものである。電源制御クロック入力端子3は、後述する電源制御クロック信号を入力するためのものである。動作クロック入力端子4は、マイクロコンピュータ1に動作クロック信号を供給するためのものである。機能ブロック7は、マイクロコンピュータ1の処理機能を担うものであり、入力される動作クロック信号に応じて各種の処理を行う。
【0020】
電源制御スイッチ5は、電源入力端子2から機能ブロック7に向かう電源配線9に介装されており、電源配線9を導通、遮断する。この電源制御スイッチ5は、その一側の入力端子がNAND回路8の出力端子に直接的に電気的に接続されており、他側の入力端子がインバータ6を介してNAND回路8の出力端子に電気的に接続されており、そして、NAND回路8からの出力レベルがハイレベルであるときに電源配線9を導通させ、NAND回路8からの出力レベルがローレベルであるときに電源配線9を遮断するようになっている。
【0021】
NAND回路8は、電線制御クロック入力端子3から入力される電源制御クロック信号、及びテスト信号との2つの入力信号に基づいて出力信号の出力レベルをハイ、ローに切り替える。ここで、電源制御クロック信号は、電源制御スイッチ5を動作させるための信号である。テスト信号は、制御回路であるNAND回路8の動作モードを、通常モードとテストモードとの間で切り替えるためのものであり、ICCリークテストを行うべきときにハイレベルのテスト信号がNAND回路8に入力されると、NAND回路8の動作モードがテストモードになり、ICCリークテストを行わない状態では、テスト信号がローレベルに保持されてNAND回路8が通常モードに保持される。このテスト信号は、マイクロコンピュータ1の外部から入力するようにしてもよく、あるいはマイクロコンピュータ1の内部のレジスタの設定状態等に基づいてマイクロコンピュータ1内部で生成するようにしてもよい。
【0022】
このような構成により、ハイレベルのテスト信号がNAND回路8に入力されている状態で、電源制御クロック信号がハイレベルと、ローレベルとの間で変化すると、これに伴ってNAND回路8の出力信号がハイレベルと、ローレベルとの間で変化し、これに伴って電源制御スイッチ5によって電源配線9が導通、遮断される。すなわち、テスト信号がハイレベルであるときに、ローレベルの電源制御クロック信号がNAND回路8に入力された場合には、NAND回路8からハイレベルの出力信号が出力されて電源制御回路5によって電源配線9が導通され、ハイレベルの電源制御クロック信号がNAND回路8に入力された場合には、NAND回路8からローレベルの出力信号が出力されて電源制御回路5によって電源配線9が遮断される。テスト信号がローレベルであるときには、電線制御クロック信号の入力状態にかかわらず、NAND回路8の出力信号がハイレベルに保持され、これによって電源制御スイッチ5によって電源配線9は導通状態に保持される。
【0023】
次に、図2を参照し、電源制御クロック信号に基づいて電源制御スイッチ5によって電源配線9が導通、遮断された際の電源配線9の電圧レベル(電源電圧)の様子等について説明する。ここで、電源電圧とは、電源配線9上における電源制御スイッチ5と機能ブロック7との間の地点(例えば地点A)の電圧をいう。また、図2の最上段の波形は動作クロック信号を示し、2段目の波形は電源制御クロック信号を示し、3段目の波形はマイクロコンピュータ1にICCリークがない場合(良品の場合)の電源電圧の様子を示し、4段目の波形はマイクロコンピュータ1にICCリークがある場合(不良品の場合)の電源電圧の様子を示す。
【0024】
本実施形態では、マイクロコンピュータ1の動作テストに伴ってICCリークテストが行われるようになっており、ICCリークテストを行う際には、テスト信号をハイレベルに切り替えた状態で、図2に示すように、動作テストの際の動作クロック信号に応じて電源制御クロック信号をハイレベルとローレベルとの間で周期的に切り替えて電源スイッチ5によって電源配線9を周期的に導通、遮断するようになっている。
【0025】
ICCリークテストの際、電源制御クロック信号は、図2に示すように、動作クロック信号の立ち上がりエッジから所定タイミングTaだけ遅れた時点から所定期間Tbが経過するまでの期間だけ、ローレベルからハイレベルに切り替わった後、再びローレベルに切り替わるようになっており、動作クロック信号と同一の周期(あるいは動作クロック信号の周期の整数倍の周期)で周期的にローレベルとハイレベルとの間で切り替わるようになっている。このとき、電源制御スイッチ5は、電源制御クロック信号がハイレベルのときに電源配線9を遮断し、電源制御クロック信号がローレベルのときに電源配線9を導通させる。なお、図2に示す例では、電源制御クロック信号を動作クロック信号に対して所定タイミングTaだけ遅れた状態で動作クロック信号と同一周期でハイ、ローに切り替えているが、図3に示す例のように、電源制御クロック信号を動作クロック信号に対して所定タイミングTaだけ遅れた状態で動作クロック信号の2倍の周期でハイ、ローに切り替えるようにしてもよい。この電圧制御クロック信号の周期を動作クロック信号の周期の何倍に設定するかの点に関しては、例えば、動作クロック信号に応じてマイクロコンピュータ1(特に、機能ブロック7)内のレジスタ等の状態が変化する周期に対応させるようにしてもよい(例えば、マイクロコンピュータ1内の状態が動作クロック信号の2周期ごとに変化する場合には、電源制御クロック信号の周期は動作クロック信号の2倍の周期に設定される)。
【0026】
この電源制御スイッチ5の導通、遮断動作によって電源配線9が遮断された際に、ICCリークがない場合(実質的にICCリークがないと判断される場合も含む)には、図2の3段目の波形のように、電源配線9の電源電圧は電源配線9などの内部容量により比較的緩やかに降下するのに対して、ICCリークが生じた場合には、図2の4段目の波形のように、電源配線9の電源電圧はリーク電流により急速に降下するため、電源配線9が遮断されてから電源電圧が所定レベル(例えば、マイクロコンピュータ1の最低動作電圧)以下に降下するまでの所要時間が異なる。
【0027】
このため、電源制御スイッチ5により電源配線9を遮断してから再び導通させるまでの時間(すなわち、電源制御クロック信号のハイレベル期間(Tb))を調節することにより、図2の3、4段目の波形のように、ICCリークがない場合には電源配線9が遮断された後再び導通されるまで電源電圧が最低動作電圧以下に降下しないように、かつ、ICCリークがある場合には電源配線9が遮断された後再び導通されるまで電源電圧が最低動作電圧以下に降下するように設定することができる。このように設定することにより、ICCリークが発生した際に電圧低下によりマイクロコンピュータ1が動作不良となるようにすることができる。
【0028】
また、一般にマイクロコンピュータ1の動作テストが行われている間は、そのテストの性質上、マイクロコンピュータ1のレジスタ等の設定値が種々のパターンで変化され、マイクロコンピュータ1内の異電位となる隣接配線の組み合わせが時々刻々と変更されるようになっている。
【0029】
これによって、電源制御クロック信号のハイレベル期間(Tb)を上記のように設定し、動作テストが行われる際にテスト信号をローレベルからハイレベルに切り替え、動作クロック信号に応じて上記のように電源制御クロック信号に基づいて電源配線9を電源制御スイッチ5により導通、遮断することにより、動作テストに伴ってマイクロコンピュータ1内の異電位となる隣接配線の組み合わせを時々刻々と変化させつつ、詳細にICCリークテストを行うことができ、動作テスト中にICCリークが発生した場合にはその時点でマイクロコンピュータ1が動作不良となり、これによってICCリークの発生を容易に検出及び認識できる。このように、動作テストに伴ってICCリークテストを行うことができるため、ICCリークテストのための専用の工程を省略することができ、ICCリークテストの詳細度を向上させつつ効率よくテストを行うことができる。
【0030】
また、NAND回路8が外部から入力される電源制御クロック信号に基づいて電源制御スイッチ5の導通、遮断の切り替えを行うため、マイクロコンピュータ1内に独自に電線制御クロック信号の生成のための手段を設ける必要がなく、マイクロコンピュータ1の構成を簡単化することができる。
【0031】
さらに、通常動作状態においては、テスト信号はローレベルに保持され、電源制御スイッチ5が電源配線9を導通させた状態に保持されるため、通常動作に影響が及ぶことはない。
【0032】
実施の形態2.
図4は、本発明の実施の形態2に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態1に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、電線制御クロック信号をマイクロコンピュータ1内部で生成するようにした点とその関連部分のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。
【0033】
本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1では、図4に示すように、前述のNAND回路8の代わりに制御クロック発振回路(制御回路)10が設けられているとともに、前述の電源制御クロック入力端子3が省略されている。
【0034】
制御クロック発振回路10は、電源配線9から電力供給を受けて動作し、ハイレベルのテスト信号が入力されているときには、前述の電源制御クロック信号と同様なクロック信号を生成し、その生成した信号に基づいて電源制御スイッチ5を導通、遮断し、ローレベルのテスト信号が入力されているときは、前記クロック信号を生成することなく、電源制御スイッチ5を電源配線9を導通させた状態に保持する。ICCリークテストの際に、制御クロック発振回路10によって電源制御スイッチ5が導通状態、遮断状態との間で切り替えられる際の切り替え周期、タイミング等は、前述の実施の形態1の場合と同様である。
【0035】
これによって、本実施の形態によれば、制御クロック信号発信回路10が自ら生成したクロック信号に基づいて電源制御スイッチ5の導通、遮断の切り替えを行うため、電源制御スイッチ5を導通、遮断させるための制御クロック信号を外部から入力する必要がないという利点がある。
【0036】
実施の形態3.
図5は、本発明の実施の形態3に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態1に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、電源制御スイッチ5a〜5c及びインバータ6a〜6cが各機能ブロック7a〜7cごとに個別に設けられた点と、これに伴って前述のNAND回路8の代わりに機能ブロック選択回路(制御回路)11が備えられた点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。
【0037】
本実施の形態では、図5に示すように、電源制御スイッチ5a〜5c及びインバータ6a〜6cが、各機能ブロック7a〜7cごとに1組ずつ個別に対応して設けられている。各組の電源制御スイッチ5a〜5cは、電源入力端子2から各機能ブロック7a〜7cに向けて配設された電源配線9が各機能ブロック7a〜7cに向けて分岐した分岐後の部分9a〜9cに介装され、各機能ブロック7a〜7cへの電力供給を個別にオン、オフできるようになっている。電源制御スイッチ5a〜5cとインバータ6a〜6cとの接続形態は、実施の形態1の場合と同様である。
【0038】
機能ブロック選択回路11は、各電源制御スイッチ5a〜5bを個別に導通、遮断させることができるようになっており、ハイレベルのテスト信号が入力されているときに、電源制御クロック信号が入力されると、その電源制御クロック信号に基づいて各電源制御スイッチ5a〜5bを個別に遮断、導通させる。なお、テスト信号がローレベルであるときには、電源制御クロック信号の状態にかわわらず、すべての電源制御スイッチ5a〜5cが電源配線9の分岐後の部分9a〜9cを導通させた状態に保持される。
【0039】
図6は、図5のマイクロコンピュータ1に備えられる機能ブロック選択回路11の具体的構成例を示すブロック図である。この機能ブロック選択回路11は、ブロック選択レジスタ12と、各電源制御スイッチ5a〜5cに対応して1個ずつ設けられるNAND回路13a〜13cとを備えて構成されている。ブロック選択レジスタ12は、いずれのNAND回路13a〜13cに電源制御スイッチ5a〜5cの導通、遮断の切り替え動作をさせるかを決定するための設定パラメータを保存するためのものであり、本実施形態では、その設定パラメータの各ビット(例えばbit1〜3)の0、1の値に基づいて各NAND回路13a〜13cの動作状態が切り替えられるようになっている。
【0040】
各NAND回路13a〜13cは、ブロック選択レジスタ12に設定された設定パラメータの対応するbit1〜3の値に対応した信号(選択信号)、電源制御クロック入力端子3から入力される電源制御クロック信号、及びテスト信号の入力内容に基づいて出力信号の信号レベルをハイ、ローに切り替えて対応する電源制御スイッチ5a〜5cを制御するようになっている。
【0041】
例えば、ハイレベルのテスト信号が入力された際に、ブロック選択レジスタ12に設定された設定パラメータの各bit1〜3の設定状態がbit(3,2,1)=(0,0,1)である場合には、NAND回路13aに入力される設定信号のみがハイレベルとなり、NAND回路13b,13cに入力される設定信号はローレベルとなるため、NAND回路13b,13cの出力信号はハイレベルに固定される。このため、この場合には、入力される電源制御クロック信号のハイ、ローの切り替わりに伴って、NAND回路13aの出力信号のみがハイ、ローに切り替えられ、これによって電源制御スイッチ5aが導通状態と、遮断状態との間で切り替えられ、電源制御スイッチ5b,5cは導通状態に保持される。その結果、機能ブロック5b,5cへの給電を連続的に行いつつ、機能ブロック5aのみについて給電をオン、オフできるため、機能ブロック5aのみについてのICCリークの有無を検査することができる。
【0042】
同様に、設定パラメータの各bit1〜3の設定状態をbit(3,2,1)=(0,1,0)とした場合には、機能ブロック5bのみについてのICCリークテストを行うことができ、設定パラメータの各bit1〜3の設定状態をbit(3,2,1)=(1,0,0)とした場合には、機能ブロック5cのみについてのICCリークテストを行うことができる。
【0043】
なお、ICCリークテストをマイクロコンピュータ1の動作テストに伴って行う点、及び用いられる電源制御クロック信号の内容等は実施の形態1と同様である。
【0044】
以上のように、本実施の形態によれば、各機能ブロック7a〜7cごとに個別に設けられた電源制御スイッチ5a〜5cを個別に導通、遮断制御することにより、各機能ブロック7a〜7cごとに個別にICCリークテストを行うことができる。
【0045】
実施の形態4.
図7は、本発明の実施の形態4に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態1に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、図7に示す回路構成を追加的に設けた点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。なお、前述の実施の形態1では、マイクロコンピュータ1の動作テストに伴ってICCリークテストを行い、その際にマイクロコンピュータ1が動作不良になった場合に、ICCリーク不良と判定していたが、本実施の形態では、後述するコンパレータ15の判定結果に基づいてICCリークについての良否判定を行うようになっている。
【0046】
本実施形態に係るマイクロコンピュータ1では、図1に示される構成に追加して、図7に示されるように、サンプリング回路(検出回路)14、コンパレータ(判定回路)15及び判定レジスタ16等が追加的に設けられている。
【0047】
サンプリング回路14は、電源配線9から電力供給を受け、所定のタイミングで、電源配線9上における電源制御スイッチ5と機能ブロック7との間の地点(例えば、地点A)における電圧レベル(電源電圧)を検出し、その検出結果を出力する。
【0048】
コンパレータ15は、サンプリング回路14の出力結果が示す電源電圧と、入力される判定基準電圧とを比較し、電源電圧が判定基準電圧を上回っているか否かにより出力レベルをハイ、ローに切り替える(例えば、電源電圧が判定基準電圧を上回っている場合にはハイレベル出力が行われ、電源電圧が判定基準電圧を下回っている場合にはローレベル出力が行われる)。そして、このコンパレータ15の出力値に基づいてマイクロコンピュータ1のICCリーク不良の有無が判定される。判定基準電圧は、基準電圧供給配線17の供給電圧を直列接続した抵抗18a,18bによってレベル調節したものが用いられ、抵抗18a,18bの抵抗値の比を調節することにより、調節可能となっている。コンパレータ16の判定結果は、判定レジスタ16に保存される。
【0049】
次に動作説明を行う。前述の実施の形態1についての説明の中で記載したように、電源制御スイッチ5により電源配線9を遮断したときの電源電圧の降下速度がICCリークの有無によって異なるため(ICCリークがある場合には電源電圧の降下速度が大きくなるため)、本実施の形態においてもその特性を利用してICCリーク不良の判定を行う。
【0050】
すなわち、動作テストに伴うICCリークテスト時に電源制御クロック信号に基づいて電源制御スイッチ5によって電源配線9が遮断された時点から所定の経過時間だけ経過した時点(この時点では電源配線9はまだ導通状態に切り替えられていない)で、サンプリング回路14に電源電圧を検出させる。その際、ICCリークがなくその検出電圧が判定基準電圧を上回っており、コンパレータ15の出力がハイレベルである場合には、そのコンパレータ15のハイレベルの出力値が判定レジスタ16に保存され、ICCリークがありその検出電圧が判定基準電圧を下回っており、コンパレータ15の出力がローレベルである場合には、そのコンパレータ15のローレベルの出力値が判定レジスタ16に保存される。そして、プログラムにより、判定レジスタ16に保存されている判定結果を示すコンパレータ15の出力値を読み出し、その読み出した出力値に基づいてそのマイクロコンピュータ1のICCリークの良否判定が行われる。
【0051】
このサンプリング回路14の検出結果に基づくコンパレータ15によるICCリークの良否判定は、動作テストに伴うICCリークテスト時に電源制御スイッチ5によって電源配線9が遮断されるごとに行われ、その判定結果が判定レジスタ16に保存されるようになっている。
【0052】
なお、本実施の形態では、電源配線9を遮断した際に、遮断時から所定の経過時間が経過した時点で電源電圧が判定基準電圧以下に低下しているか否かによりICCリークの良否判定を行う構成であるため、電源制御クロック信号のハイレベル期間(Tb)は実施の形態1の場合よりも短く設定され、電源配線9の遮断後、仮にICCリークがあっても電源電圧が最低動作電圧以下に降下してしまう前に、電源配線9が再導通されるようになっている。
【0053】
以上のように、本実施の形態によれば、動作テストに伴って電源制御クロック信号に基づいて電源配線9を導通、遮断しつつ、電源電圧をサンプリング回路14により電源電圧をサンプリングすることにより、そのサンプリング結果に基づいてICCリークの有無をコンパレータ15で判定させることができる。
【0054】
また、判定レジスタ16に保存されたコンパレータ15の判定結果を読み出して、マイクロコンピュータ1のICCリークについての良否判定を行うことができる。
【0055】
なお、本実施の形態では、本実施の形態に係る技術内容を実施の形態1に適用した場合について説明したが、本実施の形態に係る技術内容を実施の形態2又3に適用してもよい。
【0056】
実施の形態5.
図8は、本発明の実施の形態5に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態4に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、マイクロコンピュータ1がアナログ/ディジタル(以下、「A/D」という)変換器19が設けられている点と、前述のコンパレータ15及び判定レジスタ16の代わりに入力切替スイッチ(選択回路)20が設けられている点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。
【0057】
本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1には、機能ブロック7の一つして(あるいは機能ブロック7とは別に)A/D変換器19が設けられるとともに、そのA/D変換器19にアナログ信号を入力するためのアナログ入力端子21が設けられている。
【0058】
入力切替スイッチ20は、アナログ入力端子21とA/D変換器19とを接続するアナログ信号の入力用配線に介装されており、A/D変換器19への信号入力経路をテスト信号に応じてサンプリング回路14側とアナログ入力端子21側との間で択一的に切り替える。テスト信号がハイレベルである場合(ICCリークテスト時)には、入力切替スイッチ20が”1”側に切り替えられてA/D変換器19への信号入力経路がサンプリング回路14側に切り替えられ、これによってサンプリング回路14が検出した電源電圧を示す信号がA/D変換器19に入力されてA/D変換される。また、テスト信号がローレベルである場合(通常動作時)には、入力切替スイッチ20が”0”側に切り替えられてA/D変換器19への信号入力経路がアナログ入力端子21側に切り替えられ、これによってアナログ入力端子21から入力されたアナログ信号がA/D変換器19に入力されてA/D変換される。
【0059】
本実施の形態でも実施の形態4と同様に、動作テストに伴ってICCリークテストを行うようになっており、ICCリークテストに用いられる電源制御クロック信号の内容、及びサンプリング回路14によって電源電圧を検出するサンプリングタイミングは、実施の形態4と同様であり、ここでは説明を省略する。
【0060】
このような構成により、ICCリークテストの際には、テスト信号のローレベルからハイレベルへの切り替わりに伴って入力切替スイッチ20がアナログ入力端子21側からサンプリング回路14側に切り替えられ、サンプリング回路14によってサンプリングされた電源電圧を示す信号が、入力切替スイッチ20を介してA/D変換器19に入力されて、A/D変換されるようになっている。
【0061】
以上のように、本実施の形態によれば、ICCリークテストを行う際に、サンプリング回路14によってサンプリングされたアナログ信号である電源電圧を示す信号が入力切替スイッチ20を介してA/D変換器19に入力されてディジタル信号に変換されるため、そのディジタル信号に変換されたサンプリング回路14の検出結果に基づいて、情報処理装置によりICCリークの有無を容易に判定することができる。
【0062】
また、サンプリング回路14の検出信号を、マイクロコンピュータ1にもとから備えられたA/D変換器19を用いてA/D変換する構成であるため、マイクロコンピュータ1の回路構成の増加を小さく抑えることができる。
【0063】
実施の形態6.
図9は、本発明の実施の形態6に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。本実施の形態に係る技術内容は前述の実施の形態4又は5に係るマイクロコンピュータ1に適用されるものであり、本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態4又は5に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、図9に示す回路構成を追加的に設けた点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。また、本実施の形態でも実施の形態4又は5と同様に、動作テストに伴ってICCリークテストを行うようになっており、ICCリークテストに用いられる電源制御クロック信号の内容及びサンプリング回路14によって電源電圧を検出するサンプリングタイミングは、実施の形態4又は5と同様であり、ここでは説明を省略する。
【0064】
本実施形態に係るマイクロコンピュータ1では、図7又は図8に示される構成に追加して、図9に示されるように、電源切替スイッチ22及び降圧回路(以下、「VDC(ボルテージ・ダウン・コンバータ)」という)23が追加的に設けられている。
【0065】
VDC23は、入力される電源の電圧レベルを強制的に所定量だけ降下させて電源制御スイッチ5側に供給する。
【0066】
電源切替スイッチ22は、電源入力端子2から機能ブロック7に向かう電源配線7(本実施の形態では、電源配線9の電源制御スイッチ5とサンプリング回路14によるサンプリング地点Aとの間の部分)に介装され、入力されるテスト信号に応じて、電源入力の経路を、その経路中にVDC23を介装する経路と、その経路中にVDC23を介装しない経路との間で択一的に切り替える。具体的には、テスト信号がハイレベルである場合(ICCリークテスト時)には、電源切替スイッチ22が”1”側に切り替えられ、これによって電源制御スイッチ5を介して与えられる電源入力端子2からの電源入力がVDC23を介して機能ブロック7側に供給される。このとき、電源配線9を介して機能ブロック7側に供給される電源電圧は、VDC23によって所定量だけ強制的に降下される。テスト信号がローレベルである場合(通常動作時)には、電源切替スイッチ22が”0”側に切り替えられて電源入力端子2からの電源入力がVDC23を介さずに電源ブロック7側に供給される。
【0067】
このようにICCリークテスト時にVDC23によって電源電圧を強制的に所定量だけ低下させることにより、以下のような効果が得られる。ここで、図10の上段の波形は、VDC23を用いない場合における良品及び不良品の電源遮断時の電源電圧の推移を示し、図10の下段の波形は、VDC23を用いて電源電圧を強制的に降下させた場合における良品及び不良品の電源遮断時の電源電圧の推移を示している。図10の上段及び下段の波形の様子を比較すると分かるように、VDC23によって電源電圧を強制的に所定量だけ降下させた方が、電源制御スイッチ5による電源遮断時から電源電圧が所定の判定基準電圧まで降下するまでの所要時間が短くなり、電源電圧の降下に基づいたICCリーク判定を早いタイミング(サンプリングタイミング)で行うことができる(図10の例では、ICCリーク判定のタイミングを時間Tcだけ早めることができている)。例えば、通常状態の電源電圧が5V、判定基準電圧が2Vの場合、ICCリークテスト時にVDC23によって電源電圧を5Vから3Vに強制的に降下させる。
【0068】
以上のように、本実施の形態によれば、ICCリークテスト時に電源制御スイッチ5により電源配線9が遮断された際に、VDC23によって電源電圧を所定量だけ強制的に低下させることができるため、電源制御スイッチ5により電源配線9が遮断されてから電源電圧が所定の判定基準電圧まで降下するまでの時間を短縮することができ、ICCリークの有無についての判定を迅速に行うことができる。
【0069】
実施の形態7.
図11は、本発明の実施の形態7に係る半導体集積回路のテスト回路の要部のブロック図である。本実施の形態に係る技術内容は前述の実施の形態1ないし6に係るマイクロコンピュータ1に適用されるものであり、本実施の形態に係るマイクロコンピュータ1が前述の実施の形態1ないし6に係るマイクロコンピュータ1と実質的に異なる点は、図11に示す電源制御スイッチ(トランスミッションゲート)24及びインバータ25を追加的に設けた点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。本実施に形態おける電源制御スイッチ24及びインバータ25以外の部分についての動作については、前述の実施の形態1ないし6と同様であるため、説明を省略する。なお、電源制御スイッチ24及びインバータ25が本発明に係る第2のスイッチ回路24aに相当している。
【0070】
図11中のICCリークテスト回路26は、前述の実施の形態2ないし6に係るマイクロコンピュータ1内に設けられるICCリークテストのための回路のうちの電源供給が必要な回路を示している。そのような電源供給が必要な回路としては、例えば、実施の形態2に係る図4の制御クロック発振回路10、実施の形態3に係る図5の機能ブロック選択回路11、実施の形態4に係る図7のサンプリング回路14等が該当する。
【0071】
電源制御スイッチ24は、電源入力端子2からICCリークテスト回路26に向かう電源配線27に介装されており、テスト信号に応じて電源配線27を導通、遮断する。この電源制御スイッチの一側端子にはテスト信号が直接的に入力され、その他側端子にはインバータ25を介してテスト信号が入力される構成であるため、テスト信号のハイ、ローの切り替わりに伴って電源制御スイッチ24によって電源配線27が導通、遮断されるようになっている。すなわち、テスト信号がハイレベルのときに電源制御スイッチ24によって電源配線27が導通され、テスト信号がローレベルのときに電源制御スイッチ24によって電源配線27が遮断されるようになっている。
【0072】
このため、テスト信号がローレベルからハイレベルに切り替えられてICCリークテストが行われるときにのみ、電源制御スイッチ24により電源配線27が導通されてICCリークテスト回路26に給電され、ICCリークテストを行わない通常の状態では、ICCリークテスト回路26への給電がカットされるようになっている。
【0073】
これによって、本実施の形態によれば、不要な電力消費を削減することができる。
【0074】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明によれば、半導体集積回路の動作テストの際に、動作クロック信号に対応して制御回路に第1のスイッチ回路の導通、遮断動作を行わせることにより、動作テストに伴ってICCリークテストを行うことができる。すなわち、動作テストの際に、第1のスイッチ回路は、制御回路の制御により、動作クロック信号の立ち上がりエッジから所定タイミングだけ遅れた時点から所定期間が経過するまでの期間だけ機能ブロックの電源配線を導通状態から遮断状態に切り替えた後、再び導通させる。この第1のスイッチ回路の導通、遮断動作によって電源配線が遮断された際に、ICCリークがない場合(実質的にICCリークがないと判断される場合も含む)には、電源配線などの内部容量により電源配線の電圧レベル(電源電圧)は比較的緩やか降下するのに対して、ICCリークが生じた場合には、リーク電流により電源電圧が急速に降下するため、電源配線が遮断されてから電源電圧が所定レベル(例えば、半導体集積回路の最低動作電圧)以下に降下するまでの所要時間が異なる。このため、この電源電圧の降下速度の違いに基づいてICCリークの有無を判定することができる。具体的には、第1のスイッチ回路により電源配線を遮断してから再び導通させるまでの時間を調節することにより、ICCリークがない場合には電源配線が遮断された後再び導通されるまで電源電圧が最低動作電圧以下に降下しないように、かつ、ICCリークがある場合には電源配線が遮断された後再び導通されるまで電源電圧が最低動作電圧以下に降下するように設定することができる。このように設定することにより、ICCリークが発生した際に電圧低下により半導体集積回路が動作不良となるようにすることができる。
【0075】
また、一般に半導体集積回路の動作テストが行われている間は、そのテストの性質上、半導体集積回路のレジスタ等の設定値が種々のパターンで変化され、半導体集積回路内の異電位となる隣接配線の組み合わせが時々刻々と変更される。
【0076】
これによって、第1のスイッチ回路により電源配線を遮断してから再び導通させるまでの時間を上記のように設定し、動作テストが行われる際の動作クロック信号に応じて上記のように電源配線を第1のスイッチ回路により導通、遮断することにより、動作テストに伴って回路内の異電位となる隣接配線の組み合わせを時々刻々と変化させつつ、詳細にICCリークテストを行うことができ、動作テスト中にICCリークが発生した場合にはその時点で半導体集積回路が動作不良となり、これによってICCリークの発生を容易に検出及び認識できる。このように、動作テストに伴ってICCリークテストを行うことができるため、ICCリークテストのための専用の工程を省略することができ、ICCリークテストの詳細度を向上させつつ効率よくテストを行うことができる。
【0077】
請求項2に記載の発明によれば、制御回路が外部から入力される電源制御クロック信号に基づいて第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行うため、制御回路内に独自にクロック信号生成手段を設ける必要がなく、制御回路の構成を簡単化することができる。
【0078】
請求項3に記載の発明によれば、制御回路が、動作クロック信号に応じて第1のスイッチ回路を導通、遮断するテストモードと、第1のスイッチ回路を導通状態に保持する通常モードとを切り替え可能に備えているため、ICCリークテストを行うとき以外の通常動作時には、制御回路の動作モードを通常モードに設定することにより、第1のスイッチ回路が導通、遮断されて半導体集積回路の動作に悪影響が及ぶのを防止することができる。
【0079】
請求項4に記載の発明によれば、制御回路が自ら生成した電源制御クロック信号に基づいて第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行うため、第1のスイッチ回路を導通、遮断させるための制御クロック信号を外部から入力する必要がない。
【0080】
請求項5に記載の発明によれば、第1のスイッチ回路が、各機能ブロックごとに個別に対応してその機能ブロックへの電源供給を個別に導通、遮断制御可能となっているため、動作クロック信号に応じて第1のスイッチ回路を個別に導通、遮断させることにより、各機能ブロックごとに個別にICCリークテストを行うことができる。
【0081】
請求項6に記載の発明によれば、動作クロック信号に応じて第1のスイッチ回路により電源配線が遮断された際の電源配線の電圧レベルを検出回路によって検出することにより、検出回路の検出結果に基づいてICCリークの有無を判別することができる。
【0082】
請求項7に記載の発明によれば、検出回路の検出結果が示す電圧レベルの低下量が基準レベル以下であるか否かを判定する判定回路が備えられているため、判定回路の判定により半導体集積回路の良否判定を容易に行うことができる。
【0083】
請求項8に記載の発明によれば、ICCリークテストを行う際に、アナログ信号である検出回路の検出結果を示す信号が選択回路を介してアナログ/ディジタル変換器に入力してディジタル信号に変換されるため、そのディジタル信号に変換された検出回路の検出結果に基づいて、ICCリークの有無を容易に判定することができる。
【0084】
また、半導体集積回路に備えられたアナログ/ディジタル変換器をテスト回路の一部として流用する構成であるため、半導体集積回路の回路構成の増加を小さく抑えることができる。
【0085】
請求項9に記載の発明によれば、第1のスイッチ回路により電源配線が遮断される際に、降圧回路によって電源配線の電圧レベルを所定量だけ強制的に低下させることができるため、第1のスイッチ回路により電源配線が遮断されてから電源配線の電圧レベルが所定の判定基準レベルまで降下するまでの時間を短縮することができ、ICCリークの有無についての判定を迅速に行うことができる。
【0086】
請求項10に記載の発明によれば、ICCリークテストを行うとき以外は、半導体集積回路のテスト回路を構成する回路のうちの電源供給が必要な回路への電源供給を第2のスイッチ回路によりオフすることができるため、不要な電力消費を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図2】動作クロック信号及び電源制御クロック信号のタイミングチャート及び電源電圧の変化の様子を示す図である。
【図3】動作クロック信号及び電源制御クロック信号のタイミングチャートを示す図である。
【図4】本発明の実施の形態2に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図5】本発明の実施の形態3に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図6】図5のマイクロコンピュータに備えられる機能ブロック選択回路の具体的構成例を示すブロック図である。
【図7】本発明の実施の形態4に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図8】本発明の実施の形態5に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図9】本発明の実施の形態6に係る半導体集積回路のテスト回路が適用されたマイクロコンピュータの要部のブロック図である。
【図10】電源電圧の変化の様子を示す図である。
【図11】本発明の実施の形態7に係る半導体集積回路のテスト回路の要部のブロック図である。
【符号の説明】
1 マイクロコンピュータ、2 電源入力端子、3 電源制御クロック入力端子、4 動作クロック入力端子、5,5a〜5c 電源制御スイッチ、6,6a〜6c インバータ、7,7a〜7c 機能ブロック、8 NAND回路、9 電源配線、10 制御クロック発振回路、11 機能ブロック選択回路、12 ブロック選択レジスタ、13a〜13c NAND回路、14 サンプリング回路、15 コンパレータ、16 判定レジスタ、19 A/D変換器、20 入力切替スイッチ、21 アナログ入力端子、22 電源切替スイッチ、23 VDC(ボルテージ・ダウン・コンバータ)、24 電源制御スイッチ、24a 第2のスイッチ回路、25 インバータ、26 ICCリークテスト回路。
Claims (10)
- 半導体集積回路に設けられ、そのテストに用いられる半導体集積回路のテスト回路において、
半導体集積回路に設けられる機能ブロックへの電源配線に介装され、その電源配線を導通、遮断する第1のスイッチ回路と、
動作クロック信号の立ち上がりエッジから所定タイミングだけ遅れた時点から所定期間が経過するまでの期間だけ、前記第1のスイッチ回路に前記電源配線を導通状態から遮断状態に切り替えさせた後、再び導通させる制御回路と、
を備えることを特徴とする半導体集積回路のテスト回路。 - 請求項1に記載の半導体集積回路のテスト回路において、
前記制御回路は、
外部から入力される電源制御クロック信号に基づいて、前記第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行うことを特徴とする半導体集積回路のテスト回路。 - 請求項2に記載の半導体集積回路のテスト回路において、
前記制御回路は、
入力されるテスト信号による指令に応じてテストモードと通常モードとの間でモード切り替えを行い、前記テストモードでは前記電源制御クロック信号に基づいて前記第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行い、前記通常モードでは前記第1のスイッチ回路を導通状態に保持することを特徴とする半導体集積回路のテスト回路。 - 請求項1に記載の半導体集積回路のテスト回路において、
前記制御回路は、
自ら生成した電源制御クロック信号に基づいて、前記第1のスイッチ回路の導通、遮断の切り替えを行うことを特徴とする半導体集積回路のテスト回路。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体集積回路のテスト回路において、
前記第1のスイッチ回路は、
前記各機能ブロックごとに個別に対応して、その機能ブロックへの電源供給を個別に導通、遮断可能な位置に設けられ、
前記制御回路は、
前記各機能ブロックごとに個別に設けられた前記各第1のスイッチ回路を、個別に導通、遮断制御可能となっていることを特徴とする半導体集積回路のテスト回路。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体集積回路のテスト回路において、
前記電源配線上における前記第1のスイッチ回路と前記機能ブロックとの間の地点における電圧レベルを検出する検出回路をさらに備えることを特徴とする半導体集積回路のテスト回路。 - 請求項6に記載の半導体集積回路のテスト回路において、
前記検出回路の検出結果が示す前記電圧レベルの低下量が基準レベル以下であるか否かを判定する判定回路をさらに備えることを特徴とする半導体集積回路のテスト回路。 - 請求項6に記載の半導体集積回路のテスト回路において、
前記半導体集積回路はアナログ/ディジタル変換器が設けられたものであり、
前記半導体集積回路のテスト回路は、
前記アナログ/ディジタル変換器へのアナログ信号入力のための入力用配線に介装され、その入力用配線を介してアナログ/ディジタル変換器に入力される通常のアナログ信号と、前記検出回路の検出結果を示す信号とのいずれかを選択的に前記アナログ/ディジタル変換器に入力させる選択回路をさらに備えることを特徴とする半導体集積回路のテスト回路。 - 請求項6ないし8のいずれかに記載の半導体集積回路のテスト回路において、
前記第1のスイッチ回路により前記電源配線が遮断される際に、前記電源配線の電圧レベルを強制的に低下させる降圧回路をさらに備えることを特徴とする半導体集積回路のテスト回路。 - 請求項1ないし9のいずれかに記載の半導体集積回路のテスト回路において、
この半導体集積回路のテスト回路を構成する回路のうちの電源供給が必要な回路への電源供給をオン、オフする第2のスイッチ回路をさらに備えることを特徴とする半導体集積回路のテスト回路。
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