JP2004034444A - Manufacturing method of wiring board and squeegee - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板本体の各スルーホール内に充填材を充填して配線基板を製造する方法、及び、それに用いるスキージに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、配線基板としては、ICチップを実装するための多層配線基板などが知られている。
この種の配線基板を製造する際には、基板本体にスルーホール(貫通孔)を形成し、このスルーホール内面に、無電解メッキ処理を施してメッキ層を形成することにより、基板本体両面の配線層を、電気的に接続可能な状態にし、更に、スルーホール内に充填材を充填するのが一般的である。
【0003】
また、スルーホール内に充填材を充填する際には、スルーホールに対応した開口部を有するマスクを基板本体に重ね、そのマスク表面に、スキージ下面を所定の傾斜角度で対向させ、そのスキージ下面とマスク表面との間に、ペースト状の充填材を介在させた状態で、スキージをマスク表面に沿って移動させることにより、マスクの開口部を介してスルーホール内に、充填材を充填するのが一般的である。
【0004】
ただし、スルーホール内に充填材が十分に充填されていないと、上層に配線層を形成することができなかったり、基板本体の強度が劣化し配線基板の信頼性が低下する可能性があるので、スルーホールには、充填材を隙間なく充填する必要がある。
【0005】
このため、従来では、特開2000−183519号公報に記載のように、真空下で充填材をスルーホール内に充填したり、特開2000ー188472号公報に記載のように、スキージ下面のマスク表面に対する傾斜角度を変更することにより、充填材への押圧力を高めて充填材をスルーホール内に充填していた。
【0006】
また、スルーホールの配置密度が高い場合には、充填材を隙間なく充填するためにより高い押圧力で充填材をスルーホール内に押し込む必要があることから、特開2001−177254号公報に記載のように、スルーホールの配置間隔ができるだけ長くなる方向から、スキージを移動させて、スキージ移動方向における見かけ上の配置密度を下げて、充填材を充填していた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年、配線基板の小型化、高密度化が進められるにつれ、スルーホールの配置密度が更に高くなり、上記従来の技法を用いても十分に充填材をスルーホール内に充填することが難しくなってきた。
【0008】
特に、スルーホールが550μm以下の間隔で配置された基板本体においては、充填材が末端まで充填されない所謂未充填のスルーホールが発生する可能性が高く、例えば、上述の特開2001−177254号公報に記載の方法を用いて充填材を充填しようとしても、スルーホールの配置間隔が短すぎるために、従来のような効果を得ることができなかった。尚、図5は、スルーホール15が550μm以下の間隔で配置された基板本体20において、充填材23がスルーホール15の末端まで充填されなかった場合のスルーホール15内の態様を表す説明図である。
【0009】
これに対して、スキージを用いずプレス式で充填材をスルーホールに充填するようにすれば、充填材をスルーホール内に適切に充填することが可能である。しかしながらこのような方法を採用すると、製造工程数が増加し、コスト面での問題が生じる。したがって、スキージを用いた方式で出来るだけ安価に充填材をスルーホール内に適切に充填することが求められる。
【0010】
本発明は、こうした問題に鑑みなされたものであり、スキージを用いた方式で、スルーホール内に適切に充填材を充填することが可能な配線基板の製造方法と、その製造方法で用いるスキージと、を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するためになされた請求項1に記載の発明は、550μm以下の間隔でスルーホールが配列された領域を有する基板本体表面にスキージ下面を対向させつつ、基板本体表面とスキージ下面との間に充填材を介在させて、スキージを基板本体表面に沿って移動させることにより、各スルーホール内に充填材を充填してなる配線基板の製造方法であって、基板本体表面に対向するスキージ下面の基板本体表面への射影成分のスキージ移動方向長さをL1とし、スルーホールが配列された領域のスキージ移動方向長さをL2とした場合に、条件式L1/L2≧2を満足するスキージを用いて、充填材を各スルーホール内に充填することを特徴とする。
【0012】
基板本体表面に対向するスキージ下面の基板本体表面への射影成分のスキージ移動方向長さL1は、スキージ下面が押圧力を充填材に及ぼすことが可能な長さに概ね等しいから、請求項1に記載の配線基板の製造方法のように上記条件式を満足するスキージを用いると、充填材を各スルーホール内に適切に充填することができる。上記条件式を満足するスキージとしては、スルーホールが形成された基板本体表面に対向するスキージ本体の下面に平行な面を有する板状部材を、スキージ本体下端から延設した構成のものや、スキージの厚みを上記条件式を満足するように設定したものが挙げられる。
【0013】
つまり、従来の技法では、スキージ下面の移動方向長さが短く、充填材が十分にスルーホール内に充填されるまで、その充填材に必要な押圧力を及ぼすことができなかったが、請求項1に記載の配線基板の製造方法によれば、スルーホールが配列された領域の長さよりも2倍以上長いスキージを用いて充填材をスルーホール内に充填するため、スルーホール内が充填材で満たされるまで、必要な押圧力を十分充填材に及ぼすことができる。
【0014】
結果、請求項1に記載の配線基板の製造方法を用いれば、従来の生産ラインに大幅な変更を加えることなく、スキージを利用して安価に適切に充填材をスルーホール内に充填することができる。したがって本発明によれば、製品の歩留まりを向上させることができ、安価に信頼性の高い配線基板を提供することができる。
【0015】
尚、スキージ下面の基板本体表面に対する角度は、2度以上30度未満であることが好ましい。
また、請求項1に記載の配線基板の製造方法では、基板本体表面にスルーホールを露出可能な開口部を有するマスクを重ね、所謂スクリーン印刷法で、充填材をスルーホール内に充填してもよいし、マスクを用いずに充填材をスルーホール内に充填してもよい。
【0016】
また、二以上のスルーホール毎にスルーホールを露出可能な開口部を有するマスクを用いて充填材を充填する場合には、請求項2に記載の条件式を満足するスキージを用いて、充填材を充填するのが良い。
請求項2に記載の発明は、550μm以下の間隔でスルーホールが配列された領域を有する基板本体表面に、二以上のスルーホールを露出可能な開口部を有するマスクを重ね、マスク表面にスキージ下面を対向させつつ、マスク表面とスキージ下面との間に充填材を介在させて、スキージをマスク表面に沿って移動させることにより、マスクの開口部を介して基板本体の各スルーホール内に充填材を充填してなる配線基板の製造方法であって、マスク表面に対向するスキージ下面のマスク表面への射影成分のスキージ移動方向長さをL3とし、マスクの開口部のスキージ移動方向長さをL4とした場合に、条件式L3/L4≧2を満足するスキージを用いて、充填材を各スルーホール内に充填することを特徴とする。
【0017】
請求項2に記載のようなマスクを用いて充填材をスルーホール内に充填する場合には、一旦マスクの開口部内に充填材が入ると、その充填材がマスクの径以上に広がらないため、マスクを用いない場合と比較してスキージの押圧力を適切に充填材に伝達することができる。このため、マスク開口部のスキージ移動方向長さL4よりも、スキージ下面のマスク表面への射影成分のスキージ移動方向長さL3が2倍以上長いスキージを用いれば、必要な押圧力を充填材に及ぼすことができ、開口部に包囲された各スルーホールの内部に、充填材を適切に充填することができる。結果、請求項2に記載の配線基板の製造方法によれば、安価に信頼性の高い配線基板を提供することができる。
【0018】
請求項2に記載の上記条件式を満足するスキージとしては、スルーホールが形成された基板本体表面に対向するスキージ本体の下面に平行な面を有する板状部材を、スキージ本体下端から延設した構成のものや、スキージの厚みを上記条件式を満足するように設定したものが挙げられる。
【0019】
この他、請求項3に記載の発明は、アスペクト比が3以上のスルーホールを備える基板本体の各スルーホール内に、上記スキージを用いて、充填材を充填することを特徴とするものである。
請求項3に記載の配線基板の製造方法のように、アスペクト比(即ち、スルーホールの深さ÷スルーホールの直径)が3以上のスルーホールを備える基板本体に対して、請求項1又は請求項2に記載の発明を適用すると、従来と比較して、充填材の充填率、製品の歩留まりなどを向上させることができる。特に、アスペクト比が3以上15未満である場合に、本発明は有効に働き、更に限定すれば、4以上10未満である場合に、本発明は非常に有効に働く。
【0020】
ところで、上記配線基板の製造方法(請求項1〜請求項3)においては、充填材として、熱硬化性樹脂に、無機フィラー、硬化剤、増粘剤、消泡剤等を添加したものを用いることができる。また、熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂を用いることができる。
【0021】
また、上記エポキシ樹脂としては、所謂BP(ビスフェノール)型、PN(フェノールノボラック)型、CN(クレゾールノボラック)型、GA(グリシジルアミン)型のものや、低粘度の脂環式エポキシを用いることができる。特に限定すれば、GA(グリシジルアミン)型、BP(ビスフェノール)型を主体とするエポキシ樹脂を用いることが好ましい。更に言えば、AP(アミノフェノール)型やBPA(ビスフェノールA)型やBPF(ビスフェノールF)型のエポキシ樹脂が、低粘度で耐熱性を備えているため、好ましい。
【0022】
この他、上記無機フィラーとしては、セラミックフィラー、誘電体フィラー、金属フィラー等を用いることができる。特に限定すれば、セラミックフィラーとして、シリカ、アルミナ、タルク、窒化アルミニウム等を用いるのが好ましく、誘電体フィラーとして、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛等を用いるのが好ましい。また、金属フィラーとしては、銅、銀、銀/銅合金等を用いることが好ましい。この他、無機フィラーとしては、ウイスカー等を用いても良い。
【0023】
また、上記硬化剤としては、無水カルボン酸系やアミン系、イミダゾール系などを用いることができる。特に液状の硬化剤を用いると、充填材を低粘度にすることができるので、充填材の充填性を向上させることができる。また、充填材が揮発性物質を多く含むものである場合には、スルーホール内に気泡が発生し易いので、上記配線基板の製造方法では、できる限り揮発性物質を含まない充填材を用いることが好ましい。具体的には、揮発減量割合が1%以下、好ましくは0.5%以下となる充填材を用いるのが良い。
【0024】
また、充填材の粘度が低すぎると、その充填材がスルーホールから垂れ落ちる原因となり、粘度が高すぎると充填材を十分にスルーホール内に充填することができなくなったり、スキージを介した圧力が充填材に十分に伝わらず、充填材が基板又はマスクの上を流れ、スキージに加わる圧力が分散し、スルーホール内への充填材の充填が困難となるので、上記配線基板の製造方法においては、請求項4に記載のように、22°C±2°Cの温度範囲で、ずり速度が21[1/sec]であるときに粘度が15[Pa・s]以上200[Pa・s]以下である充填材を用いるのが良い。請求項4に記載の発明は、上記条件を満足する充填材を、スキージを用いて、基板本体の各スルーホール内に充填することを特徴とするものである。
【0025】
請求項4に記載の配線基板の製造方法によれば、概ね、ずり速度に対応した速度でスキージを移動させて充填材をスルーホール内に充填する場合に、その充填材を適切にスルーホール内に充填することができる。尚、スキージを速く移動させすぎると、充填材をスルーホール内に十分に充填することができなくなり、スキージをゆっくり移動させすぎると、生産性の問題がでてくるから、上記ずり速度に概ね対応した速度でスキージを移動させて、充填材をスルーホール内に充填するのが好ましい。
【0026】
また、請求項1〜請求項4に記載のようにして配線基板を製造する場合には、請求項5に記載のようにしてスキージを構成すると良い。
請求項5に記載の発明は、配線基板製造用の基板本体に形成されたスルーホールに充填材を充填するためのスキージであって、スルーホールが形成された基板本体表面に対向するスキージ本体の下面に平行な面を有する板状部材を、スキージ本体下端から延設したものである。
【0027】
請求項5に記載のようにスキージを構成すると、スキージ本体の大きさを変更をしなくとも、既存のスキージ本体に板状部材を延設する程度で、スキージ下面の長さを自在に変更することができる。したがって、請求項5に記載の発明によれば、請求項1〜請求項4のいずれかに記載の配線基板の製造方法に用いるスキージとして、上記条件式を満足するスキージを、簡単で安価に製造することができる。
【0028】
尚、板状部材は、スキージ本体側面に固定され、該スキージ本体側面に沿ってスキージ本体下面端縁に延びる固定部と、その固定部のスキージ本体下面端縁に対応する位置からスキージ本体の下面に平行な方向に延び、スキージ本体の下面に平行な面を有する本体部と、が一体形成された構成にされていると良い。このように板状部材を構成すれば、その板状部材を固定部でスキージ本体側面にしっかりと固定することができる。この他、板状部材は別体として作製されたものをスキージ本体に固定して構成してもよいが、予めスキージ本体と一体成形により構成することもできる。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例について、図面とともに説明する。尚、図1は、本実施例における配線基板1の製造方法を表す説明図である。
本実施例では、ボールグリッドアレイ(BGA)、ピングリッドアレイ(PGA)などといったタイプのパッケージ製造に用いられるICチップ(半導体集積回路チップ)搭載用の配線基板1の製造方法について説明する。ただし、この種の配線基板を製造する技術は、周知の技術であるため、配線基板1の製造方法に関する全体の工程に関しては、図1を用いて以下に簡単に説明することにする。そして、本発明に特徴的な充填材23の充填方法に関しては、図2以降の図面を用いて詳細に説明することにする。
【0030】
本実施例では、まず最初に、合成樹脂などからなる基体11(詳述すると、本実施例の基体11はビスマレイミドトリアジン樹脂製である。)の両面に銅箔13が形成され、その基体11両面を貫通するスルーホール15が配列された基板本体20を用意する。図1(a)は、その基板本体20の構成を表す断面図である。この図では、基板本体20に複数配列されたスルーホール(図2参照)の内の一つのスルーホール15を採り上げて、その周囲の構成のみを図示する。
【0031】
次に、この銅箔13が形成された基板本体20の両面及びスルーホール15内の側面に銅メッキ21を施し、基板本体20の両面の銅メッキ21をスルーホール15を介して接続する(図1(b))。この後、基板本体20表面及びスルーホール15内面の銅メッキ21を、所謂CZ処理にて表面粗化し、更に充填材23の充填工程を実行する。
【0032】
充填工程では、後述する構成のスキージ40を用いて、スルーホール15内に充填材23を充填する(図1(c))。そして、充填材23を仮硬化し、基板本体表面20を研磨して平坦化する。また更に、充填材23を硬化する。
この後、両面の銅メッキ21上にエッチングレジスト層25を形成し(図1(d))、配線パターンに対応するガラスマスク26を用いて露光処理を施す(図1(e))。また更に、現像処理を施すことにより、エッチングレジスト層25を一部除去する(図1(f))。この後、エッチングレジスト層25上部からエッチング液を用いてエッチング処理を施すことにより、銅メッキ21及びそれより下層の上記銅箔13を一部除去する(図1(g))。そして、残留するエッチングレジスト層25を基板本体20から除去し、銅メッキ21による配線パターンを形成する(図1(h))。
【0033】
また、必要に応じて、上層に絶縁フィルムによる樹脂絶縁層27を形成し、露光、現像により一部の樹脂絶縁層27を除去してビア(孔)を形成し、銅メッキ28を施すことにより、一層目の銅メッキ21に接続するようにして、二層目の配線パターンを形成する。この繰り返しにより多層に配線層を形成すると、本実施例の配線基板1は完成する(図1(i))。
【0034】
さて、充填材23の充填工程(図1(c))は、具体的に、図2に示すようなメタルマスク30を用いて行われる。尚、図2は、メタルマスク30に覆われた基板本体20表面の構成を表す説明図である。
図2に示すように、本実施例で用いられる基板本体20は、スルーホール15がスキージ移動方向に沿って550μm以下の間隔(P1≦550μm)で配列された領域A(図2上図内の一点鎖線で包囲された領域)と、スルーホール15がスキージ移動方向に沿って550μmより大きい間隔(P2>550μm)で配列された領域Bと、を備えている。
【0035】
領域Aは、基板本体20の中央部に位置しており、図2右下に示す領域Aの一部拡大図に示すように、スキージ移動方向に間隔P1で配列された多数(二以上)のスルーホール15を、領域全体に有している。一方、領域Bは、領域Aを除く基板本体20表面の略全域に及んでいる。図2左下図は、領域Bの一部拡大図である。
【0036】
メタルマスク30は、基板本体20の領域A内に位置する全てのスルーホールを露出するための第一開口部31を領域Aに対して一つ備え、更に、基板本体20の領域Bに位置するスルーホール15を露出するための第二開口部33をスルーホール15毎に備えている。
【0037】
各第二開口部33は、スルーホール15の径よりも若干大きく形成されており、メタルマスク30が基板本体20に載置されると、そのスルーホール15周縁を自身周縁で包囲するようにして、スルーホール15を露出する。一方、第一開口部31のスキージ移動方向の長さはL4にされており、第一開口部31は、メタルマスク30が基板本体20に載置されると、領域A全体を自身周縁で包囲して、その領域Aに存在する全てのスルーホール15を外部に露出する。
【0038】
本実施例では、真空吸引装置の付いた台座(図示せず)の上にふせん紙を載置し、基板本体20をその台座の上に載置し、メタルマスク30を基板本体20表面に重ねた後、図3に示すようにして、スルーホール15内に充填材23を充填する。図3は、スキージ40を用いた充填材23の充填方法を示した説明図である。尚、図3では、領域Bのスルーホール15及び領域Bに対応した位置に存在するメタルマスク30の第二開口部33の構成を省略して、その基板本体20断面を示す。
【0039】
本実施例では、まず、メタルマスク30表面にスキージ40の下端に位置する角部411を接触させ、その接触点よりスキージ移動方向に位置するスキージ40の下面をメタルマスク30表面より所定角度(概ね20〜30度)傾斜させた状態にする。このようにするとスキージ40下面とメタルマスク30表面とが互いに対向するので、そのスキージ40下面とメタルマスク30表面との間に充填材23を介在させた状態で、スキージ40をメタルマスク30表面に沿って移動させる。
【0040】
この際、上記接触点よりスキージ移動方向に位置するスキージ40下面のメタルマスク30表面への射影成分のスキージ移動方向長さL3、即ち、スキージ40下面のスキージ移動方向に沿う線分のメタルマスク30表面への射影成分長さL3を、第一開口部31のスキージ移動方向長さL4に対して、2倍以上に設定して、スキージ40を移動させる。即ち、本実施例では、以下に示す条件式(1)を満足するように、スキージ40をメタルマスク30表面に接触させ移動させる。
【0041】
L3/L4≧2 …(1)
上記条件式(1)を満足するようにスキージ40をメタルマスク30表面に沿って移動させると、スキージ40下面が充填材23を下方向に押圧するので、充填材23は、その押圧力によりメタルマスク30の第一開口部31及び第二開口部33を介して各スルーホール15内に流入し、各スルーホール15内に充填される。特に、本実施例では、長さL3が長さL4に対して十分長いことから、充填材23が各スルーホール15の末端に到達するまで、必要な押圧力がスキージ40下面から充填材23に及び、領域A及び領域Bの各スルーホール15内には充填材23が隙間無く満たされる。
【0042】
ここで、上記条件式(1)を満足していない場合、即ち、L3/L4<2の状態で、充填材23をスルーホール15に充填した場合と、上記条件式(1)を満足する(L3/L4≧2)状態で、充填材23をスルーホール15内に充填した場合の実験結果を表1に示す。
【0043】
【表1】
【0044】
表1は、領域Aにおけるスルーホール15のスキージ移動方向の配列間隔P1と、スルーホール15の直径(TH径)と、アスペクト比と、L3/L4の値と、その条件で上記充填工程を行った場合の充填結果との対応関係を示したものである。表1では、スルーホール15内に充填材23が完全に充填されている場合、即ち図1(c)に示すようにスルーホール15の末端まで充填材23が充填されている場合に、充填結果を「OK」と表し、スルーホール15内に充填材23が未充填の場合、即ち図5に示すように、スルーホール15の末端まで充填材23が充填されていない場合に、充填結果を「NG」と表した。尚、スルーホール15内に充填材23が充填されているか否かは、倍率200倍の拡大鏡にて目視判断した。
【0045】
また、この実験においては、熱硬化性樹脂としてビスフェノール型エポキシ樹脂を含み硬化剤としてイミダゾール系硬化剤を含み無機フィラーとしてSiO2を含み粘度が100Pa・sの充填材、無機フィラーとしてSiO2及びCuを含み粘度が32Pa・sの充填材、及び、無機フィラーとしてCuを含み粘度が20Pa・sの充填材を使用した。尚、上記粘度の値は、22°C±2°Cの温度範囲でずり速度が21[1/sec]である時の値である。
【0046】
この他、本実験では、スキージ40の移動時に充填材23が粘度の評価基準となっているずり速度21[1/sec]と略同一の状況下におかれるように、スキージ40の移動速度を3mm/secに設定した。この他、本実験は、スルーホール15の間隔P1が180μm以上550μm以下であり、スルーホール15の直径に対するスルーホール15の深さ(即ち、基板本体20の厚み)を表すアスペクト比が、3以上(詳しくは、3.2以上)である上記構成の基板本体20及びメタルマスク30(尚、メタルマスク30の厚みは150μmである。)を用いて、22°C±2°Cの温度範囲下で行われた。
【0047】
本実験では、L3/L4≦1.6である場合に、未充填のスルーホール15が発生する結果となった。また、L3/L4≧2.5の場合に、スルーホール15を完全に充填材23で満たすことができ、好ましい充填結果を得ることができた。この他、本実験では、L3/L4≧2.5に設定すれば、アスペクト比が3以上(詳しくは、3.2以上6.7以下)である基板に対しても、好ましい充填結果を得られることがわかった。
【0048】
この他、メタルマスク30のパターンを変更し、基板本体20の領域Aに対応する位置に、550μmより大きい間隔で二以上のスルーホール毎にスルーホールを露出可能な複数の開口部を設けて、上記実験と同様に充填材23をスルーホール15内に充填した結果、上記実験と同様に、L3/L4が2以上で、好ましい充填結果を得ることができた。
【0049】
したがって、スルーホール15の配列間隔P1が550μm以下である場合に、L3/L4≧2を満たすようにして上記充填工程を行えば、概ね充填材23をスルーホール15内に適切に充填できることが言える。また、L3/L4≧2に設定して充填工程を行えば、アスペクト比が3以上のスルーホールを備える基板本体であっても、概ね充填材23を各スルーホール15内に適切に充填できることが言える。
【0050】
ところで、上記粘度を示す充填材23を以上の実験で使用したのは以下の理由からである。本実施例のようにしてスキージ40を移動させる場合には、製品の生産性を保持しつつ、充填材23をスルーホール15内に隙間なく充填することが好ましいが、このような目的を達成しようとすると、スキージ40の移動速度が一定範囲に制限される。このスキージ移動速度を基準にすると、その移動速度に対応したずり速度21[1/sec]を粘度の評価基準にするのが好ましく、このために粘度の評価基準をずり速度21[1/sec]としているのである。
【0051】
第二に、充填材23は、スルーホール15内を充填するためのものであるので、スルーホール15から垂れ落ちるほど粘度が低すぎると(具体的には、粘度が15Pa・sであると)、充填材23をスルーホール15に充填した後の基板本体20の取扱いに支障をきたす可能性がある。また、粘度が高すぎると(具体的には、粘度が200Pa・sより大きいと)、充填材23のスルーホール15への充填性を悪化させてしまう。
【0052】
このため、本実施例では、熱硬化性樹脂に、無機フィラーとしてSiO2や、Cuなどを添加し、22°C±2°Cの温度範囲でずり速度が21[1/sec]であるときに15[Pa・s]以上200[Pa・s]以下の粘度を示すようにした充填材23を用いて、上記実験を行っているのである。このような充填材23を用いて充填工程を行えば、上記条件で十分に充填材23をスルーホール15内に充填することができ、安価で信頼性の高い配線基板1を製造することが可能である。尚、表1には示さないが、無機フィラーとしてSiO2を含み粘度が250Pa・sである充填材を用いた場合には、充填結果が「NG」となる実験結果を得た。
【0053】
以上、メタルマスク30を用いて、スルーホール15内に充填材23を充填する場合の配線基板1の製造方法について説明したが、スルーホール15内には、メタルマスク30を用いなくとも充填材23を充填することが可能である。以下では、上記実施例の変形例として、メタルマスク30を用いない場合の充填材23の充填方法について説明する。尚、図4は、変形例における充填材23の充填方法を表した説明図である。変形例では、その特徴的な部分のみを採り上げて説明することにし、上記実施例と同様になされる各工程等に関しての説明は省略することにする。
【0054】
変形例で用いる基板本体201には、スキージ移動方向に550μm以下の間隔P1でスルーホール15が概ね配列された領域の一部に、550μmより大きい間隔P2でスルーホール15が配列されており、これによって、550μm以下の間隔でスルーホールが配列された領域Aが複数が存在している。
【0055】
図4に示すように、変形例では、まず、基板本体201表面にスキージ40下端の角部411を接触させ、その接触点よりスキージ移動方向に位置するスキージ40下面を基板本体201表面より所定角度傾斜させる。そして、互いに対向するスキージ40下面と基板本体201表面との間に充填材23を介在させた状態で、スキージ40を基板本体201表面に沿って移動させる。
【0056】
この際、上記接触点よりスキージ移動方向に位置するスキージ40下面の基板本体201表面への射影成分のスキージ移動方向長さL1を、領域Aのスキージ移動方向長さL2に対して、2倍以上に設定して、スキージ40を移動させる。即ち、変形例では、以下に示す条件式(2)を満たす状態でスキージ40を基板本体20表面に接触させ移動させる。
【0057】
L1/L2≧2 …(2)
上記条件式(2)を満足するようにスキージ40を配置して基板本体201表面を移動させると、長さL1が長さL2に対して十分長いことから、充填材23がスルーホール15の末端に到達するまでの間、必要な押圧力がスキージ40下面から充填材23に及び、各スルーホール15内に、充填材23が隙間無く充填される。
【0058】
ここで、L1/L2<2として充填工程を実施した場合、及び、L1/L2≧2として充填工程を実施した場合の実験結果を表2に示す。尚、実験時の条件は、領域Aにおけるスルーホール15の配列間隔P1、スルーホール15の直径(TH径)及び、アスペクト比などの条件を除いて、概ね表1に結果を示した実験と同じである。
【0059】
【表2】
【0060】
この実験では、L1/L2=0.9である場合に、未充填のスルーホール15が発生する結果となった。また、L1/L2=3.3の場合に、スルーホール15内が完全に充填材23で満たされた状態になり、好ましい充填結果を得ることができた。この他、本実験では、アスペクト比が8以上である基板本体201に対しても、好ましい充填結果を得られることがわかった。また、間隔P1が300μmである基板に対しても、好ましい充填結果を得られることがわかった。
【0061】
したがって、上記表1に示すメタルマスク30を使用した場合の実験結果を考慮に入れて、表2に示すメタルマスク30を使用しない場合の実験結果を評価すれば、メタルマスク30を用いない場合であっても、L1/L2≧2を満足するように充填工程を行うことによって、550μm以下の間隔でスルーホールが配列された基板本体20の各スルーホール15内に、充填材23を適切に充填できることが言える。また、L1/L2≧2に設定すれば、アスペクト比が3以上であっても、充填材23をスルーホール15内に適切に充填できることが言える。
【0062】
以上、配線基板の製造方法について説明したが、次に図3及び図4に示した基板本体20,201のスルーホール15内に充填材23を充填するための上記スキージ40の構成について説明する。
図3及び図4に示すように、スキージ40は、スキージ本体41と、スキージ本体41の側面の固定されたスキージ治具43と、から構成されている。スキージ本体41は、自身の下端部に、基板本体20若しくはメタルマスク30と接触する角部411を有している。
【0063】
スキージ治具43は、概略「く」の字状にされており、スキージ本体41側面に固定され、そのスキージ本体41側面に沿ってスキージ本体下端縁413に延びる固定部431と、その固定部431から折曲して延びる本体部433と、が一体成形された板状部材として構成されている。
【0064】
本体部433は、スキージ本体41下端の上記角部411とスキージ本体下端縁413とを結ぶスキージ本体の下面の延長面に沿って、スキージ本体下端に位置する固定部431の端部から延設された状態にされており、スルーホール15が形成された基板本体20,201表面に対向するスキージ本体41の下面に平行な面を有している。
【0065】
このような構成のスキージ40では、スキージ本体41を変更することなく、スキージ治具43を取り替えるだけで、簡単にスキージ40下面の長さを変更することが可能であり、上記配線基板1の製造方法で示した条件式(1)(2)を満足するスキージ40を簡単且つ安価に製造することができる。
【0066】
以上、本実施例の配線基板1の製造方法及びスキージ40について説明したが、スキージ40を用いて上記条件式(1)若しくは(2)を満足するように、充填工程を行えば、スキージ移動方向におけるスルーホール15の配列間隔P1が550μm以下である基板本体20の該スルーホール15内に、充填材23を適切に充填でき、結果として、信頼性の高い配線基板1を安価にユーザに提供することができる。
【0067】
尚、本発明における二以上のスルーホールを露出可能な開口部は、複数のスルーホール15が配列された領域A全体を露出するメタルマスク30の第一開口部31に相当する。また、本発明のスキージが備える板状部材は、スキージ40が備えるスキージ治具43に相当する。
【0068】
また、本発明の配線基板の製造方法及びスキージは、上記実施例に限定されるものではなく、種々の態様を採ることができる。例えば、上記実施例では、ICチップ搭載用の配線基板の製造方法を採り上げて説明したが、その他の配線基板に、本発明を適用しても構わない。550μm以下の間隔で配列されたスルーホールを有する基板本体を用いて配線基板を製造する場合には、スルーホールのパターンに限定されることなく、上記方法により、安価で信頼性の高い配線基板を製造することが可能である。この他、上記実施例では、スキージ治具43を用いたスキージ40の構成について説明したが、スキージ本体のみからなる従来型スキージの寸法を本発明の条件式に適合するように変更し、そのスキージを用いて配線基板を製造してもよいことは言うまでもない。ただし、従来型スキージを上記条件式に適合するように作製することは、コストアップ等に繋がる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例の配線基板1の製造方法に関する説明図である。
【図2】基板本体20表面及びメタルマスク30の構成を表す説明図である。
【図3】スルーホール15内への充填材23の充填方法を示した説明図である。
【図4】充填材23の充填方法の変形例に関する説明図である。
【図5】充填材23が未充填の状態である場合のスルーホール15内の態様を表した説明図である。
【符号の説明】
1…配線基板、15…スルーホール、20,201…基板本体、23…充填材、30…メタルマスク、31…第一開口部、33…第二開口部、40…スキージ、41…スキージ本体、43…スキージ治具、411…角部、431…固定部、433…本体部[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method of manufacturing a wiring board by filling a filler in each through hole of a board body, and a squeegee used for the method.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as a wiring board, a multilayer wiring board for mounting an IC chip and the like have been known.
When manufacturing this type of wiring board, a through hole (through hole) is formed in the board body, and an electroless plating process is performed on the inner surface of the through hole to form a plating layer, so that both sides of the board body are formed. Generally, the wiring layer is made electrically connectable, and furthermore, a filler is filled in the through hole.
[0003]
When filling the through hole with the filler, a mask having an opening corresponding to the through hole is superimposed on the substrate body, and the lower surface of the squeegee is opposed to the mask surface at a predetermined inclination angle. By moving the squeegee along the mask surface with the paste-like filler interposed between the mask and the mask surface, the filler is filled into the through hole through the opening of the mask. Is common.
[0004]
However, if the through-hole is not sufficiently filled with the filler, it may not be possible to form a wiring layer on the upper layer, or the strength of the board body may be deteriorated and the reliability of the wiring board may be reduced. It is necessary to fill the through hole with a filler without any gap.
[0005]
For this reason, conventionally, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-183519, a filler is filled in a through-hole under vacuum, or as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-188472, a mask on the lower surface of a squeegee is used. By changing the inclination angle with respect to the surface, the pressing force on the filler is increased, and the filler is filled in the through hole.
[0006]
When the arrangement density of the through holes is high, it is necessary to push the filler into the through hole with a higher pressing force in order to fill the filler without gaps. As described above, the squeegee is moved from the direction in which the arrangement interval of the through holes is as long as possible, and the apparent arrangement density in the squeegee moving direction is reduced, and the filler is filled.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, in recent years, as the size and density of wiring boards have been reduced, the arrangement density of through-holes has further increased, and it is difficult to sufficiently fill the through-holes with the filler even by using the above-described conventional technique. It has become.
[0008]
In particular, in a substrate body in which through holes are arranged at intervals of 550 μm or less, a so-called unfilled through hole in which the filler is not filled to the end is highly likely to occur, for example, as described in JP-A-2001-177254 described above. However, even if an attempt was made to fill the filler using the method described in (1), the conventional effect could not be obtained because the arrangement interval of the through holes was too short. FIG. 5 is an explanatory view showing an aspect in the through
[0009]
On the other hand, if the filling material is filled in the through hole by a press method without using a squeegee, the filling material can be appropriately filled in the through hole. However, if such a method is adopted, the number of manufacturing steps increases, and a problem in cost arises. Therefore, it is required to appropriately fill the through-hole with the filler as inexpensively as possible using a squeegee.
[0010]
The present invention has been made in view of such a problem, and in a method using a squeegee, a method of manufacturing a wiring board capable of appropriately filling a filler in a through hole, and a squeegee used in the manufacturing method. , To provide.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the invention according to
[0012]
The length L1 of the squeegee moving direction of the projection component of the lower surface of the squeegee facing the surface of the substrate body onto the surface of the substrate body is substantially equal to the length of the lower surface of the squeegee capable of exerting a pressing force on the filler. When a squeegee that satisfies the above conditional expression is used as in the method for manufacturing a wiring board described above, the filler can be appropriately filled in each through hole. Examples of the squeegee satisfying the above conditional expression include a plate-shaped member having a surface parallel to the lower surface of the squeegee main body facing the surface of the substrate main body having the through hole formed therein and extending from the lower end of the squeegee main body, or a squeegee. Is set so as to satisfy the above conditional expression.
[0013]
In other words, in the conventional technique, the length of the lower surface of the squeegee in the moving direction is short, and a necessary pressing force cannot be applied to the filler until the filler is sufficiently filled in the through hole. According to the method of manufacturing a wiring board described in 1 above, the filler is filled into the through hole using a squeegee that is at least twice as long as the length of the region where the through holes are arranged. Until it is filled, the necessary pressing force can be sufficiently applied to the filler.
[0014]
As a result, by using the method of manufacturing a wiring board according to the first aspect, it is possible to appropriately and inexpensively fill the through-hole with the filler using a squeegee without making a significant change to a conventional production line. it can. Therefore, according to the present invention, the yield of products can be improved, and a highly reliable wiring board can be provided at low cost.
[0015]
Note that the angle of the lower surface of the squeegee with respect to the surface of the substrate body is preferably 2 degrees or more and less than 30 degrees.
In the method for manufacturing a wiring board according to the first aspect, a mask having an opening capable of exposing the through hole is overlapped on the surface of the substrate main body, and the filler is filled in the through hole by a so-called screen printing method. Alternatively, the filler may be filled in the through hole without using a mask.
[0016]
Further, when the filler is filled using a mask having an opening capable of exposing the through hole for every two or more through holes, the squeegee satisfying the conditional expression according to
According to a second aspect of the present invention, a mask having an opening capable of exposing two or more through holes is superimposed on a surface of a substrate body having a region in which through holes are arranged at intervals of 550 μm or less, and a squeegee lower surface is formed on the mask surface. The squeegee is moved along the mask surface by interposing a filler between the mask surface and the lower surface of the squeegee while facing each other, so that the filler fills each through hole of the substrate body through the opening of the mask. Wherein the length of the squeegee moving direction of the projected component of the lower surface of the squeegee facing the mask surface onto the mask surface is L3, and the length of the opening of the mask in the squeegee moving direction is L4. In this case, a filler is filled in each through hole using a squeegee satisfying conditional expression L3 / L4 ≧ 2.
[0017]
In the case where the filler is filled in the through hole using the mask as described in
[0018]
As a squeegee satisfying the above conditional expression according to
[0019]
In addition, the invention according to
As in the method for manufacturing a wiring board according to
[0020]
By the way, in the method for manufacturing a wiring board (claims 1 to 3), a filler obtained by adding an inorganic filler, a curing agent, a thickener, a defoaming agent, or the like to a thermosetting resin is used as a filler. be able to. An epoxy resin can be used as the thermosetting resin.
[0021]
As the epoxy resin, a so-called BP (bisphenol) type, PN (phenol novolak) type, CN (cresol novolak) type, GA (glycidylamine) type, or a low-viscosity alicyclic epoxy may be used. it can. If it is particularly limited, it is preferable to use an epoxy resin mainly composed of a GA (glycidylamine) type and a BP (bisphenol) type. Furthermore, an AP (aminophenol) type, a BPA (bisphenol A) type or a BPF (bisphenol F) type epoxy resin is preferable because it has low viscosity and heat resistance.
[0022]
In addition, a ceramic filler, a dielectric filler, a metal filler, or the like can be used as the inorganic filler. If it is particularly limited, silica, alumina, talc, aluminum nitride, or the like is preferably used as the ceramic filler, and barium titanate, lead titanate, lead zirconate titanate, or the like is preferably used as the dielectric filler. Further, it is preferable to use copper, silver, a silver / copper alloy or the like as the metal filler. In addition, whiskers and the like may be used as the inorganic filler.
[0023]
Further, as the curing agent, carboxylic anhydride-based, amine-based, imidazole-based, and the like can be used. In particular, when a liquid curing agent is used, the filler can have a low viscosity, so that the filling property of the filler can be improved. In addition, when the filler contains a large amount of volatile substances, bubbles are easily generated in the through holes. Therefore, in the method for manufacturing a wiring substrate, it is preferable to use a filler that does not contain volatile substances as much as possible. . Specifically, it is preferable to use a filler having a volatilization loss ratio of 1% or less, preferably 0.5% or less.
[0024]
In addition, if the viscosity of the filler is too low, the filler drips from the through-hole.If the viscosity is too high, the filler cannot be sufficiently filled in the through-hole, or the pressure through the squeegee can be reduced. Is not sufficiently transmitted to the filler, the filler flows over the substrate or the mask, the pressure applied to the squeegee is dispersed, and it becomes difficult to fill the filler into the through holes. As described in
[0025]
According to the method of manufacturing a wiring board according to
[0026]
In the case where the wiring board is manufactured as described in
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a squeegee for filling a filler in a through hole formed in a substrate body for manufacturing a wiring board, wherein the squeegee body faces the surface of the substrate body having the through hole formed therein. A plate-like member having a surface parallel to the lower surface is extended from the lower end of the squeegee main body.
[0027]
When the squeegee is configured as described in
[0028]
The plate-like member is fixed to the side surface of the squeegee main body, and extends to the lower edge of the squeegee main body along the side surface of the squeegee main body. And a main body having a surface parallel to the lower surface of the squeegee main body and extending in a direction parallel to the squeegee main body. With this configuration of the plate-like member, the plate-like member can be firmly fixed to the side surface of the squeegee main body by the fixing portion. In addition, the plate-shaped member may be formed separately from the squeegee main body, but may be formed integrally with the squeegee main body in advance.
[0029]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating a method of manufacturing the
In this embodiment, a method of manufacturing a
[0030]
In the present embodiment, first, copper foils 13 are formed on both surfaces of a base 11 made of a synthetic resin or the like (specifically, the
[0031]
Next, copper plating 21 is applied to both surfaces of the substrate
[0032]
In the filling step, the filling
Thereafter, an etching resist
[0033]
If necessary, a
[0034]
The step of filling the filler 23 (FIG. 1C) is specifically performed using a
As shown in FIG. 2, the
[0035]
The region A is located at the center of the substrate
[0036]
The
[0037]
Each of the
[0038]
In this embodiment, the label paper is placed on a pedestal (not shown) with a vacuum suction device, the
[0039]
In the present embodiment, first, the corner 411 located at the lower end of the
[0040]
At this time, the length L3 of the component projected on the surface of the
[0041]
L3 / L4 ≧ 2 (1)
When the
[0042]
Here, when the above-mentioned conditional expression (1) is not satisfied, that is, when the
[0043]
[Table 1]
[0044]
Table 1 shows that the filling step is performed under the conditions of the arrangement interval P1 of the through
[0045]
Further, in this experiment, a bisphenol-type epoxy resin was used as a thermosetting resin, an imidazole-based curing agent was used as a curing agent, SiO2 was used as an inorganic filler, a filler having a viscosity of 100 Pa · s, and SiO2 and Cu were used as inorganic fillers. A filler having a viscosity of 32 Pa · s and a filler containing Cu as an inorganic filler and having a viscosity of 20 Pa · s were used. The above viscosity value is a value when the shear rate is 21 [1 / sec] in a temperature range of 22 ° C. ± 2 ° C.
[0046]
In addition, in this experiment, the moving speed of the
[0047]
In this experiment, when L3 / L4 ≦ 1.6, unfilled through
[0048]
In addition, the pattern of the
[0049]
Therefore, in the case where the arrangement interval P1 of the through
[0050]
By the way, the
[0051]
Secondly, since the
[0052]
Therefore, in this embodiment, when the thermosetting resin is added with SiO2, Cu, or the like as an inorganic filler, and the shear rate is 21 [1 / sec] in a temperature range of 22 ° C. ± 2 ° C. The above experiment is performed using the
[0053]
As described above, the method of manufacturing the
[0054]
In the substrate main body 201 used in the modified example, the through
[0055]
As shown in FIG. 4, in the modification, first, the corner 411 of the lower end of the
[0056]
At this time, the length L1 in the squeegee moving direction of the component projected on the surface of the substrate body 201 on the lower surface of the
[0057]
L1 / L2 ≧ 2 (2)
When the surface of the substrate main body 201 is moved by disposing the
[0058]
Table 2 shows the experimental results when the filling step was performed with L1 / L2 <2 and when the filling step was performed with L1 / L2 ≧ 2. The conditions at the time of the experiment were almost the same as those of the experiment shown in Table 1, except for the arrangement interval P1 of the through
[0059]
[Table 2]
[0060]
In this experiment, when L1 / L2 = 0.9, unfilled through
[0061]
Therefore, taking into account the experimental results when the
[0062]
The method of manufacturing the wiring board has been described above. Next, the configuration of the
As shown in FIGS. 3 and 4, the
[0063]
The
[0064]
The main body 433 extends from the end of the fixing
[0065]
In the
[0066]
Although the method of manufacturing the
[0067]
In the present invention, the opening that can expose two or more through holes corresponds to the
[0068]
Further, the method of manufacturing a wiring board and the squeegee according to the present invention are not limited to the above-described embodiment, but may employ various aspects. For example, in the above embodiment, a method of manufacturing a wiring board for mounting an IC chip has been described, but the present invention may be applied to other wiring boards. When a wiring board is manufactured using a substrate body having through holes arranged at intervals of 550 μm or less, a low-cost and highly reliable wiring board can be manufactured by the above method without being limited to the pattern of through holes. It is possible to manufacture. In addition, in the above embodiment, the configuration of the
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram relating to a method for manufacturing a
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating a configuration of a surface of a
FIG. 3 is an explanatory view showing a method of filling a
FIG. 4 is an explanatory diagram relating to a modified example of a filling method of the
FIG. 5 is an explanatory view showing an aspect in the through
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記基板本体表面に対向するスキージ下面の前記基板本体表面への射影成分のスキージ移動方向長さをL1とし、前記スルーホールが配列された領域のスキージ移動方向長さをL2とした場合に、条件式L1/L2≧2を満足するスキージを用いて、前記充填材を前記各スルーホール内に充填することを特徴とする配線基板の製造方法。While the lower surface of the squeegee is opposed to the surface of the substrate having a region in which through holes are arranged at intervals of 550 μm or less, a filler is interposed between the surface of the substrate and the lower surface of the squeegee, and the squeegee is placed on the surface of the substrate. By moving along, a method of manufacturing a wiring board filled with a filler in each of the through holes,
When the length of the squeegee moving direction of the projected component of the lower surface of the squeegee facing the surface of the substrate body on the surface of the substrate body is L1, and the length of the squeegee moving direction of the area where the through holes are arranged is L2, A method for manufacturing a wiring board, characterized in that the filler is filled in each of the through holes using a squeegee satisfying a formula L1 / L2 ≧ 2.
前記マスク表面に対向するスキージ下面の前記マスク表面への射影成分のスキージ移動方向長さをL3とし、前記マスクの開口部のスキージ移動方向長さをL4とした場合に、条件式L3/L4≧2を満足するスキージを用いて、前記充填材を前記各スルーホール内に充填することを特徴とする配線基板の製造方法。A mask having an opening through which two or more through holes can be exposed is superimposed on the surface of the substrate body having a region in which through holes are arranged at intervals of 550 μm or less, and the squeegee lower surface is opposed to the mask surface. By filling the filler between the surface and the lower surface of the squeegee and moving the squeegee along the mask surface, the filler is filled into each through hole of the substrate body through the opening of the mask. A method of manufacturing a wiring board, comprising:
When the length of the squeegee moving direction of the projected component of the lower surface of the squeegee facing the mask surface onto the mask surface is L3, and the length of the opening of the mask in the squeegee moving direction is L4, the conditional expression L3 / L4 ≧ 2. A method for manufacturing a wiring board, wherein the filler is filled in each of the through holes using a squeegee satisfying Condition 2.
前記スルーホールが形成された基板本体表面に対向するスキージ本体の下面に平行な面を有する板状部材を、該スキージ本体下端から延設してなることを特徴とするスキージ。A squeegee for filling a filler into a through hole formed in a substrate body for manufacturing a wiring board,
A squeegee characterized in that a plate-like member having a surface parallel to the lower surface of the squeegee main body facing the surface of the substrate main body in which the through hole is formed is extended from a lower end of the squeegee main body.
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