JP2004032199A - マイクロ波結合線路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに平行な第1誘電体121から123と、第1誘電体121と第2誘電体122の間に折り曲げたマイクロ波結合線路104から107と、第2誘電体122と第3誘電体123の間に折り曲げたマイクロ波結合線路109から112を備え、前記2本の線路が互いに電磁界的に結合するように近接し形成している構造において、前記2本の線路の位置が任意の方向にずれた場合において、線路間隔が狭くなる部分と広くなる部分を持ち且つ、前記2本の線路の長さが等しくなる構成とした。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、方向性結合器やフィルタ等に使用されるマイクロ波結合線路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、マイクロ波回路では、結合線路が、バラン、フィルタ回路、平衡型増幅器、平衡型ミキサなどの種々の回路に適用されている。
図11、図12は、従来の1/4波長先端短絡型結合線路を用いたインターデジタル・フィルタの構成を示す図である。
【0003】
図11(a)は、従来のインターデジタル・フィルタの平面図で、
図11(b)は、図11(a)のF1−F1’線についての断面図であり、
図11(c)は、図11(a)のF2−F2’線についての断面図であり、
図11(d)は、図11(a)のF3−F3’線についての断面図であり、
図11(e)は、図11(a)のF4−F4’線についての断面図である。
図12(a)は、図11(b)のF5−F5’線についての断面図であり、
図12(b)は、図11(b)のF6−F6’線についての断面図である。
また、図13、図14は、従来の他の、1/4波長先端短絡型結合線路を用いたインターデジタル・フィルタの構成を示す図である。
【0004】
図13(a)は、もう一つ従来のインターデジタル・フィルタの平面図で、
図13(b)は、図13(a)のG1−G1’線についての断面図であり、
図13(c)は、図13(a)のG2−G2’線についての断面図であり、
図13(d)は、図13(a)のG3−G3’線についての断面図であり、
図13(e)は、図13(a)のG4−G4’線についての断面図である。
図14(a)は、図13(b)のG5−G5’線についての断面図であり、
図14(b)は、図13(b)のG6−G6’線についての断面図である。
【0005】
図11(a)〜図11(e)、図12(a)、図12(b)、図13(a)〜図13(e)、図14(a)、図14(b)において、同一のものについては同一の符号を付している。また、図11(a)、図12(a)、図12(b)、及び図13(a)、図14(a)、図14(b)の平面図において、見えないものについては点線で描いている。
【0006】
図11(a)〜図11(e)、図12(a)、図12(b)に示すように、第1誘電体620上に接地導体601を形成し、前記第1誘電体620と第2誘電体621の間に第1結合線路用ライン導体604〜607、及び信号入出力用ライン導体608を形成し、前記第2誘電体621と第3誘電体622との間に第2結合線路用ライン導体609〜612、及び信号入出力用ライン導体613を形成し、前記第3誘電体622下に接地導体616を形成し、前記第1誘電体620を貫通するスルーホールに充填されたビア導体614を形成し、前記第3誘電体622を貫通するスルーホールに充填されたビア導体615を形成する。
【0007】
また、図12(a)に示すように、前記第1結合線路用ストリップライン604−605−606−607は、前記第1誘電体620と前記第2誘電体621との間に方形渦巻形状で構成されている。
【0008】
すなわち、前記第1結合線路用第1ライン導体604を角623から角624方向に形成し、前記第1結合線路用第2ライン導体605は、前記第1結合線路用第1ライン導体604の一端の角624側に、前記第1結合線路用第1ライン導体604と右90度、すなわち、角624から角625方向に形成し、前記第1結合線路用第3ライン導体606は、前記第1結合線路用第2ライン導体605の前記第1結合線路用第1ライン導体604が接続していない端、すなわち、角625側に、前記第1結合線路用第2ライン導体605と右90度、すなわち、角625から角626方向に形成し、前記第1結合線路用第4ライン導体607は、前記第1結合線路用第3ライン導体606の前記第1結合線路用第2ライン導体605が接続していない端、すなわち、角626側に、前記第1結合線路用第3ライン導体606と左90度、すなわち、角626から角623方向に形成し、また、前記第1結合線路用第4ライン導体607の角623側は、前記第1誘電体620を貫通するスルーホール内に充填されたビア導体614により接地導体601に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体608は、前記スルーホール内に充填されたビア導体614から前記第1結合線路用第3ライン導体606、すなわち、角623から角626方向に、任意の長さをとり、前記第1結合線路用第4ライン導体607と右90度、すなわち、角624から角623方向に形成する。
【0009】
また、図12(b)に示すように、前記第2結合線路用ストリップライン609−610−611−612は、前記第2誘電体621と前記第3誘電体622との間に方形渦巻形状で構成されている。
【0010】
すなわち、前記第2結合線路用第1ライン導体612を角623から角626方向に形成し、前記第2結合線路用第2ライン導体611は、前記第2結合線路用第1ライン導体612の一端の角626側に、前記第2結合線路用第1ライン導体612と左90度、すなわち、角626から角625方向に形成し、前記第2結合線路用第3ライン導体610は、前記第2結合線路用第2ライン導体611の前記第2結合線路用第1ライン導体612が接続していない端の角625側に、前記第2結合線路用第2ライン導体611と左90度、すなわち、角625から角624方向に形成し、前記第2結合線路用第4ライン導体609は、前記第2結合線路用第3ライン導体610の前記第2結合線路用第2ライン導体611が接続していない端、すなわち、角624側に、前記第2結合線路用第3ライン導体610と左90度、すなわち、角624から角623方向に形成し、また、前記第2結合線路用第4ライン導体609の角623側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体615により前記接地導体616に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体613は、前記スルーホール内に充填されたビア導体615から角623から角624方向に任意の長さをとり、前記第2結合線路用第4ライン導体609と右90度、すなわち、角625から角624方向に形成する。
【0011】
以上のように配置された第1結合線路用ストリップライン604−605−606−607と第2結合線路用ストリップライン609−610−611−612とは、前記信号入出力用ライン導体608、613を介して信号の入出力がされ、前記ビア導体614、615を介して接地導体に短絡され、互いに電磁界的に結合して、インターデジタル・フィルタを構成している。
【0012】
また、前記スルーホール内に充填されたビア導体614から前記信号入出力用ライン導体608までの距離と、前記スルーホール内に充填されたビア導体615から前記信号入出力用ライン導体613までの距離とは等しく、前記距離の制御により、入出力インピーダンスを所望の値に取ることができる。
【0013】
次に、上記従来例と異なる配線の1/4波長先端短絡型結合線路を有する、図13、図14に示すようなインターディジタル・フィルタの問題について説明する。
図13(a)〜図13(e)、図14(a)、図14(b)に示すように、第1誘電体723上に接地導体701を形成し、前記第1誘電体723と第2誘電体724との間に第1結合線路用ライン導体704〜707、第2結合線路用ライン導体709〜712、及び信号入出力用ライン導体708を形成し、前記第2誘電体724と第3誘電体725との間に信号入出力用ライン導体713を形成し、前記第3誘電体725下に接地導体719を形成し、前記第2誘電体724を貫通するスルーホールに充填されたビア導体714、716、718を形成し、前記第3誘電体725を貫通するスルーホールに充填されたビア導体715、717を形成する。
【0014】
また図14(a)に示すように、前記第1結合線路用ストリップライン704−705−706−707と、第2結合線路用ストリップライン709−710−711−712とは、前記第1誘電体723と前記第2誘電体723との間に方形渦巻形状で構成されている。
【0015】
すなわち、前記第1結合線路用第1ライン導体707を角726から角729方向に形成し、前記第1結合線路用第2ライン導体706は、前記第1結合線路用第1ライン導体707の一端の角729側に、前記第1結合線路用第1ライン導体707と左90度、すなわち、角729から角728方向に形成し、前記第1結合線路用第3ライン導体705は、前記第1結合線路用第2ライン導体706の前記第1結合線路用第1ライン導体707が接続していない端、すなわち、角728側に、前記第1結合線路用第2ライン導体706と左90度、すなわち、角728から角727方向に形成し、前記第1結合線路用第4ライン導体704は、前記第1結合線路用第3ライン導体705の前記第1結合線路用第2ライン導体706が接続していない端、すなわち、角727側に、前記第1結合線路用第3ライン導体705と左90度、すなわち、角727から角726方向に形成し、また、前記第1結合線路用第4ライン導体704の角726側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体714、715により前記接地導体719に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体708は、前記スルーホール内に充填されたビア導体714、715から前記第1結合線路用第3ライン導体705、すなわち、角726から角727方向に、任意の長さをとり、前記第1結合線路用第4ライン導体704と右90度、すなわち、角729から角726方向に形成する。
【0016】
また、前記第2結合線路用第1ライン導体709を角726から角727方向に形成し、前記第2結合線路用第2ライン導体710は、前記第2結合線路用第1ライン導体709の一端の角727側に、前記第2結合線路用第1ライン導体709と右90度、すなわち、角727から角728方向に形成し、前記第2結合線路用第3ライン導体711は、前記第2結合線路用第2ライン導体710の前記第2結合線路用第1ライン導体709が接続していない端、すなわち、角728側に、前記第2結合線路用第2ライン導体710と右90度、すなわち、角728から角729方向に形成し、前記第2結合線路用第4ライン導体712は、前記第2結合線路用第3ライン導体711の前記第2結合線路用第2ライン導体710が接続していない端、すなわち、角729側に、前記第2結合線路用第3ライン導体711と右90度、すなわち、角729から角726方向に形成し、また、前記第2結合線路用第4ライン導体712の角726側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体716、717により接地導体719に短絡するよう形成する。
【0017】
また、図14(b)に示すように、前記信号入出力用ライン導体713は、前記スルーホール内に充填されたビア導体716、717から前記第2結合線路用第3ライン導体711、すなわち、角726から角729方向に、任意の長さをとり、前記スルーホール内に充填されたビア導体718を介し、前記第2結合線路用第4ライン導体712と左90度、すなわち、角728から角729方向に形成する。
【0018】
以上のように配置された第1結合線路用ストリップライン704−705−706−707と、第2結合線路用ストリップライン709−710−711−712とは、前記信号入出力用ライン導体708及び前記ビア導体718を介して前記信号入出力用ライン導体713で各々信号が入力され、前記ビア導体714、715、716、717を介し前記接地導体719に短絡され、互いに電磁界的に結合して、インターデジタル・フィルタを構成している。
【0019】
また、前記ビア導体714、715から前記ライン導体708までの距離、及び前記ビア導体716、717から前記ビア導体718すなわち前記ライン導体713までの距離の制御により、入出力インピーダンスを所望の値に取ることができる。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、図11、図12に示した従来技術においては、前記第2結合線路用ストリップライン609−610−611−612が製造上の製造誤差などによって角626から角623方向に全体的にずれを生じた場合に、前記第1結合線路用第1ライン導体604と前記第2結合線路用第4ライン導体609との間隔、および前記第1結合線路用第3ライン導体606と前記第2結合線路用第2ライン導体611との間隔が広くなり、2本の結合線路用ストリップラインの結合度は減少する方向に変化する。
【0021】
同様に、前記第2結合線路用ストリップライン609−610−611−612が角623から角624方向に全体的にずれを生じた場合においても、前記第1結合線路用第2ライン導体605と前記第2結合線路用第3ライン導体610との相互間隔、及び前記第1結合線路用第4ライン導体607と前記第2結合線路用第1ライン導体612との相互間隔が広くなり、2本の結合線路用ストリップラインの結合度は減少する方向に変化する。
【0022】
すなわち、前記第1結合線路用ストリップライン604−605−606−607と、第2結合線路用ストリップライン609−610−611−612とは、製造上の製造誤差などによって全体的にずれが生じた場合、結合線路全体としての結合度に変化が生じるため、マイクロ波結合線路の特性が大きく劣化してしまうという問題があった。
【0023】
また、図13、図14に示した従来技術においては、前記第1結合線路用ストリップライン704−705−706−707と、第2結合線路用ストリップライン709−710−711−712とは、製造上の製造誤差などによる互いの配置位置ずれがない場合においても、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが違うため、ライン導体の各々の共振周波数が異なり、マイクロ波結合線路の特性が大きく劣化してしまうという問題がある。
【0024】
ただし、上記のような配線で形成された結合線路において、もし第1結合線路用ストリップライン704−705−706−707は相変わらず第1誘電体723と第2誘電体724との間に形成されるが、第2結合線路用ストリップライン709−710−711−712は第2誘電体724と第3誘電体725との間に形成されて、なお、前記第2結合線路用ストリップラインが製造上の製造誤差などによって角729から角726方向に全体的にずれを生じた場合、前記第1結合線路用第4ライン導体704と前記第2結合線路用第1ライン導体709とはライン導体間の相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化し、前記第1結合線路用第2ライン導体706と前記第2結合線路用第3ライン導体711とはライン導体間の相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化するため、両者の位置ずれによる結合度の変化が相殺されることになる。
【0025】
同様に、前記第2結合線路用ストリップライン709−710−711−712が角726から角727方向に全体的にずれを生じた場合においても、前記第1結合線路用第1ライン導体707と前記第2結合線路用第4ライン導体712とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化し、前記第1結合線路用第3ライン導体705と前記第2結合線路用第2ライン導体710とは前記結合線路用ライン導体間の相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化するため、両者の位置ずれによる結合度の変化が相殺されることになる。
【0026】
ところが、前記2本の結合線路用ストリップラインの製造上の製造誤差などによる互いの配置位置ずれはないが、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが違うため、ライン導体の各々の共振周波数が異なり、マイクロ波結合線路の特性が大きく劣化してしまうという問題があった。
本発明は、上記従来の問題を解決するためになされたもので、製造が容易で、加工精度による特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路を提供することを目的とする。
【0027】
【課題を解決するための手段】
上記従来の課題を解決するために、本発明の請求項1に記載のマイクロ波結合線路は、互いに平行な第1面と第2面とを有する第1誘電体、第2誘電体、及び第3誘電体と、前記第1誘電体の第1面と前記第3誘電体の第2面とに形成された接地導体と、前記第1誘電体の第2面と第2誘電体の第1面との間に、複数本のライン導体を連結してなる第1結合線路と、前記第2誘電体の第2面と第3誘電体の第1面との間に、複数本のライン導体を連結してなる第2結合線路と、を備え、前記第1結合線路と第2結合線路とが互いに電磁界的に結合するように近接し形成してなるマイクロ波結合線路であって、前記第1結合線路の長さと第2結合線路の長さとが等しく、且つ、前記第1結合線路と第2結合線路との相対的な位置が任意の方向においてずれた場合、前記2本の結合線路間の間隔が狭くなる部分と広くなる部分との両方を持つように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置したことを特徴とするものである。
【0028】
また、本発明の請求項2に記載のマイクロ波結合線路は、請求項1に記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路と第2結合線路とが方形渦巻形状を形成し且つ、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが複数の部分で互いに交差するように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置したことを特徴とするものである。
【0029】
本発明の請求項3に記載のマイクロ波結合線路は、請求項1に記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路と第2結合線路とが方形渦巻形状を形成し且つ、前記方形渦巻の複数の角で、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが互いに交差するように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置したことを特徴とするものである。
【0030】
本発明の請求項4に記載のマイクロ波結合線路は、請求項1から請求項3のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路と第2結合線路とが方形渦巻形状を形成し且つ、前記方形渦巻形状の中心から見て、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とは複数箇所で内側と外側とが入れ替わりとなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置したことを特徴とするものである。
【0031】
本発明の請求項5に記載のマイクロ波結合線路は、 請求項1から請求項3のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路と第2結合線路とが方形渦巻形状を形成し且つ、前記方形渦巻形状の中心から見て、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とは1辺毎に内側と外側とが入れ替わりとなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置したことを特徴とするものである。
【0032】
本発明の請求項6に記載のマイクロ波結合線路は、請求項1から請求項3のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路及び第2結合線路を、それぞれ方形渦巻形状に第1ライン導体乃至第4ライン導体の順でライン導体を繋いで形成し、前記第1結合線路の第1ライン導体を、前記第2結合線路の第4ライン導体の外側に配置し、前記第1結合線路の第2ライン導体を、前記第2結合線路の第3ライン導体の内側に配置し、前記第1結合線路の第3ライン導体を、前記第2結合線路の第2ライン導体の外側に配置し、前記第1結合線路の第4ライン導体を、前記第2結合線路の第1ライン導体の内側に配置し、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが平行する各部分のライン導体間の間隔が等しく、且つ前記第1結合線路の長さと前記第2結合線路の長さとが等しくなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置したことを特徴とするものである。
【0033】
本発明の請求項7に記載のマイクロ波結合線路は、請求項6に記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路及び第2結合線路のそれぞれの第4ライン導体の、他のライン導体と接続していない一端が前記接地導体に接続されていることを特徴とするものである。
【0034】
本発明の請求項8に記載のマイクロ波結合線路は、請求項1に記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路と第2結合線路とが方形ジグザグ形状を形成し且つ、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが複数の部分で互いに交差するように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置したことを特徴とするものである。
【0035】
本発明の請求項9に記載のマイクロ波結合線路は、請求項1または請求項8に記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路と第2結合線路とが方形ジグザグ形状を形成し且つ、前記方形ジグザグ形状の中心から見て、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とは複数箇所で内側と外側とが入れ替わりとなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置したことを特徴とするものである。
【0036】
本発明の請求項10に記載のマイクロ波結合線路は、請求項1、又は請求項8に記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路及び第2結合線路を、それぞれ方形ジグザグ形状に第1ライン導体乃至第5ライン導体の順でライン導体を繋いで形成し、前記第1結合線路の第1ライン導体を、前記第2結合線路の第5ライン導体の内側に配置し、前記第1結合線路の第2ライン導体を、前記第2結合線路の第4ライン導体の外側に配置し、前記第1結合線路の第3ライン導体を、前記第2結合線路の第3ライン導体の内側に配置し、前記第1結合線路の第4ライン導体を、前記第2結合線路の第2ライン導体の外側に配置し、前記第1結合線路の第5ライン導体を、前記第2結合線路の第1ライン導体の内側に配置し、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが平行する各部分のライン導体間の間隔が等しく、且つ前記第1結合線路の長さと前記第2結合線路の長さとが等しくなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置したことを特徴とするものである。
【0037】
本発明の請求項11に記載のマイクロ波結合線路は、請求項10に記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路及び第2結合線路のそれぞれの第5ライン導体の、他のライン導体と接続していない一端が前記接地導体に接続されていることを特徴とするものである。
【0038】
本発明の請求項12に記載のマイクロ波結合線路は、互いに平行な第1面と第2面とを有する第1誘電体、第2誘電体、及び第3誘電体と、前記第1誘電体の第1面と前記第3誘電体の第2面とに形成された接地導体と、前記第1誘電体の第2面と第2誘電体の第1面との間に、複数本のライン導体を連結してなる第1結合線路と、前記第1誘電体の第2面と第2誘電体の第1面との間に配置された前記第1結合線路の内側に配置される、複数本のライン導体を連結してなる第2結合線路とを有し、前記第1結合線路と第2結合線路とが互いに電磁界的に結合するように近接し形成してなるマイクロ波結合線路であって、前記第1結合線路と第2結合線路とは共振周波数が等しくなるように、前記第2結合線路と接触する前記第2誘電体の部分に、該第2誘電体を貫通する複数のスルーホール内に充填してなる複数のビア導体を備えたことを特徴とするものである。
【0039】
本発明の請求項13に記載のマイクロ波結合線路は、請求項1から請求項3のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路及び第2結合線路を、それぞれ方形渦巻形状に第1ライン導体乃至第4ライン導体の順でライン導体を繋いで形成し、前記第1結合線路の第1ライン導体を、前記第2結合線路の第1ライン導体の内側に配置し、前記第1結合線路の第2ライン導体を、前記第2結合線路の第4ライン導体の外側に配置し、前記第1結合線路の第3ライン導体を、前記第2結合線路の第3ライン導体の内側に配置し、前記第1結合線路の第4ライン導体を、前記第2結合線路の第2ライン導体の外側に配置し、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが平行する各部分のライン導体間の間隔が等しく、且つ前記第1結合線路の長さと前記第2結合線路の長さとが等しくなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置したことを特徴とするものである。
【0040】
本発明の請求項14に記載のマイクロ波結合線路は、請求項13に記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路及び第2結合線路のそれぞれの第4ライン導体の、他のライン導体と接続していない一端が、前記接地導体に接続されていることを特徴とするものである。
【0041】
本発明の請求項15に記載のマイクロ波結合線路は、請求項1から請求項3のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路及び第2結合線路を、それぞれ方形渦巻形状に第1ライン導体乃至第4ライン導体の順でライン導体を繋いで形成し、前記第1結合線路の第1ライン導体を、前記第2結合線路の第3ライン導体の内側に配置し、前記第1結合線路の第2ライン導体を、前記第2結合線路の第2ライン導体の外側に配置し、前記第1結合線路の第3ライン導体を、前記第2結合線路の第1ライン導体の内側に配置し、前記第1結合線路の第4ライン導体を、前記第2結合線路の第4ライン導体の外側に配置し、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが平行する各部分のライン導体間の間隔が等しく、且つ前記第1結合線路の長さと前記第2結合線路の長さとが等しくなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置したことを特徴とするものである。
【0042】
本発明の請求項16に記載のマイクロ波結合線路は、請求項15に記載のマイクロ波結合線路において、前記第1結合線路及び第2結合線路のそれぞれの第4ライン導体の、他のライン導体と接続していない一端が、前記接地導体に接続されていることを特徴とするものである。
【0043】
本発明の請求項17に記載のマイクロ波結合線路は、請求項7、請求項11、請求項14又は請求項16のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、前記マイクロ波結合線路はフィルタに用いたものである。
【0044】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
以下に、本発明の実施の形態1によるマイクロ波結合線路について、図1、図2を用いて説明する。
図1(a)は、本発明の実施の形態1による、1/4波長先端短絡型結合線路を用いたインターデジタル・フィルタの平面図で、
図1(b)は、図1(a)のA1−A1’線についての断面図であり、
図1(c)は、図1(a)のA2−A2’線についての断面図であり、
図1(d)は、図1(a)のA3−A3’線についての断面図であり、
図1(e)は、図1(a)のA4−A4’線についての断面図である。
図2(a)は図1(b)のA5−A5’線についての断面図であり、
図2(b)は図1(b)のA6−A6’線についての断面図である。
【0045】
図1(a)〜図1(e)、図2(a)及び図2(b)において、同一のものについては同一の符号を付している。また、図1(a)、図2(a)および図2(b)の平面図において、見えないものについては点線で描いている。
【0046】
図1(a)〜図1(e)、図2(a)及び図2(b)に示すように、第1誘電体121上に接地導体101を形成し、前記第1誘電体121と第2誘電体122との間に第1結合線路用ライン導体104〜107、及び信号入出力用ライン導体108を形成し、前記第2誘電体122と第3誘電体123との間に第2結合線路用ライン導体109〜112、及び信号入出力用ライン導体113を形成し、前記第3誘電体123下に接地導体117を形成し、前記第2誘電体122を貫通するスルーホールに充填されたビア導体114を形成し、前記第3誘電体123を貫通するスルーホールに充填されたビア導体115、116を形成する。
【0047】
また、図2(a)に示すように、前記第1結合線路用ストリップライン104−105−106−107は、前記第1誘電体121と前記第2誘電体122との間に方形渦巻形状で形成され且つ、複数の部分で前記第2結合線路用ストリップラインと交差する。
【0048】
すなわち、前記第1結合線路用第1ライン導体104を角124から角125方向に形成し、前記第1結合線路用第2ライン導体105は、前記第1結合線路用第1ライン導体104の一端の角125側に、前記第1結合線路用第1ライン導体104と右90度、すなわち、角125から角126方向に形成し、ライン導体106は、前記第1結合線路用第2ライン導体105の前記第1結合線路用第1ライン導体104が接続していない端、すなわち、角126側に、前記第1結合線路用第2ライン導体105と右90度、すなわち、角126から角127方向に形成し、前記第1結合線路用第4ライン導体107は、前記第1結合線路用第3ライン導体106の前記第1結合線路用第2ライン導体105が接続していない端、すなわち、角127側に、前記第1結合線路用第3ライン導体106と右90度、すなわち、角127から角124方向に形成し、また、前記第1結合線路用第4ライン導体107の角124側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体114、115により前記接地導体117に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体108は、前記スルーホール内に充填されたビア導体114、115から前記第1結合線路用第3ライン導体106、すなわち、角124から角127方向に、任意の長さをとり、前記第1結合線路用第4ライン導体107と左90度、すなわち、角125から角124方向に形成する。
【0049】
また、図2(b)に示すように、前記第2結合線路用ストリップライン109−110−111−112は、前記第2誘電体122と前記第3誘電体123との間に方形渦巻形状で形成され且つ、複数の部分で前記第1結合線路用ストリップラインと交差する。
【0050】
すなわち、前記第2結合線路用第1ライン導体112を角124から角127方向に形成し、前記第2結合線路用第2ライン導体111は、前記第2結合線路用第1ライン導体112の一端の角127側に、前記第2結合線路用第1ライン導体112と左90度、すなわち、角127から角126方向に形成し且つ、前記第1結合線路用第4ライン導体107及び第2ライン導体105と交差し、前記第2結合線路用第3ライン導体110は、前記第2結合線路用第2ライン導体111の前記第2結合線路用第1ライン導体112が接続していない端、すなわち、角126側に、前記第2結合線路用第2ライン導体111と左90度、すなわち、角126から角125方向に形成し、前記第2結合線路用第4ライン導体109は、前記第2結合線路用第3ライン導体110の前記第2結合線路用第2ライン導体111が接続していない端、すなわち、角125側に、前記第2結合線路用第3ライン導体110と左90度、すなわち、角125から角124方向に形成し且つ、前記第1結合線路用第2ライン導体105と交差し、また、前記第2結合線路用第4ライン導体109の角124側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体116により前記接地導体117に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体113は、前記スルーホール内に充填されたビア導体116から、すなわち角124から角125方向に、任意の長さをとり、前記第2結合線路用第4ライン導体109と右90度、すなわち、角126から角125方向に形成する。
【0051】
また、方形渦巻の中心から前記第1結合線路用ストリップライン104−105−106−107と、第2結合線路用ストリップライン112−111−110−109とは、結合線路用ライン導体が交互になるように配置され、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しくなるように、配置される。
【0052】
すなわち、前記第1結合線路用第1ライン導体104は前記第2結合線路用第4ライン導体109の方形渦巻の中心から外側になるよう配置し、前記第1結合線路用第2ライン導体105は前記第2結合線路用第3ライン導体110の方形渦巻の中心から内側になるよう配置し、前記第1結合線路用第3ライン導体106は前記第2結合線路用第2ライン導体111の方形渦巻の中心から外側になるよう配置し、前記第1結合線路用第4ライン導体107は前記第2結合線路用第1ライン導体112の方形渦巻の中心から内側になるよう配置し、前記結合線路用ライン導体104と116との、105と110との、106と111との、107と112との導体間の相互間隔が等しくなるよう配置することにより、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しくなるように配置される。
【0053】
以上のように配置された前記第1結合線路用ストリップライン104−105−106−107と、第2結合線路用ストリップライン112−111−110−109とは、前記信号入出力用ライン導体108、113で信号が各々入出力され、互いに電磁界的に結合し、前記ビア導体114、115、116を介し前記接地導体117に短絡され、前記第1、第2結合線路用ストリップラインの長さが1/4波長となる周波数で共振し、その周波数で帯域通過フィルタとして動作するインターデジタル・フィルタを構成する。
【0054】
また、前記ビア導体114、115から前記信号入出力用ライン導体108までの距離と、前記ビア導体116から前記信号入出力用ライン導体113までの距離とは等しく、前記距離の制御により、入出力インピーダンスを所望の値に取ることができる。
【0055】
上記のように配線して形成された結合線路において、もし、前記第2結合線路用ストリップライン112−111−110−109が、製造上の製造誤差などによって角127から角124方向に全体的に位置ずれが生じた場合、前記第1結合線路用第1ライン導体104と前記第2結合線路用第4ライン導体109との相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化し、前記第1結合線路用第3ライン導体106と前記第2結合線路用第2ライン導体111との相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化するため、両者の位置ズレによる影響が相殺されることになる。
【0056】
同様に、もし前記第2結合線路用ストリップライン112−111−110−109が、角124から角125方向に全体的にずれを生じた場合においても、前記第1結合線路用第2ライン導体105と前記第2結合線路用第3ライン導体110とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化し、前記第1結合線路用第4ライン導体107と前記第2結合線路用第1ライン導体112とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化するため、両者の位置ズレによる影響が相殺されることになる。
【0057】
すなわち、前記第1結合線路用ストリップライン104−105−106−107と、第2結合線路用ストリップライン112−111−110−109とは製造上の製造誤差などによって全体的に配置のずれを生じた場合でも、結合線路全体としての結合度の変化が小さく抑えられ、さらに、前記第1、第2結合線路用ストリップラインの長さが等しいため、共振周波数も等しいことになる。
【0058】
このように、本実施の形態1によるマイクロ波結合線路では、2本の同一長さの結合線路用ストリップラインを方形渦巻形状に折り曲げて異なる誘電体層間に配置し、かつ、前記2本のストリップラインが複数の方形渦巻の角で互いに交差し、方形渦巻の中心から見て、一辺毎に内側と外側とが入れ替わりとなるように、マイクロ波結合線路を配線して形成したので、製造上の製造誤差などによって全体的に配置のずれを生じた場合でも、2本の結合線路の間隔が狭くなる部分と広くなる部分とをそれぞれもつため、結合線路全体としての結合度の変化を小さく抑えることができる。さらに、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しいため、等しい共振周波数を得ることもできる。従って、特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路を提供することができる。
【0059】
なお、本実施の形態1に説明したマイクロ波結合線路において、前記ビア導体116を前記ライン導体112の角124側に配置させるか、または前記ビア導体114、115を前記ライン導体104の角124側に配置させることにより、コムライン結合させるようにしてもよく、マイクロ波結合線路としては、本実施の形態1と同様な効果が得られる。
【0060】
なお、前記第1誘電体121、及び前記接地導体101を無くし、代わりにマイクロストリップラインを用いて結合線路を形成するようにしてもよく、マイクロ波結合線路としては、本実施の形態1と同様な効果が得られる。
【0061】
なお、前記ビア導体114〜116を無くした前記結合線路を、方向性結合器や平衡・不平衡線路を接続するバランに用いるようにしてもよく、本実施の形態1によるインターデジタル・フィルタと同様に、特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路が得られるという効果がある。
【0062】
(実施の形態2)
以下に、本発明の実施の形態2によるマイクロ波結合線路について、図3、図4を用いて説明する。
図3(a)は、本発明の実施の形態2による、1/4波長先端短絡型結合線路を用いたインターデジタル・フィルタの平面図で、
図3(b)は、図3(a)のB1−B1’線についての断面図であり、
図3(c)は、図3(a)のB2−B2’線についての断面図であり、
図3(d)は、図3(a)のB3−B3’線についての断面図であり、
図3(e)は、図3(a)のB4−B4’線についての断面図である。
図4(a)は、図3(b)のB5−B5’線についての断面図であり、
図4(b)は、図3(b)のB6−B6’線についての断面図である。
【0063】
図3(a)〜図3(e)、図4(a)及び図4(b)において、同一のものについては同一の符号を付している。また、図3(a)、図4(a)および図4(b)の平面図において、見えないものについては点線で描いている。
【0064】
図3(a)〜図3(e)、図4(a)及び図4(b)に示すように、第1誘電体223上に接地導体201を形成し、前記第1誘電体223と第2誘電体224との間に第1結合線路用ライン導体204〜208、及び入出力用ライン導体209を形成し、前記第2誘電体224と第3誘電体225との間に第2結合線路用ライン導体210〜214、及び入出力用ライン導体215を形成し、前記第3誘電体225下に接地導体219を形成し、前記第2誘電体224を貫通するスルーホールに充填されたビア導体216を形成し、前記第3誘電体225を貫通するスルーホールに充填されたビア導体217、218を形成する。
【0065】
また、図4(a)に示すように、前記第1結合線路用ストリップライン204−205−206−207−208は、前記第1誘電体223と前記第2誘電体224との間に方形ジグザグ形状で形成され且つ、複数の部分で前記第2結合線路用ストリップラインと交差する。
【0066】
すなわち、前記第1結合線路用第1ライン導体204を角226から角229方向に形成し、前記第1結合線路用第2ライン導体205は、前記第1結合線路用第1ライン導体204の一端の角229側に、前記第1結合線路用第1ライン導体204と左90度、すなわち、角226から角227方向に形成し、前記第1結合線路用第3ライン導体206は、前記第1結合線路用第2ライン導体205の前記第1結合線路用第1ライン導体204が接続していない端、すなわち、角227側に、前記第1結合線路用第2ライン導体205と右90度、すなわち、角227から角228方向に形成し、前記第1結合線路用第4ライン導体207は、前記第1結合線路用第3ライン導体206の前記第1結合線路用第2ライン導体205が接続していない端、すなわち、角228側に、前記第1結合線路用第3ライン導体206と右90度、すなわち、角228から角229方向に形成し、前記第1結合線路用第5ライン導体208は、前記第1結合線路用第4ライン導体207の前記第1結合線路用第3ライン導体206が接続していない端、すなわち、角229側に、前記第1結合線路用第4ライン導体207と左90度、すなわち、角226から角229方向に形成し、また、前記第1結合線路用第5ライン導体208の角229側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体216、217により前記接地導体219に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体209は、前記スルーホール内に充填されたビア導体216、217から前記第1結合線路用第4ライン導体207、すなわち、角229から角226方向に、任意の長さをとり、前記第1結合線路用第5ライン導体208と右90度、すなわち、角227から角226方向に形成する。
【0067】
また、図4(b)に示すように、前記第2結合線路用ストリップライン214−213−212−211−210は、前記第2誘電体224と前記第3誘電体225との間に方形ジグザグ形状で形成され且つ、複数の部分で前記第1結合線路用ストリップラインと交差する。
【0068】
すなわち、前記第2結合線路用第1ライン導体214を角229から角226方向に形成し、前記第2結合線路用第2ライン導体213は、前記第2結合線路用第1ライン導体214の一端の角226側に、前記第2結合線路用第1ライン導体214と右90度、すなわち、角229から角228方向に形成し且つ、前記第1結合線路用第3ライン導体206と交差し、前記第2結合線路用第3ライン導体212は、前記第2結合線路用第2ライン導体213の前記第2結合線路用第1ライン導体214が接続していない端、すなわち、角228側に、前記第2結合線路用第2ライン導体213と左90度、すなわち、角228から角227方向に形成し、前記第2結合線路用第4ライン導体211は、前記第2結合線路用第3ライン導体212の前記第2結合線路用第2ライン導体213が接続していない端、すなわち、角227側に、前記第1結合線路用第3ライン導体206と左90度、すなわち、角227から角226方向に形成し且つ、前記第1結合線路用第3ライン導体206と交差し、前記第2結合線路用第5ライン導体210は、前記第2結合線路用第4ライン導体211の前記第2結合線路用第3ライン導体212が接続していない端、すなわち、角226側に、前記第2結合線路用第4ライン導体211と右90度、すなわち、角229から角226方向に形成し、また、前記第2結合線路用第5ライン導体210の角226側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体218により前記接地導体219に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体215は、前記スルーホール内に充填されたビア導体218から前記第2結合線路用第4ライン導体211、すなわち、角226から角229方向に、任意の長さをとり、前記第2結合線路用第5ライン導体210と左90度、すなわち、角227から角226方向に形成する。
【0069】
また、方形ジグザグ形状の中心から前記第1結合線路用ストリップライン204−205−206−207−208と、第2結合線路用ストリップライン214−213−212−211−210とは、結合線路用ライン導体が交互になるように配置され、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しくなるように、配置される。
【0070】
すなわち、前記第1結合線路用第1ライン導体204は前記第2結合線路用第5ライン導体210の方形ジグザグ形状の中心から内側になるよう配置し、前記第1結合線路用第2ライン導体205は前記第2結合線路用第4ライン導体211の方形ジグザグ形状の中心から外側になるよう配置し、前記第1結合線路用第3ライン導体206は前記第2結合線路用第3ライン導体212の方形ジグザグ形状の中心から内側になるよう配置し、前記第1結合線路用第4ライン導体207は前記第2結合線路用第2ライン導体213の方形ジグザグ形状の中心から外側になるよう配置し、前記第1結合線路用第5ライン導体208は前記第2結合線路用第1ライン導体214の方形ジグザグ形状の中心から内側になるよう配置し、前記結合線路用ライン導体204と210との、205と211との、206と212との、207と213との、208と214との導体間の相互ずれが全部等しくなるよう配置することにより、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しくなるよう配置される。
【0071】
以上のように配置された前記第1結合線路用ストリップライン204−205−206−207−208と、結合線路用ストリップライン第2214−213−212−211−210とは、前記信号入出力用ライン導体209、215で信号が入出力され、前記ビア導体216、217、218を介し前記接地導体219に短絡され、互いに電磁界的に結合して、インターデジタル・フィルタを構成している。
【0072】
また、前記ビア導体216、217から前記信号入出力用ライン導体209までの距離と、前記ビア導体218から前記結合線路用ライン導体202までの距離とは等しく、前記距離の制御により、入出力インピーダンスを所望の値に取ることができる。
【0073】
上記のように配線して形成された結合線路において、もし、前記第2結合線路用ストリップライン214−213−212−211−210が製造上の製造誤差などによって角229から角226方向に全体的にずれを生じた場合に、前記第1結合線路用第2ライン導体205と前記第2結合線路用第4ライン導体211とはライン導体間の相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化し、前記第1結合線路用第4ライン導体207と第2結合線路用第2ライン導体213とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化するため、両者の位置ズレによる結合度への影響が互いに相殺されることになる。
【0074】
同様に、前記第2結合線路用ストリップライン214−213−212−211−210が角226から角227方向に全体的にずれを生じた場合においても、前記第1結合線路用第3ライン導体206と第2結合線路用第3ライン導体212とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化し、前記第1結合線路用第1ライン導体204と第2結合線路用第5ライン導体210と、及び第1結合線路用第5ライン導体208と第2結合線路用第1ライン導体214とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化するため、両者の位置ずれによる結合度への影響が互いに相殺されることになる。
【0075】
すなわち、前記第1結合線路用ストリップライン204−205−206−207−208と、第2結合線路用ストリップライン214−213−212−211−210が製造上の製造誤差などによって全体的にずれを生じた場合でも、結合線路全体としての結合度の変化が小さく抑えられると同時に、且つ前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しいため、共振周波数も等しいことになる。
【0076】
このように、本実施の形態2によるマイクロ波結合線路では、2本の同一長さの結合線路用ストリップラインを方形ジグザグ形状に折り曲げて異なる誘電体層間に配置し、かつ、前記2本のストリップラインが複数の方形渦巻の角で互いに交差するように、マイクロ波結合線路を配線して形成したので、製造上の製造誤差などによって全体的に配置のずれを生じた場合でも、2本の結合線路の間隔が狭くなる部分と広くなる部分とをそれぞれもつため、結合線路全体としての結合度の変化を小さく抑えることができる。さらに、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しいため、等しい共振周波数を得ることもできる。従って、特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路を提供することができる。
【0077】
なお、本実施の形態2に説明したマイクロ波結合線路において、前記ビア導体218を前記ライン導体216の角229側に配置させるか、または前記ビア導体216、217を前記ライン導体204の角226側に配置させることにより、コムライン結合させるようにしてもよく、マイクロ波結合線路としては、本実施の形態2と同様な効果が得られる。
【0078】
なお、前記第1誘電体223、及び前記接地導体201を無くし、代わりにマイクロストリップラインを用いて結合線路を形成するようにしてもよく、マイクロ波結合線路としては、本実施の形態2と同様な効果が得られる。
【0079】
なお、前記ビア導体216〜218を無くした前記結合線路を、方向性結合器や平衡・不平衡線路を接続するバランに用いるようにしてもよく、本実施の形態2によるインターデジタル・フィルタと同様に、特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路が得られるという効果がある。
【0080】
(実施の形態3)
以下に、本発明の実施の形態3によるマイクロ波結合線路について、図5、図6を用いて説明する。
図5(a)は本発明の実施3の形態による、1/4波長先端短絡型結合線路を用いたインターデジタル・フィルタの平面図で、
図5(b)は、図5(a)のC1−C1’線についての断面図であり、
図5(c)は、図5(a)のC2−C2’線についての断面図であり、
図5(d)は、図5(a)のC3−C3’線についての断面図であり、
図5(e)は、図5(a)のC4−C4’線についての断面図である。
図6(a)は、図5(b)のC5−C5’線についての断面図であり、
図6(b)は、図5(b)のC6−C6’線についての断面図である。
【0081】
図5(a)〜図5(e)、図6(a)及び図6(b)において、同一のものについては同一の符号を付している。また、図5(a)、図6(a)および図6(b)の平面図において、見えないものについては点線で描いている。
【0082】
図5(a)〜図5(e)、図6(a)及び図6(b)に示すように、第1誘電体348上に接地導体301を形成し、前記第1誘電体348と第2誘電体349との間に第1結合線路用ライン導体304〜307、第2結合線路用ライン導体309〜311、及び信号入出力用ライン導体308を形成し、前記第2誘電体349と第3誘電体350の間に信号入出力用ライン導体313を形成し、前記第3誘電体350下に接地導体344を形成し、前記第2誘電体349を貫通するスルーホールに充填されたビア導体314、316、318〜343を形成し、前記第3誘電体350を貫通するスルーホールに充填されたビア導体315、317を形成する。
【0083】
また、図6(a)に示すように、前記第1結合線路用ストリップライン307−306−305−304と、第2結合線路用ストリップライン309−310−311−312とは、前記第1誘電体348と前記第2誘電体349との間に方形渦巻形状で形成され、かつ前記第2結合線路用ストリップライン309−310−311−312の下にある前記第2誘電体349を貫通する前記スルーホール内に充填されたビア導体319〜343が形成されている。
【0084】
すなわち、前記第1結合線路用第1ライン導体307を角351から角354方向に形成し、前記第1結合線路用第2ライン導体306は、前記第1結合線路用第1ライン導体307の一端の角354側に、前記第1結合線路用第1ライン導体307と左90度、すなわち、角354から角353方向に形成し、前記第1結合線路用第3ライン導体305は、前記第1結合線路用第2ライン導体306の前記第1結合線路用第1ライン導体307が接続していない端、すなわち、角353側に、前記第1結合線路用第2ライン導体306と左90度、すなわち、角353から角352方向に形成し、前記第1結合線路用第4ライン導体304は、前記第1結合線路用第3ライン導体305の前記第1結合線路用第2ライン導体306が接続していない端、すなわち、角352側に、前記第1結合線路用第3ライン導体305と左90度、すなわち、角352から角351方向に形成し、また、前記第1結合線路用第4ライン導体304の角351側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体314、315により前記接地導体344に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体308は、前記スルーホール内に充填されたビア導体314、315から前記第1結合線路用第3ライン導体305、すなわち、角351から角352方向に、任意の長さをとり、前記第1結合線路用第4ライン導体304と右90度、すなわち、角354から角351方向に形成する。
【0085】
また、前記第2結合線路用第1ライン導体309を角351から角352方向に形成し、前記第2結合線路用第1ライン導体309下の前記第2誘電体349に前記ビア導体319から325を形成し、前記第2結合線路用第2ライン導体310は、前記第2結合線路用第1ライン導体309の一端の角352側に、前記第2結合線路用第1ライン導体309と右90度、すなわち、角352から角353方向に形成し、前記第2結合線路用第2ライン導体310下の前記第2誘電体349にビア導体326から332を形成し、前記第2結合線路用第3ライン導体311は、前記第2結合線路用第2ライン導体310の前記第2結合線路用第1ライン導体309が接続していない端、すなわち、角353側に、前記第2結合線路用第2ライン導体310と右90度、すなわち、角353から角354方向に形成し、前記第2結合線路用第3ライン導体311下の前記第2誘電体349にビア導体333から339を形成し、前記第2結合線路用第4ライン導体312は、前記第2結合線路用第3ライン導体311の前記第2結合線路用第2ライン導体310が接続していない端、すなわち、角354側に、前記第2結合線路用第3ライン導体311と右90度、すなわち、角354から角351方向に形成し、前記第2結合線路用第4ライン導体312下の前記第2誘電体349にビア導体340から343を形成し、前記第2結合線路用第4ライン導体312の角351側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体316、317により前記接地導体344に短絡するよう形成する。
【0086】
また、図6(b)に示すように、前記信号入出力用ライン導体313は、前記スルーホール内に充填されたビア導体316、317から前記第2結合線路用第3ライン導体311、すなわち、角351から角354方向に、任意の長さをとり、前記スルーホール内に充填されたビア導体318を介し、前記第2結合線路用第4ライン導体312と左90度、すなわち、角353から角354方向に形成されている。
【0087】
以上のように配置された前記第1結合線路用ストリップライン307−306−305−304と、第2結合線路用ストリップライン309−310−311−312とは、前記信号入出力用ライン導体308及び前記ビア導体318を介して前記信号入出力用ライン導体313で各々の信号が入出力され、前記ビア導体314、315、316、317を介し前記接地導体344に短絡され、互いに電磁界的に結合して、インターデジタル・フィルタを構成している。
【0088】
また、前記ビア導体314、315から前記ライン導体308までの距離と、前記スルーホール内に充填されたビア導体316から前記スルーホール内に充填されたビア導体318、すなわち前記ライン導体313までの距離との制御によって、入出力インピーダンスを所望の値に取ることができる。
【0089】
また、前記第2結合線路用ストリップライン309−310−311−312に前記スルーホール内に充填されたビア導体319〜343を配置することにより、前記第1結合線路用ストリップライン307−306−305−304と、第2結合線路用ストリップライン309−310−311−312との実効波長が等しくなる。
【0090】
これは、前記ビア導体319〜343が設けられることにより、電磁波が前記第2結合線路用ストリップライン309−310−311−312に沿って伝搬するのではなく、前記スルーホール内に充填されたビア導体に沿って伝搬するため、実効波長が長くなり、見かけ上の線路長が短くなるためである。
すなわち、図5のように前記第2結合線路用ストリップライン309−310−311−312下に前記ビア導体319〜343を配置する場合、ライン導体の各々の共振周波数は等しくなる。
【0091】
このように、本実施の形態3によるマイクロ波結合線路では、物理的に長さの異なる2本の結合線路用ストリップラインを方形渦巻形状に折り曲げて同一の誘電体層間に配置し、かつ、方形渦巻形状の中心から見て、長いストリップラインが短いストリップラインの外側になるように配置し、2本の結合線路用ストリップラインの実効波長が等しくなるように内側の短いストリップラインの下側にある第2誘電体に複数のスルーホールを設けてビア導体を充填して、マイクロ波結合線路を配置して形成したので、2本の結合線路用ストリップラインの実効波長が等しいため、等しい共振周波数を得ることができる。また、2本の結合線路用ストリップラインを同一の誘電導体層間に配置したので、製造上の製造誤差などによって全体的に配置のずれが生じにくいというメリットがある。
【0092】
ただし、上記のような配線で形成された結合線路において、もし第1結合線路用ストリップライン304−305−306−307は相変わらず第1誘電体348と第2誘電体349との間に形成されるが、第2結合線路用ストリップライン309−310−311−312は第2誘電体349と第3誘電体350との間に形成されて、なお、前記第2結合線路用ストリップラインが製造上の製造誤差などによって角354から角351方向に全体的にずれを生じた場合、前記第1結合線路用第4ライン導体304と前記第2結合前路用第1ライン導体309とはライン導体間の相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化し、前記第1結合線路用第2ライン導体306と前記第2結合線路用第3ライン導体311とはライン導体間の相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化するため、両者の位置ずれによる結合度の変化が相殺されることになる。
【0093】
同様に、前記第2結合線路用ストリップライン309−310−311−312が角351から角352方向に全体的にずれを生じた場合においても、前記第1結合線路用第1ライン導体307と前記第2結合線路用第4ライン導体312とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化し、前記第1結合線路用第3ライン導体305と前記第2結合線路用第2ライン導体310とは前記結合線路用ライン導体間の相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化するため、両者の位置ずれによる結合度の変化が相殺されることになる。さらに、前記ビア導体319〜343を配置する場合、ライン導体の各々の共振周波数は等しくなる。
【0094】
なお、前記ビア導体は319〜343は、前記2本の結合線路用ストリップラインの共振周波数が等しくなるよう配置し、ビア導体の数はこの限りではない。さらに、ビア導体の配置は、等間隔でなくても有効である。
なお、前記第1誘電体348と前記接地導体301との間に誘電体を配置し、前記ビア導体を前記第2結合線路用ストリップラインの上側に配置しても有効である。
【0095】
なお、本実施の形態3に説明したマイクロ波結合線路において、前記ビア導体316、317を前記ライン導体309の角351側に配置させるか、または前記ビア導体314、315を前記ライン導体307の角351側に配置させることにより、コムライン結合させるようにしてもよく、マイクロ波結合線路としては、本実施の形態3と同様な効果が得られる。
【0096】
なお、前記第1誘電体348と、前記接地導体301とを無くし、代わりにマイクロストリップラインを用いて結合線路を形成するようにしてもよく、マイクロ波結合線路としては、本実施の形態3と同様な効果が得られる。
【0097】
なお、前記ビア導体314〜317を無くした前記結合線路を、方向性結合器や平衡・不平衡線路を接続するバランに用いるようにしてもよく、本実施の形態3によるインターデジタル・フィルタと同様に、特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路が得られるという効果がある。
【0098】
(実施の形態4)
以下に、本発明の実施の形態4によるマイクロ波結合線路について、図7、図8を用いて説明する。
図7(a)は、本発明の実施の形態4による、1/4波長先端短絡型結合線路を用いたフィルタの平面図で、
図7(b)は、図7(a)のD1−D1’線についての断面図であり、
図7(c)は、図7(a)のD2−D2’線についての断面図であり、
図7(d)は、図7(a)のD3−D3’線についての断面図であり、
図7(e)は、図7(a)のD4−D4’線についての断面図である。
図8(a)は、図7(b)のD5−D5’線についての断面図であり、
図8(b)は、図7(b)のD6−D6’線についての断面図である。
【0099】
図7(a)〜図7(e)、図8(a)及び図8(b)において、同一のものについては同一の符号を付している。また、図7(a)、図8(a)および図8(b)の平面図において、見えないものについては点線で描いている。
【0100】
図7(a)〜図7(e)、図8(a)及び図8(b)に示すように、第1誘電体424上に接地導体401を形成し、前記第1誘電体424と第2誘電体425との間に第1結合線路用ライン導体404〜407、及び信号入出力用ライン導体408を形成し、前記第2誘電体425と第3誘電体426との間に第2結合線路用ライン導体409〜412、及び信号入出力用ライン導体413を形成し、前記第3誘電体426下に接地導体417を形成し、前記第2誘電体425を貫通するスルーホールに充填されたビア導体414を形成し、前記第3誘電体426を貫通するスルーホールに充填されたビア導体415、416を形成する。
【0101】
また、図8(a)に示すように、前記第1結合線路用ストリップライン404−405−406−407は、前記第1誘電体424と前記第2誘電体425との間に方形渦巻形状で形成され且つ、複数の部分で前記第2結合線路用ストリップラインと交差する。
【0102】
すなわち、前記第1結合線路用第1ライン導体404を角429から角430方向に形成し、前記第1結合線路用第2ライン導体405は、前記第1結合線路用第1ライン導体404の一端の角430側に、前記第1結合線路用第1ライン導体404と右90度、すなわち、角430から角427方向に形成し、前記第1結合線路用第3ライン導体406は、前記第1結合線路用第2ライン導体405の前記第1結合線路用第1ライン導体404が接続していない端、すなわち、角427側に、前記第1結合線路用第2ライン導体405と右90度、すなわち、角427から角428方向に形成し、前記第1結合線路用第4ライン導体407は、前記第1結合線路用第3ライン導体406の前記第1結合線路用第2ライン導体405が接続していない端、すなわち、角428側に、前記第1結合線路用第3ライン導体406と右90度、すなわち、角428から角429方向に形成し、また、前記第1結合線路用第4ライン導体407の角429側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体414、415により接地導体417に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体408は、前記スルーホール内に充填されたビア導体414、415から前記第1結合線路用第3ライン導体406、すなわち、角429から角428方向に、任意の長さをとり、前記第1結合線路用第4ライン導体407と右90度、すなわち、角427から角428方向に形成する。
【0103】
また、図8(b)に示すように、前記第2結合線路用ストリップライン409−410−411−412は、前記第2誘電体425と前記第3誘電体426との間に方形渦巻形状で形成され且つ、複数の部分で前記第1結合線路用ストリップラインと交差する。
【0104】
すなわち、第2結合線路用第1ライン導体409を角430から角429方向に形成し、前記第2結合線路用第2ライン導体410は、前記第2結合線路用第1ライン導体409の一端の角429側に、前記第2結合線路用第1ライン導体409と左90度、すなわち、角429から角428方向に形成し且つ、前記第1結合線路用第3ライン導体406と交差し、前記第2結合線路用第3ライン導体411は、前記第2結合線路用第2ライン導体410の前記第2結合線路用第1ライン導体409が接続していない端、すなわち、角428側に、前記第2結合線路用第2ライン導体410と左90度、すなわち、角428から角427方向に形成し、前記第2結合線路用第4ライン導体412は、前記第2結合線路用第3ライン導体411の前記第2結合線路用第2ライン導体410が接続していない端、すなわち、角427側に、前記第2結合線路用第3ライン導体411と左90度、すなわち、角427から角430方向に形成し且つ、前記第1結合線路用第3、第1ライン導体406、404と交差し、また、前記第2結合線路用第4ライン導体412の角430側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体416により前記接地導体417に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体413は、前記スルーホール内に充填されたビア導体416から角430から角427方向に任意の長さをとり、前記第2結合線路用第4ライン導体412と右90度、すなわち、角428から角427方向に形成する。
【0105】
また、方形渦巻の中心から前記第1結合線路用ストリップライン404−405−406−407の結合線路用ライン導体と、第2結合線路用ストリップライン409−410−411−412の結合線路用ライン導体とが交互になるように、かつ前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しくなるよう配置する。
【0106】
すなわち、前記第1結合線路用第1ライン導体404は前記第2結合線路用第1ライン導体409の方形渦巻の中心から内側になるよう配置し、前記第1結合線路用第2ライン導体405は前記第2結合線路用第4ライン導体412の方形渦巻の中心から外側になるよう配置し、前記第1結合線路用第3ライン導体406は前記第2結合線路用第3ライン導体411の方形渦巻の中心から内側になるよう配置し、前記第1結合線路用第4ライン導体407は前記第2結合線路用第2ライン導体410の方形渦巻の中心から外側に配置し、前記結合線路用ライン導体404と409との、405と412との、406と411との、407と410との導体相互間隔が等しくなるよう配置することにより、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しくなるよう配置される。
【0107】
以上のように配置された前記第1結合線路用ストリップライン404−405−406−407と、第2結合線路用ストリップライン409−410−411−412とは、前記信号入出力用ライン導体408、413で各々の信号が入出力され、前記ビア導体414、415、416を介し前記接地導体417に短絡され、互いに電磁界的に結合して、フィルタを構成している。
【0108】
前記ビア導体414、415から前記信号入出力用ライン導体408までの距離と、前記ビア導体416から前記信号入出力用ライン導体413までの距離とは等しく、前記距離の制御により、入出力インピーダンスを所望の値に取ることができる。
【0109】
上記のように配線して形成された結合線路において、もし、前記第2結合線路用ストリップライン409−410−411−412が製造上の製造誤差などによって角430から角427方向に全体的にずれを生じた場合に、前記第1結合線路用第1ライン導体404と前記第2結合線路用第1ライン導体409とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化し、前記第1結合線路用第3ライン導体406と前記第2結合線路用第3ライン導体411とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化するため、両者の変化による結合度への影響が互いに相殺されることになる。
【0110】
同様に、前記第2結合線路用ストリップライン409−410−411−412が角427から角428方向に全体的にずれを生じた場合においても、前記第1結合線路用第2ライン導体405と前記第2結合線路用第4ライン導体412とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化し、前記第1結合線路用第4ライン導体407と前記第2結合線路用第2ライン導体410とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化するため、両者の変化による結合度への影響が互いに相殺されることになる。
【0111】
以上より、前記2本の結合線路用ストリップライン404−405−406−407、409−410−411−412が製造上の製造誤差などによって全体的にずれを生じた場合でも、結合線路全体としての結合度の変化が小さく抑えられると同時に、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しいため、共振周波数も等しいことになる。
【0112】
このように、本実施の形態4によるマイクロ波結合線路では、2本の同一長さの結合線路用ストリップラインを方形渦巻形状に折り曲げて異なる誘電体層間に配置し、かつ、前記2本のストリップラインが複数の方形渦巻の角で互いに交差し、方形渦巻の中心から見て、一辺毎に内側と外側とが入れ替わりとなるように、マイクロ波結合線路を配線して形成したので、製造上の製造誤差などによって全体的に配置のずれを生じた場合でも、2本の結合線路の間隔が狭くなる部分と広くなる部分とをそれぞれもつため、結合線路全体としての結合度の変化を小さく抑えることができる。さらに、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しいため、等しい共振周波数も得ることができる。従って、特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路を提供することができる。
【0113】
なお、本実施の形態4に説明したマイクロ波結合線路において、前記第1誘電体424と、前記接地導体401とを無くし、代わりにマイクロストリップラインを用いて結合線路を形成するようにしても良く、マイクロ波結合線路としては、本実施の形態4と同様な効果が得られる。
【0114】
なお、前記ビア導体414〜416を無くした前記結合線路を、方向性結合器や平衡・不平衡線路を接続するバランに用いるようにしてもよく、本実施の形態4によるインターディジタル・フィルタと同様に、特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路が得られるという効果がある。
【0115】
(実施の形態5)
以下に、本発明の実施の形態5によるマイクロ波結合線路について、図9、図10を用いて説明する。
図9(a)は、本発明の実施の形態5による、1/4波長先端短絡型結合線路を用いたフィルタの平面図で、
図9(b)は、図9(a)のE1−E1’線についての断面図であり、
図9(c)は、図9(a)のE2−E2’線についての断面図であり、
図9(d)は、図9(a)のE3−E3’線についての断面図であり、
図9(e)は、図9(a)のE4−E4’線についての断面図である。
図10(a)は、図9(b)のE5−E5’線についての断面図であり、
図10(b)は、図9(b)のE6−E6’線についての断面図である。
【0116】
図9(a)〜図9(e)、図10(a)及び図10(b)において、同一のものについては同一の符号を付している。また、図9(a)、図10(a)および図10(b)の平面図において、見えないものについては点線で描いている。
【0117】
図9(a)〜図9(e)、図10(a)及び図10(b)に示すように、第1誘電体522上に接地導体501を形成し、前記第1誘電体522と第2誘電体523との間に第1結合線路用ライン導体504〜507、及び信号入出力用ライン導体508を形成し、前記第2誘電体523と第3誘電体524との間に第2結合線路用ライン導体509〜512、及び信号入出力用ライン導体513を形成し、前記第3誘電体524下に接地導体517を形成し、前記第2誘電体523を貫通するスルーホールに充填されたビア導体514を形成し、前記第3誘電体524を貫通するスルーホールに充填されたビア導体515、516を形成する。
【0118】
また、図10(a)に示すように、前記第1結合線路用ストリップライン504−505−506−507は、前記誘電体522と前記誘電体523の間に方形渦巻形状で形成され且つ、複数の部分で前記第2結合線路用ストリップラインと交差する。
【0119】
すなわち、前記第1結合線路用第1ライン導体504を角525から角526方向に形成し、前記第1結合線路用第2ライン導体505は、前記第1結合線路用第1ライン導体504の一端の角526側に、前記第1結合線路用第1ライン導体504と右90度、すなわち、角526から角527方向に形成し、前記第1結合線路用第3ライン導体506は、前記第1結合線路用第2ライン導体505の前記第1結合線路用第1ライン導体504が接続していない端、すなわち、角527側に、前記第1結合線路用第2ライン導体505と右90度、すなわち、角527から角528方向に形成し、前記第1結合線路用第4ライン導体507は、前記第1結合線路用第3ライン導体506の前記第1結合線路用第2ライン導体505が接続していない端、すなわち、角528側に、前記第1結合線路用第3ライン導体506と右90度、すなわち、角528から角525方向に形成し、また、前記第1結合線路用第4ライン導体507の角525側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体514、515により前記接地導体517に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体508は、前記スルーホール内に充填されたビア導体514、515から前記第1結合線路用第3ライン導体506、すなわち、角525から角528方向に、任意の長さをとり、前記第1結合線路用第4ライン導体507と左90度、すなわち、角527から角528方向に形成する。
【0120】
また、図10(b)に示すように、前記第2結合線路用ストリップライン509−510−511−512は、前記誘電体523と前記誘電体524との間に方形渦巻形状で形成され且つ、複数の部分で前記第1結合線路用ストリップラインと交差する。
【0121】
すなわち、前記第2結合線路用第1ライン導体509を角528から角527方向に形成し、前記第2結合線路用第2ライン導体510は、前記第2結合線路用第1ライン導体509の一端の角527側に、前記第2結合線路用第1ライン導体509と左90度、すなわち、角527から角526方向に形成し且つ、前記第1結合線路用第3ライン導体506、第1ライン導体504と交差し、前記第2結合線路用第3ライン導体511は、前記第2結合線路用第2ライン導体510の前記第2結合線路用第1ライン導体509が接続していない端、すなわち、角526側に、前記第2結合線路用第2ライン導体510と左90度、すなわち、角526から角525方向に形成し、前記第2結合線路用第4ライン導体512は、前記第2結合線路用第3ライン導体511の前記第2結合線路用第2ライン導体510が接続していない端、すなわち、角525側に、前記第2結合線路用第3ライン導体511と左90度、すなわち、角525から角528方向に形成し且つ、前記第1結合線路用第3ライン導体506と交差し、また、前記第2結合線路用第4ライン導体512の角528側は、前記スルーホール内に充填されたビア導体516により前記接地導体517に短絡するよう形成し、前記信号入出力用ライン導体513は、前記スルーホール内に充填されたビア導体516から角528から角525方向に任意の長さをとり、前記第2結合線路用第4ライン導体512と右90度、すなわち、角526から角525方向に形成する。
【0122】
また、方形渦巻の中心から前記第1結合線路用ストリップライン504−505−506−507の結合線路用ライン導体と、第2結合線路用ストリップライン509−510−511−512の結合線路用ライン導体とが交互になるように、且つ、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しくなるように配置する。
【0123】
すなわち、前記第1結合線路用第1ライン導体504は前記第2結合線路用第3ライン導体511の方形渦巻の中心から内側になるよう配置し、前記第1結合線路用第2ライン導体505は前記第2結合線路用第2ライン導体510の方形渦巻の中心から外側になるよう配置し、前記第1結合線路用第3ライン導体506は前記第2結合線路用第1ライン導体509の方形渦巻の中心から内側になるよう配置し、前記第1結合線路用第4ライン導体507は前記第2結合線路用第4ライン導体512の方形渦巻の中心から外側になるよう配置し、前記結合線路用ライン導体504と511との、505と510との、506と509との、507と512との導体相互間隔が等しくなるよう配置することにより、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しくなるように配置される。
【0124】
以上のように配置された前記第1結合線路用ストリップライン504−505−506−507と、第2結合線路用ストリップライン509−510−511−512とは、前記ビア導体514、515、516を介し接地導体517に短絡され、互いに電磁界的に結合して、フィルタを構成している。
【0125】
また、前記ビア導体514、515から前記信号入出力用ライン導体508の距離と前記ビア導体516から前記信号入出力用ライン導体513の距離とは等しく、前記距離の制御により、入出力インピーダンスを所望の値に取ることができる。
【0126】
上記のように配線して形成された結合線路において、もし、前記第2結合線路用ストリップライン509−510−511−512が製造上の製造誤差などによって角528から角525方向に全体的にずれを生じた場合に、前記第1結合線路用第1ライン導体504と前記第2結合線路用第3ライン導体511とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化し、前記第1結合線路用第3ライン導体506と前記第2結合線路用第1ライン導体509とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化するため、両者の間隔変化による結合度への影響が互いに相殺されることになる。
【0127】
同様に、前記第2結合線路用ストリップライン509−510−511−512が角525から角526方向に全体的に位置ずれを生じた場合においても、前記第1結合線路用第2ライン導体505と前記第2結合線路用第2ライン導体510とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が狭くなり、結合度が増加する方向に変化し、前記第1結合線路用第4ライン導体507と前記第2結合線路用第4ライン導体512とは結合線路用ライン導体間の相互間隔が広くなり、結合度は減少する方向に変化するため、両者の間隔変化による結合度への影響が互いに相殺されることになる。
【0128】
このように、本実施の形態5によるマイクロ波結合線路では、2本の同一長さの結合線路用ストリップラインを方形渦巻形状に折り曲げて異なる誘電体層間に配置し、かつ、前記2本のストリップラインが方形渦巻の複数の角で互いに交差し、方形渦巻の中心から見て、複数の箇所で内側と外側とが入れ替わりとなるように、マイクロ波結合線路を配線して形成したので、製造上の製造誤差などによって全体的に配置のずれを生じた場合でも、2本の結合線路の間隔が狭くなる部分と広くなる部分とをそれぞれもつため、結合線路全体としての結合度の変化を小さく抑えることができると同時に、前記2本の結合線路用ストリップラインの長さが等しくなるように形成されているため、等しい共振周波数を得ることもできる。従って、特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路を提供することができる。
【0129】
なお、本実施の形態5に説明したマイクロ波結合線路において、前記誘電体522と、前記接地導体501を無くし、代わりにマイクロストリップラインを用いて結合線路を形成するようにしても良く、マイクロ波結合線路としては、本実施の形態5と同様な効果が得られる。
【0130】
なお、前記ビア導体514〜516を無くした前記結合線路を、方向性結合器や平衡・不平衡線路を接続するバランに用いるようにしてもよく、本実施の形態5によるフィルタと同様に、特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路が得られるという効果がある。
【0131】
【発明の効果】
以上のように、本発明の請求項1に係るマイクロ波結合線路によれば、第1結合線路用ラインと第2結合線路用ラインとを異なる誘電体層間に設け、且つ2本の線路長が等しく、第1結合線路用ラインと第2結合線路用ラインとが相互に位置ズレを生じた場合、2本の線路間の間隔は広くなる部分と狭くなる部分とをそれぞれもつよう、マイクロ波結合線路を形成するようにしたので、小型化のためにストリップ状の結合線路用ライン導体を折り曲げて製造するとき、製造上の加工誤差による2本の結合線路の中心導体間の間隔や、相互の位置ずれが発生した場合、前記間隔が広くなり結合度が小さくなる部分と、前記間隔が狭くなり結合度が大きくなる部分との両方が存在し、マイクロ波結合線路全体としての結合度の変化を小さく抑えると同時に、2本の線路長が等しく形成されていて、2本の線路が共通の共振周波数を持つことになるため、特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路を提供することができるという効果がある。
【0132】
また、本発明の請求項2から請求項11、請求項13から請求項16のいずれかに係るマイクロ波結合線路によれば、第1結合線路用ラインの長さと第2結合線路用ラインの長さとが等しく、且つ第1結合線路用ラインと第2結合線路用ラインとが相互に位置ズレを生じた場合、2本の線路間の間隔は広くなる部分と狭くなる部分とをそれぞれもつよう、マイクロ波結合線路を形成するようにしたので、製造過程においての結合線路の位置ずれによるマイクロ波結合線路全体としての結合度の変化を小さく抑えると同時に、2本の線路長が等しく形成されていて、2本の線路が共通の共振周波数を持つことになるため、特性の劣化の少ないマイクロ波結合線路を提供することができるという効果がある。
【0133】
また、本発明の請求項12に係るマイクロ波結合線路によれば、見かけ上の長さが異なる2本の結合線路用ラインを同一の誘電体層間に形成し、且つ長い結合線路用ラインが短い結合線路用ラインを囲むように長い結合線路用ラインを短い結合線路用ラインの外側に配置すると同時に、2本の結合線路用ラインの実効波長が等しくなるように短い結合線路用ラインの上側また下側にある誘電体に複数のスルーホールを設けてビア導体を充填して、マイクロ波結合線路を形成するようにしたので、2本の結合線路用ラインの実効波長が等しいため、等しい共振周波数を得ることができるという効果がある。また、2本の結合線路用ラインを同一の誘電体層間に配置したので、製造上の誤差によって全体的な線路の位置ずれが生じにくいというメリットもある。そのため、特性の劣化の小さいマイクロ波結合線路を提供することができる。
【0134】
また、本発明の請求項17に係るマイクロ波結合線路によれば、特性の優れたマイクロ波結合線路をフィルタに使用したので、特性の優れたフィルタを得ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における1/4波長先端短絡型結合線路を用いたインターデジタル・フィルタを示すものであり、図1(a)は上から見た平面図で、図1(b)は図1(a)のA1−A1’線についての断面図であり、図1(c)は図1(a)のA2−A2’線についての断面図であり、図1(d)は図1(a)のA3−A3’線についての断面図であり、図1(e)は図1(a)のA4−A4’線についての断面図である。
【図2】図2(a)は図1(b)のA5−A5’線についての断面図であり、図2(b)は図1(b)のA6−A6’線についての断面図である。
【図3】本発明の実施の形態2における1/4波長先端短絡型結合線路を用いたインターデジタル・フィルタを示すものであり、図3(a)は上から見た平面図で、3(b)は図3(a)のB1−B1’線についての断面図であり、3(c)は図3(a)のB2−B2’線についての断面図であり、3(d)は図3(a)のB3−B3’線についての断面図であり、3(e)は図3(a)のB4−B4’線についての断面図である。
【図4】図4(a)は図3(b)のB5−B5’線についての断面図であり、4(b)は図3(b)のB6−B6’線についての断面図である。
【図5】本発明の実施の形態3における1/4波長先端短絡型結合線路を用いたインターデジタル・フィルタを示すものであり、図5(a)は上から見た平面図で、図5(b)は図5(a)のC1−C1’線についての断面図であり、図5(c)は図5(a)のC2−C2’線についての断面図であり、図5(d)は図5(a)のC3−C3’線についての断面図であり、図5(e)は図5(a)のC4−C4’線についての断面図である。
【図6】図6(a)は図5(b)のC5−C5’線についての断面図であり、図6(b)は図5(b)のC6−C6’線についての断面図である。
【図7】本発明の実施の形態4における1/4波長先端短絡型結合線路を用いたフィルタを示すものであり、図7(a)は上から見た平面図で、図7(b)は図7(a)のD1−D1’線についての断面図であり、図7(c)は図7(a)のD2−D2’線についての断面図であり、図7(d)は図7(a)のD3−D3’線についての断面図であり、図7(e)は図7(a)のD4−D4’線についての断面図である。
【図8】図8(a)は図7(b)のD5−D5’線についての断面図であり、図8(b)は図7(b)のD6−D6’線についての断面図である。
【図9】本発明の実施の形態5における1/4波長先端短絡型結合線路を用いたフィルタを示すものであり、図9(a)は上から見た平面図で、図9(b)は図9(a)のE1−E1’線についての断面図であり、図9(c)は図9(a)のE2−E2’線についての断面図であり、図9(d)は図9(a)のE3−E3’線についての断面図であり、図9(e)は図9(a)のE4−E4’線についての断面図である。
【図10】図10(a)は図9(b)のE5−E5’線についての断面図であり、図10(b)は図9(b)のE6−E6’線についての断面図である。
【図11】従来例の1/4波長先端短絡型結合線路を用いたインターデジタル・フィルタを示すものであり、図11(a)は従来例のインターデジタル・フィルタの平面図で、図11(b)は図11(a)のF1−F1’線についての断面図であり、図11(c)は図11(a)のF2−F2’線についての断面図であり、図11(d)は図11(a)のF3−F3’線についての断面図であり、図11(e)は図11(a)のF4−F4’線についての断面図である。
【図12】図12(a)は図11(b)のF5−F5’線についての断面図であり、図12(b)は図11(b)のF6−F6’線についての断面図である。
【図13】
従来例の1/4波長先端短絡型結合線路を用いたインターデジタル・フィルタを示すものであり、図13(a)は従来例のインターデジタル・フィルタの平面図で、図13(b)は図13(a)のG1−G1’線についての断面図であり、図13(c)は図13(a)のG2−G2’線についての断面図であり、図13(d)は図13(a)のG3−G3’線についての断面図であり、図13(e)は図13(a)のG4−G4’線についての断面図である。
【図14】図14(a)は図13(b)のG5−G5’線についての断面図であり、図14(b)は図13(b)のG6−G6’線についての断面図である。
【符号の説明】
101、117〜120、201、219〜222、301、344〜347、401、417〜421、501、517〜521、601、616〜619、701、719〜722 接地導体
102、103、202、203、302、303、402、403、502、503、602、603、702、703 信号入出力用の端面電極
104〜107、109〜112、204〜208、210〜214、304〜307、309〜312、404〜407、409〜412、504〜507、509〜512、604〜607、609〜612、704〜707、709〜712 結合線路用ライン導体
108、113、209、215、308、313、408、413、508、513、608、613、708、713 信号入出力線路用ライン導体
114〜116、216〜218、314〜343、414〜416、514〜516、614、615、714〜718 ビア導体
121〜123、223〜225、348〜350、424〜426、522〜524、620〜622、723〜725 誘電体
124〜127、226〜229、351〜354、427〜430、525〜528、623〜326、726〜729 角
Claims (17)
- 互いに平行な第1面と第2面とを有する第1誘電体、第2誘電体、及び第3誘電体と、前記第1誘電体の第1面と前記第3誘電体の第2面とに形成された接地導体と、前記第1誘電体の第2面と第2誘電体の第1面との間に、複数本のライン導体を連結してなる第1結合線路と、前記第2誘電体の第2面と第3誘電体の第1面との間に、複数本のライン導体を連結してなる第2結合線路と、を備え、前記第1結合線路と第2結合線路とが互いに電磁界的に結合するように近接し形成してなるマイクロ波結合線路であって、
前記第1結合線路の長さと第2結合線路の長さとが等しく、且つ、前記第1結合線路と第2結合線路との相対的な位置が任意の方向においてずれた場合、前記2本の結合線路間の間隔が狭くなる部分と広くなる部分との両方を持つように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置した、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項1に記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路と第2結合線路とが方形渦巻形状を形成し且つ、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが複数の部分で互いに交差するように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置した、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項1に記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路と第2結合線路とが方形渦巻形状を形成し且つ、前記方形渦巻の複数の角で、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが互いに交差するように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置した、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路と第2結合線路とが方形渦巻形状を形成し且つ、前記方形渦巻形状の中心から見て、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とは複数箇所で内側と外側とが入れ替わりとなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置した、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路と第2結合線路とが方形渦巻形状を形成し且つ、前記方形渦巻形状の中心から見て、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とは1辺毎に内側と外側とが入れ替わりとなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置した、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路及び第2結合線路を、それぞれ方形渦巻形状に第1ライン導体乃至第4ライン導体の順でライン導体を繋いで形成し、
前記第1結合線路の第1ライン導体を、前記第2結合線路の第4ライン導体の外側に配置し、
前記第1結合線路の第2ライン導体を、前記第2結合線路の第3ライン導体の内側に配置し、
前記第1結合線路の第3ライン導体を、前記第2結合線路の第2ライン導体の外側に配置し、
前記第1結合線路の第4ライン導体を、前記第2結合線路の第1ライン導体の内側に配置し、
前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが平行する各部分のライン導体間の間隔が等しく、且つ前記第1結合線路の長さと前記第2結合線路の長さとが等しくなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置した、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項6に記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路及び第2結合線路のそれぞれの第4ライン導体の、他のライン導体と接続していない一端が前記接地導体に接続されている、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項1に記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路と第2結合線路とが方形ジグザグ形状を形成し且つ、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが複数の部分で互いに交差するように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置した、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項1または請求項8に記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路と第2結合線路とが方形ジグザグ形状を形成し且つ、前記方形ジグザグ形状の中心から見て、前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とは複数箇所で内側と外側とが入れ替わりとなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置した、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項1、又は請求項8に記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路及び第2結合線路を、それぞれ方形ジグザグ形状に第1ライン導体乃至第5ライン導体の順でライン導体を繋いで形成し、
前記第1結合線路の第1ライン導体を、前記第2結合線路の第5ライン導体の内側に配置し、
前記第1結合線路の第2ライン導体を、前記第2結合線路の第4ライン導体の外側に配置し、
前記第1結合線路の第3ライン導体を、前記第2結合線路の第3ライン導体の内側に配置し、
前記第1結合線路の第4ライン導体を、前記第2結合線路の第2ライン導体の外側に配置し、
前記第1結合線路の第5ライン導体を、前記第2結合線路の第1ライン導体の内側に配置し、
前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが平行する各部分のライン導体間の間隔が等しく、且つ前記第1結合線路の長さと前記第2結合線路の長さとが等しくなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置した、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項10に記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路及び第2結合線路のそれぞれの第5ライン導体の、他のライン導体と接続していない一端が前記接地導体に接続されている、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 互いに平行な第1面と第2面とを有する第1誘電体、第2誘電体、及び第3誘電体と、前記第1誘電体の第1面と前記第3誘電体の第2面とに形成された接地導体と、前記第1誘電体の第2面と第2誘電体の第1面との間に、複数本のライン導体を連結してなる第1結合線路と、前記第1誘電体の第2面と第2誘電体の第1面との間に配置された前記第1結合線路の内側に配置される、複数本のライン導体を連結してなる第2結合線路とを有し、前記第1結合線路と第2結合線路とが互いに電磁界的に結合するように近接し形成してなるマイクロ波結合線路であって、
前記第1結合線路と第2結合線路とは共振周波数が等しくなるように、前記第2結合線路と接触する前記第2誘電体の部分に、該第2誘電体を貫通する複数のスルーホール内に充填してなる複数のビア導体を備えた、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路及び第2結合線路を、それぞれ方形渦巻形状に第1ライン導体乃至第4ライン導体の順でライン導体を繋いで形成し、
前記第1結合線路の第1ライン導体を、前記第2結合線路の第1ライン導体の内側に配置し、
前記第1結合線路の第2ライン導体を、前記第2結合線路の第4ライン導体の外側に配置し、
前記第1結合線路の第3ライン導体を、前記第2結合線路の第3ライン導体の内側に配置し、
前記第1結合線路の第4ライン導体を、前記第2結合線路の第2ライン導体の外側に配置し、
前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが平行する各部分のライン導体間の間隔が等しく、且つ前記第1結合線路の長さと前記第2結合線路の長さとが等しくなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置した、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項13に記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路及び第2結合線路のそれぞれの第4ライン導体の、他のライン導体と接続していない一端が、前記接地導体に接続されている、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路及び第2結合線路を、それぞれ方形渦巻形状に第1ライン導体乃至第4ライン導体の順でライン導体を繋いで形成し、
前記第1結合線路の第1ライン導体を、前記第2結合線路の第3ライン導体の内側に配置し、
前記第1結合線路の第2ライン導体を、前記第2結合線路の第2ライン導体の外側に配置し、
前記第1結合線路の第3ライン導体を、前記第2結合線路の第1ライン導体の内側に配置し、
前記第1結合線路の第4ライン導体を、前記第2結合線路の第4ライン導体の外側に配置し、
前記第1結合線路のライン導体と第2結合線路のライン導体とが平行する各部分のライン導体間の間隔が等しく、且つ前記第1結合線路の長さと前記第2結合線路の長さとが等しくなるように、該第1結合線路と第2結合線路とを配置した、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項15に記載のマイクロ波結合線路において、
前記第1結合線路及び第2結合線路のそれぞれの第4ライン導体の、他のライン導体と接続していない一端が、前記接地導体に接続されている、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。 - 請求項7、請求項11、請求項14又は請求項16のいずれかに記載のマイクロ波結合線路において、
前記マイクロ波結合線路は、フィルタに用いた、
ことを特徴とするマイクロ波結合線路。
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---|---|---|---|---|
KR101464930B1 (ko) * | 2014-07-09 | 2014-11-26 | 한밭대학교 산학협력단 | 광대역 특성을 갖는 소형 브랜치라인 커플러 |
US8963379B2 (en) | 2006-07-14 | 2015-02-24 | Aurora Office Equipment Co., Ltd. Shanghai | Paper shredder control system responsive to touch-sensitive element |
CN115275554A (zh) * | 2021-04-29 | 2022-11-01 | 中国电子科技集团公司第三十六研究所 | 一种3dB定向耦合器 |
-
2002
- 2002-06-24 JP JP2002183381A patent/JP2004032199A/ja active Pending
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