JP2004020340A - 内部寸法測定装置 - Google Patents

内部寸法測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2004020340A
JP2004020340A JP2002174703A JP2002174703A JP2004020340A JP 2004020340 A JP2004020340 A JP 2004020340A JP 2002174703 A JP2002174703 A JP 2002174703A JP 2002174703 A JP2002174703 A JP 2002174703A JP 2004020340 A JP2004020340 A JP 2004020340A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
reflecting mirror
slit light
imaging device
inspected
dimension measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002174703A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3929361B2 (ja
Inventor
Hideo Niwa
丹羽 英夫
Osamu Suzuki
鈴木 理
Masami Sugisaka
杉坂 正美
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ryoei Engineering Co Ltd
Original Assignee
Ryoei Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ryoei Engineering Co Ltd filed Critical Ryoei Engineering Co Ltd
Priority to JP2002174703A priority Critical patent/JP3929361B2/ja
Publication of JP2004020340A publication Critical patent/JP2004020340A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3929361B2 publication Critical patent/JP3929361B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

【課題】円筒孔等の被検査体の寸法を非接触で計測することができる内部寸法測定装置を目的とするものである。
【解決手段】被検査体内部へ挿入自在としたスリット光用反射鏡15により被検査体の外方に配置された光源装置14から放出されるスリット光を被検査体内部の被測定部位に案内するとともに、被検査体内部へ挿入自在とした撮像装置用反射鏡16によりスリット光が照射される被測定部位を相対的に交差する方向から写した像を被検査体の外方に配置された撮像装置8に反射投影し、撮影された画像データに基づいて演算を行ない3次元の内部寸法を算出し、被検査体の良否判定を行うものである。
【選択図】        図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はシリンダブロック用中子のような小径の円筒孔を有する被検査体の内部寸法を計測する内部寸法測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、被検査体の被測定部位に照射されるスリット光を斜めから撮影して得た画像データに基づいて演算を行なって被測定部位の3次元寸法を計測する測定装置としては図6に示されるように、被検査体を撮影する撮像装置30と、該撮像装置30の光軸と交差する光軸を有するスリット光を被測定部位に照射する光源装置31とからなるものが一般的である。これは被測定部位に斜めから照射されるスリット光を撮像装置30により撮影し、画像に撮影されたスリット光の波うち量に基づき三角測量法により演算を行なって3次元寸法を算出している。しかしこの測定方法では表面上のものは計測できるが、円筒孔内等の内部空間の計測はできなかった。このため円筒孔内の計測は接触式の測定装置により行なうのが一般的であった。しかし、接触式の測定装置では表面が砂粒で形成されたシリンダブロック用中子等の被検査体は砂を削り取る恐れがあるため計測ができないという問題があった。しかもシリンダブロック用中子の場合は、冷却水が流れる通路となるため寸法は極めて重要であった。このため非接触で円筒孔内の空間寸法を計測できる装置の開発が強く要望されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は小径円筒孔等の被検査体の寸法を非接触で計測することができる内部寸法測定装置を提供することを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
前述の目的を達成するため本発明は、撮影した画像データに基づいて演算を行ない3次元の内部寸法を得る内部寸法測定装置において、被検査体内部へ挿入自在としたスリット光用反射鏡により被検査体の外方に配置された光源装置から放出される走査用のスリット光を被検査体内部の被測定部位に案内するとともに、被検査体内部へ挿入自在とした撮像装置用反射鏡によりスリット光が照射される被測定部位を相対的に交差する方向から写した像を被検査体の外方に配置された撮像装置に反射投影する内部寸法測定装置を請求項1の発明とし、請求項1の発明において、スリット光用反射鏡または撮像装置用反射鏡または両者を走査させる駆動装置が設けられる内部寸法測定装置を請求項2の発明とし、請求項1または2の発明において、スリット光用反射鏡と撮像装置用反射鏡の取付角度を可動とした内部寸法測定装置を請求項3の発明とするものである。
【0005】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の好ましい実施の形態を図に基づいて詳細に説明する。
本発明は撮像装置8と光源装置14とスリット光用反射鏡15と撮像装置用反射鏡16と駆動装置9とからなるものである。
図1中、1はフレーム本体であり、該フレーム本体1はベッド2と該ベッド2に立設された支柱3と該支柱3に取り付けられるリニアガイド4とからなるものである。該リニアガイド4には走査用の駆動装置9を介して撮像装置8が取り付けられて精度の高いスライドが可能となっている。5はベッド2に取り付けられるリニアモータであり、該リニアモータ5は被検査体(例えば、シリンダブロック用中子)を載置して移動させるためのもので、リニアガイド4の移動方向と直交する方向に移動するものである。6はリニアモータ5のスライダ7の4隅に設けられる被検査体受けである。
【0006】
前記撮像装置8はスリット光が照射される被検査体の被測定部位(円筒孔内)を撮影するものであり、該撮像装置8はレンズと撮像素子とからなるディジタルカメラと撮影した画像を送り出す出力装置とからなるものである。撮影はスリット光が照射される被測定面の像を反射投影する後記の撮像装置用反射鏡16を介して行なわれるものであり、スリット光による円筒孔内の連続的な走査に応じてスリット光が照射された被測定部位は撮像装置8により間歇的に撮影される。またスリット光はレーザ等の光源装置14から扇形状に発生させたものとしているが、ハロゲンランプその他の高輝度光源をスリットを通過させてスリット光としてもよい。そして該スリット光はスリット光用反射鏡15を介して被測定部位に走査照射される。
【0007】
また前記駆動装置9は撮像装置8と光源装置14とを可動させて撮影面(被測定部位)への移動や被測定部位にスリット光を走査させたりするものである。具体的には撮像装置8の撮像装置用反射鏡16と光源装置14のスリット光用反射鏡15とを回転または昇降動させるものである。該駆動装置9は前記したリニアガイド4に取り付けられてリニアモータ5と直交する方向にスライドが可能となっている。駆動装置9には撮像装置8と光源装置14とを回転または昇降させる回転機構と昇降機構とが組み込まれている。駆動機構9の図示しない昇降機構は後記するスリット光用反射鏡15と撮像装置用反射鏡16を被測定部位内に挿入する役割と、被測定部位内におけるスリット光と撮影面の上下方向の走査を行なうものである。駆動装置9の昇降機構としては撮像装置8を取り付けた主軸11を昇降動させるラックピニオン機構あるいはエアシリンダ等を用いるものとする。そして昇降機構をコンピュータで制御すれば、測定を自動化できることとなる。
【0008】
また駆動装置9の回転機構12はスリット光用反射鏡15と撮像装置用反射鏡16を被測定部位(円筒孔内)で回転させて円筒孔面を走査するものである。この走査は内径を求める場合は円筒孔全周に対して行うものとし、必要に応じて部分的に行なうものとしてもよい。駆動装置9の回転機構12は、駆動装置9の筒状本体に取り付けたブラケット12aにモータ13を取り付け、該モータ13の出力軸に取り付けたウオームと主軸11に取り付けたウオームホイールとを噛合させることにより撮像装置8を取り付けた主軸11を回転させるものである。該モータ13をコンピュータで制御すれば回転角度(撮影範囲)を自由に設定できるので、測定を自動化することができる。また被測定部位を部分的に走査(撮像装置用反射鏡16によりスリット光がケラレない範囲で、撮像装置8により撮影ができる範囲内)する場合にはスリット光用反射鏡15のみを水平方向の左右に振って走査をするものとしてもよい。
【0009】
さらに前記した光源装置14は撮像装置8の筒状本体に斜めに取り付けられて撮像光軸とスリット光軸が交差するように配置されている。これは撮影光軸に対してスリット光軸を交差させることにより、被測定部位に存在する凹凸に基づいて照射されたスリット光が図5に示されるように波うつこととなる。該波うち状態を撮像装置8により撮影し、撮影した画像における波うち変位量を三角測量法に基づいて演算し、被測定部位の3次元寸法を得るものである。三角測量法に基づいて演算を行なう場合、撮像装置8の位置を予め知っておく必要がある。光源装置14は撮像装置8の筒状本体に斜めに取り付けてスリット光軸と撮影光軸とを交差させるようにしているが、各光軸が交差すればよいので、光源装置14に対して撮像装置8を斜めに取り付けるものとしてもよいことは勿論である。
【0010】
さらに前記したスリット光用反射鏡15と撮像装置用反射鏡16は撮像装置8の筒状本体の先端に図示しないフレームを介して取り付けられ、スリット光軸と撮影光軸を進行方向に90°屈折させている。また、スリット光用反射鏡15と撮像装置用反射鏡16は被検査体の円筒孔内へ挿入可能なサイズとされている。さらにスリット光用反射鏡15と撮像装置用反射鏡16はスリット光軸と撮影光軸が交差するように配置されるものである。またスリット光用反射鏡15と撮像装置用反射鏡16は各光軸を90°屈折させるため、水平から45°の傾斜角度で固定されている。
【0011】
スリット光用反射鏡15と撮像装置用反射鏡16の取付角度を可動とすれば、水平から45°以上の傾斜角度にできるので被検査体の円筒孔径がより小さい被測定部位内にも挿入できるので検査対象の範囲を広げることができる。また撮像装置用反射鏡16は表面に反射面を形成したものとしているから、普通の鏡のようにガラスの裏面に反射鏡を形成した場合と違って、反射像が二重像とならず解像度の高い映像を得ることができる。さらにスリット光用反射鏡15は四角形のものとしているが、スリット光のため細長いものとしてもよく、細長とすればコンパクトになるから、より小さい円筒孔の計測が可能となるので検査対象をさらに広げることができる。
【0012】
このように構成されたものは、先ず、リニアモータ5のスライダ7上に被検査体S(シリンダブロック用中子)を載置する。このとき被検査体が安定するようにスライダ7の4隅に設けられる被検査体受け6上に載置する。続いて、リニアモータ5を操作してスライドベース7上の被検査体Sの被測定部位と撮像装置8がXまたはY方向で一致するように移動させる。
【0013】
被検査体Sの被測定部位が撮像装置8とXまたはY方向で一致したら、リニアモータ5を停止させたうえ、リニアモータ5と直交する方向に移動するリニアガイド4に取り付けられている駆動装置9を手動で動かして、被測定部位と撮像装置8とがX−Y方向で一致させる。X−Y方向で撮像装置8と被測定部位とが一致したら、駆動装置9の昇降機構を操作して主軸11を所定量降下させる。この降下により撮像装置8と光源装置14は連動して下降するが、被測定部位の円筒孔内にはスリット光用反射鏡15と撮像装置用反射鏡16のみが挿入されることとなる。このときの挿入深さは撮影位置によって決定される。ストローク方向の撮影部位が撮像装置8によって全部で撮影できない場合は、スリット光用反射鏡15と撮像装置用反射鏡16の挿入位置を深くする等して2回目あるいは3回目の撮影を行なうものとする。2回目からの撮影は円筒孔の内周面を撮影した後に上下位置を変えて行なったほうが位置設定による時間的ロスを減らすことができる。
【0014】
そして、光源装置14を起動してスリット光を放出させる。放出されたスリット光はスリット光用反射鏡15により進行方向を90°屈折されて被測定部位に照射されることとなる。次に、駆動装置9の回転機構12を操作して撮像装置8と光源装置14を360°回転させる。スリット光が被測定部位の円筒孔面を360°走査する像は撮像装置用反射鏡16を介して撮像装置8に反射投影されて連続的に撮影されてゆくこととなる。例えば、スリット光が被測定部位に1°の幅で照射されているなら、駆動装置9が1°回転するたびに撮影を行ない360枚の撮影画像を得ればよい。そして撮影された画像は出力装置を介して送り出される。
【0015】
このようにして得られた360枚の各角度の画像データに記録された波うち量の差から三角測量法に基づいて座標変換の演算を行い被測定部位の寸法を算出することとなる。このようにして被検査体の第1の被測定部位の測定が完了したら、駆動装置9の昇降機構を操作して撮像装置8と光源装置14を上昇させる。そして、前記と同様にして第2の被測定部位上位置まで撮像装置8を移動させたうえ、駆動装置9の昇降機構を操作して前記と同様にスリット光用反射鏡15と撮像装置用反射鏡16を挿入する。続いて撮像装置8と光源装置14を回転させて被測定部位の円筒孔内面の計測を行ったうえ寸法の演算算出を行う。以下同様にして全ての被測定部位の計測を行ない、演算算出した寸法に基づいて被検査体の良否判定を行なえばよいものである。
【0016】
なお、前記好ましい実施の形態では被検査体の円筒孔の内径寸法を測定するものとしているが円筒に限ることはなく楕円形筒の内寸法を測定するものとしてもよいことは勿論である。
【0017】
また前記好ましい実施の形態では撮像装置8に対して斜めに光源装置14を取り付けたものとしているが、光源装置14を鉛直線上に配置させて撮像装置8を斜めに配置してもよいことは勿論である。
【0018】
さらに前記好ましい実施の形態では撮像装置8と光源装置14を回転させつつスリット光が照射されている部位を1°毎連続的に撮影するものとしているが、撮像装置8の撮像素子の画素範囲内で多数回の撮影、すなわ、画素内に円筒孔すべての画像を記録するようにしてもよく、このようにすればメモリを有効に利用できることとなるうえに、円筒孔のどの領域に欠陥が発生しやすいかを画像解析する前に画像に基づいて目視判定することもできるので、中子等の修正を素早くでき、歩留まりを向上させることができる。
【0019】
【発明の効果】
前記説明によって明らかなように本発明は、被検査体内部へ挿入自在としたスリット光用反射鏡により被検査体の外方に配置された光源装置から放出されるスリット光を被検査体内部の被測定部位に案内するとともに、被検査体内部へ挿入自在とした撮像装置用反射鏡によりスリット光が照射される被測定部位を相対的に交差する方向から写した像を被検査体の外方に配置された撮像装置に反射投影するものであるから、撮像装置や光源装置が入らない狭い円筒孔内にスリット光用反射鏡と撮像装置用反射鏡を挿入するだけで円筒孔を有する被検査体の内径寸法を非接触で精度よく計測できることとなる。また非接触であるため、被検査体が中子のような砂粒よりなるものであっても削り取ることなく測定できる。さらにスリット光用反射鏡と撮像装置用反射鏡により光軸を一定角度に屈折させるだけのものであるから、装置設計も容易で安価に提供できるものとなる。また請求項2のように、スリット光用反射鏡または撮像装置用反射鏡または両者を走査させる駆動装置を設けることにより、内径等を高速で測定することができる。請求項3のように、スリット光用反射鏡と撮像装置用反射鏡の取付角度を可動とすることにより、スリット光用反射鏡と撮像装置用反射鏡の外形横幅を小さくすることができるので、円筒孔がより小さい被検査体の測定も可能となり検査対象を拡大することができる等種々の利点を有するものである。
従って、本発明は従来の問題点を解消した内部寸法測定装置として業界の発展に寄与するところ大なものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の好ましい実施の形態を示す一部切欠正面図である。
【図2】本発明の好ましい実施の形態を示す要部の一部切欠正面図である。
【図3】本発明の好ましい実施の形態を示す要部の一部切欠平面図である。
【図4】本発明の測定方法を示す概略説明図である。
【図5】本発明の好ましい実施の形態において、凹凸面にスリット光が照射された際のスリット光の波うち状態を示す斜視図である。
【図6】従来の3次元測定を示す概略説明図である。
【符号の説明】
8 撮像装置
9 駆動装置
14 光源装置
15 スリット光用反射鏡
16 撮像装置用反射鏡

Claims (3)

  1. 撮影した画像データに基づいて演算を行ない3次元の内部寸法を得る内部寸法測定装置において、被検査体内部へ挿入自在としたスリット光用反射鏡により被検査体の外方に配置された光源装置から放出される走査用のスリット光を被検査体内部の被測定部位に案内するとともに、被検査体内部へ挿入自在とした撮像装置用反射鏡によりスリット光が照射される被測定部位を相対的に交差する方向から写した像を被検査体の外方に配置された撮像装置に反射投影することを特徴とする内部寸法測定装置。
  2. スリット光用反射鏡または撮像装置用反射鏡または両者を走査させる駆動装置が設けられることを特徴とする請求項1に記載の内部寸法測定装置。
  3. スリット光用反射鏡と撮像装置用反射鏡の取付角度を可動としたことを特徴とする請求項1または2に記載の内部寸法測定装置。
JP2002174703A 2002-06-14 2002-06-14 内部寸法測定装置 Expired - Fee Related JP3929361B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002174703A JP3929361B2 (ja) 2002-06-14 2002-06-14 内部寸法測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002174703A JP3929361B2 (ja) 2002-06-14 2002-06-14 内部寸法測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004020340A true JP2004020340A (ja) 2004-01-22
JP3929361B2 JP3929361B2 (ja) 2007-06-13

Family

ID=31173603

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002174703A Expired - Fee Related JP3929361B2 (ja) 2002-06-14 2002-06-14 内部寸法測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3929361B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007187634A (ja) * 2006-01-16 2007-07-26 Moritex Corp 三次元形状計測装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0599631A (ja) * 1991-10-09 1993-04-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 穴形状光測定装置
JP2000258141A (ja) * 1999-03-04 2000-09-22 Hitachi Ltd 有底円筒部材の内周面形状検査装置およびその方法、有底円筒部材の加工方法並びに電池の製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0599631A (ja) * 1991-10-09 1993-04-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 穴形状光測定装置
JP2000258141A (ja) * 1999-03-04 2000-09-22 Hitachi Ltd 有底円筒部材の内周面形状検査装置およびその方法、有底円筒部材の加工方法並びに電池の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007187634A (ja) * 2006-01-16 2007-07-26 Moritex Corp 三次元形状計測装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP3929361B2 (ja) 2007-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104236481B (zh) 三维形状测定装置
JP5252184B2 (ja) 凹凸表面検査装置
JP6176957B2 (ja) 形状測定装置
TW201341756A (zh) 形狀測定裝置、形狀測定方法、及記錄有其程式之記錄媒體
KR20090004636A (ko) 기판 외관 검사 장치
JP4934268B2 (ja) ガラス基板の切断面検査装置
JP2012122844A (ja) 表面検査装置
JP2008203093A (ja) 照明装置、画像測定装置
JP2010190886A (ja) パンタグラフ高さ測定装置及びそのキャリブレーション方法
JP5776282B2 (ja) 形状測定装置、形状測定方法、及びそのプログラム
JP6168147B2 (ja) タイヤ内面撮像方法及びその装置
JP6790380B2 (ja) 内面検査装置
JP5042503B2 (ja) 欠陥検出方法
KR101758647B1 (ko) 비평면 디스플레이 패널 검사장치
JP3929361B2 (ja) 内部寸法測定装置
TW201947275A (zh) 串擾檢測
JP2001304827A (ja) 断面形状測定装置および断面形状測定方法
KR20080088946A (ko) 입체 형상 검사 장치 및 그를 이용한 입체 형상 검사 방법
JP2003322512A (ja) 供試体の寸法測定装置
JP3906123B2 (ja) カメラ用画像出力較正装置
CN112102469B (zh) 三维建模系统、扫描系统及其控制方法
JP2003295066A (ja) 顕微鏡装置
CN213179900U (zh) 一种可平移俯仰的三维信息采集、合成及利用设备
JP4258401B2 (ja) 凹凸面の表面欠陥検査装置
CN213179860U (zh) 一种多位置三维信息采集、合成及利用设备

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050117

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060919

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061006

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061124

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070306

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070306

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees